JP2002343950A - Fixing method, image pickup module and manufacturing method thereof - Google Patents
Fixing method, image pickup module and manufacturing method thereofInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 63
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 86
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 68
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 68
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 50
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 61
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 30
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 abstract description 27
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 abstract description 7
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 18
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000748 compression moulding Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 1
- 230000009545 invasion Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、部材同士間の間隔
を管理するためのスペーサを混入させた接着剤を用いて
部材同士を固着させるための固着方法、撮像モジュール
の製造方法および撮像モジュールに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fixing method for fixing members using an adhesive mixed with a spacer for controlling the interval between members, a method for manufacturing an image pickup module, and an image pickup module. .
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、部材同士のギャップを正確に管理
しながら部材同士を接着するものとして、例えば特開平
08−152642号公報に開示されるような液晶表示
装置が挙げられる。一般的に、液晶表示装置は、表示用
透明画素電極と配向膜等を積層した面が対向するように
所定の間隔を隔ててガラス等からなる2枚の透明絶縁基
板を重ね合わせ、両基板間の縁部に枠状に設けたシール
材により、両基板を貼り合わせると共に、シール材の一
部に設けた液晶封入口から両基板間のシール材の内側に
液晶を封入、封止することにより、製造される。2. Description of the Related Art Conventionally, a liquid crystal display device as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 08-152642 is known as one for bonding members while accurately managing the gap between the members. Generally, in a liquid crystal display device, two transparent insulating substrates made of glass or the like are overlapped at a predetermined interval so that the surface on which a display transparent pixel electrode and an alignment film or the like are laminated faces each other. By bonding the two substrates together with a sealing material provided in a frame shape at the edge of, the liquid crystal is sealed and sealed inside the sealing material between the two substrates from the liquid crystal filling port provided in a part of the sealing material Manufactured.
【0003】この組み立て手順について図18を参照し
ながら説明する。図18は従来の液晶表示装置の組み立
て手順を示す図である。[0005] This assembling procedure will be described with reference to FIG. FIG. 18 is a view showing an assembling procedure of a conventional liquid crystal display device.
【0004】まず、図18(a)に示すように、所定の
開口を有するマスク(MK)を透明ガラス基板(SUB
2)上に配置し、続いて、図18(b)に示すように、
透明ガラス基板(SUB2)上にマスク(MK)を置い
た状態で、スプレーノズル(NZ)から多数個の小さな
スペーサ(SP)を散布する。次に、図18(c)に示
すように、透明ガラス基板(SUB2)とマスク(M
K)を一体化した状態で左右にゆすってスペーサ(S
P)が均一にマスク(MK)の開口内に入るようにす
る。そして、図18(d)に示すように、透明ガラス基
板(SUB2)上に配置されたスペーサ(SP)が動か
ないようにマスク(MK)を垂直に持ち上げて外す。そ
の上から、図18(e)に示すように、透明ガラス基板
(SUB1)を重ね合わせて両基板間の縁周辺に設けた
シール材(SL)により貼り合わせる。その後、シール
材(SL)の一部にある液晶封入口(シール材の切り欠
け部)より液晶を封入し、液晶封入口をエポキシ樹脂等
により封入する。このような手順によって透明ガラス基
板(SUB1、SUB2)を所定のギャップをもって固
定することができる。First, as shown in FIG. 18A, a mask (MK) having a predetermined opening is placed on a transparent glass substrate (SUB).
2) placed on top and then, as shown in FIG.
While the mask (MK) is placed on the transparent glass substrate (SUB2), a number of small spacers (SP) are sprayed from the spray nozzle (NZ). Next, as shown in FIG. 18C, a transparent glass substrate (SUB2) and a mask (M
K) with the spacer (S
P) uniformly enter the opening of the mask (MK). Then, as shown in FIG. 18D, the mask (MK) is vertically lifted and removed so that the spacer (SP) arranged on the transparent glass substrate (SUB2) does not move. From above, as shown in FIG. 18 (e), a transparent glass substrate (SUB1) is overlaid and bonded with a sealing material (SL) provided around the edge between both substrates. Thereafter, the liquid crystal is sealed through a liquid crystal sealing opening (a cutout portion of the sealing material) in a part of the sealing material (SL), and the liquid crystal sealing opening is sealed with an epoxy resin or the like. By such a procedure, the transparent glass substrates (SUB1, SUB2) can be fixed with a predetermined gap.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の構成では、ギャップを管理するためのスペーサ
が好き勝手な場所に配置されてしまうため、場合によっ
ては光学的に必要な部分にスペーサが侵入してしまいケ
ラレなどの問題を起こすことがある。However, in the above-described conventional configuration, the spacer for managing the gap is disposed at a desired location, and in some cases, the spacer invades an optically necessary portion. It may cause problems such as vignetting.
【0006】本発明の目的は、部材同士を固着する際
に、部材同士間の間隔を管理するためのスペーサが他の
領域に侵入することを未然に防止することができる固着
方法を提供することにある。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a fixing method which can prevent a spacer for controlling a space between members from invading another region before fixing members. It is in.
【0007】本発明の他の目的は、光学的有効部を有す
る部材同士を固着する際に、部材同士間の間隔を管理す
るためのスペーサが光学的有効部に対応する領域に侵入
することを未然に防止することができる固着方法、撮像
モジュールの製造方法を提供することにある。Another object of the present invention is to prevent a spacer for controlling the interval between members from entering a region corresponding to the optically effective portion when the members having the optically effective portion are fixed to each other. An object of the present invention is to provide a fixing method that can be prevented beforehand and a method for manufacturing an imaging module.
【0008】本発明のさらに他の目的は、光学的有効部
を有する部材同士間の間隔を管理するためのスペーサが
光学的有効部に対応する領域に侵入することに起因する
けられをなくすことができる撮像モジュールを提供する
ことにある。[0008] Still another object of the present invention is to eliminate the inconvenience caused by the intrusion of the spacer for controlling the interval between members having optically effective portions into the area corresponding to the optically effective portions. It is an object of the present invention to provide an imaging module capable of performing the above.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
第1の部材と第2の部材とを固着するための固着方法で
あって、前記第1および第2の部材の内、いずれか一方
の部材における他方の部材との対向面に他の部位より低
い段部を設け、前記第1の部材と前記第2の部材間の間
隔を管理するためのスペーサが混入された接着剤を前記
段部に塗布することにより、前記第1の部材と前記第2
の部材とを固着する前記第1の部材と前記第2の部材と
を固着するとともに、前記段部を前記他の部位との段差
が前記スペーサの直径の20%以上となるように形成し
たことを特徴とする。According to the first aspect of the present invention,
A fixing method for fixing a first member and a second member, wherein one of the first and second members is opposed to a surface of the other member opposite to the other member. By providing a low step portion and applying an adhesive mixed with a spacer for controlling a distance between the first member and the second member to the step portion, the first member and the second member 2
The first member and the second member are fixed to each other, and the step is formed so that a step from the other portion is 20% or more of the diameter of the spacer. It is characterized by.
【0010】請求項2記載の発明は、請求項1記載の固
定方法において、前記一方の部材における前記他方の部
材との対向面に第3の部材を設けることにより、前記一
方の部材における前記他方の部材との対向面に前記段部
を形成したことを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the fixing method according to the first aspect, a third member is provided on a surface of the one member facing the other member, whereby the other member of the one member is provided. The step portion is formed on a surface facing the member.
【0011】請求項3記載の発明は、光学的有効部を有
する第1の部材および第2の部材が互いに重ね合わさ
れ、遮光部材が前記第1の部材上における光学的有効部
およびその周辺部に渡るように前記第2の部材との対向
面に設けられている構造に用いられる固着方法であっ
て、前記第1および第2の部材間の間隔を管理するため
のスペーサが混入された接着剤を、前記スペーサが前記
第1の部材上における前記遮光部材の無形成部位に対向
するように前記第1および前記第2の部材の内のいずれ
か一方の部材に塗布することにより、前記第1の部材と
前記第2の部材とを固着することを特徴とする。According to a third aspect of the present invention, the first member and the second member having the optically effective portion are overlapped with each other, and the light shielding member is provided on the optically effective portion and the peripheral portion on the first member. A fixing method used for a structure provided on a surface facing the second member so as to cross over, wherein an adhesive mixed with a spacer for controlling a space between the first and second members is mixed. Is applied to one of the first and second members so that the spacer faces a portion of the first member where the light blocking member is not formed, thereby providing the first member. And fixing the second member to the second member.
【0012】請求項4記載の発明は、請求項3記載の固
着方法において、前記第1の部材に形成されている遮光
部材は、層状に形成されていることを特徴とする。According to a fourth aspect of the present invention, in the fixing method according to the third aspect, the light shielding member formed on the first member is formed in a layer shape.
【0013】請求項5記載の発明は、光学的有効部を有
する第1の部材および第2の部材が互いに重ね合わさ
れ、遮光部材が前記第1の部材上における光学的有効部
とその周辺部に渡るように前記第2の部材との対向面に
設けられている構造に用いられる固着方法であって、前
記第1および第2の部材の内、いずれか一方部材の他方
の部材との対向面における光学的有効部およびその周辺
部に対応する部位に、スペーサ無混入の接着剤を塗布
し、前記光学的有効部およびその周辺部に対応する部位
の外周部に、前記第1および第2の部材間の間隔を管理
するためのスペーサが混入された接着剤を塗布すること
により、前記第1の部材と前記第2の部材とを固着する
ことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, the first member and the second member having the optically effective portion are overlapped with each other, and the light shielding member is provided on the optically effective portion and the peripheral portion on the first member. A fixing method used for a structure provided on a surface facing the second member so as to cross over, wherein a surface of one of the first and second members facing the other member is provided. A spacer-free adhesive is applied to the portion corresponding to the optically effective portion and its peripheral portion, and the first and second portions are applied to the outer peripheral portion of the portion corresponding to the optically effective portion and its peripheral portion. The first member and the second member are fixed to each other by applying an adhesive mixed with a spacer for controlling the interval between the members.
【0014】請求項6記載の発明は、請求項5記載の固
着方法において、前記第1の部材に形成されている遮光
部材は、印刷により層状に形成されていることを特徴と
する。According to a sixth aspect of the present invention, in the fixing method of the fifth aspect, the light shielding member formed on the first member is formed in a layered form by printing.
【0015】請求項7記載の発明は、光学部材、保護部
材および撮像素子が積層された構造を有し、遮光部材が
前記光学部材の前記保護部材との対向面に形成されてい
る撮像モジュールの製造方法であって、前記光学部材と
前記保護部材間の間隔を管理するためのスペーサが混入
された接着剤を、該スペーサが前記光学部材の前記保護
部材との対向面上における前記遮光部材の無形成部位に
対向するように前記光学部材および前記保護部材の内の
一方の部材に塗布することにより、前記光学部材と前記
保護部材とを固着することを特徴とする。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an image pickup module having a structure in which an optical member, a protection member, and an image sensor are laminated, and a light shielding member is formed on a surface of the optical member facing the protection member. In a manufacturing method, an adhesive mixed with a spacer for controlling a distance between the optical member and the protective member is coated with an adhesive mixed with the light shielding member on a surface of the optical member facing the protective member. The optical member and the protection member are fixed by applying to one of the optical member and the protection member so as to face the non-formed portion.
【0016】請求項8記載の発明は、光学部材、保護部
材および撮像素子が積層された構造を有し、遮光部材が
前記光学部材の前記保護部材との対向面に形成されてい
る撮像モジュールの製造方法であって、前記光学部材と
前記保護部材間の間隔を管理するためのスペーサを前記
光学部材の前記保護部材との対向面上における前記遮光
部材の無形成部位に対向するように前記光学部材および
前記保護部材の内のいずれか一方の部材上に配置し、前
記いずれか一方の部材に配置されたスペーサを含むよう
に該一方の部材に接着剤を塗布することにより、前記光
学部材と前記保護部材とを固着することを特徴とする。The invention according to an eighth aspect of the present invention is directed to an image pickup module having a structure in which an optical member, a protection member and an image pickup element are laminated, and a light shielding member is formed on a surface of the optical member facing the protection member. The manufacturing method, wherein a spacer for managing an interval between the optical member and the protective member is arranged so that the spacer opposes a portion where the light shielding member is not formed on a surface of the optical member facing the protective member. By disposing an adhesive on one of the members and the protective member so as to include a spacer disposed on one of the members, the optical member and It is characterized in that the protection member is fixed to the protection member.
【0017】請求項9記載の発明は、光学的有効部を有
する光学部材、光学的有効部を有する保護部材および撮
像素子が積層された構造からなり、遮光部材が前記光学
部材の前記保護部材との対向面に該光学部材の光学的有
効部およびその周辺部に渡るように形成されている撮像
モジュールの製造方法であって、前記光学部材および前
記保護部材の内、一方の部材の他方の部材との対向面上
におけるその光学的有効部およびその周辺部に対応する
部位に、スペーサ無混入接着剤を塗布し、前記一方の部
材の他方の部材との対向面上における前記スペーサ無混
入接着剤が塗布された部位の外周部位に、前記光学部材
と前記保護部材間の間隔を管理するためのスペーサが混
入された接着剤を塗布することにより、前記光学部材と
前記保護部材とを固着することを特徴とする。According to a ninth aspect of the present invention, an optical member having an optically effective portion, a protective member having an optically effective portion, and an image pickup element are laminated, and a light-shielding member is provided in the optical member and the protective member. A manufacturing method of an imaging module formed on an opposing surface of the optical member so as to extend over an optically effective portion of the optical member and a peripheral portion thereof, wherein the optical member and the protection member are one member of the other member. A spacer-free adhesive is applied to a portion corresponding to the optically effective portion and a peripheral portion thereof on a surface facing the same, and the spacer-free adhesive is applied on a surface of the one member facing the other member. By applying an adhesive mixed with a spacer for controlling the interval between the optical member and the protective member to the outer peripheral portion of the portion where is applied, the optical member and the protective member are Characterized in that it wears.
【0018】請求項10記載の発明は、撮像モジュール
であって、請求項7記載の撮像モジュール製造法により
製造されたことを特徴とする。According to a tenth aspect of the present invention, there is provided an imaging module, which is manufactured by the imaging module manufacturing method according to the seventh aspect.
【0019】請求項11記載の発明は、撮像モジュール
であって、請求項8記載の撮像モジュール製造法により
製造されたことを特徴とする。An eleventh aspect of the present invention is an imaging module, characterized by being manufactured by the imaging module manufacturing method of the eighth aspect.
【0020】請求項12記載の発明は、撮像モジュール
であって、請求項9記載の撮像モジュール製造法により
製造されたことを特徴とする。According to a twelfth aspect of the present invention, there is provided an imaging module, which is manufactured by the imaging module manufacturing method according to the ninth aspect.
【0021】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0022】本実施の形態では、撮像素子において、部
材同士間の間隔を管理するためのスペーサを混入させた
接着剤を用いて部材同士を固着する場合を説明する。In the present embodiment, a description will be given of a case where members are fixed to each other in an image pickup device using an adhesive mixed with a spacer for controlling the interval between the members.
【0023】まず、本実施の形態で説明する撮像子の特
徴を明確にするために、一般的に用いられている撮像素
子について図15ないし図17を参照しながら説明す
る。図15は撮像装置における主要部構成の簡略的に示
す図、図16は図15の撮像素子61の画素を示す断面
図、図17は図16の撮像素子における画素配列構造を
示す平面図である。First, in order to clarify the features of the image pickup device described in the present embodiment, a commonly used image pickup device will be described with reference to FIGS. 15 is a diagram schematically showing the configuration of a main part of the imaging device, FIG. 16 is a cross-sectional view showing a pixel of the imaging device 61 in FIG. 15, and FIG. 17 is a plan view showing a pixel array structure in the imaging device in FIG. .
【0024】撮像装置においては、図15に示すよう
に、被写体像を撮影レンズ群22によって撮像素子61
上に結像し、その像を撮像素子61によって撮像するこ
とによって画像を得ることができる。In the image pickup apparatus, as shown in FIG.
An image can be obtained by forming an image on the upper side and capturing the image by the image sensor 61.
【0025】撮像素子61は、図16に示すように、シ
リコンウェハ上に光電変換部64と配線部63を形成し
た後、カラーフィルタ71を形成しているものである。As shown in FIG. 16, the image pickup element 61 has a color filter 71 formed after a photoelectric conversion portion 64 and a wiring portion 63 are formed on a silicon wafer.
【0026】ここで、RGB3色のカラーフィルタ71
を形成する場合は、所定の分光特性に染色された感光性
樹脂を用いてフォトレジスト法と呼ばれる手法により形
成することができる。まず、レッドに染色された感光性
樹脂を薄く均一に塗布し、その上からレッドのフィルタ
が不要な部分をマスクして光線を照射する。これによ
り、光線が照射された部分は硬化し、マスクされた部分
は硬化しない。そして、硬化しなかった部分を洗浄によ
り取り除くことによって、所定の位置にレッドのフィル
タを形成することができる。次に、レッドの感光性樹脂
が取り除かれた部分に透明樹脂を塗布して埋める。これ
は平坦化と呼ばれる行程である。同様にしてレッドの上
にグリーン、グリーンの上にブルーのフィルタを形成す
る。Here, the color filters 71 of the three colors RGB are used.
Can be formed by a method called a photoresist method using a photosensitive resin dyed to have a predetermined spectral characteristic. First, a red-colored photosensitive resin is applied thinly and uniformly, and a light beam is irradiated from above by masking a portion where a red filter is unnecessary. As a result, the part irradiated with the light beam is cured, and the masked part is not cured. Then, by removing the uncured portion by washing, a red filter can be formed at a predetermined position. Next, a transparent resin is applied and buried in a portion from which the red photosensitive resin has been removed. This is a process called flattening. Similarly, a green filter is formed on red and a blue filter is formed on green.
【0027】このような方法によって形成されたカラー
フィルタ71の上にフォトレジスト法によりマイクロレ
ンズ62を形成する。このような構成を有する撮像素子
61は、マイクロレンズ62と光電変換部64の間にカ
ラーフィルタ71が存在するため、光電変換部64はマ
イクロレンズ62から非常に深い所に位置するようにな
る。この場合の光電変換部64に入射する最外光束は破
線で表すものとなる。The micro lens 62 is formed on the color filter 71 formed by such a method by a photoresist method. In the imaging device 61 having such a configuration, since the color filter 71 exists between the microlens 62 and the photoelectric conversion unit 64, the photoelectric conversion unit 64 is located at a position very deep from the microlens 62. The outermost light beam incident on the photoelectric conversion unit 64 in this case is indicated by a broken line.
【0028】また、撮像素子61は、図17に示すよう
に、レッド、グリーン、ブルーの各色の画素が規則正し
く配列された撮像領域を有する。この撮像領域において
は、第1のグリーンの画素61mng、ブルーの画素6
1mnb、レッドの画素61mnr、第2のグリーンの
画素61mng2が設けられ、これらの画素が規則正し
く配置されている。ここで、mは横方向の画素の配列番
号を示し、nは縦方向の画素の配列番号を示す。このよ
うな画素配列は、一般的にベイヤー配列と呼ばれるもの
であり、この画素配列においては、グリーンの画素がブ
ルー、レッドの画素に比して倍の画素数を有することに
なる。基本的には、3色が同数ずつあれば、カラー画像
を作り出すことはできるが、比較的視感度の高いグリー
ンの画素を増やすことによって、画質を向上させること
ができる。よって、このようなベイヤー配列の撮像素子
を用いることが多い。Further, as shown in FIG. 17, the image sensor 61 has an image pickup area in which pixels of red, green and blue are regularly arranged. In this imaging area, the first green pixel 61 mng and the blue pixel 6
1mnb, a red pixel 61mnr, and a second green pixel 61mng2 are provided, and these pixels are regularly arranged. Here, m indicates the array number of the pixel in the horizontal direction, and n indicates the array number of the pixel in the vertical direction. Such a pixel array is generally called a Bayer array. In this pixel array, the number of green pixels is twice as large as the number of blue and red pixels. Basically, if the same number of three colors is used, a color image can be created, but the image quality can be improved by increasing the number of green pixels having relatively high visibility. Therefore, an image pickup device having such a Bayer array is often used.
【0029】(実施の第1形態)図1は本発明の実施の
第1形態に係る固着方法を適用した撮像モジュールの構
成を示す縦断面図、図2は図1の撮像モジュールにおけ
る光学部材2の外観を示す斜視図、図3は図1の撮像モ
ジュールにおける光学部材2に形成されている遮光層1
の構成を示す平面図、図4は図1の撮像モジュールにお
ける保護部材3に形成されているフィルタの構成を示す
平面図、図5は図1の撮像モジュールにおける撮像素子
6の画素を示す断面図、図6は図1の撮像モジュールに
おける撮像素子6の画素配列構造を示す平面図、図7は
図1の撮像素子6における各色の画素を部分的に抜き出
して重ねたときの状態を模式的に示す図、図8は各画素
が半画素ずつずれている状態での画像合成により得られ
る画素配列を模式的に示す図である。(First Embodiment) FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a configuration of an image pickup module to which a fixing method according to a first embodiment of the present invention is applied, and FIG. 2 is an optical member 2 in the image pickup module of FIG. FIG. 3 is a perspective view showing the appearance of a light shielding layer 1 formed on an optical member 2 in the imaging module of FIG.
FIG. 4 is a plan view showing a configuration of a filter formed on the protection member 3 in the imaging module of FIG. 1, and FIG. 5 is a cross-sectional view showing pixels of an imaging element 6 in the imaging module of FIG. 6, FIG. 6 is a plan view showing a pixel array structure of the image sensor 6 in the image pickup module of FIG. 1, and FIG. 7 schematically shows a state in which pixels of each color in the image sensor 6 of FIG. FIG. 8 is a diagram schematically showing a pixel array obtained by image synthesis in a state where each pixel is shifted by half a pixel.
【0030】本実施の形態の撮像モジュールは、図1に
示すように、被写体からの光束を予定結像面に対して焦
点を結ばせるための光学部材2と、撮像素子6の表面を
保護するための保護部材3とを備える。光学部材2と保
護部材3とは接着剤4により結合され、保護部材3と撮
像素子6とは接着剤5により結合されている。As shown in FIG. 1, the imaging module according to the present embodiment protects the optical member 2 for focusing a light beam from a subject on a predetermined imaging plane and the surface of the imaging element 6. And a protection member 3. The optical member 2 and the protection member 3 are connected by an adhesive 4, and the protection member 3 and the imaging element 6 are connected by an adhesive 5.
【0031】光学部材2は、ガラスや透明樹脂などで構
成される。光学部材2がガラス製の場合は、ガラスモー
ルディング製法、樹脂の場合は、インジェクション成
形、コンプレッション成形等で作られる。また、光学部
材2は平面ガラス基板上にレプリカ製法で樹脂製のレン
ズ部を付加する構造であってもよく、本実施の形態で
は、光学部材2に、レンズ部202を形成している。こ
のレンズ部202は、図2に示すように、4つのレンズ
部202a〜202dからなる。また、光学部材2にお
ける保護部材3との対向面には、光束を制限するための
絞り開口を有する遮光層1が形成されている。この遮光
層1は、光学部材2における保護部材3との対向面上の
平面部に設けられており、遮光性を有する塗料をオフセ
ット印刷などによって印刷する、あるいは蒸着やメッキ
によって遮光性がある薄膜を形成するなどの手法を用い
て光学部材2上に形成されるものである。遮光層1の厚
さは、十分な遮光性を有する必要があるため、塗料を印
刷する場合は10μm、蒸着やメッキでは1μm程度を
目標値として設定される。遮光層1は、図3に示すよう
に、光学的に必要な開口である絞り開口部1a〜1dを
形成すること、またその周辺部の遮光することを目的に
設けられており、その外形は光学部材2の外形より小さ
い。また、遮光層1の厚さは、ビーズ41の直径に対し
て20%以上の厚みが取れれば効果が出ることが確認さ
れている。ただし、より十分な効果を得るためには、ビ
ーズ41の直径に対して50%以上の厚みを取ることが
望ましい。The optical member 2 is made of glass, transparent resin or the like. When the optical member 2 is made of glass, the optical member 2 is made by a glass molding method, and when it is made of a resin, it is made by injection molding, compression molding, or the like. The optical member 2 may have a structure in which a resin lens portion is added to a flat glass substrate by a replica manufacturing method. In the present embodiment, the lens portion 202 is formed on the optical member 2. As shown in FIG. 2, the lens unit 202 includes four lens units 202a to 202d. Further, a light-shielding layer 1 having a stop aperture for restricting a light beam is formed on a surface of the optical member 2 facing the protection member 3. The light-shielding layer 1 is provided on a flat surface of the optical member 2 on a surface facing the protection member 3 and is formed by printing a light-shielding paint by offset printing or the like, or by a thin film having a light-shielding property by vapor deposition or plating. This is formed on the optical member 2 by using a technique such as forming. Since the thickness of the light-shielding layer 1 needs to have a sufficient light-shielding property, the target value is set to about 10 μm when printing a paint and about 1 μm for vapor deposition or plating. As shown in FIG. 3, the light-shielding layer 1 is provided for the purpose of forming the aperture openings 1a to 1d, which are optically necessary openings, and for shielding the periphery thereof from light. It is smaller than the outer shape of the optical member 2. Further, it has been confirmed that the effect is obtained if the thickness of the light shielding layer 1 is at least 20% of the diameter of the beads 41. However, in order to obtain a more sufficient effect, it is desirable to have a thickness of 50% or more with respect to the diameter of the beads 41.
【0032】保護部材3は、光学部材2と同様に、ガラ
スや透明樹脂などで構成される。保護部材3における撮
像素子6との対向面には、被写体からの光線を波長分離
するためのカラーフィルタ7が形成されている。カラー
フィルタ7には、図4に示すように、RGB3色のカラ
ーフィルタが設けられている。具体的には、第1のグリ
ーン領域7g、ブルー領域7b、レッド領域7r、第2
のグリーン領域7g2が設けられている。The protection member 3 is made of glass, transparent resin, or the like, like the optical member 2. On the surface of the protection member 3 facing the image sensor 6, a color filter 7 for wavelength separation of a light beam from a subject is formed. As shown in FIG. 4, the color filters 7 are provided with RGB color filters. Specifically, the first green region 7g, the blue region 7b, the red region 7r, the second
Green region 7g2 is provided.
【0033】撮像素子6においては、図5に示すよう
に、カラーフィルタ7が保護部材3上に形成されている
ため、マイクロレンズ62の下には存在しない。この点
で、上述した撮像素子61とは異なる。ここで、光電変
換部64に入射する最外光束を実線で表すものとし、撮
像素子6と撮像素子61とを比較すると、撮像素子6に
おけるマイクロレンズ62が集光する面積は、実線部の
方が点線部より大きくなるため、光電変換部64に到達
する光量はカラーフィルタが無いものの方が多くなる、
すなわち撮像素子6の感度が見かけ上高くなるというこ
とである。こうしたことから保護部材3上にカラーフィ
ルタ7を配置する構成を採用している。In the image sensor 6, as shown in FIG. 5, since the color filter 7 is formed on the protective member 3, it does not exist below the microlens 62. This is different from the above-described image sensor 61. Here, the outermost light flux incident on the photoelectric conversion unit 64 is represented by a solid line, and when the imaging device 6 and the imaging device 61 are compared, the area of the imaging device 6 where the microlens 62 condenses is smaller than that of the solid line portion. Is larger than the dotted line, so that the amount of light reaching the photoelectric conversion unit 64 is larger without a color filter.
That is, the sensitivity of the image sensor 6 is apparently increased. For this reason, a configuration in which the color filter 7 is disposed on the protection member 3 is employed.
【0034】撮像素子6は、図6に示すように、4つの
撮像領域60g,60b,60r,60g2が設けられ
ており、例えば光学部材2のレンズ部202aからの光
束はカラーフィルタ7の第1のブルー領域7gを通って
撮像領域60g上に結像される。同様に、レンズ部20
2bからの光束はカラーフィルタ7のブルー領域7bを
通って撮像領域60bに、レンズ部202cからの光束
はレッド領域7rを通って60rに、レンズ部202d
からの光束は第2のグリーン領域7g2を通って撮像領
域60g2に結像される。As shown in FIG. 6, the image pickup device 6 is provided with four image pickup regions 60g, 60b, 60r, and 60g2. For example, a light beam from the lens portion 202a of the optical member 2 is supplied to the first portion of the color filter 7. Is formed on the imaging area 60g through the blue area 7g. Similarly, the lens unit 20
The luminous flux from 2b passes through the blue region 7b of the color filter 7 to the imaging region 60b, the luminous flux from the lens portion 202c passes through the red region 7r to 60r, and the lens portion 202d
Is focused on the imaging area 60g2 through the second green area 7g2.
【0035】このようにして得られた4つの画像を合成
することによって、1枚のカラー画像にする。このと
き、4つのレンズ部202a,202b,202c,2
02dの形状を微妙に異ならせることによって、4つの
画像はそれぞれ半画素ずつずらしたような画像となる。By combining the four images thus obtained, one color image is obtained. At this time, the four lens units 202a, 202b, 202c, 2
By making the shape of 02d slightly different, the four images are images shifted by half a pixel each.
【0036】具体的には、図7に示すように、各色の画
素を部分的に抜き出して重ねたときの状態において第1
のグリーンの画素6013gを中心に考えると、ブルー
の画素6012bが右側に0.5画素分ずれており、レ
ッドの画素6012rは下側に0.5画素分ずれてお
り、第2のグリーンの画素6012g2は右側および下
側にそれぞれ0.5画素ずつずれている。ここで、図7
中、各画素の大きさを、分かり易くするために、異なら
せて表現してあるが、実際はほぼ同一の大きさ、形状で
ある。Specifically, as shown in FIG. 7, the pixels of each color are partially extracted and overlapped with the first pixel.
Considering the green pixel 6013g, the blue pixel 6012b is shifted to the right by 0.5 pixel, the red pixel 6012r is shifted to the lower side by 0.5 pixel, and the second green pixel 6012g2 is shifted to the right and to the lower side by 0.5 pixel each. Here, FIG.
The size of each pixel is shown differently to make it easier to understand, but the sizes and shapes are almost the same.
【0037】すなわち、このように各画素が半画素ずつ
ずれている状態で画像合成を行うことにより、図8に示
すように、第1のグリーンの画素6012gと6013
gの間にレッドの画素6012rが挿入され、第1のグ
リーンの画素6013gと6023gの間にブルーの6
012bが挿入され、さらに第1のグリーンの画素60
12g、6022g、6013g、6023gの接点部
に第2のグリーンの画素6012g2が挿入されている
ような画素配列となり、これにより、図17に示すよう
なベイヤー配列の撮像素子と等価の画像が得られること
になる。That is, by performing image synthesis in such a state that each pixel is shifted by half a pixel, the first green pixels 6012g and 6013g as shown in FIG.
g, a red pixel 6012r is inserted between the first green pixels 6013g and 6023g.
012b is inserted, and the first green pixel 60
The pixel array is such that the second green pixel 6012g2 is inserted at the contact points of 12g, 6022g, 6013g, and 6023g, whereby an image equivalent to the Bayer array image sensor as shown in FIG. 17 is obtained. Will be.
【0038】光学部材2と保護部材3、および保護部材
3と撮像素子6とは、それぞれ接着剤4,5で接着され
ており、この接着剤4,5としては、熱紫外線硬化型の
樹脂が用いられている。熱紫外線硬化型のエポキシ樹脂
は加熱でも紫外線の照射でも硬化する。エポキシ樹脂は
硬化が緩やかで硬化収縮のムラがなく、応力緩和される
ことから、この用途に好適である。なお、エポキシ樹脂
には加熱によって硬化するタイプもあるが、ここで熱紫
外線硬化型を選択している理由は、熱硬化型のエポキシ
樹脂を硬化させるに充分な加熱は保護部材3に形成され
たカラーフィルタ7、光学部材2の樹脂部(前述のよう
な方法によって成形された樹脂が存在する場合)、マイ
クロレンズ62、遮光層1の印刷用塗料などを劣化させ
る恐れがあるためである。The optical member 2 and the protective member 3 and the protective member 3 and the image pickup device 6 are adhered with adhesives 4 and 5, respectively. Used. The thermo-ultraviolet curing type epoxy resin is cured by heating or irradiation of ultraviolet rays. Epoxy resins are suitable for this application because they cure slowly, have no unevenness in curing shrinkage, and relieve stress. Although there is a type of epoxy resin that cures by heating, the reason for selecting the thermo-ultraviolet curing type here is that sufficient heat is applied to the protective member 3 to cure the thermosetting epoxy resin. This is because the color filter 7, the resin portion of the optical member 2 (when the resin molded by the above-described method is present), the microlenses 62, and the printing paint of the light shielding layer 1 may be deteriorated.
【0039】上記接着剤4には、光学部材2と保護部材
3間に所定のギャップを形成するためのスペーサとして
の役割を果たすビーズ41が混入されている。ビーズ4
1の材質としては、有機ポリマや石英が選択し得るが、
石英ビーズの場合には、ギャップ出しのためのプレス工
程で半導体ウエハに形成した保護膜や電極、あるいはス
イッチング素子を破壊する可能性があり、プレス工程の
加圧条件が広く取れる有機ポリマを選択することがより
望ましい。The adhesive 4 contains beads 41 serving as a spacer for forming a predetermined gap between the optical member 2 and the protective member 3. Bead 4
Organic polymer and quartz can be selected as the material of (1),
In the case of quartz beads, there is a possibility that a protective film, an electrode, or a switching element formed on a semiconductor wafer may be destroyed in a pressing step for forming a gap, and an organic polymer that can be widely used under pressure conditions in the pressing step is selected. It is more desirable.
【0040】次に、光学部材2と保護部材3、保護部材
3と撮像素子6を接着する方法について図9および図1
0を参照しながら説明する。図9は光学部材2と保護部
材3、保護部材3と撮像素子6をそれぞれ接着するため
の第1の方法を模式的に示す図、図10は光学部材2と
保護部材3、保護部材3と撮像素子6をそれぞれ接着す
るための第2の方法を模式的に示す図である。Next, a method of bonding the optical member 2 to the protection member 3 and the protection member 3 to the image pickup device 6 will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. FIG. 9 is a view schematically showing a first method for bonding the optical member 2 and the protection member 3 and the first method for bonding the protection member 3 and the imaging element 6, respectively. FIG. FIG. 9 is a diagram schematically illustrating a second method for bonding the imaging elements 6.
【0041】この接着方法としては2つの方法があり、
第1の方法としては、図9に示すように、まず撮像素子
6上に保護部材3を置き、エポキシ樹脂からなる接着剤
5を塗布して紫外線照射で半硬化させた後、間隔および
傾きを調整し、プレスおよび若干の加熱処理をして完全
硬化させて撮像素子モジュール301を作成する。次
に、ビーズ41を混入させた接着剤4を光学部材2にお
ける遮光層1の存在しない部分(周辺部)に塗布する。
その上から撮像素子モジュール301を乗せて接着剤4
を硬化させる。ビーズ41と遮光層1との間に遮光層1
の厚さによる段差があるため、ビーズ41が遮光層1内
に侵入してくることはない。従って、光学的な有効部ま
で侵入してきてケラレを生じさせるなどといった問題を
起こすことがない。There are two bonding methods.
As a first method, as shown in FIG. 9, first, the protective member 3 is placed on the image sensor 6, an adhesive 5 made of an epoxy resin is applied, semi-cured by ultraviolet irradiation, and then the interval and the inclination are changed. The image sensor module 301 is adjusted, and is completely cured by a press and a slight heat treatment to produce the image sensor module 301. Next, the adhesive 4 mixed with the beads 41 is applied to a portion (peripheral portion) of the optical member 2 where the light shielding layer 1 does not exist.
The image sensor module 301 is placed on the adhesive and the adhesive 4
To cure. Between the beads 41 and the light shielding layer 1, the light shielding layer 1
The beads 41 do not enter the light shielding layer 1 because there is a step due to the thickness of the light shielding layer 1. Therefore, there is no problem that vignetting is caused by invading the optically effective portion.
【0042】第2の方法としては、図10に示すよう
に、まずビーズ41を混入させた接着剤4を光学部材2
上における遮光層1の存在しない部分(周辺部)に塗布
し、その上に保護部材3を乗せてビーズ41の間隔にな
るようにプレスして紫外線照射および加熱により接着剤
4を硬化させることによって光学素子モジュール101
を作成する。次に、撮像素子6に接着剤5を塗布し、そ
の上から光学部材2を乗せて位置調整し接着剤5を硬化
させる。As a second method, as shown in FIG. 10, an adhesive 4 mixed with beads 41 is first applied to the optical member 2.
The adhesive is applied to a portion (peripheral portion) where the light-shielding layer 1 does not exist, the protective member 3 is placed thereon, pressed so as to be at an interval between the beads 41, and the adhesive 4 is cured by ultraviolet irradiation and heating. Optical element module 101
Create Next, the adhesive 5 is applied to the imaging element 6, and the optical member 2 is placed thereon to adjust the position, and the adhesive 5 is cured.
【0043】(実施の第2形態)次に、本発明の実施の
第2形態について図11および図12を参照しながら説
明する。図11は本発明の実施の第2形態に係る固着方
法を模式的に示す図、図12は本発明の実施の第2形態
に係る固着方法において接着剤の塗布方法を変えた例を
示す図である。図中、上述の実施の第1形態と同一の機
能を果たす部材には、同一の符号を付し、その説明は省
略化または簡略化する。Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 11 is a diagram schematically showing a fixing method according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a diagram showing an example in which the method of applying the adhesive is changed in the fixing method according to the second embodiment of the present invention. It is. In the figure, members performing the same functions as in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted or simplified.
【0044】本実施の形態においては、まず、図11
(a)に示すように、遮光層1が形成されている光学部
材2上にビーズ41を配置する。ここでは、当然、ビー
ズ41は光学部材2上における遮光層1の形成されてい
ない部分(低い周辺部分)に配置される。In this embodiment, first, FIG.
As shown in (a), the beads 41 are arranged on the optical member 2 on which the light shielding layer 1 is formed. Here, naturally, the beads 41 are arranged on a portion of the optical member 2 where the light shielding layer 1 is not formed (lower peripheral portion).
【0045】次に、図11(b)に示すように、接着剤
4をほぼ全面に塗布する。そして、図11(c)に示す
ように、その上から保護部材3を乗せてビーズ41の間
隔になるようにプレスし、接着剤4を紫外線照射および
加熱により完全硬化させる。Next, as shown in FIG. 11B, the adhesive 4 is applied to almost the entire surface. Then, as shown in FIG. 11 (c), the protective member 3 is placed from above and pressed so as to be at an interval between the beads 41, and the adhesive 4 is completely cured by ultraviolet irradiation and heating.
【0046】また、図12に示すように、接着剤4を塗
布する際に、ビーズ41を避けて接着剤4を塗布する方
法も考えられる。これによって、ビーズ41に接着剤4
が乗らないため、より高精度なギャップ管理を行うこと
が可能である。As shown in FIG. 12, a method of applying the adhesive 4 while avoiding the beads 41 when applying the adhesive 4 is also conceivable. As a result, the adhesive 4
, The gap management can be performed with higher precision.
【0047】(実施の第3形態)次に、本発明の実施の
第3形態について図13および図14を参照しながら説
明する。図13は本発明の実施の第3形態に係る固着方
法を適用した撮像モジュールの構成を示す断面図、図1
4は図13の撮像モジュールにおける光学部材に接着剤
を塗布した状態を示す平面図である。図中、上述の実施
の第1形態と同一の機能を果たす部材には、同一の符号
を付し、その説明は省略化または簡略化する。(Third Embodiment) Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 13 is a cross-sectional view showing a configuration of an imaging module to which the fixing method according to the third embodiment of the present invention is applied.
FIG. 4 is a plan view showing a state where an adhesive is applied to an optical member in the imaging module of FIG. In the figure, members performing the same functions as in the first embodiment described above are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted or simplified.
【0048】本実施の形態においては、ビーズ41を混
入した接着剤4a、ビーズ51を混入させた接着剤5を
用意する。まず、図13および図14に示すように、ビ
ーズ41の混入していない接着剤4bを光学部材2にお
ける光学的有効領域以上に塗布して紫外線照射で半硬化
さておく。そして、ビーズ41を混入した接着剤4aを
その周辺に塗布する。この接着剤4a,4bが塗布され
た光学部材2上に保護部材3に乗せ、両者の間の間隔が
ビーズ41の間隔になるように両者をプレスして加熱
し、接着剤4a,4bを完全硬化させる。接着剤4bは
既に半硬化しているため、ビーズ41の混入させた接着
剤4aと混ざり難くなっている。従って、プレスしたと
きに、ビーズ41が光線の有効領域内に侵入することが
ない。In this embodiment, an adhesive 4a containing beads 41 and an adhesive 5 containing beads 51 are prepared. First, as shown in FIGS. 13 and 14, an adhesive 4b in which the beads 41 are not mixed is applied to an optically effective area or more of the optical member 2 and semi-cured by ultraviolet irradiation. Then, the adhesive 4a mixed with the beads 41 is applied to the periphery. The protective member 3 is placed on the optical member 2 to which the adhesives 4a and 4b are applied, and the two are pressed and heated so that the distance between the two becomes the distance between the beads 41, and the adhesives 4a and 4b are completely removed. Let it cure. Since the adhesive 4b is already semi-cured, it is difficult to mix with the adhesive 4a mixed with the beads 41. Therefore, when pressed, the beads 41 do not enter the effective area of the light beam.
【0049】次に、このようにして作成された光学素子
モジュールの底面の周囲または撮像素子6の上面周囲に
ビーズ51を混入させた接着剤5を塗布し、後続素子モ
ジュールを撮像素子6に乗せてビーズ41の間隔になる
ように両者をプレスし、接着剤5を紫外線照射および加
熱によって完全硬化させる。このとき、上記光学素子モ
ジュールと撮像素子6の平面方向の位置調整および光軸
周りの回転調整を行う。Next, an adhesive 5 mixed with beads 51 is applied to the periphery of the bottom surface of the optical element module or the top surface of the imaging element 6 thus prepared, and the subsequent element module is mounted on the imaging element 6. Then, the two are pressed so as to be at an interval between the beads 41, and the adhesive 5 is completely cured by irradiation with ultraviolet light and heating. At this time, position adjustment of the optical element module and the imaging element 6 in the planar direction and rotation adjustment about the optical axis are performed.
【0050】[0050]
【発明の効果】以上説明したように、本発明の固着方法
によれば、第1および第2の部材の内、いずれか一方の
部材における他方の部材との対向面に他の部位より低い
段部を設け、第1の部材と第2の部材間の間隔を管理す
るためのスペーサが混入された接着剤を段部に塗布する
ことにより、第1の部材と第2の部材とを固着するとと
もに、段部を他の部位との段差がスペーサの直径の20
%以上となるように形成したので、部材同士を固着する
際に、部材同士間の間隔を管理するためのスペーサが他
の領域に侵入することを未然に防止することができる。As described above, according to the fixing method of the present invention, one of the first and second members has a lower step than the other part on the surface facing the other member. The first member and the second member are fixed to each other by applying an adhesive mixed with a spacer for controlling a distance between the first member and the second member to the step portion. At the same time, the step between the step and the other part is 20 mm in diameter of the spacer.
%, It is possible to prevent the spacer for controlling the interval between the members from invading another region when the members are fixed to each other.
【0051】また、本発明の固着方法によれば、第1お
よび第2の部材間の間隔を管理するためのスペーサが混
入された接着剤を、スペーサが第1の部材上における遮
光部材の無形成部位に対向するように第1および第2の
部材の内のいずれか一方の部材に塗布することにより、
第1の部材と第2の部材とを固着するので、光学的有効
部を有する部材同士を固着する際に、部材同士間の間隔
を管理するためのスペーサが光学的有効部に対応する領
域に侵入することを未然に防止することができる。Further, according to the fixing method of the present invention, the adhesive mixed with the spacer for controlling the interval between the first and second members is used for removing the light shielding member on the first member. By applying to one of the first and second members so as to face the formation site,
Since the first member and the second member are fixed to each other, when fixing the members having the optically effective portion to each other, a spacer for managing the interval between the members is provided in a region corresponding to the optically effective portion. Invasion can be prevented beforehand.
【0052】また、本発明の固着方法によれば、第1お
よび第2の部材の内、いずれか一方部材の他方の部材と
の対向面における光学的有効部およびその周辺部に対応
する部位に、スペーサ無混入の接着剤を塗布し、光学的
有効部およびその周辺部に対応する部位の外周部に、第
1および第2の部材間の間隔を管理するためのスペーサ
が混入された接着剤を塗布することにより、第1の部材
と第2の部材とを固着するので、光学的有効部を有する
部材同士を固着する際に、部材同士間の間隔を管理する
ためのスペーサが光学的有効部に対応する領域に侵入す
ることを未然に防止することができる。Further, according to the fixing method of the present invention, of the first and second members, an optically effective portion and a portion corresponding to a peripheral portion thereof on a surface of one of the members facing the other member. An adhesive in which a spacer-free adhesive is applied, and a spacer for controlling a distance between the first and second members is mixed in an outer peripheral portion of a portion corresponding to the optically effective portion and a peripheral portion thereof. Is applied, the first member and the second member are fixed to each other. When the members having the optically effective portion are fixed to each other, the spacer for controlling the interval between the members is optically effective. It can be prevented from invading the area corresponding to the part.
【0053】本発明の撮像モジュールの製造方法によれ
ば、光学部材と保護部材間の間隔を管理するためのスペ
ーサが混入された接着剤を、該スペーサが光学部材の保
護部材との対向面上における遮光部材の無形成部位に対
向するように光学部材および保護部材の内の一方の部材
に塗布することにより、光学部材と保護部材とを固着す
るので、光学的有効部を有する部材同士を固着する際
に、部材同士間の間隔を管理するためのスペーサが光学
的有効部に対応する領域に侵入することを未然に防止す
ることができる。According to the method of manufacturing the image pickup module of the present invention, the adhesive mixed with the spacer for controlling the distance between the optical member and the protective member is applied to the surface of the optical member facing the protective member. The optical member and the protection member are fixed to each other by applying to one of the optical member and the protection member so as to face the portion where the light shielding member is not formed, so that the members having the optically effective portion are fixed to each other. In doing so, it is possible to prevent the spacer for managing the interval between the members from invading the region corresponding to the optically effective portion.
【0054】また、本発明の撮像モジュールの製造方法
によれば、光学部材と保護部材間の間隔を管理するため
のスペーサを光学部材の保護部材との対向面上における
遮光部材の無形成部位に対向するように光学部材および
保護部材の内のいずれか一方の部材上に配置し、いずれ
か一方の部材に配置されたスペーサを含むように該一方
の部材に接着剤を塗布することにより、光学部材と保護
部材とを固着するので、光学的有効部を有する部材同士
を固着する際に、部材同士間の間隔を管理するためのス
ペーサが光学的有効部に対応する領域に侵入することを
未然に防止することができる。Further, according to the method of manufacturing the image pickup module of the present invention, the spacer for controlling the interval between the optical member and the protection member is provided at the portion where the light shielding member is not formed on the surface of the optical member facing the protection member. The optical member is disposed on one of the optical member and the protective member so as to face each other, and an adhesive is applied to the one member so as to include a spacer disposed on one of the members. Since the member and the protection member are fixed to each other, when fixing the members having the optically effective portion to each other, it is necessary to prevent the spacer for managing the interval between the members from entering the region corresponding to the optically effective portion. Can be prevented.
【0055】また、本発明の撮像モジュールの製造方法
によれば、光学部材および保護部材の内、一方の部材の
他方の部材との対向面上におけるその光学的有効部およ
びその周辺部に対応する部位に、スペーサ無混入接着剤
を塗布し、一方の部材の他方の部材との対向面上におけ
るスペーサ無混入接着剤が塗布された部位の外周部位
に、光学部材と保護部材間の間隔を管理するためのスペ
ーサが混入された接着剤を塗布することにより、光学部
材と保護部材とを固着するので、光学的有効部を有する
部材同士を固着する際に、部材同士間の間隔を管理する
ためのスペーサが光学的有効部に対応する領域に侵入す
ることを未然に防止することができる。Further, according to the method of manufacturing the imaging module of the present invention, of the optical member and the protective member, the one corresponding to the optically effective portion and the peripheral portion thereof on the surface facing the other member. Apply the spacer-free adhesive to the part, and manage the distance between the optical member and the protection member on the outer peripheral part of the part where the spacer-free adhesive is applied on the surface of one member facing the other member Since the optical member and the protective member are fixed by applying an adhesive mixed with a spacer for mixing, when the members having the optically effective portion are fixed to each other, the distance between the members is controlled. Can be prevented from entering the region corresponding to the optically effective portion.
【0056】本発明の撮像モジュールによれば、請求項
7、8または9記載の撮像モジュール製造法により製造
されたので、光学的有効部を有する部材同士間の間隔を
管理するためのスペーサが光学的有効部に対応する領域
に侵入することに起因するけられをなくすことができ
る。According to the imaging module of the present invention, since the imaging module is manufactured by the imaging module manufacturing method according to the seventh, eighth or ninth aspect, the spacer for controlling the interval between the members having the optically effective portions is provided with an optical element. It is possible to eliminate the inconvenience caused by entering the area corresponding to the effective portion.
【図1】本発明の実施の第1形態に係る固着方法を適用
した撮像モジュールの構成を示す縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a configuration of an imaging module to which a fixing method according to a first embodiment of the present invention is applied.
【図2】図1の撮像モジュールにおける光学部材2の外
観を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing an appearance of an optical member 2 in the imaging module of FIG.
【図3】図1の撮像モジュールにおける光学部材2に形
成されている遮光層1の構成を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a configuration of a light shielding layer 1 formed on an optical member 2 in the imaging module of FIG.
【図4】図1の撮像モジュールにおける保護部材3に形
成されているフィルタの構成を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a configuration of a filter formed on a protection member 3 in the imaging module of FIG.
【図5】図1の撮像モジュールにおける撮像素子6の画
素を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing pixels of an image sensor 6 in the image pickup module of FIG.
【図6】図1の撮像モジュールにおける撮像素子6の画
素配列構造を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a pixel array structure of an image sensor 6 in the image pickup module of FIG.
【図7】図1の撮像素子6における各色の画素を部分的
に抜き出して重ねたときの状態を模式的に示す図であ
る。7 is a diagram schematically illustrating a state in which pixels of each color in the image sensor 6 of FIG. 1 are partially extracted and overlapped.
【図8】各画素が半画素ずつずれている状態での画像合
成により得られる画素配列を模式的に示す図である。FIG. 8 is a diagram schematically illustrating a pixel array obtained by image synthesis in a state where each pixel is shifted by a half pixel.
【図9】光学部材2と保護部材3、保護部材3と撮像素
子6をそれぞれ接着するための第1の方法を模式的に示
す図である。FIG. 9 is a view schematically showing a first method for bonding the optical member 2 and the protection member 3, and the protection member 3 and the image sensor 6, respectively.
【図10】光学部材2と保護部材3、保護部材3と撮像
素子6をそれぞれ接着するための第2の方法を模式的に
示す図である。FIG. 10 is a view schematically showing a second method for bonding the optical member 2 and the protection member 3, and the protection member 3 and the imaging element 6, respectively.
【図11】本発明の実施の第2形態に係る固着方法を模
式的に示す図である。FIG. 11 is a view schematically showing a fixing method according to a second embodiment of the present invention.
【図12】本発明の実施の第2形態に係る固着方法にお
いて接着剤の塗布方法を変えた例を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing an example in which the method of applying an adhesive is changed in the fixing method according to the second embodiment of the present invention.
【図13】本発明の実施の第3形態に係る固着方法を適
用した撮像モジュールの構成を示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an imaging module to which a fixing method according to a third embodiment of the present invention is applied.
【図14】図13の撮像モジュールにおける光学部材に
接着剤を塗布した状態を示す平面図である。14 is a plan view showing a state where an adhesive is applied to an optical member in the imaging module of FIG. 13;
【図15】撮像装置における主要部構成の簡略的に示す
図である。FIG. 15 is a diagram schematically illustrating a configuration of a main part of the imaging apparatus.
【図16】図15の撮像素子61の画素を示す断面図で
ある。16 is a cross-sectional view showing a pixel of the image sensor 61 in FIG.
【図17】図16の撮像素子における画素配列構造を示
す平面図である。FIG. 17 is a plan view showing a pixel array structure in the imaging device of FIG. 16;
【図18】従来の液晶表示装置の組み立て手順を示す図
である。FIG. 18 is a view showing a procedure for assembling a conventional liquid crystal display device.
1 遮光層 2 光学部材 3 保護部材 4,5 接着剤 6 撮像素子 7 カラーフィルタ 41,51 ビーズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light-shielding layer 2 Optical member 3 Protective member 4,5 Adhesive 6 Image sensor 7 Color filter 41,51 Bead
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 7/00 H04N 5/335 V H04N 5/335 H01L 27/14 D Fターム(参考) 2H043 AE02 AE23 2H048 BB02 BB08 BB37 BB46 4J040 EC001 JA12 JB07 KA03 KA43 MA02 MA05 NA21 4M118 AA10 AB01 GB01 GC08 GD02 HA11 HA20 HA23 HA24 5C024 CY47 CY48 EX23 EX52 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) G02B 7/00 H04N 5/335 V H04N 5/335 H01L 27/14 DF term (Reference) 2H043 AE02 AE23 2H048 BB02 BB08 BB37 BB46 4J040 EC001 JA12 JB07 KA03 KA43 MA02 MA05 NA21 4M118 AA10 AB01 GB01 GC08 GD02 HA11 HA20 HA23 HA24 5C024 CY47 CY48 EX23 EX52
Claims (12)
めの固着方法であって、 前記第1および第2の部材の内、いずれか一方の部材に
おける他方の部材との対向面に他の部位より低い段部を
設け、前記第1の部材と前記第2の部材間の間隔を管理
するためのスペーサが混入された接着剤を前記段部に塗
布することにより、前記第1の部材と前記第2の部材と
を固着するとともに、前記段部を前記他の部位との段差
が前記スペーサの直径の20%以上となるように形成し
たことを特徴とする固着方法。1. A fixing method for fixing a first member and a second member, wherein a surface of one of the first and second members opposing the other member. Is provided with a step portion lower than other portions, and an adhesive mixed with a spacer for controlling a space between the first member and the second member is applied to the step portion, whereby the first portion is formed. And fixing the member to the second member, and forming the step so that a step difference from the other portion is 20% or more of a diameter of the spacer.
との対向面に第3の部材を設けることにより、前記一方
の部材における前記他方の部材との対向面に前記段部を
形成したことを特徴とする請求項1記載の固定方法。2. The method according to claim 1, wherein a third member is provided on a surface of the one member facing the other member, so that the step is formed on a surface of the one member facing the other member. The fixing method according to claim 1, wherein:
第2の部材が互いに重ね合わされ、遮光部材が前記第1
の部材上における光学的有効部およびその周辺部に渡る
ように前記第2の部材との対向面に設けられている構造
に用いられる固着方法であって、 前記第1および第2の部材間の間隔を管理するためのス
ペーサが混入された接着剤を、前記スペーサが前記第1
の部材上における前記遮光部材の無形成部位に対向する
ように前記第1および前記第2の部材の内のいずれか一
方の部材に塗布することにより、前記第1の部材と前記
第2の部材とを固着することを特徴とする固着方法。3. A first member having an optically effective portion and a second member having an optically effective portion are overlapped with each other, and the light shielding member is provided on the first member.
A fixing method used for a structure provided on a surface facing the second member so as to extend over an optically effective portion and a peripheral portion of the member, wherein the first member and the second member are interposed between the first member and the second member. An adhesive mixed with a spacer for controlling an interval is applied to the first spacer by the spacer.
The first member and the second member are applied to one of the first and second members so as to face a portion where the light blocking member is not formed on the member. And a fixing method characterized by fixing.
材は、層状に形成されていることを特徴とする請求項3
記載の固着方法。4. The light shielding member formed on the first member is formed in a layer shape.
The fixing method as described above.
第2の部材が互いに重ね合わされ、遮光部材が前記第1
の部材上における光学的有効部とその周辺部に渡るよう
に前記第2の部材との対向面に設けられている構造に用
いられる固着方法であって、 前記第1および第2の部材の内、いずれか一方部材の他
方の部材との対向面における光学的有効部およびその周
辺部に対応する部位に、スペーサ無混入の接着剤を塗布
し、前記光学的有効部およびその周辺部に対応する部位
の外周部に、前記第1および第2の部材間の間隔を管理
するためのスペーサが混入された接着剤を塗布すること
により、前記第1の部材と前記第2の部材とを固着する
ことを特徴とする固着方法。5. A first member having an optically effective portion and a second member having an optically effective portion are superimposed on each other, and the light shielding member is provided on the first member.
A fixing method used for a structure provided on a surface facing the second member so as to extend over an optically effective portion and a peripheral portion of the member, wherein the first and second members are A spacer-free adhesive is applied to a portion corresponding to the optically effective portion and its peripheral portion on the surface of one of the members facing the other member, and corresponds to the optically effective portion and its peripheral portion. The first member and the second member are fixed to each other by applying an adhesive mixed with a spacer for controlling a distance between the first and second members to an outer peripheral portion of the portion. A fixing method, characterized in that:
材は、印刷により層状に形成されていることを特徴とす
る請求項5記載の固着方法。6. The fixing method according to claim 5, wherein the light shielding member formed on the first member is formed in a layered form by printing.
層された構造を有し、遮光部材が前記光学部材の前記保
護部材との対向面に形成されている撮像モジュールの製
造方法であって、 前記光学部材と前記保護部材間の間隔を管理するための
スペーサが混入された接着剤を、該スペーサが前記光学
部材の前記保護部材との対向面上における前記遮光部材
の無形成部位に対向するように前記光学部材および前記
保護部材の内の一方の部材に塗布することにより、前記
光学部材と前記保護部材とを固着することを特徴とする
撮像モジュールの製造方法。7. A method for manufacturing an imaging module, comprising: a structure in which an optical member, a protection member, and an imaging element are stacked, wherein a light-shielding member is formed on a surface of the optical member facing the protection member. An adhesive mixed with a spacer for controlling the interval between the optical member and the protective member is applied to the adhesive, where the spacer faces a portion where the light shielding member is not formed on a surface of the optical member facing the protective member. A method of manufacturing an imaging module, wherein the optical member and the protection member are fixed by applying to one of the optical member and the protection member as described above.
層された構造を有し、遮光部材が前記光学部材の前記保
護部材との対向面に形成されている撮像モジュールの製
造方法であって、 前記光学部材と前記保護部材間の間隔を管理するための
スペーサを前記光学部材の前記保護部材との対向面上に
おける前記遮光部材の無形成部位に対向するように前記
光学部材および前記保護部材の内のいずれか一方の部材
上に配置し、前記いずれか一方の部材に配置されたスペ
ーサを含むように該一方の部材に接着剤を塗布すること
により、前記光学部材と前記保護部材とを固着すること
を特徴とする撮像モジュールの製造方法。8. A method for manufacturing an imaging module, comprising: a structure in which an optical member, a protection member, and an imaging element are stacked, wherein a light-shielding member is formed on a surface of the optical member facing the protection member. A spacer for managing a distance between the optical member and the protection member is provided on the optical member and the protection member such that the spacer opposes a portion where the light shielding member is not formed on a surface of the optical member facing the protection member. The optical member and the protective member are fixed to each other by disposing the adhesive on one of the members and applying an adhesive to one of the members so as to include the spacer arranged on the one member. A method for manufacturing an imaging module.
有効部を有する保護部材および撮像素子が積層された構
造からなり、遮光部材が前記光学部材の前記保護部材と
の対向面に該光学部材の光学的有効部およびその周辺部
に渡るように形成されている撮像モジュールの製造方法
であって、 前記光学部材および前記保護部材の内、一方の部材の他
方の部材との対向面上におけるその光学的有効部および
その周辺部に対応する部位に、スペーサ無混入接着剤を
塗布し、前記一方の部材の他方の部材との対向面上にお
ける前記スペーサ無混入接着剤が塗布された部位の外周
部位に、前記光学部材と前記保護部材間の間隔を管理す
るためのスペーサが混入された接着剤を塗布することに
より、前記光学部材と前記保護部材とを固着することを
特徴とする撮像モジュールの製造方法。9. An optical member having an optically effective portion, a protective member having an optically effective portion, and an image pickup element are laminated, and a light-shielding member is provided on a surface of the optical member facing the protective member. A method of manufacturing an imaging module formed so as to extend over an optically effective portion of a member and a peripheral portion thereof, wherein the optical member and the protection member are arranged on a surface of one member facing the other member. A portion corresponding to the optically effective portion and its peripheral portion is coated with a spacer-free adhesive, and a portion of the portion where the spacer-free adhesive is applied on a surface of the one member facing the other member. The optical member and the protection member are fixed to each other by applying an adhesive mixed with a spacer for controlling a distance between the optical member and the protection member to an outer peripheral portion. Manufacturing method of the imaging module that.
により製造されたことを特徴とする撮像モジュール。10. An imaging module manufactured by the method for manufacturing an imaging module according to claim 7.
により製造されたことを特徴とする撮像モジュール。11. An imaging module manufactured by the method for manufacturing an imaging module according to claim 8.
により製造されたことを特徴とする撮像モジュール。12. An image pickup module manufactured by the method for manufacturing an image pickup module according to claim 9.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001144738A JP2002343950A (en) | 2001-05-15 | 2001-05-15 | Fixing method, image pickup module and manufacturing method thereof |
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- 2001-05-15 JP JP2001144738A patent/JP2002343950A/en active Pending
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