JP2003092422A

JP2003092422A - 太陽電池モジュールの製造方法

Info

Publication number: JP2003092422A
Application number: JP2001283473A
Authority: JP
Inventors: Masaki Mizutani; 匡希水谷; Yukiko Iwasaki; 由希子岩▲崎▼; Noritaka Ukiyo; 典孝浮世; Akiyuki Nishida; 彰志西田; Makoto Iwagami; 誠岩上
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-09-18
Filing date: 2001-09-18
Publication date: 2003-03-28

Abstract

(57)【要約】【課題】基体上に形成された太陽電池素子を基体から
剥離するために貼着した治具あるいは剥離基板を簡単な
方法で、太陽電池素子の発電効率を低下させることなく
取り外すことができる太陽電池素子の製造方法を提供す
る。【解決手段】基体１に分離層２を介して形成された太
陽電池素子３に第１の接着層４を介して、第１の基板５
を接着した後、分離層２で分離する工程と、太陽電池素
子３の分離された側の面に第２の接着層７を介して第２
の基板６を接着した後、第１の基板５を第１の接着層７
で分離する工程と、を含む太陽電池モジュールの製造方
法において、第１の接着層４の材料に熱可塑性を有する
樹脂を用い、第２の接着層７の材料に、第１の接着層４
の硬化温度より硬化温度が高い材料を用いることによっ
て、第２の基板６を接着する際に第１の接着層４が軟化
するようにしたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板の接着工程を
複数回有する太陽電池モジュールの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】基体上に分離層を介して素子形成層を形
成し、その後分離層の内部素子形成層および基体との界
面で機械的に破断を起こさせることにより基体から素子
形成層を分離する方法が特開平０８−２１３６４５号公
報に記載されている。この方法により、薄膜太陽電池素
子がガラス基板とプラスチック基板との間に保持された
太陽電池モジュールを得ている。この方法によれば、一
旦素子を治具に接着して基体から素子を分離し、素子を
ガラス基板に接着し、次に素子と治具との間の接着剤を
除去して素子と治具を取り外すことが記載されている。
また、このプラスチック基板には受光面電極と同一形状
の金属層があらかじめ形成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
太陽電池モジュールの製造方法では、素子と治具の間に
挟まれた接着剤を除去する際に、エッチングなどで接着
剤を溶解して除去しようとすると、長大な時間を必要と
するという問題点があった。また、エッチングによる場
合、接着剤が変色・着色して、太陽電池素子を製造した
場合、光電変換層の光電変換効率が低下して、発電効率
が低下するという問題点があった。また、素子の剥離に
耐えるほど強固に接着した接着剤を機械的な方法で除去
することも困難であり、素子を損傷しやすいという問題
点もあった。また、複数の太陽電池素子を備える太陽電
池モジュールを製造する場合においては、プラスチック
基板にあらかじめ設けてある電極と複数の太陽電池素子
の電極端子との位置合せが難しいという問題があった。

【０００４】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、基体上に形成された太陽電池素子を基体から剥離
するために貼着した治具あるいは剥離基板を簡単な方法
で、太陽電池素子の発電効率を低下させることなく取り
外すことができる太陽電池素子の製造方法を提供する。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明は、基体に分離層を介して形成された太陽
電池素子に第１の接着層を介して、第１の基板を接着し
た後、前記分離層で分離する工程と、前記太陽電池素子
の前記分離された側の面に第２の接着層を介して第２の
基板を接着した後、前記第１の基板を前記第１の接着層
で分離する工程と、を含む太陽電池モジュールの製造方
法において、前記第１の接着層の材料に熱可塑性を有す
る樹脂を用い、前記第２の接着層の材料に、前記第１の
接着層の硬化温度より硬化温度が高い材料を用いること
によって、前記第２の基板を接着する際に前記第１の接
着層が軟化するようにしたことを特徴とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施形態について詳細に説明する。まず、図１を用い
て本発明の基本的な考え方について説明する。なお、以
下の説明では半導体素子の一例として太陽電池素子を用
いている。

【０００７】図１(ａ)に示すように、基体１に分離層２
を形成し、その上に太陽電池素子３を形成する。基体１
としては単結晶シリコン基板を用い、分離層２としては
多孔質シリコン層を用いることができる。多孔質シリコ
ン層は、単結晶シリコン基板を電解液中で陽極化成する
ことによって得られる。陽極化成に用いる電解液として
はフッ酸溶液などを用いることができ、電流密度を１か
ら１００ｍＡ／ｃｍ²の範囲に設定して行うことによっ
て好適なものを形成することができる。このほか、分離
層２としては高エネルギーの水素イオン打ち込み層を用
いることもできる。

【０００８】太陽電池素子３はＣＶＤ法やＬＰＥ法によ
ってエピタキシャル成長した膜を形成し、ｐｎ接合を形
成して得る。たとえば、ｐ⁺層、ｐ^-層をエピタキシャル
成長させた後、ｎ型不純物を熱拡散あるいはイオン打ち
込みすることにより得られる。ｐｎの積層順は逆でも良
い。さらに、太陽電池素子３の表面には、図１に示さな
い集電電極をスクリーン印刷などの方法で印刷・焼成
し、電力取り出しのための端子３ａを太陽電池素子３の
外部に延在するように該集電電極と接続しておく。

【０００９】次いで、図１(ｂ)に示すように、太陽電池
素子３の表面に第１の接着剤４を介して、第１の基板と
しての剥離基板５を貼り合わせる。第１の接着剤４は剥
離基板５の取り外し後も太陽電池素子３の表面に残存す
ることがあるため、太陽電池素子３の発電効率を損なわ
ないよう、透明性と耐侯性が求められる。この要求を満
たす材料としてエチレン系共重合体樹脂が好適に用いら
れる。

【００１０】具体的には、エチレン・ビニルアセテート
共重合体（ＥＶＡ）、エチレン・メチルアクリレート共
重合体（ＥＭＡ）、エチレン・エチルアクリレート共重
合体（ＥＥＡ）、エチレン・メチルメタクリレート共重
合体（ＥＭＭＡ）、エチレン・アクリル酸共重合体（Ｅ
ＡＡ）、エチレン・メタクリル酸共重合体（ＥＭＡＡ）
などが挙げられる。これらの樹脂においてエチレン以外
の組成物の含有比は２０から３５％程度が好ましい。

【００１１】これらの樹脂を第１の接着剤４として、シ
ート状に太陽電池素子３の表面に積層し、その上に剥離
基板５を積層した後、所定の温度に加熱することにより
第１の接着剤４が溶融・固着して太陽電池素子３の表面
に剥離基板５が貼り付けられる。第１の接着剤４は以降
の工程で剥離基板５を剥離することができるように熱可
塑性を有する。熱可塑性を有する樹脂は、一般に硬化温
度より５０℃程度高い温度で軟化する。

【００１２】そのためには、第１の接着剤４の材料には
架橋剤を含有しないものを用いることが好適である。こ
の場合、第１の接着剤４は６０℃程度で溶融・軟化す
る。架橋剤は過酸化物からなり、加熱することにより熱
分解して酸素ラジカルを生成し樹脂を架橋するものであ
る。架橋剤を適宜選択することにより樹脂の反応硬化温
度を１２０℃から２００℃の範囲に設定することができ
る。

【００１３】架橋した樹脂は架橋していない樹脂に比べ
て熱的な安定性が向上するが、それでもなお架橋した樹
脂を硬化温度より高温にするとある程度は軟化させるこ
とができる。この性質を利用すれば第１の接着剤に架橋
剤を含有させても良く、この場合には第２の接着剤の硬
化温度で軟化するように第１の接着剤の樹脂の架橋剤を
選択する。また、樹脂には紫外線吸収剤を添加してより
耐侯性を高めることができる。

【００１４】図１（ｃ）に示すように、剥離基板５に力
を加えると、分離層２が破断して太陽電池素子３を基体
１から分離することができる。剥離基板５として金属板
やガラス板などの剛性を有する基板を用いた場合、分離
層２に機械的な楔を挿入したり、液体噴流を用いた流体
楔などの方法を用いたりして、分離層２で太陽電池素子
３と基体１を分離できる。

【００１５】また、剥離基板５としてプラスチックなど
の熱膨張率の大きい材料を用いた場合、剥離基板５に液
体窒素などの冷気を吹きかけることにより剥離基板５が
縮小して太陽電池素子３を基体１から分離できる。さら
に、剥離基板５としてプラスチックフィルムなどの可撓
性を有する基板を用いた場合、剥離基板５を円筒面など
の曲面で支持しながら引き剥がすことにより、太陽電池
素子３と基体１を分離できる。

【００１６】分離層２として多孔質層を用いた場合に
は、図１（ｃ）の２ａまたは２ｂに示すように、多孔質
層の残渣が基体１と太陽電池素子３のいずれにも残存す
るが、フッ酸過水などの酸類やテトラメチルアンモニウ
ムヒドロキサイド（ＴＭＡＨ）などのアルカリ類で除去
することができる。このように分離層２が除去された基
体１は、再び、図１（ａ）で使用することができる。

【００１７】次いで、図１（ｄ）に示すように、太陽電
池素子３の裏面に印刷や蒸着などの方法で図示しない裏
面電極を形成し、端子３ｂを太陽電池素子３と接続した
後、第２の基板としての保持基板６の上に第２の接着剤
７を介して太陽電池素子３を貼り付ける。その後、第２
の接着剤７を硬化させて貼着する。

【００１８】一般に熱可塑性を有する樹脂は、硬化温度
より約５０℃高い温度まで加熱すると軟化する性質があ
る。それゆえ、第２の接着剤７を硬化させつつ、第１の
接着剤４を軟化させるためには、第２の接着剤７の材料
に、第１の接着剤４の硬化温度より約５０℃高い温度で
硬化する材料を選択する必要がある。

【００１９】このような、第２の接着剤７としてはエポ
キシ系接着剤、シリコン系接着剤、ウレタン系接着剤な
どを用いることができる。また、第２の接着剤７として
は上述の第１の接着剤４と同種のエチレン系共重合体樹
脂を用いることができる。樹脂に含有させる架橋剤を適
宜選択することにより樹脂の反応硬化温度を１２０℃か
ら２００℃の範囲に適宜設定することができる。

【００２０】また、第２の接着剤７に導電性接着剤や導
電性ペーストを用いることもできる。導電性接着剤には
エポキシ系接着剤に銀やニッケルを含有させたものを用
いることができる。導電性エポキシ接着剤の標準的な硬
化は１５０℃程度で、５分から１時間程度加熱する。導
電性接着剤を用いた場合には、裏面電極および端子３ｂ
を形成せずに、導電性表面を有する保持基板６と導通さ
せて電力取出しをすることもできる。

【００２１】次いで、図１（ｅ）に示すように、第１の
接着剤４で剥離基板５を太陽電池素子３から分離する。
太陽電池素子３を保持基板６に貼着した際、第１の接着
剤４は軟化しているので、剥離基板５を容易に取り外す
ことができる。この際、太陽電池素子３を化学的あるい
は機械的に損傷することがないので製造歩留まりが向上
する。

【００２２】太陽電池素子３の表面には第１の接着剤の
残渣４ａが残存するが、エチレン系共重合体樹脂を用い
れば透明性、耐侯性ともに優れているので、接着剤残存
による効率低下のない太陽電池素子とすることができ
る。剥離基板５に残る第１の接着剤の残渣４ｂを化学的
あるいは機械的方法で除去して、剥離基板５を再利用す
ることもできる。保持基板６としてはアルミ板、亜鉛め
っき鋼板などの金属板や、樹脂フィルムなどを用いるこ
とができる。

【００２３】図２（ａ）および（ｂ）は、太陽電池素子
が複数形成される太陽電池モジュールの製造方法の一実
施形態を示す模式図である。

【００２４】図２（ａ）に示すように、図１（ｅ）まで
の工程と同様にして保持基板６に太陽電池素子３を第２
の接着剤７で貼着する。その後、各端子３ａと３ｂと
を、はんだ付けなどの方法により接続する。

【００２５】図２（ｂ）に示すように、充填剤９を保護
部材１０と保持基板６等との間に充填することにより太
陽電池モジュールを得る。充填剤９は第１の接着剤４と
同じ材料とすることにより、第１の接着剤の残渣４ａと
充填剤９とが一体化するので透明性、耐侯性に優れた太
陽電池モジュールとすることができる。

【００２６】透明性、耐侯性の観点から、充填剤９とし
ては架橋剤および紫外線吸収剤を含有するエチレン系共
重合体樹脂が好適に用いられる。第１の接着剤４に架橋
剤を含有しない樹脂を用いる場合、充填剤９として架橋
剤を含有する樹脂を用いると、充填剤９から架橋剤が下
方に拡散して第１の接着剤の残渣４ａを架橋することが
できる。

【００２７】この場合、第１の接着剤の残渣４ａの厚さ
はごく薄くしておく必要がある。充填剤９の加熱硬化時
には太陽電池素子３の位置がずれないように、第２の接
着剤７は軟化しないことが望ましい。保護部材１０とし
てはガラスや樹脂フィルムを用いることができる。開口
１１を通して端子３ａまたは端子３ｂにそれぞれ導線１
２を接続する。必要に応じてモジュールの外周に金属や
樹脂からなる枠体１３を設ける。図１（ａ）から（ｅ）
および図２を参照して本発明の一実施形態について説明
する。

【００２８】（実施形態１）図１（ａ）に示すように、
基体１としての比抵抗１５ｍΩｃｍ程度で、約１２５ｍ
ｍ角のｐ⁺単結晶シリコン基板を陽極化成して、分離層
２としての多孔質層を形成する。陽極化成は図３に示す
電解槽で行うことができる。ホルダ２０に保持されたシ
リコン基板１が化成液２３の中に浸漬される。ホルダ２
０は同時に陽極２１も保持している。

【００２９】シリコン基板１に対向する位置には陰極２
２が設けられている。シリコン基板１と陽極２１で囲ま
れる空間には電解液２４が満たされている。化成液２３
には、弗酸（濃度４９％程度）とアルコールの比が約２
対１の混合液を用いることができる。電解液２４には化
成液２３と同じものを用いてもよい。

【００３０】この状態で陽極２１と陰極２２の間に、約
８．２ｍＡ／ｃｍ²で１０分程度、および約１９．７ｍ
Ａ／ｃｍ²で２分程度通電させることにより、シリコン
基板１の陰極２２に対する面に多孔質層が約１３μｍの
厚さで形成される。多孔質層形成後、シリコン基板１を
約１０５０℃で２０分程度、水素アニールすることによ
り多孔質層の表面が平滑化される。

【００３１】次に、太陽電池素子３を形成するために、
ＬＰＥ法等でガリウムドープｐ⁺層を１μｍ程度、ｐ^-層
を３０μｍ程度形成し、その表面にリンを約３０ｋｅＶ
でイオン打ち込みしてｎ層を形成する。

【００３２】次に、銀ペーストをパターン印刷後、焼成
して表面電極を形成し、さらにプラズマＣＶＤ法等によ
り窒化シリコン膜等を７００ｎｍ程度の厚さに形成する
ことにより、図１等では図示されない反射防止膜とす
る。表面電極には銅箔からなる端子３ａをハンダ等によ
り接続する。

【００３３】次いで、図１（ｂ）に示すように、太陽電
池素子３の上に第１の接着剤４としてシート状に形成さ
れた架橋剤を含有しないＥＶＡを積層し、その上に太陽
電池素子３と同程度の大きさのガラス基板(厚さ約０．
９ｍｍ)を剥離基板５として積層する。これらを約６０
℃で１０分程度加熱した後、冷却するとＥＶＡが一旦溶
融して固化し、太陽電池素子３とガラス基板５とが貼り
付けられる。

【００３４】次いで、図１（ｃ）に示すように、多孔質
層２に刃先角度約８°の鉄製楔を挿入すると多孔質層２
が破断して太陽電池素子３とシリコン基板１が分離され
る。シリコン基板１に残る多孔質層の残渣２ａおよび太
陽電池素子３に残る多孔質層の残渣２ｂは、ＴＭＡＨ
（２．３８％）と水との比が約１対１で約８５℃のアル
カリ溶液に、それぞれ５分程度および１５分程度浸漬す
ることにより除去することができる。シリコン基板１は
再び図１（ａ）に示す工程で使用することができる。多
孔質層の残渣２ｂを除去した後、銀ペーストをパターン
印刷後焼成して図示しない裏面電極を形成し、裏面電極
に銅箔からなる端子３ｂをハンダ等で接続する。

【００３５】図１（ｄ）に示すように、保持基板６とし
て亜鉛めっき鋼板を用い、この上に第２の接着剤７とし
てシート状に形成されたＥＶＡを積層し、さらにシリコ
ン基板１が分離された太陽電池素子３等を積層する。第
２の接着剤７に使用されるＥＶＡには、約１５０℃、３
０分程度の加熱で架橋・硬化するように、架橋剤として
２．５−ジメチル‐２．５‐ビス(t‐ブチルパーオキ
シ)ヘキサンが含有されている。

【００３６】図１（ｅ）に示すように、ガラス基板５を
太陽電池素子３から引き剥がす。この際、第２の接着剤
７のＥＶＡが架橋硬化されるときに、第１の接着剤４の
ＥＶＡは十分に軟化しているので、ガラス基板５を太陽
電池素子３から容易に引き剥がすことができる。ガラス
基板５に残る第１の接着剤の残渣４ｂは軟化している状
態のときに箆（ヘラ）状の治具で掻き取ることができ、
さらに硫酸過水に浸漬すると残渣が溶解して、ガラス基
板５の再利用が可能になる。太陽電池素子３に残る表面
の第１の接着剤の残渣４ａも掻き取って薄くしておくこ
とにより、後で積層する充填剤９のＥＶＡに含有される
架橋剤が拡散して第１の接着剤の残渣４ｂも架橋させる
ことができる。

【００３７】次いで、図２（ａ）に示すように、保持基
板６として８００×１０５０ｍｍの亜鉛めっき鋼板を用
い、第２の接着剤７として保持基板６とほぼ同じ大きさ
のＥＶＡシートを用い、図１(ａ)から(ｅ)までと同様に
して、保持基板６の上に６列×８列で４８個の太陽電池
素子３を貼着する。端子３ａ、端子３ｂをハンダ付け等
により接続して４８個の太陽電池素子を直列に接続する
（図２では模式的に３個の太陽電池素子を直列接続した
状態を示している）。

【００３８】図２（ｂ）に示すように、充填剤９として
シート状に形成されたＥＶＡを積層し、さらに保護部材
１０として強化ガラスを積層する。充填剤９のＥＶＡは
１３３℃、３０分程度の加熱で架橋・硬化するように、
架橋剤としてｔ‐ブチルパーオキシ‐２‐エチルヘキシ
ルカーボネートが含有されている。

【００３９】充填剤９の架橋・硬化時に、架橋していな
いＥＶＡの残渣４ａにも架橋剤が浸透して、充填剤９と
残渣４ａが一体化して硬化する。充填剤９の架橋・硬化
時の温度(約１３３℃)は第２の接着剤７の硬化温度(約
１５０℃)よりも低く設定してあるので、充填剤９の架
橋・硬化時に第２の接着剤７が軟化しないため、太陽電
池素子３の位置がずれることがないという利点がある。

【００４０】次に、保持基板６に設けてある開口１１を
通して導線１２を端子３ａ、３ｂにハンダ等により接続
する。最後に、断面コの字型のアルミニウム製枠体１１
を周囲に配置して、出力約１００Ｗの太陽電池モジュー
ルを得る。

【００４１】（実施形態２）以下、本発明の実施形態２
について説明する。第１の接着剤４には、約１３３℃、
３０分程度の加熱で架橋・硬化するように架橋剤とし
て、ｔ‐ブチルパーオキシ‐２‐エチルヘキシルカーボ
ネートを含有するＥＶＡを用いる。第２の接着剤７とし
て約１８５℃、３０分程度の加熱で架橋・硬化するよう
に架橋剤としてジ‐１．３．３‐テトラメチルブチルヒ
ドロパーオキサイドを含有するＥＶＡを用いる。充填材
として１５０℃３０分程度の加熱で架橋・硬化するよう
に架橋剤として２．５‐ジメチル‐２．５‐ビス（ｄ‐
ブチルパーオキシ）ヘキサンを用いる。

【００４２】その他は実施形態１と同様の構成、手順に
より太陽電池モジュールを得る。この構成によれば第２
の接着剤７の架橋・硬化時に第１の接着剤４が軟化して
剥離基板５を容易に取り外すことができるだけでなく、
充填材９の架橋・硬化時に第２の接着剤７が軟化しない
ので太陽電池素子３の位置がずれることがない。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
太陽電池素子に第２の基板を接着した後、第１の基板を
剥離する工程を有する製造方法において、第２の基板を
接着する際に第１の基板を接着する第１の接着剤が軟化
するので、簡便な方法で第１の基板の剥離を行えるよう
になった。

【００４４】また、太陽電池素子を破損することがなく
なるので、太陽電池素子の発電効率を低下させることが
なくなった。また、第１の接着剤の材料にエチレン系共
重合樹脂を用いた場合、エチレン系共重合体樹脂は透明
性かつ耐光性を有するので、太陽電池素子の発電効率の
低下を招かなくなった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態を説明するための断面図で
ある。

【図２】本発明の一実施形態を説明するための断面図で
ある。

【図３】本発明の一実施形態で用いられる装置を示す図
である。

【符号の説明】

１基体２分離層２ａ分離層の残渣２ｂ分離層の残渣３太陽電池素子３ａ太陽電池素子の端子３ｂ太陽電池素子の端子４第１の接着剤４ａ第１の接着剤の残渣４ｂ第１の接着剤の残渣５剥離基板６保持基板７第２の接着剤９充填材１０保護部材１１開口１２導線１３枠体

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者浮世典孝東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者西田彰志東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者岩上誠東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 5F051 AA02 AA03 CB12 CB19 CB20 CB30 EA18 GA04 JA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基体に分離層を介して形成された太陽電
池素子に第１の接着層を介して第１の基板を接着した
後、前記分離層で分離する工程と、前記太陽電池素子の
前記分離された側の面に第２の接着層を介して第２の基
板を接着した後、前記第１の基板を前記第１の接着層で
分離する工程と、を含む太陽電池モジュールの製造方法
において、前記第１の接着層の材料に熱可塑性を有する樹脂を用
い、前記第２の接着層の材料に、前記第１の接着層の硬
化温度より硬化温度が高い材料を用いることによって、
前記第２の基板を接着する際に前記第１の接着層が軟化
するようにしたことを特徴とする太陽電池モジュールの
製造方法。
【請求項２】前記第１の接着層の材料をエチレン系共
重合体樹脂としたことを特徴とする請求項１記載の太陽
電池モジュールの製造方法。
【請求項３】前記第２の接着層の材料を、エチレン系
共重合体樹脂としたことを特徴とする請求項１記載の太
陽電池モジュールの製造方法。
【請求項４】前記第２の接着層の材料を、導電性を有
する材料としたことを特徴とする請求項１記載の太陽電
池モジュールの製造方法。
【請求項５】前記基体はシリコン基体とし、前記分離
層は多孔質層としたことを特徴とする請求項１記載の太
陽電池モジュールの製造方法。
【請求項６】前記第１の基板を分離した後、複数の前
記太陽電池素子を電気的に接続する工程と、前記太陽電池素子が形成された前記第２の基板と保護部
材との間に充填剤を充填する工程と、をさらに含むこと
を特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の太
陽電池モジュールの製造方法。
【請求項７】前記充填剤の材料を前記第１の接着剤の
材料と同じものとしたことを特徴とする請求項６記載の
太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項８】前記第１の接着剤の材料を架橋剤を含有
しないエチレン系共重合体樹脂とし、前記充填剤は架橋
剤を含有しないエチレン系共重合体樹脂としたことを特
徴とする請求項６または７に記載の太陽電池モジュール
の製造方法。