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JP2003105278A - Pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts and reinforced electronic parts - Google Patents

Pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts and reinforced electronic parts

Info

Publication number
JP2003105278A
JP2003105278A JP2001298789A JP2001298789A JP2003105278A JP 2003105278 A JP2003105278 A JP 2003105278A JP 2001298789 A JP2001298789 A JP 2001298789A JP 2001298789 A JP2001298789 A JP 2001298789A JP 2003105278 A JP2003105278 A JP 2003105278A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
sensitive adhesive
parts
reinforcing
adhesive sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001298789A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuru Kamiya
充 神谷
Shoichi Tanimoto
正一 谷本
Kazuto Hosokawa
和人 細川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP2001298789A priority Critical patent/JP2003105278A/en
Publication of JP2003105278A publication Critical patent/JP2003105278A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Adhesive Tapes (AREA)
  • Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts with which electronic parts such as a thin-layered semiconductor wafer are reinforced, and in which damages in producing step and in assembling step of parts, and the like, are prevented, and is free from floating, peeling, and the like, originated form bubbles, voids, and the like, in high-temperature heating. SOLUTION: The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts has an adhesive layer formed on at least one side of a supporter, wherein this adhesive layer is a photopolymerized compound of a photopolymerizable composition composed of (a) a monomer mixture of 100 pts.wt. composed of mainly an alkyl (meth)acrylate having a 2-14C alkyl group on average and a monoethylenic unsaturated acid of 1-30 wt.% capable of copolymerizing with the above alkyl (meth)acrylate, (b) a polyfunctional (meth)acrylaet of 0.02-5 pts.wt. as a cross-bonding agent, (C) a photopolymerization initiator of 0.01-4 pts.wt., and (d) an epoxy resin of 5-30 pts.wt.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は電子部品補強用粘着
シートおよび補強電子部品に関する。本発明の電子部品
補強用粘着シートは、シート状またはテープ状で用いら
れ、その補強対象である電子部品は、主に電子部品中の
シリコンウエハ等の半導体ウエハである。特に本発明の
電子部品補強用粘着シートは、所定の電極、パターン等
の形成された薄型の半導体ウエハ表面に対する裏面(電
極、パターン等の形成されていない面)に貼付されて用
いられる。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts and a reinforcing electronic part. The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing an electronic component of the present invention is used in the form of a sheet or a tape, and the electronic component to be reinforced is a semiconductor wafer such as a silicon wafer in the electronic component. In particular, the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts of the present invention is used by being attached to the back surface (the surface on which electrodes, patterns, etc. are not formed) with respect to the surface of a thin semiconductor wafer on which predetermined electrodes, patterns, etc. have been formed.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、コンピューター、携帯機器の小型
化に伴い、これらに搭載される電子部品類にも軽薄短小
化が求められている。このような中で半導体チップも小
型化および薄型化がなされているが、その一方で、半導
体チップは薄層化により強度が低下しており、半導体チ
ップの搬送、組立工程等において、半導体チップが破損
しやすいという問題がある。特に、半導体チップの裏面
が露出した構造のCSP、TCP等では破損しやすい。
2. Description of the Related Art In recent years, along with the miniaturization of computers and portable equipment, electronic parts mounted on these are also required to be light, thin and short. Under these circumstances, semiconductor chips have been made smaller and thinner, but on the other hand, the strength of semiconductor chips has decreased due to the thin layer, and the semiconductor chips have become weaker in the transportation and assembly process of the semiconductor chips. There is a problem that it is easily damaged. In particular, a CSP, TCP, or the like having a structure in which the back surface of the semiconductor chip is exposed is easily damaged.

【0003】こうした問題に対して、半導体チップの裏
面に保護膜を形成または保護膜を接着剤で貼り付けるこ
とが提案されている(特開平11−260974号公
報)。しかし、保護膜形成は工程が煩雑となり好ましく
ない。また、保護膜を接着剤で貼り付けるには、通常、
粘着シートを用いることが考えられるが、具体的には何
ら開示されていない。
In order to solve such a problem, it has been proposed to form a protective film on the back surface of the semiconductor chip or to attach the protective film with an adhesive (Japanese Patent Laid-Open No. 11-260974). However, forming the protective film is not preferable because the process is complicated. Also, to attach the protective film with an adhesive,
It is conceivable to use an adhesive sheet, but nothing is specifically disclosed.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来から知られている
半導体ウエハ用の粘着シートとしては、ダイシング工程
等に用いられるものがある。しかし、これらの粘着シー
トは最終的に剥離することを目的としているため、半導
体チップの補強用途には使用し難い。
As a conventionally known adhesive sheet for a semiconductor wafer, there is one used in a dicing process or the like. However, since these pressure-sensitive adhesive sheets are intended to be finally peeled off, they are difficult to use for reinforcing semiconductor chips.

【0005】また、半導体チップは、高温加熱下に組立
工程等が行われるため、一般的な粘着テープを用いる
と、高温加熱時に粘着テープが収縮したり、発生ガスに
よる気泡、ボイドによって浮き、剥がれ等が発生する。
また、半導体チップ等の電子部品は静電気による影響を
受けやすく、一般的な粘着テープではこのような静電気
の問題もある。
Further, since the semiconductor chip undergoes an assembling process and the like under high temperature heating, when a general adhesive tape is used, the adhesive tape shrinks during high temperature heating, and air bubbles and voids caused by generated gas cause floating and peeling. Etc. occur.
Further, electronic parts such as semiconductor chips are easily affected by static electricity, and a general adhesive tape has such a static electricity problem.

【0006】本発明は、薄層化により強度の低下した半
導体ウエハ等の電子部品を補強して、製造工程時および
部品組込み時等の破損を防止しうる電子部品補強用粘着
シートであって、高温加熱時に気泡、ボイド等の発生に
よる浮き、剥がれ等がない電子部品補強用粘着シートを
提供することを目的とする。また、電子部品製造工程時
の静電気による半導体ウエハ等の電子部品での影響が少
ない電子部品補強用粘着シートを提供することを目的と
する。さらには、当該電子部品補強用粘着シートが貼付
されている補強電子部品を提供することを目的とする。
The present invention is a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts, which is capable of reinforcing electronic parts such as semiconductor wafers whose strength is reduced due to thinning, and preventing damage during the manufacturing process and the assembling of parts. An object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic components, which does not float or peel due to the generation of bubbles or voids when heated at high temperatures. Another object of the present invention is to provide a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic components, which is less affected by static electricity during the electronic component manufacturing process on electronic components such as semiconductor wafers. Furthermore, it aims at providing the reinforced electronic component to which the said adhesive sheet for electronic component reinforcement is stuck.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するため鋭意検討を重ねた結果、以下に示す電子
部品補強用粘着シートにより上記目的を達成しうること
を見出し本発明を完成するに至った。
Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the inventors have found that the above-mentioned object can be achieved by the following adhesive sheet for reinforcing electronic parts. It came to completion.

【0008】すなわち本発明は、支持体の少なくとも片
面に粘着剤層が形成されている電子部品補強用粘着シー
トにおいて、前記粘着剤層が、(a)アルキル基の炭素
数が平均2〜14個である(メタ)アクリル酸アルキル
エステルを主成分とし、これと共重合可能なモノエチレ
ン性不飽和酸1〜30重量%を含有してなる単量体混合
物100重量部、(b)交叉結合剤としての多官能(メ
タ)アクリレート0.02〜5重量部、(c)光重合開
始剤0.01〜4重量部、および(d)エポキシ樹脂5
〜30重量部を含む光重合性組成物の光重合物であるこ
とを特徴とする電子部品補強用粘着シート、に関する。
That is, the present invention relates to a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts, wherein a pressure-sensitive adhesive layer is formed on at least one surface of a support, wherein the pressure-sensitive adhesive layer has (a) an alkyl group having 2 to 14 carbon atoms on average. 100 parts by weight of a monomer mixture containing (meth) acrylic acid alkyl ester as a main component and containing 1 to 30% by weight of a monoethylenically unsaturated acid copolymerizable therewith, (b) a cross-linking agent 0.02 to 5 parts by weight of a polyfunctional (meth) acrylate, (c) 0.01 to 4 parts by weight of a photopolymerization initiator, and (d) an epoxy resin 5
The present invention relates to a pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts, which is a photopolymerized product of a photopolymerizable composition containing 30 to 30 parts by weight.

【0009】上記本発明の電子部品補強用粘着シートの
有する粘着剤層は、常温で粘着性を有しており半導体ウ
エハにスムーズに貼り合わせて容易に仮接着することが
でき、また加熱処理により光重合物中のアクリル系ポリ
マーとエポキシ樹脂との反応によって短時間に硬化し、
半導体ウエハに対して強固な接着強度を示す。しかも高
温下においても気泡、ボイド等の発生による浮き、剥が
れ等がなく良好な高耐熱性を示す熱硬化型感圧性を有す
るものであり、電子部品の補強用途において優れた性能
を発揮する。
The pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts according to the present invention has a pressure-sensitive adhesive property at room temperature and can be smoothly bonded to a semiconductor wafer for easy temporary adhesion. Cured in a short time by the reaction of the acrylic polymer in the photopolymer and the epoxy resin,
It exhibits strong adhesive strength to semiconductor wafers. Moreover, it has a thermosetting pressure-sensitive property showing good high heat resistance without floating or peeling due to generation of bubbles or voids even at high temperatures, and exhibits excellent performance in reinforcing applications of electronic parts.

【0010】前記電子部品補強用粘着シートにおいて、
粘着剤層に、無機充填剤、帯電防止剤、導電剤および界
面活性剤から選ばれるいずれか少なくとも1種が含有さ
れていることが好ましい。これらの添加により、粘着テ
ープの帯電を防止できる。
In the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts,
It is preferable that the pressure-sensitive adhesive layer contains at least one selected from an inorganic filler, an antistatic agent, a conductive agent, and a surfactant. Addition of these can prevent the adhesive tape from being charged.

【0011】前記電子部品補強用粘着シートにおいて、
粘着剤層に離型シートが設けられている場合には、当該
離型シートを剥がした際の粘着剤層の剥離帯電圧が50
00V以下であることが好ましい。
In the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts,
When the pressure-sensitive adhesive layer is provided with a release sheet, the release electrification voltage of the pressure-sensitive adhesive layer when the release sheet is peeled off is 50.
It is preferably 00 V or less.

【0012】粘着剤層に離型シートが設けられている場
合には、電子部品補強用粘着シートを使用するにあたっ
て、離型シートを剥離するが、その際に剥離帯電圧が5
000Vを超えると、シリコンウエハ等の半導体ウエハ
に対する静電気障害を招き、電子部品の性能の消失する
恐れがある。前記剥離帯電圧は5000V以下、さらに
は4000V以下のものが好ましい。
When the pressure-sensitive adhesive layer is provided with a release sheet, the release sheet is peeled off when the electronic component reinforcing pressure-sensitive adhesive sheet is used, but the peeling electrification voltage is 5 at that time.
If the voltage exceeds 000V, electrostatic damage may occur to a semiconductor wafer such as a silicon wafer, and the performance of electronic components may be lost. The peeling electrification voltage is preferably 5000 V or less, more preferably 4000 V or less.

【0013】前記電子部品補強用粘着シートにおいて、
支持体が、融点200℃以上を有し、ヤング率(23
℃)が980N/mm2 以上を有し、表面抵抗値が1.
0×1017Ω以下であり、かつ、厚さが12〜200μ
mの薄葉基材であることが好ましい。
In the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts,
The support has a melting point of 200 ° C. or higher and Young's modulus (23
C) of 980 N / mm 2 or more and a surface resistance value of 1.
0 × 10 17 Ω or less and a thickness of 12 to 200 μ
It is preferable that it is a thin leaf substrate of m.

【0014】融点が200℃以上のものは、高温時にお
いても粘着シートの収縮等や支持体の溶融が起こりにく
く、補強材として好適である。融点は300℃以上であ
るのがより好ましい。また、ヤング率(23℃)が98
0N/mm2 以上の高弾性のものは、半導体ウエハーの
補強効果がよい。ヤング率(23℃)は2000N/m
2 以上であるのがより好ましい。また、表面抵抗値が
1.0×1017Ωを超えると帯電による障害が発生する
可能性がある。表面抵抗値は、1.0×1015Ω以下で
あるのがより好ましい。また、支持体は、半導体ウエハ
の薄型化を損なわないように薄葉基材の厚みとしては1
2〜200μmであるのが好ましい。特に、薄型化と補
強効果のバランスがよいことから25〜100μmとす
るのがより好ましい。
A material having a melting point of 200 ° C. or higher is suitable as a reinforcing material because it is difficult for the pressure sensitive adhesive sheet to shrink or the support to melt even at high temperatures. The melting point is more preferably 300 ° C. or higher. The Young's modulus (23 ° C) is 98
A material having a high elasticity of 0 N / mm 2 or more has a good effect of reinforcing the semiconductor wafer. Young's modulus (23 ° C) is 2000 N / m
It is more preferably m 2 or more. Further, if the surface resistance value exceeds 1.0 × 10 17 Ω, there is a possibility that trouble due to charging may occur. The surface resistance value is more preferably 1.0 × 10 15 Ω or less. In addition, the support has a thickness of the thin base material of 1 so as not to impair thinning of the semiconductor wafer.
It is preferably 2 to 200 μm. In particular, the thickness is more preferably 25 to 100 μm because it has a good balance between thinning and reinforcing effect.

【0015】前記電子部品補強用粘着シートにおいて、
粘着剤層の100℃での加熱発生ガス量が1000pp
m以下であることが好ましい。
In the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts,
The amount of gas generated by heating the adhesive layer at 100 ° C is 1000 pp
It is preferably m or less.

【0016】本発明の電子部品補強用粘着シートは電子
部品の製造工程時等の高温下においても気泡、ボイド等
の発生による浮き、剥がれを招き接着性の低下がなく高
温加熱耐性がよい。たとえば、100℃の高温下での気
泡、ボイド等の発生を加熱発生ガス量が1000ppm
以下であれるのが好ましい。加熱発生ガス量が1000
ppmを超えると、ガスによる気泡発生や、半導体ウエ
ハからの浮き、剥がれを招き接着性の低下が生じ、補強
機能が低下する場合がある。
The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts according to the present invention has good resistance to high-temperature heating without causing deterioration of adhesiveness due to floating and peeling due to generation of bubbles, voids, etc. even at high temperatures during the manufacturing process of electronic parts. For example, the generation of bubbles, voids, etc. at a high temperature of 100 ° C. is 1000 ppm when the generated gas amount is heated.
The following is preferable. The amount of gas generated by heating is 1000
If it exceeds ppm, gas bubbles may be generated or the semiconductor wafer may be lifted or peeled off from the semiconductor wafer, resulting in a decrease in adhesiveness and a decrease in reinforcing function.

【0017】前記電子部品補強用粘着シートにおいて、
支持体と粘着剤層の間に、アルカリ金属およびアルカリ
土類金属の金属イオンを含まない静電誘導防止剤層が設
けられていることが好ましい。
In the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts,
It is preferable that an antistatic agent layer containing no metal ion of an alkali metal or an alkaline earth metal is provided between the support and the pressure-sensitive adhesive layer.

【0018】静電誘導防止剤層により、より効果的に静
電防止ができる。静電誘導防止剤層は支持体と粘着剤層
との層間に有する。ただし、アルカリ金属およびアルカ
リ土類金属の金属イオンは電子部品へ悪影響を及ぼすお
それがあり、静電誘導防止剤層はアルカリ金属およびア
ルカリ土類金属の金属イオンを含まないものが好まし
い。
The static induction preventing agent layer can prevent static electricity more effectively. The antistatic agent layer is provided between the support and the pressure-sensitive adhesive layer. However, the metal ions of the alkali metal and the alkaline earth metal may adversely affect the electronic parts, and it is preferable that the antistatic agent layer does not contain the metal ions of the alkali metal and the alkaline earth metal.

【0019】さらに本発明は、前記電子部品補強用粘着
シートが貼付されている補強電子部品、に関する。
Further, the present invention relates to a reinforced electronic component to which the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing an electronic component is attached.

【0020】電子部品補強用粘着シートが貼付されてい
る補強電子部品は、薄層化により低下した半導体ウエハ
等の電子部品の強度が補されており、製造工程時および
部品組込み時等における破損が効果的に防止される。ま
た、高温加熱時に気泡、ボイド等の発生による浮き、剥
がれ等がなく、電子部品製造工程時の静電気による半導
体ウエハ等の電子部品に及ぼす影響も少ない。
The reinforced electronic component to which the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic components is attached compensates for the strength of the electronic component such as a semiconductor wafer which has been reduced due to the thin layer, and is not damaged during the manufacturing process or when the component is assembled. Effectively prevented. Further, there is no floating or peeling due to the generation of bubbles or voids during high temperature heating, and the influence of static electricity during the electronic component manufacturing process on electronic components such as semiconductor wafers is small.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】本発明の電子部品補強用粘着シー
トは、支持体の少なくとも片面に粘着剤層が形成されて
いるものであり、前記粘着剤層は前記(a)成分〜
(d)成分を含む光重合性組成物の光重合物からなる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts of the present invention has a pressure-sensitive adhesive layer formed on at least one surface of a support, and the pressure-sensitive adhesive layer comprises the component (a)
A photopolymerization product of a photopolymerizable composition containing the component (d).

【0022】(a)成分である単量体混合物は、アルキ
ル基の炭素数が平均2〜14個である(メタ)アクリル
酸アルキルエステル{(メタ)アクリル酸アルキルエス
テルとは、アクリル酸アルキルエステルおよび/または
メタクリル酸アルキルエステルを意味し、本発明におい
て (メタ)とは同様の意味である}を主成分とし、これ
と共重合可能なモノエチレン不飽和酸を含有してなる。
The monomer mixture as the component (a) is a (meth) acrylic acid alkyl ester in which the alkyl group has 2 to 14 carbon atoms on average {(meth) acrylic acid alkyl ester is an acrylic acid alkyl ester. And / or methacrylic acid alkyl ester, which in the present invention has the same meaning as (meth)} and contains a monoethylenically unsaturated acid copolymerizable therewith.

【0023】(メタ)アクリル酸アルキルエステルとし
ては、たとえば、エチル(メタ)アクリレート、n−ブ
チル(メタ)アクリレート、2 −エチルヘキシル(メ
タ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレー
ト、イソノニル(メタ)アクリレートなどがあげられ、
これらの中から、アルキル基の炭素数が平均2〜14個
となるように1種または2種以上のものが用いられる。
これらと共重合可能なモノエチレン性不飽和酸として
は、たとえば、(メタ)アクリル酸、イタコン酸等のカ
ルボン酸含有モノマーや、2 −アクリルアミドプロパン
スルホン酸などのスルホン酸含有モノマー等があげられ
る。
Examples of the (meth) acrylic acid alkyl ester include ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate and isononyl (meth) acrylate. I can give you
Among these, one type or two or more types are used so that the carbon number of the alkyl group becomes 2 to 14 on average.
Examples of the monoethylenically unsaturated acid copolymerizable with these include carboxylic acid-containing monomers such as (meth) acrylic acid and itaconic acid, and sulfonic acid-containing monomers such as 2-acrylamidopropanesulfonic acid.

【0024】(a)成分である単量体混合物において、
(メタ)アクリル酸アルキルエステルとこれと共重合可
能なモノエチレン性不飽和酸との使用割合は、通常、前
者が70〜99重量%、好ましくは80〜95重量%、
後者が1〜30重量%、好ましくは5〜20重量%とな
るようにするのがよい。上記の範囲外となると、光重合
およびエポキシ硬化反応後の接着特性に好結果が得られ
にくい。なお、単量体混合物中の(メタ)アクリル酸ア
ルキルエステルは、通常、その30重量%以下を酢酸ビ
ニル、スチレン、アクリルニトリルなどの一般のアクリ
ル系感圧性接着剤の改質用単量体として知られる各種の
ビニル系単量体に置き換えてもよい。
In the monomer mixture which is the component (a),
The proportion of the (meth) acrylic acid alkyl ester and the monoethylenically unsaturated acid copolymerizable therewith is usually 70 to 99% by weight, preferably 80 to 95% by weight, the former.
The latter should be 1 to 30% by weight, preferably 5 to 20% by weight. If it is out of the above range, it is difficult to obtain good results in the adhesive properties after photopolymerization and epoxy curing reaction. The (meth) acrylic acid alkyl ester in the monomer mixture is usually used in an amount of 30% by weight or less as a monomer for modifying a general acrylic pressure-sensitive adhesive such as vinyl acetate, styrene or acrylonitrile. It may be replaced with various known vinyl-based monomers.

【0025】(b)成分の交叉結合剤としての多官能
(メタ)アクリレートとしては、たとえば、トリメチロ
ールプロパントリ(メタ)アクリレート、ぺンタエリス
リトールテトラ(メタ)アクリレート、1 ,2 −エチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、1 ,6 −へキサ
ンジオールジ(メタ)アクリレート、1,12−ドデカ
ンジオールジ(メタ)アクリレートなどの2官能以上の
多価アルキル(メタ)アクリレート単量体が用いられ
る。
As the polyfunctional (meth) acrylate as the cross-linking agent of the component (b), for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, 1,2-ethylene glycol di ( Bifunctional or higher polyvalent alkyl (meth) acrylate monomers such as (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, and 1,12-dodecanediol di (meth) acrylate are used.

【0026】これらの多官能(メタ)アクリレートの使
用量は、官能基数などにより多少異なるが、(a)成分
である単量体混合物100重量部あたり、0 .0 2 〜5
重量部、好ましくは0.2〜3重量部である。このよう
な割合で多官能(メタ)アクリレートを用いることによ
り、アクリル系ポリマーに対する架橋効果により、良好
な凝集力が保持されて、高い耐熱性を得ることができ
る。
The amount of these polyfunctional (meth) acrylates to be used varies somewhat depending on the number of functional groups and the like, but is 0 .. per 100 parts by weight of the monomer mixture which is the component (a). 0 2 to 5
Parts by weight, preferably 0.2 to 3 parts by weight. By using the polyfunctional (meth) acrylate in such a ratio, a good cohesive force is maintained due to the crosslinking effect on the acrylic polymer, and high heat resistance can be obtained.

【0027】(c)成分である光重合開始剤としては、
たとえば、ベンゾインメチルエ−テル、ベンゾインイソ
プロピルエーテルなどのベンゾインエーテル類、アニゾ
インメチルエーテルなどの置換ベンゾインエーテル類、
2 ,2 −ジエトキシアセトフエノン、2 ,2 −ジメトキ
シ−2 −フエノンアセトフエノンなどの置換アセトフエ
ノン類、2 −メチル−2 −ヒドロキシプロピオフエノン
などの置換−α−ケトール類、2−ナフタレンスルホニ
ルクロリドなどの芳香族スルホニルクロリド類、1−フ
エノン−1,1−プロパンジオン−2 −(o−エトキシ
カルボニル)オキシムなどの光活性オキシム類などがあ
げられる。
As the photopolymerization initiator which is the component (c),
For example, benzoin methyl ether, benzoin ethers such as benzoin isopropyl ether, substituted benzoin ethers such as anisoin methyl ether,
Substituted acetophenones such as 2,2-diethoxyacetophenone and 2,2-dimethoxy-2-phenoneacetophenone, substituted-α-ketols such as 2-methyl-2-hydroxypropionenone, 2- Aromatic sulfonyl chlorides such as naphthalene sulfonyl chloride, and photoactive oximes such as 1-phenone-1,1-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime.

【0028】これら光重合開始剤の使用量は、(a)成
分である単量体混合物100重量部あたり、0.01〜
4重量部、好適には0.05〜1重量部である。0.0
1重量部より少ないと、光エネルギーにより早期に消費
されてしまうため、重合率が下がり、逆に4重量部より
多くなると、重合率は上がるが、ポリマーの分子量が低
下し、接着剤の凝集力の低下しやすい。
The amount of these photopolymerization initiators used is 0.01 to 100 parts by weight per 100 parts by weight of the monomer mixture which is the component (a).
4 parts by weight, preferably 0.05 to 1 part by weight. 0.0
If it is less than 1 part by weight, it will be consumed early due to light energy, so that the polymerization rate will decrease, and if it is more than 4 parts by weight, the polymerization rate will increase, but the molecular weight of the polymer will decrease and the cohesive strength of the adhesive will decrease. Is easy to fall.

【0029】(d)成分であるエポキシ樹脂は、分子内
に2個以上のエポキシ基を含有する化合物であり、たと
えば、ビスフエノールエポキシ樹脂、フエノリツクエポ
キシ樹脂、ハロゲン化ビスフエノールエポキシ樹脂など
があげられ、これらの中から、適宜に選択して使用され
る。これらエポキシ樹脂は分子内に光重合性基を有しな
いものである。
The epoxy resin as the component (d) is a compound containing two or more epoxy groups in the molecule, and examples thereof include bisphenol epoxy resin, phenolic epoxy resin and halogenated bisphenol epoxy resin. Among these, it is appropriately selected and used. These epoxy resins do not have a photopolymerizable group in the molecule.

【0030】このようなエポキシ樹脂の使用量は、
(a)成分である単量体混合物100重量部あたり、5
〜3 0 重量部、好ましくは5〜20重量部である。5重
量部より少ないと、アクリル系ポリマーとエポキシ樹脂
との架橋反応が十分に進行せず、耐熱性が不十分とな
る。また、30重量部より多いと、硬化物が過剰に架橋
するため、被着体面での剥離現象が起こり、貯蔵安定性
も低下する。
The amount of such epoxy resin used is
5 per 100 parts by weight of the monomer mixture as the component (a)
-30 parts by weight, preferably 5-20 parts by weight. If the amount is less than 5 parts by weight, the crosslinking reaction between the acrylic polymer and the epoxy resin does not proceed sufficiently and heat resistance becomes insufficient. On the other hand, if the amount is more than 30 parts by weight, the cured product is excessively crosslinked, so that a peeling phenomenon occurs on the surface of the adherend and the storage stability is reduced.

【0031】光重合性組成物は、前記(a)成分:単量
体混合物、(b)成分:多官能(メタ)アクリレート、
(c)成分:光重合開始剤および(d)成分:エポキシ
樹脂を必須成分として含むが、その取り扱い上、(a)
成分:単量体混合物については、(c)成分:光重合開
始剤を用いてある程度予備重合させておくことができ
る。予備重合時に(d)成分:エポキシ樹脂を用いると
ゲル化を発生する場合があり、(d)成分:エポキシ樹
脂は予備重合後に加えるのが望ましい。なお、光重合性
組成物には、一般的に知られているエポキシ樹脂の硬化
剤を特に加える必要ない。
The photopolymerizable composition comprises the above-mentioned component (a): monomer mixture, component (b): polyfunctional (meth) acrylate,
The component (c): a photopolymerization initiator and the component (d): an epoxy resin are contained as essential components.
The component: monomer mixture can be prepolymerized to some extent by using the component (c): photopolymerization initiator. When component (d): epoxy resin is used during prepolymerization, gelation may occur, and component (d): epoxy resin is preferably added after prepolymerization. It is not necessary to add a generally known curing agent for epoxy resin to the photopolymerizable composition.

【0032】光重合性組成物には前記(a)成分〜
(d)成分のほかに、任意成分として無機充填剤、帯電
防止剤、導電剤、界面活性剤を加えることで粘着テープ
の帯電を防止できる。無機充填剤としては、シリカ、ア
ルミナ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等が
あげられる。帯電防止剤としては低分子型、高分子型の
いずれも使用でき、高分子型の帯電防止剤としては、ポ
リエーテルエステルアミド、4級アンモニウム塩等の4
級塩基を有する共重合体等を例示でき、低分子型帯電防
止剤としては、アニオン系、カチオン系、非イオン系ま
たは両性の界面活性剤等があげられる。導電剤としては
金属酸化物、金属粉などやカーボンブラックがあげられ
る。これらは、前記(a)成分〜(d)成分の合計10
0重量部に対して100重量部以下、特に0.1〜10
0重量部配合することが好ましい。
In the photopolymerizable composition, the components (a) to
In addition to the component (d), it is possible to prevent the pressure-sensitive adhesive tape from being charged by adding an inorganic filler, an antistatic agent, a conductive agent, and a surfactant as optional components. Examples of the inorganic filler include silica, alumina, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide and the like. As the antistatic agent, both low-molecular type and high-molecular type can be used. As the high-molecular type antistatic agent, polyether ester amide, quaternary ammonium salt or the like
Examples thereof include copolymers having a primary base, and examples of the low molecular weight antistatic agent include anionic, cationic, nonionic or amphoteric surfactants. Examples of the conductive agent include metal oxides, metal powders and carbon black. These are a total of 10 of the components (a) to (d).
100 parts by weight or less, especially 0.1 to 10 parts by weight
It is preferable to add 0 part by weight.

【0033】また光重合性組成物には、紫外線等による
光重合を妨げない範囲で有機充填剤、顔料,老化防止剤
などの公知の各種の添加剤を、必要により添加すること
ができる。
If desired, various known additives such as organic fillers, pigments and antioxidants may be added to the photopolymerizable composition within a range that does not interfere with photopolymerization by ultraviolet rays or the like.

【0034】前記光重合性組成物は、支持体の片面また
は両面に塗工した後に、400〜1500mj/cm2
程度の紫外線を照射して光重合させて光重合物とする。
当該光重合物は、支持体上で、それ自体感圧接着性を有
する粘着化された粘着剤層を形成している。粘着剤層の
厚さは3〜70μm、さらには10〜50μmであるの
が好ましい。
The photopolymerizable composition is applied to one side or both sides of a support, and then 400 to 1500 mj / cm 2
It is irradiated with a certain amount of ultraviolet rays to be photopolymerized to obtain a photopolymerized product.
The photopolymerized product itself forms a tackified pressure-sensitive adhesive layer having pressure-sensitive adhesiveness on the support. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably 3 to 70 μm, more preferably 10 to 50 μm.

【0035】本発明の電子部品補強用粘着シートに用い
る支持体は、融点200℃以上を有し、ヤング率(23
℃)が980N/mm2 以上を有し、表面抵抗値が1.
0×1017Ω以下であり、かつ、厚さが12〜200μ
mの薄葉基材であることが好ましい。これら物性を満足
する支持体の基材としては、たとえば、ポリスチレン、
ポリエステル、ポリカーボネイト、ポリフェニレンサル
ファイド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルエー
テルケトン、ポリアミド、ポリイミド等のプラスチック
フィルム等があげられる。
The support used for the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts of the present invention has a melting point of 200 ° C. or higher and Young's modulus (23
C) of 980 N / mm 2 or more and a surface resistance value of 1.
0 × 10 17 Ω or less and a thickness of 12 to 200 μ
It is preferable that it is a thin leaf substrate of m. As the base material of the support satisfying these physical properties, for example, polystyrene,
Examples thereof include plastic films such as polyester, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polyether sulfone, polyether ether ketone, polyamide and polyimide.

【0036】前記支持体と粘着剤層の間には、アルカリ
金属およびアルカリ土類金属の金属イオンを含まない静
電誘導防止剤層を設けることができる。静電誘導防止剤
層は、有機系帯電防止剤や金属酸化物をバインダーに分
散させたものを塗布、乾燥することにより形成すること
ができる。
Between the support and the pressure-sensitive adhesive layer, an antistatic agent layer containing no metal ion of alkali metal or alkaline earth metal can be provided. The antistatic agent layer can be formed by applying and drying an organic antistatic agent or a metal oxide dispersed in a binder.

【0037】本発明の電子部品補強用粘着シートの粘着
剤層表面には、剥離シートが必要に応じて設けられる。
剥離シートの構成材料としては、紙、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリエチレンテレフタレート等の合成樹
脂フィルム等があげられる。剥離シート表面には粘着剤
層からの剥離性を高めるため、必要に応じてシリコーン
処理、長鎖アルキル処理、フッ素処理等の剥離処理が施
されていてもよい。剥離シートの厚みは、通常10〜2
00μm、好ましくは25〜100μm程度である。
A release sheet is optionally provided on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts of the present invention.
Examples of the constituent material of the release sheet include paper, synthetic resin films such as polyethylene, polypropylene and polyethylene terephthalate. The surface of the release sheet may be subjected to a release treatment such as silicone treatment, long-chain alkyl treatment, or fluorine treatment, if necessary, in order to enhance the releasability from the pressure-sensitive adhesive layer. The thickness of the release sheet is usually 10 to 2
It is about 00 μm, preferably about 25 to 100 μm.

【0038】[0038]

【実施例】以下に本発明を実施例により説明するが、本
発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。な
お、各例中の部は重量部である。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The parts in each example are parts by weight.

【0039】実施例1 イソノニルアクリレート90部、アクリル酸10部およ
び2,2−ジメトキシ−2 −フェニルアセトフェノン
0.05部を四つ口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で
紫外線に暴露して部分的に光重合させることにより、粘
度が約30ポイズのシロップを得た。この部分重合した
シロップ100部に交叉結合剤としてトリメチロールプ
ロパントリアクリレート0.2部とエポキシ樹脂(油化
シェルエポキシ(株)製,エピコート828)15部を
均一に混合した。さらに、これに帯電防止剤として、レ
オレックスAS(第一工業製薬(株)製,カチオン系;
第4級アンモニウム塩基含有共重合体)20重量部を添
加し光重合性組成物を調製した。この光重合性組成物
を、厚さが約50μmのポリイミドフィルム(融点:な
し,ヤング率(23℃):4000N/mm2 を有し、
表面抵抗値:1×1014Ω)に塗布した後、900mj
/cm2 の紫外線を照射して光重合させた後、剥離シー
ト(シリコーン処理したポリエチレンテレフタレート,
厚さ50μm)に貼り合せた。その後、20mm幅に切
断して、熱硬化型感圧性粘着剤層の厚さが50μmの粘
着テープを作成した。
Example 1 90 parts of isononyl acrylate, 10 parts of acrylic acid and 0.05 parts of 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone were placed in a four-necked flask and exposed to ultraviolet rays under a nitrogen atmosphere to partially Photopolymerization was performed to obtain a syrup having a viscosity of about 30 poise. 100 parts of this partially polymerized syrup was uniformly mixed with 0.2 part of trimethylolpropane triacrylate as a cross-linking agent and 15 parts of an epoxy resin (Epicote 828 manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.). Further, as an antistatic agent, ROLEX AS (manufactured by Daiichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., cationic type;
20 parts by weight of a quaternary ammonium salt group-containing copolymer) was added to prepare a photopolymerizable composition. This photopolymerizable composition was provided with a polyimide film having a thickness of about 50 μm (melting point: none, Young's modulus (23 ° C.): 4000 N / mm 2 ,
Surface resistance value: 1 × 10 14 Ω), then 900mj
/ Cm 2 of ultraviolet rays to photopolymerize, release sheet (silicone treated polyethylene terephthalate,
It was laminated to a thickness of 50 μm). Then, it was cut into a width of 20 mm to prepare an adhesive tape having a thermosetting pressure-sensitive adhesive layer with a thickness of 50 μm.

【0040】実施例2 イソオクチルアクリレート50部、ブチルアクリレート
35部、アクリル酸15部および2−ジメトキシ−2−
フェニルアセトフェノン0.05部を四つ口フラスコに
投入し、窒素雰囲気下で紫外線に暴露して部分的に光重
合させることにより、粘度が約30ポイズのシロップを
得た。この部分重合したシロップ100部に交叉結合剤
として1,6−ヘキサンジオールジアクリレート0.3
部とエポキシ樹脂(油化シェルエポキシ(株)製,エピ
コート828)10部を均一に混合してた。さらに、こ
れに帯電防止剤として、レオレックスAS(第一工業製
薬(株)製,カチオン系;第4級アンモニウム塩基含有
共重合体)20重量部を添加し光重合性組成物を調製し
た。以降は、実施例1と同様にして、粘着テープを作成
した。
Example 2 50 parts isooctyl acrylate, 35 parts butyl acrylate, 15 parts acrylic acid and 2-dimethoxy-2-
0.05 part of phenylacetophenone was charged into a four-necked flask and exposed to ultraviolet rays in a nitrogen atmosphere to partially photopolymerize to obtain a syrup having a viscosity of about 30 poise. 100 parts of this partially polymerized syrup was mixed with 0.3 part of 1,6-hexanediol diacrylate as a cross-linking agent.
Parts and 10 parts of an epoxy resin (Yukaka Shell Epoxy Co., Ltd., Epicoat 828) were uniformly mixed. Further, 20 parts by weight of Reolex AS (manufactured by Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd., cationic type; quaternary ammonium base-containing copolymer) was added to this as an antistatic agent to prepare a photopolymerizable composition. Thereafter, an adhesive tape was prepared in the same manner as in Example 1.

【0041】比較例1 実施例1において、光重合性組成物の調製にあたり、エ
ポキシ樹脂および帯電防止剤を用いなかったこと以外は
実施例1と同様にして光重合性組成物を調製し、またこ
れを用いて実施例1と同様にして粘着テープを作成し
た。
Comparative Example 1 A photopolymerizable composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the epoxy resin and the antistatic agent were not used in the preparation of the photopolymerizable composition. Using this, an adhesive tape was prepared in the same manner as in Example 1.

【0042】比較例2 イソオクチルアクリレート50部、ブチルアクリレート
35部、アクリル酸15部に重合開始剤(過酸化ベンゾ
イル)を0.5部加え、トルエン中にて重合し、アクリ
ル系ポリマーを得た。このアクリル系ポリマー100部
(固形分)に架橋剤としてイソシアネート系架橋剤4部
を混合してアクリル系粘着剤を調製した。このアクリル
系粘着剤を、厚さが約50μmのポリイミドフィルムに
塗布した後、130℃で3分間乾燥した後、剥離シート
(シリコーン処理したポリエチレンテレフタレート,厚
さ50μm)に貼り合せた。その後、20mm幅に切断
して、粘着剤層の厚さが50μmの粘着テープを作成し
た。
Comparative Example 2 0.5 part of a polymerization initiator (benzoyl peroxide) was added to 50 parts of isooctyl acrylate, 35 parts of butyl acrylate and 15 parts of acrylic acid, and the mixture was polymerized in toluene to obtain an acrylic polymer. . 100 parts (solid content) of this acrylic polymer was mixed with 4 parts of an isocyanate crosslinking agent as a crosslinking agent to prepare an acrylic pressure-sensitive adhesive. This acrylic pressure-sensitive adhesive was applied to a polyimide film having a thickness of about 50 μm, dried at 130 ° C. for 3 minutes, and then attached to a release sheet (silicone-treated polyethylene terephthalate, thickness 50 μm). Then, the adhesive tape was cut into a width of 20 mm to prepare an adhesive tape having a thickness of the adhesive layer of 50 μm.

【0043】以上の実施例1、2および比較例1、2で
得られた各粘着テープはいずれも常温で粘着性を有し、
ウエハに仮接着できた。これらの各接着テープについ
て、以下の高温耐性、および離型シート剥離時の帯電圧
について評価した。結果を表1に示す。
Each of the pressure-sensitive adhesive tapes obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 described above has adhesiveness at room temperature,
I was able to temporarily bond it to the wafer. With respect to each of these adhesive tapes, the following high temperature resistance and the voltage applied when the release sheet was peeled off were evaluated. The results are shown in Table 1.

【0044】(耐熱性) (1)粘着テープをウエハに仮接着した後、200℃で
1時間乾燥機中で加熱した後の外観を以下の基準で評価
した。 ○:変化なし。 △:一部浮きがみられる。 ×:全体的に浮きがみられる。
(Heat Resistance) (1) After the adhesive tape was temporarily adhered to the wafer and then heated in a dryer at 200 ° C. for 1 hour, the appearance was evaluated according to the following criteria. ◯: No change. Δ: Some floating is seen. X: There is floatation as a whole.

【0045】(2)100℃での加熱発生ガス量(pp
m)をガスクロマトグラフィーにより測定した。
(2) Amount of gas generated by heating at 100 ° C. (pp
m) was measured by gas chromatography.

【0046】(剥離帯電圧)離型シート剥離時の粘着テ
ープの粘着剤層表面の帯電圧を表面電位計により測定し
た。
(Peeling electrification voltage) The electrification voltage on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive tape when the release sheet was peeled off was measured by a surface potential meter.

【0047】[0047]

【表1】 [Table 1]

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05K 3/32 H05K 3/32 B (72)発明者 細川 和人 大阪府茨木市下穂積1丁目1番2号 日東 電工株式会社内 Fターム(参考) 4J004 AA10 AA13 AB07 CA04 CA06 CB03 CC02 CE01 DA02 DA03 FA05 4J040 DF011 DF041 DF051 DG001 EC062 EC072 HB03 HB07 HB14 HB18 HD37 KA11 LA08 LA09 MA10 MB03 NA19 5E319 BB11 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) H05K 3/32 H05K 3/32 B (72) Inventor Kazuto Hosokawa 1-1-1 Shimohozumi, Ibaraki-shi, Osaka No. 2 F term in Nitto Denko Corporation (reference) 4J004 AA10 AA13 AB07 CA04 CA06 CB03 CC02 CE01 DA02 DA03 FA05 4J040 DF011 DF041 DF051 DG001 EC062 EC072 HB03 HB07 HB14 HB18 HD37 KA11 LA08 LA09 MA10 MB03 NA19 5E319

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持体の少なくとも片面に粘着剤層が形
成されている電子部品補強用粘着シートにおいて、前記
粘着剤層が、(a)アルキル基の炭素数が平均2〜14
個である(メタ)アクリル酸アルキルエステルを主成分
とし、これと共重合可能なモノエチレン性不飽和酸1〜
30重量%を含有してなる単量体混合物100重量部、
(b)交叉結合剤としての多官能(メタ)アクリレート
0.02〜5重量部、(c)光重合開始剤0.01〜4
重量部、および(d)エポキシ樹脂5〜30重量部を含
む光重合性組成物の光重合物であることを特徴とする電
子部品補強用粘着シート。
1. A pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic parts, wherein a pressure-sensitive adhesive layer is formed on at least one surface of a support, wherein the pressure-sensitive adhesive layer has (a) an alkyl group having 2 to 14 carbon atoms on average.
The main component is an alkyl ester of (meth) acrylic acid, and a monoethylenically unsaturated acid copolymerizable therewith 1 to
100 parts by weight of a monomer mixture containing 30% by weight,
(B) 0.02 to 5 parts by weight of a polyfunctional (meth) acrylate as a cross-linking agent, (c) a photopolymerization initiator 0.01 to 4
An adhesive sheet for reinforcing electronic parts, which is a photopolymerization product of a photopolymerizable composition containing 5 parts by weight of (d) an epoxy resin and 5 to 30 parts by weight of (d).
【請求項2】 粘着剤層に、無機充填剤、帯電防止剤、
導電剤および界面活性剤から選ばれるいずれか少なくと
も1種が含有されていることを特徴とする請求項1記載
の電子部品補強用粘着シート。
2. An adhesive, an inorganic filler, an antistatic agent,
The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic components according to claim 1, which contains at least one selected from a conductive agent and a surfactant.
【請求項3】 粘着剤層に離型シートが設けられてお
り、当該離型シートを剥がした際の粘着剤層の剥離帯電
圧が5000V以下であることを特徴とする請求項1ま
たは2記載の電子部品補強用粘着シート。
3. The release sheet is provided on the pressure-sensitive adhesive layer, and the peeling electrification voltage of the pressure-sensitive adhesive layer when the release sheet is peeled off is 5000 V or less. Adhesive sheet for electronic component reinforcement.
【請求項4】 支持体が、融点200℃以上を有し、ヤ
ング率(23℃)が980N/mm2 以上を有し、表面
抵抗値が1.0×1017Ω以下であり、かつ、厚さが1
2〜200μmの薄葉基材であることを特徴とする請求
項1〜3のいずれかに記載の電子部品補強用粘着シー
ト。
4. The support has a melting point of 200 ° C. or more, a Young's modulus (23 ° C.) of 980 N / mm 2 or more, and a surface resistance value of 1.0 × 10 17 Ω or less, and Thickness is 1
The adhesive sheet for reinforcing electronic components according to any one of claims 1 to 3, which is a thin base material having a thickness of 2 to 200 µm.
【請求項5】 粘着剤層の100℃での加熱発生ガス量
が1000ppm以下であることを特徴する請求項1〜
4のいずれかに記載の電子部品補強用粘着シート。
5. The amount of gas generated by heating at 100 ° C. of the adhesive layer is 1000 ppm or less.
The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic components according to any one of 4 above.
【請求項6】 支持体と粘着剤層の間に、アルカリ金属
およびアルカリ土類金属の金属イオンを含まない静電誘
導防止剤層が設けられていることを特徴とする請求項1
〜5のいずれかに記載の電子部品補強用粘着シート。
6. An antistatic agent layer containing no metal ion of alkali metal or alkaline earth metal is provided between the support and the pressure-sensitive adhesive layer.
The pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing electronic components according to any one of to 5.
【請求項7】 請求項1〜6のいずれかに記載の電子部
品補強用粘着シートが貼付されている補強電子部品。
7. A reinforced electronic component to which the pressure-sensitive adhesive sheet for reinforcing an electronic component according to claim 1 is attached.
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