JP2001255335A - 回転検出機能付軸受 - Google Patents
回転検出機能付軸受Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C41/00—Other accessories, e.g. devices integrated in the bearing not relating to the bearing function as such
- F16C41/007—Encoders, e.g. parts with a plurality of alternating magnetic poles
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/02—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows
- F16C19/04—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly
- F16C19/06—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement with bearing balls essentially of the same size in one or more circular rows for radial load mainly with a single row or balls
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Rolling Contact Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 回転検出の分解能が高い回転検出機能付軸受
を提供する。 【解決手段】 回転センサ付軸受１において、磁気パタ
ーン９は、回転部材７の外周面にリング状に形成され、
所定のピッチでＮ極およびＳ極に交互に着磁されてい
る。ＴＭＦセンサ１０，１１は、固定部材８の内周面に
設けられ、磁界強度の変化を検出する。磁気検出センサ
としてＴＭＦセンサ１０，１１を用いたので、ホール素
子やＭＲ素子を用いていた従来に比べて磁気検出感度が
高くなり、着磁ピッチの微細化を図ることができる。
を提供する。 【解決手段】 回転センサ付軸受１において、磁気パタ
ーン９は、回転部材７の外周面にリング状に形成され、
所定のピッチでＮ極およびＳ極に交互に着磁されてい
る。ＴＭＦセンサ１０，１１は、固定部材８の内周面に
設けられ、磁界強度の変化を検出する。磁気検出センサ
としてＴＭＦセンサ１０，１１を用いたので、ホール素
子やＭＲ素子を用いていた従来に比べて磁気検出感度が
高くなり、着磁ピッチの微細化を図ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は回転検出機能付軸
受に関し、特に、回転体の回転状態を検出する機能を有
する回転検出機能付軸受に関する。
受に関し、特に、回転体の回転状態を検出する機能を有
する回転検出機能付軸受に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、回転体側に磁気パターンを設
けるとともに固定部側に磁気検出素子を設け、磁気検出
素子の出力信号に基づいて回転体の回転角度、回転数、
回転速度、回転方向などを検出するロータリエンコーダ
が知られている。また、装置の小型化を図るため、ロー
タリエンコーダを軸受に組み込む方法も提案されてい
る。
けるとともに固定部側に磁気検出素子を設け、磁気検出
素子の出力信号に基づいて回転体の回転角度、回転数、
回転速度、回転方向などを検出するロータリエンコーダ
が知られている。また、装置の小型化を図るため、ロー
タリエンコーダを軸受に組み込む方法も提案されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようなロータリエ
ンコーダでは、回転検出の分解能を高めるためには磁気
パターンの着磁ピッチを小さくする必要があるが、着磁
ピッチを小さくするほど磁気パターン周辺の磁界強度が
弱くなるという問題がある。この対策としては、磁気パ
ターンと磁気検出素子との間の距離を短くし、高感度の
磁気検出素子を用いることが考えられる。
ンコーダでは、回転検出の分解能を高めるためには磁気
パターンの着磁ピッチを小さくする必要があるが、着磁
ピッチを小さくするほど磁気パターン周辺の磁界強度が
弱くなるという問題がある。この対策としては、磁気パ
ターンと磁気検出素子との間の距離を短くし、高感度の
磁気検出素子を用いることが考えられる。
【０００４】しかし、回転に伴う回転体の振動などを考
慮すると磁気パターンと磁気検出素子との間の距離を
０．５ｍｍ程度以上確保したい場合がある。また、磁気
検出素子としては、ホール素子とＭＲ素子が知られてい
るが、これらの感度は十分に満足いくものではない。
慮すると磁気パターンと磁気検出素子との間の距離を
０．５ｍｍ程度以上確保したい場合がある。また、磁気
検出素子としては、ホール素子とＭＲ素子が知られてい
るが、これらの感度は十分に満足いくものではない。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、回
転検出の分解能が高い回転検出機能付軸受を提供するこ
とである。
転検出の分解能が高い回転検出機能付軸受を提供するこ
とである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
回転体の回転角度、回転速度などの回転状態を検出する
機能を有する回転検出機能付軸受であって、互いに回転
自在に設けられ、それらのうちのいずれか一方が回転体
とともに回転する内輪および外輪と、内輪および外輪の
一方側にリング状に形成され、その表面付近の磁界がそ
の円周方向に予め定められたピッチで変化するように着
磁された磁気パターンと、磁気パターンの一部に対向し
て内輪および外輪の他方側に設けられ、回転体の回転に
伴う磁界の変化を検出して回転体の回転状態を検出する
ための磁性薄膜型磁気検出素子を備えたものである。
回転体の回転角度、回転速度などの回転状態を検出する
機能を有する回転検出機能付軸受であって、互いに回転
自在に設けられ、それらのうちのいずれか一方が回転体
とともに回転する内輪および外輪と、内輪および外輪の
一方側にリング状に形成され、その表面付近の磁界がそ
の円周方向に予め定められたピッチで変化するように着
磁された磁気パターンと、磁気パターンの一部に対向し
て内輪および外輪の他方側に設けられ、回転体の回転に
伴う磁界の変化を検出して回転体の回転状態を検出する
ための磁性薄膜型磁気検出素子を備えたものである。
【０００７】請求項２に係る発明では、請求項１に係る
発明の磁性薄膜型磁気検出素子は複数設けられ、複数の
磁性薄膜型磁気検出素子は、回転体の回転に伴うそれら
のインピーダンス変化が予め定められた位相差を持つよ
うに、それらの回転方向に順次配列されている。
発明の磁性薄膜型磁気検出素子は複数設けられ、複数の
磁性薄膜型磁気検出素子は、回転体の回転に伴うそれら
のインピーダンス変化が予め定められた位相差を持つよ
うに、それらの回転方向に順次配列されている。
【０００８】請求項３に係る発明では、請求項１または
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界が
その円周方向に予め定められたピッチで同一方向で強度
変化するように着磁されている。
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界が
その円周方向に予め定められたピッチで同一方向で強度
変化するように着磁されている。
【０００９】請求項４に係る発明では、請求項１または
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界の
方向がその円周方向に予め定められたピッチで変化する
ように着磁されている。
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界の
方向がその円周方向に予め定められたピッチで変化する
ように着磁されている。
【００１０】請求項５に係る発明では、請求項４に係る
発明に、磁性薄膜型磁気検出素子に直流バイアス磁界を
与え、回転体の回転に伴う磁性薄膜型磁気検出素子のイ
ンピーダンス変化を正弦波状にするためのバイアス磁界
発生手段がさらに設けられる。
発明に、磁性薄膜型磁気検出素子に直流バイアス磁界を
与え、回転体の回転に伴う磁性薄膜型磁気検出素子のイ
ンピーダンス変化を正弦波状にするためのバイアス磁界
発生手段がさらに設けられる。
【００１１】請求項６に係る発明では、請求項１から５
のいずれかに係る発明に、内輪および外輪の他方側に設
けられ、回転体の回転に伴う磁性薄膜型磁気検出素子の
インピーダンス変化を電気信号に変換するための信号発
生回路がさらに設けられる。
のいずれかに係る発明に、内輪および外輪の他方側に設
けられ、回転体の回転に伴う磁性薄膜型磁気検出素子の
インピーダンス変化を電気信号に変換するための信号発
生回路がさらに設けられる。
【００１２】請求項７に係る発明では、請求項６に係る
発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出し、その
検出結果に基づいて磁気パターンの温度を検出するため
の温度検出回路がさらに設けられる。
発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出し、その
検出結果に基づいて磁気パターンの温度を検出するため
の温度検出回路がさらに設けられる。
【００１３】請求項８に係る発明では、請求項６または
７に係る発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出
する振幅検出回路と、信号発生回路の出力信号を受け、
振幅検出回路の検出結果に基づいて信号発生回路の出力
信号の振幅を予め定められたレベルに補正して出力する
補正回路とがさらに設けられる。
７に係る発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出
する振幅検出回路と、信号発生回路の出力信号を受け、
振幅検出回路の検出結果に基づいて信号発生回路の出力
信号の振幅を予め定められたレベルに補正して出力する
補正回路とがさらに設けられる。
【００１４】
【発明の実施の形態】［実施の形態１］図１は、この発
明の実施の形態１による回転センサ付軸受１の構成を示
す断面図である。図１において、この回転センサ付軸受
１は、軸受部２およびセンサ部３を備える。
明の実施の形態１による回転センサ付軸受１の構成を示
す断面図である。図１において、この回転センサ付軸受
１は、軸受部２およびセンサ部３を備える。
【００１５】軸受部２は、内輪４、外輪５および複数の
ボール６を含む。内輪４と外輪５は、同軸状に設けられ
ている。内輪４の外周面と外輪５の内周面には、それぞ
れ互いに対向してリング状の軌道４ａ，５ａが凹設され
ている。複数のボール６は、軌道４ａと５ａの間に転動
自在に設けられている。
ボール６を含む。内輪４と外輪５は、同軸状に設けられ
ている。内輪４の外周面と外輪５の内周面には、それぞ
れ互いに対向してリング状の軌道４ａ，５ａが凹設され
ている。複数のボール６は、軌道４ａと５ａの間に転動
自在に設けられている。
【００１６】また、センサ部３は、回転部材７、固定部
材８、磁気パターン９、磁性薄膜型磁気検出素子（以
下、ＴＭＦセンサと称す）１０，１１、および信号発生
回路１２を含む。回転部材７および固定部材８は、とも
にリング状に形成され、それぞれ内輪４および外輪５の
一方端面に固着されている。部材７，８は、内輪４およ
び外輪５と同軸状に設けられている。
材８、磁気パターン９、磁性薄膜型磁気検出素子（以
下、ＴＭＦセンサと称す）１０，１１、および信号発生
回路１２を含む。回転部材７および固定部材８は、とも
にリング状に形成され、それぞれ内輪４および外輪５の
一方端面に固着されている。部材７，８は、内輪４およ
び外輪５と同軸状に設けられている。
【００１７】磁気パターン９は、回転部材７の外周面に
形成されており、図２に示すように、円周方向に所定の
ピッチλでＮ極およびＳ極に交互に着磁されている。
形成されており、図２に示すように、円周方向に所定の
ピッチλでＮ極およびＳ極に交互に着磁されている。
【００１８】ＴＭＦセンサ１０，１１は、磁気パターン
９に対向して固定部材８の内周面に設けられており、円
周方向に２分の１ピッチλ／２分だけ離間して設けられ
ている。ＴＭＦセンサ１０，１１は、磁気インピーダン
ス素子の一種であり、図３に示すように、所定範囲で磁
界強度の絶対値に応じてそのインピーダンスが変化す
る。したがって、回転部材７が回転してＴＭＦセンサ１
０，１１の位置における磁界強度が正弦波状に変化する
と、ＴＭＦセンサ１０，１１のインピーダンスは正弦波
信号を全波整流したような波形で変化する。ＴＭＦセン
サ１０，１１は、薄膜状に形成されているので装置の小
型化が可能であり、かつホール素子やＭＲ素子よりも感
度が高い。
９に対向して固定部材８の内周面に設けられており、円
周方向に２分の１ピッチλ／２分だけ離間して設けられ
ている。ＴＭＦセンサ１０，１１は、磁気インピーダン
ス素子の一種であり、図３に示すように、所定範囲で磁
界強度の絶対値に応じてそのインピーダンスが変化す
る。したがって、回転部材７が回転してＴＭＦセンサ１
０，１１の位置における磁界強度が正弦波状に変化する
と、ＴＭＦセンサ１０，１１のインピーダンスは正弦波
信号を全波整流したような波形で変化する。ＴＭＦセン
サ１０，１１は、薄膜状に形成されているので装置の小
型化が可能であり、かつホール素子やＭＲ素子よりも感
度が高い。
【００１９】信号発生回路１２は、ＴＭＦセンサ１０，
１１とともに固定部材１２に設けられ、図４に示すよう
に、センサ駆動回路１３，１４、信号検出回路１５，１
６、差動増幅器１７および比較回路１８を含む。
１１とともに固定部材１２に設けられ、図４に示すよう
に、センサ駆動回路１３，１４、信号検出回路１５，１
６、差動増幅器１７および比較回路１８を含む。
【００２０】センサ駆動回路１３，１４は、それぞれＴ
ＭＦセンサ１０，１１に駆動電圧を与える。信号検出回
路１５，１６は、それぞれＴＭＦセンサ１０，１１のイ
ンピーダンス変化を電圧信号Ｖ１５，Ｖ１６に変換す
る。ＴＭＦセンサ１０，１１は円周方向にλ／２だけず
らせて設けられているので、図５（ａ）に示すように、
信号Ｖ１５，Ｖ１６の位相はλ／２ｖ分（ただし、ｖは
センサ１０，１１と磁気パターン９の相対速度である）
だけずれる。
ＭＦセンサ１０，１１に駆動電圧を与える。信号検出回
路１５，１６は、それぞれＴＭＦセンサ１０，１１のイ
ンピーダンス変化を電圧信号Ｖ１５，Ｖ１６に変換す
る。ＴＭＦセンサ１０，１１は円周方向にλ／２だけず
らせて設けられているので、図５（ａ）に示すように、
信号Ｖ１５，Ｖ１６の位相はλ／２ｖ分（ただし、ｖは
センサ１０，１１と磁気パターン９の相対速度である）
だけずれる。
【００２１】差動増幅器１７は、信号Ｖ１６とＶ１５の
差の電圧Ｖ１６−Ｖ１５を増幅して信号Ｖ１７を生成す
る。信号Ｖ１７は、図５（ｂ）に示すように、１周期が
λ／ｖの三角波となる。
差の電圧Ｖ１６−Ｖ１５を増幅して信号Ｖ１７を生成す
る。信号Ｖ１７は、図５（ｂ）に示すように、１周期が
λ／ｖの三角波となる。
【００２２】比較回路１８は、信号Ｖ１７と基準電圧Ｖ
Ｒとを比較し、信号Ｖ１７を方形波信号Ｖ１８に変換す
る。この信号Ｖ１８が信号発生回路１２の出力信号とな
る。信号Ｖ１８のパルス数をカウントすることにより、
回転軸の回転角度、回転数、回転速度などを検出するこ
とができる。
Ｒとを比較し、信号Ｖ１７を方形波信号Ｖ１８に変換す
る。この信号Ｖ１８が信号発生回路１２の出力信号とな
る。信号Ｖ１８のパルス数をカウントすることにより、
回転軸の回転角度、回転数、回転速度などを検出するこ
とができる。
【００２３】次に、図１〜図４で示した回転センサ付軸
受１の動作について説明する。まず、軸受部２の内輪４
に回転軸（図示せず）が挿嵌され、外輪２および固定部
材８は固定される。
受１の動作について説明する。まず、軸受部２の内輪４
に回転軸（図示せず）が挿嵌され、外輪２および固定部
材８は固定される。
【００２４】回転軸が回転すると内輪４、回転部材７お
よび磁気パターン９も回転し、ＴＭＦセンサ１０，１１
付近の磁界強度が正弦波状に変化し、ＴＭＦセンサ１
０，１１のインピーダンスが磁界強度の変化に応じて変
化する。ＴＭＦセンサ１０，１１のインピーダンス変化
は信号検出回路１５，１６によって電圧信号Ｖ１５，Ｖ
１６に変換され、この電圧信号Ｖ１５，Ｖ１６に基づい
て１周期がλ／ｖの方形波信号Ｖ１８が生成される。こ
の信号Ｖ１８の単位時間当りのパルス数とλから回転角
度、回転数、回転速度などを求めることができる。
よび磁気パターン９も回転し、ＴＭＦセンサ１０，１１
付近の磁界強度が正弦波状に変化し、ＴＭＦセンサ１
０，１１のインピーダンスが磁界強度の変化に応じて変
化する。ＴＭＦセンサ１０，１１のインピーダンス変化
は信号検出回路１５，１６によって電圧信号Ｖ１５，Ｖ
１６に変換され、この電圧信号Ｖ１５，Ｖ１６に基づい
て１周期がλ／ｖの方形波信号Ｖ１８が生成される。こ
の信号Ｖ１８の単位時間当りのパルス数とλから回転角
度、回転数、回転速度などを求めることができる。
【００２５】この実施の形態１では、磁気検出素子とし
てＴＭＦセンサ１０，１１を使用したので、ホール素子
やＭＲ素子を用いていた従来に比べ、高感度の回転検出
を行なうことができる。
てＴＭＦセンサ１０，１１を使用したので、ホール素子
やＭＲ素子を用いていた従来に比べ、高感度の回転検出
を行なうことができる。
【００２６】また、検出感度が向上したので、センサ１
０，１１と磁気パターン９の間の距離を大きくすること
ができ、配置上の自由度が増す。すなわち、回転軸の振
動などによってセンサ１０，１１と磁気パターンが接触
するのを防止するために、回転部材７と固定部材８の間
のギャップを大きくとることも可能になる。
０，１１と磁気パターン９の間の距離を大きくすること
ができ、配置上の自由度が増す。すなわち、回転軸の振
動などによってセンサ１０，１１と磁気パターンが接触
するのを防止するために、回転部材７と固定部材８の間
のギャップを大きくとることも可能になる。
【００２７】また、着磁パターンのピッチλの微細化に
よってセンサ１０，１１付近の磁界強度が弱くなっても
磁界強度を検出できるので、着磁パターンを微細化する
ことができ、小径の軸受においても高分解能の回転検出
が可能となる。
よってセンサ１０，１１付近の磁界強度が弱くなっても
磁界強度を検出できるので、着磁パターンを微細化する
ことができ、小径の軸受においても高分解能の回転検出
が可能となる。
【００２８】また、ＴＭＦセンサ１０，１１はＭＲ素子
と同様の薄膜形状であるため、装置の小型化を図ること
ができる。
と同様の薄膜形状であるため、装置の小型化を図ること
ができる。
【００２９】なお、ＴＭＦセンサ１０，１１および信号
発生回路１２を２組設け、それらを円周方向にλ／４だ
けずらせて配置すれば、図６に示すように、位相が４分
の１周期だけずれた２相の信号Ｖ１８，Ｖ１８′を得る
ことができ、さらに高分解能の回転検出が可能となる。
発生回路１２を２組設け、それらを円周方向にλ／４だ
けずらせて配置すれば、図６に示すように、位相が４分
の１周期だけずれた２相の信号Ｖ１８，Ｖ１８′を得る
ことができ、さらに高分解能の回転検出が可能となる。
【００３０】また、この実施の形態１では、回転センサ
付軸受１を軸受部２とセンサ部３に分けたが、軸受部２
とセンサ部３を一体化し、内輪４の外周面に磁気パター
ン９を直接設けるとともに外輪５の内周面にＴＭＦセン
サ１０，１１を直接設けてもよい。
付軸受１を軸受部２とセンサ部３に分けたが、軸受部２
とセンサ部３を一体化し、内輪４の外周面に磁気パター
ン９を直接設けるとともに外輪５の内周面にＴＭＦセン
サ１０，１１を直接設けてもよい。
【００３１】また、磁気パターン９は、その円周方向に
所定のピッチλでＮ極およびＳ極に交互に着磁されてい
ることとしたが、図７に示すように、ＴＭＦセンサ１
０，１１側から見ると同一極（図ではＮ極）のみがある
ように着磁してもよい。図７において、「Ｎ」の文字の
大きさは磁気パターン９′の表面付近における磁界強度
を示している。この場合は、回転軸が回転してもＴＭＦ
センサ１０，１１付近における磁界の方向は変化せず、
磁界強度のみが変化する。
所定のピッチλでＮ極およびＳ極に交互に着磁されてい
ることとしたが、図７に示すように、ＴＭＦセンサ１
０，１１側から見ると同一極（図ではＮ極）のみがある
ように着磁してもよい。図７において、「Ｎ」の文字の
大きさは磁気パターン９′の表面付近における磁界強度
を示している。この場合は、回転軸が回転してもＴＭＦ
センサ１０，１１付近における磁界の方向は変化せず、
磁界強度のみが変化する。
【００３２】また、この実施の形態１では、ＴＭＦセン
サ１０，１１付近における磁界をラジアル方向に変化さ
せたが、スラスト方向に変化させてもよい。この場合
は、図８に示すように、ＴＭＦセンサ１０，１１側から
見るとＳ極とＮ極が左右に見え、かつ１ピッチλごとに
Ｓ極とＮ極が入れ替わるように着磁するとよい。
サ１０，１１付近における磁界をラジアル方向に変化さ
せたが、スラスト方向に変化させてもよい。この場合
は、図８に示すように、ＴＭＦセンサ１０，１１側から
見るとＳ極とＮ極が左右に見え、かつ１ピッチλごとに
Ｓ極とＮ極が入れ替わるように着磁するとよい。
【００３３】［実施の形態２］図９は、この発明の実施
の形態２による回転センサ付軸受の要部を示すブロック
図であって、図４と対比される図である。
の形態２による回転センサ付軸受の要部を示すブロック
図であって、図４と対比される図である。
【００３４】図９において、この回転センサ付軸受が実
施の形態１の軸受１と異なる点は、ＴＭＦセンサ１０と
１１の間の距離が２分の１ピッチλ／２から１ピッチλ
に拡げられている点と、ＴＭＦセンサ１０，１１がそれ
ぞれ円筒型永久磁石２０，２１内に収容されている点
と、信号発生回路１２が信号発生回路２２で置換されて
いる点である。
施の形態１の軸受１と異なる点は、ＴＭＦセンサ１０と
１１の間の距離が２分の１ピッチλ／２から１ピッチλ
に拡げられている点と、ＴＭＦセンサ１０，１１がそれ
ぞれ円筒型永久磁石２０，２１内に収容されている点
と、信号発生回路１２が信号発生回路２２で置換されて
いる点である。
【００３５】永久磁石２０は、図１０および図１１に示
すように、ＴＭＦセンサ１０に一定のバイアス磁界を与
えるために設けられている。バイアス磁界は、ＴＭＦセ
ンサ１０近傍の磁界強度が正の範囲でのみ振幅するよう
に設定されている。したがって、ＴＭＦセンサ１０のイ
ンピーダンスは、正弦波状に変化する。永久磁石２１も
永久磁石２０と同じ目的で設けられており、ＴＭＦセン
サ２０のインピーダンスも正弦波状に変化する。
すように、ＴＭＦセンサ１０に一定のバイアス磁界を与
えるために設けられている。バイアス磁界は、ＴＭＦセ
ンサ１０近傍の磁界強度が正の範囲でのみ振幅するよう
に設定されている。したがって、ＴＭＦセンサ１０のイ
ンピーダンスは、正弦波状に変化する。永久磁石２１も
永久磁石２０と同じ目的で設けられており、ＴＭＦセン
サ２０のインピーダンスも正弦波状に変化する。
【００３６】信号発生回路２２は、センサ駆動回路２
３，２４、信号検出回路２５，２６および差動増幅器２
７を含む。センサ駆動回路２３，２４は、それぞれＴＭ
Ｆセンサ１０，１１に駆動電圧を与える。信号検出回路
２５，２６は、それぞれＴＭＦセンサ１０，１１のイン
ピーダンス変化を電圧信号Ｖ２５，Ｖ２６に変換する。
ＴＭＦセンサ１０，１１は、円周方向にλだけずらせて
設けられているので、図１２（ａ）に示すように、信号
Ｖ２５，Ｖ２６の位相はλ／ｖ分だけずれる。
３，２４、信号検出回路２５，２６および差動増幅器２
７を含む。センサ駆動回路２３，２４は、それぞれＴＭ
Ｆセンサ１０，１１に駆動電圧を与える。信号検出回路
２５，２６は、それぞれＴＭＦセンサ１０，１１のイン
ピーダンス変化を電圧信号Ｖ２５，Ｖ２６に変換する。
ＴＭＦセンサ１０，１１は、円周方向にλだけずらせて
設けられているので、図１２（ａ）に示すように、信号
Ｖ２５，Ｖ２６の位相はλ／ｖ分だけずれる。
【００３７】差動増幅器２７は、信号Ｖ２６とＶ２５の
差の電圧Ｖ２６−Ｖ２５を増幅して信号Ｖ２７を生成す
る。信号Ｖ２７は、図１２（ｂ）に示すように、１周期
が２λ／ｖの正弦波となる。この信号Ｖ２７が信号発生
回路２２の出力信号となる。信号Ｖ２７の波数をカウン
トすることにより、回転軸の回転角度、回転数、回転速
度などを検出することができる。また、信号Ｖ２７のレ
ベルを検出することにより、高精度で回転角度を検出す
ることもできる。他の構成および動作は、実施の形態１
の回転センサ付軸受１と同じであるので、その説明は繰
返さない。
差の電圧Ｖ２６−Ｖ２５を増幅して信号Ｖ２７を生成す
る。信号Ｖ２７は、図１２（ｂ）に示すように、１周期
が２λ／ｖの正弦波となる。この信号Ｖ２７が信号発生
回路２２の出力信号となる。信号Ｖ２７の波数をカウン
トすることにより、回転軸の回転角度、回転数、回転速
度などを検出することができる。また、信号Ｖ２７のレ
ベルを検出することにより、高精度で回転角度を検出す
ることもできる。他の構成および動作は、実施の形態１
の回転センサ付軸受１と同じであるので、その説明は繰
返さない。
【００３８】この実施の形態２では、ＴＭＦセンサ１
０，１１にバイアス磁界を与え、かつ差動増幅器２７に
よって２つのＴＭＦセンサ１０，１１に共通のノイズを
除去するので、歪みの少ない正弦波信号Ｖ２７を得るこ
とができる。この信号Ｖ２７の波数および信号レベルを
検出することにより、高分解能の回転検出が可能とな
る。
０，１１にバイアス磁界を与え、かつ差動増幅器２７に
よって２つのＴＭＦセンサ１０，１１に共通のノイズを
除去するので、歪みの少ない正弦波信号Ｖ２７を得るこ
とができる。この信号Ｖ２７の波数および信号レベルを
検出することにより、高分解能の回転検出が可能とな
る。
【００３９】なお、差動増幅器２７の後段に比較回路１
８を設け、正弦波信号Ｖ２７を方形波信号に変換しても
よい。
８を設け、正弦波信号Ｖ２７を方形波信号に変換しても
よい。
【００４０】また、図１３に示すように、円筒状永久磁
石２０の代わりにループ状コイル２８を設け、コイル２
８に直流電流を流しても同じ効果が得られる。
石２０の代わりにループ状コイル２８を設け、コイル２
８に直流電流を流しても同じ効果が得られる。
【００４１】また、永久磁石２０やコイル２８を設ける
代わりに、磁界パターン９を図７で示した磁界パターン
９′で置換しても同じ効果が得られる。すなわち、図７
で示した磁界パターン９′を用いると、ＴＭＦセンサ１
０，１１付近の磁界の方向は変化せず磁界強度のみが変
化するので、ＴＭＦセンサ１０，１１の出力信号の波形
歪みの程度が小さくなり、ＴＭＦセンサ１０，１１の出
力信号は正弦波状になる。
代わりに、磁界パターン９を図７で示した磁界パターン
９′で置換しても同じ効果が得られる。すなわち、図７
で示した磁界パターン９′を用いると、ＴＭＦセンサ１
０，１１付近の磁界の方向は変化せず磁界強度のみが変
化するので、ＴＭＦセンサ１０，１１の出力信号の波形
歪みの程度が小さくなり、ＴＭＦセンサ１０，１１の出
力信号は正弦波状になる。
【００４２】また、ＴＭＦセンサ１０，１１、永久磁石
２０，２１および信号発生回路２２を２組設け、それら
を円周方向にλ／２だけずらせて配置すれば、図１４に
示すように、位相がλ／２ｖ分だけずれた２相の信号Ｖ
２７，Ｖ２７′を得ることができ、さらに高分解能の回
転検出が可能となる。
２０，２１および信号発生回路２２を２組設け、それら
を円周方向にλ／２だけずらせて配置すれば、図１４に
示すように、位相がλ／２ｖ分だけずれた２相の信号Ｖ
２７，Ｖ２７′を得ることができ、さらに高分解能の回
転検出が可能となる。
【００４３】さらに、図１５に示すように、２組の信号
発生回路２２，２２′の出力信号Ｖ２７，Ｖ２７′に基
づいて磁界パターン９の温度すなわち環境温度を検出す
る温度検出回路３０を設けてもよい。すなわち、信号Ｖ
２７，Ｖ２７′は９０°の位相差を有しているため、信
号Ｖ２７，Ｖ２７′はそれぞれＲｃｏｓωｔ，Ｒｓｉｎ
ωｔと表わされる。したがって、信号Ｖ２７，Ｖ２７′
の自乗和（Ｒｃｏｓωｔ）2＋（Ｒｓｉｎωｔ）2＝Ｒ2
は時間変化しない一定値となる。
発生回路２２，２２′の出力信号Ｖ２７，Ｖ２７′に基
づいて磁界パターン９の温度すなわち環境温度を検出す
る温度検出回路３０を設けてもよい。すなわち、信号Ｖ
２７，Ｖ２７′は９０°の位相差を有しているため、信
号Ｖ２７，Ｖ２７′はそれぞれＲｃｏｓωｔ，Ｒｓｉｎ
ωｔと表わされる。したがって、信号Ｖ２７，Ｖ２７′
の自乗和（Ｒｃｏｓωｔ）2＋（Ｒｓｉｎωｔ）2＝Ｒ2
は時間変化しない一定値となる。
【００４４】一方、磁界パターン９の磁界強度は、温度
上昇に伴って減少する傾向にあり、磁界パターン９の材
料によって異なった変化率を示す。たとえばフェライト
磁石では温度が１℃上昇すると、磁界強度が約０．１８
％減少する。また、温度変化により軸受の部材が膨脹あ
るいは縮小し、磁界パターン９とＴＭＦセンサ１０，１
１のギャップも変化する。そこで、Ｒ2と温度の相関関
係を予め測定して温度検出回路３０内のメモリに格納し
ておく。温度検出回路３０は、信号Ｖ２７，Ｖ２７′に
基づいてＲ2を求め、そのＲ2に対応する温度を内蔵メモ
リから読出し、その温度に応じたレベルの信号ＶＴを出
力する。この場合は、温度検出機能も付加することがで
きる。
上昇に伴って減少する傾向にあり、磁界パターン９の材
料によって異なった変化率を示す。たとえばフェライト
磁石では温度が１℃上昇すると、磁界強度が約０．１８
％減少する。また、温度変化により軸受の部材が膨脹あ
るいは縮小し、磁界パターン９とＴＭＦセンサ１０，１
１のギャップも変化する。そこで、Ｒ2と温度の相関関
係を予め測定して温度検出回路３０内のメモリに格納し
ておく。温度検出回路３０は、信号Ｖ２７，Ｖ２７′に
基づいてＲ2を求め、そのＲ2に対応する温度を内蔵メモ
リから読出し、その温度に応じたレベルの信号ＶＴを出
力する。この場合は、温度検出機能も付加することがで
きる。
【００４５】また、図１６に示すように、２組の信号発
生回路２２，２２′の出力信号Ｖ２７＝Ｒｃｏｓωｔお
よび信号Ｖ２７′＝Ｒｓｉｎωｔの振幅Ｒを検出する振
幅検出回路３１と、振幅検出回路３１によって検出され
た振幅値Ｒで信号Ｖ２７，Ｖ２７′を除算するとともに
一定の振幅値Ｖを積算する補正回路３２，３３とを設け
てもよい。この場合は、温度変動に伴って磁界強度が変
動しても、常に一定振幅Ｖの信号Ｖｃｏｓωｔ，Ｖｓｉ
ｎωｔを得ることができる。
生回路２２，２２′の出力信号Ｖ２７＝Ｒｃｏｓωｔお
よび信号Ｖ２７′＝Ｒｓｉｎωｔの振幅Ｒを検出する振
幅検出回路３１と、振幅検出回路３１によって検出され
た振幅値Ｒで信号Ｖ２７，Ｖ２７′を除算するとともに
一定の振幅値Ｖを積算する補正回路３２，３３とを設け
てもよい。この場合は、温度変動に伴って磁界強度が変
動しても、常に一定振幅Ｖの信号Ｖｃｏｓωｔ，Ｖｓｉ
ｎωｔを得ることができる。
【００４６】なお、今回開示された実施の形態はすべて
の点で例示であって制限的なものではないと考えられる
べきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特
許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の
意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意
図される。
の点で例示であって制限的なものではないと考えられる
べきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特
許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の
意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意
図される。
【００４７】
【発明の効果】以上のように、請求項１に係る発明で
は、内輪および外輪の一方側にリング状に形成され、そ
の表面付近の磁界がその円周方向に予め定められたピッ
チで変化するように着磁された磁気パターンと、磁気パ
ターンの一部に対向して内輪および外輪の他方側に設け
られ、回転体の回転に伴う磁界の変化を検出して回転体
の回転状態を検出するための磁性薄膜型磁気検出素子と
が設けられる。したがって、磁性薄膜型磁気検出素子を
用いるので、ホール素子やＭＲ素子を用いていた従来に
比べ、高感度の磁気検出を行なうことができる。このた
め、磁気パターンの磁界強度や磁気パターンとの距離を
従来と同等に維持しながら、磁気パターンの着磁ピッチ
を細かくすることができ、小径の軸受に対しても高分解
能の回転検出を行なうことができる。また、磁気パター
ンの着磁ピッチなどを従来と同等に維持しながら、磁気
パターンと磁気検出素子の間のギャップを大きくとるこ
とができ、回転体の振動などによる磁気パターンと磁気
検出素子の接触を避けることができる。
は、内輪および外輪の一方側にリング状に形成され、そ
の表面付近の磁界がその円周方向に予め定められたピッ
チで変化するように着磁された磁気パターンと、磁気パ
ターンの一部に対向して内輪および外輪の他方側に設け
られ、回転体の回転に伴う磁界の変化を検出して回転体
の回転状態を検出するための磁性薄膜型磁気検出素子と
が設けられる。したがって、磁性薄膜型磁気検出素子を
用いるので、ホール素子やＭＲ素子を用いていた従来に
比べ、高感度の磁気検出を行なうことができる。このた
め、磁気パターンの磁界強度や磁気パターンとの距離を
従来と同等に維持しながら、磁気パターンの着磁ピッチ
を細かくすることができ、小径の軸受に対しても高分解
能の回転検出を行なうことができる。また、磁気パター
ンの着磁ピッチなどを従来と同等に維持しながら、磁気
パターンと磁気検出素子の間のギャップを大きくとるこ
とができ、回転体の振動などによる磁気パターンと磁気
検出素子の接触を避けることができる。
【００４８】請求項２に係る発明では、請求項１に係る
発明の磁性薄膜型磁気検出素子は複数設けられ、複数の
磁性薄膜型磁気検出素子は、回転体の回転に伴うそれら
のインピーダンス変化が予め定められた位相差を持つよ
うに、それらの回転方向に順次配列されている。この場
合は、さらに高分解能の回転検出を行なうことができ
る。
発明の磁性薄膜型磁気検出素子は複数設けられ、複数の
磁性薄膜型磁気検出素子は、回転体の回転に伴うそれら
のインピーダンス変化が予め定められた位相差を持つよ
うに、それらの回転方向に順次配列されている。この場
合は、さらに高分解能の回転検出を行なうことができ
る。
【００４９】請求項３に係る発明では、請求項１または
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界が
その円周方向に予め定められたピッチで同一方向で強度
変化するように着磁されている。この場合は、磁気検出
素子付近の磁界の方向は変化しないので、磁気検出素子
の出力信号の波形歪みの程度を小さくすることができ
る。
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界が
その円周方向に予め定められたピッチで同一方向で強度
変化するように着磁されている。この場合は、磁気検出
素子付近の磁界の方向は変化しないので、磁気検出素子
の出力信号の波形歪みの程度を小さくすることができ
る。
【００５０】請求項４に係る発明では、請求項１または
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界の
方向がその円周方向に予め定められたピッチで変化する
ように着磁されている。この場合は、磁界の変化を容易
かつ確実に検出することができる。
２に係る発明の磁気パターンは、その表面付近の磁界の
方向がその円周方向に予め定められたピッチで変化する
ように着磁されている。この場合は、磁界の変化を容易
かつ確実に検出することができる。
【００５１】請求項５に係る発明では、請求項４に係る
発明に、磁性薄膜型磁気検出素子に直流バイアス磁界を
与え、磁性薄膜型磁気検出素子のインピーダンス変化を
正弦波状にするためのバイアス磁界発生手段がさらに設
けられる。この場合は、磁気検出素子のインピーダンス
変化が正弦波状になるので、その後の信号処理を容易に
行なうことができる。
発明に、磁性薄膜型磁気検出素子に直流バイアス磁界を
与え、磁性薄膜型磁気検出素子のインピーダンス変化を
正弦波状にするためのバイアス磁界発生手段がさらに設
けられる。この場合は、磁気検出素子のインピーダンス
変化が正弦波状になるので、その後の信号処理を容易に
行なうことができる。
【００５２】請求項６に係る発明では、請求項１から５
のいずれかに係る発明に、内輪および外輪の他方側に設
けられ、磁性薄膜型磁気検出素子のインピーダンス変化
を電気信号に変換するための信号発生回路がさらに設け
られる。この場合は、装置のコンパクト化を図ることが
できる。
のいずれかに係る発明に、内輪および外輪の他方側に設
けられ、磁性薄膜型磁気検出素子のインピーダンス変化
を電気信号に変換するための信号発生回路がさらに設け
られる。この場合は、装置のコンパクト化を図ることが
できる。
【００５３】請求項７に係る発明では、請求項６に係る
発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出し、その
検出結果に基づいて磁気パターンの温度を検出するため
の温度検出回路がさらに設けられる。この場合は、環境
温度などを検出する機能を付加することができる。
発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出し、その
検出結果に基づいて磁気パターンの温度を検出するため
の温度検出回路がさらに設けられる。この場合は、環境
温度などを検出する機能を付加することができる。
【００５４】請求項８に係る発明では、請求項６または
７に係る発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出
する振幅検出回路と、信号発生回路の出力信号を受け、
振幅検出回路の検出結果に基づいて信号発生回路の出力
信号の振幅を予め定められたレベルに補正して出力する
補正回路とがさらに設けられる。この場合は、環境温度
などが変化しても一定振幅の信号を得ることができる。
７に係る発明に、信号発生回路の出力信号の振幅を検出
する振幅検出回路と、信号発生回路の出力信号を受け、
振幅検出回路の検出結果に基づいて信号発生回路の出力
信号の振幅を予め定められたレベルに補正して出力する
補正回路とがさらに設けられる。この場合は、環境温度
などが変化しても一定振幅の信号を得ることができる。
【図１】 この発明の実施の形態１による回転センサ付
軸受の構成を示す断面図である。
軸受の構成を示す断面図である。
【図２】 図１に示した磁気パターンの着磁状態および
２つのＴＭＦセンサの位置関係を説明するための図であ
る。
２つのＴＭＦセンサの位置関係を説明するための図であ
る。
【図３】 図２に示したＴＭＦセンサの磁界強度−イン
ピーダンス変換特性を示す図である。
ピーダンス変換特性を示す図である。
【図４】 図１に示した信号発生回路１２の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図５】 図４に示した信号発生回路の動作を示すタイ
ムチャートである。
ムチャートである。
【図６】 実施の形態１の変更例を説明するためのタイ
ムチャートである。
ムチャートである。
【図７】 実施の形態１の他の変更例を示す図である。
【図８】 実施の形態１のさらに他の変更例を示す図で
ある。
ある。
【図９】 この発明の実施の形態２による回転センサ付
軸受の要部を示すブロック図である。
軸受の要部を示すブロック図である。
【図１０】 図９に示した円筒状永久磁石の動作を示す
図である。
図である。
【図１１】 図１０に示したＴＭＦセンサの磁界強度−
インピーダンス変換特性を示す図である。
インピーダンス変換特性を示す図である。
【図１２】 図９に示した信号発生回路２２の動作を示
すタイムチャートである。
すタイムチャートである。
【図１３】 実施の形態２の変更例を示す図である。
【図１４】 実施の形態２の他の変更例を示すタイムチ
ャートである。
ャートである。
【図１５】 実施の形態２のさらに他の変更例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図１６】 実施の形態２のさらに他の変更例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
１ 回転センサ付軸受、２ 軸受部、３ センサ部、４
内輪、４ａ，５ａ軌道、５ 外輪、６ ボール、７
回転部材、８ 固定部材、９，９′，９"磁気パター
ン、１０，１１ ＴＭＦセンサ、１２，２２，２２′
信号発生回路、１３，１４，２３，２４ センサ駆動回
路、１５，１６，２５，２６ 信号検出回路、１７，２
７ 差動増幅器、１８ 比較回路、２０，２１ 永久磁
石、２８ コイル、３０ 温度検出回路、３１ 振幅検
出回路、３２，３３ 補正回路。
内輪、４ａ，５ａ軌道、５ 外輪、６ ボール、７
回転部材、８ 固定部材、９，９′，９"磁気パター
ン、１０，１１ ＴＭＦセンサ、１２，２２，２２′
信号発生回路、１３，１４，２３，２４ センサ駆動回
路、１５，１６，２５，２６ 信号検出回路、１７，２
７ 差動増幅器、１８ 比較回路、２０，２１ 永久磁
石、２８ コイル、３０ 温度検出回路、３１ 振幅検
出回路、３２，３３ 補正回路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｄ 5/245 Ｇ０１Ｄ 5/245 Ｂ
Claims (8)
- 【請求項１】 回転体の回転角度、回転速度などの回転
状態を検出する機能を有する回転検出機能付軸受であっ
て、 互いに回転自在に設けられ、それらのうちのいずれか一
方が前記回転体とともに回転する内輪および外輪、 前記内輪および前記外輪の一方側にリング状に形成さ
れ、その表面付近の磁界がその円周方向に予め定められ
たピッチで変化するように着磁された磁気パターン、お
よび前記磁気パターンの一部に対向して前記内輪および
前記外輪の他方側に設けられ、前記回転体の回転に伴う
磁界の変化を検出して前記回転体の回転状態を検出する
ための磁性薄膜型磁気検出素子を備える、回転検出機能
付軸受。 - 【請求項２】 前記磁性薄膜型磁気検出素子は複数設け
られ、 複数の前記磁性薄膜型磁気検出素子は、前記回転体の回
転に伴うそれらのインピーダンス変化が予め定められた
位相差を持つように、それらの回転方向に順次配列され
ている、請求項１に記載の回転検出機能付軸受。 - 【請求項３】 前記磁気パターンは、その表面付近の磁
界がその円周方向に予め定められたピッチで同一方向で
強度変化するように着磁されている、請求項１または請
求項２に記載の回転検出機能付軸受。 - 【請求項４】 前記磁気パターンは、その表面付近の磁
界の方向がその円周方向に予め定められたピッチで変化
するように着磁されている、請求項１または請求項２に
記載の回転検出機能付軸受。 - 【請求項５】 さらに、前記磁性薄膜型磁気検出素子に
直流バイアス磁界を与え、前記回転体の回転に伴う前記
磁性薄膜型磁気検出素子のインピーダンス変化を正弦波
状にするためのバイアス磁界発生手段を備える、請求項
４に記載の回転検出機能付軸受。 - 【請求項６】 さらに、前記内輪および前記外輪の他方
側に設けられ、前記回転体の回転に伴う前記磁性薄膜型
磁気検出素子のインピーダンス変化を電気信号に変換す
るための信号発生回路を備える、請求項１から請求項５
のいずれかに記載の回転検出機能付軸受。 - 【請求項７】 さらに、前記信号発生回路の出力信号の
振幅を検出し、その検出結果に基づいて前記磁気パター
ンの温度を検出するための温度検出回路を備える、請求
項６に記載の回転検出機能付軸受。 - 【請求項８】 さらに、前記信号発生回路の出力信号の
振幅を検出する振幅検出回路、および前記信号発生回路
の出力信号を受け、前記振幅検出回路の検出結果に基づ
いて前記信号発生回路の出力信号の振幅を予め定められ
たレベルに補正して出力する補正回路を備える、請求項
６または請求項７に記載の回転検出機能付軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000064620A JP2001255335A (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 回転検出機能付軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000064620A JP2001255335A (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 回転検出機能付軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001255335A true JP2001255335A (ja) | 2001-09-21 |
Family
ID=18584294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000064620A Withdrawn JP2001255335A (ja) | 2000-03-09 | 2000-03-09 | 回転検出機能付軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001255335A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003044381A1 (fr) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Nsk Ltd. | Palier a roulement equipe d'un detecteur et dispositif de detection d'un mode de rotation |
| JP2005148049A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-06-09 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | タイヤ内の異物検出方法及びその装置並びにタイヤ検査装置、タイヤ成形機、タイヤユニフォーミティーマシン |
| EP1903316A1 (de) * | 2006-09-20 | 2008-03-26 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Winkelmesssystem und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2009068533A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Ntn Corp | 軸受装置 |
| JP2014134433A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Denso Corp | 磁気センサー |
| JP2014169511A (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-18 | Toyota Industries Corp | 紡機の糸切れ検出装置 |
| CN107588112A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-01-16 | 无锡民联汽车零部件有限公司 | 基于霍尔效应测速的轴承 |
| JP2019152287A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
| JP2020037872A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-12 | ナブテスコ株式会社 | 油圧駆動装置及び作業機械 |
-
2000
- 2000-03-09 JP JP2000064620A patent/JP2001255335A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7481583B2 (en) | 2001-11-22 | 2009-01-27 | Nsk Ltd. | Rolling bearing with sensor and rotary state detecting device |
| US7290938B2 (en) | 2001-11-22 | 2007-11-06 | Nsk Ltd. | Sensor-equipped rolling bearing, and rotation state detecting device |
| WO2003044381A1 (fr) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Nsk Ltd. | Palier a roulement equipe d'un detecteur et dispositif de detection d'un mode de rotation |
| JP2005148049A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-06-09 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | タイヤ内の異物検出方法及びその装置並びにタイヤ検査装置、タイヤ成形機、タイヤユニフォーミティーマシン |
| US7676935B2 (en) | 2006-09-20 | 2010-03-16 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Angle-measurement system and method for production of an angle-measurement system |
| EP1903316A1 (de) * | 2006-09-20 | 2008-03-26 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Winkelmesssystem und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JP2009068533A (ja) * | 2007-09-11 | 2009-04-02 | Ntn Corp | 軸受装置 |
| JP2014134433A (ja) * | 2013-01-09 | 2014-07-24 | Denso Corp | 磁気センサー |
| JP2014169511A (ja) * | 2013-03-01 | 2014-09-18 | Toyota Industries Corp | 紡機の糸切れ検出装置 |
| CN107588112A (zh) * | 2017-10-24 | 2018-01-16 | 无锡民联汽车零部件有限公司 | 基于霍尔效应测速的轴承 |
| JP2019152287A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
| JP7074505B2 (ja) | 2018-03-05 | 2022-05-24 | Ntn株式会社 | 軸受装置 |
| JP2020037872A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-12 | ナブテスコ株式会社 | 油圧駆動装置及び作業機械 |
| JP7190847B2 (ja) | 2018-08-31 | 2022-12-16 | ナブテスコ株式会社 | 油圧駆動装置及び作業機械 |
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