JP2002071744A - Burn-in testing device and method, and storage medium - Google Patents
Burn-in testing device and method, and storage mediumInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、一度に大量のIC
を、高温または低温にて試験するバーンイン試験装置、
試験方法及びその試験プログラムを記憶した記憶媒体に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention
A burn-in test device for testing at high or low temperature,
The present invention relates to a test method and a storage medium storing the test program.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、様々な電子機器に使用される半導
体集積回路(IC(Integrated Circuit)やLSI(La
rge Scale Integrated-circuit)等、以下総称してIC
という。)は、抵抗、コンデンサ、トランジスタ等の各
素子の働きを、印刷、蒸着等の方法により形成した回路
によって実現するが、大量生産される製品間には多少の
特性のばらつきが生じる。そのため、ICの特性が規格
を満たしているか否かを試験して良否判定することによ
り、ICの信頼性を確保する必要がある。ICは、IC
試験システムによりされる。2. Description of the Related Art Conventionally, semiconductor integrated circuits (ICs) and LSIs (Laser Integrated Circuits) used in various electronic devices have been developed.
rge Scale Integrated-circuit) etc.
That. In (2), the functions of each element such as a resistor, a capacitor, and a transistor are realized by a circuit formed by printing, vapor deposition, or the like. However, there is some variation in characteristics between mass-produced products. For this reason, it is necessary to ensure the reliability of the IC by testing whether or not the characteristics of the IC satisfy the standard to determine whether or not the characteristics are satisfactory. IC is IC
Done by the test system.
【0003】このIC試験システムの一形態として、I
Cを恒温槽の中に入れ、槽内のICに外部から電源電圧
や試験パターン信号を印加して試験するバーンイン試験
システムがある。As one form of this IC test system, I
There is a burn-in test system in which C is placed in a thermostat, and a power supply voltage or a test pattern signal is externally applied to an IC in the bath for testing.
【0004】バーンイン試験システムにおいては、IC
を収容する恒温槽内の温度を一定に設定し、ICに長時
間にわたり試験パターンを印加してストレスを加え、初
期不良を検出している。また、IC1個当たりの試験時
間が長いため、恒温槽内に数千個から1万個のICを収
容してIC1個当たりの試験時間を短縮させ、効率を上
げている。In a burn-in test system, an IC
The temperature in the thermostat chamber containing the test sample is set constant, a test pattern is applied to the IC for a long time to apply stress, and an initial failure is detected. In addition, since the test time per IC is long, thousands to 10,000 ICs are accommodated in a thermostat, thereby reducing the test time per IC and increasing the efficiency.
【0005】恒温槽内には、ICに外部から電源電圧や
試験パターン信号等を印加するために、ICを実装する
バーンインボードとよばれるボードがある。バーンイン
ボードには、1枚当たり数百個のICを実装することが
でき、また、恒温槽内には数枚から数十枚のバーンイン
ボードを収容することができる。In the thermostat, there is a board called a burn-in board on which the IC is mounted in order to externally apply a power supply voltage, a test pattern signal and the like to the IC. Hundreds of ICs can be mounted on a burn-in board, and several to several tens of burn-in boards can be accommodated in a thermostat.
【0006】一般に、ICは品種により、バーンイン試
験の際の印加電圧、試験パターン、そしてピン条件が異
なることから、各品種毎に試験プログラムを作成してい
る。また、試験プログラムはICの各機能を試験するた
めに各機能毎にテスト項目を分けて実施される。In general, a test program is created for each type of IC because the applied voltage, test pattern, and pin conditions during the burn-in test vary depending on the type of IC. In addition, the test program is executed by dividing test items for each function in order to test each function of the IC.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ICを
バーンイン試験する場合は、その機能毎にテストを実施
するが、バーンイン試験するためのピンと、機能毎のテ
ストに必要なピンとが異なる場合がある。この場合は、
それぞれのピン配置にあった2種類のバーンインボード
を使用していた。また、バーンイン試験用の試験プログ
ラムも、ICの品種毎にそれぞれ用意し、複数回以上の
工程にて試験を実施していた。そのため、多大なる試験
時間やコストが発生していた。However, when performing a burn-in test on an IC, a test is performed for each function. However, pins used for the burn-in test may be different from pins required for a test for each function. in this case,
Two types of burn-in boards corresponding to each pin arrangement were used. Also, a test program for a burn-in test is prepared for each type of IC, and the test is performed in a plurality of steps. Therefore, a large amount of test time and cost has been generated.
【0008】本発明の課題は、複数のピン配置が必要な
ICに対するバーンイン試験を行う場合についても、1
種類のバーンインボードを使用し、1回のバーンイン試
験にて試験の実施を可能とすることである。An object of the present invention is to provide a burn-in test for an IC requiring a plurality of pin arrangements.
The purpose of the present invention is to enable a test to be performed in one burn-in test using various types of burn-in boards.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、請求項1記載の発明は、恒温槽内に収容されたI
Cに対してバーンイン試験を実行するバーンイン試験装
置(例えば、図1のバーンイン試験装置10)におい
て、前記バーンイン試験を実行するための複数の試験プ
ログラムと、これら複数の試験プログラムに対応する複
数のICピン条件と、前記複数の試験プログラムの実行
順を指定するマクロプログラムと、を記憶する記憶手段
(例えば、図1のメモリ32)と、前記記憶手段から読
み出したマクロプログラムに従って前記記憶手段から順
に試験プログラムと対応するICピン条件とを読み出
し、当該順に読み出した試験プログラムとICピン条件
とに基づいてその試験実行内容を試験実行部に指示する
制御部(例えば、図1のCPU31)と、前記制御部に
指示された試験実行内容に従って試験を実行する前記試
験実行部(例えば、図1のパターン制御部2)とを備え
ることを特徴とする。Means for Solving the Problems In order to solve the above-mentioned problems, the invention according to the first aspect of the present invention is directed to a method in which I
In a burn-in test apparatus (for example, burn-in test apparatus 10 in FIG. 1) for executing a burn-in test on C, a plurality of test programs for executing the burn-in test and a plurality of ICs corresponding to the plurality of test programs are provided. A storage means (for example, the memory 32 in FIG. 1) for storing a pin condition and a macro program for designating the execution order of the plurality of test programs, and tests are sequentially performed from the storage means in accordance with the macro program read from the storage means. A control unit (for example, CPU 31 in FIG. 1) for reading a program and an IC pin condition corresponding to the program, and instructing a test execution unit on the test execution content based on the read test program and the IC pin condition in the order; The test execution unit (for example, FIG. Characterized in that it comprises a pattern control unit 2) and the.
【0010】この請求項1記載の発明によれば、1回の
バーンイン試験で、ピン条件がそれぞれ異なる複数の試
験を、1種類のバーンインボードにて実行可能となる。
そのため、複数の試験それぞれにピン条件に設定したバ
ーンインボードを用意する必要がなくなり、試験にかか
るコストや時間を軽減できる。According to the first aspect of the present invention, a plurality of tests having different pin conditions can be executed by one type of burn-in board in one burn-in test.
Therefore, it is not necessary to prepare a burn-in board set to the pin condition for each of the plurality of tests, and the cost and time required for the tests can be reduced.
【0011】また、請求項2記載の発明は、請求項1記
載のバーンイン試験装置(例えば、図1のバーンイン試
験装置10)において、前記制御部は、前記試験実行部
による前記複数の試験実行結果をまとめて、前記マクロ
プログラムに従った試験実行結果を作成することを特徴
とする。According to a second aspect of the present invention, in the burn-in test apparatus according to the first aspect (for example, the burn-in test apparatus 10 of FIG. 1), the control unit controls the plurality of test execution results by the test execution unit. And generating a test execution result according to the macro program.
【0012】この請求項2記載の発明によれば、オペレ
ータは、マクロプログラムの実行のみで、ピン条件が異
なる複数の試験の実行による試験結果を、1つの試験結
果として得ることができる。According to the second aspect of the present invention, the operator can obtain a test result by executing a plurality of tests having different pin conditions as one test result only by executing the macro program.
【0013】[0013]
【発明の実施の形態】以下、図1〜図3を参照して実施
の形態を詳細に説明する。まず構成を説明する。図1
は、本発明を適用したバーンイン試験装置10の構成を
示すブロック図であり、同図において、バーンイン試験
装置10は、恒温槽1、パターン制御部2、制御コンピ
ュータ3により構成される。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment will be described below in detail with reference to FIGS. First, the configuration will be described. FIG.
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a burn-in test apparatus 10 to which the present invention is applied. In the figure, the burn-in test apparatus 10 includes a thermostat 1, a pattern control unit 2, and a control computer 3.
【0014】恒温槽1は、バーンイン試験を行うICを
実装する複数枚のバーンインボード11を収容する。The thermostat 1 houses a plurality of burn-in boards 11 on which ICs for performing a burn-in test are mounted.
【0015】パターン制御部2は、ドライバ部21、コ
ンパレータ部22、パターン発生部23、及びこれら各
部を制御する制御部24により構成される。The pattern control section 2 includes a driver section 21, a comparator section 22, a pattern generation section 23, and a control section 24 for controlling these sections.
【0016】パターン発生部23は、制御部24の指示
に従い、バーンインボード11に実装されたICに印加
する試験パターンを発生する。ドライバ部21は、制御
部24より指示された試験プログラムに基づき、パター
ン発生部23にて発生された試験パターンをバーンイン
ボード11に実装されたICに印加し、バーンイン試験
を実行する。The pattern generator 23 generates a test pattern to be applied to an IC mounted on the burn-in board 11 in accordance with an instruction from the controller 24. The driver unit 21 applies a test pattern generated by the pattern generation unit 23 to an IC mounted on the burn-in board 11 based on a test program instructed by the control unit 24, and executes a burn-in test.
【0017】制御部24は、制御コンピュータ3のCP
U31に指示された試験プログラムに従い、パターン発
生部23に試験パターンを発生させるとともに、ドライ
バ部21に、指示された試験プログラムに基づくバーン
イン試験を実行させる。そして、バーンイン試験の実行
により得られた試験結果を、CPU31に出力する。The control unit 24 controls the CP of the control computer 3
In accordance with the test program instructed by U31, the pattern generation unit 23 generates a test pattern and causes the driver unit 21 to execute a burn-in test based on the instructed test program. Then, a test result obtained by executing the burn-in test is output to the CPU 31.
【0018】制御コンピュータ3は、CPU31、メモ
リ32により構成され、メモリ32は、マクロプログラ
ム、ピン設定用のI/Oピン情報、及び、ICの品種毎
の試験プログラムを記憶する。The control computer 3 includes a CPU 31 and a memory 32. The memory 32 stores a macro program, I / O pin information for pin setting, and a test program for each type of IC.
【0019】図2は、マクロプログラム「XYZ00
1.MIX」の設定例を示す図である。同図に示すよう
に、マクロプログラムは、バーンインボード11に実装
されるICの品種毎に適する試験プログラム(ABC1
23.DEV、DEF446.DEVなど)を、その試
験実行順に列挙する。これらの試験プログラムは、それ
ぞれにピン情報を定義しており、試験プログラム実行時
に、このピン情報に従って、ピン条件が設定される。FIG. 2 shows a macro program “XYZ00”
1. MIX "is a diagram showing a setting example. As shown in the figure, the macro program is a test program (ABC1) suitable for each type of IC mounted on the burn-in board 11.
23. DEV, DEF446. DEV etc.) are listed in the test execution order. Each of these test programs defines pin information, and when executing the test program, pin conditions are set according to the pin information.
【0020】CPU31は、マクロプログラムに従っ
て、メモリ32から試験プログラムを順に読み出し、定
義されているピン情報に従って、試験プログラム実行時
のピン条件を設定する。そして、パターン制御部2に、
読み出した試験プログラムの実行を指示する。また、こ
の試験プログラムのパターン制御部2における実行によ
り得られた試験結果を格納した結果ファイルを作成す
る。The CPU 31 sequentially reads out the test programs from the memory 32 according to the macro program, and sets pin conditions at the time of executing the test program according to the defined pin information. Then, the pattern control unit 2
Instructs execution of the read test program. In addition, a result file storing test results obtained by executing the test program in the pattern control unit 2 is created.
【0021】次に動作を説明する。図1に示したバーン
イン試験装置10の動作を、図3に示すフローチャート
に基づいて説明する。尚、バーンイン試験の開始前に、
試験対象となるICに適したマクロプログラム(図2参
照)を予め作成し、メモリ32に格納されているものと
する。Next, the operation will be described. The operation of the burn-in test apparatus 10 shown in FIG. 1 will be described based on a flowchart shown in FIG. Before starting the burn-in test,
It is assumed that a macro program (see FIG. 2) suitable for the IC to be tested is created in advance and stored in the memory 32.
【0022】複数品種のICを実装したバーンインボー
ド11を恒温槽1内に収容し、バーンイン試験を開始す
ると(ステップS1)、CPU31は、メモリ32より
読み込んだマクロプログラムに従い(ステップS2)、
メモリ32から、1つ目の試験プログラム「ABC12
3.DEV」を読み込む(ステップS4)。それととも
に、CPU31は、I/Oピン情報「8I/O」に基づ
いてピン条件を設定し(ステップS5)、読み込んだ試
験プログラム「ABC123.DEV」の実行を、パタ
ーン制御部2の制御部24に指示する。When the burn-in board 11 on which a plurality of types of ICs are mounted is housed in the thermostat 1 and the burn-in test is started (step S1), the CPU 31 follows the macro program read from the memory 32 (step S2).
From the memory 32, the first test program “ABC12
3. "DEV" is read (step S4). At the same time, the CPU 31 sets pin conditions based on the I / O pin information “8I / O” (step S5), and executes the read test program “ABC123.DEV” by the control unit 24 of the pattern control unit 2. To instruct.
【0023】試験プログラム「ABC123.DEV」
の実行を指示された制御部24は、パターン発生部23
に、試験対象となるICの品種に適した試験パターンを
発生させるとともに、ドライバ部21に試験プログラム
「ABC123.DEV」を実行させる。Test program "ABC123.DEV"
The control unit 24 instructed to execute the pattern generation unit 23
Then, a test pattern suitable for the type of IC to be tested is generated, and the driver unit 21 executes the test program “ABC123.DEV”.
【0024】そして、制御部24は、試験プログラム
「ABC123.DEV」の実行によりコンパレータ部
22から得られた試験結果を、制御コンピュータ3のC
PU31に出力する(ステップS6)。Then, the control unit 24 transmits the test result obtained from the comparator unit 22 by executing the test program “ABC123.DEV” to the C
It outputs to PU31 (step S6).
【0025】試験プログラム「ABC123.DEV」
による試験結果を得たCPU31は、続いて、マクロプ
ログラムに従って、2つ目の試験プログラム「DEF4
56.DEV」をメモリ32から読み込み、以降同様
に、パターン制御部2に対してその実行を指示する。Test program "ABC123.DEV"
CPU 31 having obtained the test result according to the second test program “DEF4” according to the macro program.
56. DEV ”is read from the memory 32, and thereafter, the pattern controller 2 is instructed to execute the same.
【0026】このように、マクロプログラムに列挙され
ている他の全ての試験プログラムについて、順にその実
行を終了すると(ステップS3:NO)、CPU31
は、それぞれの試験プログラムの実行により得た試験結
果を出力した結果ファイルを作成する(ステップS
7)。As described above, when all the other test programs listed in the macro program have been sequentially executed (step S3: NO), the CPU 31
Creates a result file that outputs test results obtained by executing the respective test programs (step S
7).
【0027】以上のようにバーンイン試験装置10を構
成することにより、1回のバーンイン試験で、スクリー
ニングと機能テストのピン条件が異なるICの試験が可
能となる。また、1枚のバーンインボードで、複数品種
のICのバーンイン試験が可能となるため、複数のバー
ンインボードを用意する必要がなくなり、コストや試験
時間を軽減できる。By configuring the burn-in test apparatus 10 as described above, a single burn-in test can test an IC having different pin conditions for screening and function tests. Further, since a burn-in test for a plurality of types of ICs can be performed with a single burn-in board, there is no need to prepare a plurality of burn-in boards, and costs and test time can be reduced.
【0028】また、マクロプログラムにて、複数の試験
プログラムの実行順及びピン条件を定義することによ
り、オペレータにとっては、1つの試験プログラム(即
ち、マクロプログラム)のみで、ピン条件の異なる複数
の試験プログラムを容易に実行させることができる。Also, by defining the execution order and pin conditions of a plurality of test programs in a macro program, a plurality of tests having different pin conditions can be performed by an operator using only one test program (ie, a macro program). The program can be easily executed.
【0029】[0029]
【発明の効果】請求項1、3または5記載の発明によれ
ば、1回のバーンイン試験で、ピン条件がそれぞれ異な
る複数の試験を、1種類のバーンインボードにて実行可
能となる。そのため、複数の試験それぞれにピン条件に
設定したバーンインボードを用意する必要がなくなり、
試験にかかるコストや時間を軽減できる。According to the first, third or fifth aspect of the present invention, a plurality of tests having different pin conditions can be executed by one kind of burn-in board in one burn-in test. Therefore, there is no need to prepare a burn-in board set to the pin conditions for each of the multiple tests.
Test costs and time can be reduced.
【0030】請求項2、4または6記載の発明によれ
ば、請求項1、3または5記載の発明の効果に加え、オ
ペレータは、マクロプログラムの実行のみで、ピン条件
が異なる複数の試験の実行による試験結果を、1つの試
験結果として得ることができる。According to the invention described in claim 2, 4, or 6, in addition to the effects of the invention described in claim 1, 3, or 5, the operator can execute a plurality of tests having different pin conditions only by executing the macro program. The test result by execution can be obtained as one test result.
【図1】本発明を適用したバーンイン試験装置の構成を
示すブロック図。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a burn-in test apparatus to which the present invention is applied.
【図2】マクロプログラムの一例を示す図。FIG. 2 is a diagram showing an example of a macro program.
【図3】バーンイン試験装置の動作を説明するフローチ
ャート。FIG. 3 is a flowchart illustrating the operation of the burn-in test apparatus.
10 バーンイン試験装置 1 恒温槽 11 バーンインボード 2 パターン制御部 21 ドライバ部 22 コンパレータ部 23 パターン発生部 24 制御部 3 制御コンピュータ 31 CPU 32 メモリ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Burn-in test apparatus 1 Constant temperature chamber 11 Burn-in board 2 Pattern control part 21 Driver part 22 Comparator part 23 Pattern generation part 24 Control part 3 Control computer 31 CPU 32 Memory
Claims (6)
イン試験を実行するバーンイン試験装置において、 前記バーンイン試験を実行するための複数の試験プログ
ラムと、これら複数の試験プログラムに対応する複数の
ICピン条件と、前記複数の試験プログラムの実行順を
指定するマクロプログラムと、を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段から読み出したマクロプログラムに従って
前記記憶手段から順に試験プログラムと対応するICピ
ン条件とを読み出し、当該順に読み出した試験プログラ
ムとICピン条件とに基づいてその試験実行内容を試験
実行部に指示する制御部と、 前記制御部に指示された試験実行内容に従って試験を実
行する前記試験実行部と、 を備えることを特徴とするバーンイン試験装置。1. A burn-in test apparatus for executing a burn-in test on an IC housed in a thermostat, comprising: a plurality of test programs for executing the burn-in test; and a plurality of test programs corresponding to the plurality of test programs. Storage means for storing an IC pin condition and a macro program designating the execution order of the plurality of test programs; and IC pin conditions corresponding to the test program in order from the storage means in accordance with the macro program read from the storage means. And a control unit for instructing the test execution unit on the test execution contents based on the test program and the IC pin conditions read in the order, and the test execution for executing the test in accordance with the test execution contents instructed by the control unit A burn-in test apparatus, comprising:
て、 前記制御部は、前記試験実行部による前記複数の試験実
行結果をまとめて、前記マクロプログラムに従った試験
実行結果を作成することを特徴とするバーンイン試験装
置。2. The burn-in test apparatus according to claim 1, wherein the control unit collects the plurality of test execution results by the test execution unit and creates a test execution result according to the macro program. Burn-in test equipment.
イン試験を実行するバーンイン試験方法において、 前記バーンイン試験を実行するための複数の試験プログ
ラムと、これら複数の試験プログラムに対応する複数の
ICピン条件と、前記複数の試験プログラムの実行順を
指定するマクロプログラムと、を記憶する記憶工程と、 前記マクロプログラムに従って順に試験プログラムと対
応するICピン条件とを読み出し、当該順に読み出した
試験プログラムとICピン条件とに基づいてその試験実
行内容を指示する指示工程と、 前記指示された試験実行内容に従って試験を実行する試
験実行工程と、 を含むことを特徴とするバーンイン試験方法。3. A burn-in test method for executing a burn-in test on an IC housed in a thermostat, comprising: a plurality of test programs for executing the burn-in test; and a plurality of test programs corresponding to the plurality of test programs. A storage step of storing an IC pin condition and a macro program for designating the execution order of the plurality of test programs; and reading out the test program and the corresponding IC pin conditions in order according to the macro program. A burn-in test method, comprising: an instruction step of instructing test execution contents based on the test condition and an IC pin condition; and a test execution step of executing a test in accordance with the instructed test execution contents.
て、 前記試験実行工程における前記複数の試験実行結果をま
とめて、前記マクロプログラムに従った試験実行結果を
作成する試験結果作成工程を更に含むことを特徴とする
バーンイン試験方法。4. The burn-in test method according to claim 3, further comprising: a test result creating step of combining the plurality of test execution results in the test execution step to create a test execution result according to the macro program. A burn-in test method.
イン試験を実行するためのコンピュータが実行可能なプ
ログラムを格納した記憶媒体であって、 前記バーンイン試験を実行するための複数の試験プログ
ラムと、これら複数の試験プログラムに対応する複数の
ICピン条件と、前記複数の試験プログラムの実行順を
指定するマクロプログラムと、を記憶するためのコンピ
ュータが実行可能なプログラムコードと、 前記マクロプログラムに従って、順に試験プログラムと
対応するICピン条件とを読み出し、当該順に読み出し
た試験プログラムとICピン条件とに基づいてその試験
実行内容を指示するためのコンピュータが実行可能なプ
ログラムコードと、 前記指示された試験実行内容に従って試験を実行するた
めのコンピュータが実行可能なプログラムコードと、 を格納することを特徴とする記憶媒体。5. A storage medium storing a computer-executable program for executing a burn-in test on an IC housed in a constant temperature bath, wherein a plurality of test programs for executing the burn-in test are provided. A computer-executable program code for storing: a plurality of IC pin conditions corresponding to the plurality of test programs; and a macro program for designating an execution order of the plurality of test programs. A computer-executable program code for sequentially reading out the test program and the corresponding IC pin condition, and instructing the test execution contents based on the read out test program and the IC pin condition in this order; Computer run to execute test according to test execution content Storage medium characterized by storing a program code capability, the.
ラムに従った試験実行結果を作成するためのコンピュー
タが実行可能なプログラムコードを更に格納することを
特徴とする記憶媒体。6. The storage medium according to claim 5, further comprising a computer-executable program code for compiling the plurality of test execution results and creating a test execution result according to the macro program. A storage medium characterized by the above-mentioned.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000263728A JP2002071744A (en) | 2000-08-31 | 2000-08-31 | Burn-in testing device and method, and storage medium |
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CN102193037A (en) * | 2010-03-08 | 2011-09-21 | 苹果公司 | Aging testing method and system |
JP2012225748A (en) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Denso Corp | Method for manufacturing semiconductor integrated circuit device |
-
2000
- 2000-08-31 JP JP2000263728A patent/JP2002071744A/en active Pending
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