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JP2004048045A - Manufacturing method for multilayer wiring substrate - Google Patents

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JP2004048045A JP2003318607A JP2003318607A JP2004048045A JP 2004048045 A JP2004048045 A JP 2004048045A JP 2003318607 A JP2003318607 A JP 2003318607A JP 2003318607 A JP2003318607 A JP 2003318607A JP 2004048045 A JP2004048045 A JP 2004048045A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a multilayer wiring substrate in which the multilayer wiring substrate of a fine wiring pattern pitch of 10 μm or less is manufactured at a low cost, the occurrence of inconsistency in a photolithography process due to warping is prevented, and a problem that a manufacturing process extends over a long period of time due to a long etching time is prevented. <P>SOLUTION: A multilayer wiring structure is formed on a flat metal plate 1. Then the metal plate 1 is removed by etching all over the surface, to leave only a multilayer wiring layer 9. An insulating substrate 11 having an aperture 12 and the multilayer wiring layer 9 are bonded together. Then the apertured part 12 is filled with a conductive adhesive 13, to mount a semiconductor chip 14 and to join a solder ball 17. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

　本発明は多層配線基板上に半導体チップを搭載したフリップチップ型半導体装置及びその製造方法に関し、特に製造コストが低廉であり、多層配線基板の配線パターンのピッチを１０μｍ以下とすることが可能なフリップチップ型半導体装置及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a flip-chip type semiconductor device in which a semiconductor chip is mounted on a multilayer wiring board and a method of manufacturing the same. The present invention relates to a chip-type semiconductor device and a method for manufacturing the same.

　図１４（ａ）、（ｂ）は従来のフリップチップ型半導体装置１０１を示す。図１４（ａ）に示すフリップチップ型半導体装置１０１においては、半導体チップ１０２上に外部端子（図示せず）がチップの周辺部又は活性領域上にエリアアレー配列で形成されており、この外部端子上に、半田、Ａｕ又はＳｎ-Ａｇ系合金等の金属材料により、突起状のバンプ１０３が形成されている。 FIGS. 14A and 14B show a conventional flip-chip type semiconductor device 101. FIG. In the flip-chip type semiconductor device 101 shown in FIG. 14A, external terminals (not shown) are formed on a semiconductor chip 102 in an area array arrangement on a peripheral portion or an active region of the chip. A bump 103 having a protruding shape is formed of a metal material such as solder, Au, or a Sn—Ag alloy on the upper surface.

　このフリップチップ型半導体装置１０１は、図１４（ｂ）に示すように、多層配線実装基板１０４上に実装される。多層配線実装基板１０４には、電極パッドがフリップチップ型半導体装置１０１のバンプ配列パターンと同一パターンで形成されており、エンドユーザにおいては、このフリップチップ型半導体装置１０１をそのバンプ１０３と前記電極パッドとを整合させて多層配線実装基板１０４に実装する。このフリップチップ型半導体装置１０１を多層配線実装基板１０４に実装する際には、バンプ材料として半田を使用した場合には、通常、フラックス（Ｆｌｕｘ）を使用したＩＲリフロー工程で実装される。 This flip-chip type semiconductor device 101 is mounted on a multilayer wiring mounting board 104 as shown in FIG. Electrode pads are formed on the multilayer wiring mounting substrate 104 in the same pattern as the bump arrangement pattern of the flip-chip type semiconductor device 101. In the end user, the flip-chip type semiconductor device 101 is formed by using the bumps 103 and the electrode pads. And is mounted on the multilayer wiring mounting board 104. When the flip-chip type semiconductor device 101 is mounted on the multilayer wiring mounting board 104, when solder is used as a bump material, it is usually mounted in an IR reflow process using a flux.

　しかしながら、従来のフリップチップ型半導体装置１０１は、多層配線実装基板１０４に実装した後、多層配線実装基板１０４とフリップチップ型半導体装置１０１との線膨張係数のミスマッチにより、実装信頼性のうち、特に温度サイクル特性が劣化するという問題点が生じる。このような問題点を解決するために、従来、以下のような対策が施されている。 However, the conventional flip-chip type semiconductor device 101 is mounted on the multilayer wiring mounting substrate 104, and then, due to a mismatch in the coefficient of linear expansion between the multilayer wiring mounting substrate 104 and the flip-chip type semiconductor device 101, among the mounting reliability, There is a problem that the temperature cycle characteristics are deteriorated. Conventionally, the following measures have been taken to solve such problems.

　先ず、多層配線実装基板１０４の線膨張係数をシリコンの線膨張係数に近づけるために、材料としては高価であるＡｌＮ、ムライト又はガラスセラミックス等のセラッミックス系の材料を使用して、線膨張係数のミスマッチを最小限にし、これにより、実装信頼性を向上させるという試みがなされてきた。この試みは、実装信頼性の向上という観点では効果があったものの、多層配線基板の材料が高価なセラミックス系材料を使用しているため、一般的にはハイエンドのスーパーコンピューター又は大型コンピューター等に適用用途が限定されてしまう。 First, in order to make the coefficient of linear expansion of the multilayer wiring mounting board 104 close to the coefficient of linear expansion of silicon, an expensive material such as AlN, mullite, or glass ceramics is used. Attempts have been made to minimize this, thereby improving packaging reliability. Although this attempt was effective in terms of improving the mounting reliability, it was generally applied to high-end supercomputers or large-sized computers because the multilayer wiring board was made of an expensive ceramic material. Applications are limited.

　これに対して、近年、低廉でかつ線膨張係数係数が大きい有機系材料を使用した多層配線基板と、半導体チップとの間に、アンダーフィル樹脂を配置して、フリップチップ半導体装置を実装することにより、実装信頼性を向上できる技術が提案されている。このように、アンダーフィル樹脂を半導体チップと有機系材料を使用した多層配線基板との間に配置することにより、半導体チップと有機系材料を使用した多層配線基板との間に存在するバンプ接続部分に働くせん断応力を分散させ、実装信頼性を向上させることができる。このように、アンダーフィル樹脂を、半導体チップと有機系材料製の多層配線基板との間に介在させることにより、安価な有機系材料を使用した多層配線基板を使用することが可能となる。 On the other hand, in recent years, an underfill resin has been arranged between a semiconductor chip and a multilayer wiring board using an organic material which is inexpensive and has a large coefficient of linear expansion to mount a flip-chip semiconductor device. Thus, a technology capable of improving the mounting reliability has been proposed. By arranging the underfill resin between the semiconductor chip and the multilayer wiring board using the organic material, the bump connection portion existing between the semiconductor chip and the multilayer wiring board using the organic material can be obtained. Can be dispersed to improve mounting reliability. Thus, by interposing the underfill resin between the semiconductor chip and the multilayer wiring board made of an organic material, it is possible to use a multilayer wiring board using an inexpensive organic material.

　しかしながら、この従来技術においては、アンダーフィル樹脂内にボイドが存在した場合、又は、アンダーフィル樹脂と半導体チップとの界面及びアンダーフィル樹脂と有機系材料を使用した多層配線基板との界面の接着特性が悪い場合には、製品の吸湿リフロー工程で、前記界面の剥離現象が発生して、製品が不良となってしまうという問題点がある。このため、この従来技術により、確実にフリップチップ型半導体装置の低コスト化を推進できるというものではなかった。 However, according to this conventional technique, when a void is present in the underfill resin, or at the interface between the underfill resin and the semiconductor chip, and at the interface between the underfill resin and the multilayer wiring board using an organic material, the adhesive property is reduced. If the value is poor, there is a problem that the interface peeling phenomenon occurs in the moisture absorption and reflow step of the product, and the product becomes defective. For this reason, this conventional technique has not been able to reliably promote the cost reduction of the flip-chip type semiconductor device.

　また、一般的にフリップチップ型半導体装置の有機系材料を使用した多層配線基板には、バンプ配列パターンの最小ピッチ及びピン数の関係上、ビルドアップ基板と呼ばれる多層配線基板を使用するのが通常である。以下、このビルドアップ基板の製造方法を図１５及び図１６を参照して説明する。 Further, in general, a multilayer wiring board called a build-up board is generally used for a multilayer wiring board using an organic material of a flip-chip type semiconductor device because of a minimum pitch of a bump arrangement pattern and the number of pins. It is. Hereinafter, a method of manufacturing the build-up substrate will be described with reference to FIGS.

　先ず、図１５（ａ）において、絶縁性のガラスエポキシ系基材からなるコア基板１１０の両面に１０〜４０μｍ厚の所定厚さのＣｕ箔層１１１が貼りつけられ、更にパターニング処理されている。そして、コア基板１１０にドリル加工等で穴開けした後、孔内にスルーホールメッキ処理を施すことにより、貫通スルーホール部１１２が形成されており、これにより、コア基板１１０の表裏両面のＣｕ箔層１１１が電気的に接続されている。この場合に、後工程のプロセス安定性及び基板の品質安定性を考慮して貫通スルーホール部１１２には絶縁性のスルーホール穴埋め用樹脂１１３を充填するのが通常である。 First, in FIG. 15A, a Cu foil layer 111 having a predetermined thickness of 10 to 40 μm is attached to both surfaces of a core substrate 110 made of an insulating glass epoxy base material, and further subjected to a patterning process. Then, after drilling a hole in the core substrate 110 by drilling or the like, a through-hole plating portion is formed in the hole, thereby forming a through-hole portion 112. The layer 111 is electrically connected. In this case, the through-hole 112 is usually filled with an insulating resin 113 for filling the through-hole in consideration of the process stability in the subsequent process and the stability of the quality of the substrate.

　次に、図１５（ｂ）に示すように、コア基板１１０の表裏両面に存在するＣｕ配線パターン上に絶縁性樹脂１１４を配置し、所定の位置にフォトレジスト技術を使用したケミカルエッチング法又はレーザー加工技術等により絶縁性樹脂開口部１１５を形成する。 Next, as shown in FIG. 15B, the insulating resin 114 is disposed on the Cu wiring patterns present on both the front and back surfaces of the core substrate 110, and a chemical etching method using a photoresist technique or laser The insulating resin opening 115 is formed by a processing technique or the like.

　次に、図１５（ｃ）に示すように、電解Ｃｕメッキ処理の給電層及びコア基板上のＣｕ配線パターン部との電気的接続を確保するために、例えば、Ｔｉ又はＣｕ等の金属をスパッタリングすることにより、又はＣｕを無電解メッキすることにより、金属薄膜層１１６を形成する。 Next, as shown in FIG. 15C, in order to secure electrical connection between the power supply layer in the electrolytic Cu plating process and the Cu wiring pattern portion on the core substrate, for example, a metal such as Ti or Cu is sputtered. Or by electrolessly plating Cu, the metal thin film layer 116 is formed.

　その後、図１６（ａ）に示すように、電解Ｃｕメッキ処理による配線パターン形成のため、厚さが２０乃至４０μｍ程度のフォトレジスト１１７又はドライフィルムを金属薄膜層１１６上に配置し、露光・現像処理を実施する。 Thereafter, as shown in FIG. 16A, a photoresist 117 or a dry film having a thickness of about 20 to 40 μm is disposed on the metal thin film layer 116 to form a wiring pattern by electrolytic Cu plating, and is exposed and developed. Perform processing.

　その後、図１６（ｂ）に示すように、金属薄膜層１１６を給電層として電解Ｃｕメッキ処理することにより配線パターン部１１８を形成する。 Then, as shown in FIG. 16B, a wiring pattern portion 118 is formed by performing electrolytic Cu plating using the metal thin film layer 116 as a power supply layer.

　その後、図１６（ｃ）に示すように、フォトレジスト１１７又はドライフィルムを剥離した後、配線パターン部１１８をマスクにして金属薄膜層１１６をウエットエッチングすることにより除去して、配線パターン部１１８を電気的に独立させる。 Thereafter, as shown in FIG. 16C, the photoresist 117 or the dry film is peeled off, and the metal thin film layer 116 is removed by wet etching using the wiring pattern portion 118 as a mask, thereby removing the wiring pattern portion 118. Be electrically independent.

　そして、図１５（ｂ）乃至図１６（ｃ）の工程を繰り返すことにより、必要であれば６層又は８層のメタル構成の多層配線基板を作成することができる。 {Circle around (2)} By repeating the steps of FIG. 15B to FIG. 16C, a multilayer wiring board having a metal structure of six layers or eight layers can be formed if necessary.

　しかしながら、前述のビルドアップ基板の製造方法では、コア基板との熱膨張係数の不一致によるストレス緩和及び接続ビア（Ｖｉａ）部の信頼性等の多層配線基板の信頼性を考慮し、ビルドアップ層配線パターン部の厚さを確保するために、厚さが２０〜４０μｍ程度のフォトレジスト１１７又はドライフィルムを使用する必要性がある。よって、露光・現像工程でのパターン形成性は最小ピッチでも３０μｍ程度しか実現できなかった。結果として、配線パターンピッチが最小でも３０μｍ程度となってしまうため、多層配線基板の高密度性及び基板外形の小型化を推進することができない。また、通常ビルドアップ基板は、約５００ｍｍ×６００ｍｍの大きさの大パネル上にて一括して製品を作成して、最終工程にてカッティング処理を施して単体の多層配線基板を取り出す製造工程を採用するため、多層配線基板単体の外形寸法の小型化を推進することができれば、１パネル当たりの取り数を増加させることができる。しかしながら、現状のビルドアップ基板の製造方法では、前述の配線パターンピッチが最小でも３０μｍ程度にしか縮小できないため、多層配線基板単体の外形寸法を縮小させることができず、多層配線基板のコストを大幅に低減させることが困難であった。 However, in the above-described method of manufacturing the build-up board, the build-up wiring is performed in consideration of the reliability of the multilayer wiring board such as the stress relaxation due to the mismatch of the thermal expansion coefficient with the core board and the reliability of the connection via (Via) portion. In order to secure the thickness of the pattern portion, it is necessary to use a photoresist 117 or a dry film having a thickness of about 20 to 40 μm. Therefore, the pattern formability in the exposure / development process could be realized only about 30 μm at the minimum pitch. As a result, since the wiring pattern pitch is at least about 30 μm, it is not possible to promote the high density of the multilayer wiring board and the miniaturization of the board outer shape. In addition, a normal build-up board adopts a manufacturing process in which products are collectively created on a large panel of about 500 mm x 600 mm, and a cutting process is performed in the final process to take out a single multilayer wiring board. Therefore, if the miniaturization of the external dimensions of the multilayer wiring substrate alone can be promoted, the number per panel can be increased. However, in the current method of manufacturing a build-up board, the aforementioned wiring pattern pitch can be reduced to only about 30 μm at a minimum, so that the external dimensions of the multilayer wiring board alone cannot be reduced, and the cost of the multilayer wiring board increases significantly. It was difficult to reduce it.

　このような多層配線基板の製造方法においては、さらに反りの問題がある。コア基板１１０には反りが存在しており、ビルドアップ配線パターンを形成する露光・現像工程で、コア基板１１０に存在する反りによってレジストパターンの不整合が発生する。このような不整合は、製造歩留まりの低下を招くことになる。 製造 In such a method for manufacturing a multilayer wiring board, there is a further problem of warpage. The core substrate 110 has warpage, and in the exposure / development process for forming the build-up wiring pattern, the resist pattern mismatch occurs due to the warpage existing in the core substrate 110. Such an inconsistency leads to a decrease in manufacturing yield.

　更に、コア基板の反りを抑制させるために、コア基板の表裏両面にビルドアップ層を形成する必要があり、本来必要とはしないビルドアップ配線層まで形成する必要が存在した。その結果、有機系多層配線基板は、必要以上の多層化をしいられることになってしまい、製造歩留を低下させ、これが製造コストの削減を阻止する要因になっている。 Furthermore, in order to suppress the warpage of the core substrate, it is necessary to form build-up layers on both the front and back surfaces of the core substrate, and it is necessary to form a build-up wiring layer which is not originally required. As a result, the organic multi-layer wiring board is required to have an unnecessarily multi-layered structure, which lowers the production yield, which is a factor preventing the reduction of the production cost.

　なお、前述の問題点を解決する手段として、本願発明者等は特願平１１−２８４５６６号に開示の技術を提案した。この先行出願においては、平坦性かつ高い剛性を有する第１基板（Ｂａｓｅ基板）上に、第２基板層としてビルドアップ配線層が形成された構成を有している。なお、この先行出願は本発明の出願時に未だ公開されておらず、公知文献ではない。 As a means for solving the above-mentioned problems, the present inventors have proposed a technique disclosed in Japanese Patent Application No. 11-284566. This prior application has a configuration in which a build-up wiring layer is formed as a second substrate layer on a first substrate (Base substrate) having flatness and high rigidity. This prior application has not been published at the time of filing the present invention and is not a known document.

　その後、平坦性かつ高い剛性を有する第１基板（Ｂａｓｅ基板）層を選択的にエッチング除去し、外部電極コラム部を形成し、その後、外部電極コラム部の周囲に絶縁性応力緩衝樹脂層を形成した後に、外部端子として半田ボールを形成する構成となっている。 Thereafter, the first substrate (Base substrate) layer having flatness and high rigidity is selectively etched away to form an external electrode column portion, and thereafter, an insulating stress buffer resin layer is formed around the external electrode column portion. Then, a solder ball is formed as an external terminal.

　このように構成することにより、平面度を高く維持しつづけることができる基体又は基層に力学的に拘束して配線層、特に、多層配線を形成するので、その多層配線層の内部応力の発生が抑制され、半導体装置の製造工程における歩留を向上させることができる。 With this configuration, a wiring layer, particularly a multilayer wiring, is formed by being mechanically constrained to a base or a base layer capable of maintaining a high flatness, so that internal stress of the multilayer wiring layer is not generated. Thus, the yield in the semiconductor device manufacturing process can be improved.

　また、最終ユーザー側での基板実装用途で形成されている半田ボール部が、絶縁性応力緩衝樹脂層に囲まれている外部電極コラム部上に形成されているため、スタンドオフ高さを高くすることが可能となり、かつ絶縁性応力緩衝樹脂層の応力緩衝効果も加わるため、実装信頼性が優れたフリップチップ型半導体装置を得ることができる。 In addition, since the solder ball portion formed for the substrate mounting application on the end user side is formed on the external electrode column portion surrounded by the insulating stress buffer resin layer, the standoff height is increased. In addition, since a stress buffering effect of the insulating stress buffering resin layer is added, a flip-chip type semiconductor device having excellent mounting reliability can be obtained.

　更に、従来技術のビルドアップ基板のように必ずしも金属薄膜配線を１０〜３０μｍ程度に厚く形成する必要もなく、かつ半導体ウエハーのメタライズ製造工法及び製造装置を利用できるため、フォトレジストの厚さ及び金属薄膜配線部も１μｍ以下の薄い領域での加工処理を容易に行うことが可能であり、配線パターンの微細化を容易に推進することができる。更に、配線パターンの微細化を推進することにより有機系多層配線基板の高密度化及び多層配線基板単体の外形寸法を縮小させることが可能となるため、コストを大幅に低減させることできる。 Furthermore, since the metal thin film wiring does not necessarily need to be formed as thick as about 10 to 30 μm as in the conventional build-up substrate, and the metallization manufacturing method and manufacturing apparatus for semiconductor wafers can be used, the photoresist thickness and metal The thin film wiring section can also easily perform processing in a thin region of 1 μm or less, and can easily promote miniaturization of a wiring pattern. Further, by promoting the miniaturization of the wiring pattern, it is possible to increase the density of the organic multilayer wiring substrate and to reduce the external dimensions of the multilayer wiring substrate alone, so that the cost can be significantly reduced.

　また、ウエハーレベルの加工処理にて各パッケージを製造することが可能となるため、個片状態から各パッケージを製造するパッケージング方法に比べて大幅に工程を削減することが可能となり、コストの大幅な削減が可能となる等のメリットを有していた。 Also, since each package can be manufactured by wafer-level processing, the number of steps can be greatly reduced as compared with the packaging method of manufacturing each package from an individual state, resulting in a large cost. This has the advantage that a significant reduction can be achieved.

　しかしながら、特願平１１−２８４５６６が提案している構造では、平坦性かつ高い剛性を有する第１基板（Ｂａｓｅ基板）層を選択的にエッチング除去し、外部電極コラム部を形成させる工程において、特に第１基板（Ｂａｓｅ基板）の厚さが１．０ｍｍ以上と極めて厚い場合に、外部電極コラム部を形成するためのエッチング除去工程が困難であるという問題点が存在した。 However, in the structure proposed in Japanese Patent Application No. 11-284566, the first substrate (Base substrate) layer having flatness and high rigidity is selectively removed by etching to form an external electrode column portion. When the thickness of the first substrate (Base substrate) is extremely large, such as 1.0 mm or more, there is a problem that an etching removal process for forming an external electrode column portion is difficult.

　エッチング除去方法には、ウエットエッチング法とドライエッチング法の２種類方式が存在するが、薬液を使用するウエットエッチング法の場合、厚さ方向のみならず横方向へも同時にエッチングが進行する等方性エッチングとなってしまうために、第１基板（Ｂａｓｅ基板）の厚さが１．０ｍｍ以上と極めて厚い場合に、特に、外部電極コラム部の形状安定性及びエリア内での形状ばらつきを最小限にすることが困難であり、製品品質面の確保が困難であった。 There are two types of etching removal methods, a wet etching method and a dry etching method. In the case of a wet etching method using a chemical solution, isotropic etching proceeds not only in the thickness direction but also in the lateral direction at the same time. When the first substrate (Base substrate) has a very large thickness of 1.0 mm or more due to etching, particularly, the shape stability of the external electrode column portion and the shape variation in the area are minimized. And it was difficult to ensure product quality.

　一方、プラズマ技術を応用したドライエッチング法においては、厚さ方向のみエッチングされる異方性エッチングとなるため、外部電極コラム部の形状安定性及びエリア内での形状ばらつきを抑制することは容易であるが、通常エッチング速度は１０ｎｍ／分乃至数1００Å／分と遅く、第１基板（Ｂａｓｅ基板）の厚さが１．０ｍｍ以上と厚い場合には、エッチングが完了するまでの時間が長く、製造時間が長くなってしまい、これがコスト上昇の要因になっている。 On the other hand, in the dry etching method using the plasma technology, since the anisotropic etching is performed only in the thickness direction, it is easy to suppress the shape stability of the external electrode column portion and the shape variation in the area. However, the etching rate is usually as low as 10 nm / minute to several hundred degrees / minute, and when the thickness of the first substrate (Base substrate) is as thick as 1.0 mm or more, the time until the etching is completed is long, and The time becomes longer, and this is the cause of the cost increase.

　本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、１０μｍ以下の微細な配線パターンピッチの多層配線基板を低コストで製造することができ、反りによるフォトリソグラフィ工程の不整合の発生を防止でき、更に、エッチング時間が長く製造工程が長時間に及ぶという不都合が生じないフリップチップ型半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a problem, and can manufacture a multilayer wiring board having a fine wiring pattern pitch of 10 μm or less at a low cost, and prevents occurrence of mismatch in a photolithography process due to warpage. It is another object of the present invention to provide a flip-chip type semiconductor device and a method for manufacturing the same, which do not have the disadvantage that the etching process is long and the manufacturing process is long.

　本発明に係る多層配線基板の製造方法は、金属板上に外部電極パッド配線層としての金属配線層を形成する第１工程と、前記金属配線層が露出する開口部を有する絶縁層を前記金属板及び前記金属配線層上に形成する第２工程と、前記絶縁層上に前記開口部を介して前記金属配線層と電気的に接続する金属配線層を形成する第３工程と、前記第３工程で形成された金属配線層が露出する開口部を有する絶縁層を形成する第４工程と、下層の絶縁層上にその開口部を介して下層の金属配線層と電気的に接続する上層の金属配線層を形成した後、前記上層の金属配線層が露出する開口部を有する上層の絶縁層を形成するというように前記第３工程及び第４工程を繰り返して所望の多層配線層を形成する第５工程と、前記所望の多層配線層を形成した後、前記金属板を除去する第６工程と、前記第６工程後、貫通孔を有する絶縁性基板又は配線基板からなる基板と前記多層配線層の前記金属板と接していた一方の面とを接着層を介して接着する第７工程とを有することを特徴とする。 In the method for manufacturing a multilayer wiring board according to the present invention, a first step of forming a metal wiring layer as an external electrode pad wiring layer on a metal plate, and an insulating layer having an opening through which the metal wiring layer is exposed are formed on the metal plate. A second step of forming a metal wiring layer electrically connected to the metal wiring layer through the opening on the insulating layer, A fourth step of forming an insulating layer having an opening through which the metal wiring layer formed in the step is exposed; and an upper layer electrically connected to the lower metal wiring layer through the opening on the lower insulating layer. After forming the metal wiring layer, the third and fourth steps are repeated to form a desired multilayer wiring layer such that an upper insulating layer having an opening through which the upper metal wiring layer is exposed is formed. Fifth step, forming the desired multilayer wiring layer A sixth step of removing the metal plate, and after the sixth step, a substrate made of an insulating substrate or a wiring substrate having a through-hole and one surface of the multilayer wiring layer which is in contact with the metal plate. And a seventh step of bonding via a bonding layer.

　前記第７工程後、前記貫通孔に導電材料を埋設する第８工程を更に有しても良い。 後 After the seventh step, an eighth step of burying a conductive material in the through hole may be further included.

　前記基板の貫通孔には導電性材料が埋設しておいても良い。 導電 A conductive material may be embedded in the through hole of the substrate.

　本発明の多層配線基板の製造方法では、平面度を高く維持することができ、多層配線層の内部応力の発生が抑制され、この多層配線層に絶縁性基板を接着した後、半導体チップを搭載するので、半導体装置を高歩留で製造することができる。また、多層配線層の下層に、最終ユーザー側での実装基板の線膨張係数値と近似している材料の絶縁性基板を使用することができる。また、絶縁性基板内の穴開き加工部内に充填されている導電性接着剤上に半田ボールが形成されているので、実装時のスタンドオフ高さを向上させることが容易であると共に、線膨張係数のミスマッチを最小限にすることが可能であるために、実装信頼性が優れたフリップチップ型半導体装置を容易に製造することができる。 In the method for manufacturing a multilayer wiring board of the present invention, the flatness can be maintained high, the generation of internal stress in the multilayer wiring layer is suppressed, and after attaching the insulating substrate to the multilayer wiring layer, the semiconductor chip is mounted. Therefore, a semiconductor device can be manufactured with a high yield. Further, an insulating substrate made of a material similar to the linear expansion coefficient of the mounting substrate on the end user side can be used as a lower layer of the multilayer wiring layer. In addition, since the solder balls are formed on the conductive adhesive filled in the perforated portion in the insulating substrate, it is easy to improve the height of the stand-off at the time of mounting, and the linear expansion Since it is possible to minimize coefficient mismatch, a flip-chip type semiconductor device having excellent mounting reliability can be easily manufactured.

　また、本発明によれば、金属薄膜配線部を従来のように１０〜３０μｍ程度に厚く形成する必要がなく、かつ半導体ウエハーのメタライズ製造工法及び製造装置を利用できるため、フォトレジストの厚さ及び金属薄膜配線部も１μｍ以下の薄い領域で加工処理することができるので、配線パターンを容易に微細化することができる。更に、配線パターンの微細化を推進することにより、有機系多層配線基板の高密度化及び多層配線基板単体の外形寸法を縮小させることも可能となるため、製造コストを大幅に低減させることができる。 Further, according to the present invention, it is not necessary to form the metal thin film wiring portion to a thickness of about 10 to 30 μm as in the related art, and a metallization manufacturing method and a manufacturing apparatus for a semiconductor wafer can be used. Since the metal thin film wiring portion can be processed in a thin region of 1 μm or less, the wiring pattern can be easily miniaturized. Further, by promoting the miniaturization of the wiring pattern, it is also possible to increase the density of the organic-based multilayer wiring substrate and to reduce the external dimensions of the multilayer wiring substrate alone, so that the manufacturing cost can be significantly reduced. .

　更に、本発明においては、平坦性が高いＢａｓｅ基板を全面的に除去処理するので、この基板を選択的にエッチング除去する必要がないため、製造プロセスが極めて容易である。 (4) In the present invention, since the base substrate having high flatness is entirely removed, it is not necessary to selectively remove the substrate by etching, so that the manufacturing process is extremely easy.

　更にまた、本発明は、ウエハーレベルの加工処理にて各パッケージを製造することが可能となるため、個片状態から各パッケージを製造するパッケージング方法に比べて大幅に工程を削減することが可能となり、コストの大幅な削減が可能となる。 Furthermore, according to the present invention, since each package can be manufactured by wafer-level processing, the number of steps can be greatly reduced as compared with a packaging method of manufacturing each package from an individual state. Thus, the cost can be significantly reduced.

　以下、本発明の実施の形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be specifically described with reference to the accompanying drawings.

　図１乃至図７は本発明の第１の実施の形態に係るフリップチップ型半導体装置の製造方法を示す断面図である。先ず、図１（ａ）に示すように、平坦性が高い金属板１を準備する。この金属板１は、Ｃｕ、Ｎｉ、Ａｌ等を主成分とする金属又は合金からなるものである。この平坦性が高い金属板１は、半導体の製造工程で使用するウエハーの形状を有していても良い。 FIGS. 1 to 7 are sectional views showing a method for manufacturing a flip-chip type semiconductor device according to the first embodiment of the present invention. First, as shown in FIG. 1A, a metal plate 1 having high flatness is prepared. The metal plate 1 is made of a metal or an alloy containing Cu, Ni, Al, or the like as a main component. The metal plate 1 having high flatness may have a shape of a wafer used in a semiconductor manufacturing process.

　次に、図１（ｂ）に示すように、金属板１の上に、金属板１との接着金属層として、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、又はＷ系合金等をスパッタリングすることにより、この金属からなる薄膜を形成した後、電極材料として、Ｃｕ、Ａｌ、又はＮｉ等の材料をスパッタリングすることにより、この電極金属層となる薄膜を前記接着金属層の形成に引き続いて形成する。その後、フォトレジストをコーティングした後、露光及び現像処理してレジストをパターニングし、このレジスト膜をマスクとして前記接着金属層及び電極層薄膜をウエットエッチング法又はプラズマ表面処理技術を流用したドライエッチング技術によりパターニングする。これにより、図１（ｂ）に示すように、接着金属層及び電極金属層の積層体からなる外部電極パッド部２を形成する。 Next, as shown in FIG. 1B, Ti, Cr, Mo, or a W-based alloy or the like is sputtered on the metal plate 1 as an adhesion metal layer to the metal plate 1, so that After the formation of the thin film, a material such as Cu, Al, or Ni is sputtered as an electrode material, so that a thin film to be the electrode metal layer is formed following the formation of the adhesive metal layer. Thereafter, after coating a photoresist, the resist is patterned by exposure and development treatment, and the adhesive metal layer and the electrode layer thin film are wet-etched or dry-etched using a plasma surface treatment technique using the resist film as a mask. Perform patterning. As a result, as shown in FIG. 1B, the external electrode pad portion 2 made of a laminate of the adhesive metal layer and the electrode metal layer is formed.

　次に、図１（ｃ）に示すように、金属板１の外部電極パッド部２が形成されている面上に、絶縁性樹脂薄膜層３を配置する。この絶縁性樹脂薄膜層３の配置方法としては、液状の絶縁性材料をスピンコーティング法により形成するか、又はプラズマ表面処理技術を流用したＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）若しくはＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法により形成する。 Next, as shown in FIG. 1C, the insulating resin thin film layer 3 is disposed on the surface of the metal plate 1 on which the external electrode pad portions 2 are formed. As a method of arranging the insulating resin thin film layer 3, a liquid insulating material is formed by a spin coating method, or a CVD (Chemical Vapor Deposition) or a PVD (Physical Vapor Deposition) method using a plasma surface treatment technique. Form.

　次に、図２（ａ）に示すように、外部電極パッド部２上の絶縁性樹脂薄膜層３を部分的に除去処理し、絶縁性樹脂薄膜層３に開口部４を形成する。この場合に、フォトレジストをコーティングした後、露光・現像処理を施してレジストパターンを形成し、その後、このレジストをマスクとして絶縁性樹脂薄膜層３をエッチングすることにより開口部４を形成する。この絶縁性樹脂薄膜層３のエッチング方法としては、絶縁性樹脂薄膜層３がケミカルエッチング可能な物質で構成されている場合はウエットエッチング法を使用でき、また絶縁性樹脂薄膜層３がケミカルエッチング不可能な物質で構成されている場合は、プラズマ表面処理技術を流用したドライエッチング技術を使用できる。 Next, as shown in FIG. 2A, the insulating resin thin film layer 3 on the external electrode pad portion 2 is partially removed to form an opening 4 in the insulating resin thin film layer 3. In this case, after coating with a photoresist, exposure and development are performed to form a resist pattern, and then the insulating resin thin film layer 3 is etched using the resist as a mask to form an opening 4. When the insulating resin thin film layer 3 is made of a substance which can be chemically etched, a wet etching method can be used as the method of etching the insulating resin thin film layer 3. If it is made of a material that can be used, a dry etching technique using a plasma surface treatment technique can be used.

　次に、図２（ｂ）に示すように、絶縁性樹脂薄膜層３上の全面に金属薄膜層５を形成する。この場合に、外部電極パッド部２との接着金属層として、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｍｏ、又はＷ系合金からなる薄膜をスパッタリング法等により形成した後、連続して、電極材料として、Ｃｕ、Ａｌ、又はＮｉ等の材料からなる薄膜をスパッタリング法、ＣＶＤ法又は無電解メッキ法等により形成することにより、金属薄膜層５を形成する。 Next, as shown in FIG. 2B, a metal thin film layer 5 is formed on the entire surface of the insulating resin thin film layer 3. In this case, a thin film made of Ti, Cr, Mo, or a W-based alloy is formed as a bonding metal layer with the external electrode pad portion 2 by a sputtering method or the like, and subsequently, Cu, Al, Alternatively, the metal thin film layer 5 is formed by forming a thin film made of a material such as Ni by a sputtering method, a CVD method, an electroless plating method, or the like.

　その後、図２（ｃ）に示すように、この金属薄膜層５上にフォトレジストをコーティングして露光・現像処理することにより、レジストのパターンを形成し、このレジストをマスクとして、ウエットエッチング法又はプラズマ表面処理技術を流用したドライエッチング技術により金属薄膜層５をエッチングして、金属薄膜配線部６を形成する。 Thereafter, as shown in FIG. 2 (c), a photoresist is coated on the metal thin film layer 5 and exposed and developed to form a resist pattern. Using this resist as a mask, a wet etching method or The metal thin film layer 5 is etched by a dry etching technique using a plasma surface treatment technique to form a metal thin film wiring portion 6.

　本発明の配線パターン形成工程においては、ビルドアップ基板のように必ずしも金属薄膜配線部６を１０〜３０μｍ程度に厚く形成する必要がないため、また、半導体ウエハーのメタライズ製造方法及び製造装置を利用できるため、フォトレジストの厚さ及び金属薄膜配線部６も1μｍ以下に薄くすることができ、このため、この金属薄膜配線部６を容易に加工処理することができ、配線パターンを容易に微細化することができる。 In the wiring pattern forming step of the present invention, the metal thin film wiring portion 6 does not necessarily need to be formed to a thickness of about 10 to 30 μm as in the case of a build-up substrate, and a method and apparatus for metallizing a semiconductor wafer can be used. Therefore, the thickness of the photoresist and the metal thin-film wiring portion 6 can also be reduced to 1 μm or less, so that the metal thin-film wiring portion 6 can be easily processed and the wiring pattern can be easily miniaturized. be able to.

　また、金属薄膜配線部６のパターンピッチが粗くて良い場合等は、絶縁性樹脂薄膜層３上の全面に金属薄膜層５を形成した後、フォトレジストをコーティングし、露光・現像処理を施してレジストをパターニングした後、このレジストをマスクとして金属薄膜からなる配線パターンを形成し、その後Ｃｕ等の電解メッキ処理にて配線パターンを形成し、更にフォトレジストを剥離し、前記配線パターンをマスクにして、金属薄膜層５をエッチング処理することにより、金属薄膜配線部６を形成しても良い。 When the pattern pitch of the metal thin film wiring portion 6 may be coarse, the metal thin film layer 5 is formed on the entire surface of the insulating resin thin film layer 3, then coated with a photoresist, and exposed and developed. After patterning the resist, a wiring pattern composed of a metal thin film is formed using the resist as a mask, and then a wiring pattern is formed by electrolytic plating of Cu or the like. Further, the photoresist is peeled off, and the wiring pattern is used as a mask. Alternatively, the metal thin film wiring portion 6 may be formed by etching the metal thin film layer 5.

　次に、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、図４（ａ）、（ｂ）に示すように、上述の絶縁性樹脂薄膜層の形成（図１（ｃ））から金属薄膜配線部の形成（図２（ｃ））までの工程を所定のパターンにより繰り返し処理することにより、予め決められている所定積層数の多層配線構造を形成する。例えば、図３（ａ）、図３（ｃ）、図４（ｂ）は絶縁性樹脂薄膜層３及びその開口部４を形成したところ、図３（ｂ）、図４（ａ）は、開口部４に埋め込むようにして金属薄膜配線部６を形成したところである。 Next, as shown in FIGS. 3 (a), (b), (c), FIGS. 4 (a), (b), the formation of the insulating resin thin film layer (FIG. 1 (c)) By repeating the process up to the formation of the wiring portion (FIG. 2C) with a predetermined pattern, a multilayer wiring structure having a predetermined number of stacked layers is formed. For example, FIGS. 3 (a), 3 (c), and 4 (b) show the case where the insulating resin thin film layer 3 and the opening 4 thereof are formed, and FIGS. 3 (b) and 4 (a) show the opening. The metal thin-film wiring portion 6 is formed so as to be embedded in the portion 4.

　次に、図４（ｃ）に示すように、多層配線構造の最上層に金属薄膜配線部の形成技術を使用して、フリップチップ型半導体チップのバンプ電極パターンに対応する位置にパッド電極部７を形成する。 Next, as shown in FIG. 4C, the pad electrode portion 7 is formed at a position corresponding to the bump electrode pattern of the flip-chip type semiconductor chip by using a technique of forming a metal thin film wiring portion on the uppermost layer of the multilayer wiring structure. To form

　その後、図５（ａ）に示すように、前記多層配線構造及びパッド電極部７を保護するために、ソルダーレジスト膜８を形成し、パッド電極部７上のソルダーレジスト膜８に開口部８ａを設ける。このソルダーレジスト膜８が非感光性材料で構成されている場合は、フォトレジストをコーティングして露光及び現像処理した後、ウエットエッチング法又はプラズマ表面処理技術を流用したドライエッチング技術により、ソルダーレジスト膜８に開口部８ａを形成する。また、ソルダーレジスト膜８が感光性材料で形成されている場合は、そのまま露光及び現像処理を施してソルダーレジスト膜８に開口部８ａを形成しても良い。なお、多層配線構造中の絶縁性樹脂薄膜層３が機械的及び化学的応力からの信頼性が極めて高い場合には、ソルダーレジスト膜８を形成する必要はない。 Thereafter, as shown in FIG. 5A, a solder resist film 8 is formed to protect the multilayer wiring structure and the pad electrode portion 7, and an opening 8a is formed in the solder resist film 8 on the pad electrode portion 7. Provide. When the solder resist film 8 is made of a non-photosensitive material, the photoresist is coated, exposed and developed, and then the solder resist film is formed by a dry etching technique using a wet etching method or a plasma surface treatment technique. An opening 8a is formed in 8. Further, when the solder resist film 8 is formed of a photosensitive material, the opening and the opening 8a may be formed in the solder resist film 8 by performing exposure and development processing as it is. When the insulating resin thin film layer 3 in the multilayer wiring structure has extremely high reliability from mechanical and chemical stress, it is not necessary to form the solder resist film 8.

　次に、図５（ｂ）に示すように、前記多層配線構造の下層に存在する平坦性の高い金属板１を、全面エッチング処理により除去し、多層配線層９のみの状態とする。この場合に、平坦性が高い金属板１がＣｕで構成されている場合は、塩化第ニ銅又は塩化第ニ鉄等のエッチング液を使用すれば、容易に全面エッチング除去処理することが可能である。 (5) Next, as shown in FIG. 5B, the metal plate 1 having high flatness existing under the multilayer wiring structure is removed by etching the entire surface, leaving only the multilayer wiring layer 9. In this case, when the metal plate 1 having high flatness is made of Cu, the entire surface can be easily etched and removed by using an etching solution such as cupric chloride or ferric chloride. is there.

　次に、図５（ｃ）に示すように、接着剤１０が付着した絶縁性基板１１を用意し、この絶縁性基板１１に、多層配線層９の最下層に存在する外部電極パッド部２が露出するような位置に穴開き加工部１２を形成する。 Next, as shown in FIG. 5C, an insulating substrate 11 to which the adhesive 10 is adhered is prepared, and the external electrode pad 2 existing in the lowermost layer of the multilayer wiring layer 9 is provided on the insulating substrate 11. A perforated portion 12 is formed at a position where it is exposed.

　次に、図６（ａ）に示すように、穴あけ加工された接着剤付き絶縁性基板１１を、外部電極パッド部２が露出するように、多層配線層９の所定位置に位置合わせして、多層配線層９に貼りつける。 Next, as shown in FIG. 6A, the perforated insulating substrate with adhesive 11 is positioned at a predetermined position of the multilayer wiring layer 9 so that the external electrode pad portion 2 is exposed. It is attached to the multilayer wiring layer 9.

　次に、図６（ｂ）に示すように、多層配線層９に貼りつけられている接着剤付き絶縁性基板１１に設けられている穴開き加工部１２に、導電性接着剤１３を充填する。これにより、多層配線基板が完成する。 Next, as shown in FIG. 6B, a conductive adhesive 13 is filled in a perforated portion 12 provided on an insulating substrate 11 with an adhesive attached to the multilayer wiring layer 9. . Thus, a multilayer wiring board is completed.

　この場合に、工程を短縮させるために、予め接着剤付き絶縁性基板１１に設けられている穴開き加工部１２に導電性材料が充填されている基板を、多層配線層９に貼りつけることとしても良い。 In this case, in order to shorten the process, a substrate in which a perforated portion 12 provided in advance on the insulating substrate 11 with an adhesive is filled with a conductive material is attached to the multilayer wiring layer 9. Is also good.

　また、本工程完了後に、多層配線基板が単体の状態で電気特性試験を実施しておけば、その後のフリップチップ実装工程では、電気的に良品と判定された部分にのみ良品のフリップチップ型半導体チップを実装すれば良い。 After the completion of this process, if the electrical characteristics test is performed with the multilayer wiring board alone, in the subsequent flip-chip mounting process, only the portion which is electrically determined to be a non-defective flip-chip type semiconductor A chip may be mounted.

　次に、図６（ｃ）に示すように、多層配線層９の最上層に形成されているパッド電極部上に、フリップチップ型半導体チップ１４をそのバンプ電極面を下側にして搭載し、フリップチップ実装処理を施す。この場合に、フリップチップ型半導体チップ１４のバンプ電極１５がＳｎ、Ｐｂ等の金属材料を主成分とする半田であれば、フラックスを使用した加熱リフロー工程にてフリップチップ実装が可能である。また、バンプ電極１５がＡｕ、Ｉｎ等の金属材料を主成分であるものならば、熱圧着方式によるフリップチップ実装が可能である。 Next, as shown in FIG. 6C, the flip-chip type semiconductor chip 14 is mounted on the pad electrode portion formed on the uppermost layer of the multilayer wiring layer 9 with its bump electrode face down. Perform flip chip mounting processing. In this case, if the bump electrode 15 of the flip-chip type semiconductor chip 14 is a solder containing a metal material such as Sn or Pb as a main component, flip-chip mounting can be performed by a heating reflow process using a flux. If the bump electrode 15 is mainly composed of a metal material such as Au or In, flip-chip mounting by a thermocompression bonding method is possible.

　その後、図７（ａ）に示すように、フリップチップ半導体チップ１４、フリップチップ接続部分及び多層配線層９を保護するために、フリップチップ半導体チップ１４の側面とフリップチップ接合部及び多層配線層が露出している領域に絶縁性樹脂１６を充填して配置させる。 Thereafter, as shown in FIG. 7A, the side surface of the flip chip semiconductor chip 14, the flip chip bonding portion, and the multilayer wiring layer are formed to protect the flip chip semiconductor chip 14, the flip chip connection portion, and the multilayer wiring layer 9. The exposed region is filled with the insulating resin 16 and arranged.

　この場合に、絶縁性樹脂１６の配置方法としては、真空封止技術を含むインジェクション樹脂注入技術又はトランスファー封止技術を使用して、絶縁性樹脂１６を配置することもできる。 In this case, as a method of disposing the insulating resin 16, the insulating resin 16 may be disposed using an injection resin injection technique including a vacuum sealing technique or a transfer sealing technique.

　その後、図７（ｂ）に示すように、接着剤付き絶縁性基板１１に設けられている穴あけ加工部１２に充填されている導電性接着剤１３上に、外部端子としてＳｎ、Ｐｂ等の金属材料を主成分とする半田ボール１７を取りつける。この場合に、穴あけ加工部１２に充填されている導電性接着剤１３上にフラックスを選択的に塗布した後、半田ボール１７を搭載し、ＩＲリフロー工程により加熱処理を施すことにより、半田ボール１７を搭載することができる。 Thereafter, as shown in FIG. 7B, a metal such as Sn or Pb is provided as an external terminal on the conductive adhesive 13 filled in the perforated portion 12 provided in the insulating substrate 11 with the adhesive. A solder ball 17 mainly composed of a material is attached. In this case, after the flux is selectively applied onto the conductive adhesive 13 filled in the perforated portion 12, the solder ball 17 is mounted, and the solder ball 17 is heated by an IR reflow process. Can be mounted.

　その後、図７（ｃ）に示すように、ダイシングブレード等を使用した切断分離技術により、フリップチップ型半導体装置の個片処理を実施することにより、フリップチップ型半導体装置が完成する。 (7) Thereafter, as shown in FIG. 7C, the individual processing of the flip-chip type semiconductor device is performed by a cutting and separating technique using a dicing blade or the like, thereby completing the flip-chip type semiconductor device.

　本発明によれば、多層配線基板の製造方法において、平面度を高く維持することができ、この多層配線層９の内部応力の発生が抑制される。即ち、本発明においては、平坦性が高い金属板１上に多層配線構造（多層配線層９）を形成するので、多層配線層９も平坦性が高く、歪みがなく、内部応力が小さい。従って、この多層配線層９に絶縁性基板１１を接着した後、半導体チップ１４を搭載すれば、この半導体装置を高歩留で製造することができる。 According to the present invention, in the method of manufacturing a multilayer wiring board, the flatness can be maintained high, and the generation of internal stress in the multilayer wiring layer 9 is suppressed. That is, in the present invention, since the multilayer wiring structure (multilayer wiring layer 9) is formed on the metal plate 1 having high flatness, the multilayer wiring layer 9 also has high flatness, has no distortion, and has low internal stress. Therefore, if the semiconductor chip 14 is mounted after bonding the insulating substrate 11 to the multilayer wiring layer 9, the semiconductor device can be manufactured with a high yield.

　また、最終ユーザー側で、本発明の半導体装置を最終ユーザーの基板に実装するために、本発明の半導体装置においては、半田ボール１７が設けられているが、この半田ボール１７は、絶縁性基板１１に設けた穴開き加工部１２内に充填された導電性接着剤１３を充填し、この導電性接着剤１３上に半田ボール１７を接合するから、この導電性接着剤１３が外部電極コラム部として機能し、半田ボール１７のスタンドオフ高さを高くすることが可能となる。また、絶縁性基板１１として、樹脂基板を使用した場合には、絶縁性樹脂による応力緩衝効果も加わるため、実装信頼性が優れたフリップチップ型半導体装置を得ることができる。更に、絶縁性基板１１は、容易に最終ユーザー側での実装基板の線膨張係数値と近似している材料を使用することができる。このような絶縁性基板１１の材料としては、最終ユーザ側で使用する実装基板の材料によるが、例えば、ポリイミド、ガラスエポキシ、アルミナ又はムライト等がある。このように、絶縁性基板１１の材料選択の幅が広いため、本発明のフリップチップ型半導体装置を最終ユーザー側で実装基板へ実装した後の線膨張係数のミスマッチを防止でき、実装信頼性のうち、特に温度サイクル特性を向上させることができる。 In order to mount the semiconductor device of the present invention on the substrate of the final user on the end user side, the semiconductor device of the present invention is provided with solder balls 17. 11 is filled with a conductive adhesive 13 filled in a perforated portion 12 and a solder ball 17 is bonded on the conductive adhesive 13, so that the conductive adhesive 13 is And the stand-off height of the solder ball 17 can be increased. Further, when a resin substrate is used as the insulating substrate 11, a stress buffering effect of the insulating resin is added, so that a flip-chip type semiconductor device with excellent mounting reliability can be obtained. Further, the insulating substrate 11 can be made of a material that easily approximates the linear expansion coefficient of the mounting substrate on the end user side. The material of the insulating substrate 11 depends on the material of the mounting substrate used on the end user side, and examples thereof include polyimide, glass epoxy, alumina, and mullite. As described above, since the material selection of the insulating substrate 11 is wide, it is possible to prevent a mismatch in linear expansion coefficient after the flip-chip type semiconductor device of the present invention is mounted on the mounting substrate on the end user side, and the mounting reliability is improved. Among them, the temperature cycle characteristics can be particularly improved.

　このように、本発明のフリップチップ型半導体装置においては、実装時のスタンドオフ高さを向上させることが容易であると共に、線膨張係数のミスマッチを最小限にすることが可能であるため、実装信頼性が優れたフリップチップ型半導体装置を容易に製造することができる。また、本発明のフリップチップ型半導体装置では、半田ボールのスタンドオフ高さが高く、この部分で応力を吸収することができるため、従来のように、厚い配線を設けて応力を吸収する必要がない。 As described above, in the flip-chip type semiconductor device of the present invention, it is easy to improve the stand-off height at the time of mounting, and it is possible to minimize the mismatch of the linear expansion coefficient. A flip-chip type semiconductor device having excellent reliability can be easily manufactured. Further, in the flip-chip type semiconductor device of the present invention, since the stand-off height of the solder ball is high and the stress can be absorbed in this portion, it is necessary to provide a thick wiring to absorb the stress as in the related art. Absent.

　また、本発明における多層配線基板の配線パターン形成工程においては、従来技術のビルドアップ基板のように必ずしも金属薄膜配線を１０〜３０μｍ程度に厚く形成する必要がなく、かつ半導体ウエハーのメタライズ製造工法及び製造装置を利用できるため、フォトレジストの厚さ及び金属薄膜配線部も１μｍ以下の薄い領域で加工処理することができるので、配線パターンを容易に微細化することができる。更に、配線パターンの微細化を推進することにより、有機系多層配線基板の高密度化及び多層配線基板単体の外形寸法を縮小させることも可能となるため、製造コストを大幅に低減させることができる。 Further, in the wiring pattern forming step of the multilayer wiring board according to the present invention, it is not necessary to form the metal thin-film wiring thickly to about 10 to 30 μm unlike the conventional build-up board, Since the manufacturing apparatus can be used, the thickness of the photoresist and the metal thin film wiring portion can be processed in a thin region of 1 μm or less, so that the wiring pattern can be easily miniaturized. Further, by promoting the miniaturization of the wiring pattern, it is also possible to increase the density of the organic-based multilayer wiring substrate and to reduce the external dimensions of the multilayer wiring substrate alone, so that the manufacturing cost can be significantly reduced. .

　また、特願平１１−２８４５６６号で提案した構造では、平坦性かつ高い剛性を有する第１基板（平坦性の高いＢａｓｅ基板）層を選択的にエッチング除去し、外部電極コラム部を形成させる工程において、特に第１基板（Ｂａｓｅ基板）の厚さが１．０ｍｍ以上と極めて厚い場合に、外部電極コラム部を形成させるためのエッチング除去工程が困難であるという問題点が存在した。しかしながら、本発明においては、平坦性が高いＢａｓｅ基板を全面的に除去処理するので、特願平１１−２８４５６６号のように、選択的にエッチング除去する必要がないため、製造プロセスが極めて容易である。 In the structure proposed in Japanese Patent Application No. 11-284566, a step of selectively etching and removing a first substrate (base substrate having high flatness) having flatness and high rigidity to form an external electrode column portion is provided. In particular, in the case where the thickness of the first substrate (Base substrate) is extremely large, such as 1.0 mm or more, there is a problem that an etching removal process for forming the external electrode column portion is difficult. However, in the present invention, since the base substrate having high flatness is completely removed, it is not necessary to selectively remove by etching as in Japanese Patent Application No. 11-284566, so that the manufacturing process is extremely easy. is there.

　また、本発明は、ウエハーレベルの加工処理にて各パッケージを製造することが可能となるため、個片状態から各パッケージを製造するパッケージング方法に比べて大幅に工程を削減することが可能となり、コストの大幅な削減が可能となる。 In addition, since the present invention enables each package to be manufactured by a wafer-level processing process, it is possible to greatly reduce the number of processes as compared with a packaging method of manufacturing each package from an individual state. Thus, the cost can be significantly reduced.

　なお、フリップチップ型半導体装置の製造方法に関し、絶縁性樹脂薄膜層３の絶縁性樹脂は、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シアネートエステル系樹脂、フェノール系樹脂、又はナフタレン系樹脂のいずれかの樹脂を主成分とするものであることが好ましい。 In addition, regarding the manufacturing method of the flip-chip type semiconductor device, the insulating resin of the insulating resin thin film layer 3 is epoxy resin, silicone resin, polyimide resin, polyolefin resin, cyanate ester resin, phenol resin, or It is preferable that any one of naphthalene-based resins is used as a main component.

　次に、図８を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。フリップチップ型半導体チップは一般的には多ピン・高速ロジック系デバイスに適用されることが多く、その際半導体チップの放熱をいかに効率よく実施するかが問題となってくる。第２の実施の形態においては、本発明のフリップチップ型半導体装置の熱特性を向上させたものである。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In general, flip-chip type semiconductor chips are often applied to high-pin-count, high-speed logic devices. At that time, how to efficiently radiate heat from the semiconductor chips becomes a problem. In the second embodiment, the thermal characteristics of the flip-chip type semiconductor device of the present invention are improved.

　第２の実施の形態におけるフリップチップ型半導体装置の製造方法は、図７（ｃ）の工程までは、第１の実施の形態と全く同一プロセスであり、本第２の実施の形態においては、その後に図８の工程を有する。即ち、フリップチップ型半導体チップ１４の裏面に放熱性接着剤１８を使用してヒートスプレッダー１９を取りつける。このヒートスプレッダー１９により半導体チップ１４の放熱効果が得られる。 The method of manufacturing the flip-chip type semiconductor device according to the second embodiment is exactly the same as that of the first embodiment up to the step shown in FIG. 7C, and in the second embodiment, Thereafter, the process of FIG. 8 is provided. That is, the heat spreader 19 is attached to the back surface of the flip chip type semiconductor chip 14 using the heat dissipating adhesive 18. With this heat spreader 19, a heat radiation effect of the semiconductor chip 14 is obtained.

　この放熱用のヒートスプレッダー１９は、Ｃｕ、Ａｌ、Ｗ、Ｍｏ、Ｆｅ、Ｎｉ、又はＣｒ等の金属性材料を主成分として形成することができる。また、このヒートスプレッダー１９は、アルミナ、ＡｌＮ、ＳｉＣ、ムライト、等のセラミック材料により形成することもできる。 The heat spreader 19 for heat dissipation can be formed using a metallic material such as Cu, Al, W, Mo, Fe, Ni, or Cr as a main component. Further, the heat spreader 19 can be formed of a ceramic material such as alumina, AlN, SiC, mullite, and the like.

　更に、放熱性接着剤１８は、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シアネートエステル系樹脂、フェノール系樹脂、又はナフタレン系樹脂のいずれかの樹脂を主成分とし、この主成分に、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕ、Ａｌ、Ａｕ、Ｍｏ、Ｗ、ダイヤモンド、アルミナ、ＡｌＮ、ムライト、ＢＮ、ＳｉＣ、等のセラミック材料を含有するものである。 Further, the heat dissipating adhesive 18 contains, as a main component, any one of an epoxy resin, a silicone resin, a polyimide resin, a polyolefin resin, a cyanate ester resin, a phenol resin, and a naphthalene resin. The component contains a ceramic material such as Ag, Pd, Cu, Al, Au, Mo, W, diamond, alumina, AlN, mullite, BN, and SiC.

　次に、本発明の第３の実施の形態について、図９を参照して説明する。本第３の実施の形態においては、フリップチップ半導体チップ１４と多層配線基板との間にアンダーフィル樹脂２０を配置させ、その後、多層配線基板の平面度を確保するために、接着剤２１を用いて金属又はセラミック材料からなるスティフナー２２を取りつける。その後、フリップチップ型半導体チップ１４の裏面に、放熱性接着剤１８を用いて、放熱用のヒートスプレッダー１９を取りつける。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the third embodiment, the underfill resin 20 is disposed between the flip-chip semiconductor chip 14 and the multilayer wiring board, and then the adhesive 21 is used to secure the flatness of the multilayer wiring board. Then, a stiffener 22 made of a metal or ceramic material is attached. Thereafter, a heat spreader 19 for heat dissipation is attached to the back surface of the flip-chip type semiconductor chip 14 using a heat dissipation adhesive 18.

　このように構成された第３の実施の形態のフリップチップ型半導体装置においては、第１及び第２の実施の形態で使用されているインジェクション方式又はトランスファー封止方式による絶縁性樹脂１６の配置方法を使用せずに、従来のフリップチップ型半導体装置の製造技術として主流であるアンダーフィル樹脂２０を使用している。このため、特別な製造装置も用いることなく本発明の多層配線基板を有するフリップチップ型半導体装置を製造することができる。 In the flip-chip type semiconductor device of the third embodiment configured as described above, the method of arranging the insulating resin 16 by the injection method or the transfer sealing method used in the first and second embodiments. Instead, the underfill resin 20, which is a mainstream technology for manufacturing a conventional flip-chip type semiconductor device, is used. Therefore, a flip-chip type semiconductor device having the multilayer wiring board of the present invention can be manufactured without using any special manufacturing apparatus.

　また、アンダーフィル樹脂２０としては、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリイミド系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、シアネートエステル系樹脂、フェノール系樹脂、又はナフタレン系樹脂のいずれかの樹脂を主成分として構成することができる。 In addition, the underfill resin 20 is mainly composed of any one of an epoxy resin, a silicone resin, a polyimide resin, a polyolefin resin, a cyanate ester resin, a phenol resin, and a naphthalene resin. Can be.

　次に、本発明の第４の実施の形態について、図１０を参照して説明する。この第４の実施の形態においては、第１の実施の形態に使用されている絶縁性基板１１の替わりに、パターン加工済みの両面配線基板３１を使用することにより、更に一層の高性能化及びコスト低減を実現することができるフリップチップ型半導体装置を得ようとするものである。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the fourth embodiment, the use of the patterned double-sided wiring board 31 in place of the insulating substrate 11 used in the first embodiment further improves the performance and improves the performance. It is an object of the present invention to obtain a flip-chip type semiconductor device capable of realizing cost reduction.

　通常、ロジック系フリップチップ型半導体チップを搭載する第１の実施の形態に使用されている多層配線層は、層構成例として、ＧＮＤプレーン層／Ｓｉｇ層／ＧＮＤプレーン層／電源プレーン層／ＧＮＤプレーン層というように、Ｓｉｇ層をＧＮＤプレーンで挟みこむストリップライン導体線路構成を有する。これにより、Ｓｉｇ配線のインピーダンス制御及びインダクタンスの低減と、クロストークノイズの低減といった電気的特性の向上とが得られる。 Usually, the multilayer wiring layer used in the first embodiment on which a logic flip chip type semiconductor chip is mounted is, for example, a GND plane layer / Sig layer / GND plane layer / power supply plane layer / GND plane. It has a stripline conductor line configuration in which a Sig layer is sandwiched between GND planes like a layer. As a result, it is possible to improve the electrical characteristics such as controlling the impedance of the Sig wiring and reducing the inductance and reducing the crosstalk noise.

　一方、各ロジック回路動作を安定化させるためには、安定した電源系の配線層、つまり電源プレーン層及びＧＮＤプレーン層の形成が必須であり、通常Ｓｉｇ層の下層に追加で何層も形成される。しかしながら、第１の実施の形態のように、ビルドアップ方式で多層化を繰り返すことは、それだけ工程数の増加をまねくこととなり、かつ製造歩留まりが悪化する原因ともなる。このため、コストが上昇してしまう。 On the other hand, in order to stabilize the operation of each logic circuit, it is necessary to form a stable power supply system wiring layer, that is, a power supply plane layer and a GND plane layer. Usually, several additional layers are formed below the Sig layer. You. However, repeating the multi-layering by the build-up method as in the first embodiment leads to an increase in the number of steps, and also causes a reduction in manufacturing yield. For this reason, the cost increases.

　そこで、本発明の第４の実施の形態は、上記第１の実施の形態の欠点を解消したものであり、この第４の実施の形態のフリップチップ型半導体装置は、必要最小限の多層配線層９の形成後に、両面パターンニング処理された電源プレーン機能とＧＮＤプレーン機能を付加してある両面配線基板３１を、前記多層配線層９に貼りつけることにより構成されている。 The fourth embodiment of the present invention solves the disadvantages of the first embodiment. The flip-chip type semiconductor device according to the fourth embodiment has a minimum required number of multilayer interconnections. After the layer 9 is formed, a double-sided wiring board 31 having a power supply plane function and a GND plane function, both of which have been subjected to a patterning process, is attached to the multilayer wiring layer 9.

　つまり、両面配線基板３１に電源プレーン機能とＧＮＤプレーン機能を付加してあるので、平坦性に優れた金属板上に形成される多層配線層９としては、例えばＧＮＤプレーン層／Ｓｉｇ層／ＧＮＤプレーン層のみで良いように層構成を削減することができる。このため、結果として、容易に工程数の削減及び製造歩留まりの向上を図ることができ、トータルコストの低減を図ることが可能となる。 That is, since the power supply plane function and the GND plane function are added to the double-sided wiring board 31, as the multilayer wiring layer 9 formed on the metal plate having excellent flatness, for example, a GND plane layer / Sig layer / GND plane The layer configuration can be reduced so that only layers are required. As a result, as a result, the number of steps can be easily reduced and the manufacturing yield can be improved, and the total cost can be reduced.

　以下、本発明の第４の実施の形態について、具体的に説明する。第４の実施の形態におけるフリップチップ型半導体装置の製造方法は、図１０（ａ）に示す工程までは、第１の実施の形態と全く同一のプロセスである。また、以下の説明は工程の一例を示すものであり、構造、構成、材料等に関して、本発明の範囲を限定するものではない。 Hereinafter, a fourth embodiment of the present invention will be specifically described. The method of manufacturing the flip-chip type semiconductor device according to the fourth embodiment is exactly the same as that of the first embodiment up to the step shown in FIG. Further, the following description shows an example of the process, and does not limit the scope of the present invention with respect to the structure, configuration, material, and the like.

　先ず、図１０（ａ）に示すように、多層配線構造の下層に存在する平坦性の高い金属板１を、全面エッチング除去し、多層配線層９のみの状態とする。この場合に、例えば平坦性が高い金属板１がＣｕで構成されている場合は、塩化第ニ銅又は塩化第ニ鉄等のエッチング液を使用すれば、金属板１を容易に全面エッチング除去処理することができる。 {Circle over (1)} First, as shown in FIG. 10 (a), the metal plate 1 having a high flatness existing under the multilayer wiring structure is entirely removed by etching, leaving only the multilayer wiring layer 9. In this case, for example, when the metal plate 1 having high flatness is made of Cu, the entire surface of the metal plate 1 can be easily removed by etching using an etching solution such as cupric chloride or ferric chloride. can do.

　次に、図１０（ｂ）に示すように、多層配線構造の最下層に存在する外部電極パッド部２が露出するように穴あけ加工されている接着剤層３２と両面配線基板３１を準備する。 Next, as shown in FIG. 10 (b), an adhesive layer 32 and a double-sided wiring board 31 which are perforated so as to expose the external electrode pad portion 2 existing in the lowermost layer of the multilayer wiring structure are prepared.

　図１３（ａ）はこの両面配線基板３１を拡大して示す断面図、図１３（ｂ）はその電源プレーン２９から見た平面図である。両面配線基板３１においては、絶縁性樹脂コア基板２３の両面にＣｕ等の金属材料により導体パターン層２４が形成されており、外部電極パッド部２に相当する位置の絶縁性樹脂コア基板２３にスルーホール加工部２５が形成され、このスルーホール加工部２５の側面にＣｕ等の金属材料によりスルーホールメッキ処理が施されている。また、絶縁性樹脂コア基板２３の表面には、導体パターン層２４により、信号（Ｓｉｇ）端子２６、電源端子２７、ＧＮＤ端子２８及び電源プレーン２９が形成されており、基板２３の裏面には、導体パターン層２４により、同じくＳｉｇ端子２６、電源端子２７及びＧＮＤ端子２８と、ＧＮＤプレーン３０とが形成されている。つまり、絶縁性樹脂コア基板２３の表面は大部分が電源プレーン２９で被覆され、この電源プレーン２９に対して、リング状の溝により、Ｓｉｇ端子２６及びＧＮＤ端子２８が電気的に分離されている。また、絶縁性樹脂コア基板２３の裏面は大部分がＧＮＤプレーン３０で被覆され、このＧＮＤプレーン３０に対して、リング状の溝により、Ｓｉｇ端子２６及び電源端子２７が電気的に分離されている。そして、基板２３の表面側のＳｉｇ端子２６、電源端子２７、ＧＮＤ端子２８と、裏面側のＳｉｇ端子２６、電源端子２７、ＧＮＤ端子２８とは、夫々スルーホールメッキ処理によりスルーホールの内面に形成されたＣｕ膜等により接続されている。 FIG. 13A is a cross-sectional view showing the double-sided wiring board 31 in an enlarged manner, and FIG. 13B is a plan view seen from the power supply plane 29. In the double-sided wiring board 31, the conductive pattern layer 24 is formed of a metal material such as Cu on both surfaces of the insulating resin core substrate 23, and the conductive pattern layer 24 is formed on the insulating resin core substrate 23 at a position corresponding to the external electrode pad portion 2. A hole processing portion 25 is formed, and a through hole plating process is performed on a side surface of the through hole processing portion 25 with a metal material such as Cu. A signal (Sig) terminal 26, a power terminal 27, a GND terminal 28 and a power plane 29 are formed on the surface of the insulating resin core substrate 23 by the conductor pattern layer 24. Similarly, the conductor pattern layer 24 forms a Sig terminal 26, a power supply terminal 27, a GND terminal 28, and a GND plane 30. That is, most of the surface of the insulating resin core substrate 23 is covered with the power plane 29, and the Sig terminal 26 and the GND terminal 28 are electrically separated from the power plane 29 by the ring-shaped groove. . The back surface of the insulating resin core substrate 23 is mostly covered with the GND plane 30, and the Sig terminal 26 and the power supply terminal 27 are electrically separated from the GND plane 30 by a ring-shaped groove. . The Sig terminal 26, the power supply terminal 27, and the GND terminal 28 on the front side of the substrate 23 and the Sig terminal 26, the power supply terminal 27, and the GND terminal 28 on the back side are formed on the inner surfaces of the through holes by through hole plating. Are connected by a Cu film or the like.

　このように構成された両面配線基板３１は、多層配線層９の外部電極パッド部２のピン機能に対応するように、両面配線基板３１にもＳｉｇ端子２６、電源端子２７、ＧＮＤ端子２８が夫々形成されており、かつ両面配線基板３１の上側の導体パターン層２４を電源プレーン２９として、また両面配線基板３１の下側の導体パターン層２４をＧＮＤプレーン３０として機能するように予め所定のパターンにて設計されている。 In the double-sided wiring board 31 thus configured, a Sig terminal 26, a power supply terminal 27, and a GND terminal 28 are also provided on the double-sided wiring board 31 so as to correspond to the pin function of the external electrode pad portion 2 of the multilayer wiring layer 9. The conductor pattern layer 24 on the upper side of the double-sided wiring board 31 is formed into a predetermined pattern so as to function as the power supply plane 29 and the conductor pattern layer 24 on the lower side of the double-sided wiring board 31 functions as the GND plane 30. Is designed.

　また、上述の如く構成された両面配線基板３１は、通常の回路基板で使用されているガラスエポキシ基材を使用した両面Ｃｕ箔貼付け基板を使用すれば、容易に製造することが可能であり、低コストで製造することが可能である。なお、この図１３に示す両面配線基板３１は２層であるが、これに限らず、４層又は６層等の多層構造も可能である。 In addition, the double-sided wiring board 31 configured as described above can be easily manufactured by using a double-sided Cu foil-attached board using a glass epoxy base material used in a normal circuit board, It can be manufactured at low cost. Although the double-sided wiring board 31 shown in FIG. 13 has two layers, the present invention is not limited to this, and a multilayer structure such as four layers or six layers is also possible.

　その後、図１０（ｃ）に示すように、両面配線基板３１を、外部電極パッド部２が露出するように多層配線層９の所定位置に位置合わせし、孔が形成されているシート状の接着剤層３２を両面配線基板３１と多層配線層９との間に介装し、この接着剤層３２により両面配線基板３１を多層配線層９に貼り付ける。 Thereafter, as shown in FIG. 10C, the double-sided wiring board 31 is positioned at a predetermined position of the multilayer wiring layer 9 so that the external electrode pad portion 2 is exposed, and a sheet-like adhesive having holes is formed. The agent layer 32 is interposed between the double-sided wiring board 31 and the multilayer wiring layer 9, and the double-sided wiring board 31 is attached to the multilayer wiring layer 9 with the adhesive layer 32.

　この場合に、通常の回路基板の製造プロセスにて使用されている真空ラミネート装置又は真空プレス機を使用すれば、前述の多層配線層９と両面配線基板３１との貼付け処理が容易である。 In this case, if a vacuum laminating apparatus or a vacuum press machine used in a normal circuit board manufacturing process is used, the above-described bonding process between the multilayer wiring layer 9 and the double-sided wiring board 31 is easy.

　また、両面配線基板３１は、最終ユーザー側での実装基板の線膨張係数値と近似している材料を用いることが容易である。よって、フリップチップ型半導体装置を最終ユーザー側で実装基板へ実装した後の線膨張係数のミスマッチによる実装信頼性のうち、特に温度サイクル特性が劣るという問題点を容易に解決することが可能である。 両 面 Further, for the double-sided wiring board 31, it is easy to use a material that is close to the linear expansion coefficient value of the mounting board on the end user side. Therefore, among the mounting reliability due to the mismatch of the linear expansion coefficient after the flip-chip type semiconductor device is mounted on the mounting board on the end user side, it is possible to easily solve the problem that the temperature cycle characteristic is particularly poor. .

　次に、図１１（ａ）に示すように、多層配線層９に貼りつけられている両面配線基板３１に設けられているスルーホール加工部２５に、導電性接着剤１３を充填する。導電性接着剤１３としては、半田粉末のフラックスを含有させている半田ペースト、又はＣｕ、Ｎｉ等の半田濡れ性が優れている金属粉末と有機性絶縁接着剤とを混合することにより構成されている材料を使用することができる。また、導電性接着剤１３は、スクリーン印刷法等により、スルーホール加工部２５に充填させて配置することができる。 Next, as shown in FIG. 11A, the conductive adhesive 13 is filled in the through-hole processing portion 25 provided on the double-sided wiring board 31 attached to the multilayer wiring layer 9. The conductive adhesive 13 is formed by mixing a solder paste containing a flux of solder powder, or a metal powder having excellent solder wettability, such as Cu or Ni, and an organic insulating adhesive. Material can be used. In addition, the conductive adhesive 13 can be disposed by being filled in the through-hole processing portion 25 by a screen printing method or the like.

　また、この場合に、工程を短縮させるために、予め両面配線基板３１に設けられているスルーホール加工部２５に導電性材料を充填した後、この基板３１を、多層配線層９に貼りつけることとしてもよい。 In this case, in order to shorten the process, a through-hole processing portion 25 provided on the double-sided wiring substrate 31 is filled with a conductive material in advance, and then the substrate 31 is attached to the multilayer wiring layer 9. It may be.

　更に、本工程の完了後に、多層配線基板単体状態で電気特性試験を実施しておけば、その後のフリップチップ実装工程では、電気的に良品と判定された部分にのみ良品のフリップチップ型半導体チップを実装すれば良い。 Furthermore, after the completion of this process, if an electrical property test is performed on the multilayer wiring substrate alone, in the subsequent flip-chip mounting process, only a portion that is electrically determined to be a non-defective flip-chip type semiconductor chip Should be implemented.

　次に、図１１（ｂ）に示すように、多層配線層９の最上層に形成されているパッド電極部７上に、フリップチップ型半導体チップ１４をそのバンプ電極１５側の面を下側にして実装する。この場合に、フリップチップ型半導体チップ１４のバンプ電極１５がＳｎ、Ｐｂ等の金属材料を主成分とする半田であれば、フラックスを使用した加熱リフロー工程にて実装が可能である。また、バンプ電極がＡｕ、Ｉｎ等の金属材料を主成分であるものであるならば、熱圧着方式によるフリップチップ実装が可能である。 Next, as shown in FIG. 11B, the flip-chip type semiconductor chip 14 is placed on the pad electrode portion 7 formed on the uppermost layer of the multilayer wiring layer 9 with the surface on the bump electrode 15 side facing downward. To implement. In this case, if the bump electrode 15 of the flip-chip type semiconductor chip 14 is a solder containing a metal material such as Sn or Pb as a main component, it can be mounted by a heating reflow process using a flux. In addition, if the bump electrode is mainly composed of a metal material such as Au or In, flip-chip mounting by a thermocompression bonding method is possible.

　その後、図１１（ｃ）に示すように、フリップチップ半導体チップ１４及びフリップチップ接続部分及び多層配線層９を保護するために、フリップチップ半導体チップ１４の側面とフリップチップ接合部及び多層配線層９の露出している領域に、絶縁性樹脂１６を配置させる。 Thereafter, as shown in FIG. 11C, the side surface of the flip chip semiconductor chip 14 and the flip chip bonding portion and the multilayer wiring layer 9 are protected in order to protect the flip chip semiconductor chip 14, the flip chip connection portion, and the multilayer wiring layer 9. The insulating resin 16 is disposed in the exposed region of the above.

　この場合に、絶縁性樹脂１６の配置方法としては、真空封止技術を取り込んだインジェクション樹脂の注入技術、又はトランスファー封止技術を使用するものがある。 In this case, as an arrangement method of the insulating resin 16, there is a method using an injection resin injection technique incorporating a vacuum sealing technique or a transfer sealing technique.

　その後、図１２（ａ）に示すように、両面配線基板３１に設けられているスルーホール加工部２５に充填されている導電性接着剤１３上に、外部端子としてＳｎ、Ｐｂ等の金属材料を主成分とする半田ボール１７を形成する。この場合に、スルーホール加工部２５に充填されている導電性接着剤１３上にフラックスを選択的に塗布した後に、半田ボール１７を搭載し、ＩＲリフロー工程により加熱処理を施すことにより半田ボール１７を搭載することが可能である。 Thereafter, as shown in FIG. 12A, a metal material such as Sn or Pb is provided as an external terminal on the conductive adhesive 13 filled in the through-hole processing portion 25 provided in the double-sided wiring board 31. A solder ball 17 as a main component is formed. In this case, after the flux is selectively applied onto the conductive adhesive 13 filled in the through-hole processing portion 25, the solder ball 17 is mounted, and the solder ball 17 is heated by an IR reflow process. Can be mounted.

　また、この半田ボール１７を搭載する面を、両面配線基板３１に設けられているスルーホール加工部２５からずらして導体パターン層２４内のＧＮＤプレーン３０に半田ボール搭載用ランド部を形成するような設計仕様（スパイラルＶｉａ構造）の両面配線基板３１を使用しても良い。 Further, the surface on which the solder balls 17 are mounted is shifted from the through-hole processing portion 25 provided on the double-sided wiring board 31 to form the solder ball mounting lands on the GND plane 30 in the conductor pattern layer 24. A double-sided wiring board 31 having a design specification (spiral Via structure) may be used.

　その後、図１２（ｂ）に示すように、ダイシングブレード等を使用した切断分離技術を使用して、フリップチップ型半導体装置の個片処理を実施することにより、フリップチップ型半導体装置が製造される。 Thereafter, as shown in FIG. 12B, the individual processing of the flip-chip type semiconductor device is performed by using a cutting / separation technique using a dicing blade or the like, whereby the flip-chip type semiconductor device is manufactured. .

　このような構成により、第１の実施の形態に使用されている絶縁性基板１１の代わりに、パターン加工済みの両面配線基板３１を使用しているので、本実施の形態は、第１の実施の形態よりも電源プレーン機能及びＧＮＤプレーン機能が強化される。これにより、更に一層、高性能化され、多層配線層の削減効果が得られ、コスト削減が可能である。 With such a configuration, a patterned double-sided wiring board 31 is used instead of the insulating substrate 11 used in the first embodiment. The power supply plane function and the GND plane function are strengthened as compared with the embodiment. As a result, the performance can be further improved, the effect of reducing the number of multilayer wiring layers can be obtained, and the cost can be reduced.

（ａ）乃至（Ｃ）は本発明の第１の実施の形態に係るフリップチップ型半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。3A to 3C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the flip-chip type semiconductor device according to the first embodiment of the present invention in the order of steps. （ａ）乃至（ｃ）は図１の次の工程を示す断面図である。FIGS. 2A to 2C are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）乃至（ｃ）は図２の次の工程を示す断面図である。FIGS. 3A to 3C are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）乃至（ｃ）は図３の次の工程を示す断面図である。FIGS. 4A to 4C are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）乃至（ｃ）は図４の次の工程を示す断面図である。FIGS. 5A to 5C are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）乃至（ｃ）は図５の次の工程を示す断面図である。FIGS. 6A to 6C are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）乃至（ｃ）は図６の次の工程を示す断面図である。FIGS. 7A to 7C are cross-sectional views showing the next step of FIG. 本発明の第２の実施の形態により製造されたフリップチップ型半導体装置を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a flip-chip type semiconductor device manufactured according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第３の実施の形態により製造されたフリップチップ型半導体装置を示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a flip-chip type semiconductor device manufactured according to a third embodiment of the present invention. （ａ）乃至（Ｃ）は本発明の第４の実施の形態に係るフリップチップ型半導体装置の製造方法を工程順に示す断面図である。7A to 7C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a flip-chip type semiconductor device according to a fourth embodiment of the present invention in the order of steps. （ａ）乃至（Ｃ）は図１０の次の工程を示す断面図である。FIGS. 11A to 11C are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）及び（ｂ）は図１１の次の工程を示す断面図である。FIGS. 12A and 12B are cross-sectional views showing the next step of FIG. （ａ）は第４の実施の形態の両面配線基板を拡大して示す断面図、（ｂ）はその平面図である。(A) is a sectional view showing an enlarged double-sided wiring board of the fourth embodiment, and (b) is a plan view thereof. （ａ）、（ｂ）は従来のフリップチップ型半導体装置を示す断面図である。(A), (b) is sectional drawing which shows the conventional flip chip type semiconductor device. （ａ）乃至（ｃ）は従来のビルドアップ基板の製造方法を工程順に示す断面図である。7A to 7C are cross-sectional views showing a conventional method for manufacturing a build-up substrate in the order of steps. （ａ）乃至（ｃ）は図１５の次の工程を示す断面図である。FIGS. 16A to 16C are cross-sectional views showing the next step of FIG.

符号の説明Explanation of reference numerals

　１：平坦金属板
　２：外部電極パッド部
　３：絶縁性樹脂薄膜層
　４：開口部
　５：金属薄膜層
　６：金属薄膜配線部
　７：パッド電極部
　８：ソルダーレジスト膜
　９：多層配線層
　１０、２１：接着剤
　１１：絶縁性基板
　１２：穴開き加工部
　１３：導電性接着剤
　１４：半導体チップ
　１５：バンプ電極
　１６：絶縁性樹脂
　１７：半田ボール
　１８：放熱性接着剤
　１９：ヒートスプレッダー
　２０：アンダーフィル樹脂
　２２：スティフナー
　２３：絶縁性樹脂コア基板
　２４：導体パターン層
　２５：スルーホール加工部
　３１：両面配線基板
　３２：接着剤膜
1: Flat metal plate 2: External electrode pad portion 3: Insulating resin thin film layer 4: Opening portion 5: Metal thin film layer 6: Metal thin film wiring portion 7: Pad electrode portion 8: Solder resist film 9: Multilayer wiring layer 10, 21: Adhesive 11: Insulating substrate 12: Perforated portion 13: Conductive adhesive 14: Semiconductor chip 15: Bump electrode 16: Insulating resin 17: Solder ball 18: Heat dissipating adhesive 19: Heat spreader 20: Underfill resin 22: Stiffener 23: Insulating resin core board 24: Conductive pattern layer 25: Through-hole processing part 31: Double-sided wiring board 32: Adhesive film

Claims (3)

金属板上に外部電極パッド配線層としての金属配線層を形成する第１工程と、前記金属配線層が露出する開口部を有する絶縁層を前記金属板及び前記金属配線層上に形成する第２工程と、前記絶縁層上に前記開口部を介して前記金属配線層と電気的に接続する金属配線層を形成する第３工程と、前記第３工程で形成された金属配線層が露出する開口部を有する絶縁層を形成する第４工程と、下層の絶縁層上にその開口部を介して下層の金属配線層と電気的に接続する上層の金属配線層を形成した後、前記上層の金属配線層が露出する開口部を有する上層の絶縁層を形成するというように前記第３工程及び第４工程を繰り返して所望の多層配線層を形成する第５工程と、前記所望の多層配線層を形成した後、前記金属板を除去する第６工程と、前記第６工程後、貫通孔を有する絶縁性基板又は配線基板からなる基板と前記多層配線層の前記金属板と接していた一方の面とを接着層を介して接着する第７工程とを有することを特徴とする多層配線基板の製造方法。 A first step of forming a metal wiring layer as an external electrode pad wiring layer on a metal plate, and a second step of forming an insulating layer having an opening through which the metal wiring layer is exposed on the metal plate and the metal wiring layer A step of forming a metal wiring layer electrically connected to the metal wiring layer via the opening on the insulating layer; and an opening exposing the metal wiring layer formed in the third step. Forming an insulating layer having a portion, forming an upper metal wiring layer electrically connected to the lower metal wiring layer through the opening on the lower insulating layer, and forming the upper metal layer on the lower insulating layer. A fifth step of forming a desired multilayer wiring layer by repeating the third and fourth steps so as to form an upper insulating layer having an opening through which the wiring layer is exposed; After forming, a sixth step of removing the metal plate; After the sixth step, a seventh step of bonding a substrate made of an insulating substrate or a wiring substrate having a through-hole and one surface of the multilayer wiring layer which has been in contact with the metal plate via an adhesive layer. A method for manufacturing a multilayer wiring board, comprising: 前記第７工程後、前記貫通孔に導電材料を埋設する第８工程を更に有することを特徴とする請求項１に記載の多層配線基板の製造方法。 The method according to claim 1, further comprising an eighth step of burying a conductive material in the through hole after the seventh step. 前記基板の貫通孔には導電性材料が埋設されていることを特徴とする請求項１に記載の多層配線基板の製造方法。
2. The method according to claim 1, wherein a conductive material is buried in the through hole of the substrate.
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