JP2003344161A - 分光モニタ− - Google Patents
分光モニタ−Info
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- JP2003344161A JP2003344161A JP2002151858A JP2002151858A JP2003344161A JP 2003344161 A JP2003344161 A JP 2003344161A JP 2002151858 A JP2002151858 A JP 2002151858A JP 2002151858 A JP2002151858 A JP 2002151858A JP 2003344161 A JP2003344161 A JP 2003344161A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は構成が簡単で、安価で、かつ安全性
の高い、ある特定波長領域のみを角度を変化させて選択
的に透過させて分光特性を検出することができる分光モ
ニターを得るにある。 【解決手段】 光源と、この光源からの入射光をある特
定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィル
タと、このバンドパスフィルタを透過した分光を検出す
る検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射角を
変化させる入射角変化手段とで分光モニターを構成して
いる。
の高い、ある特定波長領域のみを角度を変化させて選択
的に透過させて分光特性を検出することができる分光モ
ニターを得るにある。 【解決手段】 光源と、この光源からの入射光をある特
定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィル
タと、このバンドパスフィルタを透過した分光を検出す
る検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射角を
変化させる入射角変化手段とで分光モニターを構成して
いる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はプラズマモニター等
の比較的狭い波長領域で分光特性が必要な場合に使用さ
れる分光モニターに関する。
の比較的狭い波長領域で分光特性が必要な場合に使用さ
れる分光モニターに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、比較的狭い波長領域で分光特性を
求める場合、グレーティングを用いた分光器を使用した
り、特定波長領域のみを透過させるパンドパスフィルタ
を用いることが一般的に行なわれている。
求める場合、グレーティングを用いた分光器を使用した
り、特定波長領域のみを透過させるパンドパスフィルタ
を用いることが一般的に行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のグレーティング
を用いた分光器を使用する場合、高価なシステムを用い
る必要があり、特に多点の分光特性を同時にモニターす
る必要がある場合に、非常にコスト高になるという欠点
があった。また、バンドパスフィルタを用いる場合には
安価であるが、被測定光の波長がふらつく場合、測定自
体が不安定になりやすいという欠点があった。
を用いた分光器を使用する場合、高価なシステムを用い
る必要があり、特に多点の分光特性を同時にモニターす
る必要がある場合に、非常にコスト高になるという欠点
があった。また、バンドパスフィルタを用いる場合には
安価であるが、被測定光の波長がふらつく場合、測定自
体が不安定になりやすいという欠点があった。
【０００４】本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、
構成が簡単で、安価で、かつ安全性の高い、ある特定波
長領域のみを角度を変化させて選択的に透過させて分光
特性を検出することができる分光モニターを提供するこ
とを目的としている。
構成が簡単で、安価で、かつ安全性の高い、ある特定波
長領域のみを角度を変化させて選択的に透過させて分光
特性を検出することができる分光モニターを提供するこ
とを目的としている。
【０００５】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読む
と、より完全に明らかになるであろう。ただし、図面は
もっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範
囲を限定するものではない。
規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読む
と、より完全に明らかになるであろう。ただし、図面は
もっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範
囲を限定するものではない。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は光源と、この光源からの入射光をある特定
波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタ
と、このバンドパスフィルタを透過した分光を検出する
検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射角を変
化させる入射角変化手段とで分光モニターを構成してい
る。
に、本発明は光源と、この光源からの入射光をある特定
波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィルタ
と、このバンドパスフィルタを透過した分光を検出する
検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射角を変
化させる入射角変化手段とで分光モニターを構成してい
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面に示す実施の形態によ
り、本発明を詳細に説明する。
り、本発明を詳細に説明する。
【０００８】図１ないし図４に示す本発明の第１の実施
の形態において、１は本発明の分光モニターで、この分
光モニター１は光源２と、この光源２からの入射光２ａ
をある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパ
スフィルタ３と、このバンドパスフィルタ３を透過した
分光を検出する検出器４と、前記バンドパスフィルタ３
に対する入射角を変化させる入射角変化手段５とで構成
されている。
の形態において、１は本発明の分光モニターで、この分
光モニター１は光源２と、この光源２からの入射光２ａ
をある特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパ
スフィルタ３と、このバンドパスフィルタ３を透過した
分光を検出する検出器４と、前記バンドパスフィルタ３
に対する入射角を変化させる入射角変化手段５とで構成
されている。
【０００９】前記入射角変化手段５は前記バンドパスフ
ィルタ３を回動させる回動手段としてのステッピングモ
ータで構成されている。
ィルタ３を回動させる回動手段としてのステッピングモ
ータで構成されている。
【００１０】前記検出器４は横一列に複数個のフォトダ
イオードアレイ６を配置したものが使用されている。
イオードアレイ６を配置したものが使用されている。
【００１１】前記入射角変化手段５としてのステッピン
グモータは駆動軸７の軸心が垂直方向に位置するように
取付けられるステッピングモータ本体８と、このステッ
ピングモータ本体８の駆動軸７に固定された水平方向に
回転し、上面に前記バンドパスフィルタ３を固定するこ
とができる回転ステージ９とで構成されている。
グモータは駆動軸７の軸心が垂直方向に位置するように
取付けられるステッピングモータ本体８と、このステッ
ピングモータ本体８の駆動軸７に固定された水平方向に
回転し、上面に前記バンドパスフィルタ３を固定するこ
とができる回転ステージ９とで構成されている。
【００１２】上記構成の分光モニター１はバンドパスフ
ィルタ３への入射角度を変化させた場合の分光透過率は
図３に示すようになる。このような特徴を利用すれば、
バンドパスフィルタ３への入射角度を変化させれば異な
る波長領域の透過光量を測定することが可能となる。た
だし、角度が大きくなるに従って、透過光の波長半値幅
が広がり、かつ波高値が下がる傾向にあるのでも、とも
にモニターできる波長範囲は限られる。
ィルタ３への入射角度を変化させた場合の分光透過率は
図３に示すようになる。このような特徴を利用すれば、
バンドパスフィルタ３への入射角度を変化させれば異な
る波長領域の透過光量を測定することが可能となる。た
だし、角度が大きくなるに従って、透過光の波長半値幅
が広がり、かつ波高値が下がる傾向にあるのでも、とも
にモニターできる波長範囲は限られる。
【００１３】入射角変化手段５としてのステッピングモ
ータで角度変化されたバンドパスフィルタ３を透過した
光は検出器４としての複数個のフォトダイオードアレイ
６で検知され、波長毎の特性として記録されることによ
り、特定の波長範囲の分光特性が得られる。例えば半値
幅１ｎｍ、中心波長が５５０ｎｍのバンドパスフィルタ
３を用い、半値幅６ｎｍ、中心波長５５０ｎｍのバンド
パスフィルタ特性を測定した結果ともとの分光特性とを
比較すると、図４に示すようになった。これは１ｎｍの
半値幅のバンドパスフィルタを２、４、６、８、１０゜
変化させた時の中心波長がそれぞれ５５０、５４９．
９、５４９．６、５４９．１、５４８．４、５４７．６
ｎｍであることから、それぞれの波長での検出器の値を
それぞれの透過率の積分値として計算した結果である。
これはもとの半値幅６ｎｍのバンドパスフィルタの分光
透過率をほぼトレースしており、この場合、２．５ｎｍ
程度の範囲では実用的なレベルで分光特性が求められる
ことがわかる。このような測定は特にプラズマ発光等
で、発光のピーク値の変化を求める場合でピークとなる
波長がふらつく場合、特に有効である。
ータで角度変化されたバンドパスフィルタ３を透過した
光は検出器４としての複数個のフォトダイオードアレイ
６で検知され、波長毎の特性として記録されることによ
り、特定の波長範囲の分光特性が得られる。例えば半値
幅１ｎｍ、中心波長が５５０ｎｍのバンドパスフィルタ
３を用い、半値幅６ｎｍ、中心波長５５０ｎｍのバンド
パスフィルタ特性を測定した結果ともとの分光特性とを
比較すると、図４に示すようになった。これは１ｎｍの
半値幅のバンドパスフィルタを２、４、６、８、１０゜
変化させた時の中心波長がそれぞれ５５０、５４９．
９、５４９．６、５４９．１、５４８．４、５４７．６
ｎｍであることから、それぞれの波長での検出器の値を
それぞれの透過率の積分値として計算した結果である。
これはもとの半値幅６ｎｍのバンドパスフィルタの分光
透過率をほぼトレースしており、この場合、２．５ｎｍ
程度の範囲では実用的なレベルで分光特性が求められる
ことがわかる。このような測定は特にプラズマ発光等
で、発光のピーク値の変化を求める場合でピークとなる
波長がふらつく場合、特に有効である。
【００１４】
【発明の異なる実施の形態】次に、図５ないし図１６に
示す本発明の異なる実施の形態につき説明する。なお、
これらの本発明の異なる実施の形態の説明に当って、前
記本発明の第１の実施の形態と同一構成部分には同一符
号を付して重複する説明を省略する。
示す本発明の異なる実施の形態につき説明する。なお、
これらの本発明の異なる実施の形態の説明に当って、前
記本発明の第１の実施の形態と同一構成部分には同一符
号を付して重複する説明を省略する。
【００１５】図５に示す本発明の第２の実施の形態にお
いて、前記本発明の第１の実施の形態と主に異なる点
は、光源２からの入射光２ａを複数の入射角度を持つよ
うに集光できる反射の鏡面１０を用いてアパーチャ１１
を備えたバンドパスフィルタ３に入射できるように構成
した入射角変化手段５Ａを用いた点で、このような入射
角変化手段５Ａを用いて構成した分光モニター１Ａにし
ても、前記本発明の第１の実施の形態と同様な効果が得
られるとともに、小さなバンドパスフィルタ３の使用が
可能となり、さらなるコストの低減を図ることができ
る。なお、本発明の実施の形態では複数の入射角度を持
つように集光できる反射の鏡面１０は光源２からの入射
光を異なる複数個の反射角を有する反射面が設けられた
反射鏡、例えば、平面鏡が角度を変えて複数個配置した
反射鏡や連続的に曲率が変化する反射面が設けられた反
射鏡、例えば、パラボラアンテナや集光板のように丸み
を帯びた反射鏡が使用される。
いて、前記本発明の第１の実施の形態と主に異なる点
は、光源２からの入射光２ａを複数の入射角度を持つよ
うに集光できる反射の鏡面１０を用いてアパーチャ１１
を備えたバンドパスフィルタ３に入射できるように構成
した入射角変化手段５Ａを用いた点で、このような入射
角変化手段５Ａを用いて構成した分光モニター１Ａにし
ても、前記本発明の第１の実施の形態と同様な効果が得
られるとともに、小さなバンドパスフィルタ３の使用が
可能となり、さらなるコストの低減を図ることができ
る。なお、本発明の実施の形態では複数の入射角度を持
つように集光できる反射の鏡面１０は光源２からの入射
光を異なる複数個の反射角を有する反射面が設けられた
反射鏡、例えば、平面鏡が角度を変えて複数個配置した
反射鏡や連続的に曲率が変化する反射面が設けられた反
射鏡、例えば、パラボラアンテナや集光板のように丸み
を帯びた反射鏡が使用される。
【００１６】図６に示す本発明の第３の実施の形態にお
いて、前記本発明の第１の実施の形態と主に異なる点
は、光源２からの入射光２ａを複数個の入射角度を持つ
ように集光可能な光学レンズ１３を用いてアパーチャ１
１を備えるバンドパスフィルタ３に入射できるように構
成した入射角変化手段５Ｂを用いた点で、このような入
射角変化手段５Ｂを用いて構成した分光モニター１Ｂに
しても、前記本発明の第１の実施の形態と同様な効果が
得られるとともに、小さなバンドパスフィルタ３の使用
が可能となり、さらなるコストの低減を図ることができ
る。
いて、前記本発明の第１の実施の形態と主に異なる点
は、光源２からの入射光２ａを複数個の入射角度を持つ
ように集光可能な光学レンズ１３を用いてアパーチャ１
１を備えるバンドパスフィルタ３に入射できるように構
成した入射角変化手段５Ｂを用いた点で、このような入
射角変化手段５Ｂを用いて構成した分光モニター１Ｂに
しても、前記本発明の第１の実施の形態と同様な効果が
得られるとともに、小さなバンドパスフィルタ３の使用
が可能となり、さらなるコストの低減を図ることができ
る。
【００１７】図７および図８に示す本発明の第４の実施
の形態において、前記本発明の第３の実施の形態と主に
異なる点は、同心円状に複数個のフォトダイオードアレ
イ６Ａを形成した検出器４Ａを用いた点で、このような
検出器４Ａを用いて構成した分光モニター１Ｃにして
も、前記本発明の第３の実施の形態と同様な作用効果が
得られる。
の形態において、前記本発明の第３の実施の形態と主に
異なる点は、同心円状に複数個のフォトダイオードアレ
イ６Ａを形成した検出器４Ａを用いた点で、このような
検出器４Ａを用いて構成した分光モニター１Ｃにして
も、前記本発明の第３の実施の形態と同様な作用効果が
得られる。
【００１８】図９および図１０に示す本発明の第５の実
施の形態において、前記本発明の第１の実施の形態と主
に異なる点は、バンドパスフィルタ３を固定状態で設置
するとともに、光源２からのバンドパスフィルタ３への
入射光２ａを拡散できるシリンドリカルレンズ等の光拡
散器１２を用いた入射角変化手段５Ｃを用いた点で、こ
のような入射角変化手段５Ｃを用いて構成した分光モニ
ター１Ｄにしても、前記本発明の第１の実施の形態と同
様な作用効果が得られる。
施の形態において、前記本発明の第１の実施の形態と主
に異なる点は、バンドパスフィルタ３を固定状態で設置
するとともに、光源２からのバンドパスフィルタ３への
入射光２ａを拡散できるシリンドリカルレンズ等の光拡
散器１２を用いた入射角変化手段５Ｃを用いた点で、こ
のような入射角変化手段５Ｃを用いて構成した分光モニ
ター１Ｄにしても、前記本発明の第１の実施の形態と同
様な作用効果が得られる。
【００１９】図１１および図１２に示す本発明の第６の
実施の形態において、前記本発明の第１の実施の形態と
主に異なる点は、バンドパスフィルタ３を固定状態で設
置するとともに、バンドパスフィルタ３への入射光２ａ
を複数個の入射角度を持つように光源２を回動させる入
射角変化手段５Ｄを用いた点で、このような入射角変化
手段５Ｃを用いて構成した分光モニター１Ｅにしても、
前記本発明の第１の実施の形態と同様な作用効果が得ら
れる。なお、前記入射角変化手段５Ｄは光源２をバンド
パスフィルタ３への入射光２ａを複数個の入射角度を持
つように光源２を回動できるものであればどんな構造で
も良いが、本発明の実施の形態では光源２を支持する支
持台１６に形成された円弧状のガイド溝１７と、この円
弧状のガイド溝１７にスライド移動可能に取付けられた
光源２のケース体１８に形成されたスライド片１９と、
前記支持台１６に後端部が枢支ピン２０で枢支され、出
没される先端部が前記スライド片１９に枢支ピン２１で
枢支された油圧あるいはエア等のシリンダー２２とで構
成されている。
実施の形態において、前記本発明の第１の実施の形態と
主に異なる点は、バンドパスフィルタ３を固定状態で設
置するとともに、バンドパスフィルタ３への入射光２ａ
を複数個の入射角度を持つように光源２を回動させる入
射角変化手段５Ｄを用いた点で、このような入射角変化
手段５Ｃを用いて構成した分光モニター１Ｅにしても、
前記本発明の第１の実施の形態と同様な作用効果が得ら
れる。なお、前記入射角変化手段５Ｄは光源２をバンド
パスフィルタ３への入射光２ａを複数個の入射角度を持
つように光源２を回動できるものであればどんな構造で
も良いが、本発明の実施の形態では光源２を支持する支
持台１６に形成された円弧状のガイド溝１７と、この円
弧状のガイド溝１７にスライド移動可能に取付けられた
光源２のケース体１８に形成されたスライド片１９と、
前記支持台１６に後端部が枢支ピン２０で枢支され、出
没される先端部が前記スライド片１９に枢支ピン２１で
枢支された油圧あるいはエア等のシリンダー２２とで構
成されている。
【００２０】図１３および図１４に示す本発明の第７の
実施の形態において、前記本発明の第３の実施の形態と
主に異なる点は、バンドパスフィルタ３に対しての複数
個の入射角Ｔ０、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５に対し
てほぼ同じ透過量となるように光路系Ｄ０、Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５を形成したセルフォックレンズア
レイ１４を用いた入射角変化手段５Ｅを用いた点で、こ
のような入射角変化手段５Ｅを用いて構成した分光モニ
ター１Ｆにしても、前記本発明の第３の実施の形態と同
様な作用効果が得られる。
実施の形態において、前記本発明の第３の実施の形態と
主に異なる点は、バンドパスフィルタ３に対しての複数
個の入射角Ｔ０、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５に対し
てほぼ同じ透過量となるように光路系Ｄ０、Ｄ１、Ｄ
２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５を形成したセルフォックレンズア
レイ１４を用いた入射角変化手段５Ｅを用いた点で、こ
のような入射角変化手段５Ｅを用いて構成した分光モニ
ター１Ｆにしても、前記本発明の第３の実施の形態と同
様な作用効果が得られる。
【００２１】図１５および図１６に示す本発明の第８の
実施の形態において、前記本発明の第７の実施の形態と
主に異なる点は、バンドパスフィルタ３に対しての複数
個の入射角Ｔ０、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ
６、Ｔ７、Ｔ８、Ｔ９に対してほぼ同じ透過量となるよ
うに導波光路Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５、Ｄ
６、Ｄ７、Ｄ８、Ｄ９を形成した導波路１５を用いた入
射角変化手段５Ｆを用いた点で、このような入射角変化
手段５Ｆを用いて構成した分光モニター１Ｇにしても、
前記本発明の第７の実施の形態と同様な作用効果が得ら
れる。
実施の形態において、前記本発明の第７の実施の形態と
主に異なる点は、バンドパスフィルタ３に対しての複数
個の入射角Ｔ０、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ
６、Ｔ７、Ｔ８、Ｔ９に対してほぼ同じ透過量となるよ
うに導波光路Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２、Ｄ３、Ｄ４、Ｄ５、Ｄ
６、Ｄ７、Ｄ８、Ｄ９を形成した導波路１５を用いた入
射角変化手段５Ｆを用いた点で、このような入射角変化
手段５Ｆを用いて構成した分光モニター１Ｇにしても、
前記本発明の第７の実施の形態と同様な作用効果が得ら
れる。
【００２２】なお、前記本発明の各実施の形態では検出
器４、４Ａとしてフォトダイオードアレイ６、６Ａを用
いるものについて説明したが、本発明はこれに限らず、
フォトダイオード、フォトトランジスタ、イメージセン
サー、集電素子やフォトマル等を使用した検出器を用い
てもよい。
器４、４Ａとしてフォトダイオードアレイ６、６Ａを用
いるものについて説明したが、本発明はこれに限らず、
フォトダイオード、フォトトランジスタ、イメージセン
サー、集電素子やフォトマル等を使用した検出器を用い
てもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にあっては次に列挙する効果が得られる。
にあっては次に列挙する効果が得られる。
【００２４】（１）光源と、この光源からの入射光をあ
る特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフ
ィルタと、このバンドパスフィルタを透過した分光を検
出する検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射
角を変化させる入射角変化手段とで構成されているの
で、ある特定波長領域のみを角度を変化させて選択的に
透過させて分光特性を検出することができる。したがっ
て、従来のように高価なシステムを用いる必要がなく、
安価な構成で検出することができる。
る特定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフ
ィルタと、このバンドパスフィルタを透過した分光を検
出する検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射
角を変化させる入射角変化手段とで構成されているの
で、ある特定波長領域のみを角度を変化させて選択的に
透過させて分光特性を検出することができる。したがっ
て、従来のように高価なシステムを用いる必要がなく、
安価な構成で検出することができる。
【００２５】（２）前記（１）によって、簡単な構成で
あるので、分光特性の検出を安全性の高い状態で行なう
ことができる。したがって、信頼性の高い分光特性の検
出を行なうことができる。
あるので、分光特性の検出を安全性の高い状態で行なう
ことができる。したがって、信頼性の高い分光特性の検
出を行なうことができる。
【００２６】（３）請求項２、３、４、５、６も、前記
（１）、（２）と同様な効果が得られる。
（１）、（２）と同様な効果が得られる。
【図１】本発明の第１の実施の形態の概略平面図。
【図２】本発明の第１の実施の形態の概略正面図。
【図３】バンドパスフィルタの透過率の角度依存性を示
す図。
す図。
【図４】フィルタの分光透過率と本願発明の計測値を示
す図。
す図。
【図５】本発明の第２の実施の形態の概略説明図。
【図６】本発明の第３の実施の形態の概略説明図。
【図７】本発明の第４の実施の形態の概略説明図。
【図８】本発明の第４の実施の形態の検出器の平面図。
【図９】本発明の第５の実施の形態の概略平面図。
【図１０】本発明の第５の実施の形態の概略正面図。
【図１１】本発明の第６の実施の形態の概略平面図。
【図１２】本発明の第６の実施の形態の概略正面図。
【図１３】本発明の第７の実施の形態の概略説明図。
【図１４】本発明の第７の実施の形態の分光透過器の説
明図。
明図。
【図１５】本発明の第８の実施の形態の概略説明図。
【図１６】本発明の第８の実施の形態の分光透過器の説
明図。
明図。
１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、１Ｇ：分光
モニター、２：光源、 ２ａ：入射光、
３：バンドパスフィルタ、４、４Ａ：検出器、５、５
Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆ：入射角変化手段、
６、６Ａ：フォトダイオードアレイ、７：駆動軸、８：
ステッピングモータ本体、９：回転ステージ、 １
０：鏡面、１１：アパチャー、 １２：光拡散器、
１３：光学レンズ、１４：セルフォックレンズアレイ、
１５：導波路、 １６：支持台、１７：ガイド
溝、 １８：ケース体、１９：スライド片、
２０：枢支ピン、２１：枢支ピン、 ２２：シ
リンダー。
モニター、２：光源、 ２ａ：入射光、
３：バンドパスフィルタ、４、４Ａ：検出器、５、５
Ａ、５Ｂ、５Ｃ、５Ｄ、５Ｅ、５Ｆ：入射角変化手段、
６、６Ａ：フォトダイオードアレイ、７：駆動軸、８：
ステッピングモータ本体、９：回転ステージ、 １
０：鏡面、１１：アパチャー、 １２：光拡散器、
１３：光学レンズ、１４：セルフォックレンズアレイ、
１５：導波路、 １６：支持台、１７：ガイド
溝、 １８：ケース体、１９：スライド片、
２０：枢支ピン、２１：枢支ピン、 ２２：シ
リンダー。
Claims (7)
- 【請求項１】 光源と、この光源からの入射光をある特
定波長領域のみを選択的に透過させるバンドパスフィル
タと、このバンドパスフィルタを透過した分光を検出す
る検出器と、前記バンドパスフィルタに対する入射角を
変化させる入射角変化手段とからなることを特徴とする
分光モニタ−。 - 【請求項２】 入射角変化手段は、バンドパスフィルタ
を回動させるステッピングモータ等の回動手段であるこ
とを特徴とする請求項１記載の分光モニタ−。 - 【請求項３】 入射角変化手段は、光源からの入射光を
集光可能なレンズであることを特徴とする請求項１記載
の分光モニタ−。 - 【請求項４】 入射角変化手段は、光源からの入射光を
異なる複数個の反射角を有する反射面が設けられた反射
鏡あるいは連続的に曲率が変化する反射面が設けられた
反射鏡であることを特徴とする請求項１記載の分光モニ
タ−。 - 【請求項５】 入射角変化手段は、バンドパスフィルタ
に対しての複数個の入射角に対してほぼ同じ透過量とな
るように光路系を形成したセルフォックレンズアレイで
あることを特徴とする請求項１記載の分光モニタ−。 - 【請求項６】 入射角変化手段は、バンドパスフィルタ
に対しての複数個の入射角に対してほぼ同じ透過量とな
るように導波光路を形成した導波路であることを特徴と
する請求項１記載の分光モニタ−。 - 【請求項７】 検出器は同心円上に異なる受光体が配置
されたフォトダイオードアレイ、あるいは横一列に受光
体が配置されたフォトダイオードアレイであることを特
徴とする請求項１記載の分光モニタ−。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002151858A JP2003344161A (ja) | 2002-05-27 | 2002-05-27 | 分光モニタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002151858A JP2003344161A (ja) | 2002-05-27 | 2002-05-27 | 分光モニタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003344161A true JP2003344161A (ja) | 2003-12-03 |
Family
ID=29769320
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002151858A Pending JP2003344161A (ja) | 2002-05-27 | 2002-05-27 | 分光モニタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003344161A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010537363A (ja) * | 2007-08-13 | 2010-12-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 適応性がある色を有する照明装置 |
| WO2012131812A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 分光器 |
-
2002
- 2002-05-27 JP JP2002151858A patent/JP2003344161A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010537363A (ja) * | 2007-08-13 | 2010-12-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 適応性がある色を有する照明装置 |
| WO2012131812A1 (ja) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 分光器 |
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