JP2003156147A

JP2003156147A - メタルガスケット

Info

Publication number: JP2003156147A
Application number: JP2001351977A
Authority: JP
Inventors: Miyuki Yamanaka; 中幸山
Original assignee: Nippon Valqua Industries Ltd; Nihon Valqua Kogyo KK
Current assignee: Nippon Valqua Industries Ltd; Nihon Valqua Kogyo KK
Priority date: 2001-11-16
Filing date: 2001-11-16
Publication date: 2003-05-30

Abstract

(57)【要約】【課題】メタルガスケット表面にメッキやコーティン
グを施さなくとも、またメタルガスケットのシールすべ
き部材のフランジ面との接触面に突起や逆突起などを施
さなくとも、締付力が小さく、かつ良好なシール性を有
し、そしてより量産性のあるメタルガスケットを提供す
る。【解決手段】メタルガスケットの外径部側面または内
径部側面に凹溝を備えることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高温高圧から真空
用途などの過酷な条件でシール部材として広く使用され
るメタルガスケットに関し、特に低い締付力でシール性
が良好なメタルガスケットに関する。

【０００２】

【従来の技術】メタルガスケットは、エラストマーガス
ケットに比べて、耐食性、耐熱性などに優れることか
ら、高温・高圧、放射線環境下など、過酷な環境で、エ
ラストマーガスケットに代わるガスケットとして、使用
されている。また、メタルガスケットは、エラストマー
ガスケットに比べて、透過量、放出ガス量が著しく少な
く、ベーキングに対する耐熱性などに優れることから、
超高真空用のガスケットとしても使用されている。

【０００３】特に、近年、各種プラズマや放射線環境
下、さらには腐食性ガスや毒性ガス下で使用されるよう
になり、メタルガスケットの使用環境は厳しくなるばか
りであり、メタルガスケットにはかなり高度な耐食性が
要求されるようになってきている。さらには、半導体ラ
インなどでは、ＬＳＩの超微細化、超高集積化により、
パーティクルレスや溶出イオンの除去など超純粋性に対
する要求が一段と高まりつつある。

【０００４】このような厳しい使用環境下でもメタルガ
スケットの材料として使用可能な金属は各種が挙げられ
るが、中でも、ＳＵＳ材、ＮｉやＮｉ合金などが主に使
用されている。しかし、これらの金属材は、耐食性、耐
熱性に優れる反面、高強度、高硬度を有している。一般
にメタルガスケットは、メタルガスケットに塑性変形を
生じさせてシール効果を維持するために、エラストマー
ガスケットに比べて大きな締付力が必要となる。このた
め、例えば、配管などの継ぎ目のフランジやこれを締結
するためのボルトをこのような大きな締付力に耐え得る
ようにするために、フランジ厚やボルト径を大きくしな
ければならず、機器が大型化してしまい、またコストが
高くなるなどの問題があり、シールに必要な締付力の低
減が望まれていた。

【０００５】こうした高強度、高硬度材を用いたメタル
ガスケットにおいて、より低締付力化を図るには、メタ
ルガスケットによってシールする部材のフランジ面と、
メタルガスケットのシール面とのなじみをよくするため
に、メタルガスケット表面に銀やニッケルなどの金属メ
ッキを施したり、ＰＴＦＥ樹脂に代表される樹脂コーテ
ィングを施したりしている。しかしながら、このような
メッキ処理やコーティング処理を施すことは、工程の増
加につながりコストが高くなる。また、このようなメッ
キ材あるいはコーティング樹脂が熱劣化し、腐食して、
所期のシール性が確保されず、また、このような表面処
理材は、摩耗などによってパーティクル化して、半導体
ラインなどを汚染してしまうおそれがある。

【０００６】また、より低締付力化を図り、シール性を
向上させるために、メタルガスケットのフランジ面との
接触面を小さくし、実ガスケット面圧を上昇させてい
る。例えば、図９（ａ）に示したような、一般配管・機
器によく使用されるメタル平形ガスケットでは、図９
（ｂ）に示すようにガスケット幅を小さくすることで、
より低い締付力でも、実ガスケット面圧を高めることが
できる。また、図１０に示したように、メタルガスケッ
トによってシールする部材のフランジ面とメタルガスケ
ットのシール面との接触面１０１双方に、のこ歯状の加
工を施したり、図１１に示したように、メタルガスケッ
トを断面Ｏリング形状としたりすることで、さらに実ガ
スケット面圧を高めることができる。しかし、このよう
な対策を施した場合においても、まだエラストマーガス
ケットに比べて、数十倍以上の締付力を有しており、改
善の余地が残されている。

【０００７】このような状況下、締付力を低減させたメ
タルガスケットとして、図１２に示すような、断面Ｏリ
ングでかつ中空構造を持つメタル中空Ｏリング（特開平
９−１７７９７６号公報）や、図１３に示すようなメタ
ルＣリング（特開平１１−３０３３３号公報）、また図
１４（ａ）に示すような、コイルスプリングを外被で覆
ったバネ入りメタルガスケットなどが開発されている。

【０００８】図１２に示すような、メタル中空Ｏリング
は、断面中空構造を持つＯリングで、その肉厚を薄くし
たり、あるいはその表面に金属メッキや樹脂コーティン
グなどを施したりすることで締付力の低減を図ってい
る。また、図１３に示すような、特開平１１−３０３３
３号公報に記載されたメタルＣリングでは、所定の開口
部を形成して、締付力の低減を図りながら、さらに、締
付時には前記開口部が塞がれて、あたかもＯリングであ
るかのように支点が２つになるため、締め切り状態にお
いては、メタルＣリングによってシールする部材のフラ
ンジ面に沿って、幅広のシール部を形成して、安定した
シール性の実現を図っている。

【０００９】また、図１４（ａ）に示すようなバネ入り
メタルガスケットで、さらにメタルガスケットのシール
すべき部材のフランジ面との接触面１４１双方に、図１
４（ｂ）に示したような、特開平２−１１３１７１号公
報に記載されたＶ字形状の突起や、図１４（ｃ）に示し
たような、特開平９−２６４４２７号公報に記載された
Ｖ字形状の逆突起を設けたものでは、メタルガスケット
によってシールする部材のフランジ面に沿って、メタル
ガスケットの周方向に環状の凸部あるいは凹溝を形成し
ているので、同じ締付力をかけても発生する応力が増加
するため、気密開始応力を低減することができ、これに
より、シールに必要な締付力の低減を図っている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このようにメタルガス
ケットの中でも、メタル中空ＯリングやメタルＣリン
グ、バネ入りメタルＣリングは低締付力化を図ったメタ
ルガスケットである。しかし、この場合でも締付力はエ
ラストマーガスケットの数十倍を必要とする。また、メ
タル中空Ｏリングの材質は溶接可能な材質に限られ、一
般にＳＵＳなどの高硬度材が用いられる。そのため、高
シール性を要求される場合には、フランジ面とのなじみ
性を向上させるため、リング表面に金属メッキや樹脂コ
ーティングを施す必要があり、高コストとなる。また、
メタル中空Ｏリングの製造には溶接工程を含むため、工
程数増加による高コストとなる。

【００１１】また、メタルＣリングはあらゆる素材によ
り製作が可能であるが、締付時に、ガスケットの変形は
Ｃリングの中心部であり、支点が１点となるため、フラ
ンジ面とガスケット接触面にシールに必要な充分な反発
力を伝えられず、シール性に劣る。また、さらに締付力
を増すと、支点でその締付荷重を受けきれなくなり、座
屈を生じてしまい、シール性が悪化する要因となる。

【００１２】一方、バネ入りメタルＣリングは、その製
造工程において溶接工程を必要としないため、外被にア
ルミニウムなどの低硬度、低強度材の使用が可能であ
る。このように外被に低硬度材を用いることで、メッキ
やコーティングを施さなくてもフランジ面とのなじみが
得られ、また、締付力も小さくなる。さらに、図１４
（ｂ）に示したような突起付き（特開平２−１１３１７
１号公報）の、あるいは図１４（ｃ）に示したような逆
突起付き（特開平９−２６４４２７号公報）のバネ入り
メタルガスケットにおいては、突起を付してさらなる低
締付力化を図っている。

【００１３】しかし、このような突起を形成するために
は一般に加工に手間がかかり、コストや生産性の面で改
善の余地が残されている。また、特に低締付効果が高い
上記突起あるいは逆突起付きバネ入りメタルガスケット
においても、その締付力は、エラストマーガスケットと
比べれば、１０〜２０倍以上必要であり、より一層の低
締付力化が望まれている。また、特にフランジ面との接
触面に設けた突起などの影響により、フランジ面に圧痕
が生じる可能性があり、これによりシール性が劣化する
可能性があるため、メタルガスケットのシール性向上に
ついても改善の余地が残されている。

【００１４】本発明は、メタルガスケット表面にメッキ
やコーティングを施さなくとも、またメタルガスケット
のシールすべき部材のフランジ面との接触面に突起や逆
突起などを施さなくとも、締付力が小さく、かつ良好な
シール性を有し、そしてより量産性のあるメタルガスケ
ットを提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述したよう
な従来技術における課題及び目的を達成するためになさ
れたものであって、本発明のメタルガスケットは、メタ
ルガスケットの外径部側面または内径部側面に凹溝を備
えることを特徴とする。この場合、前記メタルガスケッ
トの断面形状が、円形状、縦長の楕円形状、または横長
の楕円形状であることが好ましい。

【００１６】また、前記メタルガスケットの内径部から
外径部までのメタルガスケットの半径方向の幅をＷ₁と
し、該幅Ｗ₁のうちで、前記凹溝の幅を除いた幅をＷ₂と
した場合に、このＷ₁とＷ₂とが、Ｗ₂／Ｗ₁＜１／２を満たすことが好ましい。

【００１７】また、前記メタルガスケットに備えられた
凹溝の形状が断面略コの字形状、断面台形形状、または
断面楕円形状であることが好ましい。このような構成と
すれば、メタルガスケットの表面にメッキやコーティン
グを施さなくとも、またメタルガスケットのシールすべ
き部材のフランジ面との接触面に突起や逆突起を施さな
くとも、締付力を小さくすることができ、かつ良好なシ
ール性を得ることができる。

【００１８】また、製造に際しては、従来と同様の方法
で本発明のメタルガスケットを製造することができ、ま
たメッキやコーティングを施さず、突起等を施す必要も
ないので、複雑な製造工程とならず、安価に製造するこ
とができ、量産性にも優れている。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るメタルガスケ
ットの実施の形態について図面を参照しながら詳細に説
明する。図１は、本発明に係るメタルガスケットの第一
の実施例の平面図であり、図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ
線方向の部分断面斜視図であり、図２（ｂ）は、図１の
Ａ−Ａ線方向の部分断面図であり、図３は、図１のメタ
ルガスケットを配管などの継ぎ目のフランジに用いた状
態を示す部分拡大断面図である。

【００２０】図において、１０は全体で前記メタルガス
ケットを示しており、メタルガスケット１０は、図２
（ａ）および（ｂ）に示したように、一部に凹溝１２が
形成された断面略円形の環状の金属製のガスケット本体
１から構成されている。なお、本発明のメタルガスケッ
ト本体１の断面形状は、円形状に限られず、図４（ａ）
に示したような縦長の楕円形状であっても良く、あるい
は図４（ｂ）に示したような横長の楕円形状であっても
良い。

【００２１】そして、本実施例のメタルガスケット１０
では、メタルガスケット本体１の外径部側面１１に、メ
タルガスケット本体１の周方向に、メタルガスケット本
体１の全周にわたって断面略コの字形状の凹溝１２が形
成されている。このような凹溝１２の形状は、種々の形
状が適用可能であり、図２（ｂ）に示したような断面略
コの字型形状に限られず、例えば、図５（ａ）に示した
ような断面台形形状や、図５（ｂ）に示したような断面
楕円形状などが挙げられる。ただし、ガスケットの過剰
締付によるガスケットの損傷防止や、ガスケットの芯合
わせのためにリテーナーが用いられる場合があるため、
かかる場合には、装着性などの問題から、図２（ｂ）に
示したような断面コの字型形状であることが好ましい。

【００２２】また、メタルガスケット１０に備えられて
いる凹溝１２は、図２（ｂ）に示したように、メタルガ
スケット１０の内径部側面１３から外径部までのメタル
ガスケット１０の半径方向の幅をＷ₁とし、該幅Ｗ₁のう
ちで、前記凹溝１２の幅を除いた幅をＷ₂とした場合、
すなわち、該幅Ｗ₁のうちで、メタルガスケット１０の
内径部側面１３からメタルガスケット１０に形成された
凹溝１２までの幅をＷ₂とした場合に、このＷ₁とＷ
₂が、Ｗ₂／Ｗ₁＜１／２を満たすことが好ましく、さらに、１／３≦Ｗ₂／Ｗ₁≦１２／２５を満たすことが好ましい。

【００２３】Ｗ₂／Ｗ₁が１／３未満であると、ソリッド
部分が多くなるため、ガスケットの剛性が高くなり、ガ
スケットの変形が制限される。そのため、充分な塑性変
形、つまりなじみが得られず、シール性に劣る。一方、
Ｗ₂／Ｗ₁が１／２以上であると、ソリッド部分が小さく
なるため、ガスケットの剛性が低くなり、ガスケットの
変形量が大きくなる。そのため、過剰な変形が生じ、座
屈しやすくなると考えられ、座屈によりシール性が悪化
する。

【００２４】さらに、凹溝１２が形成されたメタルガス
ケット１０の突端１５、１５間の幅ｄとメタルガスケッ
ト１０の半径方向に垂直な方向の高さＤが１／６≦ｄ／Ｄ≦１／２を満たすことが望ましい。このような凹溝１２を備えた
メタルガスケット１０は、メタルガスケット１０のシー
ルすべき部材のフランジ面２２、２３との接触面表面硬
度が、ビッカース硬度で好ましくは２００Ｈｖ以下であ
り、さらに好ましくは１３０Ｈｖ以下である。

【００２５】このようなメタルガスケット１０は、例え
ば、金属のロッド（棒）材に切削加工を施し、あるいは
溶解させた金属を鋳型に注入、凝固させ、所定の形状と
することなどで製作することが可能であるが、本発明の
メタルガスケットの加工方法はこれらに限定されず、所
望の形状に加工できれば、従来公知の方法を採用するこ
とができ、凹溝の寸法精度や経済性等から適宜選択すれ
ばよい。

【００２６】また、メタルガスケット１０を構成する金
属ロッドの材質としては、ビッカース硬度が２００Ｈｖ
以下、好ましくは１３０Ｈｖ以下となるものであれば特
に限定されるものではなく、シールすべき部材のフラン
ジの材質に応じて適宜選択すればよい。具体的には例え
ば、アルミニウムなどの比較的低硬度材を挙げることが
できる。また、ＮｉやＳＵＳ材のように比較的硬質材で
あっても、所定の熱処理を施すことで採用することがで
きる。所定の熱処理としては、例えば、ＳＵＳ３０４や
ＳＵＳ３１６に代表されるオーステナイト鋼ステンレス
の場合は、それぞれ１０３０℃以上、１１００℃以上の
温度条件下で熱処理を施す固溶化熱処理が挙げられる。

【００２７】図６（ａ）は、本発明に係るメタルガスケ
ットの第２の実施例の部分断面斜視図であり、図６
（ｂ）は、本発明に係るメタルガスケットの第２の実施
例の部分断面図である。この実施例のメタルガスケット
１８は、基本的には、図２（ａ）および（ｂ）に示した
第１の実施例のメタルガスケット１０とその構成は同様
である。

【００２８】第１の実施例のメタルガスケット１０で
は、断面略円形のメタルガスケット本体１の外径部側面
１１に、メタルガスケット本体１の周方向に、メタルガ
スケット本体１の全周にわたって断面略コの字形状に凹
溝１２を形成したが、図６（ａ）に示した第２の実施例
のメタルガスケット１８では、断面略円形のメタルガス
ケット本体１の内径部側面１３に凹溝１４を形成してい
る。すなわち、断面略円形のメタルガスケット本体１の
内径部側面１３に、メタルガスケット本体１の周方向
に、メタルガスケット本体１の全周にわたって断面略コ
の字形状に凹溝１４を形成している。

【００２９】そして、このような凹溝１４の形状は、第
１の実施例で説明した凹溝１２と同様、断面略コの字型
形状に限られず、例えば、断面台形形状や断面楕円形状
などであってもよい。また、メタルガスケット１８に備
えられている凹溝１４は、第１の実施例と同様、図６
（ｂ）に示したように、メタルガスケット１８の内径部
から外径部側面１１までのメタルガスケット１８の半径
方向の幅をＷ₁とし、該幅Ｗ₁のうちで、前記凹溝１４の
幅を除いた幅をＷ₂とした場合、すなわち、該幅Ｗ₁のう
ちで、メタルガスケット１０の外径部側面１１からメタ
ルガスケット１０に形成された凹溝１４までの幅をＷ₂
とした場合に、このＷ₁とＷ₂が、Ｗ₂／Ｗ₁＜１／２を満たすことが好ましく、さらに、１／３≦Ｗ₂／Ｗ₁≦１２／２５を満たすことが好ましい。

【００３０】このような形状とすることによっても、上
記の図２（ａ）および（ｂ）に示した第１の実施例と同
様な効果が得られる。

【００３１】

【実施例】次に本発明を実施例に基づき詳細に説明する
が、本発明はかかる実施例に限定されるものではない。

【００３２】

【実施例１】ＳＵＳ３１６Ｌ材から形成された、図７
（ａ）に示したような、内径４．７ｍｍ、外径７．１ｍ
ｍ、高さ（Ｄ）１．７ｍｍで、外径側の周上に断面略コ
の字形状の凹溝（高さｄ＝０．７ｍｍ）を設けたメタル
ガスケットに関して、圧縮復元気密試験を行った。

【００３３】図８は、縦軸に締付荷重を、横軸にメタル
ガスケットの歪量すなわち変形量を示しており、段階的
に荷重を増し、各締付荷重段階で、ヘリウムリークディ
テクター（以下、「ＨｅＬ．Ｄ．」という）を用いた漏
洩試験を実施した結果である。図８中、Ｓ₀（気密開始
点）は、段階的に締付荷重を増した場合に、ＨｅＬ．
Ｄ．の感度以下（１×１０^-12Ｐａ・ｍ³／ｓ）となるシ
ール開始応力で、Ｓ（締付力）は、所定の締め代を与え
た場合の締付力である。

【００３４】この締付力は、例えば、所定の溝寸法まで
締切り、フランジ同士がメタルタッチとなったり、ある
いは所定の寸法に製作したリテーナー高さまでメタルタ
ッチとなるまで締切ったときの締付荷重である。実施例
１においては、片側に深さ０．３５ｍｍの溝加工を施
し、片側フラットのフランジを用い試験を行った。Ｓ₁
（気密限界点）は、締付荷重Ｓまで締付けた後、メタル
ガスケットの応力緩和などによって、メタルガスケット
残留応力が低下した場合に、ＨｅＬ．Ｄ．の感度以下を
満足する最小締付荷重である。すなわち、締付荷重
Ｓ₀、ＳおよびＳ₁間のシール性は、ＨｅＬ．Ｄ．の感度
以下を満足する。結果を表１に示す。

【００３５】

【比較例１および２】実施例１のメタルガスケットと同
様の材質で、内外径サイズを同じとし、外径側に凹溝を
設けないメタルガスケットとして、比較例１では、図７
（ｂ）に示したような断面縦長長方形のソリッドガスケ
ットを用い、比較例２では、図７（ｃ）に示したような
断面縦長楕円形状のソリッドガスケットを用い、実施例
１と同様の条件で試験し、Ｓ₀、ＳおよびＳ₁を測定し
た。結果を表１に示す。

【００３６】

【表１】

【００３７】表１からは、本発明品（実施例１）のよう
に凹溝を設けたメタルガスケットは、凹溝を設けなかっ
たメタルガスケットに比べて締付力Ｓが低く、さらに気
密開始点Ｓ₀、気密限界点Ｓ₁においてもＨｅＬ．Ｄ．の
感度以下という優れたシール性を満足することが示され
る。

【００３８】

【実施例２】ＳＵＳ３１６Ｌ材から形成され、断面縦長
楕円形状であり、メタルガスケットの内径から外径まで
の幅（Ｗ₁）が１．２ｍｍ、該メタルガスケットに設け
られた凹溝の幅を除いた幅（Ｗ₂）が０．５ｍｍである
メタルガスケットを用いて、実施例１と同様の試験を行
った。結果を表２に示す。

【００３９】

【比較例３】実施例２において、メタルガスケットの内
径から外径までの幅（Ｗ₁）を１．２ｍｍ、該メタルガ
スケットに設けられた凹溝の幅を除いた幅（Ｗ₂）を
０．８ｍｍとした以外は実施例２と同様とし、実施例１
と同様の試験を行った。結果を表２に示す。

【００４０】

【表２】

【００４１】表２からは、実施例２のように、凹溝を設
けたメタルガスケットでも、メタルガスケットの半径方
向の幅と、凹溝の幅との関係（Ｗ₂／Ｗ₁）が所定の範囲
内にあることで、さらに締付力Ｓを低くすることができ
ることが示される。

【００４２】

【発明の効果】本発明のメタルガスケットによれば、メ
タルガスケットの外径部側面または内径部側面に凹溝を
設けたので、メタルガスケットの表面にメッキやコーテ
ィングを施さなくとも、またメタルガスケットのシール
すべき部材のフランジ面との接触面に突起や逆突起を施
さなくとも、締付力を小さくすることができ、かつ良好
なシール性を得ることができる。

【００４３】また、製造に際しては、従来と同様の方法
で本発明のメタルガスケットを製造することができ、ま
たメッキやコーティングを施さず、突起等を施す必要も
ないので、複雑な製造工程とならず、安価に製造するこ
とができ、量産性にも優れている。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係るメタルガスケットの第１
の実施例の平面図である。

【図２】図２（ａ）は、図１のＡ−Ａ線方向の部分断面
斜視図であり、図２（ｂ）は、図１のＡ−Ａ線方向の部
分断面図である。

【図３】図３は、図１のメタルガスケットを配管などの
継ぎ目のフランジに用いた状態を示す部分拡大断面図で
ある。

【図４】図４（ａ）および図４（ｂ）は、それぞれ本発
明に係るメタルガスケットの他の実施形態を示す部分断
面図である。

【図５】図５（ａ）および図５（ｂ）は、それぞれ本発
明に係るメタルガスケットの凹溝の他の実施形態を示す
部分断面図である。

【図６】図６（ａ）は、本発明に係るメタルガスケット
の第２の実施例の部分断面斜視図であり、図６（ｂ）
は、本発明に係るメタルガスケットの第２の実施例の部
分断面図である。

【図７】図７（ａ）は実施例１で用いたメタルガスケッ
トを示す部分断面図である。図７（ｂ）および図７
（ｃ）は、それぞれ比較例１および比較例２で用いたメ
タルガスケットを示す部分断面図である。

【図８】図８は、実施例１の圧縮復元気密試験の結果を
示すグラフである。

【図９】図９（ａ）は、従来のメタル平形ガスケットの
部分断面図であり、図９（ｂ）は、従来のメタル平形ガ
スケットの幅を小さくしたメタルガスケットの部分断面
図である。

【図１０】図１０は、従来ののこ歯状の加工を施したメ
タルガスケットの部分断面図である。

【図１１】図１１は、従来のメタルＯリングの部分断面
図である。

【図１２】図１２は、従来のメタル中空Ｏリングの部分
断面図である。

【図１３】図１３は、従来のメタルＣリングの部分断面
図である。

【図１４】図１４（ａ）は、従来のバネ入りメタルＣリ
ングの部分断面図である。図１４（ｂ）は、従来のＶ字
形状の突起付きバネ入りメタルＣリングの部分断面図で
あり、図１４（ｃ）は、従来のＶ字形状の逆突起付きバ
ネ入りメタルＣリングの部分断面図である。

【符号の説明】

１メタルガスケット本体１０、１８メタルガスケット１１外径部側面１２外径部凹溝１３内径部側面１４内径部凹溝１５突端部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】メタルガスケットの外径部側面または内径
部側面に凹溝を備えることを特徴とするメタルガスケッ
ト。
【請求項２】前記メタルガスケットの断面形状が、円形
状、縦長の楕円形状、または横長の楕円形状であること
を特徴とする請求項１に記載のメタルガスケット。
【請求項３】前記メタルガスケットの内径部から外径部
までのメタルガスケットの半径方向の幅をＷ₁とし、該
幅Ｗ₁のうちで、前記凹溝の幅を除いた幅をＷ₂とした場
合に、このＷ₁とＷ₂とが、Ｗ₂／Ｗ₁＜１／２を満たすことを特徴とする請求項１または２に記載のメ
タルガスケット。
【請求項４】前記メタルガスケットに備えられた凹溝の
形状が断面略コの字形状、断面台形形状、または断面楕
円形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか
に記載のメタルガスケット。