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JP2001255288A - X-ray fluoroscope with camera tilting mechanism - Google Patents

X-ray fluoroscope with camera tilting mechanism

Info

Publication number
JP2001255288A
JP2001255288A JP2000067509A JP2000067509A JP2001255288A JP 2001255288 A JP2001255288 A JP 2001255288A JP 2000067509 A JP2000067509 A JP 2000067509A JP 2000067509 A JP2000067509 A JP 2000067509A JP 2001255288 A JP2001255288 A JP 2001255288A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
tube
camera
ray tube
intensity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000067509A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Mitsuhara
雅行 光原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2000067509A priority Critical patent/JP2001255288A/en
Publication of JP2001255288A publication Critical patent/JP2001255288A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 X線カメラの傾動角度を変化させても、X線
透過像の明るさが変化することのないカメラ傾動機構付
きX線透視装置を提供する。 【解決手段】 X線管球1の窓1aに近接して、X線透
過方向への厚みが周方向に連続的に変化する部材(例え
ば透過型X線管球の場合はターゲット1b自体)を回動
可能に設け、X線カメラ4の傾動角度に応じてその部材
1bを回動させることにより、X線管球1から出力され
るX線強度を変化させ、X線カメラ4に向かうX線の強
度を一定に保つことで、X線カメラの傾動角度に係わら
ず試料WのX線透過像の明るさを常に一定に保つ。
(57) [Problem] To provide an X-ray fluoroscope with a camera tilt mechanism in which the brightness of an X-ray transmission image does not change even when the tilt angle of the X-ray camera is changed. SOLUTION: A member (for example, in the case of a transmission type X-ray tube, a target 1b itself) whose thickness in the X-ray transmission direction continuously changes in the circumferential direction is provided near a window 1a of the X-ray tube 1. By rotating the member 1 b according to the tilt angle of the X-ray camera 4, the intensity of the X-ray output from the X-ray tube 1 is changed, and the X-ray traveling toward the X-ray camera 4 is changed. , The brightness of the X-ray transmission image of the sample W is always kept constant regardless of the tilt angle of the X-ray camera.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、試料のX線透視像
を観察したり、あるいはその透視像データをもとにX線
CT像を構築するX線透視装置に関し、更に詳しくは、
X線カメラの傾動機構を備えたX線透視装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an X-ray fluoroscope for observing an X-ray fluoroscopic image of a specimen or constructing an X-ray CT image based on the fluoroscopic image data.
The present invention relates to an X-ray fluoroscope including a tilting mechanism of an X-ray camera.

【0002】[0002]

【従来の技術】例えば産業用X線透視装置をはじめとす
るX線透視装置においては、X線管球に対向してイメー
ジインテンシファイアおよびCCDカメラ等からなるX
線カメラを配置し、これらの間に置かれた試料等の対称
物のX線透過像をX線カメラで撮影する。また、試料等
の透視対称物は、通常、様々な方向や部位のX線透過像
が得られるように、X線管球とX線カメラの間配置され
たXYテーブル並びに回転テーブルの上に置かれる。
2. Description of the Related Art For example, in an X-ray fluoroscope such as an industrial X-ray fluoroscope, an X-ray tube comprising an image intensifier, a CCD camera, and the like is opposed to an X-ray tube.
An X-ray camera is arranged, and an X-ray transmission image of a symmetric object such as a sample placed between the X-ray cameras is taken by the X-ray camera. In addition, a fluoroscopic object such as a sample is usually placed on an XY table and a rotary table arranged between an X-ray tube and an X-ray camera so that X-ray transmission images in various directions and parts can be obtained. I will

【0003】更にまた、図5に模式的に示すように、X
線管球51、XYテーブル52および試料Wが載せられ
る回転テーブル53に対して、X線カメラ54を傾動さ
せるカメラ傾動機構55を備えたものも実用化されてい
る。
[0005] Further, as schematically shown in FIG.
A camera equipped with a camera tilting mechanism 55 for tilting an X-ray camera 54 with respect to a rotary table 53 on which a ray tube 51, an XY table 52, and a sample W are placed has also been put to practical use.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、X線管球か
らは広がりのあるX線が出力されるが、その空間強度分
布は一般に一様ではなく、図6に例示するように、広が
りの中心部分(以下、光軸Lと称する)が最大であり、
そこから遠ざかるほど、つまり光軸Lに対する角度が大
きくなるほど弱くなる。従って、上記したカメラ傾動機
構付きのX線透視装置においては、X線カメラ54がX
線管球51の鉛直上方に位置する、傾動角度θが0の状
態、つまりX線の光軸L上にX線カメラ54が位置して
いる状態において、X線カメラ54に入射するX線強度
は最大となるのに対し、傾動角度θが増大するほど、X
線カメラ54に入射するX線強度が低下する。
By the way, although an X-ray with a spread is output from an X-ray tube, its spatial intensity distribution is not generally uniform, and as shown in FIG. The portion (hereinafter referred to as the optical axis L) is the largest,
The further away from it, that is, the greater the angle with respect to the optical axis L, the weaker it becomes. Therefore, in the X-ray fluoroscope with the camera tilting mechanism described above, the X-ray camera 54
X-ray intensity incident on the X-ray camera 54 in a state where the tilt angle θ is located vertically above the ray tube 51 and the X-ray camera 54 is positioned on the optical axis L of the X-ray. Is maximum, whereas as the tilt angle θ increases, X
The X-ray intensity incident on the X-ray camera 54 decreases.

【0005】一方、X線管球51から出力されるX線の
強度は、その管電圧や管電流の調整によって変化させる
ことができ、そのX線強度はX線カメラ54による試料
のX線透過像の明るさが最適となるように設定され、こ
の調整は、通常、X線カメラ54の傾動角度θが0の状
態で行われる。
On the other hand, the intensity of the X-ray output from the X-ray tube 51 can be changed by adjusting the tube voltage and the tube current. The brightness of the image is set to be optimal, and this adjustment is usually performed in a state where the tilt angle θ of the X-ray camera 54 is zero.

【0006】このようなことから、従来のカメラ傾動機
構付きX線透視装置においては、X線カメラ54の傾動
角度θが0の状態においては試料の良好なX線透過像が
得られるものの、傾動機構55によりX線カメラ54を
傾動させると、X線の強度不足によりX線透過像が暗く
なってしまうという問題があった。
Thus, in the conventional X-ray fluoroscope with a camera tilting mechanism, a good X-ray transmission image of the sample can be obtained when the tilt angle θ of the X-ray camera 54 is 0, but the tilting is not possible. When the X-ray camera 54 is tilted by the mechanism 55, there is a problem that the X-ray transmission image becomes dark due to insufficient X-ray intensity.

【0007】本発明はこのような実情に鑑みてなされた
もので、X線カメラの傾動角度を変化させても、X線透
過像の明るさが変化することのないカメラ傾動機構付き
X線透視装置の提供を目的としている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an X-ray fluoroscope with a camera tilting mechanism in which the brightness of an X-ray transmission image does not change even when the tilt angle of the X-ray camera is changed. It is intended to provide equipment.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、請求項1に係る発明のカメラ傾動機構付きX線透視
装置は、X線管球と、そのX線管球に対向配置されたX
線カメラを備えるとともに、そのX線カメラの傾動機構
を備えたX線透視装置において、上記X線管球からX線
を取り出すための窓の近傍に、X線透過方向への厚みが
周方向に連続的に相違する部材が回動可能に設けられて
いるとともに、その部材を、上記X線カメラの傾動角度
が大きくなるほどX線透過部位における厚さが薄くなる
向きに自動的に回動させる回動制御手段を備えているこ
とによって特徴づけられる。
In order to achieve the above object, an X-ray fluoroscopic apparatus with a camera tilting mechanism according to the first aspect of the present invention is provided with an X-ray tube and an X-ray tube opposed to the X-ray tube. X
In the X-ray fluoroscopic apparatus having the X-ray camera and the tilting mechanism of the X-ray camera, the thickness in the X-ray transmission direction is increased in the circumferential direction in the vicinity of the window for extracting the X-ray from the X-ray tube. A continuously different member is provided rotatably, and the member is automatically rotated in such a direction that the thickness at the X-ray transmitting portion becomes thinner as the tilt angle of the X-ray camera becomes larger. It is characterized by having dynamic control means.

【0009】ここで、請求項1に係る発明においては、
透過型のX線管球を用いる場合、窓の近傍に回動可能に
設けられる部材を、ターゲット自体とすること(請求項
2)ができる。
Here, in the invention according to claim 1,
When a transmission type X-ray tube is used, the target itself can be a member rotatably provided near the window (claim 2).

【0010】また、同じ目的を達成するため、請求項3
に係る発明のカメラ傾動機構付きX線透視装置は、X線
管球と、そのX線管球に対向配置されたX線カメラを備
えるとともに、そのX線カメラの傾動機構を備えたX線
透視装置において、上記X線カメラの傾動角度が大きく
なるほどX線量が多くなるように上記X線管球の管電
流、または、管電流と管電圧を自動的に変化させるX線
管球制御手段を備えていることによって特徴づけられ
る。
Further, in order to achieve the same object, a third aspect of the invention is provided.
An X-ray fluoroscopic apparatus with a camera tilting mechanism according to the present invention comprises an X-ray tube, an X-ray camera opposed to the X-ray tube, and an X-ray fluoroscope provided with a tilting mechanism of the X-ray camera. The apparatus further comprises X-ray tube control means for automatically changing the tube current of the X-ray tube or the tube current and the tube voltage so that the X-ray dose increases as the tilt angle of the X-ray camera increases. It is characterized by having.

【0011】本発明は、X線カメラの傾動角度に応じ
て、X線管球から出力されるX線の強度を自動的に変化
させることによって、X線カメラの傾動時におけるX線
透視画像の明るさを一定に保とうとするものである。
According to the present invention, the intensity of X-rays output from an X-ray tube is automatically changed in accordance with the tilt angle of an X-ray camera. This is to keep the brightness constant.

【0012】すなわち、請求項1に係る発明において
は、X線管球からX線を取り出すための窓の近傍に、X
線透過方向への厚みが周方向に連続的に変化する部材を
回動可能に設けて、X線カメラの傾動角度に応じてその
部材を回動させてX線透過部位における厚さを自動的に
変化させる。これにより、X線管球から出力されるX線
は、上記部材の透過時にその厚さに応じた減衰を受け
る。従って、X線カメラの傾動角度が大きくなるほどX
線透過部位における部材の厚さが薄くなる向きに当該部
材を自動的に回動させることで、X線カメラの傾動角度
を増大させるに連れてX線管球からのX線強度が増大
し、X線管球からのX線強度分布に起因してX線カメラ
の傾動時にそこに入射するX線強度の低下を相殺するこ
とができ、X線透過像の明るさを一定に保つことができ
る。
That is, according to the first aspect of the present invention, an X-ray is provided near a window for extracting X-rays from an X-ray tube.
A member whose thickness in the X-ray transmission direction continuously changes in the circumferential direction is provided rotatably, and the member is rotated according to the tilt angle of the X-ray camera to automatically adjust the thickness at the X-ray transmission part. To change. As a result, the X-ray output from the X-ray tube undergoes attenuation according to its thickness when transmitting through the above-mentioned member. Therefore, as the tilt angle of the X-ray camera increases, X
By automatically rotating the member in a direction in which the thickness of the member at the X-ray transmitting portion is reduced, the X-ray intensity from the X-ray tube increases as the tilt angle of the X-ray camera increases, Due to the X-ray intensity distribution from the X-ray tube, a decrease in the X-ray intensity incident upon tilting of the X-ray camera can be offset, and the brightness of the X-ray transmission image can be kept constant. .

【0013】そして、請求項2に係る発明は、上記した
請求項1に係る発明における好適な態様を示すものであ
り、X線管球を透過型のもの、つまりターゲットの電子
ビームの照射面と反対側の面からX線を取り出すタイプ
のものとして、ターゲット自体をX線管球の窓の近傍に
おいて回動可能に配置し、そのターゲットをX線カメラ
の傾動角度が増大するほどX線透過部位、従って電子ビ
ームの照射部位の厚さが薄くなる向きに回動させる。こ
れにより、X線管球からのX線強度はX線カメラの傾動
角度が増大するほど強くなり、請求項1に係る発明と同
等の効果を奏することができる。
A second aspect of the present invention is a preferred embodiment of the first aspect of the present invention in which the X-ray tube is of a transmission type, that is, the X-ray tube has an electron beam irradiation surface and a target. As a type in which X-rays are taken out from the opposite surface, the target itself is rotatably arranged near the window of the X-ray tube, and the X-ray transmitting portion is set so that the target is tilted as the tilt angle of the X-ray camera increases. Therefore, it is rotated in a direction in which the thickness of the irradiated portion of the electron beam becomes thin. As a result, the X-ray intensity from the X-ray tube increases as the tilt angle of the X-ray camera increases, and the same effect as that of the first aspect can be obtained.

【0014】この請求項2に係る発明では、X線管球内
に、回動によりX線の吸収量を変化させるための部材を
別途配置する必要がなく、請求項1に係る発明に含まれ
る構成中において最もシンプルで効率的な構成であると
言える。また、請求項1および2に係る発明において
は、X線管球からのX線強度を変化させるために、管電
流等を一切変化させないため、ターゲットに照射される
電子ビームのフォーカススポット径の拡大が生じず、鮮
明な画像を得ることができる。
According to the second aspect of the present invention, there is no need to separately arrange a member for changing the amount of X-ray absorption by rotation in the X-ray tube, and this is included in the first aspect of the present invention. It can be said that this is the simplest and most efficient configuration. In the inventions according to claims 1 and 2, since the tube current or the like is not changed at all in order to change the X-ray intensity from the X-ray tube, the focus spot diameter of the electron beam applied to the target is enlarged. Does not occur, and a clear image can be obtained.

【0015】請求項3に係る発明は、X線カメラの傾動
角度を変化させる際に、X線管球の管電流のみを変化さ
せるか、あるいは管電流と管電圧とを自動的に変化させ
てX線強度を変化させることで、X線カメラの傾動角度
が増大してX線カメラに向かうX線の強度が低下するこ
とに対抗させる。X線管球の管電流と出力されるX線の
強度、または管電流と管電圧と出力されるX線の強度と
の関係、および、X線管球からのX線の空間強度分布を
あらかじめ測定して記憶しておけば、X線カメラの傾動
角度の変化に対応して、管電流のみ、あるいは管電流と
管電圧を適宜に変化させて、X線カメラに向かうX線強
度が一定となるようにX線強度を自動的に変化させるこ
とができる。
According to a third aspect of the present invention, when the tilt angle of the X-ray camera is changed, only the tube current of the X-ray tube is changed, or the tube current and the tube voltage are automatically changed. By changing the X-ray intensity, the tilt angle of the X-ray camera is increased and the intensity of the X-ray toward the X-ray camera is reduced. The relationship between the tube current of the X-ray tube and the intensity of the output X-ray, or the relationship between the tube current and the tube voltage and the intensity of the output X-ray, and the spatial intensity distribution of the X-ray from the X-ray tube are determined in advance. If measured and stored, only the tube current or the tube current and the tube voltage are appropriately changed in accordance with the change in the tilt angle of the X-ray camera, and the X-ray intensity toward the X-ray camera is kept constant. The X-ray intensity can be automatically changed as follows.

【0016】なお、この請求項3に係る発明において
は、管電圧を変化させるとX線の波長成分が変化するた
め、管電流の変化のみによってX線強度を変化させるこ
とが望ましいが、管電流の変化のみでは所要のX線強度
が得られない場合には、管電流と管電圧とを変化させて
X線強度を変化させればよい。
In the third aspect of the present invention, when the tube voltage is changed, the wavelength component of the X-rays changes. Therefore, it is desirable to change the X-ray intensity only by changing the tube current. If the required X-ray intensity cannot be obtained only by changing the X-ray intensity, the X-ray intensity may be changed by changing the tube current and the tube voltage.

【0017】[0017]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
好適な実施の形態について説明する。図1は本発明の請
求項1並びに請求項2に係る発明の実施の形態の構成図
であり、機械的構成を表す模式図と、電気的構成を表す
ブロック図とを併記して示す図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the invention according to claims 1 and 2 of the present invention, and is a diagram showing both a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing an electrical configuration. is there.

【0018】X線管球1は、X線の光軸Lが鉛直上方に
向かうように配置され、その上方に水平面に沿ったXY
テーブル2が設けられ、そのXYテーブル2の上に回転
テーブル3が載せられている。回転テーブル3の更に上
方には、所定の距離を開けてX線カメラ4が配置されて
おり、透視対称物W(以下、試料Wと称する)は回転テ
ーブル3の上に載せ去られた状態で、その下方からX線
が照射され、試料Wを透過したX線はX線カメラ4に入
射する。X線カメラ4は、例えばイメージインテンシフ
ァイアとCCDとを組み合わせたものであり、その刻々
の出力は画像処理回路5に取り込まれ、表示器6に試料
WのX線透過像が表示されるようになっている。
The X-ray tube 1 is disposed so that the optical axis L of the X-ray is directed vertically upward, and the XY along the horizontal plane is positioned above the X-ray tube.
A table 2 is provided, and a rotary table 3 is mounted on the XY table 2. An X-ray camera 4 is arranged above the turntable 3 at a predetermined distance from the turntable 3, and a perspective symmetric object W (hereinafter, referred to as a sample W) is placed on the turntable 3. X-rays are irradiated from below, and the X-rays transmitted through the sample W enter the X-ray camera 4. The X-ray camera 4 is, for example, a combination of an image intensifier and a CCD. The output of the X-ray camera 4 is taken into an image processing circuit 5 so that an X-ray transmission image of the sample W is displayed on a display 6. It has become.

【0019】X線カメラ4は、傾動機構7によってX線
管球1の光軸Lに対する傾動角度θを任意に設定できる
ようになっている。このX線カメラ4の傾動は、傾動用
モータ7aを駆動することにより、X線管球1の中心を
中心として、所定の平面に沿って円弧状にX線カメラ4
を移動させることことによって行われる。
The X-ray camera 4 can arbitrarily set the tilt angle θ of the X-ray tube 1 with respect to the optical axis L by the tilt mechanism 7. The tilting of the X-ray camera 4 is performed by driving the tilting motor 7a, thereby forming the X-ray camera 4 in an arc along a predetermined plane with the center of the X-ray tube 1 as a center.
This is done by moving

【0020】X線管球1は透過型の管球であり、図2
(A)に図1の要部拡大図を、同図(B)にはそのB矢
視図を示すように、X線を取り出すべく、例えばBeや
Al等の軽金属からなる窓1aが設けられているととも
に、その窓1aに近接して、全体として略円盤状をした
ターゲット1bが配置され、そのターゲット1bに対し
て窓1aの背後から電子ビームが照射される。そして、
電子ビームの照射によりターゲット1bから発生するX
線が、電子ビームの照射面と反対側の面、つまり窓1a
に対向する面から窓1aを介して外部に出力されるよう
になっている。
The X-ray tube 1 is a transmission type tube, and is shown in FIG.
(A) is an enlarged view of a main part of FIG. 1, and FIG. (B) is a view of the view taken in the direction of the arrow B. In order to extract X-rays, a window 1 a made of a light metal such as Be or Al is provided. At the same time, a substantially disk-shaped target 1b is arranged near the window 1a, and the target 1b is irradiated with an electron beam from behind the window 1a. And
X generated from the target 1b by electron beam irradiation
The line is on the surface opposite to the electron beam irradiation surface, that is, the window 1a.
Is output to the outside through the window 1a from the surface facing the.

【0021】略円盤状のターゲット1bは、その中心が
電子ビームの照射部位に対してずれた状態、換言すれば
筒状のX線管球1の本体部分の中心に対してずれた状態
で配置されており、X線管球1のケーシングは、そのタ
ーゲット1bの全体を覆うべく、窓1aの配設側の端部
が円盤状に突出した異形形状をしている。そして、この
略円盤状のターゲット1bは、図3に斜視図を示すよう
に、Al等の軽金属からなる厚さ0.5mm程度の基材
1cの表面にタングステン(W)の蒸着膜1dを形成し
たものであり、そのタングステン蒸着膜1dの厚さは、
周方向に連続的に変化している。また、基材1cの中心
部は、ケーシングを気密に貫通するモータ8の出力軸に
固着され、このモータ8を駆動することによってターゲ
ット1bが回動するように構成されている。このような
構成により、モータ8の駆動により、ターゲット1bの
タングステン蒸着膜1dに対する電子ビームの照射位
置、従ってX線発生部位の厚さが連続的に変化するよう
になっている。
The substantially disk-shaped target 1b is arranged with its center shifted with respect to the electron beam irradiation site, in other words, with its center shifted with respect to the center of the main body of the cylindrical X-ray tube 1. The casing of the X-ray tube 1 has an irregular shape in which the end on the side where the window 1a is disposed projects in a disk shape so as to cover the entire target 1b. Then, as shown in a perspective view in FIG. 3, this substantially disk-shaped target 1b has a tungsten (W) vapor-deposited film 1d formed on a surface of a base material 1c made of a light metal such as Al and having a thickness of about 0.5 mm. The thickness of the tungsten deposited film 1d is:
It changes continuously in the circumferential direction. A central portion of the base 1c is fixed to an output shaft of a motor 8 that passes through the casing in an airtight manner, and the target 1b is rotated by driving the motor 8. With such a configuration, the irradiation position of the electron beam on the tungsten deposition film 1d of the target 1b, that is, the thickness of the X-ray generation site is continuously changed by driving the motor 8.

【0022】ターゲット1を回動させるためのモータ8
と、前記した傾動用モータ7aと、XYテーブル2の各
方向への駆動用モータ2a,2b、および、回転テーブ
ル3をそれぞれ駆動するためのモータ3aは、それぞれ
に対応して設けられ、かつ、制御部9の制御下にある駆
動回路(いずれも図示せず)からの駆動信号によって動
作する。制御部9はCPUを主体とするものであり、各
種指令を与えるための操作盤10が接続されている。
Motor 8 for rotating target 1
And the tilting motor 7a, the driving motors 2a and 2b in each direction of the XY table 2, and the motor 3a for driving the rotary table 3, respectively, are provided in correspondence with each other, and It operates according to a drive signal from a drive circuit (both not shown) under the control of the control unit 9. The control unit 9 is mainly composed of a CPU, and is connected to an operation panel 10 for giving various instructions.

【0023】さて、制御部9は、傾動機構7によりX線
カメラ4の傾動角度を変化させたとき、その傾動角度に
応じてモータ8を自動的に駆動制御してターゲット1b
を回動させることにより、X線管球1から出力されるX
線の強度が前記した図6に示すような空間分布を持って
いても、X線カメラ4による試料WのX線透過像の明る
さを一定に保つ。
When the tilting mechanism 7 changes the tilt angle of the X-ray camera 4 by the tilt mechanism 7, the control unit 9 automatically controls the driving of the motor 8 in accordance with the tilt angle to control the target 1b.
Is rotated, the X-ray output from the X-ray tube 1 is
Even if the line intensity has the spatial distribution as shown in FIG. 6, the brightness of the X-ray transmission image of the sample W by the X-ray camera 4 is kept constant.

【0024】すなわち、制御部9は、傾動機構7により
X線カメラ4の傾動角度を変化させると、モータ8を駆
動してX線管球1のターゲット1bの電子ビームの照射
位置におけるタングステン蒸着膜1dの厚さを自動的に
変化させる。このタングステン蒸着膜1dの電子ビーム
の照射位置における厚さの変化により、ターゲット1b
の電子ビーム照射面の反対側から発生して窓1aを介し
て外部に出力されるX線強度が変化することになるが、
制御部9には、あらかじめ図6に例示した当該X線管球
1からのX線の空間強度分布と、ターゲット1bの各回
動角度に対するX線強度の関係とが書き込まれており、
X線カメラ4の傾動角度θに該当するX線の強度が常に
一定となるようにターゲット1bの回動角度を制御す
る。
That is, when the tilting angle of the X-ray camera 4 is changed by the tilting mechanism 7, the control unit 9 drives the motor 8 to drive the target 1 b of the X-ray tube 1 at the irradiation position of the electron beam on the target 1 b. The thickness of 1d is automatically changed. Due to the change in the thickness of the tungsten deposition film 1d at the irradiation position of the electron beam, the target 1b
X-ray intensity generated from the opposite side of the electron beam irradiation surface and output to the outside through the window 1a changes.
The spatial intensity distribution of the X-rays from the X-ray tube 1 illustrated in FIG. 6 and the relationship of the X-ray intensity with respect to each rotation angle of the target 1b are written in the control unit 9 in advance,
The rotation angle of the target 1b is controlled so that the intensity of X-rays corresponding to the tilt angle θ of the X-ray camera 4 is always constant.

【0025】以上の動作により、X線管球1からのX線
の空間強度分布が前記した図6に示したような分布を有
していても、X線カメラ4の傾動角度θを任意に設定し
ても、X線カメラ4に向かうX線の強度は常に一定とな
り、表示器6に表示される試料WのX線透過像の明るさ
を一定に保つことができる。
With the above operation, the tilt angle θ of the X-ray camera 4 can be arbitrarily set even if the spatial intensity distribution of the X-rays from the X-ray tube 1 has the distribution shown in FIG. Even if it is set, the intensity of the X-rays directed to the X-ray camera 4 is always constant, and the brightness of the X-ray transmission image of the sample W displayed on the display 6 can be kept constant.

【0026】以上の実施の形態において特に注目すべき
点は、ターゲット1b自体の電子ビームの照射位置にお
ける厚さを変化させることによって、X線管球1から出
力されるX線の強度を変化させる点であり、この構成の
採用により、X線管球1内には特にX線を吸収するため
の部材等を別途配置する必要がなくなり、最も効率的で
簡単な構成のもとにX線強度を変化させることができる
と同時に、X線強度の変更に際してX線管球1の管電流
や管電圧を変更しないが故に、ターゲット1bに照射さ
れる電子ビームスポットも変化しないことから、X線強
度の変更に際してX線透過像の鮮明度が低下する恐れも
ない。
It should be particularly noted in the above embodiment that the intensity of the X-ray output from the X-ray tube 1 is changed by changing the thickness of the target 1b itself at the irradiation position of the electron beam. With this configuration, it is not necessary to separately arrange a member for absorbing X-rays in the X-ray tube 1, and the X-ray intensity can be reduced with the most efficient and simple configuration. At the same time as changing the X-ray intensity, the electron beam spot applied to the target 1b does not change because the tube current and the tube voltage of the X-ray tube 1 are not changed. There is no danger that the sharpness of the X-ray transmission image will be reduced when changing.

【0027】なお、以上の実施の形態では、X線管球1
内においてターゲット1bを回動させることによって、
電子ビームの照射位置におけるタングステン蒸着膜1d
の厚さを変化させてX線強度を変化させたが、X線管球
1の窓1aとターゲット1bとの間にX線をある程度吸
収できる部材を回動可能に設け、その部材のX線透過部
位における厚さをX線カメラ4の傾動角度θに応じて変
化させても上記と同等の作用効果を奏することができ、
また、この場合、透過型のX線管球を用いることなく、
例えば電子ビームの照射位置に直交する方向からX線を
取り出すタイプのX線管球を採用することもできる。
In the above embodiment, the X-ray tube 1
By rotating the target 1b within the
Tungsten deposited film 1d at electron beam irradiation position
Although the X-ray intensity was changed by changing the thickness of the X-ray tube, a member capable of absorbing X-rays to a certain extent was rotatably provided between the window 1a of the X-ray tube 1 and the target 1b. Even when the thickness at the transmission part is changed according to the tilt angle θ of the X-ray camera 4, the same operation and effect as described above can be obtained,
In this case, without using a transmission type X-ray tube,
For example, an X-ray tube of a type that extracts X-rays from a direction orthogonal to the electron beam irradiation position may be employed.

【0028】次に、請求項3に係る発明の実施の形態に
ついて説明する。図4はその構成図であり、機械的構成
を表す模式図と電気的構成を表すブロック図を併記して
示している。なお、この図4においては、図1に示した
実施の形態と同等の部材等については同一の符号を付し
てその詳細な説明を省略する。
Next, an embodiment of the invention according to claim 3 will be described. FIG. 4 is a diagram showing the configuration, in which a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing an electrical configuration are shown together. In FIG. 4, members and the like equivalent to those in the embodiment shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0029】この例における特徴は、X線管球1′とし
て通常のものを用いるとともに、そのX線管球1′の管
電流、あるいは管電流と管電圧とを、X線カメラ4の傾
動角度に応じて自動的に変化させることで、X線カメラ
4に向かうX線強度を一定に保つ点にある。
The feature of this example is that a normal X-ray tube 1 'is used and the tube current of the X-ray tube 1' or the tube current and the tube voltage are determined by the tilt angle of the X-ray camera 4. The point is that the X-ray intensity toward the X-ray camera 4 is kept constant by automatically changing the X-ray intensity in accordance with.

【0030】すなわち、この実施の形態においては、制
御部9からの指令信号に基づいてX線管球1′の管電流
および管電圧をそれぞれ連続的に変化させることのでき
る管電流制御回路11および管電圧制御回路12が設け
られている。制御部9には、あかじめ前記した図6に例
示したX線管球1′からのX線の空間強度分布と、X線
管球1′の管電流の各値に対するX線強度の関係、およ
び、管電流と管電圧の各値に対するX線強度の関係とが
書き込まれており、傾動機構7によりX線カメラ4の傾
動角度θを変更するごとに、X線カメラ4に向かうX線
の強度が一定となるようにX線管球1′の管電流を変化
させ、また、管電流の変化のみでは所要のX線強度が得
られない場合には、管電流に加えて管電圧を自動的に変
化させる。
That is, in this embodiment, a tube current control circuit 11 and a tube current control circuit 11 capable of continuously changing the tube current and the tube voltage of the X-ray tube 1 'based on a command signal from the control unit 9 respectively. A tube voltage control circuit 12 is provided. The control unit 9 previously stores the relationship between the spatial intensity distribution of X-rays from the X-ray tube 1 'illustrated in FIG. 6 and the X-ray intensity for each value of the tube current of the X-ray tube 1'. And the relationship between the X-ray intensity for each value of the tube current and the tube voltage are written. Each time the tilting mechanism 7 changes the tilt angle θ of the X-ray camera 4, the X-rays directed to the X-ray camera 4 are changed. The tube current of the X-ray tube 1 'is changed so that the intensity of the X-ray becomes constant. If the required X-ray intensity cannot be obtained only by the change of the tube current, the tube voltage is added to the tube current. Change automatically.

【0031】この実施の形態によっても、X線管球1′
からのX線の空間強度分布が図6に例示したように一様
でなくても、X線カメラ4を任意の傾動角度θで傾動さ
せたときに、X線管球1′から出力されるX線の強度が
自動的に変化して、X線カメラ4に向かうX線の強度は
一定に保たれ、表示器6に表示されるX線透過像の明る
さを一定に保つことができる。
According to this embodiment, the X-ray tube 1 '
Even when the spatial intensity distribution of X-rays from the camera is not uniform as illustrated in FIG. 6, when the X-ray camera 4 is tilted at an arbitrary tilt angle θ, it is output from the X-ray tube 1 ′. The X-ray intensity automatically changes, the X-ray intensity toward the X-ray camera 4 is kept constant, and the brightness of the X-ray transmission image displayed on the display 6 can be kept constant.

【0032】この実施の形態においては、X線管球1′
からのX線強度を変化させることによってX線管球1′
のターゲットに照射される電子ビームスポットは変化す
るものの、X線管球1′として特殊なものではなく通常
のものを用いることができるという利点がある。
In this embodiment, the X-ray tube 1 '
X-ray tube 1 'by changing the X-ray intensity from
Although the electron beam spot applied to the target changes, there is an advantage that a normal X-ray tube 1 'can be used instead of a special one.

【0033】[0033]

【発明の効果】以上のように、各請求項に係る発明によ
れば、X線カメラの傾動角度に応じてX線管球から出力
されるX線の強度を自動的に変化させることにより、X
線カメラに向かうX線強度を常に一定に保つから、従来
のようにX線カメラの傾動角度を変化させるごとにX線
透過像の明るさが変化することなく、X線透過像の明る
さを常に一定に保つことが可能となった。
As described above, according to the present invention, by automatically changing the intensity of the X-ray output from the X-ray tube in accordance with the tilt angle of the X-ray camera, X
Since the X-ray intensity toward the X-ray camera is always kept constant, the brightness of the X-ray transmission image does not change each time the tilt angle of the X-ray camera is changed, as in the related art. It is now possible to keep it constant.

【0034】そして、請求項1,2に係る発明において
は、X線管球からのX線強度を変化させる際に電子ビー
ムスポット径等が変化することがないため、常に鮮明な
X線透過像を得ることができる。
According to the first and second aspects of the present invention, since the electron beam spot diameter and the like do not change when the X-ray intensity from the X-ray tube is changed, a clear X-ray transmission image is always obtained. Can be obtained.

【0035】また、請求項2に係る発明では、X線管球
内にX線を吸収するための部材を別途設ける必要がな
く、シンプルな構造のもとにに効率的にX線強度を変化
させることができる。
According to the second aspect of the present invention, it is not necessary to separately provide a member for absorbing X-rays in the X-ray tube, and the X-ray intensity can be changed efficiently with a simple structure. Can be done.

【0036】一方、請求項3に係る発明では、X線強度
を変更した場合に電子ビームのスポット径が変化する反
面、X線管球として通常のものを用いることができ、機
械的な構成については従来のものと同等のものを用いる
ことができ、構造が簡単で比較的安価に本発明の目的効
果を達成することができる。
On the other hand, in the invention according to claim 3, the spot diameter of the electron beam changes when the X-ray intensity is changed, but a normal X-ray tube can be used, and the mechanical structure Can be used, the structure of which is simple, and the desired effects of the present invention can be achieved relatively inexpensively.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】請求項1または2に係る発明の実施の形態の構
成図で、機械的構成を表す模式図と、電気的構成を表す
ブロック図を併記して示す図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the invention according to claim 1 and is a diagram showing both a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing an electrical configuration.

【図2】図1の実施の形態におけるX線管球1の構造の
説明図で、図1の要部拡大図(A)およびそのB矢視図
(B)である。
FIG. 2 is an explanatory view of a structure of an X-ray tube 1 in the embodiment of FIG. 1, which is an enlarged view (A) of a main part of FIG. 1 and a view (B) of FIG.

【図3】図1の実施の形態におけるX線管球1内のター
ゲット1bの詳細構造を示す斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view showing a detailed structure of a target 1b in the X-ray tube 1 in the embodiment of FIG.

【図4】請求項3に係る発明の実施の形態の構成図で、
機械的構成を表す模式図と、電気的構成を表すブロック
図とを併記して示す図である。
FIG. 4 is a configuration diagram of an embodiment of the invention according to claim 3,
It is a figure which combined and shows the schematic diagram showing a mechanical structure, and the block diagram showing an electrical structure.

【図5】カメラ傾動機構を備えた従来のX線透視装置の
構成例を示す模式図である。
FIG. 5 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a conventional X-ray fluoroscopic apparatus including a camera tilting mechanism.

【図6】通常のX線管球から出力されるX線の空間強度
分布の例を示すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing an example of a spatial intensity distribution of X-rays output from a normal X-ray tube.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1′ X線管球 1a 窓 1b ターゲット 1c 基材 1d タングステン蒸着膜 2 XYテーブル 3 回転テーブル 4 X線カメラ 5 画像処理回路 6 表示器 7 傾動機構 7a 傾動用モータ 8 モータ 9 制御部 10 操作盤 11 管電流制御回路 12 管電圧制御回路 1, 1 'X-ray tube 1a Window 1b Target 1c Base 1d Tungsten vapor deposition film 2 XY table 3 Rotary table 4 X-ray camera 5 Image processing circuit 6 Display 7 Tilt mechanism 7a Tilt motor 8 Motor 9 Control unit 10 Operation Panel 11 Tube current control circuit 12 Tube voltage control circuit

フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05G 1/32 H05G 1/32 A 1/34 1/34 A 1/64 1/64 E Fターム(参考) 2G001 AA01 BA11 CA01 DA01 DA02 DA09 GA13 HA13 JA01 JA06 PA11 PA12 4C092 AA01 AB02 AB22 AC11 BD05 BD14 BD20 BE04 BE06 CC04 CC12 CD02 CD03 CE01 CE02 CF08 CF35 CF43 CF47 DD06Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat II (Reference) H05G 1/32 H05G 1/32 A 1/34 1/34 A 1/64 1/64 EFterm (Reference) 2G001 AA01 BA11 CA01 DA01 DA02 DA09 GA13 HA13 JA01 JA06 PA11 PA12 4C092 AA01 AB02 AB22 AC11 BD05 BD14 BD20 BE04 BE06 CC04 CC12 CD02 CD03 CE01 CE02 CF08 CF35 CF43 CF47 DD06

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 X線管球と、そのX線管球に対向配置さ
れたX線カメラを備えるとともに、そのX線カメラの傾
動機構を備えたX線透視装置において、 上記X線管球からX線を取り出すための窓の近傍に、X
線透過方向への厚みが周方向に連続的に相違する部材が
回動可能に設けられているとともに、その部材を、上記
X線カメラの傾動角度が大きくなるほどX線透過部位に
おける厚さが薄くなる向きに自動的に回動させる回動制
御手段を備えていることを特徴とするカメラ傾動機構付
きX線透視装置。
1. An X-ray fluoroscope comprising an X-ray tube and an X-ray camera opposed to the X-ray tube, and a tilting mechanism for the X-ray camera, comprising: X near the window for extracting X-rays
A member whose thickness in the radiation transmitting direction is continuously different in the circumferential direction is rotatably provided, and the thickness of the member at the X-ray transmitting portion is reduced as the tilt angle of the X-ray camera increases. An X-ray fluoroscopic apparatus with a camera tilting mechanism, comprising a rotation control means for automatically rotating in a certain direction.
【請求項2】 上記X線管球が透過型のX線管球であ
り、上記部材がターゲットであることを特徴とする請求
項1に記載のカメラ傾動機構付きX線透視装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the X-ray tube is a transmission type X-ray tube, and the member is a target.
【請求項3】 X線管球と、そのX線管球に対向配置さ
れたX線カメラを備えるとともに、そのX線カメラの傾
動機構を備えたX線透視装置において、 上記X線カメラの傾動角度が大きくなるほどX線量が多
くなるように上記X線管球の管電流、または、管電流と
管電圧を自動的に変化させるX線管球制御手段を備えて
いることを特徴とするカメラ傾動機構付きX線透視装
置。
3. An X-ray fluoroscopic apparatus comprising an X-ray tube, an X-ray camera opposed to the X-ray tube, and a tilting mechanism for the X-ray camera, wherein the X-ray camera is tilted. X-ray tube control means for automatically changing the tube current of the X-ray tube or the tube current and the tube voltage so that the X-ray dose increases as the angle increases. X-ray fluoroscope with mechanism.
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