JP2001242355A - Optical module and method for manufacturing the same - Google Patents
Optical module and method for manufacturing the sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は光ファイバ通信に使
用される光モジュールに関し、特に、光ファイバと光半
導体素子とを光結合させた光モジュール及びその製造方
法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical module used for optical fiber communication, and more particularly to an optical module in which an optical fiber and an optical semiconductor element are optically coupled, and a method of manufacturing the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】光通信システムを構成する上で、光半導
体素子と光ファイバを光学的に結合させる光モジュール
は重要なデバイスの一つとして知られている。2. Description of the Related Art In configuring an optical communication system, an optical module for optically coupling an optical semiconductor element and an optical fiber is known as one of important devices.
【0003】従来、半導体レーザなどの光半導体素子と
光ファイバを光学的に結合させるためには、その位置関
係をμmオーダの精度で位置合わせする必要があり、こ
れまで多くの工数を必要としていた。このため、位置合
わせ工数を低減する手段として、無調整で光軸位置を決
定する方法が提案されている。たとえば、光半導体素子
の実装位置とV溝の位置が高精度に位置決めされたシリ
コン基板に、光半導体素子と光ファイバを実装固定する
ことで、光半導体素子と光ファイバの相対位置を無調整
で決定する方法が提案されている(特開平6−3373
33号公報を参照)。Conventionally, in order to optically couple an optical semiconductor device such as a semiconductor laser and an optical fiber, it is necessary to align the positional relationship with an accuracy of the order of μm, which has required a large number of man-hours. . For this reason, a method of determining the optical axis position without adjustment has been proposed as a means for reducing the number of alignment steps. For example, by mounting and fixing an optical semiconductor element and an optical fiber on a silicon substrate in which the mounting position of the optical semiconductor element and the position of the V groove are positioned with high precision, the relative position of the optical semiconductor element and the optical fiber can be adjusted without adjustment. A method for deciding is proposed (JP-A-6-3373).
No. 33).
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記のような光モジュ
ールでは、使用するシリコン基板をμmオーダの精度で
作製する必要があった。シリコン基板は異方性エッチン
グにより高精度の凹凸形状が作製可能であるが、光半導
体素子を搭載するための電極パッドはフォトプロセスに
よって形成され、光軸方向を規定する光ファイバ突き当
て溝はダイシングなどの手段を用いるため、エッチング
によって高精度に形成された凹凸形状と相対位置をμm
オーダで規定することが難しい。また、複雑なプロセス
を経るために、シリコン基板を安価に製造することが困
難となっている。In the optical module as described above, it is necessary to manufacture a silicon substrate to be used with an accuracy of the order of μm. The silicon substrate can be formed with high-precision irregularities by anisotropic etching, but the electrode pad for mounting the optical semiconductor element is formed by a photo process, and the optical fiber abutment groove that defines the optical axis direction is dicing. In order to use such means, the unevenness and the relative position formed with high precision by etching
It is difficult to specify by order. In addition, it is difficult to manufacture a silicon substrate at low cost because of a complicated process.
【0005】光半導体素子の実装の際に、光半導体素子
及びシリコン基板に形成されたマーカを認識することで
その相対位置を検出するが、光半導体素子のうち端面出
射型の半導体レーザなどは出射端が劈開によって形成さ
れるため、光半導体素子に設けられたマーカと出射端の
位置関係にもばらつきが生じ、実装後の精度がばらつく
原因となっている。When mounting an optical semiconductor device, the relative position is detected by recognizing the marker formed on the optical semiconductor device and the silicon substrate. Among the optical semiconductor devices, an edge-emitting semiconductor laser or the like emits light. Since the end is formed by cleavage, the positional relationship between the marker provided on the optical semiconductor element and the emitting end also varies, causing a variation in accuracy after mounting.
【0006】また、高精度に形成されたシリコン基板上
への光半導体素子の実装は、実装位置精度もμmオーダ
でばらつきがあり、固定された光モジュールにおける光
半導体素子と光ファイバの相対位置精度は、各ばらつき
が積み重なり数μmとなってしまうことを回避できな
い。In mounting an optical semiconductor device on a silicon substrate formed with high precision, the mounting position accuracy also varies on the order of μm, and the relative position accuracy between the optical semiconductor device and the optical fiber in a fixed optical module. Cannot avoid that each variation is piled up to several μm.
【0007】さらに、これらの手段は端面受発光型の光
半導体素子にのみ利用が可能であり、面受は光素子出・
入射型の光半導体素子、たとえば面発光レーザやPD
(フォトダイオード)などを実装する場合には不向きで
あった。Further, these means can be used only for an optical semiconductor device of an end face light receiving / emitting type.
Incident type optical semiconductor devices, such as surface emitting lasers and PDs
(Photodiode) is not suitable for mounting.
【0008】本発明は上記従来技術における問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的は、構成部材を簡易
化しさらに光結合特性を改善して、高効率の光結合を安
価に提供することにある。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems in the prior art, and has as its object to provide a high-efficiency optical coupling at a low cost by simplifying the components and further improving the optical coupling characteristics. It is in.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明の光モジュール
は、偏波面保存光ファイバと、該偏波面保存光ファイバ
の一端部と光結合させる発光または受光を行う光半導体
素子とが、光を透過する接着材を介して両者間の光結合
位置関係を固定させた状態でパッケージ内に収容されて
成る。すなわち、パッケージ内に、偏波面保存光ファイ
バの一端部と、該偏波面保存光ファイバの一端部に光結
合させる発光または受光を行う光半導体素子とを収容し
て成る光モジュールにおいて、偏波面保存光ファイバの
一端部と光半導体素子との光結合部を光を透過する接着
材により固定したことを特徴とする。According to an optical module of the present invention, a polarization-maintaining optical fiber and an optical semiconductor device for emitting or receiving light that is optically coupled to one end of the polarization-maintaining optical fiber transmit light. It is housed in a package in a state where the optical coupling positional relationship between the two is fixed via an adhesive material. That is, in an optical module in which a package contains one end of a polarization-maintaining optical fiber and an optical semiconductor element that emits or receives light that is optically coupled to one end of the polarization-maintaining optical fiber, An optical coupling portion between one end of the optical fiber and the optical semiconductor element is fixed by an adhesive that transmits light.
【0010】また、光半導体素子が面発光型発光素子又
は面受光型受光素子であることを特徴とする。また、接
着材が例えばエポキシ系またはアクリル系の紫外線硬化
型樹脂又は熱硬化型樹脂であることを特徴とする。Further, the optical semiconductor element is a surface emitting type light emitting element or a surface light receiving type light receiving element. The adhesive is, for example, an epoxy-based or acrylic-based ultraviolet curable resin or a thermosetting resin.
【0011】また、本発明の製造方法は、光ファイバの
一端部と、発光又は受光を行う光半導体素子の発光面又
は受光面とを所定位置関係に保持した状態で、光ファイ
バの一端部と光半導体素子との光結合部に、紫外線硬化
型樹脂又は熱硬化型樹脂から成る接着材を塗布し、しか
る後に接着材を紫外線照射又は加熱することにより固化
せしめ、光ファイバの一端部と、光ファイバの一端部に
接着材を介して光半導体素子を固定しパッケージ内に収
容したことを特徴とする。Further, according to the manufacturing method of the present invention, the one end of the optical fiber and the light emitting surface or the light receiving surface of the optical semiconductor element which emits or receives light are held in a predetermined positional relationship. An adhesive made of an ultraviolet-curable resin or a thermosetting resin is applied to the optical coupling portion with the optical semiconductor element, and then the adhesive is solidified by irradiating or heating the ultraviolet-ray, and one end of the optical fiber, The optical semiconductor element is fixed to one end of the fiber via an adhesive and housed in a package.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面に基づき詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【0013】図1に示すように、本発明の光モジュール
Mは、パッケージ32内に、光ファイバ11の一端部
と、光ファイバ11の一端部に光結合させる発光または
受光を行う光半導体素子12とを少なくとも収容して成
るものである。As shown in FIG. 1, an optical module M according to the present invention comprises, in a package 32, one end of an optical fiber 11 and an optical semiconductor element 12 for emitting or receiving light, which is optically coupled to one end of the optical fiber 11. Are accommodated at least.
【0014】ここで、光ファイバ11の一端部と光半導
体素子12との光結合部を光透過性の接着材16により
固定している。また、光半導体素子12を搭載したチッ
プキャリア13には光半導体素子12に導通するための
導体が形成されており、チップキャリア13に設けられ
たリード31と電気的に接続されている。光ファイバ1
1は異方性を有する光ファイバ、すなわち偏波面保存光
ファイバ(パンダファイバや楕円コアファイバ)が出射
端を観察すると方向性が判別できるので好適に使用でき
る。Here, an optical coupling portion between one end of the optical fiber 11 and the optical semiconductor element 12 is fixed by a light transmitting adhesive 16. A conductor for conducting to the optical semiconductor element 12 is formed on the chip carrier 13 on which the optical semiconductor element 12 is mounted, and is electrically connected to a lead 31 provided on the chip carrier 13. Optical fiber 1
An optical fiber 1 having anisotropy, that is, a polarization-maintaining optical fiber (a panda fiber or an elliptical core fiber) can be suitably used because its directivity can be determined by observing the exit end.
【0015】また、光半導体素子12として各種の半導
体レーザ、LEDアレイ、PD等が使用できるが、特に
面発光・受光型の光半導体素子とすることにより、端面
発光型デバイスを用いた場合に比べて実装密度を上げる
ことが可能となり、小型・高集積型のモジュールを形成
することが可能となる。Various semiconductor lasers, LED arrays, PDs and the like can be used as the optical semiconductor element 12. Particularly, by using a surface-emitting / light-receiving optical semiconductor element, compared with the case of using an edge-emitting device. As a result, the mounting density can be increased, and a small and highly integrated module can be formed.
【0016】また、光ファイバとして異方性を有する光
ファイバを用いることによって、光半導体素子から出射
される光の偏光にあわせたファイバ方向を規定すること
によって偏光依存型のモジュールを形成することが可能
となる。Also, by using an optical fiber having anisotropy as the optical fiber, it is possible to form a polarization-dependent module by defining the fiber direction according to the polarization of light emitted from the optical semiconductor device. It becomes possible.
【0017】さらに、接着材としてエポキシ系、アクリ
ル系、シリコーン系の光硬化型樹脂又は熱硬化型樹脂を
用いるものとするが、特にエポキシ系やアクリル系は硬
度が高いので好適に使用可能である。また、後記するよ
うに特に紫外線硬化型であると日常環境で露光されるこ
とが少なく短時間で硬化できるので望ましい。Further, an epoxy-based, acrylic-based, or silicone-based photocurable resin or a thermosetting resin is used as the adhesive. Particularly, epoxy-based and acrylic-based resins can be suitably used because of their high hardness. . Further, as described later, it is particularly preferable that the ultraviolet curable type is used because it is hardly exposed in a daily environment and can be cured in a short time.
【0018】次に、本発明の実装方法について具体的に
説明する。本発明では光ファイバと光半導体素子の位置
関係を同時に観察することにより、この位置関係を補正
した後に接着材が塗布・硬化される。これにより、従来
のように元々若干の位置ずれを有するサブマウント上の
マーカに対し位置を決定して、光ファイバ及び光半導体
素子を実装した場合に、実装装置によって認識される位
置ずれ以外に生じていた、光ファイバと光半導体素子の
ミスアライメントをなくすことができる。その結果、光
ファイバと光半導体素子の位置合わせを歩留まりよく行
うことができる。Next, the mounting method of the present invention will be specifically described. In the present invention, by observing the positional relationship between the optical fiber and the optical semiconductor element at the same time, the adhesive is applied and cured after correcting the positional relationship. As a result, when an optical fiber and an optical semiconductor device are mounted by determining the position with respect to the marker on the submount which originally has a slight positional shift as in the related art, the position other than the positional shift recognized by the mounting apparatus is generated. This eliminates the misalignment between the optical fiber and the optical semiconductor element. As a result, the alignment between the optical fiber and the optical semiconductor element can be performed with high yield.
【0019】また、接着材の硬化手段に光硬化を用いる
ことが可能となるため、熱硬化による接着材硬化に比べ
速やかに実装工程を進めることができる。特に、光ファ
イバと光半導体素子のアライメントにはサブμmオーダ
ーの精度が必要とされ、硬化時間が短いことが直接的に
精度の保証につながる。しかも、光照射にて接着が可能
であるためモジュール全体を高温下にさらす必要がない
ので設計の自由度が広がるという利点がある。Further, since it is possible to use light curing as a means for curing the adhesive, the mounting process can proceed more quickly than when the adhesive is cured by heat. In particular, the alignment of the optical fiber and the optical semiconductor element requires an accuracy on the order of sub-μm, and a short curing time directly leads to the assurance of the accuracy. In addition, since bonding can be performed by light irradiation, there is no need to expose the entire module to a high temperature.
【0020】また、接着材の硬化手段として特に紫外線
硬化を用いることにより、通常の光硬化樹脂では感光し
てしまうような環境にて作業することが可能となる。そ
の上、接着材の硬化手段に熱硬化を用いることにより、
構造的に光が当たらない領域の硬化を行うことができ、
接着材以外の構造剤を介在させる場合などに十分な固定
強度を維持できる。Further, by using ultraviolet curing as a means for curing the adhesive, it is possible to work in an environment where ordinary photocurable resin is exposed to light. In addition, by using thermosetting for the adhesive curing means,
It is possible to harden areas that are not exposed to light structurally,
Sufficient fixing strength can be maintained when a structural agent other than the adhesive is interposed.
【0021】また、光ファイバの端面を観察・認識する
手段、光半導体素子の出・入射面の形状を観察・認識す
る手段、及びこれら2つの観察手段から得られた相対位
置関係をもとに、光ファイバと光半導体素子を最適な位
置関係へ移動させる手段を備え、かつ、光ファイバと光
半導体素子の間に接着材を塗布する手段、及び、接着材
を硬化させる手段を具備することにより、光ファイバと
光半導体素子のミスアライメントが無く光モジュールを
作製することが可能となり、光ファイバと光半導体素子
の位置あわせを歩留まりよく行うことができる。Also, means for observing and recognizing the end face of the optical fiber, means for observing and recognizing the shape of the outgoing and incident surfaces of the optical semiconductor element, and based on the relative positional relationship obtained from these two observing means. Means for moving the optical fiber and the optical semiconductor element to an optimal positional relationship, and means for applying an adhesive between the optical fiber and the optical semiconductor element, and means for curing the adhesive. In addition, it is possible to manufacture an optical module without misalignment between the optical fiber and the optical semiconductor element, and it is possible to perform the alignment between the optical fiber and the optical semiconductor element with high yield.
【0022】また、接着材の硬化手段として光照射装置
を具備することにより、接着材の硬化を短時間に行うこ
とを可能とし、作製時間を短縮できるとともに、精度を
維持して保持しなければならない工程を短時間で行うこ
とができ歩留まりの良い光モジュールの作製が可能とな
る。Further, by providing a light irradiating device as a means for curing the adhesive, it is possible to cure the adhesive in a short time, shorten the production time, and maintain accuracy while maintaining the precision. The steps that are not required can be performed in a short time, and an optical module with a high yield can be manufactured.
【0023】さらに、光ファイバと光半導体素子が接着
材によってその位置関係を保持していることにより、そ
の相対位置関係の自由度を広げることができる。従来は
光ファイバや光半導体素子などの各エレメントはチップ
キャリアなどの固定部材に固定されるので、その配置の
自由度は制限されていたが、本発明によりその制限をな
くすことができる。Further, since the optical fiber and the optical semiconductor element maintain the positional relationship by the adhesive, the degree of freedom of the relative positional relationship can be increased. Conventionally, each element such as an optical fiber and an optical semiconductor element is fixed to a fixing member such as a chip carrier, so that the degree of freedom of the arrangement is limited. However, the present invention can eliminate the restriction.
【0024】そして、固定するための接着材に光硬化型
樹脂を用いることにより、その固着に要する時間を短く
することが可能となり、特に、紫外線硬化型樹脂を用い
ることにより、通常の状態で周囲に散乱している光によ
って硬化することがなく、また、通常の可視光硬化型樹
脂に比べて硬化した後の劣化も小さく押さえられる。The use of a photo-curable resin as an adhesive for fixing makes it possible to shorten the time required for the fixation. In particular, by using an ultraviolet-curable resin, the surrounding area can be reduced in a normal state. The resin is not cured by the light scattered in the resin, and the deterioration after curing is suppressed to be smaller than that of a normal visible light curable resin.
【0025】図2は本発明の光モジュール実装方法の一
例を示す斜視図である。図2において、11は偏波面保
存光ファイバなどの光ファイバ、12は光半導体素子
(ここでは半導体レーザ)、13はチップキャリア、1
4は上下に2枚のCCDを備えたカメラである。光ファ
イバ11及び光半導体素子12はそれぞれ微動ステージ
によって固定されている。カメラ14は上記構成により
上下を同時に観察することが可能なものである。FIG. 2 is a perspective view showing an example of the optical module mounting method of the present invention. In FIG. 2, reference numeral 11 denotes an optical fiber such as a polarization-maintaining optical fiber, 12 denotes an optical semiconductor element (here, a semiconductor laser), 13 denotes a chip carrier,
Reference numeral 4 denotes a camera provided with two CCDs above and below. The optical fiber 11 and the optical semiconductor element 12 are each fixed by a fine movement stage. The camera 14 can observe the top and bottom simultaneously by the above configuration.
【0026】まず、光ファイバ11及び光半導体素子1
2は互いに向かい合う位置に配置される。カメラ14は
図3に示すように光ファイバ11及び光半導体素子12
の間に挿入され映像としてその表面のパターンを認識す
る。First, the optical fiber 11 and the optical semiconductor element 1
2 are arranged at positions facing each other. The camera 14 includes an optical fiber 11 and an optical semiconductor element 12 as shown in FIG.
The pattern on the surface is recognized as an image inserted between the images.
【0027】これを断面方向から観察した様子を図4
(a)〜(c)に示す。図4(a)の21はファイバ測
定側カメラであり、その観察パターンは図4(b)に示
すごとくとなる。また、図4(a)の22は半導体レー
ザ測定側カメラあり、図4(c)にその観察パターンを
示す。図4(b)の23は光ファイバのコアをあらわし
ており、図4(c)の24は半導体レーザのコアをあら
わしている。FIG. 4 shows a state in which this is observed from the cross-sectional direction.
(A) to (c) are shown. In FIG. 4A, reference numeral 21 denotes a fiber measurement side camera, and its observation pattern is as shown in FIG. 4B. 4A is a semiconductor laser measurement side camera, and FIG. 4C shows an observation pattern thereof. 4 in FIG. 4B represents the core of the optical fiber, and 24 in FIG. 4C represents the core of the semiconductor laser.
【0028】光モジュールにおいて、所望の光結合を得
るためには光ファイバのコア23及び半導体レーザコア
24の相対位置関係を精密に位置決めする必要がある。
このような構成を採用し、光ファイバコア23及び半導
体レーザのコア24の位置関係を直接観察することによ
り両者の相対位置を決定し、各部材が取り付けられた微
動ステージによって設計された所定位置に移動配置す
る。In the optical module, in order to obtain a desired optical coupling, it is necessary to precisely position the relative positional relationship between the optical fiber core 23 and the semiconductor laser core 24.
By adopting such a configuration, the relative position between the optical fiber core 23 and the semiconductor laser core 24 is determined by directly observing the positional relationship between them, and the relative position is determined at a predetermined position designed by the fine movement stage to which each member is attached. Move and arrange.
【0029】そして、この配置後、カメラ14を図2に
示すような位置に待避させ、光ファイバ11と光半導体
素子12を近づける。カメラ14のオートフォーカスに
よる観察において、光ファイバ11及び光半導体素子1
2の上下方向の位置関係は把握されており、光ファイバ
11及び光半導体素子12の上下方向の位置関係は設計
に従って所定の精度で配置することが可能となる。After this arrangement, the camera 14 is retracted to a position as shown in FIG. 2, and the optical fiber 11 and the optical semiconductor element 12 are brought closer. In the observation by autofocus of the camera 14, the optical fiber 11 and the optical semiconductor element 1
The vertical positional relationship between the optical fibers 11 and the optical semiconductor elements 12 can be arranged with predetermined accuracy according to the design.
【0030】次に、図2に示したディスペンサ15によ
って紫外線硬化型の接着材16を光ファイバ11及び半
導体レーザ12を包むように充填する。接着材15は所
定の流れ出さない適当な粘度(1000CPS以上)に
調整されている。Next, an ultraviolet curable adhesive 16 is filled by the dispenser 15 shown in FIG. 2 so as to surround the optical fiber 11 and the semiconductor laser 12. The adhesive material 15 is adjusted to have an appropriate viscosity (1000 CPS or more) that does not flow out.
【0031】次に、図2に示すように接着材硬化手段と
して紫外線照射装置17から紫外線18を先に塗布した
接着材16に向けて照射する。これにより、光ファイバ
11及び半導体レーザ12は所定の位置に固定すること
が可能となる。Next, as shown in FIG. 2, ultraviolet rays 18 are radiated from an ultraviolet ray irradiating device 17 as an adhesive curing means toward the previously applied adhesive 16. Thus, the optical fiber 11 and the semiconductor laser 12 can be fixed at predetermined positions.
【0032】なお、以上はあくまで本発明実施形態の例
示であって、これらに限定されるものではなく、本発明
の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更や改良を加えるこ
とは何ら差し支えない。The above is merely an example of the embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the embodiment. Various changes and improvements can be made without departing from the spirit of the present invention.
【0033】[0033]
【発明の効果】以上のように、本発明の光モジュール及
びその製造方法によれば、光ファイバのコア及び光半導
体素子の出射端を直接観察してアライメントし、接着材
によってその2つの素子を固着する事によって、従来、
間接部材によって発生していた余分なミスアライメント
を省くことが可能となり、光モジュールにおける光ファ
イバ及び光半導体素子を精度良く実装することが可能と
なる。As described above, according to the optical module and the method of manufacturing the same of the present invention, the core of the optical fiber and the emission end of the optical semiconductor element are directly observed and aligned, and the two elements are bonded by the adhesive. By sticking, conventionally,
An extra misalignment caused by the indirect member can be omitted, and the optical fiber and the optical semiconductor element in the optical module can be mounted with high accuracy.
【0034】また、余剰のミスアライメントをすべて省
くことが可能となるため、光結合のトレランスを緩くす
ることが可能となり光モジュールを歩留まりよく、低コ
ストで作製することが可能となる。Further, since it is possible to omit all excess misalignment, the tolerance of optical coupling can be relaxed, and the optical module can be manufactured with high yield and at low cost.
【0035】さらに、従来使用していた光半導体素子実
装用の高精度基板を用いる必要が無くなるとともに、平
面基板にて行われていた従来のモジュール実装において
は困難であった面発光・受光型のデバイスにおいても、
本発明は問題なく適用することが可能であることから、
光モジュールの高密度・小型化などの効果を大いに期待
することができる。Further, it is not necessary to use a high-precision substrate for mounting an optical semiconductor element which has been conventionally used, and a surface-emitting / light-receiving type which has been difficult in conventional module mounting which has been performed on a flat substrate. On the device,
Since the present invention can be applied without any problem,
The effects of high density and miniaturization of the optical module can be greatly expected.
【図1】本発明に係わる光モジュールを模式的に説明す
る図であり、(a)はパッケージ内に光半導体素子を収
容する前の様子を示す斜視図であり、(b)は光モジュ
ールの斜視図である。1A and 1B are diagrams schematically illustrating an optical module according to the present invention, wherein FIG. 1A is a perspective view showing a state before an optical semiconductor element is housed in a package, and FIG. It is a perspective view.
【図2】本発明の光モジュールの製造方法を模式的に説
明するための斜視図である。FIG. 2 is a perspective view schematically illustrating a method for manufacturing an optical module according to the present invention.
【図3】本発明の光モジュールの製造方法を模式的に説
明するための斜視図である。FIG. 3 is a perspective view schematically illustrating a method for manufacturing an optical module according to the present invention.
【図4】本発明の光モジュールの製造方法を模式的に説
明するための図であり、(a)は側面図、(b)は光フ
ァイバ側の正面図、(c)は光半導体素子側の正面図で
ある。4A and 4B are diagrams for schematically explaining a method for manufacturing an optical module according to the present invention, wherein FIG. 4A is a side view, FIG. 4B is a front view on the optical fiber side, and FIG. FIG.
11:光ファイバ 12:光半導体素子(半導体レーザ) 13:チップキャリア 14:カメラ 15:ディスペンサ 16:接着材 17:紫外線照射装置 18:紫外線 32:パッケージ M:光モジュール 11: Optical fiber 12: Optical semiconductor device (semiconductor laser) 13: Chip carrier 14: Camera 15: Dispenser 16: Adhesive 17: Ultraviolet irradiation device 18: Ultraviolet 32: Package M: Optical module
Claims (4)
バの一端部と、該偏波面保存光ファイバの一端部に光結
合させる発光または受光を行う光半導体素子とを収容し
て成る光モジュールであって、前記偏波面保存光ファイ
バの一端部と前記光半導体素子との光結合部を光を透過
する接着材により固定したことを特徴とする光モジュー
ル。1. An optical module comprising: a package containing an end of a polarization-maintaining optical fiber and an optical semiconductor element for emitting or receiving light, which is optically coupled to one end of the polarization-maintaining optical fiber. An optical module, wherein an optical coupling portion between one end of the polarization-maintaining optical fiber and the optical semiconductor element is fixed by an adhesive that transmits light.
又は面受光型受光素子であることを特徴とする請求項1
に記載の光モジュール。2. The device according to claim 1, wherein the optical semiconductor device is a surface-emitting type light-emitting device or a surface-receiving type light-receiving device.
An optical module according to item 1.
硬化型樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の光
モジュール。3. The optical module according to claim 1, wherein the adhesive is an ultraviolet curing resin or a thermosetting resin.
を行う光半導体素子の発光面又は受光面とを所定位置関
係に保持した状態で、前記光ファイバの一端部と前記光
半導体素子との光結合部に、紫外線硬化型樹脂又は熱硬
化型樹脂から成る接着材を塗布し、しかる後に前記接着
材を紫外線照射又は加熱することにより固化せしめ、前
記光ファイバの一端部と、該光ファイバの一端部に接着
材を介して前記光半導体素子を固定しパッケージ内に収
容したことを特徴とする光モジュールの製造方法。4. An optical fiber device according to claim 1, wherein one end of the optical fiber and the light emitting surface or the light receiving surface of the optical semiconductor element for emitting or receiving light are held in a predetermined positional relationship. An optical coupling portion is coated with an adhesive made of an ultraviolet-curable resin or a thermosetting resin, and then solidified by irradiating or heating the adhesive with ultraviolet light, and one end of the optical fiber and the optical fiber. A method for manufacturing an optical module, wherein the optical semiconductor element is fixed to one end via an adhesive and housed in a package.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000055841A JP2001242355A (en) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | Optical module and method for manufacturing the same |
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JP2000055841A JP2001242355A (en) | 2000-03-01 | 2000-03-01 | Optical module and method for manufacturing the same |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2001242355A true JP2001242355A (en) | 2001-09-07 |
Family
ID=18576894
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Country | Link |
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JP (1) | JP2001242355A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007234963A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | Optical semiconductor module |
CN113776689A (en) * | 2021-08-31 | 2021-12-10 | 西安和其光电科技股份有限公司 | High-precision multidimensional adjustment alignment system and method for optical fiber sensor packaging |
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2000
- 2000-03-01 JP JP2000055841A patent/JP2001242355A/en active Pending
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JP2007234963A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Mitsubishi Electric Corp | Optical semiconductor module |
CN113776689A (en) * | 2021-08-31 | 2021-12-10 | 西安和其光电科技股份有限公司 | High-precision multidimensional adjustment alignment system and method for optical fiber sensor packaging |
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