【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、大型の基板を斜めに搬送することができる基板ハンドリング設備に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の製造プロセスでは、プラズマディスプレイ用基板の洗浄、印刷、焼成工程を経て、リブの形成や電極の形成が完了する。これらの工程の装置は、ほとんどが１枚ずつの枚葉毎に加工される。一方、各工程への基板の搬送は、搬送時間の関係から複数枚をまとめてカセットによる搬送が行われる。従って、各工程への投入及び完了後は図５に示すカセットステーションが設置され、カセットから基板を取り出し、カセットに基板を格納する基板移載機が使用される。
【０００３】
カセット２は、図６に模式的に示すように、取出し側を除く外縁部で基板１を水平に支持し、上下方向に間隔を隔てて複数（例えば１５〜２０枚）を収納するようになっている。基板１の表面はドーピングその他の処理を行うため、異物との接触を完全に回避する必要がある。そのため、従来は、図７に示すような関節アームロボットを基板移載装置として用い、薄いハンド３を基板の間に水平に挿入し、裏面から支持して基板を僅かに持ち上げてカセットから取り出し、自動移載していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
すなわち上述した従来の基板ハンドリング設備では、比較的小さな基板を搬送する場合、カセット内に水平に保管された基板を、水平に支持して取り出し水平な検査台等に移載していた。しかし、基板のサイズが大きくなるとたわみ等によって、基板を水平に把持して移載するのが困難となる。また、基板ハンドリング設備をクリーンルーム内に設置する場合に、コストのかかるクリーンルームを小型化するために、基板を収納したカセットを斜め又は垂直に設置しなければならないことがある。更に、基板の入荷等では垂直に収納するカセットが用いられており、このカセットからの自動取出が従来できないため、大型基板であってもその取り出し作業を人手に頼る必要があり、作業能率が悪かった。
【０００５】
本発明は、かかる問題点を解決するためる創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、割れやすい大型基板であっても、基板を斜めに保持したままで、基板に衝撃を与えることなく、カセットからの取出し、移載、検査が確実にでき、かつ水平又は垂直に姿勢変更することができる基板ハンドリング設備を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、基板（１）を垂直に格納する垂直カセット（５）を傾斜させる傾斜装置（１２）と、傾動した垂直カセットから基板を１枚づつ移載する移載ロボット（１４）と、基板を斜めに保持して水平移動させる傾斜コンベア（１６）と、傾斜コンベア上の基板を検査する検査装置（１８）と、斜めに保持された基板を水平又は垂直に姿勢変更する姿勢変更装置（２０）と、を備えたことを特徴とする基板ハンドリング設備が提供される。
【０００７】
この構成により、傾斜装置（１２）により垂直カセット（５）を傾斜させ、移載ロボット（１４）により傾動した垂直カセットから基板を１枚づつ傾斜コンベア（１６）に移載し、傾斜コンベア（１６）により基板を斜めに保持して水平移動させ、検査装置（１８）により傾斜コンベア上の基板を検査し、姿勢変更装置（２０）により斜めに保持された基板を水平又は垂直に姿勢変更することができる。
【０００８】
従って、割れやすい大型基板であっても、傾動した垂直カセット（５）により基板を斜めに保持したままで、移載ロボット（１４）により基板に衝撃を与えることなくカセットからの取出し、傾斜コンベア（１６）により移載し、検査装置（１８）により検査が確実にでき、かつ姿勢変更装置（２０）により水平又は垂直に姿勢変更することができる。
【０００９】
本発明の好ましい実施形態によれば、前記移載ロボット（１４）は、斜めに位置する基板（１）を挟持する基板ハンド（１５）を有する多関節ロボットであり、該基板ハンドは、基板に沿って延びる保持板（１５ａ）と、基板の下端を支持する可動支持爪（１５ｂ）と、基板の上端を挟持する可動挟持爪（１５ｃ）とからなる。
【００１０】
この構成により、斜めに保持した保持板（１５ａ）の上に斜めに位置する基板（１）を載せ、可動支持爪（１５ｂ）により基板の下端を支持し、可動挟持爪（１５ｃ）により基板の上端を挟持して、基板を斜めに保持したままで、カセットからの取出し及び傾斜コンベア（１６）への移載ができる。
【００１１】
また、前記傾斜コンベア（１６）は、斜めに位置する基板（１）の下端を支持し水平駆動する下端駆動ローラ（１６ａ）と、基板の片面を支持し水平駆動する面駆動ローラ（１６ｂ）とからなる。
【００１２】
この構成により、下端駆動ローラ（１６ａ）と面駆動ローラ（１６ｂ）の回転により、基板を斜めに保持したままで、水平駆動して移動させることができる。
【００１３】
更に、前記検査装置（１８）は、傾斜コンベア（１６）上に位置する基板（１）を照明する照明装置（１８ａ）と、基板の損傷を光学的に検査する光学検査装置（１８ｂ）とからなる。
【００１４】
この構成により、傾斜コンベア（１６）により基板を斜めに保持したままで、照明装置（１８ａ）と光学検査装置（１８ｂ）とにより、基板の損傷を効果的に検査することができる。
【００１５】
また、前記姿勢変更装置（２０）は、斜めに位置する基板（１）の下端を支持し水平駆動する下端駆動ローラ（２０ａ）と、基板の片面を支持し水平駆動する面駆動ローラ（２０ｂ）と、下端駆動ローラ（２０ａ）と面駆動ローラ（２０ｂ）が取付けられ水平軸を中心に傾動する傾動装置（２１）とからなる。
【００１６】
この構成により、傾動装置（２１）の傾動により下端駆動ローラ（２０ａ）と面駆動ローラ（２０ｂ）により支持された基板に衝撃を与えることなく、水平又は垂直に姿勢変更することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施形態を図面を参照して説明する。なお、各図において、共通する部分には同一の符号を付し重複した説明を省略する。図１は、本発明の基板ハンドリング設備の全体レイアウト図である。この図に示すように、本発明の基板ハンドリング設備１０は、傾斜装置１２、移載ロボット１４、傾斜コンベア１６、検査装置１８及び姿勢変更装置２０を備える。また、この図において、本発明の基板ハンドリング設備１０は更に、通箱ストッカー６、クリーンストッカー７、通箱蓋外し装置２２、ターンテーブル２３、水平コンベア２４を備えている。
【００１８】
傾斜装置１２は、基板１を垂直に格納する垂直カセット５を傾斜させる装置である。また移載ロボット１４は、傾動した垂直カセット５から基板１を１枚づつ傾斜コンベア１６に移載する装置である。更に傾斜コンベア１６は、基板１を斜めに保持して水平移動させる装置である。また、検査装置１８は、傾斜コンベア１６上の基板１を検査する装置であり、姿勢変更装置２０は、斜めに保持された基板１を水平又は垂直に姿勢変更する装置である。
【００１９】
また、通箱ストッカー６は、複数の垂直カセット５を格納する格納庫であり、クリーンストッカー７は、洗浄後の基板１を別のカセットに格納して収容する格納庫である。更に、通箱蓋外し装置２２は、通箱（垂直カセット５）の蓋を外す装置であり、ターンテーブル２３は垂直カセット５を水平に旋回させる装置であり、水平コンベア２４は基板１を水平に搬送する装置である。
【００２０】
図１に示した基板ハンドリング設備１０により、通箱ストッカー６から垂直カセット５を受入れ、通箱蓋外し装置２２により蓋を外し、ターンテーブル２３により水平に旋回させ、傾斜装置１２と移載ロボット１４により、垂直カセット５から基板１を１枚づつ傾斜コンベア１６に移載し、検査装置１８により基板１を検査し、姿勢変更装置２０により基板１を水平（又は垂直）に姿勢変更することができる。
【００２１】
水平姿勢の基板１は、水平コンベア２４を介して基板洗浄装置８に供給され、ここで洗浄した後、専用ローダにより別のカセットに格納し、クリーンストッカー７に格納される。
【００２２】
なお、上述したレイアウトは、一例にすぎず、その他のレイアウトも自由に設定することができる。
【００２３】
図２は、傾斜装置と移載ロボットの作動説明図である。図２（Ａ）に示すように、傾斜装置１２は、基板１を垂直に格納する垂直カセット５を受け入れるローラガイド１２ａと、これを傾動させる図示しない駆動装置を備え、垂直カセット５を受け入れた後に所定の角度に傾動させる。また、図２（Ａ）に示すように、移載ロボット１４は、多関節ロボットであり、斜めに位置する基板１を挟持する基板ハンド１５を有する。この基板ハンド１５は、基板１に沿って延びる保持板１５ａと、基板１の下端を支持する可動支持爪１５ｂと、基板１の上端を挟持する可動挟持爪１５ｃとからなる。可動支持爪１５ｂは、図示しない駆動装置により基板から突出する支持位置と基板から引っ込む退避位置との間を移動できる。また、可動挟持爪１５ｃも、図示しない駆動装置により基板の上端を挟持する挟持位置と基板上端から後退する退避位置との間を移動できるようになっている。
【００２４】
図２（Ａ）〜（Ｄ）は、傾動した垂直カセット５から基板１を１枚づつ傾斜コンベア１６に移載するステップを示している。すなわち上述した構成により、（Ｂ）に示すように、傾斜した垂直カセット５の最下段の基板１の下に基板ハンド１５を挿入し、（Ｃ）斜めに保持した保持板１５ａの上に斜めに位置する基板１を載せ、可動支持爪１５ｂにより基板１の下端を支持し、可動挟持爪１５ｃにより基板の上端を挟持して、基板１を基板ハンド１５で挟持し、（Ｄ）基板１を斜めに保持したままで、カセットからの取出し及び傾斜コンベア１６へ移載することができる。
【００２５】
図３は、傾斜コンベアと検査装置の構成図である。この図に示すように、傾斜コンベア１６は、斜めに位置する基板１の下端を支持し水平駆動する下端駆動ローラ１６ａと、基板１の片面（下側）を支持し水平駆動する複数の面駆動ローラ１６ｂとからなる。面駆動ローラ１６ｂは、基板１の撓みが小さくなるように、複数が分散して配置されている。また、下端駆動ローラ１６ａと面駆動ローラ１６ｂは、図示しない駆動装置により、同一の送り速度に設定されている。この構成により、下端駆動ローラ１６ａと面駆動ローラ１６ｂの回転により、基板１を斜めに保持したままで、水平駆動して移動させることができ、コストのかかるクリーンルームを小型化することができる。
【００２６】
また、この例で、検査装置１８は、傾斜コンベア１６上に位置する基板１を照明する照明装置１８ａと、基板１の損傷を光学的に検査する光学検査装置１８ｂとからなる。照明装置１８ａは白色光又は特定の波長の光を基板全体に均一に照射する。光学検査装置１８ｂは例えば撮像装置であり、これを画像処理して基板の損傷（傷や割れ）を検出する。なお、その他の光学検査装置を用いてもよい。
【００２７】
図４は、姿勢変更装置の構成図である。この図に示すように、姿勢変更装置２０は、斜めに位置する基板１の下端を支持し水平駆動する下端駆動ローラ２０ａと、基板１の片面を支持し水平駆動する面駆動ローラ２０ｂと、下端駆動ローラ２０ａと面駆動ローラ２０ｂが取付けられ水平軸２０ｃを中心に傾動する傾動装置２１とからなる。この構成により、傾動装置２１の傾動により下端駆動ローラ２０ａと面駆動ローラ２０ｂにより支持された基板１に衝撃を与えることなく、水平又は垂直に姿勢変更することができる。
【００２８】
なお、本発明は上述した実施形態及び実施例に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できることは勿論である。
【００２９】
【発明の効果】
上述した本発明の構成により、傾斜装置１２により垂直カセット５を傾斜させ、移載ロボット１４により傾動した垂直カセット５から基板１を１枚づつ傾斜コンベア１６に移載し、傾斜コンベア１６により基板１を斜めに保持して水平移動させ、検査装置１８により傾斜コンベア上の基板１を検査し、姿勢変更装置２０により斜めに保持された基板１を水平又は垂直に姿勢変更することができる。
【００３０】
従って、割れやすい大型基板であっても、傾動した垂直カセット５により基板を斜めに保持したままで、移載ロボット１４により基板に衝撃を与えることなくカセットからの取出し、傾斜コンベア１６により移載し、検査装置１８により検査が確実にでき、かつ姿勢変更装置２０により水平又は垂直に姿勢変更することができる。
【００３１】
すなわち、本発明の基板ハンドリング設備は、割れやすい大型基板であっても、基板を斜めに保持したままで、基板に衝撃を与えることなく、カセットからの取出し、移載、検査が確実にでき、かつ水平又は垂直に姿勢変更することができる等の優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板ハンドリング設備の全体レイアウト図である。
【図２】傾斜装置と移載ロボットの作動説明図である。
【図３】傾斜コンベアと検査装置の構成図である。
【図４】姿勢変更装置の構成図である。
【図５】従来の基板ハンドリング設備のレイアウト図である。
【図６】基板を収容するカセットの模式図である。
【図７】従来の基板移載装置の模式図である。
【符号の説明】
１ 基板（ガラス基板）、２ カセット、３ ハンド、５ 垂直カセット、６ 通箱ストッカー、７ クリーンストッカー、８ 基板洗浄装置、１０ 基板ハンドリング設備、１２ 傾斜装置、１４ 移載ロボット、１５ 基板ハンド、１５ａ 保持板、１５ｂ 支持爪、１５ｃ 挟持爪、１６ 傾斜コンベア、１６ａ 下端駆動ローラ、１６ｂ 面駆動ローラ、１８ 検査装置、１８ａ 照明装置、１８ｂ 光学検査装置、２０ 姿勢変更装置、２０ａ 下端駆動ローラ、２０ｂ 面駆動ローラ、２０ｃ 水平軸、２１ 傾動装置、２２ 通箱蓋外し装置、２３ ターンテーブル、２４ 水平コンベア[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate handling facility that can transport a large substrate at an angle.
[0002]
[Prior art]
In the manufacturing process of the plasma display panel (PDP), the formation of the ribs and the formation of the electrodes are completed through the steps of cleaning, printing, and firing the plasma display substrate. Most of the devices in these processes are processed for each sheet. On the other hand, the substrate is transported to each process by a cassette by transporting a plurality of substrates from the relationship of the transport time. Accordingly, the cassette station shown in FIG. 5 is installed after entering and completing each process, and a substrate transfer machine for taking out the substrate from the cassette and storing the substrate in the cassette is used.
[0003]
As schematically shown in FIG. 6, the cassette 2 supports the substrate 1 horizontally at the outer edge except for the take-out side, and stores a plurality (for example, 15 to 20 sheets) at intervals in the vertical direction. ing. Since the surface of the substrate 1 is subjected to doping and other treatments, it is necessary to completely avoid contact with foreign substances. Therefore, conventionally, an articulated arm robot as shown in FIG. 7 is used as a substrate transfer device, a thin hand 3 is horizontally inserted between the substrates, supported from the back side, and the substrate is lifted slightly and taken out from the cassette. It was automatically transferred.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
That is, in the above-described conventional substrate handling equipment, when a relatively small substrate is transported, the substrate stored horizontally in the cassette is horizontally supported and taken out and transferred to a horizontal inspection table or the like. However, when the size of the substrate increases, it becomes difficult to hold and transfer the substrate horizontally due to deflection or the like. In addition, when the substrate handling facility is installed in a clean room, a cassette containing a substrate may have to be installed obliquely or vertically in order to reduce the costly clean room. In addition, a cassette that is stored vertically is used for the arrival of substrates, etc., and automatic removal from this cassette has not been possible in the past. Therefore, even for large substrates, it is necessary to rely on manual operation to remove them, and work efficiency is poor. It was.
[0005]
The present invention has been developed to solve such problems. That is, the object of the present invention is to ensure that even a large substrate that is easily broken can be taken out from the cassette, transferred, inspected without causing an impact on the substrate while holding the substrate obliquely, and horizontal. Another object of the present invention is to provide a substrate handling facility that can change its posture vertically.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, the tilting device (12) for tilting the vertical cassette (5) for storing the substrate (1) vertically, and the transfer robot (14) for transferring the substrates one by one from the tilted vertical cassette, An inclined conveyor (16) that holds the substrate diagonally and moves horizontally, an inspection device (18) that inspects the substrate on the inclined conveyor, and a posture change device that changes the posture of the substrate held diagonally horizontally or vertically (20) and a substrate handling facility characterized by comprising:
[0007]
With this configuration, the vertical cassette (5) is tilted by the tilting device (12), and the substrates are transferred one by one from the vertical cassette tilted by the transfer robot (14) to the tilting conveyor (16). ) To hold the substrate diagonally and horizontally move it, inspect the substrate on the inclined conveyor by the inspection device (18), and change the posture of the substrate held diagonally by the posture change device (20) horizontally or vertically. Can do.
[0008]
Therefore, even a large substrate that is easily broken can be taken out from the cassette by the transfer robot (14) without impacting the substrate while the substrate is held obliquely by the tilted vertical cassette (5), and the inclined conveyor ( 16), the inspection can be reliably performed by the inspection device (18), and the posture can be changed horizontally or vertically by the posture changing device (20).
[0009]
According to a preferred embodiment of the present invention, the transfer robot (14) is an articulated robot having a substrate hand (15) sandwiching a substrate (1) positioned obliquely, and the substrate hand is attached to the substrate. A holding plate (15a) extending along, a movable support claw (15b) for supporting the lower end of the substrate, and a movable clamping claw (15c) for clamping the upper end of the substrate.
[0010]
With this configuration, the substrate (1) positioned diagonally is placed on the holding plate (15a) held diagonally, the lower end of the substrate is supported by the movable support claw (15b), and the substrate is fixed by the movable clamping claw (15c). It is possible to take out from the cassette and transfer to the inclined conveyor (16) while holding the substrate at an angle while holding the upper end.
[0011]
The inclined conveyor (16) includes a lower end driving roller (16a) that supports and horizontally drives the lower end of the substrate (1) that is positioned obliquely, and a surface driving roller (16b) that supports and horizontally drives one side of the substrate. Consists of.
[0012]
With this configuration, it is possible to move the substrate by horizontal driving while the substrate is held obliquely by the rotation of the lower end driving roller (16a) and the surface driving roller (16b).
[0013]
Further, the inspection device (18) includes an illumination device (18a) for illuminating the substrate (1) located on the inclined conveyor (16) and an optical inspection device (18b) for optically inspecting the substrate for damage. Become.
[0014]
With this configuration, the substrate can be effectively inspected for damage by the illumination device (18a) and the optical inspection device (18b) while the substrate is held obliquely by the inclined conveyor (16).
[0015]
The posture changing device (20) includes a lower end driving roller (20a) that supports and horizontally drives the lower end of the substrate (1) that is positioned obliquely, and a surface driving roller (20b) that supports one side of the substrate and drives horizontally. And a lower end driving roller (20a) and a surface driving roller (20b), and a tilting device (21) tilting about a horizontal axis.
[0016]
With this configuration, the posture can be changed horizontally or vertically without giving an impact to the substrate supported by the lower end driving roller (20a) and the surface driving roller (20b) by the tilting of the tilting device (21).
[0017]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In each figure, common portions are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. FIG. 1 is an overall layout diagram of a substrate handling facility according to the present invention. As shown in this figure, the substrate handling equipment 10 of the present invention includes a tilting device 12, a transfer robot 14, a tilting conveyor 16, an inspection device 18, and a posture changing device 20. Further, in this figure, the substrate handling equipment 10 of the present invention further includes a box storage stocker 6, a clean stocker 7, a box storage lid removing device 22, a turntable 23, and a horizontal conveyor 24.
[0018]
The tilting device 12 is a device that tilts the vertical cassette 5 that stores the substrate 1 vertically. The transfer robot 14 is a device for transferring the substrates 1 from the tilted vertical cassette 5 to the inclined conveyor 16 one by one. Further, the inclined conveyor 16 is a device that holds the substrate 1 obliquely and moves it horizontally. The inspection device 18 is a device that inspects the substrate 1 on the inclined conveyor 16, and the posture changing device 20 is a device that changes the posture of the substrate 1 held obliquely horizontally or vertically.
[0019]
The box stocker 6 is a storage for storing a plurality of vertical cassettes 5, and the clean stocker 7 is a storage for storing the substrate 1 after being stored in another cassette. Further, the pass box lid removing device 22 is a device for removing the lid of the pass box (vertical cassette 5), the turntable 23 is a device for turning the vertical cassette 5 horizontally, and the horizontal conveyor 24 is for horizontally placing the substrate 1. It is a device to convey.
[0020]
The substrate handling equipment 10 shown in FIG. 1 accepts the vertical cassette 5 from the box storage stocker 6, removes the cover by the box closing device 22, rotates it horizontally by the turntable 23, tilting device 12 and transfer robot 14. Thus, the substrates 1 can be transferred from the vertical cassette 5 to the inclined conveyor 16 one by one, the substrate 1 can be inspected by the inspection device 18, and the posture of the substrate 1 can be changed horizontally (or vertical) by the posture changing device 20. .
[0021]
The horizontally oriented substrate 1 is supplied to the substrate cleaning device 8 via the horizontal conveyor 24, and after being cleaned here, it is stored in another cassette by a dedicated loader and stored in the clean stocker 7.
[0022]
The layout described above is merely an example, and other layouts can be freely set.
[0023]
FIG. 2 is an operation explanatory diagram of the tilting device and the transfer robot. As shown in FIG. 2A, the tilting device 12 includes a roller guide 12a for receiving the vertical cassette 5 for storing the substrate 1 vertically and a driving device (not shown) for tilting the roller guide 12a. Tilt to a predetermined angle. Further, as shown in FIG. 2A, the transfer robot 14 is an articulated robot, and has a substrate hand 15 that holds the substrate 1 positioned obliquely. The substrate hand 15 includes a holding plate 15 a extending along the substrate 1, a movable support claw 15 b that supports the lower end of the substrate 1, and a movable clamping claw 15 c that clamps the upper end of the substrate 1. The movable support claw 15b can move between a support position protruding from the substrate and a retracted position retracting from the substrate by a driving device (not shown). The movable clamping claw 15c can also be moved between a clamping position for clamping the upper end of the substrate by a driving device (not shown) and a retracted position retracted from the upper end of the substrate.
[0024]
2A to 2D show steps of transferring the substrates 1 from the tilted vertical cassette 5 to the inclined conveyor 16 one by one. That is, with the above-described configuration, as shown in (B), the substrate hand 15 is inserted under the lowermost substrate 1 of the inclined vertical cassette 5, and (C) the substrate is held obliquely on the holding plate 15a held obliquely. The substrate 1 positioned is placed, the lower end of the substrate 1 is supported by the movable support claw 15b, the upper end of the substrate is clamped by the movable clamping claw 15c, the substrate 1 is clamped by the substrate hand 15, and (D) the substrate 1 is tilted The sheet can be taken out from the cassette and transferred to the inclined conveyor 16 while being held in the container.
[0025]
FIG. 3 is a configuration diagram of the inclined conveyor and the inspection apparatus. As shown in this figure, the inclined conveyor 16 has a lower end driving roller 16a that supports and horizontally drives the lower end of the substrate 1 positioned obliquely, and a plurality of surface drives that support and horizontally drive one side (lower side) of the substrate 1. It consists of a roller 16b. A plurality of the surface driving rollers 16b are arranged so as to reduce the bending of the substrate 1. The lower end driving roller 16a and the surface driving roller 16b are set to the same feed speed by a driving device (not shown). With this configuration, the rotation of the lower end driving roller 16a and the surface driving roller 16b allows the substrate 1 to be moved horizontally while being held obliquely, and the costly clean room can be reduced in size.
[0026]
In this example, the inspection device 18 includes an illumination device 18 a that illuminates the substrate 1 located on the inclined conveyor 16 and an optical inspection device 18 b that optically inspects the substrate 1 for damage. The illumination device 18a uniformly irradiates the entire substrate with white light or light of a specific wavelength. The optical inspection device 18b is an imaging device, for example, and performs image processing to detect damage (scratches and cracks) of the substrate. Other optical inspection devices may be used.
[0027]
FIG. 4 is a configuration diagram of the posture changing device. As shown in this figure, the posture changing device 20 includes a lower end driving roller 20a that supports and horizontally drives the lower end of the substrate 1 positioned obliquely, a surface driving roller 20b that supports one side of the substrate 1 and horizontally drives, and a lower end. The driving roller 20a and the surface driving roller 20b are attached to a tilting device 21 that tilts about the horizontal shaft 20c. With this configuration, the posture can be changed horizontally or vertically without giving an impact to the substrate 1 supported by the lower end driving roller 20a and the surface driving roller 20b by the tilting of the tilting device 21.
[0028]
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the present invention.
[0029]
【The invention's effect】
With the configuration of the present invention described above, the vertical cassette 5 is tilted by the tilting device 12, the substrates 1 are transferred one by one from the vertical cassette 5 tilted by the transfer robot 14, and the substrate 1 is transferred by the tilted conveyor 16. The substrate 1 on the inclined conveyor can be inspected by the inspection device 18 and the posture of the substrate 1 held obliquely by the posture changing device 20 can be changed horizontally or vertically.
[0030]
Accordingly, even a large substrate that is easily broken can be taken out of the cassette by the transfer robot 14 without impacting the substrate while being held obliquely by the tilted vertical cassette 5 and transferred by the inclined conveyor 16. The inspection device 18 can ensure the inspection, and the posture changing device 20 can change the posture horizontally or vertically.
[0031]
That is, the substrate handling equipment of the present invention can reliably take out, transfer, and inspect from the cassette without damaging the substrate while holding the substrate diagonally, even if the substrate is easily broken. In addition, it has an excellent effect that the posture can be changed horizontally or vertically.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an overall layout diagram of a substrate handling facility of the present invention.
FIG. 2 is an operation explanatory diagram of a tilting device and a transfer robot.
FIG. 3 is a configuration diagram of an inclined conveyor and an inspection device.
FIG. 4 is a configuration diagram of a posture changing device.
FIG. 5 is a layout diagram of a conventional substrate handling facility.
FIG. 6 is a schematic view of a cassette that accommodates a substrate.
FIG. 7 is a schematic diagram of a conventional substrate transfer apparatus.
[Explanation of symbols]
1 substrate (glass substrate), 2 cassette, 3 hand, 5 vertical cassette, 6 box stocker, 7 clean stocker, 8 substrate cleaning device, 10 substrate handling equipment, 12 tilting device, 14 transfer robot, 15 substrate hand, 15a Holding plate, 15b Support claw, 15c Holding claw, 16 Inclined conveyor, 16a Bottom drive roller, 16b Surface drive roller, 18 Inspection device, 18a Illumination device, 18b Optical inspection device, 20 Posture change device, 20a Bottom drive roller, 20b surface Drive roller, 20c horizontal shaft, 21 tilting device, 22 through box lid removing device, 23 turntable, 24 horizontal conveyor