JP2001223252A - ロボットの吸着レスハンド - Google Patents
ロボットの吸着レスハンドInfo
- Publication number
- JP2001223252A JP2001223252A JP2000029284A JP2000029284A JP2001223252A JP 2001223252 A JP2001223252 A JP 2001223252A JP 2000029284 A JP2000029284 A JP 2000029284A JP 2000029284 A JP2000029284 A JP 2000029284A JP 2001223252 A JP2001223252 A JP 2001223252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- hand
- slip
- holding
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】基板を吸着しないで保持できる吸着レスハンド
を提供すること。 【解決手段】ハンド１の基板保持部３には、上部に滑り
止め部１０ａを有する滑り止めシート１０が装着されて
いる。滑り止め部１０ａは凹凸部を有して、基板Ｗに対
して摩擦抵抗を大きくして保持する。撓みを有する基板
Ｗを、保持する場合、滑り止め部１０ａの一端が基板の
下面に接触して保持するため、滑り止め部１０ａには摩
擦角が形成される。そのため摩擦抵抗を大きくすること
ができ基板のずれ防止して安定した状態で保持できる。
を提供すること。 【解決手段】ハンド１の基板保持部３には、上部に滑り
止め部１０ａを有する滑り止めシート１０が装着されて
いる。滑り止め部１０ａは凹凸部を有して、基板Ｗに対
して摩擦抵抗を大きくして保持する。撓みを有する基板
Ｗを、保持する場合、滑り止め部１０ａの一端が基板の
下面に接触して保持するため、滑り止め部１０ａには摩
擦角が形成される。そのため摩擦抵抗を大きくすること
ができ基板のずれ防止して安定した状態で保持できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ガラス基板やウ
ェハ等の基板を保持して搬送するロボットのハンドにお
いて、基板を吸着することなく保持できるロボットの吸
着レスハンドに関する。
ェハ等の基板を保持して搬送するロボットのハンドにお
いて、基板を吸着することなく保持できるロボットの吸
着レスハンドに関する。
【０００２】
【従来の技術】ロボットのハンドは、カセット内に収納
されているガラス基板やウェハ等の基板、又は処理ステ
ージに載置されている基板を保持して搬送するために、
ロボットのアームに連結されて駆動されている。ハンド
は、一般に、ロボットのアームに枢着される元部と基板
を保持する基板保持部とを有して形成されている。従来
から採用されている主なるハンド２０は、図７に示すよ
うに、基板保持部２２に空気用パイプ２４に接続された
複数の吸着パット２３を設けて基板Ｗを吸着するように
構成されたり、別のハンド２５は、図８に示すように、
基板保持部２７に凹部２８を形成して凹部２８内に基板
Ｗを落し込み、基板端を保持できるように構成されてい
た。
されているガラス基板やウェハ等の基板、又は処理ステ
ージに載置されている基板を保持して搬送するために、
ロボットのアームに連結されて駆動されている。ハンド
は、一般に、ロボットのアームに枢着される元部と基板
を保持する基板保持部とを有して形成されている。従来
から採用されている主なるハンド２０は、図７に示すよ
うに、基板保持部２２に空気用パイプ２４に接続された
複数の吸着パット２３を設けて基板Ｗを吸着するように
構成されたり、別のハンド２５は、図８に示すように、
基板保持部２７に凹部２８を形成して凹部２８内に基板
Ｗを落し込み、基板端を保持できるように構成されてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、基板は各種の
加工工程で処理されて搬送されるので、各加工工程によ
っては、例えば、成膜処理加工された基板は、熱の影響
で基板自体が撓みを有したままで搬送されることがあ
る。また、特に大型化されたガラス基板では、重量によ
り自然に下方に撓んでいる。従って、上記のような撓み
のある基板を搬送する場合、ガラス基板やウェハ等の基
板を吸着するように構成された従来のハンド２０では、
基板Ｗの吸着面は、ハンド２０の基板保持部２２に形成
された吸着パット２３に必ずしも全面的に接していると
は限らない。このような場合、空気漏れが生じて基板Ｗ
を保持しにくく、搬送途中に基板Ｗがずれたりまたは落
下してしまうおそれがあった。
加工工程で処理されて搬送されるので、各加工工程によ
っては、例えば、成膜処理加工された基板は、熱の影響
で基板自体が撓みを有したままで搬送されることがあ
る。また、特に大型化されたガラス基板では、重量によ
り自然に下方に撓んでいる。従って、上記のような撓み
のある基板を搬送する場合、ガラス基板やウェハ等の基
板を吸着するように構成された従来のハンド２０では、
基板Ｗの吸着面は、ハンド２０の基板保持部２２に形成
された吸着パット２３に必ずしも全面的に接していると
は限らない。このような場合、空気漏れが生じて基板Ｗ
を保持しにくく、搬送途中に基板Ｗがずれたりまたは落
下してしまうおそれがあった。
【０００４】また、ハンド２５の基板保持部２７に凹部
２８を形成して基板Ｗを落し込むように形成したハンド
２５では、撓みのある基板Ｗは、基板端で保持されず
に、基板端より内部で支持されるため、基板Ｗを傷つけ
やすかった。
２８を形成して基板Ｗを落し込むように形成したハンド
２５では、撓みのある基板Ｗは、基板端で保持されず
に、基板端より内部で支持されるため、基板Ｗを傷つけ
やすかった。
【０００５】この発明は、上述の課題を解決するもので
あり、基板が反って撓んでいても基板を傷つけることな
く確実に保持して搬送できるロボットの吸着レスハンド
を提供することを目的とする。
あり、基板が反って撓んでいても基板を傷つけることな
く確実に保持して搬送できるロボットの吸着レスハンド
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明にかかわるロボ
ットの吸着レスハンドでは、上記の課題を解決するため
に、以下のように構成するものである。すなわち、基板
を保持するハンド上に、基板保持部材が配設され、前記
基板保持部材に、滑り止め部が形成されていることを特
徴とするものである。
ットの吸着レスハンドでは、上記の課題を解決するため
に、以下のように構成するものである。すなわち、基板
を保持するハンド上に、基板保持部材が配設され、前記
基板保持部材に、滑り止め部が形成されていることを特
徴とするものである。
【０００７】また、前記滑り止め部が、凹凸状に形成さ
れていることが望ましい。
れていることが望ましい。
【０００８】さらに、前記基板保持部材が、前記ハンド
に着脱可能に配設されていればなおよい。
に着脱可能に配設されていればなおよい。
【０００９】
【発明の効果】本発明によれば、ロボットの吸着レスハ
ンドは、上述のように、ハンド上に滑り止め部を有する
基板保持部材を設けて基板を保持するように構成してい
る。そのため、熱の影響や大型のガラス基板のように撓
みのある基板を、撓んだ状態のまま基板の位置ずれを起
こすことなく安定して保持することが可能となる。しか
も、ハンドの内部に空気通路を形成することがないた
め、ハンド自体を薄形状に形成することができる。
ンドは、上述のように、ハンド上に滑り止め部を有する
基板保持部材を設けて基板を保持するように構成してい
る。そのため、熱の影響や大型のガラス基板のように撓
みのある基板を、撓んだ状態のまま基板の位置ずれを起
こすことなく安定して保持することが可能となる。しか
も、ハンドの内部に空気通路を形成することがないた
め、ハンド自体を薄形状に形成することができる。
【００１０】また、滑り止め部の上面を凹凸状に形成す
れば、基板の保持面に対して接触面積を小さくできるの
で、摩擦抵抗を大きくして基板のずれを防止し、安定し
た基板の保持を行なうことができる。
れば、基板の保持面に対して接触面積を小さくできるの
で、摩擦抵抗を大きくして基板のずれを防止し、安定し
た基板の保持を行なうことができる。
【００１１】さらに、基板保持部材をハンドに着脱可能
に装着して、ハンドに基板保持部材の取付位置を適宜変
更できるようにすれば、基板を保持する幅の位置を調整
することができる。
に装着して、ハンドに基板保持部材の取付位置を適宜変
更できるようにすれば、基板を保持する幅の位置を調整
することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の一実施の形態を
図面に基づいて説明する。以下に説明するロボットの吸
着レスハンド（以下、ハンド１という）は、ガラス基板
を保持して搬送するのに好適なハンドであり、図１に示
すように、図示しないロボットのアームに枢着される元
部２と元部２から二分岐されて先端に向かって延設され
基板Ｗの下面を保持する基板保持部３とを有している。
二分岐された各基板保持部３の先端部と中央部には、基
板Ｗずれ防止用の滑り止め部１０ａを上部に有する基板
保持部材（以下滑り止めシート１０という）が各２か所
づつ幅方向に並設するように装着されている。
図面に基づいて説明する。以下に説明するロボットの吸
着レスハンド（以下、ハンド１という）は、ガラス基板
を保持して搬送するのに好適なハンドであり、図１に示
すように、図示しないロボットのアームに枢着される元
部２と元部２から二分岐されて先端に向かって延設され
基板Ｗの下面を保持する基板保持部３とを有している。
二分岐された各基板保持部３の先端部と中央部には、基
板Ｗずれ防止用の滑り止め部１０ａを上部に有する基板
保持部材（以下滑り止めシート１０という）が各２か所
づつ幅方向に並設するように装着されている。
【００１３】滑り止めシート１０は、熱安定性がよい弾
性部材、例えば、シリコーンゴム等を有して形成され、
基板Ｗを傷つけることなく基板Ｗに対して摩擦力を有し
ている。この滑り止めシート１０は、円板状に形成さ
れ、図２（ａ）に示すように、基板保持部３の上面に形
成された凹部３１に接着して取り付けられるか、また
は、図２（ｂ）に示すように、凹部３１にねじ止めで取
りつけられ、その上面はハンド１の基板保持部３の上面
より上方に突出している。
性部材、例えば、シリコーンゴム等を有して形成され、
基板Ｗを傷つけることなく基板Ｗに対して摩擦力を有し
ている。この滑り止めシート１０は、円板状に形成さ
れ、図２（ａ）に示すように、基板保持部３の上面に形
成された凹部３１に接着して取り付けられるか、また
は、図２（ｂ）に示すように、凹部３１にねじ止めで取
りつけられ、その上面はハンド１の基板保持部３の上面
より上方に突出している。
【００１４】図２（ａ）のように、基板保持部３の凹部
３１に接着して取り付ける場合には、滑り止めシート１
０は滑り止め部１０ａを含んで弾性部材で一体的に形成
されている。
３１に接着して取り付ける場合には、滑り止めシート１
０は滑り止め部１０ａを含んで弾性部材で一体的に形成
されている。
【００１５】図２（ｂ）のように、ねじ止めで取りつけ
る場合、滑り止めシート１０は、上部に弾性部材で配置
された滑り止め部１０ａと下部に配置する金属製の取付
部１０ｂを接着することによって形成され、基板保持部
３の下面から挿入するねじが取付部１０ｂに螺着できる
ように形成されている。そのため、このねじ止めの滑り
止めシート１０は、取り外しが可能であり、基板Ｗが大
型の場合には、例えば、並設された２か所のうち、それ
ぞれ内側に配置された滑り止めシート１０を外して外側
に配置された滑り止めシート１０だけを取り付けておけ
ば、基板Ｗの撓みに合わせて広幅の状態で保持すること
ができる。
る場合、滑り止めシート１０は、上部に弾性部材で配置
された滑り止め部１０ａと下部に配置する金属製の取付
部１０ｂを接着することによって形成され、基板保持部
３の下面から挿入するねじが取付部１０ｂに螺着できる
ように形成されている。そのため、このねじ止めの滑り
止めシート１０は、取り外しが可能であり、基板Ｗが大
型の場合には、例えば、並設された２か所のうち、それ
ぞれ内側に配置された滑り止めシート１０を外して外側
に配置された滑り止めシート１０だけを取り付けておけ
ば、基板Ｗの撓みに合わせて広幅の状態で保持すること
ができる。
【００１６】滑り止めシート１０の滑り止め部１０ａに
は、上面に凹凸部が形成され、接触する基板Ｗとの摩擦
抵抗を大きくするように形成されている。凹凸部の形状
は、例えば、図３（ａ）のように小円柱突起１１を多数
配列させてもよく、また、図３（ｂ）のように縦、横い
ずれか一方の方向に溝１２を形成するようにしてもよ
く、さらに図３（ｃ）のように、縦方向と横方向にそれ
ぞれ小溝１３、１３を形成して碁盤状にしてもよい。も
ちろん平面状でも構わない。
は、上面に凹凸部が形成され、接触する基板Ｗとの摩擦
抵抗を大きくするように形成されている。凹凸部の形状
は、例えば、図３（ａ）のように小円柱突起１１を多数
配列させてもよく、また、図３（ｂ）のように縦、横い
ずれか一方の方向に溝１２を形成するようにしてもよ
く、さらに図３（ｃ）のように、縦方向と横方向にそれ
ぞれ小溝１３、１３を形成して碁盤状にしてもよい。も
ちろん平面状でも構わない。
【００１７】また、滑り止めシート１０の滑り止め部１
０ａの断面形状は、図４（ａ）に示すように、角山１４
形状でもよく、図４（ｂ）のように、先細り山１５形状
でもよい。
０ａの断面形状は、図４（ａ）に示すように、角山１４
形状でもよく、図４（ｂ）のように、先細り山１５形状
でもよい。
【００１８】基板Ｗが、ウェハや小型のガラス基板であ
れば、基板Ｗ自体の撓みは少なく、その下面はほぼ平面
状であるため、上記の滑り止めシート１０は、滑り止め
部１０の上面全体で基板Ｗを保持することができる。
れば、基板Ｗ自体の撓みは少なく、その下面はほぼ平面
状であるため、上記の滑り止めシート１０は、滑り止め
部１０の上面全体で基板Ｗを保持することができる。
【００１９】一方、基板Ｗが大型のガラス基板や、熱の
影響により反りのある基板であれば、図５に示すよう
に、基板Ｗが撓みにより傾斜面を有するため、滑り止め
シート１０は、滑り止め部１０ａの一端で保持すること
になる。この状態では、滑り止め部１０ａは、基板Ｗに
対して接触する面が小さく摩擦角を有することになるの
で、摩擦抵抗を大きくし基板Ｗのずれ防止をさらに向上
させる。しかも、滑り止め部１０ａが弾性体で形成して
いるために、基板Ｗとの接触面積が小さくても基板Ｗを
傷つけることはない。
影響により反りのある基板であれば、図５に示すよう
に、基板Ｗが撓みにより傾斜面を有するため、滑り止め
シート１０は、滑り止め部１０ａの一端で保持すること
になる。この状態では、滑り止め部１０ａは、基板Ｗに
対して接触する面が小さく摩擦角を有することになるの
で、摩擦抵抗を大きくし基板Ｗのずれ防止をさらに向上
させる。しかも、滑り止め部１０ａが弾性体で形成して
いるために、基板Ｗとの接触面積が小さくても基板Ｗを
傷つけることはない。
【００２０】ハンド１の基板保持部３に、上記のような
滑り止めシート１０を設けることによって、基板Ｗの保
持する位置の幅を調整することが可能である。特に、撓
みのある基板Ｗをそのままの状態（平面状に修正せず）
で搬送したいという要望がある場合、滑り止めシート１
０の滑り止め部１０ｂは、基板Ｗを接触面積を小さくし
て保持するために、基板Ｗを吸着して保持する方法に比
べて、保持する幅を広くしても安定した状態で保持でき
る。そのために、例えば、ハンド１の基板保持部３を元
部２に対して幅方向に移動可能に構成してもよく、ま
た、前述のように幅方向に複数の滑り止めシート１０を
並設させておけば、いずれかの滑り止めシート１０を選
択して保持するようにすることもできる。さらに、ハン
ド１の基板保持部３に幅方向に長穴を形成して、滑り止
めシート１０を幅方向に移動調整可能に取り付けること
も可能である。
滑り止めシート１０を設けることによって、基板Ｗの保
持する位置の幅を調整することが可能である。特に、撓
みのある基板Ｗをそのままの状態（平面状に修正せず）
で搬送したいという要望がある場合、滑り止めシート１
０の滑り止め部１０ｂは、基板Ｗを接触面積を小さくし
て保持するために、基板Ｗを吸着して保持する方法に比
べて、保持する幅を広くしても安定した状態で保持でき
る。そのために、例えば、ハンド１の基板保持部３を元
部２に対して幅方向に移動可能に構成してもよく、ま
た、前述のように幅方向に複数の滑り止めシート１０を
並設させておけば、いずれかの滑り止めシート１０を選
択して保持するようにすることもできる。さらに、ハン
ド１の基板保持部３に幅方向に長穴を形成して、滑り止
めシート１０を幅方向に移動調整可能に取り付けること
も可能である。
【００２１】上記のように構成されたハンド１は、図６
に示すように、図示しないロボットにより作動させ、ハ
ンド１をカセット５内に挿入する。この際、ハンド１は
ロボットの作動により、ハンド１の基板保持部３が基板
Ｗの下方に位置するように上下方向に位置調整される。
基板Ｗの大きさによって、二分岐された基板保持部３に
配置されるそれぞれの滑り止めシート１０、１０間は、
適宜な寸法の幅になるように、幅方向に位置調整されて
いる。
に示すように、図示しないロボットにより作動させ、ハ
ンド１をカセット５内に挿入する。この際、ハンド１は
ロボットの作動により、ハンド１の基板保持部３が基板
Ｗの下方に位置するように上下方向に位置調整される。
基板Ｗの大きさによって、二分岐された基板保持部３に
配置されるそれぞれの滑り止めシート１０、１０間は、
適宜な寸法の幅になるように、幅方向に位置調整されて
いる。
【００２２】ハンド１が、基板Ｗの下方で基板Ｗを保持
する位置に達すると、ハンド１は図示しないロボットの
作用で微速で上昇する。ハンド１の上昇によって、滑り
止めシート１０の滑り止め部１０ａが基板Ｗの下面に接
触し基板Ｗを持ち上げる。この際、基板Ｗが撓みのない
状態でハンド１に保持される場合には、滑り止めシート
１０は滑り止め部１０ａの上面全体で基板Ｗを保持し、
基板Ｗが撓みを有していれば、滑り止め部１０ａは摩擦
角を有して基板Ｗを保持することになる。
する位置に達すると、ハンド１は図示しないロボットの
作用で微速で上昇する。ハンド１の上昇によって、滑り
止めシート１０の滑り止め部１０ａが基板Ｗの下面に接
触し基板Ｗを持ち上げる。この際、基板Ｗが撓みのない
状態でハンド１に保持される場合には、滑り止めシート
１０は滑り止め部１０ａの上面全体で基板Ｗを保持し、
基板Ｗが撓みを有していれば、滑り止め部１０ａは摩擦
角を有して基板Ｗを保持することになる。
【００２３】基板Ｗは重量があるため、摩擦角を有して
保持する滑り止めシート１０の摩擦抵抗をさらに大きく
して、基板Ｗの安定した保持を行なう。
保持する滑り止めシート１０の摩擦抵抗をさらに大きく
して、基板Ｗの安定した保持を行なう。
【００２４】上記のように、ハンド１の保持部に滑り止
めシート１０を設けて基板Ｗを保持するようにすれば、
熱の影響や大型のガラス基板Ｗのように撓みのある基板
Ｗを、撓んだ状態のまま安定して保持することが可能と
なる。しかも、ハンド１の内部に空気通路を形成するこ
とがないため、ハンド１自体を薄形状に形成することが
できる。
めシート１０を設けて基板Ｗを保持するようにすれば、
熱の影響や大型のガラス基板Ｗのように撓みのある基板
Ｗを、撓んだ状態のまま安定して保持することが可能と
なる。しかも、ハンド１の内部に空気通路を形成するこ
とがないため、ハンド１自体を薄形状に形成することが
できる。
【００２５】また、滑り止め部１０ａの上面を凹凸状に
形成すれば、基板Ｗの保持面に対して接触面積を小さく
できるので、摩擦抵抗を大きくして基板Ｗのずれを防止
し、安定した基板Ｗの保持を行なうことができる。
形成すれば、基板Ｗの保持面に対して接触面積を小さく
できるので、摩擦抵抗を大きくして基板Ｗのずれを防止
し、安定した基板Ｗの保持を行なうことができる。
【００２６】さらに、滑り止めシート１０を着脱可能に
装着して、ハンドに基板保持部材の取付位置を適宜変更
できるようにすれば、基板Ｗを保持する幅の位置を調整
することができる。
装着して、ハンドに基板保持部材の取付位置を適宜変更
できるようにすれば、基板Ｗを保持する幅の位置を調整
することができる。
【００２７】なお、滑り止めシート１０は、その形状や
取付位置は、上記に限るものではない。例えば、外径を
角状に形成してもよく、また上面を基板Ｗの撓み状態に
合わせて傾斜面にしてもよい。いずれも基板Ｗを傷つけ
ない材質であればよい。
取付位置は、上記に限るものではない。例えば、外径を
角状に形成してもよく、また上面を基板Ｗの撓み状態に
合わせて傾斜面にしてもよい。いずれも基板Ｗを傷つけ
ない材質であればよい。
【図１】本発明の一形態のハンドを示す平面図
【図２】滑り止めシートの各装着状態を示す一部断面図
【図３】滑り止めシートの各凹凸形状をを示す平面図
【図４】滑り止めシートの各凹凸形状を示す一部断面図
【図５】撓みのある基板を滑り止めシートで保持する状
態を示す説明図
態を示す説明図
【図６】カセット内に収納されている基板を保持する状
態を示す正面断面図
態を示す正面断面図
【図７】従来の吸着タイプのハンドを示す一部断面図
【図８】従来の落し込みタイプのハンドを示す一部断面
図
図
１…ハンド ２…元部 ３…基板保持部 ５…カセット １０…滑り止めシート １０ａ…滑り止め部 １１…小円柱突起部 １２、１３…溝 Ｗ…基板
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 DS01 ES02 EV05 EV10 EV16 NS09 NS11 NS17 3F061 AA01 BA02 BE05 BE16 BE26 DB00 DB04 DB06 5F031 CA02 CA05 GA05 GA08 PA13 PA18
Claims (3)
- 【請求項１】 基板を保持するハンド上に、基板保持部
材が配設され、前記基板保持部材に、基板ずれ防止用の
滑り止め部が形成されていることを特徴とするロボット
の吸着レスハンド。 - 【請求項２】 前記滑り止め部が、凹凸状に形成されて
いることを特徴とする請求項１記載のロボットの吸着レ
スハンド。 - 【請求項３】 前記基板保持部材が、前記ハンドに着脱
可能に配設されていることを特徴とする請求項１記載の
ロボットの吸着レスハンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000029284A JP2001223252A (ja) | 2000-02-07 | 2000-02-07 | ロボットの吸着レスハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000029284A JP2001223252A (ja) | 2000-02-07 | 2000-02-07 | ロボットの吸着レスハンド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001223252A true JP2001223252A (ja) | 2001-08-17 |
Family
ID=18554568
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000029284A Pending JP2001223252A (ja) | 2000-02-07 | 2000-02-07 | ロボットの吸着レスハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001223252A (ja) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003168717A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Yaskawa Electric Corp | ウェハ搬送フォーク |
| JP2006261377A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送ロボット及びこれを備えた基板搬送システム |
| JP2006294786A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送システム |
| JP2008105170A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Denso Corp | ワーク把持具 |
| JP2008252012A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Applied Materials Inc | ウェハ搬送用ブレード |
| JP2010192642A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板搬送用ロボットハンド |
| KR101028917B1 (ko) | 2003-12-27 | 2011-04-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 로봇 핸드 |
| JP2011086806A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Gold Kogyo Kk | 精密基板収納容器 |
| KR101208644B1 (ko) | 2009-07-03 | 2012-12-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 위치 이탈 방지 장치, 이를 구비한 기판 보지구, 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 |
| KR101251024B1 (ko) | 2011-03-02 | 2013-04-05 | (주)에스에스이엔지 | 점착패드 및 그를 포함하는 기판 이송용 로봇 |
| KR101334595B1 (ko) * | 2012-02-21 | 2013-11-29 | (주)나린테크 | 이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇 |
| CN103943545A (zh) * | 2013-01-21 | 2014-07-23 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手和半导体设备 |
| KR101678375B1 (ko) * | 2015-10-01 | 2016-11-23 | 주식회사 선익시스템 | 기판 처짐 및 왜곡 현상을 감소시키기 위한 기판 이송 장치 및 이를 포함한 기판 로딩 장치 |
| US9698035B2 (en) | 2013-12-23 | 2017-07-04 | Lam Research Corporation | Microstructures for improved wafer handling |
| US9776333B2 (en) | 2015-11-24 | 2017-10-03 | Hirata Corporation | Hand member and hand |
| KR102214706B1 (ko) * | 2020-10-11 | 2021-02-10 | 주식회사 지논 | 평판 이송용 패드 구조체 |
| KR20210026763A (ko) * | 2019-09-02 | 2021-03-10 | 에스케이실트론 주식회사 | 패들 장치 및 연마 장치 |
-
2000
- 2000-02-07 JP JP2000029284A patent/JP2001223252A/ja active Pending
Cited By (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003168717A (ja) * | 2001-12-03 | 2003-06-13 | Yaskawa Electric Corp | ウェハ搬送フォーク |
| KR101028917B1 (ko) | 2003-12-27 | 2011-04-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 로봇 핸드 |
| JP4570037B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2010-10-27 | 株式会社アルバック | 基板搬送システム |
| JP2006261377A (ja) * | 2005-03-17 | 2006-09-28 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送ロボット及びこれを備えた基板搬送システム |
| JP2006294786A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Ulvac Japan Ltd | 基板搬送システム |
| JP4680657B2 (ja) * | 2005-04-08 | 2011-05-11 | 株式会社アルバック | 基板搬送システム |
| JP2008105170A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-05-08 | Denso Corp | ワーク把持具 |
| JP4516089B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2010-08-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ウェハ搬送用ブレード |
| TWI455237B (zh) * | 2007-03-30 | 2014-10-01 | Applied Materials Inc | 晶圓傳輸葉片 |
| EP1975997A3 (en) * | 2007-03-30 | 2009-10-07 | Applied Materials, Inc. | Wafer transfer blade |
| JP2008252012A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Applied Materials Inc | ウェハ搬送用ブレード |
| KR100989752B1 (ko) * | 2007-03-30 | 2010-10-26 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 웨이퍼 이송 블레이드 |
| JP2010192642A (ja) * | 2009-02-18 | 2010-09-02 | Toppan Printing Co Ltd | ガラス基板搬送用ロボットハンド |
| KR101208644B1 (ko) | 2009-07-03 | 2012-12-06 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 위치 이탈 방지 장치, 이를 구비한 기판 보지구, 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법 |
| JP2011086806A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Gold Kogyo Kk | 精密基板収納容器 |
| KR101251024B1 (ko) | 2011-03-02 | 2013-04-05 | (주)에스에스이엔지 | 점착패드 및 그를 포함하는 기판 이송용 로봇 |
| KR101334595B1 (ko) * | 2012-02-21 | 2013-11-29 | (주)나린테크 | 이송 로봇용 패드 및 이를 구비한 이송 로봇 |
| CN103943545A (zh) * | 2013-01-21 | 2014-07-23 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手和半导体设备 |
| WO2014110944A1 (zh) * | 2013-01-21 | 2014-07-24 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 机械手和半导体设备 |
| US9698035B2 (en) | 2013-12-23 | 2017-07-04 | Lam Research Corporation | Microstructures for improved wafer handling |
| KR101678375B1 (ko) * | 2015-10-01 | 2016-11-23 | 주식회사 선익시스템 | 기판 처짐 및 왜곡 현상을 감소시키기 위한 기판 이송 장치 및 이를 포함한 기판 로딩 장치 |
| US9776333B2 (en) | 2015-11-24 | 2017-10-03 | Hirata Corporation | Hand member and hand |
| TWI624899B (zh) * | 2015-11-24 | 2018-05-21 | Hirata Spinning | 手部構件及手部 |
| KR20210026763A (ko) * | 2019-09-02 | 2021-03-10 | 에스케이실트론 주식회사 | 패들 장치 및 연마 장치 |
| KR102242410B1 (ko) | 2019-09-02 | 2021-04-19 | 에스케이실트론 주식회사 | 패들 장치 및 연마 장치 |
| KR102214706B1 (ko) * | 2020-10-11 | 2021-02-10 | 주식회사 지논 | 평판 이송용 패드 구조체 |
| US11784083B2 (en) | 2020-10-11 | 2023-10-10 | G-NONE.Co.Ltd. | Pad structure for transferring flat panel |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001223252A (ja) | ロボットの吸着レスハンド | |
| JP7169334B2 (ja) | 基板移送ロボットエンドエフェクタ | |
| KR101519814B1 (ko) | 기판 처리를 위한 리프트 핀 | |
| TW201526153A (zh) | 具有經減少基板粒子產生的基板支持設備 | |
| JP2001179672A (ja) | ロボットハンド | |
| US20070272727A1 (en) | Die pick and place tool | |
| WO2012014442A1 (ja) | 基板搬送装置及び保持装置 | |
| KR101931876B1 (ko) | 기판 반송 장치 | |
| JP4906375B2 (ja) | 基板支持部材 | |
| US20230238268A1 (en) | Simultaneous bonding approach for high quality wafer stacking applications | |
| JP2008282870A (ja) | 搬送アーム用パッド | |
| JP2010532580A (ja) | 基板取り扱い技術 | |
| JP2002353291A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2003191191A (ja) | 真空吸着装置 | |
| JP5611747B2 (ja) | 基板搬送アーム及び基板搬送装置 | |
| JPH10279070A (ja) | 基板搬送用フィンガ | |
| JP2005096027A (ja) | ロボットハンド | |
| TWI850820B (zh) | 基板承載結構以及基板檢測裝置 | |
| KR102720251B1 (ko) | 엔드 이펙터의 웨이퍼 고정용 수동형 그립모듈 | |
| KR102567121B1 (ko) | 극도로 뒤틀린 웨이퍼를 위한 기판 처리 장치 | |
| CN110295356B (zh) | 一种基板垫块、基板传送设备和成膜系统 | |
| KR100810637B1 (ko) | 반도체 기판 이송 로봇 | |
| JP2001024048A (ja) | エッチング装置 | |
| KR101678375B1 (ko) | 기판 처짐 및 왜곡 현상을 감소시키기 위한 기판 이송 장치 및 이를 포함한 기판 로딩 장치 | |
| JPH056932A (ja) | ウエハ搬送装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Effective date: 20040916 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040916 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20041117 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Effective date: 20041117 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 |