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JP2003512716A - Multi-metal layer assembly for wire bond tape ball grid array package - Google Patents

Multi-metal layer assembly for wire bond tape ball grid array package

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Publication number
JP2003512716A
JP2003512716A JP2000597986A JP2000597986A JP2003512716A JP 2003512716 A JP2003512716 A JP 2003512716A JP 2000597986 A JP2000597986 A JP 2000597986A JP 2000597986 A JP2000597986 A JP 2000597986A JP 2003512716 A JP2003512716 A JP 2003512716A
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JP
Japan
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circuit
reference plane
layer
adhesive layer
dielectric substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP2000597986A
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Japanese (ja)
Inventor
ポール・エム・ハービー
ジョン・ディ・ガイシンガー
アンソニー・アール・プレピス
ケビン・ワイ・チェン
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3M Innovative Properties Co
Original Assignee
3M Innovative Properties Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 第1誘電性基板を備える可撓性トレース配置回路を提供する半導体デバイスをパッケージする装置。この第1誘電性基板はその上に第1導電性層と、第1誘電性基板を貫通して形成された少なくとも1つのはんだボール収容通路を有する。第1導電性層は、個々のはんだボール収容通路に隣接してはんだボールパッドを有して閉鎖端部を形成する複数の導電性トレースを備える。第1接着剤層は、第1導電性層に貼付される。可撓性基準平面回路は、少なくとも1つの基準電圧平面を有する第2誘電性基板を備える。基準電圧平面は、第1接着剤層に接合され、第1接着剤層を介して第1導電性層に電気的に接続される。半導体デバイス収容通路は、トレース配置回路と、第1接着剤層と、第1基準電圧平面回路とを貫通して延在する。スティフナー部材は、第2誘電性基板に接合される。 (57) Abstract: An apparatus for packaging a semiconductor device that provides a flexible trace placement circuit having a first dielectric substrate. The first dielectric substrate has a first conductive layer thereon and at least one solder ball receiving passage formed through the first dielectric substrate. The first conductive layer includes a plurality of conductive traces having solder ball pads adjacent to the individual solder ball receiving passages to form a closed end. The first adhesive layer is attached to the first conductive layer. The flexible reference plane circuit includes a second dielectric substrate having at least one reference voltage plane. The reference voltage plane is joined to the first adhesive layer and is electrically connected to the first conductive layer via the first adhesive layer. The semiconductor device receiving passage extends through the trace placement circuit, the first adhesive layer, and the first reference voltage plane circuit. The stiffener member is bonded to the second dielectric substrate.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】 技術分野 本明細書の開示事項は、一般にテープボールグリッドアレイ(TBGA)に関
し、さらに詳細には、絶縁変位バイア(IDV)、はんだ充填バイアまたはその
他の公知の接続技術を使用して、接地平面に電気的に接続された接地平面回路を
備えた可撓性回路に関する。
TECHNICAL FIELD The disclosure herein relates generally to tape ball grid arrays (TBGAs) and, more particularly, using insulation displacement vias (IDVs), solder filled vias or other known connection techniques. A flexible circuit having a ground plane circuit electrically connected to the ground plane.

【0002】 背景技術 テープボールグリッドアレイ(TBGA)パッケージは、目立った電気的およ
び熱的性能、高度の信頼性、並びにワイヤボンドダイ組立体および後続のカード
組立体方法との実証された互換性を提供する。いくつかのTBGAパッケージ構
成の顕著な特徴の1つは、テープを反転させることによりはんだマスクとして支
持体フィルムを使用することである。TBGAワイヤボンド支持体の現在のコス
トは、可撓性回路のみのコストに比べて著しく高額である。この組立体の重要な
コスト推進要因としては、より剛性の材料、可撓性回路の作製、接着剤のパター
ン化、および整列/堆積(lay up)である。TBGAワイヤボンド支持体
の価値命題を厳密に考察すると、ワイヤボンド支持体製品によって現在満たされ
ている市場要件は、さらに費用効果の高い新規な製品構成によってより良く満た
されることがわかる。
BACKGROUND Tape ball grid array (TBGA) packages offer outstanding electrical and thermal performance, high reliability, and proven compatibility with wire bond die assembly and subsequent card assembly methods. provide. One of the salient features of some TBGA package constructions is the use of a carrier film as a solder mask by inverting the tape. The current cost of TBGA wirebond supports is significantly higher than the cost of flexible circuits alone. Significant cost drivers for this assembly are stiffer materials, flexible circuit fabrication, adhesive patterning, and alignment / lay up. A close examination of the value proposition of TBGA wirebond supports reveals that the market requirements currently met by wirebond support products are better met by new, more cost-effective product configurations.

【0003】 効果的なTBGA回路を設計するには、接地平面は、TBGAテープ上の微細
ピッチトレースに隣接して密接に離間配する必要がある。この接地平面は、回路
の電磁減衰および熱の散逸を提供する。先行技術では、スティフナーは、多くの
場合、必要な接地平面を形成するように接地された金属部品である。代表的な先
行技術の装置では、ポリイミドテープは、微細ピッチトレースがテープ上に配置
され、接着剤で剛性金属スティフナーに取り付けられる。先行技術の解決策の問
題は、コストである。パターン化された接着剤層は、可撓性回路をスティフナー
に積層する場合、正確に見当合わせする必要がある。可能かつ実際的である場合
、パターン化、堆積および見当合わせステップを回避することが望ましい。これ
らステップは、製造工程に著しい費用を追加するからである。
To design an effective TBGA circuit, the ground plane must be closely spaced adjacent to the fine pitch traces on the TBGA tape. This ground plane provides electromagnetic damping and heat dissipation for the circuit. In the prior art, stiffeners are often metal parts that are grounded to form the required ground plane. In a typical prior art device, a polyimide tape has fine pitch traces placed on the tape and attached with adhesive to a rigid metal stiffener. A problem with prior art solutions is cost. The patterned adhesive layer must be precisely registered when laminating the flexible circuit to the stiffener. When possible and practical, it is desirable to avoid patterning, deposition and registration steps. These steps add significant cost to the manufacturing process.

【0004】 IDVは、はんだバンプまたははんだ充填バイアなどのようなその他の接続方
法ほど確実ではない。しかし、IDVは、他のタイプの接続よりも実質的に安価
に製造することができる。IDV相互接続については信頼性の問題があり、信号
バイア接続には不適当にしている。IDV接続は、冗長なバイアまたは接続部が
形成される電力および接地回路接続に使用するのに適する。1つのIDV相互接
続部が不良であるか、または使用できない場合、この相互接続部は、全体的な装
置の性能に悪影響を及ぼさない。この場合、IDVを使用して、接地平面を可撓
性回路に接続することができる。
IDV is less reliable than other connection methods such as solder bumps or solder filled vias. However, IDVs are substantially cheaper to manufacture than other types of connections. Reliability issues with IDV interconnections make them unsuitable for signal via connections. IDV connections are suitable for use in power and ground circuit connections where redundant vias or connections are formed. If one IDV interconnect is defective or unusable, this interconnect will not adversely affect overall device performance. In this case, the IDV can be used to connect the ground plane to the flexible circuit.

【0005】 Catonに付与された英国特許第2,157,085号には、上に少なくと
も1つの第1導電性層を有する第1回路層と、上に少なくとも1つの導電性トレ
ースを有する第2回路層とを備え、第1および第2トレースは各々、対向位置に
予め決められた構成の拡大接続パッドを有し、超音波溶接手段が、第1および第
2トレースを拡大接続パッドにおいて相互接続している多金属層回路構成が開示
されている。
British Patent No. 2,157,085 to Caton discloses a first circuit layer having at least one first conductive layer thereon and a second circuit layer having at least one conductive trace thereon. A circuit layer, the first and second traces each having an enlarged connection pad of a predetermined configuration in opposed positions, the ultrasonic welding means interconnecting the first and second traces at the enlarged connection pad. A multi-metal layer circuit arrangement is disclosed.

【0006】 Ingle等に付与された米国特許第5,379,512号には、導体の端部
を回路パッドに結合する方法が開示されており、この方法では、ケーブルが回路
パッド上に配置される。次に、基板を基板の弾性限界を超えて圧縮するのに十分
な圧力で、結合工具をケーブルの上面に圧迫する。超音波エネルギーを結合工具
に加えて基板を通して伝達し、導体と回路パッドとの間の金属結合に作用させる
US Pat. No. 5,379,512 to Ingle et al. Discloses a method of coupling the ends of conductors to a circuit pad in which a cable is placed over the circuit pad. It The bond tool is then pressed against the top surface of the cable with sufficient pressure to compress the substrate beyond the elastic limit of the substrate. Ultrasonic energy is applied to the bonding tool and transmitted through the substrate to affect the metallic bond between the conductor and the circuit pad.

【0007】 米国特許第5,661,088号では、電子部品をパッケージする方法は、第
2の表面に対向する第1の表面を有する基板に孔を形成することを含む。この方
法も、第1表面および基板の孔上に展性層を配置してパターン化することを含む
。この展性層は、第4の表面に対向する第3の表面を有する。第4表面の一部は
、基板内の孔によって露出している。導電性層は、展性層の第3表面の異なる部
分上に同時に配置される。次に、半導体ダイを展性層に結合し、半導体ダイの下
および孔の上にカプセル材料を配置する。
In US Pat. No. 5,661,088, a method of packaging electronic components includes forming holes in a substrate having a first surface opposite a second surface. The method also includes disposing and patterning the malleable layer on the first surface and the holes in the substrate. The malleable layer has a third surface opposite the fourth surface. Part of the fourth surface is exposed by the holes in the substrate. The conductive layers are simultaneously disposed on different parts of the third surface of the malleable layer. The semiconductor die is then bonded to the malleable layer and the encapsulant material is placed under the semiconductor die and over the holes.

【0008】 米国特許第5,519,936号および米国特許第5,561,323号には
各々、パッケージの半導体チップと回路化基板部材の両方が結合される剛性支持
部材、たとえば銅シートを備える電子パッケージが開示されている。このチップ
は、熱伝導性接着剤を使って結合され、回路化基板、好ましくは可撓性回路は、
電気的絶縁接着剤を使って結合される。チップは、基板回路の指定部分に、好ま
しくはワイヤボンディング、熱圧縮ボンディングまたはサーモソニックボンディ
ングにより電気的に結合される。カプセル材料は、チップと基板との間の接続部
を被覆して保護するために使用される。その結果、パッケージは、PCBなどの
ような別の第2基板に電気的に結合される。
US Pat. No. 5,519,936 and US Pat. No. 5,561,323 each include a rigid support member, such as a copper sheet, to which both the semiconductor chip of the package and the circuitized substrate member are joined. Electronic packages are disclosed. The chip is bonded using a thermally conductive adhesive and the circuitized substrate, preferably a flexible circuit, is
Bonded using an electrically insulating adhesive. The chip is electrically coupled to a designated portion of the substrate circuit, preferably by wire bonding, thermocompression bonding or thermosonic bonding. The encapsulant is used to cover and protect the connection between the chip and the substrate. As a result, the package is electrically coupled to another second substrate, such as a PCB.

【0009】 米国特許第5,585,162号には、接地平面の他の部分とは分離している
が、接地平面に対向する可撓性回路の面上の回路トレースによって第1バイアか
ら隔たった第2バイアを介して接地平面に電気的に接続されている第1バイアを
形成することにより、はんだボールを両面可撓性回路の接地平面にマスリフロー
接合することを可能にする可撓性回路構成が開示されている。このデバイスでは
、金属化貫通孔または金属化ブラインドバイアがTBGA上の層を相互接続する
US Pat. No. 5,585,162 separates from the other parts of the ground plane, but separates it from the first via by circuit traces on the side of the flexible circuit that faces the ground plane. Flexibility that allows mass reflow bonding of solder balls to the ground plane of a double-sided flexible circuit by forming a first via that is electrically connected to the ground plane through only a second via. A circuit configuration is disclosed. In this device, metallized through holes or metallized blind vias interconnect the layers on the TBGA.

【0010】 現在のどの製品構成または設計技術も、基準平面を有する回路組立体を製造す
るための費用効果の高い方法に適切に対処していない。したがって、以前の技術
の欠点を克服する基板パッケージおよび製造方法に対する必要性が高まっている
。さらに詳細には、回路の特定の設計および機能要件を最適化する方法を使用し
て、トレース配置回路および接地平面回路を別個に製造できるPCB構成に対す
る必要性が高まっている。基準平面回路には、トレース配置回路の微細ピッチの
細部がない。したがって、基準平面回路は、トレース配置回路よりも安価な方法
を用いて製造することができる。絶縁変位バイアなどのような低価格の相互接続
技術を使用することは、費用効果の高い製品構成の提供に役立つ技術の1つであ
る。
None of the current product configurations or design techniques adequately address cost-effective methods for manufacturing circuit assemblies with reference planes. Therefore, there is an increasing need for substrate packages and manufacturing methods that overcome the shortcomings of the prior art. More specifically, there is an increasing need for PCB constructions in which trace placement circuits and ground plane circuits can be manufactured separately using methods that optimize the specific design and functional requirements of the circuits. The reference plane circuit lacks the fine pitch details of the trace placement circuit. Therefore, the reference plane circuit can be manufactured using a cheaper method than the trace placement circuit. The use of low cost interconnect technology, such as isolation displacement vias, is one of the technologies that helps provide a cost effective product configuration.

【0011】 発明の開示 したがって、一実施態様では、コストの影響が大きい用途において、半導体ダ
イをプリント回路基板などのような基板に半導体ダイを取り付けるための多層回
路を提供する。この目的のため、多層回路組立体は、第1誘電性基板を有するト
レース配置回路を備える。第1導電性層は、第1誘電性基板の第1面に形成され
る。第1接着剤層は、トレース配置回路に貼付され、基準平面回路は第1接着剤
層に貼付される。基準平面回路は、少なくとも1つの導電性基準平面が上に形成
された第2誘電性基板を備える。各々の導電性基準平面は、第1接着剤層を介し
て第1導電性層に電気的に接続する。
DISCLOSURE OF THE INVENTION Accordingly, in one embodiment, a multi-layer circuit is provided for attaching a semiconductor die to a substrate, such as a printed circuit board, for cost sensitive applications. For this purpose, the multilayer circuit assembly comprises a trace placement circuit having a first dielectric substrate. The first conductive layer is formed on the first surface of the first dielectric substrate. The first adhesive layer is attached to the trace placement circuit and the reference plane circuit is attached to the first adhesive layer. The reference plane circuit comprises a second dielectric substrate having at least one conductive reference plane formed thereon. Each conductive reference plane is electrically connected to the first conductive layer via the first adhesive layer.

【0012】 この実施態様の主な利点は、以前の基準平面構成技術よりも費用効果の高い方
法で基準平面回路を製造して取り付け、電気的に接続できる点である。基準平面
回路およびトレース配置回路は、最も費用効果の高い技術を用いて別個に製造し
、後に一緒に接合することができる。費用効果の一部は、基準平面回路の製造と
同時に接地平面をパターン化することから生じる。さらに、従来の技術と違って
、接地平面回路は、入手が容易な接着剤を使用して接合し、絶縁変位バイアなど
のような安価な相互接続方法を使用してトレース配置回路に電気的に相互接続す
ることができる。
The main advantage of this embodiment is that the reference plane circuits can be manufactured, mounted and electrically connected in a more cost-effective manner than previous reference plane construction techniques. The reference plane circuit and the trace placement circuit can be manufactured separately using the most cost effective techniques and later bonded together. Part of the cost effectiveness results from patterning the ground plane at the same time as the reference plane circuit is manufactured. In addition, unlike the prior art, ground plane circuits are bonded using readily available adhesives and electrically connected to trace placement circuits using inexpensive interconnection methods such as insulation displacement vias. Can be interconnected.

【0013】 好適な実施態様の詳細な説明 一実施態様では、図1〜図3に示すように、トレース配置回路2は、第1導電
性層8が第1面に形成された第1誘電性基板4を備える。複数のはんだボール収
容通路6は、第1誘電性基板4を貫通して形成される。第1導電性層8は、はん
だボールパッド12が、はんだボール収容通路6に隣接して形成されて閉鎖端部
14を形成する複数のトレース10を備えるようにパターン化される。基準平面
回路16は、少なくとも1つの基準平面20が第1面に形成された第2誘電性基
板18を備える。図3に示す回路組立体1を組み立てるため、トレース配置回路
2と基準平面回路16との間に接着剤層22を形成して、これら回路を接合する
Detailed Description of the Preferred Embodiments In one embodiment, as shown in FIGS. 1-3, trace placement circuit 2 comprises a first dielectric layer having a first conductive layer 8 formed on a first side thereof. A substrate 4 is provided. The plurality of solder ball storage passages 6 are formed so as to penetrate the first dielectric substrate 4. The first conductive layer 8 is patterned such that the solder ball pad 12 comprises a plurality of traces 10 formed adjacent the solder ball receiving passage 6 to form a closed end 14. The reference plane circuit 16 comprises a second dielectric substrate 18 having at least one reference plane 20 formed on its first side. To assemble the circuit assembly 1 shown in FIG. 3, an adhesive layer 22 is formed between the trace placement circuit 2 and the reference plane circuit 16 to bond these circuits together.

【0014】 トレース配置回路および基準平面回路は、先行技術で十分に周知されている多
くの異なる方法のどれかで組み立てることができる。好ましい方法は、Klun
等に付与された米国特許第5,227,008号に開示されている。この特許は
、誘電性基板内または誘電性基板を貫通して特徴をエッチングして、導電性材料
を誘電性基板上にめっきする方法を開示している。以下は、この特許に開示され
ている回路組立方法の主な側面を説明する簡単な概要である。
The trace placement circuit and the reference plane circuit can be assembled in any of the many different ways well known in the prior art. The preferred method is Klun
No. 5,227,008 to U.S. Pat. This patent discloses a method of etching features in or through a dielectric substrate to plate a conductive material onto the dielectric substrate. The following is a brief overview illustrating the main aspects of the circuit assembly method disclosed in this patent.

【0015】 フォトレジストは、誘電性基板の両面に形成される。必要なら、誘電性基板の
第1面のフォトレジストは、写真平版技術を使用して、誘電性基板上にめっきさ
れる特徴を備えるようにパターン化することができる。誘電性基板の反対側の面
のフォトレジストも、写真平版技術を使用して、化学的エッチングなどのような
手段により誘電性基板に形成される特徴を備えるようにパターン化することがで
きる。めっきされる特徴をこうして形成したら、次にめっきする。誘電性基板内
に、または誘電性基板を貫通して特徴を形成する場合、次に、基板の第2面にエ
ッチングするか、または他の方法で処理する。必要なら、フォトレジストを剥離
して、被覆めっきなどのような後続の加工ステップを完了する。
Photoresists are formed on both sides of the dielectric substrate. If desired, the photoresist on the first side of the dielectric substrate can be patterned using photolithographic techniques to provide features to be plated onto the dielectric substrate. The photoresist on the opposite side of the dielectric substrate can also be patterned using photolithographic techniques to include features formed on the dielectric substrate by such means as chemical etching. Once the features to be plated are thus formed, they are then plated. If features are to be formed in or through the dielectric substrate, then the second side of the substrate is etched or otherwise processed. The photoresist is stripped, if necessary, to complete subsequent processing steps such as coating plating and the like.

【0016】 基準平面回路16は、トレース配置回路2の特徴に比べると、主に巨視的な特
徴のみを有する。したがって、本明細書に記載する例示的な実施態様の利点は、
基準平面回路16をトレース配置回路2とは別個に製造できることである。Kl
un等に付与された米国特許第5,227,008号に開示されている方法とは
異なる安価な各種組立技術を使用して、基準平面回路16を組み立てることがで
きる。こうしたタイプの技術としては、導電性材料を誘電性基板上に所望のパタ
ーンで直接スクリーン印刷する方法、接着剤を使用して、ダイカットした導電性
箔パターンを誘電性基板上に積層する方法、およびその他の技術が挙げられる。
The reference plane circuit 16 mainly has only macroscopic features as compared with the features of the trace placement circuit 2. Thus, the advantages of the exemplary embodiments described herein are:
The reference plane circuit 16 can be manufactured separately from the trace placement circuit 2. Kl
Reference plane circuit 16 can be assembled using a variety of inexpensive assembly techniques different from those disclosed in U.S. Pat. No. 5,227,008 to Un et al. These types of techniques include direct screen printing of a conductive material in a desired pattern on a dielectric substrate, laminating a die cut conductive foil pattern onto a dielectric substrate using an adhesive, and Other technologies can be mentioned.

【0017】 図4は、第2導電性層21が第1誘電性基板4の第2面に形成されたトレース
配置回路2を有する回路組立体1を示す。第2導電性層21は、複数のトレース
23を備えるようにパターン化される。1つまたは複数の導電性バイア25は、
第2導電性層21のトレース23の少なくとも一部を第1導電性層8のトレース
10と相互接続する。導電性バイア25を示すが、IDVなどのようなその他の
相互接続技術を使用しても良い。はんだマスク27は、バイア6が内部に形成さ
れた第2導電性層上に形成される。はんだマスク27は、写真平版技術を用いて
バイア6を形成できるように、写真画像形成可能な材料から製造する。
FIG. 4 shows a circuit assembly 1 having a trace placement circuit 2 having a second conductive layer 21 formed on a second side of a first dielectric substrate 4. The second conductive layer 21 is patterned to include a plurality of traces 23. One or more conductive vias 25 are
At least a portion of trace 23 of second conductive layer 21 is interconnected with trace 10 of first conductive layer 8. Although conductive vias 25 are shown, other interconnection technologies such as IDV and the like may be used. The solder mask 27 is formed on the second conductive layer in which the via 6 is formed. Solder mask 27 is manufactured from a photoimageable material so that vias 6 can be formed using photolithographic techniques.

【0018】 図5Aおよび図5Bは、第1導電性層8のトレース10と基準平面20との間
にIDV接続部28を形成する基本的な方法を示す。結合工具の先端24は、は
んだボールパッド12上に圧力および/または熱を加える。第1接着剤層22は
、結合工具先端24の下から変位し、トレース12が基準平面20に結合される
5A and 5B show the basic method of forming the IDV connection 28 between the trace 10 of the first conductive layer 8 and the reference plane 20. The tip 24 of the bonding tool exerts pressure and / or heat on the solder ball pad 12. The first adhesive layer 22 is displaced from underneath the bonding tool tip 24 and the trace 12 is bonded to the reference plane 20.

【0019】 次に、図6を参照すると、回路組立体1はスティフナー部材32に取り付けら
れている。回路組立体1にスティフナー部材32を取り付ける1つの技術は、第
2の接着剤層30を使用して、スティフナー部材32を第2誘電性基板18に接
着することである。特定の用途に応じて、第2接着剤層30は、回路組立体1を
製造する当事者が回路組立体1に接合することができる。あるいは、第2接着剤
層30は、スティフナー部材32と一体でも良い。第2の当事者が、後に、ステ
ィフナー部材32を貼付しても良い。何れの場合も、回路組立体1の製造時とは
異なる時点におけるスティフナー部材32の接合を単純化することになる。
Next, referring to FIG. 6, the circuit assembly 1 is attached to the stiffener member 32. One technique for attaching the stiffener member 32 to the circuit assembly 1 is to use the second adhesive layer 30 to adhere the stiffener member 32 to the second dielectric substrate 18. Depending on the particular application, the second adhesive layer 30 may be bonded to the circuit assembly 1 by the party making the circuit assembly 1. Alternatively, the second adhesive layer 30 may be integrated with the stiffener member 32. The second party may later apply the stiffener member 32. In either case, joining of the stiffener member 32 at a time different from the time of manufacturing the circuit assembly 1 is simplified.

【0020】 好ましい実施態様では、第1および第2誘電性基板4、18は、DuPont
がKAPTON Eの商標で市販しているポリイミドフィルムで良い。第1接着
剤層22は、DuPontがKJの商標で市販しているポリイミドベースの接着
剤で良い。第2接着剤層30に好ましい材料は、Minnesota Mini
ng and Manufacturing Co.がVHBの商標で市販して
いる感圧接着剤で良い。上記の材料は好ましいが、当業者にとっては、各種の誘
電性基板および接着剤層に適するその他多くの市販材料が明白であると考えられ
る。
In a preferred embodiment, the first and second dielectric substrates 4, 18 are DuPont.
May be a polyimide film sold under the trademark KAPTON E. The first adhesive layer 22 may be a polyimide-based adhesive commercially available from DuPont under the KJ trademark. A preferred material for the second adhesive layer 30 is Minnesota Mini.
ng and Manufacturing Co. Can be any pressure sensitive adhesive sold under the trademark VHB. While the above materials are preferred, it will be apparent to those skilled in the art that many other commercially available materials suitable for various dielectric substrates and adhesive layers will be apparent.

【0021】 図7では、はんだプラグ38は、はんだプラグバイア40内に形成されて、第
1導電性層8のトレース10を基準平面20に相互接続する。はんだプラグバイ
ア40は、先行技術で十分に周知さている多くの技術のどれかを用いて形成する
ことができる。たとえば、化学的エッチング、レーザ切削加工、プラズマエッチ
ング、機械的穿孔またはその他の周知されている方法を使用して、基準平面回路
を貫通するはんだプラグバイアを形成することができる。第1接着剤層22は、
バイアを形成する前に回路組立体に接合して、この接着剤層も貫通する通路を形
成しても良い。はんだプラグバイア40を形成するのと同時に第1接着剤層22
に通路を形成することにより、トレース配置回路2および基準平面回路16に対
する第1接着剤層22の整列配置に関連する問題を回避することができる。
In FIG. 7, solder plugs 38 are formed in solder plug vias 40 to interconnect the traces 10 of the first conductive layer 8 to the reference plane 20. Solder plug via 40 can be formed using any of the many techniques well known in the prior art. For example, chemical etching, laser cutting, plasma etching, mechanical drilling or other known methods can be used to form solder plug vias through the reference plane circuit. The first adhesive layer 22 is
The vias may be bonded to the circuit assembly prior to forming the vias to form a passage through the adhesive layer. At the same time that the solder plug via 40 is formed, the first adhesive layer 22
By forming the vias, problems associated with the alignment of the first adhesive layer 22 with respect to the trace placement circuit 2 and the reference plane circuit 16 can be avoided.

【0022】 商業的に利用可能で周知されている積層技術を使用して、トレース配置回路2
、第1接着剤層22および基準平面回路16を整列配置した状態で保持して積層
し、図7に示すはんだプラグバイア40を有する回路組立体1を形成することが
できる。この積層方法の後、はんだペーストをバイア内にスクリーニングして、
回路組立体にはんだリフロー作業を行ってはんだプラグ38を形成する。あるい
は、先行技術で周知されている多くの無電解めっきのどれかを使用して、バイア
38を形成しても良い。
Trace placement circuit 2 using commercially available and well known stacking techniques.
, The first adhesive layer 22 and the reference plane circuit 16 are aligned and held and laminated to form the circuit assembly 1 having the solder plug vias 40 shown in FIG. 7. After this laminating method, screen the solder paste in vias,
A solder reflow operation is performed on the circuit assembly to form the solder plug 38. Alternatively, via 38 may be formed using any of the many electroless plating methods known in the art.

【0023】 図8に示すように、回路組立体1は、連続的に、またはパネル式に形成するこ
とができるが、2つ以上の回路組立体1は、切除法を使用して互いに分離する必
要がある。本明細書に記載する例示的な実施態様の重要な利点は、基準平面20
とめっきバス58との間の短絡に耐えるように構成される点である。スティフナ
ー部材を基準平面として使用する従来の構成技術では、切除過程によってめっき
バス58が変形して汚れ、その結果めっきバス58がスティフナー部材に接触し
て短絡が生じる場合がある。切除過程および機器は先行技術で十分に周知されて
いるので、本明細書では詳細には説明しない。
As shown in FIG. 8, the circuit assemblies 1 can be formed continuously or in a panel manner, but two or more circuit assemblies 1 are separated from each other using a cutting method. There is a need. A significant advantage of the exemplary embodiments described herein is the reference plane 20.
And is configured to withstand a short circuit between the plating bus 58. In the conventional construction technique using the stiffener member as the reference plane, the plating bath 58 may be deformed and contaminated by the cutting process, and as a result, the plating bath 58 may come into contact with the stiffener member to cause a short circuit. The ablation process and instruments are well known in the prior art and will not be described in detail herein.

【0024】 めっきバス58は、パネル式およびロールツーロール式の電気めっきを容易に
するために、2つの隣接する回路組立体1間に電気的連続性を維持する。切除工
具58がプラテン59に接触して回路組立体1を分離する位置に、2つの隣接す
る回路組立体1の基準平面20間の適切な空間を設けることにより、バストレー
ス58と基準平面20との間が短絡する可能性は、なくならないまでも大幅に減
少させることができる。2つの隣接する基準平面20間の空間は、第1接着剤層
22が、分離されためっきバス58から各基準平面20を効果的に絶縁すること
を可能にする。
The plating bath 58 maintains electrical continuity between two adjacent circuit assemblies 1 to facilitate panel and roll-to-roll electroplating. By providing an appropriate space between the reference planes 20 of two adjacent circuit assemblies 1 at a position where the cutting tool 58 contacts the platen 59 to separate the circuit assemblies 1, the bus trace 58 and the reference plane 20 are separated from each other. The possibility of a short circuit between them can be greatly reduced, if not eliminated. The space between two adjacent reference planes 20 allows the first adhesive layer 22 to effectively insulate each reference plane 20 from the isolated plating bath 58.

【0025】 図9は、概して100で示され、第1基準平面120に対向する第2誘電性基
板118の面に第2基準平面120’を有する回路組立体を示す。多くの電子部
品パッケージ用途では、第1基準平面120を使用して第1基準電圧を提供し、
第2基準平面120’を使用して第2基準電圧を提供することが望ましい。はん
だプラグ138、138’は、基準平面120、120’を個々のトレース11
0に相互接続するために使用することができる。図示のとおり、はんだプラグ1
38、138’は、はんだボールパッド112に隣接して位置する。これは、は
んだボールパッド112の領域は、トレース110の他の領域よりも著しく大き
いという点で望ましい。基準平面120’は、第1基準平面120に対するはん
だプラグ138が、第2基準平面120’に対するはんだプラグ138’と同じ
面から形成されるように、凹んだ領域141を有しても良い。凹んだ領域141
は、第1基準平面120に接続されたはんだプラグ138が、第2基準平面12
0’に接触するのを防止する。
FIG. 9 shows a circuit assembly, generally designated 100, having a second reference plane 120 ′ on the side of the second dielectric substrate 118 opposite the first reference plane 120. In many electronic component packaging applications, the first reference plane 120 is used to provide the first reference voltage,
It is desirable to use the second reference plane 120 'to provide the second reference voltage. The solder plugs 138, 138 'connect the reference planes 120, 120' to the individual traces 11
Can be used to interconnect 0. As shown, solder plug 1
38, 138 ′ are located adjacent to the solder ball pad 112. This is desirable in that the area of the solder ball pad 112 is significantly larger than the other areas of the trace 110. The reference plane 120 ′ may have a recessed area 141 so that the solder plug 138 for the first reference plane 120 is formed from the same plane as the solder plug 138 ′ for the second reference plane 120 ′. Recessed area 141
Is the solder plug 138 connected to the first reference plane 120.
Prevent contact with 0 '.

【0026】 実施の際、本明細書に記載する例示的な実施態様は、非伝導性接着剤などのよ
うな誘電性材料により、トレース配置回路が別個の基準平面回路に取り付けられ
た回路組立体を提供する。トレース配置回路の導電性トレースの少なくとも一部
は、基準平面回路上の基準平面に接続される。これらトレースは、PCB上にパ
ッケージされているデバイス間で信号および電源を送受信する。基準平面は、P
CB上にパッケージされた1つまたは複数のデバイスに基準電圧を提供するため
に望ましい電圧に維持される。用途に応じて、基準平面全体の電圧は、一般に0
.0V〜5.0Vである。間にめっきバスを有する2つの回路が、機械的に互い
に分離されている場合、基準平面間の回路が分離されている位置に隙間が存在す
ることが好ましい。
In practice, the exemplary embodiments described herein include a circuit assembly in which the trace placement circuit is attached to a separate reference plane circuit by a dielectric material such as a non-conductive adhesive or the like. I will provide a. At least a portion of the conductive traces of the trace placement circuit are connected to a reference plane on the reference plane circuit. These traces send and receive signals and power between devices packaged on the PCB. The reference plane is P
A desired voltage is maintained to provide a reference voltage to one or more devices packaged on the CB. Depending on the application, the voltage across the reference plane is generally 0.
. It is 0V to 5.0V. If the two circuits with the plating bath in between are mechanically separated from each other, it is preferable that there is a gap between the reference planes where the circuits are separated.

【0027】 結果として、一実施態様は、第1誘電性基板を備えるトレース配置回路を有す
る多層回路組立体を提供する。少なくとも1つのはんだボール収容通路は、第1
誘電性基板を貫通して形成される。第1導電性層は、第1誘電性基板の第1面に
形成される。第1接着剤層はトレース配置回路に貼付され、基準平面回路は、ト
レース配置回路に対向する面の第1接着剤層に貼付される。基準平面回路は、少
なくとも1つの導電性基準平面が上に形成された第2誘電性基板を備える。少な
くとも1つの基準平面は各々、第1接着剤層を介して第1導電性層に電気的に接
続する。
As a result, one embodiment provides a multilayer circuit assembly having a trace placement circuit that includes a first dielectric substrate. The at least one solder ball receiving passage has a first
It is formed penetrating the dielectric substrate. The first conductive layer is formed on the first surface of the first dielectric substrate. The first adhesive layer is attached to the trace placement circuit, and the reference plane circuit is attached to the first adhesive layer on the surface facing the trace placement circuit. The reference plane circuit comprises a second dielectric substrate having at least one conductive reference plane formed thereon. Each of the at least one reference plane is electrically connected to the first conductive layer via the first adhesive layer.

【0028】 もう1つの実施態様は、可撓性第1誘電性基板を備えるトレース配置回路を有
する半導体デバイスをパッケージする装置を提供する。少なくとも1つのはんだ
ボール収容通路は、可撓性第1誘電性基板を貫通して形成される。第1導電性層
は、可撓性第1誘電性基板の第1面に形成される。第1接着剤層はトレース配置
回路に貼付され、可撓性基準平面回路は、トレース配置回路に対向する面の第1
接着剤層に貼付される。基準平面回路は、少なくとも1つの導電性基準平面が上
に形成された可撓性第2誘電性基板を備える。少なくとも1つの基準平面は各々
、第1接着剤層を介して第1導電性層に電気的に接続する。半導体デバイス収容
通路は、トレース配置回路、第1接着剤層および基準平面回路を貫通して延在す
るように形成される。スティフナー部材は、可撓性第2誘電性基板に取り付けら
れる。
Another embodiment provides an apparatus for packaging a semiconductor device having a trace placement circuit with a flexible first dielectric substrate. At least one solder ball receiving passage is formed through the flexible first dielectric substrate. The first conductive layer is formed on the first surface of the flexible first dielectric substrate. The first adhesive layer is affixed to the trace placement circuit and the flexible reference plane circuit is on the first side of the surface facing the trace placement circuit.
It is attached to the adhesive layer. The reference plane circuit comprises a flexible second dielectric substrate having at least one conductive reference plane formed thereon. Each of the at least one reference plane is electrically connected to the first conductive layer via the first adhesive layer. The semiconductor device accommodating passage is formed so as to extend through the trace arrangement circuit, the first adhesive layer and the reference plane circuit. The stiffener member is attached to the flexible second dielectric substrate.

【0029】 さらにもう1つの実施態様は、第1誘電性基板を備えるトレース配置回路を有
する多層回路組立体を提供する。第1誘電性基板のトレースには、少なくとも1
つのはんだボール収容通路が第1誘電性基板を貫通して形成され、第1導電性層
が第1面に形成される。第1導電性層は、パターン化されてはんだボールパッド
を有する複数のトレースを個々のはんだボール収容通路に隣接して備え、この通
路とともに閉鎖端部を形成する。第1接着剤層は第1導電性層に貼付され、基準
平面回路は第1接着剤層に貼付される。基準平面回路は、少なくとも1つの基準
平面が上に形成された第2誘電性基板を備える。少なくとも1つの基準平面は各
々、第1接着剤層を介して第1導電性層と電気的に接続する。
Yet another embodiment provides a multilayer circuit assembly having a trace placement circuit that includes a first dielectric substrate. At least 1 is included in the traces of the first dielectric substrate.
One solder ball receiving passage is formed through the first dielectric substrate, and a first conductive layer is formed on the first surface. The first conductive layer comprises a plurality of traces having patterned solder ball pads adjacent the respective solder ball receiving passages and forming closed ends with the passages. The first adhesive layer is attached to the first conductive layer and the reference plane circuit is attached to the first adhesive layer. The reference plane circuit comprises a second dielectric substrate having at least one reference plane formed thereon. Each of the at least one reference plane is electrically connected to the first conductive layer via the first adhesive layer.

【0030】 さらにもう1つの実施態様は、第1誘電性基板を有するトレース配置回路を備
える多層回路組立体を提供する。第1誘電性基板には、少なくとも1つのはんだ
ボール収容通路が第1誘電性基板を貫通して形成される。第1導電性層は第1誘
電性基板の第1面に形成され、第2導電性層は第1誘電性基板の第2面に形成さ
れる。第1および第2導電性層は、複数のトレースを備えるようにパターン化さ
れる。第1面のトレースは、個々のはんだボール収容通路に隣接してはんだボー
ルパッドを有し、この通路とともに閉鎖端部を形成する。第1面のトレースの少
なくとも一部は、第2面のトレースに電気的に接続される。第1接着剤層は第1
導電性層に貼付され、基準平面回路は第1接着剤層に貼付される。基準平面回路
は、少なくとも1つの基準平面が上に形成される第2誘電性基板を備える。各々
の基準平面は、第1接着剤層を介して第1面のトレースの少なくとも一部に電気
的に接続される。
Yet another embodiment provides a multilayer circuit assembly including a trace placement circuit having a first dielectric substrate. At least one solder ball receiving passage is formed through the first dielectric substrate in the first dielectric substrate. The first conductive layer is formed on the first surface of the first dielectric substrate and the second conductive layer is formed on the second surface of the first dielectric substrate. The first and second conductive layers are patterned to include a plurality of traces. The traces on the first side have solder ball pads adjacent to the individual solder ball receiving passages and form a closed end with the passages. At least a portion of the traces on the first side are electrically connected to the traces on the second side. The first adhesive layer is the first
Affixed to the conductive layer and the reference planar circuit is affixed to the first adhesive layer. The reference plane circuit comprises a second dielectric substrate having at least one reference plane formed thereon. Each reference plane is electrically connected to at least a portion of the traces on the first side via the first adhesive layer.

【0031】 周知のとおり、これら実施態様の主な利点としては、トレース配置回路および
基準平面回路を別個に製造できることが挙げられる。その結果、各回路を製造す
るために選択する工程をより良く最適化することができる。もう1つの重要な利
点は、基準平面回路を製造するための工程が、基準平面の所望のパターン化を本
質的に提供することである。たとえば、基準平面は、単一の導電性層によって2
種類の基準電圧が提供される分割基準平面になるようにパターン化することがで
きる。基準平面回路は、トレース配置回路の特徴に比べて巨視的な特徴のみを主
に有する。この場合、コストの利点は、基準平面回路を製造するための低価格の
組立技術を使用して得られる。
As is well known, a major advantage of these implementations is that the trace placement circuit and the reference plane circuit can be manufactured separately. As a result, the process selected to manufacture each circuit can be better optimized. Another important advantage is that the process for manufacturing the reference plane circuit essentially provides the desired patterning of the reference plane. For example, the reference plane may be 2 by a single conductive layer.
It can be patterned to be a split reference plane provided with a kind of reference voltage. The reference plane circuit mainly has only macroscopic features as compared with the features of the trace placement circuit. In this case, cost benefits are obtained using low cost assembly techniques for manufacturing reference plane circuits.

【0032】 例示的な実施態様を図示して説明してきたが、上記の開示事項に広範な変形、
変更および代用が考えられ、場合によっては、実施態様のいくつかの特徴は、他
の特徴を対応して使用しなくても使用することができる。したがって、添付の請
求の範囲は、広義に、本明細書に開示する実施態様の範囲に一致するように解釈
することが適している。
While exemplary embodiments have been shown and described, there are wide variations on the above disclosure,
Modifications and substitutions are possible, and in some cases some features of the embodiments may be used without corresponding use of other features. Therefore, it is appropriate that the appended claims be construed broadly to correspond to the scope of the embodiments disclosed herein.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 トレース配置回路の例示的な実施態様を示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing an exemplary implementation of a trace placement circuit.

【図2】 基準平面回路の例示的な実施態様を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an exemplary implementation of a reference plane circuit.

【図3】 接着剤層がトレース配置回路と基準平面回路との間に形成された
回路組立体の例示的な実施態様を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an exemplary embodiment of a circuit assembly in which an adhesive layer is formed between a trace placement circuit and a reference plane circuit.

【図4】 2金属層トレース配置回路を有する回路組立体の例示的な実施態
様を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of an exemplary implementation of a circuit assembly having a two metal layer trace placement circuit.

【図5A】 絶縁変位バイア相互接続方法の例示的な実施態様を示す断面図
である。
FIG. 5A is a cross-sectional view illustrating an exemplary implementation of an insulation displacement via interconnection method.

【図5B】 絶縁変位バイア相互接続方法の例示的な実施態様を示す断面図
である。
FIG. 5B is a cross-sectional view of an exemplary implementation of an insulation displacement via interconnection method.

【図6】 図3の回路組立体による電子パッケージを示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing an electronic package including the circuit assembly of FIG.

【図7】 はんだプラグを使用してトレース配置回路と基準平面回路との間
に相互接続部を形成する回路組立体の例示的な実施態様を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an exemplary embodiment of a circuit assembly that uses a solder plug to form an interconnect between a trace placement circuit and a reference plane circuit.

【図8】 誘電性基板の両面に基準平面を備える基準平面回路を有する回路
組立体の例示的な実施態様を示す断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating an exemplary embodiment of a circuit assembly having a reference plane circuit with reference planes on both sides of a dielectric substrate.

【図9】 回路組立体切除方法の例示的な実施態様を示す断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating an exemplary embodiment of a circuit assembly excision method.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 EP(AT,BE,CH,CY, DE,DK,ES,FI,FR,GB,GR,IE,I T,LU,MC,NL,PT,SE),OA(BF,BJ ,CF,CG,CI,CM,GA,GN,GW,ML, MR,NE,SN,TD,TG),AP(GH,GM,K E,LS,MW,SD,SL,SZ,UG,ZW),E A(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU,TJ ,TM),AE,AL,AM,AT,AU,AZ,BA ,BB,BG,BR,BY,CA,CH,CN,CU, CZ,DE,DK,EE,ES,FI,GB,GD,G E,GH,GM,HR,HU,ID,IL,IN,IS ,JP,KE,KG,KP,KR,KZ,LC,LK, LR,LS,LT,LU,LV,MD,MG,MK,M N,MW,MX,NO,NZ,PL,PT,RO,RU ,SD,SE,SG,SI,SK,SL,TJ,TM, TR,TT,UA,UG,UZ,VN,YU,ZA,Z W (72)発明者 アンソニー・アール・プレピス アメリカ合衆国55133−3427ミネソタ州セ ント・ポール、ポスト・オフィス・ボック ス33427 (72)発明者 ケビン・ワイ・チェン アメリカ合衆国55133−3427ミネソタ州セ ント・ポール、ポスト・オフィス・ボック ス33427─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (81) Designated countries EP (AT, BE, CH, CY, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, I T, LU, MC, NL, PT, SE), OA (BF, BJ , CF, CG, CI, CM, GA, GN, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG), AP (GH, GM, K E, LS, MW, SD, SL, SZ, UG, ZW), E A (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ , TM), AE, AL, AM, AT, AU, AZ, BA , BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GD, G E, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS , JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, M N, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU , SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZA, Z W (72) Inventor Anthony Earl Prepis             United States 55133-3427 Ce, Minnesota             Don't Paul, Post Office Bock             SU 33427 (72) Inventor Kevin Wai Chen             United States 55133-3427 Ce, Minnesota             Don't Paul, Post Office Bock             SU 33427

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多層回路組立体であって、 第1導電性層が上に形成された第1誘電性基板を備えるトレース配置回路と、 前記トレース配置回路に貼付された第1接着剤層と、 前記第1接着剤層に貼付された基準平面回路であって、少なくとも1つの基準
平面が上に形成された第2誘電性基板を備え、前記少なくとも1つの基準平面が
各々、前記第1接着剤層を介して前記第1導電性層に電気的に接続される基準平
面回路とを含み、 絶縁変位バイアが、前記基準平面を前記第1導電性層に電気的に接続するため
に、前記第1接着剤層を貫通して形成されていることを特徴とする多層回路組立
体。
1. A multilayer circuit assembly comprising: a trace placement circuit comprising a first dielectric substrate having a first conductive layer formed thereon; and a first adhesive layer affixed to the trace placement circuit. A reference plane circuit attached to the first adhesive layer, comprising a second dielectric substrate having at least one reference plane formed thereon, each of the at least one reference planes having the first adhesion. A reference plane circuit electrically connected to the first conductive layer through an agent layer, wherein an insulation displacement via electrically connects the reference plane to the first conductive layer; A multilayer circuit assembly, wherein the multilayer circuit assembly is formed so as to penetrate the first adhesive layer.
【請求項2】 前記第1誘電性基板が可撓性ポリマー材料であり、前記第1
導電性層が、はんだボールパッドを有する複数の導電性トレースを備え、少なく
とも1つのはんだボール収容通路が前記第1誘電性層を貫通して形成され、前記
はんだボールパッドが個々のはんだボール収容通路に隣接して形成され、前記通
路とともに閉鎖端部を確立することを特徴とする、請求項1記載の多層回路組立
体。
2. The first dielectric substrate is a flexible polymeric material, and the first dielectric substrate is a flexible polymer material.
The conductive layer comprises a plurality of conductive traces having solder ball pads, at least one solder ball receiving passage being formed through the first dielectric layer, the solder ball pad being an individual solder ball receiving passage. The multi-layer circuit assembly of claim 1, wherein said multi-layer circuit assembly is formed adjacent to and establishes a closed end with said passage.
【請求項3】 前記回路組立体の縁部に延在するめっきバスをさらに備え、
前記基準平面が、前記回路組立体の個々の縁部から偏位する前記めっきバスに隣
接する部分を有することを特徴とする、請求項4記載の多層回路組立体。
3. A plating bath extending to an edge of the circuit assembly,
The multi-layer circuit assembly of claim 4, wherein the reference plane has a portion adjacent the plating bath that is offset from an individual edge of the circuit assembly.
【請求項4】 請求項1記載の多層回路組立体を有する半導体デバイスをパ
ッケージする装置であって、 可撓性第1誘電性基板を備えるトレース配置回路であって、少なくとも1つの
はんだボール収容通路が前記基板を貫通して形成され、第1導電性層が前記基板
上に形成され、前記第1導電性層が、個々のはんだボール収容通路に隣接しては
んだボールパッドを有し、これとともに閉鎖端部を形成する複数の導電性トレー
スを備えるトレース配置回路と、 前記トレース配置回路に貼付された第1接着剤層と、 前記第1接着剤層に接合された基準平面回路であって、少なくとも1つの基準
平面が上に形成された可撓性第2誘電性基板を備え、少なくとも1つの基準平面
の各々が、前記第1接着剤層を介して前記トレースの少なくとも一部に電気的に
接続される基準平面回路と、 前記トレース配置回路と、前記第1接着剤層と、前記基準平面回路とを貫通し
て延在する半導体デバイス収容通路と、 前記第1接着剤層に対向する面上の前記第2誘電性基板に接合されたスティフ
ナー部材と、 を含むことを特徴とする装置。
4. An apparatus for packaging a semiconductor device having the multilayer circuit assembly of claim 1, wherein the trace placement circuit comprises a flexible first dielectric substrate, the at least one solder ball receiving passage. Are formed through the substrate, a first conductive layer is formed on the substrate, the first conductive layer having solder ball pads adjacent to the individual solder ball receiving passages, and A trace placement circuit comprising a plurality of conductive traces forming a closed end, a first adhesive layer affixed to the trace placement circuit, and a reference plane circuit bonded to the first adhesive layer, A flexible second dielectric substrate having at least one reference plane formed thereon, each of the at least one reference planes electrically connected to at least a portion of the trace through the first adhesive layer. A reference plane circuit that is electrically connected, the trace placement circuit, the first adhesive layer, a semiconductor device accommodating passage extending through the reference plane circuit, and the first adhesive layer. A stiffener member bonded to the second dielectric substrate on an opposing surface;
【請求項5】 多層回路組立体であって、 第1誘電性基板を備えるトレース配置回路であって、少なくとも1つのはんだ
ボール収容通路が前記基板を貫通して形成され、第1導電性層が第1面に形成さ
れ、前記第1導電性層がパターン化されてはんだボールパッドを有する複数のト
レースを個々のはんだボール収容通路に隣接して備え、これとともに閉鎖端部を
形成するトレース配置回路と、 前記第1導電性層に貼付された第1接着剤層と、 前記第1接着剤層に貼付された基準平面回路であって、少なくとも1つの基準
平面が上に形成された第2誘電性基板を備え、前記少なくとも1つの基準平面の
各々が、前記第1接着剤層を介して前記第1導電性層のトレースの少なくとも一
部に電気的に接続する基準平面回路と、 を含むことを特徴とする多層回路組立体。
5. A multi-layer circuit assembly, comprising: a trace placement circuit comprising a first dielectric substrate, wherein at least one solder ball receiving passage is formed through the substrate and wherein the first conductive layer is formed. A trace placement circuit having a plurality of traces formed on a first side, the first conductive layer patterned to have solder ball pads adjacent to individual solder ball receiving passages, and with which a closed end is formed. A first adhesive layer attached to the first conductive layer, and a reference plane circuit attached to the first adhesive layer, the second dielectric layer having at least one reference plane formed thereon. A planar substrate, each of the at least one reference planes electrically connecting to at least a portion of the traces of the first conductive layer through the first adhesive layer. Featuring Multi-layer circuit assembly that.
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