JP2001102317A - 伝達ゲイン行列の逆行列の取得方法 - Google Patents
伝達ゲイン行列の逆行列の取得方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 熱処理装置における伝達ゲイン行列の逆行列
を短時間で取得する方法を得る。 【解決手段】 加熱源３周辺に設けられる複数の第１の
温度センサ４、及び炉内に設けられる複数の第２の温度
センサ５が温度安定状態にあるときに、第２の温度セン
サ５の内の１つが異なる温度で安定状態になるように温
度制御を行って複数の第１、第２の温度センサが再び温
度安定状態となったときに、複数の第１の温度センサ４
のそれぞれについて温度変化分を求めるステップを、複
数の第２の温度センサ５のそれぞれについて行うことに
より、伝達ゲイン行列の逆行列を作成するようにした。
を短時間で取得する方法を得る。 【解決手段】 加熱源３周辺に設けられる複数の第１の
温度センサ４、及び炉内に設けられる複数の第２の温度
センサ５が温度安定状態にあるときに、第２の温度セン
サ５の内の１つが異なる温度で安定状態になるように温
度制御を行って複数の第１、第２の温度センサが再び温
度安定状態となったときに、複数の第１の温度センサ４
のそれぞれについて温度変化分を求めるステップを、複
数の第２の温度センサ５のそれぞれについて行うことに
より、伝達ゲイン行列の逆行列を作成するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、拡散装置やＣＶＤ
装置など、半導体製造装置における半導体ウエハをバッ
チ処理する熱処理装置の温度制御方法に関し、特に複数
の加熱源から複数の温度センサへの熱の干渉を考慮に入
れて行われる制御に必要な熱の干渉行列としての伝達ゲ
インの逆行列を求める方法に関する。
装置など、半導体製造装置における半導体ウエハをバッ
チ処理する熱処理装置の温度制御方法に関し、特に複数
の加熱源から複数の温度センサへの熱の干渉を考慮に入
れて行われる制御に必要な熱の干渉行列としての伝達ゲ
インの逆行列を求める方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】縦型拡散装置やＣＶＤ装置など、多数の
ウエハを処理するバッチ方式熱処理装置では、炉内、特
に熱処理するウエハが置かれる領域の温度を均一に精度
よく制御する必要がある。対象とする熱処理装置の構成
は、例えば図４のように、ボートに乗せた多数のウエハ
１を熱処理するための石英管２、石英管２を周囲から熱
するヒータ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ（まとめて取り扱う
ときは、ヒータ３とする。）、ヒータの周囲の温度を計
測する第１の温度センサ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（添字
ａ〜ｄはヒータ３と対応している。まとめて取り扱うと
きは、第１の温度センサ４とする）、石英管２の内部の
ウエハ１が置れる領域の温度を計測する第２の温度セン
サ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ（添字ａ〜ｄはヒータ３と対
応している。まとめて取り扱うときは、第２の温度セン
サ５とする）、各温度センサの目標温度を設定する温度
設定部６、第１の温度センサ４と第２の温度センサ５の
温度と温度設定部６の目標温度からヒータ３を個別に制
御する温度制御部７とで構成される。
ウエハを処理するバッチ方式熱処理装置では、炉内、特
に熱処理するウエハが置かれる領域の温度を均一に精度
よく制御する必要がある。対象とする熱処理装置の構成
は、例えば図４のように、ボートに乗せた多数のウエハ
１を熱処理するための石英管２、石英管２を周囲から熱
するヒータ３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ（まとめて取り扱う
ときは、ヒータ３とする。）、ヒータの周囲の温度を計
測する第１の温度センサ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ（添字
ａ〜ｄはヒータ３と対応している。まとめて取り扱うと
きは、第１の温度センサ４とする）、石英管２の内部の
ウエハ１が置れる領域の温度を計測する第２の温度セン
サ５ａ、５ｂ、５ｃ、５ｄ（添字ａ〜ｄはヒータ３と対
応している。まとめて取り扱うときは、第２の温度セン
サ５とする）、各温度センサの目標温度を設定する温度
設定部６、第１の温度センサ４と第２の温度センサ５の
温度と温度設定部６の目標温度からヒータ３を個別に制
御する温度制御部７とで構成される。
【０００３】装置によっては、石英管２とヒータ３の間
に図示しない均熱管があり、第２の温度センサ５が石英
管２と均熱管の間にあることもあるが、その場合は均熱
管内部を、炉内とする。そして、図４のような熱処理装
置では、ヒータ３が分割された４つのヒータ３ａ〜３ｄ
からなるように、炉内を加熱する加熱源を複数に分割し
て、それらの加熱源を独立に操作することによって、温
度制御を行っている。温度制御に際しては、炉の伝達ゲ
イン行列を用いて熱干渉を考慮して得られる温度目標値
を、それぞれの熱源の温度設定部６に設定することによ
って、温度の均一性を実現してきた。
に図示しない均熱管があり、第２の温度センサ５が石英
管２と均熱管の間にあることもあるが、その場合は均熱
管内部を、炉内とする。そして、図４のような熱処理装
置では、ヒータ３が分割された４つのヒータ３ａ〜３ｄ
からなるように、炉内を加熱する加熱源を複数に分割し
て、それらの加熱源を独立に操作することによって、温
度制御を行っている。温度制御に際しては、炉の伝達ゲ
イン行列を用いて熱干渉を考慮して得られる温度目標値
を、それぞれの熱源の温度設定部６に設定することによ
って、温度の均一性を実現してきた。
【０００４】ここで述べている伝達ゲインとは、加熱源
から温度センサへの熱の影響の度合いを示すものであ
り、伝達ゲイン行列とは、１つの加熱源に対する１つの
温度センサの伝達ゲインを、とりうる全ての１つの加熱
源と１つの温度センサとの対に対して求め、それらを行
列で表したものである。図５に示すように、全ての温度
センサで得られる温度は、全ての熱源の影響の和で表さ
れるという考え方に基づいている。すなわち、たとえば
ヒータ３ａから第２の温度センサ５ａへの影響度は、ヒ
ータ３ａの状態を表す第１の温度センサ４ａの温度変化
のＧ11倍が第２の温度センサ５ａの温度変化に現れると
し、その影響度を伝達ゲインとしてＧ11で表す。そし
て、第１の温度センサ４ａの温度変化のＧ11倍、４ｂの
温度変化のＧ 21倍、４ｃの温度変化のＧ31倍、４ｄの温
度変化のＧ41倍の総和が、第２の温度センサ５ａに温度
変化として現れる。以下５ｂ、５ｃ、５ｄも同様であ
る。
から温度センサへの熱の影響の度合いを示すものであ
り、伝達ゲイン行列とは、１つの加熱源に対する１つの
温度センサの伝達ゲインを、とりうる全ての１つの加熱
源と１つの温度センサとの対に対して求め、それらを行
列で表したものである。図５に示すように、全ての温度
センサで得られる温度は、全ての熱源の影響の和で表さ
れるという考え方に基づいている。すなわち、たとえば
ヒータ３ａから第２の温度センサ５ａへの影響度は、ヒ
ータ３ａの状態を表す第１の温度センサ４ａの温度変化
のＧ11倍が第２の温度センサ５ａの温度変化に現れると
し、その影響度を伝達ゲインとしてＧ11で表す。そし
て、第１の温度センサ４ａの温度変化のＧ11倍、４ｂの
温度変化のＧ 21倍、４ｃの温度変化のＧ31倍、４ｄの温
度変化のＧ41倍の総和が、第２の温度センサ５ａに温度
変化として現れる。以下５ｂ、５ｃ、５ｄも同様であ
る。
【０００５】このような伝達ゲインの考え方によれば、
第１の温度センサ４の変化から第２の温度センサ５への
変化が、伝達ゲイン行列を用いて（１）式で表される。
ΔＸは第１の温度センサ４の温度変化、ΔＹは第２の温
度センサ５の温度変化を表す。
第１の温度センサ４の変化から第２の温度センサ５への
変化が、伝達ゲイン行列を用いて（１）式で表される。
ΔＸは第１の温度センサ４の温度変化、ΔＹは第２の温
度センサ５の温度変化を表す。
【０００６】
【数１】
【０００７】従って、温度の均一性を得るために変化さ
せなければいけない第２の温度センサ５の温度変化を改
めてΔＹとすると、伝達ゲイン行列の逆行列による
（２）式で得られるΔＸを第１の温度センサ４の温度変
化として与えれば、炉内の温度均一性が得られる。
せなければいけない第２の温度センサ５の温度変化を改
めてΔＹとすると、伝達ゲイン行列の逆行列による
（２）式で得られるΔＸを第１の温度センサ４の温度変
化として与えれば、炉内の温度均一性が得られる。
【０００８】
【数２】
【０００９】このような伝達ゲイン行列の逆行列を使っ
た温度補正の方法は、温度を一定値に制御する静的な温
度制御のみならず、目標値が変化する場合も、フィード
バック制御では得られないような温度の追従性を得るた
めに、使用されることもある。
た温度補正の方法は、温度を一定値に制御する静的な温
度制御のみならず、目標値が変化する場合も、フィード
バック制御では得られないような温度の追従性を得るた
めに、使用されることもある。
【００１０】従来、このような伝達ゲイン行列の逆行列
は、温度制御部を図６に示すような構成とし、図７に示
すような手順で作成される。図６に示した温度制御部
は、第１の温度センサ４からの検出温度信号と、温度設
定部６からの設定温度信号とが入力される制御演算部７
１と、第１の温度センサ４からの検出温度信号と第２の
温度センサ５からの検出温度信号とが入力されるメモリ
７２とで構成される。
は、温度制御部を図６に示すような構成とし、図７に示
すような手順で作成される。図６に示した温度制御部
は、第１の温度センサ４からの検出温度信号と、温度設
定部６からの設定温度信号とが入力される制御演算部７
１と、第１の温度センサ４からの検出温度信号と第２の
温度センサ５からの検出温度信号とが入力されるメモリ
７２とで構成される。
【００１１】以上の構成において、制御演算部７１で第
１の温度センサ４を目標温度に制御し、メモリ７２で各
温度センサの温度変化を記録する。図７に示す流れ図で
は、全ての温度センサの温度が安定している状態から、
まず第１の温度センサ４ａの目標温度をΔＸａ上昇させ
る（ステップＳ１０１）。次にその状態で全ての温度セ
ンサの検出温度が安定するのを待つ（ステップＳ１０
２）。検出温度が安定したならば、第２の温度センサ５
ａ〜５ｄの温度変化ΔＹａ〜ΔＹｄを記録する（ステッ
プＳ１０３）。この温度変化ΔＹａ〜ΔＹｄを用いる
と、（３）式で示すように、伝達ゲイン行列の第１列が
求まる。
１の温度センサ４を目標温度に制御し、メモリ７２で各
温度センサの温度変化を記録する。図７に示す流れ図で
は、全ての温度センサの温度が安定している状態から、
まず第１の温度センサ４ａの目標温度をΔＸａ上昇させ
る（ステップＳ１０１）。次にその状態で全ての温度セ
ンサの検出温度が安定するのを待つ（ステップＳ１０
２）。検出温度が安定したならば、第２の温度センサ５
ａ〜５ｄの温度変化ΔＹａ〜ΔＹｄを記録する（ステッ
プＳ１０３）。この温度変化ΔＹａ〜ΔＹｄを用いる
と、（３）式で示すように、伝達ゲイン行列の第１列が
求まる。
【００１２】
【数３】
【００１３】そして次に、第１の温度センサ４ｂの目標
温度をΔＸｂ上昇させて（ステップＳ１０４）、再び全
ての温度センサの検出温度を安定させる（ステップＳ１
０５）。ΔＹａ〜ΔＹｄを記録する（ステップＳ１０
６）。このようにして、ステップＳ１１２まで行えば、
（１）式を得ることができる。次に得られた行列の逆行
列演算をすること（ステップＳ１１３）により、得られ
た伝達ゲイン行列の逆行列を得ることができる。
温度をΔＸｂ上昇させて（ステップＳ１０４）、再び全
ての温度センサの検出温度を安定させる（ステップＳ１
０５）。ΔＹａ〜ΔＹｄを記録する（ステップＳ１０
６）。このようにして、ステップＳ１１２まで行えば、
（１）式を得ることができる。次に得られた行列の逆行
列演算をすること（ステップＳ１１３）により、得られ
た伝達ゲイン行列の逆行列を得ることができる。
【００１４】しかしながら、上述した図７に示すような
手順では、伝達ゲイン行列を作成するのに多くの時間を
費やしてしまう。図８にＳ１０１からＳ１０３までの温
度変化を示している。ｔ0はＳ１０１を行った時刻であ
る。ｔ1は、第１の温度センサ４が全て安定した時刻で
ある。そして、ｔ2は第２の温度センサ５が全て安定し
た時刻である。炉内の温度の変化は通常ヒータ３の周辺
の温度の変化よりも遅れが大きい（温度が変化するのが
遅い）ため、たとえ第１の温度センサ４の温度が例えば
１０分くらいで、早く安定したとしても、第２の温度セ
ンサ５の温度が安定する時間それよりもはるかに長く、
例えば２時間くらいかかってしまう。このように、従来
の伝達ゲインの逆行列の取得方法では、まず伝達ゲイン
行列を求め、次に求められた伝達ゲイン行列から逆行列
を求めるようにしているが、この伝達ゲインを求めるの
に長時間要してしまうという問題点がある。
手順では、伝達ゲイン行列を作成するのに多くの時間を
費やしてしまう。図８にＳ１０１からＳ１０３までの温
度変化を示している。ｔ0はＳ１０１を行った時刻であ
る。ｔ1は、第１の温度センサ４が全て安定した時刻で
ある。そして、ｔ2は第２の温度センサ５が全て安定し
た時刻である。炉内の温度の変化は通常ヒータ３の周辺
の温度の変化よりも遅れが大きい（温度が変化するのが
遅い）ため、たとえ第１の温度センサ４の温度が例えば
１０分くらいで、早く安定したとしても、第２の温度セ
ンサ５の温度が安定する時間それよりもはるかに長く、
例えば２時間くらいかかってしまう。このように、従来
の伝達ゲインの逆行列の取得方法では、まず伝達ゲイン
行列を求め、次に求められた伝達ゲイン行列から逆行列
を求めるようにしているが、この伝達ゲインを求めるの
に長時間要してしまうという問題点がある。
【００１５】そこで、本発明は、上記実情に鑑みて為さ
れたもので、伝達ゲイン行列の逆行列を従来よりも短時
間で得られる伝達ゲインの逆行列の取得方法を得ること
を目的とする。
れたもので、伝達ゲイン行列の逆行列を従来よりも短時
間で得られる伝達ゲインの逆行列の取得方法を得ること
を目的とする。
【００１６】上述した課題を解決するため、本発明は、
複数に分離された加熱源と、分離された前記加熱源それ
ぞれに対応して、前記加熱源周辺と炉内とにそれぞれ設
けられる複数の第１の温度センサ及び第２の温度センサ
とを有し、前記複数の第１、第２の温度センサの検出温
度に基いて前記炉の温度制御を行う熱処理装置における
伝達ゲインの逆行列を求める取得方法において、前記複
数の第１、第２の温度センサが温度安定状態にあるとき
に、前記複数の第２の温度センサの内の１つが異なる温
度で安定状態になるよう温度制御を行って前記複数の第
１、第２の温度センサが再び温度安定状態となったとき
に、前記複数の第１の温度センサのそれぞれについて温
度変化分を求めるステップを、前記複数の第２の温度セ
ンサのそれぞれについて行うことにより、前記伝達ゲイ
ン行列の逆行列を作成するようにしたものである。
複数に分離された加熱源と、分離された前記加熱源それ
ぞれに対応して、前記加熱源周辺と炉内とにそれぞれ設
けられる複数の第１の温度センサ及び第２の温度センサ
とを有し、前記複数の第１、第２の温度センサの検出温
度に基いて前記炉の温度制御を行う熱処理装置における
伝達ゲインの逆行列を求める取得方法において、前記複
数の第１、第２の温度センサが温度安定状態にあるとき
に、前記複数の第２の温度センサの内の１つが異なる温
度で安定状態になるよう温度制御を行って前記複数の第
１、第２の温度センサが再び温度安定状態となったとき
に、前記複数の第１の温度センサのそれぞれについて温
度変化分を求めるステップを、前記複数の第２の温度セ
ンサのそれぞれについて行うことにより、前記伝達ゲイ
ン行列の逆行列を作成するようにしたものである。
【００１７】熱処理装置の構成上、第１の温度センサ
は、第２の温度センサ５より遅れが小さく反応が速いの
で、まず、第２の温度センサの出力が安定状態となるよ
う温度制御を行い、第１の温度センサの出力が安定状態
になるまでの時間は、その逆、即ち、第１の温度センサ
の出力が安定状態となるよう温度制御を行い、第２の温
度センサの出力が安定状となるまでの時間よりも短くな
り、よって、伝達ゲイン行列の逆行列を短時間で得るこ
とができる。また、従来のように、逆行列を演算する必
要もなく、演算処理が簡単となる。
は、第２の温度センサ５より遅れが小さく反応が速いの
で、まず、第２の温度センサの出力が安定状態となるよ
う温度制御を行い、第１の温度センサの出力が安定状態
になるまでの時間は、その逆、即ち、第１の温度センサ
の出力が安定状態となるよう温度制御を行い、第２の温
度センサの出力が安定状となるまでの時間よりも短くな
り、よって、伝達ゲイン行列の逆行列を短時間で得るこ
とができる。また、従来のように、逆行列を演算する必
要もなく、演算処理が簡単となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
を用いて説明する。図１は実施の形態を示すブロック図
であり、伝達ゲイン行列の逆行列を作成する場合の温度
制御部の構成を示している。なお、熱処理装置の構成は
図６に示したものと同一であり、ここでの説明は省略す
る。この温度制御部７Ａは、温度設定部６からの目標温
度と、第１の温度センサ４からの第１検出温度と、第２
の温度センサ５からの第２検出温度が入力される制御演
算部７１Ａと、これら第１検出温度と第２検出温度を記
憶するメモリ７２を用いて構成される。
を用いて説明する。図１は実施の形態を示すブロック図
であり、伝達ゲイン行列の逆行列を作成する場合の温度
制御部の構成を示している。なお、熱処理装置の構成は
図６に示したものと同一であり、ここでの説明は省略す
る。この温度制御部７Ａは、温度設定部６からの目標温
度と、第１の温度センサ４からの第１検出温度と、第２
の温度センサ５からの第２検出温度が入力される制御演
算部７１Ａと、これら第１検出温度と第２検出温度を記
憶するメモリ７２を用いて構成される。
【００１９】制御演算部７１Ａは、第２の温度センサ５
を速やかに安定させるべく、第２の温度センサ５の温度
を早く追従させるために、例えば、主制御量を第２の温
度センサ５とし、副制御量を第１の温度センサ４とする
カスケード制御を行う。この実施の形態において、カス
ケード制御は、主制御量を目標値に追従させる「手段」
として副制御量を扱う構成となっており、まず主制御量
が定常状態になった後、徐々に副制御量を定常状態にす
る。すなわち、遅れが大きい第２の温度センサ５を主制
御量とすることによって、第２の温度センサ５が目標温
度に到達できるだけの熱量(操作量)を速やかに入力す
る。このとき一般的に第１の温度センサ４はオーバーシ
ュートし（図３（ａ）を参照)、第２の温度センサ５が
定常状態になった後、徐々に定常状態になることとなる
が、第１の温度センサ４は、第２の温度センサ５より遅
れが小さく反応が速いので、従来技術より早く両方の温
度センサが定常状態になることができる。
を速やかに安定させるべく、第２の温度センサ５の温度
を早く追従させるために、例えば、主制御量を第２の温
度センサ５とし、副制御量を第１の温度センサ４とする
カスケード制御を行う。この実施の形態において、カス
ケード制御は、主制御量を目標値に追従させる「手段」
として副制御量を扱う構成となっており、まず主制御量
が定常状態になった後、徐々に副制御量を定常状態にす
る。すなわち、遅れが大きい第２の温度センサ５を主制
御量とすることによって、第２の温度センサ５が目標温
度に到達できるだけの熱量(操作量)を速やかに入力す
る。このとき一般的に第１の温度センサ４はオーバーシ
ュートし（図３（ａ）を参照)、第２の温度センサ５が
定常状態になった後、徐々に定常状態になることとなる
が、第１の温度センサ４は、第２の温度センサ５より遅
れが小さく反応が速いので、従来技術より早く両方の温
度センサが定常状態になることができる。
【００２０】そして、伝達ゲイン行列の逆行列は、図２
に示す手順で得る。すなわち、全ての温度センサの温度
が安定している状態から、上述のカスケード制御を用
い、まず第２の温度センサ５ａの目標温度をΔＹａ上昇
させる（ステップＳ２０１）。次にその状態で全ての温
度センサの温度が安定するのを待つ（ステップＳ２０
２）。温度が安定したならば、第１の温度センサ４ａ〜
４ｄの温度変化ΔＸａ〜ΔＸｄを記録する（ステップＳ
２０３）。この温度変化ΔＸａ〜ΔＸｄを用いると、Δ
Ｘａ／ΔＹａ，ΔＸｂ／ΔＹａ，ΔＸｃ／ΔＹａ，ΔＸ
ｄ／ΔＹａにより伝達ゲイン行列の逆行列の第１列が直
接求まる。
に示す手順で得る。すなわち、全ての温度センサの温度
が安定している状態から、上述のカスケード制御を用
い、まず第２の温度センサ５ａの目標温度をΔＹａ上昇
させる（ステップＳ２０１）。次にその状態で全ての温
度センサの温度が安定するのを待つ（ステップＳ２０
２）。温度が安定したならば、第１の温度センサ４ａ〜
４ｄの温度変化ΔＸａ〜ΔＸｄを記録する（ステップＳ
２０３）。この温度変化ΔＸａ〜ΔＸｄを用いると、Δ
Ｘａ／ΔＹａ，ΔＸｂ／ΔＹａ，ΔＸｃ／ΔＹａ，ΔＸ
ｄ／ΔＹａにより伝達ゲイン行列の逆行列の第１列が直
接求まる。
【００２１】そして次に、第２の温度センサ５ｂの目標
温度をΔＹｂ上昇させ（ステップＳ２０４）、再び安定
させる（ステップＳ２０５）。そして、ΔＸａ〜ΔＸｄ
を記録する（ステップＳ２０６）。このようにして、ス
テップＳ２１２まで行えば、（２）式を直接得ることが
できる。
温度をΔＹｂ上昇させ（ステップＳ２０４）、再び安定
させる（ステップＳ２０５）。そして、ΔＸａ〜ΔＸｄ
を記録する（ステップＳ２０６）。このようにして、ス
テップＳ２１２まで行えば、（２）式を直接得ることが
できる。
【００２２】図３にはＳ２０１からＳ２０３までの温度
変化を描いた。ｔ0はＳ２０１を行った時刻である。ｔ3
は第２の温度センサ５が全て安定した時刻である。そし
てｔ4は、第１の温度センサ４が全て安定した時刻であ
る。炉内の温度の変化は通常ヒータ３の周辺の温度の変
化よりも遅れが大きいため、ｔ3は前述のｔ1よりも遅く
なるが、ｔ4はｔ2より例えば１時間くらいで、早く収束
する。従って、図３の（ａ）の手順と（ｂ）の手順を比
較すれば、（ｂ）は（ａ）の半分以下の時間で目的を達
成できる。
変化を描いた。ｔ0はＳ２０１を行った時刻である。ｔ3
は第２の温度センサ５が全て安定した時刻である。そし
てｔ4は、第１の温度センサ４が全て安定した時刻であ
る。炉内の温度の変化は通常ヒータ３の周辺の温度の変
化よりも遅れが大きいため、ｔ3は前述のｔ1よりも遅く
なるが、ｔ4はｔ2より例えば１時間くらいで、早く収束
する。従って、図３の（ａ）の手順と（ｂ）の手順を比
較すれば、（ｂ）は（ａ）の半分以下の時間で目的を達
成できる。
【００２３】
【発明の効果】以上に説明したように、この発明は、複
数に分離された加熱源と、分離された前記加熱源それぞ
れに対応して、前記加熱源周辺と炉内とにそれぞれ設け
られる複数の第１の温度センサ及び第２の温度センサと
を有し、前記複数の第１、第２の温度センサの検出温度
に基いて前記炉の温度制御を行う熱処理装置における伝
達ゲインの逆行列を求める取得方法において、前記複数
の第１、第２の温度センサが温度安定状態にあるとき
に、前記複数の第２の温度センサの内の１つが異なる温
度で安定状態になるよう温度制御を行って前記複数の第
１、第２の温度センサが再び温度安定状態となったとき
に、前記複数の第１の温度センサのそれぞれについて温
度変化分を求めるステップを、前記複数の第２の温度セ
ンサのそれぞれについて行うことにより、前記伝達ゲイ
ン行列の逆行列を作成するようにしたため、伝達ゲイン
行列の逆行列を従来よりも短時間で得ることができると
いう効果を奏する。
数に分離された加熱源と、分離された前記加熱源それぞ
れに対応して、前記加熱源周辺と炉内とにそれぞれ設け
られる複数の第１の温度センサ及び第２の温度センサと
を有し、前記複数の第１、第２の温度センサの検出温度
に基いて前記炉の温度制御を行う熱処理装置における伝
達ゲインの逆行列を求める取得方法において、前記複数
の第１、第２の温度センサが温度安定状態にあるとき
に、前記複数の第２の温度センサの内の１つが異なる温
度で安定状態になるよう温度制御を行って前記複数の第
１、第２の温度センサが再び温度安定状態となったとき
に、前記複数の第１の温度センサのそれぞれについて温
度変化分を求めるステップを、前記複数の第２の温度セ
ンサのそれぞれについて行うことにより、前記伝達ゲイ
ン行列の逆行列を作成するようにしたため、伝達ゲイン
行列の逆行列を従来よりも短時間で得ることができると
いう効果を奏する。
【図１】この発明の実施の形態における温度制御部を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】この発明の実施の形態の動作を示すフローチャ
ートである。
ートである。
【図３】実施の形態における第１、第２の温度センサの
検出温度を示すタイムチャートである。
検出温度を示すタイムチャートである。
【図４】熱処理装置の全体構成を示す側面図である。
【図５】熱処理装置の伝達ゲインを示すブロック図であ
る。
る。
【図６】従来の温度制御部を示すブロック図である。
【図７】従来のゲイン行列の逆行列を求める動作を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図８】従来の第１、第２の温度センサの検出温度を示
すタイムチャートである。
すタイムチャートである。
３，３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ ヒータ ４，４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 第１の温度センサ ５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ 第２の温度センサ ６ 温度設定部 ７Ａ 温度制御部 ７１Ａ 制御演算部 ７２ メモリ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数に分離された加熱源と、分離された
前記加熱源それぞれに対応して、前記加熱源周辺と炉内
とにそれぞれ設けられる複数の第１の温度センサ及び第
２の温度センサとを有し、前記複数の第１、第２の温度
センサの検出温度に基いて前記炉の温度制御を行う熱処
理装置における伝達ゲインの逆行列を求める取得方法に
おいて、 前記複数の第１、第２の温度センサが温度安定状態にあ
るときに、前記複数の第２の温度センサの内の１つが異
なる温度で安定状態になるよう温度制御を行って前記複
数の第１、第２の温度センサが再び温度安定状態となっ
たときに、前記複数の第１の温度センサのそれぞれにつ
いて温度変化分を求めるステップを、前記複数の第２の
温度センサのそれぞれについて行うことにより、前記伝
達ゲイン行列の逆行列を作成するようにした伝達ゲイン
行列の逆行列の取得方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27678799A JP4413328B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 伝達ゲイン行列の逆行列の取得方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27678799A JP4413328B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 伝達ゲイン行列の逆行列の取得方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001102317A true JP2001102317A (ja) | 2001-04-13 |
| JP4413328B2 JP4413328B2 (ja) | 2010-02-10 |
Family
ID=17574378
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27678799A Expired - Lifetime JP4413328B2 (ja) | 1999-09-29 | 1999-09-29 | 伝達ゲイン行列の逆行列の取得方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4413328B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007250682A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板処理装置の温度制御方法、基板処理装置および基板処理システム |
-
1999
- 1999-09-29 JP JP27678799A patent/JP4413328B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007250682A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板処理装置の温度制御方法、基板処理装置および基板処理システム |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4413328B2 (ja) | 2010-02-10 |
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