JP2002353290A - カセット搬送方法及びカセット搬送システム - Google Patents
カセット搬送方法及びカセット搬送システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 設備設置クリーンルーム１００の設備費及び
ランニングコストを抑制し、さらに、基板４１が大型化
して重量が増大しても、搬送台車の重量の増大と大型化
を抑制すると共に搬送台車の設備費を抑制し、さらに、
通路の幅を狭くして、設備設置クリーンルーム１００の
設置面積を有効利用することを課題としている。 【解決手段】 上記密閉カセット６０を下降移載型搬送
台車５０に搭載する過程と、上記密閉カセット６０を搭
載した下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台
７０の内部まで移動して、密閉カセット６０を台車収納
型カセット台７０に移載する過程と、上記密閉型ロボッ
ト収納クリーンルーム８０に上記密閉カセット６０を密
着させる過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉
カセット６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入
出する過程とを有するカセット搬送方法及びカセット搬
送システムである。
ランニングコストを抑制し、さらに、基板４１が大型化
して重量が増大しても、搬送台車の重量の増大と大型化
を抑制すると共に搬送台車の設備費を抑制し、さらに、
通路の幅を狭くして、設備設置クリーンルーム１００の
設置面積を有効利用することを課題としている。 【解決手段】 上記密閉カセット６０を下降移載型搬送
台車５０に搭載する過程と、上記密閉カセット６０を搭
載した下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台
７０の内部まで移動して、密閉カセット６０を台車収納
型カセット台７０に移載する過程と、上記密閉型ロボッ
ト収納クリーンルーム８０に上記密閉カセット６０を密
着させる過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉
カセット６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入
出する過程とを有するカセット搬送方法及びカセット搬
送システムである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶パネル
の製造工程において、液晶基板（以下、基板という）を
工場のクリーンルーム内で搬送するのに適した方法及び
システムに関する。
の製造工程において、液晶基板（以下、基板という）を
工場のクリーンルーム内で搬送するのに適した方法及び
システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶パネルの製造工程には、基
板に、薄膜形成処理、洗浄処理、レジスト塗布等の基板
処理を行う工程がある。図２は、基板処理工程の設備例
を示す基板処理工程設備配置図である。例えば、設備設
置クリーンルーム１００内には、基板に基板処理を行う
基板処理装置１０２と、基板処理装置１０２に基板を搬
入したり基板処理装置１０２から基板を搬出するための
基板搬入出ロボット１１０と、基板搬入出ロボット１１
０を設置する開放型ロボット収納クリーンルーム３０
と、基板を収納したオープンカセット４０を載置するカ
セット台２０とが配置されている。また、設備設置クリ
ーンルーム１００内のカセットストック場所１０１に
は、基板が収納されたオープンカセット４０が置かれて
いる。そして、オープンカセット４０は、設備設置クリ
ーンルーム１００内の通路を移動する密閉容器一体型搬
送台車１０によって、オープンカセットストック場所１
０１等からカセット台２０に搬送されたり、カセット台
２０から他の場所に搬送される。
板に、薄膜形成処理、洗浄処理、レジスト塗布等の基板
処理を行う工程がある。図２は、基板処理工程の設備例
を示す基板処理工程設備配置図である。例えば、設備設
置クリーンルーム１００内には、基板に基板処理を行う
基板処理装置１０２と、基板処理装置１０２に基板を搬
入したり基板処理装置１０２から基板を搬出するための
基板搬入出ロボット１１０と、基板搬入出ロボット１１
０を設置する開放型ロボット収納クリーンルーム３０
と、基板を収納したオープンカセット４０を載置するカ
セット台２０とが配置されている。また、設備設置クリ
ーンルーム１００内のカセットストック場所１０１に
は、基板が収納されたオープンカセット４０が置かれて
いる。そして、オープンカセット４０は、設備設置クリ
ーンルーム１００内の通路を移動する密閉容器一体型搬
送台車１０によって、オープンカセットストック場所１
０１等からカセット台２０に搬送されたり、カセット台
２０から他の場所に搬送される。
【０００３】図３は、従来技術の密閉容器一体型搬送台
車１０からカセット台２０に載置されたオープンカセッ
ト４０及び基板搬入出ロボット１１０を設置した従来技
術の開放型ロボット収納クリーンルーム３０を示す図で
あり、図４は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１１
及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンクアー
ム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが一体
に形成された密閉容器一体型搬送台車１０を示す図であ
る。
車１０からカセット台２０に載置されたオープンカセッ
ト４０及び基板搬入出ロボット１１０を設置した従来技
術の開放型ロボット収納クリーンルーム３０を示す図で
あり、図４は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）１１
及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンクアー
ム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが一体
に形成された密閉容器一体型搬送台車１０を示す図であ
る。
【０００４】密閉容器一体型搬送台車１０は、内部のク
リーン度を維持するためのファンフィルタユニット（以
下、ＦＦＵという）１１及びシャッター１５を備えた密
閉容器１２とリンクアーム１３及び昇降機構１４を備え
た搬送台車１６とが一体に形成されていて、オープンカ
セット４０を密閉容器内１２に位置するリンクアーム１
３の上に載置できるようになっている。なお、オープン
カセット４０の底面及びリンクアーム１３に形成された
凹凸によって、おおよその位置決めをしている。そし
て、リンクアーム１３及び昇降機構１４によってオープ
ンカセット４０を密閉容器１２の内部から他の個所に移
載又は他の個所から密閉容器１２の内部に移載できるよ
うになっている。なお、リンクアーム１３及び昇降機構
１４は、後述する基板搬入出ロボット１１０と同様の機
構であり、リンクアーム１３が、後述する図５の基板搬
入出ロボット１１０のアーム機構１１３に相当し、昇降
機構１４が図５の基板搬入出ロボット１１０の昇降機構
１１２に相当する。また、オープンカセット４０の移載
時には、密閉容器１２に備えられたシャッター１５を開
閉することによってオープンカセット４０が移載可能に
なる。
リーン度を維持するためのファンフィルタユニット（以
下、ＦＦＵという）１１及びシャッター１５を備えた密
閉容器１２とリンクアーム１３及び昇降機構１４を備え
た搬送台車１６とが一体に形成されていて、オープンカ
セット４０を密閉容器内１２に位置するリンクアーム１
３の上に載置できるようになっている。なお、オープン
カセット４０の底面及びリンクアーム１３に形成された
凹凸によって、おおよその位置決めをしている。そし
て、リンクアーム１３及び昇降機構１４によってオープ
ンカセット４０を密閉容器１２の内部から他の個所に移
載又は他の個所から密閉容器１２の内部に移載できるよ
うになっている。なお、リンクアーム１３及び昇降機構
１４は、後述する基板搬入出ロボット１１０と同様の機
構であり、リンクアーム１３が、後述する図５の基板搬
入出ロボット１１０のアーム機構１１３に相当し、昇降
機構１４が図５の基板搬入出ロボット１１０の昇降機構
１１２に相当する。また、オープンカセット４０の移載
時には、密閉容器１２に備えられたシャッター１５を開
閉することによってオープンカセット４０が移載可能に
なる。
【０００５】カセット台２０は、開放型ロボット収納ク
リーンルーム３０に隣接する位置に配置され、基板搬入
出ロボット１１０がオープンカセット４０内の基板４１
を搬入出するのに適した位置にオープンカセット４０を
固定することができる装置である。図３ではオープンカ
セット４０をカセット台２０の上部に載置し、クランプ
機構２１によってオープンカセット４０を固定する装置
である。
リーンルーム３０に隣接する位置に配置され、基板搬入
出ロボット１１０がオープンカセット４０内の基板４１
を搬入出するのに適した位置にオープンカセット４０を
固定することができる装置である。図３ではオープンカ
セット４０をカセット台２０の上部に載置し、クランプ
機構２１によってオープンカセット４０を固定する装置
である。
【０００６】開放型ロボット収納クリーンルーム３０
は、基板処理装置１０２に隣接した位置に配置されて、
基板搬入出ロボット１１０を内部に設置し、かつ、内部
のクリーン度を維持するためのＦＦＵ３１を備えてい
る。また、基板処理装置１０２に通じる基板処理装置用
開口３２を有している。さらに、開放型ロボット収納ク
リーンルーム３０には、基板搬入出ロボット１１０を、
図２のＹ方向に移動させる機構が備えられていて、基板
搬入出ロボット１１０を基板の搬送に適した位置（通
常、オープンカセット４０又は基板処理装置１０２の基
板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることがで
きる。また、開放型ロボット収納クリーンルーム３０
は、基板搬入出ロボット１１０を図２のＹ方向以外の方
向に移動させる機構を備えてもよい。
は、基板処理装置１０２に隣接した位置に配置されて、
基板搬入出ロボット１１０を内部に設置し、かつ、内部
のクリーン度を維持するためのＦＦＵ３１を備えてい
る。また、基板処理装置１０２に通じる基板処理装置用
開口３２を有している。さらに、開放型ロボット収納ク
リーンルーム３０には、基板搬入出ロボット１１０を、
図２のＹ方向に移動させる機構が備えられていて、基板
搬入出ロボット１１０を基板の搬送に適した位置（通
常、オープンカセット４０又は基板処理装置１０２の基
板搬入口又は搬出口の位置）に適宜移動させることがで
きる。また、開放型ロボット収納クリーンルーム３０
は、基板搬入出ロボット１１０を図２のＹ方向以外の方
向に移動させる機構を備えてもよい。
【０００７】このような従来技術において、密閉容器一
体型搬送台車１０が、設備設置クリーンルーム１００内
を移動してカセット台２０の前で停止すると、密閉容器
１２に備えられたシャッター１５が開き、リンクアーム
１３及び昇降機構１４によってオープンカセット４０を
密閉容器内部からカセット台２０の上に移載する。そし
て、オープンカセット４０がカセット台２０の上に移載
されると、カセット台２０に備えられたクランプ機構２
１によって、オープンカセット４０を固定する。このよ
うにして、オープンカセット４０がカセット台２０に載
置されると、基板搬入出ロボット１１０によって、オー
プンカセット４０に収納された基板４１が搬出可能状態
になる。
体型搬送台車１０が、設備設置クリーンルーム１００内
を移動してカセット台２０の前で停止すると、密閉容器
１２に備えられたシャッター１５が開き、リンクアーム
１３及び昇降機構１４によってオープンカセット４０を
密閉容器内部からカセット台２０の上に移載する。そし
て、オープンカセット４０がカセット台２０の上に移載
されると、カセット台２０に備えられたクランプ機構２
１によって、オープンカセット４０を固定する。このよ
うにして、オープンカセット４０がカセット台２０に載
置されると、基板搬入出ロボット１１０によって、オー
プンカセット４０に収納された基板４１が搬出可能状態
になる。
【０００８】なお、液晶基板の製造工程では一般的に、
本発明の出願時点において、設備設置クリーンルーム１
００内のクリーン度（以下、全領域クリーン度という）
が、ｃｌａｓｓ１０〜１００内の予め定めたクリーン度
の範囲（以下、設定クリーン度という）になるように、
設備設置クリーンルーム全領域をクリーンにする設備
（以下、全領域クリーン設備という）が稼働している。
しかし、設備設置クリーンルーム１００内の設定クリー
ン度が部分的に低下するおそれのある環境も存在するた
めに、さらに、基板の搬送途中で設定クリーン度低下の
影響を受けないように、開放型ロボット収納クリーンル
ーム３０及び密閉容器一体型搬送台車１０にもＦＦＵを
備えて、それぞれの内部を設定クリーン度に維持してい
る。
本発明の出願時点において、設備設置クリーンルーム１
００内のクリーン度（以下、全領域クリーン度という）
が、ｃｌａｓｓ１０〜１００内の予め定めたクリーン度
の範囲（以下、設定クリーン度という）になるように、
設備設置クリーンルーム全領域をクリーンにする設備
（以下、全領域クリーン設備という）が稼働している。
しかし、設備設置クリーンルーム１００内の設定クリー
ン度が部分的に低下するおそれのある環境も存在するた
めに、さらに、基板の搬送途中で設定クリーン度低下の
影響を受けないように、開放型ロボット収納クリーンル
ーム３０及び密閉容器一体型搬送台車１０にもＦＦＵを
備えて、それぞれの内部を設定クリーン度に維持してい
る。
【０００９】図５は、基板搬入出ロボット１１０がオー
プンカセット４０から基板４１を搬出するときのオープ
ンカセット４０及び基板搬入出ロボット１１０の斜視図
である。基板搬入出ロボット１１０は、例えば、図５に
示すように、ベース機構１１１と昇降機構１１２と１組
のアーム機構１１３とアーム機構の先端に軸支されたハ
ンド部材１１４とを備えている。
プンカセット４０から基板４１を搬出するときのオープ
ンカセット４０及び基板搬入出ロボット１１０の斜視図
である。基板搬入出ロボット１１０は、例えば、図５に
示すように、ベース機構１１１と昇降機構１１２と１組
のアーム機構１１３とアーム機構の先端に軸支されたハ
ンド部材１１４とを備えている。
【００１０】ベース機構１１１は、内部に図示しない複
数のモータを備えていて昇降機構１１２を昇降させると
共に昇降機構１１１をＺ軸の軸心周りに回動させること
ができる。アーム機構１１３は、昇降機構に軸支された
第１のアーム１１３ａと第２のアーム１１３ｂとハンド
部材１１４とが連結されて、そのハンド部材１１４を少
なくともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機
構１１３もベース機構１１１内に備えられたモータによ
って駆動される。
数のモータを備えていて昇降機構１１２を昇降させると
共に昇降機構１１１をＺ軸の軸心周りに回動させること
ができる。アーム機構１１３は、昇降機構に軸支された
第１のアーム１１３ａと第２のアーム１１３ｂとハンド
部材１１４とが連結されて、そのハンド部材１１４を少
なくともＸ方向に移動させる機構である。このアーム機
構１１３もベース機構１１１内に備えられたモータによ
って駆動される。
【００１１】また、ハンド部材１１４は、図示しない真
空吸着等の手段によってハンド部材１１４の上面に基板
４１を載せて固定させることができる。なお、図５の例
では、１組のアーム機構１１３を備えた基板搬入出ロボ
ット１１０であるが、複数組のアーム機構を備えた基板
搬入出ロボット１１０であってもよい。本明細書では、
形態を限定しないで基板４１を搬入出できるロボットを
基板搬入出ロボット１１０という。
空吸着等の手段によってハンド部材１１４の上面に基板
４１を載せて固定させることができる。なお、図５の例
では、１組のアーム機構１１３を備えた基板搬入出ロボ
ット１１０であるが、複数組のアーム機構を備えた基板
搬入出ロボット１１０であってもよい。本明細書では、
形態を限定しないで基板４１を搬入出できるロボットを
基板搬入出ロボット１１０という。
【００１２】オープンカセット４０は、例えば、図５に
示すように、複数のスロットが設けられて複数枚の基板
４１を収納するように枠組みされたカセットである。ま
た、オープンカセット４０は密閉されていないために、
カセットに収納された基板４１がカセット周辺の雰囲気
に触れて周辺のクリーン度の低下の影響を受ける。カセ
ット台２０は、前述したように基板搬入出ロボット１１
０がオープンカセット４０内の基板４１を搬入出するの
に適した位置にオープンカセット４０を固定する装置で
ある。
示すように、複数のスロットが設けられて複数枚の基板
４１を収納するように枠組みされたカセットである。ま
た、オープンカセット４０は密閉されていないために、
カセットに収納された基板４１がカセット周辺の雰囲気
に触れて周辺のクリーン度の低下の影響を受ける。カセ
ット台２０は、前述したように基板搬入出ロボット１１
０がオープンカセット４０内の基板４１を搬入出するの
に適した位置にオープンカセット４０を固定する装置で
ある。
【００１３】なお、図５では、説明を簡略化するため
に、オープンカセット４０とカセット台２０とをそれぞ
れ１つだけ示し、図２に示した開放型ロボット収納クリ
ーンルーム３０に備えられたＹ方向の移動機構等の図示
を省略している。
に、オープンカセット４０とカセット台２０とをそれぞ
れ１つだけ示し、図２に示した開放型ロボット収納クリ
ーンルーム３０に備えられたＹ方向の移動機構等の図示
を省略している。
【００１４】このような基板搬入出ロボット１１０を用
いて、基板４１をカセットから搬出する手順を説明す
る。まず、ハンド部材１１４をＸ１方向に移動させてハ
ンド部材１１４を目的とする基板４１の下方に配置され
るようにオープンカセット４０内に挿入する。その後、
ハンド部材１１４を上昇させて、ハンド部材１１４の上
面に目的とする基板４１を載せて固定する。そして、ハ
ンド部材１１４をＸ２方向に移動させれば、基板４１を
オープンカセット４０から搬出することができる。基板
４１をオープンカセット４０内に搬入する場合は、上記
と逆の手順となる。
いて、基板４１をカセットから搬出する手順を説明す
る。まず、ハンド部材１１４をＸ１方向に移動させてハ
ンド部材１１４を目的とする基板４１の下方に配置され
るようにオープンカセット４０内に挿入する。その後、
ハンド部材１１４を上昇させて、ハンド部材１１４の上
面に目的とする基板４１を載せて固定する。そして、ハ
ンド部材１１４をＸ２方向に移動させれば、基板４１を
オープンカセット４０から搬出することができる。基板
４１をオープンカセット４０内に搬入する場合は、上記
と逆の手順となる。
【００１５】なお、基板処理装置１０２に基板４１を搬
入したり、基板処理装置１０２から基板４１を搬出する
ときも、同様に、ハンド部材１１４をＸ方向又はＺ方向
に移動させればよい。
入したり、基板処理装置１０２から基板４１を搬出する
ときも、同様に、ハンド部材１１４をＸ方向又はＺ方向
に移動させればよい。
【００１６】図６は、図３に示す従来技術の密閉容器一
体型搬送台車１０及び基板搬入出ロボット１１０等の設
備動作順序説明図であり、この図６及び図４を参照して
前述した設備でオープンカセット４０を搬送台車からカ
セット台２０に移載して基板搬入出ロボット１１０が基
板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
体型搬送台車１０及び基板搬入出ロボット１１０等の設
備動作順序説明図であり、この図６及び図４を参照して
前述した設備でオープンカセット４０を搬送台車からカ
セット台２０に移載して基板搬入出ロボット１１０が基
板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
【００１７】図６（ａ）に示すように、オープンカセ
ット４０を載置した密閉容器一体型搬送台車１０を目的
とするカセット台２０の方向に移動させる。 図６（ｂ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１
０がカセット台２０の前で停止すると、密閉容器一体型
搬送台車１０に備えられたシャッター１５が開く（図示
せず）。 図６（ｃ）に示すように、前述した図４の密閉容器一
体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１４
を可動させて密閉容器一体型搬送台車１０の密閉容器１
２内のオープンカセット４０をカセット台２０に移載す
る。このときに、前述した図３のカセット台２０に備え
られたクランプ機構２１によって、オープンカセット４
０はカセット台２０に固定される。 図６（ｄ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１
０のリンクアーム１３及び昇降機構１４を元の位置まで
戻すと共にシャッター１５を閉じる。 図６（ｅ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１
０をカセット台２０の前から他の位置に移動させる。 なお、密閉容器一体型搬送台車１０は、全ての基板４１
の処理が終わるまで、カセット台２０の前に停止したま
までもよいが、他の密閉容器一体型搬送台車１０の通行
の妨げとならないように、通常、他の位置に移動させ
る。そして、全ての基板４１の処理が終了すると、基板
４１を収納したオープンカセット４０をカセット台２０
から密閉容器一体型搬送台車１０内に移載して、他の個
所に搬送する。このときの作業は、オープンカセット４
０を密閉容器一体型搬送台車１０内からカセット台２０
に移載するときと逆の手順となる。
ット４０を載置した密閉容器一体型搬送台車１０を目的
とするカセット台２０の方向に移動させる。 図６（ｂ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１
０がカセット台２０の前で停止すると、密閉容器一体型
搬送台車１０に備えられたシャッター１５が開く（図示
せず）。 図６（ｃ）に示すように、前述した図４の密閉容器一
体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１４
を可動させて密閉容器一体型搬送台車１０の密閉容器１
２内のオープンカセット４０をカセット台２０に移載す
る。このときに、前述した図３のカセット台２０に備え
られたクランプ機構２１によって、オープンカセット４
０はカセット台２０に固定される。 図６（ｄ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１
０のリンクアーム１３及び昇降機構１４を元の位置まで
戻すと共にシャッター１５を閉じる。 図６（ｅ）に示すように、密閉容器一体型搬送台車１
０をカセット台２０の前から他の位置に移動させる。 なお、密閉容器一体型搬送台車１０は、全ての基板４１
の処理が終わるまで、カセット台２０の前に停止したま
までもよいが、他の密閉容器一体型搬送台車１０の通行
の妨げとならないように、通常、他の位置に移動させ
る。そして、全ての基板４１の処理が終了すると、基板
４１を収納したオープンカセット４０をカセット台２０
から密閉容器一体型搬送台車１０内に移載して、他の個
所に搬送する。このときの作業は、オープンカセット４
０を密閉容器一体型搬送台車１０内からカセット台２０
に移載するときと逆の手順となる。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】（１） 本発明の出願
時点において、液晶基板の製造工程に必要なクリーン度
は、ｃｌａｓｓ１０〜１００の予め定めたクリーン度の
範囲（設定クリーン度）であり、この設定クリーン度
を、製造工程の条件によってｃｌａｓｓ１０に定める場
合もあれば、ｃｌａｓｓ１００に定める場合もある。
時点において、液晶基板の製造工程に必要なクリーン度
は、ｃｌａｓｓ１０〜１００の予め定めたクリーン度の
範囲（設定クリーン度）であり、この設定クリーン度
を、製造工程の条件によってｃｌａｓｓ１０に定める場
合もあれば、ｃｌａｓｓ１００に定める場合もある。
【００１９】ここで、設備設置クリーンルーム１００
は、全領域の空間が繋がっているために、設備設置クリ
ーンルーム１００の全領域が設定クリーン度になるよう
に、全領域クリーン設備を稼働させている。この全領域
クリーン設備は、一般的に、設備設置クリーンルーム１
００の上部から下部に向かって設定クリーン度のエアー
を流す方式が採用されている。
は、全領域の空間が繋がっているために、設備設置クリ
ーンルーム１００の全領域が設定クリーン度になるよう
に、全領域クリーン設備を稼働させている。この全領域
クリーン設備は、一般的に、設備設置クリーンルーム１
００の上部から下部に向かって設定クリーン度のエアー
を流す方式が採用されている。
【００２０】しかし、設備設置クリーンルーム１００内
の全ての領域で設定クリーン度になるように全領域クリ
ーン設備が稼働しているにも関わらず、従来技術では、
オープンカセット４０を、ＦＦＵ１１が備えられた密閉
容器一体型搬送台車１０によって搬送している。その理
由は、設備設置クリーンルーム１００の構造上、設備設
置クリーンルーム１００内の一部に設定クリーン度より
も低下する個所があるために、オープンカセット４０を
密閉容器１２内に入れないで露出させた状態のままで搬
送すると、その個所でオープンカセット４０内の基板４
１にゴミが付着するおそれがあるためである。
の全ての領域で設定クリーン度になるように全領域クリ
ーン設備が稼働しているにも関わらず、従来技術では、
オープンカセット４０を、ＦＦＵ１１が備えられた密閉
容器一体型搬送台車１０によって搬送している。その理
由は、設備設置クリーンルーム１００の構造上、設備設
置クリーンルーム１００内の一部に設定クリーン度より
も低下する個所があるために、オープンカセット４０を
密閉容器１２内に入れないで露出させた状態のままで搬
送すると、その個所でオープンカセット４０内の基板４
１にゴミが付着するおそれがあるためである。
【００２１】なお、開放型ロボット収納クリーンルーム
３０は、カセット台２０側の一面が開口しているが、他
の側面及び上面が基板処理装置との関係で壁で覆われて
いることが多いために、全領域クリーン設備の稼働だけ
では、開放型ロボット収納クリーンルーム３０は、設定
クリーン度よりも低下するおそれがある。そのために、
開放型ロボット収納クリーンルーム３０内にもＦＦＵ１
１を備えて設定クリーン度を維持している。
３０は、カセット台２０側の一面が開口しているが、他
の側面及び上面が基板処理装置との関係で壁で覆われて
いることが多いために、全領域クリーン設備の稼働だけ
では、開放型ロボット収納クリーンルーム３０は、設定
クリーン度よりも低下するおそれがある。そのために、
開放型ロボット収納クリーンルーム３０内にもＦＦＵ１
１を備えて設定クリーン度を維持している。
【００２２】これまで説明したように従来技術では、設
備設置クリーンルーム１００内でも、密閉容器一体型搬
送台車１０にもＦＦＵ１１を備えて内部を設定クリーン
度に維持して、オープンカセット４０を搬送する必要が
ある。
備設置クリーンルーム１００内でも、密閉容器一体型搬
送台車１０にもＦＦＵ１１を備えて内部を設定クリーン
度に維持して、オープンカセット４０を搬送する必要が
ある。
【００２３】しかし、全領域クリーン設備は高価である
だけでなく、電気料金、ＦＦＵ１１のフィルタの目づま
りによるメンテナンス等のランニングコストも過大であ
る。なお、全領域クリーン設備の建設費用及びランニン
グコストは、要求するクリーン度が高くなるほど増大
し、液晶基板の製造工程に必要なクリーン度であるｃｌ
ａｓｓ１０〜１００の範囲にするためには、莫大な費用
が必要となる。
だけでなく、電気料金、ＦＦＵ１１のフィルタの目づま
りによるメンテナンス等のランニングコストも過大であ
る。なお、全領域クリーン設備の建設費用及びランニン
グコストは、要求するクリーン度が高くなるほど増大
し、液晶基板の製造工程に必要なクリーン度であるｃｌ
ａｓｓ１０〜１００の範囲にするためには、莫大な費用
が必要となる。
【００２４】さらに、密閉容器一体型搬送台車１０にも
ＦＦＵ１１及びＦＦＵ駆動のためのバッテリを備える必
要があるので、設備費とランニングコストがその分だけ
増大することになる。
ＦＦＵ１１及びＦＦＵ駆動のためのバッテリを備える必
要があるので、設備費とランニングコストがその分だけ
増大することになる。
【００２５】（２） 近年、基板４１が年々大型化して
重量も増大している。それにともない、基板４１を収納
したオープンカセット４０も大型化すると共に重量が増
大し続けている。その結果、下記のような問題が発生し
ている。なお、参考データであるが、近年では７００ｍ
ｍ×９００ｍｍ（厚さ１．１ｔ），１０００ｍｍ×１２
００ｍｍ（厚さ１．１ｔ）の基板４１が生産されつつあ
る。ここで、ガラスの比重は２．７８なので、基板４１
の重量は、それぞれ、 700(mm)×900(mm)×1.1(t)×2.78／1000／1000≒1.9［k
gf］（２０枚で、約３８kgf） 1000(mm)×1200(mm)×1.1(t)×2.78／1000／1000≒3.7
［kgf］（２０枚で、約７３kgf） となるので、このような基板が、例えば２０枚カセット
に収納されると、カセット自体の重量も相当重くなる。
ちなみに、半導体ウエハの場合は、比重が２．３３であ
り、直径３００ｍｍの半導体ウエハでも、その重量は１
２４gf（２０枚で約２．５kgf）であるので、基板４１
は、半導体ウエハに比べて、相当重いことが分かる。
重量も増大している。それにともない、基板４１を収納
したオープンカセット４０も大型化すると共に重量が増
大し続けている。その結果、下記のような問題が発生し
ている。なお、参考データであるが、近年では７００ｍ
ｍ×９００ｍｍ（厚さ１．１ｔ），１０００ｍｍ×１２
００ｍｍ（厚さ１．１ｔ）の基板４１が生産されつつあ
る。ここで、ガラスの比重は２．７８なので、基板４１
の重量は、それぞれ、 700(mm)×900(mm)×1.1(t)×2.78／1000／1000≒1.9［k
gf］（２０枚で、約３８kgf） 1000(mm)×1200(mm)×1.1(t)×2.78／1000／1000≒3.7
［kgf］（２０枚で、約７３kgf） となるので、このような基板が、例えば２０枚カセット
に収納されると、カセット自体の重量も相当重くなる。
ちなみに、半導体ウエハの場合は、比重が２．３３であ
り、直径３００ｍｍの半導体ウエハでも、その重量は１
２４gf（２０枚で約２．５kgf）であるので、基板４１
は、半導体ウエハに比べて、相当重いことが分かる。
【００２６】 従来技術では、図４に示すように、リ
ンクアーム１３の上にオープンカセット４０を載置して
いるために、リンクアーム１３の先端が密閉容器一体型
搬送台車１０から離隔するに従い、台車の重心がオープ
ンカセット４０側に偏移するために、台車が不安定とな
り転倒するおそれが発生する。そのために、密閉容器一
体型搬送台車１０の本体部分の重量を、基板４１を収納
したオープンカセット４０の重量に応じて増大させる必
要があった。しかし、設備設置クリーンルーム１００
は、設備構造上、床の耐重量は十分に大ではない。そこ
で、密閉容器一体型搬送台車１０の重量が重くなると、
設備設置クリーンルーム１００の床の耐重量の裕度が少
なくなり、又は耐重量を超えるために、このような重量
を増大させた密閉容器一体型搬送台車１０を使用するこ
とができない。また、密閉容器一体型搬送台車１０の重
量を増大させるということは、搬送台車が大型化し、搬
送台車が通る通路の拡大、設備設置クリーンルーム１０
０の拡大につながるので設備投資額が増大する。
ンクアーム１３の上にオープンカセット４０を載置して
いるために、リンクアーム１３の先端が密閉容器一体型
搬送台車１０から離隔するに従い、台車の重心がオープ
ンカセット４０側に偏移するために、台車が不安定とな
り転倒するおそれが発生する。そのために、密閉容器一
体型搬送台車１０の本体部分の重量を、基板４１を収納
したオープンカセット４０の重量に応じて増大させる必
要があった。しかし、設備設置クリーンルーム１００
は、設備構造上、床の耐重量は十分に大ではない。そこ
で、密閉容器一体型搬送台車１０の重量が重くなると、
設備設置クリーンルーム１００の床の耐重量の裕度が少
なくなり、又は耐重量を超えるために、このような重量
を増大させた密閉容器一体型搬送台車１０を使用するこ
とができない。また、密閉容器一体型搬送台車１０の重
量を増大させるということは、搬送台車が大型化し、搬
送台車が通る通路の拡大、設備設置クリーンルーム１０
０の拡大につながるので設備投資額が増大する。
【００２７】 重量の重いオープンカセット４０を移
載するためには、リンクアーム１３及び昇降機構１４を
大重量対応型のリンクアーム１３及び昇降機構１４にす
る必要があり、設備費が増大する。また、大出力のモー
タ等を使用するためにリンクアーム１３及び昇降機構１
４が大型化する。また、密閉容器一体型搬送台車１０自
体も大型化してしまう。さらに、密閉容器一体型搬送台
車１０は、その内部に充電式の電池を備えていて、充電
された電力を用いて移動等を行っている。そのために、
基板４１の大型化に伴い大出力のモータが必要となる
と、必要となる電力が増大するので、密閉容器一体型搬
送台車１０に内蔵されている電池も大型化し重量も増大
する。よって、密閉容器一体型搬送台車１０が大型化す
ると共に設備費が増大する。
載するためには、リンクアーム１３及び昇降機構１４を
大重量対応型のリンクアーム１３及び昇降機構１４にす
る必要があり、設備費が増大する。また、大出力のモー
タ等を使用するためにリンクアーム１３及び昇降機構１
４が大型化する。また、密閉容器一体型搬送台車１０自
体も大型化してしまう。さらに、密閉容器一体型搬送台
車１０は、その内部に充電式の電池を備えていて、充電
された電力を用いて移動等を行っている。そのために、
基板４１の大型化に伴い大出力のモータが必要となる
と、必要となる電力が増大するので、密閉容器一体型搬
送台車１０に内蔵されている電池も大型化し重量も増大
する。よって、密閉容器一体型搬送台車１０が大型化す
ると共に設備費が増大する。
【００２８】 また、密閉容器一体型搬送台車１０が
大型化すると、通路幅が増大するために、設備設置クリ
ーンルーム１００の設置面積を有効利用できないだけで
なく、設備設置クリーンルーム１００の増設が必要とな
る場合も生じる。
大型化すると、通路幅が増大するために、設備設置クリ
ーンルーム１００の設置面積を有効利用できないだけで
なく、設備設置クリーンルーム１００の増設が必要とな
る場合も生じる。
【００２９】（３）密閉容器一体型搬送台車１０は、内
部に備えた充電式の電池の電力で移動、リンクアーム１
３及び昇降機構１４の駆動等を行っているために、設備
設置クリーンルーム１００に設置された充電設備まで移
動し充電していた。しかし、このような方式では、設備
設置クリーンルーム１００に充電中の搬送台車を設置し
ておくスペースが必要になるために、設備設置クリーン
ルーム１００の設置面積を有効利用できない。
部に備えた充電式の電池の電力で移動、リンクアーム１
３及び昇降機構１４の駆動等を行っているために、設備
設置クリーンルーム１００に設置された充電設備まで移
動し充電していた。しかし、このような方式では、設備
設置クリーンルーム１００に充電中の搬送台車を設置し
ておくスペースが必要になるために、設備設置クリーン
ルーム１００の設置面積を有効利用できない。
【００３０】（４）図７は、従来の密閉容器一体型搬送
台車１０からカセット台２０にオープンカセット４０を
移載する密閉容器一体型搬送台車１０が通路に停止中
に、他の密閉容器一体型搬送台車１０が同一通路を移動
するときの移動方法説明図である。図７（ａ）に示すよ
うに、密閉容器一体型搬送台車１０ａからカセット台２
０にオープンカセット４０を移載しているときは、通路
が塞がれてしまうために、同一通路を移動中の密閉容器
一体型搬送台車１０ｂは、密閉容器一体型搬送台車１０
ａからカセット台２０にオープンカセット４０を移載し
終えるまで、停止する必要があった。また、搬送効率を
高めるために、通路の反対側から移動してくる密閉容器
一体型搬送台車１０ｃが通過できるように、密閉容器一
体型搬送台車幅２台分の通路幅を確保する必要があっ
た。
台車１０からカセット台２０にオープンカセット４０を
移載する密閉容器一体型搬送台車１０が通路に停止中
に、他の密閉容器一体型搬送台車１０が同一通路を移動
するときの移動方法説明図である。図７（ａ）に示すよ
うに、密閉容器一体型搬送台車１０ａからカセット台２
０にオープンカセット４０を移載しているときは、通路
が塞がれてしまうために、同一通路を移動中の密閉容器
一体型搬送台車１０ｂは、密閉容器一体型搬送台車１０
ａからカセット台２０にオープンカセット４０を移載し
終えるまで、停止する必要があった。また、搬送効率を
高めるために、通路の反対側から移動してくる密閉容器
一体型搬送台車１０ｃが通過できるように、密閉容器一
体型搬送台車幅２台分の通路幅を確保する必要があっ
た。
【００３１】また、図７（ｂ）に示すように、移動中の
密閉容器一体型搬送台車１０ｂが、オープンカセット４
０を移載中の密閉容器一体型搬送台車１０ａを回避して
移動を続けることも可能である。しかし、この場合は、
停止中の密閉容器一体型搬送台車１０ａと互いに行き違
う２台の密閉容器一体型搬送台車（１０ｂ，１０ｃ）と
の密閉容器一体型搬送台車３台分の通路幅を確保する必
要があった。
密閉容器一体型搬送台車１０ｂが、オープンカセット４
０を移載中の密閉容器一体型搬送台車１０ａを回避して
移動を続けることも可能である。しかし、この場合は、
停止中の密閉容器一体型搬送台車１０ａと互いに行き違
う２台の密閉容器一体型搬送台車（１０ｂ，１０ｃ）と
の密閉容器一体型搬送台車３台分の通路幅を確保する必
要があった。
【００３２】このように、従来では通路幅を広く設けて
いるので、設備設置クリーンルーム１００の面積が多く
必要となる。しかし、全領域クリーン設備は非常に高価
であり、クリーンルームの面積の増加に従って設備費が
増大する。そのために、従来技術のような設備である
と、設備設置クリーンルームを設定クリーン度にする全
領域クリーン設備費及びランニングコストが増大すると
いう問題があった。
いるので、設備設置クリーンルーム１００の面積が多く
必要となる。しかし、全領域クリーン設備は非常に高価
であり、クリーンルームの面積の増加に従って設備費が
増大する。そのために、従来技術のような設備である
と、設備設置クリーンルームを設定クリーン度にする全
領域クリーン設備費及びランニングコストが増大すると
いう問題があった。
【００３３】本願発明は、設備設置クリーンルーム１
００のクリーン度のｃｌａｓｓを引き下げ、全領域クリ
ーン設備費及びランニングコストを低減するか、また
は、設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃ
ｌａｓｓを従来のとおりとしておき、基板４１が大型化
して重量が増大しても、搬送台車の重量の増大及び大型
化を抑制して搬送台車の設備費を低減し、通路幅の増大
を防ぐか、さらに積極的に通路幅を縮小して、設備設置
クリーンルーム１００の設置面積を有効利用し、さら
に、設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃ
ｌａｓｓの引き下げと合わせて、上記搬送台車の設備費
の低減及び通路幅の縮小を図ることを目的としている。
００のクリーン度のｃｌａｓｓを引き下げ、全領域クリ
ーン設備費及びランニングコストを低減するか、また
は、設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃ
ｌａｓｓを従来のとおりとしておき、基板４１が大型化
して重量が増大しても、搬送台車の重量の増大及び大型
化を抑制して搬送台車の設備費を低減し、通路幅の増大
を防ぐか、さらに積極的に通路幅を縮小して、設備設置
クリーンルーム１００の設置面積を有効利用し、さら
に、設備設置クリーンルーム１００のクリーン度のｃ
ｌａｓｓの引き下げと合わせて、上記搬送台車の設備費
の低減及び通路幅の縮小を図ることを目的としている。
【００３４】
【課題を解決するための手段】出願時の請求項１の発明
は、図８（実施例１）及び図１６（実施例２）に示すよ
うに、基板を収納したカセットを、搬送台車に搭載して
基板搬入出ロボットを設置したロボット収納クリーンル
ームに隣接するカセット台まで搬送した後、基板搬入出
ロボットがカセットと基板処理装置との間で基板を搬入
出するカセット搬送方法において、図１０に示す一側面
に開口を有したカセット本体６２とカセット本体６２の
開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉
蓋６１がカセット本体６２に対して着脱自在である密閉
カセット６０に、基板４１を収納して上記密閉蓋６１を
閉じる過程と、図８又は図１６に示す上記密閉カセット
６０を搬送台車（５０，５５）に搭載する過程と、搬送
台車（５０，５５）に搭載した上記密閉カセット６０
を、上記密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０に設けられたカセット用開口８２に対向するよう
にカセット台（７０，７５）に移載する過程と、上記密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に上記密閉カセッ
ト６０を密着させる過程と、上記カセット用開口８２を
閉じている開閉板９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開
く過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉カセッ
ト６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する
過程と、上記基板の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じる
と共に上記開閉板９１を閉じる過程と、上記密閉カセッ
ト６０をカセット台（７０，７５）から搬送台車（５
０，５５）に移載する過程とから成るカセット搬送方法
である。
は、図８（実施例１）及び図１６（実施例２）に示すよ
うに、基板を収納したカセットを、搬送台車に搭載して
基板搬入出ロボットを設置したロボット収納クリーンル
ームに隣接するカセット台まで搬送した後、基板搬入出
ロボットがカセットと基板処理装置との間で基板を搬入
出するカセット搬送方法において、図１０に示す一側面
に開口を有したカセット本体６２とカセット本体６２の
開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉
蓋６１がカセット本体６２に対して着脱自在である密閉
カセット６０に、基板４１を収納して上記密閉蓋６１を
閉じる過程と、図８又は図１６に示す上記密閉カセット
６０を搬送台車（５０，５５）に搭載する過程と、搬送
台車（５０，５５）に搭載した上記密閉カセット６０
を、上記密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０に設けられたカセット用開口８２に対向するよう
にカセット台（７０，７５）に移載する過程と、上記密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に上記密閉カセッ
ト６０を密着させる過程と、上記カセット用開口８２を
閉じている開閉板９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開
く過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉カセッ
ト６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する
過程と、上記基板の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じる
と共に上記開閉板９１を閉じる過程と、上記密閉カセッ
ト６０をカセット台（７０，７５）から搬送台車（５
０，５５）に移載する過程とから成るカセット搬送方法
である。
【００３５】出願時の請求項２の発明は、出願時の請求
項１の発明が図８（実施例１）の発明であって、基板を
収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロ
ボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接す
るカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセッ
ト搬送方法において、図１０に示す一側面に開口を有し
たカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉す
る密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカセ
ット本体６２に対して着脱自在である密閉カセット６０
に、基板４１を収納して上記密閉蓋６１を閉じる過程
と、図８に示す上記密閉カセット６０を前方移載型搬送
台車５５に搭載する過程と、前方移載型搬送台車５５に
搭載した上記密閉カセット６０を、上記密閉蓋６１が密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に設けられたカセ
ット用開口８２に対向するように密着機構付きカセット
台７５に移載する過程と、上記密閉型ロボット収納クリ
ーンルーム８０に上記密閉カセット６０を密着させる過
程と、上記カセット用開口８２を閉じている開閉板９１
を開くと共に上記密閉蓋６１を開く過程と、基板搬入出
ロボット１１０が上記密閉カセット６０と基板処理装置
１０２との間で基板を搬入出する過程と、上記基板の搬
入出完了後に密閉蓋６１を閉じると共に上記開閉板９１
を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を密着機構付き
カセット台７５から前方移載型搬送台車５５に移載する
過程とから成るカセット搬送方法である。
項１の発明が図８（実施例１）の発明であって、基板を
収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロ
ボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接す
るカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセッ
ト搬送方法において、図１０に示す一側面に開口を有し
たカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉す
る密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカセ
ット本体６２に対して着脱自在である密閉カセット６０
に、基板４１を収納して上記密閉蓋６１を閉じる過程
と、図８に示す上記密閉カセット６０を前方移載型搬送
台車５５に搭載する過程と、前方移載型搬送台車５５に
搭載した上記密閉カセット６０を、上記密閉蓋６１が密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に設けられたカセ
ット用開口８２に対向するように密着機構付きカセット
台７５に移載する過程と、上記密閉型ロボット収納クリ
ーンルーム８０に上記密閉カセット６０を密着させる過
程と、上記カセット用開口８２を閉じている開閉板９１
を開くと共に上記密閉蓋６１を開く過程と、基板搬入出
ロボット１１０が上記密閉カセット６０と基板処理装置
１０２との間で基板を搬入出する過程と、上記基板の搬
入出完了後に密閉蓋６１を閉じると共に上記開閉板９１
を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を密着機構付き
カセット台７５から前方移載型搬送台車５５に移載する
過程とから成るカセット搬送方法である。
【００３６】出願時の請求項３の発明は、出願時の請求
項１の発明が図１６（実施例２）の発明であって、基板
を収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出
ロボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接
するカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットが
カセットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセ
ット搬送方法において、図１０に示す一側面に開口を有
したカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉
する密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカ
セット本体６２に対して着脱自在である密閉カセット６
０に、基板４１を収納して上記密閉蓋６１を閉じる過程
と、図１６に示す上記密閉カセット６０を下降移載型搬
送台車５０に搭載する過程と、上記下降移載型搬送台車
５０に搭載した上記密閉カセット６０を、上記密閉蓋６
１が密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に設けられ
たカセット用開口８２に対向するように台車収納型カセ
ット台７０に移載する過程と、上記密閉型ロボット収納
クリーンルーム８０に上記密閉カセット６０を密着させ
る過程と、上記カセット用開口８２を閉じている開閉板
９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開く過程と、基板搬
入出ロボット１１０が上記密閉カセット６０と基板処理
装置１０２との間で基板を搬入出する過程と、上記基板
の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じると共に上記開閉板
９１を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を台車収納
型カセット台７０から下降移載型搬送台車５０に移載す
る過程とから成るカセット搬送方法である。
項１の発明が図１６（実施例２）の発明であって、基板
を収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出
ロボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接
するカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットが
カセットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセ
ット搬送方法において、図１０に示す一側面に開口を有
したカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉
する密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカ
セット本体６２に対して着脱自在である密閉カセット６
０に、基板４１を収納して上記密閉蓋６１を閉じる過程
と、図１６に示す上記密閉カセット６０を下降移載型搬
送台車５０に搭載する過程と、上記下降移載型搬送台車
５０に搭載した上記密閉カセット６０を、上記密閉蓋６
１が密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に設けられ
たカセット用開口８２に対向するように台車収納型カセ
ット台７０に移載する過程と、上記密閉型ロボット収納
クリーンルーム８０に上記密閉カセット６０を密着させ
る過程と、上記カセット用開口８２を閉じている開閉板
９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開く過程と、基板搬
入出ロボット１１０が上記密閉カセット６０と基板処理
装置１０２との間で基板を搬入出する過程と、上記基板
の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じると共に上記開閉板
９１を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を台車収納
型カセット台７０から下降移載型搬送台車５０に移載す
る過程とから成るカセット搬送方法である。
【００３７】出願時の請求項４の発明は、図１６（実施
例２）及び図２０（実施例３）に示すように、基板を収
納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロボ
ットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接する
カセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカセ
ットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセット
搬送方法において、カセット（４０，６０）に基板４１
を収納する過程と、カセット（４０，６０）を下降移載
型搬送台車５０に搭載する過程と、上記カセット（４
０，６０）を搭載した下降移載型搬送台車５０が台車収
納型カセット台７０の内部まで移動する過程と、上記下
降移載型搬送台車５０に搭載した上記カセット（４０，
６０）を台車収納型カセット台７０に移載する過程と、
基板搬入出ロボット１１０が上記カセット（４０，６
０）と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する過
程と、上記カセット（４０，６０）を上記台車収納型カ
セット台７０から下降移載型搬送台車５０に移載する過
程とから成るカセット搬送方法である。
例２）及び図２０（実施例３）に示すように、基板を収
納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロボ
ットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接する
カセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカセ
ットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセット
搬送方法において、カセット（４０，６０）に基板４１
を収納する過程と、カセット（４０，６０）を下降移載
型搬送台車５０に搭載する過程と、上記カセット（４
０，６０）を搭載した下降移載型搬送台車５０が台車収
納型カセット台７０の内部まで移動する過程と、上記下
降移載型搬送台車５０に搭載した上記カセット（４０，
６０）を台車収納型カセット台７０に移載する過程と、
基板搬入出ロボット１１０が上記カセット（４０，６
０）と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する過
程と、上記カセット（４０，６０）を上記台車収納型カ
セット台７０から下降移載型搬送台車５０に移載する過
程とから成るカセット搬送方法である。
【００３８】出願時の請求項５の発明は、図１６（実施
例２）に示すように、基板を収納したカセットを、搬送
台車に搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット
収納クリーンルームに隣接するカセット台まで搬送した
後、基板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との
間で基板を搬入出するカセット搬送方法において、図１
０に示す一側面に開口を有したカセット本体６２とカセ
ット本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成
され、上記密閉蓋６１がカセット本体６２に対して着脱
自在である密閉カセット６０に、基板４１を収納して上
記密閉蓋６１を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を
下降移載型搬送台車５０に搭載する過程と、上記密閉カ
セット６０を搭載した下降移載型搬送台車５０が台車収
納型カセット台７０の内部まで移動する過程と、上記下
降移載型搬送台車５０に搭載した上記密閉カセット６０
を、上記密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０に設けられたカセット用開口８２に対向するよう
に台車収納型カセット台７０に移載する過程と、上記密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に上記密閉カセッ
ト６０を密着させる過程と、上記カセット用開口８２を
閉じている開閉板９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開
く過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉カセッ
ト６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する
過程と、上記基板の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じる
と共に上記開閉板９１を閉じる過程と、上記密閉カセッ
ト６０をカセット台７０から下降移載型搬送台車５０に
移載する過程とから成るカセット搬送方法である。
例２）に示すように、基板を収納したカセットを、搬送
台車に搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット
収納クリーンルームに隣接するカセット台まで搬送した
後、基板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との
間で基板を搬入出するカセット搬送方法において、図１
０に示す一側面に開口を有したカセット本体６２とカセ
ット本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成
され、上記密閉蓋６１がカセット本体６２に対して着脱
自在である密閉カセット６０に、基板４１を収納して上
記密閉蓋６１を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を
下降移載型搬送台車５０に搭載する過程と、上記密閉カ
セット６０を搭載した下降移載型搬送台車５０が台車収
納型カセット台７０の内部まで移動する過程と、上記下
降移載型搬送台車５０に搭載した上記密閉カセット６０
を、上記密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０に設けられたカセット用開口８２に対向するよう
に台車収納型カセット台７０に移載する過程と、上記密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に上記密閉カセッ
ト６０を密着させる過程と、上記カセット用開口８２を
閉じている開閉板９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開
く過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉カセッ
ト６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する
過程と、上記基板の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じる
と共に上記開閉板９１を閉じる過程と、上記密閉カセッ
ト６０をカセット台７０から下降移載型搬送台車５０に
移載する過程とから成るカセット搬送方法である。
【００３９】出願時の請求項６の発明は、図２０（実施
例３）に示すように、基板を収納したカセットを、搬送
台車に搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット
収納クリーンルームに隣接するカセット台まで搬送した
後、基板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との
間で基板を搬入出するカセット搬送方法において、オー
プンカセット４０に基板４１を収納する過程と、上記オ
ープンカセット４０を下降移載型搬送台車５０に搭載す
る過程と、上記オープンカセット４０を搭載した下降移
載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の内部ま
で移動する過程と、上記下降移載型搬送台車５０に搭載
した上記オープンカセット４０を台車収納型カセット台
７０に移載する過程と、基板搬入出ロボット１１０が上
記オープンカセット４０と基板処理装置１０２との間で
基板を搬入出する過程と、上記オープンカセット４０を
上記台車収納型カセット台７０から下降移載型搬送台車
５０に移載する過程とから成るカセット搬送方法であ
る。
例３）に示すように、基板を収納したカセットを、搬送
台車に搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット
収納クリーンルームに隣接するカセット台まで搬送した
後、基板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との
間で基板を搬入出するカセット搬送方法において、オー
プンカセット４０に基板４１を収納する過程と、上記オ
ープンカセット４０を下降移載型搬送台車５０に搭載す
る過程と、上記オープンカセット４０を搭載した下降移
載型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の内部ま
で移動する過程と、上記下降移載型搬送台車５０に搭載
した上記オープンカセット４０を台車収納型カセット台
７０に移載する過程と、基板搬入出ロボット１１０が上
記オープンカセット４０と基板処理装置１０２との間で
基板を搬入出する過程と、上記オープンカセット４０を
上記台車収納型カセット台７０から下降移載型搬送台車
５０に移載する過程とから成るカセット搬送方法であ
る。
【００４０】出願時の請求項７の発明は、図１２及び図
１３並びに実施例１及び実施例２に示すように、請求項
１又は請求項２又は請求項３又は請求項５に記載の密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０（図１２及び図１
６）に設けられたカセット用開口８２を閉じている開閉
板９１を開くと共に密閉カセット６０の密閉蓋６１を開
く過程が、密閉蓋着脱装置９０によって同時に行われる
カセット搬送方法である。
１３並びに実施例１及び実施例２に示すように、請求項
１又は請求項２又は請求項３又は請求項５に記載の密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０（図１２及び図１
６）に設けられたカセット用開口８２を閉じている開閉
板９１を開くと共に密閉カセット６０の密閉蓋６１を開
く過程が、密閉蓋着脱装置９０によって同時に行われる
カセット搬送方法である。
【００４１】出願時の請求項８の発明は、図１２及び図
１３並びに実施例１及び実施例２に示すように、請求項
１又は請求項２又は請求項３又は請求項５に記載の密閉
カセット６０の密閉蓋６１を閉じると共に開閉板９１を
閉じる過程が、密閉蓋着脱装置９０によって同時に行わ
れるカセット搬送方法である。
１３並びに実施例１及び実施例２に示すように、請求項
１又は請求項２又は請求項３又は請求項５に記載の密閉
カセット６０の密閉蓋６１を閉じると共に開閉板９１を
閉じる過程が、密閉蓋着脱装置９０によって同時に行わ
れるカセット搬送方法である。
【００４２】出願時の請求項９の発明は、図８（実施例
１）に示すように、請求項１又は請求項２に記載の密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０に密閉カセット６０
を密着させる過程が、密着機構付きカセット台７５に設
けられたクランプ機構７６で固定すると共に、スライド
機構７８で上記密閉カセット６０を上記密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０に押圧する過程であるカセット
搬送方法である。
１）に示すように、請求項１又は請求項２に記載の密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０に密閉カセット６０
を密着させる過程が、密着機構付きカセット台７５に設
けられたクランプ機構７６で固定すると共に、スライド
機構７８で上記密閉カセット６０を上記密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０に押圧する過程であるカセット
搬送方法である。
【００４３】出願時の請求項１０の発明は、図１６（実
施例２）に示すように、請求項１又は請求項３又は請求
項５に記載の密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に
密閉カセット６０を密着させる過程が、台車収納型カセ
ット台７０に設けられたクランプ機構７１で固定すると
共に、スライド機構７３で上記密閉カセット６０を上記
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に押圧する過程
であるカセット搬送方法である。
施例２）に示すように、請求項１又は請求項３又は請求
項５に記載の密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に
密閉カセット６０を密着させる過程が、台車収納型カセ
ット台７０に設けられたクランプ機構７１で固定すると
共に、スライド機構７３で上記密閉カセット６０を上記
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に押圧する過程
であるカセット搬送方法である。
【００４４】出願時の請求項１１の発明は、図２２（実
施例４）に示すように、請求項３又は請求項４又は請求
項５又は請求項６に記載の下降移載型搬送台車５０が台
車収納型カセット台７０の内部まで移動して停止中に、
上記台車収納型カセット台７０に備えられた充電機構７
４から下降移載型搬送台車５０の充電を行うカセット搬
送方法である。
施例４）に示すように、請求項３又は請求項４又は請求
項５又は請求項６に記載の下降移載型搬送台車５０が台
車収納型カセット台７０の内部まで移動して停止中に、
上記台車収納型カセット台７０に備えられた充電機構７
４から下降移載型搬送台車５０の充電を行うカセット搬
送方法である。
【００４５】出願時の請求項１２の発明は、図２３（実
施例５）に示すように、請求項３又は請求項４又は請求
項５又は請求項６に記載の下降移載型搬送台車５０が台
車収納型カセット台７０の内部まで移動して停止中に、
他の下降移載型搬送台車５０が上記台車収納型カセット
台７０に隣接した通路を通過するカセット搬送方法であ
る。
施例５）に示すように、請求項３又は請求項４又は請求
項５又は請求項６に記載の下降移載型搬送台車５０が台
車収納型カセット台７０の内部まで移動して停止中に、
他の下降移載型搬送台車５０が上記台車収納型カセット
台７０に隣接した通路を通過するカセット搬送方法であ
る。
【００４６】出願時の請求項１３の発明は、図８（実施
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、基板を収
納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロボ
ットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接する
カセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカセ
ットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセット
搬送システムにおいて、図１０に示す一側面に開口を有
したカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉
する密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカ
セット本体６２に対して着脱自在である密閉カセット６
０と、図８又は図１６に示す基板４１を収納した上記密
閉カセット６０を搭載する搬送台車（５０，５５）と、
密閉カセット６０を載置するカセット台（７０，７５）
と、基板４１を搬入出する基板搬入出ロボット１１０
と、上記密閉蓋６１をカセット本体６２から着脱する密
閉蓋着脱装置９０と、上記基板搬入出ロボット１１０及
び上記密閉蓋着脱装置９０を内部に設置し、かつ、上記
基板搬入出ロボット１１０によって基板４１をカセット
から搬入出するためのカセット用開口８２及び基板処理
装置１０２に通じる基板処理装置用開口８１を有した隔
壁で覆われ、かつ、ＦＦＵ８３を有する密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０と、上記カセット用開口８２を
開閉する開閉板９１とを備え、上記密閉蓋６１が、上記
カセット用開口８２に対向させてカセット台（７０，７
５）に載置され、上記密閉蓋着脱装置９０が、上記カセ
ット用開口８２を通して上記密閉蓋６１をカセット本体
６２から着脱し、上記基板搬入出ロボット１１０が、上
記カセット用開口８２を通して密閉カセット６０に収納
した基板４１を搬入出するカセット搬送システムであ
る。
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、基板を収
納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロボ
ットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接する
カセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカセ
ットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセット
搬送システムにおいて、図１０に示す一側面に開口を有
したカセット本体６２とカセット本体６２の開口を密閉
する密閉蓋６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカ
セット本体６２に対して着脱自在である密閉カセット６
０と、図８又は図１６に示す基板４１を収納した上記密
閉カセット６０を搭載する搬送台車（５０，５５）と、
密閉カセット６０を載置するカセット台（７０，７５）
と、基板４１を搬入出する基板搬入出ロボット１１０
と、上記密閉蓋６１をカセット本体６２から着脱する密
閉蓋着脱装置９０と、上記基板搬入出ロボット１１０及
び上記密閉蓋着脱装置９０を内部に設置し、かつ、上記
基板搬入出ロボット１１０によって基板４１をカセット
から搬入出するためのカセット用開口８２及び基板処理
装置１０２に通じる基板処理装置用開口８１を有した隔
壁で覆われ、かつ、ＦＦＵ８３を有する密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０と、上記カセット用開口８２を
開閉する開閉板９１とを備え、上記密閉蓋６１が、上記
カセット用開口８２に対向させてカセット台（７０，７
５）に載置され、上記密閉蓋着脱装置９０が、上記カセ
ット用開口８２を通して上記密閉蓋６１をカセット本体
６２から着脱し、上記基板搬入出ロボット１１０が、上
記カセット用開口８２を通して密閉カセット６０に収納
した基板４１を搬入出するカセット搬送システムであ
る。
【００４７】出願時の請求項１４の発明は、図８（実施
例１）に示すように、請求項１３の搬送台車が前方移載
型搬送台車５５であり、カセット台が密着機構付きカセ
ット台７５であるカセット搬送システムである。
例１）に示すように、請求項１３の搬送台車が前方移載
型搬送台車５５であり、カセット台が密着機構付きカセ
ット台７５であるカセット搬送システムである。
【００４８】出願時の請求項１５の発明は、図１６（実
施例２）に示すように、請求項１３の搬送台車が下降移
載型搬送台車５０であり、カセット台が台車収納型カセ
ット台７０であるカセット搬送システムである。
施例２）に示すように、請求項１３の搬送台車が下降移
載型搬送台車５０であり、カセット台が台車収納型カセ
ット台７０であるカセット搬送システムである。
【００４９】出願時の請求項１６の発明は、図１６（実
施例２）及び図２０（実施例３）に示すように、基板を
収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロ
ボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接す
るカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセッ
ト搬送システムにおいて、基板４１を収納するカセット
（４０，６０）と、上記基板４１を収納したカセット
（４０，６０）を搭載する下降移載型搬送台車５０と、
上記下降移載型搬送台車５０を内部まで移動させる空間
を形成した台車収納型カセット台７０と、基板４１を搬
入出する基板搬入出ロボット１１０と、上記基板搬入出
ロボット１１０を内部に設置し、ＦＦＵ（３１，８３）
を有するロボット収納クリーンルーム（３０，８０）と
を備えた搬送するカセット搬送システムである。
施例２）及び図２０（実施例３）に示すように、基板を
収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロ
ボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接す
るカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセッ
ト搬送システムにおいて、基板４１を収納するカセット
（４０，６０）と、上記基板４１を収納したカセット
（４０，６０）を搭載する下降移載型搬送台車５０と、
上記下降移載型搬送台車５０を内部まで移動させる空間
を形成した台車収納型カセット台７０と、基板４１を搬
入出する基板搬入出ロボット１１０と、上記基板搬入出
ロボット１１０を内部に設置し、ＦＦＵ（３１，８３）
を有するロボット収納クリーンルーム（３０，８０）と
を備えた搬送するカセット搬送システムである。
【００５０】出願時の請求項１７の発明は、図１６（実
施例２）に示すように、請求項１６のカセットが密閉カ
セット６０であり、ロボット収納クリーンルームが基板
搬入出ロボット１１０を内部に設置し、ＦＦＵ８３を有
する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０であるカセ
ット搬送システムである。
施例２）に示すように、請求項１６のカセットが密閉カ
セット６０であり、ロボット収納クリーンルームが基板
搬入出ロボット１１０を内部に設置し、ＦＦＵ８３を有
する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０であるカセ
ット搬送システムである。
【００５１】出願時の請求項１８の発明は、図２０（実
施例３）に示すように、請求項１６のカセットがオープ
ンカセット４０であり、ロボット収納クリーンルームが
基板搬入出ロボット１１０を内部に設置し、ＦＦＵ３１
を有する開放型ロボット収納クリーンルーム３０である
カセット搬送システムである。
施例３）に示すように、請求項１６のカセットがオープ
ンカセット４０であり、ロボット収納クリーンルームが
基板搬入出ロボット１１０を内部に設置し、ＦＦＵ３１
を有する開放型ロボット収納クリーンルーム３０である
カセット搬送システムである。
【００５２】出願時の請求項１９の発明は、図８（実施
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、請求項１
３に記載の密閉蓋着脱装置９０が、密閉型ロボット収納
クリーンルーム８０のカセット用開口８２を開閉する開
閉板９１を支持するカセット搬送システムである。
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、請求項１
３に記載の密閉蓋着脱装置９０が、密閉型ロボット収納
クリーンルーム８０のカセット用開口８２を開閉する開
閉板９１を支持するカセット搬送システムである。
【００５３】出願時の請求項２０の発明は、図８（実施
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、請求項１
３に記載の密閉蓋着脱装置９０が、密閉型ロボット収納
クリーンルーム８０のカセット用開口８２を開閉すると
同時に密閉蓋６１をカセット本体６２から着脱するカセ
ット搬送システムである。
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、請求項１
３に記載の密閉蓋着脱装置９０が、密閉型ロボット収納
クリーンルーム８０のカセット用開口８２を開閉すると
同時に密閉蓋６１をカセット本体６２から着脱するカセ
ット搬送システムである。
【００５４】出願時の請求項２１の発明は、図８（実施
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、請求項１
３に記載のカセット台（７０，７５）が、密閉カセット
６０を固定させるクランプ機構（７１，７６）と上記密
閉カセット６０をスライドさせるスライド機構（７３，
７８）とを備えたカセット搬送システムである。
例１）及び図１６（実施例２）に示すように、請求項１
３に記載のカセット台（７０，７５）が、密閉カセット
６０を固定させるクランプ機構（７１，７６）と上記密
閉カセット６０をスライドさせるスライド機構（７３，
７８）とを備えたカセット搬送システムである。
【００５５】出願時の請求項２２の発明は、図２２（実
施例４）に示すように、請求項１６に記載の台車収納型
カセット台７０に、下降移載型搬送台車５０用の充電機
構７４が備えられたカセット搬送システムである。
施例４）に示すように、請求項１６に記載の台車収納型
カセット台７０に、下降移載型搬送台車５０用の充電機
構７４が備えられたカセット搬送システムである。
【００５６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を図面に基づ
いて説明する。図１は当該出願に係る発明の特徴を最も
よく表す図である。図１は後述する図１６と同じなの
で、説明は図１６で後述する。
いて説明する。図１は当該出願に係る発明の特徴を最も
よく表す図である。図１は後述する図１６と同じなの
で、説明は図１６で後述する。
【００５７】本発明の方法の実施の形態は、図１６（実
施例２）に示すように、出願時の請求項５のカセット搬
送方法の発明に対応しており、基板を収納したカセット
を、搬送台車に搭載して基板搬入出ロボットを設置した
ロボット収納クリーンルームに隣接するカセット台まで
搬送した後、基板搬入出ロボットがカセットと基板処理
装置との間で基板を搬入出するカセット搬送方法におい
て、一側面に開口を有したカセット本体６２とカセット
本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成さ
れ、上記密閉蓋６１がカセット本体６２に対して着脱自
在である密閉カセット６０に、基板４１を収納して上記
密閉蓋６１を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を下
降移載型搬送台車５０に搭載する過程と、上記密閉カセ
ット６０を搭載した下降移載型搬送台車５０が台車収納
型カセット台７０の内部まで移動する過程と、上記下降
移載型搬送台車５０に搭載した上記密閉カセット６０
を、上記密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０に設けられたカセット用開口８２に対向するよう
に台車収納型カセット台７０に移載する過程と、上記密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に上記密閉カセッ
ト６０を密着させる過程と、上記カセット用開口８２を
閉じている開閉板９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開
く過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉カセッ
ト６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する
過程と、上記基板の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じる
と共に上記カセット用開口８２を開閉板９１で閉じる過
程と、上記密閉カセット６０を台車収納型カセット台７
０から下降移載型搬送台車５０に移載する過程とから成
るカセット搬送方法である。
施例２）に示すように、出願時の請求項５のカセット搬
送方法の発明に対応しており、基板を収納したカセット
を、搬送台車に搭載して基板搬入出ロボットを設置した
ロボット収納クリーンルームに隣接するカセット台まで
搬送した後、基板搬入出ロボットがカセットと基板処理
装置との間で基板を搬入出するカセット搬送方法におい
て、一側面に開口を有したカセット本体６２とカセット
本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成さ
れ、上記密閉蓋６１がカセット本体６２に対して着脱自
在である密閉カセット６０に、基板４１を収納して上記
密閉蓋６１を閉じる過程と、上記密閉カセット６０を下
降移載型搬送台車５０に搭載する過程と、上記密閉カセ
ット６０を搭載した下降移載型搬送台車５０が台車収納
型カセット台７０の内部まで移動する過程と、上記下降
移載型搬送台車５０に搭載した上記密閉カセット６０
を、上記密閉蓋６１が密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０に設けられたカセット用開口８２に対向するよう
に台車収納型カセット台７０に移載する過程と、上記密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０に上記密閉カセッ
ト６０を密着させる過程と、上記カセット用開口８２を
閉じている開閉板９１を開くと共に上記密閉蓋６１を開
く過程と、基板搬入出ロボット１１０が上記密閉カセッ
ト６０と基板処理装置１０２との間で基板を搬入出する
過程と、上記基板の搬入出完了後に密閉蓋６１を閉じる
と共に上記カセット用開口８２を開閉板９１で閉じる過
程と、上記密閉カセット６０を台車収納型カセット台７
０から下降移載型搬送台車５０に移載する過程とから成
るカセット搬送方法である。
【００５８】また、本発明のシステムの実施の形態は、
図１６（実施例２）に示すように、出願時の請求項１５
のカセット搬送システムの発明に対応しており、基板を
収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロ
ボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接す
るカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセッ
ト搬送システムにおいて、一側面に開口を有したカセッ
ト本体６２とカセット本体６２の開口を密閉する密閉蓋
６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカセット本体
６２に対して着脱自在である密閉カセット６０と、基板
４１を収納した上記密閉カセット６０を搭載する下降移
載型搬送台車５０と、密閉カセット６０を載置する台車
収納型カセット台７０と、基板４１を搬入出する基板搬
入出ロボット１１０と、上記密閉蓋６１をカセット本体
６２から着脱する密閉蓋着脱装置９０と、上記基板搬入
出ロボット１１０及び上記密閉蓋着脱装置９０を内部に
設置し、かつ、上記基板搬入出ロボット１１０によって
基板４１をカセットから搬入出するためのカセット用開
口８２及び基板処理装置１０２に通じる基板処理装置用
開口８１を有した隔壁で覆われ、かつ、ＦＦＵ８３を有
する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０と、上記カ
セット用開口８２を開閉する開閉板９１とを備え、上記
密閉蓋６１が、上記密閉型ロボット収納クリーンルーム
８０のカセット用開口８２に対向させて台車収納型カセ
ット台７０に載置され、上記密閉蓋着脱装置９０が、上
記カセット用開口８２を通して密閉カセット６０の密閉
蓋６１をカセット本体６２から着脱し、上記基板搬入出
ロボット１１０が、上記カセット用開口８２を通して密
閉カセット６０に収納した基板４１を搬入出するカセッ
ト搬送システムである。
図１６（実施例２）に示すように、出願時の請求項１５
のカセット搬送システムの発明に対応しており、基板を
収納したカセットを、搬送台車に搭載して基板搬入出ロ
ボットを設置したロボット収納クリーンルームに隣接す
るカセット台まで搬送した後、基板搬入出ロボットがカ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出するカセッ
ト搬送システムにおいて、一側面に開口を有したカセッ
ト本体６２とカセット本体６２の開口を密閉する密閉蓋
６１とにより形成され、上記密閉蓋６１がカセット本体
６２に対して着脱自在である密閉カセット６０と、基板
４１を収納した上記密閉カセット６０を搭載する下降移
載型搬送台車５０と、密閉カセット６０を載置する台車
収納型カセット台７０と、基板４１を搬入出する基板搬
入出ロボット１１０と、上記密閉蓋６１をカセット本体
６２から着脱する密閉蓋着脱装置９０と、上記基板搬入
出ロボット１１０及び上記密閉蓋着脱装置９０を内部に
設置し、かつ、上記基板搬入出ロボット１１０によって
基板４１をカセットから搬入出するためのカセット用開
口８２及び基板処理装置１０２に通じる基板処理装置用
開口８１を有した隔壁で覆われ、かつ、ＦＦＵ８３を有
する密閉型ロボット収納クリーンルーム８０と、上記カ
セット用開口８２を開閉する開閉板９１とを備え、上記
密閉蓋６１が、上記密閉型ロボット収納クリーンルーム
８０のカセット用開口８２に対向させて台車収納型カセ
ット台７０に載置され、上記密閉蓋着脱装置９０が、上
記カセット用開口８２を通して密閉カセット６０の密閉
蓋６１をカセット本体６２から着脱し、上記基板搬入出
ロボット１１０が、上記カセット用開口８２を通して密
閉カセット６０に収納した基板４１を搬入出するカセッ
ト搬送システムである。
【００５９】
【実施例】（実施例１）以下に記載する実施例１は、図
１０に示す密閉カセット６０を搭載した図８に示す前方
移載型搬送台車５５を密着機構付きカセット台７５まで
移動して、上記前方移載型搬送台車５５のリンクアーム
５６及び昇降機構５７によって密閉カセット６０を前方
にある密着機構付きカセット台７５に移載し、密閉カセ
ット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密
着させた後に、密閉カセット６０の密閉蓋６１と密閉型
ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２
を閉じている開閉板９１とを開き、基板搬入出ロボット
１１０が密閉カセット６０に収納された基板４１を密閉
カセット６０と基板処理装置１０２との間で搬送するカ
セット搬送方法及びカセット搬送システムに関する実施
例であり、出願時の請求項１及び請求項２及び請求項７
及び請求項８及び請求項９及び請求項１３及び請求項１
４及び請求項１９及び請求項２０及び請求項２１の発明
に対応している。
１０に示す密閉カセット６０を搭載した図８に示す前方
移載型搬送台車５５を密着機構付きカセット台７５まで
移動して、上記前方移載型搬送台車５５のリンクアーム
５６及び昇降機構５７によって密閉カセット６０を前方
にある密着機構付きカセット台７５に移載し、密閉カセ
ット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８０に密
着させた後に、密閉カセット６０の密閉蓋６１と密閉型
ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２
を閉じている開閉板９１とを開き、基板搬入出ロボット
１１０が密閉カセット６０に収納された基板４１を密閉
カセット６０と基板処理装置１０２との間で搬送するカ
セット搬送方法及びカセット搬送システムに関する実施
例であり、出願時の請求項１及び請求項２及び請求項７
及び請求項８及び請求項９及び請求項１３及び請求項１
４及び請求項１９及び請求項２０及び請求項２１の発明
に対応している。
【００６０】
図８は、本発明に係る密閉カセット６０を上部に搭載し
た前方移載型搬送台車５５とスライド機構７８を備えた
密着機構付きカセット台７５と基板搬入出ロボット１１
０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納ク
リーンルーム８０とを示す図であり、図９は、リンクア
ーム５６及び昇降機構５７を備えた図８に示す本発明に
係る前方移載型搬送台車５５を示す図であり、図１０
は、本発明に係る密閉カセット６０の斜視図である。
図８は、本発明に係る密閉カセット６０を上部に搭載し
た前方移載型搬送台車５５とスライド機構７８を備えた
密着機構付きカセット台７５と基板搬入出ロボット１１
０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納ク
リーンルーム８０とを示す図であり、図９は、リンクア
ーム５６及び昇降機構５７を備えた図８に示す本発明に
係る前方移載型搬送台車５５を示す図であり、図１０
は、本発明に係る密閉カセット６０の斜視図である。
【００６１】密閉カセット６０は、図１０に示すよう
に、一側面に開口を有したカセット本体６２とカセット
本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成され
た基板４１を収納するカセットであり、密閉蓋６１がカ
セット本体６２に対して着脱自在になっている。このカ
セット本体６２の内部は、オープンカセット４０と同様
に複数のスロットが設けられていて、複数枚の基板４１
を収納できるようになっている。また、密閉カセット６
０は、密閉蓋６１が取り付けられた状態では、密閉カセ
ット６０内部を気密に保つことができる。したがって、
設定クリーン度が維持されている環境において、密閉蓋
６１を取り外して基板４１をカセット本体６２内に収納
し、その後、密閉蓋６１を取り付ければ、図４の密閉容
器１２のようにＦＦＵを設けなくても、密閉カセット６
０内を設定クリーン度に維持して基板４１を収納でき
る。
に、一側面に開口を有したカセット本体６２とカセット
本体６２の開口を密閉する密閉蓋６１とにより形成され
た基板４１を収納するカセットであり、密閉蓋６１がカ
セット本体６２に対して着脱自在になっている。このカ
セット本体６２の内部は、オープンカセット４０と同様
に複数のスロットが設けられていて、複数枚の基板４１
を収納できるようになっている。また、密閉カセット６
０は、密閉蓋６１が取り付けられた状態では、密閉カセ
ット６０内部を気密に保つことができる。したがって、
設定クリーン度が維持されている環境において、密閉蓋
６１を取り外して基板４１をカセット本体６２内に収納
し、その後、密閉蓋６１を取り付ければ、図４の密閉容
器１２のようにＦＦＵを設けなくても、密閉カセット６
０内を設定クリーン度に維持して基板４１を収納でき
る。
【００６２】図９に示す前方移載型搬送台車５５は、図
４に示した密閉容器一体型搬送台車１０からＦＦＵ１１
及びシャッター１５を備えた密閉容器１２を取り除いた
構造の搬送台車であり、密閉カセット６０をリンクアー
ム５６の上に載置し固定できるようになっている。そし
て、リンクアーム５６及び昇降機構５７によって密閉カ
セット６０を他の個所に移載できるようになっている。
なお、リンクアーム５６及び昇降機構５７は、密閉容器
一体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１
４と同様である。また、前方移載型搬送台車５５は、密
閉カセット６０以外にオープンカセット４０でも載置で
きる。また、オープンカセット４０の底面及びリンクア
ーム５６にぞれぞれ形成された凹凸によって、おおよそ
の位置決めをしている。
４に示した密閉容器一体型搬送台車１０からＦＦＵ１１
及びシャッター１５を備えた密閉容器１２を取り除いた
構造の搬送台車であり、密閉カセット６０をリンクアー
ム５６の上に載置し固定できるようになっている。そし
て、リンクアーム５６及び昇降機構５７によって密閉カ
セット６０を他の個所に移載できるようになっている。
なお、リンクアーム５６及び昇降機構５７は、密閉容器
一体型搬送台車１０のリンクアーム１３及び昇降機構１
４と同様である。また、前方移載型搬送台車５５は、密
閉カセット６０以外にオープンカセット４０でも載置で
きる。また、オープンカセット４０の底面及びリンクア
ーム５６にぞれぞれ形成された凹凸によって、おおよそ
の位置決めをしている。
【００６３】密着機構付きカセット台７５は、図８に示
すように、密着機構付きカセット台７５の上部に密閉カ
セット６０等を載置するカセット載置台７７とカセット
載置台７７に設けられた密閉カセット６０等を固定する
クランプ機構７６とカセット載置台７７をスライドさせ
るスライド機構７８とを備えたカセット台である。上記
の機構によって、密閉カセット６０をカセット載置台７
７に載置してクランプ機構７６によって密閉カセット６
０を固定した後、スライド機構７８によってカセット載
置台７７をスライドさせて、密閉カセット６０を密閉型
ロボット収納クリーンルーム８０に密着させる。
すように、密着機構付きカセット台７５の上部に密閉カ
セット６０等を載置するカセット載置台７７とカセット
載置台７７に設けられた密閉カセット６０等を固定する
クランプ機構７６とカセット載置台７７をスライドさせ
るスライド機構７８とを備えたカセット台である。上記
の機構によって、密閉カセット６０をカセット載置台７
７に載置してクランプ機構７６によって密閉カセット６
０を固定した後、スライド機構７８によってカセット載
置台７７をスライドさせて、密閉カセット６０を密閉型
ロボット収納クリーンルーム８０に密着させる。
【００６４】密閉型ロボット収納クリーンルーム８０
は、図８に示すように、基板処理装置１０２に隣接した
位置に配置されて、基板搬入出ロボット１１０及び密閉
蓋着脱装置９０を内部に設置し、かつ、内部を設定クリ
ーン度に維持するためのＦＦＵ８３を備えている。ま
た、基板搬入出ロボット１１０を図２のＹ方向等に移動
させる移動機構（図示せず）も備えている。なお、基板
搬入出ロボット１１０は従来と同様である。
は、図８に示すように、基板処理装置１０２に隣接した
位置に配置されて、基板搬入出ロボット１１０及び密閉
蓋着脱装置９０を内部に設置し、かつ、内部を設定クリ
ーン度に維持するためのＦＦＵ８３を備えている。ま
た、基板搬入出ロボット１１０を図２のＹ方向等に移動
させる移動機構（図示せず）も備えている。なお、基板
搬入出ロボット１１０は従来と同様である。
【００６５】この密閉型ロボット収納クリーンルーム８
０は、図８に示すように、密着機構付きカセット台７５
に載置された密閉カセット６０から基板４１を搬入出す
るためのカセット用開口８２及び基板処理装置に通じる
基板処理装置用開口８１を有した隔壁８４で覆われてい
る。また、カセット用開口８２の開閉は開閉板９１を用
いて行う。具体的には、開閉板９１がカセット用開口８
２を塞ぐように密着すると、カセット用開口８２が閉じ
る。そして、開閉板９１が他の位置に移動すると、カセ
ット用開口８２が開く。なお、この開閉板９１は、後述
するように密閉蓋着脱装置９０に支持されているので、
密閉蓋着脱装置９０の動作によって、カセット用開口８
２の開閉を行うことができる。また、開閉板９１を別の
装置によって動作させてもよい。また、密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０にカセット用開口８２を開閉す
る機構を設けてもよい。本明細書では、カセット用開口
８２を開閉する機構であれば、形態を限定しないで開閉
板９１という。
０は、図８に示すように、密着機構付きカセット台７５
に載置された密閉カセット６０から基板４１を搬入出す
るためのカセット用開口８２及び基板処理装置に通じる
基板処理装置用開口８１を有した隔壁８４で覆われてい
る。また、カセット用開口８２の開閉は開閉板９１を用
いて行う。具体的には、開閉板９１がカセット用開口８
２を塞ぐように密着すると、カセット用開口８２が閉じ
る。そして、開閉板９１が他の位置に移動すると、カセ
ット用開口８２が開く。なお、この開閉板９１は、後述
するように密閉蓋着脱装置９０に支持されているので、
密閉蓋着脱装置９０の動作によって、カセット用開口８
２の開閉を行うことができる。また、開閉板９１を別の
装置によって動作させてもよい。また、密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０にカセット用開口８２を開閉す
る機構を設けてもよい。本明細書では、カセット用開口
８２を開閉する機構であれば、形態を限定しないで開閉
板９１という。
【００６６】このように密閉型ロボット収納クリーンル
ーム８０は、隔壁８４を有して、内部をＦＦＵ８３によ
って設定クリーン度に維持しているので、カセット用開
口８２を閉じると、密閉型ロボット収納クリーンルーム
８０は、独立したクリーンルームになる。したがって、
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の内部を、その
外部のクリーン度に関係なく異なる設定クリーン度に維
持することができる。
ーム８０は、隔壁８４を有して、内部をＦＦＵ８３によ
って設定クリーン度に維持しているので、カセット用開
口８２を閉じると、密閉型ロボット収納クリーンルーム
８０は、独立したクリーンルームになる。したがって、
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０の内部を、その
外部のクリーン度に関係なく異なる設定クリーン度に維
持することができる。
【００６７】密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内
に設置される密閉蓋着脱装置９０は、密閉カセット６０
の密閉蓋６１を着脱すると共に、開閉板９１を支持して
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開
口８２を開閉する機能を有する装置である。なお、前述
したように開閉板９１を密閉蓋着脱装置９０に支持しな
いで、他の装置によって動作させてもよい。この密閉蓋
着脱装置９０の説明は、図１２及び図１３を参照して後
述する。
に設置される密閉蓋着脱装置９０は、密閉カセット６０
の密閉蓋６１を着脱すると共に、開閉板９１を支持して
密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開
口８２を開閉する機能を有する装置である。なお、前述
したように開閉板９１を密閉蓋着脱装置９０に支持しな
いで、他の装置によって動作させてもよい。この密閉蓋
着脱装置９０の説明は、図１２及び図１３を参照して後
述する。
【００６８】図１１は、図１０の密閉カセット６０の鍵
機構を示す図であり、図１１（ａ）は、密閉蓋６１をカ
セット本体６２に取り付けるときの鍵機構の状態を示す
図であり、図１１（ｂ）は、密閉蓋６１をカセット本体
６２から取り外すときの鍵機構の状態を示す図である。
なお、それぞれの図は、一部を省略した平面図（鍵穴６
３が図示されている図）、一部を省略した底面図及び２
つの側面図から構成されている。この図１１を参照し
て、密閉カセット６０の密閉蓋６１の着脱について説明
する。鍵穴６３に連結した鍵穴回転板６４に連結棒６５
の一端側が連結され、連結棒６５の他端側が鍵板６６に
連結されている。したがって、鍵穴６３に、鍵を差し込
んで回転させると、鍵穴回転板６４が回転中心６４ａを
中心に回転し、その回転は連結棒６５によって円弧部分
６６ｂと平坦部分６６ｃとが設けられた鍵板６６に伝わ
り、鍵板６６が回転中心６６ａを中心に回転する。この
回転によって、円弧部分６６ｂと平坦部分６６ｃとの位
置が変位する。
機構を示す図であり、図１１（ａ）は、密閉蓋６１をカ
セット本体６２に取り付けるときの鍵機構の状態を示す
図であり、図１１（ｂ）は、密閉蓋６１をカセット本体
６２から取り外すときの鍵機構の状態を示す図である。
なお、それぞれの図は、一部を省略した平面図（鍵穴６
３が図示されている図）、一部を省略した底面図及び２
つの側面図から構成されている。この図１１を参照し
て、密閉カセット６０の密閉蓋６１の着脱について説明
する。鍵穴６３に連結した鍵穴回転板６４に連結棒６５
の一端側が連結され、連結棒６５の他端側が鍵板６６に
連結されている。したがって、鍵穴６３に、鍵を差し込
んで回転させると、鍵穴回転板６４が回転中心６４ａを
中心に回転し、その回転は連結棒６５によって円弧部分
６６ｂと平坦部分６６ｃとが設けられた鍵板６６に伝わ
り、鍵板６６が回転中心６６ａを中心に回転する。この
回転によって、円弧部分６６ｂと平坦部分６６ｃとの位
置が変位する。
【００６９】図１１（ａ）に示すように、円弧部分６６
ｂが密閉蓋６１の端部に位置するときは、円弧部分６６
ｂが密閉蓋６１の端部から突出して、カセット本体６２
に設けられた凹部（図示せず）に入り込むので、密閉蓋
６１をカセット本体６２に取り付けることができる。図
１１（ｂ）に示すように、平坦部分６６ｃが密閉蓋６１
の端部に位置するときは、平坦部分６６ｃが蓋の端部か
ら突出しないので、密閉蓋６１をカセット本体６２から
取り外すことができる。したがって、密閉蓋６１を取り
外すときは、平坦部分６６ｃが密閉蓋６１の端部に位置
するように、鍵を鍵穴６３に差し込んで回転させればよ
い。反対に、密閉蓋６１を取り付けるときは、円弧部分
６６ｂが密閉蓋６１の端部に位置するように、鍵を鍵穴
６３に差し込んで回転させればよい。
ｂが密閉蓋６１の端部に位置するときは、円弧部分６６
ｂが密閉蓋６１の端部から突出して、カセット本体６２
に設けられた凹部（図示せず）に入り込むので、密閉蓋
６１をカセット本体６２に取り付けることができる。図
１１（ｂ）に示すように、平坦部分６６ｃが密閉蓋６１
の端部に位置するときは、平坦部分６６ｃが蓋の端部か
ら突出しないので、密閉蓋６１をカセット本体６２から
取り外すことができる。したがって、密閉蓋６１を取り
外すときは、平坦部分６６ｃが密閉蓋６１の端部に位置
するように、鍵を鍵穴６３に差し込んで回転させればよ
い。反対に、密閉蓋６１を取り付けるときは、円弧部分
６６ｂが密閉蓋６１の端部に位置するように、鍵を鍵穴
６３に差し込んで回転させればよい。
【００７０】図１２は、図８に示す密着機構付きカセッ
ト台７５に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動
作順序説明図であり、図１３は、図１２の要部拡大断面
図である。この図１２及び図１３を参照して、密閉蓋着
脱装置９０によって、密閉カセット６０の密閉蓋６１を
取り外す手順を説明する。
ト台７５に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動
作順序説明図であり、図１３は、図１２の要部拡大断面
図である。この図１２及び図１３を参照して、密閉蓋着
脱装置９０によって、密閉カセット６０の密閉蓋６１を
取り外す手順を説明する。
【００７１】 図１２（ａ）及び図１３（ａ）に示す
ように、密閉カセット６０の密閉蓋６１が密閉型ロボッ
ト収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２に対向
するように密着機構付きカセット台７５に載置される
と、クランプ機構７６（図８）によって密閉カセット６
０が固定される。
ように、密閉カセット６０の密閉蓋６１が密閉型ロボッ
ト収納クリーンルーム８０のカセット用開口８２に対向
するように密着機構付きカセット台７５に載置される
と、クランプ機構７６（図８）によって密閉カセット６
０が固定される。
【００７２】 図１２（ｂ）及び図１３（ｂ）に示す
ように、密着機構付きカセット台７５に設けられたスラ
イド機構７８（図８）によって、密閉カセット６０のカ
セット本体６２が密閉型ロボット収納クリーンルーム８
０の隔壁８４（図８）に密着する位置までスライドさせ
る。このとき、密閉蓋着脱装置９０の吸着機構９５によ
って密閉蓋６１が吸着されて、開閉板９１に吸着され
る。また、密閉蓋６１の鍵穴６３（図１１）には、密閉
蓋着脱装置９０に設けられた鍵機構９４が差し込まれた
状態になるので、鍵機構９４を回転させて、密閉蓋６１
をカセット本体６２から取り外し可能な状態にする。
ように、密着機構付きカセット台７５に設けられたスラ
イド機構７８（図８）によって、密閉カセット６０のカ
セット本体６２が密閉型ロボット収納クリーンルーム８
０の隔壁８４（図８）に密着する位置までスライドさせ
る。このとき、密閉蓋着脱装置９０の吸着機構９５によ
って密閉蓋６１が吸着されて、開閉板９１に吸着され
る。また、密閉蓋６１の鍵穴６３（図１１）には、密閉
蓋着脱装置９０に設けられた鍵機構９４が差し込まれた
状態になるので、鍵機構９４を回転させて、密閉蓋６１
をカセット本体６２から取り外し可能な状態にする。
【００７３】 図１２（ｃ）及び図１３（ｃ）に示す
ように、密閉蓋着脱装置９０のＸ方向スライド機構９２
によって、開閉板９１に密閉蓋６１を吸着させた状態
で、Ｘ方向に移動させることによって密閉蓋６１をカセ
ット本体６２から取り外す。なお、カセット用開口８２
の大きさよりも、密閉蓋６１の大きさの方が小さいの
で、密閉蓋６１がカセット用開口８２を通過できる。こ
のときに、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカ
セット用開口８２は、密閉蓋着脱装置９０がカセット用
開口８２から離れるために、カセット用開口８２が塞が
れていない状態になるが、カセット本体６２が密着して
いるために、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内
は設定クリーン度に維持される。すなわち、密閉型ロボ
ット収納クリーンルーム８０内及び密閉カセット６０内
は、前述したように、設定クリーン度に維持されている
ために、基板４１が外部雰囲気の影響を受けることはな
い。
ように、密閉蓋着脱装置９０のＸ方向スライド機構９２
によって、開閉板９１に密閉蓋６１を吸着させた状態
で、Ｘ方向に移動させることによって密閉蓋６１をカセ
ット本体６２から取り外す。なお、カセット用開口８２
の大きさよりも、密閉蓋６１の大きさの方が小さいの
で、密閉蓋６１がカセット用開口８２を通過できる。こ
のときに、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０のカ
セット用開口８２は、密閉蓋着脱装置９０がカセット用
開口８２から離れるために、カセット用開口８２が塞が
れていない状態になるが、カセット本体６２が密着して
いるために、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０内
は設定クリーン度に維持される。すなわち、密閉型ロボ
ット収納クリーンルーム８０内及び密閉カセット６０内
は、前述したように、設定クリーン度に維持されている
ために、基板４１が外部雰囲気の影響を受けることはな
い。
【００７４】 図１２（ｄ）及び図１３（ｄ）に示す
ように、密閉蓋着脱装置９０の開閉板９１が上下方向ス
ライド機構９３によって下方に移動すると、基板搬入出
ロボット１１０によって基板４１を搬入出できる状態に
なる。
ように、密閉蓋着脱装置９０の開閉板９１が上下方向ス
ライド機構９３によって下方に移動すると、基板搬入出
ロボット１１０によって基板４１を搬入出できる状態に
なる。
【００７５】図１４は、Ｏリング８５の取り付け例を示
す図である。同図に示すように、隔壁８４にＯリング８
５等のシール部材を取り付けて、隔壁８４と開閉板９１
との間に生じる隙間及び隔壁８４とカセット本体６２と
の間に生じる隙間を塞ぐようにすれば、より気密度が増
す。なお、Ｏリング等シール部材は、開閉板９１及びカ
セット本体６２に取り付けてもよく、また、隔壁８４と
開閉板９１及びカセット本体６２との両方に取り付けて
もよい。
す図である。同図に示すように、隔壁８４にＯリング８
５等のシール部材を取り付けて、隔壁８４と開閉板９１
との間に生じる隙間及び隔壁８４とカセット本体６２と
の間に生じる隙間を塞ぐようにすれば、より気密度が増
す。なお、Ｏリング等シール部材は、開閉板９１及びカ
セット本体６２に取り付けてもよく、また、隔壁８４と
開閉板９１及びカセット本体６２との両方に取り付けて
もよい。
【００７６】図１５は、本発明の前方移載型搬送台車５
５及び密着機構付きカセット台７５を用いた設備動作順
序説明図であり、この図１５を参照して前述した設備に
おいて密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から
密着機構付きカセット台７５に移載した後に、基板搬入
出ロボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの
手順を説明する。
５及び密着機構付きカセット台７５を用いた設備動作順
序説明図であり、この図１５を参照して前述した設備に
おいて密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から
密着機構付きカセット台７５に移載した後に、基板搬入
出ロボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの
手順を説明する。
【００７７】 図１５（ａ）に示すように、密閉カセ
ット６０を載置した前方移載型搬送台車５５を目的とす
る密着機構付きカセット台７５台車の方向に移動させ
る。 図１５（ｂ）に示すように、前方移載型搬送台車５
５が密着機構付きカセット台７５の前まで移動する。 図１５（ｃ）に示すように、前方移載型搬送台車５
５のリンクアーム５６及び昇降機構５７（図９）を可動
させて密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から
密着機構付きカセット台７５に移載する。このときに、
密着機構付きカセット台７５に備えられたクランプ機構
７６（図８）によって、密閉カセット６０は密着機構付
きカセット台７５に固定される。 図１５（ｄ）に示すように、前方移載型搬送台車５
５のリンクアーム５６及び昇降機構５７（図９）を元の
位置まで戻す。
ット６０を載置した前方移載型搬送台車５５を目的とす
る密着機構付きカセット台７５台車の方向に移動させ
る。 図１５（ｂ）に示すように、前方移載型搬送台車５
５が密着機構付きカセット台７５の前まで移動する。 図１５（ｃ）に示すように、前方移載型搬送台車５
５のリンクアーム５６及び昇降機構５７（図９）を可動
させて密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５から
密着機構付きカセット台７５に移載する。このときに、
密着機構付きカセット台７５に備えられたクランプ機構
７６（図８）によって、密閉カセット６０は密着機構付
きカセット台７５に固定される。 図１５（ｄ）に示すように、前方移載型搬送台車５
５のリンクアーム５６及び昇降機構５７（図９）を元の
位置まで戻す。
【００７８】 図１５（ｅ）に示すように、密閉カセ
ット６０が密着機構付きカセット台７５に載置される
と、前述したようにスライド機構７８（図８）によって
密閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０の壁に密着する位置までスライ
ドさせる。その後、図１２及び図１３に示す手順で、密
閉カセット６０の密閉蓋６１を取り外し、基板搬入出ロ
ボット１１０が基板を搬出可能状態にする。また、前方
移載型搬送台車５５を密着機構付きカセット台７５の前
から他の位置に移動させる。なお、前方移載型搬送台車
５５は、全ての基板４１の処理が終わるまで、密着機構
付きカセット台７５の前に停止したままでもよいが、他
の前方移載型搬送台車５５の通行の妨げとなるので、通
常、他の位置に移動させる。そして、全ての基板４１の
処理が終わってから、基板４１を収納した密閉カセット
６０を密着機構付きカセット台７５から前方移載型搬送
台車５５に移載して、他の個所に搬送する。このときの
作業は、密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５か
ら密着機構付きカセット台７５に移載するときと逆の手
順となる。
ット６０が密着機構付きカセット台７５に載置される
と、前述したようにスライド機構７８（図８）によって
密閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０の壁に密着する位置までスライ
ドさせる。その後、図１２及び図１３に示す手順で、密
閉カセット６０の密閉蓋６１を取り外し、基板搬入出ロ
ボット１１０が基板を搬出可能状態にする。また、前方
移載型搬送台車５５を密着機構付きカセット台７５の前
から他の位置に移動させる。なお、前方移載型搬送台車
５５は、全ての基板４１の処理が終わるまで、密着機構
付きカセット台７５の前に停止したままでもよいが、他
の前方移載型搬送台車５５の通行の妨げとなるので、通
常、他の位置に移動させる。そして、全ての基板４１の
処理が終わってから、基板４１を収納した密閉カセット
６０を密着機構付きカセット台７５から前方移載型搬送
台車５５に移載して、他の個所に搬送する。このときの
作業は、密閉カセット６０を前方移載型搬送台車５５か
ら密着機構付きカセット台７５に移載するときと逆の手
順となる。
【００７９】（実施例２）以下に記載する実施例２は、
図１０に示す密閉カセット６０を搭載した図１６に示す
下降移載型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０の
内部まで移動して、この下降移載型搬送台車５０の昇降
機構５１によって密閉カセット６０を台車収納型カセッ
ト台７０に移載し、密閉カセット６０を密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０に密着させた後に、密閉カセッ
ト６０の密閉蓋６１と密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０のカセット用開口８２とを開き、基板搬入出ロボ
ット１１０が密閉カセット６０に収納された基板４１を
密閉カセット６０と基板処理装置１０２との間で搬送す
るカセット搬送方法及びカセット搬送システムに関する
実施例であり、出願時の請求項１及び請求項３及び請求
項４及び請求項５及び請求項７及び請求項８及び請求項
１０及び請求項１３及び請求項１５及び請求項１６及び
請求項１７及び請求項１９及び請求項２０及び請求項２
１の発明に対応している。
図１０に示す密閉カセット６０を搭載した図１６に示す
下降移載型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０の
内部まで移動して、この下降移載型搬送台車５０の昇降
機構５１によって密閉カセット６０を台車収納型カセッ
ト台７０に移載し、密閉カセット６０を密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０に密着させた後に、密閉カセッ
ト６０の密閉蓋６１と密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０のカセット用開口８２とを開き、基板搬入出ロボ
ット１１０が密閉カセット６０に収納された基板４１を
密閉カセット６０と基板処理装置１０２との間で搬送す
るカセット搬送方法及びカセット搬送システムに関する
実施例であり、出願時の請求項１及び請求項３及び請求
項４及び請求項５及び請求項７及び請求項８及び請求項
１０及び請求項１３及び請求項１５及び請求項１６及び
請求項１７及び請求項１９及び請求項２０及び請求項２
１の発明に対応している。
【００８０】図１６は、本発明に係る密閉カセット６０
を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型
搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車
収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を
設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーン
ルーム８０とを示す図であり、図１７は、リンクアーム
及びＦＦＵを備えていない図１６に示す本発明に係る下
降移載型搬送台車５０を示す図であり、図１８は、密閉
カセット６０を載置した下降移載型搬送台車５０が、台
車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動した
状態を示す説明図である。
を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型
搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車
収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を
設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーン
ルーム８０とを示す図であり、図１７は、リンクアーム
及びＦＦＵを備えていない図１６に示す本発明に係る下
降移載型搬送台車５０を示す図であり、図１８は、密閉
カセット６０を載置した下降移載型搬送台車５０が、台
車収納型カセット台７０に形成された空間内に移動した
状態を示す説明図である。
【００８１】下降移載型搬送台車５０は、図１６及び図
１７に示すように、昇降機構５１を備えていて、昇降機
構５１の上部に密閉カセット６０を載置できるようにな
っている搬送台車であり、昇降機構５１によって密閉カ
セット６０等を上下に昇降させることができる。なお、
密閉カセット６０の底面及び昇降機構５１の上部ににぞ
れぞれ形成された凹凸によって、おおよその位置決めを
している。また、下降移載型搬送台車５０は、密閉カセ
ット６０以外にオープンカセット４０でも載置できる。
また、従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０のように
リンクアームを備えていない。
１７に示すように、昇降機構５１を備えていて、昇降機
構５１の上部に密閉カセット６０を載置できるようにな
っている搬送台車であり、昇降機構５１によって密閉カ
セット６０等を上下に昇降させることができる。なお、
密閉カセット６０の底面及び昇降機構５１の上部ににぞ
れぞれ形成された凹凸によって、おおよその位置決めを
している。また、下降移載型搬送台車５０は、密閉カセ
ット６０以外にオープンカセット４０でも載置できる。
また、従来技術の密閉容器一体型搬送台車１０のように
リンクアームを備えていない。
【００８２】台車収納型カセット台７０は、図１６及び
図１８に示すように、密閉カセット６０を搭載した下降
移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成し
たカセット台であり、台車収納型カセット台７０の上部
に密閉カセット６０等を載置するカセット載置台７２と
カセット載置台７２に設けられた密閉カセット６０等を
固定するクランプ機構７１とカセット載置台７２をスラ
イドさせるスライド機構７３とを備えている。したがっ
て、密閉カセット６０等をカセット載置台７２に載置し
てクランプ機構７１によって密閉カセット６０等を固定
した後、スライド機構７３によってカセット載置台７２
をスライドさせて、密閉カセット６０を密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０に密着させる。
図１８に示すように、密閉カセット６０を搭載した下降
移載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成し
たカセット台であり、台車収納型カセット台７０の上部
に密閉カセット６０等を載置するカセット載置台７２と
カセット載置台７２に設けられた密閉カセット６０等を
固定するクランプ機構７１とカセット載置台７２をスラ
イドさせるスライド機構７３とを備えている。したがっ
て、密閉カセット６０等をカセット載置台７２に載置し
てクランプ機構７１によって密閉カセット６０等を固定
した後、スライド機構７３によってカセット載置台７２
をスライドさせて、密閉カセット６０を密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０に密着させる。
【００８３】また、図１８に示すように、密閉カセット
６０の幅よりも昇降機構５１の幅が狭いために、台車収
納型カセット台７０のカセット載置台７２に干渉するこ
となく台車収納型カセット台７０に形成された空間内に
移動できる。したがって、台車収納型カセット台７０の
昇降機構を下降させると、密閉カセット６０を台車収納
型カセット台７０のカセット載置台７２の上に移載する
ことができる。
６０の幅よりも昇降機構５１の幅が狭いために、台車収
納型カセット台７０のカセット載置台７２に干渉するこ
となく台車収納型カセット台７０に形成された空間内に
移動できる。したがって、台車収納型カセット台７０の
昇降機構を下降させると、密閉カセット６０を台車収納
型カセット台７０のカセット載置台７２の上に移載する
ことができる。
【００８４】図１６の密閉型ロボット収納クリーンルー
ム８０、密閉蓋着脱装置９０等は、実施例１と同様であ
るので、説明を省略する。
ム８０、密閉蓋着脱装置９０等は、実施例１と同様であ
るので、説明を省略する。
【００８５】また、台車収納型カセット台７０に載置さ
れた密閉カセット６０の密閉蓋着脱動作も実施例１と同
様であるので、説明を省略する。
れた密閉カセット６０の密閉蓋着脱動作も実施例１と同
様であるので、説明を省略する。
【００８６】図１９は、本発明の下降移載型搬送台車５
０及び台車収納型カセット台７０を用いた設備動作順序
説明図であり、この図１９を参照して前述した設備にお
いて密閉カセット６０を下降移載型搬送台車５０から台
車収納型カセット台７０に移載した後に、基板搬入出ロ
ボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの手順
を説明する。
０及び台車収納型カセット台７０を用いた設備動作順序
説明図であり、この図１９を参照して前述した設備にお
いて密閉カセット６０を下降移載型搬送台車５０から台
車収納型カセット台７０に移載した後に、基板搬入出ロ
ボット１１０が基板を搬出できる状態になるまでの手順
を説明する。
【００８７】 図１９（ａ）に示すように、密閉カセ
ット６０を載置した下降移載型搬送台車５０を目的とす
る台車収納型カセット台７０の方向に移動させる。
ット６０を載置した下降移載型搬送台車５０を目的とす
る台車収納型カセット台７０の方向に移動させる。
【００８８】 図１９（ｂ）に示すように、下降移載
型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の前まで移
動する。
型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の前まで移
動する。
【００８９】 図１９（ｃ）に示すように、密閉カセ
ット６０を搭載したままで、下降移載型搬送台車５０台
車を収納型カセット台７０に形成された空間内に移動す
る。このとき、密閉カセット６０の密閉蓋６１が、密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０の方向に位置するよ
うにする。その後、下降移載型搬送台車５０の昇降機構
５１（図１７）を下降させて、密閉カセット６０を台車
収納型カセット台７０に載置し、クランプ機構７１（図
１６）によって、密閉カセット６０を固定する。
ット６０を搭載したままで、下降移載型搬送台車５０台
車を収納型カセット台７０に形成された空間内に移動す
る。このとき、密閉カセット６０の密閉蓋６１が、密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０の方向に位置するよ
うにする。その後、下降移載型搬送台車５０の昇降機構
５１（図１７）を下降させて、密閉カセット６０を台車
収納型カセット台７０に載置し、クランプ機構７１（図
１６）によって、密閉カセット６０を固定する。
【００９０】 図１９（ｄ）に示すように、下降移載
型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０から他の位
置に移動させる。なお、下降移載型搬送台車５０は、密
閉カセット６０に収納された全ての基板４１の処理が終
わるまで、台車収納型カセット台７０に形成された空間
内に停止していてもよいが、通常は他の位置に移動させ
て、他の密閉カセット６０を搬送する。
型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０から他の位
置に移動させる。なお、下降移載型搬送台車５０は、密
閉カセット６０に収納された全ての基板４１の処理が終
わるまで、台車収納型カセット台７０に形成された空間
内に停止していてもよいが、通常は他の位置に移動させ
て、他の密閉カセット６０を搬送する。
【００９１】 図１９（ｅ）に示すように、密閉カセ
ット６０が台車収納型カセット台７０に載置されると、
前述したようにスライド機構７３（図１６）によって密
閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット収
納クリーンルーム８０の壁に密着する位置までスライド
させる。その後、図１２及び図１３に示す手順で、密閉
カセット６０の密閉蓋６１を取り外し、基板搬入出ロボ
ット１１０が基板を搬出可能状態にする。
ット６０が台車収納型カセット台７０に載置されると、
前述したようにスライド機構７３（図１６）によって密
閉カセット６０のカセット本体６２が密閉型ロボット収
納クリーンルーム８０の壁に密着する位置までスライド
させる。その後、図１２及び図１３に示す手順で、密閉
カセット６０の密閉蓋６１を取り外し、基板搬入出ロボ
ット１１０が基板を搬出可能状態にする。
【００９２】（実施例３）以下に記載する実施例３は、
後述する図２０に示すように、（密閉カセット６０では
なく）オープンカセット４０を搭載した下降移載型搬送
台車５０を台車収納型カセット台７０の内部まで移動し
て、上記下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１によっ
てオープンカセット４０を台車収納型カセット台７０に
移載し、開放型ロボット収納クリーンルーム３０に設置
された基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４
０に収納された基板４１をオープンカセット４０と基板
処理装置１０２との間で搬送するカセット搬送方法及び
カセット搬送システムに関する実施例であり、出願時の
請求項４及び請求項６及び請求項１６及び請求項１８の
発明に対応している。
後述する図２０に示すように、（密閉カセット６０では
なく）オープンカセット４０を搭載した下降移載型搬送
台車５０を台車収納型カセット台７０の内部まで移動し
て、上記下降移載型搬送台車５０の昇降機構５１によっ
てオープンカセット４０を台車収納型カセット台７０に
移載し、開放型ロボット収納クリーンルーム３０に設置
された基板搬入出ロボット１１０がオープンカセット４
０に収納された基板４１をオープンカセット４０と基板
処理装置１０２との間で搬送するカセット搬送方法及び
カセット搬送システムに関する実施例であり、出願時の
請求項４及び請求項６及び請求項１６及び請求項１８の
発明に対応している。
【００９３】図２０は、本発明に係るオープンカセット
４０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移
載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した
台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０
等を設置した本発明に適用する開放型ロボット収納クリ
ーンルーム３０とを示す図である。
４０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移
載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した
台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０
等を設置した本発明に適用する開放型ロボット収納クリ
ーンルーム３０とを示す図である。
【００９４】開放型ロボット収納クリーンルーム３０、
下降移載型搬送台車５０等は、実施例１及び実施例２と
同じである。なお、実施例１のように、オープンカセッ
ト４０を開放型ロボット収納クリーンルーム３０に密着
させる必要はないので、台車収納型カセット台７０は、
オープンカセット４０をスライドさせるスライド機構７
３を備えていなくてもよい。ただし、オープンカセット
４０の位置を多少スライドさせた方が、基板搬入出ロボ
ット１１０が基板４１を搬入出しやすい場合は、スライ
ド機構７３を設けてもよい。
下降移載型搬送台車５０等は、実施例１及び実施例２と
同じである。なお、実施例１のように、オープンカセッ
ト４０を開放型ロボット収納クリーンルーム３０に密着
させる必要はないので、台車収納型カセット台７０は、
オープンカセット４０をスライドさせるスライド機構７
３を備えていなくてもよい。ただし、オープンカセット
４０の位置を多少スライドさせた方が、基板搬入出ロボ
ット１１０が基板４１を搬入出しやすい場合は、スライ
ド機構７３を設けてもよい。
【００９５】このように、オープンカセット４０を下降
移載型搬送台車５０を用いて搬送することもできる。こ
の場合、設備設置クリーンルーム１００の全領域を設定
クリーン度に維持することが可能である場合は、リンク
アームを用いることなく昇降機構５１によって、カセッ
トを搬送台車からカセット台に移載するので、基板４１
が大型化して基板４１の重量が増大しても、従来のよう
に、搬送台車の重心が偏移して、搬送台車が不安定にな
ることがない。
移載型搬送台車５０を用いて搬送することもできる。こ
の場合、設備設置クリーンルーム１００の全領域を設定
クリーン度に維持することが可能である場合は、リンク
アームを用いることなく昇降機構５１によって、カセッ
トを搬送台車からカセット台に移載するので、基板４１
が大型化して基板４１の重量が増大しても、従来のよう
に、搬送台車の重心が偏移して、搬送台車が不安定にな
ることがない。
【００９６】図２１は、本発明の下降移載型搬送台車５
０及び台車収納型カセット台７０を用いてオープンカセ
ット４０を搬送するときの設備動作順序説明図であり、
この図２１を用いて前述した設備においてオープンカセ
ット４０を下降移載型搬送台車５０から台車収納型カセ
ット台７０に移載した後に、基板搬入出ロボット１１０
が基板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
０及び台車収納型カセット台７０を用いてオープンカセ
ット４０を搬送するときの設備動作順序説明図であり、
この図２１を用いて前述した設備においてオープンカセ
ット４０を下降移載型搬送台車５０から台車収納型カセ
ット台７０に移載した後に、基板搬入出ロボット１１０
が基板を搬出できる状態になるまでの手順を説明する。
【００９７】 図２１（ａ）に示すように、オープン
カセット４０を載置した下降移載型搬送台車５０を目的
とする台車収納型カセット台７０の方向に移動させる。
カセット４０を載置した下降移載型搬送台車５０を目的
とする台車収納型カセット台７０の方向に移動させる。
【００９８】 図２１（ｂ）に示すように、下降移載
型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の前まで移
動する。
型搬送台車５０が台車収納型カセット台７０の前まで移
動する。
【００９９】 図２１（ｃ）に示すように、下降移載
型搬送台車５０がオープンカセット４０を搭載したまま
で、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移
動する。その後、下降移載型搬送台車５０の昇降機構５
１（図２０）を下降させて、オープンカセット４０を台
車収納型カセット台７０に移載し、クランプ機構７１
（図２０）によって、オープンカセット４０を固定す
る。
型搬送台車５０がオープンカセット４０を搭載したまま
で、台車収納型カセット台７０に形成された空間内に移
動する。その後、下降移載型搬送台車５０の昇降機構５
１（図２０）を下降させて、オープンカセット４０を台
車収納型カセット台７０に移載し、クランプ機構７１
（図２０）によって、オープンカセット４０を固定す
る。
【０１００】 図２１（ｄ）に示すように、下降移載
型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０から他の位
置に移動させる。なお、下降移載型搬送台車５０は、オ
ープンカセット４０に収納された全ての基板４１の処理
が終わるまで、台車収納型カセット台７０に形成された
空間内に停止していてもよいが、通常は他の位置に移動
させて、他のオープンカセット４０を搬送する。
型搬送台車５０を台車収納型カセット台７０から他の位
置に移動させる。なお、下降移載型搬送台車５０は、オ
ープンカセット４０に収納された全ての基板４１の処理
が終わるまで、台車収納型カセット台７０に形成された
空間内に停止していてもよいが、通常は他の位置に移動
させて、他のオープンカセット４０を搬送する。
【０１０１】（実施例４）図２２を参照して以下に説明
する実施例４は、出願時の請求項１１及び請求項２２の
発明に対応している。
する実施例４は、出願時の請求項１１及び請求項２２の
発明に対応している。
【０１０２】図２２は、充電機構７４が備えられた台車
収納型カセット台７０及びその充電機構７４から充電す
ることのできる下降移載型搬送台車５０を示す図であ
る。この図２２に示すように、台車収納型カセット台７
０は、充電機構７４を備えていて、下降移載型搬送台車
５０は、充電機構７４に対応する位置に充電口５２を備
えている。この際、例えば、充電機構７４にプラグを設
け、充電口５２にソケットを設ければプラグをソケット
に差し込んで充電ができる。したがって、下降移載型搬
送台車５０がオープンカセット４０又は密閉カセット６
０を台車収納型カセット台７０に移載するために、台車
収納型カセット台７０に形成された空間内に移動したと
きに充電ができる。
収納型カセット台７０及びその充電機構７４から充電す
ることのできる下降移載型搬送台車５０を示す図であ
る。この図２２に示すように、台車収納型カセット台７
０は、充電機構７４を備えていて、下降移載型搬送台車
５０は、充電機構７４に対応する位置に充電口５２を備
えている。この際、例えば、充電機構７４にプラグを設
け、充電口５２にソケットを設ければプラグをソケット
に差し込んで充電ができる。したがって、下降移載型搬
送台車５０がオープンカセット４０又は密閉カセット６
０を台車収納型カセット台７０に移載するために、台車
収納型カセット台７０に形成された空間内に移動したと
きに充電ができる。
【０１０３】また、オープンカセット４０又は密閉カセ
ット６０を搬送していなくても、台車収納型カセット台
７０に形成された空間内に移動すれば充電ができる。な
お、充電機構７４と充電口５２との位置は、図２２に示
した位置に限定されるものではなく、他の位置に設けて
もよい。また、充電式の電池の形式も限定されるもので
はない。
ット６０を搬送していなくても、台車収納型カセット台
７０に形成された空間内に移動すれば充電ができる。な
お、充電機構７４と充電口５２との位置は、図２２に示
した位置に限定されるものではなく、他の位置に設けて
もよい。また、充電式の電池の形式も限定されるもので
はない。
【０１０４】（実施例５）図２３を参照して以下に説明
する実施例５は、出願時の請求項１２の発明に対応して
いる。
する実施例５は、出願時の請求項１２の発明に対応して
いる。
【０１０５】図２３は、本発明の下降移載型搬送台車５
０から台車収納型カセット台７０にオープンカセット４
０又は密閉カセット６０を移載しているときに、他の下
降移載型搬送台車５０が同一通路を移動するときの移動
方法説明図である。図２３（ａ）に示すように、下降移
載型搬送台車５０ａから台車収納型カセット台７０にオ
ープンカセット４０又は密閉カセット６０を移載する場
合は、下降移載型搬送台車５０ａが台車収納型カセット
台７０に形成された空間に収納されているので、移載中
の下降移載型搬送台車５０ａによって通路が塞がれな
い。
０から台車収納型カセット台７０にオープンカセット４
０又は密閉カセット６０を移載しているときに、他の下
降移載型搬送台車５０が同一通路を移動するときの移動
方法説明図である。図２３（ａ）に示すように、下降移
載型搬送台車５０ａから台車収納型カセット台７０にオ
ープンカセット４０又は密閉カセット６０を移載する場
合は、下降移載型搬送台車５０ａが台車収納型カセット
台７０に形成された空間に収納されているので、移載中
の下降移載型搬送台車５０ａによって通路が塞がれな
い。
【０１０６】また、通路を移動中の下降移載型搬送台車
５０ｂも台車収納型カセット台７０に形成された空間で
待避することができるので、図２３（ｂ）に示すよう
に、通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送台車
５０ｃが通路を移動することができる。したがって、下
降移載型搬送台車５０が１台しか通ることができない通
路幅であっても、同一通路において、複数台の下降移載
型搬送台車５０の移動が可能となる。
５０ｂも台車収納型カセット台７０に形成された空間で
待避することができるので、図２３（ｂ）に示すよう
に、通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送台車
５０ｃが通路を移動することができる。したがって、下
降移載型搬送台車５０が１台しか通ることができない通
路幅であっても、同一通路において、複数台の下降移載
型搬送台車５０の移動が可能となる。
【０１０７】なお、図２３（ｃ）に示すように、下降移
載型搬送台車２台分の通路幅にしてもよい。この場合に
おいても、移載中の下降移載型搬送台車５０ａによっ
て、通路が塞がれることがないだけでなく、通路を移動
中の下降移載型搬送台車５０ｂと通路の反対側から移動
してくる下降移載型搬送台車５０ｃとが同時に通路を移
動できるので、搬送効率を高めることができる。
載型搬送台車２台分の通路幅にしてもよい。この場合に
おいても、移載中の下降移載型搬送台車５０ａによっ
て、通路が塞がれることがないだけでなく、通路を移動
中の下降移載型搬送台車５０ｂと通路の反対側から移動
してくる下降移載型搬送台車５０ｃとが同時に通路を移
動できるので、搬送効率を高めることができる。
【０１０８】
【発明の効果】（１） 基板４１を密閉カセット６０に
収納すれば、設備設置クリーンルーム１００のクリーン
度に関係なく、ＦＦＵを備えていない搬送台車によっ
て、密閉カセット６０に収納された基板４１を設備設置
クリーンルーム１００内で搬送することができる。ま
た、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、隔壁を
有し、かつ、その内部を設定クリーン度に維持するため
のＦＦＵを備えているので、設定クリーン度を維持して
いる独立したクリーンルームとなっている。そこで、密
閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８
０に密着させた後、密閉蓋６１を取り外し、かつ、密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８
２を開けば、密閉カセット６０に収納された基板を、設
備設置クリーンルーム１００のクリーン度に関係なく密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０内に搬入すること
ができる。
収納すれば、設備設置クリーンルーム１００のクリーン
度に関係なく、ＦＦＵを備えていない搬送台車によっ
て、密閉カセット６０に収納された基板４１を設備設置
クリーンルーム１００内で搬送することができる。ま
た、密閉型ロボット収納クリーンルーム８０は、隔壁を
有し、かつ、その内部を設定クリーン度に維持するため
のＦＦＵを備えているので、設定クリーン度を維持して
いる独立したクリーンルームとなっている。そこで、密
閉カセット６０を密閉型ロボット収納クリーンルーム８
０に密着させた後、密閉蓋６１を取り外し、かつ、密閉
型ロボット収納クリーンルーム８０のカセット用開口８
２を開けば、密閉カセット６０に収納された基板を、設
備設置クリーンルーム１００のクリーン度に関係なく密
閉型ロボット収納クリーンルーム８０内に搬入すること
ができる。
【０１０９】したがって、設備設置クリーンルーム１０
０の全領域クリーン度を引き下げることができるので、
設備設置クリーンルーム１００の設備費を低減させるこ
とができる。また、ランニングコストも低減させること
ができる。さらに、搬送台車にＦＦＵを備える必要がな
いので、その分の設備費とランニングコストを低減させ
ることができる。
０の全領域クリーン度を引き下げることができるので、
設備設置クリーンルーム１００の設備費を低減させるこ
とができる。また、ランニングコストも低減させること
ができる。さらに、搬送台車にＦＦＵを備える必要がな
いので、その分の設備費とランニングコストを低減させ
ることができる。
【０１１０】即ち、従来技術では、全領域クリーン度を
ｃｌａｓｓ１０〜１００の予め定めた設定クリーン度に
なるように全領域クリーン設備を稼働させていたが、本
発明では、全領域クリーン度を、例えば、ｃｌａｓｓ１
０を１００に引き下げたり、ｃｌａｓｓ１００を１００
０に引き下げることも可能になる。
ｃｌａｓｓ１０〜１００の予め定めた設定クリーン度に
なるように全領域クリーン設備を稼働させていたが、本
発明では、全領域クリーン度を、例えば、ｃｌａｓｓ１
０を１００に引き下げたり、ｃｌａｓｓ１００を１００
０に引き下げることも可能になる。
【０１１１】なお、この効果は、実施例１に示したよう
な前方移載型搬送台車５５及び密着機構付きカセット台
７５を用いた設備でも、実施例２に示したような下降移
載型搬送台車５０及び台車収納型カセット台７０を用い
た設備でも得られる。
な前方移載型搬送台車５５及び密着機構付きカセット台
７５を用いた設備でも、実施例２に示したような下降移
載型搬送台車５０及び台車収納型カセット台７０を用い
た設備でも得られる。
【０１１２】（２）搬送台車５０が、カセットを上部に
搭載する下降移載型搬送台車５０であり、さらに、カセ
ット台７０が、上記カセットを搭載した下降移載型搬送
台車５０をカセット台の内部に収納することができる空
間を形成した台車収納型カセット台７０であるカセット
搬送システムであると、下降移載型搬送台車５０が台車
収納型カセット台７０の内部まで移動した後に、リンク
アームを用いることなく搬送台車の昇降機構によって、
下降移載型搬送台車５０に載置されたカセットを台車収
納型カセット台７０に移載することができる。
搭載する下降移載型搬送台車５０であり、さらに、カセ
ット台７０が、上記カセットを搭載した下降移載型搬送
台車５０をカセット台の内部に収納することができる空
間を形成した台車収納型カセット台７０であるカセット
搬送システムであると、下降移載型搬送台車５０が台車
収納型カセット台７０の内部まで移動した後に、リンク
アームを用いることなく搬送台車の昇降機構によって、
下降移載型搬送台車５０に載置されたカセットを台車収
納型カセット台７０に移載することができる。
【０１１３】したがって、従来必要であった搬送台車の
リンクアームが不必要になり、関連するモータ等も不要
とになり、搬送台車の構造が簡単になるので、重量も軽
くなり、小型化できると共に、その分だけ搬送台車の設
備費が低減する。
リンクアームが不必要になり、関連するモータ等も不要
とになり、搬送台車の構造が簡単になるので、重量も軽
くなり、小型化できると共に、その分だけ搬送台車の設
備費が低減する。
【０１１４】また、リンクアームを用いることなく昇降
機構だけによって、カセットを搬送台車からカセット台
に移載するので、基板４１が大型化して基板４１の重量
が増大しても、従来のように、カセット移載時に搬送台
車の重心が偏移して、搬送台車が不安定になることがな
くなる。
機構だけによって、カセットを搬送台車からカセット台
に移載するので、基板４１が大型化して基板４１の重量
が増大しても、従来のように、カセット移載時に搬送台
車の重心が偏移して、搬送台車が不安定になることがな
くなる。
【０１１５】また、基板４１が大型化して基板４１の重
量が増大しても、従来のようにカセット移載時に搬送台
車の重心が偏移することがないので、安定化のために搬
送台車５０の重量を増加させなくてもよいので、床の耐
重量が低い設備設置クリーンルーム１００でも搬送台車
５０を使用できる。
量が増大しても、従来のようにカセット移載時に搬送台
車の重心が偏移することがないので、安定化のために搬
送台車５０の重量を増加させなくてもよいので、床の耐
重量が低い設備設置クリーンルーム１００でも搬送台車
５０を使用できる。
【０１１６】さらに、本発明に係る下降移載型搬送搬送
台車５０は小型化できるので、従来の搬送台車の通路幅
よりも縮小することができ、設備設置クリーンルーム１
００の設置面積を有効利用できる。従って、本発明に係
る下降移載型搬送搬送台車５０は、基板４１が大型化し
た場合でも、（５）項で後述するように、従来の通路幅
のままで通過することができる。
台車５０は小型化できるので、従来の搬送台車の通路幅
よりも縮小することができ、設備設置クリーンルーム１
００の設置面積を有効利用できる。従って、本発明に係
る下降移載型搬送搬送台車５０は、基板４１が大型化し
た場合でも、（５）項で後述するように、従来の通路幅
のままで通過することができる。
【０１１７】（３）密閉カセット６０を密閉型ロボッ
ト収納クリーンルーム８０に密着させた後、密閉蓋６１
を取り外し、かつ、密閉型ロボット収納クリーンルーム
８０のカセット用開口８２を開いて、密閉カセット６０
に収納された基板４１を搬入出する設備と、カセット
を上部に搭載する下降移載型搬送台車５０と、上記カ
セットを搭載した下降移載型搬送台車５０を内部まで移
動させる空間を形成した台車収納型カセット台７０とを
組み合わせると、設備設置クリーンルーム１００の全領
域クリーン度の引き下げと合わせて、（５）項で後述す
るように、（ａ）従来の大きさの基板では、搬送台車の
設備費の低減及び通路幅の縮小を図ることができ、
（ｂ）また、基板４１が大型化した場合でも、従来の通
路幅のままで通過することができるので、設備設置クリ
ーンルーム１００の増設を必要としない。
ト収納クリーンルーム８０に密着させた後、密閉蓋６１
を取り外し、かつ、密閉型ロボット収納クリーンルーム
８０のカセット用開口８２を開いて、密閉カセット６０
に収納された基板４１を搬入出する設備と、カセット
を上部に搭載する下降移載型搬送台車５０と、上記カ
セットを搭載した下降移載型搬送台車５０を内部まで移
動させる空間を形成した台車収納型カセット台７０とを
組み合わせると、設備設置クリーンルーム１００の全領
域クリーン度の引き下げと合わせて、（５）項で後述す
るように、（ａ）従来の大きさの基板では、搬送台車の
設備費の低減及び通路幅の縮小を図ることができ、
（ｂ）また、基板４１が大型化した場合でも、従来の通
路幅のままで通過することができるので、設備設置クリ
ーンルーム１００の増設を必要としない。
【０１１８】（４） 台車収納型カセット台７０に、下
降移載型搬送台車５０用の充電機構７４が備えられてい
ると、下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台
７０の内部まで移動したときに、下降移載型搬送台車５
０の充電ができるので、設備設置クリーンルーム１００
に充電中の搬送台車を設置しておくスペースを設ける必
要がなくなる。その結果、設備設置クリーンルーム１０
０の設置面積を有効利用することができる。また、基板
４１が大型化した場合でも、従来の充電中の搬送台車を
設置しておくスペースを、基板４１の大型化のために増
大するスペースに活用することができるので、設備設置
クリーンルーム１００の増設を必要としない。
降移載型搬送台車５０用の充電機構７４が備えられてい
ると、下降移載型搬送台車５０が台車収納型カセット台
７０の内部まで移動したときに、下降移載型搬送台車５
０の充電ができるので、設備設置クリーンルーム１００
に充電中の搬送台車を設置しておくスペースを設ける必
要がなくなる。その結果、設備設置クリーンルーム１０
０の設置面積を有効利用することができる。また、基板
４１が大型化した場合でも、従来の充電中の搬送台車を
設置しておくスペースを、基板４１の大型化のために増
大するスペースに活用することができるので、設備設置
クリーンルーム１００の増設を必要としない。
【０１１９】（５）下降移載型搬送台車５０が台車収納
型カセット台７０の内部まで移動して停止中に又は内部
まで移動して待避させて、他の下降移載型搬送台車５０
が、通路を通過できるので、停止又は待避している下降
移載型搬送台車５０によって、通路を塞ぐことがなく、
搬送効率を高めると共に、従来よりも通路幅を縮小する
ことができる。また、図７（ｂ）に示した従来の３台分
の通路幅が、図２３（ｃ）に示した本発明を利用した２
台分の通路幅になるために、基板４１が大型化した場合
でも、従来の通路幅のままで通過することができるの
で、設備設置クリーンルーム１００の増設を必要としな
い。
型カセット台７０の内部まで移動して停止中に又は内部
まで移動して待避させて、他の下降移載型搬送台車５０
が、通路を通過できるので、停止又は待避している下降
移載型搬送台車５０によって、通路を塞ぐことがなく、
搬送効率を高めると共に、従来よりも通路幅を縮小する
ことができる。また、図７（ｂ）に示した従来の３台分
の通路幅が、図２３（ｃ）に示した本発明を利用した２
台分の通路幅になるために、基板４１が大型化した場合
でも、従来の通路幅のままで通過することができるの
で、設備設置クリーンルーム１００の増設を必要としな
い。
【図１】 図１は、当該出願に係る発明の特徴を最もよ
く表す図である。
く表す図である。
【図２】 図２は、基板処理工程の設備例を示す基板処
理工程設備配置図である。
理工程設備配置図である。
【図３】 図３は、従来技術の密閉容器一体型搬送台車
１０からカセット台２０に載置されたオープンカセット
４０及び基板搬入出ロボット１１０を設置した従来技術
の開放型ロボット収納クリーンルーム３０を示す図であ
る。
１０からカセット台２０に載置されたオープンカセット
４０及び基板搬入出ロボット１１０を設置した従来技術
の開放型ロボット収納クリーンルーム３０を示す図であ
る。
【図４】 図４は、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）
１１及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンク
アーム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが
一体に形成された密閉容器一体型搬送台車１０を示す図
である。
１１及びシャッター１５を備えた密閉容器１２とリンク
アーム１３及び昇降機構１４を備えた搬送台車１６とが
一体に形成された密閉容器一体型搬送台車１０を示す図
である。
【図５】 図５は、基板搬入出ロボット１１０がオープ
ンカセット４０から基板４１を搬出するときのオープン
カセット４０及び基板搬入出ロボット１１０の斜視図で
ある。
ンカセット４０から基板４１を搬出するときのオープン
カセット４０及び基板搬入出ロボット１１０の斜視図で
ある。
【図６】 図６は、図３に示す従来技術の密閉容器一体
型搬送台車１０及び基板搬入出ロボット１１０等の設備
動作順序説明図である。
型搬送台車１０及び基板搬入出ロボット１１０等の設備
動作順序説明図である。
【図７】 図７は、従来の密閉容器一体型搬送台車１０
からカセット台２０にオープンカセット４０を移載する
密閉容器一体型搬送台車１０が通路に停止中に、他の密
閉容器一体型搬送台車１０が同一通路を移動するときの
移動方法説明図である。
からカセット台２０にオープンカセット４０を移載する
密閉容器一体型搬送台車１０が通路に停止中に、他の密
閉容器一体型搬送台車１０が同一通路を移動するときの
移動方法説明図である。
【図８】 図８は、本発明に係る密閉カセット６０を上
部に搭載した前方移載型搬送台車５５とスライド機構を
備えた密着機構付きカセット台７５と基板搬入出ロボッ
ト１１０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０とを示す図である。
部に搭載した前方移載型搬送台車５５とスライド機構を
備えた密着機構付きカセット台７５と基板搬入出ロボッ
ト１１０等を設置した本発明に適用する密閉型ロボット
収納クリーンルーム８０とを示す図である。
【図９】 図９は、リンクアーム５６及び昇降機構５７
を備えた図８に示す本発明に係る前方移載型搬送台車５
５を示す図である。
を備えた図８に示す本発明に係る前方移載型搬送台車５
５を示す図である。
【図１０】 図１０は、本発明に係る密閉カセット６０
の斜視図である。
の斜視図である。
【図１１】 図１１は、図１０の密閉カセット６０の鍵
機構を示す図であり、図１１（ａ）は、密閉蓋６１をカ
セット本体６２に取り付けるときの鍵機構の状態を示す
図であり、図１１（ｂ）は、密閉蓋６１をカセット本体
から取り外すときの鍵機構の状態を示す図である。
機構を示す図であり、図１１（ａ）は、密閉蓋６１をカ
セット本体６２に取り付けるときの鍵機構の状態を示す
図であり、図１１（ｂ）は、密閉蓋６１をカセット本体
から取り外すときの鍵機構の状態を示す図である。
【図１２】 図１２は、図８に示す密着機構付きカセッ
ト台７５に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動
作順序説明図である。
ト台７５に載置された密閉カセット６０の密閉蓋着脱動
作順序説明図である。
【図１３】 図１３は、図１２の要部拡大断面図であ
る。
る。
【図１４】 図１４は、Ｏリング８５の取り付け例を示
す図である。
す図である。
【図１５】 図１５は、本発明の前方移載型搬送台車５
５及び密着機構付きカセット台７５を用いた設備動作順
序説明図である。
５及び密着機構付きカセット台７５を用いた設備動作順
序説明図である。
【図１６】 図１６は、本発明に係る密閉カセット６０
を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型
搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車
収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を
設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーン
ルーム８０とを示す図である。
を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移載型
搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した台車
収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０等を
設置した本発明に適用する密閉型ロボット収納クリーン
ルーム８０とを示す図である。
【図１７】 図１７は、リンクアーム及びＦＦＵを備え
ていない図１６に示す本発明に係る下降移載型搬送台車
５０を示す図である。
ていない図１６に示す本発明に係る下降移載型搬送台車
５０を示す図である。
【図１８】 図１８は、密閉カセット６０を載置した下
降移載型搬送台車５０が、台車収納型カセット台７０に
形成された空間内に移動した状態を示す説明図である。
降移載型搬送台車５０が、台車収納型カセット台７０に
形成された空間内に移動した状態を示す説明図である。
【図１９】 図１９は、本発明の下降移載型搬送台車５
０及び台車収納型カセット台７０を用いた設備動作順序
説明図である。
０及び台車収納型カセット台７０を用いた設備動作順序
説明図である。
【図２０】 図２０は、本発明に係るオープンカセット
４０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移
載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した
台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０
等を設置した本発明に適用する開放型ロボット収納クリ
ーンルーム３０とを示す図である。
４０を上部に載置した下降移載型搬送台車５０と下降移
載型搬送台車５０を内部まで移動できる空間を形成した
台車収納型カセット台７０と基板搬入出ロボット１１０
等を設置した本発明に適用する開放型ロボット収納クリ
ーンルーム３０とを示す図である。
【図２１】 図２１は、本発明の下降移載型搬送台車５
０及び台車収納型カセット台７０を用いてオープンカセ
ット４０を搬送するときの設備動作順序説明図である。
０及び台車収納型カセット台７０を用いてオープンカセ
ット４０を搬送するときの設備動作順序説明図である。
【図２２】 図２２は、充電機構７４が備えられた台車
収納型カセット台７０及びその充電機構７４から充電す
ることのできる下降移載型搬送台車５０を示す図であ
る。
収納型カセット台７０及びその充電機構７４から充電す
ることのできる下降移載型搬送台車５０を示す図であ
る。
【図２３】 図２３は、本発明の下降移載型搬送台車５
０から台車収納型カセット台７０に密閉カセット６０を
移載しているときに、他の下降移載型搬送台車５０が同
一通路を移動するときの移動方法説明図である。
０から台車収納型カセット台７０に密閉カセット６０を
移載しているときに、他の下降移載型搬送台車５０が同
一通路を移動するときの移動方法説明図である。
１０ 密閉容器一体型搬送台車 １０ａ オープンカセット４０を移載中の密閉容器一体
型搬送台車 １０ｂ 通路を移動中の密閉容器一体型搬送台車 １０ｃ 通路の反対側から移動してくる密閉容器一体型
搬送台車 １１ ＦＦＵ １２ 密閉容器 １３ リンクアーム １４ 昇降機構 １５ シャッター １６ 搬送台車 ２０ カセット台 ２１ クランプ機構 ３０ 開放型ロボット収納クリーンルーム ３１ ＦＦＵ ３２ 基板処理装置用開口 ４０ オープンカセット ４１ 基板 ５０ 下降移載型搬送台車 ５０ａ 密閉カセット６０を移載中の下降移載型搬送台
車 ５０ｂ 通路を移動中の下降移載型搬送台車 ５０ｃ 通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送
台車 ５１ 昇降機構 ５２ 充電口 ５５ 前方移載型搬送台車 ５６ リンクアーム ５７ 昇降機構 ６０ 密閉カセット ６１ 密閉蓋 ６２ カセット本体 ６３ 鍵穴 ６４ 鍵穴回転板 ６５ 連結棒 ６６ 鍵板 ６６ａ 回転中心 ６６ｂ 円弧部分 ６６ｃ 平坦部分 ７０ 台車収納型カセット台 ７１ クランプ機構 ７２ カセット載置台 ７３ スライド機構 ７４ 充電機構 ７５ 密着機構付きカセット台 ７６ クランプ機構 ７７ カセット載置台 ７８ スライド機構 ８０ 密閉型ロボット収納クリーンルーム ８１ 基板処理装置用開口 ８２ カセット用開口 ８３ ＦＦＵ ８４ 隔壁 ８５ Ｏリング ９０ 密閉蓋着脱装置 ９１ 開閉板 ９２ Ｘ方向スライド機構 ９３ 上下方向スライド機構 ９４ 鍵機構 ９５ 吸着機構 １００ 設備設置クリーンルーム １０１ カセットストック場所 １０２ 基板処理装置 １１０ 基板搬入出ロボット １１１ ベース機構 １１２ 昇降機構 １１３ アーム機構 １１３ａ 第１のアーム １１３ｂ 第２のアーム １１４ ハンド部材
型搬送台車 １０ｂ 通路を移動中の密閉容器一体型搬送台車 １０ｃ 通路の反対側から移動してくる密閉容器一体型
搬送台車 １１ ＦＦＵ １２ 密閉容器 １３ リンクアーム １４ 昇降機構 １５ シャッター １６ 搬送台車 ２０ カセット台 ２１ クランプ機構 ３０ 開放型ロボット収納クリーンルーム ３１ ＦＦＵ ３２ 基板処理装置用開口 ４０ オープンカセット ４１ 基板 ５０ 下降移載型搬送台車 ５０ａ 密閉カセット６０を移載中の下降移載型搬送台
車 ５０ｂ 通路を移動中の下降移載型搬送台車 ５０ｃ 通路の反対側から移動してくる下降移載型搬送
台車 ５１ 昇降機構 ５２ 充電口 ５５ 前方移載型搬送台車 ５６ リンクアーム ５７ 昇降機構 ６０ 密閉カセット ６１ 密閉蓋 ６２ カセット本体 ６３ 鍵穴 ６４ 鍵穴回転板 ６５ 連結棒 ６６ 鍵板 ６６ａ 回転中心 ６６ｂ 円弧部分 ６６ｃ 平坦部分 ７０ 台車収納型カセット台 ７１ クランプ機構 ７２ カセット載置台 ７３ スライド機構 ７４ 充電機構 ７５ 密着機構付きカセット台 ７６ クランプ機構 ７７ カセット載置台 ７８ スライド機構 ８０ 密閉型ロボット収納クリーンルーム ８１ 基板処理装置用開口 ８２ カセット用開口 ８３ ＦＦＵ ８４ 隔壁 ８５ Ｏリング ９０ 密閉蓋着脱装置 ９１ 開閉板 ９２ Ｘ方向スライド機構 ９３ 上下方向スライド機構 ９４ 鍵機構 ９５ 吸着機構 １００ 設備設置クリーンルーム １０１ カセットストック場所 １０２ 基板処理装置 １１０ 基板搬入出ロボット １１１ ベース機構 １１２ 昇降機構 １１３ アーム機構 １１３ａ 第１のアーム １１３ｂ 第２のアーム １１４ ハンド部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｂ６５Ｇ 49/07 Ｌ (72)発明者 倉橋 孝治 大阪府大阪市淀川区田川２丁目１番11号 株式会社ダイヘン内 (72)発明者 中島 規雄 愛知県犬山市大字橋爪字中島２番地 村田 機械株式会社犬山工場内 (72)発明者 川口 正富 愛知県犬山市大字橋爪字中島２番地 村田 機械株式会社犬山工場内 Ｆターム(参考） 5F031 CA05 FA02 FA09 FA13 GA02 GA22 GA45 GA58 MA01 MA11 NA02 NA07 PA02 PA18 PA30
Claims (22)
- 【請求項１】 基板を収納したカセットを、搬送台車に
搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納ク
リーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、基
板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で基
板を搬入出するカセット搬送方法において、一側面に開
口を有したカセット本体とカセット本体の開口を密閉す
る密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセット本体
に対して着脱自在である密閉カセットに、基板を収納し
て前記密閉蓋を閉じる過程と、前記密閉カセットを搬送
台車に搭載する過程と、搬送台車に搭載した前記密閉カ
セットを、前記密閉蓋が密閉型ロボット収納クリーンル
ームに設けられたカセット用開口に対向するようにカセ
ット台に移載する過程と、前記密閉型ロボット収納クリ
ーンルームに前記密閉カセットを密着させる過程と、前
記カセット用開口を閉じている開閉板を開くと共に前記
密閉蓋を開く過程と、基板搬入出ロボットが前記密閉カ
セットと基板処理装置との間で基板を搬入出する過程
と、前記基板の搬入出完了後に密閉蓋を閉じると共に前
記開閉板を閉じる過程と、前記密閉カセットをカセット
台から搬送台車に移載する過程とから成るカセット搬送
方法。 - 【請求項２】 基板を収納したカセットを、搬送台車に
搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納ク
リーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、基
板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で基
板を搬入出するカセット搬送方法において、一側面に開
口を有したカセット本体とカセット本体の開口を密閉す
る密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセット本体
に対して着脱自在である密閉カセットに、基板を収納し
て前記密閉蓋を閉じる過程と、前記密閉カセットを前方
移載型搬送台車に搭載する過程と、前方移載型搬送台車
に搭載した前記密閉カセットを、前記密閉蓋が密閉型ロ
ボット収納クリーンルームに設けられたカセット用開口
に対向するように密着機構付きカセット台に移載する過
程と、前記密閉型ロボット収納クリーンルームに前記密
閉カセットを密着させる過程と、前記カセット用開口を
閉じている開閉板を開くと共に前記密閉蓋を開く過程
と、基板搬入出ロボットが前記密閉カセットと基板処理
装置との間で基板を搬入出する過程と、前記基板の搬入
出完了後に密閉蓋を閉じると共に前記開閉板を閉じる過
程と、前記密閉カセットを密着機構付きカセット台から
前方移載型搬送台車に移載する過程とから成るカセット
搬送方法。 - 【請求項３】 基板を収納したカセットを、搬送台車に
搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納ク
リーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、基
板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で基
板を搬入出するカセット搬送方法において、一側面に開
口を有したカセット本体とカセット本体の開口を密閉す
る密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセット本体
に対して着脱自在である密閉カセットに、基板を収納し
て前記密閉蓋を閉じる過程と、前記密閉カセットを下降
移載型搬送台車に搭載する過程と、前記下降移載型搬送
台車に搭載した前記密閉カセットを、前記密閉蓋が密閉
型ロボット収納クリーンルームに設けられたカセット用
開口に対向するように台車収納型カセット台に移載する
過程と、前記密閉型ロボット収納クリーンルームに前記
密閉カセットを密着させる過程と、前記カセット用開口
を閉じている開閉板を開くと共に前記密閉蓋を開く過程
と、基板搬入出ロボットが前記密閉カセットと基板処理
装置との間で基板を搬入出する過程と、前記基板の搬入
出完了後に密閉蓋を閉じると共に前記開閉板を閉じる過
程と、前記密閉カセットを台車収納型カセット台から下
降移載型搬送台車に移載する過程とから成るカセット搬
送方法。 - 【請求項４】 基板を収納したカセットを、搬送台車に
搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納ク
リーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、基
板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で基
板を搬入出するカセット搬送方法において、カセットに
基板を収納する過程と、カセットを下降移載型搬送台車
に搭載する過程と、前記カセットを搭載した下降移載型
搬送台車が台車収納型カセット台の内部まで移動する過
程と、前記下降移載型搬送台車に搭載した前記カセット
を台車収納型カセット台に移載する過程と、基板搬入出
ロボットが前記カセットと基板処理装置との間で基板を
搬入出する過程と、前記カセットを前記台車収納型カセ
ット台から下降移載型搬送台車に移載する過程とから成
るカセット搬送方法。 - 【請求項５】 基板を収納したカセットを、搬送台車に
搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納ク
リーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、基
板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で基
板を搬入出するカセット搬送方法において、一側面に開
口を有したカセット本体とカセット本体の開口を密閉す
る密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセット本体
に対して着脱自在である密閉カセットに、基板を収納し
て前記密閉蓋を閉じる過程と、前記密閉カセットを下降
移載型搬送台車に搭載する過程と、前記密閉カセットを
搭載した下降移載型搬送台車が台車収納型カセット台の
内部まで移動する過程と、前記下降移載型搬送台車に搭
載した前記密閉カセットを、前記密閉蓋が密閉型ロボッ
ト収納クリーンルームに設けられたカセット用開口に対
向するように台車収納型カセット台に移載する過程と、
前記密閉型ロボット収納クリーンルームに前記密閉カセ
ットを密着させる過程と、前記カセット用開口を閉じて
いる開閉板を開くと共に前記密閉蓋を開く過程と、基板
搬入出ロボットが前記密閉カセットと基板処理装置との
間で基板を搬入出する過程と、前記基板の搬入出完了後
に密閉蓋を閉じると共に前記開閉板を閉じる過程と、前
記密閉カセットをカセット台から下降移載型搬送台車に
移載する過程とから成るカセット搬送方法。 - 【請求項６】 基板を収納したカセットを、搬送台車に
搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納ク
リーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、基
板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で基
板を搬入出するカセット搬送方法において、オープンカ
セットに基板を収納する過程と、前記オープンカセット
を下降移載型搬送台車に搭載する過程と、前記オープン
カセットを搭載した下降移載型搬送台車が台車収納型カ
セット台の内部まで移動する過程と、前記下降移載型搬
送台車に搭載した前記オープンカセットを台車収納型カ
セット台に移載する過程と、基板搬入出ロボットが前記
オープンカセットと基板処理装置との間で基板を搬入出
する過程と、前記オープンカセットを前記台車収納型カ
セット台から下降移載型搬送台車に移載する過程とから
成るカセット搬送方法。 - 【請求項７】 請求項１又は請求項２又は請求項３又は
請求項５に記載の密閉型ロボット収納クリーンルームに
設けられたカセット用開口を閉じている開閉板を開くと
共に密閉カセットの密閉蓋を開く過程が、密閉蓋着脱装
置によって同時に行われるカセット搬送方法。 - 【請求項８】 請求項１又は請求項２又は請求項３又は
請求項５に記載の密閉カセットの密閉蓋を閉じると共に
開閉板を閉じる過程が、密閉蓋着脱装置によって同時に
行われるカセット搬送方法。 - 【請求項９】 請求項１又は請求項２に記載の密閉型ロ
ボット収納クリーンルームに密閉カセットを密着させる
過程が、密着機構付きカセット台に設けられたクランプ
機構で固定すると共に、スライド機構で前記密閉カセッ
トを前記密閉型ロボット収納クリーンルームに押圧する
過程であるカセット搬送方法。 - 【請求項１０】 請求項１又は請求項３又は請求項５に
記載の密閉型ロボット収納クリーンルームに密閉カセッ
トを密着させる過程が、台車収納型カセット台に設けら
れたクランプ機構で固定すると共に、スライド機構で前
記密閉カセットを前記密閉型ロボット収納クリーンルー
ムに押圧する過程であるカセット搬送方法。 - 【請求項１１】 請求項３又は請求項４又は請求項５又
は請求項６に記載の下降移載型搬送台車が台車収納型カ
セット台の内部まで移動して停止中に、前記台車収納型
カセット台に備えられた充電機構から下降移載型搬送台
車の充電を行うカセット搬送方法。 - 【請求項１２】 請求項３又は請求項４又は請求項５又
は請求項６に記載の下降移載型搬送台車が台車収納型カ
セット台の内部まで移動して停止中に、他の下降移載型
搬送台車が前記台車収納型カセット台に隣接した通路を
通過するカセット搬送方法。 - 【請求項１３】 基板を収納したカセットを、搬送台車
に搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納
クリーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、
基板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で
基板を搬入出するカセット搬送システムにおいて、一側
面に開口を有したカセット本体とカセット本体の開口を
密閉する密閉蓋とにより形成され、前記密閉蓋がカセッ
ト本体に対して着脱自在である密閉カセットと、基板を
収納した前記密閉カセットを搭載する搬送台車と、密閉
カセットを載置するカセット台と、基板を搬入出する基
板搬入出ロボットと、前記密閉蓋をカセット本体から着
脱する密閉蓋着脱装置と、前記基板搬入出ロボット及び
前記密閉蓋着脱装置を内部に設置し、かつ、前記基板搬
入出ロボットによって基板をカセットから搬入出するた
めのカセット用開口及び基板処理装置に通じる基板処理
装置用開口を有した隔壁で覆われ、かつ、ＦＦＵを有す
る密閉型ロボット収納クリーンルームと、前記カセット
用開口を開閉する開閉板とを備え、前記密閉蓋が、前記
カセット用開口に対向させてカセット台に載置され、前
記密閉蓋着脱装置が、前記カセット用開口を通して前記
密閉蓋をカセット本体から着脱し、前記基板搬入出ロボ
ットが、前記カセット用開口を通して密閉カセットに収
納した基板を搬入出するカセット搬送システム。 - 【請求項１４】 請求項１３の搬送台車が前方移載型搬
送台車であり、カセット台が密着機構付きカセット台で
あるカセット搬送システム。 - 【請求項１５】 請求項１３の搬送台車が下降移載型搬
送台車であり、カセット台が台車収納型カセット台であ
るカセット搬送システム。 - 【請求項１６】 基板を収納したカセットを、搬送台車
に搭載して基板搬入出ロボットを設置したロボット収納
クリーンルームに隣接するカセット台まで搬送した後、
基板搬入出ロボットがカセットと基板処理装置との間で
基板を搬入出するカセット搬送システムにおいて、基板
を収納するカセットと、前記基板を収納したカセットを
搭載する下降移載型搬送台車と、前記下降移載型搬送台
車を内部まで移動させる空間を形成した台車収納型カセ
ット台と、基板を搬入出する基板搬入出ロボット、前記
基板搬入出ロボットを内部に設置し、ＦＦＵを有するロ
ボット収納クリーンルームとを備えた搬送するカセット
搬送システム。 - 【請求項１７】 請求項１６のカセットが密閉カセット
であり、ロボット収納クリーンルームが基板搬入出ロボ
ットを内部に設置し、ＦＦＵを有する密閉型ロボット収
納クリーンルームであるカセット搬送システム。 - 【請求項１８】 請求項１６のカセットがオープンカセ
ットであり、ロボット収納クリーンルームが基板搬入出
ロボットを内部に設置し、ＦＦＵを有する開放型ロボッ
ト収納クリーンルームであるカセット搬送システム。 - 【請求項１９】 請求項１３に記載の密閉蓋着脱装置
が、密閉型ロボット収納クリーンルームのカセット用開
口を開閉する開閉板を支持するカセット搬送システム。 - 【請求項２０】 請求項１３に記載の密閉蓋着脱装置
が、密閉型ロボット収納クリーンルームのカセット用開
口を開閉すると同時に密閉蓋をカセット本体から着脱す
るカセット搬送システム。 - 【請求項２１】 請求項１３に記載のカセット台が、密
閉カセットを固定させるクランプ機構と前記密閉カセッ
トをスライドさせるスライド機構とを備えたカセット搬
送システム。 - 【請求項２２】 請求項１６に記載の台車収納型カセッ
ト台に、下降移載型搬送台車用の充電機構が備えられた
カセット搬送システム。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2001161709A JP5051948B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | カセット搬送方法及びカセット搬送システム |
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|---|---|---|---|
| JP2001161709A JP5051948B2 (ja) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | カセット搬送方法及びカセット搬送システム |
Publications (2)
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|---|---|
| JP2002353290A true JP2002353290A (ja) | 2002-12-06 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| Country | Link |
|---|---|
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| KR (1) | KR100823430B1 (ja) |
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