JP2003070208A - Ac servomotor - Google Patents
Ac servomotorInfo
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- JP2003070208A JP2003070208A JP2001258870A JP2001258870A JP2003070208A JP 2003070208 A JP2003070208 A JP 2003070208A JP 2001258870 A JP2001258870 A JP 2001258870A JP 2001258870 A JP2001258870 A JP 2001258870A JP 2003070208 A JP2003070208 A JP 2003070208A
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- armature
- heat
- load side
- load
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- Pending
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- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
- Permanent Field Magnets Of Synchronous Machinery (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度位置決めが
要求される半導体製造装置などに使用されるACサーボ
モータに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an AC servomotor used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like which requires high precision positioning.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来のACサーボモータは、ロータ側に
界磁とする永久磁石を備えるとともに、ステータ側に電
機子を備えており、電機子は、電機子コイルが巻かれた
電機子コアが、永久磁石と対向する面を除いて樹脂で全
体的にモールドされて構成されている。また、電機子
は、軸方向の両側の樹脂部を負荷側ブラケットと反負荷
側ブラケットとで挟み込む構造となっている。2. Description of the Related Art A conventional AC servomotor has a permanent magnet serving as a field on the rotor side and an armature on the stator side. The armature is an armature core around which an armature coil is wound. , And is entirely molded with resin except for the surface facing the permanent magnet. Further, the armature has a structure in which the resin portions on both sides in the axial direction are sandwiched between the load side bracket and the non-load side bracket.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のACサーボモータにおいては、電機子コアが
樹脂でモールドされているため、電機子で発生した熱が
負荷側ブラケットへ伝わりにくいため、電機子の温度上
昇が大きいという問題があった。そこで、本発明は、電
機子で発生した熱を良好に負荷側ブラケットに伝え、電
機子の温度上昇を低減することができるACサーボモー
タを提供することを目的とするものである。However, in such a conventional AC servo motor, since the armature core is molded with resin, the heat generated in the armature is hard to be transferred to the load side bracket, and therefore the electric machine There was a problem that the temperature rise of the child was large. Therefore, an object of the present invention is to provide an AC servomotor capable of favorably transmitting the heat generated by the armature to the load side bracket and reducing the temperature rise of the armature.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、ロータ側に界磁とする永久磁石を備える
とともに、ステータ側に電機子を備え、前記電機子は、
電機子コイルが巻かれた電機子コアが、前記永久磁石と
対向する面を除いて樹脂で全体的にモールドされて構成
されるとともに、軸方向の両側の樹脂部を負荷側ブラケ
ットと反負荷側ブラケットとで挟み込んで構成したAC
サーボモータにおいて、前記電機子コアの負荷側端面
に、軸方向に貫通しない吸熱側の穴を少なくとも1つ設
けるとともに、前記負荷側ブラケットの反負荷側端面
に、前記吸熱側の穴と同じ位置に同じ個数の放熱側の穴
を設け、熱伝導性の良い熱伝導棒材を、両方の穴に嵌合
して配置するようにしたものである。In order to solve the above problems, the present invention comprises a permanent magnet serving as a field on the rotor side and an armature on the stator side, and the armature comprises:
The armature core around which the armature coil is wound is entirely molded with resin except for the surface facing the permanent magnet, and the resin portions on both axial sides are provided on the load side bracket and the anti-load side. AC configured by sandwiching with bracket
In the servo motor, at least one heat absorbing side hole that does not penetrate axially is provided on the load side end surface of the armature core, and at the same position as the heat absorbing side hole on the non-load side end surface of the load side bracket. The same number of holes on the heat radiating side are provided, and heat conducting rods having good heat conductivity are fitted and arranged in both holes.
【0005】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。図1は本発明の実施例を示すACサーボ
モータの側断面図である。図において、ACサーボモー
タ1は、ロータR側にシャフト2と界磁とする永久磁石
3を備え、ステータS側に電機子4を備えている。前記
電機子4は、電機子コイル6が巻かれた電機子コア5
が、前記永久磁石3と対向する面を除いて樹脂7で全体
的にモールドされて構成されている。また、前記電機子
4は、軸方向の両側の樹脂7を負荷側ブラケット8と反
負荷側ブラケット9とで挟み込んで構成している。前記
シャフト2は、前記負荷側ブラケット8と反負荷側ブラ
ケット9に軸受10,11を介して回転自在に支持され
ている。前記電機子コア5の負荷側端面には、軸方向に
貫通しない吸熱側の穴12を少なくとも1つ設けてい
る。また、前記負荷側ブラケット8の反負荷側端面に
は、前記吸熱側の穴12と同じ位置に同じ個数の放熱側
の穴13を設け、スタッドからなる熱伝導性の良い熱伝
導棒材14を、両方の穴12,13に嵌合して配置して
いる。このような構成において、前記電機子4で発生し
た熱は、熱伝導の良好な熱伝導棒材14を通って負荷側
ブラケット8に伝達され、モータ外部に放熱あるいは外
部部材に熱伝達される。これにより、電機子4の温度上
昇が低減される。なお、熱伝導棒材14をスタッドより
もさらに熱伝導の良好なヒートパイプで構成すると、さ
らに電機子4から負荷側ブラケット8に伝達される熱量
が大きくなり、電機子の温度上昇はさらに大きく低減さ
れる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a side sectional view of an AC servomotor showing an embodiment of the present invention. In the figure, an AC servomotor 1 includes a shaft 2 and a permanent magnet 3 serving as a field on the rotor R side, and an armature 4 on the stator S side. The armature 4 is an armature core 5 around which an armature coil 6 is wound.
However, except for the surface facing the permanent magnet 3, it is entirely molded with resin 7. Further, the armature 4 is configured by sandwiching the resin 7 on both sides in the axial direction between a load side bracket 8 and an anti-load side bracket 9. The shaft 2 is rotatably supported by the load side bracket 8 and the anti-load side bracket 9 via bearings 10 and 11. The armature core 5 is provided with at least one heat-absorbing hole 12 on the load-side end face that does not penetrate in the axial direction. Further, on the end face of the load side bracket 8 opposite to the load side, the same number of holes 13 on the heat radiating side are provided at the same positions as the holes 12 on the heat absorbing side, and a heat conducting rod 14 made of studs having good heat conductivity is provided. , Both holes 12 and 13 are fitted and arranged. In such a configuration, the heat generated in the armature 4 is transmitted to the load side bracket 8 through the heat conducting rod 14 having good heat conduction, and is dissipated to the outside of the motor or is transmitted to an external member. As a result, the temperature rise of the armature 4 is reduced. If the heat-conducting rod 14 is made of a heat pipe having better heat conduction than the stud, the amount of heat transferred from the armature 4 to the load side bracket 8 is further increased, and the temperature rise of the armature is further reduced. To be done.
【0006】[0006]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような効果がある。
(1)熱伝導の良好な熱伝導棒材を、電機子コアと負荷側
ブラケット間に熱伝導可能に配置しているので、電機子
で発生した熱が効率よく負荷側ブラケットに伝えること
ができ、電機子の温度上昇を低減することができる。
(2)熱伝導性の良いスタッドの代わりにさらに熱伝導の
よいヒートパイプを配置することにより、さらに効率よ
く負荷側ブラケットに熱を伝えることができ、電機子の
温度上昇を大きく低減することができる。As described above, the present invention has the following effects. (1) The heat-conducting rod with good heat conduction is placed between the armature core and the load-side bracket so that heat can be conducted, so that the heat generated by the armature can be efficiently transferred to the load-side bracket. The temperature rise of the armature can be reduced. (2) By arranging a heat pipe with better heat conductivity instead of a stud with good heat conductivity, heat can be more efficiently transferred to the load side bracket, and the temperature rise of the armature can be greatly reduced. it can.
【図1】 本発明の実施例を示すACサーボモータの側
断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of an AC servomotor showing an embodiment of the present invention.
1 ACサーボモータ、 2 シャフト、 3 永久磁石、 4 電機子、 5 電機子コア、 6 電機子コイル、 7 樹脂、 8 負荷側ブラケット、 9 反負荷側ブラケット、 10 軸受、 11 軸受、 12 吸熱側の穴、 13 放熱側の穴、 14 熱伝導棒材 1 AC servo motor, 2 shafts, 3 permanent magnets, 4 armatures, 5 armature core, 6 armature coil, 7 resin, 8 Load side bracket, 9 Anti-load side bracket, 10 bearings, 11 bearings, 12 Heat absorption side hole, 13 holes on the heat dissipation side, 14 Heat conduction rod
Claims (3)
とともに、ステータ側に電機子を備え、前記電機子は、
電機子コイルが巻かれた電機子コアが、前記永久磁石と
対向する面を除いて樹脂で全体的にモールドされて構成
されるとともに、軸方向の両側の樹脂部を負荷側ブラケ
ットと反負荷側ブラケットとで挟み込んで構成したAC
サーボモータにおいて、 前記電機子コアの負荷側端面に、軸方向に貫通しない吸
熱側の穴を少なくとも1つ設けるとともに、前記負荷側
ブラケットの反負荷側端面に、前記吸熱側の穴と同じ位
置に同じ個数の放熱側の穴を設け、熱伝導性の良い熱伝
導棒材を、両方の穴に嵌合して配置したことを特徴とす
るACサーボモータ。1. A permanent magnet serving as a field is provided on the rotor side, and an armature is provided on the stator side.
The armature core around which the armature coil is wound is entirely molded with resin except for the surface facing the permanent magnet, and the resin portions on both axial sides are provided on the load side bracket and the anti-load side. AC configured by sandwiching with bracket
In the servo motor, at least one heat absorbing side hole that does not penetrate axially is provided on the load side end surface of the armature core, and at the same position as the heat absorbing side hole on the counter load side end surface of the load side bracket. An AC servomotor characterized in that the same number of holes on the heat radiation side are provided, and heat conducting rods having good thermal conductivity are fitted and arranged in both holes.
徴とする請求項1記載のACサーボモータ。2. The AC servomotor according to claim 1, wherein the heat conducting rod is a stud.
を特徴とする請求項1記載のACサーボモータ。3. The AC servomotor according to claim 1, wherein the heat conducting rod is a heat pipe.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001258870A JP2003070208A (en) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | Ac servomotor |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2001258870A JP2003070208A (en) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | Ac servomotor |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2003070208A true JP2003070208A (en) | 2003-03-07 |
Family
ID=19086319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2001258870A Pending JP2003070208A (en) | 2001-08-29 | 2001-08-29 | Ac servomotor |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2003070208A (en) |
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-
2001
- 2001-08-29 JP JP2001258870A patent/JP2003070208A/en active Pending
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