[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2003124104A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2003124104A5
JP2003124104A5 JP2001320588A JP2001320588A JP2003124104A5 JP 2003124104 A5 JP2003124104 A5 JP 2003124104A5 JP 2001320588 A JP2001320588 A JP 2001320588A JP 2001320588 A JP2001320588 A JP 2001320588A JP 2003124104 A5 JP2003124104 A5 JP 2003124104A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photoelectric detector
light
mark
signal processing
optical system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001320588A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2003124104A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2001320588A priority Critical patent/JP2003124104A/ja
Priority claimed from JP2001320588A external-priority patent/JP2003124104A/ja
Publication of JP2003124104A publication Critical patent/JP2003124104A/ja
Publication of JP2003124104A5 publication Critical patent/JP2003124104A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2001320588A 2001-10-18 2001-10-18 位置検出装置、露光装置、および露光方法 Pending JP2003124104A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001320588A JP2003124104A (ja) 2001-10-18 2001-10-18 位置検出装置、露光装置、および露光方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001320588A JP2003124104A (ja) 2001-10-18 2001-10-18 位置検出装置、露光装置、および露光方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003124104A JP2003124104A (ja) 2003-04-25
JP2003124104A5 true JP2003124104A5 (zh) 2005-08-04

Family

ID=19137954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001320588A Pending JP2003124104A (ja) 2001-10-18 2001-10-18 位置検出装置、露光装置、および露光方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2003124104A (zh)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4677183B2 (ja) * 2003-12-05 2011-04-27 キヤノン株式会社 位置検出装置、および露光装置
JP4753150B2 (ja) * 2005-03-29 2011-08-24 株式会社ニコン 画像計測装置
JP4883762B2 (ja) * 2005-03-31 2012-02-22 大日本スクリーン製造株式会社 ムラ検査装置およびムラ検査方法
JP4826124B2 (ja) * 2005-04-15 2011-11-30 株式会社ニコン 位置測定装置
JP4635711B2 (ja) * 2005-05-13 2011-02-23 株式会社ニコン 重ね合わせ測定装置
US7414722B2 (en) * 2005-08-16 2008-08-19 Asml Netherlands B.V. Alignment measurement arrangement and alignment measurement method
JP4835091B2 (ja) * 2005-10-03 2011-12-14 株式会社ニコン 位置検出装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3326902B2 (ja) * 1993-09-10 2002-09-24 株式会社日立製作所 パターン検出方法及びパターン検出装置及びそれを用いた投影露光装置
JP3994209B2 (ja) * 1998-08-28 2007-10-17 株式会社ニコン 光学系の検査装置および検査方法並びに該検査装置を備えた位置合わせ装置および投影露光装置
JP4309541B2 (ja) * 1999-12-28 2009-08-05 株式会社東芝 収差測定方法、及び収差測定マーク

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3379200B2 (ja) 位置検出装置
US5218193A (en) Double-focus measurement apparatus utilizing chromatic aberration by having first and second bodies illuminated respectively by a single wavelength ray and a ray having a plurality of wavelengths
KR970072024A (ko) 투영노광장치
JP5884347B2 (ja) 分光特性取得装置及び分光特性取得方法、画像評価装置、並びに画像形成装置
US20070171392A1 (en) Wavelength selecting method, position detecting method and apparatus, exposure method and apparatus, and device manufacturing method
EP2397840A2 (en) Image inspecting apparatus, image inspecting method, image forming apparatus
JP2000021738A5 (zh)
JP2011040549A5 (zh)
JP6232831B2 (ja) 分光特性取得装置、画像評価装置及び画像形成装置
JPH0810124B2 (ja) 露光装置
JP2015232540A (ja) 分光特性取得装置、画像評価装置及び画像形成装置
CN102087483B (zh) 一种用于投影光刻中焦面检测的光学系统
JP2009016761A5 (zh)
JP5402740B2 (ja) 分光特性取得装置、画像評価装置及び画像形成装置
JP2003124104A5 (zh)
US20030127597A1 (en) Apparatus for reading images from photographic film
JP2013061175A (ja) 分光特性取得装置及び分光特性取得方法、画像評価装置、並びに画像形成装置
JP3347490B2 (ja) 位置合わせ方法、該方法による投影露光装置および位置ズレ計測装置
TWI578096B (zh) 校正用光罩及校正方法
JPH02157844A (ja) 露光条件測定用マスク並びに該マスクを用いた露光条件測定方法及び装置
US7217943B2 (en) Film scanner
JP2018017670A (ja) 分光特性取得装置、画像評価装置、及び画像形成装置
KR20090004699A (ko) 측정장치, 노광장치 및 디바이스 제조방법
JP3590825B2 (ja) 投影露光装置
JP3562076B2 (ja) 分光感度測定装置