JP2003273611A - Wiring board - Google Patents
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速で動作する半
導体素子や電子部品が搭載される配線基板に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、マイクロプロセッサやASIC
(Application Specific Integrated Circuit)等に代
表される半導体素子をはじめとする電子部品が搭載さ
れ、電子回路基板等に使用される多層配線基板において
は、内部配線用の配線導体の形成にあたって、アルミナ
セラミックスをはじめとするセラミックスから成る絶縁
層とタングステン(W)等の高融点金属から成る配線導
体層とを交互に積層して多層配線基板を形成していた。
【0003】しかしながら、このような多層配線基板で
は、絶縁層が比誘電率10程度のアルミナセラミックスを
はじめとするセラミックスから成るために、配線間の電
磁気的な結合が大きくなることからクロストークノイズ
が増大し、その結果、半導体素子の動作速度の高速化に
対応できないという問題点が発生した。
【0004】そこで、絶縁層を比誘電率が10程度である
アルミナセラミックスに代えて、比誘電率が3〜5と比
較的小さいガラスエポキシ樹脂基材にポリイミドまたは
エポキシ樹脂等の有機系材料を用いて形成したいわゆる
ビルドアップ多層配線基板が用いられるようになってき
た。
【0005】このようなビルドアップ多層配線基板は、
セミアディティブ法等により製造されており、コアと呼
ばれる0.6〜1.6mm程度のガラスクロス等で補強された
樹脂基板の上に、銅等による配線導体と層間樹脂絶縁層
とを交互に積層することにより作製される。この多層配
線基板の層間樹脂絶縁層を介した配線導体間の接続は、
ビアホールにより行なわれている。
【0006】従来、ビルドアップ多層配線基板は、例え
ば特開平9−130050号公報等に開示された方法により製
造されている。すなわち、まず、銅箔が貼りつけられた
銅貼積層板に貫通孔を形成し、続いて無電解めっき処理
を施すことによりスルーホールを形成する。続いて、基
板の表面銅箔を配線パターン状にエッチング処理して配
線導体を形成し、この配線導体表面に層間樹脂絶縁層を
被覆形成した後、レーザ処理等の穿孔加工によりビアホ
ールを形成し、その後、硬化処理を行なうことにより層
間絶縁樹脂層を形成する。
【0007】さらに、層間絶縁樹脂層に粗化面形成処理
を施し、形成された粗化面上に薄い無電解めっき膜を形
成し、この無電解めっき膜上にめっきレジストを形成し
た後に電解めっきによりめっき膜の厚付けを行ない、め
っきレジストを剥離しエッチングを行なって、下層の配
線導体とビアホールにより接続された配線導体を形成す
る。
【0008】これを繰り返した後、最外層として配線導
体を保護するために配線導体を覆うようにして絶縁保護
層を形成し、配線導体のうち接続パッドとなる部位の上
の絶縁保護層に開口を形成し、この開口内に露出した部
分の配線導体にめっき等を施して接続パッドとした後、
この接続パッド上に半田バンプを形成することにより、
ビルドアップ多層配線基板を製造する。
【0009】このようにして製造した従来の多層配線基
板では、絶縁保護層にエポキシ樹脂等が使用されている
が、エポキシ樹脂はGHz帯域における比誘電率が3.0
以上と高いため、GHz帯域の高周波信号を用いたLS
Iチップ等を搭載すると、絶縁保護層が高誘電率である
ことに起因して、信号遅延や信号エラーが発生しやすく
なってしまうという問題点があった。
【0010】そこで、このような問題点を解決するため
に、例えば特開2001−94263号公報等に開示されたよう
に、誘電率の低い絶縁材料で形成した絶縁保護層を用い
た多層配線基板が提案されている。
【0011】このような多層配線基板では、誘電率が3.
0以下という誘電率の低い絶縁保護層下に配線導体が形
成されていることから、信号遅延や信号エラーが発生す
るという問題点をある程度解決することができた。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら近年、I
Cチップの高集積化によりICチップの電極端子の間隔
が狭くなってきたことにより、多層配線基板の配線幅も
細くなってきた。ここで、配線幅と配線導体との厚みの
対比による特性インピーダンスは、配線導体とこれに所
定の距離をおいて対向する電源導体層,接地導体層との
電磁カップリングによって整合される。従って、配線幅
が細くなるにつれ、配線導体間の絶縁を確保する層間絶
縁樹脂層や絶縁保護層の厚みはより薄くなり、より安定
した厚みで形成する必要があった。
【0013】また、ICチップの機能としては、マルチ
プレクサやデマルチプレクサ等の回路により低周波の信
号を多重化し高周波の信号として出力する機能や、高周
波の信号を分割し低周波の信号として出力する等の機能
を備えるものがある。そのようなICチップが搭載され
る多層配線基板においては、低周波の多数の信号と高周
波の少数の信号とを一緒に伝送する必要が出てきた。そ
の場合には、高周波信号を伝送する配線導体は導体抵抗
による損失をより小さくする必要があることから、低周
波信号の配線導体よりも配線幅を太くした設計を行なう
必要が出てきた。
【0014】しかしながら、エポキシ樹脂等の有機系の
材料によって形成された絶縁保護層の厚みは、下地に形
成された配線導体の凹凸に影響を受けてその凹みを埋め
るように流れ込むため、配線導体の幅は不均一なことか
ら、絶縁保護層の厚みを均一に形成することが困難であ
るという問題点があった。またそのため、特性インピー
ダンス整合ができなくなり、ICチップにて多重化され
た高周波信号の伝送損失が大きくなってしまうという問
題点があった。
【0015】例えば、マイクロプロセッサが搭載される
多層配線基板においては基本信号となるクロック信号が
最も高周波信号となるが、それに対する伝送損失が大き
いことにより、信号の立ち上がり時間が遅れデータ信号
の誤動作を発生しやすくなるという問題点があった。
【0016】本発明はこのような従来技術の問題点を解
決するためになされたものであり、その目的は、エポキ
シ樹脂等の材料によって形成された絶縁保護層の厚み
が、下地に形成された配線導体の凹凸に影響を受けて不
均一に形成されることにより特性インピーダンスの整合
に悪影響を及ぼすようなばらつきを有することとなると
いう、幾何学的寸法変化の影響をなくし、配線導体から
絶縁保護層を回り込んで電源導体層,接地導体層と結合
する電磁カップリングを安定させることにより、GHz
帯域において低周波信号と高周波信号とを伝送する場合
に対しても伝送損失の少ない絶縁保護膜の構造を有する
配線基板を提供することにある。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明の配線基板は、絶
縁基板の表面に、電子部品の高周波信号用電極が接続さ
れる接続パッドと、この接続パッドから導出された、高
周波信号を伝送する配線導体と、この配線導体および前
記接続パッドの周辺部を被覆する絶縁保護層とが形成さ
れ、前記絶縁保護層は前記接続パッド上の開口部から高
周波信号の波長の(2n−1)/4倍(nは自然数)の
長さの位置まで前記配線導体を被覆しており、そこから
先の前記配線導体が露出していることを特徴とするもの
である。
【0018】本発明の配線基板によれば、搭載される電
子部品の高周波信号用電極が接続される接続パッドから
導出された、高周波信号を伝送する配線導体に対して、
この配線導体を接続パッドの周辺部とともに被覆する絶
縁保護層が接続パッド上の開口部から高周波信号の(2
n−1)/4倍(nは自然数)の長さまでを被覆してお
り、そこから先の部分の配線導体を露出させるように非
形成部を設けていることから、露出した部分の配線導体
上の誘電率は空気による比誘電率が1の小さなものとな
るとともに、エポキシ樹脂等の材料によって形成された
絶縁保護層の厚みがその下地に形成された配線導体によ
る凹凸の影響を受けて不均一に形成されることにより特
性インピーダンスの整合に悪影響を及ぼすようなばらつ
きを有することとなるという幾何学的寸法変化の影響を
解消することができる。その結果、配線導体から絶縁保
護層を回り込んで電源導体層,接地導体層と結合する電
磁カップリングを安定させることができるので、特性イ
ンピーダンスが変化することがなくなり、高周波信号を
伝送する配線導体において特性インピーダンスの不整合
が発生することを有効に防止することができる。
【0019】また、絶縁保護層が接続パッド上の開口部
から高周波信号の(2n−1)/4倍の長さの位置まで
を被覆することにより、絶縁保護層で被覆されていない
部分の配線導体と接続パッド上の開口部から高周波信号
の波長の(2n−1)/4倍の長さの位置までを被覆さ
れた部位との接続点における高周波信号の反射量と、接
続パッド上の開口部から高周波信号の波長の(2n−
1)/4倍の長さの位置までを被覆された部位と接続パ
ッドとの接続点における高周波信号の反射量とは等しく
なる。その結果、特性インピーダンスの不整合から発生
することとなる高周波信号の反射ノイズも効率よく抑制
することができる。
【0020】また、接続パッド上に電子部品等を搭載し
半田等にて接合を行なう際には、接続パッド上の絶縁保
護層の開口部から高周波信号の波長の(2n−1)/4
倍の長さの位置までの配線導体は絶縁保護層に被覆され
ていることから、半田等の配線導体上への流れ込みを防
止することができ、配線導体上への半田等の流れ込みに
より生じる特性インピーダンスの不整合から発生するこ
ととなる高周波信号の反射ノイズも効率よく抑制するこ
とができる。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の配線基板について
添付図面に基づき詳細に説明する。
【0022】図1は本発明の配線基板の実施の形態の一
例を示す斜視図である。図1において、1は配線基板、
4は絶縁基板としての絶縁樹脂層、2は絶縁樹脂層4の
表面に形成された接続パッド、5は接続パッド2から導
出された、高周波信号を伝送する配線導体、3は配線導
体5および接続パッド2の周辺部を被覆する絶縁保護
層、7は絶縁樹脂層4の裏面の略全面に形成された、シ
ールドを兼ねた接地導体もしくは電源導体である。
【0023】配線導体5および接続パッド2の周辺部を
被覆する絶縁保護層3は、空気による酸化等から保護す
るためのものであるが、本発明の配線基板1において
は、接続パッド2上の開口部8から配線導体5により伝
送される高周波信号の波長の略1/4の長さLの位置よ
り先の絶縁保護層3に非形成部6を設けて、そこから先
の部分の配線導体5を露出させている。
【0024】ここで、配線導体5は、接地導体もしくは
電源導体7との電磁カップリングにより、その露出した
部分の特性インピーダンスが例えば50Ωとなるように設
計されていることが望ましい。特に、露出した部分の特
性インピーダンスが50Ωに対して10%以内の値に整合さ
れていることが望ましい。例えば、絶縁樹脂層4がエポ
キシ樹脂等の比誘電率が4程度で厚みが90μm程度のも
のであれば、配線導体5は180μm程度の配線幅とな
る。このときの配線導体5の厚みは、1〜50μmの範囲
であれば特性インピーダンスを整合することが可能とな
るが、配線導体5の抵抗を小さくするためには、配線導
体5の厚みは5μm以上とし、抵抗を小さくしたものと
することが好ましい。
【0025】また、この配線導体5には、高周波信号に
対する抵抗が低くなるようにするためには、金メッキを
施しておくことがさらに効果的である。
【0026】また、配線導体5には、電子部品(図示せ
ず)が搭載されてその高周波信号用電極が接続される接
続パッド2が接続されており、配線導体5はこの接続パ
ッド2から導出されている。この接続パッド2の形状
は、図示したような円形状の他にも、正方形状,長方形
状,菱形状,六角形状または八角形状等の形状や他の異
形状であってもよいが、高速信号の動作に対応する観点
からは、余分な浮遊容量を少なくするために円形状とし
ておくことが望ましい。また、接続パッド2には電子部
品を搭載してその高周波信号用電極を接続するための半
田等が接合されるため、その表面に非酸化膜やニッケル
メッキ,金メッキ等を施した構成にすることが好まし
い。
【0027】さらに、この接続パッド2および配線導体
5に対し、接続パッド2の周辺部を被覆して中央部を開
口部8により露出させるとともに配線導体5を被覆する
絶縁保護層3が設けられており、この絶縁保護層3は、
エポキシ樹脂,ポリイミド等の有機絶縁材料を用いれば
よいが、接続パッド2および配線導体5に高周波信号を
伝送させる観点からは、特に10GHz以上等の高周波信
号を伝送損失を少なくして伝送するためには、その比誘
電率が4以下の絶縁材料を用いることが望ましい。ま
た、絶縁保護層3は、アルミナセラミックスやガラスセ
ラミックス等の無機絶縁材料を用いてもよく、その場合
も同じ効果を得ることができる。
【0028】この絶縁保護層3に非形成部6を設けて配
線導体5を露出させる際には、非形成部6の形状は、配
線導体5が一定した電気特性を保てるように図1に示す
ように配線導体5に沿った形状として配線導体5を露出
させることが望ましい。また、非形成部6の形状は配線
導体5に平行ではなく漸次広がっていくような異形状で
あってもよく、さらに、図2に図1と同様の斜視図で示
すように配線導体5とともに複数の隣接する配線導体
(図示せず)を含めて接続パッド2上の開口部8から高
周波信号の(2n−1)/4倍の長さの位置から先の部
分を露出させるような広範囲にわたる非形成部6aとし
てもよい。
【0029】なお、特性インピーダンスの不整合の防止
や反射ノイズの抑制の観点からは、接続パッド2上の開
口部8から配線導体5により伝送される高周波信号の波
長の1/4の長さの位置まで配線導体5を被覆してお
り、そこから先の部分の配線導体5を露出させるように
絶縁保護層3に非形成部6・6aを設けることが望まし
いが、例えば5〜10GHzの高周波信号を伝送する配線
導体5に対してであれば、開口部8から(2n−1)/
4倍の長さの位置から先の部分の配線導体5上の絶縁保
護層3に非形成部6・6aを設けて配線導体5を露出さ
せることで、特性インピーダンスの不整合の防止や反射
ノイズの抑制等について、十分にその効果を得ることが
できる。
【0030】本発明の配線基板1において、絶縁保護層
3は接続パッド2上の開口部8から高周波信号の波長の
(2n−1)/4倍(nは自然数)の長さの位置まで配
線導体5を被覆することが重要である。
【0031】これは、絶縁保護層3で被覆されていない
部分の配線導体5と接続パッド2上の開口部8から高周
波信号の波長の(2n−1)/4倍の長さの位置までを
被覆された部位との接続点において発生する反射波と、
接続パッド2上の開口部8から高周波信号の波長の(2
n−1)/4倍の長さの位置までを被覆された部位と接
続パッド2との接続点において発生する反射波とが、絶
縁保護層3で被覆されていない部分の配線導体5におい
て位相が180°反転することにより打ち消し合うこと
と、反射係数が等しくなるためインピーダンスの不整合
を有効に抑えることができ、高周波信号をスムーズに通
すことができるからである。
【0032】配線基板1が、例えばマイクロプロセッサ
が搭載される配線基板の場合であれば、最も周波数の高
いクロック信号に対して開口部8からその波長の(2n
−1)/4倍の長さの位置から先の部分の絶縁保護層3
に非形成部6を設けて配線導体5を露出させるととも
に、データ信号やアドレス信号等の低周波の信号を伝送
する配線導体5に対しても同様の非形成部6を設けて露
出させておいても構わない。
【0033】接続パッド2上の絶縁保護層3の開口部8
については、その形状は接続パッド2の形状と同様に、
図示したような円形状の他にも、正方形状,長方形状,
菱形状,六角形状または八角形状等の形状や他の異形状
とすればよいが、開口部8の内側において接続パッド2
上での半田等の流れを均一にして、電子部品の高周波信
号用電極と接続パッド2とを強固に接合して良好に接続
するためには、円形状としておくことが望ましい。ま
た、接続パッド2と開口部8との大きさは、特性インピ
ーダンスが配線導体5と整合するような大きさとなるよ
うに設定することが望ましい。
【0034】ここで、従来の配線基板について、その一
例を図1と同様の斜視図で示す図3の斜視図に基づき詳
細に説明する。
【0035】図3において、21は配線基板、24は絶縁基
板としての絶縁樹脂層であり、絶縁樹脂層24の上には接
続パッド22とそこから導出された配線導体25とが形成さ
れており、裏面には接地導体もしくは電源導体27が形成
されてシールドされている。
【0036】また、銅等の金属導体から成る接続パッド
22の周辺部および配線導体25上には、空気による金属導
体の酸化から防止するための絶縁保護層23がこれらを被
覆するように絶縁樹脂層24の表面の略全面に渡って形成
されている。そのため、配線導体25に対して比誘電率の
高い絶縁材料から成る絶縁保護層23が介在することとな
り、これにより配線導体25により伝送される高周波信号
について信号遅延が発生してしまう。
【0037】また、配線導体25には、これを被覆する絶
縁保護層23との密着性を高めるためにその表面に粗化処
理が行なわれるが、この従来の配線基板21では配線導体
25の全面を絶縁保護層23により被覆するため、配線導体
25の全面に粗化処理を行なうことになる。この結果、粗
化処理により配線導体25の導体表面には凹凸が形成さ
れ、特に高周波信号の動作においては表皮効果の影響が
大きいことから、その凹凸のために高周波信号について
信号遅延やノイズを発生しやすくなる。
【0038】さらに、配線基板21に搭載されるICチッ
プの高集積化によりICチップの高周波信号用電極等の
電極端子の間隔が狭くなってきたことに対応して、配線
基板21における配線幅も細くなってきており、配線導体
25の配線幅と厚みとの対比による特性インピーダンスは
所定の距離をおいて対向する電源導体層,接地導体層と
の電磁カップリングによって整合されることから、配線
幅が細くなるにつれて絶縁体である絶縁樹脂層24や絶縁
保護層23の厚みもより薄くなって、より顕著に配線導体
25による凹凸の影響を受けて安定した厚みを形成するこ
とが困難となってきている。
【0039】一方、ICチップがマルチプレクサやデマ
ルチプレクサ等の機能を有し、低周波の信号を多重化し
て高周波の信号として出力する場合には、配線基板21の
配線導体25により1GHz以下の多数の低周波信号と10
GHz以上の少数の高周波信号とを伝送しなければなら
ない。
【0040】しかしながら、従来の配線基板21では、エ
ポキシ樹脂等の絶縁材料によって形成された絶縁保護層
23の厚みは配線導体25の凹凸に、また幅の不均一さに影
響を受けて、均一なものとすることが困難である。その
ため、配線導体25において特性インピーダンスの整合が
できなくなり、ICチップにて多重化された高周波信号
を伝送する際の伝送損失が大きいという問題点があっ
た。
【0041】また、例えばマイクロプロセッサが搭載さ
れる場合には、基本信号となるクロック信号がもっとも
高周波信号となるが、絶縁保護層23の比誘電率が大きい
ことから配線導体25における伝送損失が大きいこととな
り、信号の立ち上がり時間が遅れてデータ信号の誤動作
を発生しやすくなるという問題点があった。
【0042】これに対し、本発明の配線基板1によれ
ば、図1に示したように、接続パッド2上の開口部8か
ら高周波信号の波長の(2n−1)/4倍の長さの位置
から先の部分の配線導体5上の絶縁保護層3に非形成部
6を設けて、そこから先の配線導体5を露出させている
ことから、その部分の配線導体5は比誘電率の高い絶縁
保護層3により被覆されていないため、高周波信号の信
号遅延の発生を防ぐことができる。
【0043】また、絶縁保護層3に非形成部6を設け、
その部分の配線導体5に対しては絶縁保護層3を形成し
ないことから、従来のように絶縁保護層3が配線導体5
の凹凸に影響されて不均一な厚みを有するものとなって
特性インピーダンスの不整合を及ぼすようなことがな
い。
【0044】さらに、絶縁保護層3の非形成部6に対し
ては配線導体5の導体表面に粗化処理を行なう必要がな
いため、配線導体5の表皮抵抗が劣化することはなく、
高周波信号に対する導体損失の少ない配線導体5を有す
る配線基板1を得ることができる。また、配線導体5に
粗化処理を行なった後に非形成部6を設けた場合でも、
露出した配線導体5の表面にニッケルメッキや金メッキ
を施すことにより粗化された凹凸面を埋めることによっ
て、高周波信号の動作に影響を及ぼす表皮効果での信号
遅延やノイズの発生を効果的に防止することができる。
【0045】また、接続パッド2上に電子部品を搭載し
て高周波信号用電極を半田等により接続する場合におい
ても、接続パッド2を露出させた絶縁保護層3の開口部
8と高周波信号の波長の(2n−1)/4倍の長さの位
置から先の非形成部6までの間には配線導体5を被覆す
る絶縁保護層3を具備していることにより、接続パッド
2からの半田等の配線導体5への流れ込みを確実に防止
することができ、配線導体5により伝送される高周波信
号に特性インピーダンスの不整合から発生する反射ノイ
ズを効率よく抑制することができる。
【0046】そして、このような本発明の配線基板1
は、半導体素子収納用パッケージ等の電子部品収納用パ
ッケージや電子部品搭載用基板、多数の半導体素子が搭
載されるいわゆるマルチチップモジュールやマルチチッ
プパッケージ、あるいはマザーボード等として使用され
る。
【0047】本発明の配線基板1において、絶縁基板と
なる各絶縁樹脂層4は、例えばポリイミド,エポキシ樹
脂,フッ素樹脂,ポリノルボルネンまたはベンゾシクロ
ブテン等の有機絶縁材料を使用して形成される。また
は、セラミックス粉末等の無機絶縁物粉末をエポキシ樹
脂等の熱硬化性樹脂で結合して成る複合絶縁材料等の電
気絶縁材料を使用して形成される。
【0048】これらの絶縁樹脂層4による絶縁基板は以
下のようにして作製される。例えばエポキシ樹脂から成
る場合であれば、一般に酸化アルミニウム質焼結体から
成るセラミックスやガラス繊維を織り込んだ布にエポキ
シ樹脂を含浸させて形成されるガラスエポキシ樹脂等か
ら成る絶縁層の上面に、有機樹脂前駆体をスピンコート
法もしくはカーテンコート法等の塗布技術により被着さ
せ、これを熱硬化処理することによって形成されるエポ
キシ樹脂等の有機樹脂から成る絶縁樹脂層4を得る。次
に、銅の無電解めっき法や蒸着法等の薄膜形成技術およ
びフォトリソグラフィ技術を採用することによって配線
導体5および接続パッド2を形成する。そして、得られ
た絶縁樹脂層4と配線導体5とを交互に積層し、約170
℃程度の温度で加熱硬化することによって、多層配線基
板として配線基板1が製作される。
【0049】また、例えばセラミックス粉末等の無機絶
縁物粉末をエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂で結合して成
る複合絶縁材料等の電気絶縁材料の場合であれば、ま
ず、エポキシ樹脂等のワニス状の樹脂にシリカ等の無機
絶縁物粉末と溶剤等を添加混合して泥漿状となす。これ
を従来周知のドクターブレード法を採用してシート状と
なすことによってBステージ状態(半硬化状態)のシー
トを得る。そして、各配線導体5となる金属箔を張り合
わせた後に硬化し、所定のパターンをエッチング等にて
形成し、このBステージ状態のシートを上下に積層し、
最後に絶縁保護層3となるエポキシ樹脂等を塗布し、露
光,現像することにより所定の絶縁保護層3の非形成部
6を設けた後、160℃〜200℃の温度で加熱硬化すること
によって製作される。
【0050】これらの絶縁樹脂層4の厚みとしては、使
用する材料の特性に応じて、要求される仕様に対応する
機械的強度や電気的特性等の条件を満たすように適宣設
定される。
【0051】また、各配線導体5および接続パッド2
は、例えば銅(Cu),銀(Ag),ニッケル(N
i),クロム(Cr),チタン(Ti),金(Au)ま
たはニオブ(Nb)やそれらの合金等の金属材料の薄膜
等により形成すればよい。
【0052】具体的には、例えば金属材料の薄膜で形成
する場合は、スパッタリング法,真空蒸着法またはメッ
キ法により金属膜を形成した後、フォトリソグラフィ法
により所定の配線導体5および接続パッド2に形成する
ことができる。
【0053】なお、本発明は上記の実施の形態の例に限
定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲
で種々の変更を行なうことは何ら差し支えない。例え
ば、非形成部6の形状は、配線導体5に平行ではなく配
線導体5に覆いかぶさらない範囲で漸次細くなっていて
もよい。
【0054】
【発明の効果】本発明の配線基板によれば、絶縁基板の
表面に、電子部品の高周波信号用電極が接続される接続
パッドと、この接続パッドから導出された、高周波信号
を伝送する配線導体と、この配線導体および前記接続パ
ッドの周辺部を被覆する絶縁保護層とが形成され、前記
絶縁保護層は前記接続パッド上の開口部から高周波信号
の波長の(2n−1)/4倍(nは自然数)の長さの位
置まで前記配線導体を被覆しており、そこから先の前記
配線導体が露出していることから、露出した部分の配線
導体上の誘電率は空気による比誘電率が1の小さなもの
となるとともに、エポキシ樹脂等の材料によって形成さ
れた絶縁保護層の厚みがその下地に形成された配線導体
による凹凸の影響を受けて不均一に形成されることによ
り特性インピーダンスの整合に悪影響を及ぼすようなば
らつきを有することとなるという幾何学的寸法変化の影
響を解消することができる。その結果、配線導体から絶
縁保護層を回り込んで電源導体層,接地導体層と結合す
る電磁カップリングを安定させることができるので、特
性インピーダンスが変化することがなくなり、高周波信
号を伝送する配線導体において特性インピーダンスの不
整合が発生することを有効に防止することができる。
【0055】また、接続パッド上に電子部品等を搭載し
半田等にて接合を行なう際には、接続パッド上の絶縁保
護層の開口部から高周波信号の波長の(2n−1)/4
倍の長さの位置までの配線導体は絶縁保護層に被覆され
ていることから、半田等の配線導体上への流れ込みを防
止することができ、配線導体上への半田等の流れ込みに
より生じる特性インピーダンスの不整合から発生するこ
ととなる高周波信号の反射ノイズも効率よく抑制するこ
とができる。
【0056】以上の結果、本発明によれば、高周波信号
用の配線導体における特性インピーダンスの不整合を緩
和することができ、GHz帯域においての低周波信号と
高周波信号の伝送をする場合においても伝送損失が少な
く信号遅延や信号エラーが発生しにくい絶縁保護膜の構
造を有する、高速で動作する半導体素子等の電子部品を
搭載する電子回路基板等に好適な配線基板を提供するこ
とができた。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention
Related to wiring boards on which conductive elements and electronic components are mounted
It is. [0002] Conventionally, microprocessors and ASICs
(Application Specific Integrated Circuit) etc.
Electronic components such as semiconductor elements
In multilayer wiring boards used for electronic circuit boards, etc.
When forming wiring conductors for internal wiring,
Insulation made of ceramics including ceramics
Layer and wiring conductor made of refractory metal such as tungsten (W)
The multilayer wiring board is formed by alternately stacking the body layers. However, in such a multilayer wiring board,
Is made of alumina ceramics whose insulating layer has a relative dielectric constant of about 10.
Because it is made of ceramics,
Crosstalk noise due to increased magnetic coupling
Increase the operating speed of semiconductor devices.
There was a problem that it could not be handled. Therefore, the insulating layer has a relative dielectric constant of about 10.
Instead of alumina ceramics, the relative dielectric constant is 3-5.
Polyimide or relatively small glass epoxy resin substrate
So-called formed using organic materials such as epoxy resin
Build-up multilayer wiring boards are being used
Was. [0005] Such a build-up multilayer wiring board has
Manufactured by the semi-additive method, etc.
Reinforced with about 0.6-1.6mm glass cloth
On a resin substrate, a wiring conductor made of copper etc. and an interlayer resin insulation layer
Are alternately laminated. This multilayer arrangement
The connection between the wiring conductors via the interlayer resin insulation layer of the wiring board
It is performed by a via hole. [0006] Conventionally, build-up multilayer wiring boards, for example,
For example, it is manufactured by a method disclosed in JP-A-9-130050.
It is built. That is, first, the copper foil was stuck
Forming through-holes in the copper-clad laminate, followed by electroless plating
To form a through hole. Then,
Distribute by etching the surface copper foil of the board into a wiring pattern
A wire conductor is formed, and an interlayer resin insulation layer is formed on the surface of the wire conductor.
After forming the coating, the via hole is formed by drilling such as laser processing.
Layer, followed by a hardening treatment
An interlayer insulating resin layer is formed. Further, a roughened surface forming process is performed on the interlayer insulating resin layer.
To form a thin electroless plating film on the roughened surface
And a plating resist is formed on the electroless plating film.
After plating, thicken the plating film by electrolytic plating.
After removing the resist, etching is performed, and the lower layer
Form a wiring conductor connected to the wire conductor by via holes
You. After repeating this, the wiring layer is formed as the outermost layer.
Insulation protection by covering the wiring conductor to protect the body
A layer is formed on the part of the wiring conductor that will become the connection pad.
An opening is formed in the insulating protective layer of
After applying the plating etc. to the wiring conductor for the minute to make the connection pad,
By forming solder bumps on these connection pads,
Manufacture a build-up multilayer wiring board. [0009] The conventional multilayer wiring board manufactured in this manner.
In the board, epoxy resin etc. is used for the insulation protection layer
However, epoxy resin has a relative dielectric constant of 3.0 in the GHz band.
LS using high frequency signals in the GHz band
When an I chip or the like is mounted, the insulating protective layer has a high dielectric constant
Signal delay and signal error
There was a problem that it would be. In order to solve such a problem,
As disclosed in, for example, JP 2001-94263 A
Using an insulating protective layer made of an insulating material with a low dielectric constant.
A multilayer wiring board has been proposed. In such a multilayer wiring board, the dielectric constant is 3.
The wiring conductor is formed under the insulating protective layer with a low dielectric constant of 0 or less.
Signal delay and signal error
Problem could be solved to some extent. [0012] However, in recent years, I
The distance between the electrode terminals of the IC chip due to the high integration of the C chip
Is becoming narrower, so the wiring width of the multilayer wiring board
It's getting thinner. Here, the wiring width and the thickness of the wiring conductor
The characteristic impedance due to the contrast is the wiring conductor and the
Between the power supply conductor layer and the ground conductor layer facing each other at a fixed distance
Matched by electromagnetic coupling. Therefore, the wiring width
As insulation becomes thinner, insulation between wiring conductors is ensured.
Edge resin layer and insulating protective layer are thinner and more stable
It was necessary to form with the thickness set. The function of the IC chip is as follows.
Circuits such as plexers and demultiplexers provide low-frequency signals.
Function to multiplex signals and output them as high-frequency signals.
Functions such as splitting a wave signal and outputting it as a low-frequency signal
Some are provided with. Such an IC chip is mounted
In multi-layer wiring boards, many low frequency signals and high frequency
There is a need to transmit a small number of waves together. So
In the case of, the wiring conductor that transmits the high-frequency signal is conductor resistance
Due to the need to reduce losses due to
Design with a wiring width wider than the wave signal wiring conductor
The need came out. However, organic resins such as epoxy resins
The thickness of the insulating protection layer formed of the material
Fill the dents affected by the unevenness of the formed wiring conductor
That the width of the wiring conductor is uneven
Therefore, it is difficult to uniformly form the thickness of the insulating protective layer.
There was a problem that. In addition, the characteristic impedance
Dance matching cannot be performed, and multiplexing is performed on the IC chip.
The transmission loss of high-frequency signals
There was a title. For example, a microprocessor is mounted.
In a multilayer wiring board, a clock signal that is a basic signal
Highest frequency signal, but transmission loss is large
Signal rise time is delayed
There is a problem that a malfunction of the device is easily caused. The present invention solves such problems of the prior art.
The purpose of this was Epoch.
Thickness of insulating protection layer formed of resin and other materials
Is affected by the unevenness of the wiring conductor formed on the underlayer.
Matching of characteristic impedance by uniform formation
Have variations that adversely affect
Eliminate the effects of geometric dimensional changes
Connects to the power supply conductor layer and the ground conductor layer around the insulation protection layer
By stabilizing the electromagnetic coupling,
When transmitting low-frequency signals and high-frequency signals in the band
Has an insulating protective film structure with low transmission loss
It is to provide a wiring board. According to the present invention, there is provided a wiring board comprising:
The electrodes for high-frequency signals of electronic components are connected to the surface of the edge substrate.
Connection pad and the height derived from this connection pad.
A wiring conductor for transmitting high-frequency signals,
An insulating protective layer covering the periphery of the connection pad is formed.
And the insulating protective layer is high from an opening on the connection pad.
(2n-1) / 4 times (n is a natural number) of the wavelength of the frequency signal
It covers the wiring conductor to the position of the length, from there
Characterized in that the wiring conductor is exposed.
It is. According to the wiring board of the present invention, the mounted
From the connection pad to which the high-frequency signal electrode of the
For derived wiring conductors that transmit high-frequency signals,
It is essential to cover this wiring conductor with the periphery of the connection pad.
The edge protection layer passes through the opening on the connection pad through (2)
(n-1) / 4 times (n is a natural number)
Not to expose the wiring conductor of the part from there.
Since the formation part is provided, the exposed part of the wiring conductor
The dielectric constant above is a small relative dielectric constant of 1 due to air.
And made of epoxy resin and other materials
The thickness of the insulating protective layer depends on the wiring conductor formed on the underlayer.
Is unevenly formed under the influence of uneven
Variation that adversely affects the impedance matching
The effect of geometric dimensional changes
Can be eliminated. As a result, insulation from the wiring conductor is maintained.
To the power supply conductor layer and the ground conductor layer
Because magnetic coupling can be stabilized,
Impedance does not change and high-frequency signals
Characteristic impedance mismatch in transmitting wiring conductors
Can be effectively prevented from occurring. Further, the insulating protective layer may be formed in an opening on the connection pad.
To (2n-1) / 4 times the length of the high-frequency signal
Not covered with an insulating protective layer
High frequency signal from the opening on the wiring conductor and connection pad of the part
To the position of (2n-1) / 4 times the wavelength of
The amount of high-frequency signal reflection at the connection point with the
(2n-) of the wavelength of the high-frequency signal from the opening on the connection pad.
1) Connect the part covered up to the position / 4 times the length
Equal to the amount of high-frequency signal reflection at the connection point
Become. As a result, it arises from characteristic impedance mismatch
Efficient suppression of high frequency signal reflection noise
can do. Also, electronic parts and the like are mounted on the connection pads.
When joining with solder, etc., keep the insulation on the connection pads.
(2n-1) / 4 of the wavelength of the high-frequency signal from the opening of the protective layer
Wiring conductors up to double the length are covered with an insulating protective layer.
Prevents the flow of solder or other liquid onto the wiring conductor.
It can be stopped, so that solder etc. flows into the wiring conductor
Resulting from the characteristic impedance mismatch
And efficiently suppress high frequency signal reflection noise
Can be. DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a wiring board of the present invention will be described.
This will be described in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a wiring board according to the present invention.
It is a perspective view showing an example. In FIG. 1, 1 is a wiring board,
4 is an insulating resin layer as an insulating substrate, 2 is an insulating resin layer 4
The connection pads 5 formed on the surface are connected to the connection pads 2.
The output wiring conductor for transmitting the high-frequency signal and the wiring conductor 3
Insulation protection for covering the periphery of the body 5 and the connection pad 2
The layer 7 is formed on substantially the entire back surface of the insulating resin layer 4.
Ground conductor or power supply conductor that also serves as the ground. The peripheral portions of the wiring conductor 5 and the connection pad 2 are
The insulating protective layer 3 to be covered is protected from oxidation by air or the like.
For the wiring board 1 of the present invention.
Is transmitted from the opening 8 on the connection pad 2 by the wiring conductor 5.
The position of the length L of about 1/4 of the wavelength of the transmitted high frequency signal
A non-formed portion 6 is provided on the insulating protective layer 3 at the tip, and
The portion of the wiring conductor 5 is exposed. Here, the wiring conductor 5 is a ground conductor or
Due to the electromagnetic coupling with the power supply conductor 7, the exposed
Set the characteristic impedance of the part to be, for example, 50Ω.
It is desirable that it be measured. In particular,
Impedance is within 10% of 50Ω
Is desirable. For example, if the insulating resin layer 4
A resin with a relative dielectric constant of about 4 and a thickness of about 90 μm
In this case, the wiring conductor 5 has a wiring width of about 180 μm.
You. At this time, the thickness of the wiring conductor 5 is in the range of 1 to 50 μm.
It is possible to match the characteristic impedance
However, in order to reduce the resistance of the wiring conductor 5,
The thickness of the body 5 should be 5 μm or more and the resistance should be small.
Is preferred. The wiring conductor 5 has a high frequency signal.
In order to reduce the resistance to
It is more effective to apply it. The wiring conductor 5 includes electronic components (not shown).
) Is mounted and the connection to which the high-frequency signal electrode is connected
The connection pad 2 is connected, and the wiring conductor 5 is connected to this connection pad.
2 is derived. The shape of this connection pad 2
Means square, rectangle, in addition to the circle as shown
Shape, diamond shape, hexagonal shape or octagonal shape and other irregularities
The shape may be, but the viewpoint corresponding to the operation of the high-speed signal
From a circular shape to reduce excess stray capacitance.
It is desirable to keep. The connection pad 2 has an electronic part.
For connecting the high-frequency signal electrode
Fields, etc., are joined to each other.
Plating, gold plating, etc. are preferred
No. Further, the connection pad 2 and the wiring conductor
5 and cover the periphery of the connection pad 2 and open the center.
Exposed by the opening 8 and covers the wiring conductor 5
An insulating protective layer 3 is provided, and the insulating protective layer 3
If you use an organic insulating material such as epoxy resin or polyimide,
Good, but a high frequency signal is applied to the connection pad 2 and the wiring conductor 5.
From the viewpoint of transmission, especially high-frequency signals such as 10 GHz or more
In order to reduce the transmission loss of a signal,
It is desirable to use an insulating material having an electric conductivity of 4 or less. Ma
The insulating protective layer 3 is made of alumina ceramic or glass
An inorganic insulating material such as Lamix may be used.
Can achieve the same effect. The non-forming portion 6 is provided on the insulating protective layer 3 and arranged.
When exposing the wire conductor 5, the shape of the non-formed portion 6 is
FIG. 1 shows that the wire conductor 5 can maintain constant electrical characteristics.
To expose the wiring conductor 5 as a shape along the wiring conductor 5
It is desirable to make it. In addition, the shape of the non-formed portion 6 is a wiring
With a different shape that is not parallel to the conductor 5 but gradually spreads
FIG. 2 is a perspective view similar to FIG.
A plurality of adjacent wiring conductors together with the wiring conductor 5
(Not shown) from the opening 8 on the connection pad 2
From the position of (2n-1) / 4 times the frequency signal
A wide non-forming portion 6a that exposes
You may. In addition, prevention of mismatch of characteristic impedance
From the viewpoint of suppressing the reflection noise and reflection noise.
High-frequency signal wave transmitted from the opening 8 by the wiring conductor 5
Cover the wiring conductor 5 to the position of 1/4 of the length.
So that the wiring conductor 5 at the end is exposed therefrom.
It is desirable to provide the non-formed portions 6, 6a in the insulating protective layer 3.
However, for example, wiring for transmitting a high-frequency signal of 5 to 10 GHz
For the conductor 5, (2n-1) /
Insulation protection on the wiring conductor 5 in the portion beyond the four-fold length
Non-forming portions 6 and 6a are provided in the protective layer 3 to expose the wiring conductor 5.
To prevent characteristic impedance mismatch and reflection.
For noise suppression, etc.
it can. In the wiring board 1 of the present invention, the insulating protective layer
Reference numeral 3 denotes the wavelength of the high-frequency signal from the opening 8 on the connection pad 2.
(2n-1) / 4 (n is a natural number)
It is important to coat the wire conductor 5. This is not covered with the insulating protective layer 3
From the portion 8 of the wiring conductor 5 and the opening 8 on the connection pad 2
Up to a position (2n-1) / 4 times the wavelength of the wave signal
Reflected waves generated at the connection point with the coated part,
From the opening 8 on the connection pad 2, the wavelength (2) of the high-frequency signal
(n-1) / 4 times as long as the part covered
The reflected wave generated at the connection point with the connection pad 2 is
In the portion of the wiring conductor 5 not covered with the edge protection layer 3
Cancel each other out by inverting the phase by 180 °
Impedance mismatch due to equal reflection coefficient
Can be effectively suppressed and high frequency signals can be passed smoothly.
Because you can do it. The wiring board 1 is, for example, a microprocessor
If the wiring board is mounted with
For the clock signal that is not
-1) Insulating protective layer 3 in a portion beyond the position of / 4 times length
The wiring conductor 5 is exposed by providing a non-formed portion 6
Low-frequency signals such as data signals and address signals
A similar non-formed portion 6 is provided for the wiring conductor 5 to be exposed.
You can leave it out. Opening 8 of insulating protective layer 3 on connection pad 2
Is the same as the shape of the connection pad 2,
In addition to the circular shape shown, square, rectangular,
Diamond, hexagonal or octagonal shapes and other irregular shapes
The connection pad 2 inside the opening 8
The flow of solder and other components on the
Nose electrode and connection pad 2 are firmly joined and connected well
In order to achieve this, it is desirable to have a circular shape. Ma
In addition, the size of the connection pad 2 and the opening 8 depends on the characteristic impedance.
The size is such that the dance matches the wiring conductor 5
It is desirable to set as follows. Here, one of the conventional wiring boards is described.
An example is shown in a perspective view similar to FIG.
This will be described in detail. In FIG. 3, 21 is a wiring board, and 24 is an insulating substrate.
It is an insulating resin layer as a plate, and
A connection pad 22 and a wiring conductor 25 derived therefrom are formed.
Ground conductor or power conductor 27 on the back
Being shielded. A connection pad made of a metal conductor such as copper
Air around the wiring conductors 25 and around the wiring conductors 25
An insulating protective layer 23 for preventing oxidation of the body covers them.
Formed over almost the entire surface of the insulating resin layer 24 so as to cover it
Have been. Therefore, the relative permittivity of the wiring conductor 25 is
An insulating protective layer 23 made of a high insulating material is interposed.
Thus, the high-frequency signal transmitted by the wiring conductor 25
, A signal delay occurs. The wiring conductor 25 has an insulating material that covers it.
The surface is roughened to improve the adhesion to the edge protection layer 23.
In this conventional wiring board 21, the wiring conductor
Since the entire surface of 25 is covered with the insulating protective layer 23, the wiring conductor
Roughening treatment will be performed on the entire surface of 25. As a result,
Process results in the formation of irregularities on the conductor surface of the wiring conductor 25.
In particular, the effect of the skin effect is particularly significant when operating high-frequency signals.
Because of its large size, high frequency signal
Signal delay and noise are likely to occur. Further, an IC chip mounted on the wiring board 21 is provided.
The integration of high-frequency electrodes for IC chips
In response to the narrowing of the electrode terminals, wiring
The width of the wiring on the substrate 21 has also become smaller,
The characteristic impedance based on the comparison between 25 wiring width and thickness is
A power supply conductor layer and a ground conductor layer facing each other at a predetermined distance
Wiring is matched by the electromagnetic coupling of
As the width becomes narrower, the insulating resin layer 24,
The thickness of the protective layer 23 also becomes thinner, and the wiring conductor becomes more prominent.
Form a stable thickness under the influence of unevenness due to 25
And it is becoming difficult. On the other hand, if the IC chip is a multiplexer or
It has functions such as a multiplexor and multiplexes low-frequency signals.
Output as a high-frequency signal by
A large number of low frequency signals of 1 GHz or less and 10
Must transmit a small number of high-frequency signals above GHz
Absent. However, in the conventional wiring board 21, the air
Insulation protective layer formed of insulating material such as oxy resin
The thickness of 23 affects the unevenness of the wiring conductor 25 and uneven width.
It is difficult to make it uniform because of the influence. That
Therefore, matching of the characteristic impedance in the wiring conductor 25 is not performed.
High frequency signal multiplexed by IC chip
There is a problem that transmission loss is large when transmitting
Was. Further, for example, a microprocessor is mounted.
Clock signal, which is the basic signal,
It becomes a high-frequency signal, but the relative dielectric constant of the insulating protective layer 23 is large.
Therefore, the transmission loss in the wiring conductor 25 is large.
Signal rise time is delayed and the data signal malfunctions.
There is a problem that it is easy to occur. On the other hand, according to the wiring board 1 of the present invention,
For example, as shown in FIG.
From (2n-1) / 4 times the wavelength of the high-frequency signal
Non-formed portion on the insulating protective layer 3 on the wiring conductor 5 in the part beyond
6 is provided, from which the wiring conductor 5 is exposed.
Therefore, the wiring conductor 5 in that portion is insulated with a high relative dielectric constant.
Since it is not covered by the protective layer 3, the transmission of high-frequency signals
Signal delay can be prevented. Further, a non-formed portion 6 is provided in the insulating protective layer 3,
An insulating protective layer 3 is formed on the wiring conductor 5 in that portion.
Therefore, the insulating protective layer 3 is not provided with the wiring conductor 5 as in the prior art.
Has uneven thickness due to the unevenness of
Do not cause characteristic impedance mismatch.
No. Further, for the non-formed portion 6 of the insulating protective layer 3,
Therefore, it is not necessary to perform a roughening treatment on the conductor surface of the wiring conductor 5.
Therefore, the skin resistance of the wiring conductor 5 does not deteriorate,
Has a wiring conductor 5 with small conductor loss for high frequency signals
Wiring board 1 can be obtained. In addition, the wiring conductor 5
Even when the non-formed portion 6 is provided after performing the roughening process,
Nickel plating or gold plating on the exposed surface of the wiring conductor 5
To fill the roughened uneven surface.
Signal with the skin effect that affects the operation of high-frequency signals
Delay and noise can be effectively prevented. Also, electronic components are mounted on the connection pads 2.
When connecting high-frequency signal electrodes with solder, etc.
The opening of the insulating protective layer 3 exposing the connection pad 2
8 and (2n-1) / 4 times the wavelength of the high-frequency signal
The wiring conductor 5 is covered between the placement and the previous non-formed portion 6.
Connection insulating pad 3
2. Prevents the flow of solder or the like from 2 into the wiring conductor 5
High-frequency signal transmitted by the wiring conductor 5
Noise caused by characteristic impedance mismatch
Noise can be suppressed efficiently. Then, such a wiring board 1 of the present invention
Is a package for storing electronic components such as a package for storing semiconductor elements.
Package, electronic component mounting board, and many semiconductor elements.
So-called multi-chip module or multi-chip
Package, or used as a motherboard
You. In the wiring board 1 of the present invention, the insulating substrate
Each insulating resin layer 4 is made of, for example, polyimide or epoxy resin.
Fat, fluororesin, polynorbornene or benzocyclo
It is formed using an organic insulating material such as butene. Also
Uses an inorganic resin powder such as ceramic powder
Of composite insulating material etc.
It is formed using a gas insulating material. The insulating substrate made of these insulating resin layers 4 is as follows.
It is produced as follows. For example, made of epoxy resin
In general, aluminum oxide-based sintered bodies
Epoxy on cloth woven from ceramics and glass fibers
Glass epoxy resin or the like formed by impregnating resin
Organic resin precursor is spin-coated on the upper surface of the insulating layer made of
Applied by a coating technique such as
And heat-curing it to form an epoch.
An insulating resin layer 4 made of an organic resin such as a xy resin is obtained. Next
In addition, thin film forming technologies such as electroless plating and vapor deposition of copper
And wiring by adopting photolithography technology
The conductor 5 and the connection pad 2 are formed. And obtained
The insulating resin layer 4 and the wiring conductor 5 are alternately laminated,
By heating and curing at a temperature of about
The wiring board 1 is manufactured as a plate. Further, for example, inorganic powders such as ceramic powders may be used.
The edge powder is bonded with a thermosetting resin such as epoxy resin.
If it is an electrical insulating material such as a composite insulating material,
Varnish-like resin such as epoxy resin
A slurry is formed by adding and mixing an insulating powder and a solvent. this
The sheet is formed by adopting the well-known doctor blade method.
By doing so, the sheet in the B stage state (semi-cured state)
To get Then, a metal foil to be each wiring conductor 5 is laminated.
After curing, the specified pattern is etched
Formed, and the sheets in the B-stage state are stacked up and down,
Finally, an epoxy resin or the like to be the insulating protective layer 3 is applied.
A portion where a predetermined insulating protective layer 3 is not formed by light and development
After setting 6, heat curing at a temperature of 160 to 200 ° C
Produced by The thickness of these insulating resin layers 4 is
Corresponds to the required specifications according to the characteristics of the material used
Appropriately installed to satisfy conditions such as mechanical strength and electrical characteristics
Is determined. Each wiring conductor 5 and connection pad 2
Are, for example, copper (Cu), silver (Ag), nickel (N
i), chrome (Cr), titanium (Ti), gold (Au)
Or thin films of metallic materials such as niobium (Nb) and their alloys
Etc. may be used. Specifically, for example, a thin film of a metal material is formed.
When using sputtering, vacuum deposition or mesh
After a metal film is formed by the
To form a predetermined wiring conductor 5 and connection pad 2
be able to. The present invention is limited to the above embodiment.
It is not specified and does not deviate from the gist of the present invention.
Various changes can be made in. example
For example, the shape of the non-formed portion 6 is not parallel to the wiring conductor 5 but arranged.
It becomes gradually thinner as long as it does not cover the wire conductor 5.
Is also good. According to the wiring board of the present invention, the insulating substrate
Connections to which high-frequency signal electrodes of electronic components are connected on the surface
Pads and high-frequency signals derived from these connection pads
Conductor for transmitting the
And an insulating protective layer covering the periphery of the pad.
The insulating protective layer is used to transmit a high frequency signal from the opening on the connection pad.
(2n-1) / 4 times (n is a natural number) wavelength
To cover the wiring conductor up to
Since the wiring conductor is exposed,
The dielectric constant on the conductor is as small as the relative dielectric constant of air is 1.
And formed of epoxy resin and other materials.
Wiring conductor formed on the underlayer with the thickness of the insulating protection layer
Due to unevenness due to unevenness due to
If it adversely affects the characteristic impedance matching
The shadow of geometric dimensional change that results in fluctuation
The sound can be eliminated. As a result, disconnection from the wiring conductor
It goes around the edge protection layer and is connected to the power supply conductor layer and the ground conductor layer.
Electromagnetic coupling can be stabilized.
Impedance does not change.
The characteristic impedance of the wiring conductor
The occurrence of alignment can be effectively prevented. Also, electronic parts and the like are mounted on the connection pads.
When joining with solder, etc., keep the insulation on the connection pads.
(2n-1) / 4 of the wavelength of the high-frequency signal from the opening of the protective layer
Wiring conductors up to double the length are covered with an insulating protective layer.
Prevents the flow of solder or other liquid onto the wiring conductor.
It can be stopped, so that solder etc. flows into the wiring conductor
Resulting from the characteristic impedance mismatch
And efficiently suppress high frequency signal reflection noise
Can be. As a result, according to the present invention, the high-frequency signal
The mismatch of characteristic impedance in wiring conductors
And a low frequency signal in the GHz band.
Low transmission loss even when transmitting high-frequency signals
Structure of the insulating protective film, which is less likely to cause signal delay and signal error.
Electronic components such as semiconductor devices that operate at high speed
To provide a wiring board suitable for an electronic circuit board to be mounted.
I was able to.
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の配線基板の実施の形態の一例を示す斜
視図である。
【図2】本発明の配線基板の実施の形態の他の例を示す
斜視図である。
【図3】従来の配線基板の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1・・・配線基板
2・・・接続パッド
3・・・絶縁保護層
4・・・絶縁樹脂層(絶縁基板)
5・・・配線導体
6、6a・・・非形成部
7・・・接地導体、電源導体
8・・・開口部
L:高周波信号の波長の(2n−1)/4倍の長さBRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view showing an example of an embodiment of a wiring board of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing another example of the embodiment of the wiring board of the present invention. FIG. 3 is a perspective view showing an example of a conventional wiring board. [Description of Signs] 1 ・ ・ ・ Wiring board 2 ・ ・ ・ Connection pad 3 ・ ・ ・ Insulating protective layer 4 ・ ・ ・ Insulating resin layer (insulating substrate) 5 ・ ・ ・ Wiring conductors 6 and 6a ・ ・ ・ Non-formed part 7: ground conductor, power supply conductor 8: opening L: length of (2n-1) / 4 times wavelength of high frequency signal
Claims (1)
号用電極が接続される接続パッドと、該接続パッドから
導出された高周波信号を伝送する配線導体と、該配線導
体および前記接続パッドの周辺部を被覆する絶縁保護層
とが形成され、前記絶縁保護層は前記接続パッド上の開
口部から前記高周波信号の波長の(2n−1)/4倍
(nは自然数)の長さの位置まで前記配線導体を被覆し
ており、そこから先の前記配線導体が露出していること
を特徴とする配線基板。Claims: 1. A connection pad to which a high-frequency signal electrode of an electronic component is connected on a surface of an insulating substrate, a wiring conductor for transmitting a high-frequency signal derived from the connection pad, and the wiring A conductor and an insulating protective layer covering a peripheral portion of the connection pad are formed, and the insulating protective layer is (2n-1) / 4 times the wavelength of the high-frequency signal (n is a natural number) from an opening on the connection pad. A) the wiring conductor is covered to a position corresponding to the length of the wiring substrate, and the wiring conductor is exposed from the wiring conductor;
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002074667A JP2003273611A (en) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | Wiring board |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002074667A JP2003273611A (en) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | Wiring board |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003273611A true JP2003273611A (en) | 2003-09-26 |
Family
ID=29203998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002074667A Pending JP2003273611A (en) | 2002-03-18 | 2002-03-18 | Wiring board |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003273611A (en) |
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