JP2003053146A - Method for treating gas containing volatile organic halogen compound - Google Patents
Method for treating gas containing volatile organic halogen compoundInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は有機ハロゲン化合物
含有ガスの処理方法に関するものであり、詳しくは、土
壌または地下水などに含まれる揮発性有機ハロゲン化合
物を含有するガスの処理方法に関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a method for treating a gas containing an organic halogen compound, and more particularly to a method for treating a gas containing a volatile organic halogen compound contained in soil or groundwater.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、エレクトロニクス関連の工場やク
リーニングなどの溶剤を使用する施設などから放出され
るジクロロエチレン(DCE)、トリクロロエチレン
(TCE)、テトラクロロエチレン(PCE)などの有
害な揮発性有機ハロゲン化合物による環境汚染が大きな
社会問題になっている。これらは発ガン性や生殖毒性の
疑いがあり、また非常に安定であるため、土壌中に残留
したり、雨水などにより飲料水の資源である地下水に持
ち込まれることは好ましくない。2. Description of the Related Art In recent years, environment caused by harmful volatile organic halogen compounds such as dichloroethylene (DCE), trichlorethylene (TCE), and tetrachloroethylene (PCE) released from electronics factories and facilities that use solvents such as cleaning. Pollution is a big social problem. Since these are suspected to be carcinogenic and reproductive toxicity and are very stable, it is not preferable that they remain in the soil or be brought into groundwater, which is a resource of drinking water, by rainwater or the like.
【0003】揮発性有機ハロゲン化合物を除去する方法
としては、土壌中の有機ハロゲン化合物を微生物により
分解する方法(バイオレメディエーション法)、土壌中
の有機ハロゲン化合物を減圧吸引して気化させ、活性炭
等に吸着させて捕集する方法などが知られている。しか
しながら、バイオレメディエーション法は処理に非常に
長い時間を要し、活性炭に吸着させる方法は更に捕集物
の分解を行う必要があるという問題点がある。As a method for removing volatile organic halogen compounds, a method of decomposing organic halogen compounds in soil with microorganisms (bioremediation method), or a method of decompressing organic halogen compounds in soil by vaporization to obtain activated carbon etc. A method of adsorbing and collecting is known. However, the bioremediation method takes a very long time to process, and the method of adsorbing it on activated carbon has a problem that it is necessary to further decompose the collected matter.
【0004】また、化学的処理方法として、第一鉄と過
酸化水素で酸化分解する方法、土壌と鉄粉とを混合して
還元処理する方法などが知られているが、これらはいず
れも鉄や過酸化水素などの試薬の使用量が多く、その効
果も必ずしも十分とは言えない。Known chemical treatment methods include a method of oxidizing and decomposing ferrous iron and hydrogen peroxide, and a method of mixing soil and iron powder for reduction treatment, all of which are iron. The amount of reagents such as hydrogen peroxide and hydrogen peroxide used is large, and the effect is not always sufficient.
【0005】このような背景の下、土壌または地下水か
ら揮発性有機ハロゲン化合物を抽出して空気等に含ませ
て被処理ガスとし、その被処理ガスを所定の触媒と接触
させることによって、揮発性有機ハロゲン化合物を無害
物質へと変換する試みがなされている。例えば特開平6
−142454号公報には、水分と揮発性有機ハロゲン
化合物を含有する被処理ガスの相対湿度を低減させた
後、金属触媒の存在下、被処理ガスを還元性ガスと接触
させる処理方法が開示されており、ガスの相対湿度を低
減する方法として被処理ガスの加熱、乾燥空気の添加、
イオン交換樹脂などの吸着剤の使用などが記載されてい
る。Under such a background, a volatile organic halogen compound is extracted from soil or groundwater and contained in air or the like to form a gas to be treated, and the gas to be treated is brought into contact with a predetermined catalyst to reduce the volatile property. Attempts have been made to convert organic halogen compounds into harmless substances. For example, JP-A-6
JP-A-142454 discloses a treatment method in which the relative humidity of a gas to be treated containing water and a volatile organic halogen compound is reduced, and then the gas to be treated is brought into contact with a reducing gas in the presence of a metal catalyst. In order to reduce the relative humidity of the gas, heating the gas to be treated, adding dry air,
It describes the use of adsorbents such as ion exchange resins.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
6−142454号公報に記載の処理方法において、加
熱や乾燥空気の添加によりガスの相対湿度を低減するた
めには、特定の装置や大量のエネルギーが必要となる。
また、吸着剤を使用する方法では、処理時間の経過に伴
い吸着剤の水分吸着能が低下するため、吸着した水分を
加熱等により除去する工程や、吸着剤を交換する工程な
どを新たに設ける必要がある。このように、揮発性有機
ハロゲン化合物を効率よく且つ安価に無害化できる実用
的な処理方法は未だ見出されていないのが実状である。However, in the processing method described in JP-A-6-142454, in order to reduce the relative humidity of the gas by heating or adding dry air, a specific device or a large amount of energy is used. Is required.
Further, in the method using the adsorbent, the water adsorbing ability of the adsorbent decreases with the lapse of processing time. Therefore, a step for removing the adsorbed water by heating or a step for exchanging the adsorbent is newly provided. There is a need. As described above, a practical treatment method capable of efficiently and inexpensively detoxifying a volatile organic halogen compound has not yet been found.
【0007】本発明者らは、上記従来技術の有する課題
に鑑みてなされたものであり、被処理ガス中に含まれる
揮発性有機ハロゲン化合物を長期にわたって効率よく且
つ確実に無害化できる処理方法を提供することを目的と
する。The inventors of the present invention have been devised in view of the above problems of the prior art, and provide a treatment method capable of efficiently and surely detoxifying a volatile organic halogen compound contained in a gas to be treated for a long period of time. The purpose is to provide.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の揮発性有機ハロゲン化合物含有ガスの処理
方法は、揮発性有機ハロゲン化合物および水分を含有す
る被処理ガスを吸着剤に接触させて、被処理ガスの相対
湿度を低減させる除湿工程と、水素供与体ガスの存在
下、被処理ガスと金属系触媒とを接触させて、揮発性有
機ハロゲン化合物を分解する分解工程と、除湿工程で用
いられた吸着剤と、分解工程で得られる処理ガスとを接
触させて、吸着剤を再生する吸着剤再生工程とを含むこ
とを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a method for treating a gas containing a volatile organic halogen compound according to the present invention comprises contacting a gas to be treated containing a volatile organic halogen compound and water with an adsorbent. And a dehumidifying step of reducing the relative humidity of the gas to be treated, a decomposition step of decomposing the volatile organic halogen compound by bringing the gas to be treated into contact with the metal catalyst in the presence of a hydrogen donor gas, and dehumidifying The method is characterized by including an adsorbent regeneration step of regenerating the adsorbent by bringing the adsorbent used in the step into contact with the processing gas obtained in the decomposition step.
【0009】本発明においては、除湿工程で被処理ガス
の相対湿度を低減させた後、分解工程において、水素供
与体ガスの存在下、被処理ガスと金属系触媒とを接触さ
せることによって、被処理ガス中の揮発性有機ハロゲン
化合物を効率よく且つ確実に無害化することができる。
また、除湿工程で用いられた吸着剤の水分吸着能は水分
の吸着により低下し得るが、これを分解工程で得られる
処理ガスと接触させることによって、加熱等の処理を行
わずとも吸着剤の水分吸着能が十分に高められるので、
再生工程後の吸着剤を再び除湿工程に供することができ
る。従って、本発明によって、被処理ガス中に含まれる
揮発性有機ハロゲン化合物を長期にわたって効率よく且
つ確実に無害化することが可能となる。In the present invention, after the relative humidity of the gas to be treated is reduced in the dehumidifying step, the gas to be treated and the metal-based catalyst are brought into contact with each other in the presence of a hydrogen donor gas in the decomposing step. The volatile organic halogen compound in the processing gas can be detoxified efficiently and reliably.
Further, the water adsorption capacity of the adsorbent used in the dehumidification step may be lowered by the adsorption of water, but by contacting this with the treatment gas obtained in the decomposition step, the adsorbent can be treated without heating or the like. Since the water adsorption capacity is sufficiently enhanced,
The adsorbent after the regeneration step can be subjected to the dehumidification step again. Therefore, according to the present invention, the volatile organic halogen compound contained in the gas to be treated can be efficiently and surely rendered harmless for a long period of time.
【0010】また、除湿工程、分解工程および再生工程
においては、被処理ガス又は処理ガスと、吸着剤又は触
媒とを接触させる際に、加熱源などの特別な装置や大量
のエネルギーを必要としないので、十分なコストダウン
を実現することができる。In the dehumidifying process, the decomposing process and the regenerating process, no special equipment such as a heat source or a large amount of energy is required when the gas to be processed or the processing gas is brought into contact with the adsorbent or the catalyst. Therefore, sufficient cost reduction can be realized.
【0011】なお、ここでいう被処理ガスとは、分解工
程による無害化処理が施されていないガスをいい、ま
た、処理ガスとは、分解工程による無害化処理が施され
たガスをいい、本発明において両者は区別される。The term "gas to be treated" as used herein means a gas which has not been subjected to the detoxification treatment by the decomposition step, and the term "treatment gas" means a gas which has been detoxified by the decomposition step. In the present invention, the two are distinguished.
【0012】また、本発明は、除湿工程において用いら
れた吸着剤と、揮発性有機ハロゲン化合物を含有しない
ガスとを接触させて、吸着剤に付着した揮発性有機ハロ
ゲン化合物を除去した後、吸着剤を再生工程に供するこ
とを特徴としてもよい。これにより揮発性有機ハロゲン
化合物の分解効率をより向上させることができる。In the present invention, the adsorbent used in the dehumidifying step is brought into contact with a gas containing no volatile organic halogen compound to remove the volatile organic halogen compound adhering to the adsorbent, and then the adsorbent is adsorbed. The agent may be subjected to a regeneration step. Thereby, the decomposition efficiency of the volatile organic halogen compound can be further improved.
【0013】また、本発明は、吸着剤が、活性炭、活性
アルミナまたはシリカゲルのいずれかであることを特徴
としてもよい。これらの吸着剤は、水分吸着能が高いこ
とに加えて、吸着した水分の脱離しやすさの点でも優れ
ているため、除湿工程および吸着剤再生工程における効
率の向上、あるいは更に分解工程における分解効率の向
上の点で好ましい。Further, the present invention may be characterized in that the adsorbent is any one of activated carbon, activated alumina and silica gel. These adsorbents have a high water adsorption capacity and are also excellent in desorption of adsorbed water, so that the efficiency in the dehumidification process and the adsorbent regeneration process is improved, or further decomposition in the decomposition process is performed. It is preferable in terms of improving efficiency.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面
中、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略
する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. In the drawings, the same elements are designated by the same reference numerals, and duplicated description will be omitted.
【0015】図1は本発明に係る第1実施形態において
好適に用いられる処理装置を概略的に示すフロー図であ
る。図1に示した装置は、2個の除湿塔1、1’および
触媒反応塔2を備えるもので、これらはそれぞれ後述す
るラインにより接続されている。FIG. 1 is a flow chart schematically showing a processing apparatus preferably used in the first embodiment according to the present invention. The apparatus shown in FIG. 1 includes two dehumidifying towers 1 and 1'and a catalytic reaction tower 2, which are connected by a line described later.
【0016】除湿塔1および1’はそれぞれ活性炭から
なる吸着剤層AおよびA’を備える固定層式の除湿塔
で、これらは所定の位置で分岐したラインL1、L2を
介して相互に並列に接続されている。ラインL1の分岐
点と除湿塔1とを連結するラインL1aにはバルブV
1、ラインL1の分岐点と除湿塔1’とを連結するライ
ンL1bにはバルブV1’、除湿塔1とラインL2の分
岐点とを連結するラインL2aにはバルブV2、除湿塔
1’とラインL2の分岐点とを連結するラインL2bに
はバルブV2’がそれぞれ設けられている。また、ライ
ンL1aとラインL1bとはラインL1cにより、ライ
ンL2aとラインL2bとはラインL2cによりそれぞ
れ連結されており、ラインL1cにはバルブV4、V
4’、ラインL2cにはバルブV3、V3’が設けられ
ている。そして、バルブV1〜V4、V1’〜V4’の
開閉により、L1からの被処理ガスは除湿塔1、1’の
うちのいずれかを通ってラインL2に供給されるように
制御できる。The dehumidifying towers 1 and 1'are fixed bed type dehumidifying towers having adsorbent layers A and A'made of activated carbon, respectively, and these are arranged in parallel to each other via lines L1 and L2 branched at predetermined positions. It is connected. A valve V is provided in the line L1a connecting the branch point of the line L1 and the dehumidification tower 1.
1. A valve V1 'is connected to the line L1b connecting the branch point of the line L1 and the dehumidifying tower 1', and a valve V2 is connected to the line L2a connecting the branch point of the dehumidifying tower 1 and the line of the dehumidifying tower 1 '. A valve V2 'is provided in each of the lines L2b connecting the branch points of L2. Further, the line L1a and the line L1b are connected by a line L1c, the line L2a and the line L2b are connected by a line L2c, and valves V4, V are connected to the line L1c.
Valves V3 and V3 ′ are provided at 4 ′ and the line L2c. Then, by opening / closing the valves V1 to V4 and V1 ′ to V4 ′, the gas to be treated from L1 can be controlled to be supplied to the line L2 through any of the dehumidifying towers 1 and 1 ′.
【0017】ラインL2の他端には触媒反応塔2、ライ
ンL2の所定の位置には水素供与体ガスとしての水素を
供給するためのラインL3がそれぞれ接続されており、
除湿塔1、1’からの被処理ガスは水素と混合されて触
媒反応塔2に供給される。A catalyst reaction tower 2 is connected to the other end of the line L2, and a line L3 for supplying hydrogen as a hydrogen donor gas is connected to a predetermined position of the line L2.
The gas to be treated from the dehumidifying towers 1 and 1'is mixed with hydrogen and supplied to the catalytic reaction tower 2.
【0018】触媒反応塔2は、活性アルミナ担体に白金
が担持された触媒(以下、「白金担持アルミナ」とい
う)の充填床Yを備えるもので、水素の存在下、被処理
ガスが触媒充填床Yを通過することによって、被処理ガ
ス中に含まれる揮発性有機ハロゲン化合物を分解するこ
とができる。なお、本発明において用いられる触媒反応
塔2における反応器の型式は特に制限されないが、閉塞
の問題がない点および再生処理が不要である点から固定
層式の反応器が好ましい。The catalytic reaction tower 2 is provided with a packed bed Y of a catalyst in which platinum is supported on an activated alumina carrier (hereinafter referred to as "platinum-supported alumina"). By passing through Y, the volatile organic halogen compound contained in the gas to be treated can be decomposed. The type of the reactor in the catalytic reaction tower 2 used in the present invention is not particularly limited, but a fixed bed type reactor is preferable from the viewpoint that there is no problem of clogging and that regeneration treatment is unnecessary.
【0019】また、触媒反応塔2にはラインL4が接続
され、ラインL4はラインL5を介してラインL2cの
バルブV3、V3’間の所定の位置に接続されている。
更に、ラインL1cのバルブV4、V4’間の所定の位
置にはバルブV5を備えるラインL6が接続されてお
り、ラインL2とラインL6とはバルブV6を備えるラ
インL7により連結されている。これにより、触媒反応
塔2からの処理ガスはラインL4、L5、L2c、L2
a(またはL2b)、除湿塔1(または1’)、ライン
L1a(またはL1b)、L1c、L6、L7、L2の
順で装置内を循環するか、あるいはラインL4、L6か
ら大気中に放出される。A line L4 is connected to the catalytic reaction tower 2, and the line L4 is connected to a predetermined position between the valves V3 and V3 'of the line L2c via a line L5.
Further, a line L6 including a valve V5 is connected to a predetermined position between the valves V4 and V4 ′ of the line L1c, and the line L2 and the line L6 are connected by a line L7 including a valve V6. As a result, the processing gas from the catalytic reaction tower 2 is supplied to the lines L4, L5, L2c, L2.
a (or L2b), dehumidifying tower 1 (or 1 '), line L1a (or L1b), L1c, L6, L7, L2 in the order of circulation in the device, or released to the atmosphere from lines L4, L6. It
【0020】次に、上記の構成を有する装置を用いて揮
発性有機ハロゲン化合物を含有するガスを処理する方法
について説明する。Next, a method of treating a gas containing a volatile organic halogen compound using the apparatus having the above structure will be described.
【0021】本発明にかかる被処理ガスは、前述の通り
揮発性有機ハロゲン化合物を含有するものであり、かか
る有機ハロゲン化合物は、通常沸点が150℃以下、好
ましくは80℃以下の揮発性のもので、具体的には、ト
リクロロエチレン、テトラクロロエチレン、トランス−
1,2−ジクロロエチレン、シス−1,2−ジクロロエ
チレン、四塩化炭素、クロロエタン、メチレンクロリ
ド、クロロホルム、塩化ビニル、1,1−ジクロロエタ
ン、1,2−ジクロロエタン、1,2−ジクロロプロパ
ン、ジクロロブロモエチレン、1,1,1−トリクロロ
エタン、ブロモジクロロエタン、ブロモジクロロメタ
ン、クロロジブロモメタン、ブロロホルム、各種フロン
などが挙げられる。The gas to be treated according to the present invention contains a volatile organic halogen compound as described above. Such an organic halogen compound usually has a boiling point of 150 ° C. or lower, preferably 80 ° C. or lower. Specifically, trichloroethylene, tetrachloroethylene, trans-
1,2-dichloroethylene, cis-1,2-dichloroethylene, carbon tetrachloride, chloroethane, methylene chloride, chloroform, vinyl chloride, 1,1-dichloroethane, 1,2-dichloroethane, 1,2-dichloropropane, dichlorobromoethylene , 1,1,1-trichloroethane, bromodichloroethane, bromodichloromethane, chlorodibromomethane, broloform, various freons and the like.
【0022】このような被処理ガスを処理するに際し、
先ず、バルブV1、V2を開放し、その他の全てのバル
ブを閉じた状態で、ラインL1、L1aを通って除湿塔
1に被処理ガスが供給され、被処理ガスの相対湿度が十
分に低減される(除湿工程)。これにより、後述する分
解工程において、水分の影響による分解効率の低下を防
止することができる。特に、曝気した被処理ガスの相対
湿度は100%あるいはそれに近い値を示すが、このよ
うな高湿の被処理ガスの相対湿度であっても、上記の除
湿工程により、当該相対湿度を例えば20〜70%に低
減できる。When processing such a gas to be processed,
First, with the valves V1 and V2 open and all other valves closed, the gas to be treated is supplied to the dehumidification tower 1 through the lines L1 and L1a, and the relative humidity of the gas to be treated is sufficiently reduced. (Dehumidification process). As a result, it is possible to prevent the degradation of the decomposition efficiency due to the influence of moisture in the decomposition step described later. Particularly, the relative humidity of the aerated gas to be treated exhibits a value of 100% or close to it, but even if the relative humidity of the gas to be treated having such a high humidity is set, the relative humidity is, for example, 20% by the above dehumidification step. It can be reduced to ~ 70%.
【0023】ここで、除湿工程に供される被処理ガスの
相対湿度は40〜100%であることが好ましい。すな
わち、被処理ガス中の揮発性有機ハロゲン化合物も吸着
剤層に吸着し得るが、除湿工程前の被処理ガスの相対湿
度を上記の範囲内とすることによって、水分の吸着が支
配的となり、揮発性有機ハロゲン化合物の吸着を抑制す
ることができる。また、このようにして除湿された被処
理ガスの相対湿度は20〜70%であることが好まし
い。The relative humidity of the gas to be treated supplied to the dehumidifying step is preferably 40 to 100%. That is, the volatile organic halogen compound in the gas to be treated may also be adsorbed to the adsorbent layer, but by setting the relative humidity of the gas to be treated before the dehumidifying step within the above range, adsorption of water becomes dominant, Adsorption of a volatile organic halogen compound can be suppressed. The relative humidity of the gas to be treated dehumidified in this manner is preferably 20 to 70%.
【0024】また、除湿工程における処理速度(SV)
は、被処理ガスの相対湿度が十分に低減される限りにお
いて特に制限されないが、通常100〜5000h-1、
好ましくは200〜2000h-1である。Further, the processing speed (SV) in the dehumidifying process
Is not particularly limited as long as the relative humidity of the gas to be treated is sufficiently reduced, but is usually 100 to 5000 h -1 ,
It is preferably 200 to 2000 h −1 .
【0025】次に、ラインL2aに送られた被処理ガス
を、L3からの水素と混合した後、触媒反応塔2内の触
媒充填床と接触させることによって、被処理ガス中の揮
発性有機ハロゲン化合物が分解される(分解工程)。無
害化された処理ガスはラインL4から大気中に放出され
る。Next, the gas to be treated sent to the line L2a is mixed with hydrogen from L3 and then brought into contact with the catalyst-packed bed in the catalytic reaction column 2, whereby the volatile organic halogen in the gas to be treated is mixed. The compound is decomposed (decomposition step). The detoxified processing gas is discharged into the atmosphere through the line L4.
【0026】上記の除湿工程と分解工程とを所定の時間
行った後、バルブV3、V4、V6、V1’、V2’を
開放し、その他のバルブを閉じた状態にすると、除湿工
程は除湿塔1’にて行われる。また、触媒反応塔2で無
害化された処理ガスの一部は、ラインL4、L5、L2
c、L2aを通って除湿塔1に送られる。このとき、除
湿塔1に送られる処理ガスは相対湿度が十分に低いもの
であり、これを吸着剤層Aと接触させることによって、
吸着剤層Aに吸着した水分を効率よく且つ確実に除去す
ることができる(再生工程)。なお、再生工程後の処理
ガスは、ラインL7を介してラインL2に戻されるが、
ラインL6から大気中に放出してもよく、また、ストリ
ッピング用またはエアーパージング用のガスとして再利
用してもよい。After the dehumidifying step and the decomposing step are performed for a predetermined time, the valves V3, V4, V6, V1 'and V2' are opened and the other valves are closed, so that the dehumidifying step is performed. It will be held in 1 '. In addition, a part of the processing gas detoxified in the catalytic reaction tower 2 is generated by the lines L4, L5, L2
It is sent to the dehumidification tower 1 through c and L2a. At this time, the processing gas sent to the dehumidification tower 1 has a sufficiently low relative humidity, and by bringing this into contact with the adsorbent layer A,
The water adsorbed on the adsorbent layer A can be efficiently and surely removed (regeneration step). The process gas after the regeneration step is returned to the line L2 via the line L7,
It may be released into the atmosphere through the line L6, or may be reused as a gas for stripping or air purging.
【0027】このように第1実施形態においては、除湿
工程、分解工程を順次行うことにより被処理ガス中の揮
発性有機ハロゲン化合物を無害化することができる。ま
た、除湿工程および再生工程において、除湿塔を通過す
る被処理ガス及び処理ガスの流れを上述のように切り替
えることによって、所定の時間使用され、水分吸着能が
低下した活性炭の再生工程と、被処理ガスの除湿工程と
が同時に行われるので、装置を停止することなく活性炭
を再生することができる。従って、処理精度と処理効率
との双方が十分に高められ、長期にわたって安定した処
理運転が可能となる。As described above, in the first embodiment, the volatile organic halogen compound in the gas to be treated can be rendered harmless by sequentially performing the dehumidifying step and the decomposing step. Further, in the dehumidifying step and the regenerating step, by switching the gas to be treated and the flow of the treating gas passing through the dehumidifying tower as described above, a regenerating step of activated carbon which has been used for a predetermined time and has a reduced water adsorption capacity, Since the process gas dehumidifying step is performed at the same time, the activated carbon can be regenerated without stopping the apparatus. Therefore, both the processing accuracy and the processing efficiency are sufficiently enhanced, and stable processing operation can be performed for a long period of time.
【0028】また、除湿工程、分解工程および再生工程
においては、被処理ガス又は処理ガスと、活性炭又は触
媒とを接触させる際に、加熱源などの特別な装置や大量
のエネルギーを必要としないので、十分なコストダウン
を実現することができる。Further, in the dehumidifying step, the decomposing step and the regenerating step, no special equipment such as a heat source or a large amount of energy is required when bringing the target gas or the processing gas into contact with the activated carbon or the catalyst. It is possible to realize sufficient cost reduction.
【0029】なお、第1実施形態はこれに限られるもの
ではない。例えば、図1には2つの除湿塔を備える処理
装置を示したが、除湿塔が3つ以上であっても上記の効
果を達成することができる。また、除湿塔の数が1つで
あっても、除湿工程および分解工程と、吸着剤再生工程
とを交互に行うことによって、被処理ガス中の揮発性有
機ハロゲン化合物を効率よく且つ確実に無害化すること
ができる。The first embodiment is not limited to this. For example, although FIG. 1 shows a processing apparatus including two dehumidifying towers, the above effect can be achieved even when the number of dehumidifying towers is three or more. Further, even if the number of dehumidifying towers is 1, by performing the dehumidifying step and the decomposing step and the adsorbent regenerating step alternately, the volatile organic halogen compounds in the gas to be treated are efficiently and surely harmless. Can be converted.
【0030】また、除湿塔に用いられる吸着剤として、
活性炭の代わりに活性アルミナ、シリカゲル、ゼオライ
トなどを用いてもよい。これらの中でも、活性炭、活性
アルミナおよびシリカゲルは、水分吸着能に加えて、一
旦吸着した水分の脱離のしやすさの点で好ましく、活性
炭および活性アルミナが特に好ましい。なお、ここでい
う活性炭は、活性チャーおよび活性コークスを包含する
ものである。As the adsorbent used in the dehumidifying tower,
Activated alumina, silica gel, zeolite or the like may be used instead of activated carbon. Among these, activated carbon, activated alumina and silica gel are preferable in terms of water adsorption ability and ease of desorption of moisture once adsorbed, and activated carbon and activated alumina are particularly preferable. The activated carbon mentioned here includes activated char and activated coke.
【0031】これらの吸着剤の形状は、球状、円柱状、
円筒状、破砕状のいずれであってもよい。また、吸着剤
の粒径は、通気抵抗および被処理ガスとの接触効率の点
から、1〜数十mm、好ましくは1〜10mmである。The shapes of these adsorbents are spherical, cylindrical,
It may be cylindrical or crushed. The particle size of the adsorbent is 1 to several tens of mm, preferably 1 to 10 mm, from the viewpoint of ventilation resistance and contact efficiency with the gas to be treated.
【0032】また、水素供与体ガスとしては、水素原子
を供給し得るものであれば特に制限されず、上記した水
素の代わりに、ヒドラジンなどを使用することもでき
る。また、水素としては、純水素ガスである必要はな
く、水の電気分解ガス、NH3分解ガス、コークス炉ガ
ス、炭化水素などの接触分解ガスなどの水素含有の混合
ガスを用いてもよい。これらの中でも水素または水素含
有ガスを用いると、揮発性有機ハロゲン化合物の分解効
率をより高めることができるので好ましい。The hydrogen donor gas is not particularly limited as long as it can supply hydrogen atoms, and hydrazine or the like can be used instead of the above hydrogen. Further, hydrogen does not have to be pure hydrogen gas, and hydrogen-containing mixed gas such as electrolysis gas of water, NH 3 decomposition gas, coke oven gas, catalytic cracking gas such as hydrocarbon may be used. Among these, it is preferable to use hydrogen or a hydrogen-containing gas because the decomposition efficiency of the volatile organic halogen compound can be further increased.
【0033】また、触媒反応塔2に用いられる金属系触
媒としては、上記した白金担持アルミナの他、白金、パ
ラジウム、ルテニウム、ロジウム、鉄、銅、イリジウ
ム、ニッケルなどの金属(好ましくは白金、ルテニウ
ム、ロジウムなどの貴金属、より好ましくは白金および
パラジウム)、またはこれらの貴金属をアルミナ、チタ
ニア、ジルコニア、シリカアルミナ、活性炭、ゼオライ
ト、ガラス、プラスチック、ペレット、イオン交換樹脂
などの担体に添着または含有させたものが挙げられる。As the metal-based catalyst used in the catalytic reaction tower 2, platinum, palladium, ruthenium, rhodium, iron, copper, iridium, nickel and other metals (preferably platinum, ruthenium) are used in addition to the above-mentioned platinum-supported alumina. , A noble metal such as rhodium, more preferably platinum and palladium), or these noble metals are attached to or contained in a carrier such as alumina, titania, zirconia, silica-alumina, activated carbon, zeolite, glass, plastic, pellets or ion exchange resins. There are things.
【0034】図2は、本発明に係る第2実施形態におい
て好適に用いられる処理装置を概略的に示すフロー図で
ある。図2に示した装置は、活性炭層Aが移動層式であ
る除湿塔1と、触媒活性塔2と、活性炭を再生するため
の再生塔3とを備えるものである。FIG. 2 is a flow chart schematically showing a processing apparatus preferably used in the second embodiment according to the present invention. The apparatus shown in FIG. 2 includes a dehumidifying tower 1 in which the activated carbon layer A is of a moving bed type, a catalytic activation tower 2, and a regeneration tower 3 for regenerating the activated carbon.
【0035】除湿塔1は、前述の通り移動可能な活性炭
層Aを備えるもので、かかる移動層の方式としては直交
流型、向流型などいずれであってもよい。また、除湿塔
1の所定の位置にはラインL1、L2が接続されてい
る。これにより、ラインL1から除湿塔1内に導入さ
れ、活性炭層Aで除湿された後、ラインL2へと送られ
る(除湿工程)。また、除湿塔1の下部には活性炭取出
口(図示せず)、上部には活性炭導入口(図示せず)が
設けられており、除湿塔1と再生塔3との間には活性炭
が両者の間を循環するためのコンベア4が設けられてい
る。これにより除湿工程後の水分吸着能が低下した活性
炭は、コンベア4により除湿塔1から再生塔3へと送ら
れ、後述する再生処理にて再生された後、再び除湿工程
に供される。The dehumidifying tower 1 is provided with the movable activated carbon bed A as described above, and the moving bed may be of a cross flow type or a counter flow type. Further, lines L1 and L2 are connected to predetermined positions of the dehumidification tower 1. As a result, it is introduced into the dehumidifying tower 1 from the line L1, dehumidified in the activated carbon layer A, and then sent to the line L2 (dehumidifying step). Further, an activated carbon outlet (not shown) is provided in the lower portion of the dehumidification tower 1, and an activated carbon inlet (not shown) is provided in the upper portion, so that the activated carbon is provided between the dehumidification tower 1 and the regeneration tower 3. A conveyor 4 is provided to circulate between the two. As a result, the activated carbon having a reduced water adsorption capacity after the dehumidifying step is sent from the dehumidifying tower 1 to the regenerating tower 3 by the conveyor 4, is regenerated by a regenerating process described later, and is then subjected to the dehumidifying step again.
【0036】また、ラインL2の他端には白金担持アル
ミナの触媒充填床を備える触媒反応塔2、ラインL2の
所定の位置には水素供与体ガスとしての水素を供給する
ためのラインL3がそれぞれ接続されている。これによ
り、除湿塔1からの被処理ガスが水素と混合されて触媒
反応塔2に供給され、当該被処理ガスと触媒との接触に
より、当該被処理ガス中に含まれる揮発性有機ハロゲン
化合物が分解して無害化される(分解工程)。Further, at the other end of the line L2, there is provided a catalytic reaction tower 2 equipped with a catalyst-packed bed of platinum-supported alumina, and at a predetermined position of the line L2, a line L3 for supplying hydrogen as a hydrogen donor gas, respectively. It is connected. As a result, the gas to be treated from the dehumidifying tower 1 is mixed with hydrogen and supplied to the catalytic reaction tower 2, and the volatile organic halogen compound contained in the gas to be treated is brought into contact with the catalyst by contacting the gas to be treated with the catalyst. Decomposes to be harmless (decomposition process).
【0037】触媒反応塔2には無害化された処理ガスを
排出するためのラインL4が接続されており、ラインL
4は所定の位置にてラインL5を介して再生塔3と接続
されている。これにより、無害化された処理ガスの一部
はラインL5を通って再生塔3に送られ、除湿工程後の
活性炭の再生に利用される(再生工程)。再生された活
性炭はコンベア4により除湿塔1へ送られ、再び除湿工
程に供される。また、再生工程で生じる排ガスは再生塔
3に接続されたライン6から排出されるが、当該排ガス
は土壌のエアーパージング用または地下水等のストリッ
ピング用として再利用してもよく、大気へ放出してもよ
い。A line L4 for discharging the detoxified process gas is connected to the catalytic reaction tower 2, and the line L4 is connected to the line L4.
4 is connected to the regeneration tower 3 via a line L5 at a predetermined position. As a result, a part of the detoxified processing gas is sent to the regeneration tower 3 through the line L5 and used to regenerate the activated carbon after the dehumidification step (regeneration step). The regenerated activated carbon is sent to the dehumidifying tower 1 by the conveyor 4 and is again subjected to the dehumidifying step. Further, the exhaust gas generated in the regeneration step is discharged from the line 6 connected to the regeneration tower 3, but the exhaust gas may be reused for air purging of soil or for stripping groundwater or the like, and is discharged to the atmosphere. May be.
【0038】このように第2実施形態においては、除湿
工程、分解工程が順次行われる点は第1実施形態と同様
であり、これにより被処理ガス中の揮発性有機ハロゲン
化合物を分解して無害化された処理ガスを得ることがで
きる。また、第2実施形態では、除湿工程に供されて水
分吸着能が低下した活性炭が、コンベア4により除湿塔
1から再生塔3に順次送られ、分解工程後の処理ガスに
より再生された後、再び除湿工程に供されるため、除湿
塔1内の活性炭の水分吸着能が常に高水準に維持され
て、被処理ガスの無害化を効率よく且つ確実に行うこと
が可能となる。更に、これらの工程においては、被処理
ガス又は処理ガスと、活性炭又は触媒とを接触させる際
に、加熱源などの特別な装置や大量のエネルギーを必要
としないので、十分なコストダウンが実現される。As described above, the second embodiment is similar to the first embodiment in that the dehumidifying step and the decomposing step are sequentially performed, whereby the volatile organic halogen compound in the gas to be treated is decomposed and harmless. It is possible to obtain a processed gas. In addition, in the second embodiment, the activated carbon that has been subjected to the dehumidification step and has a reduced water adsorption capacity is sequentially sent from the dehumidification tower 1 to the regeneration tower 3 by the conveyor 4 and regenerated by the treated gas after the decomposition step, Since it is subjected to the dehumidifying step again, the water adsorption capacity of the activated carbon in the dehumidifying tower 1 is always maintained at a high level, and the gas to be treated can be detoxified efficiently and reliably. Further, in these steps, when the gas to be treated or the treated gas and the activated carbon or the catalyst are brought into contact with each other, a special device such as a heating source or a large amount of energy is not required, so that sufficient cost reduction is realized. It
【0039】なお、第2実施形態はこれに限られるもの
ではない。例えば、図2には示していないが、再生塔3
から排出される処理ガスの一部を触媒反応塔2に送るた
めのラインを設け、当該処理ガスを再生塔3と触媒反応
塔2との間で循環させた後、触媒反応塔2及び再生塔3
から装置外部に放出してもよい。これにより処理ガス中
の揮発性有機ハロゲン化合物濃度をより低減することが
できる。The second embodiment is not limited to this. For example, although not shown in FIG. 2, the regeneration tower 3
A line is provided for sending a part of the processing gas discharged from the catalytic reaction tower 2 to the catalytic reaction tower 2, and the processing gas is circulated between the regeneration tower 3 and the catalytic reaction tower 2. Three
May be discharged from the device to the outside of the device. Thereby, the concentration of the volatile organic halogen compound in the processing gas can be further reduced.
【0040】また、図2に示した装置においては、除湿
塔1と再生塔3とがそれぞれ別個に設けられているが、
これらを一つの塔内に収容しても何ら問題はない。ま
た、再生塔3の内部または外部に加熱源を設けてもよ
い。In the apparatus shown in FIG. 2, the dehumidifying tower 1 and the regenerating tower 3 are separately provided,
There is no problem in accommodating these in one tower. A heating source may be provided inside or outside the regeneration tower 3.
【0041】また、第2実施形態では、吸着剤として活
性炭、水素供与体ガスとして水素、触媒として白金担持
アルミナを用いたが、これらの代わりに第1実施形態で
例示された吸着剤、水素供与体ガスおよび触媒を用いて
もよい。Further, in the second embodiment, activated carbon was used as the adsorbent, hydrogen was used as the hydrogen donor gas, and platinum-supported alumina was used as the catalyst. Instead of these, the adsorbent and hydrogen donor exemplified in the first embodiment were used. Body gases and catalysts may be used.
【0042】図3は 本発明に係る第3実施形態におい
て好適に用いられる処理装置を概略的に示すフロー図で
ある。図3に示した装置では、除湿塔1、触媒反応塔
2、再生塔3およびそれらを接続するラインの構成は図
2に示した装置と同様であるが、除湿塔1と再生塔3と
の間にパージ槽5が設けられている点、並びに触媒反応
塔2からの処理ガスがラインL5を通って再生塔3とパ
ージ槽5との双方に供給される点で図2に示した装置と
相違する。これにより、除湿工程後の水分吸着能が低下
した活性炭は、除湿塔1からパージ槽5、再生塔3に順
次送られた後、再び除湿塔1に戻される。また、パージ
槽5では、除湿工程後の活性炭とラインL5からの処理
ガスとの接触により、活性炭に吸着した揮発性有機ハロ
ゲン化合物を脱離させることができる。更に、パージ槽
5とラインL2とはラインL7で接続されており、これ
によりパージ槽5からの処理ガスを、ラインL7、L
2、触媒反応塔2、ラインL4、L5、パージ槽5の順
に循環させることができる。FIG. 3 is a flow chart schematically showing a processing apparatus preferably used in the third embodiment according to the present invention. In the apparatus shown in FIG. 3, the dehumidifying tower 1, the catalytic reaction tower 2, the regeneration tower 3 and the line connecting them are the same as those in the apparatus shown in FIG. 2, but the dehumidification tower 1 and the regeneration tower 3 are 2 in that a purge tank 5 is provided between them, and that the processing gas from the catalytic reaction tower 2 is supplied to both the regeneration tower 3 and the purge tank 5 through a line L5. Be different. As a result, the activated carbon having a reduced water adsorption capacity after the dehumidifying step is sequentially sent from the dehumidifying tower 1 to the purge tank 5 and the regeneration tower 3, and then returned to the dehumidifying tower 1 again. Further, in the purge tank 5, the volatile organic halogen compound adsorbed on the activated carbon can be desorbed by contacting the activated carbon after the dehumidifying step with the processing gas from the line L5. Further, the purge tank 5 and the line L2 are connected by a line L7, whereby the processing gas from the purge tank 5 is supplied to the lines L7, L.
2, the catalytic reaction tower 2, the lines L4 and L5, and the purge tank 5 can be circulated in this order.
【0043】図3に示した装置においては、パージ槽5
およびそれに接続されたライン以外の構成が図2に示し
た装置と同様であるので、第3実施形態においても、除
湿工程、分解工程および再生工程を行うことによって第
2実施形態と同様の効果が達成される。更に、図3に示
したように、再生塔3に送られる活性炭をパージ槽5で
処理することによって、除湿工程で吸着した微量の揮発
性有機ハロゲン化合物を活性炭から脱離させることがで
きる。また、活性炭から脱離した有機ハロゲン化合物
は、処理ガスと共に触媒反応塔2に送られて分解工程に
供されるので、触媒反応塔2及び再生塔3から放出され
る処理ガス中の有機ハロゲン化合物濃度を長期にわたっ
て十分に低減することができる。In the apparatus shown in FIG. 3, the purge tank 5
Since the configuration other than that and the line connected to it is the same as that of the device shown in FIG. 2, in the third embodiment as well, the same effect as the second embodiment can be obtained by performing the dehumidifying step, the decomposing step and the regenerating step. To be achieved. Further, as shown in FIG. 3, by treating the activated carbon sent to the regeneration tower 3 in the purge tank 5, a trace amount of the volatile organic halogen compound adsorbed in the dehumidifying step can be desorbed from the activated carbon. Further, since the organohalogen compound desorbed from the activated carbon is sent to the catalytic reaction tower 2 together with the processing gas for the decomposition step, the organohalogen compound in the processing gas released from the catalytic reaction tower 2 and the regeneration tower 3 is discharged. The concentration can be sufficiently reduced over a long period of time.
【0044】なお、本発明においては、第1実施形態の
説明において述べたように、除湿塔に供給される被処理
ガスの相対湿度を制御することによって、水分の吸着を
支配的とし、被処理ガス中に含まれる揮発性有機ハロゲ
ン化合物が活性炭に吸着する現象を抑制することができ
るが、第3実施形態は、当該有機ハロゲン化合物が活性
炭に吸着した場合であっても、パージ槽5で脱着される
ので、再生塔3では有機ハロゲン化合物が発生せず、ラ
インL6のガス中の有機ハロゲン化合物を低減すること
ができる。In the present invention, as described in the description of the first embodiment, the relative humidity of the gas to be treated supplied to the dehumidifying tower is controlled so that the adsorption of water becomes dominant and the treated material is treated. Although it is possible to suppress the phenomenon that the volatile organic halogen compound contained in the gas is adsorbed on the activated carbon, in the third embodiment, even if the organic halogen compound is adsorbed on the activated carbon, desorption is performed in the purge tank 5. Therefore, no organohalogen compound is generated in the regeneration tower 3, and the organohalogen compound in the gas in the line L6 can be reduced.
【0045】なお、第3実施形態はこれに限られるもの
ではない。例えば、図3に示した装置においては、除湿
塔1、パージ槽5および再生塔3がそれぞれ別個に設け
られているが、これらを一つの塔内に収容しても何ら問
題はない。また、再生塔3の内部または外部に加熱源を
設けてもよい。The third embodiment is not limited to this. For example, in the apparatus shown in FIG. 3, the dehumidifying tower 1, the purging tank 5 and the regeneration tower 3 are provided separately, but there is no problem if they are housed in one tower. A heating source may be provided inside or outside the regeneration tower 3.
【0046】また、図3に示した装置では、パージ槽5
とラインL5とを接続し、触媒反応塔2からの処理ガス
をパージ槽5に供給することによって、活性炭に吸着し
た有機ハロゲン化合物を脱離させる構成となっている
が、パージ槽5に空気供給ラインを接続し、空気により
活性炭のパージを行ってもよい。Further, in the apparatus shown in FIG. 3, the purge tank 5
Is connected to the line L5 and the processing gas from the catalytic reaction tower 2 is supplied to the purge tank 5 to desorb the organic halogen compound adsorbed on the activated carbon. However, air is supplied to the purge tank 5. A line may be connected and the activated carbon may be purged with air.
【0047】[0047]
【実施例】以下、実施例および比較例に基づいて本発明
を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に何
ら限定されるものではない。EXAMPLES The present invention will be described in more detail based on the following examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.
【0048】実施例1 Example 1
【0049】図2に示す処理装置を用い、以下の手順に
従って揮発性有機ハロゲン化合物の無害化処理を行っ
た。Using the processing apparatus shown in FIG. 2, the volatile organic halogen compound was detoxified according to the following procedure.
【0050】先ず、トリクロロエチレン0.2mg/l
を含む地下水を10m3/hの割合で放散塔の上部より
散布し、300m3/hの空気を放散塔の下部より供給
して脱気した。放散塔出口ガス中のトリクロロエチレン
濃度は0.33mg/m3(20℃)であり、放散塔の
下部より排出される処理水中のトリクロロエチレン濃度
は0.02mg/lであった。First, trichlorethylene 0.2 mg / l
Was sprayed from the upper part of the stripping tower at a rate of 10 m 3 / h, and 300 m 3 / h of air was supplied from the lower part of the stripping tower for deaeration. The trichlorethylene concentration in the gas at the outlet of the stripping tower was 0.33 mg / m 3 (20 ° C.), and the concentration of trichlorethylene in the treated water discharged from the bottom of the stripping tower was 0.02 mg / l.
【0051】次に、放散塔出口ガス(以下、「被処理ガ
ス」という)の全量(約307m3/h)を、除湿用活
性炭(粒径:約4mmφ×5mm長さ)を充填した向流
型の移動層式除湿塔1に処理速度(SV)500h-1で
供給し、被処理ガスの除湿を行った。除湿塔1の出口ガ
スの相対湿度を湿度計により測定したところ、約35%
であった。Next, a countercurrent flow in which the entire amount (about 307 m 3 / h) of the gas at the outlet of the stripping tower (hereinafter referred to as the “gas to be treated”) was filled with activated carbon for dehumidification (particle size: about 4 mmφ × 5 mm length) The gas was supplied to the moving bed type dehumidifying tower 1 at a treatment rate (SV) of 500 h −1 to dehumidify the gas to be treated. When the relative humidity of the outlet gas of the dehumidification tower 1 was measured by a hygrometer, it was about 35%.
Met.
【0052】次に、除湿塔1からの被処理ガスを、ライ
ンL3からの水素0.2vol%と混合した後、処理速
度(SV)2000h-1で触媒反応塔2に供給した。触
媒反応塔2の触媒としては、白金担持活性アルミナ(白
金の担持量:0.5wt%)を用いた。Next, the gas to be treated from the dehumidifying tower 1 was mixed with 0.2 vol% of hydrogen from the line L3 and then fed to the catalytic reaction tower 2 at a treating speed (SV) of 2000 h -1 . As a catalyst for the catalytic reaction tower 2, platinum-supported activated alumina (supported amount of platinum: 0.5 wt%) was used.
【0053】上記の工程において、除湿塔1における活
性炭の滞留時間を25時間に設定し、除湿塔1の底部か
ら活性炭を連続的に取り出して再生塔3に送り、触媒反
応塔2から排出される処理ガスの全量を用いて活性炭の
再生処理を行った。再生処理後の活性炭は除湿塔1の上
部から除湿塔1内に導入し、再び除湿工程に供した。In the above steps, the residence time of the activated carbon in the dehumidifying tower 1 is set to 25 hours, the activated carbon is continuously taken out from the bottom of the dehumidifying tower 1, sent to the regeneration tower 3, and discharged from the catalytic reaction tower 2. The activated carbon was regenerated using the entire amount of the treated gas. The activated carbon after the regeneration treatment was introduced into the dehumidification tower 1 from the upper part of the dehumidification tower 1 and was again subjected to the dehumidification step.
【0054】この処理を500時間連続して行ったとこ
ろ、触媒反応塔2から排出される処理ガス中のトリクロ
ロエチレン濃度は、500時間運転後も0.01mg/
m3と低い値を示し、運転当初とほぼ同じであることが
確認された。また、最終的に大気へ放出される再生塔3
の出口ガス中のトリクロロエチレン濃度も、500時間
運転後において、運転当初とほぼ同じ0.043mg/
m3という低い値を示した。When this treatment was continuously carried out for 500 hours, the concentration of trichlorethylene in the treatment gas discharged from the catalytic reaction tower 2 was 0.01 mg / hour even after 500 hours of operation.
It showed a low value of m 3 and was confirmed to be almost the same as at the beginning of operation. Also, the regeneration tower 3 that is finally released into the atmosphere
The concentration of trichlorethylene in the outlet gas of 0.043 mg /
It showed a low value of m 3 .
【0055】比較例1 Comparative Example 1
【0056】図2に示す処理装置を用い、活性炭の再生
処理を行わなかったこと以外は実施例1と同様にして被
処理ガスの無害化処理を行った。すなわち、本比較例に
おいては、活性炭を再生塔3に送らずに除湿塔1に充填
したままとし、触媒反応塔2からの処理ガスは全て大気
に放出した。Using the processing apparatus shown in FIG. 2, the treated gas was detoxified in the same manner as in Example 1 except that the activated carbon was not regenerated. That is, in this comparative example, the activated carbon was not sent to the regeneration tower 3 but kept in the dehumidification tower 1 and all the treated gas from the catalytic reaction tower 2 was released to the atmosphere.
【0057】この処理を500時間連続して行ったとこ
ろ、触媒反応塔2から排出される処理ガス中のトリクロ
ロエチレン濃度は、運転当初は0.01mg/m3であ
ったが、500時間運転後は0.30mg/m3まで増
加した。When this treatment was continuously carried out for 500 hours, the concentration of trichlorethylene in the treated gas discharged from the catalytic reaction tower 2 was 0.01 mg / m 3 at the beginning of the operation, but after the operation for 500 hours, It increased to 0.30 mg / m 3 .
【0058】実施例2 Example 2
【0059】図3に示す処理装置を用い、以下の手順に
従って揮発性有機ハロゲン化合物の無害化処理を行っ
た。Using the processing apparatus shown in FIG. 3, the volatile organic halogen compound was detoxified according to the following procedure.
【0060】先ず、実施例1と同様の被処理ガスを、除
湿用活性炭(粒径:約4mmφ×5mm長さ)を充填し
た向流型の移動層式除湿塔1に処理速度(SV)500
h-1で供給し、被処理ガスの除湿を行った。除湿塔1の
出口ガスの相対湿度を湿度計を用いて測定したところ、
約35%であった。First, the same process gas as in Example 1 was applied to the countercurrent type moving bed type dehumidifying tower 1 filled with dehumidifying activated carbon (particle size: about 4 mmφ × 5 mm length) at a treating speed (SV) of 500.
It was supplied at h −1 to dehumidify the gas to be treated. When the relative humidity of the outlet gas of the dehumidification tower 1 was measured using a hygrometer,
It was about 35%.
【0061】次に、除湿塔1からの被処理ガスを、ライ
ンL3からの水素0.2vol%と混合した後、処理速
度(SV)2000h-1で触媒反応塔2に供給した。触
媒反応塔2の触媒としては、白金0.5wt%担持活性
アルミナを用いた。Next, the gas to be treated from the dehumidifying tower 1 was mixed with 0.2 vol% of hydrogen from the line L3 and then fed to the catalytic reaction tower 2 at a treating speed (SV) of 2000 h -1 . As the catalyst of the catalytic reaction tower 2, 0.5 wt% platinum-supported activated alumina was used.
【0062】上記の工程において、触媒反応塔2からの
処理ガスの全量をラインL5に送り、その一部はパージ
槽5に供給して触媒反応塔2とパージ槽5との間を循環
させた。また、残りの処理ガスは再生塔3へと供給し
た。そして、除湿塔1における活性炭の滞留時間を25
時間に設定し、除湿塔1の底部から活性炭を連続的に取
り出してパージ槽5に送り、触媒反応塔2からの処理ガ
スでトリクロロエチレンのパージを行った(活性炭の滞
留時間:1時間)。更に、パージ後の活性炭を再生塔3
に送り、触媒反応塔2から排出される処理ガスによる活
性炭の再生処理を行った。再生処理後の活性炭は、除湿
塔1の上部から除湿塔1内に導入し、再び除湿工程に供
した。In the above process, the entire amount of the processing gas from the catalytic reaction tower 2 was sent to the line L5, and a part of it was supplied to the purge tank 5 to circulate between the catalytic reaction tower 2 and the purge tank 5. . Further, the remaining processing gas was supplied to the regeneration tower 3. Then, the residence time of the activated carbon in the dehumidification tower 1 is set to 25
The time was set, and activated carbon was continuously taken out from the bottom of the dehumidification tower 1 and sent to the purge tank 5, and trichlorethylene was purged with the processing gas from the catalytic reaction tower 2 (retention time of activated carbon: 1 hour). Furthermore, the activated carbon after purging is recycled to the regeneration tower 3
And the activated carbon was regenerated by the treatment gas discharged from the catalytic reaction tower 2. The activated carbon after the regeneration treatment was introduced into the dehumidification tower 1 from the upper part of the dehumidification tower 1 and again subjected to the dehumidification step.
【0063】この処理を500時間連続して行ったとこ
ろ、500時間後の触媒反応塔2から排出される処理ガ
ス中のトリクロロエチレン濃度は、運転当初とほぼ同じ
0.012mg/m3という十分に低い値を示し、ま
た、最終的に大気に放出される再生塔3の出口ガス中の
トリクロロエチレン濃度も、500時間運転後において
0.019mg/m3と低い値を示した。When this treatment was continuously carried out for 500 hours, the concentration of trichlorethylene in the treatment gas discharged from the catalytic reaction tower 2 after 500 hours was 0.012 mg / m 3, which is substantially the same as that at the beginning of the operation, which is sufficiently low. In addition, the concentration of trichlorethylene in the outlet gas of the regeneration tower 3 finally released to the atmosphere was as low as 0.019 mg / m 3 after 500 hours of operation.
【0064】[0064]
【発明の効果】以上説明した通り、本発明においては、
除湿工程で被処理ガスの相対湿度を低減させた後、分解
工程において、水素供与体ガスの存在下、被処理ガスと
金属系触媒とを接触させることによって、被処理ガス中
の揮発性有機ハロゲン化合物を効率よく且つ確実に無害
化することができる。また、除湿工程で用いられた吸着
剤の水分吸着能は水分の吸着により低下し得るが、これ
を分解工程で得られる処理ガスと接触させることによっ
て、加熱等の処理を行わずとも吸着剤の水分吸着能が十
分に高められるので、かかる再生処理の後に再び除湿工
程に供することができる。従って、本発明によって、被
処理ガス中に含まれる揮発性有機ハロゲン化合物を長期
にわたって効率よく且つ確実に無害化することが可能と
なる。As described above, according to the present invention,
After reducing the relative humidity of the gas to be treated in the dehumidifying step, in the decomposition step, the gas to be treated and the metal-based catalyst are brought into contact with each other in the presence of a hydrogen donor gas, so that the volatile organic halogen in the gas to be treated is reduced. The compound can be efficiently and surely rendered harmless. Further, the water adsorption capacity of the adsorbent used in the dehumidification step may be lowered by the adsorption of water, but by contacting this with the treatment gas obtained in the decomposition step, the adsorbent can be treated without heating or the like. Since the water adsorption capacity is sufficiently enhanced, it can be subjected to the dehumidification step again after such regeneration treatment. Therefore, according to the present invention, the volatile organic halogen compound contained in the gas to be treated can be efficiently and surely rendered harmless for a long period of time.
【0065】また、除湿工程、分解工程および再生工程
においては、被処理ガス又は処理ガスと、吸着剤又は触
媒とを接触させる際に、加熱源などの特別な装置や大量
のエネルギーを必要としないので、十分なコストダウン
が実現される。Further, in the dehumidifying process, the decomposing process and the regenerating process, no special equipment such as a heat source or a large amount of energy is required when bringing the gas to be treated or the treatment gas into contact with the adsorbent or the catalyst. Therefore, sufficient cost reduction is realized.
【図1】第1実施形態において好適に用いられる処理装
置の一例を概略的に示すフロー図である。FIG. 1 is a flow chart schematically showing an example of a processing apparatus preferably used in the first embodiment.
【図2】第2実施形態において好適に用いられる処理装
置の一例を概略的に示すフロー図である。FIG. 2 is a flow chart schematically showing an example of a processing apparatus preferably used in the second embodiment.
【図3】第3実施形態において好適に用いられる処理装
置の一例を概略的に示すフロー図である。FIG. 3 is a flow chart schematically showing an example of a processing apparatus preferably used in the third embodiment.
1、1’…除湿塔、2…触媒反応塔、3…再生塔、4…
コンベア、5…パージ槽、A、A’…活性炭層、L1〜
L7…ライン、V1a〜V6…バルブ、Y…触媒充填
床。1, 1 '... dehumidifying tower, 2 ... catalytic reaction tower, 3 ... regeneration tower, 4 ...
Conveyor, 5 ... Purge tank, A, A '... Activated carbon layer, L1
L7 ... line, V1a to V6 ... valve, Y ... catalyst packed bed.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B01J 20/10 B01J 23/42 A 20/34 C09K 3/00 S B01D 53/36 G 23/42 53/34 134E C09K 3/00 ZAB (72)発明者 山田 慎一 神奈川県平塚市久領提1番15号 株式会社 住重環境分析センター内 Fターム(参考) 4D002 AA21 AB03 BA04 CA07 DA42 DA46 EA02 EA08 EA13 FA01 HA01 4D048 AA11 AB03 BA03X BA30X BA41X BC01 CA03 CD01 4G066 AA04B AA20B AA22B CA33 DA02 EA20 4G069 AA03 BA01B BC75B CA05 CA10 CA19 DA06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) B01J 20/10 B01J 23/42 A 20/34 C09K 3/00 S B01D 53/36 G 23/42 53 / 34 134E C09K 3/00 ZAB (72) Inventor Shinichi Yamada 1-15 Kuryodai 1-15, Hiratsuka City, Kanagawa Prefecture F-Term (Reference) at Sumiju Environmental Analysis Center Co., Ltd. 4D002 AA21 AB03 BA04 CA07 DA42 DA46 EA02 EA08 EA13 FA01 HA01 4D048 AA11 AB03 BA03X BA30X BA41X BC01 CA03 CD01 4G066 AA04B AA20B AA22B CA33 DA02 EA20 4G069 AA03 BA01B BC75B CA05 CA10 CA19 DA06
Claims (3)
含有する被処理ガスを吸着剤に接触させて、前記被処理
ガス中の相対湿度を低減させる除湿工程と、 水素供与体ガスの存在下、前記被処理ガスと金属系触媒
とを接触させて、前記揮発性有機ハロゲン化合物を分解
する分解工程と、 前記除湿工程で用いられた吸着剤と、前記分解工程で得
られる処理ガスとを接触させて、前記吸着剤を再生する
再生工程とを含むことを特徴とする、揮発性有機ハロゲ
ン化合物含有ガスの処理方法。1. A dehumidifying step of bringing a gas to be treated containing a volatile organic halogen compound and water into contact with an adsorbent to reduce the relative humidity in the gas to be treated, and in the presence of a hydrogen donor gas, By bringing a gas to be treated into contact with a metal-based catalyst, a decomposing step of decomposing the volatile organic halogen compound, an adsorbent used in the dehumidifying step, and a treating gas obtained in the decomposing step are brought into contact with each other. And a regeneration step of regenerating the adsorbent, the method for treating a gas containing a volatile organohalogen compound.
着剤と、揮発性有機ハロゲン化合物を含有しないガスと
を接触させて、前記吸着剤に付着した揮発性有機ハロゲ
ン化合物を除去した後、前記吸着剤を前記再生工程に供
することを特徴とする、請求項1に記載の揮発性有機ハ
ロゲン化合物含有ガスの処理方法。2. The adsorbent used in the dehumidifying step is brought into contact with a gas containing no volatile organohalogen compound to remove the volatile organohalogen compound adhering to the adsorbent, and then the adsorption. The method for treating a volatile organohalogen compound-containing gas according to claim 1, wherein the agent is subjected to the regeneration step.
たはシリカゲルのいずれかであることを特徴とする、請
求項1または2に記載の揮発性有機ハロゲン化合物含有
ガスの処理方法。3. The method for treating a volatile organohalogen compound-containing gas according to claim 1, wherein the adsorbent is any one of activated carbon, activated alumina and silica gel.
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JP2001251493A JP2003053146A (en) | 2001-08-22 | 2001-08-22 | Method for treating gas containing volatile organic halogen compound |
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