JP2001237664A

JP2001237664A - 圧電振動部品及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001237664A
Application number: JP2000046380A
Authority: JP
Inventors: Masanobu Sugimoto; 正信杉本; Katsuyuki Takei; 克行武井
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2000-02-23
Filing date: 2000-02-23
Publication date: 2001-08-31

Abstract

(57)【要約】【課題】高信頼度で、量産性の高い圧電振動部品を提供
する。【解決手段】絶縁接着層４０は圧電振動子２０と容量素
子２１との間に介在しており、圧電振動子２０の振動電
極２０２と容量素子２１の容量電極２１１、２１２との
間の短絡を防止している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧電共振子等に用
いられる圧電振動部品及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、２〜１６ＭＨｚの発振周波数
を得る共振子として、厚み辷りモードの圧電振動子を利
用した圧電共振子が知られている。厚み辷りモードの圧
電振動子は、圧電基板に、１対の対向電極を付与した構
造を有する。この圧電振動子は、発振回路を構成する２
個の負荷容量を形成する容量素子と積層される。さら
に、ベース板に形成された端部電極を用いて、入力電
極、出力電極および接地電極がそれぞれ電気的機械的に
接合され、更に、キャップで封止される。

【０００３】このような圧電共振子は、例えば、特開昭
６０ー１２３１２０号公報、特開平１−２３６７１５号
公報、特開平５−８３０７９号公報、特開平８ー２３７
０６６号公報または特開平８ー３０７１９３号公報等に
開示されている。

【０００４】この種の圧電振動部品において、圧電振動
子は、圧電セラミックスでなる圧電基板の相対する両面
のそれぞれに、振動電極を設けた構造となっている。振
動電極のそれぞれは、一端が圧電基板の長さ方向の一端
側にある一側端面に導出され、他端が圧電基板の長さ方
向の中間で終わり、他端の端部と、圧電基板の側端面と
の間で、圧電基板の表面が露出している。この露出部分
及び側端面に、外部との接続部分となる導電部を形成す
る手段として、特開昭６０ー１２３１２０号公報では、
この露出部分にダミー電極を設けるとともに、ダミー電
極を圧電基板の一側端面に延長して側面電極を形成して
あった。

【０００５】一方、容量素子は誘電体基板の相対する両
面に複数の容量電極を備えている。この側面電極は、更
に、容量素子の誘電体基板の一側端面にまで延長してい
て、積層される圧電基板から誘電体基板まで一体の側面
電極を形成してあった。

【０００６】しかし、この構造の場合、圧電基板の稜角
部において、電極膜が非常に薄くなる。しかも、エッジ
破損等を生じ易く、導通の信頼性が低かった。特に、振
動電極と側面電極との接続はエッジ部分でありかつ、Ｌ
型接合をも含んでいるので、導通の信頼性が低かった。
同様の問題は、圧電振動子と積層される容量素子でも生
じていた。

【０００７】特開平１−２３６７１５号公報では、この
問題点を解決する手段として、先に容量素子の両稜角部
を含む両面及び側端面を絶縁基板に導電性接着剤又はハ
ンダで接続導通させ、次いで、圧電振動子の両稜角部を
含む両面及び側端面を容量素子に導電性接着剤又はハン
ダで接続導通させた。

【０００８】また、特開平８ー２３７０６６号公報で
は、この問題点を解決する手段として、Ｕ型電極を圧電
振動子の稜角部を含む両面及び側端面に被せハンダで接
続導通させ、容量素子は容量電極部分をＵ型電極の外側
にハンダで接続導通させた。

【０００９】特開平１−２３６７１５号公報及び特開平
８ー２３７０６６号公報では、このようにして導通の信
頼性を高めることがなされているが、サイズが微細、か
つ、大量生産される製品としては、最終工程に近い段階
で圧電振動子及び容量素子を別々の工程で処理するのは
生産性上問題がある。

【００１０】特開平８ー２３７０６６号公報では、さら
に、この問題点を解決する手段として、圧電基板の両端
の側端面のそれぞれに、端部電極を設け、この端部電極
を保護膜で覆い、振動電極を、圧電基板の両面から保護
膜上に延長して形成する技術を開示している。端部電極
を得るには、圧電基板の相対する両側端面に分極用仮電
極を形成し、分極した後、分極電極を削除することな
く、そのまま残す。そして残された分極用仮電極を、端
部電極として利用する。

【００１１】また、特開平５−８３０７９号公報は、圧
電基板の両端の側端面のそれぞれに、端部電極を設ける
と共に、端部電極をダンピング部材で覆い、振動電極
を、圧電基板の両面からダンピング部材上に延長して形
成する技術を開示している。この従来技術の場合も、端
部電極は、分極電極を除去することなく残されたものを
利用する。

【００１２】特開平５−８３０７９号及び公報及び特開
平８ー２３７０６６号公報では、分極電極を端部電極と
して兼用するので、分極後、ダンピング部材または保護
膜を形成するまでの工程の間は、端部電極となるべき分
割電極に対する保護手段がない。このため、端部電極と
なるべき分極電極が損傷を受け、分極電極の削れ、剥離
等を生じる。

【００１３】また、所定の共振特性を得るための研磨工
程においては、仮に、ダンピング材または保護部材が存
在していても、分極電極の削れや剥離を完全になくすこ
とは困難である。特に、圧電セラミックス材料でなる圧
電基板と、粘性及び展性のあるダンピング材または保護
部材とを、同時に研磨する場合には、ラップ盤の目詰り
などを引き起し、正常な研摩動作が損なわれ、分極電極
の剥離を一層生じ易くなる。

【００１４】以上をまとめると、従来の技術には、信頼
性及び生産性の高い端部電極を形成するのに、なお改善
すべき点が残されている。

【００１５】さらに、従来の技術には、端部電極の信頼
性問題以外にもう一つの問題がある。容量素子の複数の
容量電極は、圧電振動子のための振動空間に露出してお
り、微小間隔を隔てて、誘電体基板の一面に設けられて
いる。この容量電極は銀（Ａｇ）又は銀（Ａｇ）などを
含む導電成分を、スパッタリング、蒸着、印刷または溶
射することによって形成される。このため、容量電極
が、誘電体基板の一面上で、シルバーマイグレーション
などを起こし、電極間の短絡を生じる危険性がある。ま
た、振動電極と容量電極とは互いに一定の間隔を置いて
はあるが、圧電振動子の振動時に振動電極と容量電極が
接触する危険性もある。

【００１６】特開平８ー３０７１９３号公報では、この
問題点を解決する手段として、キャップと基板との接合
部分の封止構造が開示されており、気密性の向上は検討
されているが、電極間の接触やシルバーマイグレーショ
ンの問題は、相互の隙間間隔で対処しているに留まって
いるのが現状である。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、信頼
性及び生産性の高い圧電振動部品及びこの圧電振動部品
を製造するのに適した製造方法を提供することである。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ため、本発明は、２つの態様に係る圧電振動部品を開示
する。

【００１９】＜第１の態様＞第１の態様に係る圧電振動
部品は、圧電振動子と、容量素子と、端部電極とを含
む。前記圧電振動子の圧電基板及び前記容量素子の誘電
体基板は、長さがほぼ同じであって、長さ方向の両端を
揃え、互いの厚さ方向の一面が、前記圧電振動子の振動
に必要な隙間を有して対向するように、互いに積層さ
れ、１つの積層体を構成いる。

【００２０】前記端部電極は、第１の端部電極と、第２
の端部電極とを含む。前記第１の端部電極は、前記積層
体の長さ方向の一側端面、前記圧電基板の他面及び前記
誘電体基板の他面に連続して付着された連続導電膜であ
る。前記第２の端部電極は、前記積層体の長さ方向の他
側端面、前記圧電基板の他面及び前記誘電体基板の他面
に連続して付着された連続導電膜である。

【００２１】上述したように、本発明に係る圧電振動部
品では、圧電振動子及び容量素子は、長さがほぼ同じで
あって、長さ方向の両端を揃え、互いの厚さ方向の一面
が、圧電振動子の振動に必要な隙間を有して対向するよ
うに、互いに積層されているから、圧電振動子及び容量
素子を１部品化した圧電振動部品が得られる。

【００２２】第１の端部電極は、積層体の長さ方向の一
側端面、圧電基板の他面及び誘電体基板の他面に連続し
て付着された連続導電膜で構成する。また、第２の端部
電極は、積層体の長さ方向の他側端面、圧電基板の他面
及び誘電体基板の他面に連続して付着された連続導電膜
で構成する。この端部電極構造によれば、圧電振動子及
び容量素子のそれぞれに個別に端部電極を付与しなけれ
ばならない従来技術と異なって、圧電振動子及び容量素
子に共通の連続する端部電極を形成することになるの
で、電気的、機械的信頼性が高くなる。

【００２３】しかも、圧電振動子と容量素子とを積層し
た積層体の状態で、端部電極を付与することになるの
で、端部電極付与工程が半減する。

【００２４】このため、信頼性及び生産性の高い圧電振
動部品を提供することができる。

【００２５】＜第２の態様＞第２の態様に係る圧電振動
部品は、圧電振動子と、容量素子と、絶縁接着層とを含
む。前記圧電振動子の圧電基板及び前記容量素子の誘電
体基板は、互いの厚さ方向の一面が前記圧電振動子の振
動に必要な隙間を有して対向するように互いに積層さ
れ、長さ方向の両端において互いに結合され、１つの積
層体を構成している。

【００２６】前記絶縁接着層は、前記誘電体基板の前記
一面に付着され、前記誘電体基板の前記一面に付着され
た容量電極の全体を覆い、長さ方向の両端に凸部を有
し、中間部に凹部を有し、前記凸部により前記圧電振動
子を支持し、前記凹部により前記圧電振動子の振動に必
要な前記隙間を生じさせる。

【００２７】この第２の態様に係る圧電振動部品も、圧
電振動子の圧電基板及び容量素子の誘電体基板は、互い
の厚さ方向の一面が圧電振動子の振動に必要な隙間を有
して対向するように互いに積層され、長さ方向の両端に
おいて互いに結合され、１つの積層体を構成しているか
ら、圧電振動子及び容量素子を１部品化した圧電振動部
品が得られる。

【００２８】しかも、絶縁接着層が、誘電体基板の一面
に付着され、誘電体基板の一面に付着された容量電極の
全体を覆っているから、酸化による容量電極の劣化、及
び、シルバーマイグレーションの発生を阻止し、シルバ
ーマイグレーションによる電極間短絡を防止することが
できる。

【００２９】絶縁接着層は、長さ方向の両端に凸部を有
し、中間部に凹部を有し、凸部により圧電振動子を支持
し、凹部により圧電振動子の振動に必要な隙間を生じさ
せるから、容量電極の酸化による劣化を防止及びシルバ
ーマイグレーションの発生を阻止する絶縁接着層を、振
動空間形成手段として兼用できる。このため、専用の振
動空間形成手段を設ける必要がなくなるので、製造プロ
セスが短縮される。

【００３０】従って、第２の態様によれば、信頼性及び
生産性の高い圧電振動部品を提供することができる。

【００３１】本発明は、更に、上述した圧電振動部品を
製造するのに適した製造方法を開示する。

【００３２】

【発明の実施の形態】図１は第１の態様及び第２の態様
を含む本発明に係る圧電振動部品の分解斜視図、図２は
図１に図示された圧電振動部品において、キャップを除
いた組立状態を示す平面図、図３は図２の３ー３線に沿
った断面図、図４は図２の４ー４線に沿った断面図、図
５は図１〜図４に示した実施例の電気回路である。図示
された圧電振動部品は、圧電振動子２０、容量素子２
１、絶縁接着層７及び端部電極５１、５２とを含む。

【００３３】＜圧電振動子＞圧電振動子２０は、圧電基
板２００と、第１の振動電極２０１及び第２の振動電極
２０２とを含んでいる。ここで圧電基板２００は、ＰＺ
Ｔ、ＰＴあるいは、ビスマスレイヤー化合物等の非鉛圧
電セラミック等からなる。

【００３４】第１の振動電極２０１は、圧電基板２００
の厚さ方向の他面に設けられ、一端が圧電基板２００の
長さ方向の一端側にある一側端面に導出され、他端が圧
電基板２００の長さ方向の中間で終わっている。

【００３５】第２の振動電極２０２は、圧電基板２００
の厚さ方向の一面に設けられ、一端が圧電基板２００の
長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端が圧
電基板２００の長さ方向の中間で終わっている。

【００３６】圧電基板２００は、第１の振動電極２０１
及び第２の振動電極２０２の間に電圧が印加されたと
き、厚み辷り振動を行うように分極されている。

【００３７】図示実施例では、圧電振動子２０は、第１
のダミー電極６１及び第２のダミー電極６２を含んでい
る。第１のダミー電極６１は、圧電基板２００の厚さ方
向の他面において、圧電基板２００の長さ方向の他端側
に設けられ、第１の振動電極２０１と間隔を隔ててい
る。第２のダミー電極６２は、圧電基板２００の厚さ方
向の一面において、圧電基板２００の長さ方向の一端側
に設けられている。第１及び第２のダミー電極６１、６
２は、振動に影響のない範囲に設ける。

【００３８】＜容量素子＞容量素子２１は、同一の誘電
体基板２１０による少なくとも２つの容量Ｃ１、Ｃ２
（図５参照）を有する。ここで誘電体基板２１０は、例
えば、BaTiO₃、SrTiO₃、PZT等の通常の誘電体からな
る。

【００３９】２つの容量Ｃ１、Ｃ２は、誘電体基板２１
０の一面及び他面に設けられた複数の容量電極２１１〜
２１３によって取得される。図示実施例において、容量
電極は、第１の容量電極２１１と、第２の容量電極２１
２と、第３の容量電極２１３とを含んでいる。第１の容
量電極２１１は、誘電体基板２１０の厚さ方向の一面に
設けられ、一端が誘電体基板２１０の長さ方向の一端側
にある一側端面に導出され、他端が誘電体基板２１０の
長さ方向の中間で終わっている。

【００４０】第２の容量電極２１２は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の一面に設けられ、一端が誘電体基板２１
０の長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端
が誘電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。

【００４１】第３の容量電極２１３は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の他面に設けられ、第１及び第２の容量電
極２１１、２１２に共通に対向し、長さ方向の両端が誘
電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。

【００４２】図示実施例の容量素子２１は、更に、第３
のダミー電極６３及び第４のダミー電極６４を含んでい
る。第３及び第４のダミー電極６３、６４は、誘電体基
板２１０の厚さ方向の他面側において、その長さ方向の
両端に備えられている。第３及び第４のダミー電極６
３、６４の形状、大きさまたは位置等は、取得されるべ
き容量に対して、第３及び第４のダミー電極６３、６４
と第３の容量電極２１３との間に生ずる浮遊容量分を予
め考慮して形成する。

【００４３】＜絶縁接着層＞実施例に示す圧電振動部品
は、第２の態様に係る構成として、絶縁接着層７を含ん
でいる。絶縁接着層７は、誘電体基板２１０の一面に付
着され、誘電体基板２１の一面に付着された容量電極２
１１、２１２の全体を覆っている。絶縁接着層７は、長
さ方向の両端に凸部７１、７２を有し、中間部に凹部７
０を有し、凸部７１、７２により圧電振動子２０を支持
し、凹部７０により圧電振動子２０の振動に必要な隙間
Ｇ１（図３参照）を生じさせる。

【００４４】第１の態様に係る圧電振動部品において
は、絶縁接着層７は必ずしも必要ではない。たとえば従
来通り、圧電振動子２０の圧電基板２００に設けられた
第２のダミー電極６２と、容量素子２１の誘電体基板２
１０に設けられた容量電極２１１とを導電性接着剤によ
って接続し、圧電振動子２０の第２の振動電極２０２
と、第２の容量電極２１２とを導電性接着剤によって接
着してもよい。

【００４５】＜端部電極＞実施例に示す圧電振動部品
は、第１の態様に係る構成として、第１の端部電極５１
と、第２の端部電極５２とを含んでいる。第１の端部電
極５１は、圧電基板２００及び誘電体基板２１０を積層
した積層体の長さ方向の一側端面、圧電基板２００の他
面及び誘電体基板２０の他面に連続して付着された連続
導電膜である。第２の端部電極５２は、積層体の長さ方
向の他側端面、圧電基板２００の他面及び誘電体基板２
１０の他面に連続して付着された連続導電膜である。更
に具体的には、第１の端部電極５１は、積層体の長さ方
向の一側端面に付着され、一端及び他端にそれぞれ第１
の接続部５１１と、第２の接続部５１２とを備えてい
る。

【００４６】第１の接続部５１１は、積層体の一側端面
から圧電基板２００の厚さ方向の他面上に添って連続し
て折れ曲がり、第１の振動電極２０１に付着されてい
る。第２の接続部５１２は、積層体の一側端面から誘電
体基板２１０の厚さ方向の他面上に添って連続して折れ
曲がり、第３のダミー電極６３に付着されている。

【００４７】第２の端部電極５２は、積層体の長さ方向
の他側端面に付着され、両端に第３の接続部５２１と、
第４の接続部５２２とを備えている。

【００４８】第３の接続部５２１は、積層体の一側端面
から圧電基板２００の厚さ方向の他面上に添って連続し
て折れ曲がり、第１のダミー電極６１に付着されてい
る。

【００４９】第４の接続部５２２は、積層体の一側端面
から誘電体基板２１０の厚さ方向の他面上に添って連続
して折れ曲がり、第４のダミー電極６４に付着されてい
る。

【００５０】図示実施例において、第１の端部電極５１
の中間部には、第１の容量電極２１１及び第２のダミー
電極６２がＴ型状に接続され、第２の端部電極５２の中
間部は、第２の振動電極２０２及び第２の容量電極２１
２がＴ型状に接続されている。

【００５１】第１及び第２の端部電極５１、５２は、ス
パッタ、蒸着等の薄膜法あるいは、導電接着剤の塗布、
印刷等の手法で形成することができる。さらに、各表面
電極の端面への露出を確実にするため及び端部電極の接
続部のコーナを欠けにくい円弧形状にするために、バレ
ル研磨、サンドブラスト等を施して粗面化し、また稜角
部を面取りしてから、第１及び第２の端部電極５１、５
２を形成してもよい。

【００５２】第２の態様に係る発明による圧電振動部品
において、第１、第２の端部電極５１、５２は、必ずし
も、図示した構造であることは必要でない。従来通り、
圧電基板２００及び誘電体基板２１０の長さ方向の側端
面のみに付着された構成でもよい。

【００５３】＜組立＞積層組立状態では、圧電振動子２
０と容量素子２１とは、積層されている。更に、実施例
の圧電振動部品は、ベース板１と、キャップ３とを含ん
でいる。ベース板１は、圧電振動子２０及び容量素子２
１の組立体を支持している。キャップ３は、圧電振動子
２０及び容量素子２１の組立体を覆うようにして、ベー
ス板１に取り付けられ、圧電振動子２０及び容量素子２
１の組立体の周りに気密空間を生じさせる。

【００５４】ベース板１は、アルミナ、フォルステライ
ト等の硬質セラミックスでなる。ベース板１は端子電極
１１〜１３を有する。端子電極１１〜１３は、互いに間
隔を隔て、ベース板１の側面及び裏面を経て、ベース板
１を１周するように形成されている。圧電振動子２０及
び容量素子２１の積層組立体は、導電性接着剤による接
着またははんだ付け等の手段２８０によってベース板１
の端子電極１１〜１３に接続固定されている。

【００５５】キャップ３は、アルミナ、フォルステライ
ト、または金属等でなり、圧電振動子２０及び、容量素
子２１を覆い、周辺がベース板１に、接着剤を用いて接
合される。これにより、圧電振動子２０及び、容量素子
２１のある内部空間の気密が保たれる。

【００５６】図５は図１〜図４に示した実施例によって
得られる周知の電気回路であり、圧電振動子２０の両端
を端子電極１１、１３に接続するとともに、圧電振動子
２０の両端に、容量素子２１を構成する容量Ｃ１及び、
容量Ｃ２の一端を接続し、容量Ｃ１、Ｃ２の他端を、接
地端子１２に共通に接続した回路構成となる。

【００５７】上述したように、第１の態様に係る発明の
圧電振動部品において、圧電振動子２０及び容量素子２
１は、長さがほぼ同じであって、長さ方向の両端を揃
え、互いの厚さ方向の一面の間に圧電振動子２０の振動
に必要な隙間Ｇ１を有して対向するように、互いに積層
されているから、圧電振動子２０及び容量素子２１を１
部品化した圧電振動部品が得られる。

【００５８】第１の端部電極５１は、互いに積層された
圧電振動子２０及び容量素子２１の長さ方向の一側端面
に付着されている。さらに、第１の端部電極５１は第１
の接続部５１１と、第２の接続部５１２とを含んでい
る。

【００５９】圧電振動子２０及び容量素子２１の稜角部
は、第１の端部電極５１の第１及び第２の接続部５１
１、５１２の膜厚が、一側端面から稜角部と他面上に回
り込み、連続して一体となっているので、圧電振動子２
０及び容量素子２１の稜角部において、電極膜の不連続
による導通の遮断は発生しない。

【００６０】しかも、圧電基板２００及び誘電体基板２
１０の厚さ方向の一面及び他面に設けられた複数の表面
電極のうち、第１の振動電極２０１及び第３のダミー電
極６３の一端が、圧電基板２００及び誘電体基板２１０
の長さ方向の端面に導出されていて、接続部５１１、５
１２の膜厚が第１の振動電極２０１及び第３のダミー電
極６３に重なっているので、電気的接続の信頼性が、高
くなる。

【００６１】さらに、第１の端部電極５１は、一側端面
から稜角部を通して連続して一体となっているから、圧
電振動子２０及び容量素子２１の稜角部に破損等を生じ
ることがない。このため、第１の端部電極５１の電気的
導通の信頼性が極めて高くなる。

【００６２】さらには、第１の端部電極５１は、圧電振
動子２０及び容量素子２１の長さ方向の一側端面に付着
されるものであって、最外側層となるから、第１の端部
電極５１は、個々の圧電振動部品に分割する直前、また
は、分割後に付与できる。第１の端部電極５１は、研磨
工程の後に付与することができる。このため、製造プロ
セスにおいて、第１の端部電極が損傷を受けるのを、回
避することができる。

【００６３】また、第１の端部電極５１は、個々の圧電
振動部品に分割する前の時点であっても付与することが
できるので、圧電振動子２０及び容量素子２１のそれぞ
れが、大板から短冊に切り出された時点で付与すること
により生産性を高めることができる。

【００６４】第２の端部電極５２と、第３、第４の接続
部５２１、５２２との関係は、第１の端部電極５１と、
第１、第２の接続部５１１、５１２との関係と同じであ
る。従って、第２の端部電極５２と、第３、第４の接続
部５２１、５２２の間においても、第１の端部電極５１
と、第１、第２の接続部５２１、５２２との関係におい
て述べた上記作用効果が得られる。

【００６５】以上を要するに、第１の態様に係る発明に
よれば、高信頼度かつ、高生産性な端部電極構造を有す
る圧電振動部品を得ることができる。

【００６６】第２の態様に係る発明の圧電振動部品で
も、圧電振動子２０の圧電基板２００及び容量素子２１
の誘電体基板２１０は、互いの厚さ方向の一面が圧電振
動子２０の振動に必要な隙間を有して対向するように互
いに積層され、長さ方向の両端において互いに結合さ
れ、１つの積層体を構成しているから、圧電振動子２０
及び容量素子２１を１部品化した圧電振動部品が得られ
る。

【００６７】しかも、絶縁接着層７が、誘電体基板２１
０の一面に付着され、誘電体基板２１０の一面に付着さ
れた容量電極２１１、２１２の全体を覆っているから、
酸化による容量電極２１１、２１２の劣化、及び、シル
バーマイグレーションの発生を阻止し、シルバーマイグ
レーションによる電極間短絡を防止することができる。

【００６８】絶縁接着層７は、長さ方向の両端に凸部７
１、７２を有し、中間部に凹部７０を有し、凸部７１、
７２により圧電振動子２０を支持し、凹部７０により圧
電振動子２０の振動に必要な隙間を生じさせるから、容
量電極２１１、２１２の酸化による劣化を防止及びシル
バーマイグレーションの発生を阻止する絶縁接着層７
を、振動空間形成手段として兼用できる。このため、専
用の振動空間形成手段を設ける必要がなくなるので、製
造プロセスが短縮される。

【００６９】従って、第２の態様によれば、信頼性及び
生産性の高い圧電振動部品を提供することができる。

【００７０】＜他の実施例＞図６は本発明に係る圧電振
動部品の別の実施例を示す分解斜視図、図７は図６に示
した圧電部品の組立状態における断面図である。図にお
いて、図１〜図４に現れた構成部分と同一の構成部分に
ついては、同一の参照符号を付してある。

【００７１】この実施例の特徴は、容量素子２１の容量
電極の配置及び構造の点にある。図示された容量電極
は、第１乃至第６の容量電極２１１〜２１６を含んでい
る。

【００７２】第１の容量電極２１１は、誘電体基板２１
０の厚さ方向一面に設けられ、一端が誘電体基板２１０
の長さ方向の一端側にある一側端面に導出され、他端が
誘電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。

【００７３】第２の容量電極２１２は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の一面に設けられ、一端が誘電体基板２１
０の長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端
が誘電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。

【００７４】第３の容量電極２１３は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の前記一面において、第１の容量電極２１
１と第２の容量電極２１２との間に設けられている。

【００７５】第４の容量電極２１４は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の他面に設けられ、一端が誘電体基板２１
０の長さ方向の一端側にある一側端面に導出され、他端
が誘電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。

【００７６】第５の容量電極２１５は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の他面に設けられ、一端が誘電体基板２１
０の長さ方向の他端側にある他側端面に導出され、他端
が誘電体基板２１０の長さ方向の中間で終わっている。

【００７７】第６の容量電極２１６は、誘電体基板２１
０の厚さ方向の他面において、第４の容量電極２１４と
第５の容量電極２１５との間に設けられている。

【００７８】圧電振動子２０の圧電基板２００及び容量
素子２１の誘電体基板２１０は、互いの厚さ方向の一面
が圧電振動子２０の振動に必要な隙間を有して対向する
ように互いに積層され、長さ方向の両端において互いに
結合され、１つの積層体を構成している。

【００７９】絶縁接着層７は、誘電体基板２１０の一面
に付着され、誘電体基板２１０の一面に付着された容量
電極２１１〜２１３の全体を覆っている。従って、容量
電極２１１〜２１３の酸化による劣化、及び、シルバー
マイグレーションの発生を阻止し、シルバーマイグレー
ションによる電極間短絡を防止することができる。

【００８０】絶縁接着層７は、長さ方向の両端に凸部７
１、７２を有し、中間部に凹部７０を有し、凸部７１、
７２により圧電振動子２０を支持し、凹部７０により圧
電振動子２０の振動に必要な隙間を生じさせる。従っ
て、容量電極２１１〜２１３の酸化による劣化を防止及
びシルバーマイグレーションの発生を阻止する絶縁接着
層７を、振動空間形成手段として兼用できる。このた
め、専用の振動空間形成手段を設ける必要がなくなるの
で、製造プロセスが短縮される。

【００８１】第１の端部電極５１の第２の接続部５１２
は、第４の容量電極２１４上に設けられており、第２の
端部電極５２の第４の接続部５２２は、第５の容量電極
２１５上に設けられていいる。これにおより、回込接続
状態が実現される。

【００８２】図６及び図７に図示された圧電振動部品
は、容量素子２１の容量電極構造の点を除けば、図１〜
図４に示した実施例と同様の構造を有しており、同様の
作用効果を奏する。

【００８３】＜製造方法＞次に、図１〜４に示した圧電
振動部品の製造方法を例にとって説明する。

【００８４】＜振動部形成工程＞まず、図８に示すよう
に、多数の圧電振動子を包含し得る平面積を有する圧電
体大板８０に、複数の分極用仮電極８１、８２を、圧電
体大板８０の長さ方向に間隔を隔てて、幅方向に沿い帯
状に設ける。分極用仮電極８１、８２は、圧電体大板８
０の表裏の相対向する位置に設ける。圧電体大板８０
は、一例として、シート成形等の手法で作製した概略３
５ｍｍ角で、厚みが０．３〜０．５ｍｍの形状とし、必
要により、厚み寸法及び外形寸法を、研磨、切断等の手
段で調整したものである。分極用仮電極８１、８２は、
次工程で除去することを考慮して形成する。具体的には
Ａｇ含有ぺ一ストの塗布または薄膜法によって形成す
る。

【００８５】次に、図９に示すように、複数の分極用仮
電極８１、８２のうち、隣接する分極用仮電極８１ー８
１及び、分極用仮電極８２ー８２の間に直流高電圧Ｖを
印加して圧電体大板８０を分極する。圧電体大板８０
は、板面と平行な方向に分極される。

【００８６】次に、図１０に示すように、分極用仮電極
を除去した後、図１１に示すように、圧電体大板８０の
表面及び裏面を研摩する。これにより、圧電体大板８０
の厚さＴ１を、所望する発振周波数が得られる寸法に調
整する。

【００８７】次に、図１２及び図１３に示すように、圧
電体大板８０に、複数の電極８３、８５を、圧電体大板
８０の長さ方向に間隔を隔てて、幅方向に沿い、帯状に
形成する。電極８３は圧電体大板８０の表面に形成さ
れ、第１の振動電極及び第１のダミー電極として利用さ
れる。電極８５は圧電体大板８０の裏面に形成され、第
２の振動電極及び第２のダミー電極として利用される。

【００８８】電極形成方法としては、スパッタ、蒸着等
の薄膜法及びメッキ法等が適用できる。電極８３、８５
は、切断ライン幅を考慮した上で、図１〜４に示した構
造の圧電振動部品が得られるように形成する。設計的事
項であるが、考慮すべき事項は、得ようとする振動電極
長、切断ライン幅及びダミー電極長等である。また、電
極８３、８５は、分極用仮電極のあった位置と、後で設
定される切断ラインとが一致するように、かつ、表裏で
対向するように配置する。電極８３、８５は、蒸着、ス
パッタリング、電界メッキ、無電界メッキ等の手段を用
い、メタライズすることによって形成することができ
る。

【００８９】次に、図１４及び図１５に示すように、圧
電体大板８０の表面に、レジスト層８７を形成する。レ
ジスト層８７は、電極８３ー８３間のギャップを埋め、
一方の電極を部分的に覆うように形成する。レジスト層
８７は、溶剤溶解性レジストまたはパラフィン等をスク
リーン印刷等の手法で塗布し、硬化させることによって
形成する。

【００９０】次に、図１６に示すように、圧電体大板８
０の表面に備えられたレジスト層８７及び電極８３の露
出領域を覆うように、接着層７１０を付着させる。

【００９１】＜容量部形成工程＞振動部形成工程とは別
に、容量部形成工程を実行する。まず、図１７及び図１
８に図示するように、多数の容量素子を包含し得る誘電
体大板９０を所定の厚みに研磨した後、誘電体大板９０
の表面側に、圧電体大板８０の電極８５の態様と合うよ
うに、複数の電極９１を、誘電体大板９０の長さ方向に
間隔を隔てて、幅方向に沿い、帯状に形成する。この電
極９１は容量電極として利用される。また、誘電体大板
９０の他面に、電極９１と重なるように、電極９２を形
成する。電極９２は容量電極及びダミー電極として利用
される。誘電体大板９０は、一例として、シート成形等
の手法で作製した概略３５ｍｍ角、厚み０．１〜０．５
ｍｍの寸法を持ち、厚み寸法及び外形寸法を研磨または
切断等の手段によって調整する。外形寸法は圧電体大板
８０と同一にする。電極９１、９２は薄膜法、印刷法及
びメッキ法等を適用して形成することができる。

【００９２】電極９１、９２は容量電極の配置に従って
形成する。具体的には、表面側の電極９１の電極幅及び
間隔は、図１〜図４に示した容量電極配置が得られるよ
うに、入力側の容量電極長または出力側の容量電極長と
切断ライン幅とを考慮して定める。また、裏面側の電極
９２の電極幅及び間隔等は切断ライン幅、ダミー電極長
及び接地電極長を考慮して定める。電極９１、９２も蒸
着、スパッタリング、電界メッキ、無電界メッキ等の手
法でメタライズすることによって形成することができ
る。

【００９３】次に、図１９に図示するように、容量部形
成工程を通して得られた誘電体大板９０の電極９１を形
成した面に、絶縁接着層７２０をスクリーン印刷等の手
法で塗布する。絶縁接着層７２０は、接着ムラ発生防止
のために行うもので、省略することのできる。

【００９４】＜積層工程＞積層工程では、図２０に図示
するように、圧電体大板８０に形成された絶縁接着層７
１０及び誘電体大板９０に形成された絶縁接着層７２０
が互いに向き合うようにして、圧電体大板８０及び誘電
体大板９０を重ね合わせ、両者８０、９０を接合するこ
とにより、圧電体大板８０及び誘電体大板９０を積層し
た大板状積層体を製造する。

【００９５】また、絶縁接着剤７１０、７２０は、絶縁
接着剤を硬化途中で一時停止した状態（Ｂステージ状
態）で重ね合わせた後、熱圧着して硬化接着することも
可能である。さらに、絶縁接着剤７１０、７２０の代わ
りにＢステージ状態の絶縁接着フィルムを用いて貼り合
わせることもできる。

【００９６】＜一次切断工程＞まず、図２１に示すよう
に、圧電体大板８０及び誘電体大板９０を接合すること
によって得られた大板状積層体を、切断線Ｃ１に沿って
切断する。これにより、図２２に示すように複数の短冊
状積層体を切出す。

【００９７】切断線Ｃ１に沿って切断する前に、切断線
Ｃ１と直交する方向にある積層体の両端を切断しておく
のが好ましい。図２２は上述した切断工程を経て切り出
された短冊状積層体の１つを示している。切断面及び稜
角部はバレル、サンドブラスト等により、表面を粗し、
また稜角部の面を取るほうが望ましい。

【００９８】＜端部電極工程＞次に、一次切断工程によ
って得られた短冊状積層体に、端部電極を付与する。端
部電極は、スパッタリングによりメタライズすることに
よって形成することができる。図２３はその一例を示
す。まず、一次切断工程によって得られた短冊状積層体
Ｄ１の適当枚数を、相互間に間隔をとって重ね合わせた
積層体Ｅを用意する。そして、この積層体Ｅを治具Ｆの
取り付け穴Ｆ１にセットし、マスキングＭを装着した状
態で、端部電極付与工程を実行する。隣接する短冊状積
層体Ｄ１の間には、複数のサイドスペーサＤ２を介在さ
せる。

【００９９】図２４、図２５はスパッタリング工程を経
て得られた短冊状積層体Ｄ１を示し、相対する両側に、
スパッタリングによる端部電極５１０、５２０が付着さ
れている。スパッタリングによれば、第１〜第４の接続
部５１１〜５２２（図１参照）も同時に成膜される。１
例としてスパッタ源に垂直な切断面で２μｍ成膜する場
合に、スパッタ源に平行な第１〜第４の接続部５１１〜
５２２でも、回り込みにより約１．２μｍ程度の膜厚と
なる。面とりが施されている場合は、接合の信頼性が高
くなる。端部電極は、導電接着剤を塗布して硬化させる
か、メッキ法等でメタライズすることによっても得るこ
とができる。また、これらの手法を組合わせてもよい。

【０１００】＜二次切断工程＞次に、図２６に図示する
ように、短冊状積層体Ｄ１を、端部電極５１０、５２０
のある切断面と直交する方向Ｃ２に沿って切断する。こ
れにより、図２７に示す圧電振動部品を得られる。切断
後、レジスト層８７（図２５参照）を除去することによ
り、凹部７０（図１〜図４参照）が形成される。レジス
ト層８７は、例えば、溶剤除去型レジストの場合は溶剤
洗浄除去、パラフィンの場合は、加熱蒸発して除去す
る。

【０１０１】図２７に示された圧電振動部品は、図１〜
図４に示したものと同一である。図２７には、図１〜図
４の実施例との対比した場合の理解のために、図１〜図
４で用いられた参照符号を括弧内に表示してある。得ら
れた積層体は、端子電極を設けたアルミナ等のベ一ス板
１に電気的機械的に接合し、アルミナ、金属等でなるキ
ャップ３で封止して、圧電振動部品の完成品を得る（図
１参照）。

【０１０２】図８〜２７は図１〜４に示した圧電振動部
品の製造方法を示すものであるが、図６、７に示した圧
電振動部品も、同様の製造方法によって製造できること
は言うまでもない。

【０１０３】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、高
信頼度、かつ、生産性の高い圧電振動部品及びこの圧電
振動部品を製造するのに適した製造方法を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る圧電振動部品の分解斜視図であ
る。

【図２】図１に図示された圧電振動部品において、キャ
ップを除いた組立状態を示す平面図である。

【図３】図２の３ー３線に沿った断面図である。

【図４】図２の４ー４線に沿った断面図である。

【図５】図１〜図４に示した実施例の電気回路である。

【図６】本発明に係る圧電振動部品の別の実施例を示す
分解斜視図である。

【図７】図６に示した圧電部品の組立状態における断面
図である。

【図８】本発明に係る圧電振動部品の製造方法に含まれ
る一工程を示す図である。

【図９】図８に示した工程の後の工程を示す図である。

【図１０】図９に示した工程の後の工程を示す図であ
る。

【図１１】本発明に係る圧電振動部品の製造方法に含ま
れる別の工程を示す図である。

【図１２】図１１に示した工程後の圧電体大板の斜視図
である。

【図１３】図１２の１３ー１３線に沿った断面図であ
る。

【図１４】図１１、１２に示した工程後の工程を示す図
である。

【図１５】図１４の１５ー１５線に沿った断面図であ
る。

【図１６】図１４、１５に示した工程後の工程を示す図
である。

【図１７】容量素子の製造工程に含まれる工程の一つを
示す図である。

【図１８】図１７の１８ー１８線に沿った断面図であ
る。

【図１９】図１７、１８に図示した工程の後の工程得緒
示す図である。

【図２０】圧電体大板と誘電体大板との接着層工程を示
す図である。

【図２１】図２０に示した積層体の一次切断工程を示す
図である。

【図２２】図２１に示す一次切断工程を経て得られた短
冊状積層体の斜視図である。

【図２３】図２２に示す短冊状積層体に端部電極を形成
する工程を示す図である。

【図２４】図２３に示した端部電極形成工程の実行によ
って得られた短冊状積層体の斜視図である。

【図２５】図２４の２５ー２５線に沿った断面図であ
る。

【図２６】図２４、２５に図示された短冊状積層体に対
する二次切断工程を示す図である。

【図２７】図２６の工程を実行することによって得られ
た圧電振動部品の斜視図である。

【符号の説明】

１ベース板２０圧電振動子２０１、２０２第１、第２の振動電極２１容量素子２１１〜２１３第１乃至第３の容量電極３キャップ７絶縁接着層７０凹部７１、７２凸部５１、５２第１及び第２の端部電極５１１第１の接続部５１２第２の接続部５２１第３の接続部５２２第４の接続部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０３Ｈ 9/10 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｃ 9/17 41/22 ＺＦターム(参考） 5J108 BB04 CC04 CC13 DD02 EE04 EE07 EE17 FF11 FF14 FF15 GG03 GG08 GG15 GG16 JJ02 KK02 KK03 MM04 MM11 MM14

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電振動子と、容量素子と、端部電極と
を含む圧電振動部品であって、前記圧電振動子の圧電基板及び前記容量素子の誘電体基
板は、長さがほぼ同じであって、長さ方向の両端を揃
え、互いの厚さ方向の一面が、前記圧電振動子の振動に
必要な隙間を有して対向するように、互いに積層され、
１つの積層体を構成しており、前記端部電極は、第１の端部電極と、第２の端部電極と
を含んでおり、前記第１の端部電極は、前記積層体の長さ方向の一側端
面、前記圧電基板の他面及び前記誘電体基板の他面に連
続して付着された連続導電膜であり、前記第２の端部電極は、前記積層体の長さ方向の他側端
面、前記圧電基板の他面及び前記誘電体基板の他面に連
続して付着された導電膜である圧電振動部品。
【請求項２】請求項１に記載された圧電振動部品であ
って、前記圧電振動子は、第１の振動電極と、第２の振動電極
とを含んでおり、前記第１の振動電極は、前記圧電基板の前記他面に設け
られ、一端が前記圧電基板の長さ方向の一端側にある一
側端面に導出され、他端が前記圧電基板の長さ方向の中
間で終わっており、前記第２の振動電極は、前記圧電基板の前記一面に設け
られ、一端が前記圧電基板の長さ方向の他端側にある前
記他側端面に導出され、他端が前記圧電基板の長さ方向
の中間で終わっており、前記第１の端部電極は、前記第１の振動電極に連続して
付着されており、前記第２の端部電極は、前記第２の振動電極と、前記積
層体の前記一側面において接続されている圧電振動部
品。
【請求項３】請求項２に記載された圧電振動部品であ
って、前記圧電振動子は、更に、第１のダミー電極と、第２の
ダミー電極とを含んでおり、前記第１のダミー電極は、前記圧電基板の厚さ方向の前
記他面において、前記圧電基板の長さ方向の他端側に設
けられ、前記第１の振動電極と間隔を隔てており、前記第２のダミー電極は、前記圧電基板の厚さ方向の前
記一面において、前記圧電基板の長さ方向の一端側に設
けられ、前記第２の振動電極と間隔を隔てており、前記第１の端部電極は、前記第２のダミー電極と、前記
積層体の前記一側面において接続されており、前記第２の端部電極は、前記１のダミー電極に連続して
付着されている圧電振動部品。
【請求項４】請求項１乃至３に記載された圧電振動部
品であって、前記容量素子は、同一の誘電体基板による少なくとも２
つの容量を有し、前記２つの容量は、前記誘電体基板の
前記一面及び前記他面に設けられた複数の容量電極によ
って取得される圧電振動部品。
【請求項５】請求項４に記載された圧電振動部品であ
って、前記容量素子は、第１の容量電極と、第２の容量電極
と、第３の容量電極とを含んでおり、前記第１の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記一面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
一端側にある一側端面に導出され、他端が前記誘電体基
板の長さ方向の中間で終わっており、前記第２の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記一面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
他端側にある前記他側端面に導出され、他端が前記誘電
体基板の長さ方向の中間で終わっており、前記第３の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記他面に設けられ、前記第１及び第２の容量電極に共通
に対向し、長さ方向の両端が前記誘電体基板の長さ方向
の中間で終わっている圧電振動部品。
【請求項６】請求項５に記載された圧電振動部品であ
って、前記第１の端部電極は、前記第１の容量電極と、前記積
層体の前記一側面において接続されており、前記第２の端部電極は前記第２の容量電極と、前記積
層体の前記他側面において接続されている圧電振動部
品。
【請求項７】請求項５に記載された圧電振動部品であ
って、前記容量素子は、更に、第４の容量電極と、第５の容量
電極とを含んでおり、前記第４の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記他面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
一端側にある前記一側端面に導出され、他端が前記第３
の容量電極を間隔を隔てており、前記第５の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記他面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
他端側にある前記他側端面に導出され、他端が前記第３
の容量電極を間隔を隔てている圧電振動部品。
【請求項８】請求項７に記載された圧電振動部品であ
って、前記第１の端部電極は、前記第４の容量電極に連続して
付着されており、前記第２の端部電極は前記第５の容量電極に連続して
付着されている圧電振動部品。
【請求項９】圧電振動子と、容量素子と、絶縁接着層
とを含む圧電振動部品であって、前記圧電振動子の圧電基板及び前記容量素子の誘電体基
板は、互いの厚さ方向の一面が前記圧電振動子の振動に
必要な隙間を有して対向するように互いに積層され、長
さ方向の両端において互いに結合され、１つの積層体を
構成しており、前記絶縁接着層は、前記誘電体基板の前記一面に付着さ
れ、前記誘電体基板の前記一面に付着された容量電極の
全体を覆い、長さ方向の両端に凸部を有し、中間部に凹
部を有し、前記凸部により前記圧電振動子を支持し、前
記凹部により前記圧電振動子の振動に必要な前記隙間を
生じさせる圧電振動部品。
【請求項１０】請求項９に記載された圧電振動部品で
あって、更に、端部電極を含んでおり、前記端部電極は、第１の
端部電極と、第２の端部電極とを含んでおり、前記第１の端部電極は、前記積層体の長さ方向の一側端
面、前記圧電基板の他面及び前記誘電体基板の他面に連
続して付着された連続導電膜であり、前記第２の端部電極は、前記積層体の長さ方向の他側端
面、前記圧電基板の他面及び前記誘電体基板の他面に連
続して付着された連続導電膜である圧電振動部品。
【請求項１１】請求項１０に記載された圧電振動部品
であって、前記圧電振動子は、第１の振動電極と、第２の振動電極
とを含んでおり、前記第１の振動電極は、前記圧電基板の前記他面に設け
られ、一端が前記圧電基板の長さ方向の一端側にある一
側端面に導出され、他端が前記圧電基板の長さ方向の中
間で終わっており、前記第２の振動電極は、前記圧電基板の前記一面に設け
られ、一端が前記圧電基板の長さ方向の他端側にある前
記他側端面に導出され、他端が前記圧電基板の長さ方向
の中間で終わっており、前記第１の端部電極は、前記第１の振動電極に連続して
付着されており、前記第２の端部電極は、前記第２の振動電極と、前記積
層体の前記一側面において接続されている圧電振動部
品。
【請求項１２】請求項１１に記載された圧電振動部品
であって、前記圧電振動子は、更に、第１のダミー電極と、第２の
ダミー電極とを含んでおり、前記第１のダミー電極は、前記圧電基板の厚さ方向の前
記他面において、前記圧電基板の長さ方向の他端側に設
けられ、前記第１の振動電極と間隔を隔てており、前記第２のダミー電極は、前記圧電基板の厚さ方向の前
記一面において、前記圧電基板の長さ方向の一端側に設
けられ、前記第２の振動電極と間隔を隔てており、前記第１の端部電極は、前記第２のダミー電極と、前記
積層体の前記一側面において接続されており、前記第２の端部電極は、前記１のダミー電極に連続して
付着されている圧電振動部品。
【請求項１３】請求項９乃至１２に記載された圧電振
動部品であって、前記容量素子は、同一の誘電体基板による少なくとも２
つの容量を有し、前記２つの容量は、前記誘電体基板の
前記一面及び前記他面に設けられた複数の容量電極によ
って取得される圧電振動部品。
【請求項１４】請求項１３に記載された圧電振動部品
であって、前記容量素子は、第１の容量電極と、第２の容量電極
と、第３の容量電極とを含んでおり、前記第１の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記一面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
一端側にある一側端面に導出され、他端が前記誘電体基
板の長さ方向の中間で終わっており、前記第２の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記一面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
他端側にある前記他側端面に導出され、他端が前記誘電
体基板の長さ方向の中間で終わっており、前記第３の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記他面に設けられ、前記第１及び第２の容量電極に共通
に対向し、長さ方向の両端が前記誘電体基板の長さ方向
の中間で終わっている圧電振動部品。
【請求項１５】請求項１４に記載された圧電振動部品
であって、前記第１の端部電極は、前記第１の容量電極と、前記積
層体の前記一側面において接続されており、前記第２の端部電極は前記第２の容量電極と、前記積
層体の前記他側面において接続されている圧電振動部
品。
【請求項１６】請求項１４に記載された圧電振動部品
であって、前記容量素子は、更に、第４の容量電極と、第５の容量
電極とを含んでおり、前記第４の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記他面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
一端側にある前記一側端面に導出され、他端が前記第３
の容量電極を間隔を隔てており、前記第５の容量電極は、前記誘電体基板の厚さ方向の前
記他面に設けられ、一端が前記誘電体基板の長さ方向の
他端側にある前記他側端面に導出され、他端が前記第３
の容量電極を間隔を隔てている圧電振動部品。
【請求項１７】請求項１６に記載された圧電振動部品
であって、前記第１の端部電極は、前記第４の容量電極に連続して
付着されており、前記第２の端部電極は前記第５の容量電極に連続して
付着されている圧電振動部品。
【請求項１８】請求項１乃至１７の何れかに記載され
た圧電部品であって、前記圧電基板および前記誘電体基板は、非鉛系セラミッ
クからなる圧電振動部品。
【請求項１９】請求項１乃至１７の何れかに記載され
た圧電振動部品であって、更に、ベース板と、キャップとを含んでおり、前記ベース板は、前記圧電振動子及び容量素子の積層体
を支持しており、前記キャップは、前記圧電振動子及び容量素子の組立体
を覆うようにして、前記ベース板に取り付けられ、前記
組立体の周りに気密空間を生じさせる圧電振動部品。
【請求項２０】請求項１乃至１９のいずれかに記載さ
れた圧電振動部品を製造する方法であって、第１の工程
と、第２の工程と、第３の工程とを含んでおり、前記第１の工程は、多数の圧電振動子を包含する圧電体大板と、多数の容量
素子を包含する誘電体大板とを準備し、前記圧電振動子
の振動空間を確保しながら、前記圧電体大板の一面と、
前記誘電体大板の一面とを接着し、それによって積層体
大板を得る工程を含み、前記圧電体大板及び前記誘電体
大板は前記一面及び対向する他面に電極を有しており、前記第２の工程は、前記積層体大板を、短冊状に切断分割する工程を含み、
短冊状積層体は、前記圧電体大板の前記一面に形成され
た電極の端縁、前記誘電体大板の前記一面に形成された
電極の端縁、前記圧電体大板の前記一面と対向する他面
に形成された電極の端縁及び前記誘電体大板の前記一面
と対向する他面に形成された電極の端縁が、切断面であ
る一側端面及び対向する他側端面に露出するように切り
出され、前記第３の工程は、前記短冊状積層体の前記一端側面と、前記圧電体大板の
前記他面及び前記誘電体大板の前記他面とに、前記第１
の振動電極、前記第１のダミー電極および前記第１の容
量電極に導通する第１の端部電極を、連続して成膜し、前記短冊状積層体の前記他側端面と、前記圧電体大板の
前記他面及び前記誘電体大板の前記他面とに、前記第２
のダミー電極、前記第２の振動電極および前記第２の容
量電極に導通する第２の端部電極を、連続して成膜する
工程を含む圧電振動部品の製造方法。
【請求項２１】請求項２０に記載された方法であっ
て、前記第３の工程は、真空成膜法を含む圧電振動部品の製
造方法。