JP2003022576A - Optical information recording medium and manufacturing method for original disk - Google Patents
Optical information recording medium and manufacturing method for original diskInfo
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ランドトラック及
びグルーブトラックの両方に情報データを予め記録した
再生専用領域と、ランドトラック及びグルーブトラック
の両方に情報データを記録できる記録再生領域とを有す
る光情報記憶媒体及び原盤の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical disc having a read-only area in which information data is recorded in advance on both land tracks and groove tracks, and a recording / reproducing area in which information data can be recorded on both land tracks and groove tracks. The present invention relates to an information storage medium and a method for manufacturing a master.
【0002】[0002]
【従来の技術】現在、光情報記憶媒体として光ディスク
が広く普及しているが、近年では、高画素な画像データ
や音声データ等のように記録する情報データ量が増大し
ており、これに伴って、光ディスクの大容量化、つま
り、情報記録密度の高密度化が望まれている。2. Description of the Related Art At present, optical discs have become widespread as optical information storage media, but in recent years, the amount of information data to be recorded such as high-pixel image data and audio data is increasing. Therefore, it is desired to increase the capacity of the optical disc, that is, to increase the information recording density.
【0003】この高密度化を実現する方法として、いく
つかの方法が提案されているが、その一つにランド/グ
ルーブ記録方式がある。これは、レーザビームがトラッ
ク上に正確に位置するように制御するトラッキング制御
用に形成された案内溝であるグルーブトラックと案内溝
間であるランドトラックとの両方に情報データを記録す
る方式である。これにより、ランドトラックだけに情報
データを記録していた光ディスクと比べると、情報記録
密度が2倍になり、情報記録密度の高密度化は実現され
る。しかし、ピットが隣接することになりトラッキング
制御におけるクロストークノイズの発生が問題となる。Several methods have been proposed as a method for realizing this high density, and one of them is a land / groove recording method. This is a method of recording information data on both a groove track, which is a guide groove formed for tracking control for controlling the laser beam to be accurately positioned on the track, and a land track, which is between the guide grooves. . As a result, the information recording density is doubled as compared with the optical disc in which the information data is recorded only on the land track, and the information recording density can be increased. However, since the pits are adjacent to each other, the occurrence of crosstalk noise in tracking control becomes a problem.
【0004】これを解決する方法が、特開平6−338
064号公報に提案されている。これによれば、グルー
ブトラック深さをレーザビームの波長をλとしてλ/7
〜λ/5にすることによって、隣接するピットによるク
ロストークノイズを防止できる(以下、λはレーザビー
ムの波長とする)。A method for solving this is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-338.
No. 064 is proposed. According to this, the groove track depth is λ / 7, where λ is the wavelength of the laser beam.
By setting λ / 5, crosstalk noise due to adjacent pits can be prevented (hereinafter, λ is the wavelength of the laser beam).
【0005】このようなランド/グルーブ記録方式の光
ディスクは、例えば、オペレーティングシステムやゲー
ム等のソフトを供給するものとして広く用いられてい
る。この光ディスクが使用されるパーソナルコンピュー
タ等のハードディスクの情報記録容量にも限度があり、
ソフトに関連する情報データ等は、ソフトが記録されて
いる光ディスクに記録できることが望ましい。したがっ
て、光ディスクに予め記録された再生専用データに基づ
いて、ユーザによるデータの追記又は書き込みができる
ことが求められている。つまり、1枚の光ディスクに
は、予め情報データが記録された再生専用領域と記録再
生ができる記録再生領域とを設ける必要がある。Such an optical disk of land / groove recording system is widely used for supplying software such as an operating system and games. There is a limit to the information recording capacity of hard disks such as personal computers in which this optical disk is used.
It is desirable that information data related to software can be recorded on the optical disc on which the software is recorded. Therefore, it is required that the user can additionally write or write the data based on the read-only data recorded in advance on the optical disc. That is, it is necessary to provide a reproduction-only area in which information data is recorded in advance and a recording / reproduction area in which recording / reproduction can be performed, on one optical disk.
【0006】これをCD−RやCD−RW等の記録再生
領域だけを有する光ディスクで実現する場合には、光デ
ィスクの出荷前に記録再生領域の一部に情報データを記
録して、この情報データが記録された領域を再生専用領
域として扱うことによって実現できるが、情報データを
光ディスク一枚一枚に記録する必要があり、大量生産が
難しいので、光ディスクのコストは高くなってしまう。When this is realized by an optical disc having only a recording / reproducing area such as a CD-R or a CD-RW, information data is recorded in a part of the recording / reproducing area before shipment of the optical disc, and this information data is recorded. This can be realized by treating the area in which is recorded as a read-only area, but since it is necessary to record information data on each optical disk and mass production is difficult, the cost of the optical disk increases.
【0007】これを解決する光ディスクとして、例え
ば、特開平8−22640号公報に、光ディスクの一部
の領域に凹凸ピットを形成することによって情報データ
を記録して、この領域を再生専用領域とし、残りの領域
を記録再生領域としたものが提案されている。このよう
に、1枚の光ディスクに、予め情報データが記録された
再生専用領域と記録再生ができる記録再生領域とが設け
られた光ディスクをパーシャルROM(Read Only Memo
ry)という。このパーシャルROMは、凹凸ピットを有
するスタンパによってインジェクション成型されるの
で、予め情報データを記録させることができ、さらに、
大量生産が可能なので、低コスト化が実現できる。As an optical disk that solves this problem, for example, in Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 8-22640, information data is recorded by forming uneven pits in a partial area of the optical disk, and this area is used as a read-only area. It has been proposed to use the remaining area as a recording / reproducing area. As described above, an optical disk in which a read-only area in which information data is recorded in advance and a recording / playback area capable of recording / playback is provided on one optical disk is used as a partial ROM (Read Only Memo).
ry). This partial ROM is injection molded by a stamper having concave and convex pits, so that information data can be recorded in advance.
Since mass production is possible, cost reduction can be realized.
【0008】このようなパーシャルROMを製造する方
法として、例えば、特開平10−64123号公報に光
ディスク原盤の製造方法が提案されている。この製造方
法は、図15(b)に示すように、ガラス基板101上
に第1のフォトレジスト層102を形成して、第1のフ
ォトレジスト層102上に現像液に溶解しないで記録光
に対して透過性を有する中間層103を形成して、中間
層103上に第2のフォトレジスト層104を形成した
原盤105を用いる。As a method of manufacturing such a partial ROM, for example, a method of manufacturing an optical disk master has been proposed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-64123. In this manufacturing method, as shown in FIG. 15B, a first photoresist layer 102 is formed on a glass substrate 101, and the first photoresist layer 102 is not dissolved in a developing solution to form recording light. On the other hand, a master 105 is used in which an intermediate layer 103 having transparency is formed and a second photoresist layer 104 is formed on the intermediate layer 103.
【0009】図15(c)に示すような浅いピット/グ
ルーブ106aを形成する場合には、第2のフォトレジ
スト層104側から第2のフォトレジスト層104のみ
を感光させる第1の記録光を原盤105に照射して(図
15(a)参照)、第2のフォトレジスト層104に潜
像107aを形成する(図15(b)参照)。When forming shallow pits / grooves 106a as shown in FIG. 15C, the first recording light for exposing only the second photoresist layer 104 from the second photoresist layer 104 side is applied. The master 105 is irradiated (see FIG. 15A) to form a latent image 107a on the second photoresist layer 104 (see FIG. 15B).
【0010】図15(f)に示すような深いピット/グ
ルーブ106bを形成する場合には、第1のフォトレジ
スト層102及び第2のフォトレジスト層104の両方
を感光させる第2の記録光を照射して(図15(d)参
照)、第1のフォトレジスト層102及び第2のフォト
レジスト層104に潜像107bを形成する(図15
(e)参照)。When forming the deep pits / grooves 106b as shown in FIG. 15 (f), the second recording light for exposing both the first photoresist layer 102 and the second photoresist layer 104 is used. Irradiation (see FIG. 15D) forms a latent image 107b on the first photoresist layer 102 and the second photoresist layer 104 (FIG. 15).
(See (e)).
【0011】そして、潜像後に、第2のフォトレジスト
層104の現像、中間層103のエッチィング、第1の
フォトレジスト層102の現像を順次行うことによって
浅いピット/グルーブ106a(図15(c)参照)及
び深いピット/グルーブ106bが形成される(図15
(f)参照)。After the latent image, development of the second photoresist layer 104, etching of the intermediate layer 103, and development of the first photoresist layer 102 are sequentially performed to form shallow pits / grooves 106a (FIG. 15 (c)). )) And deep pits / grooves 106b are formed (FIG. 15).
(See (f)).
【0012】これにより、第2のフォトレジスト層10
4の上面から第1のフォトレジスト層102の上面まで
の深さの浅いピット/グルーブ106aと(図15
(c)参照)、第2のフォトレジスト層104の上面か
ら第1のフォトレジスト層102の下面までの深さの深
いピット/グルーブ106bとを有する原盤105が製
造される(図15(f)参照)。つまり、フォトレジス
ト層102、104と中間層103との厚さを変化させ
ることによって、希望する深さのピット/グルーブ10
6を得ることができる。As a result, the second photoresist layer 10
4 from the upper surface of the first photoresist layer 102 to the shallow pits / grooves 106a (see FIG. 15).
(See (c)), the master 105 having pits / grooves 106b having a deep depth from the upper surface of the second photoresist layer 104 to the lower surface of the first photoresist layer 102 is manufactured (FIG. 15 (f)). reference). That is, by changing the thickness of the photoresist layers 102 and 104 and the intermediate layer 103, the pit / groove 10 having a desired depth can be obtained.
6 can be obtained.
【0013】このように製造された原盤105に電鋳し
て、原盤105上に形成された電鋳層を原盤105から
剥離することによって、原盤105に形成された2種類
の深さを持つピット/グルーブ107を表面に有する電
鋳層であるスタンパが作製される。そして、このスタン
パを型として、インジェクション成型によって基板を作
製し、基板上に記録層、反射層、保護層等を形成するこ
とによって、パーシャルROMが完成する。The master 105 manufactured in this manner is electroformed, and the electroformed layer formed on the master 105 is peeled off from the master 105 to form pits having two kinds of depths formed on the master 105. / A stamper which is an electroformed layer having the groove 107 on the surface is produced. Then, using this stamper as a mold, a substrate is manufactured by injection molding, and a recording layer, a reflective layer, a protective layer, and the like are formed on the substrate to complete the partial ROM.
【0014】[0014]
【発明が解決しようとする課題】このように製造される
パーシャルROMが普及する前には、記録再生領域だけ
を有するランド/グルーブ記録方式のCD−R(Compac
t Disc Recordable)やCD−RW(Compact Disc ReWr
itable)等を再生するドライブが広く普及している。し
たがって、パーシャルROMには、ランド/グルーブ記
録方式のCD−RやCD−RW等を再生するドライブに
よって再生できるような互換性が望まれる。Before the partial ROM manufactured as described above became widespread, a land / groove recording type CD-R (Compac) having only a recording / reproducing area was used.
t Disc Recordable) and CD-RW (Compact Disc ReWr)
Itable) drives are widely used. Therefore, the partial ROM is required to have compatibility such that it can be reproduced by a drive for reproducing CD / R or CD-RW of the land / groove recording system.
【0015】ところが、特開平8−22640号公報で
提案されているパーシャルROMにおいては、再生専用
領域にトラックが形成されておらず、記録再生領域のト
ラックピッチと再生専用領域にスパイラル状に形成され
たピットのピッチとが異なっている。そして、再生専用
領域と記録再生領域との境界部分に、再生している領域
が再生専用領域と記録再生領域とのいずれであるかを判
断する境界領域が設けられている。したがって、このパ
ーシャルROMを再生するには、ドライブに特別な機能
の追加や条件設定の変更等を行う必要がある。However, in the partial ROM proposed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 8-22640, no track is formed in the read-only area, and a spiral is formed in the track pitch of the read / write area and the read-only area. The pit pitch is different. A boundary area for determining whether the area being reproduced is a reproduction-only area or a recording / reproduction area is provided at the boundary between the reproduction-only area and the recording / reproduction area. Therefore, in order to reproduce this partial ROM, it is necessary to add a special function to the drive or change the condition setting.
【0016】また、特開平8−22640号公報及び特
開平8−77609号公報で提案されているパーシャル
ROMにおいては、精度の高いトラッキング制御のため
に2つの制御方法が用いられるので、この2つの制御方
法を実現して制御方法を切り換える機能がドライブに必
要になる。Further, in the partial ROMs proposed in Japanese Patent Laid-Open Nos. 8-22640 and 8-77609, two control methods are used for highly accurate tracking control. The drive is required to have a function of realizing the control method and switching the control method.
【0017】このように、記録再生領域だけを有するラ
ンド/グルーブ記録方式の光ディスクを再生するドライ
ブでは、特別な機能の追加や条件設定の変更等をしない
限りパーシャルROMは再生できないという問題があ
る。As described above, in a drive for reproducing an optical disk of a land / groove recording system having only a recording / reproducing area, there is a problem that the partial ROM cannot be reproduced unless a special function is added or condition setting is changed.
【0018】また、グルーブトラック、グルーブピッ
ト、ランドピット等の深さがそれぞれ異なると、基板上
にフォトレジストを3層に積層する必要があるので、パ
ーシャルROMの製造工程が増えるという問題がある。Further, if the depths of the groove tracks, groove pits, land pits, etc. are different from each other, it is necessary to stack the photoresist in three layers on the substrate, which causes a problem of increasing the number of steps for manufacturing the partial ROM.
【0019】さらに、グルーブピットを形成する際に
は、従来、グルーブトラック幅がグルーブピット幅より
広いので、図16(b)のような幅広いグルーブトラッ
ク106cを形成する幅広い第1の記録光(図16
(a)参照)とグルーブピット106bを形成する第2
の記録光(図15(d)参照)とを合成した合成光が使
用される(図16(c)参照)。合成光は、図16
(c)に示すように、ガウス分布により裾が広がった形
状になっている。この合成光でグルーブピット/トラッ
ク106dを形成することによって、グルーブピットは
パーシャルROMの半径方向及び円周方向へ広がってし
まうという問題がある(図16(d)参照)。Further, when the groove pits are formed, since the groove track width is conventionally wider than the groove pit width, a wide first recording light (FIG. 16B) for forming a wide groove track 106c as shown in FIG. 16B is formed. 16
(See (a)) and the second for forming the groove pit 106b.
The recording light (see FIG. 15 (d)) and the recording light are combined (see FIG. 16 (c)). The combined light is shown in FIG.
As shown in (c), it has a shape with a widened skirt due to Gaussian distribution. By forming the groove pit / track 106d with this combined light, there is a problem in that the groove pit expands in the radial direction and the circumferential direction of the partial ROM (see FIG. 16D).
【0020】本発明は、記録再生領域だけを有するラン
ド/グルーブ記録方式の光情報記録媒体を再生するドラ
イブによって情報データの再生ができるパーシャルRO
Mを提供することを目的とする。The present invention is a partial RO capable of reproducing information data by a drive for reproducing an optical information recording medium of a land / groove recording system having only a recording / reproducing area.
The purpose is to provide M.
【0021】本発明は、原盤を容易に作製できるパーシ
ャルROMを提供することを目的とする。It is an object of the present invention to provide a partial ROM capable of easily producing a master.
【0022】本発明は、グルーブピットを形成する場合
にグルーブピットが半径方向及び円周方向へ広がること
を防止することができるパーシャルROM及び原盤の製
造方法を提供する。The present invention provides a method for manufacturing a partial ROM and a master, which can prevent the groove pits from spreading in the radial direction and the circumferential direction when forming the groove pits.
【0023】[0023]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
レーザビームを案内する案内溝であるグルーブトラック
及び案内溝間であるランドトラックが半径方向へ交互に
配列され、グルーブトラック及びランドトラックの両方
に予めプリピットによって情報データを記録した再生専
用領域とグルーブトラック及びランドトラックの両方に
ピットによって情報データを記録できる記録再生領域と
を有する光情報記憶媒体において、記録後の記録再生領
域と再生専用領域とのグルーブトラックの再生信号が同
一ドライブで検出できる程度に等しくなるように再生専
用領域のグルーブトラックにグルーブプリピットが形成
されていて、記録後の記録再生領域と再生専用領域との
ランドトラックの再生信号が同一ドライブで検出できる
程度に等しくなるように再生専用領域のランドトラック
にランドプリピットが形成されている。The invention according to claim 1 is
A groove track, which is a guide groove for guiding the laser beam, and a land track, which is between the guide grooves, are alternately arranged in the radial direction, and a read-only area and a groove track in which information data is recorded in advance by prepits on both the groove track and the land track. In an optical information storage medium having a recording / reproducing area in which information data can be recorded by pits on both the track and the land track, the reproduction signal of the groove track of the recording / reproducing area and the reproduction-only area after recording can be detected by the same drive. Groove prepits are formed in the groove tracks of the read-only area so that they are equal. Playback is performed so that the playback signals of the land tracks of the recording / playback area and the playback-only area after recording can be detected by the same drive. Land pre-pitting on the land track in the dedicated area There has been formed.
【0024】したがって、再生専用領域と記録再生領域
とのグルーブトラックの再生信号がほぼ等しい再生信号
として、再生専用領域と記録再生領域とのランドトラッ
クの再生信号がほぼ等しい再生信号としてドライブに検
知される。Therefore, the drive detects the reproduction signals of the groove tracks of the reproduction-only area and the recording / reproduction area as substantially the same as the reproduction signals of the land tracks of the reproduction-only area and the recording / reproduction area. It
【0025】請求項2記載の発明は、請求項1記載の光
情報記録媒体において、グルーブプリピットが記録後の
記録再生領域と再生専用領域とのグルーブトラックの変
調度を再生信号が同一ドライブで検出できる程度に等し
くするように形成されていて、ランドプリピットが記録
後の記録再生領域と再生専用領域とのランドトラックの
変調度を再生信号が同一ドライブで検出できる程度に等
しくするように形成されている。According to a second aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the first aspect, the degree of modulation of the groove track in the recording / reproducing area and the reproduction-only area after the groove prepits are recorded is the same when the reproduction signal is the same drive. The land prepits are formed to be equal to each other so that they can be detected.The land prepits are formed so that the degree of modulation of the land track between the recording / reproducing area and the read-only area after recording is equal to the degree that the reproduction signal can be detected by the same drive. Has been done.
【0026】したがって、再生専用領域と記録再生領域
とのグルーブトラックの変調度がほぼ等しくなり、再生
専用領域と記録再生領域とのランドトラックの変調度が
ほぼ等しくなって、再生専用領域と記録再生領域とのグ
ルーブトラックの再生信号がほぼ等しい再生信号とし
て、再生専用領域と記録再生領域とのランドトラックの
再生信号がほぼ等しい再生信号としてドライブに検知さ
れる。Therefore, the groove tracks of the read-only area and the recording / playback area have substantially the same degree of modulation, and the land tracks of the read-only area and the recording / playback area have substantially the same degree of modulation, and the read-only area and the record / playback area are the same. The drive detects the read signals of the groove track of the area and the read signals of the land track of the read-only area and the read / write area as substantially the same.
【0027】請求項3記載の発明は、請求項1又は2記
載の光情報記録媒体において、再生専用領域と記録再生
領域とのグルーブトラックは深さをほぼ等しく形成さ
れ、再生専用領域のランドプリピットはその深さがグル
ーブトラックの深さにほぼ等しくなるように形成され
て、再生専用領域のグルーブプリピットは再生専用領域
のグルーブトラックの深さを部分的に深くして形成され
ているしたがって、再生専用領域と記録再生領域とに形
成されるピット/グルーブの深さが2種類となる。According to a third aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the first or second aspect, the groove tracks of the read-only area and the recording / playback area are formed to have substantially the same depth, and the land pre-recording of the read-only area is performed. The pits are formed so that the depth thereof is almost equal to the depth of the groove track, and the groove pre-pits of the read-only area are formed by partially deepening the depth of the groove track of the read-only area. The depths of pits / grooves formed in the reproduction-only area and the recording / reproduction area are two types.
【0028】請求項4記載の発明は、請求項3記載の光
情報記録媒体において、再生専用領域のランドトラック
と再生専用領域のグルーブトラックとの変調度がほぼ等
しくなるようにグルーブプリピット深さが設定されてい
る。According to a fourth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the third aspect, the groove prepit depth is set so that the land tracks of the read-only area and the groove tracks of the read-only area have substantially the same degree of modulation. Is set.
【0029】したがって、再生専用領域のランドトラッ
クと再生専用領域のグルーブトラックとの変調度がほぼ
等しくなり、再生専用領域と記録再生領域とのトラック
の再生信号がほぼ等しい再生信号としてドライブに検知
される。Therefore, the land tracks in the reproduction-only area and the groove tracks in the reproduction-only area have substantially the same degree of modulation, and the reproduction signals of the tracks of the reproduction-only area and the recording / reproduction area are detected by the drive as substantially equal reproduction signals. It
【0030】請求項5記載の発明は、請求項4記載の光
情報記録媒体において、再生専用領域のランドプリピッ
ト深さ及びグルーブトラック深さがレーザビームの波長
をλとしてλ/7〜λ/5.5の範囲で設定されてお
り、再生専用領域のグルーブプリピット深さがλ/4.
5〜λ/4で設定されている。According to a fifth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the fourth aspect, the land prepit depth and the groove track depth of the read-only area are λ / 7 to λ /, where the wavelength of the laser beam is λ. It is set in the range of 5.5, and the groove prepit depth of the reproduction-only area is λ / 4.
It is set at 5 to λ / 4.
【0031】したがって、再生専用領域のプリピットと
記録再生領域のピットとの変調度が等しくなり、クロス
トークノイズが除去されて、再生専用領域のトラックの
再生信号と記録再生領域のトラックの再生信号とがほぼ
等しい再生信号としてドライブに検知される。Therefore, the prepits in the reproduction-only area and the pits in the recording / reproduction area have the same degree of modulation, crosstalk noise is removed, and the reproduction signal of the track in the reproduction-only area and the reproduction signal of the track in the recording / reproduction area are removed. Are detected by the drive as reproduced signals having substantially equal values.
【0032】請求項6記載の発明は、請求項1ないし5
のいずれか一記載の光情報記録媒体において、再生専用
領域と記録再生領域とが同一トラック上に連続して形成
されている。The invention according to claim 6 is the invention according to claims 1 to 5.
In the optical information recording medium described in any one of 1, the read-only area and the recording / playback area are continuously formed on the same track.
【0033】したがって、再生専用領域と記録再生領域
との境界を判断するギャップ等の領域が存在しない。Therefore, there is no area such as a gap for judging the boundary between the reproduction-only area and the recording / reproduction area.
【0034】請求項7記載の発明は、請求項1ないし6
のいずれか一記載の光情報記録媒体において、再生専用
領域と記録再生領域とのトラックピッチがほぼ等しい。The invention according to claim 7 is the invention according to claims 1 to 6.
In the optical information recording medium described in any one of the above 1, the read-only area and the recording / reproducing area have substantially the same track pitch.
【0035】したがって、再生時にピッチ送りを変更す
るために再生専用領域と記録再生領域との境界を判断す
るギャップ等の領域を設ける必要がない。Therefore, it is not necessary to provide an area such as a gap for judging the boundary between the reproduction-only area and the recording / reproducing area in order to change the pitch feed during reproduction.
【0036】請求項8記載の発明は、請求項7記載の光
情報記録媒体において、再生専用領域のピット幅が再生
専用領域のトラック幅より狭い。According to an eighth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the seventh aspect, the pit width of the read-only area is narrower than the track width of the read-only area.
【0037】したがって、クロストークノイズが低減さ
れる。Therefore, crosstalk noise is reduced.
【0038】請求項9記載の発明は、請求項8記載の光
情報記録媒体において、再生専用領域のグルーブトラッ
ク幅がグルーブプリピット部分で狭くなっている。According to a ninth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the eighth aspect, the groove track width of the read-only area is narrowed at the groove prepit portion.
【0039】したがって、再生専用領域のグルーブトラ
ック幅をグルーブプリピット部分のみ狭くすることによ
って再生専用領域のグルーブトラック幅全体を変えるこ
となく狭く急峻なグルーブプリピットが形成される。Therefore, by narrowing the groove track width of the read-only area only in the groove prepit portion, a narrow and steep groove prepit is formed without changing the entire groove track width of the read-only area.
【0040】請求項10記載の発明は、請求項7記載の
光情報記録媒体において、再生専用領域のグルーブトラ
ック幅が記録再生領域のトラック幅より狭くなってい
る。According to a tenth aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the seventh aspect, the groove track width of the read-only area is narrower than the track width of the recording / reproducing area.
【0041】したがって、グルーブプリピットがトラッ
クに直交する半径方向へ広がることが防止され、急峻な
ピットが形成される。Therefore, the groove pre-pits are prevented from spreading in the radial direction orthogonal to the track, and steep pits are formed.
【0042】請求項11記載の発明は、請求項10記載
の光情報記録媒体において、再生専用領域のグルーブト
ラック幅が再生専用領域のグルーブプリピット幅にほぼ
等しい。According to an eleventh aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the tenth aspect, the groove track width of the read-only area is substantially equal to the groove prepit width of the read-only area.
【0043】したがって、グルーブトラック幅がグルー
ブプリピット幅に合わせられ、グルーブプリピットがト
ラックに直交する半径方向へ広がることが防止されて、
急峻なピットが形成される。Therefore, the groove track width is matched with the groove prepit width, and the groove prepits are prevented from spreading in the radial direction orthogonal to the track.
A steep pit is formed.
【0044】請求項12記載の発明は、請求項11記載
の光情報記録媒体において、再生専用領域のグルーブト
ラック幅がグルーブトラックとグルーブプリピットとの
境界部分で狭くなっている。According to a twelfth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the eleventh aspect, the groove track width of the read-only area is narrowed at the boundary between the groove track and the groove prepit.
【0045】したがって、グルーブプリピットがトラッ
クに沿って円周方向へ広がることが防止され、急峻なピ
ットが形成される。Therefore, the groove pre-pits are prevented from spreading in the circumferential direction along the track, and steep pits are formed.
【0046】請求項13記載の発明は、請求項11記載
の光情報記録媒体において、再生専用領域のグルーブプ
リピットのグルーブトラックとの境界部分のエッジに凸
部が形成されている。According to a thirteenth aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the eleventh aspect, a convex portion is formed at an edge of a boundary portion between the groove prepit and the groove track in the read-only area.
【0047】したがって、グルーブプリピットのエッジ
が検出されやすくなる。Therefore, the edges of the groove prepits are easily detected.
【0048】請求項14記載の発明は、基板上に第1の
フォトレジスト層を形成して、第1のフォトレジスト層
上に現像液に溶解しないで記録光に対して透過性を有す
る中間層を形成して、中間層上に第2のフォトレジスト
層を形成したものに、第2のフォトレジスト層側から第
2のフォトレジスト層のみを感光させる第1の記録光と
第1のフォトレジスト層及び第2のフォトレジスト層の
両方を感光させる第2の記録光とを照射して、潜像後
に、第2のフォトレジスト層の現像、中間層のエッチィ
ング、第1のフォトレジストの現像を順次行うことによ
って原盤を製造する原盤の製造方法において、第1の記
録光によって第2のフォトレジスト層にグルーブトラッ
クとなる第1の潜像と第2の記録光によって第1のフォ
トレジスト層及び第2のフォトレジスト層にグルーブプ
リピットとなる第2の潜像とを原盤の円周方向へ交互に
形成した。According to a fourteenth aspect of the present invention, the first photoresist layer is formed on the substrate, and the intermediate layer which is transparent to recording light without being dissolved in a developing solution on the first photoresist layer. And a second photoresist layer formed on the intermediate layer, the first recording light and the first photoresist for exposing only the second photoresist layer from the second photoresist layer side. A second recording light that sensitizes both the layer and the second photoresist layer is irradiated to develop a second photoresist layer, an intermediate layer is etched, and a first photoresist is developed after the latent image. In the method of manufacturing a master, the first latent image serving as a groove track on the second photoresist layer by the first recording light and the first photoresist layer by the second recording light. And the A second latent image as a groove prepits formed alternately in the circumferential direction of the master to the photoresist layer.
【0049】したがって、深さの異なる2種類の潜像が
円周方向に交互に形成される。Therefore, two types of latent images having different depths are alternately formed in the circumferential direction.
【0050】請求項15記載の発明は、請求項14記載
の原盤の製造方法において、交互に形成された第1の潜
像と第2の潜像とが連続して形成されている。According to a fifteenth aspect of the present invention, in the method of manufacturing a master according to the fourteenth aspect, the alternately formed first latent images and second latent images are formed continuously.
【0051】したがって、潜像が連続して繋がり、グル
ーブトラックが形成される。Therefore, the latent images are continuously connected to form a groove track.
【0052】[0052]
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態の光情報記
録媒体である光ディスクについて、図1ないし図5に基
づいて説明する。本実施の形態における光ディスクは、
パーシャルROMである。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An optical disc as an optical information recording medium according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. The optical disc in this embodiment is
It is a partial ROM.
【0053】図1は、本実施の形態のパーシャルROM
1の概観平面図である。パーシャルROM1は、記録ト
ラックである凹状のグルーブトラックGと凸状のランド
トラックLとが半径方向へ交互に配列された円盤状のも
のである。このパーシャルROM1には、ランドトラッ
クL及びグルーブトラックGの両方に情報データを予め
記録した再生専用領域2と、ランドトラックL及びグル
ーブトラックGの両方に情報データを記録できる記録再
生領域3とが設けられている。本実施の形態において
は、再生専用領域2がパーシャルROM1の内周部に形
成されているが、これに限るものではない。FIG. 1 is a partial ROM of this embodiment.
1 is a schematic plan view of FIG. The partial ROM 1 is a disk-shaped one in which concave groove tracks G which are recording tracks and convex land tracks L are alternately arranged in the radial direction. The partial ROM 1 is provided with a read-only area 2 in which information data is pre-recorded on both the land track L and the groove track G, and a recording / playback area 3 capable of recording information data on both the land track L and the groove track G. Has been. In the present embodiment, the reproduction-only area 2 is formed on the inner peripheral portion of the partial ROM 1, but the present invention is not limited to this.
【0054】図2は、パーシャルROM1の層構成を示
すA−A断面図である。図2に示すように、表面にグル
ーブトラックG及びランドトラックLが形成された透明
基板4上に情報データが記録される記録層5が形成され
ている。この記録層5の上に反射率を高める反射層6が
形成され、この反射層6の上に傷や湿気等から保護する
保護層7が形成されている。ここで、記録層5の上面及
び下面には、記録特性を調整又は向上させる誘電体層等
を形成しても良い。また、透明基板4は、ガラス又は樹
脂等によって形成されている。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA showing the layer structure of the partial ROM 1. As shown in FIG. 2, a recording layer 5 for recording information data is formed on a transparent substrate 4 having groove tracks G and land tracks L formed on the surface. A reflective layer 6 that enhances the reflectance is formed on the recording layer 5, and a protective layer 7 that protects from scratches and moisture is formed on the reflective layer 6. Here, a dielectric layer or the like for adjusting or improving the recording characteristics may be formed on the upper surface and the lower surface of the recording layer 5. The transparent substrate 4 is made of glass or resin.
【0055】記録層5は、Ag、In、Sn、Te等を
主成分とした相変化型材料等でスパッタリング等によっ
て形成されている。相変化型材料は、加熱後に徐冷する
と結晶状態になり、溶融後に急冷すると非結晶状態とな
る性質を持っている。そして、この相変化型材料には可
逆性があるので、記録層5は結晶状態と非結晶状態とに
可逆的に変化する。The recording layer 5 is made of a phase change material containing Ag, In, Sn, Te or the like as a main component by sputtering or the like. The phase change material has a property of becoming a crystalline state when gradually cooled after being heated and becoming an amorphous state when rapidly cooled after being melted. Since the phase change material is reversible, the recording layer 5 reversibly changes between a crystalline state and an amorphous state.
【0056】また、本実施の形態においては、記録層5
として相変化型材料を使用したが、これに限るものでは
なく、例えば、高強度のレーザビームの熱により融解す
る色素等を使用しても良い。Further, in the present embodiment, the recording layer 5
Although the phase change material is used as the material, the material is not limited to this, and for example, a dye or the like that is melted by heat of a high-intensity laser beam may be used.
【0057】反射層6は、金属で構成され、材料として
は、Au、Al、Ti、Ni等の単体あるいはこれらの
合金を用いることができる。なお、反射層6は形成され
なくても構わない。保護層7は、紫外線硬化樹脂で形成
されている。The reflection layer 6 is made of metal, and as a material thereof, a simple substance such as Au, Al, Ti, or Ni or an alloy thereof can be used. The reflective layer 6 may not be formed. The protective layer 7 is made of an ultraviolet curable resin.
【0058】このような層構成で形成されたパーシャル
ROM1において、記録再生領域3では、照射するレー
ザビームの強度を変えて記録層5の結晶状態と非結晶状
態とを可逆的に変化させることによって、ピットである
記録マークが形成されて情報データが記録される(以
下、記録再生領域のピットを記録マークとする)。そし
て、結晶状態と非結晶状態とでは光の反射率が異なるの
で、結晶状態を変化させない弱いレーザビームを照射し
て反射光を検出することによって、記録してある情報デ
ータを読むことができる。また、再生専用領域2では、
予め記録トラックにプリピットであるピットを形成する
ことによって(以下、再生専用領域のプリピットをピッ
トとする)、情報データが記録される。そして、ピット
の有り無しによって光の反射率が異なるので、レーザビ
ームを照射して反射光を検出することによって、記録し
てある情報データを読むことができる。In the partial ROM 1 having such a layer structure, in the recording / reproducing area 3, the intensity of the laser beam applied is changed to reversibly change the crystalline state and the amorphous state of the recording layer 5. , A recording mark which is a pit is formed and information data is recorded (hereinafter, the pit in the recording / reproducing area is a recording mark). Since the light reflectance differs between the crystalline state and the amorphous state, the recorded information data can be read by irradiating a weak laser beam that does not change the crystalline state and detecting the reflected light. In the reproduction-only area 2,
Information data is recorded by forming pits that are pre-pits in the recording track in advance (hereinafter, pre-pits in the reproduction-only area are referred to as pits). Since the light reflectance varies depending on the presence or absence of pits, the recorded information data can be read by irradiating the laser beam and detecting the reflected light.
【0059】このようにして、再生専用領域2と一部の
記録再生領域3とに情報データが記録されたパーシャル
ROM1について説明する。The partial ROM 1 in which information data is recorded in the reproduction-only area 2 and a part of the recording / reproduction area 3 in this way will be described.
【0060】図3は、パーシャルROM1の再生専用領
域2と記録再生領域3との境界付近を示し、(a)は平
面拡大図、(b)は透明基板4のB−B断面図である。
ここで、深さの基準面は透明基板4の表面で、B−B断
面図には透明基板4上に形成された層は図示されていな
い。図4は、ピット深さとランドピットLP又はグルー
ブピットGPの変調度との関係を示すグラフである。図
5は、ピット深さとプッシュプル信号との関係を示すグ
ラフである。3A and 3B show the vicinity of the boundary between the reproduction-only area 2 and the recording / reproduction area 3 of the partial ROM 1, where FIG. 3A is an enlarged plan view and FIG. 3B is a sectional view taken along line BB of the transparent substrate 4.
Here, the depth reference plane is the surface of the transparent substrate 4, and the layer formed on the transparent substrate 4 is not shown in the BB sectional view. FIG. 4 is a graph showing the relationship between the pit depth and the modulation degree of the land pit LP or the groove pit GP. FIG. 5 is a graph showing the relationship between the pit depth and the push-pull signal.
【0061】再生専用領域2及び記録再生領域3には、
トラック幅がほぼ1/2ピッチ幅であるグルーブトラッ
クGが形成されている。凹状のグルーブトラックGを形
成することで、トラック幅がほぼ1/2ピッチ幅である
凸状のランドトラックLも形成される。このグルーブト
ラックGの深さは、クロストークノイズ除去のためにλ
/7〜λ/5の範囲で設定される。In the reproduction-only area 2 and the recording / reproduction area 3,
A groove track G having a track width of about ½ pitch is formed. By forming the concave groove track G, a convex land track L having a track width of about ½ pitch is also formed. The depth of the groove track G is λ for removing crosstalk noise.
It is set in the range of / 7 to λ / 5.
【0062】再生専用領域2のランドトラックLには、
ランド記録マークLMが形成された記録再生領域3と再
生専用領域2との再生信号が同一ドライブで検出できる
程度に等しくなるようにランドピットLPが形成されて
いる。ランドピットLPの深さは、グルーブトラックG
の深さに等しくするため、λ/7〜λ/5の範囲で設定
する必要がある。In the land track L of the reproduction-only area 2,
The land pits LP are formed so that the reproduction signals of the recording / reproducing area 3 in which the land recording mark LM is formed and the reproduction-only area 2 are equal to the extent that they can be detected by the same drive. The depth of the land pit LP is the groove track G.
In order to make it equal to the depth of, it is necessary to set in the range of λ / 7 to λ / 5.
【0063】そして、再生専用領域2のランドピットL
Pの変調度は記録再生領域3のランド記録マークLMの
変調度(55〜70%程度)に相当する必要があるの
で、図4に示すように、ランドピットLPの深さをλ/
7.5〜λ/5.5の範囲で設定する必要がある。The land pit L of the reproduction-only area 2
Since the modulation factor of P must correspond to the modulation factor (about 55 to 70%) of the land recording mark LM in the recording / reproducing area 3, as shown in FIG. 4, the depth of the land pit LP is λ /
It is necessary to set in the range of 7.5 to λ / 5.5.
【0064】つまり、ランドピットLPの深さは、λ/
7〜λ/5.5の範囲で設定される。ここで、本実施の
形態において、グルーブトラックG及びランドピットL
Pは、共に深さをt1=λ/6として形成されている。That is, the depth of the land pit LP is λ /
It is set in the range of 7 to λ / 5.5. Here, in the present embodiment, the groove track G and the land pit L are used.
Both Ps are formed with a depth t1 = λ / 6.
【0065】再生専用領域2のグルーブトラックGに
は、グルーブ記録マークGMが形成された記録再生領域
3と再生専用領域2との再生信号が同一ドライブで検出
できる程度に等しくなるようにグルーブピットGPが形
成されている。この再生専用領域2のグルーブピットG
Pの深さは、記録再生領域3のグルーブトラックGの深
さより深い。In the groove track G of the read-only area 2, the groove pit GP is formed so that the read / write area 3 in which the groove recording mark GM is formed and the read-only area 2 are equal to the extent that they can be detected by the same drive. Are formed. Groove pit G in the reproduction-only area 2
The depth of P is deeper than the depth of the groove track G in the recording / reproducing area 3.
【0066】図4に示すように、再生専用領域2のグル
ーブピットGPの変調度は記録再生領域3のグルーブ記
録マークGMの変調度(55〜70%程度)に相当する
必要があるので、ピット深さをλ/4.5〜λ/3.5
の範囲で設定する必要がある。As shown in FIG. 4, since the modulation degree of the groove pit GP in the reproduction-only area 2 needs to correspond to the modulation degree (about 55 to 70%) of the groove recording mark GM in the recording / reproduction area 3, the pit Depth is λ / 4.5 to λ / 3.5
It is necessary to set within the range.
【0067】ここで、図4のランドピットLPのグラフ
とグルーブピットGPのグラフが異なっているが、これ
は、グルーブピットGPの変調度がグルーブピットGP
間のグルーブトラックGの影響を受けるので、ランドピ
ットLPに比べグルーブピットGPをより深くする必要
があるためである。Here, the graph of the land pit LP and the graph of the groove pit GP in FIG. 4 are different, but this is because the modulation degree of the groove pit GP is different from that of the groove pit GP.
This is because the groove pit GP must be deeper than the land pit LP because it is affected by the groove track G between them.
【0068】また、図5に示すように、ピットが深くな
りすぎると、トラッキング誤差信号であるプッシュプル
信号は低下する。ピットのみのプッシュプル信号に比べ
ると、グルーブピットGPのプッシュプル信号は再生専
用領域2のグルーブトラックGによって改善されるが、
それでもグルーブピットGPの深さをλ/4以下で設定
する必要がある。Further, as shown in FIG. 5, if the pit becomes too deep, the push-pull signal, which is a tracking error signal, decreases. The push-pull signal of the groove pit GP is improved by the groove track G of the reproduction-only area 2 as compared with the push-pull signal of only the pit.
Still, it is necessary to set the depth of the groove pit GP to be λ / 4 or less.
【0069】つまり、グルーブピットGPの深さは、λ
/4.5〜λ/4程度の範囲で設定される。ここで、本
実施の形態において、グルーブピットGPは、深さをt
2=λ/4.5として形成されている。That is, the depth of the groove pit GP is λ
It is set in the range of about /4.5 to λ / 4. Here, in the present embodiment, the groove pit GP has a depth of t.
It is formed as 2 = λ / 4.5.
【0070】そして、再生専用領域2と記録再生領域3
との境界部分に境界を判断するギャップ等の領域は形成
されていない。また、再生専用領域2と記録再生領域3
とのトラックピッチは同じである。これらは、再生時に
再生専用領域2と記録再生領域3とを区別することなく
再生を行うため必要な構成である。Then, the reproduction-only area 2 and the recording / reproduction area 3
A region such as a gap for judging the boundary is not formed at the boundary part between and. In addition, a reproduction-only area 2 and a recording / reproduction area 3
And have the same track pitch. These are necessary configurations for performing reproduction without distinguishing the reproduction-only area 2 and the recording / reproduction area 3 during reproduction.
【0071】本実施の形態のパーシャルROM1におい
ては、ランドピットLPの深さをλ/7〜λ/5.5の
範囲で設定し、グルーブピットGPの深さをλ/4.5
〜λ/4程度の範囲で設定して、ランド記録マークLM
が形成された記録再生領域3と再生専用領域2との再生
信号が同一ドライブで検出できる程度に等しくなるよう
にランドピットLPを再生専用領域のランドトラックL
に形成し、グルーブ記録マークGMが形成された記録再
生領域3と再生専用領域2との再生信号が同一ドライブ
で検出できる程度に等しくなるようにグルーブピットG
Pを再生専用領域2のグルーブトラックGに形成して、
さらに、再生専用領域2と記録再生領域3との境界部分
に境界を判断するギャップ等の領域を形成せずに再生専
用領域2と記録再生領域3とのトラックピッチを同じに
することによって、ピットと記録マークとの変調度が同
一ドライブで検出できる程度に等しくなり、クロストー
クノイズが除去されて、再生専用領域2のピットの再生
信号と記録再生領域3の記録マークの再生信号とがほぼ
等しい再生信号としてドライブに検知されるので、再生
時に再生専用領域2と記録再生領域3とを区別する必要
やドライブに特別な機能の追加や条件設定の変更等をす
る必要がなく、記録再生領域3だけを有するランド/グ
ルーブ記録方式の光情報記録媒体を再生するドライブに
よって情報データの再生ができる。In the partial ROM 1 of this embodiment, the depth of the land pit LP is set in the range of λ / 7 to λ / 5.5, and the depth of the groove pit GP is λ / 4.5.
To land recording mark LM
The land pits LP are arranged in the read-only area so that the read signals of the read-write area 3 and the read-only area 2 in which the marks are formed are equal to the extent that they can be detected by the same drive.
The groove pit G is formed so that the reproduction signals of the recording / reproduction area 3 and the reproduction-only area 2 in which the groove recording mark GM is formed are equal to the extent that they can be detected by the same drive.
P is formed on the groove track G of the reproduction-only area 2,
Further, the track pitches of the read-only area 2 and the recording / playback area 3 are made to be the same without forming an area such as a gap for determining a boundary at the boundary portion between the read-only area 2 and the recording / playback area 3 And the recording marks have the same degree of modulation that can be detected by the same drive, crosstalk noise is removed, and the reproduction signal of the pits in the reproduction-only area 2 and the reproduction signal of the recording marks in the recording / reproduction area 3 are substantially equal. Since it is detected by the drive as a reproduction signal, there is no need to distinguish the reproduction-only area 2 from the recording / reproduction area 3 during reproduction, and it is not necessary to add a special function to the drive or change the condition setting. The information data can be reproduced by the drive for reproducing the optical information recording medium of the land / groove recording system having only the above.
【0072】本実施の形態のパーシャルROM1におい
て、グルーブトラックG及びランドピットLPは深さを
t1=λ/6として形成され、グルーブピットGPは深
さをt2=λ/4.5として形成されていることによっ
て、再生専用領域2と記録再生領域3とに形成されるピ
ット/グルーブの深さが2種類となるので、原盤を製造
する場合に、基板上に形成される層が2層で良く、製造
工程を増やすことなく容易に原盤を製造することができ
る。In the partial ROM 1 of this embodiment, the groove track G and the land pit LP are formed with a depth of t1 = λ / 6, and the groove pit GP is formed with a depth of t2 = λ / 4.5. Since the pits / grooves formed in the reproduction-only area 2 and the recording / reproduction area 3 have two types, the number of layers formed on the substrate may be two when the master is manufactured. The master can be easily manufactured without increasing the number of manufacturing steps.
【0073】[0073]
【実施例】上記本実施の形態に基づいて、より具体的な
第1ないし4の実施例について説明する。第1の実施例
においては、比較例についても説明する。本実施の形態
において説明した部分と同一部分は同一符号で示し、説
明も省ほぼする(以下の実施例においても同じであ
る)。EXAMPLES Based on the above-described embodiment, more specific first to fourth examples will be described. A comparative example will also be described in the first example. The same parts as those described in the present embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted (the same applies to the following embodiments).
【0074】<第1の実施例>第1の実施例のパーシャ
ルROM1について図6、図7及び図8に基づいて説明
する。図6は、本実施例における原盤の記録再生領域3
と再生専用領域2との境界付近を示す平面拡大図であ
る。図7は、本実施例における露光量とレジスト層との
関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光量
グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のC−C断面
図、(d)はグルーブピットGPが形成されたレジスト
層のC−C断面図である。図中のx、y、zはそれぞれ
露光量を示す記号である(以下に示す露光量グラフにお
いても同様である)。図8は、本実施例における露光量
とレジスト層との関係を示し、(a)はランドピットビ
ームの露光量グラフ、(b)は潜像が形成されたレジス
ト層のD−D断面図、(c)はランドピットLPが形成
されたレジスト層のD−D断面図である。<First Embodiment> The partial ROM 1 of the first embodiment will be described with reference to FIGS. 6, 7 and 8. FIG. 6 shows the recording / reproducing area 3 of the master in this embodiment.
FIG. 6 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the reproduction-only area 2 and 7A and 7B show the relationship between the exposure dose and the resist layer in the present embodiment. FIG. 7A is an exposure dose graph of a groove track beam, FIG. 7B is an exposure dose graph of a groove pit beam, and FIG. 7C is a latent image. 6C is a sectional view of the formed resist layer, and FIG. 6D is a sectional view of the resist layer in which the groove pit GP is formed. In the figure, x, y, and z are symbols indicating the exposure amount (the same applies to the exposure amount graph shown below). FIG. 8 shows the relationship between the exposure dose and the resist layer in this example, (a) is a land pit beam exposure dose graph, (b) is a sectional view of the resist layer on which a latent image is formed, taken along the line D-D. (C) is DD sectional drawing of the resist layer in which the land pit LP was formed.
【0075】原盤8には、従来技術の原盤8の製造方法
と同様に、円板状の基板9上に第1のフォトレジスト層
10が形成され、第2のフォトレジスト層11が中間層
12を介して形成されたもの(図8(b)参照)を使用
した。In the master 8, the first photoresist layer 10 is formed on the disk-shaped substrate 9, and the second photoresist layer 11 is the intermediate layer 12 as in the conventional method of manufacturing the master 8. What was formed through (see FIG. 8B) was used.
【0076】第2のフォトレジスト層11と中間層12
とは、第2のフォトレジスト層11表面からのグルーブ
トラックGの深さがλ/6になるように、2つの層の厚
さの合計がλ/6で形成されている。そして、第1のフ
ォトレジスト層10は、第2のフォトレジスト層11表
面からのグルーブピットGPの深さがλ/4.5になる
ように、厚さがλ/4.5−λ/6で形成されている
(以下、深さの基準は第2のフォトレジスト層11表面
である)。Second photoresist layer 11 and intermediate layer 12
Means that the total thickness of the two layers is λ / 6 so that the depth of the groove track G from the surface of the second photoresist layer 11 is λ / 6. The thickness of the first photoresist layer 10 is λ / 4.5-λ / 6 so that the depth of the groove pit GP from the surface of the second photoresist layer 11 is λ / 4.5. (Hereinafter, the reference for the depth is the surface of the second photoresist layer 11).
【0077】また、原盤8に照射する記録光であるレー
ザビームとしては、グルーブトラックGを形成するグル
ーブトラックビーム、グルーブピットGPを形成するグ
ルーブピットビーム、ランドピットLPを形成するラン
ドピットビームの3つのレーザビームを使用した。As the laser beam which is the recording light for irradiating the master 8, a groove track beam for forming the groove track G, a groove pit beam for forming the groove pit GP, and a land pit beam for forming the land pit LP are used. Two laser beams were used.
【0078】これらのレーザビームは、第2のフォトレ
ジスト層11側から照射するように原盤8から離反して
固定されて設けられている。そして、原盤8がモータに
より回転している際にレーザビームを照射することによ
って、ピット/グルーブが形成される。These laser beams are provided so as to be separated from the master 8 and fixed so as to be irradiated from the second photoresist layer 11 side. Then, a pit / groove is formed by irradiating a laser beam while the master 8 is being rotated by a motor.
【0079】さらに、グルーブトラックビームとグルー
ブピットビームとは、原盤8の同一円上に配設され、ラ
ンドピットビームは、グルーブビームとグルーブピット
ビームとが配設された円上から外周方向へ1/2ピッチ
幅離れた円上に設けられている。本実施の形態におい
て、この1/2ピッチ幅は0.75μmであるが、これ
に限るものではない。また、グルーブトラックビーム
は、グルーブピットビーム、ランドピットビームに比
べ、ビームスポット径が大きいので、ピット幅より広い
幅を持つグルーブが形成できる。Further, the groove track beam and the groove pit beam are arranged on the same circle of the master 8, and the land pit beam is 1 in the outer circumferential direction from the circle on which the groove beam and the groove pit beam are arranged. They are provided on circles separated by a pitch width of / 2. In the present embodiment, the ½ pitch width is 0.75 μm, but it is not limited to this. Since the groove track beam has a larger beam spot diameter than the groove pit beam and the land pit beam, it is possible to form a groove having a width wider than the pit width.
【0080】このような構成において、図6に示すよう
な原盤8が製造される。この原盤8を製造する製造方法
は、露光量を変化させたレーザビームを原盤8に照射し
て、フォトレジスト層10、11を感光させて潜像13
を形成し、現像、エッチング、現像を順次行うものであ
る。With this structure, the master 8 as shown in FIG. 6 is manufactured. In the manufacturing method of manufacturing the master 8, the master 8 is irradiated with a laser beam having a changed exposure amount, and the photoresist layers 10 and 11 are exposed to light to form a latent image 13.
Are formed, and development, etching, and development are sequentially performed.
【0081】まず、第2のフォトレジスト層11を感光
させる第1の記録光であるグルーブトラックビームを図
7(a)のように変調させて原盤8に照射して、図7
(c)に示すように、第2のフォトレジスト層11にグ
ルーブトラックGとなる潜像13aを形成した。ここ
で、グルーブトラックピッチは1.5μmである。First, a groove track beam, which is the first recording light for exposing the second photoresist layer 11 to light, is modulated as shown in FIG.
As shown in (c), a latent image 13a serving as a groove track G was formed on the second photoresist layer 11. Here, the groove track pitch is 1.5 μm.
【0082】そして、グルーブトラックビームの露光量
を再生専用領域2と記録再生領域3とで変化させること
によって、再生専用領域2のグルーブ幅を0.65μm
とし、記録再生領域3のグルーブ幅を0.75μmにし
た。ここで、再生専用領域2の露光量の方が記録再生領
域3の露光量より少ない。By changing the exposure amount of the groove track beam between the read-only area 2 and the recording / playback area 3, the groove width of the read-only area 2 is 0.65 μm.
The groove width of the recording / reproducing area 3 was set to 0.75 μm. Here, the exposure amount of the reproduction-only area 2 is smaller than the exposure amount of the recording / reproduction area 3.
【0083】次に、第1のフォトレジスト層10を感光
させるグルーブピットビームを図7(b)のように変調
させて原盤8に照射して、図7(c)に示すように、第
1のフォトレジスト層10にグルーブピットGPとなる
潜像13bを形成した。Next, a groove pit beam that exposes the first photoresist layer 10 is modulated as shown in FIG. 7B and irradiated on the master 8 to produce the first photoresist as shown in FIG. 7C. A latent image 13b to be the groove pit GP was formed on the photoresist layer 10 of FIG.
【0084】また、第2のフォトレジスト層11を感光
させる第1の記録光であるランドピットビームを図8
(a)のように変調させて原盤8に照射して、図8
(b)に示すように、ランドトラックLとなる第2のフ
ォトレジスト層11にランドピットLPとなる潜像13
cを形成した。The land pit beam, which is the first recording light for exposing the second photoresist layer 11 to light, is shown in FIG.
As shown in FIG.
As shown in (b), the latent image 13 which becomes the land pit LP is formed on the second photoresist layer 11 which becomes the land track L.
c was formed.
【0085】最後に、潜像後の原盤8に対して、第2の
フォトレジスト層11の現像、中間層12のエッチン
グ、第1のフォトレジスト層10の現像を行うことによ
って、フォトレジスト層10、11の潜像13部分が除
去されて、図7(d)及び図8(c)のように、表面に
レジスト残部による凹凸状のピット/グルーブが形成さ
れる。Finally, by developing the second photoresist layer 11, etching the intermediate layer 12, and developing the first photoresist layer 10 on the master 8 after the latent image, the photoresist layer 10 is formed. , 11 of the latent image 13 are removed, and as shown in FIGS. 7D and 8C, uneven pits / grooves are formed on the surface by the remaining resist.
【0086】これにより、原盤8には、第2のフォトレ
ジスト層11の上面から第1のフォトレジスト層10の
上面までの深さλ/6のランドピットLP及びグルーブ
トラックGと、第2のフォトレジスト層11の上面から
第1のフォトレジスト層10の下面までの深さλ/4.
5のグルーブピットGPとが存在することになる。As a result, the master 8 has land pits LP and groove tracks G having a depth λ / 6 from the upper surface of the second photoresist layer 11 to the upper surface of the first photoresist layer 10, and the second Depth λ / 4. From the upper surface of the photoresist layer 11 to the lower surface of the first photoresist layer 10.
There will be 5 groove pits GP.
【0087】図6に示す原盤8の再生専用領域2におい
て、グルーブトラックは幅が0.65μmで深さがλ/
6になり、ランドトラックは幅が0.85μmになって
いる。そして、グルーブピットは幅が0.60μmで深
さがλ/4.5になり、ランドピットは幅が0.53μ
mで深さがλ/6になっている。In the reproduction-only area 2 of the master 8 shown in FIG. 6, the groove track has a width of 0.65 μm and a depth of λ /.
6 and the width of the land track is 0.85 μm. The groove pit has a width of 0.60 μm and the depth is λ / 4.5, and the land pit has a width of 0.53 μm.
The depth is λ / 6 at m.
【0088】ここで、グルーブピットビーム信号のデュ
ーティー比(Duty ratio)をランドピットビーム信号の
デューティー比の90%にすることによって、再生専用
領域のグルーブピットは幅が0.60μmになり、再生
専用領域のランドピットLPの再生信号とほぼ等しいグ
ルーブピットGPの再生信号が得られた。Here, by setting the duty ratio of the groove pit beam signal to 90% of the duty ratio of the land pit beam signal, the width of the groove pit in the reproduction-only area becomes 0.60 μm, and the reproduction-only area becomes 0.60 μm. A reproduction signal of the groove pit GP which is almost the same as the reproduction signal of the land pit LP in the area was obtained.
【0089】また、記録再生領域3において、グルーブ
トラックは幅が0.75μmで深さがλ/6になり、ラ
ンドトラックは幅が0.75μmになっている。In the recording / reproducing area 3, the groove track has a width of 0.75 μm and the depth is λ / 6, and the land track has a width of 0.75 μm.
【0090】このように製造された原盤8に電鋳して、
原盤8上に形成された電鋳層を原盤8から剥離すること
によって、原盤8に形成された2種類の深さを持つピッ
ト/グルーブを表面に有する電鋳層であるスタンパが作
製される。そして、このスタンパを型として、インジェ
クション成型によって基板を作製し、基板上に記録層
5、反射層6、保護層7等を形成することによって、本
実施例のパーシャルROM1が製造される。The master 8 thus manufactured is electroformed,
By peeling the electroformed layer formed on the master 8 from the master 8, a stamper, which is an electroformed layer having pits / grooves having two kinds of depths formed on the master 8, is produced. Then, using this stamper as a mold, a substrate is manufactured by injection molding, and the recording layer 5, the reflection layer 6, the protective layer 7, and the like are formed on the substrate, whereby the partial ROM 1 of this embodiment is manufactured.
【0091】このように製造されたパーシャルROM1
に対し、λ=650nm、レンズの開口数NA=0.6
5のドライブを用いて、再生テストを行った。Partial ROM 1 manufactured in this way
Λ = 650 nm, lens numerical aperture NA = 0.6
A reproduction test was conducted using the No. 5 drive.
【0092】ここで、レーザビームのトラッキング制御
には、プッシュプル法を用いる。プッシュプル法とは、
光情報記録媒体からの反射光又は透過光を2つの受光領
域を有する2分割の光検出器によって検出して、両受光
領域で検出された光電流の差から光ディスク上のトラッ
クとレーザビームとの位置ズレを検出する方法である。Here, the push-pull method is used for the tracking control of the laser beam. What is the push-pull method?
Reflected light or transmitted light from the optical information recording medium is detected by a two-part photodetector having two light receiving areas, and the difference between the photocurrents detected in both light receiving areas is used to detect the difference between the track on the optical disc and the laser beam. This is a method of detecting positional deviation.
【0093】本実施例においては、再生専用領域2のグ
ルーブトラックG及びランドトラックLともに55〜6
0%程度の変調度が得られ、クロストークノイズも再生
に問題のないレベルであった。In this embodiment, both the groove track G and the land track L in the reproduction-only area 2 are 55 to 6
A modulation degree of about 0% was obtained, and the crosstalk noise was at a level at which there was no problem in reproduction.
【0094】さらに、本実施例においては、再生専用領
域2のグルーブトラック幅が記録再生領域3のトラック
幅より狭く、再生専用領域2のピット幅が再生専用領域
2のグルーブトラック幅にほぼ等しいことによって、グ
ルーブピットGPの半径方向への広がりを防ぎ、急峻な
ピットが形成されるので、グルーブピットGPのジッタ
を改善することができる。Further, in this embodiment, the groove track width of the read-only area 2 is narrower than the track width of the recording / playback area 3, and the pit width of the read-only area 2 is substantially equal to the groove track width of the read-only area 2. This prevents the groove pits GP from spreading in the radial direction and forms steep pits, so that the jitter of the groove pits GP can be improved.
【0095】<比較例>比較例として、第1の実施例と
同じ構成において、パーシャルROM1を製造した。比
較例の基本的なパーシャルROMの製造方法は、第1の
実施例と同じである。第1の実施例と異なる点は、グル
ーブトラックビームとグルーブピットビームとを重ねて
露光することである。<Comparative Example> As a comparative example, a partial ROM 1 was manufactured with the same structure as that of the first embodiment. The basic partial ROM manufacturing method of the comparative example is the same as that of the first embodiment. The difference from the first embodiment is that the groove track beam and the groove pit beam are overlapped for exposure.
【0096】これにより、原盤8の全面に、グルーブト
ラック幅0.75μmの溝を形成し、再生専用領域2の
グルーブトラックG及びランドトラックLにピットを形
成した。As a result, a groove having a groove track width of 0.75 μm was formed on the entire surface of the master 8 and pits were formed on the groove track G and the land track L in the reproduction-only area 2.
【0097】この場合には、グルーブピット幅が0.7
0μmになってしまい、グルーブピットビーム信号のデ
ューティー比をランドピットビーム信号のデューティー
比の75%にしたが、信号が短すぎて最短グルーブピッ
トGPの深さがλ/4.5よりも浅くなってしまい、良
好な再生信号が得られなかった(図4参照)。In this case, the groove pit width is 0.7
It became 0 μm, and the duty ratio of the groove pit beam signal was set to 75% of the duty ratio of the land pit beam signal, but the signal was too short and the depth of the shortest groove pit GP became shallower than λ / 4.5. As a result, a good reproduction signal could not be obtained (see FIG. 4).
【0098】<第2の実施例>第2の実施例のパーシャ
ルROM1について図9及び図10に基づいて説明す
る。図9は、本実施例における原盤8の記録再生領域3
と再生専用領域2との境界付近を示す平面拡大図であ
る。図10は、本実施例における露光量とレジスト層と
の関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光
量グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のE−E断面
図、(d)はグルーブピットGPが形成されたレジスト
層のE−E断面図である。<Second Embodiment> A partial ROM 1 according to a second embodiment will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. 9 shows the recording / reproducing area 3 of the master 8 in this embodiment.
FIG. 6 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the reproduction-only area 2 and FIG. 10 shows the relationship between the exposure dose and the resist layer in the present embodiment. (A) is an exposure dose graph of a groove track beam, (b) is an exposure dose graph of a groove pit beam, and (c) is a latent image. EE sectional view of the formed resist layer, (d) is an EE sectional view of the resist layer in which the groove pit GP is formed.
【0099】第1の実施例と同じ構成において、図9に
示すような原盤8が製造される。本実施例の基本的なパ
ーシャルROM1の製造方法は、第1の実施例と同じで
ある。第1の実施例と異なる点は、原盤8の製造方法に
おいて、グルーブトラックビームが図10(a)のよう
に、グルーブピットビームが図10(b)のように変調
されて、グルーブピットビーム照射時には、グルーブト
ラックビームが照射されないことである。A master 8 as shown in FIG. 9 is manufactured with the same structure as that of the first embodiment. The basic method of manufacturing the partial ROM 1 of this embodiment is the same as that of the first embodiment. The difference from the first embodiment is that in the manufacturing method of the master 8, the groove track beam is modulated as shown in FIG. 10A and the groove pit beam is modulated as shown in FIG. Sometimes the groove track beam is not illuminated.
【0100】まず、第2のフォトレジスト層11を感光
させる第1の記録光であるグルーブトラックビームを図
10(a)のように変調させて原盤8に照射して、図1
0(c)に示すように、第2のフォトレジスト層11に
グルーブトラックGとなる第1の潜像14aを形成し
た。First, a groove track beam, which is the first recording light for exposing the second photoresist layer 11 to light, is modulated as shown in FIG.
As shown in FIG. 0 (c), the first latent image 14a serving as the groove track G was formed on the second photoresist layer 11.
【0101】次に、第1のフォトレジスト層10及び第
2のフォトレジスト層11を感光させる第2の記録光で
あるグルーブピットビームを図10(b)のように変調
させて原盤8に照射して、図10(c)に示すように、
第1のフォトレジスト層10及び第2のフォトレジスト
層11にグルーブピットGPとなる第2の潜像15aを
形成した。ここで、ランドピットLPとなる潜像13c
は、第1の実施例と全く同じように形成されている(図
8参照)。Next, a groove pit beam, which is the second recording light for exposing the first photoresist layer 10 and the second photoresist layer 11 to light, is modulated as shown in FIG. Then, as shown in FIG.
A second latent image 15a to be the groove pit GP was formed on the first photoresist layer 10 and the second photoresist layer 11. Here, the latent image 13c that becomes the land pit LP
Are formed exactly as in the first embodiment (see FIG. 8).
【0102】最後に、潜像後の原盤8に対して、第2の
フォトレジスト層11の現像、中間層12のエッチン
グ、第1のフォトレジスト層10の現像を行うことによ
って、フォトレジスト層10、11の潜像14a、15
a部分が除去されて、図10(d)のように、表面にレ
ジスト残部による凹凸状のピット/グルーブが形成され
て、図9に示す原盤8の製造が完了する。この後に行わ
れるパーシャルROM1の製造方法及び再生テスト方法
は、第1の実施例と全く同じである。Finally, by developing the second photoresist layer 11, etching the intermediate layer 12, and developing the first photoresist layer 10 on the master 8 after the latent image, the photoresist layer 10 is formed. , 11 latent images 14a, 15
The portion a is removed, and as shown in FIG. 10D, uneven pits / grooves are formed on the surface by the remaining resist, and the manufacture of the master 8 shown in FIG. 9 is completed. The method of manufacturing the partial ROM 1 and the reproducing test method performed thereafter are exactly the same as in the first embodiment.
【0103】本実施例における原盤の第1の実施例と異
なる点は、図9に示すように、再生専用領域2のグルー
ブトラック幅が0.75μmになり、グルーブピットG
Pの幅が0.65μmになっていることである。つま
り、再生専用領域2のグルーブトラック幅がグルーブピ
ットGP部分で狭くなっていることである。The difference of the present embodiment from the first embodiment of the master is that, as shown in FIG. 9, the groove track width of the reproduction-only area 2 is 0.75 μm and the groove pit G
That is, the width of P is 0.65 μm. That is, the groove track width of the reproduction-only area 2 is narrowed in the groove pit GP portion.
【0104】本実施例においては、第1の記録光によっ
て第2のフォトレジスト層11にグルーブトラックGと
なる第1の潜像14aと第2の記録光によって第1のフ
ォトレジスト層10及び第2のフォトレジスト層11に
グルーブピットGPとなる第2の潜像15aとを原盤の
円周方向へ交互に連続して形成したことから、深さの異
なる2種類の潜像が原盤の円周方向へ交互に繋がって形
成されるので、急峻なグルーブピットGPを形成するこ
とができる。そして、潜像が連続して繋がり、グルーブ
トラックGが形成されるので、クロストークノイズが低
減したトラッキング制御ができる。In this embodiment, the first latent image 14a forming the groove track G on the second photoresist layer 11 by the first recording light and the first photoresist layer 10 and the first latent image 14a by the second recording light. Since the second latent images 15a to be the groove pits GP are alternately formed continuously in the circumferential direction of the master on the second photoresist layer 11, two types of latent images having different depths are formed on the circumference of the master. Since the grooves are alternately formed in the same direction, it is possible to form sharp groove pits GP. Since the latent images are continuously connected and the groove track G is formed, tracking control with reduced crosstalk noise can be performed.
【0105】また、再生専用領域2のグルーブトラック
幅をグルーブピットGP部分のみ狭くすることによって
再生専用領域2のグルーブトラック幅全体を変えること
なく狭く急峻なグルーブピットGPが形成されるので、
グルーブピットGPのジッタを改善することができる。Further, by narrowing the groove track width of the reproduction-only area 2 only in the groove pit GP portion, a narrow and steep groove pit GP is formed without changing the entire groove track width of the reproduction-only area 2.
It is possible to improve the jitter of the groove pit GP.
【0106】さらに、本実施例においては、クロストー
クノイズが第1の実施例に比べ若干悪化したが、再生に
は問題のないレベルであり、第1の実施例とほぼ等しい
変調度が得られた。Further, in the present embodiment, although the crosstalk noise is slightly worse than that of the first embodiment, it is at a level at which there is no problem in reproduction, and a modulation degree almost equal to that of the first embodiment can be obtained. It was
【0107】<第3の実施例>第3の実施例のパーシャ
ルROM1について図11及び図12に基づいて説明す
る。図11は、本実施例における原盤8の記録再生領域
3と再生専用領域2との境界付近を示す平面拡大図であ
る。図12は、本実施例における露光量とレジスト層と
の関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光
量グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のF−F断面
図、(d)はグルーブピットGPが形成されたレジスト
層のF−F断面図である。<Third Embodiment> A partial ROM 1 of the third embodiment will be described with reference to FIGS. 11 and 12. FIG. 11 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the recording / reproduction area 3 and the reproduction-only area 2 of the master 8 in this embodiment. 12A and 12B show the relationship between the exposure amount and the resist layer in this example. FIG. 12A shows an exposure amount graph of a groove track beam, FIG. 12B shows an exposure amount graph of a groove pit beam, and FIG. The FF sectional view of the formed resist layer, (d) is the FF sectional view of the resist layer in which the groove pit GP was formed.
【0108】第1の実施例と同じ構成において、図11
に示すような原盤8が製造される。本実施例の基本的な
パーシャルROM1の製造方法は、第2の実施例と同じ
である。第2の実施例と異なる点は、原盤8の製造方法
において、グルーブトラックビームが図12(a)のよ
うに変調されて、再生専用領域2の露光量が記録再生領
域3の露光量に比べ少ないことである。In the same configuration as that of the first embodiment, FIG.
The master 8 as shown in FIG. The basic method of manufacturing the partial ROM 1 of this embodiment is the same as that of the second embodiment. The difference from the second embodiment is that, in the method of manufacturing the master 8, the groove track beam is modulated as shown in FIG. 12A, and the exposure amount of the read-only area 2 is larger than that of the recording / reproducing area 3. That's a few.
【0109】まず、第1の記録光であるグルーブトラッ
クビームを図12(a)のように変調させて原盤8に照
射して、図12(c)に示すように、第2のフォトレジ
スト層11にグルーブトラックGとなる第1の潜像14
bを形成した。First, a groove track beam, which is the first recording light, is modulated as shown in FIG. 12A and applied to the master 8, and as shown in FIG. 12C, a second photoresist layer is formed. 11 shows the first latent image 14 which becomes the groove track G.
b was formed.
【0110】次に、第2の記録光であるグルーブピット
ビームを図12(b)のように変調させて原盤8に照射
して、図12(c)に示すように、第1のフォトレジス
ト層10及び第2のフォトレジスト層11にグルーブピ
ットGPとなる第2の潜像15bを形成した。また、ラ
ンドピットLPとなる潜像13cは、第1の実施例と全
く同じように形成されている(図8参照)。Next, the groove pit beam which is the second recording light is modulated as shown in FIG. 12B and applied to the master 8 to produce the first photoresist as shown in FIG. 12C. A second latent image 15b to be the groove pit GP was formed on the layer 10 and the second photoresist layer 11. Further, the latent image 13c to be the land pit LP is formed exactly as in the first embodiment (see FIG. 8).
【0111】最後に、潜像後の原盤8に対して、第2の
フォトレジスト層11の現像、中間層12のエッチン
グ、第1のフォトレジスト層10の現像を行うことによ
って、フォトレジスト層10、11の潜像14b、15
b部分が除去されて、図12(d)のように、表面にレ
ジスト残部による凹凸状のピット/グルーブが形成され
て、図11に示す原盤8の製造が完了する。この後に行
われるパーシャルROM1の製造方法及び再生テスト方
法は、第1の実施例と全く同じである。Lastly, the master 8 after the latent image is developed with the second photoresist layer 11, the intermediate layer 12 is etched, and the first photoresist layer 10 is developed to develop the photoresist layer 10. , 11 latent images 14b, 15
The portion b is removed, and as shown in FIG. 12D, uneven pits / grooves are formed by the remaining resist on the surface, and the manufacture of the master 8 shown in FIG. 11 is completed. The method of manufacturing the partial ROM 1 and the reproducing test method performed thereafter are exactly the same as in the first embodiment.
【0112】本実施例における原盤の第2の実施例と異
なる点は、図11に示すように、再生専用領域2のグル
ーブトラック幅とグルーブピットGPの幅とが等しく
0.65μmになっていることである。そして、再生専
用領域2のグルーブトラックGとグルーブピットGPと
の境界部分でグルーブトラック幅が狭くなっていること
である。The difference from the second embodiment of the master disk in this embodiment is that, as shown in FIG. 11, the groove track width of the read-only area 2 and the width of the groove pit GP are equal to 0.65 μm. That is. The groove track width is narrowed at the boundary between the groove track G and the groove pit GP in the reproduction-only area 2.
【0113】本実施例のパーシャルROM1において
は、再生専用領域2のグルーブトラック幅がグルーブト
ラックGとグルーブピットGPとの境界部分で狭くなる
ことによって、グルーブピットGPの原盤の円周方向へ
の広がりを防ぎ、急峻なピットが形成されるので、グル
ーブピットGPのジッタを第2の実施例に比べさらに改
善することができる。In the partial ROM 1 of the present embodiment, the groove track width of the reproduction-only area 2 becomes narrower at the boundary between the groove track G and the groove pit GP, so that the groove pit GP expands in the circumferential direction of the master. And the sharp pits are formed, so that the jitter of the groove pits GP can be further improved as compared with the second embodiment.
【0114】<第4の実施例>第4の実施例のパーシャ
ルROM1について図13及び図14に基づいて説明す
る。図13は、本実施例における原盤8の記録再生領域
3と再生専用領域2との境界付近を示す平面拡大図であ
る。図14は、本実施例における露光量とレジスト層と
の関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光
量グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のG−G断面
図、(d)はグルーブピットGPが形成されたレジスト
層のG−G断面図である。<Fourth Embodiment> The partial ROM 1 of the fourth embodiment will be described with reference to FIGS. 13 and 14. FIG. 13 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the recording / reproducing area 3 and the reproduction-only area 2 of the master 8 in this embodiment. 14A and 14B show the relationship between the exposure dose and the resist layer in this example. FIG. 14A shows an exposure dose graph of a groove track beam, FIG. 14B shows an exposure dose graph of a groove pit beam, and FIG. 14C shows a latent image. The GG sectional view of the formed resist layer, (d) is the GG sectional view of the resist layer in which the groove pit GP was formed.
【0115】第1の実施例と同じ構成において、図13
に示すような原盤8が製造される。本実施例の基本的な
パーシャルROM1の製造方法は、第3の実施例と同じ
である。第3の実施例と異なる点は、原盤8の製造方法
において、図12(a)におけるグルーブトラックビー
ムの露光量の波形の立ち下りから図12(b)における
グルーブピットビームの露光量の波形の立ち上りまでの
距離とその逆の距離とを分離幅として、この分離幅を広
くすることで、図14(a)に示すようなグルーブトラ
ックビームの露光量の波形と、図14(b)に示すよう
なグルーブピットビームの露光量の波形とを形成した点
である。In the same configuration as that of the first embodiment, FIG.
The master 8 as shown in FIG. The basic method of manufacturing the partial ROM 1 of this embodiment is the same as that of the third embodiment. The difference from the third embodiment is that in the manufacturing method of the master 8, the exposure amount waveform of the groove pit beam in FIG. 12B changes from the trailing edge of the exposure amount waveform of the groove track beam in FIG. The separation width is set to the separation distance up to the rising edge and the opposite distance, and the separation width is widened to show the waveform of the exposure amount of the groove track beam as shown in FIG. 14A and FIG. 14B. And the waveform of the exposure amount of the groove pit beam is formed.
【0116】まず、第1の記録光であるグルーブトラッ
クビームを図14(a)のように変調させて原盤8に照
射して、図14(c)に示すように、第2のフォトレジ
スト層11にグルーブトラックGとなる第1の潜像14
cを形成した。First, a groove track beam, which is the first recording light, is modulated as shown in FIG. 14A to irradiate the master 8, and as shown in FIG. 14C, the second photoresist layer is formed. 11 shows the first latent image 14 which becomes the groove track G.
c was formed.
【0117】次に、第2の記録光であるグルーブピット
ビームを図14(b)のように変調させて原盤8に照射
して、図14(c)に示すように、第1のフォトレジス
ト層10及び第2のフォトレジスト層11にグルーブピ
ットGPとなる第2の潜像15cを形成した。また、ラ
ンドピットLPとなる潜像13cは、第1の実施例と全
く同じように形成されている(図8参照)。Next, a groove pit beam which is the second recording light is modulated as shown in FIG. 14B and irradiated on the master 8 to produce a first photoresist as shown in FIG. 14C. A second latent image 15c to be the groove pit GP was formed on the layer 10 and the second photoresist layer 11. Further, the latent image 13c to be the land pit LP is formed exactly as in the first embodiment (see FIG. 8).
【0118】最後に、潜像後の原盤8に対して、第2の
フォトレジスト層11の現像、中間層12のエッチン
グ、第1のフォトレジスト層10の現像を行うことによ
って、フォトレジスト層10、11の潜像14c、15
c部分が除去されて、図14(d)のように、表面にレ
ジスト残部による凹凸状のピット/グルーブが形成され
て、図13に示す原盤8の製造が完了する。この後に行
われるパーシャルROM1の製造方法及び再生テスト方
法は、第1の実施例と全く同じである。Finally, on the master 8 after the latent image, the second photoresist layer 11 is developed, the intermediate layer 12 is etched, and the first photoresist layer 10 is developed to develop the photoresist layer 10. , 11 latent images 14c, 15
The c portion is removed, and as shown in FIG. 14D, uneven pits / grooves are formed on the surface by the remaining resist, and the manufacture of the master 8 shown in FIG. 13 is completed. The method of manufacturing the partial ROM 1 and the reproducing test method performed thereafter are exactly the same as in the first embodiment.
【0119】本実施例における原盤の第3の実施例と異
なる点は、図14(d)に示すように、再生専用領域2
のグルーブピットGPのエッジに凸部16が形成されて
いることである。The difference from the third embodiment of the master disk in this embodiment is that, as shown in FIG.
That is, the convex portion 16 is formed at the edge of the groove pit GP.
【0120】本実施例のパーシャルROM1において
は、第3の実施例に比べ、再生に問題のないレベルでプ
ッシュプル信号の低下とクロストークノイズの増加とが
発生したが、再生専用領域2のグルーブピットGPのエ
ッジに凸部16が形成されることによって、グルーブピ
ットGPのエッジが検出されやすくなるので、グルーブ
ピットGPのジッタをさらに改善することができる。In the partial ROM 1 according to the present embodiment, the push-pull signal is lowered and the crosstalk noise is increased at a level at which there is no problem in reproduction as compared with the third embodiment. By forming the convex portion 16 on the edge of the pit GP, the edge of the groove pit GP is easily detected, so that the jitter of the groove pit GP can be further improved.
【0121】なお、第1ないし第4の実施例において
は、3本のビームを使用しているがこれに限るものでは
ない。例えば、幅広いグルーブトラックGを形成する場
合は、スポット径が大きいビームを使用しているが、1
本のビームを2つに分割して幅広ビームにすることによ
って、スポット径が大きいビームは必要なくなるので、
ビーム数を2本にすることができる。Although three beams are used in the first to fourth embodiments, the number of beams is not limited to this. For example, when forming a wide groove track G, a beam with a large spot diameter is used.
By dividing the beam of the book into two beams to make them wider, it is not necessary to use a beam with a large spot diameter.
The number of beams can be two.
【0122】[0122]
【発明の効果】請求項1記載の発明によれば、レーザビ
ームを案内する案内溝であるグルーブトラック及び案内
溝間であるランドトラックが半径方向へ交互に配列さ
れ、グルーブトラック及びランドトラックの両方に予め
プリピットによって情報データを記録した再生専用領域
とグルーブトラック及びランドトラックの両方にピット
によって情報データを記録できる記録再生領域とを有す
る光情報記憶媒体において、記録後の記録再生領域と再
生専用領域とのグルーブトラックの再生信号が同一ドラ
イブで検出できる程度に等しくなるように再生専用領域
のグルーブトラックにグルーブプリピットが形成されて
いて、記録後の記録再生領域と再生専用領域とのランド
トラックの再生信号が同一ドライブで検出できる程度に
等しくなるように再生専用領域のランドトラックにラン
ドプリピットが形成されていることから、再生専用領域
と記録再生領域とのグルーブトラックの再生信号がほぼ
等しい再生信号として、再生専用領域と記録再生領域と
のランドトラックの再生信号がほぼ等しい再生信号とし
てドライブに検知されるので、ドライブに特別な機能の
追加や条件設定の変更等をする必要がなく、記録再生領
域だけを有するランド/グルーブ記録方式の光情報記録
媒体を再生するドライブによって情報データの再生がで
きる。According to the first aspect of the invention, the groove tracks which are the guide grooves for guiding the laser beam and the land tracks which are between the guide grooves are alternately arranged in the radial direction, and both the groove tracks and the land tracks are arranged. In an optical information storage medium having a reproduction-only area in which information data is recorded in advance by pre-pits and a recording-reproduction area in which information data can be recorded by pits on both groove tracks and land tracks, a recording-reproduction area and a reproduction-only area after recording The groove prepits are formed in the groove tracks of the read-only area so that the playback signals of the groove tracks of and become equal to the extent that they can be detected by the same drive. Re-ensure that the playback signal is equal enough to be detected by the same drive. Since the land pre-pits are formed in the land tracks of the dedicated area, the read signals of the groove tracks of the read-only area and the recording / playback area are almost equal to each other. Since the drive detects the reproduction signals as almost the same reproduction signal, there is no need to add special functions to the drive or change the condition settings, and the land / groove recording type optical information recording medium having only the recording / reproducing area is provided. The information data can be reproduced by the drive for reproducing the information.
【0123】請求項2記載の発明によれば、請求項1記
載の光情報記録媒体において、グルーブプリピットは記
録後の記録再生領域と再生専用領域とのグルーブトラッ
クの変調度を再生信号が同一ドライブで検出できる程度
に等しくするように形成されていて、ランドプリピット
は記録後の記録再生領域と再生専用領域とのランドトラ
ックの変調度を再生信号が同一ドライブで検出できる程
度に等しくするように形成されていることから、再生専
用領域と記録再生領域とのグルーブトラックの変調度が
ほぼ等しくなり、再生専用領域と記録再生領域とのラン
ドトラックの変調度がほぼ等しくなって、再生専用領域
と記録再生領域とのグルーブトラックの再生信号がほぼ
等しい再生信号として、再生専用領域と記録再生領域と
のランドトラックの再生信号がほぼ等しい再生信号とし
てドライブに検知されるので、ドライブに特別な機能の
追加や条件設定の変更等をする必要がなく、記録再生領
域だけを有するランド/グルーブ記録方式の光情報記録
媒体を再生するドライブによって情報データの再生がで
きる。According to the second aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the first aspect, the groove prepits have the same degree of modulation of the groove track in the recording / reproducing area and the reproduction-only area after recording when the reproduction signal is the same. The land pre-pits are formed so that they can be detected by the same drive, and the land prepits are set so that the degree of modulation of the land track between the recording / reproducing area and the read-only area after recording is the same so that the reproduction signal can be detected by the same drive. Since the read-only area and the recording / reproducing area have substantially the same degree of modulation of the groove tracks, the read-only area and the recording / reproducing area have substantially the same degree of land track modulation. The read-only area and the recording / playback area are land tracks as playback signals whose playback signals on the groove track of the recording and playback areas are substantially equal. Since the drive detects the reproduction signals as almost the same reproduction signal, there is no need to add special functions to the drive or change the condition settings, and the land / groove recording type optical information recording medium having only the recording / reproducing area is provided. The information data can be reproduced by the drive for reproducing the information.
【0124】請求項3記載の発明によれば、請求項1又
は2記載の光情報記録媒体において、再生専用領域と記
録再生領域とのグルーブトラックは深さをほぼ等しく形
成され、再生専用領域のランドプリピットは深さをグル
ーブトラックの深さにほぼ等しく形成されて、再生専用
領域のグルーブプリピットは再生専用領域のグルーブト
ラックの深さを部分的に深くして形成されていることか
ら、再生専用領域と記録再生領域とに形成されるピット
/グルーブの深さが2種類となるので、原盤を製造する
場合に、基板上に形成される層が2層で良く、製造工程
を増やすことなく容易に原盤を製造することができる。According to the third aspect of the present invention, in the optical information recording medium according to the first or second aspect, the groove tracks of the read-only area and the read / write area are formed to have substantially the same depth, and The land prepits are formed so that the depth is almost equal to the depth of the groove track, and the groove prepits in the read-only area are formed by partially deepening the groove track in the read-only area. Since the pits / grooves formed in the reproduction-only area and the recording / reproduction area have two types of depths, the number of layers formed on the substrate may be two when the master is manufactured, which increases the number of manufacturing processes. It is possible to easily manufacture a master without using.
【0125】請求項4記載の発明によれば、請求項3記
載の光情報記録媒体において、再生専用領域のランドト
ラックと再生専用領域のグルーブトラックとの変調度が
ほぼ等しくなるようにグルーブプリピット深さが設定さ
れていることから、再生専用領域のランドトラックと再
生専用領域のグルーブトラックとの変調度がほぼ等しく
なり、再生専用領域と記録再生領域とのトラックの再生
信号がほぼ等しい再生信号としてドライブに検知される
ので、ドライブに特別な機能の追加や条件設定の変更等
をする必要がなく、記録再生領域だけを有するランド/
グルーブ記録方式の光情報記録媒体を再生するドライブ
によって情報データの再生ができる。According to the invention described in claim 4, in the optical information recording medium according to claim 3, the groove prepits are arranged so that the land tracks of the read-only area and the groove tracks of the read-only area have substantially the same degree of modulation. Since the depth is set, the land track in the read-only area and the groove track in the read-only area have almost the same degree of modulation, and the read signals in the tracks in the read-only area and the recording / playback area are almost the same. Since it is detected by the drive as a drive, it is not necessary to add special functions to the drive or change the condition settings.
Information data can be reproduced by a drive for reproducing an optical information recording medium of the groove recording system.
【0126】請求項5記載の発明によれば、請求項4記
載の光情報記録媒体において、再生専用領域のランドプ
リピット深さ及びグルーブトラック深さがレーザビーム
の波長をλとしてλ/7〜λ/5.5の範囲で設定され
ており、再生専用領域のグルーブプリピット深さがλ/
4.5〜λ/4で設定されていることから、再生専用領
域のプリピットと記録再生領域のピットとの変調度が等
しくなり、クロストークノイズが除去されて、再生専用
領域のトラックの再生信号と記録再生領域のトラックの
再生信号とがほぼ等しい再生信号としてドライブに検知
されるので、ドライブに特別な機能の追加や条件設定の
変更等をする必要がなく、記録再生領域だけを有するラ
ンド/グルーブ記録方式の光情報記録媒体を再生するド
ライブによって精度良くトラッキング制御されて情報デ
ータの再生ができる。According to the fifth aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the fourth aspect, the land prepit depth and the groove track depth of the read-only area are λ / 7 to λ where the wavelength of the laser beam is λ. It is set in the range of λ / 5.5, and the groove prepit depth of the read-only area is λ /
Since it is set to 4.5 to λ / 4, the prepits in the read-only area and the pits in the recording / playback area have the same degree of modulation, crosstalk noise is removed, and the playback signal of the track in the playback-only area is removed. Since the drive detects that the reproduction signal of the track in the recording / reproducing area is almost equal to that of the recording / reproducing area, it is not necessary to add a special function to the drive or change the condition setting. The drive for reproducing the optical information recording medium of the groove recording system can accurately perform tracking control to reproduce the information data.
【0127】請求項6記載の発明によれば、請求項1な
いし5のいずれか一記載の光情報記録媒体において、再
生専用領域と記録再生領域とが同一トラック上に連続し
て形成されていることから、再生専用領域と記録再生領
域との境界を判断するギャップ等の領域が存在しないの
で、ドライブに特別な機能の追加や条件設定の変更等を
する必要がなく、記録再生領域だけを有するランド/グ
ルーブ記録方式の光情報記録媒体を再生するドライブに
よって情報データの再生ができる。According to the sixth aspect of the invention, in the optical information recording medium according to any one of the first to fifth aspects, the read-only area and the recording / reproducing area are continuously formed on the same track. Therefore, there is no area such as a gap that determines the boundary between the read-only area and the recording / playback area, so there is no need to add special functions to the drive or change the condition settings. Information data can be reproduced by a drive for reproducing the optical information recording medium of the land / groove recording system.
【0128】請求項7記載の発明によれば、請求項1な
いし6のいずれか一記載の光情報記録媒体において、再
生専用領域と記録再生領域とのトラックピッチがほぼ等
しいことから、再生時にピッチ送りを変更するために再
生専用領域と記録再生領域との境界を判断するギャップ
等の領域を設ける必要がないので、ドライブに特別な機
能の追加や条件設定の変更等をする必要がなく、記録再
生領域だけを有するランド/グルーブ記録方式の光情報
記録媒体を再生するドライブによって情報データの再生
ができる。According to the seventh aspect of the invention, in the optical information recording medium according to any one of the first to sixth aspects, since the track pitches of the read-only area and the recording / reproducing area are substantially equal, the pitch at the time of reproduction is set. Since it is not necessary to provide an area such as a gap for judging the boundary between the read-only area and the recording / playback area in order to change the feed, it is not necessary to add special functions to the drive or change the condition settings. Information data can be reproduced by a drive for reproducing an optical information recording medium of a land / groove recording system having only a reproduction area.
【0129】請求項8記載の発明によれば、請求項7記
載の光情報記録媒体において、再生専用領域のピット幅
が再生専用領域のトラック幅より狭いことから、クロス
トークノイズが低減されるので、精度の高いトラッキン
グ制御ができる。According to the eighth aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the seventh aspect, since the pit width of the read-only area is narrower than the track width of the read-only area, crosstalk noise is reduced. Highly accurate tracking control is possible.
【0130】請求項9記載の発明によれば、請求項8記
載の光情報記録媒体において、再生専用領域のグルーブ
トラック幅がグルーブプリピット部分で狭くなっている
ことから、再生専用領域のグルーブトラック幅をグルー
ブプリピット部分のみ狭くすることによって再生専用領
域のグルーブトラック幅全体を変えることなく狭く急峻
なグルーブプリピットが形成されるので、簡単にグルー
ブプリピットのクロストークノイズを改善することがで
きる。According to the ninth aspect of the invention, in the optical information recording medium according to the eighth aspect, the groove track width of the read-only area is narrowed at the groove pre-pit portion. By narrowing the width only in the groove prepits, narrow and sharp groove prepits are formed without changing the entire groove track width of the read-only area, so it is possible to easily improve the crosstalk noise of the groove prepits. .
【0131】請求項10記載の発明によれば、請求項7
記載の光情報記録媒体において、再生専用領域のグルー
ブトラック幅が記録再生領域のトラック幅より狭くなっ
ていることから、グルーブプリピットがトラックに直交
する半径方向へ広がることが防止され、急峻なピットが
形成されるので、クロストークノイズをより改善するこ
とができる。According to the invention of claim 10, claim 7 is provided.
In the described optical information recording medium, since the groove track width of the read-only area is narrower than the track width of the recording / playback area, the groove prepits are prevented from spreading in the radial direction orthogonal to the track, and the steep pit is prevented. Is formed, the crosstalk noise can be further improved.
【0132】請求項11記載の発明によれば、請求項1
0記載の光情報記録媒体において、再生専用領域のグル
ーブトラック幅が再生専用領域のグルーブプリピット幅
にほぼ等しいことから、グルーブトラック幅がグルーブ
プリピット幅に合わせられ、グルーブプリピットがトラ
ックに直交する半径方向へ広がることが防止されて、急
峻なピットが形成されるので、プッシュプル信号を低下
させることなくクロストークノイズを改善することがで
きる。According to the invention of claim 11, claim 1
In the optical information recording medium described in 0, since the groove track width of the read-only area is almost equal to the groove prepit width of the read-only area, the groove track width is matched with the groove prepit width, and the groove prepits are orthogonal to the track. Since it is prevented from spreading in the radial direction and a sharp pit is formed, crosstalk noise can be improved without lowering the push-pull signal.
【0133】請求項12記載の発明によれば、請求項1
1記載の光情報記録媒体において、再生専用領域のグル
ーブトラック幅がグルーブトラックとグルーブプリピッ
トとの境界部分で狭くなっていることから、グルーブプ
リピットがトラックに沿って円周方向へ広がることが防
止され、急峻なピットが形成されるので、グルーブプリ
ピットのジッタをさらに改善することができる。According to the invention of claim 12, claim 1
In the optical information recording medium described in 1, the groove track width of the read-only area is narrowed at the boundary between the groove track and the groove prepit, so that the groove prepit can spread in the circumferential direction along the track. Since it is prevented and sharp pits are formed, the jitter of the groove prepits can be further improved.
【0134】請求項13記載の発明によれば、請求項1
1記載の光情報記録媒体において、再生専用領域のグル
ーブプリピットのグルーブトラックとの境界部分のエッ
ジに凸部が形成されていることから、グルーブプリピッ
トのエッジが検出されやすくなるので、グルーブプリピ
ットのジッタをさらに改善することができる。According to the invention of claim 13, claim 1
In the optical information recording medium described in 1, the convex portion is formed at the edge of the boundary of the groove prepit in the read-only area with the groove track, so that the edge of the groove prepit is easily detected. The pit jitter can be further improved.
【0135】請求項14記載の発明によれば、基板上に
第1のフォトレジスト層を形成して、第1のフォトレジ
スト層上に現像液に溶解しないで記録光に対して透過性
を有する中間層を形成して、中間層上に第2のフォトレ
ジスト層を形成したものに、第2のフォトレジスト層側
から第2のフォトレジスト層のみを感光させる第1の記
録光と第1のフォトレジスト層及び第2のフォトレジス
ト層の両方を感光させる第2の記録光とを照射して、潜
像後に、第2のフォトレジスト層の現像、中間層のエッ
チィング、第1のフォトレジストの現像を順次行うこと
によって原盤を製造する原盤の製造方法において、第1
の記録光によって第2のフォトレジスト層にグルーブト
ラックとなる第1の潜像と第2の記録光によって第1の
フォトレジスト層及び第2のフォトレジスト層にグルー
ブプリピットとなる第2の潜像とを原盤の円周方向へ交
互に形成したことから、深さの異なる2種類の潜像が円
周方向に交互に形成されるので、急峻なグルーブプリピ
ットを形成することができる。According to the fourteenth aspect of the present invention, the first photoresist layer is formed on the substrate, and the first photoresist layer is transparent to recording light without being dissolved in the developing solution. The first recording light and the first recording light for exposing only the second photoresist layer from the second photoresist layer side to the intermediate layer formed and the second photoresist layer formed on the intermediate layer A second recording light that sensitizes both the photoresist layer and the second photoresist layer is irradiated, and after the latent image, development of the second photoresist layer, etching of the intermediate layer, and first photoresist. In the method of manufacturing a master, the master is manufactured by sequentially developing
Recording light of the first latent image forming a groove track on the second photoresist layer and the second recording light forming a second latent image of groove prepits on the first photoresist layer and the second photoresist layer. Since the images and the images are alternately formed in the circumferential direction of the master, two kinds of latent images having different depths are alternately formed in the circumferential direction, so that a steep groove prepit can be formed.
【0136】請求項15記載の発明によれば、請求項1
4記載の原盤の製造方法において、交互に形成された第
1の潜像と第2の潜像とが連続して形成されていること
から、潜像が連続して繋がり、グルーブトラックが形成
されるので、クロストークノイズが低減したトラッキン
グ制御ができる。According to the invention of claim 15, claim 1
In the method of manufacturing a master according to item 4, since the alternately formed first latent image and second latent image are continuously formed, the latent images are continuously connected to form a groove track. Therefore, tracking control with reduced crosstalk noise can be performed.
【図1】本発明の一実施の形態のパーシャルROMの概
観平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view of a partial ROM according to an embodiment of the present invention.
【図2】パーシャルROMの層構成を示すA−A断面図
である。FIG. 2 is an AA cross-sectional view showing a layer structure of a partial ROM.
【図3】パーシャルROMの再生専用領域と記録再生領
域との境界付近を示し、(a)は平面拡大図、(b)は
透明基板のB−B断面図である。3A and 3B show the vicinity of a boundary between a read-only area and a recording / playback area of a partial ROM, FIG. 3A is an enlarged plan view, and FIG.
【図4】ピット深さとランドピット又はグルーブピット
の変調度との関係を示すグラフである。FIG. 4 is a graph showing the relationship between the pit depth and the degree of modulation of land pits or groove pits.
【図5】ピット深さとプッシュプル信号との関係を示す
グラフである。FIG. 5 is a graph showing the relationship between pit depth and push-pull signal.
【図6】第1の実施例における原盤の記録再生領域と再
生専用領域との境界付近を示す平面拡大図である。FIG. 6 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the recording / reproducing area and the reproduction-only area of the master according to the first embodiment.
【図7】第1の実施例における露光量とレジスト層との
関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光量
グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のC−C断面
図、(d)はグルーブピットが形成されたレジスト層の
C−C断面図である。7A and 7B show a relationship between an exposure amount and a resist layer in the first embodiment, FIG. 7A is an exposure amount graph of a groove track beam, FIG. 7B is an exposure amount graph of a groove pit beam, and FIG. FIG. 3D is a sectional view taken along the line CC of the resist layer on which an image is formed, and FIG.
【図8】第1の実施例における露光量とレジスト層との
関係を示し、(a)はランドピットビームの露光量グラ
フ、(b)は潜像が形成されたレジスト層のD−D断面
図、(c)はランドピットが形成されたレジスト層のD
−D断面図である。8A and 8B show the relationship between the exposure dose and the resist layer in the first embodiment, FIG. 8A is a land pit beam exposure dose graph, and FIG. 8B is a cross-sectional view of the resist layer on which a latent image is formed. Figure, (c) D of resist layer with land pits
It is a -D sectional view.
【図9】第2の実施例における原盤の記録再生領域と再
生専用領域との境界付近を示す平面拡大図である。FIG. 9 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the recording / reproducing area and the reproduction-only area of the master according to the second embodiment.
【図10】第2の実施例における露光量とレジスト層と
の関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光
量グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のE−E断面
図、(d)はグルーブピットが形成されたレジスト層の
E−E断面図である。FIG. 10 shows the relationship between the exposure dose and the resist layer in the second embodiment, (a) is an exposure dose graph of a groove track beam, (b) is an exposure dose graph of a groove pit beam, and (c) is a latent image. FIG. 6D is a sectional view taken along the line EE of the resist layer having an image formed thereon, and FIG.
【図11】第3の実施例における原盤の記録再生領域と
再生専用領域との境界付近を示す平面拡大図である。FIG. 11 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the recording / reproducing area and the reproduction-only area of the master according to the third embodiment.
【図12】第3の実施例における露光量とレジスト層と
の関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光
量グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のF−F断面
図、(d)はグルーブピットが形成されたレジスト層の
F−F断面図である。FIG. 12 shows the relationship between the exposure dose and the resist layer in the third embodiment, (a) is an exposure dose graph of a groove track beam, (b) is an exposure dose graph of a groove pit beam, and (c) is a latent image. FIG. 4D is a sectional view taken along the line F-F of the resist layer on which an image is formed, and FIG.
【図13】第4の実施例における原盤の記録再生領域と
再生専用領域との境界付近を示す平面拡大図である。FIG. 13 is an enlarged plan view showing the vicinity of the boundary between the recording / reproducing area and the reproduction-only area of the master according to the fourth embodiment.
【図14】第4の実施例における露光量とレジスト層と
の関係を示し、(a)はグルーブトラックビームの露光
量グラフ、(b)はグルーブピットビームの露光量グラ
フ、(c)は潜像が形成されたレジスト層のG−G断面
図、(d)はグルーブピットが形成されたレジスト層の
G−G断面図である。14A and 14B show the relationship between the exposure dose and the resist layer in the fourth embodiment. FIG. 14A is an exposure dose graph of a groove track beam, FIG. 14B is an exposure dose graph of a groove pit beam, and FIG. FIG. 3D is a GG sectional view of the resist layer on which an image is formed, and (d) is a GG sectional view of the resist layer on which groove pits are formed.
【図15】従来技術における露光量とレジスト層との関
係を示し、(a)は第1の記録光の露光量グラフ、
(b)は第1の記録光により潜像が形成されたレジスト
層の断面図、(c)は第1の記録光によりピット/グル
ーブが形成された原盤の断面図、(d)は第2の記録光
の露光量グラフ、(e)は第2の記録光により潜像が形
成されたレジスト層の断面図、(f)は第2の記録光に
よりピット/グルーブが形成された原盤の断面図であ
る。FIG. 15 shows the relationship between the exposure dose and the resist layer in the prior art, (a) is the exposure dose graph of the first recording light,
(B) is a sectional view of a resist layer on which a latent image is formed by the first recording light, (c) is a sectional view of a master on which pits / grooves are formed by the first recording light, and (d) is a second Of exposure light of recording light, (e) is a cross-sectional view of a resist layer on which a latent image is formed by the second recording light, and (f) is a cross-section of a master on which pits / grooves are formed by the second recording light. It is a figure.
【図16】従来技術における露光量とレジスト層との関
係を示し、(a)は幅広い第1の記録光の露光量グラ
フ、(b)は幅広い第1の記録光によりピット/グルー
ブが形成された原盤の断面図、(c)は合成光の露光量
グラフ、(d)は合成光によりピット/グルーブが形成
された原盤の断面図である。16A and 16B show a relationship between an exposure amount and a resist layer in a conventional technique, FIG. 16A is an exposure amount graph of a wide first recording light, and FIG. 16B is a pit / groove formed by the wide first recording light. 3C is a sectional view of the master, FIG. 6C is an exposure amount graph of the combined light, and FIG. 7D is a sectional view of the master in which pits / grooves are formed by the combined light.
2 再生専用領域 3 記録再生領域 16 凸部 9 基板 10 第1のフォトレジスト層 12 中間層 11 第2のフォトレジスト層 8 原盤 14 第1の潜像 15 第2の潜像 G グルーブトラック L ランドトラック 2 playback-only area 3 recording / playback area 16 convex 9 substrates 10 First photoresist layer 12 Middle class 11 Second photoresist layer 8 master 14 First latent image 15 Second latent image G groove track L Land Truck
Claims (15)
ルーブトラック及び案内溝間であるランドトラックが半
径方向へ交互に配列され、前記グルーブトラック及び前
記ランドトラックの両方に予めプリピットによって情報
データを記録した再生専用領域と前記グルーブトラック
及び前記ランドトラックの両方にピットによって情報デ
ータを記録できる記録再生領域とを有する光情報記憶媒
体において、 記録後の前記記録再生領域と前記再生専用領域との前記
グルーブトラックの再生信号が同一ドライブで検出でき
る程度に等しくなるように前記再生専用領域の前記グル
ーブトラックにグルーブプリピットが形成されていて、
記録後の前記記録再生領域と前記再生専用領域との前記
ランドトラックの再生信号が同一ドライブで検出できる
程度に等しくなるように前記再生専用領域の前記ランド
トラックにランドプリピットが形成されていることを特
徴とする光情報記録媒体。1. A groove track, which is a guide groove for guiding a laser beam, and a land track, which is between the guide grooves, are alternately arranged in the radial direction, and information data is recorded in advance by pre-pits on both the groove track and the land track. In the optical information storage medium having a read-only area and a recording / playback area capable of recording information data by pits on both the groove track and the land track, the groove of the recording / playback area and the read-only area after recording Groove prepits are formed in the groove tracks of the reproduction-only area so that the reproduction signals of the tracks are equal to the extent that they can be detected by the same drive.
Land pre-pits are formed in the land tracks of the read-only area so that the read signals of the land tracks of the recording / playback area and the read-only area after recording are equal to the extent that they can be detected by the same drive. An optical information recording medium characterized by:
記録再生領域と前記再生専用領域との前記グルーブトラ
ックの変調度を再生信号が同一ドライブで検出できる程
度に等しくするように形成されていて、前記ランドプリ
ピットは記録後の前記記録再生領域と前記再生専用領域
との前記ランドトラックの変調度を再生信号が同一ドラ
イブで検出できる程度に等しくするように形成されてい
ることを特徴とする請求項1記載の光情報記録媒体。2. The groove prepits are formed so that the degree of modulation of the groove tracks in the recording / reproduction area and the reproduction-only area after recording is equal to the extent that a reproduction signal can be detected by the same drive. The land pre-pits are formed so that the degree of modulation of the land tracks in the recording / reproducing area and the reproduction-only area after recording is equal to an extent that a reproduction signal can be detected by the same drive. Item 1. The optical information recording medium according to item 1.
の前記グルーブトラックは深さをほぼ等しく形成され、
前記再生専用領域の前記ランドプリピットはその深さが
前記グルーブトラックの深さにほぼ等しくなるように形
成されて、前記再生専用領域の前記グルーブプリピット
は前記再生専用領域の前記グルーブトラックの深さを部
分的に深くして形成されていることを特徴とする請求項
1又は2記載の光情報記録媒体。3. The groove tracks of the read-only area and the recording / playback area are formed to have substantially the same depth,
The land prepits in the read-only area are formed so that the depth thereof is substantially equal to the depth of the groove track, and the groove prepits in the read-only area are deep in the groove track of the read-only area. 3. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the optical information recording medium is formed so as to be partially deep.
と前記再生専用領域の前記グルーブトラックとの変調度
がほぼ等しくなるように前記グルーブプリピット深さが
設定されていることを特徴とする請求項3記載の光情報
記録媒体。4. The groove prepit depth is set such that the land tracks of the reproduction-only area and the groove tracks of the reproduction-only area have substantially the same degree of modulation. 3. The optical information recording medium described in 3.
さ及びグルーブトラック深さがレーザビームの波長をλ
としてλ/7〜λ/5.5の範囲で設定されており、前
記再生専用領域のグルーブプリピット深さがλ/4.5
〜λ/4の範囲で設定されていることを特徴とする請求
項4記載の光情報記録媒体。5. The land pre-pit depth and the groove track depth of the read-only area have a wavelength of a laser beam of λ.
Is set in the range of λ / 7 to λ / 5.5, and the groove prepit depth of the reproduction-only area is λ / 4.5.
5. The optical information recording medium according to claim 4, wherein the optical information recording medium is set in the range of .lamda. / 4.
が同一トラック上に連続して形成されていることを特徴
とする請求項1ないし5のいずれか一記載の光情報記録
媒体。6. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the reproduction-only area and the recording / reproduction area are continuously formed on the same track.
のトラックピッチがほぼ等しいことを特徴とする請求項
1ないし6のいずれか一記載の光情報記録媒体。7. The optical information recording medium according to claim 1, wherein the reproduction-only area and the recording / reproducing area have substantially the same track pitch.
専用領域のトラック幅より狭いことを特徴とする請求項
7記載の光情報記録媒体。8. The optical information recording medium according to claim 7, wherein the pit width of the read-only area is narrower than the track width of the read-only area.
が前記グルーブプリピット部分で狭くなっていることを
特徴とする請求項8記載の光情報記録媒体。9. The optical information recording medium according to claim 8, wherein the groove track width of the reproduction-only area is narrowed at the groove prepit portion.
ック幅が前記記録再生領域の前記トラック幅より狭くな
っていることを特徴とする請求項7記載の光情報記録媒
体。10. The optical information recording medium according to claim 7, wherein the groove track width of the read-only area is narrower than the track width of the recording / reproducing area.
ック幅が前記再生専用領域のグルーブプリピット幅にほ
ぼ等しいことを特徴とする請求項10記載の光情報記録
媒体。11. The optical information recording medium according to claim 10, wherein the groove track width of the reproduction-only area is substantially equal to the groove prepit width of the reproduction-only area.
ック幅が前記グルーブトラックと前記グルーブプリピッ
トとの境界部分で狭くなっていることを特徴とする請求
項11記載の光情報記録媒体。12. The optical information recording medium according to claim 11, wherein the groove track width of the reproduction-only area is narrowed at a boundary portion between the groove track and the groove prepit.
ピットの前記グルーブトラックとの境界部分のエッジに
凸部が形成されていることを特徴とする請求項11記載
の光情報記録媒体。13. The optical information recording medium according to claim 11, wherein a convex portion is formed at an edge of a boundary portion between the groove prepit and the groove track in the reproduction-only area.
成して、前記第1のフォトレジスト層上に現像液に溶解
しないで記録光に対して透過性を有する中間層を形成し
て、前記中間層上に第2のフォトレジスト層を形成した
ものに、前記第2のフォトレジスト層側から前記第2の
フォトレジスト層のみを感光させる第1の記録光と前記
第1のフォトレジスト層及び前記第2のフォトレジスト
層の両方を感光させる第2の記録光とを照射して、露光
後に、前記第2のフォトレジスト層の現像、前記中間層
のエッチィング、前記第1のフォトレジストの現像を順
次行うことによって原盤を製造する原盤の製造方法にお
いて、前記第1の記録光によって前記第2のフォトレジ
スト層に前記グルーブトラックとなる第1の潜像と前記
第2の記録光によって前記第1のフォトレジスト層及び
前記第2のフォトレジスト層に前記グルーブプリピット
となる第2の潜像とを原盤の円周方向へ交互に形成した
ことを特徴とする原盤の製造方法。14. A first photoresist layer is formed on a substrate, and an intermediate layer which is transparent to recording light without being dissolved in a developing solution is formed on the first photoresist layer, First recording light for exposing only the second photoresist layer from the second photoresist layer side to the second photoresist layer formed on the intermediate layer, and the first photoresist layer And a second recording light that sensitizes both the second photoresist layer, and after exposure, develops the second photoresist layer, etches the intermediate layer, and the first photoresist. In a method of manufacturing a master by sequentially performing the development of 1., a first latent image serving as the groove track and the second recording light are formed on the second photoresist layer by the first recording light. Yo And a second latent image to be the groove prepits are alternately formed on the first photoresist layer and the second photoresist layer in the circumferential direction of the master.
記第2の潜像とが連続して形成されていることを特徴と
する請求項14記載の原盤の製造方法。15. The method of manufacturing a master according to claim 14, wherein the first latent images and the second latent images that are alternately formed are continuously formed.
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---|---|---|---|
JP2001203195A JP2003022576A (en) | 2001-07-04 | 2001-07-04 | Optical information recording medium and manufacturing method for original disk |
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JP (1) | JP2003022576A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009075248A1 (en) * | 2007-12-11 | 2009-06-18 | Sony Corporation | Method for manufacturing reproduction-dedicated optical disc medium and reproduction-dedicated optical disc medium itself |
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2001
- 2001-07-04 JP JP2001203195A patent/JP2003022576A/en active Pending
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