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JP2002156509A - Conductive antireflection film and glass panel for cathode-ray tube covered with the same formed thereon - Google Patents

Conductive antireflection film and glass panel for cathode-ray tube covered with the same formed thereon

Info

Publication number
JP2002156509A
JP2002156509A JP2000354601A JP2000354601A JP2002156509A JP 2002156509 A JP2002156509 A JP 2002156509A JP 2000354601 A JP2000354601 A JP 2000354601A JP 2000354601 A JP2000354601 A JP 2000354601A JP 2002156509 A JP2002156509 A JP 2002156509A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
particles
film
solution
glass panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000354601A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yoshiharu Miwa
義治 三和
Shigeyoshi Ito
茂嘉 伊藤
Masanobu Kido
政信 木戸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Electric Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Glass Co Ltd filed Critical Nippon Electric Glass Co Ltd
Priority to JP2000354601A priority Critical patent/JP2002156509A/en
Publication of JP2002156509A publication Critical patent/JP2002156509A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
  • Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive reflection preventing film which is provided with high contrast, excellent antistatic effect and electromagnetic wave shielding effect, is hardly accompanied by variation in optical characteristics and resistance before and after the time of heat treatment, exhibits low reflectance over the whole visible ray region, is provided with high film strength, curbs reflection on the rear surface when formed on a glass substrate with high transmittance so as to cover the substrate and further curbs generation of defects such as coloring unevenness and stains and to provide a glass panel for a cathode-ray tube covered with the film formed on the outer surface of the face part. SOLUTION: In a first layer and a second layer denominated successively from the substrate side, the first layer is characterized by being a layer formed by applying a solution containing >=20 pts.mass SiO2 particles with respect to 100 pts.mass Ru metal and/or particles of its compound to the substrate and by heating and baking it and the second layer is characterized by being a layer formed by applying a solution containing a silicon compound as a main component on the first layer and by heating and baking it.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、導電性反射防止膜と、
それがフェース部の外表面に被覆形成された陰極線管用
ガラスパネルに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a conductive anti-reflection film,
This relates to a glass panel for a cathode ray tube having a coating formed on the outer surface of the face portion.

【0002】[0002]

【従来の技術】陰極線管には反射光の低減やコントラス
トの向上とともに、帯電防止や電磁波遮蔽といった性能
が要求されており、陰極線管の表示面であるガラスパネ
ルのフェース部の外表面に、不要電磁波の遮蔽を目的と
して例えばRuからなる金属膜と、その上に反射防止膜
として機能するSiO2 膜を形成することにより、導電
性と反射防止性を備えた膜を形成することが行われてい
る。かかる導電性反射防止膜は、Ruの金属粒子を含有
した塗布液をパネルガラス外表面に塗布形成した後、そ
の上にケイ酸塩を主成分とする塗布液を塗布した後、1
60〜180℃の温度で30分間加熱処理することによ
り形成される。
2. Description of the Related Art A cathode ray tube is required to have properties such as reduction of reflected light and improvement of contrast, as well as antistatic and shielding of electromagnetic waves, and it is not necessary to provide an outer surface of a face portion of a glass panel which is a display surface of the cathode ray tube. By forming a metal film made of, for example, Ru for the purpose of shielding electromagnetic waves and an SiO 2 film functioning as an anti-reflection film thereon, a film having conductivity and anti-reflection properties is formed. I have. Such a conductive anti-reflection film is formed by applying a coating solution containing metal particles of Ru on the outer surface of the panel glass, and then coating a coating solution containing silicate as a main component on the coating solution.
It is formed by heating at a temperature of 60 to 180 ° C. for 30 minutes.

【0003】また、近年、フェース部の外表面が平坦な
陰極線管用ガラスパネルが普及しつつあるが、このよう
なフラットガラスパネルは、所望の機械的強度を得る目
的で、フェース部の内表面の曲率半径が外表面に比べて
小さく設計され、フェース部の中央肉厚に比べて周辺領
域の肉厚が増大したデザインになっている。従って、こ
のようなフラットガラスパネルを、光透過率の低いガラ
スから作製すると、フェース部の中央部と周辺部の肉厚
差による光の透過量の違いが大きくなり、中央部と周辺
部とで映像に輝度差が生じることとなる。そのため、ガ
ラスパネルを光透過率の高いガラスから作製することに
よって、その中央部と周辺部の透過率差を低減し、さら
にフェース部の外表面に着色性の導電性反射防止膜を被
覆形成することによってコントラストを向上させること
が試みられている。斯様な導電性反射防止膜の形成に
は、CVD法、スパッタリング法、スプレーコート法、
スピンコート法等が用いられる。
[0003] In recent years, glass panels for cathode ray tubes having a flat outer surface of the face portion are becoming widespread. However, such flat glass panels have been used to obtain a desired mechanical strength. The radius of curvature is designed to be smaller than that of the outer surface, and the thickness of the peripheral region is increased compared to the center thickness of the face portion. Therefore, if such a flat glass panel is made of glass having a low light transmittance, the difference in the amount of transmitted light due to the difference in thickness between the central portion and the peripheral portion of the face portion becomes large, and the difference between the central portion and the peripheral portion becomes large. A luminance difference occurs in the video. Therefore, the glass panel is made of glass having a high light transmittance, thereby reducing the difference in transmittance between the central portion and the peripheral portion, and furthermore, the outer surface of the face portion is coated with a colored conductive antireflection film. Attempts have been made to improve the contrast. For forming such a conductive anti-reflection film, a CVD method, a sputtering method, a spray coating method,
A spin coating method or the like is used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】導電性反射防止膜が形
成された陰極線管用ガラスパネルは、陰極線管の製造工
程において、ファンネルとフリットシールされ、さらに
バルブ内部が排気されるが、このようなシール工程や排
気工程では400℃以上の熱処理が施される。従来の導
電性反射防止膜は、この熱処理の前後で反射率や抵抗値
が変動し易く、反射色調の変化による外観の変化を生じ
たり、また電磁波遮蔽性の低下を誘起したりするため、
所望の反射率や電磁波遮蔽性能を安定して得られないと
いう問題がある。
A glass panel for a cathode ray tube having a conductive anti-reflection film formed thereon is frit-sealed with a funnel in a manufacturing process of the cathode ray tube, and further, the inside of the bulb is evacuated. In the process and the exhaust process, a heat treatment of 400 ° C. or more is performed. Conventional conductive anti-reflective coatings tend to fluctuate in reflectivity and resistance before and after this heat treatment, causing changes in appearance due to changes in the reflection color tone, and inducing a decrease in electromagnetic wave shielding properties.
There is a problem that desired reflectance and electromagnetic wave shielding performance cannot be stably obtained.

【0005】また、着色性の導電性反射防止膜として、
可視光の吸収係数が1.0以上となる強い光吸収性を有
する遷移金属粒子(例えばRu)等の材料を用いて、例
えば肉厚を10.16mmに換算した場合の波長550
nmにおける光透過率が70%以上のガラスを使用し、
陰極線管のコントラストを向上させるために透過率が5
0%程度の膜を形成する場合には、10〜50nm程度
の幾何学的厚みを有する膜が形成される。
Further, as a coloring conductive antireflection film,
Using a material such as transition metal particles (for example, Ru) having a strong light absorbing property having a visible light absorption coefficient of 1.0 or more, a wavelength 550 when the thickness is converted to 10.16 mm, for example.
using a glass having a light transmittance of 70% or more in nm,
The transmittance is 5 to improve the contrast of the cathode ray tube.
When a film of about 0% is formed, a film having a geometric thickness of about 10 to 50 nm is formed.

【0006】しかしながら、ガラス表面に高い光吸収性
を有する微粒子を含有する液体をスピンコート法により
塗布することにより膜を形成すると、完全に均一な膜を
形成することは困難である。一般的には塗布液の成分濃
度を希釈する方法や、可能な限り少量の液体を精度良く
塗布する技術が提案されているものの、ガラス上に残存
するごく微小な異物(塵、埃)や有機物等の付着物等に
起因して、膜成分である金属粒子の凝集やはじきが起こ
り、着色ムラや黒色シミ等の欠点を生じるという問題が
ある。
However, it is difficult to form a completely uniform film by applying a liquid containing fine particles having high light absorbing properties to the glass surface by spin coating. In general, although a method of diluting the component concentration of a coating liquid and a technique of applying a small amount of liquid as accurately as possible have been proposed, tiny foreign substances (dust, dust) and organic substances remaining on glass have been proposed. There is a problem that aggregation or repelling of metal particles as a film component occurs due to the deposits or the like, resulting in defects such as uneven coloring and black spots.

【0007】また、上記の遷移金属粒子のみからなる着
色性の導電膜においては、かかる膜の形成後の表面は反
射率が非常に高く、その上に反射防止膜としてのSiO
2 膜を形成して2層構造の導電性反射防止膜を形成した
場合、その表面反射率カーブは波長による変化の大きい
V字型を呈し、可視光である400〜800nmの全域
に亘って低い反射率を得ることは困難である。
In a colored conductive film composed of only the transition metal particles described above, the surface after the formation of such a film has a very high reflectance, and a SiO 2 film as an anti-reflection film is further formed thereon.
When a two-layer conductive anti-reflection film is formed by forming two films, the surface reflectance curve exhibits a V-shape with a large change depending on the wavelength, and is low over the entire range of visible light of 400 to 800 nm. It is difficult to obtain reflectivity.

【0008】さらに、上記の導電性反射防止膜は、膜厚
が10〜50nmと小さいことにより裏面反射率が高く
なるという問題がある。裏面反射率が高いと、陰極線管
用ガラスパネル内面の蛍光体の光が導電性反射防止膜の
裏面で反射され、再びガラスパネル内面で反射されるの
で、ガラスパネルの表面には、蛍光体からの直接光によ
る映像と、反射光による位置がずれた映像とが同時に映
し出され、映像が二重に見えるという欠点を有してい
る。
Further, the above conductive anti-reflection film has a problem that the back surface reflectance is high because the film thickness is as small as 10 to 50 nm. When the back surface reflectance is high, the light of the phosphor on the inner surface of the glass panel for a cathode ray tube is reflected on the back surface of the conductive anti-reflection film and is reflected again on the inner surface of the glass panel. There is a drawback that an image by direct light and an image whose position is shifted by reflected light are simultaneously displayed, and the image appears double.

【0009】そこで、本発明は、高コントラスト、優れ
た帯電防止性と電磁波遮蔽性を有しながら、熱処理の前
後で光学特性や抵抗値が変動し難く、可視光全般に亘っ
て低い反射率を示し、高い膜強度を有し、光透過率の高
いガラス基体に被覆形成しても裏面反射を抑制できる
上、着色ムラやシミ等の欠点の発生を抑制できる導電性
反射防止膜と、それがフェース部の外表面に被覆形成さ
れた陰極線管用ガラスパネルを提供することである。
Therefore, the present invention provides a high contrast, excellent antistatic property and electromagnetic wave shielding property, but hardly fluctuates in optical properties and resistance values before and after heat treatment, and has a low reflectance over visible light in general. A conductive anti-reflection film, which has a high film strength and can suppress back surface reflection even when coated on a glass substrate having a high light transmittance, and can suppress occurrence of defects such as uneven coloring and spots. An object of the present invention is to provide a glass panel for a cathode ray tube having a coating formed on an outer surface of a face portion.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題お
よび目的に鑑みてなされたもので、基体上に形成される
2つの層を含み、基体側から順に第1の層および第2の
層と呼ぶとき、第1の層は、Ru金属および/またはそ
の化合物微粒子100質量部に対してSiO2粒子を2
0質量部以上含む溶液を塗布して加熱焼成することによ
り形成された層であり、第2の層は、前記第1の層の上
にケイ素化合物を主成分とする溶液を塗布して加熱焼成
することにより形成された層であることを特徴とする導
電性反射防止膜である。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems and objects, and includes two layers formed on a substrate, and a first layer and a second layer in order from the substrate side. When referred to as a layer, the first layer is composed of 2 parts of SiO 2 particles per 100 parts by mass of fine particles of Ru metal and / or its compound.
The second layer is a layer formed by applying a solution containing 0 parts by mass or more and baking by heating, and the second layer is formed by applying a solution containing a silicon compound as a main component on the first layer and baking by heating. The conductive anti-reflection film is characterized by being a layer formed by performing the method described above.

【0011】また、第1の層である膜の膜厚が50nm
以上、透過率が90%以下、表面抵抗値が104Ω/□
以下であることを特徴とする。
Further, the film thickness of the first layer is 50 nm.
As described above, the transmittance is 90% or less, and the surface resistance is 10 4 Ω / □.
It is characterized by the following.

【0012】また、第1の層を形成する溶液中のSiO
2粒子が、網目状に架橋が形成されてなることを特徴と
する。
[0012] Further, SiO 2 in a solution for forming the first layer may be used.
The two particles are characterized in that crosslinks are formed in a network.

【0013】また、本発明は、導電性反射防止膜がフェ
ース部の外表面に被覆形成され、フェース部の外表面の
平均曲率半径がフェース部中央を通る全放射方向におい
て10000mm以上であり、肉厚を10.16mmに
換算した場合の波長550nmにおける光透過率が70
%以上のガラスからなり、前記導電性反射防止膜は、フ
ェース側から順に第1の層および第2の層と呼ぶとき、
第1の層は、Ru金属および/またはその化合物粒子
と、網目状に架橋が形成されたSiO2粒子を含む溶液
を塗布して加熱焼成することにより形成された層であ
り、第2の層は、ケイ素化合物を主成分とする溶液を塗
布して加熱焼成することにより形成された層であること
を特徴とする陰極線管用ガラスパネルである。
Further, according to the present invention, the conductive anti-reflection film is formed on the outer surface of the face portion so that the average radius of curvature of the outer surface of the face portion is 10,000 mm or more in all radial directions passing through the center of the face portion. When the thickness is converted to 10.16 mm, the light transmittance at a wavelength of 550 nm is 70.
% Of the glass, and the conductive antireflection film is referred to as a first layer and a second layer in order from the face side.
The first layer is a layer formed by applying a solution containing Ru metal and / or its compound particles and SiO 2 particles having crosslinks formed in a network and heating and baking the second layer. Is a glass panel for a cathode ray tube, characterized in that it is a layer formed by applying a solution containing a silicon compound as a main component and baking by heating.

【0014】[0014]

【作用】第1の層は、Ru金属および/またはその化合
物粒子100質量部に対して、SiO2粒子を20質量
部以上含む溶液を塗布し加熱焼成することにより形成さ
れた層であり、この層は屈折率が1.4〜2.5、可視
光の吸収係数が0.05〜1.0の導電性を備えた光吸
収性の低い着色層であり、膜と基体との密着強度を向上
させるとともに、第2の層との干渉作用により表面反射
光や裏面反射光を低減する作用を有している。
The first layer is a layer formed by applying a solution containing not less than 20 parts by mass of SiO 2 particles to 100 parts by mass of Ru metal and / or its compound particles and heating and firing the solution. The layer is a colored layer having a refractive index of 1.4 to 2.5 and a conductive coefficient of visible light absorption coefficient of 0.05 to 1.0 and having low light absorption. It has the effect of improving the surface light and reducing the surface reflected light and the back surface reflected light due to the interference with the second layer.

【0015】なお可視光の吸収係数とは、物体の透過す
る前後の光強度の対数比を意味している。記号を用いて
説明すると、物体に吸収される吸収光の放射束をa、物
体に入射する入射光の放射束をi、物体表面で反射され
る反射光の放射束をr、物体を透過する透過光の放射束
をtとするとき、a=i−r−tという式が成り立つ。
Lambert−Bouguerの法則により、入射光
の放射束iに対する透過光の放射束tの比の対数は、物
体を透過する光の透過距離xに比例するので、ln(t
/i)=−kxの関係が成り立つ。このときの比例係数
kを吸収係数という。基板上に薄膜を形成した場合、薄
膜の表面の反射と、基板と薄膜との界面での反射とが生
じ、これら二つの反射光が干渉するため、吸収係数kは
薄膜の反射率にも影響する。この吸収係数kが0.05
未満であると、薄膜の厚さxが同じ場合、入射光の放射
束iに対して透過光の放射束tが大きくなり着色性が弱
く、コントラストが悪くなる。一方、1.0を越えると
入射光の放射束iに対して透過光の放射束tが小さくな
り着色性が強すぎて薄膜の裏面反射率が大きくなり、光
透過率の高いガラスからなる陰極線管用ガラスパネル上
に薄膜を形成すると、陰極線管に映し出された映像が二
重に見えることになる。
Note that the visible light absorption coefficient means the logarithmic ratio of the light intensity before and after transmission through an object. To explain using symbols, a is the radiant flux of the absorbed light absorbed by the object, i is the radiant flux of the incident light incident on the object, r is the radiant flux of the reflected light reflected on the object surface, and passes through the object. Assuming that the radiant flux of the transmitted light is t, the expression a = i−rt holds.
According to Lambert-Bouguer's law, the logarithm of the ratio of the radiant flux t of the transmitted light to the radiant flux i of the incident light is proportional to the transmission distance x of the light transmitted through the object.
/ I) =-kx holds. The proportional coefficient k at this time is called an absorption coefficient. When a thin film is formed on a substrate, reflection at the surface of the thin film and reflection at the interface between the substrate and the thin film occur, and the two reflected lights interfere with each other. Therefore, the absorption coefficient k also affects the reflectance of the thin film. I do. This absorption coefficient k is 0.05
When the thickness is less than the above, when the thickness x of the thin film is the same, the radiant flux t of the transmitted light is larger than the radiant flux i of the incident light, the coloring property is weak, and the contrast is poor. On the other hand, if it exceeds 1.0, the radiant flux t of the transmitted light is smaller than the radiant flux i of the incident light, the coloring property is too strong, the reflectivity of the back surface of the thin film becomes large, and the cathode ray made of glass having a high light transmittance. If a thin film is formed on a glass panel for a tube, the image projected on the cathode ray tube will appear double.

【0016】また幾何学的厚みとは、λ/4等の光学的
厚みと区別するもので、波長に依存しない厚みを意味す
るものである。
The geometric thickness is to be distinguished from an optical thickness such as λ / 4 and means a thickness independent of wavelength.

【0017】本発明において、第1の層を構成する膜
は、Ru金属および/またはその化合物粒子とSiO2
粒子を含む溶液を塗布し加熱焼成することにより形成さ
れた膜であり、導電性反射防止膜の形成後に再加熱処理
に供される陰極線管用ガラスパネルに形成した場合に
も、かかる再加熱処理の前後での膜特性、例えば透過率
や反射率、抵抗値の特性変化を生じさせず、また高い膜
強度を有している。
In the present invention, the film constituting the first layer is made of Ru metal and / or its compound particles and SiO 2
It is a film formed by applying a solution containing particles and baking by heating, and when formed on a glass panel for a cathode ray tube to be subjected to a reheating treatment after the formation of a conductive antireflection film, the reheating treatment is also performed. It does not cause any change in film characteristics before and after, for example, transmittance, reflectance, and resistance value, and has high film strength.

【0018】なお、本発明において、上記SiO2粒子
とは、不定形(非晶質)の粒子ではなく、予め結晶化し
た状態でのSiO2粒子を意味する。
In the present invention, the above-mentioned SiO 2 particles are not amorphous (amorphous) particles, but are SiO 2 particles in a crystallized state in advance.

【0019】本発明において、第1の層は、Ru金属お
よび/またはその化合物粒子100質量部に対して、S
iO2粒子を20質量部以上含む溶液を塗布し加熱焼成
することにより形成されていることにより、SiO2
子の添加により第1の層の膜厚を増加させることで、膜
の裏面反射を低く抑えることができる。一方、SiO 2
粒子がRu金属および/またはその化合物粒子に対して
多すぎると膜中のRu金属粒子間距離の増大による抵抗
値の低下を招くため、より好ましくは、Ru金属および
/またはその化合物粒子100質量部に対して、SiO
2粒子が30〜150質量部である。
In the present invention, the first layer is made of Ru metal or
And / or 100 parts by mass of the compound particles, S
iOTwoApplying a solution containing 20 parts by mass or more of particles and baking by heating
SiO2Twograin
The thickness of the first layer is increased by adding
Back reflection can be kept low. On the other hand, SiO Two 
Particles are Ru metal and / or its compound particles
If too large, the resistance due to the increase in the distance between the Ru metal particles in the film is increased.
To reduce the value, more preferably, Ru metal and
And / or 100 parts by mass of the compound particles, SiO 2
TwoThe particles are 30 to 150 parts by mass.

【0020】第1の層の形成は、例えば、Ru金属およ
び/またはその化合物粒子を含む水性ゾルと、SiO2
粒子を含む水性ゾルをアルコール等の極性溶媒中に超音
波混合した塗布液を調製し、これを塗布し加熱焼成する
ことにより可能である。
The first layer is formed by, for example, forming an aqueous sol containing Ru metal and / or compound particles thereof with SiO 2
This can be achieved by preparing a coating solution obtained by ultrasonically mixing an aqueous sol containing particles in a polar solvent such as alcohol, applying the coating solution, and heating and baking.

【0021】ケイ素化合物を主成分とする溶液を塗布し
て加熱焼成することにより形成される第2の層は、60
〜150nmの幾何学的厚みを有する可視光の屈折率が
1.4〜1.6の透明層であり、第1の層との干渉効果
により表面反射光と裏面反射光を低減する作用を有して
いる。
The second layer formed by applying a solution containing a silicon compound as a main component and sintering the solution is 60
A transparent layer having a geometric thickness of about 150 nm and a refractive index of visible light of 1.4 to 1.6, and having an effect of reducing front surface reflected light and back surface reflected light by an interference effect with the first layer. are doing.

【0022】第2の層の形成に使用する塗布液として、
SiO2 粒子、或いは(1)式 (R1nM(OR24-n ・・・(1) (ここでR1:アルキル基、アルケニル基、M:Si、
2:アルキル基であり、n=0または1である)で示
される化合物を主成分として含有する液を塗布液として
用いると、特に実用上高い膜強度を有するのでより好ま
しい。必要に応じて、Ti、Sn、Sb、Al、Zr、
Ce、Zn等の金属を含有する酸化物の混合物または複
合酸化物の粒子、或いはこれらの前記(1)式に記載の
化合物を添加してもよい。
As the coating liquid used for forming the second layer,
SiO 2 particles or (1) Formula (R 1 ) n M (OR 2 ) 4-n (1) (where R 1 is an alkyl group, an alkenyl group, M: Si,
R 2 is an alkyl group, and n = 0 or 1) is more preferably used as a coating liquid because it has a practically high film strength. If necessary, Ti, Sn, Sb, Al, Zr,
A mixture of oxides or composite oxide particles containing a metal such as Ce or Zn, or a compound of the above formula (1) may be added.

【0023】本発明において、第1の層を構成する膜
は、その膜厚が50nm以上、透過率が90%以下、表
面抵抗値が104Ω/□以下であることが、より好まし
い。膜厚が50nm未満であると裏面反射を抑制する効
果が十分にでない。また、膜厚が大きすぎると、溶液塗
布後の加熱焼成工程において、膜内部の溶媒の揮発によ
る膜厚の減少によって生じる応力により膜自体に亀裂を
生じる虞があるため、200nm以下にすることが、さ
らに好ましい。また、透過率が90%より大きいと、導
電性金属粒子の含有量が少なくなるために、104Ω/
□以下の表面抵抗値を得ることが困難となり、所望の電
磁波遮蔽性が得られない。
In the present invention, it is more preferable that the film constituting the first layer has a thickness of 50 nm or more, a transmittance of 90% or less, and a surface resistance of 10 4 Ω / □ or less. If the thickness is less than 50 nm, the effect of suppressing back surface reflection is not sufficient. On the other hand, if the film thickness is too large, the film itself may be cracked by stress caused by the decrease in the film thickness due to volatilization of the solvent inside the film in the heating and firing step after application of the solution. Is more preferable. On the other hand, if the transmittance is greater than 90%, the content of the conductive metal particles is reduced, so that 10 4 Ω /
□ It is difficult to obtain the following surface resistance value, and desired electromagnetic wave shielding properties cannot be obtained.

【0024】また、本発明において、第1の層を形成す
る溶液中のSiO2粒子に網目状に架橋を形成すること
により、そのマトリックス中に数〜数十nmといった空
隙を有し、その中にRu金属および/またはその化合物
微粒子を取り込んで化学吸着させ、安定化させることが
できることから、より好ましい。かかる溶液を陰極線管
用ガラスパネルの表面に塗布し加熱焼成して膜を形成し
た場合、その膜表面は金属特有の光沢が抑制され、可視
光である400〜800nm全般に亘って低反射の膜と
なる。このため、その上に第2の層であるSiO2を主
成分とする膜を形成して干渉させることで、可視光全般
に亘って低い反射率を有する導電性反射防止膜を得るこ
とができる。さらに網目状に架橋が形成されたSiO2
粒子によるRu金属および/またはその化合物粒子の安
定化作用により、膜形成時のガラス上に残存するごく微
小な異物(塵、埃)や有機物等の付着物等に起因して生
じる金属微粒子の凝集やはじきを抑制し、着色ムラや黒
色シミ等の発生を防止できる。また、基体としてガラス
を用いて、スピンコート法により膜を形成する場合に
は、ガラス表面との濡れ性が向上することにより、ガラ
ス表面の微小な凹凸によるスピンオフ(スピンコート工
程におけるガラス回転によるガラス表面からの余剰液の
飛散過程)の不均一性に起因する放射状の透過ムラが発
生するのを抑制できる。
Further, in the present invention, the SiO 2 particles in the solution forming the first layer are cross-linked in a network to form voids of several to several tens nm in the matrix, and It is more preferable because Ru metal and / or its compound fine particles can be taken in and chemically adsorbed and stabilized. When such a solution is applied to the surface of a glass panel for a cathode ray tube and heated and fired to form a film, the film surface is suppressed in gloss peculiar to a metal, and has a low-reflection film over the entire visible light of 400 to 800 nm. Become. Therefore, a conductive antireflection film having a low reflectance over the entire visible light can be obtained by forming a film mainly composed of SiO 2 as the second layer thereon and causing interference. . Further, SiO 2 having cross-links formed in a network form
Aggregation of metal fine particles caused by extraneous foreign matter (dust, dust) or organic matter attached to glass at the time of film formation due to stabilization of Ru metal and / or its compound particles by particles. Repelling can be suppressed, and the occurrence of uneven coloring and black spots can be prevented. In the case where a film is formed by spin coating using glass as a substrate, the wettability with the glass surface is improved, so that spin-off due to minute irregularities on the glass surface (the glass is rotated by the glass rotation in the spin coating process). It is possible to suppress the occurrence of radial transmission unevenness due to the non-uniformity of the process of scattering excess liquid from the surface.

【0025】第1の層を形成する溶液に含まれる網目状
に架橋が形成されたSiO2粒子の調整方法については
公知の方法を用いることが可能であり、例えば、Siの
アルコキシドの水/アルコール中に溶解させた溶液中で
Siのアルコキシドを加水分解させ、次いで縮重合反応
を進行させることによりSiO2の一次粒子を形成した
後、Siのアルコキシドの水/アルコール中に溶解させ
た溶液中で縮重合させることにより架橋したSiO2
子を得る方法、或いは、上記の加水分解、次いで縮重合
により得られたSiO2一次粒子を所定の反応条件下で
連鎖的に反応させ3次元的に鎖を形成することにより網
目状となったSiO2粒子を得る方法などがあげられ
る。
A known method can be used for preparing the network-crosslinked SiO 2 particles contained in the solution for forming the first layer. For example, water / alcohol of alkoxide of Si can be used. The alkoxide of Si is hydrolyzed in the solution dissolved therein, and then the polycondensation reaction proceeds to form primary particles of SiO 2. Then , in the solution of the alkoxide of Si dissolved in water / alcohol, A method of obtaining crosslinked SiO 2 particles by condensation polymerization, or the above-mentioned hydrolysis, and then the SiO 2 primary particles obtained by condensation polymerization are chain-reacted under predetermined reaction conditions to form a three-dimensional chain. A method of obtaining network-formed SiO 2 particles by forming them may be used.

【0026】本発明の陰極線管用ガラスパネルは、フェ
ース部の外表面の平均曲率半径がフェース部中央を通る
全放射方向において10000mm以上であり、肉厚を
10.16mmに換算した場合の波長550nmにおけ
る光透過率が70%以上のガラスからなるため、フェー
ス部の中央部と周辺部の輝度差が小さく、またフェース
部の外表面に先記した導電性反射防止膜が被覆形成され
てなり、このような高透過率のガラスに高い可視光の吸
収係数を有する着色性の導電性反射防止膜を第1の層と
して形成した場合においても、着色層の形成に起因にし
て生じ、透過光により確認される着色ムラやシミ等の欠
点の発生を防止でき、表示画像の視認性の良好な陰極線
管を得ることが可能となる。
In the glass panel for a cathode ray tube according to the present invention, the average radius of curvature of the outer surface of the face portion is 10,000 mm or more in all radial directions passing through the center of the face portion, and the wavelength at a wavelength of 550 nm when the thickness is converted to 10.16 mm. Since the light transmittance is made of glass having a transmittance of 70% or more, the difference in luminance between the central portion and the peripheral portion of the face portion is small, and the conductive antireflection film is coated on the outer surface of the face portion. Even when a colored conductive anti-reflection film having a high visible light absorption coefficient is formed as the first layer on such a high transmittance glass, it occurs due to the formation of the colored layer and is confirmed by transmitted light. It is possible to prevent the occurrence of defects such as coloring unevenness and spots, and to obtain a cathode ray tube with good visibility of a displayed image.

【0027】本発明の陰極線管用ガラスパネルにおい
て、フェース部の外表面に被覆形成される2層からなる
導電性反射防止膜の形成は、各層毎に溶液の塗布、乾
燥、加熱焼成を順次行ってもよく、また、第1の層につ
いて溶液を塗布、乾燥後、第2の層を形成する溶液を塗
布、乾燥した後に、これら2層ともに同時加熱焼成して
もよい。加熱焼成温度は、塗布液中の溶媒の除去、およ
び膜の安定化の観点から300℃以上であり、陰極線管
用ガラスパネルへの形成の観点から好適には300〜5
20℃である。
In the glass panel for a cathode ray tube of the present invention, the formation of the two-layer conductive anti-reflection film coated on the outer surface of the face portion is performed by sequentially applying a solution, drying and heating and baking for each layer. Alternatively, after applying and drying the solution for the first layer, applying and drying the solution for forming the second layer, these two layers may be simultaneously heated and fired. The heating and firing temperature is 300 ° C. or higher from the viewpoint of removing the solvent in the coating solution and stabilizing the film, and is preferably from 300 to 5 from the viewpoint of forming the glass panel for a cathode ray tube.
20 ° C.

【0028】さらに本発明の陰極線管用ガラスパネルに
おいては、上記の第1、第2の層以外にも必要に応じて
膜の密着性を向上させる目的で、また色調を調整する目
的で、付加的な膜の層を適宜設けることも可能である。
Further, in the glass panel for a cathode ray tube of the present invention, in addition to the above-mentioned first and second layers, an additional film may be added for the purpose of improving the adhesion of the film and adjusting the color tone as required. It is also possible to provide a suitable film layer as appropriate.

【0029】本発明の導電性反射防止膜の成膜方法とし
ては、一般的な膜形成手段が使用できる。例えばスピン
コート法、スパッタリング法、真空蒸着法等が適用可能
であるが、膜厚の大きい膜を比較的安価に作製できると
いう理由からスピンコート法が最も適している。
As a method for forming the conductive antireflection film of the present invention, a general film forming means can be used. For example, a spin coating method, a sputtering method, a vacuum deposition method, or the like can be applied, but the spin coating method is most suitable because a film having a large film thickness can be produced relatively inexpensively.

【0030】本発明の導電性反射防止膜は、スピンコー
ト法によって成膜でき、しかも膜総数が2層でありなが
ら所期の特性が得られるため、安価に作製することがで
き、陰極線管以外にも成膜後に高温の加熱処理が施され
る液晶ディスプレイ基板やプラズマディスプレイ基板等
の各種ディスプレイに適用できる。
The conductive anti-reflection film of the present invention can be formed by a spin coating method, and since the desired characteristics can be obtained even though the total number of the films is two, it can be manufactured at low cost. Also, the present invention can be applied to various displays such as a liquid crystal display substrate and a plasma display substrate which are subjected to a high-temperature heat treatment after film formation.

【0031】[0031]

【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on embodiments.

【0032】表1は、実施例および比較例の導電性反射
防止膜を構成する各層の材料と、幾何学的厚みを示すも
のである。
Table 1 shows the material of each layer constituting the conductive anti-reflection film of the example and the comparative example, and the geometric thickness.

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】表1の実施例1〜3および比較例の導電性
反射防止膜の作製方法は次の通りである。
The method for producing the conductive antireflection films of Examples 1 to 3 and Comparative Example in Table 1 is as follows.

【0035】まず、フェース部外表面の平均曲率半径の
最小値(フェース部中央を通る全放射方向において)が
50000mmで、肉厚を10.16mmに換算した場
合の波長550nmにおける光透過率が80%のガラス
からなる陰極線管用ガラスパネル(21インチサイズ)
を準備した。
First, the minimum value of the average radius of curvature of the outer surface of the face portion (in all radiation directions passing through the center of the face portion) is 50,000 mm, and the light transmittance at a wavelength of 550 nm when the thickness is converted to 10.16 mm is 80. Glass panel for cathode ray tube (21 inch size)
Was prepared.

【0036】次に、第1の層および第2の層について、
所定分量の膜材料を含む溶液を準備した。
Next, regarding the first layer and the second layer,
A solution containing a predetermined amount of the membrane material was prepared.

【0037】(実施例1)第1の層に使用する塗布液と
して、一次粒径が20nmのSiO2粒子を含む水/エ
タノールゾルに、Ru金属粒子(平均一次粒径2nm)
を含む水性ゾルを質量比がRu:SiO2=100:6
0となるように、超音波中振動下分散、混合した溶液を
調製した。第2の層に使用する塗布液として、SiO2
粒子(平均一次粒径3nm)を水/エタノール溶媒中に
分散した溶液を調製した。
Example 1 As a coating solution used for the first layer, Ru / metal particles (average primary particle size: 2 nm) were added to a water / ethanol sol containing SiO 2 particles having a primary particle size of 20 nm.
Aqueous sol containing Ru: SiO 2 = 100: 6
A solution was prepared by dispersing and mixing under vibration in ultrasonic waves so as to be 0. As a coating liquid used for the second layer, SiO 2
A solution was prepared by dispersing particles (average primary particle size: 3 nm) in a water / ethanol solvent.

【0038】(実施例2)第1の層に使用する塗布液と
して、Ru金属粒子(平均一次粒径2nm)と網目状に
架橋が形成されたSiO2を、質量比がRu:SiO2
100:60となるように水/エタノール溶媒中に超音
波中振動下分散、混合した溶液を調製した。
(Example 2) As a coating solution used for the first layer, SiO 2 in which Ru metal particles (average primary particle size: 2 nm) and a cross-link were formed in a network shape was used, and the mass ratio was Ru: SiO 2 =
A solution was prepared by dispersing and mixing in a water / ethanol solvent under ultrasonic vibration in a ratio of 100: 60.

【0039】SiO2ゾルについては、シリカエトキシ
ドの水/エタノール溶媒中に溶解させた溶液中でシリカ
エトキシドを加水分解させた後、縮重合反応を進行させ
ることによりSiO2の一次粒子(平均一次粒径10n
m)を形成した後、得られたSiO2の一次粒子を連鎖
的に反応させることにより網目状となったSiO2粒子
を含むゾルを得た。これにRu金属粒子(平均一次粒径
2nm)を含む水性ゾルを前記質量比となるように超音
波中振動下分散、混合させることでRu金属粒子と網目
状SiO2を含む液を得た。また、第2の層に使用する
塗布液は実施例1と同じ溶液とした。
As for the SiO 2 sol, silica ethoxide is hydrolyzed in a solution of silica ethoxide in a water / ethanol solvent, and then polycondensation is allowed to proceed to form primary particles (average of SiO 2 ). Primary particle size 10n
After forming m), the obtained primary particles of SiO 2 were reacted in a chain to obtain a sol containing networked SiO 2 particles. An aqueous sol containing Ru metal particles (average primary particle size: 2 nm) was dispersed and mixed under vibration in ultrasonic waves so as to have the above-mentioned mass ratio, to obtain a liquid containing Ru metal particles and network SiO 2 . Further, the coating solution used for the second layer was the same solution as in Example 1.

【0040】(実施例3)実施例2と同じ網目状SiO
2ゾルを使用し、第1の層に使用する塗布液として、R
u金属粒子(平均一次粒径2nm)を含む水性ゾルと網
目状SiO2ゾル質量比がRu:SiO2=100:30
となるように水/エタノール溶媒中に超音波中振動下分
散、混合した溶液を調製した。また、第2の層に使用す
る塗布液は実施例1と同じ溶液とした。
(Embodiment 3) The same network SiO as in Embodiment 2
2 Using a sol, R is used as a coating liquid for the first layer.
The mass ratio of the aqueous sol containing u metal particles (average primary particle size 2 nm) to the network SiO 2 sol is Ru: SiO 2 = 100: 30.
A solution was prepared by dispersing and mixing in a water / ethanol solvent under ultrasonic vibrations so that Further, the coating solution used for the second layer was the same solution as in Example 1.

【0041】(比較例)第1の層に使用する塗布液とし
て、Ru金属粒子(平均一次粒径2nm)を水/エタノ
ール溶媒中に分散した溶液を調製した。また、第2の層
に使用する塗布液は実施例1と同じ溶液とした。
(Comparative Example) As a coating solution used for the first layer, a solution in which Ru metal particles (average primary particle size: 2 nm) were dispersed in a water / ethanol solvent was prepared. Further, the coating solution used for the second layer was the same solution as in Example 1.

【0042】実施例1〜3および比較例の導電性反射防
止膜用溶液を用いて、先記した陰極線管用ガラスパネル
に対し、スピンコート法により各層を形成した。
Using the solutions for conductive anti-reflective coatings of Examples 1 to 3 and Comparative Example, each layer was formed on the above-mentioned glass panel for a cathode ray tube by spin coating.

【0043】前記の陰極線管用パネル(21インチサイ
ズ)を準備し、その外表面を酸化セリウムで研磨した
後、洗浄し、乾燥させた。次いで、このガラスパネルを
予熱処理によって表面を約40℃に温めた後、スピンコ
ート装置にセットし、回転数40〜150rpmで回転
させながら、ガラスパネルの上方に設置された第1の液
ノズルから第1の層を形成する溶液を滴下した。このと
き第1のノズルは、ガラスパネルの中心付近から周辺に
向かって50〜500mm/分の速度で移動するように
した。このようにして第1の層を形成する溶液をガラス
パネルのフェース部外表面に対して均一に塗布し、乾燥
させた。その後、引き続きガラスパネルを回転数40〜
150rpmで回転させながら、ガラスパネルの上方に
設置された第2の液ノズルからSiO2 を含む溶液を上
記と同様の方法でフェース部外表面に滴下して、均一に
塗布し、乾燥した。
The cathode ray tube panel (21 inch size) was prepared, and its outer surface was polished with cerium oxide, washed and dried. Next, after the surface of the glass panel is heated to about 40 ° C. by a pre-heat treatment, the glass panel is set in a spin coater, and rotated at a rotation speed of 40 to 150 rpm, from the first liquid nozzle installed above the glass panel. The solution for forming the first layer was dropped. At this time, the first nozzle was moved from the vicinity of the center of the glass panel toward the periphery at a speed of 50 to 500 mm / min. Thus, the solution for forming the first layer was uniformly applied to the outer surface of the face portion of the glass panel and dried. After that, the glass panel is continuously rotated at 40 to 40 rpm.
While rotating at 150 rpm, a solution containing SiO 2 was dropped from the second liquid nozzle installed above the glass panel onto the outer surface of the face portion in the same manner as described above, uniformly applied, and dried.

【0044】このようにして、ガラスパネル上に2層の
膜を形成した後、ガラスパネルをスピンコート装置より
取り出してから、電気炉に入れ、400℃、30分間の
条件で焼成することによって、2層構造からなる導電性
反射防止膜を得た。
After the two-layer film is formed on the glass panel in this manner, the glass panel is taken out from the spin coater, placed in an electric furnace, and baked at 400 ° C. for 30 minutes. A conductive antireflection film having a two-layer structure was obtained.

【0045】実施例1〜3および比較例の導電性反射防
止膜においては、波長550nmにおける総合透過率
(膜とガラスの透過率の積)は何れもほぼ50%となる
ように導電性反射防止膜を形成した。
In the conductive anti-reflection films of Examples 1 to 3 and the comparative example, the conductive anti-reflection film was set such that the total transmittance (the product of the transmittance of the film and the glass) at a wavelength of 550 nm was almost 50%. A film was formed.

【0046】斯様にして得られた実施例1〜3および比
較例にかかる導電性反射防止膜をその外表面に形成した
陰極線管用ガラスパネルの中央部において、波長400
〜800nmにおけるD65光源、2°視野を用いた表
面視感反射率および反射色度、波長550nmにおける
裏面反射率、および抵抗値を測定した。
The thus obtained conductive anti-reflection films according to Examples 1 to 3 and Comparative Example were formed on the outer surface thereof at a central portion of a glass panel for a cathode ray tube, and a wavelength of 400
The surface luminous reflectance and reflection chromaticity using a D65 light source at 、 2800 nm and a 2 ° visual field, the back surface reflectance at a wavelength of 550 nm, and the resistance value were measured.

【0047】これらの測定結果を表2に示し、その反射
率曲線を図1にA〜Dとして示す。図1中のAは実施例
1、Bは実施例2、Cは実施例3、Dは比較例の各々の
反射率曲線を示す。
The measurement results are shown in Table 2, and the reflectance curves are shown as A to D in FIG. In FIG. 1, A represents the reflectance curve of Example 1, B represents Example 2, C represents Example 3, and D represents the reflectance curve of Comparative Example.

【0048】表2中の表面反射率は、瞬間マルチ反射率
測定器(大塚電子工業株式会社製MCPD−1000)
を用いて15°正反射を測定したものである。また、裏
面反射率は、分光光度計(株式会社日立製作所製自記分
光光度計U−4000)を用いて、導電性反射防止膜を
形成したガラスパネルの裏面より全反射率を測定し、ガ
ラスの反射率と吸収率を考慮して求めたものである。抵
抗値は、ガラスパネルのフェース部両短辺側の中央部に
超音波はんだで電極を形成し、電極間の抵抗を絶縁抵抗
計(東亜電波株式会社製)を用いて測定したものであ
る。
The surface reflectance in Table 2 is measured by an instantaneous multi-reflectometer (MCPD-1000 manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.).
And 15 ° regular reflection was measured using The backside reflectance was measured by measuring the total reflectance from the backside of the glass panel on which the conductive antireflection film was formed using a spectrophotometer (a self-recording spectrophotometer U-4000 manufactured by Hitachi, Ltd.). It is obtained in consideration of the reflectance and the absorptance. The resistance value is obtained by forming an electrode with ultrasonic solder at the center of both short sides of the face portion of the glass panel, and measuring the resistance between the electrodes using an insulation resistance meter (manufactured by Toa Denpa Co., Ltd.).

【0049】また、表2には、実施例1〜3および比較
例の導電性反射防止膜を陰極線管用ガラスパネル各10
枚(n=10)に成膜、熱処理を行った後、透過光検査
により着色膜のムラの発生枚数、また、10枚中に目視
にて確認される黒色欠点の総個数を調査し、これらの結
果を示す。
Table 2 shows that the conductive anti-reflection coatings of Examples 1 to 3 and Comparative Example were each made up of 10 glass panels for a cathode ray tube.
After performing film formation and heat treatment on the sheets (n = 10), the number of occurrences of unevenness of the colored film by a transmitted light inspection and the total number of black defects visually observed in 10 sheets were investigated. The result is shown.

【0050】さらに表2には、実施例1〜3および比較
例にかかる導電性反射防止膜を外表面に形成した陰極線
管用ガラスパネルについて、膜強度の評価として、耐擦
傷性および鉛筆硬度を測定した結果を示す。
Further, Table 2 shows the scratch resistance and pencil hardness of the glass panel for a cathode ray tube having the conductive anti-reflection film formed on the outer surface according to Examples 1 to 3 and Comparative Example as evaluation of the film strength. The results are shown.

【0051】耐擦傷性は、表面性測定機(新東科学株式
会社製HEIDON−14DR)を使用し、1kgの荷
重下で、消しゴム(株式会社ライオン事務器製ER−2
0R)で膜表面を100回往復後、その表面の加傷の有
無を目視にて判断した。その評価基準は、○:目視にて
傷が全く確認されない、△:目視にて多少の傷が確認さ
れる、×:目視にて剥離が確認される、と表現する。鉛
筆硬度は、上記の表面性測定機を使用し、種々の硬度の
鉛筆を1kgの荷重下で膜表面を1回走査させ、目視確
認で膜表面に傷が生じ始めた鉛筆の硬度を鉛筆硬度とし
て示してある。
The abrasion resistance was measured using a surface property measuring device (HEIDON-14DR, manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd.) under a load of 1 kg under an eraser (ER-2 manufactured by Lion Office Equipment Co., Ltd.).
After the film surface reciprocated 100 times at (0R), the presence or absence of damage on the surface was visually determined. The evaluation criteria are expressed as follows: ○: no scratch is visually observed, Δ: some scratch is visually observed, ×: peeling is visually observed. The pencil hardness was measured using the above-mentioned surface property measuring instrument, and a pencil of various hardness was scanned once under a load of 1 kg on the membrane surface, and the pencil hardness at which scratches began to be formed on the membrane surface by visual inspection was determined. It is shown as

【0052】[0052]

【表2】 [Table 2]

【0053】次に、実施例1〜3および比較例の導電性
反射防止膜を成膜した陰極線管用ガラスパネルに対し
て、450℃で60分間の条件で、再加熱処理し、それ
らの波長400〜800nmにおけるD65光源、2°
視野を用いた表面視感反射率および反射色度、波長55
0nmにおける裏面反射率、および抵抗値を測定した。
これらの結果を表3に示す。
Next, the glass panels for cathode ray tubes on which the conductive anti-reflection films of Examples 1 to 3 and Comparative Example were formed were reheated at 450 ° C. for 60 minutes, and their wavelengths were adjusted to 400. D65 light source at ~ 800 nm, 2 °
Surface luminous reflectance and reflection chromaticity using visual field, wavelength 55
The back surface reflectance at 0 nm and the resistance value were measured.
Table 3 shows the results.

【0054】また、上記の図1においてA’〜D’は、
各々の再加熱処理後の反射率曲線であり、A’は実施例
1、B’は実施例2、C’は実施例3、D’は比較例に
おける各々の再加熱処理後の反射率曲線を示す。
In FIG. 1, A ′ to D ′ are:
A is a reflectance curve after each reheating treatment in each of the reflectance curves after the reheating treatment, where A 'is Example 1, B' is Example 2, C 'is Example 3, and D' is a comparison curve after each reheating treatment. Is shown.

【0055】[0055]

【表3】 [Table 3]

【0056】本発明にかかる実施例1〜3の導電性反射
防止膜とそれが被覆形成された陰極線管用ガラスパネル
は、ともに比較例に比べて低い表面反射率および裏面反
射率を有し、また陰極線管製造時の加熱処理による光学
特性や抵抗値の変化を実質的に生じさせず、また、導電
性反射防止膜の形成時に発生して、透過光により確認さ
れる着色ムラや黒色シミ等の欠点の発生を大きく減少さ
せることができた。また、実施例1〜3の導電性反射防
止膜が被覆形成された陰極線管用ガラスパネルは、とも
に比較例に比べて高い耐擦傷性および鉛筆硬度を示し
た。
The conductive antireflection films of Examples 1 to 3 according to the present invention and the glass panel for a cathode ray tube on which the coatings are formed have lower surface reflectance and lower surface reflectance than the comparative example. Substantially no change in optical characteristics or resistance value due to heat treatment during the manufacture of a cathode ray tube, and also occurs during the formation of a conductive anti-reflection film, such as coloring unevenness and black spots confirmed by transmitted light. The occurrence of defects could be greatly reduced. In addition, the glass panels for cathode ray tubes coated with the conductive anti-reflection films of Examples 1 to 3 all showed higher scratch resistance and pencil hardness than the comparative examples.

【0057】特に、実施例2および3の導電性反射防止
膜とそれが被覆形成された陰極線管用ガラスパネルは、
400〜800nmの可視光全般に亘ってより低い表面
反射を示し、より良好な性能を有していた。
In particular, the conductive anti-reflection coatings of Examples 2 and 3 and the glass panel for a cathode ray tube coated with the coatings are
It exhibited lower surface reflections over the entire visible light range of 400-800 nm and had better performance.

【0058】[0058]

【発明の効果】以上のように、本発明の導電性反射防止
膜とそれが被覆形成された陰極線管用ガラスパネルは、
高コントラスト、優れた帯電防止性と電磁波遮蔽性を有
しながら、熱処理の前後で光学特性や抵抗値が変動し難
く、可視光全般に亘って低い反射率を有し、高い膜強度
を有するという優れた効果を奏し、また、本発明の陰極
線管用ガラスパネルは、フェース部の外表面の平均曲率
半径がフェース部中央を通る全放射方向において100
00mm以上であるが、肉厚を10.16mmに換算し
た場合の波長550nmにおける光透過率が70%以上
のガラスからなるため、フェース部の中央部と周辺部の
輝度差が小さく、またフェース部の外表面に上記の導電
性反射防止膜が被覆形成されてなり、このような高透過
率のガラスに高い可視光の吸収係数を有する着色導電性
反射防止膜を形成した場合においても、着色層の形成時
に起因にして生じ、透過光により確認される着色ムラや
シミ等の欠点の発生を防止でき、表示画像の視認性の良
好な陰極線管を得ることが可能となる優れた効果を奏す
るものである。
As described above, the conductive anti-reflection film of the present invention and the glass panel for a cathode ray tube on which the coating is formed are as follows.
While having high contrast, excellent antistatic properties and electromagnetic wave shielding properties, optical properties and resistance values are not easily changed before and after heat treatment, have low reflectance over visible light, and have high film strength. The glass panel for a cathode ray tube according to the present invention has an excellent effect, and the average radius of curvature of the outer surface of the face portion is 100 in all radial directions passing through the center of the face portion.
Although it is not less than 00 mm, the light transmittance at a wavelength of 550 nm when converted to a thickness of 10.16 mm is made of glass having a value of 70% or more. Therefore, the difference in luminance between the central portion and the peripheral portion of the face portion is small. Even if a colored conductive anti-reflection film having a high visible light absorption coefficient is formed on such a high transmittance glass, the colored layer is That can prevent the occurrence of defects such as coloring unevenness and spots which are caused by the transmitted light and which can be obtained at the time of formation of the CRT, and which has an excellent effect that a cathode ray tube with good display image visibility can be obtained. It is.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】反射率曲線を示すグラフである。FIG. 1 is a graph showing a reflectance curve.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A 実施例1の反射率曲線 A’実施例1の再加熱処理後の反射率曲線 B 実施例2の反射率曲線 B’実施例2の再加熱処理後の反射率曲線 C 実施例3の反射率曲線 C’実施例3の再加熱処理後の反射率曲線 D 比較例の反射率曲線 D’比較例の再加熱処理後の反射率曲線 A: reflectance curve of Example 1 A ′ reflectance curve after reheating treatment of Example 1 B: reflectance curve of Example 2 B ′ reflectance curve after reheating treatment of Example 2 C: reflection of Example 3 Rate curve C ′ Reflectance curve after reheating treatment of Example 3 D Reflectance curve of comparative example D ′ Reflectance curve after reheating treatment of Comparative example

フロントページの続き Fターム(参考) 2K009 AA05 BB02 CC09 CC14 DD02 DD06 EE03 5C032 AA02 DD02 DE01 DF07 DG01 DG02 DG10 Continued on the front page F term (reference) 2K009 AA05 BB02 CC09 CC14 DD02 DD06 EE03 5C032 AA02 DD02 DE01 DF07 DG01 DG02 DG10

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基体上に形成される2つの層を含み、基
体側から順に第1の層および第2の層と呼ぶとき、第1
の層は、Ru金属および/またはその化合物粒子100
質量部に対してSiO2粒子を20質量部以上含む溶液
を塗布して加熱焼成することにより形成された層であ
り、第2の層は、前記第1の層の上にケイ素化合物を主
成分とする溶液を塗布して加熱焼成することにより形成
された層であることを特徴とする導電性反射防止膜。
1. A method comprising: two layers formed on a substrate; a first layer and a second layer, which are referred to as a first layer and a second layer in this order from the substrate side.
Layer is made of Ru metal and / or its compound particles 100
A layer formed by applying a solution containing 20 parts by mass or more of SiO 2 particles with respect to parts by mass and heating and baking the second layer. The second layer has a silicon compound as a main component on the first layer. A conductive antireflection film, which is a layer formed by applying a solution to be coated and baking by heating.
【請求項2】 第1の層である膜の膜厚が50nm以
上、透過率が90%以下、表面抵抗値が104Ω/□以
下であることを特徴とする請求項1記載の導電性反射防
止膜。
2. The conductive layer according to claim 1, wherein the first layer has a thickness of 50 nm or more, a transmittance of 90% or less, and a surface resistance of 10 4 Ω / □ or less. Anti-reflection film.
【請求項3】 第1の層を形成する溶液中のSiO2
子が、網目状に架橋が形成されてなることを特徴とする
請求項2記載の導電性反射防止膜。
3. The conductive anti-reflection film according to claim 2 , wherein the SiO 2 particles in the solution forming the first layer are crosslinked in a network.
【請求項4】 導電性反射防止膜がフェース部の外表面
に被覆形成され、フェース部の外表面の平均曲率半径が
フェース部中央を通る全放射方向において10000m
m以上であり、肉厚を10.16mmに換算した場合の
波長550nmにおける光透過率が70%以上のガラス
からなり、前記導電性反射防止膜は、フェース側から順
に第1の層および第2の層と呼ぶとき、第1の層は、R
u金属および/またはその化合物粒子と、網目状に架橋
が形成されたSiO2粒子を含む溶液を塗布して加熱焼
成することにより形成された層であり、第2の層は、ケ
イ素化合物を主成分とする溶液を塗布して加熱焼成する
ことにより形成された層であることを特徴とする陰極線
管用ガラスパネル。
4. A conductive anti-reflection film is formed on the outer surface of the face portion so that the outer surface of the face portion has an average radius of curvature of 10,000 m in all radial directions passing through the center of the face portion.
m and a glass having a light transmittance of 70% or more at a wavelength of 550 nm when the thickness is converted to 10.16 mm. The conductive anti-reflection film comprises a first layer and a second layer in order from the face side. When referred to as a layer of
u is a layer formed by applying a solution containing SiO 2 particles having cross-links formed in a network and metal particles and / or compound particles thereof, followed by heating and sintering. The second layer mainly contains a silicon compound. A glass panel for a cathode ray tube, which is a layer formed by applying a solution as a component and baking by heating.
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