JP2002241873A - 高強度・高導電性銅合金および銅合金材の製造方法 - Google Patents
高強度・高導電性銅合金および銅合金材の製造方法Info
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Abstract
ても高い特性を持つピン数の多いリードフレーム向け材
料として好適な高強度・高導電性の銅合金および銅合金
材の製造方法を提供する。 【解決手段】 2.0〜2.5wt%のFe、0.01
〜0.1wt%のP、0.01〜1wt%のZnと、
0.05〜0.2wt%のSnを含有し、残部がCuの
組成から成る高強度・高導電性銅合金を提供する。ま
た、前記組成の銅合金母材を鋳造するステップと、銅合
金母材を550〜650℃で30分〜5時間保持する高
温時効熱処理するステップと、高温熱処理した銅合金母
材を400〜500℃で30分〜5時間保持する低温時
効熱処理するステップと、低温熱処理した銅合金母材に
冷間圧延を施こす仕上げ加工ステップとから構成される
ことを特徴とする高強度・高導電性銅合金材の製造方法
を提供する。
Description
の銅合金および銅合金材の製造方法、特に、半導体機器
のリード材、端子、コネクタ等に使用される高強度で高
導電性の銅合金、およびその銅合金材の製造方法に関す
るものである。
ド部分の材料として銅合金材が広く用いられている。こ
のようなリード材の中でもピン数の多いICパッケージ
向けには、高い強度と良好な導電率を兼ね備え、なおか
つパッケージの製造工程で加えられる熱に対して強度低
下を起こさない十分な耐熱性を持つ材料が求められる。
こうした用途には、代表的な材料としてCu−Ni−S
i系合金、あるいはCu−Cr系の合金が使われてい
る。一方、より広い範囲の電子部品向けに用いられてい
る銅合金材として、Feを2wt%程度含んだCu−F
e系合金がある。これらの材料は、加工性などリード材
としての取り扱い易さにも優れた合金材料であり、比較
的安価に提供されている。
法で得られるCu−Ni−Si系合金、Cu−Cr系合
金、あるいはCu−Fe系合金の銅合金材料は、ピン数
の多いパッケージのリード材として使用した場合に強度
が不足するという問題があった。強度が不足する銅合金
に対しては、最終圧延工程の冷間加工率を高め加工硬化
させて高強度化を図る方法が考えられるが、この場合で
も達成できる強度は十分に満足できないレベルであり、
また耐熱性の大幅な低下を伴うという課題があった。
成分を微量に添加し強度の改善を図る方法もある。この
場合、添加元素成分を選択することによって強度と耐熱
性を共に改善することは可能であるが、所定の強度の向
上を得ようと期待して添加量を増やすと導電率の低下を
伴なうという問題があった。このため、元素成分の添加
量は極微量に限られて強度の向上にも限界があり、より
一層の特性向上が望まれている。
ードフレーム向け材料として好適といえる高強度を持
ち、従来材に比べて優れた耐熱性を持つと同時に、導電
率においても高い特性を持ったCu−Fe系の銅合金お
よび銅合金材の製造方法を提供することにある。
を達成するため、2.0〜2.5wt%のFe、0.0
1〜0.1wt%のP、0.01〜1wt%のZnと、
0.05〜0.2wt%のSnを含有し、残部がCuと
不可避不純物の組成から構成されることを特徴とする高
強度・高導電性銅合金を提供する。
ため、2.0〜2.5wt%のFe、0.01〜0.1
wt%のP、0.01〜1wt%のZnと、0.05〜
0.2wt%のSnを含有し、残部がCuと不可避不純
物の組成から構成される銅合金母材を鋳造するステップ
と、前記銅合金母材を550〜650℃の高温で時効熱
処理するステップと、前記高温で熱処理した銅合金母材
を400〜500℃の低温で時効熱処理するステップ
と、前記低温で熱処理した銅合金母材に冷間圧延を施こ
す仕上げ加工ステップとから構成されることを特徴とす
る高強度・高導電性銅合金材の製造方法を提供し、ま
た、2.0〜2.5wt%のFe、0.01〜0.1w
t%のP、0.01〜1wt%のZnと、0.05〜
0.2wt%のSnを含有し、残部がCuと不可避不純
物の組成から構成される銅合金母材を鋳造するステップ
と、前記銅合金母材を850〜1000℃に加熱した後
に冷却する溶体化熱処理ステップと、前記溶体化熱処理
した前記銅合金母材に冷間圧延を行う中間圧延加工ステ
ップと、前記銅合金母材を550〜650℃の高温で時
効熱処理するステップと、前記高温で熱処理した銅合金
母材を400〜500℃の低温で時効熱処理するステッ
プと、前記低温で熱処理した銅合金母材に冷間圧延を施
こす仕上げ加工ステップとから構成されることを特徴と
する高強度・高導電性銅合金材の製造方法を提供する。
るため、前記銅合金母材を550〜650℃の高温で時
効熱処理するステップは、前記銅合金母材を30分〜5
時間保持して時効熱処理するステップを含むことを特徴
とし、前記高温で熱処理した銅合金母材を400〜50
0℃の低温で時効熱処理するステップは、前記銅合金母
材を30分〜5時間保持して時効熱処理するステップを
含むことを特徴とし、前記銅合金母材を850〜100
0℃に加熱した後に冷却する溶体化熱処理ステップは、
850〜1000℃に加熱した前記銅合金母材を、30
0℃以下になるまでに50℃/分以上の速度で冷却する
熱処理ステップを含むことを特徴とし、前記低温で熱処
理した銅合金母材に冷間圧延を施こす仕上げ加工ステッ
プは、前記高温および低温で時効熱処理した銅合金母材
に加工率70%以上の仕上げ冷間圧延加工を施こすステ
ップを含むことを特徴とする高強度・高導電性銅合金材
の製造方法を提供する。
0〜2.5wt%のFe、0.01〜0.1wt%の
P、0.01〜1wt%のZnと、0.05〜0.2w
t%のSnを含有し、残部がCuと不可避不純物の組成
から構成される高強度・高導電性銅合金、ならびに高強
度・高導電性銅合金材の製造方法について説明する。
−Fe−P−Zn合金、またはCu−Fe合金などは一
般的な組成であり、これにSnを添加すると材料の導電
率を大きく低下させると考えられていたが、本発明は、
2.0〜2.5wt%のFe、0.01〜0.1wt%
のP、0.01〜1wt%のZnに加えて、0.05〜
0.2wt%という特定範囲のSnを含有させ、残部が
Cuの組成から成る銅合金材を構成することによって、
高い導電率と十分な強度、耐熱性を有する銅合金が得ら
れることを見い出すに至ったものである。さらに、Sn
は強度の向上と耐熱性の向上を効果的に達成できる添加
元素であるが、材料の導電率を大きく低下させる悪影響
を持っため、従来は添加量を極微量の範囲に抑えること
が必要であった。しかし、本発明では特定の製造ステッ
プの工夫により、Snを添加して導電率を改善するとと
もに、十分な強度、耐熱性の向上が期待できる銅合金材
を可能にし、従来の合金材以上の高強度、高耐熱性を安
定して得られることを見い出した。
2.5wt%のFe、0.01〜0.1wt%のP、
0.01〜1wt%のZnに加えて、0.05〜0.2
wt%という特定範囲のSnを含有させ、残部がCuの
組成から銅合金材を構成することによって、導電率の低
下を招くことなく材料の強度と耐熱性を同時に向上させ
ることができる。この場合、銅合金を構成する所定範囲
のFe−P−Zn−Sn−Cu組成に、合金として不可
避な不純物の金属元素を含むことは許される。また、S
nの添加量を0.05〜0.2wt%の範囲に制限する
理由は、つぎの通りである。すなわち、Snの下限値と
して0.05wt%に規定したのは、0.05wt%未
満のSnの添加量では材料の特性を向上させる効果が小
さいためであり、Snの上限値として0.2wt%に規
定したのは、0.2wt%を超えるSnの添加量では導
電率の低下が大きくなり過ぎたり、はんだ耐候性が悪化
するなどの問題が生じるためである。
的とする高温および低温での時効処理の前工程として、
さらに溶体化を狙いとした溶体化熱処理ステップと、冷
間圧延による中間圧延加工ステップを施こすことが本発
明の特徴である。この溶体化処理は、時効の前段階とし
て合金元素を母材中に十分固溶させる狙いを持ってお
り、これによって時効工程での析出物形成をより効果的
に進めることができる。本発明の溶体化熱処理ステップ
では、850〜1000℃に加熱後、300℃以下の温
度になるまで50℃/分以上の速度で冷却する熱処理を
行うと、溶体化によってFeを銅の母材中に固溶させる
ことができる。また、加熱温度を850〜1000℃の
高温の範囲とし、冷却速度を50℃/分以上に制限する
ことで冷却中に粗大な析出物が形成されることを防いで
いる。溶体化処理に続いて中間圧延加工ステップを施こ
すと、冷間圧延で材料中には析出物形成の起点となる格
子欠陥が導入されることになる。これによってその後施
こされる時効処理における微細析出物の形成を促進し、
材料中に微細な析出物を均一に発生させることができ
る。この結果、更に良好な強度、耐熱性を有する銅合金
材を得るのに大きく寄与するものである。
とする熱処理ステップは、550〜650℃で30分〜
5時間保持する高温の熱処理と、400〜500℃で3
0分〜5時間保持する低温の熱処理が行われる。この時
効熱処理は、Feを銅母材中に微細な形状で析出させて
材料特性、特に材料の導電率や強度、耐熱性を改善する
ために行われるが、本発明は高温での時効処理と低温で
の時効処理を組み合わせて実施することに特徴がある。
これは、高温で形成される析出物と低温で形成される析
出物では、構造や大きさ、材料特性に及ぼす効果に違い
があることを考慮したものである。高温での析出物は強
度、耐熱性を向上させる効果が大きく、それに対して低
温での析出物は主に導電率を向上させる効果が大きい。
特に高温時効後に引き続き低温時効を行なった場合、導
電率をより一層向上させることができる。この結果、双
方の時効処理によって、高温での時効処理は導電率の向
上とともに強度、耐熱性の向上に大きく寄与し、それに
引き続いて行う低温での時効処理はより一層の導電率の
向上に大きな効果を発揮するものである。
は、高温時効の条件範囲として550〜650℃で30
分〜5時間を保持し、低温時効の条件範囲として400
〜500℃で30分〜5時間を保持することが最適であ
る。これは、それぞれの時効目的を最も効果的に実現で
きる条件範囲を選択したものであり、この範囲を外れる
条件では、銅合金材の強度、導電率、耐熱性のいずれか
が不十分になるためである。
効熱処理と低温での時効熱処理を組み合わせて実施する
場合、2つの時効熱処理は、それぞれ独立して実施する
必要はない。すなわち、まず銅合金母材を550〜65
0℃に昇温して所定時間保持した後、冷却途中で400
〜500℃の範囲に30分〜5時間保持することによっ
て、本発明の実施の形態における1回の昇温降温プロセ
スで時効熱処理を完結させることが可能であり、本発明
の実施の形態における高温および低温の時効熱処理が経
済的に実現できる。
される仕上げ加工ステップは、時効熱処理後に冷却した
材料に、加工率70%以上の仕上げ冷間圧延加工を加え
るものである。この仕上げ冷間圧延加工によって、時効
熱処理を行なって導電率を十分に向上させた銅合金材
に、加工率70%以上の仕上げ冷間圧延加工を加えると
材料は加工硬化し、望ましい水準の強度を持った材料を
得ることができる。しかし、仕上げ冷間圧延の加工率が
70%未満の場合は、加工硬化による所定の十分な強度
が得られないので加工率は70%以上の仕上げ冷間圧延
加工を加えることが望まれる。
Znに適量なSnを含有させ残部がCuの組成から成る
銅合金の構成にすると、従来のCu−Fe合金材よりも
高強度でかつ優れた耐熱性を安定して有し、導電率にお
いても従来の合金材と同等以上の特性を持ち、小型・多
ピンのリードフレーム材として最適であるのみならず、
電子電気機器用の材料として幅広く利用することができ
る。
表1に示す組成の合金を、無酸素銅を母材にして高周波
溶解炉で溶製し、直径30mm、長さ250mmのイン
ゴットに鋳造して所定の銅合金母材を得た。この銅合金
母材を850℃に加熱して押出加工し、幅20mm、厚
さ8mmの板材にした後、厚さ2.0mmまで冷間圧延
した。次に、その板材を900℃に加熱して3分間保持
した後、水中に投入して約300℃/分の速度で室温
(約25℃)まで冷却した。その後、厚さ0.7mmま
で冷間圧延した後、600℃で2時間加熱し、更に冷却
途中で450℃に2時間保持する時効処理を行った。最
後に、この材料を厚さ0.15mmまで冷間圧延して供
試材とした。
て、引張強さ、導電率、ビッカーズ硬さを測定した。そ
の結果を表2に示す。
る実施例1、2は、引張強さ614N/mm2 以上、導
電率65%IACS以上、硬さHv172以上と158
という良好な特性を持った材料であることが判る。これ
に対し、Sn量の少ない比較例1は強度、耐熱性が劣
り、Sn量の多い比較例2は導電性が劣り、第4の添加
元素を変えた比較例3〜5はSn添加材と比較して、強
度、導電率、耐熱性が劣っていることが判る。
て、表3に示す時効条件、仕上圧延の加工率で供試材を
製造(時効処理前までは前記の製造方法と同じ)した。
得られた供試材について引張強さ、導電率、ビッカーズ
硬さを測定した。その結果を表4に示す。
温度で時効処理を行なったものであるが、これらの材料
は何れも導電率が低くなっており、時効処理の温度が低
いと耐熱性も不十分である。また、高温での時効温度が
本発明の規定範囲を外れた比較例9と比較例10は実施
例1のものに比べて耐熱性が劣り、低温での時効温度が
本発明の規定範囲を外れた比較例11と比較例12は実
施例1のものに比べて導電率が劣っている。比較例13
は仕上圧延の加工率が本発明の規定範囲を外れた材料で
あるが、この材料は実施例1に比べて強度が劣ることが
わかる。表4の結果から、550〜650℃で加熱する
高温時効と400〜500℃で加熱する低温時効を組み
合せて行ない、仕上圧延によって加工料70%以上の加
工を行ったときに、良好な特性の銅合金材料が得られる
ことが判る。
方法によると、Fe−P−Znと適量なSnを含有し、
残部がCuの組成から構成される銅合金とすることによ
り、耐熱性に富む高強度・高導電性の銅合金材料を得る
ことができる。また、高温の時効熱処理、低温の時効熱
処理、およびそれらに引き続く冷間圧延を施こして溶体
化熱処理を適性に行うことにより、耐熱性の大幅な低下
を招くことなく、従来の合金材を凌ぐ高強度・高導電性
の銅合金材料を低コストで製造することができるという
効果がある。この結果、本発明による高特性銅合金材料
の安価な供給は、小型・多ピンリードフレームおよびパ
ッケージについて、その製造技術の向上を支え、半導体
装置の発展に大きく寄与するものである。
Claims (7)
- 【請求項1】2.0〜2.5wt%のFe、0.01〜
0.1wt%のP、0.01〜1wt%のZnと、0.
05〜0.2wt%のSnを含有し、残部がCuと不可
避不純物の組成から構成されることを特徴とする高強度
・高導電性銅合金。 - 【請求項2】2.0〜2.5wt%のFe、0.01〜
0.1wt%のP、0.01〜1wt%のZnと、0.
05〜0.2wt%のSnを含有し、残部がCuと不可
避不純物の組成から構成される銅合金母材を鋳造するス
テップと、 前記銅合金母材を550〜650℃の高温で時効熱処理
するステップと、 前記高温で熱処理した銅合金母材を400〜500℃の
低温で時効熱処理するステップと、 前記低温で熱処理した銅合金母材に冷間圧延を施こす仕
上げ加工ステップとから構成されることを特徴とする高
強度・高導電性銅合金材の製造方法。 - 【請求項3】2.0〜2.5wt%のFe、0.01〜
0.1wt%のP、0.01〜1wt%のZnと、0.
05〜0.2wt%のSnを含有し、残部がCuと不可
避不純物の組成から構成される銅合金母材を鋳造するス
テップと、 前記銅合金母材を850〜1000℃に加熱した後に冷
却する溶体化熱処理ステップと、 前記溶体化熱処理した前記銅合金母材に冷間圧延を行う
中間圧延加工ステップと、 前記銅合金母材を550〜650℃の高温で時効熱処理
するステップと、 前記高温で熱処理した銅合金母材を400〜500℃の
低温で時効熱処理するステップと、 前記低温で熱処理した銅合金母材に冷間圧延を施こす仕
上げ加工ステップとから構成されることを特徴とする高
強度・高導電性銅合金材の製造方法。 - 【請求項4】前記銅合金母材を550〜650℃の高温
で時効熱処理するステップは、前記銅合金母材を30分
〜5時間保持して時効熱処理するステップを含むことを
特徴とする請求項2および請求項3に記載の高強度・高
導電性銅合金材の製造方法。 - 【請求項5】前記高温で熱処理した銅合金母材を400
〜500℃の低温で時効熱処理するステップは、前記銅
合金母材を30分〜5時間保持して時効熱処理するステ
ップを含むことを特徴とする請求項2および請求項3に
記載の高強度・高導電性銅合金材の製造方法。 - 【請求項6】前記銅合金母材を850〜1000℃に加
熱した後に冷却する溶体化熱処理ステップは、850〜
1000℃に加熱した前記銅合金母材を、300℃以下
になるまでに50℃/分以上の速度で冷却する熱処理ス
テップを含むことを特徴とする請求項3に記載の高強度
・高導電性銅合金材の製造方法。 - 【請求項7】前記低温で熱処理した銅合金母材に冷間圧
延を施こす仕上げ加工ステップは、前記高温および低温
で時効熱処理した銅合金母材に加工率70%以上の仕上
げ冷間圧延加工を施こすステップを含むことを特徴とす
る請求項2および請求項3に記載の高強度・高導電性銅
合金材の製造方法。
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