JP2003207455A - Tool for retaining package - Google Patents
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のチップ状の
電子部品(以下、チップという。)が樹脂封止された樹
脂封止済基板を切断することによりチップを含む個片か
らなるパッケージを形成した後に使用される、パッケー
ジの保持用治具に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a package including individual chips including chips by cutting a resin-sealed substrate in which a plurality of chip-shaped electronic components (hereinafter referred to as chips) are resin-sealed. The present invention relates to a package holding jig that is used after being formed.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のパッケージの保持用治具につい
て、図4を参照しながら説明する。図4(A),
(B),(C)は、従来のパッケージの保持用治具と吸
着用治具とを組み合わせて使用して、樹脂封止済基板を
切断する工程と、各パッケージを保持する工程と、各パ
ッケージを洗浄して乾燥させる工程とをそれぞれ示す部
分断面図である。図4(A)に示されているように、パ
ッケージの保持用治具であるネスト50は、例えばステ
ンレス鋼からなり、格子状の側壁51と、外枠52と、
側壁51同士及び側壁51と外枠52とに囲まれた空間
からなる収容部53と、側壁51及び外枠52の一部か
らなり壁面が後退している保持壁54と、保持壁54の
根元にある棚部55とから構成される。また、吸着用治
具であるプラットホーム56は、各パッケージに対応し
て突出する吸着部57と、吸着部57の上部に設けられ
た凹部58と、凹部58に設けられた吸引口59とを有
する。2. Description of the Related Art A conventional jig for holding a package will be described with reference to FIG. FIG. 4 (A),
(B) and (C) show a process of cutting the resin-sealed substrate, a process of holding each package, and a process of using each of the conventional package holding jig and suction jig in combination. It is a fragmentary sectional view showing the process of washing and drying a package, respectively. As shown in FIG. 4A, the nest 50, which is a jig for holding the package, is made of, for example, stainless steel, and has a grid-shaped side wall 51, an outer frame 52, and
An accommodating portion 53 formed of a space surrounded by the side walls 51 and between the side wall 51 and the outer frame 52, a holding wall 54 that is a part of the side wall 51 and the outer frame 52 and has a retreated wall surface, and a base of the holding wall 54. And a shelf 55 located at. The platform 56, which is a suction jig, has a suction portion 57 protruding corresponding to each package, a recess 58 provided on the suction portion 57, and a suction port 59 provided in the recess 58. .
【0003】従来のパッケージの保持用治具、すなわち
ネスト50は、次のようにして使用される。まず、図4
(A)に示すように、ネスト50とプラットホーム56
とを組み合わせ、吸引口59を介して樹脂封止済基板6
0を吸着した後に、ブレード61により樹脂封止済基板
60を切断する。次に、図4(B)に示すように、樹脂
封止済基板60をすべてのパッケージ62に切断し終わ
ると、吸着を解除した後にネスト50を上昇させる。こ
のことにより、各パッケージ62は、ネスト50の各収
容部53において、棚部55に係止されるとともに、保
持壁54によって図の水平方向に大きく移動しないよう
にして保持される。そして、各パッケージ62を図の垂
直方向に大きく移動しないようにして保持するために、
ふた63を下降させる。ここで、ふた63のパッケージ
押さえ部64がパッケージ62の角部の上方に位置し、
ふた63のネスト押さえ部65がネスト50の外枠52
の上方に位置するようにして、ふた63を下降させる。
また、ふた63には、パッケージ62の中央部上方に開
口66が設けられている。A conventional package holding jig, that is, the nest 50 is used as follows. First, FIG.
As shown in (A), nest 50 and platform 56
And the resin-sealed substrate 6 through the suction port 59.
After adsorbing 0, the resin-sealed substrate 60 is cut by the blade 61. Next, as shown in FIG. 4B, when the resin-sealed substrate 60 has been cut into all the packages 62, the nest 50 is lifted after releasing the suction. As a result, each package 62 is held by the shelf 55 in each accommodation portion 53 of the nest 50, and is held by the holding wall 54 so as not to largely move in the horizontal direction in the drawing. Then, in order to hold each package 62 so as not to move largely in the vertical direction of the drawing,
Lower the lid 63. Here, the package pressing portion 64 of the lid 63 is located above the corner of the package 62,
The nest pressing portion 65 of the lid 63 is the outer frame 52 of the nest 50.
The lid 63 is lowered so that the lid 63 is positioned above.
Further, the lid 63 is provided with an opening 66 above the central portion of the package 62.
【0004】次に、図4(C)に示すように、ネスト押
さえ部65と外枠52とを圧接させる。これにより、パ
ッケージ62は、角部においてパッケージ押さえ部64
から所定の間隙をおいて、図の垂直方向に大きく移動し
ないように保持される。この状態で、ネスト50を、洗
浄槽の中に入れて洗浄液によりパッケージ62を洗浄
し、更に乾燥機の中に入れてドライエア等によりパッケ
ージ62を乾燥させる。そして、図中の太い矢印で示す
ように、洗浄工程では洗浄液が、乾燥工程ではドライエ
アが、それぞれ、ふた63・パッケージ62間、保持壁
54・パッケージ62間、棚部55・パッケージ62間
の狭い空間を流動する。Next, as shown in FIG. 4C, the nest pressing portion 65 and the outer frame 52 are brought into pressure contact with each other. As a result, the package 62 has the package pressing portion 64 at the corner.
From the above, a predetermined gap is maintained so that the vertical direction of the drawing does not significantly move. In this state, the nest 50 is put in a washing tank to wash the package 62 with a washing liquid, and then put in a dryer to dry the package 62 with dry air or the like. Then, as indicated by the thick arrow in the figure, the cleaning liquid in the cleaning process and the dry air in the drying process are narrow between the lid 63 and the package 62, between the holding wall 54 and the package 62, and between the shelf portion 55 and the package 62, respectively. Flow through space.
【0005】次に、検査工程において、ふた63が取り
除かれた状態で、照明下でCCDカメラによりパッケー
ジ62を撮影する。そして、得られた画像データに基づ
いて画像処理を行い、パッケージ62の電極(図示な
し)に欠損がないか、外観にチッピング等の異常がない
か等の項目について、各パッケージ62ごとに所定の検
査を行う。Next, in the inspection process, the package 62 is photographed by a CCD camera under illumination with the lid 63 removed. Then, image processing is performed on the basis of the obtained image data, and predetermined items are determined for each package 62 with respect to items such as whether the electrodes (not shown) of the package 62 are defective or whether the appearance is abnormal such as chipping. Perform an inspection.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のパッケージの保持用治具によれば、ネスト50がス
テンレス鋼のような金属材料から構成されているので、
検査工程において次のような問題が発生する。すなわ
ち、照明用の光がネスト50における保持壁54の上面
によって反射され、画像処理を行う際にその反射光によ
り検査装置が誤認識してしまうおそれがある。具体的に
は、本来良品のパッケージであるにもかかわらず反射光
によって不良品と判断したり、反射光が強すぎることか
ら画像処理が適切に行われずエラー表示をして検査装置
が自動停止したりする場合がある。However, according to the above-described conventional package holding jig, since the nest 50 is made of a metal material such as stainless steel,
The following problems occur in the inspection process. That is, the illumination light may be reflected by the upper surface of the holding wall 54 in the nest 50, and the inspection apparatus may erroneously recognize the reflected light when performing image processing. Specifically, even though the package is originally a good product, it is judged as a defective product by reflected light, or because the reflected light is too strong, image processing is not performed properly and an error is displayed and the inspection device automatically stops. It may happen.
【0007】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたものであり、検査工程における検査装置の誤認識
を低減させるパッケージの保持用治具を提供することを
目的とする。The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a package holding jig that reduces erroneous recognition of the inspection device in the inspection process.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上述の技術的課題を解決
することを目的として、本発明に係るパッケージの保持
用治具は、複数のチップ状の電子部品が樹脂封止された
樹脂封止済基板を切断することにより電子部品を含む個
片からなるパッケージを形成した後に該パッケージを検
査する際に使用され、パッケージが各々収容され側壁に
囲まれた格子状の収容部と、側壁の一部からなり壁面が
後退しているとともにパッケージを保持する保持壁と、
保持壁の根元にあってパッケージが係止される棚部とを
有するパッケージの保持用治具であって、保持壁の上面
においては光の反射率が小さいことを特徴とする。For the purpose of solving the above technical problems, a package holding jig according to the present invention is a resin-sealing method in which a plurality of chip-shaped electronic components are resin-sealed. It is used when inspecting the package after forming the package including the electronic component by cutting the finished substrate, and the grid-shaped accommodating portions each accommodating the package are surrounded by the side wall and one of the side walls. And a holding wall that holds the package while the wall surface is receding.
A jig for holding a package, which has a shelf portion at the base of the holding wall to which the package is locked, characterized in that the reflectance of light is small on the upper surface of the holding wall.
【0009】これによれば、保持壁の上面では光の反射
率が小さいので、パッケージを検査する際に照明光の反
射が抑制される。したがって、保持壁の上面で反射する
反射光に起因する検査装置の誤認識を、低減させること
ができる。According to this, since the light reflectance is small on the upper surface of the holding wall, the reflection of the illumination light is suppressed when the package is inspected. Therefore, erroneous recognition of the inspection device due to the reflected light reflected on the upper surface of the holding wall can be reduced.
【0010】また、本発明に係るパッケージの保持用治
具は、上述のパッケージの保持用治具において、保持用
治具は光の反射率が小さい状態になるように表面処理さ
れた金属からなることを特徴とする。Further, a package holding jig according to the present invention is the above-mentioned package holding jig, and the holding jig is made of a metal surface-treated so that the reflectance of light is small. It is characterized by
【0011】これによれば、保持用治具が、光の反射率
が小さい状態になるように表面処理された金属からな
る。このことにより、保持壁の上面では光の反射率が小
さいので、パッケージを検査する際に照明光の反射が抑
制される。したがって、保持壁の上面で反射する反射光
に起因する検査装置の誤認識を、低減させることができ
る。According to this, the holding jig is made of a metal surface-treated so that the light reflectance is small. As a result, since the light reflectance is small on the upper surface of the holding wall, the reflection of illumination light is suppressed when the package is inspected. Therefore, erroneous recognition of the inspection device due to the reflected light reflected on the upper surface of the holding wall can be reduced.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明に係るパッケージの
保持用治具を、図1〜図3を参照して説明する。図1
は、本発明に係るパッケージの保持用治具、すなわちネ
ストが使用される状態を概略的に示す斜視図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A jig for holding a package according to the present invention will be described below with reference to FIGS. Figure 1
FIG. 3 is a perspective view schematically showing a state where a jig for holding a package according to the present invention, that is, a nest is used.
【0013】図1に示されるように、切断される対象と
なる樹脂封止済基板1は、プリント基板やリードフレー
ム等からなる基板本体2と、封止樹脂3とにより構成さ
れている。基板本体2には、切断位置であるダイシング
ライン4が仮想的に設けられている。各ダイシングライ
ン4によって囲まれた部分は、切断後に各パッケージに
なるべきパッケージ領域5である。As shown in FIG. 1, a resin-sealed substrate 1 to be cut is composed of a substrate body 2 made of a printed circuit board, a lead frame and the like, and a sealing resin 3. The substrate body 2 is virtually provided with a dicing line 4 which is a cutting position. A portion surrounded by each dicing line 4 is a package region 5 that should become each package after cutting.
【0014】本発明に係るパッケージの保持用治具、す
なわちネスト6は、格子状に設けられた側壁7と、側壁
7に囲まれた四辺形の空間であってパッケージ(図示な
し)が収容される収容部8とを有する。ここで、ネスト
6は、例えば、黒クロムめっきやレイデント処理等が施
されたステンレス鋼のような、光の反射率を小さくする
表面処理が施された金属材料から構成されている。な
お、図1では、図が込み入ってくることからネスト6に
ついては一部を省略して、省略した部分については後述
する。The package holding jig, ie, the nest 6 according to the present invention is a lattice-shaped side wall 7 and a quadrilateral space surrounded by the side wall 7 in which a package (not shown) is housed. And an accommodating portion 8 for Here, the nest 6 is made of, for example, a metallic material that has been surface-treated to reduce the light reflectance, such as stainless steel that has been subjected to black chrome plating or Raydent treatment. In FIG. 1, a part of the nest 6 is omitted because the drawing is complicated, and the omitted part will be described later.
【0015】プラットホーム9は、ネスト6と組み合わ
せて使用される吸着用治具であり、テーブル10に固定
されている。また、プラットホーム9において、吸着部
11は、各パッケージを吸着して保持する凸状の部分で
ある。また、凹部12は、吸着部11の上面に設けられ
た吸着用の空間である。また、吸引口13は、凹部12
に設けられ真空ポンプ14につながる吸着用管路の出口
である。The platform 9 is a suction jig used in combination with the nest 6, and is fixed to the table 10. Further, in the platform 9, the suction portion 11 is a convex portion that sucks and holds each package. The recess 12 is a suction space provided on the upper surface of the suction unit 11. Further, the suction port 13 is
Is an outlet of an adsorption pipe line that is connected to the vacuum pump 14.
【0016】図1に示されたネスト6の形状を、図1で
省略した部分も含めて、図2を参照して説明する。図2
(A),(B),(C)は、プラットホームとネストと
を組み合わせて使用して、樹脂封止済基板を切断する工
程と、各パッケージを保持する工程と、各パッケージを
洗浄して乾燥させる工程とをそれぞれ示す部分断面図で
ある。The shape of the nest 6 shown in FIG. 1, including the parts omitted in FIG. 1, will be described with reference to FIG. Figure 2
(A), (B), and (C) are a combination of a platform and a nest, used to cut the resin-sealed substrate, hold each package, and wash and dry each package. FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a step of performing the process.
【0017】図2(A),(B)に示されるように、ネ
スト6において、側壁7のうち最も外側にある外枠15
には、その外枠15の一部であって壁面が後退している
保持壁16が設けられている。同様に、外枠15の内側
に設けられた側壁7には、その側壁7の一部であって壁
面が後退している保持壁16が設けられている。これら
の保持壁16は、図1では省略されている。保持壁16
の根元、すなわち側壁7とつながる部分には、棚部17
が設けられている。各保持壁16の中央部付近には、切
り欠き18が設けられている。図2(B)に示されるよ
うに、各パッケージ19は、棚部17に係止されるとと
もに、保持壁16により水平方向に大きく移動しないよ
うにして保持される。As shown in FIGS. 2A and 2B, in the nest 6, the outermost outer frame 15 of the side walls 7 is formed.
Is provided with a holding wall 16 which is a part of the outer frame 15 and whose wall surface is retracted. Similarly, the side wall 7 provided inside the outer frame 15 is provided with a holding wall 16 which is a part of the side wall 7 and whose wall surface is retracted. These retaining walls 16 are omitted in FIG. Holding wall 16
At the root of the, that is, the part connected to the side wall 7, the shelf 17
Is provided. A notch 18 is provided near the center of each holding wall 16. As shown in FIG. 2B, each package 19 is held by the shelf 17 and is held by the holding wall 16 so as not to move largely in the horizontal direction.
【0018】ここで、表面処理した金属材料を切削加工
することにより、少なくとも保持壁16の上面(図で太
い実線で示されている部分)においては、光の反射率が
小さくなっている。なお、金属材料を切削加工してネス
ト6の形状を形成した後に、表面処理を施すこともでき
る。この場合には、ネスト6の表面のすべてが、光の反
射率が小さい状態になっている。By cutting the surface-treated metal material, the light reflectance is reduced at least on the upper surface of the holding wall 16 (the portion shown by the thick solid line in the figure). The surface treatment can be performed after cutting the metal material to form the shape of the nest 6. In this case, the entire surface of the nest 6 has a low light reflectance.
【0019】本発明に係るパッケージの保持用治具、す
なわちネスト6が使用される工程について、図2と図3
とを参照して説明する。図3(A),(B)は、パッケ
ージを洗浄して乾燥させた後にふたを取り外す工程と、
パッケージを検査する工程とをそれぞれ示す部分断面図
である。2 and 3 for the process of using the package holding jig, ie, the nest 6 according to the present invention.
It will be described with reference to. 3A and 3B show a step of removing the lid after cleaning and drying the package,
It is a fragmentary sectional view showing a process of inspecting a package, respectively.
【0020】図2において、ブレード20は、樹脂封止
済基板1を切断するための回転刃である。ふた21は、
ネスト6を覆うとともに各パッケージ19の大きな移動
を抑制する部材であって、格子状のリブからなるパッケ
ージ押さえ部22と、外周部におけるリブからなるネス
ト押さえ部23とを有する。ネスト押さえ部23は、パ
ッケージ押さえ部22よりも下方まで突出するように設
けられている。また、ふた21の天井板には、各パッケ
ージ19の中央部上方に相当する部分に開口24が設け
られている。また、ネスト6のコーナー部25は、保持
壁16と棚部17とがつながる部分である。In FIG. 2, a blade 20 is a rotary blade for cutting the resin-sealed substrate 1. The lid 21 is
The member is a member that covers the nest 6 and suppresses large movement of each package 19, and has a package pressing portion 22 formed of a grid-like rib and a nest pressing portion 23 formed of a rib on the outer peripheral portion. The nest pressing portion 23 is provided so as to protrude below the package pressing portion 22. Further, the ceiling plate of the lid 21 is provided with an opening 24 at a portion corresponding to the upper center portion of each package 19. The corner portion 25 of the nest 6 is a portion where the holding wall 16 and the shelf portion 17 are connected.
【0021】まず、図2(A)に示すように、ネスト6
とプラットホーム9とを組み合わせて、吸引口13を介
して樹脂封止済基板1を吸着した後に、ブレード20に
より樹脂封止済基板1を切断する。First, as shown in FIG. 2A, the nest 6
And the platform 9 are combined to adsorb the resin-sealed substrate 1 through the suction port 13, and then the resin-sealed substrate 1 is cut by the blade 20.
【0022】次に、図2(B)に示すように、樹脂封止
済基板1をすべてのパッケージ19に切断し終わると、
吸着を解除した後にネスト6を上昇させる。これによ
り、各パッケージ19は、ネスト6の各収容部8におい
て、棚部17に係止されるとともに、保持壁16によっ
て図の水平方向に大きく移動しないようにして保持され
る。そして、ふた21を下降させて、各パッケージ19
を図の垂直方向に大きく移動しないようにして保持す
る。ここで、ふた21のパッケージ押さえ部22がパッ
ケージ19の角部の上方に位置し、ふた21のネスト押
さえ部23がネスト6の外枠15の上方に位置するよう
にして、ふた21を下降させる。Next, as shown in FIG. 2B, when the resin-sealed substrate 1 is cut into all the packages 19,
After releasing the suction, the nest 6 is raised. As a result, each package 19 is held by the shelf 17 in each housing 8 of the nest 6 and is held by the holding wall 16 so as not to move largely in the horizontal direction of the drawing. Then, the lid 21 is lowered and each package 19
Hold it so that it does not move significantly in the vertical direction of the figure. Here, the package pressing portion 22 of the lid 21 is positioned above the corner portion of the package 19, and the nest pressing portion 23 of the lid 21 is positioned above the outer frame 15 of the nest 6 to lower the lid 21. .
【0023】次に、図2(C)に示すように、ネスト押
さえ部23と外枠15とを圧接させる。これにより、パ
ッケージ19は、角部においてパッケージ押さえ部22
から所定の間隙をおいて、図の垂直方向に大きく移動し
ないように保持される。言い換えれば、パッケージ19
は、それぞれ、ネスト6との間、及びふた21との間に
設けられたわずかな間隙において移動できる状態で、保
持される。Next, as shown in FIG. 2C, the nest pressing portion 23 and the outer frame 15 are brought into pressure contact with each other. As a result, the package 19 has the package pressing portion 22 at the corner.
From the above, a predetermined gap is maintained so that the vertical direction of the drawing does not significantly move. In other words, package 19
Are held movably in a small gap provided between the nest 6 and the lid 21, respectively.
【0024】この状態のままで、ネスト6を洗浄槽の中
に入れて、洗浄液によりパッケージ19を洗浄する。更
に、ネスト6を乾燥機の中に入れて、ドライエア等によ
りパッケージ19を乾燥させる。そして、図中の太い矢
印で示すように、洗浄工程では洗浄液が、乾燥工程では
ドライエアが、それぞれ切り欠き18を経由して、ふた
21・パッケージ19間、保持壁16・パッケージ19
間、棚部17・パッケージ19間の狭い空間を流動す
る。これにより、コーナー部25とパッケージ19との
間においても、洗浄液及びドライエアが、それぞれ切り
欠き18を経由して流入し、流出する。In this state, the nest 6 is put in the cleaning tank and the package 19 is cleaned with the cleaning liquid. Further, the nest 6 is put in a dryer and the package 19 is dried by dry air or the like. Then, as indicated by the thick arrow in the figure, the cleaning liquid in the cleaning process and the dry air in the drying process respectively pass through the notches 18 between the lid 21 and the package 19 and between the holding wall 16 and the package 19.
Meanwhile, it flows in a narrow space between the shelf 17 and the package 19. As a result, the cleaning liquid and the dry air also flow in and out between the corner portion 25 and the package 19 via the notches 18, respectively.
【0025】次に、図3(A)に示すように、パッケー
ジ19を洗浄・乾燥させた後に、ふた21を取り外す。Next, as shown in FIG. 3A, after the package 19 is washed and dried, the lid 21 is removed.
【0026】次に、図3(B)に示すように、照明下で
CCDカメラ26により、パッケージ19を周囲の保護
壁16とともに撮影する。そして、得られた画像データ
に基づいて画像処理を行い、パッケージ19が有する電
極(図示なし)に欠損がないか、パッケージ19の外観
にチッピング等の異常がないか等の項目について、各パ
ッケージ19ごとに所定の検査を行う。Next, as shown in FIG. 3B, the package 19 is photographed together with the surrounding protective wall 16 by the CCD camera 26 under illumination. Then, image processing is performed based on the obtained image data, and each package 19 is checked for items such as whether the electrodes (not shown) of the package 19 are defective or whether the appearance of the package 19 is abnormal such as chipping. Predetermined inspection is performed every time.
【0027】ここで、本発明に係るパッケージの保持用
治具、すなわちネスト6の特徴は、少なくとも各保持壁
16の上面(図で太い実線で示されている部分)では、
表面処理されていることにより光の反射率が小さくなっ
ていることである。これにより、パッケージ19を撮影
する際に使用する照明光の反射が抑制される。また、金
属材料が表面処理された後に切削加工されるとともに切
り欠き18がある場合であっても、切り欠き18の表
面、すなわち金属光沢を有する面はパッケージ19の陰
になっているので、同様に照明光の反射が抑制される。
これらのことにより、保持壁16の上面で反射する反射
光に起因する検査装置の誤認識を、低減させることがで
きる。Here, the feature of the holding jig for the package according to the present invention, that is, the nest 6, is that at least the upper surface of each holding wall 16 (the portion shown by the thick solid line in the figure).
That is, the light reflectance is reduced by the surface treatment. Thereby, the reflection of the illumination light used when photographing the package 19 is suppressed. Further, even when the metal material is subjected to the surface treatment and then cut and the notch 18 is provided, the surface of the notch 18, that is, the surface having the metallic luster is behind the package 19, and therefore the same. In addition, the reflection of illumination light is suppressed.
Due to these, erroneous recognition of the inspection device due to the reflected light reflected by the upper surface of the holding wall 16 can be reduced.
【0028】なお、上述の説明では、ネスト6の材料と
して、光の反射率が低くなるような表面処理を施した金
属を使用した。これに代えて、ネスト6を、黒色等の光
の反射率が低い色を有するエンジニアリングプラスチッ
クから構成してもよい。エンジニアリングプラスチック
としては、例えば、四ふっ化エチレン(PTFE)等を
使用することができる。In the above description, as the material of the nest 6, a metal subjected to a surface treatment so that the light reflectance is low is used. Instead of this, the nest 6 may be made of an engineering plastic having a color with low light reflectance such as black. As the engineering plastic, for example, ethylene tetrafluoride (PTFE) or the like can be used.
【0029】また、切り欠き18は、洗浄工程で洗浄液
が、乾燥工程でドライエアが、それぞれパッケージ19
の周囲において充分に流動するように設けられている。
したがって、必要性が低ければ、切り欠き18を設けな
くてもよい。The notch 18 has a package 19 for cleaning liquid in the cleaning process and dry air for the drying process.
It is provided so that it can sufficiently flow around the circumference of.
Therefore, the cutout 18 may not be provided if the necessity is low.
【0030】[0030]
【発明の効果】本発明によれば、保持壁の上面では光の
反射率が小さいので、パッケージを検査する際に照明光
の反射が抑制される。したがって、保持壁の上面で反射
する反射光に起因する検査装置の誤認識を、低減させる
ことができる。したがって、本発明は、検査工程におけ
る検査装置の誤認識を低減させるパッケージの保持用治
具を提供することができるという、優れた実用的な効果
を奏するものである。According to the present invention, since the light reflectance is small on the upper surface of the holding wall, the reflection of illumination light is suppressed when the package is inspected. Therefore, erroneous recognition of the inspection device due to the reflected light reflected on the upper surface of the holding wall can be reduced. Therefore, the present invention has an excellent practical effect of being able to provide a package holding jig that reduces erroneous recognition of the inspection device in the inspection process.
【図1】本発明に係るパッケージの保持用治具、すなわ
ちネストが使用される状態を概略的に示す斜視図であ
る。FIG. 1 is a perspective view schematically showing a state in which a jig for holding a package according to the present invention, that is, a nest is used.
【図2】(A),(B),(C)は、プラットホームと
ネストとを組み合わせて使用して、樹脂封止済基板を切
断する工程と、各パッケージを保持する工程と、各パッ
ケージを洗浄して乾燥させる工程とをそれぞれ示す部分
断面図である。2 (A), (B), and (C) show a process of cutting a resin-sealed substrate, a process of holding each package, and a process of using each package by using a platform and a nest in combination. It is a fragmentary sectional view showing the process of washing and drying, respectively.
【図3】(A),(B)は、パッケージを洗浄して乾燥
させた後にふたを取り外す工程と、パッケージを検査す
る工程とをそれぞれ示す部分断面図である。3A and 3B are partial cross-sectional views showing a process of removing the lid after cleaning and drying the package, and a process of inspecting the package.
【図4】(A),(B),(C)は、従来のパッケージ
の保持用治具と吸着用治具とを組み合わせて使用して、
樹脂封止済基板を切断する工程と、各パッケージを保持
する工程と、各パッケージを洗浄して乾燥させる工程と
をそれぞれ示す部分断面図である。4 (A), (B), and (C) are a combination of a conventional package holding jig and a suction jig,
FIG. 6 is a partial cross-sectional view showing a step of cutting the resin-sealed substrate, a step of holding each package, and a step of cleaning and drying each package.
1 樹脂封止済基板 2 基板本体 3 封止樹脂 4 ダイシングライン 5 パッケージ領域 6 ネスト(保持用治具) 7 側壁 8 収容部 9 プラットホーム 10 テーブル 11 吸着部 12 凹部 13 吸引口 14 真空ポンプ 15 外枠(側壁) 16 保持壁 17 棚部 18 切り欠き部 19 パッケージ 20 ブレード 21 ふた 22 パッケージ押さえ部 23 ネスト押さえ部 24 開口 25 コーナー部 26 CCDカメラ 1 Resin-sealed substrate 2 Board body 3 Sealing resin 4 dicing line 5 Package area 6 Nest (holding jig) 7 Side wall 8 accommodation 9 platforms 10 tables 11 Adsorption part 12 recess 13 Suction port 14 Vacuum pump 15 Outer frame (side wall) 16 retaining wall 17 shelves 18 Notch 19 packages 20 blades 21 lid 22 Package holder 23 Nest holding part 24 openings 25 corners 26 CCD camera
Claims (2)
れた樹脂封止済基板を切断することにより前記電子部品
を含む個片からなるパッケージを形成した後に該パッケ
ージを検査する際に使用され、前記パッケージが各々収
容され側壁に囲まれた格子状の収容部と、前記側壁の一
部からなり壁面が後退しているとともに前記パッケージ
を保持する保持壁と、前記保持壁の根元にあって前記パ
ッケージが係止される棚部とを有するパッケージの保持
用治具であって、 前記保持壁の上面においては光の反射率が小さいことを
特徴とするパッケージの保持用治具。1. A method for inspecting a package formed by cutting a resin-sealed substrate in which a plurality of chip-shaped electronic components are resin-sealed, after forming a package including individual pieces including the electronic components. The package is housed in each of the packages and is surrounded by side walls, and the grid-shaped accommodating portions are surrounded by the side walls, the wall that is a part of the side walls is retracted, and the package holds the package. A jig for holding a package, which has a shelf portion to which the package is locked, wherein the jig for holding the package has a small light reflectance on the upper surface of the holding wall.
において、 前記保持用治具は光の反射率が小さい状態になるように
表面処理された金属からなることを特徴とするパッケー
ジの保持用治具。2. The package holding jig according to claim 1, wherein the holding jig is made of a metal surface-treated so as to have a low light reflectance. Jig.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002006294A JP2003207455A (en) | 2002-01-15 | 2002-01-15 | Tool for retaining package |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002006294A JP2003207455A (en) | 2002-01-15 | 2002-01-15 | Tool for retaining package |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003207455A true JP2003207455A (en) | 2003-07-25 |
Family
ID=27645106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002006294A Pending JP2003207455A (en) | 2002-01-15 | 2002-01-15 | Tool for retaining package |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003207455A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006112845A (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Ushio Inc | Pattern inspection device |
JP2015188024A (en) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | Towa株式会社 | Jig for inspection, and cutting device and method |
-
2002
- 2002-01-15 JP JP2002006294A patent/JP2003207455A/en active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006112845A (en) * | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Ushio Inc | Pattern inspection device |
JP2015188024A (en) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | Towa株式会社 | Jig for inspection, and cutting device and method |
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