JP2002015978A - 露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 エラーに関する情報や操作ログ等を保存する
外部メモリを簡易的に露光装置から取り外しでき、汎用
のパソコン等に簡単に接続可能とすることで、装置異常
の解析をスムーズに行える露光装置を提供する。 【解決手段】 露光装置におけるエラーのデータを汎用
パソコンにより読み取ることができるデータログ専用メ
モリである第二の外部メモリ１０７を有し、該露光装置
内から第二の外部メモリ１０７を分離でき、該露光装置
におけるエラー発生から該露光装置の停止までの間、若
しくは該露光装置の停止後に、前記エラーの詳細なデー
タを第二の外部メモリ１０７に保存する手段（無停電電
源１０８等）を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体等のデバイ
ス製造に用いられるデバイス製造装置、特に露光装置に
おいて、装置異常ステータスの格納手段および該異常ス
テータスの確認手段を有する露光装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体等の製造に用いられる露光
装置では、装置内に複数の計測ユニットや駆動機構があ
るため装置異常の原因となる要素が数多く存在する。そ
こで、その異常に関する情報を装置操作部に搭載してあ
るディスプレイ等に表示することにより、露光装置のオ
ペレータやエンジニアに知らせている。異常発生時にエ
ンジニアは、そのディスプレイに表示される異常に関す
る情報を元に異常の状態を把握し、異常箇所の修復等を
行っている。また、露光装置にオペレーションシステム
（ＯＳ）や異常情報のデータベース、操作ログ、計測デ
ータ等の保存用としてハードディスク等の外部メモリを
装備しているため、異常ステータスは装置内の外部メモ
リに格納し、履歴として残してある。ゆえに、装置異常
で露光装置が停止（電源ＯＦＦ）しても、再起動するこ
とで異常ステータスを確認することができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
手法では、装置異常が発生し、その異常が危険度の高い
異常と装置制御部が判断すると、装置電源を落とす回路
が働き露光装置を停止することがある。そのため、装置
電源が落ちる前に異常ステータスを装置内の外部メモリ
に格納し履歴として残していても、その異常ステータス
を確認するためには、再度露光装置に電源を入れる必要
があった。異常部の修復を行わずに露光装置に電源を入
れるのは、異常の程度によっては危険を招く恐れがあ
る。また、ディスプレイに異常に関する情報を表示する
制御部が起動できない場合や、エラー情報、操作ログ等
を確認したい場合には、装置内から外部メモリを取り外
し、データを吸い上げることを行う。しかし、この外部
メモリは、オペレーションシステム（ＯＳ）や異常情報
のデータベース、操作ログ、計測データ等を保存できる
ようにハードディスク等の大容量のものを搭載してお
り、装置内から取り外し、パソコン（ＰＣ）等に接続し
てデータを取り出すには手間がかかるため、データを解
析するまでに時間がかかる。

【０００４】また、異常状態によっては、外部メモリに
異常ステータスを格納するよりも優先して即座に電源を
落とす場合もあるため、異常に関する情報が残らず、露
光装置の復旧に時間を費やすことも考えられる。

【０００５】本発明は、上記従来例の問題点に鑑みてな
されたものであり、エラーに関する情報や操作ログ等を
保存する外部メモリを簡易的に露光装置から取り外しで
き、汎用のパソコン等に簡単に接続可能とすることで、
装置異常の解析をスムーズに行える露光装置を提供する
ことを目的とする。また、外部メモリに優先して異常ス
テータスを格納することなく即座に電源を落とす異常状
態の場合でも、異常ステータスを外部メモリに格納する
ことを可能にする露光装置を提供することを目的とす
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段および作用】上記目的を達
成するため、本発明の露光装置は、原版のパターンを基
板に露光する露光装置において、前記露光装置における
エラーの情報を格納でき、汎用パソコンにより読み取る
ことができるデータログ専用メモリを有し、前記露光装
置内から前記データログ専用メモリを分離でき、前記露
光装置におけるエラー発生から該露光装置の停止までの
間、若しくは該露光装置の停止後に、前記エラーの詳細
なデータを前記データログ専用メモリに保存する手段を
有することを特徴とする。本構成等により、上記目的を
達成できる。

【０００７】本発明においては、前記データログ専用メ
モリに保存する手段は、前記露光装置が停止するような
重大エラーに対して、前記エラーの詳細なデータを前記
データログ専用メモリに保存するものであることが好ま
しい。本構成等により、重大エラーの再発防止等の問題
解決を行うことができる。

【０００８】また、前記露光装置は、前記データログ専
用メモリにデータを書き込むＣＰＵが備えられ、少なく
とも該データログ専用メモリおよび前記ＣＰＵに対して
前記露光装置の電源とは別の電源（無停電電源）を有す
ることができる。本構成等により、露光装置停止後でも
データの保存ができる。

【０００９】また、前記露光装置には、前記データログ
専用メモリおよび前記ＣＰＵに対する該露光装置の電源
とは別の電源の出力ライン上にノーマリ・オープンタイ
プのリレーが構成され、前記露光装置に備えられる緊急
停止回路（ＥＭＯ回路）が働いた場合、前記リレーがオ
ープンし、該露光装置に対する電源供給を停止すること
ができる。本構成等により、半導体製造装置の安全規格
に合致させることができる。

【００１０】また、前記データログ専用メモリは、前記
露光装置にて使用する少なくともオペレーションシステ
ム（ＯＳ）、アプリケーション、および計測データのい
ずれかを保存するための第一の外部メモリとは別に、前
記露光装置のエラー情報および操作ログを保存するため
の第二の外部メモリであることが好ましい。本構成等に
より、小容量のメモリでも保存でき、書き込み回数を軽
減できる。

【００１１】また、前記エラー情報および前記操作ログ
は、前記露光装置の異常停止までには至らないエラーの
場合、前記第一の外部メモリに保存され、前記露光装置
が停止するような重大エラーの場合、自動的に前記第二
の外部メモリに保存されることが好ましい。本構成等に
より、請求項４に記載の露光装置の作用をさらに達成で
きる。

【００１２】また、前記露光装置の動作時、オペレータ
が装置操作部にて前記第一の外部メモリ内の情報を前記
第二の外部メモリに複写できる手段を有することができ
る。本構成等により、露光装置に関する様々な情報を汎
用パソコンで簡易的に取り込み、電子メール等を使用し
て早急に開発者にデータを送れるようにすることができ
る。

【００１３】また、前記データログ専用メモリは、汎用
ノートパソコンで使用できるＰＣカードタイプのフラッ
シュメモリであり、該フラッシュメモリをエラー情報お
よび操作ログの保存に使用することができる。本構成等
により、簡易的に、その場でデータの確認を行えるよう
にすることができる。

【００１４】そして、前記第二の外部メモリにデータベ
ースの構築を行い、エラーに関する少なくとも詳細情報
および対処法のいずれかが保存されていることが好まし
い。本構成等により、露光装置の異常解析を迅速に行う
ことができる。

【００１５】さらに、前記露光装置は、エラー発生によ
り異常を検知する制御部と、該制御部により検知された
異常の程度を段階的に判別する手段と、前記異常の程度
により該露光装置の電源を停止（ＯＦＦ）するか否かを
判断する手段とを有することができる。本構成等によ
り、上記作用と合わせて効果的なデータログ機能を実現
することができる。

【００１６】本発明の露光装置による半導体デバイス製
造方法は、前記露光装置を含む各種プロセス用の製造装
置群を半導体製造工場に設置する工程と、該製造装置群
を用いて複数のプロセスによって半導体デバイスを製造
する工程とを有することができる。

【００１７】また、本発明の半導体デバイス製造方法
は、前記製造装置群をローカルエリアネットワークで接
続する工程と、前記ローカルエリアネットワークと前記
半導体製造工場外の外部ネットワークとの間で、前記製
造装置群の少なくとも１台に関する情報をデータ通信す
る工程とをさらに有することができる。

【００１８】さらに、本発明の半導体デバイス製造方法
は、前記露光装置のベンダ若しくはユーザが提供するデ
ータベースに前記外部ネットワークを介してアクセスし
てデータ通信によって前記製造装置の保守情報を得る、
若しくは前記半導体製造工場とは別の半導体製造工場と
の間で前記外部ネットワークを介してデータ通信して生
産管理を行うことができる。

【００１９】本発明の露光装置を収容する半導体製造工
場は、前記露光装置を含む各種プロセス用の製造装置群
と、該製造装置群を接続するローカルエリアネットワー
クと、該ローカルエリアネットワークから工場外の外部
ネットワークにアクセス可能にするゲートウェイを有
し、前記製造装置群の少なくとも１台に関する情報をデ
ータ通信することを可能にすることができる。

【００２０】本発明の露光装置の保守方法は、半導体製
造工場に設置された前記露光装置の保守方法であって、
前記露光装置のベンダ若しくはユーザが、半導体製造工
場の外部ネットワークに接続された保守データベースを
提供する工程と、前記半導体製造工場内から前記外部ネ
ットワークを介して前記保守データベースへのアクセス
を許可する工程と、前記保守データベースに蓄積される
保守情報を前記外部ネットワークを介して半導体製造工
場側に送信する工程とを有することができる。

【００２１】本発明の露光装置は、前記露光装置におい
て、ディスプレイと、ネットワークインタフェースと、
ネットワーク用ソフトウェアを実行するコンピュータと
をさらに有し、露光装置の保守情報をコンピュータネッ
トワークを介してデータ通信することを可能にすること
ができる。

【００２２】さらに、前記ネットワーク用ソフトウェア
は、前記露光装置が設置された工場の外部ネットワーク
に接続され前記露光装置のベンダ若しくはユーザが提供
する保守データベースにアクセスするためのユーザイン
タフェースを前記ディスプレイ上に提供し、前記外部ネ
ットワークを介して該データベースから情報を得ること
を可能にすることができる。

【００２３】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。 ［第１の実施例］図１は、本発明の第１の実施例に係る
半導体等の製造に用いる露光装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。

【００２４】同図において、ワークステーション（ＥＷ
Ｓ）１０１は装置制御部の最上位に位置し、露光装置の
制御を行うものであり、ＥＷＳ用操作パネル部１０２
は、ディスプレイ、キーボード、マウス等から構成され
ており、露光装置の操作または露光装置に関する情報の
表示等を行うマンインターフェイス部である。１０３は
メインＣＰＵであり、ＥＷＳ１０１の下位に位置し、Ｅ
ＷＳ１０１からの指令やメインＣＰＵ１０３の動作シー
ケンスにより装置内の各ユニットを統括し、制御するＣ
ＰＵである。１０４は各ユニット単位の制御部であり、
ウエハステージ駆動部、フォーカス検出部、搬送系、照
明系等のユニットとして構成されている。それぞれのユ
ニット制御部１０４は、上位に位置するメインＣＰＵ１
０３からの指令により動作を行っている。

【００２５】１０５は不揮発性の記憶装置であり、ハー
ドディスク等の外部メモリ（第一の外部メモリ）であ
る。該メモリ１０５内には、オペレーションシステム
（ＯＳ）やデータベースが構築されており、エラーコー
ド、エラーメッセージ、表示内容（対処方法）、または
装置制御のパラメータ、計測値データ、操作ログ等の格
納等に用いている。

【００２６】１０６は露光装置の電源制御部である。電
源制御部１０６は、装置電源を落とさないと危険を伴う
ような装置異常が発生した場合、メインＣＰＵ１０３か
らの指令により、若しくは電源制御部１０６内で異常を
検知して装置電源をシャットダウンする機能を有してい
る。

【００２７】１０７は外部メモリ１０５のようにデータ
を格納するための外部メモリ（第二の外部メモリ）であ
る。ここで、第一の外部メモリ１０５と第二の外部メモ
リ１０７との違いを説明する。第一の外部メモリ１０５
はデータベース、ＥＷＳ１０１、メインＣＰＵ１０３で
実行するプログラム、ＯＳ等を格納することから大容量
の記憶装置が必要となる。例えば、不揮発性の磁気回路
並びに磁性材料を用いた記憶装置を使用する。一方、第
二の外部メモリ１０７はエラー情報、操作ログ専用（デ
ータログ専用メモリ）であり、小容量でよく、露光装置
から手軽に取り外し（分離）でき、また汎用のパソコン
（ＰＣ）に手軽に接続することが可能（データを読み取
ることが可能）なメモリである。最近のノートパソコン
では、ＰＣカードのスロットが標準化され、ＰＣカード
タイプのフラッシュ（ＦＬＡＳＨ）メモリが汎用として
使われていることから、このＰＣカードのＦＬＡＳＨメ
モリを用いるのが最適である。格納するデータ形式は、
どのようなＰＣからでもエラー情報、操作ログ情報を確
認できるようにテキスト形式にするのがよい。また、最
近では、大容量のＦＬＡＳＨメモリも出ていることか
ら、アプリケーションやデータベース等の構築を行い、
異常ステータスに関する詳細情報や対処法等を予め第二
の外部メモリ１０７内に保存しておく。

【００２８】１０８は無停電電源（ＵＰＳ）である。停
電若しくは緊急停止回路が作動した場合に、突然電源が
落ちると破損する恐れのある機器の保護電源である。例
えば、破損する可能性がある機器としては、ワークステ
ーションがある。また、本実施例では、ワークステーシ
ョン１０１だけでなくメインＣＰＵ１０３、外部メモリ
１０５，１０７、および電源制御部１０６もＵＰＳ１０
８から電力供給する構成としている。電源制御部１０６
に関しては、設備電源と無停電電源１０８から供給でき
る構成である。

【００２９】次に、あるユニット制御部１０４で異常を
検知し、その異常が装置電源を落とす必要のある場合の
処理を説明する。図２は、本実施例に係るメインＣＰＵ
１０３がエラー受信した場合の処理フローチャートであ
る。以下、図１および図２を用いて本実施例を説明す
る。

【００３０】あるユニット制御部１０４で異常を検知し
た場合、ユニット制御部１０４は、その異常ステータス
を上位に位置するメインＣＰＵ１０３に送信する。異常
ステータスを受信したメインＣＰＵ１０３は、その異常
ステータスの程度を判別する。この判別では、装置電源
の０ＦＦ、電源を落とすまでには至らずに露光装置の停
止、ワーニング程度で装置動作継続可能等というよう
に、段階的に判別する（ステップＳ２０１）。

【００３１】ステップＳ２０１の判別結果から、ステッ
プＳ２０２において装置電源を落とす場合にはステップ
Ｓ２０５、落とすまでには至らない場合にはステップＳ
２０３に分岐する（ステップＳ２０２にて電源ＯＦＦす
るか否かを判断する）。

【００３２】電源ＯＦＦに至らない場合（ステップＳ２
０２においてＮＯの場合）には、その異常ステータスを
第一の外部メモリ１０５に格納する（ステップＳ２０
３）。この異常ステータスは、第一の外部メモリ１０５
内に上書きせず、履歴として残しておく。その後、ステ
ップＳ２０４で装置動作停止を行うために各ユニットに
停止指令を出し、その異常ステータスを装置ディスプレ
イに表示する。また、ワーニング程度の場合には、停止
指令は出さずに異常ステータスの表示のみを行い、再度
通常動作に戻るか、若しくは電源は落とさないが動作は
停止する。

【００３３】次に、装置電源を落とす必要のある重度の
エラーと判断した場合（ステップＳ２０２においてＹＥ
Ｓの場合）では、装置電源を落とす指令を電源制御部１
０６に送信する（ステップＳ２０５）。送信後、ステッ
プＳ２０６では、シャットダウンシーケンスに遷移し、
電源が落ちても露光装置に支障が起こらないように、各
ユニットに動作停止の指令や通信のソケットクローズ等
を行う。

【００３４】ここで、ステップＳ２０５の電源ＯＦＦ指
令を送信した時の電源制御部１０６の動作を説明する。
電源制御部１０６では、電源ＯＦＦ指令受信後、すぐに
電源を落とさずにタイマカウントし、ある程度のディレ
イをおいて電源を一方的に落とす。一方的に落とすの
は、メインＣＰＵ１０３の処理終了信号を待つとメイン
ＣＰＵ１０３がはまっていたり、通信系のトラブルが発
生した場合に電源が落ちない可能性があるので、確実に
落せるようにするためである。このディレイには、メイ
ンＣＰＵ１０３のシャットダウン処理を終了できる時間
を設定しておく。

【００３５】ステップＳ２０６のシャットダウンシーケ
ンス後は、装置電源は落ちていることになる。ただし、
ワークステーション１０１、メインＣＰＵ１０３、第二
の外部メモリ１０７は、装置電源とは別に無停電電源か
ら電力供給しているので、装置電源ＯＦＦ後も動作可能
である。ステップＳ２０７では、ステップＳ２０３とは
異なり、異常ステータスを第二の外部メモリ１０７に格
納する。以上がユニット制御部１０４で異常を検知し、
その異常が装置電源を落とす必要のある場合の処理の説
明である。

【００３６】上記した実施例では、異常ステータスのみ
のデータ格納例を示したが、異常ステータスだけでな
く、オペレータがマンインターフェイス部１０２で操作
した履歴（操作ログ）も第二の外部メモリ１０７に格納
する形とする。この操作履歴は、ワークステーション１
０１が常時第二の外部メモリ１０７に格納してもよい
し、第二の外部メモリ１０７への書き込み回数を極力押
さえるために、通常は第一の外部メモリ１０５に書き込
んでおき、装置電源を落とすような異常が発生した場
合、電源ＯＦＦ後、無停電電源１０８の稼動中に第一の
外部メモリ１０５から第二の外部メモリ１０７にコピー
するような形でもよい。

【００３７】外部メモリ１０５，１０７は、装置操作パ
ネル部（装置操作部）１０２からの（オペレータによ
る）操作で第一の外部メモリ１０５内のデータ（情報）
を第二の外部メモリ１０７に複写できる機能（手段）を
設けておくことで、装置停止以外の異常ステータスや操
作ログ等を必要な時に汎用ノートパソコンに取り込むこ
とができる。最近では、電子メール等の情報伝達手段が
著しく発達していることから、ＰＣで取り込んだデータ
をいちはやく開発者の元へ送ることができ、ユーザ先の
トラブル対応をスムーズに行える。

【００３８】第二の外部メモリ１０７にデータベース、
アプリケーションを構築し、異常ステータスに関する詳
細情報や対処法を事前にメモリ１０７内に保存しておく
ことにより、装置修復を行うエンジニアは、ＰＣ上でそ
の異常ステータスをキーワードにデータベースにアクセ
スして詳細情報、対処法を確認できる。また、汎用ノー
トパソコンで確認することが可能なので、異常停止した
露光装置から第二の外部メモリ１０７を取り出し、その
場でデータの確認ができる。

【００３９】［第２の実施例］上記した第１の実施例に
おいては、メインＣＰＵ１０３がユニット制御部１０４
から異常ステータスを受信して装置電源ＯＦＦし、第二
の外部メモリ１０７に格納する処理動作を説明した。第
１の実施例の場合は、装置異常が発生してからユニット
制御部１０４→メインＣＰＵ１０３→電源制御部１０６
という経路で電源を落とすため、早急に電源を落とす必
要のある装置異常の場合には、装置電源が落ちるまで通
信時間等のディレイが問題となる。例えば、装置内温度
を一定に保つための温調器の温調不良や発熱機器の温度
上昇を抑制するための冷却液の圧力上昇／低下、冷却水
漏れ等は危険性が高いため、早急に露光装置を落とす必
要がある。従来では、早急に電源を落とす必要のある装
置異常等の検知は、電源制御部１０６で行っており、検
知した際には異常ステータスの保存より優先して早急に
電源を落とすようにしている。図３は、第２の実施例に
係る電源制御部１０６でエラーを検知した場合の処理フ
ローチャートである。以下、図１および図３を用いて本
実施例を説明する。

【００４０】電源制御部１０６で装置異常を検知（ステ
ップＳ３０１）すると、ステップＳ３０２で、その異常
ステータスにより露光装置の電源を落とすか否かを判断
する。電源ＯＦＦまでには至らない場合（ステップＳ３
０２においてＮＯの場合）は、異常ステータスをメイン
ＣＰＵ１０３に送信し（ステップＳ３０３）、その異常
ステータスを受信したメインＣＰＵ１０３は、第１の実
施例で示した動作を行う。

【００４１】ステップＳ３０２において電源ＯＦＦと判
断した場合（ステップＳ３０２においてＹＥＳの場合）
には、メインＣＰＵ１０３、ワークステーション１０１
に電源ＯＦＦすることを知らせるための信号（フェール
信号）を送る（ステップＳ３０４）。その後、ステップ
Ｓ３０４からステップＳ３０５およびステップＳ３０８
に、ワークステーション１０１およびメインＣＰＵ１０
３に電源を落とす信号（フェール信号）を送信する。

【００４２】ここで、フェール信号を受信（ステップＳ
３０５）したワークステーション側では、操作ログを第
二の外部メモリ１０７に格納（ステップＳ３０６）して
からシャットダウン（ステップＳ３０７）を行う。ま
た、フェール信号を受信（ステップＳ３０８）したメイ
ンＣＰＵ１０３側では、電源制御部１０６からの異常ス
テータスの送信を待つ（ステップＳ３０９）。

【００４３】再び電源制御部１０６側を説明すると、ス
テップＳ３０４のフェール信号送信後は、装置電源をＯ
ＦＦ（ステップＳ３１０）し、異常ステータスをメイン
ＣＰＵ１０３に送信（ステップＳ３１１）する。受信し
たメインＣＰＵ１０３では（ステップＳ３０９において
ＹＥＳの場合）、その異常ステータスを第二の外部メモ
リ１０７に格納（ステップＳ３１２）して（データを書
き込む）処理を終了する。また、ステップＳ３０９にお
いて、異常ステータスの受信がなければ、異常ステータ
スを待つ（ＮＯのループ）。

【００４４】異常ステータスを送信した電源制御部１０
６側のステップＳ３１１では、その後ある程度のディレ
イをおいて（ステップＳ３１３）から無停電電源１０８
をシャットダウンさせる（ステップＳ３１４）。このデ
ィレイは、ワークステーション１０１のシャットダウン
（ステップＳ３０７）とメインＣＰＵ１０３による異常
ステータスの格納（ステップＳ３１２）ができる程度の
ディレイをおく必要がある。または、ワークステーショ
ン１０１、メインＣＰＵ１０３からの終了信号を受信し
てから無停電電源１０８を落とす形でもよい。

【００４５】［第３の実施例］上記した第１および第２
の実施例では、オペレータが緊急停止回路を作動させた
場合を考慮しておらず、メインＣＰＵ１０３、外部メモ
リ１０５，１０７を無停電電源１０８から電力供給する
構成としているため、緊急停止回路が作動した場合でも
メインＣＰＵ１０３、外部メモリ１０５，１０７は動作
している。しかし、緊急停止回路が作動した場合には、
装置内に電力供給をしてはならず、動作するユニットが
あってはいけないという露光装置の安全規格に反するこ
とになる。そこで、第３の実施例として、緊急停止回路
を考慮した場合を説明する。図４は、第３の実施例に係
る緊急停止回路を考慮した露光装置の電気回路構成を示
すブロック図である。

【００４６】図４の３０１〜３０８の説明は、上記説明
した図１と同じなので省略し、図１と異なる構成の部分
について説明する。３０９は緊急停止回路（ＥＭＯ回
路）であり、設備からの電源からＤＣ２４Ｖに変換する
回路である。緊急停止回路３０９から出力するＤＣ２４
Ｖラインは、図４に示すように本体電源ラインをＯＮ／
ＯＦＦするためのリレー３１０と、無停電電源３０８か
らの出力ラインをＯＮ／ＯＦＦするためのリレー３１１
の制御側を経由し、オペレータが露光装置を緊急停止さ
せるための緊急停止ＳＷ３１２を経由している。リレー
３１１を有する無停電電源３０８の出力ラインの先に
は、メインＣＰＵ３０３、外部メモリ３０５，３０７が
接続してある。ワークステーション（ＥＷＳ）３０１
は、動作中に電源が突然落ちると破損する恐れがあるた
め、緊急停止回路３０９が働いても電源供給できるよう
にリレーを介していない。また、リレー３１０，３１１
は、ノーマリ・オープンタイプのリレーを使用する。

【００４７】オペレータが緊急停止ＳＷ３１２を押すと
ＤＣ２４Ｖラインがきれ、各リレー３１０，３１１はオ
ープンするので、装置本体への電力供給と無停電電源３
０８からの出力をカットすることができる。ゆえに、緊
急停止回路３０９が作動した場合には、メインＣＰＵ３
０３、外部メモリ３０５，３０７を停止することがで
き、露光装置の安全規格を満たすことが可能となる。

【００４８】［半導体生産システムの実施例］次に、上
記説明した露光装置を利用した半導体等のデバイス（Ｉ
ＣやＬＳＩ等の半導体チップ、液晶パネル、ＣＣＤ、薄
膜磁気ヘッド、マイクロマシン等）の生産システムの例
を説明する。これは、半導体製造工場に設置された製造
装置のトラブル対応や定期メンテナンス、若しくはソフ
トウェア提供等の保守サービスを、製造工場外のコンピ
ュータネットワーク等を利用して行うものである。

【００４９】図５は、全体システムをある角度から切り
出して表現したものである。図中、５０１は半導体デバ
イスの製造装置を提供するベンダ（装置供給メーカ）の
事業所である。製造装置の実例として、半導体製造工場
で使用する各種プロセス用の半導体製造装置、例えば、
前工程用機器（露光装置、レジスト処理装置、エッチン
グ装置等のリソグラフィ装置、熱処理装置、成膜装置、
平坦化装置等）や後工程用機器（組立て装置、検査装置
等）を想定している。事業所５０１内には、製造装置の
保守データベースを提供するホスト管理システム５０
８、複数の操作端末コンピュータ５１０、これらを結ん
でイントラネット等を構築するローカルエリアネットワ
ーク（ＬＡＮ）５０９を備える。ホスト管理システム５
０８は、ＬＡＮ５０９を事業所の外部ネットワークであ
るインターネット５０５に接続するためのゲートウェイ
と、外部からのアクセスを制限するセキュリティ機能を
備える。

【００５０】一方、５０２〜５０４は、製造装置のユー
ザとしての半導体製造メーカの製造工場である。製造工
場５０２〜５０４は、互いに異なるメーカに属する工場
であってもよいし、同一のメーカに属する工場（例え
ば、前工程用の工場、後工程用の工場等）であってもよ
い。各工場５０２〜５０４内には、夫々、複数の製造装
置５０６と、それらを結んでイントラネット等を構築す
るローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）５１１と、各
製造装置５０６の稼動状況を監視する監視装置としてホ
スト管理システム５０７とが設けられている。各工場５
０２〜５０４に設けられたホスト管理システム５０７
は、各工場内のＬＡＮ５１１を工場の外部ネットワーク
であるインターネット５０５に接続するためのゲートウ
ェイを備える。これにより各工場のＬＡＮ５１１からイ
ンターネット５０５を介してベンダ５０１側のホスト管
理システム５０８にアクセスが可能となり、ホスト管理
システム５０８のセキュリティ機能によって限られたユ
ーザだけがアクセスが許可となっている。具体的には、
インターネット５０５を介して、各製造装置５０６の稼
動状況を示すステータス情報（例えば、トラブルが発生
した製造装置の症状）を工場側からベンダ側に通知する
他、その通知に対応する応答情報（例えば、トラブルに
対する対処方法を指示する情報、対処用のソフトウェア
やデータ）や、最新のソフトウェア、ヘルプ情報等の保
守情報をベンダ側から受け取ることができる。各工場５
０２〜５０４とベンダ５０１との間のデータ通信および
各工場内のＬＡＮ５１１でのデータ通信には、インター
ネットで一般的に使用されている通信プロトコル（ＴＣ
Ｐ／ＩＰ）が使用される。なお、工場外の外部ネットワ
ークとしてインターネットを利用する代わりに、第三者
からのアクセスができずにセキュリティの高い専用線ネ
ットワーク（ＩＳＤＮ等）を利用することもできる。ま
た、ホスト管理システムはベンダが提供するものに限ら
ずユーザがデータベースを構築して外部ネットワーク上
に置き、ユーザの複数の工場から該データベースへのア
クセスを許可するようにしてもよい。

【００５１】さて、図６は、本実施形態の全体システム
を図５とは別の角度から切り出して表現した概念図であ
る。先の例では、それぞれが製造装置を備えた複数のユ
ーザ工場と、該製造装置のベンダの管理システムとを外
部ネットワークで接続して、該外部ネットワークを介し
て各工場の生産管理や少なくとも１台の製造装置の情報
をデータ通信するものであった。これに対し本例は、複
数のベンダの製造装置を備えた工場と、該複数の製造装
置のそれぞれのベンダの管理システムとを工場外の外部
ネットワークで接続して、各製造装置の保守情報をデー
タ通信するものである。図中、６０１は製造装置ユーザ
（半導体デバイス製造メーカ）の製造工場であり、工場
の製造ラインには各種プロセスを行う製造装置、ここで
は例として露光装置６０２、レジスト処理装置６０３、
成膜処理装置６０４が導入されている。なお、図６で
は、製造工場６０１は１つだけ描いているが、実際は複
数の工場が同様にネットワーク化されている。工場内の
各装置はＬＡＮ６０６で接続されてイントラネット等を
構成し、ホスト管理システム６０５で製造ラインの稼動
管理がされている。一方、露光装置メーカ６１０、レジ
スト処理装置メーカ６２０、成膜装置メーカ６３０等、
ベンダ（装置供給メーカ）の各事業所には、それぞれ供
給した機器の遠隔保守を行うためのホスト管理システム
６１１，６２１，６３１を備え、これらは上述したよう
に保守データベースと外部ネットワークのゲートウェイ
を備える。ユーザの製造工場内の各装置を管理するホス
ト管理システム６０５と、各装置のベンダの管理システ
ム６１１，６２１，６３１とは、外部ネットワーク６０
０であるインターネット若しくは専用線ネットワークに
よって接続されている。このシステムにおいて、製造ラ
インの一連の製造機器の中のどれかにトラブルが起きる
と、製造ラインの稼動が休止してしまうが、トラブルが
起きた機器のベンダからインターネット６００を介した
遠隔保守を受けることで迅速な対応が可能で、製造ライ
ンの休止を最小限に抑えることができる。

【００５２】半導体製造工場に設置された各製造装置は
それぞれ、ディスプレイと、ネットワークインタフェー
スと、記憶装置にストアされたネットワークアクセス用
ソフトウェアならびに装置動作用のソフトウェアを実行
するコンピュータを備える。記憶装置としては内蔵メモ
リやハードディスク、若しくはネットワークファイルサ
ーバ等である。上記ネットワークアクセス用ソフトウェ
アは、専用又は汎用のウェブブラウザを含み、例えば図
７に一例を示す様な画面のユーザインタフェースをディ
スプレイ上に提供する。各工場で製造装置を管理するオ
ペレータは、画面を参照しながら、製造装置の機種７０
１、シリアルナンバー７０２、トラブルの件名７０３、
発生日７０４、緊急度７０５、症状７０６、対処法７０
７、経過７０８等の情報を画面上の入力項目に入力す
る。入力された情報はインターネットを介して保守デー
タベースに送信され、その結果の適切な保守情報が保守
データベースから返信されディスプレイ上に提示され
る。また、ウェブブラウザが提供するユーザインタフェ
ースは、さらに図示のごとくハイパーリンク機能７１
０，７１１，７１２を実現し、オペレータは各項目の更
に詳細な情報にアクセスしたり、ベンダが提供するソフ
トウェアライブラリから製造装置に使用する最新バージ
ョンのソフトウェアを引出したり、工場のオペレータの
参考に供する操作ガイド（ヘルプ情報）を引出したりす
ることができる。ここで、保守データベースが提供する
保守情報には、上記説明した本発明に関する情報も含ま
れ、また前記ソフトウェアライブラリは本発明を実現す
るための最新のソフトウェアも提供する。

【００５３】次に、上記説明した生産システムを利用し
た半導体デバイスの製造プロセスを説明する。図８は、
半導体デバイスの全体的な製造プロセスのフローを示
す。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路
設計を行う。ステップ２（マスク製作）では設計した回
路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステッ
プ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエ
ハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程
と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソ
グラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成す
る。次のステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ス
テップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チッ
プ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、
ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等
の組立て工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ
５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久
性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デ
バイスが完成し、これを出荷（ステップ７）する。前工
程と後工程はそれぞれ専用の別の工場で行い、これらの
工場毎に上記説明した遠隔保守システムによって保守が
なされる。また、前工程工場と後工程工場との間でも、
インターネットまたは専用線ネットワークを介して生産
管理や装置保守のための情報等がデータ通信される。

【００５４】図９は、上記ウエハプロセスの詳細なフロ
ーを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸
化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶
縁膜を成膜する。ステップ１３（電極形成）ではウエハ
上に電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオ
ン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１
５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ス
テップ１６（露光）では上記説明した露光装置によって
マスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステッ
プ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステッ
プ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部
分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッ
チングが済んで不要となったレジストを取り除く。これ
らのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に
多重に回路パターンを形成する。各工程で使用する製造
機器は上記説明した遠隔保守システムによって保守がな
されているので、トラブルを未然に防ぐと共に、もしト
ラブルが発生しても迅速な復旧が可能で、従来に比べて
半導体デバイスの生産性を向上させることができる。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本出願に係る第１
の発明によれば、装置が停止するような重大エラーに関
して、エラー発生後に装置停止までの間、若しくは停止
後にエラーの詳細データを保存する機能（手段）を設
け、また装置停止状態においても装置内からメモリを分
離でき、汎用ＰＣによりエラーデータを読み取ることが
できるデータログ専用メモリを用いることで、データ解
析に時間がかかる等の従来の問題を解決できる。

【００５６】本出願に係る第２の発明によれば、露光装
置が停止するような重大エラーに対してエラーの詳細な
データをデータログ専用メモリに保存する手段により、
異常に関する情報が残らず、露光装置の復旧に時間を費
やす等の問題を回避することが可能となる。

【００５７】本出願に係る第３の発明によれば、エラー
の詳細データを保存する手段において、少なくともデー
タログ専用メモリと該データログ専用メモリにデータを
書き込むＣＰＵを装置電源と別の電源（ＵＰＳ）から電
力供給することで、第１の発明である装置停止後のデー
タ保存を可能にする。

【００５８】本出願に係る第４の発明によれば、緊急停
止回路（ＥＭＯ）が働いた場合において、前記データロ
グ専用メモリ、前記ＣＰＵの別電源供給を停止する機能
を設けることで、半導体製造装置の安全規格を満たした
第１の発明を簡便に構成できる。

【００５９】本出願に係る第５の発明によれば、前記デ
ータログ専用メモリを露光装置で使用するＯＳ、アプリ
ケーション、計測データの保存用の第１外部メモリとは
別に装置のエラーデータ、操作ログを保存するための第
２の外部メモリとすることで、小容量のメモリでも保存
でき、書き込み回数を軽減できる。

【００６０】本出願に係る第６の発明によれば、装置停
止までには至らないエラーは、ＯＳ、アプリケーション
等のメモリに保存し、装置停止するような重大エラー
は、装置停止後、自動的にエラー情報、操作ログを第２
の専用メモリに保存することで、第５の発明をさらに達
成することができる。

【００６１】本出願に係る第７の発明によれば、装置動
作時に、オペレータが装置操作部にて第１外部メモリ内
の情報を第２外部メモリに複写できる機能を設けること
で、露光装置に関する様々な情報を汎用ＰＣで簡易的に
確認できる。また、電子メール等を使用して早急に開発
者にデータを送れるようになり、情報伝達をスムーズに
行える。

【００６２】本出願に係る第８の発明によれば、汎用ノ
ートパソコンで使用できるＰＣカードタイプのＦＬＡＳ
Ｈメモリをエラー情報、操作ログの保存に使用すること
で、簡易的に、その場でデータの確認を行えるような
る。

【００６３】本出願に係る第９の発明によれば、第２外
部メモリにおいて、エラーデータベースの構築によりエ
ラーに関する詳細情報、対処法等を保存しておくこと
で、装置異常解析を迅速に行えるようになる。

【００６４】本出願に係る第１０の発明によれば、異常
の程度を段階的に判別する手段や露光装置の電源をＯＦ
Ｆするか否かを判断する手段等により、上記効果と合わ
せてさらに効果的なデータログ機能を有する露光装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施例に係る露光装置の電気
回路構成を示すブロック図である。

【図２】 図１におけるメインＣＰＵがエラー受信した
場合の処理フローチャートである。

【図３】 第２の実施例に係る電源制御部でエラーを検
知した場合の処理フローチャートである。

【図４】 第３の実施例に係る緊急停止回路を考慮した
半導体露光装置内電気ブロック図である。

【図５】 本発明の一実施例に係る露光装置を含む半導
体デバイスの生産システムをある角度から見た概念図で
ある。

【図６】 本発明の一実施例に係る露光装置を含む半導
体デバイスの生産システムを別の角度から見た概念図で
ある。

【図７】 本発明の一実施例に係る露光装置を含む半導
体デバイスの生産システムにおけるユーザインタフェー
スの具体例を示す図である。

【図８】 本発明の一実施例に係る露光装置によるデバ
イスの製造プロセスのフローを説明する図である。

【図９】 本発明の一実施例に係る露光装置によるウエ
ハプロセスを説明する図である。

【符号の説明】

１０１，３０１：ワークステーション、１０２，３０
２：操作パネル部、１０３，３０３：メインＣＰＵ、１
０４，３０４：ユニット制御部、１０５，３０５：第１
外部メモリ、１０６，３０６：電源制御部、１０７，３
０７：第２外部メモリ、１０８，３０８：無停電電源、
３０９：緊急停止回路（ＥＭ０）、３１０，３１１：リ
レー、Ｓ３１２：緊急停止ＳＷ、５０１：ベンダの事業
所、５０２，５０３，５０４：製造工場、５０５：イン
ターネット、５０６：製造装置、５０７：工場のホスト
管理システム、５０８：ベンダ側のホスト管理システ
ム、５０９：ベンダ側のローカルエリアネットワーク
（ＬＡＮ）、５１０：操作端末コンピュータ、５１１：
工場のローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）、６０
０：外部ネットワーク、６０１：製造装置ユーザの製造
工場、６０２：露光装置、６０３：レジスト処理装置、
６０４：成膜処理装置、６０５：工場のホスト管理シス
テム、６０６：工場のローカルエリアネットワーク（Ｌ
ＡＮ）、６１０：露光装置メーカ、６１１：露光装置メ
ーカの事業所のホスト管理システム、６２０：レジスト
処理装置メーカ、６２１：レジスト処理装置メーカの事
業所のホスト管理システム、６３０：成膜装置メーカ、
６３１：成膜装置メーカの事業所のホスト管理システ
ム、７０１：製造装置の機種、７０２：シリアルナンバ
ー、７０３：トラブルの件名、７０４：発生日、７０
５：緊急度、７０６：症状、７０７：対処法、７０８：
経過、７１０，７１１，７１２：ハイパーリンク機能。

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 原版のパターンを基板に露光する露光装
   置において、 前記露光装置におけるエラーの情報を格納でき、汎用パ
   ソコンにより読み取ることができるデータログ専用メモ
   リを有し、 前記露光装置内から前記データログ専用メモリを分離で
   き、 前記露光装置におけるエラー発生から該露光装置の停止
   までの間、若しくは該露光装置の停止後に、前記エラー
   の詳細なデータを前記データログ専用メモリに保存する
   手段を有することを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 前記データログ専用メモリに保存する手
   段は、前記露光装置が停止するような重大エラーに対し
   て、前記エラーの詳細なデータを前記データログ専用メ
   モリに保存するものであることを特徴とする請求項１に
   記載の露光装置。
3. 【請求項３】 前記露光装置は、前記データログ専用メ
   モリにデータを書き込むＣＰＵが備えられ、少なくとも
   該データログ専用メモリおよび前記ＣＰＵに対して前記
   露光装置の電源とは別の電源を有することを特徴とする
   請求項１または２に記載の露光装置。
4. 【請求項４】 前記露光装置には、前記データログ専用
   メモリおよび前記ＣＰＵに対する該露光装置の電源とは
   別の電源の出力ライン上にノーマリ・オープンタイプの
   リレーが構成され、 前記露光装置に備えられる緊急停止回路が働いた場合、
   前記リレーがオープンし、該露光装置に対する電源供給
   を停止することを特徴とする請求項１〜３のいずれかに
   記載の露光装置。
5. 【請求項５】 前記データログ専用メモリは、前記露光
   装置にて使用する少なくともオペレーションシステム、
   アプリケーション、および計測データのいずれかを保存
   するための第一の外部メモリとは別に、前記露光装置の
   エラー情報および操作ログを保存するための第二の外部
   メモリであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか
   に記載の露光装置。
6. 【請求項６】 前記エラー情報および前記操作ログは、
   前記露光装置の異常停止までには至らないエラーの場
   合、前記第一の外部メモリに保存され、前記露光装置が
   停止するような重大エラーの場合、自動的に前記第二の
   外部メモリに保存されることを特徴とする請求項１〜５
   のいずれかに記載の露光装置。
7. 【請求項７】 前記露光装置の動作時、オペレータが装
   置操作部にて前記第一の外部メモリ内の情報を前記第二
   の外部メモリに複写できる手段を有することを特徴とす
   る請求項１〜６のいずれかに記載の露光装置。
8. 【請求項８】 前記データログ専用メモリは、汎用ノー
   トパソコンで使用できるＰＣカードタイプのフラッシュ
   メモリであり、該フラッシュメモリをエラー情報および
   操作ログの保存に使用することを特徴とする請求項１〜
   ７のいずれかに記載の露光装置。
9. 【請求項９】 前記第二の外部メモリにデータベースの
   構築を行い、エラーに関する少なくとも詳細情報および
   対処法のいずれかが保存されていることを特徴とする請
   求項１〜８のいずれかに記載の露光装置。
10. 【請求項１０】 前記露光装置は、エラー発生により異
    常を検知する制御部と、該制御部により検知された異常
    の程度を段階的に判別する手段と、前記異常の程度によ
    り該露光装置の電源を停止するか否かを判断する手段と
    を有することを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記
    載の露光装置。
11. 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれかに記載の露
    光装置を含む各種プロセス用の製造装置群を半導体製造
    工場に設置する工程と、該製造装置群を用いて複数のプ
    ロセスによって半導体デバイスを製造する工程とを有す
    ることを特徴とする半導体デバイス製造方法。
12. 【請求項１２】 前記製造装置群をローカルエリアネッ
    トワークで接続する工程と、前記ローカルエリアネット
    ワークと前記半導体製造工場外の外部ネットワークとの
    間で、前記製造装置群の少なくとも１台に関する情報を
    データ通信する工程とをさらに有することを特徴とする
    請求項１１に記載の半導体デバイス製造方法。
13. 【請求項１３】 前記露光装置のベンダ若しくはユーザ
    が提供するデータベースに前記外部ネットワークを介し
    てアクセスしてデータ通信によって前記製造装置の保守
    情報を得る、若しくは前記半導体製造工場とは別の半導
    体製造工場との間で前記外部ネットワークを介してデー
    タ通信して生産管理を行うことを特徴とする請求項１２
    に記載の半導体デバイス製造方法。
14. 【請求項１４】 請求項１〜１０のいずれかに記載の露
    光装置を含む各種プロセス用の製造装置群と、該製造装
    置群を接続するローカルエリアネットワークと、該ロー
    カルエリアネットワークから工場外の外部ネットワーク
    にアクセス可能にするゲートウェイを有し、前記製造装
    置群の少なくとも１台に関する情報をデータ通信するこ
    とを可能にすることを特徴とする半導体製造工場。
15. 【請求項１５】 半導体製造工場に設置された請求項１
    〜１０のいずれかに記載の露光装置の保守方法であっ
    て、前記露光装置のベンダ若しくはユーザが、半導体製
    造工場の外部ネットワークに接続された保守データベー
    スを提供する工程と、前記半導体製造工場内から前記外
    部ネットワークを介して前記保守データベースへのアク
    セスを許可する工程と、前記保守データベースに蓄積さ
    れる保守情報を前記外部ネットワークを介して半導体製
    造工場側に送信する工程とを有することを特徴とする露
    光装置の保守方法。
16. 【請求項１６】 請求項１〜１０のいずれかに記載の露
    光装置において、ディスプレイと、ネットワークインタ
    フェースと、ネットワーク用ソフトウェアを実行するコ
    ンピュータとをさらに有し、露光装置の保守情報をコン
    ピュータネットワークを介してデータ通信することを可
    能にすることを特徴とする露光装置。
17. 【請求項１７】 前記ネットワーク用ソフトウェアは、
    前記露光装置が設置された工場の外部ネットワークに接
    続され前記露光装置のベンダ若しくはユーザが提供する
    保守データベースにアクセスするためのユーザインタフ
    ェースを前記ディスプレイ上に提供し、前記外部ネット
    ワークを介して該データベースから情報を得ることを可
    能にすることを特徴とする請求項１６に記載の露光装
    置。