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JP2002076845A - 能動インダクタ - Google Patents

能動インダクタ

Info

Publication number
JP2002076845A
JP2002076845A JP2000266900A JP2000266900A JP2002076845A JP 2002076845 A JP2002076845 A JP 2002076845A JP 2000266900 A JP2000266900 A JP 2000266900A JP 2000266900 A JP2000266900 A JP 2000266900A JP 2002076845 A JP2002076845 A JP 2002076845A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
field
source
effect transistor
transistor
gate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000266900A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Kunikiyo
辰也 國清
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2000266900A priority Critical patent/JP2002076845A/ja
Priority to US09/805,925 priority patent/US6737944B2/en
Priority to DE10122359A priority patent/DE10122359A1/de
Priority to TW090111409A priority patent/TW503614B/zh
Priority to KR10-2001-0027254A priority patent/KR100428276B1/ko
Priority to CNB011191953A priority patent/CN1229918C/zh
Publication of JP2002076845A publication Critical patent/JP2002076845A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H11/00Networks using active elements
    • H03H11/46One-port networks
    • H03H11/48One-port networks simulating reactances

Landscapes

  • Networks Using Active Elements (AREA)
  • Amplifiers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 損失の低い能動インダクタを提供する。 【解決手段】 トランジスタM1のドレインはトランジ
スタM2のソースにコンデンサCc3を介して接続され
る。また、トランジスタM1のソースとトランジスタM
2のゲートとの間には抵抗RとコンデンサCc1の直列
接続が設けられている。またトランジスタM1のゲート
とトランジスタM2のドレインとはコンデンサCc2
介して接続されている。そしてトランジスタM2のドレ
イン、トランジスタM1のゲート、トランジスタM1の
ドレインにそれぞれ適切な直流のバイアス電位P1
2,P3を与えることにより、トランジスタM2のゲー
ト及びソースの間で能動インダクタが得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は能動インダクタに関
し、特に電界効果トランジスタを採用した能動インダク
タに関する。
【0002】
【従来の技術】モノリシックなマイクロ波集積回路(以
下MMICs:Monolithic MicrowaveIntegrated Circu
its)では、回路間のインピーダンス整合を得たり、回
路のバンド幅を改善することが要求されている。これら
の要求を実現する為、MMICsではキャパシタやイン
ダクタが使用される。MMICsで使用されるインダク
タには、誘電体基板上に金属導体を渦巻状に形成したス
パイラルインダクタが採用されることも多かった。
【0003】スパイラルインダクタは構成が簡単である
が、大きなインダクタンスを得る為にはスパイラルイン
ダクタの形状も大きく、従って実質的な占有面積も大き
い傾向がある。また抵抗成分が高く電力消費が大きかっ
たり、スパイラルインダクタの周辺回路とクロストーク
が生じる問題があった。
【0004】スパイラルインダクタのかかる問題点を解
決する為に、能動素子であるトランジスタを用いた能動
インダクタが提案されている。能動インダクタはスパイ
ラルインダクタと比較して小型に構成でき、しかも抵抗
成分が小さいので電力消費が小さく、また周辺回路とク
ロストークがほとんどないという利点を有する。このよ
うな特徴から能動インダクタはMMICsに好適であ
る。
【0005】能動インダクタとしては、四端子網回路に
いうジャイレータと、キャパシタとの組み合わせが従来
から提案されている。ジャイレータはインピーダンスを
変換する機能を有するからである。特に電界効果トラン
ジスタは入力インピーダンスが大きい為、ジャイレータ
を構成するのに適している。電界効果トランジスタによ
って構成されたジャイレータと、キャパシタとで能動イ
ンダクタを構成する技術は、例えば特開平4−2333
12号公報に紹介されている。
【0006】しかしまた、ジャイレータによってキャパ
シタのインピーダンスを変換する構成ではないタイプの
能動インダクタも提案されている。図23は例えば“Br
oad-Band Monolithic Active Inductor and Its Applic
ation to Miniaturized Wide-Band Amplifiers”, Hara
et al., IEEE Transactions on Microwave Theory and
Techniques, MTT-36, No.12, pp.1920-24(Dec.1988)に
紹介された能動インダクタ200の構成を示す回路図で
ある。トランジスタM1,M2はいずれも電界効果トラ
ンジスタであって、記号D,G,Sはそれぞれドレイ
ン、ゲート、ソースを示している。トランジスタM1の
ソースはトランジスタM2のゲートと接続され、トラン
ジスタM1のドレインはトランジスタM2のソースと接
続されている。そしてトランジスタM1のゲートとトラ
ンジスタM2のドレインとの間には抵抗Rが接続されて
いる。そしてトランジスタM2のドレインとゲートの間
のインピーダンスがインダクタとして機能する。但し、
トランジスタM1,M2が動作する為のバイアス回路は
省略している。
【0007】電界効果トランジスタM1,M2は、その
いずれもが図24で示される等価回路で表すことができ
る。即ちトランジスタM1,M2の動作特性は、ソース
・ゲート間には寄生キャパシタCgsが設けられ、ソース
に対するゲートの電圧をVgsとすると、ドレインからソ
ースへと電流gmgsを流す電流源が設けられた等価回
路の動作で近似できる(gm>0:トランスコンダクタ
ンス)。なお、簡単の為、回路中の符号は、その示す素
子の値、その示す電位の値、その示す電流の値をも示
す。また、ある回路の動作をその等価回路の動作で近似
することを意味して、その回路を等価回路で近似する、
との表現をも採用する。
【0008】図24の等価回路を採用し、かつトランジ
スタM1,M2についての等価回路中の素子であること
を明確にする為に、寄生キャパシタCgs、トランスコン
ダクタンスgm、ソースに対するゲートの電圧Vgsの各
々に対してそれぞれ添字1,2を付記すると、能動イン
ダクタ200は図25で示された等価回路で近似するこ
とができる。
【0009】トランジスタM2のドレインのゲートに対
する電圧をVとし、図23で示された能動インダクタに
流れる電流をI(トランジスタM2のドレインと抵抗R
との接続点へと流れ込む方向を正とする)とする。電圧
Vの角周波数をωとし、虚数単位(−1)1/2をjと表
記すると寄生キャパシタCgs1,Cgs2のアドミッタンス
はそれぞれjωCgs1,jωCgs2である。
【0010】よって図23で示された能動インダクタの
インピーダンスは
【0011】
【数1】
【0012】として表される。更にトランジスタM1,
M2が同じ特性を有する場合には、C gs1=Cgs2=C,
m1=gm2=gの関係が成立するので、式(1)は
【0013】
【数2】
【0014】として表される。ここでωT=g/Cであ
る。
【0015】式(2)の右辺の右側の項の分母は1+j
(ω/ωT3であり、
【0016】
【数3】
【0017】の条件下で
【0018】
【数4】
【0019】と近似できる。
【0020】更に
【0021】
【数5】
【0022】の条件下では式(3)の条件も満足され、
式(4)は
【0023】
【数6】
【0024】と近似できる。
【0025】従って式(5)の条件下では、図23で示
された能動インダクタは、図26に示されるように、理
想的なインダクタCR/gに対して抵抗成分(1/R)
が直列に接続された回路で近似できる。
【0026】
【発明が解決しようとする課題】しかし、トランジスタ
M1,M2内での抵抗成分を無視した図24の等価回路
を採用しても、式(6)のように直列抵抗成分が存在す
る。これは能動インダクタ200が、原理的に損失は不
可避であることを示している。
【0027】本発明は上記の事情に鑑みて為されたもの
で、損失の低い能動インダクタを提供することを第1の
目的とする。また、更にはインダクタンスが所定の範囲
内に収まる範囲、即ち帯域が広い能動インダクタを提供
することを第2の目的とする。
【0028】
【課題を解決するための手段】この発明のうち請求項1
にかかるものは能動インダクタであって、いずれもソー
ス、ゲート、ドレインを有する第1及び第2の電界効果
トランジスタを備え、前記第1の電界効果トランジスタ
の前記ドレインは前記第2の電界効果トランジスタの前
記ソースに接続され、前記第1の電界効果トランジスタ
の前記ゲートは前記第2の電界効果トランジスタの前記
ドレインに、能動素子を介さずに接続され、前記第1の
電界効果トランジスタの前記ソースと前記第2の電界効
果トランジスタの前記ゲートとの間に設けられたフィー
ドバック路を更に備え、前記第2の電界トランジスタの
前記ゲート及び前記ソースをインダクタの2端子とす
る。
【0029】この発明のうち請求項2にかかるものは能
動インダクタであって、いずれもソース、ゲート、ドレ
インを有する第1乃至第3の電界効果トランジスタを備
え、前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレインは
前記第2の電界効果トランジスタの前記ソース及び前記
第3の電界トランジスタの前記ゲートに接続され、前記
第1の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第2の
電界効果トランジスタの前記ドレインに接続され、前記
第2の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第3の
電界効果トランジスタの前記ドレインに接続され、前記
第1の電界効果トランジスタの前記ソースと前記第3の
電界効果トランジスタの前記ソースとの間に設けられた
フィードバック路を更に備え、前記第3の電界トランジ
スタの前記ゲート及び前記ソースをインダクタの2端子
とする。
【0030】この発明のうち請求項3にかかるものは能
動インダクタであって、いずれもソース、ゲート、ドレ
インを有する第1乃至第4の電界効果トランジスタを備
え、前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレインは
前記第2の電界効果トランジスタの前記ソース並びに前
記第3の電界トランジスタの前記ゲート及び前記第4の
電界トランジスタの前記ゲートに接続され、前記第1の
電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第2の電界効
果トランジスタの前記ドレインに接続され、前記第2の
電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第3の電界効
果トランジスタの前記ドレインに接続され、前記第3の
電界効果トランジスタの前記ソースは前記第4の電界効
果トランジスタの前記ソースに接続され、前記第1の電
界効果トランジスタの前記ソースと前記第4の電界効果
トランジスタの前記ドレインとの間に設けられたフィー
ドバック路を更に備え、前記第4の電界効果トランジス
タの前記ソース及び前記ドレインは同電位に設定され、
前記第4の電界効果トランジスタの前記ドレインと前記
フィードバック路との接続点に流れ込む電流と、前記第
4の電界効果トランジスタの前記ソースと前記第2の電
界効果トランジスタの前記ソースとの接続点において流
れ込む電流とは独立に設定され、前記第4の電界トラン
ジスタの前記ゲート及び前記ドレインをインダクタの2
端子とする。
【0031】この発明のうち請求項4にかかるものは、
請求項2又は請求項3に記載の能動インダクタであっ
て、前記インダクタの2端子に対して直列に接続される
抵抗を更に備える。
【0032】この発明のうち請求項5にかかるものは、
請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の能動イン
ダクタであって、前記フィードバック路には、前記第1
の電界トランジスタの前記ソースに接続されたソース
と、互いに共通に接続されて前記インダクタの前記2端
子の一方に接続されるゲート及びドレインとを有するフ
ィードバック用の電界効果トランジスタを更に備える。
【0033】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1は本発明の実
施の形態1にかかる能動インダクタ101の構成を示す
回路図である。電界効果トランジスタM1,M2の双方
について、記号D,G,Sはそれぞれドレイン、ゲー
ト、ソースを示している。なお本発明でソースは、トラ
ンジスタのボディ(バックゲート)に接続される。
【0034】トランジスタM1のドレインはトランジス
タM2のソースにコンデンサCc3を介して接続され
る。また、トランジスタM1のソースとトランジスタM
2のゲートとの間には抵抗RとコンデンサCc1の直列
接続が設けられている。またトランジスタM1のゲート
とトランジスタM2のドレインとはコンデンサCc2
介して接続されている。そしてトランジスタM2のドレ
イン、トランジスタM1のゲート、トランジスタM1の
ドレインにそれぞれ適切な直流のバイアス電位P 1
2,P3を与えることにより、トランジスタM2のゲー
ト及びソースの間で能動インダクタが得られる。
【0035】かかるバイアス電位は、図示されないが、
そのアドミッタンスが後述する回路の解析において無視
できる程度に小さくなるように、大きく設定されたイン
ダクタンスを有するインダクタを介して外部から供給す
ることができる。またコンデンサCc1,Cc2,Cc3
は直流分をカットしてバイアス電位同士の衝突を回避す
る等の為に設けられている。従って、コンデンサC
1,Cc2,Cc3の値は、そのインピーダンスが後述
する回路の解析において無視できる程度に小さくなるよ
うに、大きく設定することができる。
【0036】さて、能動インダクタ101に流れる電流
をI(トランジスタM2のゲートと抵抗Rの接続点へと
流れ込む方向を正とする)とする。また従来の技術と同
様にして、トランジスタM1,M2のトランスコンダク
タンスをそれぞれgm1,gm2とし、トランジスタM1,
M2のソース・ゲート間に寄生するキャパシタをそれぞ
れCgs1,Cgs2として、図24に示された等価回路を採
用すると、能動インダクタ101の等価回路は図2に示
される。
【0037】トランジスタM2のソースを基準としたト
ランジスタM2のゲートの電圧をVとし、その角周波数
をω(=2πf:fは周波数)とする。V=Vgs2が成
立するので、トランジスタM1のソースから抵抗Rへと
流れる電流をIRとすると、
【0038】
【数7】
【0039】が成立する。但し、第1式乃至第3式はそ
れぞれ図1に示されるノードN1〜N3において成立す
る。よってトランジスタM2のゲート・ソース間の外部
から見たアドミッタンスは
【0040】
【数8】
【0041】として表される。即ち能動インダクタ10
1の等価回路は、図3に示されるように値Cgs1/(g
m1m2)のインダクタと、値gm2 -1の抵抗と、値Cgs2
のキャパシタの並列接続として表現できる。そして抵抗
Rの値には依らない。値Cgs1/(gm1m2)のインダ
クタと、値Cgs2のキャパシタの並列接続によって構成
される共振回路の反共振周波数をfT1として
【0042】
【数9】
【0043】を導入すると、トランジスタM2のゲート
・ソース間の外部から見たインピーダンスは、式(8)
の逆数を採って
【0044】
【数10】
【0045】と表される。
【0046】図4及び図5は式(10)に基づくシミュ
レーションの結果を示すグラフであり、それぞれ能動イ
ンダクタ101のインダクタンス成分及び直列抵抗成分
を示している。ここではトランジスタM1,M2のトラ
ンスコンダクタンスgm1,g m2としていずれも600m
S、寄生キャパシタCgs1,Cgs2としていずれも9.6
fFとした。この場合反共振周波数fTは約100GH
zとなる。例えばゲート長及びゲート幅はそれぞれ0.
1μm,10μmであり、ゲート絶縁膜の厚さはシリコ
ン酸化膜の誘電率を用いて換算して1.8nmである。
【0047】図4から、反共振周波数fT1よりも低い周
波数では、周波数が増大するほどインダクタンスは減少
し、1GHzでのインダクタンス値(Cgs1/(gm1
m2)=約0.27nH)から連続して±10%の変動に
収まる周波数は53GHzとなる。
【0048】上記と同じ仕様のトランジスタM1,M2
を用いて図23に示された能動インダクタ200の特性
の式(2)に基づいたシミュレーション結果を図6及び
図7に示す。図6及び図7はそれぞれインダクタンス分
及び抵抗分を示している。但し抵抗値Rとして180Ω
を用いた。
【0049】1GHzでのインダクタンス値は式(6)
からCR/g=約0.29nHと定まり、本実施の形態
の場合とほぼ等しい。そして±10%の変動に収まる周
波数は56GHzとなる。従って、インダクタ成分とし
ての特性では、本実施の形態は従来の技術とほぼ同等の
性能を得ていることが分かる。
【0050】しかし、図7に示されるように、能動イン
ダクタ200の直列抵抗成分は、式(6)から得られる
直列抵抗成分1/g=約167Ω以上の値を採る。一
方、本実施の形態に示された能動インダクタの直列抵抗
成分は図5に示されるように、1/gm2=約167Ω以
下の値を採る。従って、損失の低い能動インダクタを得
ることができる。
【0051】なお、本実施の形態ではトランジスタM1
のソースとトランジスタM2のゲートとの間に設けられ
るフィードバック路に抵抗Rが介在するが、式(8)に
示されるように、抵抗Rの値は能動インダクタの動作に
影響を与えない。よって抵抗Rを、他のトランジスタM
1,M2の諸元とは独立して設計することができる利点
がある。抵抗Rの値が零であってもよい。更に一般には
この抵抗Rを他の2端子素子、例えば容量性素子、誘導
性素子に置換することもできる。
【0052】図8は本実施の形態の変形にかかる能動イ
ンダクタ102の構成を示す回路図である。能動インダ
クタ101における抵抗Rに置換する2端子素子とし
て、トランジスタM2のゲートに共通に接続されるドレ
イン及びゲート、並びにトランジスタM1のソースに接
続されたソースを備えた電界効果トランジスタMfを採
用した場合に相当する。この場合にもトランジスタM1
のソース・ドレイン間に流れる電流は図1に示された場
合と同様であり、これと等しい電流がトランジスタMf
のソース・ドレイン間に流れる電流と、トランジスタM
fのソース・ゲート間の寄生容量Cgsfに流れる電流と
の和に等しくなるように、トランジスタMfのソース・
ゲート間の電圧が定まる。但し、トランジスタMfのソ
ースには適切な直流のバイアス電位P4を与える必要が
ある。
【0053】実施の形態2.図9は本発明の実施の形態
2にかかる能動インダクタ103の構成を示す回路図で
ある。能動インダクタ103は、図1に示された能動イ
ンダクタ101に対してトランジスタM2のゲートと抵
抗Rとの間に電界効果トランジスタM3を追加した構成
を有している。より具体的には、直流分をカットしてバ
イアス電位同士の衝突を回避する等の為に設けられたコ
ンデンサCc4を介して、トランジスタM2のゲートに
はトランジスタM3のドレインが接続され、トランジス
タM1のソースにはコンデンサCc1と抵抗Rの直列接
続を介してトランジスタM3のソースが接続されてい
る。トランジスタM3のゲートはトランジスタM2のソ
ースに接続されている。
【0054】コンデンサCc4の両端、即ちトランジス
タM2のゲート及びトランジスタM3のドレインには、
それぞれ適切な直流のバイアス電位P5,P6を与えるこ
とにより、トランジスタM3のゲート及びソースの間で
能動インダクタが得られる。
【0055】さて、能動インダクタ103に流れる電流
をI(トランジスタM3のソースと抵抗Rの接続点へと
流れ込む方向を正とする)とする。またトランジスタM
3のトランスコンダクタンスをgm3とし、トランジスタ
M3のソース・ゲート間に寄生するキャパシタをCgs3
として、図24に示された等価回路を採用すると、能動
インダクタ103の等価回路は図10に示される。
【0056】トランジスタM3のゲートを基準としたト
ランジスタM3のソースの電圧をVとし、その角周波数
をω(=2πf:fは周波数)とする。V=−Vgs3
成立するので、トランジスタM1のソースから抵抗Rへ
と流れる電流をIRとすると、
【0057】
【数11】
【0058】が成立する。但し、第1式乃至第4式はそ
れぞれ図9に示されるノードN1〜N4において成立す
る。よって外部から見たトランジスタM3のゲート・ソ
ース間のアドミッタンスは
【0059】
【数12】
【0060】として表される。即ち能動インダクタ10
3の等価回路は、値Cgs2/(gm2m 3)のインダクタ
と、後述する値の抵抗と、値Cgs3のキャパシタの並列
接続として表現できる。そして抵抗Rの値には依らな
い。値Cgs2/(gm2m3)のインダクタと、値Cgs3
キャパシタの並列接続によって構成される共振回路の反
共振周波数をfT2として
【0061】
【数13】
【0062】を導入すると、並列接続される抵抗の値は
m3 -1[1−(fT1/f)2-1で表される。図11
に、式(12)及び(13)に基づいて得られる、能動
インダクタ103の等価回路を示す。
【0063】トランジスタM3のゲート・ソース間の外
部から見たインピーダンスは、式(12)の逆数を採っ
【0064】
【数14】
【0065】と表される。
【0066】図12及び図13は式(14)に基づくシ
ミュレーションの結果を示すグラフであり、それぞれ能
動インダクタ103のインダクタンス成分及び直列抵抗
成分を示している。ここではトランジスタM1〜M3の
トランスコンダクタンスgm1,gm2、gm3としていずれ
も600mS、寄生キャパシタCgs1,Cgs2、Cgs3
していずれも9.6fFとした。この場合反共振周波数
T1,fT2はいずれも約100GHzとなる。例えばゲ
ート長及びゲート幅はそれぞれ0.1μm,10μmで
あり、ゲート絶縁膜の厚さはシリコン酸化膜の誘電率を
用いて換算して1.8nmである。
【0067】図12、図13に示されるように、また式
(14)から分かるように、反共振周波数fT1,fT2
りも低い周波数では、周波数が増大するほどインダクタ
ンス成分は増大する。また抵抗成分は負であって、周波
数が増大するほどその絶対値が増大する。
【0068】周波数が非常に低い部分では、等価回路に
おいてインダクタに並列接続された抵抗の値が非常に小
さくなるので、能動インダクタ103のインダクタ成分
の帯域は広く採れない。しかし、反共振周波数よりも低
い周波数では直列抵抗成分もその値が負となるので、外
部から直列に抵抗を接続することによって、損失を小さ
くすることができる。図14に能動インダクタ103に
対して直列に可変抵抗Rvarを接続した回路を例示す
る。このような能動インダクタ103と可変抵抗Rvar
の直列接続も能動インダクタ103aとして把握するこ
とができる。
【0069】なお、式(14)から分かるように、本実
施の形態においても抵抗Rの値は能動インダクタの動作
に影響を与えない。よって実施の形態1と同様に、トラ
ンジスタM1のソースとトランジスタM3のソースとの
間に設けられるフィードバック路において、抵抗Rを他
の2端子素子、例えば容量性素子、誘導性素子に置換す
ることもでき、更には図8に示された変形のようにして
トランジスタMfへと置換することもできる。
【0070】実施の形態3.図15は本発明の実施の形
態3にかかる能動インダクタ104の構成を示す回路図
である。能動インダクタ104は、図9に示された能動
インダクタ103に対してトランジスタM3のソースと
抵抗Rとの間に電界効果トランジスタM4を追加した構
成を有している。より具体的には、トランジスタM3の
ソースにはトランジスタM4のソースが接続され、トラ
ンジスタM1のソースにはコンデンサCc1と抵抗Rの
直列接続を介してトランジスタM4のドレインが接続さ
れている。トランジスタM4のゲートはトランジスタM
2のソースに接続されている。
【0071】トランジスタM2のソース及びトランジス
タM4のソースは、トランジスタM4のドレインと同電
位に固定されることにより、トランジスタM4のゲート
及びドレインの間で能動インダクタが得られる。但し、
トランジスタM4のドレインと抵抗Rとの接続点に流れ
込む電流と、トランジスタM4のソースとトランジスタ
M2のソースの接続点において流れ込む電流とは独立に
設定する。
【0072】さて、能動インダクタ104に流れる電流
をI(トランジスタM4のドレインと抵抗Rの接続点へ
と流れ込む方向を正とする)とする。トランジスタM4
のトランスコンダクタンスをgm4とし、トランジスタM
4のソース・ゲート間に寄生するキャパシタをCgs4
して、図24に示された等価回路を採用すると、能動イ
ンダクタ104の等価回路は図16に示される。
【0073】トランジスタM4のゲートを基準としたト
ランジスタM4のドレインの電圧をVとし、その角周波
数をω(=2πf:fは周波数)とする。V=−Vgs3
=ーVgs4が成立する。トランジスタM1のソースから
抵抗Rへと流れる電流をIRとする。上述のように電流
を独立に設定することにより、トランジスタM2のソー
スとトランジスタM4のソースの接続点において電流は
連続しないので、
【0074】
【数15】
【0075】が成立する。但し、第1式乃至第4式はそ
れぞれ図15に示されるノードN1〜N4において成立
する。よって外部から見たトランジスタM4のゲート・
ドレイン間のアドミッタンスは
【0076】
【数16】
【0077】として表される。即ち能動インダクタ10
4の等価回路は抵抗Rの値には依らない。従って、実施
の形態1と同様に、トランジスタM1のソースとトラン
ジスタM4のドレインとの間に設けられるフィードバッ
ク路において、抵抗Rを他の2端子素子、例えば容量性
素子、誘導性素子に置換することもでき、更には図8に
示された変形のようにしてトランジスタMfへと置換す
ることもできる。
【0078】式(9)を導入すると、上記等価回路は図
17に示されるように、値Cgs2/(gm2m3)のイン
ダクタと、抵抗gm3 -1[(−gm4/gm3)−(fT1
f)2-1との並列接続として表現される。
【0079】トランジスタM4のゲート・ドレイン間の
外部から見たインピーダンスは、式(16)の逆数を採
って
【0080】
【数17】
【0081】と表される。
【0082】図18及び図19は式(17)に基づくシ
ミュレーションの結果を示すグラフであり、それぞれ能
動インダクタ104のインダクタンス成分及び直列抵抗
成分を示している。ここではトランジスタM1〜M4の
トランスコンダクタンスgm1,gm2,gm3,gm4として
いずれも600mS、寄生キャパシタCgs1,Cgs2、C
gs3,Cgs4としていずれも9.6fFとした。実施の形
態2と同様に、fT1,fT2はいずれも約100GHzと
なり、例えばゲート長及びゲート幅はそれぞれ0.1μ
m,10μmであり、ゲート絶縁膜の厚さはシリコン酸
化膜の誘電率を用いて換算して1.8nmである。
【0083】図18に示されるように、インダクタンス
成分は100GHz近辺でほぼ平坦となる特性を有し、
100GHzにおけるインダクタンス値に対して10%
以内に収まるインダクタンス値は、68〜100GHz
(帯域32GHz)において得られる。
【0084】また図19に示されるように、実施の形態
2と類似して抵抗成分は負であって、周波数が増大する
ほどその絶対値が増大する。従って、外部から直列に抵
抗を接続することによって、損失を小さくすることがで
きる。
【0085】図20に能動インダクタ104に対して直
列に可変抵抗Rvarを接続した回路を例示する。このよ
うな能動インダクタ104と可変抵抗Rvarの直列接続
も能動インダクタ104aとして把握することができ
る。
【0086】各トランジスタのサイズ、特に能動インダ
クタ101から見て能動インダクタ103,104にお
いて追加されるトランジスタM3,M4のサイズを制御
することにより、インダクタンス成分や直列抵抗成分の
値及びその周波数特性を制御することができる。式(1
6),(17)に示されるように、本実施の形態の特性
には寄生キャパシタCgs3,Cgs4の影響はない。従っ
て、寄生キャパシタCgs 3,Cgs4を考慮することなく、
トランジスタM3,M4のサイズを設計してトランスコ
ンダクタンスgm3,gm4を制御することができる。
【0087】図21及び図22はいずれもトランジスタ
M4のトランスコンダクタンスgm4をパラメータとして
変化させた場合のグラフであり、それぞれインダクタン
ス成分及び直列抵抗成分の値を示す。但し、トランジス
タM3のトランスコンダクタンスgm3を、トランジスタ
M1,M2のトランスコンダクタンスgm1,gm2の1%
の値に固定した。
【0088】図21においては、グラフQ1,Q2
3,Q4,Q5は、gm4/gm3の値がそれぞれ1,1.
2,1.5,2,3の場合に相当する。インダクタンス
成分の値が連続して±10%の範囲内に収まる周波数帯
域は、gm4/gm3=1の場合には60〜100GHzで
あり、gm4/gm3=1.2の場合には55〜100GH
zであり、gm4/gm3=1.5の場合には50〜100
GHzであり、gm4/gm3=2の場合には44〜100
GHzであり、gm4/gm3=3の場合には36〜92G
Hzであって、従来の場合以上に帯域を広げることも可
能である。但し、そのインダクタンスの値自体は、gm4
/gm3が増大するに伴って減少する。
【0089】また、図22においてはグラフS1,S2
3,S4,S5は、gm4/gm3の値がそれぞれ1,1.
2,1.5,2,3の場合に相当する。直列抵抗成分の
値の絶対値も、gm4/gm3が増大するに伴って減少す
る。
【0090】
【発明の効果】以上のようにして、請求項1乃至請求項
3にかかる能動インダクタによれば、能動インダクタの
直列抵抗成分を低下させることができる。そして請求項
5にかかる能動インダクタのように、フィードバック路
にゲートとドレインを接続したフィードバック用の電界
効果トランジスタを設けることもできる。
【0091】特に請求項2及び請求項3にかかる能動イ
ンダクタでは、負性抵抗が生じるので、請求項4にかか
る能動インダクタのように、外部から抵抗を直列に接続
し、その直列抵抗を制御することができる。
【0092】特に請求項3にかかる能動インダクタで
は、第3及び第4の電界トランジスタの少なくともいず
れか一方を制御することによりその特性、例えば帯域を
制御することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1にかかる能動インダク
タの構成を示す回路図である。
【図2】 本発明の実施の形態1にかかる能動インダク
タの等価回路を示す回路図である。
【図3】 本発明の実施の形態1にかかる能動インダク
タの等価回路を示す回路図である。
【図4】 本発明の実施の形態1にかかる能動インダク
タのインダクタンス成分を示すグラフである。
【図5】 本発明の実施の形態1にかかる能動インダク
タの直列抵抗成分を示すグラフである。
【図6】 従来の技術にかかる能動インダクタのインダ
クタンス成分を示すグラフである。
【図7】 従来の技術にかかる能動インダクタの直列抵
抗成分を示すグラフである。
【図8】 本発明の実施の形態1の変形にかかる能動イ
ンダクタの構成を示す回路図である。
【図9】 本発明の実施の形態2にかかる能動インダク
タの構成を示す回路図である。
【図10】 本発明の実施の形態2にかかる能動インダ
クタの等価回路を示す回路図である。
【図11】 本発明の実施の形態2にかかる能動インダ
クタの等価回路を示す回路図である。
【図12】 本発明の実施の形態2にかかる能動インダ
クタのインダクタンス成分を示すグラフである。
【図13】 本発明の実施の形態2にかかる能動インダ
クタの直列抵抗成分を示すグラフである。
【図14】 本発明の実施の形態2の変形にかかる能動
インダクタの構成を示す回路図である。
【図15】 本発明の実施の形態3にかかる能動インダ
クタの構成を示す回路図である。
【図16】 本発明の実施の形態3にかかる能動インダ
クタの等価回路を示す回路図である。
【図17】 本発明の実施の形態3にかかる能動インダ
クタの等価回路を示す回路図である。
【図18】 本発明の実施の形態3にかかる能動インダ
クタのインダクタンス成分を示すグラフである。
【図19】 本発明の実施の形態3にかかる能動インダ
クタの直列抵抗成分を示すグラフである。
【図20】 本発明の実施の形態3の変形にかかる能動
インダクタの構成を示す回路図である。
【図21】 本発明の実施の形態3の変形にかかる能動
インダクタのインダクタンス成分を示すグラフである。
【図22】 本発明の実施の形態3の変形にかかる能動
インダクタの直列抵抗成分を示すグラフである。
【図23】 従来の技術を示す回路図である。
【図24】 電界効果トランジスタの等価回路の回路図
である。
【図25】 従来の技術を示す等価回路の回路図であ
る。
【図26】 従来の技術を示す等価回路の回路図であ
る。
【符号の説明】
M1〜M4,Mf 電界効果トランジスタ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 いずれもソース、ゲート、ドレインを有
    する第1及び第2の電界効果トランジスタを備え、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレインは前記
    第2の電界効果トランジスタの前記ソースに接続され、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第
    2の電界効果トランジスタの前記ドレインに、能動素子
    を介さずに接続され、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ソースと前記第
    2の電界効果トランジスタの前記ゲートとの間に設けら
    れたフィードバック路を更に備え、 前記第2の電界トランジスタの前記ゲート及び前記ソー
    スをインダクタの2端子とする能動インダクタ。
  2. 【請求項2】 いずれもソース、ゲート、ドレインを有
    する第1乃至第3の電界効果トランジスタを備え、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレインは前記
    第2の電界効果トランジスタの前記ソース及び前記第3
    の電界トランジスタの前記ゲートに接続され、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第
    2の電界効果トランジスタの前記ドレインに接続され、 前記第2の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第
    3の電界効果トランジスタの前記ドレインに接続され、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ソースと前記第
    3の電界効果トランジスタの前記ソースとの間に設けら
    れたフィードバック路を更に備え、 前記第3の電界トランジスタの前記ゲート及び前記ソー
    スをインダクタの2端子とする能動インダクタ。
  3. 【請求項3】 いずれもソース、ゲート、ドレインを有
    する第1乃至第4の電界効果トランジスタを備え、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ドレインは前記
    第2の電界効果トランジスタの前記ソース並びに前記第
    3の電界トランジスタの前記ゲート及び前記第4の電界
    トランジスタの前記ゲートに接続され、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第
    2の電界効果トランジスタの前記ドレインに接続され、 前記第2の電界効果トランジスタの前記ゲートは前記第
    3の電界効果トランジスタの前記ドレインに接続され、 前記第3の電界効果トランジスタの前記ソースは前記第
    4の電界効果トランジスタの前記ソースに接続され、 前記第1の電界効果トランジスタの前記ソースと前記第
    4の電界効果トランジスタの前記ドレインとの間に設け
    られたフィードバック路を更に備え、 前記第4の電界効果トランジスタの前記ソース及び前記
    ドレインは同電位に設定され、 前記第4の電界効果トランジスタの前記ドレインと前記
    フィードバック路との接続点に流れ込む電流と、前記第
    4の電界効果トランジスタの前記ソースと前記第2の電
    界効果トランジスタの前記ソースとの接続点において流
    れ込む電流とは独立に設定され、 前記第4の電界トランジスタの前記ゲート及び前記ドレ
    インをインダクタの2端子とする能動インダクタ。
  4. 【請求項4】 前記インダクタの2端子に対して直列に
    接続される抵抗を更に備える、請求項2又は請求項3に
    記載の能動インダクタ。
  5. 【請求項5】 前記フィードバック路には、 前記第1の電界トランジスタの前記ソースに接続された
    ソースと、 互いに共通に接続されて前記インダクタの前記2端子の
    一方に接続されるゲート及びドレインとを有するフィー
    ドバック用の電界効果トランジスタを更に備える、請求
    項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の能動インダク
    タ。
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