JP2002093086A - Magnetic disk drive - Google Patents
Magnetic disk driveInfo
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- JP2002093086A JP2002093086A JP2000290351A JP2000290351A JP2002093086A JP 2002093086 A JP2002093086 A JP 2002093086A JP 2000290351 A JP2000290351 A JP 2000290351A JP 2000290351 A JP2000290351 A JP 2000290351A JP 2002093086 A JP2002093086 A JP 2002093086A
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- mounting portion
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスク装置に
係り、特に、磁気ヘッドを目標トラックに精密に位置決
めするためのマイクロアクチュエータを搭載した磁気ヘ
ッド支持機構及びそれを用いた磁気ディスク装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic disk drive, and more particularly, to a magnetic head support mechanism equipped with a microactuator for precisely positioning a magnetic head on a target track, and a magnetic disk drive using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年の磁気ディスク装置の大容量化に伴
い、磁気ヘッドは目標トラックに対して非常に高精度な
位置決めをしなければならなくなっている。そのため、
磁気ディスク装置ではキャリッジ回転中心に対して磁気
ヘッドと反対側に設けたボイスコイルモータで粗く移動
し、サスペンション部分に微動用のアクチュエータを備
えた構成の駆動機構が提案されている。2. Description of the Related Art With the recent increase in the capacity of magnetic disk drives, magnetic heads must be positioned with extremely high precision with respect to target tracks. for that reason,
In a magnetic disk drive, there has been proposed a drive mechanism having a structure in which a voice coil motor provided on a side opposite to a magnetic head with respect to a rotation center of a carriage coarsely moves and a suspension portion is provided with an actuator for fine movement.
【0003】例えば、特開平11−16311号公報で
は、粗動アクチュエータに加えてロードビームと磁気ヘ
ッドを備えたサスペンションの間にマイクロアクチュエ
ータを設けて駆動する構成が開示されている。For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-16311 discloses a configuration in which a microactuator is provided between a suspension having a load beam and a magnetic head in addition to a coarse actuator and driven.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】マイクロアクチュエー
タには、従来はコイルと磁石を用いた電磁型も検討され
たが、最近近年では剛性や製造コストの観点からPZT
等の圧電素子を用いた圧電型が実用化されつつある。As the microactuator, an electromagnetic type using a coil and a magnet has been conventionally studied, but recently, from the viewpoint of rigidity and manufacturing cost, PZT has been studied.
A piezoelectric type using a piezoelectric element such as described above is being put to practical use.
【0005】しかし、圧電素子は脆性材料であるため衝
撃や摺動に弱く、摺動部分や、衝撃時または圧電素子駆
動時の応力の集中する部分から塵埃が発生しやすいとい
う欠点を持っている。磁気ディスク装置においては、記
録密度向上の観点から磁気ヘッドを搭載したスライダの
浮上面とディスク表面との間隔(浮上量)が数十nmと非
常に小さいため、塵埃が発生した場合には適正な浮上量
を保つことが困難になり記録・再生できなくなり、最悪
の場合にはスライダおよびディスクの破損が生じること
があり、磁気ディスク装置の信頼性の低下につながる。
そのため圧電素子を使用する際には、可能な限り摺動部
分を廃し、磁気ディスク装置外部から衝撃が加わった場
合や圧電素子を駆動した場合に発生する応力をできる限
り小くしなければならないという課題がある。However, since the piezoelectric element is a brittle material, it is susceptible to impact and sliding, and has a drawback that dust is likely to be generated from a sliding part or a part where stress is concentrated at the time of impact or driving of the piezoelectric element. . In magnetic disk devices, the distance (flying height) between the flying surface of the slider on which the magnetic head is mounted and the disk surface is very small, several tens of nanometers, from the viewpoint of improving the recording density. It is difficult to maintain the flying height and recording / reproduction becomes impossible. In the worst case, the slider and the disk may be damaged, leading to a decrease in the reliability of the magnetic disk device.
Therefore, when using a piezoelectric element, the sliding part must be eliminated as much as possible, and the stress generated when an external shock is applied or when the piezoelectric element is driven must be minimized. There is.
【0006】また、上記の信頼性と量産性を確保するた
めに、圧電素子の使用個数を少なくしたいという課題も
ある。Another problem is that it is necessary to reduce the number of piezoelectric elements used in order to secure the above-mentioned reliability and mass productivity.
【0007】さらに、磁気ディスク装置の稼動停止時に
磁気ヘッドをディスクの外側に待避させるロード・アン
ロード機構を採用する磁気ディスク装置では、外部衝撃
によりディスクとサスペンションが変形して両者が接触
する事により、ディスク面が損傷することを避けるため
に、サスペンションをディスクの外に完全に待避させる
事が課題である。このためにマイクロアクチュエータの
幅を小さくしたいという課題もある。Further, in a magnetic disk drive which employs a load / unload mechanism for retracting the magnetic head to the outside of the disk when the operation of the magnetic disk drive is stopped, the disk and the suspension are deformed by an external impact so that they come into contact with each other. In order to avoid damaging the disk surface, it is necessary to completely retract the suspension outside the disk. For this reason, there is also a problem that it is desired to reduce the width of the microactuator.
【0008】本発明の目的は、上記の課題(の少なくと
も一つ)を解決するもので、圧電素子の個数が少なく、
構成が簡単で、摺動部が少なく正確に位置決めが出きる
アクチュエータ構成とそれを用いた磁気ディスク装置を
提供するにある。An object of the present invention is to solve (at least one of) the above-mentioned problems, and to reduce the number of piezoelectric elements,
An object of the present invention is to provide an actuator configuration which has a simple configuration, has a small number of sliding portions, and can perform accurate positioning, and a magnetic disk device using the same.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、マイクロアクチュエータ搭載部に窓部を設け、窓
部のサスペンション長手方向中心線と交差しない外枠部
をサスペンション長手方向に伸縮可能な柔軟な連結部材
とし、外枠部をサスペンション長手方向中心線に対し
て、マイクロアクチュエータの外側に配置する構成とし
た。これにより、マイクロアクチュエータは固定部以外
では動作時及び、衝撃時共に他の部材と接触することが
ないため、摺動による塵埃の発生を回避できる。また、
衝撃時には連結部材が衝撃時に発生する応力を分担し、
動作時には連結部材が自由に変形することにより、マイ
クロアクチュエータへの応力の集中を緩和することがで
き、磁気ディスク装置の信頼性を向上することができ
る。In order to achieve the above object, a window is provided in a microactuator mounting portion, and an outer frame portion that does not intersect the suspension longitudinal center line of the window can be extended and contracted in the suspension longitudinal direction. A flexible connecting member is provided, and the outer frame portion is arranged outside the microactuator with respect to the suspension longitudinal center line. Thus, the microactuator does not come into contact with other members at the time of operation and at the time of impact except at the fixed portion, so that generation of dust due to sliding can be avoided. Also,
At the time of impact, the connecting member shares the stress generated at the time of impact,
During operation, the connection member is freely deformed, so that the concentration of stress on the microactuator can be reduced, and the reliability of the magnetic disk device can be improved.
【0010】また、圧電素子の使用個数を少なくするた
めに、サスペンション長手方向中心線により2分割され
る圧電素子の搭載台の一方に伸縮可能な柔軟な連結部材
を設け、他方にマイクロアクチュエータを設けることに
より、上述した摺動による塵埃の発生を回避できると共
に、アクチュエータの個数を減少させることができる。In order to reduce the number of piezoelectric elements to be used, a flexible connecting member which can be extended and contracted is provided on one of the mounting tables of the piezoelectric element divided into two by the longitudinal center line of the suspension, and a microactuator is provided on the other. Thus, the generation of dust due to the above-described sliding can be avoided, and the number of actuators can be reduced.
【0011】また、前記の伸縮可能な柔軟な連結部材の
形状を、ディスク中心から遠ざかる方向に凸形状とする
事により、マイクロアクチュエータ搭載部とディスクと
の接触を回避できる。Further, by making the shape of the expandable and contractible flexible connecting member convex in a direction away from the center of the disk, contact between the microactuator mounting portion and the disk can be avoided.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下本発明の実施例を、図面を用
いて詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【0013】図1は本発明を適用した磁気ディスク装置
の斜視図であり、図2はそのサスペンションの斜視図、
図3はサスペンションの側面図、図4はサスペンション
の上面図、図5はマイクロアクチュエータの動作説明
図、図6は図2のA−A断面図である。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic disk drive to which the present invention is applied, FIG. 2 is a perspective view of its suspension,
3 is a side view of the suspension, FIG. 4 is a top view of the suspension, FIG. 5 is an explanatory diagram of the operation of the microactuator, and FIG. 6 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【0014】本実施例では、ロードビーム1の先端部に
フレクシャ2を介して磁気ヘッドを搭載したスライダ3
が取り付けられている。ロードビーム1はマイクロアク
チュエータ搭載部4の一端に溶接等で固定されており、
マイクロアクチュエータ搭載部4の他端にはマウント5
が一体形成されている。マウント5は別体として溶接等
で固定してもよい。この、ロードビーム1からマウント
5までをここではサスペンションと称する。なお、マウ
ント5はキャリッジ6に、かしめ等で固定されている。
キャリッジ6がボイスコイルモータの駆動力によって、
ピボット軸7を中心に回転運動することにより、磁気ヘ
ッドは、ディスク8上の任意の半径位置にアクセスする
ことができる。さらに、マイクロアクチュエータ搭載部
4に圧電素子(ピエゾ素子)で構成されたマイクロアク
チュエータ9が固定される。このマイクロアクチュエー
タ9を駆動することで、磁気ヘッドの微少な位置合わせ
を行うものである。In this embodiment, a slider 3 having a magnetic head mounted on the tip of a load beam 1 via a flexure 2 is provided.
Is attached. The load beam 1 is fixed to one end of the microactuator mounting section 4 by welding or the like.
At the other end of the microactuator mounting section 4 is a mount 5
Are integrally formed. The mount 5 may be fixed separately by welding or the like. The sections from the load beam 1 to the mount 5 are referred to as a suspension herein. The mount 5 is fixed to the carriage 6 by swaging or the like.
The carriage 6 is driven by the driving force of the voice coil motor.
By rotating around the pivot shaft 7, the magnetic head can access any radial position on the disk 8. Further, a microactuator 9 composed of a piezoelectric element (piezo element) is fixed to the microactuator mounting section 4. By driving the microactuator 9, fine positioning of the magnetic head is performed.
【0015】図2、図6の段差部は、マイクロアクチュ
エータ9を固定するための固定場所45であり、マイク
ロアクチュエータを容易に固定できるようにすると共
に、マイクロアクチュエータが上方向に大きく突出しな
いようにしている。この段差部は、プレス、或いは、エ
ッチング等によりマイクロアクチュエータを位置決めし
やすいように凹に加工したものである。本実施例のマイ
クロアクチュエータ搭載部4は、腕部41と磁気ヘッド
側マイクロアクチュエータ固定部42とキャリッジ側マ
イクロアクチュエータ固定部43により一体的に構成し
てある。The steps in FIGS. 2 and 6 are fixing places 45 for fixing the microactuator 9 to enable the microactuator to be easily fixed and to prevent the microactuator from protruding significantly upward. ing. The stepped portion is formed into a concave shape by pressing, etching, or the like so that the microactuator can be easily positioned. The microactuator mounting section 4 of this embodiment is integrally formed by an arm section 41, a magnetic head side microactuator fixing section 42, and a carriage side microactuator fixing section 43.
【0016】腕部41は、マイクロアクチュエータ9と
接触・摺動しないように長手方向中心線10により2分
割される搭載部4のディスク中心側の搭載部4に配置
し、マイクロアクチュエータは外側のマイクロアクチュ
エータ搭載部4に配置している。マイクロアクチュエー
タ9と腕部41とを、中心線10を境に別々に配置する
ことにより両者が接触・摺動することはない。換言する
と、マイクロアクチュエータと腕部を高さ方向に重ねる
構造の場合に、発生する可能性のある接触・摺動を防止
できる。更に、腕部41の一端は磁気ヘッド側マイクロ
アクチュエータ固定部42に接合され、他端はキャリッ
ジ側マイクロアクチュエータ固定部43に接合されてい
る。また、腕部41は、マイクロアクチュエータ9の動
作を阻害しない程度に柔軟となるように、ディスクの中
心から遠ざかる方向に凸形状としている。マイクロアク
チュエータ搭載部4は衝撃時の過度の変形を回避し、か
つ、サスペンション全体の高さを小さくするため、0.
15mm〜0.3mm程度の厚さが望ましい。The arm portion 41 is disposed on the mounting portion 4 on the disk center side of the mounting portion 4 divided by the longitudinal center line 10 so as not to contact / slide with the microactuator 9. It is arranged on the actuator mounting section 4. By arranging the microactuator 9 and the arm portion 41 separately with the center line 10 as a boundary, they do not contact and slide. In other words, in the case of a structure in which the microactuator and the arm are overlapped in the height direction, contact / sliding that may occur can be prevented. Further, one end of the arm portion 41 is joined to the magnetic head side microactuator fixing portion 42, and the other end is joined to the carriage side microactuator fixing portion 43. The arm portion 41 has a convex shape in a direction away from the center of the disk so as to be flexible enough not to hinder the operation of the microactuator 9. The microactuator mounting section 4 is designed to prevent excessive deformation at the time of impact and to reduce the height of the entire suspension.
A thickness of about 15 mm to 0.3 mm is desirable.
【0017】また、マイクロアクチュエータ搭載部4は
製作公差の低減と製造コストの低減のため、プレスによ
る打ち抜き、またはエッチング加工を用いて形成される
ことが望ましい。The microactuator mounting section 4 is preferably formed by punching with a press or etching to reduce manufacturing tolerances and manufacturing costs.
【0018】腕部41はマイクロアクチュエータ9の動
作を阻害しない程度に、回転方向には柔軟で、面方向に
は剛でなければならない。そのためには、腕部の経路長
(形状の中心線に添う長さ)を長くすることと、腕部の
幅を小さくすることが有効である。しかし、サスペンシ
ョン全幅(サスペンション長手方向中心線からみた腕部
の最遠点までの距離)が大きくなるにつれて、サスペン
ション長手方向中心軸に対する慣性モーメントが大きく
なるため、長手方向中心軸に関するサスペンションのね
じれ振動が増加し、磁気ヘッド位置決め動作に悪影響を
及ぼすという問題がある。そのため、腕部はサスペンシ
ョン全幅を小さくしながら経路長の長い形状にすること
が望ましい。そのような要求に対して、本実施例に示す
ようにU字型とすることにより、例えばV字型の腕形状
と比較して、サスペンションの長手中心軸に関する慣性
モーメントをあまり大きくせずに経路長を長くすること
ができると共に、腕部41がマイクロアクチュエータ9
と接触・摺動することを回避できる。The arm 41 must be flexible in the rotational direction and rigid in the plane direction, so as not to hinder the operation of the microactuator 9. To that end, it is effective to increase the path length of the arm (length along the center line of the shape) and to reduce the width of the arm. However, as the total width of the suspension (the distance from the suspension longitudinal center line to the farthest point of the arm) increases, the moment of inertia with respect to the suspension longitudinal center axis increases. And the magnetic head positioning operation is adversely affected. Therefore, it is desirable that the arm portion has a long path length while reducing the overall width of the suspension. In response to such a demand, the U-shape as shown in the present embodiment makes it possible to reduce the inertia moment about the longitudinal center axis of the suspension without increasing the moment of inertia as compared with, for example, a V-shaped arm shape. The length of the microactuator 9 can be increased.
Contact and sliding can be avoided.
【0019】本実施例ではU字型としたが、コの字型と
してもよい。但し、U字形状とした方が応力集中は少な
く望ましい。さらに、腕部41をサスペンション長手方向
中心線10に向かって凸な形状とする事により、サスペン
ション長手方向中心線10回りの慣性モーメントを小さく
できる。これによりねじれ振動を抑える事ができる。ま
た、ディスク停止時に磁気ヘッドをディスクの外に待避
させるロード・アンロード機構を採用する磁気ディスク
装置では、衝撃によりディスクとサスペンションの一部
が接触して、ディスク表面が損傷する可能性がある。こ
の損傷を防ぐために、サスペンションはディスクの外に
完全に待避させる必要がある。本実施例では、腕部41を
中心線10に向かって凸な形状とすることにより、サス
ペンションの全幅を小さくできる。このため、サスペン
ションを完全にディスク面から待避させる距離(角度)
が小さくてよい。すなわち、結果として待避させる事が
容易となる。In this embodiment, a U-shape is used, but a U-shape may be used. However, a U-shaped shape is desirable because stress concentration is small. Further, by making the arm portion 41 convex toward the suspension longitudinal centerline 10, the moment of inertia around the suspension longitudinal centerline 10 can be reduced. Thereby, torsional vibration can be suppressed. Also, in a magnetic disk device that employs a load / unload mechanism for retracting the magnetic head out of the disk when the disk is stopped, the disk may partially contact the suspension due to an impact, and the disk surface may be damaged. To prevent this damage, the suspension must be completely retracted out of the disk. In the present embodiment, the entire width of the suspension can be reduced by making the arm portion 41 convex toward the center line 10. Therefore, the distance (angle) at which the suspension is completely retracted from the disk surface
May be small. That is, it is easy to evacuate as a result.
【0020】腕部41の幅に関しては、マイクロアクチ
ュエータ搭載部の厚さが0.15〜0.3mm程度であ
るため、加工時の腕部断面形状のばらつき抑制や加工性
の観点からマイクロアクチュエータの厚さと同等以上で
あることが望ましく、0.3〜0.4mm程度の幅が望ま
しい。As for the width of the arm portion 41, the thickness of the microactuator mounting portion is about 0.15 to 0.3 mm. The thickness is preferably equal to or greater than the thickness, and a width of about 0.3 to 0.4 mm is desirable.
【0021】図5に、マイクロアクチュエータを駆動し
た時のサスペンションの変形状態の1例を示す。マイク
ロアクチュエータ9の中の矢印は、マイクロアクチュエ
ータ9の伸縮方向を示している。マイクロアクチュエー
タ9には、上部電極(図示せず)と下部電極(図示せ
ず)が設けられ、導電性を有する接着剤(図示せず)に
よってマイクロアクチュエータ搭載部4に固定される。
マイクロアクチュエータ搭載部4は、マウント5やキャ
リッジ6を介して電気的には0電位となっている。FIG. 5 shows an example of a deformed state of the suspension when the microactuator is driven. Arrows in the microactuator 9 indicate directions of expansion and contraction of the microactuator 9. The microactuator 9 is provided with an upper electrode (not shown) and a lower electrode (not shown), and is fixed to the microactuator mounting section 4 by a conductive adhesive (not shown).
The microactuator mounting section 4 is electrically at 0 potential via the mount 5 and the carriage 6.
【0022】図5に示すように、上部電極に信号が入力
された状態では、マイクロアクチュエータ9は信号の電
極(正、負)により伸縮をする。伸縮方向は分極の方向
と信号の電極の組み合わせにより決める事ができる。ま
た、伸縮の大きさは信号の電圧の大きさにより制御す
る。例えば図5(1)に示すように、マイクロアクチュ
エータ9が長手方向には縮む変形をした場合には、サス
ペンション全体は図5(1)のように中心線に対して下側
に変形する。これにより、スライダ3(図示せず)も中
心線下側に微動することが可能となる。また、図5
(2)に示すようにマイクロアクチュエータ9が長手方
向に伸びる変形をした場合には、サスペンション全体で
は図5(2)のように中心線に対して上側に変形する。
その結果、図5(1)とは逆の方向にスライダ3(図示
せず)を微動させることができる。As shown in FIG. 5, when a signal is input to the upper electrode, the microactuator 9 expands and contracts by the signal electrode (positive and negative). The direction of expansion and contraction can be determined by the combination of the direction of polarization and the signal electrode. The magnitude of expansion and contraction is controlled by the magnitude of the voltage of the signal. For example, as shown in FIG. 5A, when the microactuator 9 is deformed to contract in the longitudinal direction, the entire suspension is deformed downward with respect to the center line as shown in FIG. Thereby, the slider 3 (not shown) can also slightly move below the center line. FIG.
When the microactuator 9 is deformed to extend in the longitudinal direction as shown in (2), the entire suspension is deformed upward with respect to the center line as shown in FIG. 5 (2).
As a result, the slider 3 (not shown) can be finely moved in the direction opposite to the direction shown in FIG.
【0023】この場合、マイクロアクチュエータ搭載部
4の腕部41は、図5に示すようにサスペンション長手
方向と幅方向の両方向に容易に変形できる形状であるた
め、マイクロアクチュエータ9の動作を妨げる恐れがな
い。In this case, as shown in FIG. 5, the arm 41 of the microactuator mounting portion 4 has such a shape that it can be easily deformed in both the longitudinal direction and the width direction of the suspension. Absent.
【0024】これらの構成により、マイクロアクチュエ
ータ9は、固定部以外ではマイクロアクチュエータ搭載
部4と接触する個所が無い。また、動作時や磁気ディス
ク装置に衝撃が加わり、マイクロアクチュエータ9が変
形した場合にでも、マイクロアクチュエータ9とマイク
ロアクチュエータ搭載部4の間に接触する場所が存在し
ないため、マイクロアクチュエータ9が摺動する恐れも
なく、塵埃発生により磁気ディスク装置の信頼性が低下
する恐れがない。また、衝撃力が加わった時に、マイク
ロアクチュエータ9にはロードビーム1の慣性力が加わ
るが、マイクロアクチュエータ搭載部4の腕部41がそ
れを分担するため、マイクロアクチュエータ9に生じる
応力が緩和される。このため、マイクロアクチュエータ
9が損傷しにくくなり、磁気ディスク装置としての信頼
性を高くすることができる。With these configurations, the microactuator 9 does not have a portion that contacts the microactuator mounting portion 4 except for the fixed portion. Further, even if the microactuator 9 is deformed during operation or when a shock is applied to the magnetic disk device, the microactuator 9 slides because there is no place to contact between the microactuator 9 and the microactuator mounting portion 4. There is no fear, and there is no possibility that the reliability of the magnetic disk device will be reduced due to the generation of dust. In addition, when an impact force is applied, the inertia force of the load beam 1 is applied to the microactuator 9, but the arm 41 of the microactuator mounting portion 4 shares the inertia force, so that the stress generated in the microactuator 9 is reduced. . Therefore, the microactuator 9 is less likely to be damaged, and the reliability of the magnetic disk device can be improved.
【0025】なお、特開平11−16311号公報の構
造では、スライダ側のマイクロアクチュエータ固定部
は、3本の支持ビームの交点を中心として回転動作をす
る。このため、マイクロアクチュエータも固定部になら
って変形しなければならない。結果として、マイクロア
クチュエータがスライダの駆動に要する以外の変形をす
ることになり、マイクロアクチュエータに生じる応力が
大きくなるため、応力集中部より塵埃が発生しやすいと
いう問題がある。しかし、本発明においては図5のよう
に腕部41はサスペンション長手方向・幅方向ともに柔
軟にできるので、マイクロアクチュエータ9の変形を拘
束することがないため、塵埃発生の危険性を低下するこ
とができ、磁気ディスク装置の信頼性を向上することが
できる。In the structure disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-16311, the slider-side microactuator fixing portion rotates around the intersection of the three support beams. For this reason, the microactuator must also be deformed following the fixed part. As a result, the microactuator is deformed other than required for driving the slider, and the stress generated in the microactuator is increased. Therefore, there is a problem that dust is more likely to be generated from the stress concentration portion. However, in the present invention, as shown in FIG. 5, since the arm portion 41 can be made flexible in both the longitudinal direction and the width direction of the suspension, the deformation of the microactuator 9 is not restrained, so that the risk of dust generation is reduced. As a result, the reliability of the magnetic disk device can be improved.
【0026】次に、図7に腕部41形状をU字型からV
字型にした第2の実施例を示す。また、図8に腕部41
形状を直線とした第3の実施例を示す。Next, in FIG. 7, the shape of the arm 41 is changed from a U-shape to a V-shape.
A second embodiment in the form of a letter is shown. Also, FIG.
A third embodiment in which the shape is a straight line is shown.
【0027】第1実施例との違いは腕部41の形状だけ
である。第1実施例のU字型から、第2実施例のV字
型、第3実施例の直線型になるに従い、腕部41の中心
線距離は短くなり、サスペンション長手方向の剛性は増
加する。このため、マイクロアクチュエータの変位力が
一定の場合には、スライダの微小変位量が少なくなるた
め、第1の実施例と同じ量の変位をさせる場合は大きな
電力が必要となる。一方、剛性が向上することにより、
サスペンションの固有振動数が増加し、ディスク回転に
伴う空気流などの外乱によるサスペンション振動を小さ
くできる。この結果として、外乱によるスライダの振動
振幅を小さくできるという利点もある。また、固有値の
振動数が増加するために、制御しやすいという利点もあ
る。The only difference from the first embodiment is the shape of the arm 41. As the U-shape of the first embodiment is changed to the V-shape of the second embodiment and the straight type of the third embodiment, the center line distance of the arm portion 41 becomes shorter, and the rigidity in the longitudinal direction of the suspension increases. For this reason, when the displacement force of the microactuator is constant, the amount of minute displacement of the slider is reduced, so that a large amount of electric power is required to perform the same displacement as in the first embodiment. On the other hand, by improving rigidity,
The natural frequency of the suspension increases, and the suspension vibration caused by disturbance such as airflow caused by the rotation of the disk can be reduced. As a result, there is an advantage that the amplitude of vibration of the slider due to disturbance can be reduced. In addition, since the frequency of the eigenvalue increases, there is an advantage that control is easy.
【0028】第2実施例、第3実施例ともに、第1実施
例と同様に、マイクロアクチュエータ9と腕部41を別
々の場所に設けているので、両者が摺動して発塵すると
いう問題はない。また、1個のマイクロアクチュエータ
により、スライダを微小変位させるため、信頼性と生産
性(量産性)に優れている。さらに、第2の実施例では
第1の実施例と同様に、腕部41をV字型とし、マイク
ロアクチュエータの方向に凸形状としている。これによ
り、腕部41の剛性を低下させることができると共に、
マイクロアクチュエータ9の全幅を小さくする事ができ
る。また、これはディスク中心から遠ざかる方向に凸形
状となるために、外部衝撃によりマイクロアクチュエー
タ搭載部とディスクとが接触しにくいという第1実施例
と同じ利点もある。In both the second embodiment and the third embodiment, as in the first embodiment, the microactuator 9 and the arm portion 41 are provided at different places, so that the two members slide and generate dust. There is no. Further, since the slider is minutely displaced by one microactuator, the reliability and the productivity (mass productivity) are excellent. Further, in the second embodiment, as in the first embodiment, the arm portion 41 has a V-shape and has a convex shape in the direction of the microactuator. Thereby, the rigidity of the arm portion 41 can be reduced, and
The overall width of the microactuator 9 can be reduced. In addition, since this has a convex shape in the direction away from the center of the disk, there is the same advantage as in the first embodiment, in that the microactuator mounting portion and the disk are unlikely to come into contact with each other due to an external impact.
【0029】各種の腕形状における変位量を計算により
求め、第1実施例の変位で無次元化すると、第1実施例
の変位1に対して、第2実施例では約0.8、第3実施
例では約0.2しか生じない。この結果により、第1実
施例のU字型が最も柔軟であり、圧電素子駆動時に磁気
ヘッドの変位量が最も大きいことがわかる。この事か
ら、スライダの大きな変位量が必要な場合には第1実施
例のU形状を、また、スライダ変位量よりもサスペンシ
ョンの固有値(振動数)の向上が必要な場合には、第
2、第3実施例の腕部41形状を選択すればよい。When the displacement amounts in various arm shapes are obtained by calculation and are made dimensionless by the displacement of the first embodiment, the displacement of the first embodiment is about 0.8, and the displacement of the second embodiment is about 0.8. In the embodiment, only about 0.2 occurs. From this result, it can be seen that the U-shape of the first embodiment is the most flexible, and the displacement of the magnetic head is the largest when the piezoelectric element is driven. For this reason, the U-shape of the first embodiment is used when a large displacement of the slider is required, and the second shape is used when the eigenvalue (frequency) of the suspension is required to be higher than the displacement of the slider. What is necessary is just to select the shape of the arm part 41 of 3rd Example.
【0030】図9及び図10は、本発明の第4実施例、
第5実施例を示した上面図である。両実施例と第1実施
例の違いは、耐衝撃性能の向上を目的として、マイクロ
アクチュエータ搭載部4に腕部41を2本設けている点
である。第4実施例では、ディスク8側の腕部41は、
ディスク中心から遠ざかる方向に凸となっている。すな
わち、サスペンション長手方向中心線10に向いてい
る。このため、同図に示すように、ロード・アンロード
(L・UL)機構を有する磁気ディスク装置において、
スライダがディスク外に待避した場合に、ディスク側の
腕部41はディスク8の外に完全に待避するので、衝撃
により両者が接触する事は無い。これは第1の実施例と
同様である。FIGS. 9 and 10 show a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a top view showing a fifth embodiment. The difference between the first and second embodiments is that two arm portions 41 are provided on the microactuator mounting portion 4 for the purpose of improving the impact resistance. In the fourth embodiment, the arm 41 on the disk 8 side
It is convex in the direction away from the center of the disk. That is, it is directed to the suspension longitudinal centerline 10. For this reason, as shown in the figure, in a magnetic disk drive having a load / unload (L / UL) mechanism,
When the slider is retracted out of the disk, the arm 41 on the disk is completely retracted out of the disk 8, so that there is no contact between the two by an impact. This is the same as in the first embodiment.
【0031】ここで、本実施例のL・UL機構はサスペ
ンション1の先端に設けたタブ11がランプ20に乗り
上げて待避する機構であるが、本実施例の効果はこの機
構に限定されるものではない。ディスクから遠い側の腕
部41は、磁気ヘッド側マイクロアクチュエータ固定部
42とキャリッジ側マイクロアクチュエータ固定部43
を、ディスク中心から遠ざかる方向(ディスク側の腕部
41と同一方向)に凸のU字型形状ので連接している。こ
れにより、マイクロアクチュエータ9の取付け位置を、
第1実施例と同じように、マイクロアクチュエータ搭載
部4の外側にしたままで、ディスクから遠い側の腕部4
1を新たに設けることを可能としている。マイクロアク
チュエータ9を外側に設けることにより、小さな力でス
ライダの大きな変位を得ることが可能となる。Here, the L / UL mechanism of this embodiment is a mechanism in which the tab 11 provided at the tip of the suspension 1 rides on the ramp 20 and retracts, but the effect of this embodiment is limited to this mechanism. is not. The arm 41 farther from the disk includes a magnetic head side microactuator fixing part 42 and a carriage side microactuator fixing part 43.
In the direction away from the center of the disc (the arm on the disc side).
(Same direction as 41) and are connected in a U-shape that is convex. Thereby, the mounting position of the microactuator 9 is
As in the first embodiment, the arm 4 on the far side from the disk is kept outside the microactuator mounting section 4.
1 can be newly provided. By providing the microactuator 9 on the outside, a large displacement of the slider can be obtained with a small force.
【0032】この外側の腕部41は、外部から衝撃力が
加わった時にマイクロアクチュエータ9に発生する応力
を緩和することができる。具体的には、ディスク面に対
して垂直方向の衝撃が加わった場合に、2つの腕部41
により、衝撃時のサスペンション1の慣性力をマイクロ
アクチュエータ9と分担して受け止めるために、第1の
実施例と比較して、マイクロアクチュエータ9に生じる
応力を低下することが可能となる。この結果として、磁
気ディスク装置の耐衝撃性能を向上し、信頼性を高くす
ることができる。ディスクから遠い側の腕部41による
効果は、それが無い場合のマイクロアクチュエータ9の
最大応力を1とすると、その30%から40%程度を低
減する事が可能となる。腕部41の剛性を上げると、衝
撃によるマイクロアクチュエータ9の最大応力を低減で
きるので耐衝撃性能を向上させる事が可能となる。The outer arm portion 41 can relieve the stress generated in the microactuator 9 when an external impact force is applied. Specifically, when a vertical impact is applied to the disk surface, the two arms 41
Accordingly, the inertia force of the suspension 1 at the time of impact is shared with the microactuator 9 and received, so that the stress generated in the microactuator 9 can be reduced as compared with the first embodiment. As a result, the shock resistance performance of the magnetic disk device can be improved, and the reliability can be increased. The effect of the arm portion 41 farther from the disk can be reduced by about 30% to 40% assuming that the maximum stress of the microactuator 9 in the absence thereof is 1. When the rigidity of the arm portion 41 is increased, the maximum stress of the microactuator 9 due to the impact can be reduced, so that the impact resistance can be improved.
【0033】一方、腕部41を2つ設ける事、及び、腕
部41の剛性を上げる事は、マイクロアクチュエータ9
の伸縮の妨げになる恐れがある。これを避けるために、
本実施例では、腕部41形状をU字型としている。ま
た、ディスク8から遠い側の腕部41を、ディスク8か
ら遠ざかる方向に凸とする事により、U字型の大きさに
制約がなくなり、マイクロアクチュエータ9の伸縮方向
に剛性の低い腕部41を提供することができる。その結
果、外部衝撃に強く、かつ、マイクロアクチュエータ9
により、十分なスライダ変位を得る事が可能となる。On the other hand, providing two arms 41 and increasing the rigidity of the arms 41 can be achieved by the microactuator 9.
May hinder expansion and contraction. To avoid this,
In this embodiment, the shape of the arm portion 41 is U-shaped. Further, by making the arm 41 farther from the disk 8 convex in the direction away from the disk 8, there is no restriction on the size of the U-shape, and the arm 41 having low rigidity in the direction of expansion and contraction of the microactuator 9 can be used. Can be provided. As a result, the micro-actuator 9
Thereby, it is possible to obtain a sufficient slider displacement.
【0034】第4実施例と第5実施例の違いは、第5実
施例では2つの腕部41をサスペンション長手方向中心
線10に向かって凸なU字型形状としている点である。
ディスク8から遠い側の腕部41をサスペンション長手
方向中心線10に向かって凸なU字型形状とすることに
より、前記中心線10まわりのサスペンション搭載部4
の慣性力を小さくできる。これにより、サスペンション
1のねじり振動を小さくする事ができる。また、本実施
例においても、第4の実施例と同様に、腕部41により
マイクロアクチュエータ9の最大応力を低減できるの
で、耐衝撃性能を向上させる事ができる。The difference between the fourth embodiment and the fifth embodiment is that in the fifth embodiment, the two arm portions 41 are formed in a U-shape protruding toward the suspension longitudinal center line 10.
By forming the arm 41 farther from the disk 8 into a U-shape protruding toward the center line 10 in the longitudinal direction of the suspension, the suspension mounting portion 4 around the center line 10 is formed.
Inertia force can be reduced. Thereby, the torsional vibration of the suspension 1 can be reduced. Also, in this embodiment, as in the fourth embodiment, the maximum stress of the microactuator 9 can be reduced by the arm portion 41, so that the impact resistance can be improved.
【0035】なお、図10において、マイクロアクチュ
エータ9と中心線10を挾んで反対側の腕部41を前述
のようにU形状とせずに直線で結ぶ構成としてもよい。
この場合、アクチュエータ9を駆動することで発生する
変位量は、図10の構成の駆動電流と同じ量を加えた場
合、小さくなる。しかし、面方向剛性を向上できる利点
がある。In FIG. 10, the arm 41 on the opposite side of the microactuator 9 with respect to the center line 10 may be connected in a straight line without forming a U-shape as described above.
In this case, the displacement amount generated by driving the actuator 9 becomes smaller when the same amount as the drive current of the configuration in FIG. 10 is applied. However, there is an advantage that the rigidity in the surface direction can be improved.
【0036】次に図11に第6の実施例を示す。図10
の実施例との相違点は、中心線10を挾んでマイクロア
クチュエータ9に対向する位置にマイクロアクチュエー
タ9と略同じ形状の腕部50をダミーアクチュエータと
して設けた点である。この腕部50を設けることで中心
線10に対する左右の質量バランスを取ることができ
る。このように、バランスを取ることでサスペンション
の外力(ディスク回転に伴い発生する空気流等の外力)
により、中心線に対してねじれ方向に発生するねじれ振
動を抑制することができる。ねじれ振動は、磁気ヘッド
をディスク半径方向に移動させるための、位置決め精度
劣化させる。本実施例の構成とすることにより、1本の
マイクロアクチュエータで構成した場合に問題となる、
質量アンバランスを無くし、ねじれ振動を抑制できるの
で、磁気ヘッドを高い位置決め精度で位置決めすること
ができる。FIG. 11 shows a sixth embodiment. FIG.
The difference from this embodiment is that an arm 50 having substantially the same shape as the microactuator 9 is provided as a dummy actuator at a position facing the microactuator 9 across the center line 10. By providing the arm portion 50, it is possible to balance the left and right masses with respect to the center line 10. In this way, by adjusting the balance, the external force of the suspension (external force such as airflow generated due to the rotation of the disk)
Thereby, the torsional vibration generated in the torsional direction with respect to the center line can be suppressed. The torsional vibration degrades the positioning accuracy for moving the magnetic head in the disk radial direction. With the configuration of the present embodiment, there is a problem in the case of configuring with one microactuator.
Since the mass imbalance can be eliminated and the torsional vibration can be suppressed, the magnetic head can be positioned with high positioning accuracy.
【0037】また、ダミーマイクロアクチュエータによ
り、外部衝撃が加わった場合でも、ダミーアクチュエー
タが衝撃の1部を分担して受けるため、マイクロアクチ
ュエータ41に加わる衝撃力を緩和することができる。
すなわち、耐衝撃性能を向上することができる。例え
ば、磁気ディスク装置を落下させた場合に、サスペンシ
ョンをディスク面に近接、或いは遠ざかる方向に加速度
が作用する。マイクロアクチュエータはピエゾ素子等で
構成されており、ピエゾ素子はセラミックスの脆性材料
のため、衝撃力に弱く、衝撃力を受けることで割れなど
が発生し、その機能を失うという問題がある。このた
め、ダミーのアクチュエータである腕部50を設けるこ
とで、先に述べたように衝撃力を緩和して、装置の長寿
命化を図ることができると言う利点もある。なお、本構
成は、図10の実施例に限らず他の実施例に適用できる
ことは言うまでもない。Further, even when an external impact is applied by the dummy microactuator, the dummy actuator can share and receive a part of the impact, so that the impact force applied to the microactuator 41 can be reduced.
That is, the impact resistance performance can be improved. For example, when the magnetic disk drive is dropped, acceleration acts in a direction in which the suspension approaches or moves away from the disk surface. The microactuator is composed of a piezo element or the like, and the piezo element is a brittle material made of ceramics, so it is weak to an impact force, and there is a problem that the impact force causes cracks or the like and loses its function. For this reason, by providing the arm portion 50 as a dummy actuator, there is also an advantage that the impact force can be reduced as described above and the life of the device can be extended. It is needless to say that this configuration can be applied not only to the embodiment of FIG. 10 but also to other embodiments.
【0038】[0038]
【発明の効果】本発明によれば、マイクロアクチュエー
タは固定部以外では動作時、衝撃時ともに他の部材と接
触することがないため、摺動による塵埃の発生を回避で
きる。また、衝撃時には連結部材が衝撃時に発生する応
力を分担し、動作時には連結部材が自由に変形すること
により、マイクロアクチュエータへの応力の集中を緩和
することができる。また、マイクロアクチュエータの使
用個数を減らす事ができる。また、外部衝撃により、マ
イクロアクチュエータ搭載部とディスクとの接触を回避
する事ができる。これらの事項より、磁気ディスク装置
の信頼性を向上することができる。According to the present invention, since the microactuator does not come into contact with other members during operation or impact except at the fixed portion, the generation of dust due to sliding can be avoided. In addition, at the time of impact, the connecting member shares the stress generated at the time of impact, and at the time of operation, the connecting member is freely deformed, so that the concentration of stress on the microactuator can be reduced. In addition, the number of microactuators used can be reduced. In addition, contact between the microactuator mounting portion and the disk due to external impact can be avoided. From these matters, the reliability of the magnetic disk device can be improved.
【図1】本発明の第1実施例のサスペンションを搭載す
る磁気ディスク装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a magnetic disk drive on which a suspension according to a first embodiment of the present invention is mounted.
【図2】本発明の第1実施例のサスペンションの斜視図
である。FIG. 2 is a perspective view of the suspension according to the first embodiment of the present invention.
【図3】本発明の第1実施例のサスペンションの側面図
である。FIG. 3 is a side view of the suspension according to the first embodiment of the present invention.
【図4】本発明の第1実施例のサスペンションの上面図
である。FIG. 4 is a top view of the suspension according to the first embodiment of the present invention.
【図5】本発明の第1実施例のマイクロアクチュエータ
動作時の変形図である。FIG. 5 is a modified view of the first embodiment of the present invention when the microactuator is operating.
【図6】図2のA−A断面図である。FIG. 6 is a sectional view taken along line AA of FIG. 2;
【図7】本発明の第2実施例のサスペンションの斜視図
である。FIG. 7 is a perspective view of a suspension according to a second embodiment of the present invention.
【図8】本発明の第3実施例のマイクロアクチュエータ
搭載部の上面図である。FIG. 8 is a top view of a microactuator mounting portion according to a third embodiment of the present invention.
【図9】本発明の第4実施例のサスペンションの上面図
である。FIG. 9 is a top view of a suspension according to a fourth embodiment of the present invention.
【図10】本発明の第5実施例のサスペンションの上面
図である。FIG. 10 is a top view of a suspension according to a fifth embodiment of the present invention.
【図11】本発明の第6実施例のサスペンションの上面
図である。FIG. 11 is a top view of a suspension according to a sixth embodiment of the present invention.
1…ロードビーム、2…フレクシャ、3…スライダ、4
…マイクロアクチュエータ搭載部、5…マウント、6…
キャリッジ、7…ピボット軸、8…ディスク、9…マイ
クロアクチュエータ、41…腕部。1 ... load beam, 2 ... flexure, 3 ... slider, 4
… Micro actuator mounting part, 5… Mount, 6…
Carriage, 7: pivot shaft, 8: disk, 9: microactuator, 41: arm.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 増田 広光 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 中村 滋男 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 Fターム(参考) 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA25 CA26 DA19 DA26 EA07 5D096 NN03 NN07 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Inventor Hiromitsu Masuda 502 Kandachi-cho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Pref. Machinery Research Laboratory, Hitachi, Ltd. F term in the system division (reference) 5D042 LA01 MA15 5D059 AA01 BA01 CA25 CA26 DA19 DA26 EA07 5D096 NN03 NN07
Claims (6)
出す磁気ヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを
柔軟に支持するためのフレクシャと、前記スライダに適
切な荷重を付与するためのロードビームと、前記ロード
ビームに連接されたマイクロアクチュエータ搭載部と、
前記マイクロアクチュエータ搭載部に設けられたマイク
ロアクチュエータと、マイクロアクチュエータ搭載部を
キャリッジのアームに固定するための固定部とを有する
ヘッド支持機構において、 前記マイクロアクチュエータ搭載部のキャリッジ側のア
クチュエータ固定部と磁気ヘッド側のアクチュエータ固
定部とを前記ロードビーム長手方向中心線に対して一方
側に設け、前記中心線の他方側に伸縮可能な柔軟な1本
の腕部で連結したことを特徴とするヘッド支持機構。A slider mounted with a magnetic head for writing and reading information to and from a magnetic disk; a flexure for flexibly supporting the slider; and a load beam for applying an appropriate load to the slider. A microactuator mounting unit connected to the load beam,
In a head support mechanism having a microactuator provided on the microactuator mounting portion and a fixing portion for fixing the microactuator mounting portion to an arm of a carriage, an actuator fixing portion on the carriage side of the microactuator mounting portion may be magnetic. A head support, wherein a head-side actuator fixing portion is provided on one side with respect to the center line in the longitudinal direction of the load beam, and is connected to the other side of the center line by one flexible arm which can be extended and contracted. mechanism.
て、凸な形状とした事を特徴とするヘッド支持機構。2. The head supporting mechanism according to claim 1, wherein said arm portion is formed in a convex shape toward said micro-actuator.
出す磁気ヘッドを搭載したスライダを柔軟に支持するた
めのフレクシャと、前記スライダに適切な荷重を付与す
るためのロードビームと、前記ロードビームに連結され
たマイクロアクチュエータ搭載部と、前記マイクロアク
チュエータ搭載部をキャリッジのアームに固定するため
の固定部とを有するヘッド支持機構において、 前記マイクロアクチュエータ搭載部は、ロードビーム長
手方向中心線に対して幅方向に2分割される片側に、1
つのキャリッジ側アクチュエータ固定部と1つの磁気ヘ
ッド側アクチュエータ固定部を備え、他方側に長手方向
に対して伸縮可能な柔軟な腕部を設けたことを特徴とす
るヘッド支持機構。3. A flexure for flexibly supporting a slider equipped with a magnetic head for writing and reading information to and from a magnetic disk, a load beam for applying an appropriate load to the slider, and a In a head support mechanism having a connected microactuator mounting portion and a fixing portion for fixing the microactuator mounting portion to an arm of a carriage, the microactuator mounting portion has a width with respect to a load beam longitudinal center line. One side is divided into two in the direction
A head support mechanism comprising: a carriage-side actuator fixing portion; and a magnetic head-side actuator fixing portion, and a flexible arm portion capable of extending and contracting in a longitudinal direction is provided on the other side.
出す磁気ヘッドを搭載したスライダと、前記スライダを
柔軟に支持するためのフレクシャと、前記スライダに適
切な荷重を付与するためのロードビームと、前記ロード
ビームに連接されたマイクロアクチュエータ搭載部と、
前記マイクロアクチュエータ搭載部に設けられたマイク
ロアクチュエータと、マイクロアクチュエータ搭載部を
キャリッジのアームに固定するための固定部とを有する
ヘッド支持機構において、 前記マイクロアクチュエータ搭載部は、数本の腕部と1
個のマイクロアクチュエータで連結され、前記マイクロ
アクチュエータはロードビーム長手方向中心線に対して
幅方向に2分割される片側に設けられ、前記腕部は前記
マイクロアクチュエータ方向に凸な形状としたことを特
徴とするヘッド支持機構。4. A slider having a magnetic head for writing and reading information to and from a magnetic disk, a flexure for flexibly supporting the slider, and a load beam for applying an appropriate load to the slider. A microactuator mounting unit connected to the load beam,
In a head support mechanism having a microactuator provided on the microactuator mounting portion and a fixing portion for fixing the microactuator mounting portion to an arm of a carriage, the microactuator mounting portion includes several arms and one arm.
The micro-actuator is provided on one side divided into two in the width direction with respect to the center line in the longitudinal direction of the load beam, and the arm portion has a shape convex in the micro-actuator direction. Head support mechanism.
に情報を書込み、読み出しをする磁気ヘッドと、磁気ヘ
ッドを支持するサスペンションと、サスペンションを保
持するキャリッジと、前記キャリッジを駆動する粗動ア
クチュエータと、磁気ヘッドを駆動する微動用のマイク
ロアクチュエータを有し、マイクロアクチュエータ搭載
部をキャリッジとサスペンションの間に設けた磁気ディ
スク装置において、 前記マイクロアクチュエータ搭載部に窓部を設け、窓部
のサスペンションの長手方向中心線と交差しない外枠部
をサスペンション長手方向に伸縮可能な柔軟な連結部材
で構成し、前記外枠部の間に前記マイクロアクチュエー
タを設置し、前記マイクロアクチュエータの取付け位置
をサスペンション長手方向中心線により2分割される搭
載部の片側に設けた、ことを特徴とする磁気ディスク装
置。5. A disk for recording information, a magnetic head for writing and reading information on and from the disk, a suspension for supporting the magnetic head, a carriage for holding the suspension, and a coarse actuator for driving the carriage. A magnetic disk drive having a microactuator for fine movement for driving a magnetic head, wherein a microactuator mounting portion is provided between a carriage and a suspension, wherein a window portion is provided in the microactuator mounting portion; An outer frame portion that does not intersect with the direction center line is formed of a flexible connecting member that can expand and contract in the suspension longitudinal direction, the microactuator is installed between the outer frame portions, and the mounting position of the microactuator is set at the center of the suspension longitudinal direction. Divided by line A magnetic disk device provided on one side of a mounting portion.
て、 ディスク中心側の前記外枠部をディスク中心から遠ざか
る方向に凸形状としたことを特徴とする磁気ディスク装
置。6. The magnetic disk drive according to claim 5, wherein the outer frame portion on the center side of the disk has a convex shape in a direction away from the center of the disk.
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