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JP2002010393A - Piezo-electric electroacoustic transducer - Google Patents

Piezo-electric electroacoustic transducer

Info

Publication number
JP2002010393A
JP2002010393A JP2001118966A JP2001118966A JP2002010393A JP 2002010393 A JP2002010393 A JP 2002010393A JP 2001118966 A JP2001118966 A JP 2001118966A JP 2001118966 A JP2001118966 A JP 2001118966A JP 2002010393 A JP2002010393 A JP 2002010393A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
diaphragm
electrodes
piezoelectric
laminate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001118966A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tetsuo Takeshima
哲夫 竹島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2001118966A priority Critical patent/JP2002010393A/en
Publication of JP2002010393A publication Critical patent/JP2002010393A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an pieze-electric electroacoustic transducer capable of using a bimolf diaphragm to obtain large sound pressure and attaining a significant improvement against impact. SOLUTION: In the transducer, a laminated unit 1 is formed by laminating double-laminated or triple-laminated piezo-electric ceramics layers 1a, 1b, main surface electrodes 3, 4 are formed on the front and rear main surfaces of the unit 1, an inner electrode 5 is formed between each ceramics layer. At a side surface of the unit 1, a side surface electrode 8 connected mutually to the electrodes 3, 4 a side surface electrode 9 conducted to the electrode 5 are formed. All of the layers 1a, 1b are polarized in the same direction in the thickness direction, an alternating signals is inputted between the electrodes 3, 4 and the electrode 5, so that the unit 1 is processed to make bending vibrations. Almost of whole surfaces of the front and rear surfaces of the unit 1 are covered with resin layers 6, 7, so that the strength is improved against fall down impact.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は圧電受話器,圧電サ
ウンダ,圧電スピーカ,圧電ブザーなどの圧電型電気音
響変換器、特にその振動板の構造に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a piezoelectric electro-acoustic transducer such as a piezoelectric receiver, a piezoelectric sounder, a piezoelectric speaker, and a piezoelectric buzzer, and more particularly to the structure of a diaphragm thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、圧電受話器や圧電ブザーなどに圧
電型電気音響変換器が広く用いられている。この種の圧
電型電気音響変換器は、円形の圧電セラミック板の片面
に円形の金属板を貼り付けてユニモルフ型振動板を構成
し、この振動板の周縁部を円形のケースの中に支持し、
ケースの開口部をカバーで閉鎖した構造のものが一般的
である。しかしながら、ユニモルフ型振動板の場合、電
圧印加によって外径が伸縮するセラミック板を、寸法変
化しない金属板に接着して屈曲振動を得るものであるか
ら、その変位量つまり音圧が小さいという欠点がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, piezoelectric electroacoustic transducers have been widely used for piezoelectric receivers and piezoelectric buzzers. This type of piezoelectric electroacoustic transducer forms a unimorph diaphragm by attaching a circular metal plate to one side of a circular piezoelectric ceramic plate, and supports the periphery of the diaphragm in a circular case. ,
In general, the case has a structure in which the opening of the case is closed with a cover. However, in the case of a unimorph type diaphragm, since a ceramic plate whose outer diameter expands and contracts by applying a voltage is bonded to a metal plate that does not change its dimensions, bending vibration is obtained, so that the displacement amount, that is, the sound pressure is small. is there.

【0003】そこで、複数の圧電セラミックス層からな
る積層構造のバイモルフ型振動板が提案されている(特
開昭61−205100号公報)。この振動板は、複数
のセラミックグリーンシートおよび複数の電極を積層
し、同時に焼成して得られた焼結体を利用したものであ
り、振動板の振動を拘束しない位置に形成されたスルー
ホールにより、電極間を電気的に接続している。そし
て、厚み方向に順に配置された第1および第2の振動領
域が相互に逆方向に振動するように構成することで、ユ
ニモルフ型に比べて大きな変位量つまり大きな音圧を得
ることができる。
Therefore, a bimorph type diaphragm having a laminated structure composed of a plurality of piezoelectric ceramic layers has been proposed (Japanese Patent Application Laid-Open No. 61-205100). This diaphragm uses a sintered body obtained by laminating a plurality of ceramic green sheets and a plurality of electrodes and firing them at the same time, and has a through hole formed at a position where vibration of the diaphragm is not restricted. And the electrodes are electrically connected. By configuring the first and second vibrating regions arranged in the thickness direction to vibrate in opposite directions to each other, a larger displacement amount, that is, a larger sound pressure can be obtained as compared with the unimorph type.

【0004】ところが、上記バイモルフ型振動板の場
合、例えば3層のセラミックス層からなる振動板を屈曲
振動させようとすると、上記公報の第17図に示すよう
に、一方の主面の電極と一方の内部電極とをスルーホー
ルを介して相互に接続し、他方の主面電極と他方の内部
電極とをスルーホールを介して相互に接続した上、両者
の間に交番電圧を印加する必要がある。そのため、主面
電極と内部電極との間の複雑な相互接続が必要となり、
コスト高になる可能性があった。
However, in the case of the above-mentioned bimorph type diaphragm, for example, when a diaphragm composed of three ceramic layers is to be flexibly vibrated, as shown in FIG. And the other internal electrode must be connected to each other through the through-hole, and an alternating voltage must be applied between them. . Therefore, complicated interconnection between the main surface electrode and the internal electrode is required,
The cost could be high.

【0005】そこで、本願出願人は、主面電極と内部電
極との相互接続をなくし、簡単な接続構造でバイモルフ
型振動板を構成できる圧電型電気音響変換器を提供した
(特願平11−207198号)。この電気音響変換器
は、2層または3層の圧電セラミックス層を積層して積
層体が形成され、この積層体の表裏主面に主面電極が形
成され、各セラミックス層の間に内部電極が形成され、
すべてのセラミックス層は厚み方向において同一方向に
分極されたものである。そして、主面電極と内部電極と
の間に交番信号を印加することで、積層体を屈曲振動さ
せることができる。
Accordingly, the applicant of the present application has provided a piezoelectric electroacoustic transducer capable of forming a bimorph-type diaphragm with a simple connection structure by eliminating the interconnection between the main surface electrode and the internal electrode (Japanese Patent Application No. Hei 11-1999). 207198). In this electroacoustic transducer, a laminate is formed by laminating two or three layers of piezoelectric ceramic layers, main surface electrodes are formed on the front and back main surfaces of the laminate, and internal electrodes are provided between the ceramic layers. Formed,
All the ceramic layers are polarized in the same direction in the thickness direction. Then, by applying an alternating signal between the main surface electrode and the internal electrode, the laminate can be flexibly vibrated.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】このようなバイモルフ
型振動板の場合、ユニモルフ型振動板に比べて大きな音
圧を得ることができるという特徴がある反面、金属板に
よる補強がないために、耐衝撃性が低く、携帯端末など
に使用した場合に十分な落下強度が得られなかった。
Such a bimorph type diaphragm has a feature that a larger sound pressure can be obtained as compared with a unimorph type diaphragm, but has no reinforcement by a metal plate, and thus has a high resistance to noise. The impact strength was low, and sufficient drop strength was not obtained when used for portable terminals and the like.

【0007】そこで、本発明の目的は、簡単な接続構造
で大きな音圧を得るバイモルフ型振動板を構成できると
ともに、落下強度の大幅な向上を図る圧電型電気音響変
換器を得ることにある。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a piezoelectric electroacoustic transducer which can form a bimorph type diaphragm which can obtain a large sound pressure with a simple connection structure and which can greatly improve the drop strength.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明は、2層または3層の圧電セ
ラミックス層を積層して積層体が形成され、この積層体
の表裏主面に主面電極が形成され、各セラミックス層の
間に内部電極が形成され、すべてのセラミックス層は厚
み方向において同一方向に分極されており、上記主面電
極と内部電極との間に交番信号を印加することで、上記
積層体を屈曲振動させる圧電型電気音響変換器であっ
て、上記積層体の表裏面のほぼ全面が樹脂層で覆われて
いることを特徴とする圧電型電気音響変換器を提供す
る。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a laminate is formed by laminating two or three piezoelectric ceramic layers. A main surface electrode is formed on the surface, an internal electrode is formed between the ceramic layers, and all the ceramic layers are polarized in the same direction in the thickness direction, and an alternating signal is provided between the main surface electrode and the internal electrode. A piezoelectric electro-acoustic transducer for bending and vibrating the laminate by applying a pressure, wherein substantially the entire front and back surfaces of the laminate are covered with a resin layer. Provide a container.

【0009】本発明の積層体の場合、主面電極と内部電
極との間に交番電圧を印加すれば、表側および裏側のセ
ラミックス層に働く電界方向が厚み方向において逆方向
になる。一方、分極方向は全てのセラミックス層が厚み
方向において同一方向に向いている。圧電セラミックス
は、分極方向と電界方向とが同一方向であれば平面方向
に縮む性質を有し、分極方向と電界方向とが逆方向であ
れば平面方向に伸びる性質を有している。したがって、
上記のように交番電圧を印加すれば、表側のセラミック
ス層が伸びた(縮んだ)時、裏側のセラミックス層が縮
み(伸び)、全体として積層体は屈曲振動を生じること
になる。この変位量はユニモルフ型振動板に比べて大き
いので、音圧も増大する。
In the case of the laminate of the present invention, when an alternating voltage is applied between the main surface electrode and the internal electrode, the direction of the electric field acting on the front and back ceramic layers is reversed in the thickness direction. On the other hand, the polarization direction is such that all the ceramic layers are oriented in the same direction in the thickness direction. Piezoelectric ceramics have the property of contracting in the plane direction when the polarization direction and the electric field direction are the same, and have the property of extending in the plane direction if the polarization direction and the electric field direction are opposite. Therefore,
When the alternating voltage is applied as described above, when the ceramic layer on the front side expands (shrinks), the ceramic layer on the back side shrinks (extends), and the laminated body generates bending vibration as a whole. Since this displacement is larger than that of the unimorph diaphragm, the sound pressure also increases.

【0010】セラミックスよりなる積層体は音圧が大き
い反面、落下衝撃に弱い。そこで、本発明では、積層体
の表裏面のほぼ全面を樹脂層で覆うことで、積層体を補
強し、落下強度を大幅に向上させている。この樹脂層は
積層体の屈曲振動を阻害するものではないので、音圧を
殆ど損なわず、また共振周波数が大きく上昇することが
ない。
[0010] A laminate made of ceramics has a large sound pressure, but is vulnerable to a drop impact. Therefore, in the present invention, the laminate is reinforced by covering substantially the entire front and back surfaces of the laminate with the resin layer, and the drop strength is greatly improved. Since this resin layer does not hinder the bending vibration of the laminate, the sound pressure is hardly impaired, and the resonance frequency is not greatly increased.

【0011】上記樹脂層は、請求項2のように、ペース
ト状樹脂を膜状に塗布した後、硬化させたコーティング
層としてもよいし、請求項3のように、積層体に対して
接着された樹脂フィルムであってもよい。樹脂層を構成
する樹脂材料は、シリコーン系やウレタン系などのヤン
グ率が低い樹脂材料の場合には、積層体の補強効果が殆
どなく、落下衝撃に対する強度向上が十分に見込めない
のに対し、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ポ
リアミドイミド系などのヤング率が高い樹脂材料では、
耐衝撃性を大幅に向上させることができる。
The resin layer may be a coating layer obtained by applying a paste-like resin in the form of a film and then hardening the resin, or may be adhered to the laminate as described in claim 3. Resin film may be used. When the resin material constituting the resin layer is a resin material having a low Young's modulus, such as a silicone-based or urethane-based resin, there is almost no reinforcing effect of the laminate, and a sufficient improvement in strength against a drop impact cannot be expected. Epoxy-based, acrylic-based, polyimide-based, polyamide-imide-based resin materials with high Young's modulus,
Impact resistance can be greatly improved.

【0012】請求項4のように、積層体を方形状とする
のが望ましい。方形状の積層体の場合、マザー基板の段
階で電極形成、セラミックス層の積層、圧着、焼成、樹
脂層の形成などの工程を行なうことができ、量産性が向
上するとともに、材料の無駄も少ない。さらに、方形の
振動板を構成すると、円形の振動板に比べて音響変換効
率が向上し、低周波数の音を発生することができるとい
う利点がある。
It is desirable that the laminate be rectangular. In the case of a square laminate, steps such as electrode formation, lamination of ceramic layers, pressure bonding, baking, and formation of a resin layer can be performed at the stage of the mother substrate, thereby improving mass productivity and reducing waste of materials. . Further, when a rectangular diaphragm is formed, there is an advantage that sound conversion efficiency is improved and a low-frequency sound can be generated as compared with a circular diaphragm.

【0013】請求項5のように、表裏の主面電極を積層
体の側面に形成された第1の側面電極を介して互いに導
通させ、内部電極を第1の側面電極と異なる位置の側面
に形成された第2の側面電極と導通させるのがよい。こ
の場合には、主面電極と内部電極とを側面電極を介して
引き出すことにより、外部との電気的接続が容易にな
る。
According to a fifth aspect of the present invention, the main surface electrodes on the front and back sides are electrically connected to each other via the first side surface electrodes formed on the side surfaces of the laminate, and the internal electrodes are connected to the side surfaces at positions different from the first side surface electrodes. It is preferable to make conduction with the formed second side surface electrode. In this case, the main surface electrode and the internal electrode are drawn out through the side surface electrode, thereby facilitating the electrical connection with the outside.

【0014】請求項6のように、第1及び第2の側面電
極を、樹脂層の表裏面まで回り込むように形成するのが
よい。例えば、本発明の電気音響変換器を外部と導電性
接着剤などを用いて電気的に接続する場合に、接続が簡
単かつ確実になる。
It is preferable that the first and second side electrodes are formed so as to extend to the front and back surfaces of the resin layer. For example, when the electroacoustic transducer of the present invention is electrically connected to the outside using a conductive adhesive or the like, the connection is simple and reliable.

【0015】請求項7のように、第2の側面電極を積層
体の表裏面に回り込むように形成し、樹脂層に、表裏の
主面電極の一部が露出する切欠部と、積層体の表裏面に
回り込んだ第2の側面電極の一部が露出する切欠部とを
形成してもよい。この場合には、請求項6のように樹脂
層の表面に電極を形成する必要がなく、積層体に電極を
形成するだけでよいので、外部との電気的接続が容易に
なるだけでなく、電極形成の作業が簡単になる。
According to a seventh aspect of the present invention, the second side surface electrode is formed so as to extend around the front and back surfaces of the laminate, and a cutout portion in which a part of the front and back main surface electrodes is exposed is formed in the resin layer. A notch may be formed to expose a part of the second side surface electrode that goes around the front and back surfaces. In this case, it is not necessary to form an electrode on the surface of the resin layer as in claim 6, and it is only necessary to form an electrode on the laminate, so that not only electrical connection with the outside is facilitated, but also The operation of forming the electrodes is simplified.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】図1〜図4は本発明にかかる圧電
型電気音響変換器の第1実施例を示す。この圧電型電気
音響変換器は、長方形の振動板(積層体)1と、この振
動板1を収容した角形のケース10および基板20とか
らなり、表面実装型に構成されている。
1 to 4 show a first embodiment of a piezoelectric electro-acoustic transducer according to the present invention. This piezoelectric electro-acoustic transducer includes a rectangular diaphragm (laminated body) 1, a rectangular case 10 containing the diaphragm 1 and a substrate 20, and is configured as a surface mount type.

【0017】この実施例の振動板1は、図5,図6に示
すように、PZTなどからなる2層の圧電セラミックス
層1a,1bを積層したものであり、振動板1の表裏主
面には主面電極3,4が形成され、セラミックス層1
a,1bの間には内部電極5が形成されている。2つの
セラミックス層1a,1bは、太線矢印で示すように厚
み方向において同一方向に分極されている。この実施例
では、表側の主面電極3と裏側の主面電極4は、振動板
1の一方の短辺から他方の短辺の直前まで延びており、
内部電極5は主面電極3,4と対称的に他方の短辺から
一方の短辺の直前まで延びている。振動板1の表裏面は
樹脂層6,7によって覆われている。樹脂層6,7は、
ペースト状樹脂を膜状に塗布した後、硬化させたコーテ
ィング層であってもよいし、樹脂フィルムを接着したも
のでもよい。樹脂層6,7としては、エポキシ系樹脂、
アクリル系樹脂、ポリイミド系樹脂およびポリアミドイ
ミド系樹脂などの硬化状態でのヤング率が500MPa
〜6000MPaの材料が使用されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the diaphragm 1 of this embodiment is formed by laminating two piezoelectric ceramic layers 1a and 1b made of PZT or the like. Indicates that the main surface electrodes 3 and 4 are formed and the ceramic layer 1
An internal electrode 5 is formed between a and 1b. The two ceramic layers 1a and 1b are polarized in the same direction in the thickness direction as indicated by the thick arrow. In this embodiment, the main surface electrode 3 on the front side and the main surface electrode 4 on the back side extend from one short side of the diaphragm 1 to just before the other short side,
The internal electrode 5 extends symmetrically with the main surface electrodes 3 and 4 from the other short side to immediately before one short side. The front and back surfaces of diaphragm 1 are covered with resin layers 6 and 7. The resin layers 6 and 7
It may be a coating layer obtained by applying a paste-like resin in a film shape and then curing the resin, or may be a resin film adhered thereto. As the resin layers 6 and 7, an epoxy resin,
Young's modulus of 500MPa in cured state of acrylic resin, polyimide resin and polyamideimide resin
Materials of up to 6000 MPa are used.

【0018】振動板1の一方の短辺側側面には、主面電
極3,4と導通する第1の側面電極8が形成され、この
側面電極8の上下部は樹脂層6,7の表面まで回り込む
ように形成されている。また、振動板1の他方の短辺側
側面には、内部電極5と導通する第2の側面電極9が形
成され、この側面電極9の上下部は樹脂層6,7の表面
まで回り込むように形成されている。
On one short side surface of the vibration plate 1, a first side electrode 8 is formed which is electrically connected to the main surface electrodes 3, 4. It is formed so as to wrap around. On the other short side surface of the vibration plate 1, a second side surface electrode 9 which is electrically connected to the internal electrode 5 is formed, and the upper and lower portions of the side surface electrode 9 extend to the surfaces of the resin layers 6 and 7. Is formed.

【0019】ケース10は耐熱性樹脂などにより上壁部
と4つの側壁部とを有する箱型に形成され、上壁部には
放音穴11が形成され、下面開口部に基板20が接着さ
れている。ケース10の対向する2側壁の内側面には段
差状の支持部12a,12bが形成され、これら支持部
12a,12b上に振動板1の短辺側の2辺が接着剤な
どの支持剤13a,13bによって支持されている。ま
た、振動板1の長辺側の2辺とケース10との隙間はシ
リコーンゴムなどの弾性封止剤14a,14bによって
封止されている。なお、支持剤13a,13bとして、
弾性封止剤14a,14bと同一の材料を用いてもよ
い。
The case 10 is formed of a heat-resistant resin or the like into a box shape having an upper wall and four side walls, a sound emission hole 11 is formed in the upper wall, and a substrate 20 is adhered to the lower opening. ing. Step-shaped support portions 12a and 12b are formed on the inner side surfaces of the two opposing side walls of the case 10. Two short sides of the diaphragm 1 are provided on the support portions 12a and 12b with a support 13a such as an adhesive. , 13b. The gap between the two long sides of the diaphragm 1 and the case 10 is sealed by elastic sealants 14a and 14b such as silicone rubber. In addition, as supporters 13a and 13b,
The same material as the elastic sealants 14a and 14b may be used.

【0020】基板20はケース10と同じく耐熱性樹
脂、ガラスエポキシ、セラミック材料などよりなり、そ
の両端部表裏面には外部接続用電極21a,21bが形
成され、表裏の電極21a,21bは基板20の両端部
側縁に形成された切欠溝22a,22bの内面を介して
相互に導通している。ケース10に固定された振動板1
の側面電極8,9上に導電性接着剤23a,23bを点
滴状に塗布した状態で、基板20をケース10の下面開
口部に絶縁性接着剤24により接着することにより、振
動板1の側面電極8は導電性接着剤23aによって外部
接続用電極21aと接続され、側面電極9は導電性接着
剤23bによって外部接続用電極21bと接続される。
なお、絶縁性接着剤24は、基板20上に塗布しておい
てもよいし、ケース10の開口部に塗布しておいてもよ
い。その後、導電性接着剤23a,23bおよび絶縁性
接着剤24を硬化させることにより、圧電型電気音響変
換器を完成する。
The substrate 20 is made of a heat-resistant resin, glass epoxy, ceramic material, or the like, similarly to the case 10. External connection electrodes 21a and 21b are formed on the front and rear surfaces of both ends, and the electrodes 21a and 21b on the front and back are connected to the substrate 20. Are electrically connected to each other through the inner surfaces of the cutout grooves 22a and 22b formed at the side edges of the both ends. Diaphragm 1 fixed to case 10
The substrate 20 is adhered to the lower opening of the case 10 with the insulating adhesive 24 in a state where the conductive adhesives 23a and 23b are applied in the form of drip on the side electrodes 8 and 9 of The electrode 8 is connected to the external connection electrode 21a by a conductive adhesive 23a, and the side electrode 9 is connected to the external connection electrode 21b by a conductive adhesive 23b.
The insulating adhesive 24 may be applied on the substrate 20 or on the opening of the case 10. Thereafter, the conductive adhesives 23a and 23b and the insulating adhesive 24 are cured to complete the piezoelectric electro-acoustic transducer.

【0021】外部接続用電極21a,21bの間に所定
の交番電圧を印加すると、振動板1は長さベンディング
モードで屈曲振動する。すなわち、振動板1の短辺側両
端部を支点とし、長手方向の中央部を最大振幅点として
屈曲振動する。例えば外部接続用電極21aに接続され
た側面電極8にマイナスの電圧、外部接続用電極21b
に接続された側面電極9にプラスの電圧を印加すると、
図6の細線矢印で示す方向の電界が生じる。セラミック
ス層1a,1bは、分極方向と電界方向とが同一方向で
あれば平面方向に縮む性質を有し、分極方向と電界方向
とが逆方向であれば平面方向に伸びる性質を有するの
で、表側のセラミックス層1aは縮み、裏側のセラミッ
クス層1bは伸びることになる。そのため、振動板1は
中心部が下方へ凸となるように屈曲する。外部接続用電
極21a,21bに印加する電圧を交番電圧とすれば、
振動板1は周期的に屈曲振動を生じ、これによって大き
な音圧の音を発生することができる。
When a predetermined alternating voltage is applied between the external connection electrodes 21a and 21b, the diaphragm 1 bends and vibrates in the length bending mode. That is, the diaphragm 1 vibrates flexibly with the short-side end portions as fulcrums and the central portion in the longitudinal direction as the maximum amplitude point. For example, a negative voltage is applied to the side electrode 8 connected to the external connection electrode 21a, and the external connection electrode 21b
When a positive voltage is applied to the side electrode 9 connected to
An electric field is generated in the direction indicated by the thin arrow in FIG. The ceramic layers 1a and 1b have a property of contracting in the plane direction when the polarization direction and the electric field direction are the same, and have a property of extending in the plane direction if the polarization direction and the electric field direction are opposite. The ceramic layer 1a of this example contracts, and the ceramic layer 1b on the back side expands. Therefore, diaphragm 1 bends so that the central portion is convex downward. If the voltage applied to the external connection electrodes 21a and 21b is an alternating voltage,
The vibration plate 1 periodically generates bending vibration, and can generate a sound with a large sound pressure.

【0022】本発明の振動板1は、セラミックス層1
a,1bを積層したバイモルフ型振動板であるから、金
属板を使用したユニモルフ型振動板に比べて変位を大き
くすることができ、より大きな音圧を得ることができ
る。また、金属板によって変位が拘束されないので、低
周波の音を発生させることができる。換言すれば、同一
周波数の音を発生させるのであれば、寸法を小型化でき
る。また、表裏面に樹脂層6,7を形成して補強するこ
とにより、音圧を損なうことなく、かつ共振周波数を大
きく上昇させることなく、落下強度を向上させることが
できる。
The diaphragm 1 according to the present invention has a ceramic layer 1
Since this is a bimorph diaphragm in which a and 1b are stacked, displacement can be increased as compared with a unimorph diaphragm using a metal plate, and a higher sound pressure can be obtained. Further, since the displacement is not restricted by the metal plate, a low-frequency sound can be generated. In other words, if sound of the same frequency is generated, the size can be reduced. Further, by forming and reinforcing the resin layers 6 and 7 on the front and back surfaces, the drop strength can be improved without damaging the sound pressure and without greatly increasing the resonance frequency.

【0023】図7は、振動板1のサイズを10mm×1
0mm×0.08mmとし、樹脂層6,7としてエポキ
シ系接着剤を振動板1の上下面に各20μmの厚みでコ
ーティングした場合の音圧を、樹脂層を設けない場合と
比較したものである。図7から明らかなように、樹脂層
6,7を設けることによる音圧低下および周波数変化は
殆どないことがわかる。
FIG. 7 shows that the size of the diaphragm 1 is 10 mm × 1.
The sound pressure in the case where each of the resin layers 6 and 7 is coated with an epoxy-based adhesive on the upper and lower surfaces of the diaphragm 1 with a thickness of 20 μm as 0 mm × 0.08 mm is compared with the case where no resin layer is provided. . As is clear from FIG. 7, there is almost no decrease in sound pressure and no change in frequency due to the provision of the resin layers 6 and 7.

【0024】表1は、図7と同様にして振動板1に樹脂
層6,7を設けた場合(本発明)と、樹脂層を設けない
場合(比較品)との落下強度を比較したものである。表
において、○は割れが発生しないこと、×は割れが発生
したことを示す。なお、落下試験は、振動板1を図1に
示すようなケースに収納し、100gの治具に取り付け
て水平状態で落下させたものである。
Table 1 shows a comparison of the drop strength between the case where the resin layers 6 and 7 are provided on the diaphragm 1 (the present invention) and the case where no resin layer is provided (comparative product) in the same manner as in FIG. It is. In the table, ○ indicates that cracks did not occur, and X indicates that cracks occurred. In the drop test, the diaphragm 1 was housed in a case as shown in FIG. 1, attached to a 100 g jig, and dropped in a horizontal state.

【0025】[0025]

【表1】 [Table 1]

【0026】上記実施例では、方形の振動板1を使用す
ることにより、次のような作用効果を有する。第1に、
音響変換効率が向上する点である。円形振動板の場合に
は、中心部のみが最大振幅点となるため、変位体積が小
さく、音響変換効率が比較的低い。また、振動板の周囲
が拘束されるので、周波数が高くなり、低い周波数の圧
電振動板を得ようとすれば、半径寸法が大きくなる。こ
れに対し、矩形振動板1の場合には、最大振幅点が長さ
方向の中心線にそって存在するので、変位体積が大き
く、高い音響変換効率を得ることができる。また、矩形
振動板1はその長さ方向両端部が固定されるが、その間
の部分は弾性封止剤14a,14bによって自由に変位
できるので、円形の振動板に比べて低い周波数を得るこ
とができる。逆に、同じ周波数を得るのであれば、寸法
を小型化できる。第2に、生産性が向上する点である。
円形振動板の場合には、マザー基板からパンチで振動板
を打ち抜くため、打ち抜きカスが多く発生するが、方形
振動板では、積層圧電体をダイシング等により切り出す
ことができるので、打ち抜きカスが少なくなる。また、
樹脂層のコーティングやフィルムを大型のマザー基板上
に形成できるので、量産性が向上し、工数が少なくて済
むという利点がある。
In the above embodiment, the use of the rectangular diaphragm 1 has the following operational effects. First,
The point is that the sound conversion efficiency is improved. In the case of a circular diaphragm, only the central portion has the maximum amplitude point, so that the displacement volume is small and the acoustic conversion efficiency is relatively low. Further, since the periphery of the diaphragm is constrained, the frequency becomes higher, and if a piezoelectric vibrating plate having a lower frequency is to be obtained, the radial dimension becomes larger. On the other hand, in the case of the rectangular diaphragm 1, since the maximum amplitude point exists along the center line in the length direction, the displacement volume is large, and high acoustic conversion efficiency can be obtained. The rectangular diaphragm 1 is fixed at both ends in the longitudinal direction, but the portion between them can be freely displaced by the elastic sealants 14a and 14b, so that a lower frequency can be obtained as compared with a circular diaphragm. it can. Conversely, if the same frequency is obtained, the size can be reduced. Second, productivity is improved.
In the case of a circular vibrating plate, punching punches are punched out of a mother substrate, so that many punching debris are generated. However, in the case of a square diaphragm, a laminated piezoelectric body can be cut out by dicing or the like, so that punching debris is reduced. . Also,
Since the coating of the resin layer and the film can be formed on a large mother substrate, there is an advantage that the mass productivity is improved and the number of steps is reduced.

【0027】図8,図9は振動板の第2実施例を示す。
この振動板30は、図5,図6に示す振動板1と同様に
2層の方形セラミックス層31,32を積層し、その上
下面に主面電極33,34を形成するとともに、セラミ
ックス層31,32の間に内部電極35を形成したもの
である。振動板30の上下面には、主面電極33,34
を覆う樹脂層36,37が形成されている。主面電極3
3,34は、振動板30の一方の側面に形成された第1
の側面電極38を介して相互に接続され、内部電極35
は対向する側面に形成された第2の側面電極39と接続
されている。
FIGS. 8 and 9 show a second embodiment of the diaphragm.
The diaphragm 30 has two layers of square ceramic layers 31 and 32 laminated like the diaphragm 1 shown in FIGS. 5 and 6, and has main surface electrodes 33 and 34 formed on the upper and lower surfaces thereof. , 32 are formed with an internal electrode 35. Principal surface electrodes 33, 34 are provided on the upper and lower surfaces of diaphragm 30, respectively.
Are formed. Main surface electrode 3
Reference numerals 3 and 34 denote the first side formed on one side surface of the diaphragm 30.
Are connected to each other through side electrodes 38 of the
Are connected to a second side surface electrode 39 formed on the opposite side surface.

【0028】この実施例では、側面電極38,39がセ
ラミックス層31,32の側面にのみ形成され、側面電
極39の一部はセラミックス層31,32の上下面にま
で回り込んでいる。そして、樹脂層36,37の一端側
には主面電極33,34の一部が露出する切欠部36
a,37aが形成され、樹脂層36,37の他端側には
セラミックス層31,32の上下面にまで回り込んた側
面電極39の一部が露出する切欠部36b,37bが形
成されている。
In this embodiment, the side electrodes 38, 39 are formed only on the side surfaces of the ceramic layers 31, 32, and a part of the side electrode 39 extends to the upper and lower surfaces of the ceramic layers 31, 32. At one end of the resin layers 36, 37, a notch 36 exposing a part of the main surface electrodes 33, 34 is exposed.
a, 37a are formed, and cutout portions 36b, 37b are formed on the other end sides of the resin layers 36, 37, and expose part of the side electrodes 39 extending to the upper and lower surfaces of the ceramic layers 31, 32. .

【0029】上記切欠部36a,37aおよび36b,
37bを介して、電極33,34および側面電極39が
振動板1の表裏面に露出するので、振動板30を導電性
接着剤などを介して外部と接続する場合に、接続作業が
容易にかつ確実に行なえる。また、図5,図6に示す振
動板1のように、樹脂層6,7の表面に電極を形成する
必要がないので、電極形成作業が簡素化されるという利
点がある。
The notches 36a, 37a and 36b,
Since the electrodes 33 and 34 and the side electrodes 39 are exposed on the front and back surfaces of the diaphragm 1 via 37b, when the diaphragm 30 is connected to the outside via a conductive adhesive or the like, the connection operation is easy and I can do it reliably. Further, unlike the diaphragm 1 shown in FIGS. 5 and 6, there is no need to form electrodes on the surfaces of the resin layers 6 and 7, so that there is an advantage that the electrode forming operation is simplified.

【0030】図10は振動板の第3実施例を示す。この
実施例の振動板40は、3層の圧電セラミックス層41
〜43を積層したものであり、セラミックス層41の表
面およびセラミックス層43の裏面には主面電極44,
45が形成され、各セラミックス層41〜43の間には
内部電極46,47が形成されている。3つのセラミッ
クス層41〜43は太線矢印で示すように厚み方向にお
いて同一方向に分極されている。
FIG. 10 shows a third embodiment of the diaphragm. The diaphragm 40 of this embodiment has three piezoelectric ceramic layers 41.
43, and a main surface electrode 44, a back surface of the ceramics layer 43, and a back surface of the ceramics layer 43.
45 are formed, and internal electrodes 46 and 47 are formed between the ceramic layers 41 to 43. The three ceramic layers 41 to 43 are polarized in the same direction in the thickness direction as indicated by the thick arrows.

【0031】振動板40の表裏面には、主面電極44,
45を覆う樹脂層48,49が全面に形成されている。
主面電極44,45は、図6と同様に振動板40の一方
の短辺から他方の短辺の直前まで延びており、その一端
は振動板40の一方の短辺側側面に形成された側面電極
50に接続されている。そのため、表裏の主面電極4
4,45は相互に接続されている。また、内部電極4
6,47は主面電極44,45と対称的に他方の短辺か
ら一方の短辺の直前まで延びており、その一端は振動板
40の他方の短辺側側面に形成された側面電極51に接
続されている。したがって、内部電極46,47も相互
に接続されている。なお、側面電極50,51は樹脂層
48,49の表裏面に回り込むように形成されている。
On the front and back surfaces of the diaphragm 40, main surface electrodes 44,
Resin layers 48 and 49 covering the surface 45 are formed on the entire surface.
The main surface electrodes 44 and 45 extend from one short side of the diaphragm 40 to just before the other short side, as in FIG. 6, and one end thereof is formed on one short side surface of the diaphragm 40. It is connected to the side electrode 50. Therefore, the front and back main surface electrodes 4
4 and 45 are mutually connected. In addition, the internal electrode 4
Reference numerals 6 and 47 extend symmetrically to the main surface electrodes 44 and 45 from the other short side to immediately before one short side, and one end thereof is provided on a side surface electrode 51 formed on the other short side surface of the diaphragm 40. It is connected to the. Therefore, the internal electrodes 46 and 47 are also connected to each other. The side electrodes 50 and 51 are formed so as to extend around the front and back surfaces of the resin layers 48 and 49.

【0032】例えば、側面電極50にマイナスの電圧、
側面電極51にプラスの電圧を印加すると、図10の細
線矢印で示す方向の電界が生じる。この時、中間層であ
るセラミックス層42の両側に位置する内部電極46,
47は同一電位であるため、電界が生じない。表側のセ
ラミックス層41は分極方向と電界方向とが同一方向で
あるため平面方向に縮み、裏側のセラミックス層43は
分極方向と電界方向とが逆方向であるため平面方向に伸
びる。そして、中間層42は伸び縮みしない。そのた
め、振動板40は下方へ凸となるように屈曲する。側面
電極50,51間に交番電圧を印加すれば、振動板50
は周期的に屈曲振動を生じ、これによって大きな音圧の
音を発生することができる。なお、図10では、側面電
極50,51を樹脂層48,49の表裏面に回り込むよ
うに形成したが、図8のように樹脂層48,49の一部
を切り欠くことにより、主面電極44,45および側面
電極51を露出させるようにしてもよい。
For example, a negative voltage is applied to the side electrode 50,
When a positive voltage is applied to the side electrode 51, an electric field is generated in the direction shown by the thin arrow in FIG. At this time, the internal electrodes 46 located on both sides of the ceramic layer 42 as the intermediate layer,
Since 47 has the same potential, no electric field is generated. The front side ceramic layer 41 contracts in the plane direction because the polarization direction and the electric field direction are the same direction, and the back side ceramic layer 43 extends in the plane direction because the polarization direction and the electric field direction are opposite. Then, the intermediate layer 42 does not expand and contract. Therefore, the diaphragm 40 is bent so as to be convex downward. When an alternating voltage is applied between the side electrodes 50 and 51, the diaphragm 50
Generates periodic bending vibrations, which can generate a sound with a large sound pressure. In FIG. 10, the side electrodes 50 and 51 are formed so as to extend around the front and back surfaces of the resin layers 48 and 49. However, as shown in FIG. 44, 45 and the side electrode 51 may be exposed.

【0033】上記実施例の振動板1,30,40の製造
方法は、例えばセラミックグリーンシートを電極膜を介
して2枚または3枚積層し、この積層体を同時焼成して
焼結積層体を得た後、この焼結積層体を分極処理する。
その後、分極済みの積層体の上下面に樹脂層を形成し、
この積層体を所定の素子寸法にカットした後、個々の素
子の側面に側面電極を形成することにより、製造でき
る。また、この方法に代えて、予め焼成し分極処理した
2枚または3枚の圧電セラミックス板を積層接着し、こ
の積層体の上下面に樹脂層を形成した後、素子寸法にカ
ットし、個々の素子の側面に側面電極を形成してもよ
い。積層後に焼成する前者の製造方法は、予め焼成した
ものを積層する後者の方法に比べて、振動板の厚みを格
段に薄くでき、音圧を大きくできるので、音響変換効率
に優れた振動板を得ることが可能である。また、樹脂層
は、マザー積層体を素子にカットする際に、素子の割れ
を防止する補強層としても機能する。
In the method of manufacturing the diaphragms 1, 30, and 40 of the above embodiment, for example, two or three ceramic green sheets are laminated via an electrode film, and the laminated bodies are simultaneously fired to form a sintered laminated body. After obtaining, the sintered laminate is subjected to a polarization treatment.
After that, a resin layer is formed on the upper and lower surfaces of the polarized laminate,
After the laminate is cut into a predetermined element size, it can be manufactured by forming side electrodes on the side surfaces of the individual elements. Instead of this method, two or three pieces of piezoelectric ceramics plates which have been preliminarily fired and polarized are laminated and bonded, and a resin layer is formed on the upper and lower surfaces of the laminated body. A side electrode may be formed on the side surface of the element. The former manufacturing method of firing after laminating, compared to the latter method of laminating pre-fired ones, can greatly reduce the thickness of the diaphragm and increase the sound pressure, so a diaphragm with excellent acoustic conversion efficiency can be manufactured. It is possible to get. The resin layer also functions as a reinforcing layer that prevents the element from cracking when the mother laminate is cut into the element.

【0034】本発明は上記実施例に限定されるものでは
なく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変更が可能
である。本発明にかかる振動板(積層体)の形状は、実
施例のような方形状に限るものではなく、円形としても
よいことは勿論である。円形の場合も、ユニモルフ型振
動板に比べて、音圧を高めることができる。振動板(積
層体)を収容するハウジング構造としては、図1〜図4
の構造に限るものではない。図1〜図4では基板20に
外部接続用電極21a,21bを形成したが、ケース1
0側に外部接続用の電極を形成したり、端子を固定して
もよい。したがって、この場合には基板とケースとが上
下逆転する。振動板1の第1および第2の側面電極8,
9は図5,6のように対向する側面に限るものではな
く、同一の側面の異なる位置に隣接して形成することも
できる。なお、本発明の圧電型電気音響変換器は、圧電
ブザー,圧電サウンダ,圧電スピーカなどの発音体とし
ての用途の他、圧電受話器などの受音体としても使用で
きる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various changes can be made without departing from the spirit of the present invention. The shape of the diaphragm (laminated body) according to the present invention is not limited to a square shape as in the embodiment, but may be a circular shape. Even in the case of a circular shape, the sound pressure can be increased as compared with a unimorph diaphragm. FIGS. 1 to 4 show a housing structure for accommodating a diaphragm (laminate).
However, the present invention is not limited to this structure. 1 to 4, the external connection electrodes 21 a and 21 b are formed on the substrate 20.
An electrode for external connection may be formed on the 0 side, or a terminal may be fixed. Therefore, in this case, the substrate and the case are turned upside down. First and second side electrodes 8 of diaphragm 1,
Numeral 9 is not limited to the side surfaces facing each other as shown in FIGS. 5 and 6, and may be formed adjacent to different positions on the same side surface. Note that the piezoelectric electroacoustic transducer of the present invention can be used not only as a sounding body such as a piezoelectric buzzer, a piezoelectric sounder, and a piezoelectric speaker, but also as a sound receiving body such as a piezoelectric receiver.

【0035】[0035]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項1
に記載の発明によれば、2層または3層の圧電セラミッ
クス層からなる積層体の表裏面に主面電極を形成し、各
セラミックス層の間に内部電極を形成し、すべてのセラ
ミックス層を厚み方向において同一方向に分極したの
で、主面電極と内部電極との間に交番信号を印加すれ
ば、表側と裏側のセラミックス層が逆方向に伸縮し、全
体として積層体が屈曲振動を生じることになる。この変
位量はユニモルフ型振動板に比べて大きくなるので、音
圧も増大させることができる。また、すべてのセラミッ
クス層が厚み方向において同一方向に分極されているの
で、従来のような主面電極と内部電極との間の複雑な相
互接続が不要であり、主面電極と内部電極との間に交番
信号を印加するだけでよく、構造が簡単で、製造コスト
を低減できる。さらに、積層体の表裏面が樹脂層で覆わ
れているので、積層体を補強でき、落下強度を大幅に向
上させることができる。そして、樹脂層は積層体の屈曲
振動を阻害するものではないので、音圧を殆ど損なわ
ず、また共振周波数が大きく上昇することがない。
As is apparent from the above description, claim 1
According to the invention described in the above, the main surface electrodes are formed on the front and back surfaces of the laminate composed of two or three piezoelectric ceramic layers, the internal electrodes are formed between the ceramic layers, and all the ceramic layers are When the alternating signal is applied between the main surface electrode and the internal electrode, the ceramic layers on the front side and the back side expand and contract in opposite directions, causing the laminate to generate bending vibration as a whole. Become. Since this displacement is larger than that of the unimorph diaphragm, the sound pressure can also be increased. In addition, since all the ceramic layers are polarized in the same direction in the thickness direction, complicated interconnection between the main surface electrode and the internal electrode as in the related art is unnecessary, and the main surface electrode and the internal electrode are not connected. Only an alternating signal needs to be applied in between, the structure is simple and the manufacturing cost can be reduced. Furthermore, since the front and back surfaces of the laminate are covered with the resin layer, the laminate can be reinforced and the drop strength can be greatly improved. Since the resin layer does not inhibit the bending vibration of the laminate, the sound pressure is hardly impaired, and the resonance frequency is not greatly increased.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明にかかる圧電型電気音響変換器の第1実
施例の外観斜視図である。
FIG. 1 is an external perspective view of a first embodiment of a piezoelectric electro-acoustic transducer according to the present invention.

【図2】図1に示す圧電型電気音響変換器の分解斜視図
である。
FIG. 2 is an exploded perspective view of the piezoelectric electro-acoustic transducer shown in FIG.

【図3】図1のA−A線断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG. 1;

【図4】図1のB−B線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB of FIG. 1;

【図5】図1の圧電型電気音響変換器に用いられる振動
板の斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view of a diaphragm used in the piezoelectric electroacoustic transducer of FIG. 1;

【図6】図5のC−C線断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line CC of FIG. 5;

【図7】樹脂層を設けた振動板と樹脂層を設けない振動
板の音圧比較図である。
FIG. 7 is a sound pressure comparison diagram of a diaphragm provided with a resin layer and a diaphragm not provided with a resin layer.

【図8】本発明にかかる振動板の第2実施例の斜視図で
ある。
FIG. 8 is a perspective view of a second embodiment of the diaphragm according to the present invention.

【図9】図8のD−D線断面図である。FIG. 9 is a sectional view taken along line DD of FIG. 8;

【図10】本発明にかかる振動板の第3実施例の斜視図
である。
FIG. 10 is a perspective view of a third embodiment of the diaphragm according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,30,40 振動板(積層体) 1a,1b,31,32,41〜43 セラミックス層 3,4,33,34,44,45 主面電極 5,35,46,47 内部電極 6,7,36,37,48,49 樹脂層 10 ケース 20 基板 1, 30, 40 Vibration plate (laminated body) 1a, 1b, 31, 32, 41 to 43 Ceramic layer 3, 4, 33, 34, 44, 45 Main surface electrode 5, 35, 46, 47 Internal electrode 6, 7 , 36,37,48,49 Resin layer 10 Case 20 Substrate

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】2層または3層の圧電セラミックス層を積
層して積層体が形成され、この積層体の表裏主面に主面
電極が形成され、各セラミックス層の間に内部電極が形
成され、すべてのセラミックス層は厚み方向において同
一方向に分極されており、上記主面電極と内部電極との
間に交番信号を印加することで、上記積層体を屈曲振動
させる圧電型電気音響変換器であって、上記積層体の表
裏面のほぼ全面が樹脂層で覆われていることを特徴とす
る圧電型電気音響変換器。
A laminated body is formed by laminating two or three piezoelectric ceramic layers, a main surface electrode is formed on the front and back main surfaces of the laminated body, and an internal electrode is formed between the ceramic layers. All the ceramic layers are polarized in the same direction in the thickness direction. By applying an alternating signal between the main surface electrode and the internal electrode, a piezoelectric electroacoustic transducer that bends and vibrates the laminate is used. A piezoelectric electro-acoustic transducer, wherein substantially the entire front and back surfaces of the laminate are covered with a resin layer.
【請求項2】上記樹脂層は、ペースト状樹脂を膜状に塗
布した後、硬化させたコーティング層であることを特徴
とする請求項1に記載の圧電型電気音響変換器。
2. The piezoelectric electroacoustic transducer according to claim 1, wherein the resin layer is a coating layer obtained by applying a paste-like resin in a film shape and then curing the applied resin.
【請求項3】上記樹脂層は、積層体に対して接着された
樹脂フィルムであることを特徴とする請求項1に記載の
圧電型電気音響変換器。
3. The piezoelectric electro-acoustic transducer according to claim 1, wherein the resin layer is a resin film adhered to the laminate.
【請求項4】上記積層体は方形状に形成されていること
を特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電
型電気音響変換器。
4. The piezoelectric electro-acoustic transducer according to claim 1, wherein said laminate is formed in a rectangular shape.
【請求項5】上記表裏の主面電極は積層体の側面に形成
された第1の側面電極を介して互いに導通しており、内
部電極は第1の側面電極と異なる位置の側面に形成され
た第2の側面電極と導通していることを特徴とする請求
項1ないし4のいずれかに記載の圧電型電気音響変換
器。
5. The front and back main surface electrodes are electrically connected to each other via a first side surface electrode formed on a side surface of the multilayer body, and the internal electrode is formed on a side surface at a position different from that of the first side surface electrode. 5. The piezoelectric electro-acoustic transducer according to claim 1, wherein the piezoelectric electro-acoustic transducer is electrically connected to the second side electrode.
【請求項6】上記第1及び第2の側面電極は、上記樹脂
層の表裏面まで回り込むように形成されていることを特
徴とする請求項5に記載の圧電型電気音響変換器。
6. The piezoelectric electro-acoustic transducer according to claim 5, wherein the first and second side electrodes are formed so as to extend to the front and back surfaces of the resin layer.
【請求項7】上記第2の側面電極は積層体の表裏面に回
り込むように形成され、上記樹脂層に、表裏の主面電極
の一部が露出する切欠部と、積層体の表裏面に回り込ん
だ第2の側面電極の一部が露出する切欠部とが形成され
ていることを特徴とする請求項5に記載の圧電型電気音
響変換器。
7. The second side surface electrode is formed so as to extend around the front and back surfaces of the laminate, and the resin layer has a cutout portion where a part of the front and back main surface electrodes is exposed, and a cutout portion on the front and back surfaces of the laminate. 6. The piezoelectric electro-acoustic transducer according to claim 5, wherein a cut-out portion that exposes a part of the wrapped second side surface electrode is formed.
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6888947B2 (en) 2003-04-21 2005-05-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric electroacoustic transducer
US7042138B2 (en) 2003-04-10 2006-05-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric acoustic transducer
US7067959B2 (en) 2002-12-27 2006-06-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric diaphragm and piezoelectric electroacoustic transducer using the same
KR100719195B1 (en) 2003-12-12 2007-05-16 엔이씨 도낀 가부시끼가이샤 Acoustic vibration generating element
JP2011097580A (en) * 2009-09-30 2011-05-12 Yamaha Corp Electrostatic speaker
WO2013171916A1 (en) 2012-05-14 2013-11-21 京セラ株式会社 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration device, and mobile terminal
KR20140087945A (en) 2012-05-14 2014-07-09 쿄세라 코포레이션 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal
KR20140099563A (en) 2012-05-15 2014-08-13 쿄세라 코포레이션 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal
US8952598B2 (en) 2012-05-12 2015-02-10 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal having a region that is not flat for bonding to a flexible substrate
JP2015133415A (en) * 2014-01-14 2015-07-23 株式会社日本セラテック Piezoelectric element
US9812630B2 (en) 2012-10-31 2017-11-07 Kyocera Corporation Piezoelectric element, and piezoelectric vibrating device, portable terminal, acoustic generator, acoustic generating device and electronic apparatus including the same
US9899591B2 (en) 2012-12-17 2018-02-20 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus, and portable terminal
US9985195B2 (en) 2012-11-30 2018-05-29 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration device, and portable terminal
JP2020077878A (en) * 2018-11-09 2020-05-21 マグネコンプ コーポレーションMagnecompcorporation Method for manufacturing piezoelectric microactuator having wraparound electrode
CN112492499A (en) * 2019-09-12 2021-03-12 悠声股份有限公司 Method for producing a converter unit

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7067959B2 (en) 2002-12-27 2006-06-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric diaphragm and piezoelectric electroacoustic transducer using the same
DE10354026B4 (en) * 2002-12-27 2013-05-08 Murata Mfg. Co., Ltd. Piezoelectric membrane and its use in an electroacoustic transducer
US7042138B2 (en) 2003-04-10 2006-05-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric acoustic transducer
DE102004007247B4 (en) * 2003-04-10 2011-02-24 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi Piezoelectric, electroacoustic transducer
US6888947B2 (en) 2003-04-21 2005-05-03 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric electroacoustic transducer
DE102004018301B4 (en) * 2003-04-21 2010-09-02 Murata Mfg. Co., Ltd., Nagaokakyo-shi Piezoelectric electroacoustic transducer
KR100719195B1 (en) 2003-12-12 2007-05-16 엔이씨 도낀 가부시끼가이샤 Acoustic vibration generating element
US8107646B2 (en) 2003-12-12 2012-01-31 Nec Tokin Corporation Acoustic vibration generating element
JP2011097580A (en) * 2009-09-30 2011-05-12 Yamaha Corp Electrostatic speaker
US8952598B2 (en) 2012-05-12 2015-02-10 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal having a region that is not flat for bonding to a flexible substrate
KR20140087945A (en) 2012-05-14 2014-07-09 쿄세라 코포레이션 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal
KR20140099564A (en) 2012-05-14 2014-08-13 쿄세라 코포레이션 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal
WO2013171916A1 (en) 2012-05-14 2013-11-21 京セラ株式会社 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration device, and mobile terminal
US8994247B2 (en) 2012-05-14 2015-03-31 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus, and portable terminal
KR20140099563A (en) 2012-05-15 2014-08-13 쿄세라 코포레이션 Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus and portable terminal
US9812630B2 (en) 2012-10-31 2017-11-07 Kyocera Corporation Piezoelectric element, and piezoelectric vibrating device, portable terminal, acoustic generator, acoustic generating device and electronic apparatus including the same
US9985195B2 (en) 2012-11-30 2018-05-29 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration device, and portable terminal
US9899591B2 (en) 2012-12-17 2018-02-20 Kyocera Corporation Piezoelectric actuator, piezoelectric vibration apparatus, and portable terminal
JP2015133415A (en) * 2014-01-14 2015-07-23 株式会社日本セラテック Piezoelectric element
JP2020077878A (en) * 2018-11-09 2020-05-21 マグネコンプ コーポレーションMagnecompcorporation Method for manufacturing piezoelectric microactuator having wraparound electrode
CN112492499A (en) * 2019-09-12 2021-03-12 悠声股份有限公司 Method for producing a converter unit

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