JP2001171121A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェットプリンタにおいて、記録ヘッ
ドのインク吐出口８の周辺にインクが付着してくると、
インク液滴の不吐出や吐出／飛翔方向に“ずれ”が生じ
て印字品質を害うため、吐出口形成面に撥水処理を行う
が、この処理を従来のように高価な装置と煩雑な工程を
要することなく、簡単な工程で安価に部分撥水処理を行
う手段を提供する。 【解決手段】 このため、活性エネルギー線によって硬
化性材料の吐出口８部を除く、少くとも非表面処理部を
硬化後、前記活性エネルギー線で硬化する撥水性の表面
処理剤５を塗布し、前記処理部を活性エネルギー線で硬
化すると同時に、吐出口８を形成する材料及び前記表面
処理剤５の同時一括パターニングにより形成するように
した。
ドのインク吐出口８の周辺にインクが付着してくると、
インク液滴の不吐出や吐出／飛翔方向に“ずれ”が生じ
て印字品質を害うため、吐出口形成面に撥水処理を行う
が、この処理を従来のように高価な装置と煩雑な工程を
要することなく、簡単な工程で安価に部分撥水処理を行
う手段を提供する。 【解決手段】 このため、活性エネルギー線によって硬
化性材料の吐出口８部を除く、少くとも非表面処理部を
硬化後、前記活性エネルギー線で硬化する撥水性の表面
処理剤５を塗布し、前記処理部を活性エネルギー線で硬
化すると同時に、吐出口８を形成する材料及び前記表面
処理剤５の同時一括パターニングにより形成するように
した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一般にインクと呼
ばれる記録液を、微細口から小滴として吐出、飛翔さ
せ、この小滴の被記録面への付着を以て記録を行うイン
クジェット記録ヘッド及びその製造方法に関する。
ばれる記録液を、微細口から小滴として吐出、飛翔さ
せ、この小滴の被記録面への付着を以て記録を行うイン
クジェット記録ヘッド及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のインクジェット記録方式に適用
されるインクジェット記録ヘッドは、一般に、微細なイ
ンク吐出口（オリフィス）、インク流路及びこのインク
流路の一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を備
えている。従来このようなインクジェット記録ヘッドを
作成する方法としては、例えば特開昭６１−１５４９４
７号公報及び特開昭６２−２５３４５７号公報等に記載
の製造工程が知られている。
されるインクジェット記録ヘッドは、一般に、微細なイ
ンク吐出口（オリフィス）、インク流路及びこのインク
流路の一部に設けられる液体吐出エネルギー発生部を備
えている。従来このようなインクジェット記録ヘッドを
作成する方法としては、例えば特開昭６１−１５４９４
７号公報及び特開昭６２−２５３４５７号公報等に記載
の製造工程が知られている。
【０００３】ところで、これらのインクジェット記録ヘ
ッドで高品位の画像を得るためには、前記オリフィスか
ら吐出される記録液小滴が、それぞれの吐出口より常に
同じ体積、吐出速度で吐出されることが望ましい。
ッドで高品位の画像を得るためには、前記オリフィスか
ら吐出される記録液小滴が、それぞれの吐出口より常に
同じ体積、吐出速度で吐出されることが望ましい。
【０００４】これを達成するために、例えば特開平４−
１０９４０号ないし特開平４−１０９４２号公報におい
ては、インク吐出圧力発生素子（電気熱変換素子）に記
録情報に対応して駆動信号を印加し、この電気熱変換素
子にインクの核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱
エネルギーをインクに付与することによって、インク内
に気泡を形成させ、この気泡を外気と連通させてインク
液滴を吐出させる方法が開示されている。
１０９４０号ないし特開平４−１０９４２号公報におい
ては、インク吐出圧力発生素子（電気熱変換素子）に記
録情報に対応して駆動信号を印加し、この電気熱変換素
子にインクの核沸騰を越える急激な温度上昇を与える熱
エネルギーをインクに付与することによって、インク内
に気泡を形成させ、この気泡を外気と連通させてインク
液滴を吐出させる方法が開示されている。
【０００５】このような方法を実現するため、インクジ
ェット記録ヘッドとしては、電気熱変換素子とオリフィ
スとの距離（以下「ＯＨ距離」と称する）が短い方が好
ましい。また、前記方法においては、ＯＨ距離がその吐
出体積をほぼ決定するため、ＯＨ距離を正確に、また再
現性良く設定できることが必要である。
ェット記録ヘッドとしては、電気熱変換素子とオリフィ
スとの距離（以下「ＯＨ距離」と称する）が短い方が好
ましい。また、前記方法においては、ＯＨ距離がその吐
出体積をほぼ決定するため、ＯＨ距離を正確に、また再
現性良く設定できることが必要である。
【０００６】このようなＯＨ距離を短く、しかも正確に
製造することができるインクジェット記録ヘッドの製造
方法を例えば特開平６−２８６１４９号公報は開示して
いる。以下に、この製造方法の概略を説明する。
製造することができるインクジェット記録ヘッドの製造
方法を例えば特開平６−２８６１４９号公報は開示して
いる。以下に、この製造方法の概略を説明する。
【０００７】この公報に記載される製造方法は、基板上
に溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工
程と、常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を
溶媒に溶解して、これを前記溶解可能な樹脂層上にソル
ベントコートすることによって、前記溶解可能な樹脂層
上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、
前記インク吐出圧力発生素子上方の前記被覆樹脂層にイ
ンク吐出口を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を
溶出する工程とを有することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法である。
に溶解可能な樹脂にてインク流路パターンを形成する工
程と、常温にて固体状のエポキシ樹脂を含む被覆樹脂を
溶媒に溶解して、これを前記溶解可能な樹脂層上にソル
ベントコートすることによって、前記溶解可能な樹脂層
上にインク流路壁となる被覆樹脂層を形成する工程と、
前記インク吐出圧力発生素子上方の前記被覆樹脂層にイ
ンク吐出口を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を
溶出する工程とを有することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法である。
【０００８】このようにして形成されたインクジェット
記録ヘッドの吐出口面に、シリコンゴム等の可撓性材料
上に塗布した撥水処理剤を転写し、乾燥／硬化等を実施
してインクジェット記録ヘッドを完成する。
記録ヘッドの吐出口面に、シリコンゴム等の可撓性材料
上に塗布した撥水処理剤を転写し、乾燥／硬化等を実施
してインクジェット記録ヘッドを完成する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】以上の製造方法による
インクジェット記録ヘッドでは、吐出口の周辺に、イン
ク等の記録用の液体が付着してくると、吐出口から吐出
されるインク液滴の吐出（飛翔）方向に“ずれ”が生
じ、高精度での印字ができなくなるという問題があり、
かかる吐出方向の“ずれ”の原因となる吐出口付近への
液体の付着を防止するために、吐出口が形成されている
面に撥水剤処理を行う方法が知られている。
インクジェット記録ヘッドでは、吐出口の周辺に、イン
ク等の記録用の液体が付着してくると、吐出口から吐出
されるインク液滴の吐出（飛翔）方向に“ずれ”が生
じ、高精度での印字ができなくなるという問題があり、
かかる吐出方向の“ずれ”の原因となる吐出口付近への
液体の付着を防止するために、吐出口が形成されている
面に撥水剤処理を行う方法が知られている。
【００１０】また、上記撥水剤処理を行っても、吐出口
面に滞留するインクが移動して吐出口を塞ぎ、一時的に
吐出されない等の不具合を生ずるため、吐出口から少々
離れた場所を非撥水処理としてインクの溜る部位を作り
（以下、“部位撥水処理”とする）、大量のインクが吐
出口へ移動するのを防止することが行われている。
面に滞留するインクが移動して吐出口を塞ぎ、一時的に
吐出されない等の不具合を生ずるため、吐出口から少々
離れた場所を非撥水処理としてインクの溜る部位を作り
（以下、“部位撥水処理”とする）、大量のインクが吐
出口へ移動するのを防止することが行われている。
【００１１】従来、以上の部分撥水処理を行う方法とし
て、溶剤に溶解したフッ素樹脂を塗布乾燥後、エキシマ
レーザ等で非撥水部をアブレーション処理により溶融／
蒸発させて形成しており、高額な装置が必要で工程も煩
雑なため、インクジェット記録ヘッドのコストアップに
つながっていた。
て、溶剤に溶解したフッ素樹脂を塗布乾燥後、エキシマ
レーザ等で非撥水部をアブレーション処理により溶融／
蒸発させて形成しており、高額な装置が必要で工程も煩
雑なため、インクジェット記録ヘッドのコストアップに
つながっていた。
【００１２】本発明の目的は、記録紙ジャム、紙粉こす
り等の外因に対して充分に耐性を持つ部分撥水処理方法
を簡単な工程で安価に提供することにある。
り等の外因に対して充分に耐性を持つ部分撥水処理方法
を簡単な工程で安価に提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、下記の各項（１）〜（５）のいずれか記載のイン
クジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供すること
により、前記目的を達成しようとするものである。
ては、下記の各項（１）〜（５）のいずれか記載のイン
クジェット記録ヘッド及びその製造方法を提供すること
により、前記目的を達成しようとするものである。
【００１４】（１）インク吐出口を形成する材料が活性
エネルギー線による硬化性の材料であり、この吐出口部
を除く少なくとも非表面処理部を硬化後、前記活性エネ
ルギー線で硬化する撥水性の表面処理剤を塗布し、前記
処理部を活性エネルギー線で硬化すると同時に、前記吐
出口を、この吐出口を形成する材料及び前記表面処理剤
の同時一括パターニングによって形成する前記吐出口面
の表面処理方法を有することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
エネルギー線による硬化性の材料であり、この吐出口部
を除く少なくとも非表面処理部を硬化後、前記活性エネ
ルギー線で硬化する撥水性の表面処理剤を塗布し、前記
処理部を活性エネルギー線で硬化すると同時に、前記吐
出口を、この吐出口を形成する材料及び前記表面処理剤
の同時一括パターニングによって形成する前記吐出口面
の表面処理方法を有することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。
【００１５】（２）インク吐出エネルギー発生部が、熱
エネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴と
する前項（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
エネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴と
する前項（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造
方法。
【００１６】（３）前記インクジェット記録ヘッドが、
記録媒体の記録領域の全幅にわたって前記インク吐出口
が複数設けられているフルラインタイプのものであるこ
とを特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。
記録媒体の記録領域の全幅にわたって前記インク吐出口
が複数設けられているフルラインタイプのものであるこ
とを特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。
【００１７】（４）前記インクジェット記録ヘッドが、
多色用の前記インク吐出口が一体成形されたものである
ことを特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。
多色用の前記インク吐出口が一体成形されたものである
ことを特徴とする前項（１）記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。
【００１８】（５）前項（１）ないし（４）のいずれか
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造
されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法により製造
されたことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【００１９】
【作用】以上のような本発明の表面処理方法により、一
時的なインク不吐出等がなく、高品位の画像を安定的
に、さらに吐出方向のずれが実質的に皆無のインクジェ
ット記録ヘッドが低コストで得られる。
時的なインク不吐出等がなく、高品位の画像を安定的
に、さらに吐出方向のずれが実質的に皆無のインクジェ
ット記録ヘッドが低コストで得られる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を、複
数の実施例に基づき、図面を参照して詳細に説明する。
数の実施例に基づき、図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
【実施例】本実施例では、本発明を、前記特開平６−２
８６１４９号公報に記載の製造方法に適用してインクジ
ェット記録ヘッドを作成した。なお、図１（ａ）〜
（ｃ）及び図２（ｄ）〜（ｇ）は本実施例の各工程を説
明するための工程説明図である。
８６１４９号公報に記載の製造方法に適用してインクジ
ェット記録ヘッドを作成した。なお、図１（ａ）〜
（ｃ）及び図２（ｄ）〜（ｇ）は本実施例の各工程を説
明するための工程説明図である。
【００２２】（実施例１）まず、図１（ａ）に示すよう
に、液体吐出エネルギー発生素子としての複数の電気熱
交換素子２（材質ＨｆＢ２から成るヒータ）を形成した
シリコン基板１上にブラストマスクを設置し、サンドブ
ラスト加工によりインク供給のための貫通口（インク供
給口）６を形成した。
に、液体吐出エネルギー発生素子としての複数の電気熱
交換素子２（材質ＨｆＢ２から成るヒータ）を形成した
シリコン基板１上にブラストマスクを設置し、サンドブ
ラスト加工によりインク供給のための貫通口（インク供
給口）６を形成した。
【００２３】次いで、図１（ｂ）に示すように、基板１
上に、溶解可能な樹脂層３としてポリメチルイソプロペ
ニルケトン（東京応化工業（株）社製、商品名ＯＤＵＲ
−１０１０）をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）
シート上に塗布、乾燥しドライフィルムとしたものをラ
ミネートにより転写した。なお、前記ＯＤＵＲ−１０１
０は、低粘度であり厚膜形成できないため濃縮して用い
た。
上に、溶解可能な樹脂層３としてポリメチルイソプロペ
ニルケトン（東京応化工業（株）社製、商品名ＯＤＵＲ
−１０１０）をＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラート）
シート上に塗布、乾燥しドライフィルムとしたものをラ
ミネートにより転写した。なお、前記ＯＤＵＲ−１０１
０は、低粘度であり厚膜形成できないため濃縮して用い
た。
【００２４】次いで、１２０℃にて２０分間プリベーク
した後、キヤノン（株）製マスクアライナー、商品名Ｐ
ＬＡ５２０（コールドミラーＣＭ２９０）にてインク液
流路のパターン露光を行った。露光は１．５分間、現像
は１％の苛性ソーダにてスプレー現像で行った。この溶
解可能な樹脂で形成されたパターン３は、インク供給口
６と電気熱変換素子２とのインク流路を確保するための
ものである。なお、現像後のレジストの膜厚は１０μｍ
であった。
した後、キヤノン（株）製マスクアライナー、商品名Ｐ
ＬＡ５２０（コールドミラーＣＭ２９０）にてインク液
流路のパターン露光を行った。露光は１．５分間、現像
は１％の苛性ソーダにてスプレー現像で行った。この溶
解可能な樹脂で形成されたパターン３は、インク供給口
６と電気熱変換素子２とのインク流路を確保するための
ものである。なお、現像後のレジストの膜厚は１０μｍ
であった。
【００２５】次いで、図１（ｃ）に示すように、以下に
示す樹脂組成物をメチルイソブチルケトン／ジグライム
混合溶媒に溶解し、スピンコートにて感光性被覆樹脂層
４を形成した。なお、パターン３上における膜厚は１０
μｍであった。
示す樹脂組成物をメチルイソブチルケトン／ジグライム
混合溶媒に溶解し、スピンコートにて感光性被覆樹脂層
４を形成した。なお、パターン３上における膜厚は１０
μｍであった。
【００２６】（被覆樹脂層４の組成） エポキシ樹脂 ＥＨＰＥ−３１５０（商品名：ダイセル
化学社製）、 ジオール １、４−ＨＦＡＢ（商品名：セントラル硝子
（株）製）、 シランカップリング剤 Ａ−１８７（商品名：日本ユニ
カー社製）、 光重合開始剤 アデカオプトマーＳＰ−１７０（商品
名、旭電化工業（株）製） 次いで、前記ＰＬＡ５２０（ＣＭ２５０）にて、マスク
７を介して非撥水処理部を露光するためのパターン露光
を行った。図１（ｄ）に示すように、感光性被覆樹脂４
の網点部分を露光。なお、露光は１０秒、アフターベー
クは６０℃３０分間行った。
化学社製）、 ジオール １、４−ＨＦＡＢ（商品名：セントラル硝子
（株）製）、 シランカップリング剤 Ａ−１８７（商品名：日本ユニ
カー社製）、 光重合開始剤 アデカオプトマーＳＰ−１７０（商品
名、旭電化工業（株）製） 次いで、前記ＰＬＡ５２０（ＣＭ２５０）にて、マスク
７を介して非撥水処理部を露光するためのパターン露光
を行った。図１（ｄ）に示すように、感光性被覆樹脂４
の網点部分を露光。なお、露光は１０秒、アフターベー
クは６０℃３０分間行った。
【００２７】続いて、以下に示す組成の撥水性かつ感光
性表面処理剤５をジグライム溶媒に溶解し、スプレー塗
布にて被覆した。次いで前記ＰＬＡ５２０（ＣＭ２５
０）にて、マスク７′を介してパターン露光を行った。
図２（ｅ）に示すように、感光性表面処理剤５の網点部
分及び感光性被覆樹脂４の網点追加部分を露光。
性表面処理剤５をジグライム溶媒に溶解し、スプレー塗
布にて被覆した。次いで前記ＰＬＡ５２０（ＣＭ２５
０）にて、マスク７′を介してパターン露光を行った。
図２（ｅ）に示すように、感光性表面処理剤５の網点部
分及び感光性被覆樹脂４の網点追加部分を露光。
【００２８】次いで、図２（ｆ）に示すように、メチル
イソブチルケトンで現像を行い、インク吐出口８、撥水
部パターン及び非撥水処理部を形成した。なお、本実施
例ではφ２６μの吐出口８ａパターンを形成した。
イソブチルケトンで現像を行い、インク吐出口８、撥水
部パターン及び非撥水処理部を形成した。なお、本実施
例ではφ２６μの吐出口８ａパターンを形成した。
【００２９】（感光性表面処理剤５） エポキシ樹脂 ＥＨＰＥ−３１５０（商品名：ダイセル
化学社製）、 ケミノックス ＡＦＥｐ（商品名：日本メクトロン
（株）製）、 ジオール １、４−ＨＦＡＢ（商品名：セントラル硝子
（株）製）、 ＭＦ−１２０（商品名：（株）トーケム製）、 シランカップリング剤 Ａ−１８７（商品名：日本ユニ
カー社製）、 光重合開始剤 アデカオプトマーＳＰ−１７０（商品
名、旭電化工業（株）製） また、この時、液流路パターン３は残存している。次に
図２（ｇ）に示すように再びＰＬＡ５２０（ＣＭ２９
０）にて２分間露光し、液流路パターン３の材料の主鎖
を分解した後、乳酸メチル中に超音波を付与しつつ浸漬
し、残存している液流路パターン３を溶出した。
化学社製）、 ケミノックス ＡＦＥｐ（商品名：日本メクトロン
（株）製）、 ジオール １、４−ＨＦＡＢ（商品名：セントラル硝子
（株）製）、 ＭＦ−１２０（商品名：（株）トーケム製）、 シランカップリング剤 Ａ−１８７（商品名：日本ユニ
カー社製）、 光重合開始剤 アデカオプトマーＳＰ−１７０（商品
名、旭電化工業（株）製） また、この時、液流路パターン３は残存している。次に
図２（ｇ）に示すように再びＰＬＡ５２０（ＣＭ２９
０）にて２分間露光し、液流路パターン３の材料の主鎖
を分解した後、乳酸メチル中に超音波を付与しつつ浸漬
し、残存している液流路パターン３を溶出した。
【００３０】次いで、ヘッドを１５０℃１時間加熱し感
光性被覆材料層４及び撥水性表面処理剤を完全に硬化さ
せる。
光性被覆材料層４及び撥水性表面処理剤を完全に硬化さ
せる。
【００３１】最後に、図２（ｇ）に示すように、インク
供給口６にインク供給部材９を接着し、本発明に係るイ
ンクジェット記録ヘッドが完成する。なお図２（ｈ）
に、同（ｇ）図の上面吐出口８側から視た拡大図を示
す。
供給口６にインク供給部材９を接着し、本発明に係るイ
ンクジェット記録ヘッドが完成する。なお図２（ｈ）
に、同（ｇ）図の上面吐出口８側から視た拡大図を示
す。
【００３２】このようにして完成したインクジェット記
録ヘッドを用いて実際に印字テストを行ったところ、各
吐出口８の周囲の撥水処理部５の存在により、インク等
が付着することなく、またさらにその外周の非撥水処理
部に付着した溜ったインク等も吐出口８へ移動すること
も防止されるため、本来の吐出作用に悪影響を及ぼすこ
とがないため、一時的なインク不吐出等がなく、安定し
て高品位の画像が得られた。
録ヘッドを用いて実際に印字テストを行ったところ、各
吐出口８の周囲の撥水処理部５の存在により、インク等
が付着することなく、またさらにその外周の非撥水処理
部に付着した溜ったインク等も吐出口８へ移動すること
も防止されるため、本来の吐出作用に悪影響を及ぼすこ
とがないため、一時的なインク不吐出等がなく、安定し
て高品位の画像が得られた。
【００３３】（実施例２）前記実施例１のように、撥水
性かつ感光性表面処理剤をジグライム溶媒に溶解し、ス
プレー塗布にて被覆する代わりに、この表面処理剤をＰ
ＥＴ上に塗布、乾燥しドライフィルムとしたものをラミ
ネートにより転写した以外は、実施例１と同様にしてイ
ンクジェット記録ヘッドを作成した。
性かつ感光性表面処理剤をジグライム溶媒に溶解し、ス
プレー塗布にて被覆する代わりに、この表面処理剤をＰ
ＥＴ上に塗布、乾燥しドライフィルムとしたものをラミ
ネートにより転写した以外は、実施例１と同様にしてイ
ンクジェット記録ヘッドを作成した。
【００３４】これを用いた実際の印字テストにより、前
記実施例１と同様の効果が確認された。
記実施例１と同様の効果が確認された。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるイン
クジェット記録ヘッドの表面処理方法を含む本製造方法
によれば、高品位の画像を一時的な不吐出等なく安定的
に、さらに吐出方向のズレがほとんどない記録ヘッドが
安価に得られる。
クジェット記録ヘッドの表面処理方法を含む本製造方法
によれば、高品位の画像を一時的な不吐出等なく安定的
に、さらに吐出方向のズレがほとんどない記録ヘッドが
安価に得られる。
【図１】 本発明実施例の表面処理方法の製造工程説明
図（その１）（ａ）〜（ｄ）
図（その１）（ａ）〜（ｄ）
【図２】 本発明実施例の表面処理方法の製造工程説明
図（その２）（ｅ）〜（ｈ）
図（その２）（ｅ）〜（ｈ）
１ 基板 ２ 電気熱変換素子 ３ 溶解可能樹脂層 ４ 感光性被覆樹脂層 ５ 感光性表面処理剤 ６ インク供給口 ７，７′ マスク ８ 吐出口 ８ａ 吐出口下地開口
Claims (5)
- 【請求項１】 インク吐出口を形成する材料が活性エネ
ルギー線による硬化性の材料であり、この吐出口部を除
く少なくとも非表面処理部を硬化後、前記活性エネルギ
ー線で硬化する撥水性の表面処理剤を塗布し、前記処理
部を活性エネルギー線で硬化すると同時に、前記吐出口
を、この吐出口を形成する材料及び前記表面処理剤の同
時一括パターニングによって形成する前記吐出口面の表
面処理方法を有することを特徴とするインクジェット記
録ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 インク吐出エネルギー発生部が、熱エネ
ルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とする
請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記インクジェット記録ヘッドが、記録
媒体の記録領域の全幅にわたって前記インク吐出口が複
数設けられているフルラインタイプのものであることを
特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの
製造方法。 - 【請求項４】 前記インクジェット記録ヘッドが、多色
用の前記インク吐出口が一体成形されたものであること
を特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッド
の製造方法。 - 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか記載のイン
クジェット記録ヘッドの製造方法により製造されたこと
を特徴とするインクジェット記録ヘッド。
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|---|---|---|---|
| JP36041299A JP3679668B2 (ja) | 1999-12-20 | 1999-12-20 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US09/737,590 US6638439B2 (en) | 1999-12-20 | 2000-12-18 | Ink-jet recording head and its manufacturing method |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36041299A JP3679668B2 (ja) | 1999-12-20 | 1999-12-20 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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|---|---|
| JP2001171121A true JP2001171121A (ja) | 2001-06-26 |
| JP3679668B2 JP3679668B2 (ja) | 2005-08-03 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36041299A Expired - Fee Related JP3679668B2 (ja) | 1999-12-20 | 1999-12-20 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3679668B2 (ja) |
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| JP2007069491A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Canon Finetech Inc | 記録ヘッドとその製造方法 |
| JP2007331127A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Ricoh Co Ltd | 液滴吐出装置、画像形成装置、画像形成方法および液滴吐出装置の製造方法 |
| KR101086356B1 (ko) | 2004-05-25 | 2011-11-23 | 삼성전자주식회사 | 발수층을 갖는 잉크젯 헤드의 제조방법 |
| JP2012091449A (ja) * | 2010-10-28 | 2012-05-17 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP2012126107A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| US9776411B2 (en) | 2014-08-20 | 2017-10-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Inkjet recording head and method of manufacturing the same |
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| KR101036114B1 (ko) * | 2002-12-10 | 2011-05-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 노광방법, 디바이스 제조방법 |
| TW200500813A (en) | 2003-02-26 | 2005-01-01 | Nikon Corp | Exposure apparatus and method, and method of producing device |
| WO2005006418A1 (ja) | 2003-07-09 | 2005-01-20 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
| US7029099B2 (en) * | 2003-10-30 | 2006-04-18 | Eastman Kodak Company | Method of producing ink jet chambers using photo-imageable materials |
| JP4614383B2 (ja) * | 2004-12-09 | 2011-01-19 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド |
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| ATE462570T1 (de) * | 2006-07-13 | 2010-04-15 | Telecom Italia Spa | Tintenstrahlpatrone mit einer aus einer härtbaren harzzusammensetzung hergestellten schicht |
| EP2276632B1 (en) | 2008-04-18 | 2013-09-25 | OLIVETTI S.p.A. | Process of manufacturing ink-jet print head having improved adhesion with time and its use in combination with a water-based ink containing acidic species |
| US8343712B2 (en) * | 2010-10-28 | 2013-01-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing inkjet recording head |
| ITMI20111011A1 (it) | 2011-06-06 | 2012-12-07 | Telecom Italia Spa | Testina di stampa a getto d'inchiostro comprendente uno strato realizzato con una composizione di resina reticolabile |
| JP6305035B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2018-04-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
| JP7246041B2 (ja) * | 2018-11-07 | 2023-03-27 | ウシオ電機株式会社 | 細胞培養チップ及びその製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0645242B2 (ja) | 1984-12-28 | 1994-06-15 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
| JPH0698755B2 (ja) | 1986-04-28 | 1994-12-07 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
| DE69126996T2 (de) | 1990-04-27 | 1998-02-19 | Canon Kk | Aufzeichnungsverfahren und -gerät |
| ES2082145T3 (es) | 1990-08-03 | 1996-03-16 | Canon Kk | Metodo para la fabricacion de un cabezal para la impresion por chorros de tinta. |
| US5436650A (en) | 1991-07-05 | 1995-07-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, process for producing the head and ink jet recording apparatus |
| JPH05124199A (ja) * | 1991-11-06 | 1993-05-21 | Canon Inc | インクジエツトヘツドのノズル面撥水処理方法、撥水処理したインクジエツトヘツドおよび該ヘツドを具備する記録装置 |
| JP3143307B2 (ja) | 1993-02-03 | 2001-03-07 | キヤノン株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP3283979B2 (ja) | 1993-11-12 | 2002-05-20 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘッドの製造方法 |
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-
1999
- 1999-12-20 JP JP36041299A patent/JP3679668B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-12-18 US US09/737,590 patent/US6638439B2/en not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3679668B2 (ja) | 2005-08-03 |
| US20010010304A1 (en) | 2001-08-02 |
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