JP2002097532A - Method for manufacturing composite molded article of metal and ceramics, and apparatus - Google Patents
Method for manufacturing composite molded article of metal and ceramics, and apparatusInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、金属とセラミック
スの複合造形体の製造方法および装置、詳細にはセラミ
ックス微粉体を成形したテープと金属微粉体を成形した
テープをレーザー光を照射しながら交互に重ね、レーザ
ー光により金属微粉体を溶融して金属とセラミックスの
複合造形体を製造する方法および装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a composite molded body of metal and ceramic, and more particularly, to a tape formed of ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder alternately irradiated with laser light. The present invention relates to a method and an apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramics by melting a metal fine powder with a laser beam.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、金属とセラミックスの複合造形体
は、金属微粉体とセラミックス微粉体に潤滑剤を混ぜて
混合し、この混合物を金型に入れて成形するなどの各種
の方法で成形し、焼結することによって製造されてい
る。この方法は、金属微粉体とセラミックス微粉体を均
一に混合する必要があるが、微粉体の比重が異なるため
に長時間攪拌する必要があり、また成形するために金型
を必要とするが、この金型を製造するために費用と時間
がかかるので、少量生産または試作品の製造にはコスト
が高くなり、また時間が長くなるという欠点があった。2. Description of the Related Art Conventionally, a composite molded body of metal and ceramics is formed by various methods such as mixing a metal fine powder and a ceramic fine powder with a lubricant, mixing the mixture into a mold and molding. It is manufactured by sintering. In this method, it is necessary to uniformly mix the metal fine powder and the ceramic fine powder, but it is necessary to stir for a long time because the specific gravity of the fine powder is different, and also requires a mold for molding, The cost and time required to manufacture the molds are disadvantageous, so that small-scale production or production of prototypes is costly and time-consuming.
【0003】さらに、金型を使用しない方法で造形する
方法として、光硬化性流動樹脂またはシリカ粉末を分散
させた光硬化性流動樹脂に、レーザー光により硬化する
に必要な光エネルギーを供給し、該光エネルギーの供給
を位置制御装置などにより選択的に行って所望形状の樹
脂造形体またはシリカ粉末入り樹脂造形体を製造する方
法が特開昭60─247515号公報または特開平8─
25486号公報に開示されている。Further, as a method of molding without using a mold, a light energy required for curing by a laser beam is supplied to a photocurable fluid resin or a photocurable fluid resin in which silica powder is dispersed. Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-247515 or Japanese Patent Application Laid-Open No. H08-247, discloses a method of selectively supplying the light energy by a position control device or the like to produce a resin molded body having a desired shape or a resin molded body containing silica powder.
No. 25486.
【0004】また、金型を使用しない方法で焼結体を製
造する方法として、光硬化性流動樹脂内に焼結可能な
(焼結する)無機材料粉末を混合し、この無機材料粉末
を混合した光硬化性流動樹脂の層に光像を照射して光硬
化層を形成し、この硬化層を順次積み重ねて三次元造形
体を造形し、この三次元造形体を燃焼などにより光硬化
した樹脂成分を除去し、樹脂成分を除去した無機材料粉
末混合造形体をHIP処理などにより焼結体にすること
が特開平8─252867号公報に開示されている。[0004] As a method of manufacturing a sintered body without using a mold, a sinterable (sintering) inorganic material powder is mixed in a photocurable fluid resin, and the inorganic material powder is mixed. A photocurable layer is formed by irradiating a light image to the layer of the photocurable fluid resin that has been formed, and the cured layers are sequentially stacked to form a three-dimensional molded body. Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 8-252678 discloses that an inorganic material powder-mixed molded body from which components are removed and a resin component is removed is made into a sintered body by HIP processing or the like.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上記公報に開示されて
いる方法は、金型を使用しないで所望形状の樹脂造形
体、シリカ粉末入り樹脂造形体または焼結体を製造する
ための無機材料粉末入り樹脂造形体の製造方法である
が、いずれも2種類のテープを使用して製造する複合体
の製造方法ではなく、また焼結体を製造するための無機
材料粉末入り樹脂造形体の製造方法においても、造形と
焼結を別々に行う方法であって、同時に行う方法ではな
いので、造形後に別途焼結を行う必要があった。本発明
は、金型を使用することなく、金属とセラミックスの複
合体の造形と焼結を同時に行うことができる金属とセラ
ミックスの複合造形体の製造方法および装置を提供する
ことを課題とするものである。The method disclosed in the above publication discloses an inorganic material powder for producing a resin molded body having a desired shape, a resin molded body containing silica powder or a sintered body without using a mold. This is a method for producing a resin molded body containing a resin, but not both a method for producing a composite produced using two types of tapes, and a method for producing a resin molded body containing an inorganic material powder for producing a sintered body In this method, the molding and the sintering are performed separately, and not simultaneously, so that it is necessary to separately perform sintering after the molding. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a composite molded body of metal and ceramics, which can simultaneously perform molding and sintering of a composite of metal and ceramics without using a mold. It is.
【0006】上記課題を解決するため、本発明の金属と
セラミックスの複合造形体の製造方法においては、セラ
ミックス微粉体を成形したテープ、いわゆるグリーンテ
ープを基板上に載置し、その上に金属微粉体を成形した
テープ、いわゆるグリーンテープを重ね、必要に応じて
両者が密着するように押し付け、該金属微粉体を成形し
たテープの上面にこれから製造する複合造形体の横断面
形状(水平方向に切断した面)になるようにレーザー光
を制御、例えばコンピュータエイテッドデザイン(CA
D)データによりレーザー光を制御して照射することに
よって、金属微粉体を成形したテープをこれから製造す
る複合造形体の横断面形状になるように溶融し、セラミ
ックス微粉体を成形したテープのセラミックス微粉体と
結合させ、これらを1回または2回以上繰り返すことに
よって金属中にセラミックスを分散させた複合造形体を
造形し、レーザー光が照射されなかった部分のテープの
金属微粉体およびセラミックス微粉体を除去して金属と
セラミックスの複合造形体とすることである。In order to solve the above-mentioned problems, in the method for producing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, a tape formed by molding ceramic fine powder, a so-called green tape, is placed on a substrate, and the metal fine powder is placed thereon. A green molded tape, a so-called green tape, is superimposed and pressed together as necessary, and the cross-sectional shape (cut horizontally) of the composite molded body to be manufactured is cut on the upper surface of the tape molded with the fine metal powder. Laser light so that the surface becomes the same as that of the computer-assisted design (CA
D) By controlling and irradiating the laser beam according to the data, the tape formed of the metal fine powder is melted so as to have the cross-sectional shape of the composite molded body to be manufactured therefrom, and the ceramic fine powder of the tape formed of the ceramic fine powder is melted. It is combined with the body, and these are repeated once or more than two times to form a composite molded body in which ceramics are dispersed in metal, and the fine metal powder and ceramic fine powder of the tape where laser light has not been irradiated are removed. It is to make a composite shaped body of metal and ceramics by removing.
【0007】上記課題を解決するため、本発明の金属と
セラミックスの複合造形体の製造方法においては、上記
方法で金属微粉体を成形したテープを製造する複合造形
体の横断面形状に溶融してセラミックス微粉体を成形し
たテープのセラミックス微粉体と結合させ、さらにこれ
らを行ううちに金属微粉体が溶融して体積が減少した場
合にセラミックス微粉体または金属微粉体を供給し、該
金属微粉体にレーザー光を制御して照射することによっ
て金属微粉体を溶融し、これらを繰り返繰り返すことに
より金属中にセラミックスを分散させた複合造形体を製
造することである。In order to solve the above-mentioned problems, in the method for producing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, the composite molded body for producing a tape formed by molding metal fine powder by the above method is melted into a cross-sectional shape. The ceramic fine powder is combined with the ceramic fine powder of the molded tape, and in the course of these operations, when the metal fine powder is melted and the volume is reduced, the ceramic fine powder or the metal fine powder is supplied, and the fine metal powder is supplied to the metal fine powder. The object of the present invention is to produce a composite molded body in which ceramics are dispersed in a metal by melting a metal fine powder by controlling and irradiating a laser beam, and repeating these steps repeatedly.
【0008】さらに、本発明の金属とセラミックスの複
合造形体の製造方法においては、上記セラミックス微粉
体を成形したテープを、セラミックス微粉体に珪酸のア
ルカリ塩などの有機バインダーを混合し、必要に応じて
紙などの補強テープを使用し、有機バインダーを混合し
た混合物または該混合物と補強テープを圧縮ロールで圧
延し、補強テープを使用した場合には補強テープを剥離
することにより製作したものとし、また上記金属微粉体
を成形したテープを、金属微粉体に珪酸のアルカリ塩な
どの有機バインダーを混合し、必要に応じて紙など補強
テープを使用し、有機バインダーを混合した混合物また
は該混合物と補強テープを圧縮ロールで圧延し、補強テ
ープを使用した場合には補強テープを剥離することによ
り製作したものとすることである。Further, in the method for producing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, the tape obtained by molding the ceramic fine powder is mixed with an organic binder such as an alkali salt of silicic acid and mixed with the ceramic fine powder. Using a reinforcing tape such as paper, the mixture obtained by mixing the organic binder or the mixture and the reinforcing tape are rolled with a compression roll, and when the reinforcing tape is used, the reinforcing tape shall be manufactured by peeling off the reinforcing tape, and The tape obtained by molding the above-mentioned metal fine powder, a metal fine powder mixed with an organic binder such as an alkali salt of silicic acid, and a reinforcing tape such as paper is used as necessary, and a mixture obtained by mixing the organic binder or the mixture and the reinforcing tape Rolled with a compression roll, and when a reinforcing tape is used, it is manufactured by peeling off the reinforcing tape. Is Rukoto.
【0009】また、本発明の金属とセラミックスの複合
造形体の製造方法においては、上記セラミックス微粉体
を、Al2 O3 などの金属酸化物、cBNなどの金属窒
化物、TiCなどの金属炭化物およびダイヤモンドなど
の炭素同位体の微粉末のうちから選ばれた1種または2
種以上のものとし、また上記金属微粉体を、周期律表の
FeなどのVIII属およびCuなどのIb属の金属ならび
にそれらの金属に合金成分として他の金属が合金された
ものの微粉末のうちから選ばれた1種または2種以上の
ものとすることである。In the method for producing a composite shaped body of metal and ceramic according to the present invention, the ceramic fine powder may be made of a metal oxide such as Al 2 O 3 , a metal nitride such as cBN, a metal carbide such as TiC or the like. One or two selected from fine powders of carbon isotopes such as diamond
Or more of the above-mentioned metal fine powders, and among the fine powders of metals of the VIII group such as Fe and Ib group such as Cu of the periodic table and those obtained by alloying other metals as alloying components with these metals. Or two or more selected from the group consisting of:
【0010】また、本発明の金属とセラミックスの複合
造形体を製造する装置においては、コンピュータエイテ
ッドデザイン(CAD)データに基づいて制御する制御
部と電気的に接続したレーザー光照射装置と、レーザー
光照射装置にレーザー光を供給するレーザー光発生装置
と、基板駆動装置と、セラミックス微粉体を成形したテ
ープおよび金属微粉体を成形したテープの両方を間欠的
に供給するテープ供給装置とからなるものとすることで
ある。[0010] In the apparatus for manufacturing a composite molded body of metal and ceramics according to the present invention, a laser beam irradiating apparatus electrically connected to a control unit for controlling based on computer aided design (CAD) data; A laser light generator that supplies laser light to a light irradiation device, a substrate driving device, and a tape supply device that intermittently supplies both a tape formed of ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder. It is to be.
【0011】また、本発明の金属とセラミックスの複合
造形体を製造する装置においては、セラミックス微粉体
を成形したテープおよび金属微粉体を成形したテープを
支持し、かつ上下動することができる基板7と、該基板
7の上に上記セラミックス微粉体を成形したテープおよ
び金属微粉体を成形したテープを間欠的供給するテープ
供給装置9と、該基板7を上記セラミックス微粉体を成
形したテープ1または金属微粉体を成形したテープ2の
厚さに応じて下降させると共に、上昇させることができ
る移動台8と、上記基板7の上に載置された金属微粉体
を成形したテープを製造する複合造形体の横断面形状に
なるように溶融するカルバノミラーなどからなるものな
どのレーザー光照射装置11と、レーザー光照射装置にレ
ーザー光を供給するためのレーザー光発生装置10a 、10
b と、少なくともレーザー光照射装置をコンピュータエ
イテッドデザイン(CAD)データなどによって制御す
るコンピュータ12と、必要に応じて雰囲気調整装置26、
レベルローラ19、セラミックス微粉体または金属微粉体
供給装置などを設けたものとすることである。Further, in the apparatus for manufacturing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, the substrate 7 supporting the tape formed of ceramic fine powder and the tape formed of metal fine powder and capable of moving up and down. A tape supply device 9 for intermittently supplying a tape formed of the ceramic fine powder and a tape formed of the metal fine powder on the substrate 7; and a tape 1 or a metal formed of the substrate 7 formed of the ceramic fine powder. A movable platform 8 that can be lowered and raised in accordance with the thickness of the tape 2 on which the fine powder is formed, and a composite molded body that manufactures a tape on which the metal fine powder is mounted placed on the substrate 7 A laser light irradiation device 11 such as a device made of a carbano mirror that melts so as to have a cross-sectional shape of a laser beam, and a laser beam is supplied to the laser light irradiation device. Laser light generating apparatus 10a for, 10
b, a computer 12 for controlling at least the laser beam irradiating device by computer aided design (CAD) data or the like, and an atmosphere adjusting device 26 if necessary.
That is, a level roller 19, a ceramic fine powder or metal fine powder supply device and the like are provided.
【0012】[0012]
【作用】本発明の金属とセラミックスの複合造形体を製
造する方法および装置によると、金属微粉体を成形した
テープをこれから製造する複合造形体の横断面の形状に
なるように金属微粉体を溶融するので、金属微粉体が溶
融しても形状を保つことができ、また金属微粉体が溶融
した溶融金属がセラミックス中に侵入し、図1aに示す
ように従来の空隙があるものとは異なり、図1bに示す
ように空隙がない密度の高いセラミックスの複合造形体
を製造することができる。According to the method and apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramics of the present invention, a tape formed of a metal fine powder is melted so as to have a cross-sectional shape of the composite molded body to be produced therefrom. Therefore, the shape can be maintained even when the metal fine powder is melted, and the molten metal in which the metal fine powder has melted penetrates into the ceramics, unlike the conventional one having a void as shown in FIG. As shown in FIG. 1b, it is possible to manufacture a composite molded body of a high density ceramic having no voids.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、本発明の金属とセラミック
スの複合造形体の製造方法について図面2〜4を参照し
て詳細に説明する。図2は、本発明の製造方法によって
製造されたままの状態の金属とセラミックスの複合造形
体ならびに焼結されなかったセラミックス微粉体を成形
したテープおよび金属微粉体を成形したテープの状態を
示す概念図、図3は、本発明の金属とセラミックスの複
合造形体を製造する装置の一実施例の概略正面図、およ
び図4は、本発明の製造方法に用いるセラミックス微粉
体を成形したテープおよび金属微粉体を成形したテープ
を製造するために用いる装置の概念図である。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a method for producing a composite molded body of a metal and a ceramic according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. FIG. 2 is a conceptual view showing the state of a composite molded body of metal and ceramics as produced by the production method of the present invention, a tape formed of non-sintered ceramic fine powder, and a tape formed of metal fine powder. FIG. 3 is a schematic front view of an embodiment of an apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramics according to the present invention, and FIG. 4 is a tape and metal formed of ceramic fine powder used in the production method of the present invention. It is a conceptual diagram of the apparatus used for manufacturing the tape which formed the fine powder.
【0014】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法は、セラミックス微粉体を成形したテープを
基板(図3の符号7参照)上に載置し、その上部に金属
微粉体を成形したテープを重ね、必要に応じて、レベル
ローラなどで両者を押し付けて密着させ、上記金属微粉
体を成形したテープの上面にこれから製造する複合造形
体の断面形状になるようにレーザー光を制御して照射す
ることによって金属微粉体を成形したテープを溶融し、
これらを1回または2回以上繰り返し、厚さが厚い複合
造形体を製造するときには、金属微粉体が溶融して体積
が減少した場合にセラミックス微粉体または金属微粉体
を供給し、該金属微粉体にレーザー光を制御して照射す
ることによって溶融し、これにより体積が減少した分を
補い図2に示すように金属中にセラミックスを分散させ
た複合造形体を製造する方法であるが、セラミックス微
粉体を成形したテープに用いるセラミックスは、Al2
O 3 、TiO2 、ZrO2 などの金属酸化物、cBN、
Si3 N4 、TiNなどの金属窒化物、TiC、WC、
TaC、(W,Ti)Cなどの金属炭化物およびダイヤ
モンドなどの炭素同位体からなる1種または2種以上で
ある。これらのセラミックスの微粉体の大きささは、4
0μm以下が好ましい。40μmより大きいとテープか
するのが難しいからである。[0014] The composite molding of the metal and ceramics of the present invention
The manufacturing method of
Placed on a substrate (see reference numeral 7 in FIG. 3), and a metal
Lay the tape on which the fine powder is formed, and level
Press the two together with a roller or the like to bring them into close contact.
Composite molding to be manufactured on the upper surface of the tape that molded the body
Controlling and irradiating laser light so that it has a cross-sectional shape of the body
By melting the tape formed of metal fine powder by
These are repeated once or more than two times to obtain a thick composite
When manufacturing a shaped body, the fine metal powder is melted and
Ceramic fine powder or metal fine powder
And irradiating the metal fine powder by controlling the laser beam.
Melting by this, the volume reduced by this
As shown in Fig. 2, ceramic is dispersed in metal
Is a method of manufacturing a composite shaped body
The ceramic used for the powder molded tape is AlTwo
O Three, TiOTwo, ZrOTwoMetal oxides such as cBN,
SiThreeNFour, TiN and other metal nitrides, TiC, WC,
Metal carbides such as TaC, (W, Ti) C and diamond
One or more of carbon isotopes such as mond
is there. The size of these ceramic fine powders is 4
It is preferably 0 μm or less. If it is larger than 40μm, it will be tape
Because it is difficult to do.
【0015】さらに、本発明に用いる金属微粉体の金属
は、周期律表のFe、Co、NiなどVIII属およびC
u、AgなどのIb属の金属ならびにそれらの金属を基
とする合金の1種または2種以上である。2種以上の金
属を用いる場合には、その1種としてNi−B合金のよ
うな低融点の合金を用いることが好ましい。これらの金
属または合金の微粉体の大きささは、40μm以下が好
ましい。40μmより大きいと金属微粉末が十分溶融し
ないし、複合造形体の組織が均一にならないからであ
る。Further, the metal of the metal fine powder used in the present invention is selected from the group VIII and C such as Fe, Co and Ni in the periodic table.
One or more of metals belonging to the group Ib such as u and Ag and alloys based on these metals. When two or more metals are used, it is preferable to use a low melting point alloy such as a Ni-B alloy as one of the metals. The size of the fine powder of these metals or alloys is preferably 40 μm or less. If it is larger than 40 μm, the metal fine powder does not melt sufficiently, and the structure of the composite molded body is not uniform.
【0016】本発明に用いるセラミックス微粉体または
金属微粉体を成形したテープ、いわゆるグリーンテープ
(図の符号1または2参照)は、厚さが通常200〜6
00μmのもので、セラミックス微粉体3または金属微
粉体4に約10〜30容量%の有機バインダー5を混合
してホッパー13に入れ、ホッパー13の下に設けた相対す
る2本の圧縮ロールに上記ホッパー13から上記混合した
ものを供給して圧延することなどによって製造したもの
である。The tape formed of ceramic fine powder or metal fine powder used in the present invention, a so-called green tape (see reference numerals 1 and 2 in the figure) usually has a thickness of 200 to 6 mm.
About 10 to 30% by volume of the organic binder 5 is mixed with the ceramic fine powder 3 or the metal fine powder 4 and put into the hopper 13. It is manufactured by supplying the above mixture from the hopper 13 and rolling.
【0017】また、セラミックス微粉体または金属微粉
体を成形したテープが巻取り、送給中、などに破損する
恐れがある場合には、図4に示すように紙、布またはプ
ラスチックテープなどの補強テープ14の上にセラミック
ス微粉体または金属微粉体に有機バインダーを混合した
ものを載せ、両者を相対する2本の圧縮ロール15によっ
て同時に圧延して製造し、その後補強テープ14を剥離し
て製造したものなどである。これらのセラミックス微粉
体または金属微粉体を成形したテープは、ロールに巻き
取るようにすることもできるし、これから製造する複合
造形体の大きさに応じて必要な大きさに切断しておくこ
ともできる。この補強テープを使用する場合、補強テー
プを剥がすとセラミックス微粉体または金属微粉体を成
形したテープ同士が接着する恐れがある場合は、補強テ
ープを密着したまま保管し、基板上または基板上のセラ
ミックス微粉体または金属微粉体を成形したテープ上に
供給する時に補強テープを剥離して供給するようにする
こともできる。なお、図2の符号16は補強テープ案内ロ
ール、また符号17および18はセラミックス微粉体または
金属微粉体を成形したテープを巻き取るテープ巻取りロ
ールである。If the tape formed of the fine ceramic powder or fine metal powder is likely to be damaged during winding or feeding, as shown in FIG. 4, reinforcing tape such as paper, cloth or plastic tape is used. A ceramic fine powder or a metal fine powder mixed with an organic binder was placed on a tape 14, and both were rolled simultaneously by two opposing compression rolls 15, and then the reinforcing tape 14 was peeled off. Things. Tapes formed from these ceramic or metal fine powders can be wound into rolls, or cut to the required size according to the size of the composite molded body to be manufactured. it can. When using this reinforcing tape, if there is a risk that the tape formed of ceramic fine powder or metal fine powder may adhere to each other when the reinforcing tape is peeled off, keep the reinforcing tape in close contact and place the ceramic tape on the substrate or on the substrate. When supplying the fine powder or the metal fine powder onto the formed tape, the reinforcing tape may be peeled off and supplied. In FIG. 2, reference numeral 16 denotes a reinforcing tape guide roll, and reference numerals 17 and 18 denote tape winding rolls for winding a tape formed of ceramic fine powder or metal fine powder.
【0018】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法は、金属微粉体が溶融して体積が減少した場
合にセラミックス微粉体または金属微粉体、すなわちセ
ラミックス微粉体のみ、金属微粉体のみ、セラミックス
微粉体および金属微粉体を微粉体供給ノズル(図3の2
0、21参照)などから供給し、該金属微粉体をレーザー
光を照射して溶融して体積の減少を補っているが、補う
回数は、金属微粉体をレーザー光を照射して溶融した後
毎回行うこともできるし、金属微粉体をレーザー光を照
射して溶融するのを複数回行った後に行うこともでき
る。供給するセラミックス微粉体および金属微粉体は、
これから製造する複合造形体の組成と同じ組成になるよ
うに層状になるように供給する。その量は、金属微粉体
を溶融した場合に略水平になるような量にするのが好ま
しい。The method for producing a composite shaped body of metal and ceramic according to the present invention is characterized in that when the fine metal powder is melted and the volume is reduced, the fine ceramic powder or fine metal powder, that is, only the fine ceramic powder, only the fine metal powder, A fine powder supply nozzle (Fig. 3, 2)
0, 21) and the like, and the metal fine powder is irradiated with a laser beam to be melted to compensate for the decrease in volume. It can be carried out every time, or it can be carried out after irradiating the metal fine powder with laser light for melting a plurality of times. The supplied ceramic fine powder and metal fine powder are
It is supplied so as to form a layer so as to have the same composition as the composition of the composite molded body to be manufactured. It is preferable that the amount is such that the metal fine powder becomes substantially horizontal when it is melted.
【0019】上記セラミックス微粉体または金属微粉体
を成形したテープを成形するのに使用する有機バインダ
ーは、珪酸のアルカリ塩、タルクホウ酸、アルギン酸の
ナトリウム塩、グリセリンなどである。The organic binder used to form the tape formed from the ceramic fine powder or the metal fine powder is, for example, an alkali salt of silicic acid, talc boric acid, a sodium salt of alginic acid, or glycerin.
【0020】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法において、上記セラミックス微粉体を成形し
たテープ1および金属微粉体を成形したテープ2を基板
上に載置する基板7上に載置( 供給) する方法は、図3
に示すようにテープ巻取りロール17、18からセラミック
ス微粉体を成形したテープ1などを巻き戻してカッター
25で切断して基板7上に載置する方法、セラミックス微
粉体を成形したテープ1などを所定の長さに切断して重
ねて置き、そこから押し出したり、吸引などの方法で運
搬する方法などがある。その場合、セラミックス微粉体
を成形したテープ1と金属微粉体を成形したテープ2を
単独でそれぞれ供給して載置することもできるし、セラ
ミックス微粉体を成形したテープ1の上に金属微粉体を
成形したテープ2を重ねて供給して載置することもでき
る。In the method of manufacturing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, the tape 1 formed of the ceramic fine powder and the tape 2 formed of the metal fine powder are placed on a substrate 7 on which the substrate is placed. Fig. 3
Rewind the tape 1 formed of ceramic fine powder from the tape winding rolls 17 and 18 as shown in
Cutting by 25, placing on a substrate 7, cutting a tape 1 formed of ceramic fine powder and the like into a predetermined length, stacking them, and extruding from them, or transporting them by suction, etc. There is. In this case, the tape 1 formed of the ceramic fine powder and the tape 2 formed of the metal fine powder can be individually supplied and placed, or the metal fine powder can be placed on the tape 1 formed of the ceramic fine powder. The formed tapes 2 can be supplied in an overlapping manner and placed.
【0021】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法は、セラミックス微粉体を成形したテープを
基板上に載置し、その上部に金属微粉体を成形したテー
プを重ねているが、基板上または既に載置したセラミッ
クス微粉体または金属微粉体を成形したテープ上に新た
なセラミックス微粉体または金属微粉体を成形したテー
プを載置する場合には、下のものに密着しておくことが
必要であるので、レベルローラ(図3の19参照)などで
押し付けて密着させるのが好ましい。In the method for producing a composite molded body of metal and ceramics according to the present invention, a tape formed of ceramic fine powder is placed on a substrate, and a tape formed of metal fine powder is superposed on the tape. When placing a tape on which a new ceramic or metal fine powder is formed on a tape on which a ceramic or metal fine powder is already placed, make sure that it is in close contact with the lower one. Since it is necessary, it is preferable to press and adhere with a level roller (see 19 in FIG. 3).
【0022】上記セラミックスまたは金属微粉体を成形
したテープテープを載置する基板7(図3参照)は、金
属またはセラミックからなるものである。基板を金属に
する場合は、強度、耐熱性、安価であることなどから鋼
が好ましいが、形成される複合造形体と接合される場合
があるので注意をする必要がある。基板をセラミックス
にする場合は、形成される複合造形体と接合されること
がないので、容易に分離することができる。The substrate 7 (see FIG. 3) on which the tape formed by molding the ceramic or metal fine powder is made of metal or ceramic. When the substrate is made of metal, steel is preferable because of its strength, heat resistance, low cost, and the like, but care must be taken because it may be joined to the formed composite body. When the substrate is made of ceramics, it can be easily separated because it is not bonded to the formed composite object.
【0023】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法は、セラミックス微粉体を成形したテープの
上に金属微粉体を成形したテープを載せた後、必要に応
じて両者を密着するうに押し付け、製造する複合造形体
の断面形状になるようにレーザー光を制御して照射する
ことによって金属微粉体を成形したテープを溶融して金
属中をセラミックスを分散させるが、これから製造する
複合造形体の横断面形状になるようにレーザー光を照射
するには、三次元CADにこれから製造する三次元複合
造形体の図面を入力し、該三次元複合造形体に対して一
定の厚みごと(セラミックス微粉体を成形したテープの
厚さ+金属微粉体を成形したテープの厚さ)の水平方向
のスライス図形データ群を作成し、このデータをコンピ
ュータに入力し、このスライス図形データによってレー
ザー光を照射し、さらにその上にセラミックス微粉体を
成形したテープと金属微粉体を成形したテープを載せた
後、上記スライス図形データの次のスライス図形データ
によってレーザー光を照射し、順次これを繰り返すよこ
となどによって行うことができる。According to the method for producing a composite molded body of metal and ceramics of the present invention, a tape formed of metal fine powder is placed on a tape formed of ceramic fine powder, and if necessary, both are pressed so as to adhere to each other. By controlling and irradiating the laser beam so that the cross-sectional shape of the composite model to be manufactured is melted, the tape formed from the metal fine powder is melted to disperse the ceramics in the metal. In order to irradiate a laser beam so as to have a cross-sectional shape, a drawing of a three-dimensional composite molded body to be manufactured is input to a three-dimensional CAD, and a predetermined thickness (ceramic fine powder) is applied to the three-dimensional composite molded body. ) To create a horizontal slice pattern data group of (thickness of the tape molded with + thickness of the tape molded of fine metal powder) and input this data to the computer. After irradiating the laser beam according to the slice pattern data of above, and further placing a tape formed of ceramic fine powder and a tape forming metal fine powder thereon, the laser light is irradiated according to the slice figure data following the above slice figure data. However, this can be performed by sequentially repeating this.
【0024】また、本発明の金属とセラミックスの複合
造形体の製造方法において、製造する複合造形体の横断
面形状になるようにレーザー光を照射する方法には、セ
ラミックス微粉体を成形したテープと金属微粉体を成形
したテープを載せた上記基板をこれから製造する複合造
形体の横断面形状(XY軸方向)に移動させる方法(こ
の場合、通常レーザー光がセラミックス微粉体を成形し
たテープの厚さ+金属微粉体を成形したテープの厚さだ
けずつ上昇する。)と、レーザー光をこれから製造する
複合造形体の断面形状(XY軸方向)に移動させる方法
(この場合、通常上記基板をセラミックス微粉体を成形
したテープの厚さ+金属微粉体を成形したテープの厚さ
だけずつ下降させる。)の二つの方法がある。In the method of manufacturing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, the method of irradiating a laser beam so as to have a cross-sectional shape of the composite molded body to be produced includes a tape formed of ceramic fine powder. A method in which the substrate on which the tape on which the metal fine powder is formed is placed is moved in the cross-sectional shape (in the XY axis direction) of the composite molded body to be manufactured (in this case, the thickness of the tape on which the laser light is usually formed by the laser light is usually used). + A method of moving the laser beam in the cross-sectional shape (XY-axis direction) of the composite object to be manufactured (in this case, usually, the substrate is made of ceramic fine powder). (The thickness of the tape on which the body is formed + the thickness of the tape on which the metal fine powder is formed is lowered).
【0025】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法は、セラミックス微粉体を成形したテープと
金属微粉体を成形したテープを継続的に供給し、また密
接するようにレベルローラなどで押し付ける必要がある
ため、金属微粉体を成形したテープをなどを供給する面
の高さが一定であるほうが好ましいので、上記基板をセ
ラミックス微粉体を成形したテープの厚さ+金属微粉体
を成形したテープの厚さだけずつ下降させ、レーザー光
を製造する複合造形体の断面形状(XY軸方向)に移動
させる方法が適当である。なお、三次元CADにこれか
ら製造する三次元複合造形体の図面を入力し、該三次元
複合造形体に対して一定の厚みごと(セラミックス微粉
体を成形したテープの厚さ+金属微粉体を成形したテー
プの厚さ)の水平方向のスライス図形データ群を作成
し、このスライス図形データによってレーザー光を照射
する方法は、上記特開平8─252867号公報に開示
されているように公知の方法である。In the method for producing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention, a tape formed of ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder are continuously supplied and pressed by a level roller or the like so as to be in close contact with each other. Since it is necessary that the height of the surface for supplying a tape formed of a metal fine powder or the like be constant, it is preferable that the substrate is formed of the thickness of the tape formed of the ceramic fine powder + the tape formed of the metal fine powder. It is appropriate to lower the laser beam by the thickness of the laser beam and move the laser beam in the cross-sectional shape (XY-axis direction) of the composite object to be manufactured. In addition, the drawing of the three-dimensional composite molded body to be manufactured is input to the three-dimensional CAD, and the thickness of the tape (the thickness of the ceramic fine powder molded + the metal fine powder molded) is added to the three-dimensional composite molded body at a predetermined thickness. A method of creating a horizontal slice pattern data group of (thickness of the tape) and irradiating a laser beam with the slice pattern data is a known method as disclosed in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-252867. is there.
【0026】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
の製造方法は、上記のようにセラミックス微粉体を成形
したテープと金属微粉体を成形したテープを継続的に供
給およびレーザー光の照射をこれから製造する複合造形
体の高さ(厚さ)になるまで繰り返して行うと、焼結さ
れていないセラミックス微粉体を成形したテープと金属
微粉体を成形したテープ(グリーンテープ)の中に成形
され、焼結された複合造形体が形成された状態になる。
このような状態になるので、焼結されていないセラミッ
クス微粉体を成形したテープと金属微粉体を形成したテ
ープ(グリーンテープ)が形成された複合造形体のサポ
ートとして作用するので、複合造形体の変形が少なく、
精度が高い複合造形体が形成される。The method for producing a composite molded body of metal and ceramics according to the present invention comprises the steps of continuously supplying a tape formed of ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder as described above, and irradiating a laser beam therefrom. When the process is repeated until the height (thickness) of the composite shaped body to be formed is reached, the tape is formed into a tape formed of unsintered ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder (green tape). The combined composite object is in a formed state.
In such a state, the tape formed of the ceramic fine powder that has not been sintered and the tape formed of the metal fine powder (green tape) act as a support for the composite molded body formed. Less deformation,
A composite object with high precision is formed.
【0027】また、上記形成された複合造形体のサポー
トとなっている焼結されていないセラミックス微粉体を
成形したテープと金属微粉体を形成したテープ(グリー
ンテープ)は、簡単に人の手で除去することができる。
さらに、有機バインダーが揮発する200〜300℃の
温度に加熱することにより、セラミックス微粉体を成形
したテープと金属微粉体を形成したテープ(グリーンテ
ープ)は砂状になって流動化し、さらに簡単に除去する
ことができる。The tape formed of the non-sintered ceramic fine powder and the tape formed of the metal fine powder (green tape), which are the supports of the formed composite formed body, can be easily prepared by hand. Can be removed.
Further, by heating to a temperature of 200 to 300 ° C. at which the organic binder is volatilized, the tape formed of ceramic fine powder and the tape formed of metal fine powder (green tape) become sandy and fluidized, which makes it easier. Can be removed.
【0028】次に、本発明の金属とセラミックスの複合
造形体を製造する装置について一実施例を説明する。Next, an embodiment of an apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention will be described.
【0029】本発明の金属とセラミックスの複合造形体
を製造する装置6は、コンピュータエイテッドデザイン
(CAD)データに基づいて制御する制御部(コンピュ
ータ12など) 電気的に接続したレーザー光照射装置11
(カラバノミラー 、レーザー光用XY駆動装置など)
と、レーザー光照射装置11にレーザー光を供給するレー
ザー光発生装置10a 、10b と、基板駆動装置(移動台8
など)およびラミックス微粉体を金属微粉体を成形した
テープの両方を間欠的に供給するテープ供給装置9から
なるものである。An apparatus 6 for manufacturing a composite molded body of metal and ceramics according to the present invention is a control unit (computer 12 or the like) for controlling based on computer aided design (CAD) data.
(Carabano mirror, XY drive device for laser light, etc.)
And laser light generators 10a and 10b for supplying laser light to the laser light irradiation device 11, and a substrate driving device (moving table 8)
Etc.) and a tape supply device 9 for intermittently supplying both a Lamix fine powder and a tape formed by molding a metal fine powder.
【0030】より具体的には、上記方法および図3に示
すような装置で製造され、テープ供給装置9により供給
されるセラミックス微粉体を成形したテープ1または金
属微粉体を成形したテープ2を支持し、かつ上下動する
ことができる基板7と、該基板7の上に上記セラミック
ス微粉体を成形したテープおよび金属微粉体を成形した
テープを間欠的に供給するテープ供給装置9と、該基板
7を上記セラミックス微粉体を成形したテープ1または
金属微粉体を成形したテープ2の厚さに応じて下降させ
ると共に、上昇させることができる移動台8と、上記基
板7の上に載置された金属微粉体を成形したテープをこ
れから製造する複合造形体31の横断面形状になるように
溶融するカルバノミラーなどのレーザー光照射装置11お
よびレーザー光発生装置10a,10b 、少なくともレーザ
ー光照射装置11をコンピュータエイテッドデザイン(C
AD)データによって制御するコンピュータ12とからな
り、更に必要に応じて雰囲気形成装置26を設け、また必
要に応じてレーザー光照射装置11の近傍にセラミックス
微粉体供給装置(全体は図示してないが、ノズル20を示
している。) および金属微粉体供給装置(全体は図示し
てないが、ノズル21を示している。) を設け、また必要
に応じてレベルローラ19を設け、成形した複合造形体を
側面から取り出すようにしたものであるが、供給される
セラミックス微粉体を成形したテープまたは金属微粉体
を成形したテープを支持し、かつ保持枠20の中を上下動
することができる基板7は、鋼などの金属またはセラミ
ックからなるもので、移動台8に接続するためのシャフ
ト19が下部に固定されているものである。More specifically, the tape 1 formed of the ceramic fine powder or the tape 2 formed of the metal fine powder, which is manufactured by the above method and the apparatus shown in FIG. And a tape supply device 9 for intermittently supplying a tape formed of the ceramic fine powder and a tape formed of the metal fine powder on the substrate 7. The moving table 8 which can be lowered and raised in accordance with the thickness of the tape 1 formed of the ceramic fine powder or the tape 2 formed of the metal fine powder, and the metal placed on the substrate 7 Laser light irradiation device 11 such as a carbano mirror that melts the tape formed from fine powder so as to have the cross-sectional shape of the composite molded body 31 to be manufactured, and laser light generation The devices 10a and 10b, at least the laser beam irradiation device 11 are computer-aided design (C
AD) a computer 12 controlled by data, further provided with an atmosphere forming device 26 if necessary, and a ceramic fine powder supply device (not shown in the entirety in the vicinity of the laser beam irradiation device 11 as necessary). , A nozzle 20) and a metal fine powder supply device (not shown, but showing the nozzle 21), and if necessary, a level roller 19 is provided to form a composite molding. Although the body is taken out from the side surface, the substrate 7 supports a tape formed of ceramic fine powder to be supplied or a tape formed of metal fine powder and can move up and down in the holding frame 20. Is made of metal such as steel or ceramics, and has a shaft 19 for connecting to the moving table 8 fixed at a lower portion.
【0031】上記移動台8は、コンピュータ12の信号な
どによって上記基板7を上下動させるもので、基板7上
に供給される上記セラミックス微粉体を成形したテープ
または金属微粉体を成形したテープの厚さに応じた距離
を下降し、稼働を開始する場合などに上昇するようにな
っているものである。上記テープ供給装置9は、セラミ
ックス微粉体を成形したテープ巻取ロール17および金属
微粉体を成形したテープ巻取りロール18から巻き戻し、
案内ロール24を介してこれらのテープを間欠的に供給
し、カッター 25 で切断するようになっているもの、切
断したセラミックス微粉体を成形したテープおよび金属
微粉体を成形したテープを保管容器に切断して蓄積して
おき、吸引して上記基板7まで運搬したり、下部からシ
リンダーなどによって上記基板7押し出すようにしたも
のなどである。The moving table 8 moves the substrate 7 up and down in response to a signal from the computer 12 or the like. The thickness of the tape formed of the ceramic fine powder or the tape formed of the metal fine powder supplied on the substrate 7 is controlled. The distance corresponding to the distance is lowered, and the distance is raised when starting operation. The tape supply device 9 is rewound from a tape winding roll 17 formed of ceramic fine powder and a tape winding roll 18 formed of metal fine powder.
These tapes are intermittently supplied through the guide rolls 24 and cut by the cutter 25, and the tape formed of the cut ceramic fine powder and the tape formed of the metal fine powder are cut into storage containers. Then, the substrate 7 is sucked and transported to the substrate 7, or the substrate 7 is pushed out from below by a cylinder or the like.
【0032】上記レーザー光発生装置10a,10b は積層さ
れた金属微粉体を成形したテープを溶融するレーザー光
照射装置11にレーザー光32を供給する装置で、レーザー
光用電源10a とレーザー発光装置10b とからなるもので
あり、通常用いられているものと同様なものである。The laser light generators 10a and 10b supply laser light 32 to a laser light irradiation device 11 for melting a tape formed by laminating metal fine powder, and include a laser light power supply 10a and a laser light emitting device 10b. Which is the same as a commonly used one.
【0033】上記レーザー光照射装置11は、レーザー光
発生装置で発生したレーザー光をこれから製造する複合
造形体の横断面形状になるように照射するもので、コン
ピュータ12によってコンピュータエイテッドデザイン
(CAD)データによって制御されるもので、NC装置
によって制御されるカルバノミラー11、XY駆動装置で
レンズなどを移動するようにしたものなどである。The laser light irradiating device 11 irradiates the laser light generated by the laser light generating device so as to have a cross-sectional shape of a composite molded body to be manufactured therefrom. These are controlled by data, such as a carbano mirror 11 controlled by an NC device, and a lens moved by an XY driving device.
【0034】上記レーザー光照射装置11( カルバノミラ
ー) 、移動台8などの運動を制御するコンピュータ12
は、入力しておいたセラミックス微粉体を成形したテー
プ1の厚さおよび金属微粉体を成形したテープ2の厚さ
のデータ、および三次元CADにこれから製造する三次
元複合造形体の図面を入力て作成された、該三次元複合
造形体に対して一定の厚みごと(セラミックス微粉体を
成形したテープの厚さ+金属微粉体を成形したテープの
厚さ)の水平方向のスライス図形データ群が入力されて
おり、これらによって上記移動台7、レーザー光照射装
置11( カルバノミラー) を制御するものである。A computer 12 for controlling the movement of the laser beam irradiator 11 (carbano mirror), the moving table 8 and the like
Input the data of the thickness of the tape 1 formed of the ceramic fine powder and the thickness of the tape 2 formed of the metal fine powder, and input the drawing of the three-dimensional composite molded body to be manufactured to the three-dimensional CAD. A horizontal slice pattern data group of a certain thickness (thickness of a tape formed of ceramic fine powder + thickness of a tape formed of metal fine powder) is prepared for the three-dimensional composite molded body at a predetermined thickness. These are used to control the moving table 7 and the laser beam irradiation device 11 (carbano mirror).
【0035】上記テープ供給装置9に使用するセラミッ
クス微粉体を成形したテープをテープ巻取りロール17お
よび金属微粉体を成形したテープを巻取りロール18は、
図4に示すようにセラミックス微粉体3または金属微粉
体4に有機バインダー5を混合したものをホッパー13か
ら補強テープ14の上に供給し、圧延ロール15で圧縮して
成形し、成形したセラミックス微粉体を成形したテープ
などを補強テープから剥がして巻取りロールに巻き取る
ことによって製作することができる。A tape winding roll 17 for a tape formed of ceramic fine powder and a winding roll 18 for a tape formed of metal fine powder, which are used in the tape supply device 9,
As shown in FIG. 4, a mixture of the ceramic fine powder 3 or the metal fine powder 4 and the organic binder 5 is supplied from the hopper 13 onto the reinforcing tape 14, compressed by the rolling rolls 15, and formed. It can be manufactured by peeling off a tape or the like obtained by molding a body from a reinforcing tape and winding it up on a take-up roll.
【0036】上記必要に応じて設ける雰囲気形成装置26
は、図3に示すようにN2 ガス、Arガスなどの不活性
ガスでレーザー光35による溶融面を覆うようにするもの
で、上部のレーザー光が透過する部分を石英ガラス32に
した周囲を囲む覆い27の中に不活性ガス用ボンベ28など
からN2 ガス、Arガスなどをバルブ30から入れ、バル
ブ31から外に出すようにしたもの、図示してないが、レ
ーザー光によって溶融した面にノズルから不活性ガスを
噴射すようにしたものなどである。The above-mentioned optional atmosphere forming device 26
As shown in FIG. 3, an inert gas such as N 2 gas, Ar gas or the like is used to cover the melted surface by the laser light 35. N 2 gas, Ar gas, etc., from an inert gas cylinder 28, etc. through a valve 30 and out of the valve 31 into a surrounding cover 27, not shown, but a surface melted by a laser beam And an inert gas injected from a nozzle.
【0037】さらに、セラミックス微粉体供給装置また
は金属微粉体供給装置は、図示されていなボッパーから
セラミックス微粉体または金属微粉体を不活性ガスによ
ってセラミックス微粉体供給ノズル20または金属微粉体
供給ノズル21から噴出するようにしたものなどである。
また、レベルローラ19は、ローラを液圧シリンダーなど
によってセラミックス微粉体を成形したテープの上を転
動できるようにしたものなどである。Further, the ceramic fine powder supply device or the metal fine powder supply device is provided with a ceramic fine powder supply nozzle 20 or a metal fine powder supply nozzle 21 with an inert gas from a bopper (not shown). Such as those that erupt.
The level roller 19 is a roller in which a roller can be rolled on a tape formed of ceramic fine powder by a hydraulic cylinder or the like.
【0038】以下、本発明の実施例について説明する。Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
【実施例】研磨チップの製造例 セラミックス微粉体であり、砥粒となる6〜12μmの
cBNを10容量%、♯1000のAl2 O3 10容量
%、有機バインダーのアクリル系粘結剤を30容量%を
混合して図2に示すようにボッパー13に入れ、ポリエチ
レンシートの補強テープ14の上に載せ、2本の圧縮ロー
ル15により圧延してテープを作成し、セラミックス微粉
体を成形したテープ巻取りロールにした。EXAMPLES Example of Production of Polishing Tip A ceramic fine powder, 10 % by volume of cBN of 6 to 12 μm serving as abrasive grains, 10 % by volume of Al 2 O 3 of 1000, and 30 parts of an acrylic binder as an organic binder were used. 2 and put into a bopper 13 as shown in FIG. 2, placed on a reinforcing tape 14 of a polyethylene sheet, and rolled by two compression rolls 15 to form a tape, which was formed into a ceramic fine powder. It was a take-up roll.
【0039】次に、金属微細粉になる平均粒径40μm
の99.99%Cuを80容量%、平均粒径40μmの
Cu/Ni─B(BNi2)10容量%、有機バインダ
ーのアクリル系粘結剤を10容量%を混合して図2に示
すようにボッパー13に入れ、ポリエチレンシートの補強
テープ14の上に載せ、2本の圧縮ロール15により圧延し
てテープを作成し、金属微粉体を成形したテープ巻取り
ロールにした。Next, an average particle size of 40 μm to be a fine metal powder
80% by volume of 99.99% Cu, 10% by volume of Cu / Ni─B (BNi2) having an average particle diameter of 40 μm, and 10% by volume of an acrylic binder as an organic binder, as shown in FIG. The tape was placed in a bopper 13, placed on a reinforcing tape 14 of a polyethylene sheet, and rolled by two compression rolls 15 to form a tape, which was formed into a tape winding roll formed of fine metal powder.
【0040】一方作成する製造する研磨工具(複合造形
体、図5〜7参照)33の三次元研磨チップ32の図面(縦
30mm×横60mm×厚さ10mm)を三次元CAD
に入力し、該三次研磨チップに対して0.4mmの厚み
ごと(セラミックス微粉体を成形したテープの厚さ+金
属微粉体を成形したテープの厚さ)の水平方向のスライ
ス図形データ群を作成し、これをコンピュータ12に入力
した。On the other hand, a drawing (30 mm in length × 60 mm in width × 10 mm in thickness) of the three-dimensional polishing tip 32 of the polishing tool (composite molded body, see FIGS. 5 to 7) 33 to be manufactured is subjected to three-dimensional CAD.
To create a horizontal slice pattern data group for each 0.4 mm thickness (thickness of tape formed of ceramic fine powder + thickness of tape formed of metal fine powder) for the tertiary polishing tip. This was input to the computer 12.
【0041】図3に示すような金属とセラミックスの複
合造形体を製造する装置を用い、移動台8を作動させて
基板(S20C低炭素鋼)7を所定の基準面まで上昇
し、基板2上にセラミックス微粉体を成形したテープ巻
取ロール17から巻き戻したセラミックス微粉体を成形し
たテープ1切断し、これを載せ、レベルローラ19を用い
て手動で押圧し、コンピュータにより移動台3を作動さ
せて基板2を200μm下降し、押圧したセラミックス
微粉体を成形したテープ20の上に同様にして金属微粉体
を成形したテープを載せ、レベルローラを用いて手動で
押圧した。Using an apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramics as shown in FIG. 3, the moving table 8 is operated to raise the substrate (S20C low carbon steel) 7 to a predetermined reference plane, The tape 1 formed by molding the ceramic fine powder unwound from the tape take-up roll 17 formed by the ceramic fine powder is cut, placed, and manually pressed using the level roller 19, and the moving table 3 is operated by the computer. The substrate 2 was lowered by 200 μm, and the tape formed of the metal fine powder was similarly placed on the tape 20 formed of the pressed ceramic fine powder, and manually pressed using a level roller.
【0042】この状態でレーザー光発生装置10a 、10b
および雰囲気形成装置26を稼働させると共に、コンピュ
ータ12の制御によりレーザー光照射装置11を稼働させ、
上記押圧した金属微粉体を成形したテープ2の上に研磨
チップ33の下から0.4mmの横断面形状に相当する形
状のレーザー光を照射した。レーザー光の照射条件は、
ビーム出力28W、ビーム径0.25mm、スキャン速
度mm/分、ビーム走査間隔0.2mm、デフォーカス
0の条件であった。In this state, the laser light generators 10a and 10b
And operating the atmosphere forming device 26, and operating the laser light irradiation device 11 under the control of the computer 12,
A laser beam having a shape corresponding to a cross-sectional shape of 0.4 mm from below the polishing tip 33 was irradiated onto the tape 2 formed of the pressed metal fine powder. Laser irradiation conditions are
The beam power was 28 W, the beam diameter was 0.25 mm, the scanning speed was mm / min, the beam scanning interval was 0.2 mm, and the defocus was 0.
【0043】上記のような工程を5回繰り返した後体積
の減少分のセラミックス微粉体と金属微粉体を補い、こ
れらの工程を 回繰り返してセラミックス微粉体を成形
したテープと金属微粉体を成形したテープを重ねたもの
および製造した研磨チップ32を横に設けた扉を開いて基
板7から取り外し、製造した研磨チップ32の周囲の未焼
結の部分のセラミックス微粉体を成形したテープと金属
微粉体を成形したテープを壊し、研磨チップを取り出し
た。この研磨チップの寸法は、縦30mm×横60mm
×厚さ10mmであった。After repeating the above-described steps five times, the ceramic fine powder and the metal fine powder are compensated for by the volume reduction, and these steps are repeated several times to form a tape formed of the ceramic fine powder and a metal fine powder. A tape formed by laminating a tape and opening the door provided with the manufactured polishing tip 32 beside it and removing it from the substrate 7, and a tape and metal fine powder formed by molding the ceramic fine powder of the unsintered portion around the manufactured polishing tip 32 The tape on which was molded was broken, and the abrasive tip was taken out. The dimensions of this polishing tip are 30 mm long x 60 mm wide
X The thickness was 10 mm.
【0044】また、上記製造した研磨チップについて、
寸法精度を測定したところ、その寸法は、予定していた
とおりの寸法であった。さらに、この研磨チップの表面
を顕微鏡で観察したところ、セラミックス微粉体は金属
微粉体の溶融したものによって、周囲が覆われていた。Further, regarding the polishing tip manufactured above,
When the dimensional accuracy was measured, the dimensions were as expected. Further, when the surface of the polishing tip was observed with a microscope, the periphery of the ceramic fine powder was covered with a molten metal fine powder.
【0045】また、上記製造した研磨チップ33を研磨工
具34の保持台にろう付けして図5および図6に示すよう
に研磨工具34を作成した。この工具を用いて、図7に示
したようにして下記条件で研磨した。その結果、研磨面
は要求したとおりの平滑な面が得られた。Further, the polishing tip 33 manufactured as described above was brazed to a holding table of the polishing tool 34 to prepare the polishing tool 34 as shown in FIGS. Using this tool, polishing was performed under the following conditions as shown in FIG. As a result, the polished surface was as smooth as required.
【0046】なお、セラミックス微細粉と金属微細粉を
所定の割合で混合し、さらに有機バインダーを混合し、
これをテープに成形してレーザ光で金属微細粉を溶解し
て金属とセラミックスの複合造形体を製造する方法も考
えられるが、セラミックス微細粉と金属微細粉を必要な
程度に均一に混合するのが困難であるので、金属とセラ
ミックスが十分混合した複合造形体を製造することは困
難である。The ceramic fine powder and the metal fine powder are mixed at a predetermined ratio, and further, an organic binder is mixed.
A method of forming this into a tape and dissolving the metal fine powder with laser light to produce a composite molded body of metal and ceramic is also conceivable, but it is necessary to mix the ceramic fine powder and the metal fine powder as uniformly as necessary. Therefore, it is difficult to manufacture a composite molded body in which metal and ceramics are sufficiently mixed.
【0047】[0047]
【発明の効果】本発明の金属とセラミックスの複合造形
体の製造方法および装置は、上記構成にしたことによ
り、次のような優れた効果を奏する。 (1)金型を使用することなく、金属とセラミックスの
複合造形体を製造することができる。 (2)金型を使用することがないので、少量生産にも利
用することができ、さらに、複雑な形状でも比較的安価
に製造することができ、また従来製造できなかった形状
のものも製造することができる。 (3)製造される金属とセラミックスの複合造形体は、
金属微粉体を溶融しているので、セラミックスの周囲が
金属で覆われており、空隙のない密度の高いものにな
る。 (4)金属とセラミックスは、比重の差が大きいので、
混合すると混合時間が長くなるが、この混合時間を省略
することができる。 (5)傾斜機能材料を容易に製造することができる。The method and apparatus for manufacturing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention have the following excellent effects by adopting the above-mentioned structure. (1) A composite molded body of metal and ceramics can be manufactured without using a mold. (2) Since a mold is not used, it can be used for small-quantity production. Further, even a complicated shape can be manufactured relatively inexpensively, and a shape that cannot be manufactured conventionally can be manufactured. can do. (3) The composite shaped body of metal and ceramics to be manufactured is
Since the metal fine powder is melted, the periphery of the ceramic is covered with the metal, and the density is high without voids. (4) Metals and ceramics have a large difference in specific gravity.
Mixing increases the mixing time, but this mixing time can be omitted. (5) Functionally graded materials can be easily manufactured.
【図1】aは従来の金属とセラミックスの複合造形体の
断面概念図、bは本発明の製造方法によって製造された
金属とセラミックスの複合造形体の断面概念図である。FIG. 1A is a conceptual cross-sectional view of a conventional composite molded body of metal and ceramics, and FIG. 1B is a conceptual cross-sectional view of a composite molded body of metal and ceramics produced by the production method of the present invention.
【図2】本発明の製造方法によって製造されたままの状
態の金属とセラミックスの複合造形体ならびに焼結され
なかったセラミックス微粉体を成形したテープおよび金
属微粉体を成形したテープの状態を示す概念図である。FIG. 2 is a concept showing the state of a composite molded body of metal and ceramic as produced by the production method of the present invention, a tape formed of ceramic fine powder not sintered, and a tape formed of metal fine powder. FIG.
【図3】本発明の金属とセラミックスの複合造形体を製
造する装置の一実施例の概略正面図である。FIG. 3 is a schematic front view of one embodiment of an apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramic according to the present invention.
【図4】本発明の製造方法に用いるセラミックス微粉体
を成形したテープおよび金属微粉体を成形したテープを
製造するために用いる装置の概念図である。FIG. 4 is a conceptual diagram of an apparatus used for manufacturing a tape formed of ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder used in the manufacturing method of the present invention.
【図5】本発明の製造方法によって製造された研磨チッ
プをろう付けした研磨工具の正面図である。FIG. 5 is a front view of a polishing tool to which a polishing tip manufactured by the manufacturing method of the present invention is brazed.
【図6】図5のものの側面図である。FIG. 6 is a side view of that of FIG.
【図7】図4および図5に示した研磨工具の使用方法を
示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory view showing a method of using the polishing tool shown in FIGS. 4 and 5;
1 セラミックス微粉体を成形したテープ 2 金属微粉体を成形したテープ 3 セラミックス微粉体 4 金属微粉体 5 有機バインダー 6 金属とセラミックスの複合造形体の製造装置 7 基板 8 移動台 9 テープ供給装置 10 レーザー光発生装置 (aレーザー光用電源、bレー
ザー発光装置) 11 レーザー光照射装置、カルバノミラー 12 コンピュータ 13 ホッパー 14 補強テープ 15 圧縮ロール 16 補強テープ用ロール 17 セラミックス微粉体を成形したテープ巻取りロール 18 金属微粉体を成形したテープ巻取りロール 19 レベルローラ 20 セラミックス微粉体供給ノズル 21 金属微粉体供給ノズル 22 シャフト 23 保持枠 24 テープ案内ロール 25 カッター 26 雰囲気調整装置 27 覆い 28 不活性ガスボンベ 29 30 バルブ 31 複合造形体 32 石英ガラス 33 研磨チップ 34 研磨工具 35 レーザー光REFERENCE SIGNS LIST 1 Tape formed of ceramic fine powder 2 Tape formed of metal fine powder 3 Ceramic fine powder 4 Metal fine powder 5 Organic binder 6 Manufacturing device for composite shaped body of metal and ceramic 7 Substrate 8 Moving table 9 Tape supply device 10 Laser beam Generator (a laser power supply, b laser light emitting device) 11 Laser light irradiation device, carbano mirror 12 Computer 13 Hopper 14 Reinforcement tape 15 Compression roll 16 Reinforcement tape roll 17 Tape winding roll formed of ceramic fine powder 18 Metal fine powder Tape take-up roll with formed body 19 Level roller 20 Ceramic fine powder supply nozzle 21 Metal fine powder supply nozzle 22 Shaft 23 Holding frame 24 Tape guide roll 25 Cutter 26 Atmosphere adjuster 27 Cover 28 Inert gas cylinder 29 30 Valve 31 Composite molding Body 32 quartz glass 33 abrasive tip 34 Polishing tool 35 Laser light
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小倉 慧 茨城県常陸太田市亀作町438─7 Fターム(参考) 4K020 AA22 AA24 AC04 AC05 AC06 AC07 BA02 BB29 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Inventor Kei Ogura 438-7 Kamesaku-cho, Hitachiota, Ibaraki F-term (reference) 4K020 AA22 AA24 AC04 AC05 AC06 AC07 BA02 BB29
Claims (8)
基板上に載置し、その上に金属微粉体を成形したテープ
を重ね、その上面に製造する複合造形体の横断面形状に
なるようにレーザー光を制御して照射することによって
金属微粉体を成形したテープを溶融し、これらを1回ま
たは2回以上繰り返すことにより金属中にセラミックス
を分散させた複合造形体を製造することを特徴とする金
属とセラミックスの複合造形体の製造方法。1. A tape formed by molding ceramic fine powder is placed on a substrate, a tape formed by molding metal fine powder is superimposed on the tape, and a laser is formed on the upper surface so as to have a cross-sectional shape of a composite molded body to be manufactured. By controlling and irradiating the light, the tape formed of the metal fine powder is melted, and these are repeated once or more than twice to produce a composite molded body in which ceramics are dispersed in the metal. A method of manufacturing a composite molded body of metal and ceramics.
基板上に載置し、その上に金属微粉体を成形したテープ
を重ね、その上面に製造する複合造形体の横断面形状に
なるようにレーザー光を制御して照射することによって
金属微粉体を成形したテープを溶融し、さらにこれらを
行ううちに金属微粉体が溶融して体積が減少した場合に
セラミックス微粉体または金属微粉体を供給し、該金属
微粉体にレーザー光を制御して照射することによって金
属微粉体を溶融し、これらを繰り返繰り返すことにより
金属中にセラミックスを分散させた複合造形体を製造す
ることを特徴とする金属とセラミックスの複合造形体の
製造方法。2. A tape formed by molding ceramic fine powder is placed on a substrate, a tape formed by molding metal fine powder is superimposed on the tape, and a laser is formed on the upper surface so as to have a cross-sectional shape of a composite molded body to be manufactured. By controlling and irradiating the light, the tape formed of the metal fine powder is melted.Furthermore, when the metal fine powder is melted and the volume is reduced, the ceramic fine powder or the metal fine powder is supplied. The metal fine powder is melted by controlling and irradiating the metal fine powder with a laser beam, and a composite molded body in which ceramics are dispersed in the metal by repeating these steps repeatedly is produced. A method for producing a composite molded body of ceramics.
プが、セラミックス微粉体に有機バインダーを混合し、
その混合物を補強テープ上に置き、その混合物と補強テ
ープを同時に圧縮ロールで圧延した後、補強テープを剥
離することにより製作されたものであり、また上記金属
微粉体を成形したテープが、金属微粉体に有機バインダ
ーを混合し、その混合物を補強テープ上に置き、その混
合物と補強テープを同時に圧縮ロールで圧延した後、補
強テープを剥離することにより製作されたものであるこ
とを特徴とする請求項1または請求項2記載の金属とセ
ラミックスの複合造形体の製造方法。3. A tape obtained by molding the ceramic fine powder, wherein an organic binder is mixed with the ceramic fine powder,
The mixture was placed on a reinforcing tape, the mixture and the reinforcing tape were simultaneously rolled by a compression roll, and then the reinforcing tape was peeled off.The tape formed from the metal fine powder was a metal fine powder. An organic binder is mixed with the body, the mixture is placed on a reinforcing tape, and the mixture and the reinforcing tape are simultaneously rolled by a compression roll, and then the reinforcing tape is peeled off. The method for producing a composite molded body of a metal and a ceramic according to claim 1 or 2.
物、金属窒化物、金属炭化物および炭素同位体の微粉末
のうちから選ばれた1種または2種以上のものであり、
また上記金属微粉体が周期律表のVIII属およびIb属の
金属ならびにその金属に合金成分として他の金属が合金
されたものであることを特徴とする請求項1又は請求項
2記載の金属とセラミックスの複合造形体の製造方法。4. The ceramic fine powder is one or more selected from metal oxide, metal nitride, metal carbide and carbon isotope fine powder,
The metal powder according to claim 1 or 2, wherein the metal fine powder is a metal belonging to Group VIII or Ib of the periodic table and another metal alloyed with the metal. A method for producing a composite molded body of ceramics.
なるようにレーザー光を制御が、コンピュータエイテッ
ドデザイン(CAD)データによるレーザー光を制御す
ることであることを特徴とする請求項1又は請求項2記
載の金属とセラミックスの複合造形体の製造方法。5. The method according to claim 1, wherein controlling the laser beam so as to have a cross-sectional shape of the composite molded body to be manufactured is controlling the laser beam based on computer aided design (CAD) data. Or the manufacturing method of the composite molding of metal and ceramic according to claim 2.
D)データに基づいて制御する制御部と電気的に接続し
たレーザー光照射装置と、レーザー光照射装置にレーザ
ー光を供給するレーザー光発生装置と、基板駆動装置
と、セラミックス微粉体および金属微粉体を成形したテ
ープの両方を間欠的に供給するテープ供給装置とからな
ることを特徴とする金属とセラミックスの複合造形体の
製造装置。6. Computer Aided Design (CA)
D) a laser light irradiator electrically connected to a control unit that controls based on data, a laser light generator that supplies laser light to the laser light irradiator, a substrate driving device, ceramic fine powder and metal fine powder And a tape supply device for intermittently supplying both of the tapes formed with the ceramics.
よび金属微粉体を成形したテープを支持し、かつ上下動
することができる基板と、該基板の上に上記セラミック
ス微粉体を成形したテープおよび金属微粉体を成形した
テープを間欠的に供給するテープ供給装置と、該基板を
上記セラミックス微粉体を成形したテープまたは金属微
粉体を成形したテープの厚さに応じて下降させると共
に、上昇させることができる移動台と、上記基板の上に
積層された金属微粉体を成形したテープを製造する複合
造形体の横断面形状になるように溶融するレーザー光照
射装置と、該レーザー光照射装置にレーザー光を送るレ
ーザー光発生装置と、少なくともレーザー光照射装置を
コンピュータエイテッドデザイン(CAD)データによ
って制御するコンピュータとからなることを特徴とする
金属とセラミックスの複合造形体を製造する装置。7. A substrate capable of supporting a tape formed of ceramic fine powder and a tape formed of metal fine powder and capable of moving up and down, a tape formed of the ceramic fine powder on the substrate, and a metal fine powder. A tape supply device that intermittently supplies a tape formed with a body, and the substrate can be lowered and raised in accordance with the thickness of the tape formed of the ceramic fine powder or the tape formed of the metal fine powder. A moving table, a laser light irradiation device that melts to have a cross-sectional shape of a composite molded body that manufactures a tape formed by molding metal fine powder laminated on the substrate, and a laser light is applied to the laser light irradiation device. A laser light generating device for sending and a computer for controlling at least the laser light irradiating device by computer aided design (CAD) data An apparatus for producing a composite molded body of metal and ceramics, comprising:
粉体またはセラミックス微粉体を供給するための装置を
設けることを特徴とする請求項6または請求項7記載の
金属とセラミックスの複合造形体の製造装置。8. The composite molding of metal and ceramic according to claim 6, wherein a device for supplying a metal fine powder or a ceramic fine powder is provided near the laser beam irradiation device. manufacturing device.
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