JP2004006657A - 半導体装置の製造方法及びその製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置において、ハンダ端子の大きさを均一にするとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートを回避する。
【解決手段】印刷機30の昇降テーブル38の上に、棒状ヒータ39a及び冷却パイプ39bを備えた加熱冷却ステージ39を設け、その上面に集合体12を載置する。載置した集合体12をメタルマスク44の下面側の近傍位置まで移動させた状態で、スキージ35をスライドさせる。これにより、メタルマスク44の開口部44aを介してハンダペースト49が集合体12の上面に塗布される。次に、集合体12にメタルマスク44を重ね合わせたままの状態で、棒状ヒータ39aを使用して集合体12をリフローし、集合体のハンダペーストを溶融して半球状のハンダ端子を形成する。その後、冷却パイプ39bを使用して集合体12を空冷し、ハンダ端子を冷やし固める。
【選択図】 図3
【解決手段】印刷機30の昇降テーブル38の上に、棒状ヒータ39a及び冷却パイプ39bを備えた加熱冷却ステージ39を設け、その上面に集合体12を載置する。載置した集合体12をメタルマスク44の下面側の近傍位置まで移動させた状態で、スキージ35をスライドさせる。これにより、メタルマスク44の開口部44aを介してハンダペースト49が集合体12の上面に塗布される。次に、集合体12にメタルマスク44を重ね合わせたままの状態で、棒状ヒータ39aを使用して集合体12をリフローし、集合体のハンダペーストを溶融して半球状のハンダ端子を形成する。その後、冷却パイプ39bを使用して集合体12を空冷し、ハンダ端子を冷やし固める。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法及びその製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯機器等の普及により半導体装置の超小型化に対する要求が高まっており、CSP(チップサイズパッケージ)が適用された半導体装置の開発が多く行われている。そして、このCSPが適用された半導体装置のパッケージング法式として、WLP(ウェハレベルパッケージ)方式が注目されている。
【0003】
このWLP方式は、半導体ウェハレベルで樹脂封止やボンディングを行った後に、半導体ウェハを切断して半導体装置を形成する方式である。すなわち、半導体ウェハをチップ毎にダイシングしてから樹脂封止やボンディングをするという従来の方式に比較して、半導体装置をより小型化できるという利点がある。
【0004】
そして、このWLP方式を採用した半導体装置を基板に対して実装する際には、接続端子として、狭ピッチ化に有利なハンダ端子が多く採用されている。そして、このハンダ端子の形成方法としては、印刷法やボール搭載法などがあるが、コスト低減などの目的から、印刷法が注目されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0005】
図14〜図17に、この印刷法を採用した場合の半導体装置におけるハンダ端子の形成方法を示す。まず、図14に示すように、半導体ウェハ73の上に、それぞれ、電極73a、第1及び第2の樹脂層73b,73c、配線74が形成された半導体装置71の集合体75を用意し、その集合体75を印刷機にセットする。次いで、複数箇所に開口部76を備えるメタルマスク77を前記集合体75上に配置する。なお、各開口部76は、第2の樹脂層73cの開口部78から露出している配線74の露出部79とオーバーラップするようにして設けておく。
【0006】
そして、メタルマスク77の上面にハンダペースト81を載せて、スキージ82をメタルマスク77の上面に押し付けながら水平方向に動かすことにより、ハンダペースト81を開口部76内に埋め込む。図15は、ハンダペースト81の埋め込みが終了した状態を示している。
【0007】
この後、図16に示すように、集合体75からメタルマスク77を剥がす。そして、集合体75をリフロー炉に移してリフローを行うと、図17に示すように、ハンダペースト81が溶融して表面張力により半球状のハンダ端子72となる。
【0008】
【特許文献1】
米国特許出願公開第2002/0008320号明細書
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の方法においては、ハンダペースト81自体は密着性の高い材料であるため、メタルマスク77とハンダペースト81との抜け性が安定しないことがあった。例えば、図16の右側に示すように、メタルマスクの開口部76内に、ハンダペースト81の付着物81aが残存してしまうことがあった。
【0010】
その結果、図17の右側に示すように、リフロー後に形成されるハンダ端子72の形状が、小さくなってしまうことがあり、隣り合うハンダ端子72の大きさが不均一となることがあった。そして、ハンダ端子72が不均一になることにより、半導体装置を基板に実装する時の接合性が低下してしまうことがあった。
【0011】
また、脆弱な材料で形成されている半導体装置においては、ハンダ端子の体積が小さいと、実装時にハンダ端子を介して半導体装置に大きな応力が加わってしまい、破損が生じることがあった。従って、この応力を緩和するために、ハンダ端子72の体積を大きくしたいという要望が生じていた。しかし、上記従来のハンダ端子の形成方法において、ハンダ端子72の体積を増大させると、リフロー後に隣り合うハンダ端子72同士が付着しショートが発生することがあり、狭ピッチ化を阻害する原因となっていた。
【0012】
本発明は、WLP方式を採用した半導体装置において、ハンダ端子の大きさを均一にすると共に、隣り合うハンダ端子同士のショートを回避することのできる半導体装置の製造方法及びその製造装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ハンダペーストを半導体装置本体のハンダ端子形成領域にメタルマスクにてスキージ印刷し、前記ハンダ端子形成領域に印刷されたハンダペーストを溶融することによって半導体装置本体にハンダ端子を形成するようにした半導体装置の製造方法において、前記半導体装置本体の集合体とメタルマスクとを、前記半導体装置本体のハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した開口部が相対向するように重ね合わせ、前記ハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した前記開口部を介してハンダペーストを印刷する印刷工程と、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記開口部内のハンダペーストを溶融させて前記ハンダ端子を形成する溶融工程と、前記溶融工程後に、前記メタルマスクを前記集合体から取り去る分離工程とからなる。
【0014】
本発明によれば、集合体にハンダペーストを印刷してすぐにメタルマスクを集合体から取り去ると、抜け性が安定せずにメタルマスクにハンダペーストが付着してしまうことがあるが、メタルマスクを取り去る前にリフローしているので、安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0015】
この半導体装置の製造方法において、前記溶融工程後と前記分離工程との間に、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記ハンダ端子を冷却させる冷却工程を備える。
【0016】
これによれば、集合体にハンダペーストを印刷した後にリフローしたのみの場合に比較して、ハンダ端子を冷却することにより、より安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができるようになる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0017】
また、リフローと冷却とを併用することで、温度制御を容易にして温度のばらつきを抑えることができ、効率よく集合体の温度管理をすることができる。
この半導体装置の製造方法において、前記溶融工程は、前記ハンダペーストを200℃程度までリフローする工程である。
【0018】
これによれば、ハンダペーストを溶融できる温度にリフローすることができ、確実に半球状のハンダ端子を形成できるようになる。
この半導体装置の製造方法において、前記冷却工程は、前記ハンダペーストを150℃程度まで冷却する工程である。
【0019】
これによれば、ハンダ端子とメタルマスクとが付着しない温度まで冷却することができ、付着が生じることなく安定した抜け性でハンダ端子とメタルマスクとを分離できるようになる。
【0020】
また、この半導体装置の製造方法にいて、前記ハンダペーストは、鉛フリーハンダのペーストである。
これによれば、鉛による環境汚染を防止することができる。
【0021】
本発明は、複数の半導体装置本体が形成された集合体を保持する保持手段と、開口部が形成されたメタルマスクと、前記集合体と前記メタルマスクとを、前記各半導体装置本体のハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した前記開口部が相対向するように重ね合わせる移動手段と、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記メタルマスク上のハンダペーストを前記開口部に充填するスキージと、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記開口部に充填された前記ハンダペーストを溶融する加熱手段とを備える。
【0022】
本発明によれば、集合体にハンダペーストを印刷してすぐにメタルマスクを集合体から取り去ると、抜け性が安定せずにメタルマスクにハンダペーストが付着してしまうことがあるが、メタルマスクを取り去る前にリフローしているので、安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0023】
この半導体装置の製造装置において、前記保持手段が前記集合体を保持した状態で前記集合体を冷却可能な冷却手段を備える。
これによれば、集合体にハンダペーストを印刷した後にリフローしたのみの場合に比較して、ハンダ端子を冷却することにより、より安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができるようになる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0024】
また、リフローと冷却とを併用することで、温度制御を容易にして温度のばらつきを抑えることができ、効率よく集合体の温度管理をすることができる。
この半導体装置の製造装置において、前記加熱手段は、前記保持手段に埋設されている棒状ヒータである。
【0025】
これによれば、リフローのために、リフロー炉のような新たな設備を備えることなく、保持手段に埋設した棒状ヒータによってリフローできるようにしたので、ハンダペーストの印刷を行うための装置と兼用することができ、半導体装置を製造するための設備を簡略化することができる。
【0026】
この半導体装置の製造装置において、前記冷却手段は、前記保持手段に埋設されている、冷却パイプに、少なくとも、空気、あるいは、水を通過させて冷却させる手段である。
【0027】
これによれば、ハンダ端子を冷却するために、新たな装置を設けることなく、保持手段に埋設した冷却パイプによって冷却できるようにしたので、ハンダペーストの印刷を行うための装置と兼用することができ、半導体装置を製造するための設備を簡略化することができる。
【0028】
この半導体装置の製造装置において、前記ハンダペーストは鉛フリーハンダのペーストである。
これによれば、鉛による環境汚染を防止することができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図13に従って説明する。図1は、本実施形態における複数の半導体装置の集合体を示す部分断面図である。また、図2及び図3は、本実施形態における半導体装置を製造する製造装置としての印刷機の斜視図及び部分断面図であり、図4〜図13は、同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【0030】
図1は、半導体装置11の集合体12を示しており、この集合体12を切断位置12aにおいて切断することによって、複数の半導体装置11が得られるようになっている。そして、半導体装置11は、そのパッケージサイズが半導体チップにほぼ等しいので、CSPに分類することができる。また、半導体装置11は、半導体チップ14と、配線15と、ハンダ端子16と、第1及び第2の樹脂層17,18とを備えている。
【0031】
半導体チップ14は、図1においては、半導体ウェハ19の状態となっている。そして、半導体チップ14は、その能動面14aに複数の電極21を有する。さらに、半導体チップ14の能動面14aの全体には、電極21を避けて、SiN、SiO2、MgOなどのパッシベーション膜22が形成されている。パッシベーション膜22は電気的な絶縁膜である。そして、本実施形態では、半導体チップ14、配線15とで半導体装置本体を構成している。
【0032】
配線15は、電極21に電気的に接続されており、複数の材料、例えば、銅(Cu)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、チタンタングステン(TiW)、金(Au)、アルミニウム(Al)、ニッケルバナジウム(NiV)、タングステン(W)等を積層することにより形成されている。電極21が半導体チップ14の端部に形成されている場合には、半導体チップ14の中央方向に配線15を引き込む。各電極21に接続されて配線15が形成されることによって、パッシベーション膜22の上面に配線パターンが形成される。
【0033】
ハンダ端子16は、電極21の真上を避けて、配線15上に半球状に形成されている。詳しくは、ハンダ端子16は、鉛フリーハンダにより形成されており、配線15の例えばランド部23に形成されている。ハンダ端子形成領域としてのランド部23は、電極21から引き出される部分(ライン)よりも面積が大きく形成されている。ハンダ端子16は、電極21の真上を避けているので、ハンダ端子16に加えられた応力が電極21に直接加えられないようになっている。ハンダ端子16は、回路基板との電気的な接合に使用される。
【0034】
第1の樹脂層17は、複数層で形成されてもよいが、図1に示す例では1層で形成されている。第1の樹脂層17は、応力緩和機能を有してもよく、例えば、ポリイミド樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂で形成することができる。また、ベンゾシクロブテン(BCB;benzocyclobutene)、ポリベンゾオキサゾール(PBO;polybenzoxazole)等で形成することもできる。
【0035】
第1の樹脂層17は、配線15の下を含む領域に形成されている。詳しくは、第1の樹脂層17はパッシベーション膜22の上に形成され、第1の樹脂層17の上に、ランド部23及びそれに接続されるラインが形成されている。言い換えれば、第1の樹脂層17は、少なくとも配線15と半導体チップ14との間に形成されている。
【0036】
第2の樹脂層18は、1層又は複数層で形成されている。第2の樹脂層18は、配線15の上を含む領域に形成されている。第2の樹脂層18は、上述の第1の樹脂層17と同様の材料からなっていてもよく、少なくとも1層が応力緩和機能を有してもよい。あるいは、第2の樹脂層18は、第1の樹脂層17とは異なる材料で形成されてもよい。
【0037】
図1に示す例では、第2の樹脂層18は、最上層24と最下層25とを含む。最下層25は、配線15のうちランド部23を避けて形成されている。また、最下層25は、第1の樹脂層17の上に形成されていてもよい。
【0038】
第2の樹脂層18が1層からなる場合には、最上層24が最下層25に代わって配線15を覆うように形成されていてもよい。最上層24は、ハンダ端子16の根元周囲に形成されている。あるいは、ハンダ端子16の先端部を除いて、ハンダ端子16の側部を覆うまで形成されていもよい。いずれにしても、最上層24の一部が除去されることによって、ハンダ端子16は少なくとも先端部が露出している。
【0039】
本実施の形態に係る半導体装置11は、第1の樹脂層17が、その平面形状が半導体チップ14の外周よりも内側に位置するように形成されている。詳しくは、第1の樹脂層17が、半導体チップ14の端部を避けて形成されている。その場合、図1に示すように、第2の樹脂層18も、半導体チップ14の端部を避けて形成されてもよい。
【0040】
次に、本実施形態における半導体装置11に前記ハンダ端子16を形成するための製造装置としての印刷機30について説明する。
図2に示すように、印刷機30は、基台31と、位置決めブロック32と、スクリーンマスク33と、同スクリーンマスク33を保持するマスク保持部34と、スキージ35と、同スキージ35を保持するスキージ保持部36とを備える。
【0041】
位置決めブロック32は、前記半導体装置11の集合体12(半導体ウェハ19)を保持しながら、同集合体12を、図2の矢印X方向、Y方向、Z方向に位置決めするためのものである。そして、位置決めブロック32は、基台31上に載置されているXYテーブル37と、同XYテーブル37の上に設けられている昇降テーブル38と、昇降テーブル38の上に設けられている保持手段としての加熱冷却ステージ39とを備える。
【0042】
XYテーブル37は、図示しないモータにより駆動され、図2の矢印X方向及びY方向に移動可能となっており、XYテーブル37の上に設けられた昇降テーブル38や加熱冷却ステージ39の、矢印X方向及びY方向の位置決めをするようになっている。また、昇降テーブル38は、図示しないモータにより駆動され、図2の矢印Z方向に移動するようになっており、昇降テーブル38の上に設けられた加熱冷却ステージ39の、矢印Z方向の位置決めをするようになっている。そして、これらXYテーブル37及び昇降テーブル38によって移動手段を構成するようになっている。
【0043】
加熱冷却ステージ39は、昇降テーブル38の上に設けられ、その上面の凹部41に、図示しない搬送コンベア等を介して集合体12が搬送され、載置されるようになっている。そして、図3に示すように、この加熱冷却ステージ39の内部には、棒状ヒータ39a及び冷却パイプ39bが備えられており、加熱冷却ステージ39の上面に載置された集合体12をリフローするとともに冷却できるようになっている。なお、本実施形態においては、冷却パイプ39bと、同冷却パイプ39bを通過する空気によって空冷の冷却手段が構成されている。
【0044】
なお、この加熱冷却ステージ39に、凹部41内と外部とを連通する図示しない小孔等を設けるようにしてもよい。このようにすれば、集合体12を凹部41に載置した状態で、小孔を介して真空で引いて固定することができ、集合体12の位置決めを容易にすることができる。
【0045】
以上により、集合体12は、加熱冷却ステージ39上で固定された状態で、XYテーブル37及び昇降テーブル38によって図2のX,Y,Z方向のいずれかの位置に位置決めできるようになっている。
【0046】
図2に示すように、スクリーンマスク33は、枠型のホルダ43の下面に金属製のメタルマスク44を装着して構成される。このメタルマスク44には、図3に示すように、開口部44aが複数形成されている。なお、この開口部44aの大きさは、メタルマスク44全体の大きさに比して小さいため、図2においてはその図示を省略している。
【0047】
図2に示すように、マスク保持部34は、枠型のフレーム45と、同フレーム45を前記基台31に対して支持する4本の支柱46とを備える。そして、フレーム45のうち、図2の矢印Y方向に沿って設けられている、向かい合う2辺は、ガイド部47,48となっており、そのガイド部47,48に設けられた係止部47a,48aに、前記スクリーンマスク33が係止されている。
【0048】
スキージ保持部36は、前記ガイド部47,48の上に載置され、図示しないモータによって図2の矢印Y方向に移動可能となっている。また、スキージ保持部36には、図2の矢印X方向に延びるようにしてスキージ35が保持されており、スキージ35の下側の先端部は前記メタルマスク44に接するようになっている。すなわち、スキージ35は、スキージ保持部36の矢印Y方向の移動に伴って、メタルマスク44に接しながらスライドするようになっている。
【0049】
そして、図3に示すように、加熱冷却ステージ39に固定された集合体12を前記メタルマスク44の下面側の近傍位置まで移動させた状態で、前記スキージ35をスライドさせると、メタルマスク44の前記開口部44aを介して、ハンダペースト49が集合体12の上面に塗布されるようになる。なお、本実施形態においては、ハンダペースト49は、鉛フリーハンダのペーストとなっている。
【0050】
次に、以上のような印刷機30を使用して、半導体装置11を製造する製造方法について説明する。
まず、図4に示すように、半導体ウェハ19に、各半導体チップ14の電極21の少なくとも一部を避けてパッシベーション膜22を形成し、集合体12とする。その後、この集合体12に、各半導体チップ14の配線15を形成するための第1の樹脂層17を露光技術等によって形成する。
【0051】
次に、開口51,52が形成されたマスク53を、集合体12の第1の樹脂層17の上方に配置して、エネルギー54を照射する。そしてその後、現像を行い、図5に示すように、開口51,52のそれぞれに対応する位置に穴55及び開口部56を形成する。
【0052】
穴55は、電極21を露出させるためのもので、電極21ごとに形成する。開口部56は、切断位置12aに沿って一体的に開口させて形成する。言い換えると、隣接する半導体装置11の境界線に沿って、開口部56が形成される。
【0053】
次に、図6に示すように、集合体12の電極21から第1の樹脂層17上にかけて、配線15を形成する。配線15は、フォトリソグラフィ、スパッタ又はめっき処理等によって形成してもよい。配線15の一部にランド部23を形成する場合には、ランド部23を第1の樹脂層17の上に形成する。配線15は、第1の樹脂層17の穴55の内面にも形成する。
【0054】
その後、集合体12の第1の樹脂層17及び配線15上に最下層25を全面に形成する。そしてこのとき、第1の樹脂層17に形成した開口部56にも、最下層25の材料を充填する。
【0055】
次に、開口57,58が形成されたマスク59を、集合体12の最下層25の上方に配置して、エネルギー61を照射する。そしてその後、現像を行い、図7に示すように開口57,58それぞれに対応する位置に開口部62及び穴63を形成する。開口部62は、切断位置12aに沿って、すなわち、前記開口部56と重なる位置に形成される。また、穴63は、配線15の一部(ランド部23)を露出させるものである。
【0056】
続いて、印刷工程に移り、集合体12の前記ランド部23の上に、ハンダ端子16を形成する。詳しくは、まず、図2に示す前記印刷機30の位置決めブロック32の前記加熱冷却ステージ39の上に集合体12を載置する。そして、前記XYテーブル37及び昇降テーブル38を駆動させて、図3に示すように、集合体12をメタルマスク44の真下の位置まで移動させる。このとき、図8に示すように、メタルマスク44に形成されている開口部44aと、前記穴63(ランド部23)との位置が重なるようにする。
【0057】
なお、この開口部44aは、形成されるハンダ端子16の体積をなるべく大きくする目的で、水平方向の断面形状が四角形となるように形成されている。また、ハンダ端子16とメタルマスク44との抜け性の安定性を向上させるために、この開口部44aは、抜け方向に向かって、水平方向の断面積が小さくなるようなテーパ形状となっていてもよい。
【0058】
そして、印刷機30のスキージ35を、図2の矢印Y方向に移動させ、図8に示すように、ハンダペースト49をメタルマスク44の開口部44aに押し込む。これにより、ハンダペースト49が開口部44aを介して集合体12の穴63(ランド部23)に供給され、ハンダペースト49が集合体12に印刷される(図9参照)。
【0059】
次に、溶融工程に移り、集合体12にメタルマスク44を重ね合わせたままの状態で、図3に示した前記棒状ヒータ39aを使用して、集合体12を200℃程度まで加熱リフローする。すると、図10に示すように、ハンダペースト49が溶融し、表面張力により形状が半球状に変化して、ハンダ端子16が形成される。さらに、この状態で冷却工程に移り、図3に示した冷却パイプ39bを使用して集合体12を150℃程度まで空冷し、ハンダ端子16を冷やし固める。
【0060】
この結果、メタルマスク44の開口部44aの内壁面とハンダ端子16との間の抜け性が良好になる。そして、分離工程に移り、前記XYテーブル37及び昇降テーブル38(図2参照)を駆動させて、集合体12とメタルマスク44とを分離させる。すると、ハンダ端子16は開口部44aに付着することなくメタルマスク44から分離される。
【0061】
続いて、図11に示すように、非感光性の樹脂からなる最上層24を、最下層25及びハンダ端子16の上の全面に設ける。この場合に、開口部56,62にも最上層24の材料を充填する。
【0062】
その後、図1に示すように、プラズマ等を用いたドライエッチングによって、一部を物理的に除去することによって、ハンダ端子16の少なくとも先端部を露出させる。同様にして開口部56,62に充填された部分も除去し、さらに開口部64を形成する。
【0063】
続いて、図12及び図13に示すように、切断位置12aに沿って、集合体12を個片に切断する。すなわち、集合体12が個片化されて複数の半導体装置11を形成される。詳しくは、集合体12が、電極21が形成された面の側からブレード65を使用して切断しされることにより半導体装置11が形成される。
【0064】
上記実施形態によれば、以下のような特徴を得ることができる。
(1)集合体12にメタルマスク44を重ね合わせてハンダペースト49を印刷した後に、そのままの状態でリフローしてハンダペースト49を溶融させ、冷却させてハンダ端子16を形成するようにした。そして、冷却後にメタルマスク44を集合体12から取り去るようにした。
【0065】
従って、ハンダペースト49を印刷してすぐにメタルマスク44を集合体12から取り去ると、抜け性が安定せずに、メタルマスク44へのハンダペースト49の付着が生じることがあったが、メタルマスク44を取り去る前に、リフローと冷却を行うようにしたので、抜け性を安定させることができる。
【0066】
その結果、ハンダ端子16の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子16同士のショートが生じないようにすることができる。また、リフローと冷却とを併用することで、温度制御を容易にして温度のばらつきを抑えることができ、効率よく集合体12の温度管理をすることができる。
【0067】
(2)集合体12にメタルマスク44を重ね合わせてハンダペースト49を印刷した後に、位置決めブロック32(加熱冷却ステージ39)に埋設されている棒状ヒータ39aによってリフローしてハンダ端子16を形成するようにした。
【0068】
従って、ハンダ端子16を形成するためのリフローのために、リフロー炉のような新たな設備を備えることがない。その結果、加熱冷却ステージ39に埋設した棒状ヒータ39aによってリフローできるようにしたので、印刷機30をリフロー用の装置と兼用することができ、半導体装置11を製造するための設備を簡略化することができる。
【0069】
(3)集合体12にメタルマスク44を重ね合わせてハンダペースト49を印刷し、リフローした後に、位置決めブロック32に埋設されている冷却パイプ39bを使用して、ハンダ端子16を冷却するようにした。
【0070】
従って、ハンダ端子16を冷却するために、新たな設備を備えることなく、加熱冷却ステージ39に埋設した冷却パイプ39bによって冷却できるようにしたので、印刷機30を冷却用の装置と兼用することでき、半導体装置11を製造するための設備を簡略化することができる。
【0071】
(4)ハンダペースト49は、鉛フリーハンダのペーストを使用するようにした。従って、印刷工程により集合体12の上に形成されるハンダ端子16を、鉛フリーハンダによるものとすることができる。その結果、鉛による環境汚染を防止することができる。
【0072】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態においては、印刷機30の位置決めブロック32に冷却パイプ39bを備えるようにしたが、備えないようにしてもよい。
【0073】
・上記実施形態においては、冷却パイプ39bを使用して集合体12を空冷するようにしたが、水冷するようにしてもよい。
・上記実施形態においては、集合体12をリフローするときに、200℃程度まで加熱するようにしたが、ハンダペースト49が溶融する温度であれば、その他の温度でもよい。
【0074】
・上記実施形態においては、集合体12を冷却するときに、150℃程度まで冷却するようにしたが、ハンダ端子16とメタルマスク44の開口部44aの内壁面との間の抜け性が確保できるのであれば、その他の温度でもよい。
【0075】
・上記実施形態においては、リフローは、1回のみ行うようにした。これを、複数回行うようにしてもよい。例えば、集合体12からメタルマスク44を分離させた後に、再度リフローを行うようにしてもよい。このようにすれば、ハンダ端子16を再溶融させて、高さや体積の精度をより高め、表面形状の均一なものにすることができる。
【0076】
・上記実施形態においては、加熱手段として棒状ヒータ39aを使用して説明した。これを、その他の加熱手段を使用するようにしてもよい。なお、その他の加熱手段として、例えば、光、赤外、近赤外或いは熱風等によるエネルギーを照射する装置をメタルマスク44の上方に配置して使用するものとしてもよい。あるいは、これらの組み合わせでもよい。
【0077】
・上記実施形態における、集合体12のリフロー及び冷却は、窒素雰囲気或いはアルゴン雰囲気の無酸化状態で行うようにしてもよい。
・上記実施形態においては、ハンダペースト49は鉛フリーハンダのペーストであるようにした。これを、鉛含有のハンダペーストとするようにしてもよい。
【0078】
【発明の効果】
以上、詳述したように、請求項1〜10に記載の発明によれば、安定した抜け性でハンダ端子とメタルマスクとを分離することができる。そして、ハンダ端子の大きさを均一にするとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができる。
【0079】
加えて、請求項2及び7に記載の発明によれば、効率よく集合体の温度管理をすることができる。
加えて、請求項8及び9に記載の発明によれば、半導体装置を製造するための設備を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態における、複数の半導体装置の集合体を示す部分断面図である。
【図2】同じく、印刷機の斜視図である。
【図3】同じく、印刷機の部分断面図である。
【図4】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図5】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図6】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図7】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図8】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図9】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図10】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図11】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図12】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図13】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図14】従来における、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図15】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図16】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図17】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【符号の説明】
11 半導体装置
12 集合体
16 ハンダ端子
23 ハンダ端子形成領域としてのランド部
35 スキージ
37 移動手段を構成するXYテーブル
38 移動手段を構成する昇降テーブル
39 保持手段としての加熱冷却ステージ
39a 棒状ヒータ
39b 冷却パイプ
44 メタルマスク
44a 開口部
49 ハンダペースト
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体装置の製造方法及びその製造装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯機器等の普及により半導体装置の超小型化に対する要求が高まっており、CSP(チップサイズパッケージ)が適用された半導体装置の開発が多く行われている。そして、このCSPが適用された半導体装置のパッケージング法式として、WLP(ウェハレベルパッケージ)方式が注目されている。
【0003】
このWLP方式は、半導体ウェハレベルで樹脂封止やボンディングを行った後に、半導体ウェハを切断して半導体装置を形成する方式である。すなわち、半導体ウェハをチップ毎にダイシングしてから樹脂封止やボンディングをするという従来の方式に比較して、半導体装置をより小型化できるという利点がある。
【0004】
そして、このWLP方式を採用した半導体装置を基板に対して実装する際には、接続端子として、狭ピッチ化に有利なハンダ端子が多く採用されている。そして、このハンダ端子の形成方法としては、印刷法やボール搭載法などがあるが、コスト低減などの目的から、印刷法が注目されている(例えば、特許文献1参照。)。
【0005】
図14〜図17に、この印刷法を採用した場合の半導体装置におけるハンダ端子の形成方法を示す。まず、図14に示すように、半導体ウェハ73の上に、それぞれ、電極73a、第1及び第2の樹脂層73b,73c、配線74が形成された半導体装置71の集合体75を用意し、その集合体75を印刷機にセットする。次いで、複数箇所に開口部76を備えるメタルマスク77を前記集合体75上に配置する。なお、各開口部76は、第2の樹脂層73cの開口部78から露出している配線74の露出部79とオーバーラップするようにして設けておく。
【0006】
そして、メタルマスク77の上面にハンダペースト81を載せて、スキージ82をメタルマスク77の上面に押し付けながら水平方向に動かすことにより、ハンダペースト81を開口部76内に埋め込む。図15は、ハンダペースト81の埋め込みが終了した状態を示している。
【0007】
この後、図16に示すように、集合体75からメタルマスク77を剥がす。そして、集合体75をリフロー炉に移してリフローを行うと、図17に示すように、ハンダペースト81が溶融して表面張力により半球状のハンダ端子72となる。
【0008】
【特許文献1】
米国特許出願公開第2002/0008320号明細書
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記従来の方法においては、ハンダペースト81自体は密着性の高い材料であるため、メタルマスク77とハンダペースト81との抜け性が安定しないことがあった。例えば、図16の右側に示すように、メタルマスクの開口部76内に、ハンダペースト81の付着物81aが残存してしまうことがあった。
【0010】
その結果、図17の右側に示すように、リフロー後に形成されるハンダ端子72の形状が、小さくなってしまうことがあり、隣り合うハンダ端子72の大きさが不均一となることがあった。そして、ハンダ端子72が不均一になることにより、半導体装置を基板に実装する時の接合性が低下してしまうことがあった。
【0011】
また、脆弱な材料で形成されている半導体装置においては、ハンダ端子の体積が小さいと、実装時にハンダ端子を介して半導体装置に大きな応力が加わってしまい、破損が生じることがあった。従って、この応力を緩和するために、ハンダ端子72の体積を大きくしたいという要望が生じていた。しかし、上記従来のハンダ端子の形成方法において、ハンダ端子72の体積を増大させると、リフロー後に隣り合うハンダ端子72同士が付着しショートが発生することがあり、狭ピッチ化を阻害する原因となっていた。
【0012】
本発明は、WLP方式を採用した半導体装置において、ハンダ端子の大きさを均一にすると共に、隣り合うハンダ端子同士のショートを回避することのできる半導体装置の製造方法及びその製造装置を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ハンダペーストを半導体装置本体のハンダ端子形成領域にメタルマスクにてスキージ印刷し、前記ハンダ端子形成領域に印刷されたハンダペーストを溶融することによって半導体装置本体にハンダ端子を形成するようにした半導体装置の製造方法において、前記半導体装置本体の集合体とメタルマスクとを、前記半導体装置本体のハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した開口部が相対向するように重ね合わせ、前記ハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した前記開口部を介してハンダペーストを印刷する印刷工程と、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記開口部内のハンダペーストを溶融させて前記ハンダ端子を形成する溶融工程と、前記溶融工程後に、前記メタルマスクを前記集合体から取り去る分離工程とからなる。
【0014】
本発明によれば、集合体にハンダペーストを印刷してすぐにメタルマスクを集合体から取り去ると、抜け性が安定せずにメタルマスクにハンダペーストが付着してしまうことがあるが、メタルマスクを取り去る前にリフローしているので、安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0015】
この半導体装置の製造方法において、前記溶融工程後と前記分離工程との間に、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記ハンダ端子を冷却させる冷却工程を備える。
【0016】
これによれば、集合体にハンダペーストを印刷した後にリフローしたのみの場合に比較して、ハンダ端子を冷却することにより、より安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができるようになる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0017】
また、リフローと冷却とを併用することで、温度制御を容易にして温度のばらつきを抑えることができ、効率よく集合体の温度管理をすることができる。
この半導体装置の製造方法において、前記溶融工程は、前記ハンダペーストを200℃程度までリフローする工程である。
【0018】
これによれば、ハンダペーストを溶融できる温度にリフローすることができ、確実に半球状のハンダ端子を形成できるようになる。
この半導体装置の製造方法において、前記冷却工程は、前記ハンダペーストを150℃程度まで冷却する工程である。
【0019】
これによれば、ハンダ端子とメタルマスクとが付着しない温度まで冷却することができ、付着が生じることなく安定した抜け性でハンダ端子とメタルマスクとを分離できるようになる。
【0020】
また、この半導体装置の製造方法にいて、前記ハンダペーストは、鉛フリーハンダのペーストである。
これによれば、鉛による環境汚染を防止することができる。
【0021】
本発明は、複数の半導体装置本体が形成された集合体を保持する保持手段と、開口部が形成されたメタルマスクと、前記集合体と前記メタルマスクとを、前記各半導体装置本体のハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した前記開口部が相対向するように重ね合わせる移動手段と、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記メタルマスク上のハンダペーストを前記開口部に充填するスキージと、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記開口部に充填された前記ハンダペーストを溶融する加熱手段とを備える。
【0022】
本発明によれば、集合体にハンダペーストを印刷してすぐにメタルマスクを集合体から取り去ると、抜け性が安定せずにメタルマスクにハンダペーストが付着してしまうことがあるが、メタルマスクを取り去る前にリフローしているので、安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0023】
この半導体装置の製造装置において、前記保持手段が前記集合体を保持した状態で前記集合体を冷却可能な冷却手段を備える。
これによれば、集合体にハンダペーストを印刷した後にリフローしたのみの場合に比較して、ハンダ端子を冷却することにより、より安定した抜け性でメタルマスクを抜くことができるようになる。その結果、ハンダ端子の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができるようになる。
【0024】
また、リフローと冷却とを併用することで、温度制御を容易にして温度のばらつきを抑えることができ、効率よく集合体の温度管理をすることができる。
この半導体装置の製造装置において、前記加熱手段は、前記保持手段に埋設されている棒状ヒータである。
【0025】
これによれば、リフローのために、リフロー炉のような新たな設備を備えることなく、保持手段に埋設した棒状ヒータによってリフローできるようにしたので、ハンダペーストの印刷を行うための装置と兼用することができ、半導体装置を製造するための設備を簡略化することができる。
【0026】
この半導体装置の製造装置において、前記冷却手段は、前記保持手段に埋設されている、冷却パイプに、少なくとも、空気、あるいは、水を通過させて冷却させる手段である。
【0027】
これによれば、ハンダ端子を冷却するために、新たな装置を設けることなく、保持手段に埋設した冷却パイプによって冷却できるようにしたので、ハンダペーストの印刷を行うための装置と兼用することができ、半導体装置を製造するための設備を簡略化することができる。
【0028】
この半導体装置の製造装置において、前記ハンダペーストは鉛フリーハンダのペーストである。
これによれば、鉛による環境汚染を防止することができる。
【0029】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図1〜図13に従って説明する。図1は、本実施形態における複数の半導体装置の集合体を示す部分断面図である。また、図2及び図3は、本実施形態における半導体装置を製造する製造装置としての印刷機の斜視図及び部分断面図であり、図4〜図13は、同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【0030】
図1は、半導体装置11の集合体12を示しており、この集合体12を切断位置12aにおいて切断することによって、複数の半導体装置11が得られるようになっている。そして、半導体装置11は、そのパッケージサイズが半導体チップにほぼ等しいので、CSPに分類することができる。また、半導体装置11は、半導体チップ14と、配線15と、ハンダ端子16と、第1及び第2の樹脂層17,18とを備えている。
【0031】
半導体チップ14は、図1においては、半導体ウェハ19の状態となっている。そして、半導体チップ14は、その能動面14aに複数の電極21を有する。さらに、半導体チップ14の能動面14aの全体には、電極21を避けて、SiN、SiO2、MgOなどのパッシベーション膜22が形成されている。パッシベーション膜22は電気的な絶縁膜である。そして、本実施形態では、半導体チップ14、配線15とで半導体装置本体を構成している。
【0032】
配線15は、電極21に電気的に接続されており、複数の材料、例えば、銅(Cu)、クロム(Cr)、チタン(Ti)、ニッケル(Ni)、チタンタングステン(TiW)、金(Au)、アルミニウム(Al)、ニッケルバナジウム(NiV)、タングステン(W)等を積層することにより形成されている。電極21が半導体チップ14の端部に形成されている場合には、半導体チップ14の中央方向に配線15を引き込む。各電極21に接続されて配線15が形成されることによって、パッシベーション膜22の上面に配線パターンが形成される。
【0033】
ハンダ端子16は、電極21の真上を避けて、配線15上に半球状に形成されている。詳しくは、ハンダ端子16は、鉛フリーハンダにより形成されており、配線15の例えばランド部23に形成されている。ハンダ端子形成領域としてのランド部23は、電極21から引き出される部分(ライン)よりも面積が大きく形成されている。ハンダ端子16は、電極21の真上を避けているので、ハンダ端子16に加えられた応力が電極21に直接加えられないようになっている。ハンダ端子16は、回路基板との電気的な接合に使用される。
【0034】
第1の樹脂層17は、複数層で形成されてもよいが、図1に示す例では1層で形成されている。第1の樹脂層17は、応力緩和機能を有してもよく、例えば、ポリイミド樹脂、シリコーン変性ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン変性エポキシ樹脂で形成することができる。また、ベンゾシクロブテン(BCB;benzocyclobutene)、ポリベンゾオキサゾール(PBO;polybenzoxazole)等で形成することもできる。
【0035】
第1の樹脂層17は、配線15の下を含む領域に形成されている。詳しくは、第1の樹脂層17はパッシベーション膜22の上に形成され、第1の樹脂層17の上に、ランド部23及びそれに接続されるラインが形成されている。言い換えれば、第1の樹脂層17は、少なくとも配線15と半導体チップ14との間に形成されている。
【0036】
第2の樹脂層18は、1層又は複数層で形成されている。第2の樹脂層18は、配線15の上を含む領域に形成されている。第2の樹脂層18は、上述の第1の樹脂層17と同様の材料からなっていてもよく、少なくとも1層が応力緩和機能を有してもよい。あるいは、第2の樹脂層18は、第1の樹脂層17とは異なる材料で形成されてもよい。
【0037】
図1に示す例では、第2の樹脂層18は、最上層24と最下層25とを含む。最下層25は、配線15のうちランド部23を避けて形成されている。また、最下層25は、第1の樹脂層17の上に形成されていてもよい。
【0038】
第2の樹脂層18が1層からなる場合には、最上層24が最下層25に代わって配線15を覆うように形成されていてもよい。最上層24は、ハンダ端子16の根元周囲に形成されている。あるいは、ハンダ端子16の先端部を除いて、ハンダ端子16の側部を覆うまで形成されていもよい。いずれにしても、最上層24の一部が除去されることによって、ハンダ端子16は少なくとも先端部が露出している。
【0039】
本実施の形態に係る半導体装置11は、第1の樹脂層17が、その平面形状が半導体チップ14の外周よりも内側に位置するように形成されている。詳しくは、第1の樹脂層17が、半導体チップ14の端部を避けて形成されている。その場合、図1に示すように、第2の樹脂層18も、半導体チップ14の端部を避けて形成されてもよい。
【0040】
次に、本実施形態における半導体装置11に前記ハンダ端子16を形成するための製造装置としての印刷機30について説明する。
図2に示すように、印刷機30は、基台31と、位置決めブロック32と、スクリーンマスク33と、同スクリーンマスク33を保持するマスク保持部34と、スキージ35と、同スキージ35を保持するスキージ保持部36とを備える。
【0041】
位置決めブロック32は、前記半導体装置11の集合体12(半導体ウェハ19)を保持しながら、同集合体12を、図2の矢印X方向、Y方向、Z方向に位置決めするためのものである。そして、位置決めブロック32は、基台31上に載置されているXYテーブル37と、同XYテーブル37の上に設けられている昇降テーブル38と、昇降テーブル38の上に設けられている保持手段としての加熱冷却ステージ39とを備える。
【0042】
XYテーブル37は、図示しないモータにより駆動され、図2の矢印X方向及びY方向に移動可能となっており、XYテーブル37の上に設けられた昇降テーブル38や加熱冷却ステージ39の、矢印X方向及びY方向の位置決めをするようになっている。また、昇降テーブル38は、図示しないモータにより駆動され、図2の矢印Z方向に移動するようになっており、昇降テーブル38の上に設けられた加熱冷却ステージ39の、矢印Z方向の位置決めをするようになっている。そして、これらXYテーブル37及び昇降テーブル38によって移動手段を構成するようになっている。
【0043】
加熱冷却ステージ39は、昇降テーブル38の上に設けられ、その上面の凹部41に、図示しない搬送コンベア等を介して集合体12が搬送され、載置されるようになっている。そして、図3に示すように、この加熱冷却ステージ39の内部には、棒状ヒータ39a及び冷却パイプ39bが備えられており、加熱冷却ステージ39の上面に載置された集合体12をリフローするとともに冷却できるようになっている。なお、本実施形態においては、冷却パイプ39bと、同冷却パイプ39bを通過する空気によって空冷の冷却手段が構成されている。
【0044】
なお、この加熱冷却ステージ39に、凹部41内と外部とを連通する図示しない小孔等を設けるようにしてもよい。このようにすれば、集合体12を凹部41に載置した状態で、小孔を介して真空で引いて固定することができ、集合体12の位置決めを容易にすることができる。
【0045】
以上により、集合体12は、加熱冷却ステージ39上で固定された状態で、XYテーブル37及び昇降テーブル38によって図2のX,Y,Z方向のいずれかの位置に位置決めできるようになっている。
【0046】
図2に示すように、スクリーンマスク33は、枠型のホルダ43の下面に金属製のメタルマスク44を装着して構成される。このメタルマスク44には、図3に示すように、開口部44aが複数形成されている。なお、この開口部44aの大きさは、メタルマスク44全体の大きさに比して小さいため、図2においてはその図示を省略している。
【0047】
図2に示すように、マスク保持部34は、枠型のフレーム45と、同フレーム45を前記基台31に対して支持する4本の支柱46とを備える。そして、フレーム45のうち、図2の矢印Y方向に沿って設けられている、向かい合う2辺は、ガイド部47,48となっており、そのガイド部47,48に設けられた係止部47a,48aに、前記スクリーンマスク33が係止されている。
【0048】
スキージ保持部36は、前記ガイド部47,48の上に載置され、図示しないモータによって図2の矢印Y方向に移動可能となっている。また、スキージ保持部36には、図2の矢印X方向に延びるようにしてスキージ35が保持されており、スキージ35の下側の先端部は前記メタルマスク44に接するようになっている。すなわち、スキージ35は、スキージ保持部36の矢印Y方向の移動に伴って、メタルマスク44に接しながらスライドするようになっている。
【0049】
そして、図3に示すように、加熱冷却ステージ39に固定された集合体12を前記メタルマスク44の下面側の近傍位置まで移動させた状態で、前記スキージ35をスライドさせると、メタルマスク44の前記開口部44aを介して、ハンダペースト49が集合体12の上面に塗布されるようになる。なお、本実施形態においては、ハンダペースト49は、鉛フリーハンダのペーストとなっている。
【0050】
次に、以上のような印刷機30を使用して、半導体装置11を製造する製造方法について説明する。
まず、図4に示すように、半導体ウェハ19に、各半導体チップ14の電極21の少なくとも一部を避けてパッシベーション膜22を形成し、集合体12とする。その後、この集合体12に、各半導体チップ14の配線15を形成するための第1の樹脂層17を露光技術等によって形成する。
【0051】
次に、開口51,52が形成されたマスク53を、集合体12の第1の樹脂層17の上方に配置して、エネルギー54を照射する。そしてその後、現像を行い、図5に示すように、開口51,52のそれぞれに対応する位置に穴55及び開口部56を形成する。
【0052】
穴55は、電極21を露出させるためのもので、電極21ごとに形成する。開口部56は、切断位置12aに沿って一体的に開口させて形成する。言い換えると、隣接する半導体装置11の境界線に沿って、開口部56が形成される。
【0053】
次に、図6に示すように、集合体12の電極21から第1の樹脂層17上にかけて、配線15を形成する。配線15は、フォトリソグラフィ、スパッタ又はめっき処理等によって形成してもよい。配線15の一部にランド部23を形成する場合には、ランド部23を第1の樹脂層17の上に形成する。配線15は、第1の樹脂層17の穴55の内面にも形成する。
【0054】
その後、集合体12の第1の樹脂層17及び配線15上に最下層25を全面に形成する。そしてこのとき、第1の樹脂層17に形成した開口部56にも、最下層25の材料を充填する。
【0055】
次に、開口57,58が形成されたマスク59を、集合体12の最下層25の上方に配置して、エネルギー61を照射する。そしてその後、現像を行い、図7に示すように開口57,58それぞれに対応する位置に開口部62及び穴63を形成する。開口部62は、切断位置12aに沿って、すなわち、前記開口部56と重なる位置に形成される。また、穴63は、配線15の一部(ランド部23)を露出させるものである。
【0056】
続いて、印刷工程に移り、集合体12の前記ランド部23の上に、ハンダ端子16を形成する。詳しくは、まず、図2に示す前記印刷機30の位置決めブロック32の前記加熱冷却ステージ39の上に集合体12を載置する。そして、前記XYテーブル37及び昇降テーブル38を駆動させて、図3に示すように、集合体12をメタルマスク44の真下の位置まで移動させる。このとき、図8に示すように、メタルマスク44に形成されている開口部44aと、前記穴63(ランド部23)との位置が重なるようにする。
【0057】
なお、この開口部44aは、形成されるハンダ端子16の体積をなるべく大きくする目的で、水平方向の断面形状が四角形となるように形成されている。また、ハンダ端子16とメタルマスク44との抜け性の安定性を向上させるために、この開口部44aは、抜け方向に向かって、水平方向の断面積が小さくなるようなテーパ形状となっていてもよい。
【0058】
そして、印刷機30のスキージ35を、図2の矢印Y方向に移動させ、図8に示すように、ハンダペースト49をメタルマスク44の開口部44aに押し込む。これにより、ハンダペースト49が開口部44aを介して集合体12の穴63(ランド部23)に供給され、ハンダペースト49が集合体12に印刷される(図9参照)。
【0059】
次に、溶融工程に移り、集合体12にメタルマスク44を重ね合わせたままの状態で、図3に示した前記棒状ヒータ39aを使用して、集合体12を200℃程度まで加熱リフローする。すると、図10に示すように、ハンダペースト49が溶融し、表面張力により形状が半球状に変化して、ハンダ端子16が形成される。さらに、この状態で冷却工程に移り、図3に示した冷却パイプ39bを使用して集合体12を150℃程度まで空冷し、ハンダ端子16を冷やし固める。
【0060】
この結果、メタルマスク44の開口部44aの内壁面とハンダ端子16との間の抜け性が良好になる。そして、分離工程に移り、前記XYテーブル37及び昇降テーブル38(図2参照)を駆動させて、集合体12とメタルマスク44とを分離させる。すると、ハンダ端子16は開口部44aに付着することなくメタルマスク44から分離される。
【0061】
続いて、図11に示すように、非感光性の樹脂からなる最上層24を、最下層25及びハンダ端子16の上の全面に設ける。この場合に、開口部56,62にも最上層24の材料を充填する。
【0062】
その後、図1に示すように、プラズマ等を用いたドライエッチングによって、一部を物理的に除去することによって、ハンダ端子16の少なくとも先端部を露出させる。同様にして開口部56,62に充填された部分も除去し、さらに開口部64を形成する。
【0063】
続いて、図12及び図13に示すように、切断位置12aに沿って、集合体12を個片に切断する。すなわち、集合体12が個片化されて複数の半導体装置11を形成される。詳しくは、集合体12が、電極21が形成された面の側からブレード65を使用して切断しされることにより半導体装置11が形成される。
【0064】
上記実施形態によれば、以下のような特徴を得ることができる。
(1)集合体12にメタルマスク44を重ね合わせてハンダペースト49を印刷した後に、そのままの状態でリフローしてハンダペースト49を溶融させ、冷却させてハンダ端子16を形成するようにした。そして、冷却後にメタルマスク44を集合体12から取り去るようにした。
【0065】
従って、ハンダペースト49を印刷してすぐにメタルマスク44を集合体12から取り去ると、抜け性が安定せずに、メタルマスク44へのハンダペースト49の付着が生じることがあったが、メタルマスク44を取り去る前に、リフローと冷却を行うようにしたので、抜け性を安定させることができる。
【0066】
その結果、ハンダ端子16の大きさを均一にすることができるようになるとともに、隣り合うハンダ端子16同士のショートが生じないようにすることができる。また、リフローと冷却とを併用することで、温度制御を容易にして温度のばらつきを抑えることができ、効率よく集合体12の温度管理をすることができる。
【0067】
(2)集合体12にメタルマスク44を重ね合わせてハンダペースト49を印刷した後に、位置決めブロック32(加熱冷却ステージ39)に埋設されている棒状ヒータ39aによってリフローしてハンダ端子16を形成するようにした。
【0068】
従って、ハンダ端子16を形成するためのリフローのために、リフロー炉のような新たな設備を備えることがない。その結果、加熱冷却ステージ39に埋設した棒状ヒータ39aによってリフローできるようにしたので、印刷機30をリフロー用の装置と兼用することができ、半導体装置11を製造するための設備を簡略化することができる。
【0069】
(3)集合体12にメタルマスク44を重ね合わせてハンダペースト49を印刷し、リフローした後に、位置決めブロック32に埋設されている冷却パイプ39bを使用して、ハンダ端子16を冷却するようにした。
【0070】
従って、ハンダ端子16を冷却するために、新たな設備を備えることなく、加熱冷却ステージ39に埋設した冷却パイプ39bによって冷却できるようにしたので、印刷機30を冷却用の装置と兼用することでき、半導体装置11を製造するための設備を簡略化することができる。
【0071】
(4)ハンダペースト49は、鉛フリーハンダのペーストを使用するようにした。従って、印刷工程により集合体12の上に形成されるハンダ端子16を、鉛フリーハンダによるものとすることができる。その結果、鉛による環境汚染を防止することができる。
【0072】
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態においては、印刷機30の位置決めブロック32に冷却パイプ39bを備えるようにしたが、備えないようにしてもよい。
【0073】
・上記実施形態においては、冷却パイプ39bを使用して集合体12を空冷するようにしたが、水冷するようにしてもよい。
・上記実施形態においては、集合体12をリフローするときに、200℃程度まで加熱するようにしたが、ハンダペースト49が溶融する温度であれば、その他の温度でもよい。
【0074】
・上記実施形態においては、集合体12を冷却するときに、150℃程度まで冷却するようにしたが、ハンダ端子16とメタルマスク44の開口部44aの内壁面との間の抜け性が確保できるのであれば、その他の温度でもよい。
【0075】
・上記実施形態においては、リフローは、1回のみ行うようにした。これを、複数回行うようにしてもよい。例えば、集合体12からメタルマスク44を分離させた後に、再度リフローを行うようにしてもよい。このようにすれば、ハンダ端子16を再溶融させて、高さや体積の精度をより高め、表面形状の均一なものにすることができる。
【0076】
・上記実施形態においては、加熱手段として棒状ヒータ39aを使用して説明した。これを、その他の加熱手段を使用するようにしてもよい。なお、その他の加熱手段として、例えば、光、赤外、近赤外或いは熱風等によるエネルギーを照射する装置をメタルマスク44の上方に配置して使用するものとしてもよい。あるいは、これらの組み合わせでもよい。
【0077】
・上記実施形態における、集合体12のリフロー及び冷却は、窒素雰囲気或いはアルゴン雰囲気の無酸化状態で行うようにしてもよい。
・上記実施形態においては、ハンダペースト49は鉛フリーハンダのペーストであるようにした。これを、鉛含有のハンダペーストとするようにしてもよい。
【0078】
【発明の効果】
以上、詳述したように、請求項1〜10に記載の発明によれば、安定した抜け性でハンダ端子とメタルマスクとを分離することができる。そして、ハンダ端子の大きさを均一にするとともに、隣り合うハンダ端子同士のショートが生じないようにすることができる。
【0079】
加えて、請求項2及び7に記載の発明によれば、効率よく集合体の温度管理をすることができる。
加えて、請求項8及び9に記載の発明によれば、半導体装置を製造するための設備を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態における、複数の半導体装置の集合体を示す部分断面図である。
【図2】同じく、印刷機の斜視図である。
【図3】同じく、印刷機の部分断面図である。
【図4】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図5】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図6】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図7】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図8】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図9】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図10】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図11】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図12】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図13】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図14】従来における、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図15】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図16】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【図17】同じく、半導体装置の製造方法の説明図である。
【符号の説明】
11 半導体装置
12 集合体
16 ハンダ端子
23 ハンダ端子形成領域としてのランド部
35 スキージ
37 移動手段を構成するXYテーブル
38 移動手段を構成する昇降テーブル
39 保持手段としての加熱冷却ステージ
39a 棒状ヒータ
39b 冷却パイプ
44 メタルマスク
44a 開口部
49 ハンダペースト
Claims (10)
- ハンダペーストを半導体装置本体のハンダ端子形成領域にメタルマスクにてスキージ印刷し、前記ハンダ端子形成領域に印刷された前記ハンダペーストを溶融することによって半導体装置本体にハンダ端子を形成するようにした半導体装置の製造方法において、
前記半導体装置本体の集合体とメタルマスクとを、前記半導体装置本体のハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した開口部が相対向するように重ね合わせ、前記ハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した前記開口部を介してハンダペーストを印刷する印刷工程と、
前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記開口部内のハンダペーストを溶融させて前記ハンダ端子を形成する溶融工程と、
前記溶融工程後に、前記メタルマスクを前記集合体から取り去る分離工程とからなる半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
前記溶融工程後と前記分離工程との間に、前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記ハンダ端子を冷却させる冷却工程を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法において、前記溶融工程は、前記ハンダペーストを200℃程度までリフローする工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項2又は3に記載の半導体装置の製造方法において、前記冷却工程は、前記ハンダペーストを150℃程度まで冷却する工程であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法において、前記ハンダペーストが鉛フリーハンダのペーストであることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 複数の半導体装置本体が形成された集合体を保持する保持手段と、
開口部が形成されたメタルマスクと、
前記集合体と前記メタルマスクとを、前記各半導体装置本体のハンダ端子形成領域に前記メタルマスクに形成した前記開口部が相対向するように重ね合わせる移動手段と、
前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記メタルマスク上のハンダペーストを前記開口部に充填するスキージと、
前記メタルマスクを前記集合体に重ね合わせた状態で、前記開口部に充填された前記ハンダペーストを溶融する加熱手段と
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 請求項6に記載の半導体装置の製造装置において、
前記保持手段が前記集合体を保持した状態で前記集合体を冷却可能な冷却手段を備えたことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 請求項6又は7に記載の半導体装置の製造装置において、前記加熱手段は、前記保持手段に埋設されている棒状ヒータであることを特徴とする半導体装置の製造装置。
- 請求項7又は8に記載の半導体装置の製造装置において、前記冷却手段は、前記保持手段に埋設されている、冷却パイプに、少なくとも、空気、あるいは、水を通過させて冷却させる手段であることを特徴とする半導体装置の製造装置。
- 請求項6〜9のいずれか1つに記載の半導体装置の製造装置において、
前記ハンダペーストが鉛フリーハンダのペーストであることを特徴とする半導体装置の製造装置。
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JP2008034816A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-02-14 | Denso Corp | 配線基板 |
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CN113584430A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-11-02 | 福建华佳彩有限公司 | 一种掩膜框结构及掩膜板制作方法 |
-
2003
- 2003-02-12 JP JP2003034095A patent/JP2004006657A/ja active Pending
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