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JP2001184896A - Random access memory of packet system - Google Patents

Random access memory of packet system

Info

Publication number
JP2001184896A
JP2001184896A JP36997699A JP36997699A JP2001184896A JP 2001184896 A JP2001184896 A JP 2001184896A JP 36997699 A JP36997699 A JP 36997699A JP 36997699 A JP36997699 A JP 36997699A JP 2001184896 A JP2001184896 A JP 2001184896A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
output
dram
burn
packet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP36997699A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazutoshi Hirayama
和俊 平山
Kyoji Yamazaki
恭治 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP36997699A priority Critical patent/JP2001184896A/en
Publication of JP2001184896A publication Critical patent/JP2001184896A/en
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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a means capable of preventing disappearance of stored data of a memory cell during a discrimination period of output data even when a burn-in test is performed using a test device of low speed, for a DRAM operated by a packet system at high speed. SOLUTION: A DRAM 1 of a packet, system operated with an operation frequency of several hundreds MHz is provided with a burn-in mode in which a memory test is performed with an operation frequency of several tens MHZ at the time of a burn-in test. And at the time of a burn-in test, independently of a normal self-refresh instruction of a packet form outputted from a logic circuit 2, a memory cell of a memory cell array 7 is refreshed by a ring oscillator circuit 4, an address counter circuit 5, and a RAS logic circuit 6 based on a self-refresh signal outputted from a timing detecting circuit 8, and disappearance of stored data of a memory cell is prevented during a discrimination period of output data.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、パケット形式の命
令により高い動作周波数でもって高速で動作するように
なっているパケット方式のダイナミックランダムアクセ
スメモリに関するものであって、とくにバーンイン時等
において低い動作周波数でメモリテストを行うためのバ
ーンインモードを備えたパケット方式のダイナミックラ
ンダムアクセスメモリに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a packet type dynamic random access memory which operates at a high operating frequency at a high operating frequency by a packet type instruction, and particularly has a low operation at burn-in. The present invention relates to a packet type dynamic random access memory having a burn-in mode for performing a memory test at a frequency.

【0002】[0002]

【従来の技術】ダイナミックランダムアクセスメモリ
(以下、「DRAM」という。)は、各メモリセルの占
有面積が小さく高集積化に適していることから、パーソ
ナルコンピュータ等の各種電子機器のメモリデバイスと
して広く用いられている。このようなDRAMとして
は、従来より、動作周波数が数十MHzのEDO−DR
AM(Extended data−out DRAM)等が広く用い
られている。
2. Description of the Related Art A dynamic random access memory (hereinafter, referred to as "DRAM") has a small area occupied by each memory cell and is suitable for high integration. Therefore, it is widely used as a memory device for various electronic devices such as personal computers. Used. As such a DRAM, an EDO-DR having an operating frequency of several tens of MHz has been conventionally used.
AM (Extended data-out DRAM) and the like are widely used.

【0003】しかしながら、近年、例えばパーソナルコ
ンピュータ等においては、CPUの動作の高速化に伴っ
て、そのメモリデバイスとして用いられるDRAMにつ
いてもアクセス動作の高速化が求められている。かくし
て、近年、動作周波数が100〜200MHzのシンク
ロナスDRAMが登場し、さらに最近ではパケット方式
(Packet方式)により高速で動作する、動作周波数が数
百MHzのラムバスDRAM(RambusDRAM)あるい
はシンクリンクDRAM(SyncLinkDRAM)も登場し
ている。
However, in recent years, for example, in personal computers and the like, with the increase in the speed of the operation of the CPU, the speed of the access operation of the DRAM used as the memory device has been required. Thus, in recent years, a synchronous DRAM having an operation frequency of 100 to 200 MHz has appeared, and more recently, a Rambus DRAM (Rambus DRAM) or a sync link DRAM (operation frequency of several hundred MHz) which operates at a high speed by a packet method (Packet method). SyncLink DRAM) has also appeared.

【0004】ただ、DRAMでは、各メモリセル内に蓄
積されている電荷が時間の経過に伴って減衰するので、
メモリセルにデータを記憶した後そのまま放置すると、
ついには記憶データが消失してしまう。そこで、DRA
Mでは、このような記憶データの消失を防止するため、
適宜、メモリセルに電荷を再注入するといったリフレッ
シュ動作(再書き込み)を行う必要がある。
However, in a DRAM, the electric charge stored in each memory cell attenuates with the passage of time.
If you leave the data after storing it in the memory cell,
Eventually, the stored data is lost. So, DRA
In M, in order to prevent such loss of stored data,
It is necessary to appropriately perform a refresh operation (rewrite) such as re-injecting charges into the memory cells.

【0005】かくして、パケット方式により高速で動作
するDRAM、例えばラムバスDRAMあるいはシンク
リンクDRAMでは、通常、パケット形式の命令による
動作モード指定でセルフリフレッシュ(内部リフレッシ
ュ)動作を行うようにしている。具体的には、例えばロ
ジック回路から出力されるセルフリフレッシュ要求信号
に基づいて、リングオシレータ回路、アドレスカウンタ
回路及びRASロジック回路等によりメモリアレイ中の
各メモリセルをリフレッシュするようにしている。かか
るDRAMにおいて、ロジック回路にセルフリフレッシ
ュ要求信号を出力させるには、数百MHzの動作周波数
でパケット命令をロジック回路に印加する必要がある。
Thus, in a DRAM which operates at a high speed by a packet method, for example, a Rambus DRAM or a sync link DRAM, a self refresh (internal refresh) operation is usually performed by designating an operation mode by a packet format instruction. Specifically, each memory cell in the memory array is refreshed by a ring oscillator circuit, an address counter circuit, an RAS logic circuit, or the like, based on a self-refresh request signal output from a logic circuit, for example. In such a DRAM, in order to output a self-refresh request signal to the logic circuit, it is necessary to apply a packet command to the logic circuit at an operating frequency of several hundred MHz.

【0006】ところで、一般に、DRAMにおいては、
その性能ないしは品質を検査するために種々のテストが
行われる。また、その特性を安定化させるためにバーン
インが行われる。なお、バーンインとは、該DRAMが
実際に使用される前に一定時間動作させ、そのなじみを
良くしたり、動作特性を安定化させるといった処理であ
る。そして、バーンイン時においては、例えばテスティ
ングバーンイン装置ないしはバーンイン装置を用いるな
どして、DRAMに対してその性能ないしは品質を検査
するためのバーンインテストが行われる。
[0006] Generally, in a DRAM,
Various tests are performed to check the performance or quality. Burn-in is performed to stabilize the characteristics. The burn-in is a process of operating the DRAM for a certain period of time before actually using the DRAM to improve the familiarity or stabilize the operation characteristics. At the time of burn-in, a burn-in test for inspecting the performance or quality of the DRAM is performed by using, for example, a testing burn-in device or a burn-in device.

【0007】ここで、パケット方式により高速で動作す
るDRAM、例えばラムバスDRAMあるいはシンクリ
ンクDRAMにおいてバーンインテストを行う場合、本
来は、数百MHzの複雑なパケットコードを発生させる
クロックジェネレータやパターンジェネレータが必要と
なる。それにもかかわらず、現実には、かかるDRAM
にも、メモリセル領域を普通のEDO−DRAMなどと
同様に数十MHz程度の低速の動作周波数低速でテスト
する「DAモード」と呼ばれる特殊なテストモードが内
蔵されている。これは、メモリメーカ等において従来よ
り使用されている比較的低速のテスティングバーンイン
装置を引き続き使用できるようにとの配慮があるからで
ある。
Here, when performing a burn-in test on a DRAM operating at high speed by a packet method, for example, a Rambus DRAM or a sync link DRAM, a clock generator or a pattern generator for generating a complicated packet code of several hundred MHz is originally required. Becomes Nevertheless, in reality, such a DRAM
Also, a special test mode called a "DA mode" for testing a memory cell area at a low operation frequency of about several tens of MHz like a normal EDO-DRAM or the like is built in. This is because there is a consideration that a relatively low-speed testing burn-in device conventionally used by a memory maker or the like can be continuously used.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来より用
いられている低速のテスティングバーンイン装置では、
テストすべきDRAMの出力データの判定を行うのに時
間がかかり、最長では数百ms程度かかることがある。
他方、DAモードを内蔵しパケット方式により高速で動
作する従来のDRAMでは、事実上、出力データの判定
を行っているときにはリフレッシュ動作を行うことがで
きない。
By the way, in the conventional low-speed testing burn-in apparatus,
It takes time to determine the output data of the DRAM to be tested, and it may take several hundred ms at the longest.
On the other hand, in a conventional DRAM having a built-in DA mode and operating at high speed by a packet method, the refresh operation cannot be performed when the output data is actually determined.

【0009】したがって、パケット方式により高速で動
作するDRAMに対して低速の普通のテスティングバー
ンイン装置を用いた場合、出力データの判定に要する時
間がメモリセルのデータ保持時間(リフレッシュを行わ
ずにデータを保持することができる時間)を超えてしま
い、データを正確に保持することができなくなることが
ある。このため、パケット方式により高速で動作するD
RAMに対しては、普通のテスティングバーンイン装置
を使用することができない、あるいは高額の費用をかけ
て該テスティングバーンイン装置の改造を行わなければ
ならないといった問題がある。
Therefore, when a low-speed ordinary testing burn-in device is used for a DRAM operating at a high speed by the packet method, the time required to determine the output data is equal to the data holding time of the memory cell (data refresh without performing refresh). May be exceeded), which may make it impossible to hold data accurately. For this reason, D which operates at high speed by the packet method is used.
The RAM has a problem that an ordinary testing burn-in device cannot be used or that the testing burn-in device must be modified at a high cost.

【0010】なお、特開平6−119780号公報に
は、セルフリフレッシュ時に、テストモード信号で任意
にリフレッシュ動作を制御することができるようにした
半導体メモリが開示されている。しかしながら、この半
導体メモリは、テストモード信号でリフレッシュを停止
させるものであり、この半導体メモリで用いられている
リフレッシュ手法を用いても、パケット方式により高速
で動作するDRAMに対して低速の普通のテスティング
バーンイン装置を用いた場合には、データを正確に保持
させることはできない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 6-119780 discloses a semiconductor memory in which a refresh operation can be arbitrarily controlled by a test mode signal at the time of self-refresh. However, in this semiconductor memory, refresh is stopped by a test mode signal, and even if the refresh method used in this semiconductor memory is used, a DRAM which operates at a high speed by a packet method has a lower speed than a normal memory. When a Sting burn-in device is used, data cannot be held accurately.

【0011】また、一般にテスティングバーンイン装置
では、その製作コストを低減するため、これに多数のD
RAMチップを装着し、一連のDRAMチップに対して
1つの出力データ判定器(比較器、コンパレータ)を接
続し、この1つの出力データ判定器で順次各DRAMチ
ップのテストを行うようになっている。そして、例え
ば、出力データの判定の対象となっているDRAMチッ
プ(以下、「判定対象DRAMチップ」という。)の
「H(High)」出力の正誤を判定する場合は、判定対象
DRAMチップのみをHとし、その他のDRAMチップ
を「L(Low)」として、判定対象DRAMチップにつ
いて判定を行うようにしている。この場合、判定対象D
RAMチップの出力とその他のDRAMチップの出力と
が干渉し合う(ぶつかり合う)ことになるので、その判
定電位を、実験値に基づいて適当に補正しつつテストプ
ログラムを実行するようにしている。
Generally, in a testing burn-in apparatus, a large number of D
A RAM chip is mounted, one output data determiner (comparator, comparator) is connected to a series of DRAM chips, and the one output data determiner sequentially tests each DRAM chip. . For example, when determining whether the output of the DRAM chip (hereinafter, referred to as a “determination target DRAM chip”) that is a target of the output data determination is “H (High)”, whether or not only the determination target DRAM chip is correct. H, the other DRAM chips are set to “L (Low)”, and the determination is performed on the determination target DRAM chip. In this case, the determination target D
Since the output of the RAM chip and the output of other DRAM chips interfere with each other (collide with each other), the test program is executed while appropriately correcting the determination potential based on an experimental value.

【0012】しかしながら、この場合、各DRAMチッ
プ間に相互電流が流れるので、場合によってはDRAM
チップが破損することがあるといった問題がある。ま
た、1つの出力データ判定器を共有している複数のDR
AMチップ中に1つでも正常でないものがあると、全D
RAMチップについて誤判定が生じるといった問題もあ
る。
However, in this case, since a mutual current flows between the DRAM chips, the
There is a problem that the chip may be damaged. Further, a plurality of DRs sharing one output data decision unit
If one of the AM chips is not normal, all D
There is also a problem that erroneous determination occurs for the RAM chip.

【0013】なお、特開平7−99435号公報には、
1本のバスに多数のCMOS形の出力バッファが接続さ
れている場合において、複数の出力バッファが選択され
たときに、各出力バッファ間に相互電流が流れないよう
にするとともに、バスのフローティングを防止するよう
にしたバスドライブシステムが開示されている。しかし
ながら、このバスドライブシステムで用いられている相
互電流の防止手法では、バーインテスト時に、各DRA
Mチップ間に相互電流が流れるのを防止することはでき
ない。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-99435 discloses that
When a large number of CMOS output buffers are connected to one bus, when a plurality of output buffers are selected, mutual current does not flow between the output buffers and the floating of the bus is prevented. A disclosed bus drive system is disclosed. However, in the method of preventing mutual current used in this bus drive system, at the time of burn-in test, each DRA
Mutual current cannot be prevented from flowing between the M chips.

【0014】本発明は、上記従来の問題を解決するため
になされたものであって、パケット方式により高速で動
作するDRAMに対して、低速のテスト装置を用いてバ
ーンインテストを行う場合でも、出力データの判定期間
中にメモリセルの記憶データが消失するのを防止するこ
とができる手段を提供することを解決すべき課題とす
る。さらには、1つの出力データ判定器で複数のDRA
Mチップについて順次出力データの判定を行う場合で
も、各DRAMチップ間に相互電流が流れるのを防止す
ることができる手段を提供することを解決すべき課題と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problem. Even when a burn-in test is performed on a DRAM operating at a high speed by a packet method using a low-speed test device, the output is reduced. It is an object to provide a means for preventing loss of data stored in a memory cell during a data determination period. Further, a plurality of DRAs are output by one output data decision unit.
It is an object of the present invention to provide a means capable of preventing a mutual current from flowing between DRAM chips even when output data is sequentially determined for M chips.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
になされた本発明の第1の態様にかかるパケット方式の
DRAM(例えば、ラムバスDRAM、シンクリンクD
RAM等)は、パケット形式の命令により高い動作周波
数(例えば、数百MHZ)で動作する一方、バーンイン
時には上記動作周波数より低い動作周波数(例えば、数
十MHz)でメモリテストを行うバーンインモードを備
えているパケット方式のDRAMであって、少なくとも
バーンインモードでメモリテストが行われるときには、
パケット形式の命令(通常のリフレッシュ命令を含む)
とは独立して、内部クロック信号に基づいてメモリセル
をリフレッシュするセルフリフレッシュ手段が設けられ
ていることを特徴とするものである。
A packet type DRAM (for example, a Rambus DRAM, a sync link D) according to a first aspect of the present invention has been made to solve the above problems.
The RAM or the like operates at a high operating frequency (for example, several hundred MHZ) by a packet format instruction, and has a burn-in mode for performing a memory test at a lower operating frequency (for example, several tens of MHz) at the time of burn-in. When the memory test is performed at least in the burn-in mode,
Instructions in packet format (including normal refresh instructions)
Independently, a self-refresh means for refreshing a memory cell based on an internal clock signal is provided.

【0016】第1の態様にかかるパケット方式のDRA
Mにおいては、バーンインモードでメモリテストが行わ
れる際には、セルフリフレッシュ手段によって、パケッ
ト形式の命令とは独立して、内部クロック信号に基づい
て各メモリセルがリフレッシュされる。したがって、テ
ストすべきDRAMの出力データの判定を行うのに長時
間を要したとしても、この間に適切なタイミングで各メ
モリセルのリフレッシュが行われるので、出力データの
判定期間中にメモリセルの記憶データが消失することは
ない。
The packet type DRA according to the first aspect
In M, when the memory test is performed in the burn-in mode, each memory cell is refreshed by the self-refresh means based on the internal clock signal independently of the packet format instruction. Therefore, even if it takes a long time to judge the output data of the DRAM to be tested, each memory cell is refreshed at an appropriate timing during this time. No data is lost.

【0017】本発明の第2の態様にかかるパケット方式
のDRAMは、第1の態様にかかるDRAMにおいて、
セルフリフレッシュ手段が、カラムアドレスストローブ
(以下、「zCAS」という。)信号に対応する信号
が、ロウアドレスストローブ(以下、「zRAS」とい
う。)信号に対応する信号に先立って活性化されたとき
に、メモリセルをリフレッシュするようになっているこ
とを特徴とするものである。なお、本明細書において、
各種信号をあらわす記号(例えば、zCAS、zRA
S)の先頭に付された「z」は、ロウアクティブである
こと、又は該記号のNOT(否定)であることを意味す
るものとする。
The packet type DRAM according to the second aspect of the present invention is the DRAM according to the first aspect,
When a signal corresponding to a column address strobe (hereinafter, referred to as “zCAS”) signal is activated prior to a signal corresponding to a row address strobe (hereinafter, referred to as “zRAS”) signal by the self-refresh means. , In which the memory cells are refreshed. In this specification,
Symbols representing various signals (for example, zCAS, zRA
“Z” added to the head of S) means that the symbol is low active or that the symbol is NOT.

【0018】第2の態様にかかるパケット方式のDRA
Mにおいては、基本的には、第1の態様にかかるDRA
Mの場合と同様の作用が生じる。さらに、内部信号であ
るzCAS信号に対応する信号とzRAS信号に対応す
る信号とを利用してメモリセルのリフレッシュを行うよ
うにしているので、セルフリフレッシュ手段の構成が簡
素なものとなる。
The DRA of the packet system according to the second aspect
In M, the DRA according to the first aspect is basically
The same operation as in the case of M occurs. Further, since the memory cell is refreshed by using the signal corresponding to the zCAS signal and the signal corresponding to the zRAS signal, which is an internal signal, the configuration of the self-refresh means is simplified.

【0019】本発明の第3の態様にかかるパケット方式
のDRAMは、第1又は第2の態様にかかるDRAMに
おいて、所定の内部信号(例えば、ENABLE信号、
zENABLE)に基づいて、信号出力部のインピーダ
ンスを通常時よりも高くすることができる信号出力部イ
ンピーダンス切り替え手段が設けられていることを特徴
とするものである。
A packet type DRAM according to a third aspect of the present invention is the DRAM according to the first or second aspect, wherein a predetermined internal signal (for example, an ENABLE signal,
zENABLE), a signal output unit impedance switching means capable of making the impedance of the signal output unit higher than usual.

【0020】第3の態様にかかるパケット方式のDRA
Mにおいては、基本的には、第1又は第2の態様にかか
るDRAMの場合と同様の作用が生じる。さらに、内部
信号に基づいて、信号出力部のインピーダンスを任意に
高くすることができるので、例えばバーンインテスト時
において、テスティングバーンイン装置に複数のDRA
M(DRAMチップ)を装着して1つの出力データ判定
器で複数のDRAMについて順次出力データの判定を行
う場合は、判定対象DRAMの信号出力部を通常のイン
ピーダンスとする一方、その他のDRAMの信号出力部
を高インピーダンスにすることにより、各DRAM間に
相互電流が流れるのを防止することができ、DRAMチ
ップが破損するのを防止することができる。また、1つ
の出力データ判定器を共有している複数のDRAM中に
正常でないものがあっても、その他のDRAMに誤判定
が生じることはない。
The packet type DRA according to the third aspect
In M, basically the same operation as in the case of the DRAM according to the first or second aspect occurs. Further, the impedance of the signal output unit can be arbitrarily increased based on the internal signal.
When M (DRAM chip) is mounted and the output data of one DRAM is sequentially judged by a single output data judging device, the signal output section of the DRAM to be judged has a normal impedance while the signals of other DRAMs are set. By setting the output section to have a high impedance, it is possible to prevent a mutual current from flowing between the DRAMs, and to prevent the DRAM chips from being damaged. Even if a plurality of DRAMs sharing one output data determiner are not normal, no erroneous determination occurs in the other DRAMs.

【0021】本発明の第4の態様にかかるパケット方式
のDRAMは、第3の態様にかかるDRAMにおいて、
信号出力部が、内部出力信号が入力される第1のCMO
S(相補形MOS)インバータと、該第1のCMOSイ
ンバータの出力信号が入力される一方内部出力信号に対
応する外部出力信号を外部に出力する第2のCMOSイ
ンバータとを備えている出力バッファ回路であって、信
号出力部インピーダンス切り替え手段が、上記所定の内
部信号が第1の状態であるときには、第1のCMOSイ
ンバータの出力端子と第2のCMOSインバータの入力
端子とを電気的に導通させる一方、該内部信号が第2の
状態であるときには、第2のCMOSインバータを構成
するpチャンネルMOSトランジスタ及びnチャンネル
MOSトランジスタをオフさせることにより該出力バッ
ファ回路のインピーダンスを高めるようになっているこ
とを特徴とするものである。
A packet-type DRAM according to a fourth aspect of the present invention is the DRAM according to the third aspect,
A first CMO to which an internal output signal is input;
An output buffer circuit comprising: an S (complementary MOS) inverter; and a second CMOS inverter to which an output signal of the first CMOS inverter is input and an external output signal corresponding to an internal output signal is output to the outside. Wherein the signal output unit impedance switching means electrically connects the output terminal of the first CMOS inverter and the input terminal of the second CMOS inverter when the predetermined internal signal is in the first state. On the other hand, when the internal signal is in the second state, the impedance of the output buffer circuit is increased by turning off the p-channel MOS transistor and the n-channel MOS transistor constituting the second CMOS inverter. It is characterized by the following.

【0022】第4の態様にかかるパケット方式のDRA
Mにおいては、基本的には、第3の態様にかかるDRA
Mの場合と同様の作用が生じる。さらに、第1及び第2
のCMOSインバータが直列に接続された普通の出力バ
ッファ回路において、両CMOSインバータ間に、例え
ばpチャンネルMOSトランジスタ及びnチャンネルM
OSトランジスタを組み合わせてなる簡素な信号出力部
インピーダンス切り替え手段を介設するだけで、出力バ
ッファ回路のインピーダンスを切り替えることができ
る。
The packet type DRA according to the fourth aspect
In M, the DRA according to the third aspect is basically
The same operation as in the case of M occurs. In addition, the first and second
In an ordinary output buffer circuit in which CMOS inverters are connected in series, a p-channel MOS transistor and an n-channel M
The impedance of the output buffer circuit can be switched simply by interposing a simple signal output unit impedance switching means formed by combining OS transistors.

【0023】本発明の第5の態様にかかるパケット方式
のDRAM(例えば、ラムバスDRAM、シンクリンク
DRAM等)は、パケット形式の命令により高い動作周
波数(例えば、数百MHz)で動作するようになってい
るパケット方式のDRAMであって、所定の内部信号に
基づいて、信号出力部のインピーダンスを通常時よりも
高くすることができる信号出力部インピーダンス切り替
え手段が設けられていることを特徴とするものである。
The packet type DRAM (for example, Rambus DRAM, Sync Link DRAM, etc.) according to the fifth aspect of the present invention operates at a high operating frequency (for example, several hundred MHz) by a packet format instruction. Characterized by being provided with a signal output section impedance switching means capable of increasing the impedance of a signal output section based on a predetermined internal signal, based on a predetermined internal signal. It is.

【0024】第5の態様にかかるパケット方式のDRA
Mにおいては、内部信号に基づいて、信号出力部のイン
ピーダンスを任意に高くすることができるので、例えば
バーンインテスト時において、テスティングバーンイン
装置に複数のDRAMを装着して1つの出力データ判定
器で順次複数のDRAMの出力データの判定を行う場合
は、判定対象DRAMの信号出力部を通常のインピーダ
ンスとする一方、その他のDRAMの信号出力部を高イ
ンピーダンスとすることにより、各DRAM間に相互電
流が流れるのを防止することができ、DRAMが破損す
るのを防止することができる。また、1つの出力データ
判定器を共有している複数のDRAM中に正常でないも
のがあっても、その他のDRAMチップに誤判定が生じ
ない。
The packet type DRA according to the fifth aspect
In M, since the impedance of the signal output section can be arbitrarily increased based on the internal signal, for example, at the time of a burn-in test, a plurality of DRAMs are mounted on a testing burn-in device and a single output data decision unit is used. When sequentially judging the output data of a plurality of DRAMs, the signal output section of the DRAM to be judged has a normal impedance while the signal output sections of the other DRAMs have a high impedance, so that the mutual current between the DRAMs can be increased. Can be prevented from flowing, and the DRAM can be prevented from being damaged. Even if a plurality of DRAMs sharing one output data determiner are not normal, no erroneous determination occurs in the other DRAM chips.

【0025】本発明の第6の態様にかかるパケット方式
のDRAMは、本発明の第5の態様にかかるパケット方
式のDRAMにおいて、信号出力部が、内部出力信号が
入力される第1のCMOSインバータと、該第1のCM
OSインバータの出力信号が入力される一方内部出力信
号に対応する外部出力信号を外部に出力する第2のCM
OSインバータとを備えている出力バッファ回路であっ
て、信号出力部インピーダンス切り替え手段が、上記所
定の内部信号が第1の状態であるときには、第1のCM
OSインバータの出力端子と第2のCMOSインバータ
の入力端子とを電気的に導通させる一方、該内部信号が
第2の状態であるときには、第2のCMOSインバータ
を構成するpチャンネルMOSトランジスタ及びnチャ
ンネルMOSトランジスタをオフさせることにより該出
力バッファ回路のインピーダンスを高めるようになって
いることを特徴とするものである。
A packet type DRAM according to a sixth aspect of the present invention is the packet type DRAM according to the fifth aspect of the present invention, wherein the signal output section has a first CMOS inverter to which an internal output signal is input. And the first CM
A second CM to which an output signal of the OS inverter is input and an external output signal corresponding to the internal output signal is output to the outside
An output buffer circuit including an OS inverter, wherein the signal output unit impedance switching means outputs the first CM when the predetermined internal signal is in the first state.
While the output terminal of the OS inverter is electrically connected to the input terminal of the second CMOS inverter, when the internal signal is in the second state, the p-channel MOS transistor and the n-channel MOS transistor forming the second CMOS inverter The feature is that the impedance of the output buffer circuit is increased by turning off the MOS transistor.

【0026】第6の態様にかかるパケット方式のDRA
Mにおいては、基本的には、第5の態様にかかるDRA
Mの場合と同様の作用が生じる。さらに、第1及び第2
のCMOSインバータが直列に接続された普通の出力バ
ッファ回路において、両CMOSインバータ間に、例え
ばpチャンネルMOSトランジスタ及びnチャンネルM
OSトランジスタを組み合わせてなる簡素な信号出力部
インピーダンス切り替え手段を介設するだけで、出力バ
ッファ回路のインピーダンスを切り替えることができ
る。
The packet type DRA according to the sixth aspect
In M, the DRA according to the fifth aspect is basically
The same operation as in the case of M occurs. In addition, the first and second
In an ordinary output buffer circuit in which CMOS inverters are connected in series, a p-channel MOS transistor and an n-channel M
The impedance of the output buffer circuit can be switched simply by interposing a simple signal output unit impedance switching means formed by combining OS transistors.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。図1は、高速(例えば、数百MHz)で動作す
る、本発明にかかるパケット方式のDRAM(例えば、
ラムバスDRAM、シンクリンクDRAM)のリフレッ
シュ動作に関連する部分のブロック図である。図1に示
すように、DRAM1には、ロジック回路2と、OR回
路3と、リングオシレータ回路4と、アドレスカウンタ
回路5と、RASロジック回路6(内部RAS信号制御
回路)と、メモリアレイ7と、タイミング検知回路8
(内部信号タイミング検知回路)とが設けられている。
Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 shows a packet-type DRAM (eg, a DRAM) operating at a high speed (eg, several hundred MHz) according to the present invention.
FIG. 2 is a block diagram of a portion related to a refresh operation of a RAM bus DRAM and a sync link DRAM. As shown in FIG. 1, a DRAM 1 includes a logic circuit 2, an OR circuit 3, a ring oscillator circuit 4, an address counter circuit 5, an RAS logic circuit 6 (an internal RAS signal control circuit), a memory array 7, , Timing detection circuit 8
(Internal signal timing detection circuit).

【0028】ここで、ロジック回路2は、セルフリフレ
ッシュ要求信号RFSH−EN(図2参照)を含む種々
の信号ないしは命令をパケット形式でOR回路3に出力
するようになっている。そして、このDRAM1におい
て、通常の動作時には、ロジック回路2から出力される
セルフリフレッシュ要求信号RFSH−ENに基づい
て、メモリアレイ7内の各メモリセル(図示せず)がリ
フレッシュされるようになっている。なお、後で詳しく
説明するように、低速ないしは低周波数のテスティング
バーンイン装置を用いてバーンインテストを行う際に
は、タイミング検知回路8から出力されるセルフリフレ
ッシュ要求信号zCBR(図5参照)に基づいて、メモ
リアレイ7内の各メモリセルがリフレッシュされる。
Here, the logic circuit 2 outputs various signals or instructions including the self-refresh request signal RFSH-EN (see FIG. 2) to the OR circuit 3 in a packet format. In the DRAM 1, during normal operation, each memory cell (not shown) in the memory array 7 is refreshed based on the self-refresh request signal RFSH-EN output from the logic circuit 2. I have. As will be described in detail later, when performing a burn-in test using a low-speed or low-frequency testing burn-in device, a self-refresh request signal zCBR (see FIG. 5) output from the timing detection circuit 8 is used. Thus, each memory cell in the memory array 7 is refreshed.

【0029】通常のリフレッシュ時においては、ロジッ
ク回路2から出力されたセルフリフレッシュ要求信号R
FSH−ENは、OR回路3を介して、リングオシレー
タ4及びRASロジック回路6に入力される。他方、バ
ーンインテスト時には、タイミング検知回路8から出力
されたセルフリフレッシュ要求信号zCBRがOR回路
3を介して、リングオシレータ4及びRASロジック回
路6に入力される。そして、リングオシレータ回路4
は、セルフリフレッシュ要求信号RFSH−EN又はz
CBRが入力されたときには、所定のパルス信号φ(ク
ロック信号)をアドレスカウンタ回路5及びRASロジ
ック回路6に出力する。
At the time of normal refresh, self-refresh request signal R output from logic circuit 2
The FSH-EN is input to the ring oscillator 4 and the RAS logic circuit 6 via the OR circuit 3. On the other hand, at the time of the burn-in test, the self-refresh request signal zCBR output from the timing detection circuit 8 is input to the ring oscillator 4 and the RAS logic circuit 6 via the OR circuit 3. And the ring oscillator circuit 4
Is the self-refresh request signal RFSH-EN or z
When the CBR is input, a predetermined pulse signal φ (clock signal) is output to the address counter circuit 5 and the RAS logic circuit 6.

【0030】図2に示すように、リングオシレータ回路
4は、実質的に、pチャンネルMOSトランジスタP1
〜P17と、nチャンネルMOSトランジスタN1〜N
17と、インバータI1〜I7と、NANDゲートNA
1とで構成される発振回路である。そして、このリング
オシレータ回路4では常時所定のパルス信号φが生成さ
れ、このパルス信号φはNANDゲートNA1の一方の
入力端子に入力される。かくして、インバータI12に
セルフリフレッシュ要求信号RFSH−ENが入力され
たときには、該信号がインバータI3を介してNAND
ゲートNA1のもう一方の入力端子に入力される。この
とき、NANDゲートNA1及びインバータI7の作用
により、パルス信号φがアドレスカウンタ回路5及びR
ASロジック回路6に出力される。
As shown in FIG. 2, the ring oscillator circuit 4 is substantially a p-channel MOS transistor P1
To P17 and n-channel MOS transistors N1 to N
17, inverters I1 to I7, and NAND gate NA
1 is an oscillation circuit. The ring oscillator circuit 4 always generates a predetermined pulse signal φ, and the pulse signal φ is input to one input terminal of the NAND gate NA1. Thus, when the self-refresh request signal RFSH-EN is input to the inverter I12, the signal is output to the NAND through the inverter I3.
The signal is input to the other input terminal of the gate NA1. At this time, the pulse signal φ is changed to the address counter circuit 5 and R by the operation of the NAND gate NA1 and the inverter I7.
The signal is output to the AS logic circuit 6.

【0031】図3に示すように、アドレスカウンタ回路
5は、実質的に、インバータI11〜I21と、AND
回路を利用したNORゲートIA1と、NANDゲート
NA8と、AND・NOR複合ゲートAO1とで構成さ
れるカウンタ回路である。このアドレスカウンタ回路5
は、リングオシレータ回路4から入力されるパルス信号
φないしzφに基づいて出力ノードをカウントアップす
る。すなわち、リフレッシュすべきメモリセルのアドレ
スを指定する。また、このアドレスカウンタ回路5のイ
ンバータI20〜I21には、リセット信号RESET
とカウントイネーブル信号zCNTEとが入力される。
なお、カウントイネーブル信号zCNTEは、Lのとき
カウントを許可し(カウントイネーブル)、Hのときに
カウントを禁止する(スキップさせる)信号である。
As shown in FIG. 3, the address counter circuit 5 substantially comprises inverters I11 to I21 and AND
This is a counter circuit including a NOR gate IA1, a NAND gate NA8, and an AND / NOR composite gate AO1 using a circuit. This address counter circuit 5
Counts up the output nodes based on the pulse signals φ to zφ input from the ring oscillator circuit 4. That is, the address of the memory cell to be refreshed is specified. The reset signals RESET are supplied to the inverters I20 to I21 of the address counter circuit 5.
And count enable signal zCNTE are input.
The count enable signal zCNTE is a signal that permits counting (count enable) when the signal is low and inhibits (skips) counting when the signal is high.

【0032】図4に示すように、RASロジック回路6
は、インバータI31〜I42と、NANDゲートNA
2〜NA5と、OR回路を利用したNANDゲートIO
1〜IO4と、AND回路を利用したNORゲートIA
2とで構成される制御回路である。このRASロジック
回路6は、ロジック回路2(又はタイミング回路8)か
らOR回路3を介して受け入れたセルフリフレッシュ要
求信号RFSH−EN(又はzCBR)と、リングオシ
レータ回路4から受け入れたパルス信号φとに基づい
て、メモリアレイ7にリフレッシュ実行信号RFSHを
出力する。かくして、アドレスカウンタ回路5によって
指定されたメモリアレイ7中のメモリセルがリフレッシ
ュされる。なお、このRASロジック回路6は、リセッ
ト用の信号SCPD又はzPORが入力されたときには
リセットされる。
As shown in FIG. 4, the RAS logic circuit 6
Are inverters I31 to I42 and a NAND gate NA
2 to NA5 and NAND gate IO using OR circuit
1 to IO4 and NOR gate IA using AND circuit
2 is a control circuit. The RAS logic circuit 6 converts a self-refresh request signal RFSH-EN (or zCBR) received from the logic circuit 2 (or the timing circuit 8) via the OR circuit 3 and a pulse signal φ received from the ring oscillator circuit 4. Based on this, a refresh execution signal RFSH is output to the memory array 7. Thus, the memory cells in the memory array 7 specified by the address counter circuit 5 are refreshed. The RAS logic circuit 6 is reset when a reset signal SCPD or zPOR is input.

【0033】図5(a)に示すように、タイミング検知
回路8は、実質的に、インバータI51〜I52と、N
ANDゲートNA6〜NA7とで構成される回路であ
る。このタイミング検知回路8のインバータI51には
RAS相当信号zRASFが入力され、インバータI5
2にはCAS相当信号zCASFMが入力される。ここ
で、RAS相当信号zRASFは、zRAS信号に相当
する内部クロック信号であり、CAS相当信号zCAS
FMはzCAS信号に相当する内部クロック信号であ
る。
As shown in FIG. 5A, the timing detection circuit 8 substantially includes inverters I51 to I52 and N
This is a circuit composed of AND gates NA6 and NA7. The RAS equivalent signal zRASF is input to the inverter I51 of the timing detection circuit 8, and the inverter I5
2, the CAS equivalent signal zCASFM is input. Here, the RAS equivalent signal zRASF is an internal clock signal corresponding to the zRAS signal, and the CAS equivalent signal zCAS.
FM is an internal clock signal corresponding to the zCAS signal.

【0034】そして、図5(b)に示すように、両入力
信号zRASF及びzCASFMがいずれもH(High)
であり、NANDゲートNA7の出力端子から出力され
ているセルフリフレッシュ要求信号zCBRがHである
状態(以下、「第1の入力状態」という)から、まずR
AS相当信号zRASFがL(Low)となって活性化さ
れ(以下、「第2の入力状態」という。)、この後CA
S相当信号zCASFMがLとなったとする(以下、
「第3の入力状態」という。)。この場合、NANDゲ
ートNA7の出力端子から出力されているセルフリフレ
ッシュ要求信号zCBRは、Hを維持する。
As shown in FIG. 5B, both input signals zRASF and zCASFM are H (High).
In the state where the self-refresh request signal zCBR output from the output terminal of the NAND gate NA7 is H (hereinafter, referred to as a "first input state"),
The AS equivalent signal zRASF becomes L (Low) and is activated (hereinafter, referred to as “second input state”), and thereafter CA
It is assumed that the S equivalent signal zCASFM has become L (hereinafter, referred to as “L”).
This is referred to as a “third input state”. ). In this case, the self-refresh request signal zCBR output from the output terminal of the NAND gate NA7 maintains H.

【0035】すなわち、第1の入力状態ではNANDゲ
ートNA7の両入力端子には、zRASF側からHが入
力され、zCASFM側からLが入力されている。そし
て、第2の入力状態となったときには、zRASF側か
らNANDゲートNA7の入力端子に入力される信号は
HからLに変化するが、この場合NANDゲートNAの
出力は何ら変化せず、Hを維持する。この後、第3の入
力状態となったときには、zCASFM側からNAND
ゲートNA7の入力端子に入力される信号はLからHに
変化するが、この場合もNANDゲートNAの出力は何
ら変化せず、Hを維持する。
That is, in the first input state, H is input from both the zRASF side and L is input from the zCASFM side to both input terminals of the NAND gate NA7. When the second input state is established, the signal input from the zRASF side to the input terminal of the NAND gate NA7 changes from H to L. In this case, the output of the NAND gate NA does not change at all, and H is changed to H. maintain. Thereafter, when the state becomes the third input state, the NAND from the zCASFM side is set.
The signal input to the input terminal of the gate NA7 changes from L to H, but also in this case, the output of the NAND gate NA does not change at all and maintains H.

【0036】他方、図5(c)に示すように、第1の入
力状態から、まずCAS相当信号zCASFMがLとな
ったとする(以下、「第4の入力状態」という)。この
場合、NANDゲートNA7の出力端子から出力されて
いるセルフリフレッシュ信号zCBRはHからLに変化
する。なお、この後RAS相当信号zRASFがLとな
っても(第3の状態)、NANDゲートNA7の出力端
子から出力されるセルフリフレッシュ信号zCBRは、
Lを維持する。
On the other hand, as shown in FIG. 5C, it is assumed that the CAS equivalent signal zCASFM first becomes L from the first input state (hereinafter, referred to as a "fourth input state"). In this case, the self-refresh signal zCBR output from the output terminal of the NAND gate NA7 changes from H to L. After that, even if the RAS equivalent signal zRASF becomes L (third state), the self-refresh signal zCBR output from the output terminal of the NAND gate NA7 is
Maintain L.

【0037】すなわち、第1の入力状態ではNANDゲ
ートNA7の両入力端子には、zRASF側からHが入
力され、zCASFM側からLが入力されている。そし
て、第4の入力状態となったときには、zCASFM側
からNANDゲートNA7の入力端子に入力される信号
はLからHに変化するが、この場合NANDゲートNA
7の両入力端子にはいずれもHが入力されるので、該N
ANDゲートNA7の出力はHからLに変化する。この
後、第3の入力状態となった場合、zRASF側からN
ANDゲートNA7の入力端子に入力される信号はHを
維持するので、NANDゲートNA7の出力は何ら変化
せず、Lを維持する。
That is, in the first input state, H is input to both input terminals of the NAND gate NA7 from the zRASF side, and L is input to the zCASFM side. In the fourth input state, the signal input from the zCASFM side to the input terminal of the NAND gate NA7 changes from L to H.
Since H is input to both input terminals of N7, the N
The output of the AND gate NA7 changes from H to L. Thereafter, when the third input state is set, NRAS from the zRASF side
Since the signal input to the input terminal of the AND gate NA7 maintains H, the output of the NAND gate NA7 does not change at all and maintains L.

【0038】かくして、このDRAM1では、ロジック
回路2からパケット形式で出力されるセルフリフレッシ
ュ要求信号RFSH−ENとは独立して、タイミング検
知回路8から出力されるセルフリフレッシュ要求信号z
CBRによってリフレッシュが行われる。
Thus, in DRAM 1, self-refresh request signal z output from timing detection circuit 8 is independent of self-refresh request signal RFSH-EN output from logic circuit 2 in packet form.
Refresh is performed by CBR.

【0039】つまり、このDRAM1では、本来はパケ
ット形式の動作モード指定でしかセルフリフレッシュ動
作を行わなかったパケット方式のDRAMにおいて、低
速ないしは低周波数(例えば、数十MHz)のクロック
入力でもメモリセルアレイを選択することができるバー
インモード(DAモード)に加えて、内部のアドレスカ
ウンタを定期的にカウントアップし、そのカウンタ出力
に対応するアドレスのメモリセルをリフレッシュするよ
うにしている。
That is, in the DRAM 1 of the packet system in which the self-refresh operation was originally performed only by designating the operation mode of the packet format, the memory cell array can be operated even at a low or low frequency (for example, several tens of MHz) clock input. In addition to the selectable burn-in mode (DA mode), the internal address counter is periodically counted up, and the memory cell at the address corresponding to the counter output is refreshed.

【0040】すなわち、従来のパケット式のDRAMで
は、ロジック回路2からのセルフリフレッシュ要求信号
RFSH−ENだけで、内蔵のリングオシレータ回路4
(タイマ)と、アドレスカウンタ回路5と、RASロジ
ック回路6とで、メモリアレイ7中の各メモリセルをリ
フレッシュする。このとき、ロジック回路2からセルフ
リフレッシュ要求信号RFSH−ENを出力するには、
数百MHzのクロックによるパケット命令をDRAM1
に入力することが必要である。
That is, in the conventional packet-type DRAM, only the self-refresh request signal RFSH-EN from the logic circuit 2 is used, and the built-in ring oscillator circuit 4 is used.
(Timer), the address counter circuit 5, and the RAS logic circuit 6 refresh each memory cell in the memory array 7. At this time, to output the self-refresh request signal RFSH-EN from the logic circuit 2,
Packet instruction with clock of several hundred MHz
Must be entered.

【0041】他方、テスティングバーンイン装置ないし
はバーンイン装置は、通常、数十時間程度の連続動作に
より、主として製造欠陥に起因する初期故障を加速する
といった性質上、電気的に高精度なクロックを発生させ
る必要はない。このため、一度に大量のDRAM(デバ
イス)をテストすることができるように設計・製造され
ている。したがって、普通のテスティングバーンイン装
置のクロック精度は、通常、数十MHz程度であり、高
速かつ複雑なパケット命令を発生させることは到底でき
ない。したがって、従来のテスティングバーンイン装置
ないしはバーンイン装置では、事実上、パケット命令に
よりDRAM内蔵のセルフリフレッシュ機能を使用する
ことができない。このため、判定時間が製品のデータ保
持時間を超えるようなテストパターンを使用した場合
は、正しい判定が不可能である。
On the other hand, a testing burn-in apparatus or a burn-in apparatus normally generates an electrically accurate clock by the continuous operation of about several tens of hours due to the property of accelerating an initial failure mainly due to a manufacturing defect. No need. Therefore, it is designed and manufactured so that a large number of DRAMs (devices) can be tested at one time. Therefore, the clock accuracy of a normal testing burn-in device is usually about several tens of MHz, and it is almost impossible to generate a high-speed and complicated packet command. Therefore, in the conventional testing burn-in apparatus or burn-in apparatus, the self-refresh function built into the DRAM cannot be used by the packet command. Therefore, if a test pattern whose determination time exceeds the data holding time of the product is used, correct determination is impossible.

【0042】そこで、本発明にかかるDRAM1では、
このような問題を解消するため、例えばEDO−DRA
M等が備えているCBR(CAS before RAS)リ
フレッシュのように、予め定義された特定の信号間での
入力順序や時間差に基づいて、内蔵のセルフリフレッシ
ュ機能を働かせるようにしている。かくして、本実施形
態では、EDO−DRAMのCBRリフレッシュになら
い、RAS相当信号zRASF及びCAS相当信号zC
ASFMを用いて、CAS相当信号zCASFMがRA
S相当信号zRASFに先立って活性化されたタイミン
グで、セルフリフレッシュを行うようにしている。
Therefore, in the DRAM 1 according to the present invention,
In order to solve such a problem, for example, EDO-DRA
Like the CBR (CAS before RAS) refresh provided in M and the like, a built-in self-refresh function is activated based on an input sequence and a time difference between predetermined specific signals. Thus, in the present embodiment, following the CBR refresh of the EDO-DRAM, the RAS equivalent signal zRASF and the CAS equivalent signal zC
Using ASFM, the CAS equivalent signal zCASFM is RA
Self-refresh is performed at a timing activated prior to the S equivalent signal zRASF.

【0043】すなわち、該DRAM1のバーンインテス
トにおいては、読み出し動作及び出力データ判定が終了
したときに、上記のタイミング設定をすれば、セルフリ
フレッシュ機能が働き、判定期間が該DRAM1のデー
タ保持時間を超えるようなテスティングバーンイン装置
を用いた場合でも、記憶データの消失ないしは破壊が生
じない。したがって、該DRAM1のテスト時における
出力判定時間がそのデータ保持時間を超えるテスティン
グバーンイン装置を用いた場合でも、記憶データを消失
させずに保持することができ、正しくパス(Pass)/フ
ェイル(Fail)の判定を行うことができる。よって、
従来のテスティングバーンイン装置を、改造することな
くそのまま使用することができる。
That is, in the burn-in test of the DRAM 1, when the read operation and the output data determination are completed, if the above timing is set, the self-refresh function operates, and the determination period exceeds the data holding time of the DRAM 1. Even when such a testing burn-in device is used, stored data is not lost or destroyed. Therefore, even when using a testing burn-in device in which the output determination time during the test of the DRAM 1 exceeds the data holding time, the stored data can be held without being lost, and the pass / fail can be correctly obtained. ) Can be determined. Therefore,
A conventional testing burn-in device can be used without modification.

【0044】さらに、このDRAM1には、テスティン
グバーンイン装置に複数のDRAM1を装着して、1つ
のコンパレータ(出力データ判定比較器)で複数のDR
AM1について順次出力データの判定を行う場合に、各
DRAM間に相互電流が流れるのを防止できるよう、所
定の内部信号に基づいて、信号出力部のインピーダンス
を任意に高くすることができるインピーダンスコントロ
ール回路が設けられている。以下、このインピーダンス
コントロール回路の具体的な構成及び機能を説明する。
Further, a plurality of DRAMs 1 are mounted on this DRAM 1 in a testing burn-in device, and a plurality of DRs are output by one comparator (output data judgment comparator).
An impedance control circuit that can arbitrarily increase the impedance of a signal output unit based on a predetermined internal signal so as to prevent a mutual current from flowing between DRAMs when sequentially determining output data for AM1. Is provided. Hereinafter, a specific configuration and function of the impedance control circuit will be described.

【0045】図6は、本発明にかかるインピーダンスコ
ントロール回路を備えた、DRAM1の出力バッファ回
路の回路図である。図6に示すように、出力バッファ回
路には、pチャンネルMOSトランジスタP24及びn
チャンネルMOSトランジスタN24で構成される第1
CMOSインバータと、pチャンネルMOSトランジス
タP21及びnチャンネルMOSトランジスタN21で
構成される第2CMOSインバータとが設けられてい
る。ここで、第1CMOSインバータには、DRAM1
の内部出力信号(該DRAMから出力すべきロジカルな
出力信号)が、入力端子10を介して入力される。ま
た、第2CMOSインバータからは、内部出力信号に対
応する電気的な外部出力信号が、出力端子11を介して
外部へ出力される。
FIG. 6 is a circuit diagram of an output buffer circuit of the DRAM 1 provided with the impedance control circuit according to the present invention. As shown in FIG. 6, the output buffer circuit includes p-channel MOS transistors P24 and n
First composed of channel MOS transistor N24
A CMOS inverter and a second CMOS inverter including a p-channel MOS transistor P21 and an n-channel MOS transistor N21 are provided. Here, the first CMOS inverter includes the DRAM 1
(A logical output signal to be output from the DRAM) is input via an input terminal 10. Further, an electrical external output signal corresponding to the internal output signal is output from the second CMOS inverter via the output terminal 11 to the outside.

【0046】そして、第1MOSインバータと第2MO
Sインバータとの間には、pチャンネルMOSトランジ
スタP22〜P23と、nチャンネルMOSトランジス
タN22〜N23と、ENABLE信号を受け入れる第
1内部端子12と、zENABLE信号を受け入れる第
2内部端子13とを備えたインピーダンスコントロール
回路が設けられている。このインピーダンスコントロー
ル回路は、第1内部端子12に印加されるENABLE
信号がHであり、したがって第2内部端子13に印加さ
れるzENABLE信号がLであるときには、第1CM
OSインバータの出力端子と第2CMOSインバータの
入力端子とを電気的に接続させる。
Then, the first MOS inverter and the second MO
P-channel MOS transistors P22 to P23, n-channel MOS transistors N22 to N23, a first internal terminal 12 for receiving an ENABLE signal, and a second internal terminal 13 for receiving a zENABLE signal are provided between the S inverter. An impedance control circuit is provided. This impedance control circuit is configured to enable ENABLE applied to the first internal terminal 12.
When the signal is H, and therefore the zENABLE signal applied to the second internal terminal 13 is L, the first CM
The output terminal of the OS inverter is electrically connected to the input terminal of the second CMOS inverter.

【0047】すなわち、この場合は、pチャンネルMO
SトランジスタP22及びnチャンネルMOSトランジ
スタN22がオン状態となる一方、pチャンネルMOS
トランジスタP23及びnチャンネルMOSトランジス
タN23がオフ状態となるので、インピーダンスコント
ロール回路は単なる導線と同等となり、インピーダンス
コントロール回路が設けられていない場合と同様の状態
となるからである。
That is, in this case, the p-channel MO
While the S transistor P22 and the n-channel MOS transistor N22 are turned on, the p-channel MOS
This is because the transistor P23 and the n-channel MOS transistor N23 are turned off, so that the impedance control circuit is equivalent to a simple conductor, and is in the same state as when no impedance control circuit is provided.

【0048】他方、インピーダンスコントロール回路
は、第1内部端子12に入力されるENABLE信号が
Lであり、したがって第2内部端子13に入力されるz
ENABLE信号がHであるときには、第2CMOSイ
ンバータを構成するpチャンネルMOSトランジスタP
21及びnチャンネルMOSトランジスタN21をオフ
させることにより該出力バッファ回路のインピーダンス
を高めるようになっている。
On the other hand, in the impedance control circuit, when the ENABLE signal input to the first internal terminal 12 is L,
When the ENABLE signal is H, the p-channel MOS transistor P constituting the second CMOS inverter
By turning off the N-channel MOS transistor 21 and the n-channel MOS transistor N21, the impedance of the output buffer circuit is increased.

【0049】すなわち、この場合は、pチャンネルMO
SトランジスタP22及びnチャンネルMOSトランジ
スタN22がオフ状態となる一方、pチャンネルMOS
トランジスタP23及びnチャンネルMOSトランジス
タN23がオン状態となる。このため、pチャンネルM
OSトランジスタP21は、そのゲートがpチャンネル
MOSトランジスタP23を介して電源に接続されるの
で、オフ状態となる。他方、nチャンネルMOSトラン
ジスタN21は、そのゲートがnチャンネルMOSトラ
ンジスタN23を介してアース部に接続されるので、オ
フ状態となる。かくして、該出力バッファ回路が高イン
ピーダンス状態となる。
That is, in this case, the p-channel MO
While the S transistor P22 and the n-channel MOS transistor N22 are turned off, the p-channel MOS
The transistor P23 and the n-channel MOS transistor N23 are turned on. Therefore, p channel M
The OS transistor P21 is turned off because its gate is connected to the power supply via the p-channel MOS transistor P23. On the other hand, the n-channel MOS transistor N21 is turned off because its gate is connected to the ground via the n-channel MOS transistor N23. Thus, the output buffer circuit enters a high impedance state.

【0050】つまり、出力バッファ回路は、インピーダ
ンスコントロール回路の両内部端子12、13に印加す
るENABLE、zENABLE信号のH、Lを切り替
えることにより、そのインピーダンスを自在に高低2段
に切り替えることができる。
In other words, the output buffer circuit can freely switch its impedance between high and low by switching H and L of ENABLE and zENABLE signals applied to both internal terminals 12 and 13 of the impedance control circuit.

【0051】以下、普通のテスティングバーンイン装置
を用いたDRAM1のバーインテストにおけるテスト手
法を説明する。図7に示すように、該DRAM1のバー
ンインテストを行う際には、テスティングバーンイン装
置14のボード上に、多数のDRAM1が、X方向及び
Y方向に2次元配列で配置される。そして、このテステ
ィングバーンイン装置14では、Y方向に1列に配列さ
れた複数のDRAM1の出力端子が導線15を介して1
つのコンパレータ16(出力判定比較器)に接続され
る。つまり、このテスティングバーンイン装置14で
は、バーンインテストのコストを低減するため、各列の
複数のDRAM1で1つのコンパレータ16を共有して
いる。
Hereinafter, a test method in a burn-in test of the DRAM 1 using an ordinary testing burn-in device will be described. As shown in FIG. 7, when performing the burn-in test of the DRAM 1, a large number of DRAMs 1 are arranged in a two-dimensional array in the X direction and the Y direction on the board of the testing burn-in device 14. In the testing burn-in device 14, the output terminals of the plurality of DRAMs 1 arranged in one row in the Y direction
Connected to one comparator 16 (output determination comparator). That is, in the testing burn-in device 14, one comparator 16 is shared by a plurality of DRAMs 1 in each column in order to reduce the cost of the burn-in test.

【0052】かくして、このテスティングバーンイン装
置14では、各配列毎にDRAM1のバーンインテスト
が行われるが、この場合、まず該配列に属する複数のD
RAM1に対してライトディスターブ(Write Distur
b)処理が行われ、この後スキャン選択方式で、各DR
AM1について順次データの読み出し及びデータ判定が
行われる。
Thus, in the testing burn-in device 14, a burn-in test of the DRAM 1 is performed for each array. In this case, first, a plurality of DRAMs belonging to the array are tested.
Write Distur to RAM1
b) The processing is performed, and thereafter, each DR
Data reading and data determination are sequentially performed for AM1.

【0053】このようにバーインテストを行う場合、従
来のDRAMでは、前記のとおり、判定対象DRAM以
外のDRAMは、判定対象DRAMとは逆データにし
て、例えば判定対象DRAMのH出力を判定する場合
は、その他のDRAMをL出力にしてテストを行ってい
る。しかしながら、この場合、各DRAM間に相互電流
が流れるので、場合によってはDRAMが破損したり、
該配列内に1つでも異常なDRAMがあると、該配列内
の全てのDRAMに誤判定が生じることになる。
When the burn-in test is performed as described above, in the conventional DRAM, as described above, the data other than the DRAM to be determined is set to the data opposite to that of the DRAM to be determined, and for example, the H output of the DRAM to be determined is determined. Are testing with other DRAMs set to L output. However, in this case, a mutual current flows between the DRAMs, and in some cases, the DRAMs may be damaged,
If there is at least one abnormal DRAM in the array, erroneous determination will occur in all DRAMs in the array.

【0054】そこで、本発明にかかるDRAM1では、
各配列毎にバーンインテストを行う際に、判定対象DR
AM1以外のDRAM1については、第1内部端子12
に印加するENABLE信号をLにする一方、第2内部
端子13に印加するzENABLE信号をHにすること
により、出力バッファ回路を高インピーダンスにして、
各DRAM1間に相互電流が流れるのを防止するように
している(OUT=Hi−Z)。なお、判定対象DRA
M1については、第1内部端子12に印加するENAB
LE信号をHにする一方、第2内部端子13に印加する
zENABLE信号をLにすることにより、該判定対象
DRAM1の出力信号を導線15に出力させる(IN→
OUT)。
Therefore, in the DRAM 1 according to the present invention,
When performing a burn-in test for each array,
For the DRAM 1 other than the AM1, the first internal terminal 12
By setting the ENABLE signal to be applied to L to L and the zENABLE signal to be applied to the second internal terminal 13 to H, the output buffer circuit is made high impedance,
A mutual current is prevented from flowing between the DRAMs 1 (OUT = Hi-Z). The DRA to be determined
For M1, ENAB applied to the first internal terminal 12
By setting the LE signal to H and the zENABLE signal applied to the second internal terminal 13 to L, the output signal of the DRAM 1 to be determined is output to the conductor 15 (IN →
OUT).

【0055】このように、本発明にかかるDRAM1で
は、バーンインテスト時において、、判定対象DRAM
1の出力バッファ回路を通常のインピーダンスとする一
方、その他のDRAM1の出力バッファ回路を高インピ
ーダンスにすることにより、各DRAM1間に相互電流
が流れるのを防止することができ、DRAM1が破損す
るのを防止することができる。また、1つのコンパレー
タ16を共有している複数のDRAM1中に正常でない
ものがあっても、その他のDRAM1に誤判定が生じる
ことはない。したがって、従来の普通のテスティングバ
ーンイン装置14を、何ら改造することなく使用するこ
とができ、バーンインテストのコストが低減される。
As described above, in the DRAM 1 according to the present invention, at the time of the burn-in test, the DRAM to be determined is
One output buffer circuit has a normal impedance, while the other output buffer circuits of the DRAM 1 have a high impedance, thereby preventing a mutual current from flowing between the DRAMs 1 and preventing the DRAM 1 from being damaged. Can be prevented. Also, even if a plurality of DRAMs 1 sharing one comparator 16 are not normal, no erroneous determination occurs in the other DRAMs 1. Therefore, the conventional ordinary testing burn-in device 14 can be used without any modification, and the cost of the burn-in test is reduced.

【0056】[0056]

【発明の効果】本発明の第1の態様にかかるパケット方
式のDRAMによれば、テストすべきDRAMの出力デ
ータの判定を行うのに長時間を要したとしても、この間
に適切なタイミングで各メモリセルのリフレッシュが行
われるので、出力データの判定期間中にメモリセルの記
憶データが消失することはない。このため、従来の低速
のテスティングバーンイン装置をそのまま用いることが
でき、該DRAMの製造コストを低減することができ
る。
According to the packet type DRAM according to the first aspect of the present invention, even if it takes a long time to determine the output data of the DRAM to be tested, each of the DRAMs must be properly timed during this time. Since the memory cells are refreshed, the data stored in the memory cells does not disappear during the output data determination period. Therefore, the conventional low-speed testing burn-in apparatus can be used as it is, and the manufacturing cost of the DRAM can be reduced.

【0057】本発明の第2の態様にかかるパケット方式
のDRAMによれば、基本的には、第1の態様にかかる
DRAMの場合と同様の効果が得られる。さらに、内部
信号であるzCAS信号に対応する信号とzRAS信号
に対応する信号とを利用してメモリセルのリフレッシュ
を行うようにしているので、セルフリフレッシュ手段の
構成が簡素なものとなり、該DRAMの製造コストが低
減される。
According to the packet type DRAM according to the second aspect of the present invention, basically, the same effects as in the case of the DRAM according to the first aspect can be obtained. Further, since the memory cell is refreshed by using the signal corresponding to the zCAS signal and the signal corresponding to the zRAS signal, which are internal signals, the configuration of the self-refresh means is simplified, and Manufacturing costs are reduced.

【0058】本発明の第3の態様にかかるパケット方式
のDRAMにおいては、基本的には、第1又は第2の態
様にかかるDRAMの場合と同様の効果が得られる。さ
らに、バーンインテスト時に各DRAM間に相互電流が
流れるのを防止することができ、かつ1つの出力データ
判定器を共有している複数のDRAMチップ中に正常で
ないものがあってもその他のDRAMチップに誤判定が
生じることはないので、バーンインテストの精度が高め
られ、ひいては該DRAMの製造コストが低減されると
ともに、その品質が高められる。
In the packet type DRAM according to the third aspect of the present invention, basically the same effects as in the case of the DRAM according to the first or second aspect can be obtained. Further, it is possible to prevent a mutual current from flowing between the DRAMs at the time of the burn-in test, and even if a plurality of DRAM chips sharing one output data decision unit are abnormal, the other DRAM chips As a result, the accuracy of the burn-in test is improved, and the manufacturing cost of the DRAM is reduced, and the quality of the DRAM is improved.

【0059】本発明の第4の態様にかかるパケット方式
のDRAMにおいては、基本的には、第3の態様にかか
るDRAMの場合と同様の効果が得られる。さらに、簡
素な信号出力部インピーダンス切り替え手段を介設する
だけで、出力バッファ回路のインピーダンスを切り替え
ることができるので、該DRAMの製造コストが低減さ
れる。
In the packet type DRAM according to the fourth aspect of the present invention, basically the same effects as in the case of the DRAM according to the third aspect can be obtained. Furthermore, since the impedance of the output buffer circuit can be switched only by providing a simple signal output unit impedance switching means, the manufacturing cost of the DRAM can be reduced.

【0060】本発明の第5の態様にかかるパケット方式
のDRAMによれば、バーインテスト時に各DRAM間
に相互電流が流れるのを防止することができ、かつ1つ
の出力データ判定器を共有している複数のDRAMチッ
プ中に正常でないものがあってもその他のDRAMチッ
プに誤判定が生じることはないので、バーンインテスト
の精度が高められ、ひいては該DRAMの製造コストが
低減されるとともに、その品質が高められる。
According to the packet type DRAM according to the fifth aspect of the present invention, it is possible to prevent a mutual current from flowing between the DRAMs during the burn-in test and to share one output data decision unit. Even if some of the plurality of DRAM chips are not normal, no erroneous judgment will occur in the other DRAM chips, so that the accuracy of the burn-in test is improved and the manufacturing cost of the DRAM is reduced, and the quality of the DRAM is reduced. Is enhanced.

【0061】本発明の第6の態様にかかるパケット方式
のDRAMにおいては、基本的には、第5の態様にかか
るDRAMの場合と同様の効果が得られる。さらに、簡
素な信号出力部インピーダンス切り替え手段を介設する
だけで、出力バッファ回路のインピーダンスを切り替え
ることができるので、該DRAMの製造コストが低減さ
れる。
In the packet type DRAM according to the sixth aspect of the present invention, basically the same effects as in the case of the DRAM according to the fifth aspect are obtained. Furthermore, since the impedance of the output buffer circuit can be switched only by providing a simple signal output unit impedance switching means, the manufacturing cost of the DRAM can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明にかかるパケット方式のDRAMのセ
ルフリフレッシュ動作に関連する部分のブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram of a portion related to a self-refresh operation of a packet type DRAM according to the present invention.

【図2】 図1に示すDRAMを構成するリングオシレ
ータ回路の回路図である。
FIG. 2 is a circuit diagram of a ring oscillator circuit included in the DRAM shown in FIG.

【図3】 図1に示すDRAMを構成するアドレスカウ
ンタ回路の回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram of an address counter circuit constituting the DRAM shown in FIG. 1;

【図4】 図1に示すDRAMを構成するRASロジッ
ク回路の回路図である。
4 is a circuit diagram of a RAS logic circuit constituting the DRAM shown in FIG.

【図5】 (a)は、図1に示すDRAMを構成するタ
イミング検知回路の回路図であり、(b)及び(c)
は、それぞれ(a)に示すタイミング検知回路の動作を
示すタイムチャートである。
5A is a circuit diagram of a timing detection circuit included in the DRAM shown in FIG. 1, and FIGS.
3 is a time chart showing the operation of the timing detection circuit shown in FIG.

【図6】 図1に示すDRAMの、インピーダンスコン
トロール回路を備えた出力バッファ回路の回路図であ
る。
6 is a circuit diagram of an output buffer circuit including an impedance control circuit of the DRAM shown in FIG.

【図7】 複数のDRAMでコンパレータを共有するよ
うにしたテスティングバーンイン装置の模式図である。
FIG. 7 is a schematic diagram of a testing burn-in device in which a plurality of DRAMs share a comparator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 DRAM、 2 ロジック回路、 3 OR回路、
4 リングオシレータ回路、 5 アドレスカウンタ
回路、 6 RASロジック回路、 7 メモリアレ
イ、 8 タイミング検知回路、 10 入力端子、
11 出力端子、12 第1内部端子、 13 第2内
部端子、 14 テスティングバーンイン装置、 15
導線、 16 コンパレータ、 AO1 AND・N
OR複合ゲート、 I1〜I7 インバータ、 I11
〜I21 インバータ、 I31〜I42 インバー
タ、 I51〜I52 インバータ、 IA1〜IA2
NORゲート、 IO1〜IO4 NANDゲート、
N1〜N17 nチャンネルMOSトランジスタ、
N21〜N24 nチャンネルMOSトランジスタ、N
A1〜NA8 NANDゲート、P1〜P17 pチャ
ンネルMOSトランジスタ、 P21〜P24 pチャ
ンネルMOSトランジスタ。
1 DRAM, 2 logic circuit, 3 OR circuit,
4 ring oscillator circuit, 5 address counter circuit, 6 RAS logic circuit, 7 memory array, 8 timing detection circuit, 10 input terminal,
Reference Signs List 11 output terminal, 12 first internal terminal, 13 second internal terminal, 14 testing burn-in device, 15
Conductor, 16 comparators, AO1 AND · N
OR composite gate, I1-I7 inverter, I11
To I21 inverter, I31 to I42 inverter, I51 to I52 inverter, IA1 to IA2
NOR gate, IO1 to IO4 NAND gate,
N1 to N17 n-channel MOS transistors,
N21 to N24 n-channel MOS transistors, N
A1 to NA8 NAND gates, P1 to P17 p-channel MOS transistors, P21 to P24 p-channel MOS transistors.

フロントページの続き Fターム(参考) 2G032 AA07 AB02 AC03 AD07 AE07 AE08 AK14 AK15 AL11 5B024 AA03 BA20 BA21 BA29 CA07 DA18 EA01 EA04 5L106 AA01 DD03 DD11 DD35 GG07Continued on front page F term (reference) 2G032 AA07 AB02 AC03 AD07 AE07 AE08 AK14 AK15 AL11 5B024 AA03 BA20 BA21 BA29 CA07 DA18 EA01 EA04 5L106 AA01 DD03 DD11 DD35 GG07

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 パケット形式の命令により高い動作周波
数で動作する一方、バーンイン時には上記動作周波数よ
りも低い動作周波数でメモリテストを行うバーンインモ
ードを備えているパケット方式のダイナミックランダム
アクセスメモリであって、 少なくともバーンインモードでメモリテストが行われる
ときには、上記パケット形式の命令とは独立して、内部
クロック信号に基づいてメモリセルをリフレッシュする
セルフリフレッシュ手段が設けられていることを特徴と
するパケット方式のランダムアクセスメモリ。
1. A packet-type dynamic random access memory having a burn-in mode in which a memory test is performed at an operation frequency lower than the operation frequency at the time of burn-in while operating at a higher operation frequency by a packet format instruction. At least when a memory test is performed in the burn-in mode, a self-refresh means for refreshing a memory cell based on an internal clock signal is provided independently of the packet format instruction. Access memory.
【請求項2】 上記セルフリフレッシュ手段が、カラム
アドレスストローブ信号に対応する信号が、ロウアドレ
スストローブ信号に対応する信号に先立って活性化され
たときに、メモリセルをリフレッシュするようになって
いることを特徴とする請求項1に記載のパケット方式の
ランダムアクセスメモリ。
2. The self-refresh means refreshes a memory cell when a signal corresponding to a column address strobe signal is activated prior to a signal corresponding to a row address strobe signal. The packet-type random access memory according to claim 1, wherein:
【請求項3】 所定の内部信号に基づいて、信号出力部
のインピーダンスを通常時よりも高くすることができる
信号出力部インピーダンス切り替え手段が設けられてい
ることを特徴とする請求項1又は2に記載のパケット方
式のランダムアクセスメモリ。
3. A signal output unit impedance switching means capable of increasing the impedance of a signal output unit higher than usual based on a predetermined internal signal is provided. The packet-based random access memory as described.
【請求項4】 上記信号出力部が、内部出力信号が入力
される第1のCMOSインバータと、該第1のCMOS
インバータの出力信号が入力される一方上記内部出力信
号に対応する外部出力信号を外部に出力する第2のCM
OSインバータとを備えている出力バッファ回路であっ
て、 上記信号出力部インピーダンス切り替え手段が、上記所
定の内部信号が第1の状態であるときには、第1のCM
OSインバータの出力端子と第2のCMOSインバータ
の入力端子とを電気的に導通させる一方、該内部信号が
第2の状態であるときには、第2のCMOSインバータ
を構成するpチャンネルMOSトランジスタ及びnチャ
ンネルMOSトランジスタをオフさせることにより該出
力バッファ回路のインピーダンスを高めるようになって
いることを特徴とする請求項3に記載のパケット方式の
ランダムアクセスメモリ。
4. The first CMOS inverter to which an internal output signal is input, wherein the signal output unit includes: a first CMOS inverter;
A second CM to which an output signal of the inverter is input and an external output signal corresponding to the internal output signal is output to the outside
An output buffer circuit including an OS inverter, wherein the signal output unit impedance switching means outputs the first CM when the predetermined internal signal is in the first state.
While the output terminal of the OS inverter is electrically connected to the input terminal of the second CMOS inverter, when the internal signal is in the second state, the p-channel MOS transistor and the n-channel MOS transistor forming the second CMOS inverter 4. The packet type random access memory according to claim 3, wherein the impedance of the output buffer circuit is increased by turning off the MOS transistor.
【請求項5】 パケット形式の命令により高い動作周波
数で動作するようになっているパケット方式のダイナミ
ックランダムアクセスメモリであって、 所定の内部信号に基づいて、信号出力部のインピーダン
スを通常時よりも高くすることができる信号出力部イン
ピーダンス切り替え手段が設けられていることを特徴と
するパケット方式のランダムアクセスメモリ。
5. A packet type dynamic random access memory adapted to operate at a higher operation frequency by a packet format instruction, wherein the impedance of a signal output unit is made higher than that of a normal time based on a predetermined internal signal. A packet type random access memory, comprising a signal output unit impedance switching means that can be increased.
【請求項6】 上記信号出力部が、内部出力信号が入力
される第1のCMOSインバータと、該第1のCMOS
インバータの出力信号が入力される一方上記内部出力信
号に対応する外部出力信号を外部に出力する第2のCM
OSインバータとを備えている出力バッファ回路であっ
て、 上記信号出力部インピーダンス切り替え手段が、上記所
定の内部信号が第1の状態であるときには、第1のCM
OSインバータの出力端子と第2のCMOSインバータ
の入力端子とを電気的に導通させる一方、該内部信号が
第2の状態であるときには、第2のCMOSインバータ
を構成するpチャンネルMOSトランジスタ及びnチャ
ンネルMOSトランジスタをオフさせることにより該出
力バッファ回路のインピーダンスを高めるようになって
いることを特徴とする請求項5に記載のパケット方式の
ランダムアクセスメモリ。
6. The first CMOS inverter to which an internal output signal is input, wherein the signal output unit includes: a first CMOS inverter;
A second CM to which an output signal of the inverter is input and an external output signal corresponding to the internal output signal is output to the outside
An output buffer circuit including an OS inverter, wherein the signal output unit impedance switching means outputs the first CM when the predetermined internal signal is in the first state.
While the output terminal of the OS inverter is electrically connected to the input terminal of the second CMOS inverter, when the internal signal is in the second state, the p-channel MOS transistor and the n-channel MOS transistor forming the second CMOS inverter 6. The packet type random access memory according to claim 5, wherein the impedance of the output buffer circuit is increased by turning off the MOS transistor.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008544213A (en) * 2005-05-02 2008-12-04 オプティマルテスト エルティーディー. Improvement of semiconductor device quality and reliability

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