JP2002336665A - 水素透過膜 - Google Patents
水素透過膜Info
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- JP2002336665A JP2002336665A JP2001143413A JP2001143413A JP2002336665A JP 2002336665 A JP2002336665 A JP 2002336665A JP 2001143413 A JP2001143413 A JP 2001143413A JP 2001143413 A JP2001143413 A JP 2001143413A JP 2002336665 A JP2002336665 A JP 2002336665A
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- hydrogen permeable
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- Hydrogen, Water And Hydrids (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｐｄは非常に高価かつ入手困難であり、従来
のＰｄを多量に使用する水素透過膜は、大変に高価であ
り、改質器の価格を大きく上昇させてしまうため、Ｐｄ
又はＰｄ合金に代わる安価かつ入手容易な材料を用いた
水素透過膜の開発が期待されている。 【解決手段】 水素透過膜２の少なくとも一部が、Ｔａ
をベース金属として、Ｆｅ及びＭｏからなる群から選ば
れる１種以上の金属元素を添加金属として添加したＴａ
合金によつて形成されている。
のＰｄを多量に使用する水素透過膜は、大変に高価であ
り、改質器の価格を大きく上昇させてしまうため、Ｐｄ
又はＰｄ合金に代わる安価かつ入手容易な材料を用いた
水素透過膜の開発が期待されている。 【解決手段】 水素透過膜２の少なくとも一部が、Ｔａ
をベース金属として、Ｆｅ及びＭｏからなる群から選ば
れる１種以上の金属元素を添加金属として添加したＴａ
合金によつて形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、水素透過膜に関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】従来の水素透過膜として、
例えば特開平４−３４６８２４公報に記載されるものが
知られている。これは、金網を焼結した多孔質支持体を
担体とし、この上に水素を選択的に透過させるＰｄ又は
Ｐｄ合金からなる水素透過膜を形成している。
例えば特開平４−３４６８２４公報に記載されるものが
知られている。これは、金網を焼結した多孔質支持体を
担体とし、この上に水素を選択的に透過させるＰｄ又は
Ｐｄ合金からなる水素透過膜を形成している。
【０００３】この種の水素透過膜を備える水素透過膜ユ
ニットについて、図１を参照して説明する。この水素透
過膜ユニット１は、金属製の枠体３を備え、水素透過膜
２を枠体３及び多孔質支持体４の内の少なくとも一方
に、接合部５によつて接合させている。接合部５は、メ
ッキ、ＣＶＤ（気相化学反応）、スパッタリングなどの
方法によつて、水素透過膜２を枠体３又は多孔質支持体
４の表面に形成することで、同時に形成され、或いは水
素透過膜２を予め圧延などにより製造し、拡散を利用し
て接合させて形成している。
ニットについて、図１を参照して説明する。この水素透
過膜ユニット１は、金属製の枠体３を備え、水素透過膜
２を枠体３及び多孔質支持体４の内の少なくとも一方
に、接合部５によつて接合させている。接合部５は、メ
ッキ、ＣＶＤ（気相化学反応）、スパッタリングなどの
方法によつて、水素透過膜２を枠体３又は多孔質支持体
４の表面に形成することで、同時に形成され、或いは水
素透過膜２を予め圧延などにより製造し、拡散を利用し
て接合させて形成している。
【０００４】多孔質支持体４は、セラミックス、ガラ
ス、ステンレス等の粉末や繊維の焼結体であり、水素を
通過させる連通孔を有している。この枠体３と多孔質支
持体４とは、リークを生じないように溶接、ろう付けな
どによつて接合され、接合部６を有している。
ス、ステンレス等の粉末や繊維の焼結体であり、水素を
通過させる連通孔を有している。この枠体３と多孔質支
持体４とは、リークを生じないように溶接、ろう付けな
どによつて接合され、接合部６を有している。
【０００５】このような水素透過膜ユニット１は、燃料
電池の水素源として天然ガスや都市ガスを使用する際、
メンブレンリアクタ方式の水素改質器への適用が検討さ
れている。触媒上で天然ガス又は都市ガスと水蒸気とが
反応することにより、Ｈ2 、ＣＯ、ＣＯ2 などの混合ガ
スが生成し、例えば水素透過膜２の図上で上方の供給側
に到達する。水素透過膜２は、Ｈ2 のみを透過させるか
ら、供給側の混合ガス中からＨ2 のみを選択的に分離さ
せることができる。水素透過膜２を矢印Ａ方向に透過し
たＨ2 は、連通孔を有する多孔質支持体４を透過し、水
素放出側に至り、水素利用装置である燃料電池等に供給
される。なお、水素透過膜２の図上で下方を供給側と
し、Ｈ2 を矢印Ａ方向と反対方向に透過させることもで
きる。
電池の水素源として天然ガスや都市ガスを使用する際、
メンブレンリアクタ方式の水素改質器への適用が検討さ
れている。触媒上で天然ガス又は都市ガスと水蒸気とが
反応することにより、Ｈ2 、ＣＯ、ＣＯ2 などの混合ガ
スが生成し、例えば水素透過膜２の図上で上方の供給側
に到達する。水素透過膜２は、Ｈ2 のみを透過させるか
ら、供給側の混合ガス中からＨ2 のみを選択的に分離さ
せることができる。水素透過膜２を矢印Ａ方向に透過し
たＨ2 は、連通孔を有する多孔質支持体４を透過し、水
素放出側に至り、水素利用装置である燃料電池等に供給
される。なお、水素透過膜２の図上で下方を供給側と
し、Ｈ2 を矢印Ａ方向と反対方向に透過させることもで
きる。
【０００６】水素透過膜２におけるＨ2 の透過は、拡散
現象を利用するので、透過方向の厚さが薄いほど、ま
た、所定の高温状態であるほど、透過速度が大きい。ま
た、水素透過膜ユニット１の供給側は、水素放出側より
も圧力を高くする必要がある。このとき、薄い水素透過
膜２のみでは圧力差により破損するので、水素透過膜２
の一側を多孔質支持体４によつて担持させ、機械的強度
を付与している。
現象を利用するので、透過方向の厚さが薄いほど、ま
た、所定の高温状態であるほど、透過速度が大きい。ま
た、水素透過膜ユニット１の供給側は、水素放出側より
も圧力を高くする必要がある。このとき、薄い水素透過
膜２のみでは圧力差により破損するので、水素透過膜２
の一側を多孔質支持体４によつて担持させ、機械的強度
を付与している。
【０００７】更に、水素透過膜２を薄くして水素透過性
能を向上させながら耐久性を確保するための多孔質支持
体４には、所定の高温における耐酸化性が要求される。
このため、多孔質支持体４の材料として、セラミック
ス、ガラス、ステンレス等の使用が検討されているが、
周囲部材との接合性や機械加工性などを考慮すると、金
属、特にステンレスが望ましい。
能を向上させながら耐久性を確保するための多孔質支持
体４には、所定の高温における耐酸化性が要求される。
このため、多孔質支持体４の材料として、セラミック
ス、ガラス、ステンレス等の使用が検討されているが、
周囲部材との接合性や機械加工性などを考慮すると、金
属、特にステンレスが望ましい。
【０００８】しかしながら、Ｐｄは非常に高価かつ入手
困難であり、従来のＰｄを多量に使用する水素透過膜２
は、大変に高価であり、改質器の価格を大きく上昇させ
てしまうため、Ｐｄ又はＰｄ合金に代わる安価かつ入手
容易な材料による水素透過膜２の開発が期待されてい
る。
困難であり、従来のＰｄを多量に使用する水素透過膜２
は、大変に高価であり、改質器の価格を大きく上昇させ
てしまうため、Ｐｄ又はＰｄ合金に代わる安価かつ入手
容易な材料による水素透過膜２の開発が期待されてい
る。
【０００９】特公平４−７４０４５公報、特公平５−７
９３６７公報、特公平６−９８２８１公報には、Ｐｄに
代えてＶ合金で構成させた水素透過膜２について記載さ
れている。これらのＶ合金を数μｍオーダーまで薄膜化
することを考えた場合、延性の乏しさから圧延で薄膜を
作製することには困難を伴い、ＣＶＤ（気相化学反
応）、スパッタリングなどのドライプロセスにより、母
材となる多孔質支持体４の表面に透過合金を析出させる
ことが有効な手法の一つと考えられる。ところで、これ
らのＶ合金は、いずれも表面に水素透過の障害となる酸
化物を形成し易いことから、酸化を防止する目的でＰｄ
又はＰｄ合金を極薄く被覆させることについて言及して
いる。
９３６７公報、特公平６−９８２８１公報には、Ｐｄに
代えてＶ合金で構成させた水素透過膜２について記載さ
れている。これらのＶ合金を数μｍオーダーまで薄膜化
することを考えた場合、延性の乏しさから圧延で薄膜を
作製することには困難を伴い、ＣＶＤ（気相化学反
応）、スパッタリングなどのドライプロセスにより、母
材となる多孔質支持体４の表面に透過合金を析出させる
ことが有効な手法の一つと考えられる。ところで、これ
らのＶ合金は、いずれも表面に水素透過の障害となる酸
化物を形成し易いことから、酸化を防止する目的でＰｄ
又はＰｄ合金を極薄く被覆させることについて言及して
いる。
【００１０】一方、水素透過能は、水素固溶度と水素拡
散速度との積に比例することが知られており、この値が
Ｐｄより大きい金属元素として、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ等を挙
げることができるが、これらは、水素が金属中に侵入す
ることによつて水素化物を生成し易いので、水素透過膜
２として使用する際の温度や圧力などの条件によつて
は、水素化物の生成によつて微粉化などの現象が生じ、
膜が破壊する。
散速度との積に比例することが知られており、この値が
Ｐｄより大きい金属元素として、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａ等を挙
げることができるが、これらは、水素が金属中に侵入す
ることによつて水素化物を生成し易いので、水素透過膜
２として使用する際の温度や圧力などの条件によつて
は、水素化物の生成によつて微粉化などの現象が生じ、
膜が破壊する。
【００１１】本発明は、Ｔａに、水素化物生成を抑制さ
せる効果がある所定の金属元素を添加することにより、
Ｔａの水素透過能の低下を僅かな量に抑えつつ、耐水素
脆性を向上させることができるという本発明者等による
知見に基づいてなされたものであり、Ｐｄ又はＰｄ合金
の使用を極力抑制させた水素透過膜を提供し、その製作
を容易かつ安価とすることを目的としている。すなわ
ち、本発明は、Ｔａをベース金属とし、Ｔａに、水素化
物生成を抑制させる機能がある所定の金属元素を添加す
ることによりＴａ合金を得、このＴａ合金を少なくとも
一部に有する水素透過膜とすることにより、高い水素透
過能を維持しつつ、水素脆化による破壊を抑制させた水
素透過膜を提供することを目的としている。
せる効果がある所定の金属元素を添加することにより、
Ｔａの水素透過能の低下を僅かな量に抑えつつ、耐水素
脆性を向上させることができるという本発明者等による
知見に基づいてなされたものであり、Ｐｄ又はＰｄ合金
の使用を極力抑制させた水素透過膜を提供し、その製作
を容易かつ安価とすることを目的としている。すなわ
ち、本発明は、Ｔａをベース金属とし、Ｔａに、水素化
物生成を抑制させる機能がある所定の金属元素を添加す
ることによりＴａ合金を得、このＴａ合金を少なくとも
一部に有する水素透過膜とすることにより、高い水素透
過能を維持しつつ、水素脆化による破壊を抑制させた水
素透過膜を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような従
来の技術的課題に鑑みてなされたもので、その構成は、
次の通りである。請求項１の発明は、水素透過膜２の少
なくとも一部が、Ｔａをベース金属として、Ｆｅ及びＭ
ｏからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を添加金
属として添加したＴａ合金によつて形成されていること
を特徴とする水素透過膜である。請求項２の発明は、添
加金属の含有量が、７０原子％以下であることを特徴と
する請求項１の水素透過膜である。請求項３の発明は、
Ｔａ合金が、ＣＶＤ、スパッタリング、イオンプレーテ
ィング、蒸着などのドライプロセスの成膜手段によつて
多孔質支持体４の一側に成膜されていることを特徴とす
る請求項１又は２の水素透過膜である。
来の技術的課題に鑑みてなされたもので、その構成は、
次の通りである。請求項１の発明は、水素透過膜２の少
なくとも一部が、Ｔａをベース金属として、Ｆｅ及びＭ
ｏからなる群から選ばれる１種以上の金属元素を添加金
属として添加したＴａ合金によつて形成されていること
を特徴とする水素透過膜である。請求項２の発明は、添
加金属の含有量が、７０原子％以下であることを特徴と
する請求項１の水素透過膜である。請求項３の発明は、
Ｔａ合金が、ＣＶＤ、スパッタリング、イオンプレーテ
ィング、蒸着などのドライプロセスの成膜手段によつて
多孔質支持体４の一側に成膜されていることを特徴とす
る請求項１又は２の水素透過膜である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る水素
透過膜を用いる水素透過膜ユニットを示し、この水素透
過膜ユニット１は、Ｐｄ又はＰｄ合金の使用を極力避け
るために、Ｔａ合金製の透過膜を有する水素透過膜２を
備える。
て図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る水素
透過膜を用いる水素透過膜ユニットを示し、この水素透
過膜ユニット１は、Ｐｄ又はＰｄ合金の使用を極力避け
るために、Ｔａ合金製の透過膜を有する水素透過膜２を
備える。
【００１４】すなわち、水素透過膜２は、水素の精製用
又は分離用として使用されるＴａをベース金属とし、Ｆ
ｅ及びＭｏからなる群から選ばれる１種以上の金属元素
を添加したＴａ合金によつて形成する。Ｔａ合金製の水
素透過膜２を多孔質支持体４上に成膜させる方法は、ス
パッタリング、ＣＶＤ（気相化学反応）、蒸着、イオン
プレーティングなどのドライプロセスの成膜手段が望ま
しい。これは、Ｔａが高融点金属であり、また、その合
金は延性に乏しい場合があるから、そのような場合に、
Ｔａ合金製の水素透過膜２を予め圧延などにより製造
し、これを溶融することなく、加圧加熱する拡散接合法
によつて多孔質支持体４上に接合する方法により、良好
に成膜させることが困難だからである。
又は分離用として使用されるＴａをベース金属とし、Ｆ
ｅ及びＭｏからなる群から選ばれる１種以上の金属元素
を添加したＴａ合金によつて形成する。Ｔａ合金製の水
素透過膜２を多孔質支持体４上に成膜させる方法は、ス
パッタリング、ＣＶＤ（気相化学反応）、蒸着、イオン
プレーティングなどのドライプロセスの成膜手段が望ま
しい。これは、Ｔａが高融点金属であり、また、その合
金は延性に乏しい場合があるから、そのような場合に、
Ｔａ合金製の水素透過膜２を予め圧延などにより製造
し、これを溶融することなく、加圧加熱する拡散接合法
によつて多孔質支持体４上に接合する方法により、良好
に成膜させることが困難だからである。
【００１５】Ｔａは、一般に水素透過能に優れている
が、耐水素脆性に乏しい。本発明者等は、Ｔａに、水素
化物生成を抑制させる効果があるＦｅ及びＭｏからなる
群から選ばれる少なくとも１種以上の金属元素を添加金
属として添加することにより、Ｔａの水素透過能の低下
を僅かな量に抑えつつ、耐水素脆性が向上することを見
いだした。これらの添加金属の添加量が少量では、十分
な水素化物抑制効果が認められないことから、添加量が
５原子％以上、好ましくは下限が１０原子％であること
が望ましい。一方、これらの添加は、透過能を低下させ
る効果を有することから、大量添加は水素透過能を著し
く減少させる。そこで、Ｆｅ又はＭｏのＴａへの添加量
は、７０原子％以下、好ましくは上限が６０原子％であ
ることが望ましい。
が、耐水素脆性に乏しい。本発明者等は、Ｔａに、水素
化物生成を抑制させる効果があるＦｅ及びＭｏからなる
群から選ばれる少なくとも１種以上の金属元素を添加金
属として添加することにより、Ｔａの水素透過能の低下
を僅かな量に抑えつつ、耐水素脆性が向上することを見
いだした。これらの添加金属の添加量が少量では、十分
な水素化物抑制効果が認められないことから、添加量が
５原子％以上、好ましくは下限が１０原子％であること
が望ましい。一方、これらの添加は、透過能を低下させ
る効果を有することから、大量添加は水素透過能を著し
く減少させる。そこで、Ｆｅ又はＭｏのＴａへの添加量
は、７０原子％以下、好ましくは上限が６０原子％であ
ることが望ましい。
【００１６】このような水素透過膜２によれば、Ｔａを
ベース金属とし、Ｆｅ及びＭｏからなる群から選ばれる
少なくとも１種以上の金属元素を添加したＴａ合金によ
つて形成することにより、水素透過性と耐水素脆化性と
を両立させることが可能である。加えて、Ｔａ、Ｆｅ及
びＭｏは、いずれもＰｄ合金よりも材料単価が非常に低
廉かつ入手容易であるため、水素透過膜２を安価かつ十
分に供給することが可能になる。
ベース金属とし、Ｆｅ及びＭｏからなる群から選ばれる
少なくとも１種以上の金属元素を添加したＴａ合金によ
つて形成することにより、水素透過性と耐水素脆化性と
を両立させることが可能である。加えて、Ｔａ、Ｆｅ及
びＭｏは、いずれもＰｄ合金よりも材料単価が非常に低
廉かつ入手容易であるため、水素透過膜２を安価かつ十
分に供給することが可能になる。
【００１７】更に、これらのＴａ合金を上記ドライプロ
セスにより多孔質支持体４上に成膜させたものを水素透
過膜２として用いることにより、通常の溶解法によつて
作製した合金インゴットから圧延などの方法により膜を
得る手法が適用困難な場合においても、水素透過膜２に
求められる薄膜を容易に得ることが可能である。
セスにより多孔質支持体４上に成膜させたものを水素透
過膜２として用いることにより、通常の溶解法によつて
作製した合金インゴットから圧延などの方法により膜を
得る手法が適用困難な場合においても、水素透過膜２に
求められる薄膜を容易に得ることが可能である。
【００１８】
【実施例】ＴａにＦｅ及びＭｏの添加量を表１の試料名
の欄のように変化させ、溶解により、これらＴａ合金の
インゴットを作製した。すなわち、実施例（１），
（２）の試料は、ＴａにＦｅを２０又は５０原子％含
み、実施例（３），（４）の試料は、ＴａにＭｏを２０
又は５０原子％含む。また、比較例（１），（２）の試
料は、Ｐｄ又はＴａからなり、比較例（３）の試料は、
ＴａにＦｅを８０原子％含み、比較例（４）の試料は、
ＴａにＭｏを８０原子％含む。
の欄のように変化させ、溶解により、これらＴａ合金の
インゴットを作製した。すなわち、実施例（１），
（２）の試料は、ＴａにＦｅを２０又は５０原子％含
み、実施例（３），（４）の試料は、ＴａにＭｏを２０
又は５０原子％含む。また、比較例（１），（２）の試
料は、Ｐｄ又はＴａからなり、比較例（３）の試料は、
ＴａにＦｅを８０原子％含み、比較例（４）の試料は、
ＴａにＭｏを８０原子％含む。
【００１９】次に、各試料を切断し、０．５ｍｍ厚さの
円板をそれぞれ作製した。Ｐｄからなる比較例（１）以
外の各試料については、表裏両面に５０ｎｍのＰｄをス
パッタリングにより被覆させた。従つて、比較例（１）
以外の水素透過膜２は、図２に示すものと同様の３層構
造を有し、Ｔａ又はＴａ合金２ｂの膜の両面をＰｄ２
ａ，２ｃの膜によつて覆つた状態になつている。これら
の試料を水素透過試験装置に設置し、５００℃における
水素透過係数により、水素透過能を比較した。また、試
験後に、試験時の水素圧を維持したままで室温まで冷却
させ、試料における割れの有無を調査した。
円板をそれぞれ作製した。Ｐｄからなる比較例（１）以
外の各試料については、表裏両面に５０ｎｍのＰｄをス
パッタリングにより被覆させた。従つて、比較例（１）
以外の水素透過膜２は、図２に示すものと同様の３層構
造を有し、Ｔａ又はＴａ合金２ｂの膜の両面をＰｄ２
ａ，２ｃの膜によつて覆つた状態になつている。これら
の試料を水素透過試験装置に設置し、５００℃における
水素透過係数により、水素透過能を比較した。また、試
験後に、試験時の水素圧を維持したままで室温まで冷却
させ、試料における割れの有無を調査した。
【００２０】表１に、これらの結果をまとめて示してあ
る。ＴａはＰｄの約７倍の水素透過係数を示すが、室温
まで冷却すると破壊してしまう。すなわち、Ｔａのみで
は、室温までの冷却過程において、試料中に残存した水
素によつて水素化物が形成されて脆化する。これによ
り、比較例（２）では、温度変化に伴つて、割れが発生
したと考えられる。一方、ＴａにＦｅ又はＭｏを添加す
ると、いずれの場合においても水素透過係数は減少する
ものの、冷却時における割れの発生が抑制された。しか
し、Ｆｅ又はＭｏの添加量が８０原子％を超えると、水
素透過係数を減少させる作用が大きくなり、Ｐｄよりも
水素透過係数が小さくなつた。なお、Ｔａ合金２ｂの両
面を覆うＰｄ２ａ，２ｃの膜は、酸化を防止すると共
に、水素分子の解離性（触媒能）及び水素透過能を有し
ていればよく、Ｐｄ合金を極薄く被覆させることが可能
であるのみならず、Ｐｄ以外の白金族元素（Ｒｕ，Ｒ
ｈ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ）及びその合金の使用が可能であ
る。
る。ＴａはＰｄの約７倍の水素透過係数を示すが、室温
まで冷却すると破壊してしまう。すなわち、Ｔａのみで
は、室温までの冷却過程において、試料中に残存した水
素によつて水素化物が形成されて脆化する。これによ
り、比較例（２）では、温度変化に伴つて、割れが発生
したと考えられる。一方、ＴａにＦｅ又はＭｏを添加す
ると、いずれの場合においても水素透過係数は減少する
ものの、冷却時における割れの発生が抑制された。しか
し、Ｆｅ又はＭｏの添加量が８０原子％を超えると、水
素透過係数を減少させる作用が大きくなり、Ｐｄよりも
水素透過係数が小さくなつた。なお、Ｔａ合金２ｂの両
面を覆うＰｄ２ａ，２ｃの膜は、酸化を防止すると共
に、水素分子の解離性（触媒能）及び水素透過能を有し
ていればよく、Ｐｄ合金を極薄く被覆させることが可能
であるのみならず、Ｐｄ以外の白金族元素（Ｒｕ，Ｒ
ｈ，Ｏｓ，Ｉｒ，Ｐｔ）及びその合金の使用が可能であ
る。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【発明の効果】以上の説明によつて理解されるように、
本発明に係る水素透過膜によれば、次の効果を奏するこ
とができる。水素透過膜を、Ｔａをベース金属とし、Ｆ
ｅ及びＭｏからなる群から選ばれる少なくとも１種以上
の金属元素を添加したＴａ合金によつて形成させること
により、Ｐｄ又はＰｄ合金とほぼ同等又はそれ以上に水
素透過性又は耐水素脆化性に優れる水素透過膜を得るこ
とができる。
本発明に係る水素透過膜によれば、次の効果を奏するこ
とができる。水素透過膜を、Ｔａをベース金属とし、Ｆ
ｅ及びＭｏからなる群から選ばれる少なくとも１種以上
の金属元素を添加したＴａ合金によつて形成させること
により、Ｐｄ又はＰｄ合金とほぼ同等又はそれ以上に水
素透過性又は耐水素脆化性に優れる水素透過膜を得るこ
とができる。
【００２３】加えて、水素透過膜の少なくとも一部を入
手容易かつ安価な材料によつて製作し、水素透過膜にお
けるＰｄ又はＰｄ合金の使用量を大幅に削減し、或いは
零にすることも可能である。これにより、水素透過膜の
製作を容易かつ安価とすることができる。
手容易かつ安価な材料によつて製作し、水素透過膜にお
けるＰｄ又はＰｄ合金の使用量を大幅に削減し、或いは
零にすることも可能である。これにより、水素透過膜の
製作を容易かつ安価とすることができる。
【図１】 本発明の実施の形態に係る水素透過膜を備え
る水素透過膜ユニットの概略を示す断面図。
る水素透過膜ユニットの概略を示す断面図。
【図２】 他の構造例に係る水素透過膜ユニットの要部
を示す拡大図。
を示す拡大図。
１：水素透過膜ユニット、２：水素透過膜、２ａ：Ｐｄ
（白金族元素及びその合金）、２ｂ：Ｔａ合金、２ｃ：
Ｐｄ（白金族元素及びその合金）、３：枠体、４：多孔
質支持体、５，６：接合部。
（白金族元素及びその合金）、２ｂ：Ｔａ合金、２ｃ：
Ｐｄ（白金族元素及びその合金）、３：枠体、４：多孔
質支持体、５，６：接合部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 海老沢 孝 神奈川県横浜市金沢区福浦２丁目２−１ 株式会社日本製鋼所内 Ｆターム(参考） 4D006 GA41 KE30R MA03 MA06 MB04 MB06 MC02X MC03 NA50 PA01 PB18 PB66 PC80 4G040 FA02 FB04 FC01 FD06 FE01 4K029 AA04 AA09 AA21 BA16 BA21 CA01 CA03 CA05
Claims (3)
- 【請求項１】 水素透過膜（２）の少なくとも一部が、
Ｔａをベース金属として、Ｆｅ及びＭｏからなる群から
選ばれる１種以上の金属元素を添加金属として添加した
Ｔａ合金によつて形成されていることを特徴とする水素
透過膜。 - 【請求項２】 添加金属の含有量が、７０原子％以下で
あることを特徴とする請求項１の水素透過膜。 - 【請求項３】 Ｔａ合金が、ＣＶＤ、スパッタリング、
イオンプレーティング、蒸着などのドライプロセスの成
膜手段によつて多孔質支持体（４）の一側に成膜されて
いることを特徴とする請求項１又は２の水素透過膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001143413A JP2002336665A (ja) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | 水素透過膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001143413A JP2002336665A (ja) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | 水素透過膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
ID=18989566
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001143413A Withdrawn JP2002336665A (ja) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | 水素透過膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002336665A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007117810A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水素透過膜、及びそれを用いた燃料電池 |
| CN105525273A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-04-27 | 北京天瑞星光热技术有限公司 | 一种不锈钢用碳化硅阻氢渗透涂层及其制备方法 |
-
2001
- 2001-05-14 JP JP2001143413A patent/JP2002336665A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007117810A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水素透過膜、及びそれを用いた燃料電池 |
| CN105525273A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-04-27 | 北京天瑞星光热技术有限公司 | 一种不锈钢用碳化硅阻氢渗透涂层及其制备方法 |
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