JP2001124676A - 電子顕微鏡観察用試料支持部材 - Google Patents
電子顕微鏡観察用試料支持部材Info
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- JP2001124676A JP2001124676A JP30199699A JP30199699A JP2001124676A JP 2001124676 A JP2001124676 A JP 2001124676A JP 30199699 A JP30199699 A JP 30199699A JP 30199699 A JP30199699 A JP 30199699A JP 2001124676 A JP2001124676 A JP 2001124676A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明の目的は、FIB加工で試料から、より微
小な試料片を摘出し、TEM用試料に加工する際に、摘出
した前記微小試料片を容易に固定、安全に取扱うことが
可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することに
ある。 【解決手段】電子顕微鏡観察用試料支持部材の微小試料
片固定部厚みを微小試料片厚さ以上にし、試料固定側の
試料支持部材の両端に微小試料片以上の厚さおよび高さ
をもつ突起部分を設けたことにより達成される。また、
前記電子顕微鏡観察用試料支持部材において、前記試料
支持部材の試料片を固定する部分の凹凸を、５μｍ以下
にすることで達成される。
小な試料片を摘出し、TEM用試料に加工する際に、摘出
した前記微小試料片を容易に固定、安全に取扱うことが
可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することに
ある。 【解決手段】電子顕微鏡観察用試料支持部材の微小試料
片固定部厚みを微小試料片厚さ以上にし、試料固定側の
試料支持部材の両端に微小試料片以上の厚さおよび高さ
をもつ突起部分を設けたことにより達成される。また、
前記電子顕微鏡観察用試料支持部材において、前記試料
支持部材の試料片を固定する部分の凹凸を、５μｍ以下
にすることで達成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡観察用
試料を作製する方法に係り、特に集束イオンビーム（以
下、ＦＩＢ）加工装置で試料から、より微小な試料片を
摘出し、透過電子顕微鏡(以下、TEM)用試料に加工する
際に、摘出した前記微小試料片を容易に固定、取扱うこ
とが可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材に関する。
試料を作製する方法に係り、特に集束イオンビーム（以
下、ＦＩＢ）加工装置で試料から、より微小な試料片を
摘出し、透過電子顕微鏡(以下、TEM)用試料に加工する
際に、摘出した前記微小試料片を容易に固定、取扱うこ
とが可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の前記微小試料片は、前記電子顕微
鏡観察用試料支持部材に固定する際、前記電子顕微鏡観
察用試料支持部材として、シリコンウエハからへき開や
ダイシングソーを利用して形成した、シリコン片端部に
前記微小試料片を固定していた。
鏡観察用試料支持部材に固定する際、前記電子顕微鏡観
察用試料支持部材として、シリコンウエハからへき開や
ダイシングソーを利用して形成した、シリコン片端部に
前記微小試料片を固定していた。
【０００３】公知例として特開平11−108813号記載のよ
うに、バルク試料から、所望の特定領域を含む試料片の
みを摘出して、１mm×２.５mm×０.１mmのナイフエッジ
をしたシリコン（Si）片にFIB照射によって形成するデ
ポジション膜を用いて、固定し、分析装置の試料ステー
ジに装着する試料作製方法およびその装置がある。
うに、バルク試料から、所望の特定領域を含む試料片の
みを摘出して、１mm×２.５mm×０.１mmのナイフエッジ
をしたシリコン（Si）片にFIB照射によって形成するデ
ポジション膜を用いて、固定し、分析装置の試料ステー
ジに装着する試料作製方法およびその装置がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
では、試料固定部に試料片を固定する場合の安定性およ
び固定した後、分析装置からはずして、再度観察する場
合、試料片部分が、簡単に接触できる形状をしているた
め、試料を破損する危険性がある。
では、試料固定部に試料片を固定する場合の安定性およ
び固定した後、分析装置からはずして、再度観察する場
合、試料片部分が、簡単に接触できる形状をしているた
め、試料を破損する危険性がある。
【０００５】また、へき開やダイシングソーを利用して
形成した試料支持部材に凹凸がある場合、前記微小試料
片を確実に固定できないという問題がある。
形成した試料支持部材に凹凸がある場合、前記微小試料
片を確実に固定できないという問題がある。
【０００６】本発明の目的は、FIB加工で試料から、よ
り微小な試料片を摘出し、TEM用試料に加工する際に、
摘出した前記微小試料片を容易に固定、安全に取扱うこ
とが可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供するこ
とにある。
り微小な試料片を摘出し、TEM用試料に加工する際に、
摘出した前記微小試料片を容易に固定、安全に取扱うこ
とが可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、電子顕微鏡
観察用試料支持部材の微小試料片固定部厚みを微小試料
片厚さ以上にし、試料固定側の試料支持部材の両端に微
小試料片以上の厚さおよび高さをもつ突起部分を設けた
ことにより達成される。
観察用試料支持部材の微小試料片固定部厚みを微小試料
片厚さ以上にし、試料固定側の試料支持部材の両端に微
小試料片以上の厚さおよび高さをもつ突起部分を設けた
ことにより達成される。
【０００８】また、前記電子顕微鏡観察用試料支持部材
において、前記試料支持部材の試料片を固定する部分の
凹凸を、５μｍ以下にすることで達成される。
において、前記試料支持部材の試料片を固定する部分の
凹凸を、５μｍ以下にすることで達成される。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１に本発明の一実施例である電
子顕微鏡用試料支持部材１の斜視図を示す。
子顕微鏡用試料支持部材１の斜視図を示す。
【００１０】電子顕微鏡用試料支持部材１には、微小試
料片2がデポジション膜３により固定されている。試料
支持部材1の両端は、試料片2が固定されている部分より
厚く、かつ固定された試料片２より大きく突出した形状
をしている。試料片２の固定部４は表面の凹凸が５μｍ
以下になっている。試料片２を固定部４に固定する際、
デポジション用ガスを流出させつつＦＩＢを走査させ、
ＦＩＢ照射領域にデポジション膜３を形成し試料片２を
固定している。固定部４はデポジション用ガスが固定部
４の凹凸に遮られることなく、容易にＦＩＢ照射領域に
デポジション膜３を形成することができる。さらに、固
定部４は平坦であるため、試料片２の底部は固定部４に
密接し、デポジション膜３で確実に固定することができ
る。表面の凹凸が５μｍ以下になっているので、試料片
２と固定部４との間に隙間があった場合、試料片２の側
面にもデポジション膜３を形成できる。従って、隙間を
埋め確実に試料片２を固定部４に固定できる。
料片2がデポジション膜３により固定されている。試料
支持部材1の両端は、試料片2が固定されている部分より
厚く、かつ固定された試料片２より大きく突出した形状
をしている。試料片２の固定部４は表面の凹凸が５μｍ
以下になっている。試料片２を固定部４に固定する際、
デポジション用ガスを流出させつつＦＩＢを走査させ、
ＦＩＢ照射領域にデポジション膜３を形成し試料片２を
固定している。固定部４はデポジション用ガスが固定部
４の凹凸に遮られることなく、容易にＦＩＢ照射領域に
デポジション膜３を形成することができる。さらに、固
定部４は平坦であるため、試料片２の底部は固定部４に
密接し、デポジション膜３で確実に固定することができ
る。表面の凹凸が５μｍ以下になっているので、試料片
２と固定部４との間に隙間があった場合、試料片２の側
面にもデポジション膜３を形成できる。従って、隙間を
埋め確実に試料片２を固定部４に固定できる。
【００１１】図２に、ＦＩＢによりくさび型となるよう
に加工し、摘出された試料片２の形状および一般的なサ
イズを示す。試料片２はバルク状の試料から摘出するた
めにくさび型に加工する必要があるが、試料片２の底部
は傾斜溝加工工程の際、固定部４に対して水平になるよ
うに加工し、確実に固定できる形状にしている。サイズ
はこれによらないが、摘出加工工程および透過型電子顕
微鏡で観察するための薄膜加工工程の加工時間を短縮す
るために、電子顕微鏡で目的箇所の観察が十分にできる
領域が残る範囲で、できるだけ小さなサイズにする。
に加工し、摘出された試料片２の形状および一般的なサ
イズを示す。試料片２はバルク状の試料から摘出するた
めにくさび型に加工する必要があるが、試料片２の底部
は傾斜溝加工工程の際、固定部４に対して水平になるよ
うに加工し、確実に固定できる形状にしている。サイズ
はこれによらないが、摘出加工工程および透過型電子顕
微鏡で観察するための薄膜加工工程の加工時間を短縮す
るために、電子顕微鏡で目的箇所の観察が十分にできる
領域が残る範囲で、できるだけ小さなサイズにする。
【００１２】図３ａに、従来の試料支持部材５を、図３
ｂに本発明の試料片２を固定部４に固定した試料支持部
材１を示す。図３ａは試料片２がむき出しになってお
り、試料支持部材５を取り扱う際、容易に破損してしま
う。図３ｂでは試料支持部材１に試料片２以上の厚さお
よび高さをもつ突起部分を設けている。例えば、電子顕
微鏡用試料ホールダに試料片２の付いた試料支持部材１
を取り付けるとき、あるいは取り外すときに試料支持部
材１を落としたり、ぶつけたりしても、試料片２は破損
しない状態で保持される。
ｂに本発明の試料片２を固定部４に固定した試料支持部
材１を示す。図３ａは試料片２がむき出しになってお
り、試料支持部材５を取り扱う際、容易に破損してしま
う。図３ｂでは試料支持部材１に試料片２以上の厚さお
よび高さをもつ突起部分を設けている。例えば、電子顕
微鏡用試料ホールダに試料片２の付いた試料支持部材１
を取り付けるとき、あるいは取り外すときに試料支持部
材１を落としたり、ぶつけたりしても、試料片２は破損
しない状態で保持される。
【００１３】図４に別の実施例である電子顕微鏡用試料
支持部材６の斜視図を示す。試料片２を固定部４に固定
するが、試料片２は微小であるため肉眼で確認するのは
難しく、ピンセット７で固定部４をつまむと試料片２を
破損する恐れがあったが、試料支持部材６の片端に突起
を設け、ピンセット７での取り扱いを容易にした。さら
に突起部には溝８を設け、ピンセット７で確実に試料支
持部材６を保持できるようにした。図４では、試料支持
部材６の突起部は片端だけであるが、ＦＩＢ加工観察装
置内に試料支持部材６を挿入する際、試料支持部材の挿
入する向きにより、試料片２を固定部４に固定する際の
デポジション用ガスが遮られることがあるためであり、
突起部および溝８を両端に設けてもよい。
支持部材６の斜視図を示す。試料片２を固定部４に固定
するが、試料片２は微小であるため肉眼で確認するのは
難しく、ピンセット７で固定部４をつまむと試料片２を
破損する恐れがあったが、試料支持部材６の片端に突起
を設け、ピンセット７での取り扱いを容易にした。さら
に突起部には溝８を設け、ピンセット７で確実に試料支
持部材６を保持できるようにした。図４では、試料支持
部材６の突起部は片端だけであるが、ＦＩＢ加工観察装
置内に試料支持部材６を挿入する際、試料支持部材の挿
入する向きにより、試料片２を固定部４に固定する際の
デポジション用ガスが遮られることがあるためであり、
突起部および溝８を両端に設けてもよい。
【００１４】
【発明の効果】本発明による電子顕微鏡用試料支持部材
を用いることにより、試料片を衝撃などから保護するこ
とができ、取り扱いが容易となる。
を用いることにより、試料片を衝撃などから保護するこ
とができ、取り扱いが容易となる。
【図１】一実施例である電子顕微鏡用試料支持部材の斜
視図。
視図。
【図２】本発明の一実施例を示す図。
【図３】本発明の一実施例を示す図。
【図４】本発明の一実施例を示す図。
１…試料支持部材、２…試料片、３…デポジション膜、
４…固定部、５…試料支持部材、６…試料支持部材、７
…ピンセット、８…溝。
４…固定部、５…試料支持部材、６…試料支持部材、７
…ピンセット、８…溝。
フロントページの続き (72)発明者 矢口 紀恵 茨城県ひたちなか市大字市毛1040番地 株 式会社日立サイエンスシステムズ内 (72)発明者 小池 英巳 茨城県ひたちなか市大字市毛882番地 株 式会社日立製作所計測器グループ内 (72)発明者 梅村 馨 東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地 株式会社日立製作所中央研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 集束イオンビーム加工装置で試料から、
より微小な試料片を摘出し、透過電子顕微鏡用試料に加
工する際に、摘出した前記微小試料片を固定する支持部
材において、微小試料片固定部厚みは前記微小試料片厚
み以上であり、試料固定側の両端に前記微小試料片以上
の厚さおよび高さをもつ突起部分を有することを特徴と
する電子顕微鏡観察用試料支持部材。 - 【請求項２】 請求項１記載の電子顕微鏡観察用試料支
持部材において、前記試料支持部材の試料片を固定する
部分の凹凸が、５μm以下であることを特徴とする電子
顕微鏡観察用試料支持部材。 - 【請求項３】 請求項１記載の電子顕微鏡観察用試料支
持部材において、試料固定側の少なくとも片端に、ピン
セットなどで摘まむことができる高さを持つ突起部分を
有することを特徴とする電子顕微鏡観察用試料支持部
材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30199699A JP2001124676A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 電子顕微鏡観察用試料支持部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30199699A JP2001124676A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 電子顕微鏡観察用試料支持部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124676A true JP2001124676A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17903639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30199699A Pending JP2001124676A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 電子顕微鏡観察用試料支持部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001124676A (ja) |
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-
1999
- 1999-10-25 JP JP30199699A patent/JP2001124676A/ja active Pending
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