JP2002303512A - 物体の変形記録方法及び変形記録装置 - Google Patents
物体の変形記録方法及び変形記録装置Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
- G01B11/162—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means by speckle- or shearing interferometry
-
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
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- Image Analysis (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 変形が相対的に大きい場合であっても信頼で
きる評価を容易にする、物体の変形記録方法及び装置を
提供する。 【解決手段】 物体（１）の変形過程中に、物体の一連
の画像を計測によって記録する。各隣接する２つの画像
間の差分を作成する。作成された差分を積分する。
きる評価を容易にする、物体の変形記録方法及び装置を
提供する。 【解決手段】 物体（１）の変形過程中に、物体の一連
の画像を計測によって記録する。各隣接する２つの画像
間の差分を作成する。作成された差分を積分する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は物体の変形を記録す
る方法及びその種の方法を実行する装置に関する。
る方法及びその種の方法を実行する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の方法及び装置は広範囲の目的で
使用されており、材料、特に、複合材料の非破壊検査や
タイヤ（自動車用タイヤ）の検査等に特に使用されてい
る。材料、複合材料、加工物、タイヤ等の物体は、圧
力、真空、熱、その他の手段の影響で変形する。その物
体は様々な変形状態で計測される。計測を利用すれば、
物体が欠陥、特に傷のある部位を有しているか否かを判
定することができる。
使用されており、材料、特に、複合材料の非破壊検査や
タイヤ（自動車用タイヤ）の検査等に特に使用されてい
る。材料、複合材料、加工物、タイヤ等の物体は、圧
力、真空、熱、その他の手段の影響で変形する。その物
体は様々な変形状態で計測される。計測を利用すれば、
物体が欠陥、特に傷のある部位を有しているか否かを判
定することができる。
【０００３】タイヤ検査では、タイヤが減圧室内に配置
される。タイヤは、リムに取付けられる場合もあれば、
リムなしで減圧室内に配置される場合もある。減圧され
ると、タイヤの傷のある部位に閉じ込められている空気
が局部的に膨張して、計測による検出が可能になる。
される。タイヤは、リムに取付けられる場合もあれば、
リムなしで減圧室内に配置される場合もある。減圧され
ると、タイヤの傷のある部位に閉じ込められている空気
が局部的に膨張して、計測による検出が可能になる。
【０００４】３次元物体の表面を計測する方法は、欧州
特許４１９９３６Ｂ１から公知である。この方法によれ
ば、物体に、コヒーレント電磁波、特に光線を照射する
ことができる。反射した光波は、プレーナセンサやイメ
ージセンサ、好ましくはＣＣＤセンサを配置した像面を
有する結像光学系によって焦点面に結像される。さら
に、搬送周波数を有する参照光線がセンサ上で重ね合わ
される。その場合、結像光学系は、物体上へのコヒーレ
ント光により生成される焦点面内のスペックル画像が少
なくとも３つのセンサ画素（ピクセル）を覆うように設
計または調整される。これにより、１つのフレームで完
全な位相計測を確実に実現することができる。物体から
の光波の位相は、センサ画素からの強度信号によって測
定される。
特許４１９９３６Ｂ１から公知である。この方法によれ
ば、物体に、コヒーレント電磁波、特に光線を照射する
ことができる。反射した光波は、プレーナセンサやイメ
ージセンサ、好ましくはＣＣＤセンサを配置した像面を
有する結像光学系によって焦点面に結像される。さら
に、搬送周波数を有する参照光線がセンサ上で重ね合わ
される。その場合、結像光学系は、物体上へのコヒーレ
ント光により生成される焦点面内のスペックル画像が少
なくとも３つのセンサ画素（ピクセル）を覆うように設
計または調整される。これにより、１つのフレームで完
全な位相計測を確実に実現することができる。物体から
の光波の位相は、センサ画素からの強度信号によって測
定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の物体の変形記録
方法では、変形が相対的に大きいと困難な場合がある。
その場合、様々な干渉縞の間隔が非常に小さいので、そ
の識別が困難であったり全く識別不可能であったりし
て、評価を妨げたり無効にする。
方法では、変形が相対的に大きいと困難な場合がある。
その場合、様々な干渉縞の間隔が非常に小さいので、そ
の識別が困難であったり全く識別不可能であったりし
て、評価を妨げたり無効にする。
【０００６】本発明の目的は、変形が相対的に大きい場
合であっても信頼できる評価を容易にする、物体の変形
記録方法及び装置を提供することである。
合であっても信頼できる評価を容易にする、物体の変形
記録方法及び装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記の
目的は、請求項１の特徴部分に記載の包括的なタイプの
物体の変形記録方法によって実現される。すなわち、こ
の方法は、まず、物体の変形過程中に、該物体の一連の
画像を計測によって記録し、上記連続する画像の各隣接
する２つの画像間の差分（増分）を作成した後、その差
分を上記２つの画像のうちの最初の画像に付加する。こ
の方法で実行されるその後の一連の演算では、各隣接す
る２つの画像間の差分が作成され、それら差分がそれぞ
れ対応する先行画像に付加される。このようにして、変
形による増分が合算、すなわち、積分される。積分され
た差分は物体の総変形量となる。
目的は、請求項１の特徴部分に記載の包括的なタイプの
物体の変形記録方法によって実現される。すなわち、こ
の方法は、まず、物体の変形過程中に、該物体の一連の
画像を計測によって記録し、上記連続する画像の各隣接
する２つの画像間の差分（増分）を作成した後、その差
分を上記２つの画像のうちの最初の画像に付加する。こ
の方法で実行されるその後の一連の演算では、各隣接す
る２つの画像間の差分が作成され、それら差分がそれぞ
れ対応する先行画像に付加される。このようにして、変
形による増分が合算、すなわち、積分される。積分され
た差分は物体の総変形量となる。
【０００８】本発明にかかる方法では、相対的に多数の
画像が単位時間毎に記録される。この方法の実用例で
は、１秒あたり２５フレームの標準ビデオクロック周波
数で画像を記録することができる。
画像が単位時間毎に記録される。この方法の実用例で
は、１秒あたり２５フレームの標準ビデオクロック周波
数で画像を記録することができる。
【０００９】しかしながら、それ以外の画像周波数を採
用することも可能である。低速の変形の場合、１分あた
り１フレームまたはそれ以下の画像周波数を採用するこ
ともできる。しかしながら、１秒あたり１００万フレー
ムまでのより高速の周波数で画像を記録することも可能
である。
用することも可能である。低速の変形の場合、１分あた
り１フレームまたはそれ以下の画像周波数を採用するこ
ともできる。しかしながら、１秒あたり１００万フレー
ムまでのより高速の周波数で画像を記録することも可能
である。
【００１０】この方法では、開始画像として一定の画像
が使用される。その後、連続する２つの画像の差分が算
出され、逐次合算される。単位時間あたりに相対的に多
数の画像が記録される場合、それらの画像はそれぞれ比
較的小さな変形度でしか異なっていない。画像は、負荷
を加えている間、すなわち、予備的な変形処理中に記録
される。単位時間あたりに相対的に多数の画像が記録さ
れる際、干渉縞間や投影線間は、常に確実に容易に評価
できるように、互いに十分離れた間隔を有している。変
形は合算、すなわち、積分される。これにより、大きな
変形も記録することができる。
が使用される。その後、連続する２つの画像の差分が算
出され、逐次合算される。単位時間あたりに相対的に多
数の画像が記録される場合、それらの画像はそれぞれ比
較的小さな変形度でしか異なっていない。画像は、負荷
を加えている間、すなわち、予備的な変形処理中に記録
される。単位時間あたりに相対的に多数の画像が記録さ
れる際、干渉縞間や投影線間は、常に確実に容易に評価
できるように、互いに十分離れた間隔を有している。変
形は合算、すなわち、積分される。これにより、大きな
変形も記録することができる。
【００１１】本発明の好ましい実施形態を従属請求項に
記載する。
記載する。
【００１２】上記物体の画像は干渉計測によって記録可
能である。適切な干渉計測法には、例えば、ホログラフ
ィ干渉計測法、電子スペックルパターン干渉計測法（Ｅ
ＳＰＩ）、スペックルシェアリング干渉計測法等があ
る。しかしながら、上記物体の画像は投影計測によって
も記録可能である。投影計測は、特に、格子投影計測法
やモアレ計測法の形をとることがある。
能である。適切な干渉計測法には、例えば、ホログラフ
ィ干渉計測法、電子スペックルパターン干渉計測法（Ｅ
ＳＰＩ）、スペックルシェアリング干渉計測法等があ
る。しかしながら、上記物体の画像は投影計測によって
も記録可能である。投影計測は、特に、格子投影計測法
やモアレ計測法の形をとることがある。
【００１３】記録された画像から位相画像を求めること
ができる。この場合、連続する位相画像間の差分を作成
した後、それら差分をそれぞれ対応する先行の位相画像
に付加する。位相画像は、例えば、本明細書に引用され
ている欧州特許４１９９３６Ｂ１に記載された方法によ
って求めることができる。この方法によれば、上記位相
画像は上述した方法でＣＣＤセンサ上の画像から、すな
わち、１個のフレームから求めることができる。直接記
録された変形画像や干渉縞画像から、その後に上述の増
分方法や積分方法を利用して評価するための位相画像が
算出される。各位相画像を、欧州特許４１９９３６Ｂ１
に従って発生するように１個のフレームから求めるなら
ば、処理を大幅に加速させることが可能になる。その処
理を通常のビデオサイクル周波数で実行できるようにな
る。
ができる。この場合、連続する位相画像間の差分を作成
した後、それら差分をそれぞれ対応する先行の位相画像
に付加する。位相画像は、例えば、本明細書に引用され
ている欧州特許４１９９３６Ｂ１に記載された方法によ
って求めることができる。この方法によれば、上記位相
画像は上述した方法でＣＣＤセンサ上の画像から、すな
わち、１個のフレームから求めることができる。直接記
録された変形画像や干渉縞画像から、その後に上述の増
分方法や積分方法を利用して評価するための位相画像が
算出される。各位相画像を、欧州特許４１９９３６Ｂ１
に従って発生するように１個のフレームから求めるなら
ば、処理を大幅に加速させることが可能になる。その処
理を通常のビデオサイクル周波数で実行できるようにな
る。
【００１４】変調された位相画像を測定及び評価するこ
ともできる。
ともできる。
【００１５】本発明のさらに好ましい実施形態は、上記
物体に対して、コヒーレント電磁波またはコヒーレント
光、好ましくは、レーザ光、あるいは、部分コヒーレン
ト電磁波または部分コヒーレント光が照射されることを
特徴とする。特に、上記物体に対してレーザダイオード
からレーザ光を照射してもよい。本発明のさらに好まし
い実施形態によれば、上記物体に対して、複数のレーザ
ダイオードからレーザ光が照射される。１個または複数
個のレーザダイオードを使用すれば、レーザダイオード
は相対的に安価なので、特に有利である。複数のレーザ
ダイオードを使用する場合、レーザダイオードによって
照射される領域が重なり合わないように、すなわち、端
縁のみでわずかに重なるようにレーザダイオードを配置
してもよい。しかしながら、２つまたは複数または全て
のレーザダイオードの照射領域が重なるようにダイオー
ドを配置することも可能である。
物体に対して、コヒーレント電磁波またはコヒーレント
光、好ましくは、レーザ光、あるいは、部分コヒーレン
ト電磁波または部分コヒーレント光が照射されることを
特徴とする。特に、上記物体に対してレーザダイオード
からレーザ光を照射してもよい。本発明のさらに好まし
い実施形態によれば、上記物体に対して、複数のレーザ
ダイオードからレーザ光が照射される。１個または複数
個のレーザダイオードを使用すれば、レーザダイオード
は相対的に安価なので、特に有利である。複数のレーザ
ダイオードを使用する場合、レーザダイオードによって
照射される領域が重なり合わないように、すなわち、端
縁のみでわずかに重なるようにレーザダイオードを配置
してもよい。しかしながら、２つまたは複数または全て
のレーザダイオードの照射領域が重なるようにダイオー
ドを配置することも可能である。
【００１６】本発明にかかる方法の特に有利な点は、上
記物体の画像または位相画像が手持ち式センサを用いて
記録可能である点である。これにより、計測用に使用さ
れるセンサ、すなわち、このセンサを収容するハウジン
グを手で持つことができる。もちろん、このやり方は乱
れ（狂い）を発生させる可能性がある。しかしながら、
手持ち式センサが決して完全には静止状態を維持できな
いことから起こるこのような乱れは、時間がたてば、相
対的に高い画像周波数によって補償される。個々の画像
が十分に高速に連続する場合は、必然的に、手持ち式セ
ンサ、例えば、手で案内するＥＳＰＩセンサやシェアリ
ングセンサを特に電子ぶれ抑制装置と組み合わせて使用
することができる。この場合、センサを手に持つことに
よって発生する外乱が比較的小さくなる程度に画像周波
数が高いことが必要条件である。手ぶれのみならず、外
部からの影響で発生するその他の乱れや静止状態での検
査準備によって起こり得る乱れも、時間がたてば平均に
達することができる。
記物体の画像または位相画像が手持ち式センサを用いて
記録可能である点である。これにより、計測用に使用さ
れるセンサ、すなわち、このセンサを収容するハウジン
グを手で持つことができる。もちろん、このやり方は乱
れ（狂い）を発生させる可能性がある。しかしながら、
手持ち式センサが決して完全には静止状態を維持できな
いことから起こるこのような乱れは、時間がたてば、相
対的に高い画像周波数によって補償される。個々の画像
が十分に高速に連続する場合は、必然的に、手持ち式セ
ンサ、例えば、手で案内するＥＳＰＩセンサやシェアリ
ングセンサを特に電子ぶれ抑制装置と組み合わせて使用
することができる。この場合、センサを手に持つことに
よって発生する外乱が比較的小さくなる程度に画像周波
数が高いことが必要条件である。手ぶれのみならず、外
部からの影響で発生するその他の乱れや静止状態での検
査準備によって起こり得る乱れも、時間がたてば平均に
達することができる。
【００１７】本発明のさらに好ましい実施形態は、乱れ
を有する画像または位相画像を評価の中に含めないこと
を特徴とする。画像または位相画像の評価は、連続する
２つの画像間または位相画像間に差分を作成し、この差
分を先行の画像または位相画像に付加するという上述の
方法によって実行される。画像または位相画像、あるい
は、それから作成された差分に乱れがある場合、そのよ
うな画像や差分は、本発明の好ましい実施形態に従って
評価から除外される。
を有する画像または位相画像を評価の中に含めないこと
を特徴とする。画像または位相画像の評価は、連続する
２つの画像間または位相画像間に差分を作成し、この差
分を先行の画像または位相画像に付加するという上述の
方法によって実行される。画像または位相画像、あるい
は、それから作成された差分に乱れがある場合、そのよ
うな画像や差分は、本発明の好ましい実施形態に従って
評価から除外される。
【００１８】そのような乱れを有する画像、位相画像あ
るいは差分は、レーザダイオードを使用した場合に特に
発生しやすい。レーザダイオードはいわゆるモードジャ
ンプを行う。これらは波長の突然の変化であり、その発
生は予測不能でランダムである。波長はごくわずかな量
だけ突然に変化する。連続する２つの画像または位相画
像間でそのようなモードジャンプが発生すると、乱れを
有する画像、位相画像あるいは差分を発生させることに
なり、その評価も同様に乱れを有することになる。モー
ドジャンプやその他の現象によって発生する誤差をなく
すために、評価から、そのような画像、位相画像あるい
は差分を除外することができる。
るいは差分は、レーザダイオードを使用した場合に特に
発生しやすい。レーザダイオードはいわゆるモードジャ
ンプを行う。これらは波長の突然の変化であり、その発
生は予測不能でランダムである。波長はごくわずかな量
だけ突然に変化する。連続する２つの画像または位相画
像間でそのようなモードジャンプが発生すると、乱れを
有する画像、位相画像あるいは差分を発生させることに
なり、その評価も同様に乱れを有することになる。モー
ドジャンプやその他の現象によって発生する誤差をなく
すために、評価から、そのような画像、位相画像あるい
は差分を除外することができる。
【００１９】乱れを有する画像または位相画像、あるい
はそれから形成された差分は、取るに足りない重みしか
持たないとして無視することができる。個々の画像の連
続が十分に高速であれば、乱れを有する画像や位相画像
や差分によって引き起こされる誤差も、同様に取るに足
りないものとして無視することができる。
はそれから形成された差分は、取るに足りない重みしか
持たないとして無視することができる。個々の画像の連
続が十分に高速であれば、乱れを有する画像や位相画像
や差分によって引き起こされる誤差も、同様に取るに足
りないものとして無視することができる。
【００２０】しかしながら、先行の差分及び／または次
の差分を利用することによって、乱れを有する画像、位
相画像または差分によって発生する誤差を埋めることも
可能である。このことは、本質的に線形の変形であっ
て、連続する画像間にほぼ線形の関係性が現れるほど画
像の連続が高速である場合に、特に可能である。その場
合、乱れを有する画像や位相画像に属する変形は、隣接
する両時間間隔から外挿される。欠けた間隔を先行差分
及び／または後続差分によって置き換えるのである。
の差分を利用することによって、乱れを有する画像、位
相画像または差分によって発生する誤差を埋めることも
可能である。このことは、本質的に線形の変形であっ
て、連続する画像間にほぼ線形の関係性が現れるほど画
像の連続が高速である場合に、特に可能である。その場
合、乱れを有する画像や位相画像に属する変形は、隣接
する両時間間隔から外挿される。欠けた間隔を先行差分
及び／または後続差分によって置き換えるのである。
【００２１】画像や位相画像が間引かれた場合であって
も評価を実行可能にするために、画像が省略された場合
に干渉縞または投影線を有効に識別可能にするように分
解能が選択される。隣接する２本の縞間または線間の理
論上の最小限の間隔は、２画素である。しかしながら、
信頼性のある評価を確保するためには、隣接する２本の
縞間または線間の間隔は少なくとも４画素または５画素
である必要がある。これにより、たとえ画像や位相画像
が間引かれても、縞や線を確実に識別しやすくすること
ができる。
も評価を実行可能にするために、画像が省略された場合
に干渉縞または投影線を有効に識別可能にするように分
解能が選択される。隣接する２本の縞間または線間の理
論上の最小限の間隔は、２画素である。しかしながら、
信頼性のある評価を確保するためには、隣接する２本の
縞間または線間の間隔は少なくとも４画素または５画素
である必要がある。これにより、たとえ画像や位相画像
が間引かれても、縞や線を確実に識別しやすくすること
ができる。
【００２２】記録された画像または位相画像をフィルム
の形で可視化することができる。
の形で可視化することができる。
【００２３】変形のどの時間フレームも互いに比較する
ことが可能である。
ことが可能である。
【００２４】本発明の基礎となる目的は、物体の変形を
記録する装置であって、上記物体の変形過程中に、該物
体の一連の画像を記録する計測装置と、連続するそれぞ
れ隣接する２つの画像間の差分を形成するとともに該差
分を積分する評価装置とを備えた物体の変形記録装置に
よって達成される。
記録する装置であって、上記物体の変形過程中に、該物
体の一連の画像を記録する計測装置と、連続するそれぞ
れ隣接する２つの画像間の差分を形成するとともに該差
分を積分する評価装置とを備えた物体の変形記録装置に
よって達成される。
【００２５】本発明にかかる装置の好ましい実施形態
は、従属請求項に記載されている。
は、従属請求項に記載されている。
【００２６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００２７】図１に示すように、物体１、例えば、タイ
ヤや複合材料は、センサヘッド２によって連続的に観測
される。物体１は、例えば、圧力、真空、熱等によって
変形される。センサヘッド２は、手で持つことができ
る。また、センサヘッド２は、線３を介して評価装置、
例えば、パーソナルコンピュータやその他のコンピュー
タに接続されている。
ヤや複合材料は、センサヘッド２によって連続的に観測
される。物体１は、例えば、圧力、真空、熱等によって
変形される。センサヘッド２は、手で持つことができ
る。また、センサヘッド２は、線３を介して評価装置、
例えば、パーソナルコンピュータやその他のコンピュー
タに接続されている。
【００２８】センサヘッドは、欧州特許４１９９３６Ｂ
１に記載の方法に従って動作する装置の形をとることが
できる。本実施形態のセンサヘッド２は、物体１にレー
ザ光４を照射する複数のレーザダイオードの形をとって
いる。
１に記載の方法に従って動作する装置の形をとることが
できる。本実施形態のセンサヘッド２は、物体１にレー
ザ光４を照射する複数のレーザダイオードの形をとって
いる。
【００２９】センサヘッド２は物体１の画像を連続的に
記録する。この記録は、物体１の変形過程中に行われ
る。画像を記録するために、センサヘッド２には、ＣＣ
Ｄセンサが装備されている。画像は１秒あたり１０００
フレームの周波数で記録される。センサヘッド２が手持
ち式である場合には、この周波数でほぼ足りる。但し、
連続する２つの画像間の変位は高々１ミクロンに過ぎな
い。この数値は、１秒あたり１０００フレームの周波数
で動作する手持ち式センサヘッドの場合にほぼ達するこ
とができる。センサヘッド２が所定位置に固定されてい
る場合には、それよりもかなり低い周波数が採用される
場合がある。それにより、ビデオクロック周波数（１秒
あたり２５フレーム）あるいは、適用対象次第では、そ
れより低いあるいは高い周波数で画像を記録することが
できる。
記録する。この記録は、物体１の変形過程中に行われ
る。画像を記録するために、センサヘッド２には、ＣＣ
Ｄセンサが装備されている。画像は１秒あたり１０００
フレームの周波数で記録される。センサヘッド２が手持
ち式である場合には、この周波数でほぼ足りる。但し、
連続する２つの画像間の変位は高々１ミクロンに過ぎな
い。この数値は、１秒あたり１０００フレームの周波数
で動作する手持ち式センサヘッドの場合にほぼ達するこ
とができる。センサヘッド２が所定位置に固定されてい
る場合には、それよりもかなり低い周波数が採用される
場合がある。それにより、ビデオクロック周波数（１秒
あたり２５フレーム）あるいは、適用対象次第では、そ
れより低いあるいは高い周波数で画像を記録することが
できる。
【００３０】位相画像は、上記の画像から絶えず算出さ
れる。この位相画像の算出は、各フレームから１つの位
相画像を算出する単フレーム技術を用いて行うことが好
ましい。これは、欧州特許４１９９３６Ｂ１に記載の方
法に従って実現することができる。物体１の静止状態の
画像は不要である。
れる。この位相画像の算出は、各フレームから１つの位
相画像を算出する単フレーム技術を用いて行うことが好
ましい。これは、欧州特許４１９９３６Ｂ１に記載の方
法に従って実現することができる。物体１の静止状態の
画像は不要である。
【００３１】連続する位相画像間の差分は、それぞれ２
つのフレーム時間の間の変形を表わしている。これを図
２に概略的に示す。２つのランダムな記録時間の間の変
形は、全介在フレームの差分の合計の２π変調から算出
される。
つのフレーム時間の間の変形を表わしている。これを図
２に概略的に示す。２つのランダムな記録時間の間の変
形は、全介在フレームの差分の合計の２π変調から算出
される。
【００３２】図２に示すように、差分ｎは、次の位相画
像ｎ＋１と先行の位相画像ｎとの間の差分から構成され
る。差分ｎ＋１は、さらに次の位相画像ｎ＋２とその先
行の位相画像ｎ＋１との間の差分から構成される。さら
に、差分は連続的に合算される。積分された差分の総計
は全変形量となる。
像ｎ＋１と先行の位相画像ｎとの間の差分から構成され
る。差分ｎ＋１は、さらに次の位相画像ｎ＋２とその先
行の位相画像ｎ＋１との間の差分から構成される。さら
に、差分は連続的に合算される。積分された差分の総計
は全変形量となる。
【００３３】一連の変形画像は、フレーム毎（画像毎あ
るいは位相画像毎）にｎ個（ｎ＝１、２、３．．．）の
連続する全ての変形量を合算することによって算出する
ことができる。その結果、変形は、フィルムの形で、あ
るいは、フィルムに似た形で可視化することができる。
るいは位相画像毎）にｎ個（ｎ＝１、２、３．．．）の
連続する全ての変形量を合算することによって算出する
ことができる。その結果、変形は、フィルムの形で、あ
るいは、フィルムに似た形で可視化することができる。
【００３４】変形過程のどの部分も個別に観察すること
ができる。このことは、センサヘッドに側方への感度限
界があるために変形の全体を再現できない場合、あるい
は、縞の密度が画素の分解能よりも大きい場合に特に有
利となる。
ができる。このことは、センサヘッドに側方への感度限
界があるために変形の全体を再現できない場合、あるい
は、縞の密度が画素の分解能よりも大きい場合に特に有
利となる。
【００３５】変形過程の最中に発生する乱れは抑制また
は克服することができる。２つのフレーム状態間の画像
の外乱が、例えば、照射照明のモードジャンプ、熱誘因
性の線条、部品またはセンサヘッドの傾斜等によって発
生する場合には、評価に乱れは含まれない。このこと
は、２つの関連する画像または位相画像の差分、すなわ
ち、その差分の合計を合算した場合に発生した乱れを含
む差分を無視することによって実現可能であり、その結
果、発生するパターンからは乱れが除去されている。こ
の処理により、とりわけ、多数の計測作業のために、高
価なレーザの代わりにレーザダイオードを利用すること
が可能になる。除去された期間中に発生する変形は、フ
レームの連続が十分に高速である場合には、取るに足り
ないものとして無視することができる。線形の変形や線
形に十分近似していると思われる変形の場合には、除去
された期間中の変形を隣接の時間間隔から外挿すること
ができる。
は克服することができる。２つのフレーム状態間の画像
の外乱が、例えば、照射照明のモードジャンプ、熱誘因
性の線条、部品またはセンサヘッドの傾斜等によって発
生する場合には、評価に乱れは含まれない。このこと
は、２つの関連する画像または位相画像の差分、すなわ
ち、その差分の合計を合算した場合に発生した乱れを含
む差分を無視することによって実現可能であり、その結
果、発生するパターンからは乱れが除去されている。こ
の処理により、とりわけ、多数の計測作業のために、高
価なレーザの代わりにレーザダイオードを利用すること
が可能になる。除去された期間中に発生する変形は、フ
レームの連続が十分に高速である場合には、取るに足り
ないものとして無視することができる。線形の変形や線
形に十分近似していると思われる変形の場合には、除去
された期間中の変形を隣接の時間間隔から外挿すること
ができる。
【００３６】除去する必要がある乱れは、連続する変形
画像の中から手動でまたは自動的に検出することができ
る。
画像の中から手動でまたは自動的に検出することができ
る。
【００３７】非破壊式材料検査において、実際の検査対
象である異常な加工物変形は、通常の“全体変形”に重
ね合わされることが多い。この全体変形の範囲は、発見
される物体の欠陥の範囲よりも大幅に大きい場合がほと
んどである。したがって、発見される欠陥が十分に明確
になる前に全体変形の重ね合わせが計測装置の動的性能
を超えてしまうので、欠陥の可視化が不可能になる場合
が多い。
象である異常な加工物変形は、通常の“全体変形”に重
ね合わされることが多い。この全体変形の範囲は、発見
される物体の欠陥の範囲よりも大幅に大きい場合がほと
んどである。したがって、発見される欠陥が十分に明確
になる前に全体変形の重ね合わせが計測装置の動的性能
を超えてしまうので、欠陥の可視化が不可能になる場合
が多い。
【００３８】そのような“隠れた”欠陥を可視化するた
めに、各個別の差分から全体参照領域を差し引いた後、
補正した個別の差分を合算することが可能である。
めに、各個別の差分から全体参照領域を差し引いた後、
補正した個別の差分を合算することが可能である。
【００３９】それに加えて、多くの適用例では、記録済
みの必要な変形と不要な変形との組合せから、不要な変
形を別個に記録して差し引くことができる。
みの必要な変形と不要な変形との組合せから、不要な変
形を別個に記録して差し引くことができる。
【００４０】このことは、欠陥を有するタイヤが減圧室
内に置かれている例に基づいて説明できる。すなわち、
欠陥は、減圧室内の圧力が降下するにつれて増大する。
それは、シェアログラフィーによって可視化することが
できる。欠陥を原因とする変形は、測定かつ可視化すべ
き“必要な”変形である。例えば検査室内に設置するこ
とによって実行可能な変形処理を行った後に、タイヤは
次第にその元の形状に復帰しようとする。これは、検査
対象である実際の異常で必要な変形の上に重ね合わされ
る“不要な全体変形”である。タイヤを検査する際、こ
の全体変形は印加された負圧とはほとんど無関係であ
る。
内に置かれている例に基づいて説明できる。すなわち、
欠陥は、減圧室内の圧力が降下するにつれて増大する。
それは、シェアログラフィーによって可視化することが
できる。欠陥を原因とする変形は、測定かつ可視化すべ
き“必要な”変形である。例えば検査室内に設置するこ
とによって実行可能な変形処理を行った後に、タイヤは
次第にその元の形状に復帰しようとする。これは、検査
対象である実際の異常で必要な変形の上に重ね合わされ
る“不要な全体変形”である。タイヤを検査する際、こ
の全体変形は印加された負圧とはほとんど無関係であ
る。
【００４１】本発明に従って負圧の変化中に変形量を計
測することにより、必要な成分と不要な成分の組合せを
表す総変形量が計測される。負圧の変化がない状態で計
測（参照計測）を行うことにより、不要な成分（不要な
全体変形量）を測定することができる。全てを含む総変
形量から不要な変形量を差し引くことによって、変形量
の必要成分を求めることができる。
測することにより、必要な成分と不要な成分の組合せを
表す総変形量が計測される。負圧の変化がない状態で計
測（参照計測）を行うことにより、不要な成分（不要な
全体変形量）を測定することができる。全てを含む総変
形量から不要な変形量を差し引くことによって、変形量
の必要成分を求めることができる。
【００４２】そのための必要条件は、計測が次々と即時
に実行されること、そして、隣接する２回の計測間で不
要な変形量が同じ大きさになるまで計測を連続させるこ
とである。あるいは、全てを含む総変形量から不要な変
形成分を差し引く前に不要な変形成分と同量の部分を得
るように、例えば、個々の変形の総時間差に応じて、結
果を拡大縮小することができる。
に実行されること、そして、隣接する２回の計測間で不
要な変形量が同じ大きさになるまで計測を連続させるこ
とである。あるいは、全てを含む総変形量から不要な変
形成分を差し引く前に不要な変形成分と同量の部分を得
るように、例えば、個々の変形の総時間差に応じて、結
果を拡大縮小することができる。
【００４３】したがって、本発明の好ましい実施形態
は、全体変形量が総変形量から差し引かれることを特徴
とする。これにより、必要な変形量を求めることができ
る。本発明のさらに好ましい実施形態は、不要な変形量
が総変形量から差し引かれることを特徴とする。この場
合、不要な変形量は参照計測から測定することが好まし
い。参照計測は、必要な変形が発生していなくても実行
することができる。
は、全体変形量が総変形量から差し引かれることを特徴
とする。これにより、必要な変形量を求めることができ
る。本発明のさらに好ましい実施形態は、不要な変形量
が総変形量から差し引かれることを特徴とする。この場
合、不要な変形量は参照計測から測定することが好まし
い。参照計測は、必要な変形が発生していなくても実行
することができる。
【００４４】画像間または位相画像間の差分の合計を算
出する前に、画像または位相画像の総変形量から全体変
形量または不要な変形量を差し引くならば、有利であ
る。総変形を作成するための積分化の前に、個々の差分
画像内の全体変形を差し引くことによって計測の動的性
能を向上させることができる。必要な変形が発生しなく
ても、参照計測から求められる不要な変形を差し引くこ
とが好ましい。
出する前に、画像または位相画像の総変形量から全体変
形量または不要な変形量を差し引くならば、有利であ
る。総変形を作成するための積分化の前に、個々の差分
画像内の全体変形を差し引くことによって計測の動的性
能を向上させることができる。必要な変形が発生しなく
ても、参照計測から求められる不要な変形を差し引くこ
とが好ましい。
【図１】計測装置と物体を示す概略図。
【図２】連続する位相画像間の差分作成を説明する図。
１ 物体 ２ センサヘッド ３ 線 ４ レーザ光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 フォルカー ラーゼンベルガー ドイツ国 ラオプリング デー−83064 キルヒドルファーシュトラーセ １アー (72)発明者 ライナー フーバー ドイツ国 ピディング デー−83451 ハ インドルシュトラーセ 13アー (72)発明者 ローマン ベルガー ドイツ国 シュナイトゼー デー−83530 シュミットハム １ Ｆターム(参考） 2F065 AA04 CC13 DD04 FF04 FF51 FF53 FF54 GG04 GG07 JJ26 LL41 MM13 MM23 QQ13 QQ14 QQ24 QQ31 SS02 SS11 5B057 AA01 BA01 CA12 CA16 CE08 DB02 DC32 5L096 BA03 CA01 GA08 HA02
Claims (27)
- 【請求項１】 物体（１）の変形を記録する方法であっ
て、 上記物体（１）の変形過程中に、該物体の一連の画像を
計測によって記録する工程と、 上記連続する画像（ｎ、ｎ＋１、ｎ＋２）の各隣接する
２つの画像間の差分を作成する工程と、 上記差分を上記２つの画像のうちの最初の画像に付加す
る工程とを備えていることを特徴とする物体の変形記録
方法。 - 【請求項２】 上記物体（１）の画像は、干渉計測によ
って、好ましくは、ホログラフィ干渉計測、電子スペッ
クルパターン干渉計測（ＥＳＰＩ）またはスペックルシ
ェアリング干渉計測によって記録されることを特徴とす
る請求項１記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項３】 上記物体（１）の画像は、投影計測によ
って、好ましくは、格子投影計測またはモアレ計測によ
って記録されることを特徴とする請求項１記載の物体の
変形記録方法。 - 【請求項４】 上記画像から位相画像を求める工程をさ
らに備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項
３のいずれかに記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項５】 上記位相画像は１つの画像から求められ
ることを特徴とする請求項４記載の物体の変形記録方
法。 - 【請求項６】 上記物体（１）に対して、コヒーレント
電磁波またはコヒーレント光、特に、レーザ光が照射さ
れるか、あるいは、部分コヒーレント電磁波または部分
コヒーレント光が照射されることを特徴とする請求項１
ないし請求項５のいずれかに記載の物体の変形記録方
法。 - 【請求項７】 上記物体に対して、レーザダイオードか
らレーザ光が照射されることを特徴とする請求項１ない
し請求項６のいずれかに記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項８】 上記物体に対して、複数のレーザダイオ
ードからレーザ光が照射されることを特徴とする請求項
１ないし請求項６のいずれかに記載の物体の変形記録方
法。 - 【請求項９】 上記レーザダイオードの照射領域が重な
り合っていないことを特徴とする請求項８記載の物体の
変形記録方法。 - 【請求項１０】 上記レーザダイオードの照射領域が重
なり合っていることを特徴とする請求項８記載の物体の
変形記録方法。 - 【請求項１１】 上記物体の画像または位相画像は、手
持ち式センサ（２）によって記録されることを特徴とす
る請求項１ないし請求項１０のいずれかに記載の物体の
変形記録方法。 - 【請求項１２】 乱れを有する画像または位相画像ある
いはそれから作成された差分が評価段階から除外される
ことを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか
に記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項１３】 上記乱れを有する画像または位相画像
あるいはそれから作成された差分が無視されることを特
徴とする請求項１２記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項１４】 上記乱れを有する画像または位相画像
あるいは乱れを有する差分によって発生する誤差が、先
行の差分及び／または次の差分によって埋められること
を特徴とする請求項１２記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項１５】 記録された画像または位相画像あるい
はそれから作成された差分をフィルムの形で可視化する
工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１ない
し請求項１４のいずれかに記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項１６】 上記変形の時間フレームまたは位相が
相互に比較可能になっていることを特徴とする請求項１
ないし請求項１５のいずれかに記載の物体の変形記録方
法。 - 【請求項１７】 全体変形量または不要な変形量が総変
形量から差し引かれることを特徴とする請求項１ないし
請求項１６のいずれかに記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項１８】 上記不要な変形量は参照計測から求め
られることを特徴とする請求項１７記載の物体の変形記
録方法。 - 【請求項１９】 上記画像または位相画像の総変形量か
ら全体変形量または不要な変形量を差し引く処理は、上
記画像間または位相画像間の差分の合計を算出する前に
実行されることを特徴とする請求項１７または請求項１
８記載の物体の変形記録方法。 - 【請求項２０】 物体（１）の変形を記録する装置であ
って、 上記物体（１）の変形過程中に、該物体の一連の画像を
記録する計測装置（２）と、 上記連続する画像の各隣接する２つの画像間の差分を作
成するとともに該差分を積分する評価装置とを備えてい
ることを特徴とする物体の変形記録装置。 - 【請求項２１】 上記計測装置は干渉計装置であること
を特徴とする請求項２０記載の物体の変形記録装置。 - 【請求項２２】 上記計測装置は投影装置であることを
特徴とする請求項２０記載の物体の変形記録装置。 - 【請求項２３】 記録された画像から位相画像を求める
装置をさらに備えていることを特徴とする請求項２０な
いし請求項２２のいずれかに記載の物体の変形記録装
置。 - 【請求項２４】 上記計測装置は、コヒーレント電磁
波、コヒーレント光、部分コヒーレント電磁波または部
分コヒーレント光の放射源を備えていることを特徴とす
る請求項２０ないし請求項２３のいずれかに記載の物体
の変形記録装置。 - 【請求項２５】 １個または複数個のレーザダイオード
を備えていることを特徴とする請求項２０ないし請求項
２４のいずれかに記載の物体の変形記録装置。 - 【請求項２６】 手持ち式センサを備えていることを特
徴とする請求項２０ないし請求項２５のいずれかに記載
の物体の変形記録装置。 - 【請求項２７】 記録された画像または位相画像をフィ
ルムの形で可視化する装置をさらに備えていることを特
徴とする請求項２０ないし請求項２６のいずれかに記載
の物体の変形記録装置。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10058887 | 2000-11-29 | ||
| DE10101057.5 | 2001-01-11 | ||
| DE10058887.5 | 2001-01-11 | ||
| DE10101057A DE10101057B4 (de) | 2000-11-29 | 2001-01-11 | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Verformung von Objekten |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002303512A true JP2002303512A (ja) | 2002-10-18 |
Family
ID=26007809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001364652A Pending JP2002303512A (ja) | 2000-11-29 | 2001-11-29 | 物体の変形記録方法及び変形記録装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6924888B2 (ja) |
| EP (1) | EP1215465A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002303512A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008232686A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Saitama Prefecture | 変形測定装置、変形測定方法および変形測定プログラム |
| JP4881158B2 (ja) * | 2003-09-10 | 2012-02-22 | シェアログラフィックス・エルエルシー | タイヤ点検装置および方法 |
| WO2016001986A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | ４Ｄセンサー株式会社 | 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| JP2016109529A (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 大日本印刷株式会社 | タイヤ状態判定システム及びタイヤ状態判定システムが搭載された車両 |
| JP2017219318A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-14 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| JP2019049526A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-03-28 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | サブマイクロセルラ基板の非破壊検査のためのシェアログラフィ |
| US10267626B2 (en) | 2014-06-30 | 2019-04-23 | 4D Sensor Inc. | Measurement method, measurement apparatus, measurement program and computer readable recording medium in which measurement program has been recorded |
| US10551177B2 (en) | 2016-04-06 | 2020-02-04 | 4D Sensor Inc. | Apparatus and method for measuring 3D form or deformation of an object surface using a grid pattern and reference plane |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10319099B4 (de) * | 2003-04-28 | 2005-09-08 | Steinbichler Optotechnik Gmbh | Verfahren zur Interferenzmessung eines Objektes, insbesondere eines Reifens |
| US7436504B2 (en) * | 2003-09-10 | 2008-10-14 | Shear Graphics, Llc | Non-destructive testing and imaging |
| US7187437B2 (en) | 2003-09-10 | 2007-03-06 | Shearographics, Llc | Plurality of light sources for inspection apparatus and method |
| DE102005049607A1 (de) * | 2005-10-17 | 2007-04-19 | Steinbichler Optotechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung der Verformung von Objekten |
| US8295983B2 (en) * | 2008-11-10 | 2012-10-23 | Silent Printer Holdings, Llc | Apparatus and method for characterization and control of usage disturbances in a usage environment of printers and other dynamic systems |
| WO2016120815A1 (en) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | Consiglio Nazionale Delle Ricerche - Cnr | Method and system for monitoring a building structure |
| ITUB20152754A1 (it) * | 2015-07-31 | 2017-01-31 | Univ Degli Studi Di Firenze | Metodo e sistema per monitorare una costruzione edilizia |
| US10337969B2 (en) | 2017-06-21 | 2019-07-02 | The Boeing Company | High speed vacuum cycling excitation system for optical inspection systems |
| CN109866220B (zh) * | 2017-12-05 | 2021-07-23 | 财团法人工业技术研究院 | 机械手臂的校正装置及其校正方法 |
| RU2691765C2 (ru) * | 2017-12-11 | 2019-06-18 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королёва" | Способ определения деформаций на основе спекл-фотографии |
| US10962419B2 (en) | 2019-04-09 | 2021-03-30 | Carl Zeiss Optotechnik GmbH | Method for testing a tire by interferometry |
| US11330838B2 (en) | 2019-07-19 | 2022-05-17 | R. J. Reynolds Tobacco Company | Holder for aerosol delivery device with detachable cartridge |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3600672A1 (de) | 1986-01-13 | 1987-07-16 | Bernd Dr Breuckmann | Rechnergestuetzte ermittlung von verformung und bewegung aus bildern mit projezierten mustern |
| US4850693A (en) * | 1988-05-23 | 1989-07-25 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Compact portable diffraction moire interferometer |
| DE3930632A1 (de) * | 1989-09-13 | 1991-03-14 | Steinbichler Hans | Verfahren zur direkten phasenmessung von strahlung, insbesondere lichtstrahlung, und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens |
| JPH0746045B2 (ja) * | 1992-09-09 | 1995-05-17 | 工業技術院長 | スペックル干渉法変形測定方法 |
| DE4231578C2 (de) * | 1992-09-21 | 1995-06-29 | Nova C O R D Ag | Verfahren zur Ermittlung von Verformungen an einem Prüfobjekt mit diffus streuender Oberfläche, insbesondere an Reifen, sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| US5481356A (en) * | 1994-04-25 | 1996-01-02 | Northwestern University | Apparatus and method for nondestructive testing using additive-subtractive phase-modulated interferometry |
| DE19639213A1 (de) | 1996-09-25 | 1998-03-26 | Wolfgang Prof Dr Ing Steinchen | Verfahren und Vorrichtung für die Shearing-Speckle-Interferometrie an schwingenden Objekten |
| GB2324859B (en) * | 1997-04-30 | 2001-02-07 | British Aerospace | Method and apparatus for inspecting or testing a sample by optical metrology |
| US6128082A (en) * | 1998-09-18 | 2000-10-03 | Board Of Trustees Operating Michigan State University | Technique and apparatus for performing electronic speckle pattern interferometry |
| GB9826751D0 (en) * | 1998-12-05 | 1999-01-27 | British Aerospace | Method for increasing the signal to noise ratio in non-destructive testing |
| US6204922B1 (en) | 1998-12-11 | 2001-03-20 | Filmetrics, Inc. | Rapid and accurate thin film measurement of individual layers in a multi-layered or patterned sample |
| DE19859725C2 (de) | 1998-12-23 | 2001-02-22 | Stefan Dengler | Vorrichtung zur Ermittlung von Verformungen an einer Objektoberfläche, insbesondere einer diffus streuenden Objektoberfläche und Verwendung der Vorichtung |
| DE19906681C2 (de) | 1999-02-18 | 2002-01-24 | Bernward Maehner | Verfahren zur Ermittlung von Strukturmerkmalen, insbesondere Strukturdefekten, an Prüfobjekten mit diffus streuender Oberfläche |
-
2001
- 2001-11-21 EP EP20010127761 patent/EP1215465A1/de not_active Ceased
- 2001-11-28 US US09/996,239 patent/US6924888B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-11-29 JP JP2001364652A patent/JP2002303512A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4881158B2 (ja) * | 2003-09-10 | 2012-02-22 | シェアログラフィックス・エルエルシー | タイヤ点検装置および方法 |
| JP2008232686A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Saitama Prefecture | 変形測定装置、変形測定方法および変形測定プログラム |
| WO2016001986A1 (ja) * | 2014-06-30 | 2016-01-07 | ４Ｄセンサー株式会社 | 計測方法、計測装置、計測プログラム及び計測プログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| US9891042B2 (en) | 2014-06-30 | 2018-02-13 | 4D Sensor Inc. | Measurement method, measurement apparatus, measurement program and computer readable recording medium in which measurement program has been recorded |
| US10267626B2 (en) | 2014-06-30 | 2019-04-23 | 4D Sensor Inc. | Measurement method, measurement apparatus, measurement program and computer readable recording medium in which measurement program has been recorded |
| JP2016109529A (ja) * | 2014-12-05 | 2016-06-20 | 大日本印刷株式会社 | タイヤ状態判定システム及びタイヤ状態判定システムが搭載された車両 |
| US10551177B2 (en) | 2016-04-06 | 2020-02-04 | 4D Sensor Inc. | Apparatus and method for measuring 3D form or deformation of an object surface using a grid pattern and reference plane |
| JP2017219318A (ja) * | 2016-06-02 | 2017-12-14 | 株式会社島津製作所 | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| JP2019049526A (ja) * | 2017-06-21 | 2019-03-28 | ザ・ボーイング・カンパニーＴｈｅ Ｂｏｅｉｎｇ Ｃｏｍｐａｎｙ | サブマイクロセルラ基板の非破壊検査のためのシェアログラフィ |
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