JP2003098449A - 互い違いに配置されたカンチレバーを用いるマイクロミラーデバイス及びその応用素子 - Google Patents
互い違いに配置されたカンチレバーを用いるマイクロミラーデバイス及びその応用素子Info
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- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
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- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 互い違いに配置されたカンチレバ
ーを用いて簡単な構造で安定した回転状態を有するマイ
クロミラーデバイス及びその応用素子を提供する。 【解決手段】 本発明によるマイクロミラーデバ
イスは、基板と２１、基板２１上に突出するように形成
された複数個の突出支持台２３、突出支持台２３のそれ
ぞれの上部に基板と平行に取り付けられて形成され、隣
接するもの同士は並んで互い違いに配置された、弾性復
元力を有する薄板からなるカンチレバー２５と、カンチ
レバー２５の他端の上部に形成されるミラー支持台２４
と、ミラー支持体２４のすべての上部に取り付けられ、
これらにより支持されるミラー２０と、ミラー２０に静
電気力を与えるために、前記基板上に形成された左右の
２つの電極２２とからなる。
ーを用いて簡単な構造で安定した回転状態を有するマイ
クロミラーデバイス及びその応用素子を提供する。 【解決手段】 本発明によるマイクロミラーデバ
イスは、基板と２１、基板２１上に突出するように形成
された複数個の突出支持台２３、突出支持台２３のそれ
ぞれの上部に基板と平行に取り付けられて形成され、隣
接するもの同士は並んで互い違いに配置された、弾性復
元力を有する薄板からなるカンチレバー２５と、カンチ
レバー２５の他端の上部に形成されるミラー支持台２４
と、ミラー支持体２４のすべての上部に取り付けられ、
これらにより支持されるミラー２０と、ミラー２０に静
電気力を与えるために、前記基板上に形成された左右の
２つの電極２２とからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マイクロミラーデ
バイスに関し、更に詳しくは、互い違いに配置されたカ
ンチレバーを用いて簡単な構造で双安定した回転状態を
有するマイクロミラーデバイス及びこれを用いた応用素
子に関する。
バイスに関し、更に詳しくは、互い違いに配置されたカ
ンチレバーを用いて簡単な構造で双安定した回転状態を
有するマイクロミラーデバイス及びこれを用いた応用素
子に関する。
【０００２】
【従来の技術】代表的な画像表示用マイクロミラーデバ
イスは、アドレッシング回路が製作された基板の上に２
次元的に配列され、静電気力により駆動されて、入射す
る光を所定の角度に反射させる作用をする。前記マイク
ロミラーデバイスは、光情報処理、投射表示器、モニタ
ー、テレビ等の画像表示装置、複写機等の光走査装置に
活用することができる。
イスは、アドレッシング回路が製作された基板の上に２
次元的に配列され、静電気力により駆動されて、入射す
る光を所定の角度に反射させる作用をする。前記マイク
ロミラーデバイスは、光情報処理、投射表示器、モニタ
ー、テレビ等の画像表示装置、複写機等の光走査装置に
活用することができる。
【０００３】１９９６年７月９日付でＨｏｒｎｂｅｃｋ
氏に与えられた米国特許第５，５３５，０４７号公報で
は、従来のマイクロミラーデバイスの一例が開示されて
いる。図１は、従来の画像表示用マイクロミラーデバイ
スの概略的な分解斜視図である。図１を参照すると、ア
ドレッシング回路上にヨークアドレス電極１０とランデ
ィングサイト１１が形成された層があり、その上にアド
レス支持台１２により支持され、ミラーアドレス電極１
３、ねじりヒンジ１４、ミラー１７と直接連結されるヨ
ーク１５とからなる層がある。その上には、同じくミラ
ー支持台１６によりヨーク１５と連結されるミラー１７
が設けられる。このように、ミラーとアドレッシング回
路を含んで４つの層からなるマイクロミラーデバイス
は、ミラーアドレス電極層を支持する支持台とミラーを
支持する支持台、ミラーと連結されたヨーク、そしてね
じりヒンジが設けられ、ミラーとの間に電圧を印加する
ためのヨークのアドレス電極１つとミラーを駆動するた
めのアドレス電極２つとから構成される。
氏に与えられた米国特許第５，５３５，０４７号公報で
は、従来のマイクロミラーデバイスの一例が開示されて
いる。図１は、従来の画像表示用マイクロミラーデバイ
スの概略的な分解斜視図である。図１を参照すると、ア
ドレッシング回路上にヨークアドレス電極１０とランデ
ィングサイト１１が形成された層があり、その上にアド
レス支持台１２により支持され、ミラーアドレス電極１
３、ねじりヒンジ１４、ミラー１７と直接連結されるヨ
ーク１５とからなる層がある。その上には、同じくミラ
ー支持台１６によりヨーク１５と連結されるミラー１７
が設けられる。このように、ミラーとアドレッシング回
路を含んで４つの層からなるマイクロミラーデバイス
は、ミラーアドレス電極層を支持する支持台とミラーを
支持する支持台、ミラーと連結されたヨーク、そしてね
じりヒンジが設けられ、ミラーとの間に電圧を印加する
ためのヨークのアドレス電極１つとミラーを駆動するた
めのアドレス電極２つとから構成される。
【０００４】図２は、図１のマイクロミラーデバイス
を、ヒンジの長さ方向の中心線上で切断した断面図であ
って、ミラー１７とヨーク１５、ヒンジ１４及び各層の
連結状態を示す。図２を参照すると、ミラー１７がミラ
ー支持台１６によりヨーク１５と連結されており、ヨー
ク１５の下にヒンジ１４が形成され回転軸の役割をする
ことが分かる。アドレス電極１０は、支持台１２と連結
される一方、アドレッシング回路を形成すべく工程処理
された後、保護用酸化膜８により部分被覆された基板６
とも連結される。
を、ヒンジの長さ方向の中心線上で切断した断面図であ
って、ミラー１７とヨーク１５、ヒンジ１４及び各層の
連結状態を示す。図２を参照すると、ミラー１７がミラ
ー支持台１６によりヨーク１５と連結されており、ヨー
ク１５の下にヒンジ１４が形成され回転軸の役割をする
ことが分かる。アドレス電極１０は、支持台１２と連結
される一方、アドレッシング回路を形成すべく工程処理
された後、保護用酸化膜８により部分被覆された基板６
とも連結される。
【０００５】図３Ａ及び３Ｂは、マイクロミラーとミラ
ーアドレス電極との間に電圧がかかるとき、ミラーが回
転する模様をヒンジの長さ方向の中心線と垂直する線上
で切断した断面図である。図３Ａ及び３Ｂにおいて、ミ
ラー１７と一方の電極１０との間に電位差が生じると、
ミラー１７は、静電気力により図３Ａのように一方向に
回転し、所定の角度に回転した後、ランディングサイト
１１にぶつかってそれ以上回転できなくなってから止ま
る。一方、他方の電極１０とミラー１７との間に電圧が
かかると、図３Ｂのように他の方向に回転する。このよ
うに、ミラーは２つの安定した状態を有し、ミラーの２
通りの回転状態に応じてミラーに入射する光の反射され
る角度が変わるようになる。従って、マイクロミラーに
よって、一定した方向から入射する光の進行方向を変え
ることにより、光がレンズ（図示せず）及びスクリーン
（図示せず）に入射するようにしたり、外れるようにし
たりすることができる。
ーアドレス電極との間に電圧がかかるとき、ミラーが回
転する模様をヒンジの長さ方向の中心線と垂直する線上
で切断した断面図である。図３Ａ及び３Ｂにおいて、ミ
ラー１７と一方の電極１０との間に電位差が生じると、
ミラー１７は、静電気力により図３Ａのように一方向に
回転し、所定の角度に回転した後、ランディングサイト
１１にぶつかってそれ以上回転できなくなってから止ま
る。一方、他方の電極１０とミラー１７との間に電圧が
かかると、図３Ｂのように他の方向に回転する。このよ
うに、ミラーは２つの安定した状態を有し、ミラーの２
通りの回転状態に応じてミラーに入射する光の反射され
る角度が変わるようになる。従って、マイクロミラーに
よって、一定した方向から入射する光の進行方向を変え
ることにより、光がレンズ（図示せず）及びスクリーン
（図示せず）に入射するようにしたり、外れるようにし
たりすることができる。
【０００６】前記従来のマイクロミラーデバイスは、ミ
ラーとヨーク、ヒンジ、それぞれの支持台とからなり、
その構造が複雑であり、かつ複数の工程を経なければな
らないという短所がある。従って、このような複雑な構
造から、ミラーを一定に駆動するのが困難であり、製造
工程が難しく、製造コストも高くなる。
ラーとヨーク、ヒンジ、それぞれの支持台とからなり、
その構造が複雑であり、かつ複数の工程を経なければな
らないという短所がある。従って、このような複雑な構
造から、ミラーを一定に駆動するのが困難であり、製造
工程が難しく、製造コストも高くなる。
【０００７】また、従来のマイクロミラーデバイスで
は、ミラーアドレス電極に適当な電圧が印加された時は
いつも、ミラーがヒンジ軸の左右両方向に回転し、ヒン
ジが常にねじれ状態になる。かかる動作が、一対の薄い
ヒンジにより行われることから、ヒンジの堅固さがミラ
ーの特性を決める重要な要因となる。
は、ミラーアドレス電極に適当な電圧が印加された時は
いつも、ミラーがヒンジ軸の左右両方向に回転し、ヒン
ジが常にねじれ状態になる。かかる動作が、一対の薄い
ヒンジにより行われることから、ヒンジの堅固さがミラ
ーの特性を決める重要な要因となる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明が解決
しようとする技術的課題は、簡単な構造で双安定した回
転状態を有するマイクロミラーデバイスを提供すること
である。
しようとする技術的課題は、簡単な構造で双安定した回
転状態を有するマイクロミラーデバイスを提供すること
である。
【０００９】本発明が解決しようとする別の技術的課題
は、前記マイクロミラーデバイスを応用し、簡単な構造
で具現される光スイッチング素子を提供することであ
る。
は、前記マイクロミラーデバイスを応用し、簡単な構造
で具現される光スイッチング素子を提供することであ
る。
【００１０】本発明が解決しようとする更なる技術的課
題は、前記マイクロミラーデバイスを応用し、高精細な
画像表示素子を提供することである。
題は、前記マイクロミラーデバイスを応用し、高精細な
画像表示素子を提供することである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題を達成す
るための本発明のマイクロミラーデバイスは：（ａ）基
板と；（ｂ）基板上に所定の間隔をおいて左右２列に突
出するように形成された少なくとも２つの突出支持台
と；（ｃ）突出支持台のそれぞれの上部に基板と平行に
取り付けられて形成され、隣接するもの同士は並んで互
い違いに配置された、弾性復元力を有する薄板からなる
カンチレバーと；（ｄ）カンチレバーの他端の上部に取
り付けられて形成されるミラー支持台と；（ｅ）ミラー
支持台のすべての上部に取り付けられ、これらにより支
持されるミラー；及び（ｆ）ミラーに静電気力を与える
ために、前記基板上に形成された左右の２つの電極と；
を備え、前記電極と前記ミラーとの間に印加される電圧
による静電気力と前記カンチレバーの弾性復元力による
ミラーの両方向の回転を通じて前記ミラーに入射する光
を互いに異なる方向に反射させることを特徴とする。
るための本発明のマイクロミラーデバイスは：（ａ）基
板と；（ｂ）基板上に所定の間隔をおいて左右２列に突
出するように形成された少なくとも２つの突出支持台
と；（ｃ）突出支持台のそれぞれの上部に基板と平行に
取り付けられて形成され、隣接するもの同士は並んで互
い違いに配置された、弾性復元力を有する薄板からなる
カンチレバーと；（ｄ）カンチレバーの他端の上部に取
り付けられて形成されるミラー支持台と；（ｅ）ミラー
支持台のすべての上部に取り付けられ、これらにより支
持されるミラー；及び（ｆ）ミラーに静電気力を与える
ために、前記基板上に形成された左右の２つの電極と；
を備え、前記電極と前記ミラーとの間に印加される電圧
による静電気力と前記カンチレバーの弾性復元力による
ミラーの両方向の回転を通じて前記ミラーに入射する光
を互いに異なる方向に反射させることを特徴とする。
【００１２】前記別の技術的課題を達成するための本発
明の光スイッチング素子は：光入力手段と；前記光入力
手段から出た光を互いに異なる２つの方向に反射させる
ための前記マイクロミラーデバイス；及び前記マイクロ
ミラーデバイスから反射光を出力する２つの光出力手段
と；を備えて光スイッチング動作を行うことができる。
明の光スイッチング素子は：光入力手段と；前記光入力
手段から出た光を互いに異なる２つの方向に反射させる
ための前記マイクロミラーデバイス；及び前記マイクロ
ミラーデバイスから反射光を出力する２つの光出力手段
と；を備えて光スイッチング動作を行うことができる。
【００１３】マイクロミラーデバイスを単独使用する場
合には、１×２光スイッチング素子の具現が可能であ
り、マイクロミラーデバイスをアレイ状に配列して使用
すると、多重光スイッチング素子の具現が可能である。
合には、１×２光スイッチング素子の具現が可能であ
り、マイクロミラーデバイスをアレイ状に配列して使用
すると、多重光スイッチング素子の具現が可能である。
【００１４】前記更なる技術的課題を達成するための本
発明の画像表示素子は：光源と；前記マイクロミラーデ
バイスを２次元アレイ状に配列した２次元マイクロミラ
ーアレイと；前記マイクロミラーアレイに入射した光を
選択的に第１の光経路及び第２の光経路に反射させるた
めに、前記マイクロミラーアレイの電極に電気信号を印
加する駆動回路と；前記第１の光経路に反射光が透過
し、それぞれ画素に該当する色を呈するようにするカラ
ーフィルタと；前記カラーフィルタを通った光により画
像を表示するスクリーン；及び前記第２の光経路に反射
光を吸収するための吸光板と；を備えることを特徴とす
る。
発明の画像表示素子は：光源と；前記マイクロミラーデ
バイスを２次元アレイ状に配列した２次元マイクロミラ
ーアレイと；前記マイクロミラーアレイに入射した光を
選択的に第１の光経路及び第２の光経路に反射させるた
めに、前記マイクロミラーアレイの電極に電気信号を印
加する駆動回路と；前記第１の光経路に反射光が透過
し、それぞれ画素に該当する色を呈するようにするカラ
ーフィルタと；前記カラーフィルタを通った光により画
像を表示するスクリーン；及び前記第２の光経路に反射
光を吸収するための吸光板と；を備えることを特徴とす
る。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施例
を、添付した図面を参照して詳細に説明する。図面にお
いて同一図面符号は、同一構成要素を示し、重複する説
明は省略することにする。
を、添付した図面を参照して詳細に説明する。図面にお
いて同一図面符号は、同一構成要素を示し、重複する説
明は省略することにする。
【００１６】
【実施例】[実施例１]図４は、本発明の第１の実施例に
よる画像表示用マイクロミラーデバイスの概略的な分解
斜視図である。図４を参照すると、マイクロミラーデバ
イスは、アドレッシング回路（図示せず）が形成された
基板２１と、基板上の電極２２と、基板２１に取り付け
られた突出支持台２３の上部にその一端が取り付けられ
て支持され、互い違いに並んで配置された薄板からなる
３つのカンチレバー２５と、カンチレバー２５の他端の
上部に設けられたミラー支持台２４の上部に取付けられ
るミラー２０とからなる。三つの突出支持台２３は、隣
接するカンチレバー２５を支持するもの同士は、基板２
１の垂直中心線ｂ−ｂ’を基準にして互い違いに基板２
１に取り付けられる。また、それぞれの隣接したカンチ
レバー２５の他端の上に設けられた三つのミラー支持台
２４はミラー２０の中心線ｄ−ｄ’を基準にして互い違
いにミラー２０に取り付けられる。突出支持台２３とミ
ラー支持台２４とを連結する薄板からなるカンチレバー
２５は、基板２１上の電極２２に印加される電圧による
静電気力により膨張及び収縮のストレスを受け、上方ま
たは下方に撓むようになることでミラー２０を回転させ
ることが可能になる。このように、ミラー２０を支持す
る３つのカンチレバー２５は、基板２１に対する固定位
置及びミラー２０に対する取り付け位置が互い違いにな
っていて、静電気力の印加方向に応じてミラー２０が左
または右の一方向に所定の角度に傾く２通りの回転状態
を示し、加える静電気力の大きさに応じてミラーの回転
角度を調節することができる。また、基板２１上では、
ミラー２０を駆動するための一対のアドレッシング電極
２２とミラーを支持するカンチレバー２５は、ミラー２
０に電圧を印加するために、アドレッシング回路（図示
せず）と連結される。また図４のマイクロミラーでは、
電極２２とミラーを支持するミラー支持台２４によりミ
ラー２０に加わる力を考慮し、真ん中に設けられている
カンチレバーの幅を、他のものと比べて広く形成した。
勿論、前記カンチレバーは、その幅を狭くして複数個に
拡張することもできる。このような場合、同じ大きさの
カンチレバーを複数個使用し、これらを互い違いになる
ように配置することで、ミラーの２通りの回転状態を具
現することもできる。ミラーに加わる力のバランスを合
わせるために、仮に、カンチレバーの個数が偶数個の場
合は、これらの大きさを全て同一にすることが好まし
い。カンチレバーの個数が奇数個の場合は、真ん中に位
置するカンチレバーの幅を、残りのカンチレバーの幅に
比べて広くし、その残りのカンチレバーの幅は、相互同
一にすることが好ましい。
よる画像表示用マイクロミラーデバイスの概略的な分解
斜視図である。図４を参照すると、マイクロミラーデバ
イスは、アドレッシング回路（図示せず）が形成された
基板２１と、基板上の電極２２と、基板２１に取り付け
られた突出支持台２３の上部にその一端が取り付けられ
て支持され、互い違いに並んで配置された薄板からなる
３つのカンチレバー２５と、カンチレバー２５の他端の
上部に設けられたミラー支持台２４の上部に取付けられ
るミラー２０とからなる。三つの突出支持台２３は、隣
接するカンチレバー２５を支持するもの同士は、基板２
１の垂直中心線ｂ−ｂ’を基準にして互い違いに基板２
１に取り付けられる。また、それぞれの隣接したカンチ
レバー２５の他端の上に設けられた三つのミラー支持台
２４はミラー２０の中心線ｄ−ｄ’を基準にして互い違
いにミラー２０に取り付けられる。突出支持台２３とミ
ラー支持台２４とを連結する薄板からなるカンチレバー
２５は、基板２１上の電極２２に印加される電圧による
静電気力により膨張及び収縮のストレスを受け、上方ま
たは下方に撓むようになることでミラー２０を回転させ
ることが可能になる。このように、ミラー２０を支持す
る３つのカンチレバー２５は、基板２１に対する固定位
置及びミラー２０に対する取り付け位置が互い違いにな
っていて、静電気力の印加方向に応じてミラー２０が左
または右の一方向に所定の角度に傾く２通りの回転状態
を示し、加える静電気力の大きさに応じてミラーの回転
角度を調節することができる。また、基板２１上では、
ミラー２０を駆動するための一対のアドレッシング電極
２２とミラーを支持するカンチレバー２５は、ミラー２
０に電圧を印加するために、アドレッシング回路（図示
せず）と連結される。また図４のマイクロミラーでは、
電極２２とミラーを支持するミラー支持台２４によりミ
ラー２０に加わる力を考慮し、真ん中に設けられている
カンチレバーの幅を、他のものと比べて広く形成した。
勿論、前記カンチレバーは、その幅を狭くして複数個に
拡張することもできる。このような場合、同じ大きさの
カンチレバーを複数個使用し、これらを互い違いになる
ように配置することで、ミラーの２通りの回転状態を具
現することもできる。ミラーに加わる力のバランスを合
わせるために、仮に、カンチレバーの個数が偶数個の場
合は、これらの大きさを全て同一にすることが好まし
い。カンチレバーの個数が奇数個の場合は、真ん中に位
置するカンチレバーの幅を、残りのカンチレバーの幅に
比べて広くし、その残りのカンチレバーの幅は、相互同
一にすることが好ましい。
【００１７】図５は、図４のマイクロミラーデバイスか
らミラーを取り除いた後、基板上から垂直に見下ろした
平面図である。図５を参照すると、カンチレバーを支持
するための突出支持台２３及びミラーを支持するための
ミラー支持台２４は、基板２１の水平中心線ａ−ａ’に
対し対称に設けられ、ミラーのアドレッシングのための
電極２２は、基板の垂直中心線ｂ−ｂ’に対し対称に形
成されていることが分かる。この平面図上では、電極２
２は、突出支持台と互いに重ならないようにして形成さ
れる。かかる構造を通じて、ミラーが回転する２つの方
向に対しミラーが一定した力を受けるようになり、２通
りの回転状態を有することができる。
らミラーを取り除いた後、基板上から垂直に見下ろした
平面図である。図５を参照すると、カンチレバーを支持
するための突出支持台２３及びミラーを支持するための
ミラー支持台２４は、基板２１の水平中心線ａ−ａ’に
対し対称に設けられ、ミラーのアドレッシングのための
電極２２は、基板の垂直中心線ｂ−ｂ’に対し対称に形
成されていることが分かる。この平面図上では、電極２
２は、突出支持台と互いに重ならないようにして形成さ
れる。かかる構造を通じて、ミラーが回転する２つの方
向に対しミラーが一定した力を受けるようになり、２通
りの回転状態を有することができる。
【００１８】図６Ａ及び６Ｂは、図４に示したマイクロ
ミラーデバイスにおいてミラーが回転駆動する状態を示
す図であって、図４において中央に位置するカンチレバ
ーの長さ方向の中心線上で切断した断面図である。図６
Ａに示したように、左側の電極２２ａとミラー２０との
間に所定の電圧が印加されて電極２２ａとミラー２０と
の間に静電気力が作用すると、ミラー２０は矢印方向ｒ
１に回転する。この際、ミラー２０を支持しているミラ
ー支持台２４のうち左側にある２つが左下方に下がるこ
とにより、これに連結されているカンチレバー２５が撓
み弾性復元力を持つようになる。同時に、ミラー２０の
右側を支持している１つのミラー支持台は、右上方に上
がり、これに連結されているカンチレバー２５も同じく
弾性復元力を持つようになる。従って、静電気力と弾性
復元力とが平衡をなす状態までミラー２０が傾くように
なる。この場合には、入射光がミラー２０から反射さ
れ、レンズ３０を通じて進行して、スクリーン（図示せ
ず）に投射される状態となる。
ミラーデバイスにおいてミラーが回転駆動する状態を示
す図であって、図４において中央に位置するカンチレバ
ーの長さ方向の中心線上で切断した断面図である。図６
Ａに示したように、左側の電極２２ａとミラー２０との
間に所定の電圧が印加されて電極２２ａとミラー２０と
の間に静電気力が作用すると、ミラー２０は矢印方向ｒ
１に回転する。この際、ミラー２０を支持しているミラ
ー支持台２４のうち左側にある２つが左下方に下がるこ
とにより、これに連結されているカンチレバー２５が撓
み弾性復元力を持つようになる。同時に、ミラー２０の
右側を支持している１つのミラー支持台は、右上方に上
がり、これに連結されているカンチレバー２５も同じく
弾性復元力を持つようになる。従って、静電気力と弾性
復元力とが平衡をなす状態までミラー２０が傾くように
なる。この場合には、入射光がミラー２０から反射さ
れ、レンズ３０を通じて進行して、スクリーン（図示せ
ず）に投射される状態となる。
【００１９】図６Ｂを参照すると、右側の電極２２ｂと
ミラー２０との間に所定の電圧が印加される場合、ミラ
ー２０が矢印方向ｒ２に回転する。この際、ミラー２０
を支持しているミラー支持台２４のうち右側にある１つ
の支持台は、右下方に下がり、左側にある２つの支持台
は、左上方に上がった状態となる。突出支持台２３は基
板２１上に固定されているため、前記のような動作によ
り、カンチレバー２５は弾性復元力を提供するようにな
る。図６Ｂに示したような場合には、入射光がミラー２
０から反射され、レンズ３０を外れて進行して、結局
は、光が遮断される状態となる。
ミラー２０との間に所定の電圧が印加される場合、ミラ
ー２０が矢印方向ｒ２に回転する。この際、ミラー２０
を支持しているミラー支持台２４のうち右側にある１つ
の支持台は、右下方に下がり、左側にある２つの支持台
は、左上方に上がった状態となる。突出支持台２３は基
板２１上に固定されているため、前記のような動作によ
り、カンチレバー２５は弾性復元力を提供するようにな
る。図６Ｂに示したような場合には、入射光がミラー２
０から反射され、レンズ３０を外れて進行して、結局
は、光が遮断される状態となる。
【００２０】上述したように、３つの互い違いに配置さ
れたカンチレバーを使用すると、ミラーが水平状態から
傾いた場合に、前記カンチレバーが大きな弾性復元力を
提供するようになり、ミラーを安定的に支持することの
できる構造となる。また、ミラーを支持しているミラー
支持台より基板上に突出した突出支持台を長く形成する
と、ミラーが基板上に突出した突出支持台にぶつかって
それ以上回転できなくなり、それが電極に当たって損傷
されることを抑え、ミラーが正確な回転角度を有するこ
とができる。
れたカンチレバーを使用すると、ミラーが水平状態から
傾いた場合に、前記カンチレバーが大きな弾性復元力を
提供するようになり、ミラーを安定的に支持することの
できる構造となる。また、ミラーを支持しているミラー
支持台より基板上に突出した突出支持台を長く形成する
と、ミラーが基板上に突出した突出支持台にぶつかって
それ以上回転できなくなり、それが電極に当たって損傷
されることを抑え、ミラーが正確な回転角度を有するこ
とができる。
【００２１】[実施例２]図７は、本発明の第２の実施例
によるマイクロミラーデバイスからミラーを取り除いた
後、基板上から垂直に見下ろした平面図である。図５に
示したものとの相違点は、互い違いに配置された多数の
細いカンチレバー２５ａ、２５ｂがミラーを支持する構
造を有するということである。カンチレバーに対する図
面符号を２５ａ及び２５ｂとに分けて記載したことは、
互いに同じ方向を有するもの同士を区分するためであ
る。アドレッシング回路（図示せず）が形成された基板
２１と、基板上の電極２２と、基板２１に取付けられた
突出支持台２３の上部にその一端が取付けられて支持さ
れ、互い違いに並んで配置された薄板からなる多数の細
いカンチレバー２５と、カンチレバー２５の他端の上部
に設けられたミラー支持台２４の上部に取付けられるミ
ラー２０とからなる。多数の突出支持台２３は、隣接す
るカンチレバー２５を支持するもの同士は基板２１の垂
直中心線ｂ−ｂ’を基準にして互い違いに基板２１に取
り付けられる。それぞれの隣接したカンチレバー２５の
他端の上部に設けられた前記突出支持台２３と同数のミ
ラー支持台２４はミラー２０の中心線ｄ−ｄ’を基準に
して互い違いにミラー２０に取り付けられる。それぞれ
に互い違いに配置されたカンチレバー２５は、ミラーが
水平状態から傾く場合に弾性復元力を提供し、様々な形
状を有することができる。このように、多数のカンチレ
バーを使用すると、ミラーを支持する力を分散させるこ
とができるのみならず、弾性復元力も大きくすることが
できるという長所があり、前記と同様に、ミラーを２通
りの回転状態に駆動することができる。
によるマイクロミラーデバイスからミラーを取り除いた
後、基板上から垂直に見下ろした平面図である。図５に
示したものとの相違点は、互い違いに配置された多数の
細いカンチレバー２５ａ、２５ｂがミラーを支持する構
造を有するということである。カンチレバーに対する図
面符号を２５ａ及び２５ｂとに分けて記載したことは、
互いに同じ方向を有するもの同士を区分するためであ
る。アドレッシング回路（図示せず）が形成された基板
２１と、基板上の電極２２と、基板２１に取付けられた
突出支持台２３の上部にその一端が取付けられて支持さ
れ、互い違いに並んで配置された薄板からなる多数の細
いカンチレバー２５と、カンチレバー２５の他端の上部
に設けられたミラー支持台２４の上部に取付けられるミ
ラー２０とからなる。多数の突出支持台２３は、隣接す
るカンチレバー２５を支持するもの同士は基板２１の垂
直中心線ｂ−ｂ’を基準にして互い違いに基板２１に取
り付けられる。それぞれの隣接したカンチレバー２５の
他端の上部に設けられた前記突出支持台２３と同数のミ
ラー支持台２４はミラー２０の中心線ｄ−ｄ’を基準に
して互い違いにミラー２０に取り付けられる。それぞれ
に互い違いに配置されたカンチレバー２５は、ミラーが
水平状態から傾く場合に弾性復元力を提供し、様々な形
状を有することができる。このように、多数のカンチレ
バーを使用すると、ミラーを支持する力を分散させるこ
とができるのみならず、弾性復元力も大きくすることが
できるという長所があり、前記と同様に、ミラーを２通
りの回転状態に駆動することができる。
【００２２】[実施例３]図８Ａ及び図８Ｂは、本発明の
第３の実施例によるマイクロミラーデバイスで採用でき
るミラーの形態を示す断面図である。
第３の実施例によるマイクロミラーデバイスで採用でき
るミラーの形態を示す断面図である。
【００２３】図８Ａに示したように、ミラー２０全体を
光を反射する金属からなるように製作することもでき
る。或いは、図８Ｂに示したように、光を反射する金属
面の高精細化のために、導電性物質と反射率の高い金属
を用いてミラー２０を多層で構成することもできる。例
えば、ニッケルやポリシリコン等の導電性の物質でミラ
ーの下部導電層２０ａとミラー支持構造、即ちミラー支
持台２４、カンチレバー２５及び突出支持台２３を形成
し、上部金属層２０ｂ、２０ｃを光の反射率が高い金属
材料（Ａｌ、Ａｇ）で二重に形成し、光の反射効率を高
めることができる。
光を反射する金属からなるように製作することもでき
る。或いは、図８Ｂに示したように、光を反射する金属
面の高精細化のために、導電性物質と反射率の高い金属
を用いてミラー２０を多層で構成することもできる。例
えば、ニッケルやポリシリコン等の導電性の物質でミラ
ーの下部導電層２０ａとミラー支持構造、即ちミラー支
持台２４、カンチレバー２５及び突出支持台２３を形成
し、上部金属層２０ｂ、２０ｃを光の反射率が高い金属
材料（Ａｌ、Ａｇ）で二重に形成し、光の反射効率を高
めることができる。
【００２４】[実施例４]図９Ａ及び９Ｂは、本発明のマ
イクロミラーデバイスにおいて駆動電圧を減少させるた
めの電極の第４の実施例を示す平面図及び断面図であ
る。
イクロミラーデバイスにおいて駆動電圧を減少させるた
めの電極の第４の実施例を示す平面図及び断面図であ
る。
【００２５】図９Ａを参照すると、図５に示した構造と
基本的に同一であるが、マイクロミラーデバイスにおけ
る駆動電圧を減少させるために、基板上の電極２２ｃ、
２２ｄをカンチレバー２５の下部まで延長し形成した点
が互いに異なる。ミラーを支持するミラー支持台２４と
連結されたカンチレバー２５も電極の役割を遂行するこ
とができるため、前記のように電極を延長し形成させる
と、静電気力を発生する電極間の距離が更に近づく結果
をもたらす。即ち、図５に示した構造では、ミラーと基
板上の電極との間の電位差により静電気力が発生する
が、図９Ａに示した構造では、カンチレバー２５と基板
上の電極２２ｃまたは２２ｄとの間の電位差によっても
静電気力が発生する。ところが、同一の電位差に対して
は、電極間の間隔が狭ければ狭いほどより大きな静電気
力が発生するため、図９Ａに示したように、カンチレバ
ー２５に対する電極２２ｃまたは２２ｄの配置を変更す
ることにより駆動電圧が減少できる。
基本的に同一であるが、マイクロミラーデバイスにおけ
る駆動電圧を減少させるために、基板上の電極２２ｃ、
２２ｄをカンチレバー２５の下部まで延長し形成した点
が互いに異なる。ミラーを支持するミラー支持台２４と
連結されたカンチレバー２５も電極の役割を遂行するこ
とができるため、前記のように電極を延長し形成させる
と、静電気力を発生する電極間の距離が更に近づく結果
をもたらす。即ち、図５に示した構造では、ミラーと基
板上の電極との間の電位差により静電気力が発生する
が、図９Ａに示した構造では、カンチレバー２５と基板
上の電極２２ｃまたは２２ｄとの間の電位差によっても
静電気力が発生する。ところが、同一の電位差に対して
は、電極間の間隔が狭ければ狭いほどより大きな静電気
力が発生するため、図９Ａに示したように、カンチレバ
ー２５に対する電極２２ｃまたは２２ｄの配置を変更す
ることにより駆動電圧が減少できる。
【００２６】図９Ｂは、図９Ａのｃ−ｃ’線に沿う断面
図である。
図である。
【００２７】前記マイクロミラーデバイスは、光ネット
ワーク網において光スイッチング素子とも応用できる。
この場合、１つの入力に対し２つの出力方向を形成する
ことができ、１×２光スイッチング素子と具現可能であ
る。
ワーク網において光スイッチング素子とも応用できる。
この場合、１つの入力に対し２つの出力方向を形成する
ことができ、１×２光スイッチング素子と具現可能であ
る。
【００２８】[実施例５]本発明の第５の実施例によるマ
イクロミラーデバイスを用いて具現された１×２光スイ
ッチング素子の動作を図１０Ａ及び１０Ｂに示した。前
記マイクロミラーデバイスは、両方向に回転可能であ
り、２通りの回転駆動状態を有する。図１０Ａを参照す
ると、本発明によるマイクロミラーデバイス３２のミラ
ー２０に入力光ファイバ３４から光が入射する。基板２
１上に形成された一方の電極（図示せず）とミラー２０
との間に電圧が印加されると、電位差により発生した静
電気力によりミラー２０が回転して入射光を第１の出力
光ファイバ３６ａに送る。従って、１×２光スイッチン
グ素子３８が具現される。
イクロミラーデバイスを用いて具現された１×２光スイ
ッチング素子の動作を図１０Ａ及び１０Ｂに示した。前
記マイクロミラーデバイスは、両方向に回転可能であ
り、２通りの回転駆動状態を有する。図１０Ａを参照す
ると、本発明によるマイクロミラーデバイス３２のミラ
ー２０に入力光ファイバ３４から光が入射する。基板２
１上に形成された一方の電極（図示せず）とミラー２０
との間に電圧が印加されると、電位差により発生した静
電気力によりミラー２０が回転して入射光を第１の出力
光ファイバ３６ａに送る。従って、１×２光スイッチン
グ素子３８が具現される。
【００２９】一方、図１０Ｂを参照すると、基板２１上
に形成された他方の電極（図示せず）とミラー２０との
間に電圧が印加されると、ミラー２０が、図１０Ａの場
合とは反対に回転し、入射光を第２の出力光ファイバ３
６ｂに送る。前記１×２光スイッチング素子を複数個連
結して使用すると、入力と出力の個数を増加させること
もできる。
に形成された他方の電極（図示せず）とミラー２０との
間に電圧が印加されると、ミラー２０が、図１０Ａの場
合とは反対に回転し、入射光を第２の出力光ファイバ３
６ｂに送る。前記１×２光スイッチング素子を複数個連
結して使用すると、入力と出力の個数を増加させること
もできる。
【００３０】前記マイクロミラーデバイスは、画像表示
装置において１つの画素に該当する役割を遂行すること
ができ、かかる構造のマイクロミラーデバイスを基板に
２次元配列すると、非常に高精細な画像表示をすること
ができる。
装置において１つの画素に該当する役割を遂行すること
ができ、かかる構造のマイクロミラーデバイスを基板に
２次元配列すると、非常に高精細な画像表示をすること
ができる。
【００３１】[実施例６]図１１は、本発明の第６の実施
例によるマイクロミラーデバイスを用いて具現された画
像表示素子の概略的な構成図である。
例によるマイクロミラーデバイスを用いて具現された画
像表示素子の概略的な構成図である。
【００３２】図１１を参照すると、光源１２０から出た
光が２次元マイクロミラーアレイ及び駆動回路１１０に
入射する。入射した光は、駆動回路により決まるアドレ
ス電極とミラーとの電位差によるそれぞれのマイクロミ
ラーデバイスの駆動状態に応じて第１の光経路１１２に
反射されて進行することもでき、第２の光経路１１４に
反射されて進行することもできる。それぞれのマイクロ
ミラーデバイスから反射され、第１の光経路１１２に進
行した光は、レンズ１４０を通じてカラーフィルタ１５
０を透過し、それぞれ画素に該当する色を呈してスクリ
ーン１６０に画像を表示する。これと逆に、第２の光経
路１１４に進行する光は、レンズを通過できず、吸光板
１３０で吸収され、これに該当するスクリーンの画素は
黒くなる。かかる方法にて前記マイクロミラーデバイス
を駆動回路上に２次元配列し、光源１２０及びレンズ１
４０、カラーフィルタ１５０等を組み込むと、平板画像
表示の一つの方法として使用することができる。前記マ
イクロミラーデバイスを用いた画像表示方法は、代表的
な平板表示器の液晶ディスプレイ装置に比べて大きい光
の明暗比を得ることができ、かつマイクロミラーデバイ
スのサイズが小さいため、高精細な画面を得ることがで
き、容易に大面積にすることができるという長所を有す
る。
光が２次元マイクロミラーアレイ及び駆動回路１１０に
入射する。入射した光は、駆動回路により決まるアドレ
ス電極とミラーとの電位差によるそれぞれのマイクロミ
ラーデバイスの駆動状態に応じて第１の光経路１１２に
反射されて進行することもでき、第２の光経路１１４に
反射されて進行することもできる。それぞれのマイクロ
ミラーデバイスから反射され、第１の光経路１１２に進
行した光は、レンズ１４０を通じてカラーフィルタ１５
０を透過し、それぞれ画素に該当する色を呈してスクリ
ーン１６０に画像を表示する。これと逆に、第２の光経
路１１４に進行する光は、レンズを通過できず、吸光板
１３０で吸収され、これに該当するスクリーンの画素は
黒くなる。かかる方法にて前記マイクロミラーデバイス
を駆動回路上に２次元配列し、光源１２０及びレンズ１
４０、カラーフィルタ１５０等を組み込むと、平板画像
表示の一つの方法として使用することができる。前記マ
イクロミラーデバイスを用いた画像表示方法は、代表的
な平板表示器の液晶ディスプレイ装置に比べて大きい光
の明暗比を得ることができ、かつマイクロミラーデバイ
スのサイズが小さいため、高精細な画面を得ることがで
き、容易に大面積にすることができるという長所を有す
る。
【００３３】本発明の互い違いに配置されたカンチレバ
ー支持構造は、超高周波回路のスイッチング素子等に応
用できる。
ー支持構造は、超高周波回路のスイッチング素子等に応
用できる。
【００３４】
【発明の効果】上述の如く、本発明によると、従来の技
術に比べてその構造が非常に簡単であって、低廉なマイ
クロミラーデバイス及びその応用素子を具現することが
でき、素子が従来より安定した回転状態を示し、素子の
誤動作を減らすことができる。
術に比べてその構造が非常に簡単であって、低廉なマイ
クロミラーデバイス及びその応用素子を具現することが
でき、素子が従来より安定した回転状態を示し、素子の
誤動作を減らすことができる。
【００３５】本発明は、前記実施例のみに限定されず、
本発明の技術的思想内で当分野における通常の知識を有
する者により多くの変更が可能であることは明らかであ
る。
本発明の技術的思想内で当分野における通常の知識を有
する者により多くの変更が可能であることは明らかであ
る。
【図１】従来の画像表示用マイクロミラーデバイスの概
略的な分解斜視図である。
略的な分解斜視図である。
【図２】図１のマイクロミラーデバイスをヒンジの長さ
方向の中心線上で切断した断面図である。
方向の中心線上で切断した断面図である。
【図３】図３Ａ及びＢは、マイクロミラーとアドレス電
極との間に電圧がかかる時、ミラーが回転する模様をヒ
ンジの長さ方向の中心線と垂直する線上で切断した断面
図である。
極との間に電圧がかかる時、ミラーが回転する模様をヒ
ンジの長さ方向の中心線と垂直する線上で切断した断面
図である。
【図４】本発明の第１の実施例による画像表示用マイク
ロミラーデバイスの概略的な分解斜視図である。
ロミラーデバイスの概略的な分解斜視図である。
【図５】図４のマイクロミラーデバイスからミラーを取
り除いた後、基板上で垂直に見下ろした平面図である。
り除いた後、基板上で垂直に見下ろした平面図である。
【図６】図６Ａ及びＢは、本発明の第１の実施例による
マイクロミラーデバイスにおいてミラーが回転駆動する
状態を示す図である。
マイクロミラーデバイスにおいてミラーが回転駆動する
状態を示す図である。
【図７】本発明の第２の実施例によるマイクロミラーデ
バイスからミラーを取り除いた後、基板上で垂直に見下
ろした平面図である。
バイスからミラーを取り除いた後、基板上で垂直に見下
ろした平面図である。
【図８】図８Ａ及びＢは、本発明の第３の実施例による
マイクロミラーデバイスにおいて採用可能なミラーの形
態を示す断面図である。
マイクロミラーデバイスにおいて採用可能なミラーの形
態を示す断面図である。
【図９】図９Ａは、本発明の第４の実施例によるマイク
ロミラーデバイスにおいて駆動電圧を減らすための電極
構造を示す平面図であり、図９Ｂは、本発明の第４の実
施例によるマイクロミラーデバイスにおいて駆動電圧を
減らすための電極構造を示す断面図である。
ロミラーデバイスにおいて駆動電圧を減らすための電極
構造を示す平面図であり、図９Ｂは、本発明の第４の実
施例によるマイクロミラーデバイスにおいて駆動電圧を
減らすための電極構造を示す断面図である。
【図１０】図１０Ａ及びＢは、本発明の第５の実施例に
よるマイクロミラーデバイスを用いた１×２光スイッチ
ング素子の動作を説明するための図である。
よるマイクロミラーデバイスを用いた１×２光スイッチ
ング素子の動作を説明するための図である。
【図１１】本発明の第６の実施例によるマイクロミラー
デバイスを用いて具現された画像表示素子の概略的な構
成図である。
デバイスを用いて具現された画像表示素子の概略的な構
成図である。
１０ ヨークアドレス電極
１１ ランディングサイト
１２ アドレス支持台
１３ ミラーアドレス電極
１４ ねじりヒンジ
１５ ヨーク
１６、２４ ミラー支持台
１７、２０ ミラー
２０ａ 下部導電層
２０ｂ 上部金属層
２０ｃ 別の上部金属層
２１ 基板
２２ 電極
２２ａ 電極
２２ｂ 電極
２２ｃ 延長し形成された電極
２２ｄ 延長し形成された電極
２３ 突出支持台
２５ カンチレバー
２５ａ カンチレバー
２５ｂ カンチレバー
３０ レンズ
３２ マイクロミラーデバイス
３４ 入力光ファイバ
３６ａ 第１の出力光ファイバ
３６ｂ 第２の出力光ファイバ
３８ １×２光スイッチング素子
１１０ ２次元マイクロミラーアレイ及び駆動回路
１２０ 光源
１３０ 吸光板
１４０ レンズ
１５０ カラーフィルタ
１６０ スクリーン
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ジュン−ボ ヨーン
大韓民国 305−762 デジョン，ユソン−
ク，ジォンミン−ドン，エキスポ アパー
トメント 410−1308
(72)発明者 ジン−ウァン ジョン
大韓民国 136−092 ソウル，ソンブク−
ク，ジョンガム ２−ドン ８−201
Ｆターム(参考） 2H041 AA14 AA18 AA26 AB12 AB14
AC06 AZ02 AZ03 AZ08
2H042 DA02 DA04 DA10 DE00
5C058 AB01 BA25 EA27
Claims (10)
- 【請求項１】 （ａ）基板と； （ｂ）前記基板上に所定の間隔をおいて左右２列に突出
するように形成された少なくとも２つの突出支持台と； （ｃ）前記突出支持台のそれぞれの上部に基板と平行に
取り付けられて形成され、隣接するもの同士は並んで互
い違いに配置された、弾性復元力を有する薄板からなる
カンチレバーと； （ｄ）前記カンチレバーの他端の上部に取り付けられて
形成されるミラー支持台と； （ｅ）前記ミラー支持台のすべての上部に取り付けら
れ、これらにより支持されるミラー；及び （ｆ）前記ミラーに静電気力を与えるために、前記基板
上に形成された左右の２つの電極と； を備え、前記電極と前記ミラーとの間に印加される電圧
による静電気力と前記カンチレバーの弾性復元力による
ミラーの両方向の回転を通じて前記ミラーに入射する光
を互いに異なる方向に反射させるマイクロミラーデバイ
ス。 - 【請求項２】 前記カンチレバーの個数が偶数個であ
り、これらの大きさが、いずれも同一であることを特徴
とする請求項１に記載のマイクロミラーデバイス。 - 【請求項３】 前記カンチレバーの個数が奇数個であ
り、最も中央に位置するカンチレバーの幅が残りのカン
チレバーの幅に比べて広く、その残りのカンチレバーの
幅が互いに同一であることを特徴とする請求項１に記載
のマイクロミラーデバイス。 - 【請求項４】 前記ミラーの全体が金属からなることを
特徴とする請求項１に記載のマイクロミラーデバイス。 - 【請求項５】 前記ミラー構造の全体が導電性物質から
なり、光が反射されるミラーの表面が、光反射率の優れ
た金属にて一重または二重にコーティングされたことを
特徴とする請求項１に記載のマイクロミラーデバイス。 - 【請求項６】 前記電極が、前記カンチレバーの下部ま
で延長し形成され、より低い駆動電圧で作動可能である
ことを特徴とする請求項１に記載のマイクロミラーデバ
イス。 - 【請求項７】 光入力手段と；前記光入力手段から出た
光を互いに異なる２つの方向に反射させることを特徴と
する請求項１に記載のマイクロミラーデバイス；及び前
記マイクロミラーデバイスから反射光を出力する２つの
光出力手段と；を備える１×２光スイッチング素子。 - 【請求項８】 前記光入力手段及び出力手段が、いずれ
も光ファイバからなることを特徴とする請求項７に記載
の１×２光スイッチング素子。 - 【請求項９】 ｎ個の光入力手段と；前記光入力手段の
それぞれから出た光を互いに異なる２つの方向に反射さ
せ、互いにアレイ状に配置されている請求項１に記載の
ｎ個のマイクロミラーデバイス；及び前記マイクロミラ
ーデバイスのそれぞれから反射光を出力する２ｎ個の光
出力手段と；を備えるｎ×２ｎ光スイッチング素子。 - 【請求項１０】 光源と；請求項１に記載のマイクロミ
ラーデバイスを２次元アレイ状に配列した２次元マイク
ロミラーアレイと；前記マイクロミラーアレイに入射し
た光を選択的に第１の光経路及び第２の光経路に反射さ
せるために、前記マイクロミラーアレイの電極に電気信
号を印加する駆動回路と；前記第１の光経路に反射光が
透過して、それぞれの画素に該当する色を呈するように
するカラーフィルタと；前記カラーフィルタを通った光
により画像を表示するスクリーン；及び前記第２の光経
路に反射光を吸収するための吸光板と；を備える画像表
示素子。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2001-056449 | 2001-09-13 | ||
| KR10-2001-0056449A KR100398310B1 (ko) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | 엇물린 외팔보들을 이용한 마이크로미러 디바이스 및 그응용소자 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003098449A true JP2003098449A (ja) | 2003-04-03 |
| JP3804050B2 JP3804050B2 (ja) | 2006-08-02 |
Family
ID=36643346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002089081A Expired - Fee Related JP3804050B2 (ja) | 2001-09-13 | 2002-03-27 | 互い違いに配置されたカンチレバーを用いるマイクロミラーデバイス及びその応用素子 |
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| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7081872B2 (ja) |
| EP (1) | EP1293820B1 (ja) |
| JP (1) | JP3804050B2 (ja) |
| KR (1) | KR100398310B1 (ja) |
| DE (1) | DE60212021T2 (ja) |
| TW (1) | TW528885B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005070091A (ja) * | 2003-08-22 | 2005-03-17 | Seiko Epson Corp | Ｍｅｍｓ、ティルトミラーｍｅｍｓ、空間光変調装置、及びプロジェクタ |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001071479A2 (en) | 2000-03-17 | 2001-09-27 | Xeno Development Inc. | Methods and devices for reconstructing visual stimuli observed through browser-based interfaces over time |
| GB2388715B (en) * | 2002-05-13 | 2005-08-03 | Splashpower Ltd | Improvements relating to the transfer of electromagnetic power |
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