JP2001156147A - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
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Abstract
し有無情報と共に検知し、ウエハ処理上の破損などのト
ラブル解消を図る。 【解決手段】 ウエハ取出しハンドを備えたカセット前
面箇所で上下動するウエハ搬送ロボットに於いて、ウエ
ハ取出しハンドに対しウエハ検出ハンドを駆動軸の駆動
で一定範囲の揺動若しくは回動可能に取付けしめ、該ウ
エハ検出ハンドは投光器と受光器を一定の距離間で対向
配置させた透過式センサー、及び該透過式センサーの光
路と干渉しない箇所でセンサー光軸を鉛直となるように
した反射式センサーとを備える構成とする。このさい、
ウエハ検出ハンドはU字状に形成して0°〜180°の
範囲で揺動若しくは回動されるものとなし、且つU字状
の対向する先端部に投光器と受光器の透過式センサー
を、そして底面側中央に反射式センサーを備えたものと
する。
Description
ボットにより、カセット内に収納された半導体ウエハを
処理装置に搬送するウエハ搬送装置に関する。
示す図である。該図5に於いて、ステージ10の上には
カセット1が載荷できるようになっており、ステージ1
0の下部には上下機構7により上下動作可能なアーム2
と該アーム2の一端にはセンサー3の投光器3aが、も
う一端にはセンサーの受光器3bが取付けられており、
夫々れの電源線(図示せず)、信号線(図示せず)は制
御装置9に接続されている。また、カセット1のウエハ
取出し方向にはウエハ搬送ロボット4が設置されてい
る。
たはOHT(Overhead Hoist Transport)などでステー
ジ10上に載荷されたカセット1は、最初にカセット1
内のウエハ5がどの棚に入っているか認識する動作を行
う。これは通常、カセット1はウエハ5を10枚から2
5枚収納できる構造になっており、どの棚にウエハ5が
収納されているか分からないためである。ステージ10
にカセット1が載荷されると制御装置9は、センサーの
取付けられたアーム2を最下面から最上面まで設定され
た速度で上昇するよう指示を行う。この過程に於いて、
センサー出力信号とアーム2の移動量との組合せによ
り、制御装置9はウエハ位置情報を得ることができる。
アームが最上部まで上昇すると制御装置9は、ウエハの
載荷情報を上位装置に伝達する。而して、上位装置から
の命令によりウエハ搬送装置6は、制御装置9にて命令
を処理しウエハ搬送ロボット4へ指示された段の棚のウ
エハ5をウエハ処理装置8に搬送を行い、処理の終わっ
たウエハ5を指示された段の棚に収納するように指令を
送る。
装置は前記のようにウエハマッピング機構が専用の機構
であるため、装置設置の占有面積を大きくとり、ウエハ
5のサイズが200mmから300mmと大型化される
方向にある現在、ますます装置の大型化に拍車がかかっ
ている。而して、装置の大型化はクリーンルームの建設
費用及び維持費用のコストアップに直結するため、半導
体デバイスメーカーからは省スペース装置の開発が待ち
望まれている。また、構造が複雑なため製造コストの上
昇をもたらしていた。
れている透過式センサーをカセットとウエハの隙間に挿
入し上下する移動機構の場合、ウエハ取出し方向に飛出
したウエハを検出する手段を併せ持っていないため、何
らかの理由で透過式センサーによりウエハを破損してし
まうだけではなく、破損したウエハの破片がカセット内
の他のウエハにも付着してしまい最悪の場合、それらの
ウエハを破棄せねばならず、歩留まりの低下をもたらす
問題がある。また、破損したウエハの破片を除去するに
は、装置を停止しなければならないため、生産性の悪化
をももたらすことになる。さらに破損したウエハの破片
が透過式センサーを破損する場合もあり、多くの修理時
間を必要とし生産性の悪化をもたらす問題がある。本発
明は、このような問題点に鑑みてなされたもので、その
目的は占有設置面積の少ないコンパクトで低価格のウエ
ハ搬送装置を提供することにある。本発明の、さらに別
の目的はウエハの破損を発生させることなく、高い信頼
性を持ったウエハ搬送装置を提供することにある。
ット前面箇所で上下動するウエハ搬送ロボットに於い
て、ウエハ取出しハンドに対しウエハ検出ハンドを駆動
軸の駆動で一定範囲の揺動若しくは回動可能に取付けし
め、該ウエハ検出ハンドは投光器と受光器を一定の距離
間で対向配置させた透過式センサー、及び該透過式セン
サーの光路と干渉しない箇所でセンサー光軸を鉛直とな
るようにした反射式センサーとを備える構成となしたこ
とを特徴とする。一方、ウエハ検出ハンドは0°〜18
0°の範囲で揺動若しくは回動されるのであり、他方ウ
エハ検出ハンドはU字状に形成すると共に、その対向す
る先端部に対し投光器と受光器の透過式センサーを、そ
して底面側中央に反射式センサーを備えたものとなす。
このさい、ウエハ取出しハンドは片腕式となしても良い
が、左右一対の両腕式のものとなし、このうちの1つは
コ字状アームに形成し、該コ字状アームの上段側裏面部
にウエハ検出ハンドを取付けしめるのである。
ボットの斜視図である。11はウエハ搬送ロボット本
体、12は該本体11に取付けられるウエハ取出しハン
ドであって、12a,12b,12c及び12’a,1
2’b,12’cのアーム及びウエハ載置プレート12
d,12’dとからなる。図示例はウエハ取り出しハン
ド12を左右一対のものに構成し、各ハンドは本体11
内に組込まれた図示しない駆動手段により伸縮作動され
るのであり、この構成は本件出願人に係る特許第274
9314号に示したものと同様である。
けるコ字状アーム12cの上段裏面部には、U字状に形
成したウエハ検出ハンド13を、アーム12c内に収蔵
したモータ14の駆動で、θ=0°〜180°の範囲で
揺動若しくは回動するよう設けしめてある。(図示例は
揺動するものを示す)
の外周弧面fの2点間を非接触に挟むことを可能とする
ものとなし、且つ対向する先端部には投光器15aと受
光器15bとからなる透過式センサー15が取付けてあ
る。一方、その底面部中央箇所には上記透過式センサー
15の光路と干渉しないようにして、センサー光軸を鉛
直となした反射式センサー16が取付けてある。
あって、ウエハ5がカセット17の棚段を介し、鉛直な
高さ方向へ多数枚収納させてある。而して、該カセット
17の前面開放部は上記ウエハ検出ハンド13が後述す
るウエハ検知作業時に、少しその内部へ支障なく入り込
み可能になしてある。なお、18はカセット17の前面
下部位置に設けた反射板である。
如く構成させてあり、以下その作用について説明する。
図2は側面図、図3は図2に対応する平面図であって、
ウエハ搬送装置に内にカセット17が運び込まれた場
合、制御装置9はウエハ搬送ロボット本体11をカセッ
ト17の取り出し方向に対し、所定関係位置となるよう
に回動させ、ウエハ検出ハンド13の透過式センサー1
5がカセット17のウエハ取り出し側を向くように、モ
ータ14を駆動させて原点位置PからP’の180°回
動させる。そのさい、ウエハ検出ハンド13が他の物体
等に干渉しないよう、事前にウエハ検出ハンド13の取
付けられたコ字状アーム側のウエハ取出しハンド12c
を図面2のBで示す如く左方向へ若干前進させるように
する。
11を上昇させ、図2及び図3のCに示す如くウエハ検
出ハンド13をカセット17に於ける最上段のウエハ5
より少し高い位置に移動させる。而して、ウエハ取出し
ハンド12cをカセット17へ向けて予め設定した位置
までを限度として移動させるのであり、このさい反射式
センサー16の投光器からの光路が反射板18で反射し
て帰り、光路が遮断されない場合にはカセット17内に
収納されたウエハ5の飛び出しがないものとして認識さ
れる。
ある場合には、光路が遮断されてこれを認識するものと
なる。今若し、上記ウエハ5’の如き飛び出しのある状
態でウエハマッピングを行う際には、搬送ロボット本体
11の下降中にウエハ検出ロボット13が上記飛び出し
ウエハ5’と接触し、該ウエハ5’を破損させるのであ
り、従って予め制御装置9が異常発生を上位装置に伝達
し、ウエハ取出しハンド12cを原点位置に戻し、上位
装置の指令で飛び出しウエハ5’のトラブルが解消され
るまで待機させるのである。
を搬送ロボット本体11とカセット17との対向間距離
で定まる特定位置まで移動させ、飛び出しウエハを検出
するものについて説明したが、他の例としてウエア取り
出しハンド12cを移動させ、反射式センサー16がウ
エハ5を検出した位置と、初めにウエハ取り出しハンド
12cを移動させて標準状態で載置されているウエハ5
を検出したさいに制御装置9が記憶していたものとを比
較することにより、カセット17内のウエハが飛び出し
ているか否かを検出するようになしても良い。
がウエハ5の飛び出しを検知しなかった場合、図2及び
図3の各Dで示す如く、ウエハ検出ハンド13を透過式
センサー15の投光器15a及び受光器15bがウエハ
5を検出可能な位置へ移動させる。続いて一点鎖線位置
に示す如くウエハ搬送ロボット本体11を下降させるこ
とにより、ウエハ検出ハンド13を共に下降させる。そ
して、受光器15bがウエハ5を検出しないで最下段ま
で移動した場合、ウエハ検出ハンド13を初めの原点位
置まで後退させ、カセット内にウエハが存在しないこと
を上位装置へ伝達する。
ハ5が存在するためウエハ5が透過式センサー15の光
路を遮断し、受光器15bからの遮光信号が制御装置9
に出力され、制御装置9は遮光信号が出力された上下方
向の移動量を記憶するものとなる。そして、ウエハ検出
ハンド13が最下部まで移動を終えると、ウエハ取り出
しハンド12cを初めの原点pまで後退させるのであ
る。
ット17内のウエハ認識情報を得るのであり、その結果
を上位装置へ伝達する。そして、上記一連のウエハ認識
情報を得るための処理が終了した後に、制御装置9は上
位統括装置からの指令を処理し、ウエハ搬送ロボット1
1がカセット17内の指定された棚のウエハ5をウエハ
処理装置8へ搬送するように指令を送る。また、同様に
処理の終了したウエハ5をカセット17の指定された棚
段へ搬送するように、ウエハ搬送ロボット11に指令を
送るのである。図4は上記の作動順序を図表化したフロ
ーシートである。
右一対の対称配設したものを示したが、単一の取り出し
ハンドとすることも差支えない。このさい、コ字状ハン
ドを採用して同様に実施することも出来るが、コ字状ハ
ンドを採用しないものでは単にそのアーム上面位置に設
けるようになしても良い。また、ウエハ検出ハンドを0
°〜180°の範囲で揺動させるものについて示した
が、0°〜180°のあと、180°〜360°の回動
で原点位置に復帰させるようになしても差支えない。
トによれば、ウエハ検出ハンドをウエハ取り出しハンド
と兼用のアームでウエハ搬送動作中、その上面或いは下
面箇所に邪魔とならないよう配設させることを可能とな
して、コンパクト化が図れる。而して、この一体化は作
動操作が一定の順序に規制化されるものとなすから、誤
動作で制御操作中誤ってウエハ検出センサーが破損され
たりすることのないものであり、又占有設置面積を少な
く且つ低価格化のウエハマッピング作用の行われるもの
となるのである。一方ウエハ飛び出し検知機能について
も同様であって、ウエハの破損を生じさせることなく、
高い信頼性を持ったウエハ搬送装置を提供することがで
きるものとなる。他方、搬送システムの安定稼働に大き
く寄与することができるのである。
図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 ウエハ取出しハンドを備えたカセット前
面箇所で上下動するウエハ搬送ロボットに於いて、ウエ
ハ取出しハンドに対しウエハ検出ハンドを駆動軸の駆動
で一定範囲の揺動若しくは回動可能に取付けしめ、該ウ
エハ検出ハンドは投光器と受光器を一定の距離間で対向
配置させた透過式センサー、及び該透過式センサーの光
路と干渉しない箇所でセンサー光軸を鉛直となるように
した反射式センサーとを備える構成となしたことを特徴
とするウエハ搬送装置。 - 【請求項2】 ウエハ検出ハンドは0°〜180°の範
囲で揺動若しくは回動されることを特徴とした請求項1
記載のウエハ搬送装置。 - 【請求項3】 ウエハ検出ハンドをU字状に形成し、そ
の対向する先端部に投光器と受光器の透過式センサー
を、そして底面側中央に反射式センサーを備えたものと
なしたことを特徴とした請求項1又は2記載のウエハ搬
送装置。 - 【請求項4】 ウエハ取出しハンドを左右一対備えたも
のとなし、このうちの1つはコ字状アームに形成し、該
コ字状アームの上段側裏面部にウエハ検出ハンドを取付
けしめたことを特徴とする請求項1,2又は3記載のウ
エハ搬送装置。
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TWI398333B (zh) * | 2009-02-09 | 2013-06-11 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 機械手系統 |
CN107534009A (zh) * | 2015-04-27 | 2018-01-02 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机器人及衬底检测方法 |
CN111354668A (zh) * | 2018-12-24 | 2020-06-30 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 硅片传输系统及方法 |
CN113013075A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-06-22 | 上海广川科技有限公司 | 一种晶圆检测装置及方法 |
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1999
- 1999-11-29 JP JP33794499A patent/JP4352159B2/ja not_active Expired - Lifetime
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---|---|---|---|---|
KR20030095109A (ko) * | 2002-06-11 | 2003-12-18 | 동부전자 주식회사 | 웨이퍼 이송 장치 |
KR100885244B1 (ko) * | 2007-09-27 | 2009-02-24 | 세메스 주식회사 | 웨이퍼 이송장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법 |
TWI398333B (zh) * | 2009-02-09 | 2013-06-11 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 機械手系統 |
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CN107534009B (zh) * | 2015-04-27 | 2021-04-27 | 川崎重工业株式会社 | 衬底搬送机器人及衬底检测方法 |
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CN111354668B (zh) * | 2018-12-24 | 2023-09-29 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 硅片传输系统及方法 |
CN113013075A (zh) * | 2021-02-25 | 2021-06-22 | 上海广川科技有限公司 | 一种晶圆检测装置及方法 |
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