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JP2003329892A - 光送受信モジュール及びこれを用いた光通信システム - Google Patents

光送受信モジュール及びこれを用いた光通信システム

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JP2003329892A
JP2003329892A JP2002135046A JP2002135046A JP2003329892A JP 2003329892 A JP2003329892 A JP 2003329892A JP 2002135046 A JP2002135046 A JP 2002135046A JP 2002135046 A JP2002135046 A JP 2002135046A JP 2003329892 A JP2003329892 A JP 2003329892A
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optical
substrate
stem
optical fiber
waveguide
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Miki Kuhara
美樹 工原
Akira Yamaguchi
章 山口
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Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 Si基板に分岐光導波路を設け、その終端に
PD、LDを設置した表面実装型の光送受信モジュール
を金属製パッケージに収納することにより信頼性、寿
命、気密性に優れた光送受信モジュールを提供する。 【解決手段】 平坦な基板の上にY分岐の光伝送路2
2を始端aが前面に露呈するように形成し、その終端
c、dにLDチップ23とPDチップ24を設置したサ
ブモジュール4を、金属製ステム2のポール正面に固定
し、集光レンズ6と、光ファイバ9の端部を金属製のパ
ッケージ部品によってステムに対して固定し、集光レン
ズによって光ファイバと光導波路始端aが光学的に結合
できるようにし、LDの送信光をレンズで集光して光フ
ァイバへ送り出すことができ、光ファイバを伝搬してき
た受信光をPDによって受光できるようにしている。金
属製のパッケージで包囲しているから気密性に優れ、信
頼性高く、寿命が長い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、表面実装型でな
く金属パッケージに収納され外部ノイズを遮蔽でき長寿
命で信頼性の高い光送受信モジュール及びこれを利用し
た光通信システムに関する。
【0002】
【従来の技術】図1は一芯双方向光通信システムの概略
の構成を示す図である。基地局と加入者があって、それ
らが1本の光ファイバによって接続される。基地局では
LD1によりλ2(1.55μm)の加入者向けの光信
号を生成しWDM1を経て光ファイバOFに送り出す。
光ファイバOFを伝送されてきた光信号は加入者側でW
DM2によって波長分離されて加入者側のPD2に入り
受信される。それが基地局から加入者に向かう下り信号
で波長はλ2である。
【0003】反対に加入者では基地局向けの信号をLD
2によってλ1(1.31μm)の光信号に変えWDM
2から光ファイバOFへ送り出す。WDM1はλ1の光
信号を波長分離してPD1に導く。PD1はそれを電気
信号に変換する。それが加入者から基地局に向かう上り
信号であり波長はλ1である。波長が異なるから同時双
方向の通信が可能である。もちろんピンポン伝送も可能
である。WDM(Wavelength Division Multiplexer;波
長分離器ともいう)は光伝送路(光ファイバ、光導波
路)の分岐にあって波長選択するものである。
【0004】光信号を受信するのは受光素子(フォトダ
イオード:photodiode;PD)、レンズ、光ファイバな
どを光軸上に保持した構造の光受信モジュールである。
受信モジュールのことを図1では簡単にPD1(局
側)、PD2(加入者側)と図示している。光信号を発
生するのは、発光素子(半導体レーザ:Laser Diode;L
D)、レンズ、光ファイバを同一光軸上に配置支持する
構造の光送信モジュールである。
【0005】光受信モジュールとして現在実際に使用さ
れているものは、リードピンを底面から突出させた円盤
状金属製のステムの上面にPDチップを取り付け、レン
ズを保持するキャップをステムに固定し、さらに光ファ
イバ端を把持するフェルールを円錐形のフェルールホル
ダーによってステムに対し固定した構造となっている。
あるいは金属製ステムにPDを付け、開口部をもつキャ
ップをステムに取り付け、さらにレンズを保持した円筒
形のレンズホルダーをステムのキャップの外側に調芯固
定し、さらに光ファイバ端を把持するフェルールを円錐
形のフェルールホルダーに通し、フェルールホルダーを
レンズホルダーの上に調芯固定するようにしている。
【0006】それは光ファイバの軸線上にレンズを配置
し、その延長にPDを垂直に設けている。光ファイバか
ら出た光は空間伝搬してレンズで集光されPDに入る。
金属製のパッケージ(ステム、レンズホルダー、フェル
ールホルダー)で全体が包囲されている(ハーメチック
シール)から気密性に優れている。水分や酸素が入らな
いのでPDチップ、配線など劣化しない。金属パッケー
ジで厳重に囲まれているから電磁波や光が入らずクロス
トークも低い。長い使用の実績があり信頼性に富む。
【0007】光送信モジュールとして現在使用されてい
るのも同じ金属製のパッケージに収容された金属カンパ
ッケージのモジュールである。円板形状の金属製ステム
に突起(ポールと呼ぶ)を形成しておき、ポールの側面
に半導体レーザを縦向きに付け、その直下のステム面に
モニタ用のフォトダイオード(モニタPD)を取り付け
る。レンズを有する円筒形のキャップをその上に固定す
る。さらに光ファイバの端部を把持するフェルールをフ
ェルールホルダーで支持しフェルールホルダーをステム
に調芯固定する。
【0008】あるいは開口部だけのキャップをステム面
に取り付け、その外側のステム上面に円筒形でレンズを
保持したレンズホルダーを取り付ける。さらに光ファイ
バの端部を把持するフェルールをフェルールホルダーで
支持しフェルールホルダーをレンズホルダーの上に調芯
固定する。このような金属製パッケージに収納されてい
る光送信モジュールはハーメチックシールされており信
頼性が高く長寿命で外部に電磁波や光を出さないからク
ロストークの原因をまき散らさない。金属カン型の送信
モジュールと受信モジュールの二つがあって図1のWD
Mから光ファイバによって分岐している。だからWDM
と金属カン送信モジュールとをつなぐ光ファイバ、WD
Mと受信モジュールを繋ぐ光ファイバがあり、送信器と
受信器が相互に独立しており光ファイバによって、WD
Mとつながっている。
【0009】そのように全体を金属パッケージによって
包囲した三次元形状をもつモジュールは実績、信頼性が
あって、これからも引き続き使用されよう。
【0010】二つのモジュールが光ファイバによってW
DMにつながるのではなくて一体に結合されたものもあ
る。それは例えば、
【0011】 日本特許第3167650号
【0012】によって提案されている。図2のその概略
の構造を示す。送信器29は箱型金属パッケージ30の
内部のポール31にLD32、モニタ用PD33を取り
付け、箱型パッケージの前方開口部に集光レンズ34を
設けたものである。送信部は金属パッケージで密封され
外部と遮断されている。受信器35は箱型金属パッケー
ジ36、サブマウント37、円筒形キャップ38、集光
レンズ39、PDチップ40等よりなる。
【0013】これらは独立のモジュールであるが、金属
製の統合ハウジング41によって一体化される。送信器
29は統合ハウジング41の軸線の延長上にある開口部
に溶接固定される。受信器35は統合ハウジング41の
側方の開口部に対面するように統合ハウジング41に溶
接される。送信器29のLD32から出た光は集光レン
ズ34で集光されてWDM42を通り、光ファイバ43
へと出てゆく。光ファイバ43を伝搬して来た光はWD
M42で反射されて側方にある開口部から集光レンズ3
9を通り受光素子40に入射し受信される。
【0014】そのように金属パッケージからなる独立の
送信器(光送信モジュール)と受信器(光受信モジュー
ル)をハウジングで一体化したものはある。が、それで
もなお独立性があって別々のモジュールである。WDM
と光ファイバで接続された送信器、受信器の場合とほと
んど異なるものではない。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら金属パッ
ケージを有し、ステムの法線方向に光ファイバの光軸を
有する三次元的な構成の光送受信モジュールは金属パッ
ケージがある程度の大きさをもつので小型化に限界があ
る。またコストを切り下げるにしても限界がある。図2
のような特別な統合光送受信モジュールにしても容積は
減らず嵩は大きくコスト高である。
【0016】より小型、より低コストにするという目的
で有望なものは表面実装型の光送信モジュール、光受信
モジュールである。それはSi基板の上にV溝、光導波
路などを形成し、その終端にPDやLDを実装して光フ
ァイバや光導波路をそれに突き合わせるようにする。光
ファイバの軸線が基板面に平行になる。V溝やマークを
付けたSi基板において部品を実装するから位置合わせ
が簡単で時間のかかる調芯がなくても厳密な実装精度を
得る。調芯をしない実装方法のことをパッシブアライメ
ントと呼ぶことがある。光ファイバとPDまたはLDと
を近接させて配置するので高い光結合効率が得られる。
【0017】つまりレンズが不要である。レンズがなく
光ファイバと素子を近接させて配置するので小型化が可
能である。金属パッケージを使わずSi基板、リードフ
レームを纏めて樹脂封止してプラスチックパッケージと
するので軽量、小型、安価なモジュールとする可能性が
ある。
【0018】しかもSi基板の上に光導波路を作り終端
にLDを、中間に斜めにWDMを入れ、その斜め上にP
Dを配置するようにして送信、受信の両方を行うモジュ
ールとする可能性もある。それは光送受信(LD/P
D)モジュールと呼ぶ。
【0019】このように利点の多い表面実装型の光受信
モジュール、光送信モジュールであるが、使用環境の厳
しい用途ではやはり金属製のパッケージに光素子を気密
性に優れたハーメチックシールしたいという要望もなお
根強いものがある。
【0020】金属カン型のパッケージに受光素子(P
D)だけを実装した光受信モジュールは存在し、すでに
使用されている。金属パッケージにLDだけ、あるいは
LDとモニタPDだけを実装した光送信モジュールもそ
れと対になってよく使われる。
【0021】本発明は表面実装型の特徴を生かしつつハ
ーメチックシールできる金属パッケージ型の光送受信モ
ジュールを提供する事を目的とする。
【0022】
【課題を解決するための手段】本発明の光送受信モジュ
ールは、基板と、基板の上に設けられ始端が基板前面に
露呈し二分岐の終端c、dを持ち波長選択性を持つY分
岐光導波路と、光導波路の一方の終端cの基板上に設け
た発光素子(LD)と光導波路のもう一方の終端dの基
板上に設けた受光素子(PD)を振り分けて実装したサ
ブモジュールと、軸方向に延びる複数のリードピンと上
方へ隆起したポールを有しポール面にサブモジュールを
保持した対称性を有する金属ステムと、ステム上に固定
されたレンズを保持するキャップと、ステムに対して端
部が固定された光ファイバと、ステムに固着され光ファ
イバを支持する金属パッケージとよりなる。また、本発
明の別の光送受信モジュールは、基板と、基板の上に設
けられ始端eが基板前面に露呈した導波路と、この導波
路の中間部に設けた溝と、この溝に挿入され波長λ1を
透過し波長λ2を反射する波長選択性を有する多層膜フ
ィルタと、多層膜フィルタに近接対向して基板上方に設
けたλ2を受光する受光素子と光導波路の他方の終端f
に近接対向して基板上に設けたλ1を発生する発光素子
とを振り分けて実装したサブモジュールと、軸方向に延
びる複数のリードピンと、上方へ隆起したポールを有し
ポール面にサブモジュールを保持した円盤状金属製ステ
ムと、ステムに対して端部が固定された光ファイバと、
光ファイバと導波路の始端eを光学的に結合するレンズ
と、レンズを保持しステム上に固定されたキャップと、
ステムに固着され光ファイバを支持する金属パッケージ
部分とよりなる。
【0023】
【発明の実施の形態】本発明の光送受信モジュールは、
波長選択性を持つY分岐光導波路を有する基板の光導波
路の終端に受光素子(PD)と発光素子(LD)を振り
分けて実装して製作したサブモジュールを、リードピン
とポールを有する金属ステムのポールの正面に固定し、
レンズを保持するキャップを調芯してステムに固定し、
ファイバ端を把持するフェルールをフェルールホルダー
によって支持し、フェルールホルダーを調芯してステム
に固定したものである。本発明のもう一つの光送受信モ
ジュールは、基板の光導波路の終端に発光素子(LD)
を、光導波路の中間に設けた斜め溝に波長選択性を持つ
多層膜フィルタを挿入しその上方に受光素子(PD)を
それぞれ振り分けて実装して製作したサブモジュール
を、リードピンとポールを有する金属ステムのポールの
正面に固定し、レンズを保持するキャップを調芯してス
テムに固定し、ファイバ端を把持するフェルールをフェ
ルールホルダーによって支持し、フェルールホルダーを
調芯してステムに固定したものである。
【0024】(1)調芯 光ファイバ端面と光導波路の始端の間で所望の光学的結
合効率になるように調芯するのである。キャップの調芯
は二次元、フェルールホルダーの調芯は二次元である。
フェルールホルダーに対するフェルールの調芯は軸方向
である。そのように積極的な調芯が必要であるが、二つ
に分離した送信器、受信器で必要な調芯が一つに纏めら
れたから調芯の手間、コストは従来の分離された2つの
モジュールからなるものに比べて半減する。
【0025】(2)基板 基板はサブモジュールを形成するために必要である。寸
法精度を強く要求する場合は単結晶SiよりなるSiベ
ンチを用いる。しかし絶縁性、平坦性、剛性があればよ
いのだからセラミック基板を用いることができる。また
液晶ポリマーなどの有機材料を基板とすることもでき
る。
【0026】(3)Y分岐 基板面に左右対称になるような光導波路を設ける。光導
波路のY分岐であるが、単に分岐であるのではなくて波
長選択性がある。λ1(1.31μm)を右に、λ2
(1.55μm)を左に通すというような波長選択性が
必要である。マッハツェンダ干渉計型の波長分波合波器
を図示している。それは二つの導波路の距離と平行近接
部分の長さによって波長選択性を付与するものである。
単純なY分岐でどちらへも半分ずつパワーを分配すると
いうようなY分岐でもよい。その場合は波長選択性を与
えるためにWDMを分岐部bに挿入する必要がある。ま
た、本発明の別の構成では、多層膜フィルタによって前
記Y分岐の項で説明した波長選択機能を持たせる。この
場合、多層膜フィルタは主に屈折率の異なる誘電体薄膜
によって構成される。
【0027】(4)光導波路 Si基板の上に形成されたGe−SiO/SiO
の導波路とすることができる。例えばSi基板の上にス
パッタリングやCVD法によってSiO層(アンダー
クラッド)を設け、その上にGeドープSiO層を形
成してエッチングしてコアとする。その上にさらにSi
層(オーバークラッド)を設ける。クラッド層は例
えば10μm厚み、コア層断面は6μm角である。ポリ
マーなど有機材料によって光導波路を形成することもで
きる。たとえばフッ素化ポリイミドの光導波路を形成し
てもよい。これはSi基板、セラミック基板、プラスチ
ック基板のどの種類の基板の上にも形成することができ
る。
【0028】(5)受光素子 光信号を受信する素子であるから、通常のpinフォト
ダイオード(pin−PD)を用いることができる。受
光層はInGaAs三元混晶層、あるいはInGaAs
P四元混晶層とする。加入者側では1.55μm(λ
2)光を受信し、1.31μm光に不感であるのが良
い。例えばPDの直前に1.31μm光を吸収する吸収
板を設けるというような工夫をする。あるいはPD自体
の中に1.31μm光を吸収する吸収層を設けるように
する。光導波路の終端に取り付けるのだから端面から光
を入射させるような特別な形態のPDとなる。端面入射
型PDと呼ぶが、それは導波路のすぐ上に受光層を設け
た導波路型と端面を斜めに切っておき水平入射光を上向
きに屈折させ受光層へ導く上向き屈折型、基板下面中央
に楔型切欠きを設け端面から入射した光を楔型切欠きで
上向き反射して受光層へ導く中間反射型のものがある。
一括して端面入射型PDと呼ぶ。また、本発明の別の構
成では、多層膜フィルタに反射された光を受光するため
基板裏面から光入射させる裏面入射型PDを用いる。
【0029】(6)発光素子 これは光信号を発生するものである。半導体レーザ(L
D)または発光ダイオード(LED)である。面発光型
のLEDの場合は横向けに基板に取り付ける必要があ
る。加入者側で1.31μm(λ1)光を発生し、局側
では1.55μm(λ2)光を発生するような発光素子
とする。
【0030】(7)ピグテイル型への応用 本発明の装置はステム、ポール、サブモジュール、レン
ズ、ファイバを持てばよいので、ピグテイル型の光送受
信モジュールに応用できる。これは光ファイバの終端が
フェルールによって固定されており、外部に別の光コネ
クタを持っている。モジュールと光コネクタを合わせピ
グテイルのようになるから、その名称がある。
【0031】(8)レセプタクル型への応用 本発明の装置はステム、ポール、サブモジュール、レン
ズ、光ファイバを持てば良いのだから、着脱可能なレセ
プタクル型の光送受信モジュールに応用できる。これは
外部の光ファイバの端に取り付けたコネクタと、光送受
信モジュールのコネクターを直接に結合離脱できるよう
にしたものである。サブモジュール、レンズの延長上に
ダミー光ファイバが設けられる。
【0032】(9)周辺回路の補充 送信部においてはLDの他にLDのパワーをモニタする
受光素子(モニタ用PD;MPD)を同一基板の上に設
けることができる。それによってLDの出力を一定に保
持するようにできる。受信部においてはPDの他にPD
の光電流を前置増幅する増幅器IC(AMP)を同一基
板上PDのすぐ後ろに設けることもできる。
【0033】(10)光通信システムへの応用 本発明の光送受信モジュールは送信器と受信器を一つの
金属パッケージに収容したものだから、局側と加入者側
に設置しそれぞれを1本の光ファイバで接続することに
よって波長多重双方向同時光通信システムに利用する事
ができる。容積が半減し低コストになるから光通信のさ
らなる普及を促進することができよう。
【0034】
【実施例】[1.実施例1(ピグテイル型;図3、図
4)]縦断正面図(図3)と縦断側面図(図4)によっ
て本発明の第1の実施例を説明する。それはピグテイル
型のものである。円盤状金属ステム2は上下方向に延び
るリードピンと上面に隆起したポール(隆起部)3を有
する。この例ではステムは直径が5.6mmφである。
ステム材質は燐青銅、ステンレス、コバール(Kovar:
商標)などである。ステム2は5本のリードピン46〜
50を有する。リードピンは例えば0.45mmφであ
る。
【0035】ポール3の側面に、Y分岐光導波路と送信
部と受信部を含むサブモジュール4が上下方向に軸線が
向くように固定される。サブモジュールの内部の構造に
ついては後に説明する。円筒形の金属キャップ5は上方
の開口部に集光レンズ6を有する。集光レンズは例えば
球レンズでBK7ガラスで製作してある。もちろん球面
レンズや非球面レンズとしても良い。
【0036】金属キャップ5の下方は調芯してステム2
に固定される。この段階で外界からの電気ノイズや湿気
に対して敏感なサブモジュール部分は完全にハーメチッ
クシールされる。やキャップ5の外側にはそれを囲む金
属製円筒形のフェルールホルダー7が設けられる。円筒
形のフェルール8は光ファイバ9の先端を保持する。先
端は4゜〜12゜の斜め角に研磨される事が多い。フェ
ルールホルダー7の軸孔にフェルール8を差し込み、軸
方向(z方向)にフェルールを進退させ調芯する。フェ
ルールホルダー7のxy面で調芯し最適の位置を求めス
テム2に対して固定される。フェルールホルダー7の上
部外側には柔軟なベンドリミッタ10が差し込まれ光フ
ァイバ9が過度に曲がらないようになっている。光ファ
イバ端面と光導波路の始端aの間で所望の光学的結合効
率になるように調芯してある。
【0037】光ファイバ9を伝搬してきたλ2(受信
光)は光ファイバ9から出てレンズ6によって絞られS
i基板20上のサブモジュール4の光導波路22の始端
aに入る。λ2は分岐bで選択的にbd側へ分配されP
D24に入射する。
【0038】LD23で発生したλ1(送信光)は光導
波路22に入り、光導波路中をcbaと進む。始端aか
ら出た送信光はレンズ6によって絞られ光ファイバ9端
面に入る。それは光ファイバ9の中を伝搬してゆく。し
かしピグテイル型なのですぐ近くに光コネクタがあっ
て、そこで光ファイバ9は外部の光ファイバと接続でき
るようになっている。
【0039】[2.実施例2(レセプタクル型、図
5)]本発明は図5に示すようにレセプタクル型の光送
受信モジュールにも応用できる。金属製円板状のステム
2のポール3にサブモジュール4が固定され、その上に
レンズ6がキャップ5によって保持される点は先例(図
3、4;ピグテイル型)と同様である。キャップ5の外
側においてステム2の上面に金属製円筒状のスリーブ6
0が調芯固定される。スリーブ60の上方は軸方向の開
口62となっている。スリーブ60の頂面には中央穴を
もつ円盤状のハウジング63が溶接される。ハウジング
63は横に延びる円板のフランジ64を持つ。フランジ
64を螺子によって固定するようになっている。
【0040】ハウジング63の中央穴には耐摩耗性に優
れた円筒状のスリーブ65が埋め込まれる。これはフェ
ルールを何度も挿入離脱するからである。スリーブ65
の最下点にスリーブ内径に等しい外径をもつスタブ66
が挿入される。スタブ66はダミー光ファイバ67を保
持する。ダミー光ファイバ67の下端は斜めに研磨され
反射光がLDへ戻るのを防止するようになっている。ダ
ミー光ファイバ67の上のスリーブ65へ相手側光コネ
クタのフェルール72が挿入される。中央穴の外側には
円環状の凹溝68が形成される。凹溝68のさらに外側
には雄螺子条69が形成されている。
【0041】相手方の光コネクタ70は、ハウジング6
3に着脱できるような構造の雄型光コネクタである。光
コネクタ70の中心に金属円筒状のフェルール72が通
っている。光コネクタ70の前端には位置決めのための
ガイドピン73が突出している。フェルールとガイドピ
ンの間には円筒状のカラー74がある。フェルール72
とカラー74は一体化されている。カラー74の外側に
ローレット75を刻設した袋ナット76がある。フェル
ール72は前方から後方まで続いており光ファイバ77
の端を堅固に保持している。
【0042】光コネクタ70をレセプタクルのハウジン
グ63に結合するには、フェルール72をハウジング6
3のスリーブ65の穴へ差し込む。カラー74が凹溝6
8にはまりこむ。ガイドピン73がハウジングの穴(図
に現れない)にはまりこみ円周方向の位置が決まる。フ
ェルール72の先端はスタブ66、ダミー光ファイバ6
7に接触する。袋ナット76を右に廻すことによって雄
螺子条69に螺合することができる。外部光ファイバ7
7、ダミー光ファイバ67、開口62、レンズ6、サブ
モジュール4が光軸上に並ぶようになる。サブモジュー
ルの構造は実施例1(ピグテイル型)でも実施例2でも
同様である。また、レセプタクルの嵌合部の構造は爪や
ピンが嵌め合いになっていても良い。
【0043】[3.サブモジュールの構造(図6、図
7、図8)]Y分岐光導波路と受信部、送信部を有する
サブモジュール4の構造を図6〜8の平面図、縦断側面
図、正面図によって説明する。基板としてSi基板、セ
ラミック基板、プラスチック基板を用いることができ
る。この実施例では、2.0mm長さ、1.5mm幅、
1.0mm厚さのSi基板を用いる。矩形状のSiベン
チ20の上面にY分岐光導波路22を設ける。これはS
iOアンダークラッド層UD、GeドープSiO
アCR、SiOオーバークラッド層ODよりなる無機
材料の光導波路でもよいし、ポリマーよりなる有機導波
路(UD/CR/OD)であってもよい。
【0044】いずれにしても始端a、分岐部b、第1終
端c、第2終端dを有するY分岐光導波路22である。
始端aはSiベンチ20の前端中央に露呈する(図
8)。それはレンズによって光ファイバと光学的に結合
する部分である。つまり送受信光がレンズによって光フ
ァイバと始端aとの間で所望の効率で結合できるように
調芯する。
【0045】光導波路22の分岐部bはマッハツェンダ
干渉計型の波長分波合波器(WDM)となっている。こ
れは1.31μm光と1.55μm光を分離する作用が
ある分岐部bである。二つの導波路の共通部分の長さや
距離がそのような波長選択性を与える。1.31μm光
はcbaの経路を進む。1.55μm光はabdの経路
を進行する。そのような波長選択性は可逆的である。
1.31μm光はabcと進むこともできる。1.55
μm光はdbaと進行することもできる。
【0046】第1終端部cの先にLD23がエピダウン
(ストライプが下側;下方にp電極、上面にn電極)で
Si基板20上のメタライズ25に固定される。LD2
3はλ1(1.31μm)の送信光を発生する。光ファ
イバ端cとLD23が近接しているからレンズが省かれ
る。LD23と光導波路のbc間が送信部である。この
実施例では300μm×300μm×150μmtのサ
イズのLD23を用いている。InP基板の上にバッフ
ァ層、発光部、コンタクト層、電極などが設けられる。
発光部はInGaAsP系で1.31μm光を発光す
る。
【0047】第2終端部dの先に端面入射型PD24が
やはりエピダウン(p電極が下、n電極が上)でSi基
板上のメタライズ28に固定される。PD24と終端d
の間にもレンズがない。充分に近接しているからレンズ
がなくても充分な光がPDに入る。PD24と光導波路
のbd間が受信部である。端面入射型というのは導波路
型のものと屈折型のものがあるが端面から受信光が入っ
てそれを受光部へ導くものである。
【0048】この実施例では300μm×300μm×
150μmtの寸法のPD24を用いている。InP基
板の上に受光層、電極などがある。受光層はInGaA
sであり1.31μm光にも1.55μm光にも感度が
あるが1.55μm光を受信すべきものである。
【0049】本発明は同一の基板の上に送信部(LD2
3、光導波路bc)と受信部(PD24、光導波路b
d)を設けているところに特徴がある。
【0050】表面実装型でSi基板にY分岐をもち、そ
の終端にLDとPDを振り分けて設けたというのはよく
あることである。本発明は金属パッケージ型のモジュー
ルで、Y分岐光導波路を有するSi基板をステムのポー
ルに実装している。そのようにSi基板にY分岐導波路
を設けLD、PDを付けたサブモジュールを金属ステム
のポールに縦に取り付けたというのは全く新規である。
【0051】Si基板を使うという点では表面実装型と
似ているが金属パッケージにハーメチックシールするの
だから両者の混合型と言ってよい。だから両者の長所を
合わせ備える。ハーメチックシールするので水分や酸素
が入らず劣化しない。金属パッケージなので外部の電磁
ノイズが入らない。金属パッケージであるから堅牢、堅
固で長寿命、高信頼性がある。
【0052】サブモジュール4はSi基板、光導波路、
LD、PDからなるので小型の部品であり別工程で図
6、図7のように製造することができる。ポールを持つ
金属ステムはLDモジュールで既に使用の実績がある。
LDをポール側面に実装する代わりにサブモジュール4
を側面に実装すればよいのであるから在来の組立の工程
を僅かに変更するだけでよい。
【0053】[4.リード、メタライズ、LD、PD間
のワイヤボンディング(図9、図10)]LD、PDチ
ップ、それらを保持するメタライズがステム面に垂直で
あるからワイヤボンディングが少し難しくなる。ステム
の上面からワイヤボンディングできない。ステムの側方
からワイヤボンディングをしなければならない。それは
ステム面が縦になりポール面が上向きになるように保持
すれば可能である。そのように保持した時にリードピン
の高さが大きく異なると、やはりワイヤボンディングが
難しい。
【0054】そこでリードピン46〜49の高さを揃え
るようにする。つまり図9、図10のように4本のリー
ドピン46〜49はステム面に直角な同一平面上に並ぶ
ようにステム底面に配置する。それら4本のリードピン
46〜49の他にケースピン50がある。ケースピン5
0だけはそのような制約から自由なのでバランス良く適
当な場所へ設置すればよい。リードピンが大体同一高さ
にあって、それより少し下にPD、LDのn電極(上面
に見える電極)があるという関係であればワイヤボンデ
ィングは容易にできる。図9ではPD、LDとリードピ
ンの高さに差があるが、リードピンの位置を少しずらせ
ば6つの面を同一高さにすることができる。
【0055】リードピン46とメタライズ25をワイヤ
52で接続する。リードピン47とLD23の上面電極
(n電極)をワイヤ53で接続する。この例ではリード
ピン46がLDのアノードピン、47がカソードピンと
いうことになる。
【0056】リードピン48とPD24の上面電極(n
電極)をワイヤ54で接続する。リードピン49とメタ
ライズ28をワイヤ55で接続する。この例ではリード
ピン48がPDのカソードピン、49がアノードピンと
いうことになる。
【0057】このようにサブモジュールを縦にポールに
貼り付けるのでワイヤボンディングが通常のステム面方
向ではなくなり一見多少難しくなるように思われるが、
受光素子、発光素子とリードピンを接続するワイヤボン
ディングをステム面に平行な方向から行うことにより横
向きのワイヤボンディングは実行可能である。
【0058】[5.周辺素子の付加(モニタ用フォトダ
イオードMPD;前置増幅器AMP)(図11、図1
2)]サブモジュールにPDやLDの作用を助けるため
の周辺素子を付加する事もできる。図11、12にそれ
らの周辺素子を付加したサブモジュールを示す。Siベ
ンチ20の前半部にY分岐光導波路22があり、終端
c、dの先のメタライズの上にLD23、PD24が実
装される。
【0059】ここではLD23の背後にメタライズ82
を設け、その上にモニタフォトダイオード(MPD)2
6を実装する。これはLD23の後方光を監視してLD
の出力を一定に保つようにLD駆動電流を調整するため
のものである。
【0060】PD24の背後にメタライズ83を設け、
その上に前置増幅器(AMP)27を実装する。これは
PD24の微弱な光電流を前置増幅(Preamplify)する
作用がある。
【0061】そのようにするとリードピンの数が5本増
える。それまで5本のリードピンが必要だったので10
本のリードピンがステムの下面に垂下するように設けら
れる。
【0062】[6.実施例3(分岐のない直線導波路、
多層膜フィルタ、裏面入射型PD、図14〜図17)]
以上は、Y分岐導波路の場合を説明したが、本発明はこ
の形態に限定されるものではない。図14は分岐のない
一本の光導波路86の中間部に斜め溝を設けて、波長選
択性のある多層膜フィルタ85を挿入した例の縦断面図
である。図15はそのサブモジュール部分の平面図、図
16はサブモジュール部分の縦断面図、図17は光ファ
イバとレンズ、サブモジュール、ステム部分の縦断面図
である。サブモジュール上で送信部と受信部を左右に振
り分けるのではなく、直線上に送信部と受信部を配置
し、図14に示すようにリードピン90〜96を送信
部、受信部のそれぞれのメタライズとワイヤボンディン
グする。LD23からの送信光は端面fから分岐のない
光導波路86に入り、多層膜フィルタ85を透過し、も
う一方の端面eを経てレンズ6によって光ファイバ9に
集光される。一方、光ファイバ9から入って来た受信光
はサブモジュール4の端面eから光導波路86に入り、
多層膜フィルタ85によって反射され、サブマウント8
8の開口部を通り裏面入射型PD87に入り、受光部8
9で受光され電気信号に変換される。このサブモジュー
ルを図14のようにパッケージに実装することにより、
Y分岐導波路を用いた場合と同様の機能と特徴を得るこ
とができる。
【0063】[7.金属パッケージ収納光送受信モジュ
ールを利用した一芯双方向光通信システム(図13)]
本発明の金属パッケージ収納光送受信モジュールをn個
利用して、n軒の加入者と、一つの局を含む双方向光通
信システムを構築することができる。図13において左
側にn軒の加入者ONU、ONU、…、ONU
n−1、ONUを示す。それらは一つの光送受信モジ
ュールを持つ。それぞれのONUから1本の光ファイバ
OFが局側へ向かって設けられる。
【0064】局側ではn軒の加入者に対応するようにn
個の光送受信モジュールMJ、MJ、…、MJ
n−1、MJが設置される。対応するk番目の加入者
ONUと局側MJがk番目の光ファイバOFによ
って独立にそれぞれ接続されている。局側から加入者に
向けた下り系はλ2(1.55μm)を信号光として利
用する。加入者から局舎へ向けた上り系はλ1(1.3
1μm)を光信号として利用する。
【0065】だからONUの光送受信モジュールはλ2
(1.55μm)を受信するPDと、λ1(1.31μ
m)を発振するLDを有する。それは図6、7で説明し
た光送受信モジュールである。
【0066】反対に局舎において用いられる送受信モジ
ュールMJはλ1(1.31μm)を受信するPD
と、λ2(1.55μm)を発振するLDとを組み合わ
せたものである。本発明はどちらの光送受信モジュール
にも適用することができる。
【0067】いずれにおいても、従来の金属パッケージ
収納のものに比べて容積が大体半分になり設置がより容
易になる。コストも低減される。それでいて長寿命、高
信頼性、気密性など金属パッケージ製のものの利点をあ
ますことなく享受できるから好適な光通信システムを与
えることができる。
【0068】
【発明の効果】本発明はSi基板の上にY分岐の光伝送
路を設け、その終端に発光素子(LD)と受光素子(P
D)を設置したサブモジュールを、金属製のパッケージ
の中に収納できるようにした。金属パッケージ収納の素
子は受光素子だけ或いは発光素子だけを収容していたか
ら送信器、受信器のいずれかであった。本発明は両方の
素子を収容しているから光送受信モジュールとなる。
【0069】光送受信モジュールであって、しかも従来
の金属パッケージ収納の光受信モジュールや光送信モジ
ュールと同程度の信頼性、長寿命が得られる。パッケー
ジは堅牢であり実績がある。軸対称なサブモジュールを
採用するために光ファイバやレンズとの調芯も容易であ
る。金属パッケージの受信モジュールと送信モジュール
を別々に設けたものより部品点数が少なく、小型、低コ
ストになる。容積を節減できるので局側の光送受信モジ
ュールとして極めて有利である。
【図面の簡単な説明】
【図1】基地局と加入者を光ファイバによって結び、信
号を相互に送信受信する双方向光通信システムの概念
図。
【図2】特許第3167650号によって提案された金
属パッケージ収納光送信モジュールと光受信モジュール
とを組み合わせ一体化したものの断面図。
【図3】Si基板にY分岐導波路を設け終端に受光素子
(PD)と発光素子(LD)を取り付けたサブモジュー
ルを、下向きリードをもつ金属ステムのポールに固定
し、集光レンズを有するキャップ、フェルールを差し込
んだフェルールホルダーをステムに調芯固定して光ファ
イバから出た光が集光レンズによって集光されてSi基
板の光導波路の始端に導かれるようにした本発明の第1
の実施例にかかる光送受信モジュールの縦断正面図。
【図4】Si基板にY分岐導波路を設け終端に受光素子
(PD)と発光素子(LD)を取り付けたサブモジュー
ルを、下向きリードをもつ金属ステムのポールに固定
し、集光レンズを有するキャップ、フェルールを差し込
んだフェルールホルダーをステムに調芯固定して光ファ
イバから出た光が集光レンズによって集光されてSi基
板の光導波路の始端に導かれるようにした本発明の第1
の実施例にかかる光送受信モジュールの縦断側面図。
【図5】Si基板にY分岐導波路を設け終端に受光素子
(PD)と発光素子(LD)を取り付けたサブモジュー
ルを、下向きリードをもつ金属ステムのポールに固定
し、集光レンズを有するキャップ、フェルールを差し込
んだフェルールホルダーをステムに調芯固定してダミー
光ファイバから出た光が集光レンズによって集光されて
Si基板の光導波路の始端に導かれるようにしたサブモ
ジュールを、雌雄の光コネクタを組み合わせ外部の光フ
ァイバと着脱可能にしたレセプタクル型のモジュールの
ステムポールに取り付けた本発明の第2の実施例にかか
る光送受信モジュールの縦断正面図。
【図6】金属製ステムのポールに取り付けて用いるため
に、Si基板の上にY分岐導波路を設け、その終端にL
D、PDを振り分けて配置したサブモジュールの平面
図。
【図7】金属製ステムのポールに取り付けて用いるため
に、Si基板の上にY分岐導波路を設け始端は前端に露
出させ終端にLD、PDを振り分けて配置したサブモジ
ュールの縦断側面図。
【図8】金属製ステムのポールに取り付けて用いるため
に、Si基板の上にY分岐導波路を設けその終端にL
D、PDを振り分けて配置したサブモジュールの正面
図。
【図9】Si基板の上にY分岐導波路を形成し、その終
端にLDとPDを設けたサブモジュールを金属ステムの
ポールに取り付け、ステムのリードピンとLD、PDの
電極やメタライズパターンとを接続し、Y分岐光導波路
始端に光ファイバからの光が丁度集光するように調芯し
た状態を示す縦断平面図。
【図10】Si基板の上にY分岐導波路を形成し、その
終端にLDとPDを設けたサブモジュールを金属ステム
のポールに取り付け、ステムのリードピンとLD、PD
の電極やメタライズパターンとを接続し、Y分岐光導波
路始端に光ファイバからの光が丁度集光するように調芯
した状態を示す縦断側面図。
【図11】金属製ステムのポールに取り付けて用いるた
めに、Si基板の上にY分岐導波路を設けその終端にL
D、PDを振り分けて配置し、さらにLDの背後にはモ
ニタ用フォトダイオードMPDdを、PDの背後には前
置増幅器AMPを設けたサブモジュールの平面図。
【図12】金属製ステムのポールに取り付けて用いるた
めに、Si基板の上にY分岐導波路を設けその終端にL
DとPDを振り分けて配置し、さらにLDの背後にはモ
ニタ用フォトダイオードMPDを、PDの背後には前置
増幅器AMPを設けたサブモジュールの縦断側面図。
【図13】一つずつの光送受信モジュールを有するn軒
の加入者と、n個の光送受信モジュールを有する1つの
基地局を、n本の光ファイバで結び加入者と局の間で独
立の双方向通信ができるようにした一芯双方向光通信シ
ステムを説明する図。
【図14】Si基板に分岐のない一本の光導波路を設
け、光導波路の途中に斜め溝を設け、波長選択性のある
多層膜フィルタを溝に挿入し、その上方に裏面入射型受
光素子(PD)を設け光導波路の終端に発光素子(L
D)を取り付け、発光素子の後ろにモニタPDを設けた
サブモジュールを、下向きリードをもつ金属ステムのポ
ールに固定し、集光レンズを有するキャップ、フェルー
ルを差し込んだフェルールホルダーをステムに調芯固定
して光ファイバから出た光が集光レンズによって集光さ
れてSi基板の光導波路の始端に導かれるようにした本
発明の第3の実施例にかかる光送受信モジュールの縦断
正面図。
【図15】金属製ステムのポールに取り付けて用いるた
めに、Si基板の上に分岐のない一本の光導波路を設
け、途中にPD、終端にLDとMPDを配置したサブモ
ジュールの平面図。
【図16】金属製ステムのポールに取り付けて用いるた
めに、Si基板の上に分岐のない一本の光導波路を設
け、始端は前端に露出させ途中にPD、終端にLDとM
PDを配置したサブモジュールの縦断側面図。
【図17】Si基板の上に分岐のない一本の光導波路を
形成し、その途中にPD、終端にLDとMPDを設けた
サブモジュールを金属ステムのポールに取り付け、ステ
ムのリードピンとLD、PDの電極やメタライズパター
ンとを接続し、光導波路始端に光ファイバからの光が丁
度集光するように調芯した状態を示す縦断側面図。
【符号の説明】
2 ステム 3 ポール 4 サブモジュール 5 キャップ 6 レンズ 7 フェルールホルダー 8 フェルール 9 光ファイバ 10 ベンドリミッタ 20 Si基板 22 Y分岐光導波路 a 導波路始端 b 分岐部 c 光導波路第1終端 d 光導波路第2終端 23 LD 24 PD 25 メタライズ 26 モニタPD 27 AMP 28 メタライズ 29 送信器 30 金属パッケージ 31 ポール 32 LD 33 モニタPD 34 集光レンズ 35 受信器 36 金属パッケージ 37 サブマウント 38 キャップ 39 レンズ 40 PD 41 統合ハウジング 42 WDM 43 光ファイバ 46〜50 リードピン 52〜55 ワイヤ 60 スリーブ 62 開口 63 ハウジング 64 フランジ 65 スリーブ 66 スタブ 67 ダミー光ファイバ 68 凹溝 69 雄螺子条 70 光コネクタ 72 フェルール 73 ガイドピン 74 カラー 75 ローレット 76 袋ナット 77 光ファイバ UD アンダークラッド層 CR コア OD オーバークラッド層 82 メタライズ 83 メタライズ 85 多層膜フィルタ 86 光導波路 87 裏面入射型PD 88 サブマウント 89 受光部 90〜96 リードピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H037 BA03 BA12 BA24 CA14 DA03 DA04 DA05 DA06 DA36 2H047 KA04 LA12 MA07 PA04 PA05 PA24 QA05

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、基板の上に設けられ始端aが基
    板前面に露呈し二分岐の終端c、dをもち波長λ1と波
    長λ2を分離する波長選択性を有するY分岐光導波路
    と、光導波路の一方の終端cに近接対向して基板上に設
    けたλ2を受光する受光素子と光導波路の他方の終端d
    に近接対向して基板上に設けたλ1を発生する発光素子
    を振り分けて実装したサブモジュールと、軸方向に延び
    る複数のリードピンと、上方へ隆起したポールを有しポ
    ール面にサブモジュールを保持した円盤状金属製ステム
    と、ステムに対して端部が固定された光ファイバと、光
    ファイバとY分岐導波路の始端aを光学的に結合するレ
    ンズと、レンズを保持しステム上に固定されたキャップ
    と、ステムに固着され光ファイバを支持する金属パッケ
    ージ部分とよりなる事を特徴とする光送受信モジュー
    ル。
  2. 【請求項2】 基板と、基板の上に設けられ始端eが基
    板前面に露呈した導波路と、この導波路の中間部に設け
    た溝と、この溝に挿入され波長λ1を透過し波長λ2を
    反射する波長選択性を有する多層膜フィルタと、多層膜
    フィルタに近接対向して基板上方に設けたλ2を受光す
    る受光素子と光導波路の他方の終端fに近接対向して基
    板上に設けたλ1を発生する発光素子とを振り分けて実
    装したサブモジュールと、軸方向に延びる複数のリード
    ピンと、上方へ隆起したポールを有しポール面にサブモ
    ジュールを保持した円盤状金属製ステムと、ステムに対
    して端部が固定された光ファイバと、光ファイバと導波
    路の始端eを光学的に結合するレンズと、レンズを保持
    しステム上に固定されたキャップと、ステムに固着され
    光ファイバを支持する金属パッケージ部分とよりなる事
    を特徴とする光送受信モジュール。
  3. 【請求項3】 受光素子と発光素子に接続されるべきリ
    ードピンがステムの面に垂直な一平面内に含まれるよう
    に配置してあることを特徴とする請求項1または2に記
    載の光送受信モジュール。
  4. 【請求項4】 受光素子、発光素子とリードピンを接続
    するワイヤボンディングがステム面に平行な方向からな
    されておりリードピンの側面にワイヤが接続されている
    ことを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の光送受
    信モジュール。
  5. 【請求項5】 光ファイバの端部を円筒状のフェルール
    で把持し、フェルールを円筒状金属製のフェルールホル
    ダーによって保持し、フェルールホルダーをステム面に
    調芯固定したピグテイル型である事を特徴とする請求項
    1〜4の何れかに記載の光送受信モジュール。
  6. 【請求項6】 中心に開口を有する円筒金属製のスリー
    ブを円盤状ステムの上に固定し、中心に開口部を有し開
    口部周囲に外部の光コネクタを着脱することのできる金
    属製ハウジングをスリーブの上に固定し、ハウジングの
    中心開口にダミー光ファイバを把持するスタブを挿入し
    て雌型のコネクタとし、光ファイバを把持するフェルー
    ルを中心に保持し外部に設けた雄型の光コネクタと着脱
    可能にしたレセプタクル型であることを特徴とする請求
    項1〜4の何れかに記載の光送受信モジュール。
  7. 【請求項7】 サブモジュールの基板面に、受光素子の
    光電流を増幅する前置増幅器を設けた事を特徴とする請
    求項1〜6の何れかに記載の光送受信モジュール。
  8. 【請求項8】 サブモジュールの基板面に、発光素子の
    パワーを監視するためのモニタ用フォトダイオードを設
    けた事を特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の光送
    受信モジュール。
  9. 【請求項9】 基板と、基板の上に設けられ始端aが基
    板前面に露呈し二分岐の終端c、dをもち波長λ1と波
    長λ2を分離する波長選択性を有するY分岐光導波路
    と、光導波路の一方の終端cに近接対向して基板上に設
    けたλ2を受光する受光素子と光導波路の他方の終端d
    に近接対向して基板上に設けたλ1を発生する発光素子
    を振り分けて実装したサブモジュールと、軸方向に延び
    る複数のリードピンと、上方へ隆起したポールを有しポ
    ール面にサブモジュールを保持した円盤状金属製ステム
    と、ステムに対して端部が固定された光ファイバと、光
    ファイバの像をY分岐導波路の始端aに形成するレンズ
    と、レンズを保持しステム上に固定されたキャップと、
    ステムに固着され光ファイバを支持し全体を気密封止す
    る金属パッケージ部分とよりなる光送受信モジュールを
    一つずつ備えたn軒の加入者ONU、ONU、…、
    ONUn−1、ONUと、基板と、基板の上に設けら
    れ始端aが基板前面に露呈し二分岐の終端c、dをもち
    波長λ1と波長λ2を分離する波長選択性を有するY分
    岐光導波路と、光導波路の一方の終端cに近接対向して
    基板上に設けたλ1を受光する受光素子と光導波路の他
    方の終端dに近接対向して基板上に設けたλ2を発生す
    る発光素子を振り分けて実装したサブモジュールと、軸
    方向に延びる複数のリードピンと、上方へ隆起したポー
    ルを有しポール面にサブモジュールを保持した円盤状金
    属製ステムと、ステムに対して端部が固定された光ファ
    イバと、光ファイバの像をY分岐導波路の始端aに形成
    するレンズと、レンズを保持しステム上に固定されたキ
    ャップと、ステムに固着され光ファイバを支持し全体を
    気密封止する金属パッケージ部分とよりなるn個の光送
    受信モジュールMJ、MJ2、…、MJn−1、MJ
    を有する局と、n軒の加入者と局側のn個の光送受信
    モジュールMJ、MJ2、…、MJn−1、MJ
    接続するn本の光ファイバOF、OF、…、OF
    n−1、OFとからなる事を特徴とする光通信システ
    ム。
  10. 【請求項10】 基板と、基板の上に設けられ始端eが
    基板前面に露呈した導波路と、この導波路の中間部に設
    けた溝と、この溝に挿入され波長λ1を透過し波長λ2
    を反射する波長選択性を有する多層膜フィルタと、多層
    膜フィルタに近接対向して基板上方に設けたλ2を受光
    する受光素子と光導波路の他方の終端fに近接対向して
    基板上に設けたλ1を発生する発光素子とを振り分けて
    実装したサブモジュールと、軸方向に延びる複数のリー
    ドピンと、上方へ隆起したポールを有しポール面にサブ
    モジュールを保持した円盤状金属製ステムと、ステムに
    対して端部が固定された光ファイバと、光ファイバと導
    波路の始端eを光学的に結合するレンズと、レンズを保
    持しステム上に固定されたキャップと、ステムに固着さ
    れ光ファイバを支持する金属パッケージ部分とよりなる
    光送受信モジュールを一つずつ備えたn軒の加入者ON
    、ONU、…、ONUn−1、ONUと、基板
    と、基板の上に設けられ始端eが基板前面に露呈した導
    波路と、この導波路の中間部に設けた溝と、この溝に挿
    入され波長λ1を透過し波長λ2を反射する波長選択性
    を有する多層膜フィルタと、多層膜フィルタに近接対向
    して基板上方に設けたλ2を受光する受光素子と光導波
    路の他方の終端fに近接対向して基板上に設けたλ1を
    発生する発光素子とを振り分けて実装したサブモジュー
    ルと、軸方向に延びる複数のリードピンと、上方へ隆起
    したポールを有しポール面にサブモジュールを保持した
    円盤状金属製ステムと、ステムに対して端部が固定され
    た光ファイバと、光ファイバと導波路の始端eを光学的
    に結合するレンズと、レンズを保持しステム上に固定さ
    れたキャップと、ステムに固着され光ファイバを支持す
    る金属パッケージ部分とよりなるn個の光送受信モジュ
    ールMJ 、MJ2、…、MJn−1、MJを有する
    局と、n軒の加入者と局側のn個の光送受信モジュール
    MJ、MJ2、…、MJn−1、MJを接続するn
    本の光ファイバOF、OF、…、OFn−1、OF
    とからなる事を特徴とする光通信システム。
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