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JP2001030164A - Method and device for controlling rotation for lapping machine having a plurality of rotary shafts - Google Patents

Method and device for controlling rotation for lapping machine having a plurality of rotary shafts

Info

Publication number
JP2001030164A
JP2001030164A JP20483999A JP20483999A JP2001030164A JP 2001030164 A JP2001030164 A JP 2001030164A JP 20483999 A JP20483999 A JP 20483999A JP 20483999 A JP20483999 A JP 20483999A JP 2001030164 A JP2001030164 A JP 2001030164A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
rotating
sun gear
rotation
gear
internal gear
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP20483999A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Soichi Yokoyama
宗一 横山
Yasuhiro Shirokura
康弘 白倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsugami Corp
Original Assignee
Tsugami Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsugami Corp filed Critical Tsugami Corp
Priority to JP20483999A priority Critical patent/JP2001030164A/en
Publication of JP2001030164A publication Critical patent/JP2001030164A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and device for controlling rotation for lapping machine having a plurality of rotary shafts to reverse the work holder of the lapping machine to decrease the occurrence of a deviation in wear and choking to a lapping member. SOLUTION: A method for controlling lapping machine having a plurality of rotary shafts consists of a method wherein at least one rotatable independently from the other of an upper platen 5, a lower platen 3, a sun gear 9, and an internal gear 12 for a lapping machine 1 is reversible and a work holder 17 is switched from forward to reversing. A rotation control device for the lapping machine having a plurality of the rotary shafts contains a control part 30 to carry out the reversing.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、複数軸ラップ盤用
回転制御方法及び複数軸ラップ盤用回転制御装置に関す
る。
The present invention relates to a rotation control method for a multi-axis lapping machine and a rotation control device for a multi-axis lapping machine.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、上下定盤、サンギヤ及びイン
ターナルギヤ又は上下定盤及びサンギヤをそれらの軸を
中心にして所定方向へ所定速度で回転しワークにラップ
加工を行う遊星歯車方式のラップ盤が存在している。
2. Description of the Related Art Conventionally, a lap of a planetary gear system for lapping a work by rotating an upper / lower platen, a sun gear and an internal gear or an upper / lower platen and a sun gear in a predetermined direction about a shaft thereof at a predetermined speed. There is a board.

【0003】このラップ盤では、所定の時間前段ラップ
加工をした後に、上下定盤、サンギヤ及びインターナル
ギヤ又は上下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの回
転方向を変えずに自動的に回転速度を変えて本ラップ加
工を行い、その後にこれらを停止することを1バッチで
行うことができる。この1バッチによる加工のタイムチ
ャートが図4に示されている。この図で、ステップ1で
は上下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤが回転し始
め図示の前段ラップ回転速度に達し、所定時間それらの
回転が持続する状態を示し、ステップ2はステップ1の
状態から上下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの全
ての速度が増加した本ラップ回転速度に達し、それが所
定時間継続して最後には上下定盤、サンギヤ及びインタ
ーナルギヤの回転が停止されるまでの状態を示してい
る。
[0003] In this lapping machine, after pre-lapping for a predetermined time, the rotation speed is automatically increased without changing the rotation direction of the upper and lower stool, sun gear and internal gear or the upper and lower stool, sun gear and internal gear. Alternately, the main lap processing is performed, and thereafter, these can be stopped in one batch. FIG. 4 shows a time chart of the processing by one batch. In this figure, step 1 shows a state in which the upper and lower platens, the sun gear and the internal gear start to rotate, reach the preceding lap rotation speed shown in the drawing, and continue their rotation for a predetermined time. The state in which all the speeds of the surface plate, sun gear, and internal gear have reached the increased lap rotation speed, which continues for a predetermined time, and finally the rotation of the upper and lower surface plates, the sun gear, and the internal gear is stopped. Is shown.

【0004】所で、サンギヤとインターナルギヤと噛合
しているワークホルダが、上下定盤又は下定盤に設けら
れた例えば砥石などに対して常に同じ方向に自転と公転
を行うと、このワークホルダに装着されたワークが砥石
に対して同じ方向へ回転する。この回転を長時間行う
と、このワークの砥石に対する速度は砥石の内周側と外
周側とで異なるために、砥石のラップ面は中高又は外周
が高い円錐台に摩耗してしまいワークの平行度等の精度
が出にくくなる。又、砥石に対して同方向にワークを削
るため砥石に目詰まりが生じて砥石を早い時期に成形し
なければならなくなる。
When the work holder engaged with the sun gear and the internal gear always rotates and revolves in the same direction with respect to, for example, a grindstone provided on the upper and lower platens or the lower platen, this work holder The work mounted on the wheel rotates in the same direction with respect to the grindstone. If this rotation is performed for a long time, the speed of this work with respect to the grindstone is different between the inner and outer circumferences of the grindstone. Etc., it is difficult to obtain accuracy. Further, since the work is cut in the same direction with respect to the grindstone, the grindstone is clogged, and the grindstone must be formed at an early stage.

【0005】これを避けるために、ワークのワークホル
ダの自転及び公転に伴うワークの回転を時々逆にする方
法があるが、それは、上下定盤、サンギヤ及びインター
ナルギヤの少なくとも1個を逆転させることによって達
成できる。しかし、従来は、上下定盤、サンギヤ及びイ
ンターナルギヤの少なくとも1個をそれまで回転されて
いた方向とは逆に自動的に回転させるということは行わ
れておらず、この逆転のためにラップ盤を停止し、上下
定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの当該の少なくと
も1個の回転を所望の逆の回転速度に設定する必要があ
った。
In order to avoid this, there is a method of occasionally reversing the rotation of the work accompanying the rotation and revolving of the work holder of the work, but this involves reversing at least one of the upper and lower platen, the sun gear and the internal gear. Can be achieved by: However, conventionally, at least one of the upper and lower platens, the sun gear, and the internal gear has not been automatically rotated in a direction opposite to the direction in which it was rotated. It was necessary to stop the plate and set the rotation of at least one of the upper and lower platens, the sun gear and the internal gear to a desired reverse rotation speed.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記に鑑み
てなされたものであり、その課題は、ラップ盤上で1バ
ッチのラップ加工中に砥石などのラップ部材に対しワー
クホルダをそれまでと逆の方向へ回転可能にして、砥石
などに対するワークの回転を1バッチのラップ加工中に
行う複数回転軸ラップ盤用回転制御方法及び複数回転軸
ラップ盤用回転制御装置を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a work holder to a lap member such as a grindstone during one batch lap processing on a lapping machine. The present invention provides a rotation control method for a multi-spindle lapping machine and a rotation control device for a multi-spindle lapping machine, which are rotatable in a direction opposite to that of a grinding wheel and perform rotation of a workpiece with respect to a grindstone or the like during lapping of one batch. .

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転制御方
法は、共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ部材を有
する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲繞するイ
ンターナルギヤとを設け、該サンギヤと該インターナル
ギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに噛合する
ワークホルダを円周方向に配設し、該上及び下定盤、サ
ンギヤ並びにインターナルギヤがそれらの軸を中心にし
て他とは独立に回転する第1の場合では該上及び該下定
盤、該サンギヤ並びに該インターナルギヤを回転する第
1回転手段、第2回転手段、第3回転手段及び第4回転
手段を、前記上及び下定盤、サンギヤ並びにインターナ
ルギヤがそれらの軸を中心にして回転し該下定盤、サン
ギヤ及びインターナルギヤが他とは独立に回転する第2
の場合では該下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤを
回転する第2回転手段、第3回転手段及び第4回転手段
を、前記インターナルギヤが回転せず、前記上定盤、下
定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他とは独立
に回転する第3の場合では前記上定盤、下定盤及びサン
ギヤを回転する第1回転手段、第2回転手段及び第3回
転手段を、前記インターナルギヤが回転せず、前記下定
盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他とは独立に
回転する第4の場合は、前記下定盤及びサンギヤを回転
する第2回転手段及び第3回転手段を備えた複数回転軸
ラップ盤に用いられ、前記第1乃至第4の場合におい
て、他とは独立に回転される回転手段の内の少なくとも
1つを逆の方向へ回転させる逆転工程から構成される。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, a rotation control method for a multi-spindle lapping machine according to the present invention comprises an upper stool that can be coaxially arranged and a lower slab having a lap member on an upper surface. A sun gear and an internal gear that coaxially surrounds the sun gear are provided between the disk and the work gear, and a work holder that meshes with both gears with an external gear formed on the outer periphery between the sun gear and the internal gear is provided in a circumferential direction. The upper and lower stool, the sun gear and the internal gear in the first case where the upper and lower stool, the sun gear and the internal gear rotate independently of the others about their axes. The first and second rotating means, the third rotating means and the fourth rotating means are rotated by rotating the upper and lower platens, the sun gear and the internal gear about their axes. And inter Second Rugiya is rotating independently of the other
In the case of the lower platen, the second rotating means, the third rotating means and the fourth rotating means for rotating the sun gear and the internal gear, the internal gear does not rotate, the upper platen, the lower platen and the sun gear In the third case, which rotates independently of the others about these axes, the first rotating means, the second rotating means, and the third rotating means for rotating the upper surface plate, the lower surface plate, and the sun gear are connected to the internal In a fourth case in which the gear does not rotate and the lower platen and the sun gear rotate independently of the others about their axes, the second rotating means and the third rotating means for rotating the lower platen and the sun gear are provided. A reversing step of rotating at least one of the rotating means which is used independently in the first to fourth cases and which is rotated independently of the others in the first to fourth cases. .

【0008】前記逆転工程は、前記複数回転軸ラップ盤
のラップ加工開始から所定の時間経過後に行われること
が望ましい。
[0008] It is desirable that the reverse rotation step is performed after a lapse of a predetermined time from the start of lapping of the plurality of rotary shaft lapping machines.

【0009】本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転
制御装置は、共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ部
材を有する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲繞
するインターナルギヤとを設け、該サンギヤと該インタ
ーナルギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに噛
合するワークホルダを円周方向に配設して成り、該上及
び下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの軸
を中心にして他とは独立に回転する第1の場合には該上
及び下定盤、サンギヤ並びにインターナルギヤを所定回
転方向に所定回転速度で回転する第1回転手段、第2回
転手段、第3回転手段及び第4回転手段を、前記上及び
下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの内、前記下定
盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの軸を中心
にして他から独立に回転する第2の場合には該下定盤、
サンギヤ及びインターナルギヤを所定回転方向に所定回
転速度で回転する第2回転手段、第3回転手段及び第4
回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず前記上定
盤、下定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他と
は独立して回転する第3の場合には該上定盤、下定盤及
びサンギヤを所定方向に所定回転速度で回転する第1回
転手段、第2回転手段及び第3回転手段を、前記インタ
ーナルギヤが回転せず前記下定盤及びサンギヤが相互に
独立に回転する第4の場合には該下定盤及びサンギヤを
所定方向に所定速度で回転する第2回転手段及び第3回
転手段を具備する複数回転軸ラップ盤に用いられ、前記
第1の場合は、前記第1乃至第4回転手段それぞれに接
続されて対応回転手段に所定の回転方向と回転速度を与
える第1操作手段、第2操作手段、第3操作手段及び第
4操作手段と、前記第2の場合は、前記第2乃至第4回
転手段それぞれに接続される第2操作手段、第3操作手
段及び第4操作手段と、前記第3の場合は、前記第1乃
至第3回転手段に接続される第1操作手段、第2操作手
段及び第3操作手段と、前記第4の場合は前記第2及び
第3回転手段に接続される第2操作手段及び第3操作手
段とを有し、前記第1乃至第4操作手段に接続され対応
の回転手段の回転方向及び回転速度に対応する操作信号
を対応の操作手段に送り、前記第1の場合は前記第1及
び第4回転手段の内の少なくとも1つを、前記第2の場
合は前記第2乃至第4回転手段の内の少なくとも1つ
を、前記第3の場合は前記第1乃至第3回転手段の内の
少なくとも1つを、前記第4の場合は前記第2及び第3
回転手段の内の少なくとも1つを逆転させる逆転信号を
対応の操作手段に送る制御手段とから成る制御部を具備
して成る。
A rotation control apparatus for a lapping machine having a plurality of rotary shafts according to the present invention comprises a sun gear between an upper surface plate which can be disposed coaxially and a lower surface plate having a lap member on the upper surface, and an intershaft which surrounds the sun gear. A null gear, and a work holder meshing with both gears with an external gear formed on the outer periphery between the sun gear and the internal gear is provided in the circumferential direction, the upper and lower platens, the sun gear and A first rotating means for rotating the upper and lower platens, the sun gear and the internal gear at a predetermined rotation speed in a predetermined rotation direction in a first case where the internal gear rotates independently of the others about their axes; , The second rotating means, the third rotating means and the fourth rotating means, the upper and lower stool, the sun gear and the internal gear, the lower stool, the sun gear and the internal gear are arranged around their axes from the other. Independence Lower platen in the second case to be rotated,
A second rotating means, a third rotating means, and a fourth rotating means for rotating the sun gear and the internal gear in a predetermined rotation direction at a predetermined rotation speed.
In the third case where the upper and lower stool and the sun gear rotate independently of the other around the axis without rotating the internal gear, the upper and lower stool And a first rotating means, a second rotating means, and a third rotating means for rotating the sun gear in a predetermined direction at a predetermined rotation speed, by rotating the lower platen and the sun gear independently of each other without rotating the internal gear. In the case of (1), the lower platen and the sun gear are used in a multi-rotation shaft lapping machine having a second rotating means and a third rotating means for rotating the sun gear in a predetermined direction at a predetermined speed. A first operating means, a second operating means, a third operating means, and a fourth operating means connected to each of the fourth rotating means and providing a predetermined rotating direction and a rotating speed to the corresponding rotating means; and in the second case, For each of the second to fourth rotating means A second operating means, a third operating means, and a fourth operating means which are connected, and, in the third case, a first operating means, a second operating means, and a third operating means which are connected to the first to third rotating means. Operating means, and in the fourth case, a second operating means and a third operating means connected to the second and third rotating means, and a corresponding rotating means connected to the first to fourth operating means. An operation signal corresponding to the rotation direction and the rotation speed of the means is sent to the corresponding operation means, and at least one of the first and fourth rotation means in the first case, and the second signal in the second case, At least one of the second to fourth rotating means, in the third case at least one of the first to third rotating means, and in the fourth case, the second and third rotating means.
Control means for sending a reversing signal for reversing at least one of the rotating means to the corresponding operating means.

【0010】前記逆転信号は、逆転方向と所定の回転速
度に対応する信号である。
[0010] The reverse rotation signal is a signal corresponding to the reverse rotation direction and a predetermined rotation speed.

【0011】また、前記制御手段は前記逆転信号を前記
複数軸ラップ盤がラッピング加工を開始してから所定の
時間後に対応の操作手段へ送るようになっていることが
望ましい。
Preferably, the control means sends the reverse rotation signal to a corresponding operation means a predetermined time after the multi-axis lapping machine starts lapping.

【0012】前記第1乃至第4回転手段はサーボモータ
から成り、前記第1乃至4操作手段は操作信号に応じた
動力を発生するサーボアンプから成り、前記第1乃至第
4検知手段は対応のサーボモータの回転数を検出する回
転数検出器から成ることが望ましい。
The first to fourth rotating means comprise a servomotor, the first to fourth operating means comprise a servo amplifier for generating a power according to an operation signal, and the first to fourth detecting means correspond to corresponding ones. It is desirable to include a rotation speed detector for detecting the rotation speed of the servomotor.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下、図1乃至図3を参照して本
発明を1実施形態に基づいて説明する。図1は、本発明
の1実施形態の概略図であり、図2は本発明が適用され
る双頭ラップ盤の主要部の、上定盤を外した時の平面図
である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below based on one embodiment with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic view of one embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view of a main part of a double-headed lapping machine to which the present invention is applied, with an upper surface plate removed.

【0014】図1及び図2に示すように、双頭ラップ盤
1は、上面に環状の砥石2を有する円盤状下定盤3とこ
れと共軸にその上方に配置でき下面環状の砥石4を有す
る上定盤5とを備えている。下定盤3は下定盤主軸
(軸)6と歯車列8を介してサーボモータ7により回転
される。下定盤3の上方にこれと共軸にサンギヤ9を設
けている。図1に示すように、このサンギヤ9は、例え
ば、下定盤主軸6を貫通するサンギヤ主軸(軸)10を
介してサーボモータ11により回転される。
As shown in FIGS. 1 and 2, the double-headed lapping machine 1 has a disk-shaped lower surface plate 3 having an annular grindstone 2 on the upper surface, and a lower annular grindstone 4 which can be arranged coaxially with and above the lower surface plate. An upper surface plate 5 is provided. The lower surface plate 3 is rotated by a servomotor 7 via a lower surface plate main shaft (axis) 6 and a gear train 8. A sun gear 9 is provided above the lower surface plate 3 and coaxially therewith. As shown in FIG. 1, the sun gear 9 is rotated by a servomotor 11 via a sun gear main shaft (shaft) 10 penetrating through the lower surface plate main shaft 6, for example.

【0015】図1及び2に示すように、インターナルギ
ヤ12が、サンギヤ9を囲繞してこれと共軸にラップ盤
機台13上に配設されている。このインターナルギヤ1
2は外周に外歯14が形成されており、これにサーボモ
ータ15の歯車16に噛合して、このサーボモータ15
により自らの軸を中心にして回転される。
As shown in FIGS. 1 and 2, an internal gear 12 surrounds the sun gear 9 and is coaxially disposed on the lapping machine 13. This internal gear 1
2 has external teeth 14 formed on the outer periphery thereof, meshing with gears 16 of a servo motor
Is rotated about its own axis.

【0016】サンギヤ9とインターナルギヤ12との間
の環状空間に円盤状の複数のワークホルダ17が円周方
向に配設されており、それらの外周に形成された外歯歯
車部18がサンギヤ9及びインターナルギヤ12に噛合
しており、両ギヤ9及び12の相対的な回転運動によっ
てワークホルダ17が自転と公転を行うようになってい
る。各ワークホルダ17にワーク19を挿入するワーク
挿入孔20が円周方向に配設されている。
A plurality of disk-shaped work holders 17 are arranged in a circumferential direction in an annular space between the sun gear 9 and the internal gear 12, and an external gear portion 18 formed on the outer periphery thereof has a sun gear. 9 and the internal gear 12, and the work holder 17 rotates and revolves by the relative rotational movement of the two gears 9 and 12. A work insertion hole 20 for inserting a work 19 into each work holder 17 is provided in the circumferential direction.

【0017】図1を参照して、上定盤5は、サンギヤ主
軸10と共軸に設置できる上定盤主軸(軸)21を有す
る。この主軸21は図示していない定盤主軸ハウジング
に回転可能に支承された円筒状の主軸受け22を挿通し
ている。主軸受け22の上端に歯車23を設け、これに
サーボモータ24の歯車25が噛合している。主軸受け
22の下端にフランジ26を設けている。主軸21にフ
ランジ26の下方に位置するフランジ27が形成され、
スライダ28によって、フランジ27フランジ26の下
方に位置するフランジ27にスライダ28に対し不回転
であるが昇降可能に接続されている。従って、サーボモ
ータ24の回転によって、主軸受け22、フランジ2
6、スライダ28及びフランジ27を介して上定盤主軸
21が回転され、上定盤21即ち砥石4を同方向速度で
回転させる。なお、サーボモータ24、7、11及び1
5は、それぞれ、第1、第2、第3及び第4回転手段の
例である。
Referring to FIG. 1, upper surface plate 5 has an upper surface plate main shaft (axis) 21 which can be installed coaxially with sun gear main shaft 10. The main shaft 21 has a cylindrical main bearing 22 rotatably supported by a base main shaft housing (not shown) inserted therethrough. A gear 23 is provided at the upper end of the main bearing 22, and a gear 25 of a servo motor 24 meshes with the gear 23. A flange 26 is provided at the lower end of the main bearing 22. A flange 27 located below the flange 26 is formed on the main shaft 21,
The slider 28 is non-rotatably connected to the flange 27 located below the flange 26 so as to be able to move up and down with respect to the slider 28. Therefore, the rotation of the servo motor 24 causes the main bearing 22 and the flange 2 to rotate.
6. The upper surface plate main shaft 21 is rotated via the slider 28 and the flange 27, and the upper surface plate 21, that is, the grindstone 4 is rotated at the same speed. The servo motors 24, 7, 11, and 1
5 is an example of the first, second, third and fourth rotating means, respectively.

【0018】上定盤主軸21の上端に、ピストン−シリ
ンダ・アセンブリー29が設けられており、上定盤主軸
21と共に上定盤5と砥石4を昇降させるようになって
いる。そして、ピストン−シリンダ・アセンブリー29
によって上定盤5を下降させて砥石4の下面をワーク1
9に押圧することができる。
A piston-cylinder assembly 29 is provided at the upper end of the upper surface plate main shaft 21 so that the upper surface plate 5 and the grindstone 4 can be moved up and down together with the upper surface plate main shaft 21. And the piston-cylinder assembly 29
The upper platen 5 is moved down to lower the grinding wheel 4 on the work 1
9 can be pressed.

【0019】次に、この双頭ラップ盤1に用いられる制
御部30を説明する。図1において、制御部30は、制
御手段を構成するメインコントローラ31と、サーボア
ンプ32、33、34及び35と、回転数検出器36、
37、38及び39とから成る。
Next, the control unit 30 used in the double-head lapping machine 1 will be described. In FIG. 1, a control unit 30 includes a main controller 31 constituting a control unit, servo amplifiers 32, 33, 34 and 35, a rotation speed detector 36,
37, 38 and 39.

【0020】サーボアンプ32、33、34及び35
は、それらの出力側が、それぞれ、サーボモータ11、
24、15及び7の入力側に接続され、これらのサーボ
モータは、操作信号に応じた動力を発生し、特に、対応
のサーボモータの回転速度に対応する電圧増幅を行う。
対応のサーボモータは増幅された電圧を受けて所定の方
向に所定の回転速度で回転する。ここで、サーボアンプ
33、35、32及び34は、それぞれ、第1操作手
段、第2操作手段、第3操作手段及び第4操作手段の例
である。
Servo amplifiers 32, 33, 34 and 35
Indicates that their output sides are servo motors 11,
Connected to the inputs of 24, 15 and 7, these servo motors generate power according to the operation signal and, in particular, perform voltage amplification corresponding to the rotation speed of the corresponding servo motor.
The corresponding servomotor receives the amplified voltage and rotates in a predetermined direction at a predetermined rotation speed. Here, the servo amplifiers 33, 35, 32, and 34 are examples of a first operation unit, a second operation unit, a third operation unit, and a fourth operation unit, respectively.

【0021】回転数検出器37、39、36及び38
は、それぞれ、サーボモータ24、7、11及び15に
接続されて、対応のサーボモータの回転速度を検出する
ものであって、それぞれ、第1回転数検知手段、第2回
転数検知手段、第3回転数検知手段及び第4回転数検知
手段の例である。
The rotation speed detectors 37, 39, 36 and 38
Are connected to the servo motors 24, 7, 11, and 15, respectively, to detect the rotation speeds of the corresponding servo motors. The first rotation speed detection unit, the second rotation speed detection unit, It is an example of a 3rd rotation speed detection means and a 4th rotation speed detection means.

【0022】メインコントローラ31は、サーボアンプ
32、33、34及び35の入力部に接続され、同時に
対応のサーボアンプに対応のサーボモータの所定方向及
び定速度に対応する回転信号を出す。そして、各サーボ
モータの回転数が所定の大きさになるまでと他の所定速
度になるまでと所定の速度から零になるまでこれらの回
転数を同期して増加させ、減少させる機能を有する。
The main controller 31 is connected to the input sections of the servo amplifiers 32, 33, 34 and 35, and simultaneously outputs a rotation signal corresponding to a predetermined direction and a constant speed of the servo motor corresponding to the corresponding servo amplifier. Then, the servo motors have a function of synchronously increasing and decreasing the rotation speeds of the respective servo motors until the rotation speeds reach a predetermined magnitude, another predetermined speed, and from the predetermined speed to zero.

【0023】メインコントローラ31は、又、回転数検
出器36、37、38及び39の出力側に接続され、こ
れらの検出器から出力された対応のサーボモータの回転
速度及び回転方向を示す信号と予め設定されている対応
のサーボモータの回転速度及び回転方向と比較し、相違
があれば、補正の信号をサーボアンプ33に送って対応
のサーボモータの回転速度と回転方向を補正する機能を
有する。
The main controller 31 is also connected to the output side of the rotation speed detectors 36, 37, 38 and 39, and outputs a signal indicating the rotation speed and the rotation direction of the corresponding servo motor output from these detectors. It has a function of comparing the rotation speed and rotation direction of the corresponding servo motor set in advance and, if there is a difference, sending a correction signal to the servo amplifier 33 to correct the rotation speed and rotation direction of the corresponding servo motor. .

【0024】メインコントローラ31は、精密圧力方向
制御弁40を介してピストン−シリンダ・アセンブリー
29の上下動を所定時間に制御するようになっている。
The main controller 31 controls the vertical movement of the piston-cylinder assembly 29 through a precision pressure directional control valve 40 for a predetermined time.

【0025】このメインコントローラ31は、今まで行
われてきた上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びインタ
ーナルギヤ12の内の少なくとも1つを所定回転速度で
逆転させる機能を有する。この場合は、メインコントロ
ーラ31は、全サーボモータを対応のサーボアンプを介
して停止し、上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びイン
ターナルギヤ12の内の上記の少なくとも1つの回転方
向及び回転速度を設定し直し、上定盤5、下定盤3、サ
ンギヤ9及びインターナルギヤ12の運転を再開する。
この逆転の回転速度は、ワークホルダ17を今までとは
逆方向に所定の速度で自転及び公転させるように選定さ
れる。そして、この逆転の時間もメインコントローラ3
1で制御される。ワークホルダ17内のワーク19も対
向面が砥石2及び4のラップ面に圧接されてワークホル
ダ17と同じに回転される。このため、砥石2及び4の
ラップ面が凹状又は凸状の円錐台形に摩耗したり、目詰
まりを起こしてしまって成形し直さなければならないこ
とが、操作者がこの逆転時に上定盤5、下定盤3、サン
ギヤ9及びインターナルギヤ12の上記の少なくとも1
つの逆転と速度を設定し直すことをせずに、長期にわた
って避けられる。このことは、砥石の次の成形作業まで
の時間間隔を長大にすることと、逆転回転のためのロス
時間を極端に減少させるためにラップ盤の生産性を高め
るばかりでなく、人件費のコストダウンになる。
The main controller 31 has a function of reversing at least one of the upper platen 5, the lower platen 3, the sun gear 9, and the internal gear 12, which has been performed so far, at a predetermined rotational speed. In this case, the main controller 31 stops all the servo motors via the corresponding servo amplifiers, and rotates at least one of the upper surface plate 5, the lower surface plate 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 in at least one rotation direction. The rotation speed is reset, and the operations of the upper stool 5, the lower stool 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 are restarted.
The rotation speed of the reverse rotation is selected so that the work holder 17 rotates and revolves at a predetermined speed in a direction opposite to the conventional rotation. The time of this reversal is also changed by the main controller 3
1 is controlled. The work 19 in the work holder 17 is also rotated in the same manner as the work holder 17 with the opposing surface pressed against the lap surfaces of the grindstones 2 and 4. For this reason, the lap surface of the grindstones 2 and 4 wears into a concave or convex frustoconical shape or becomes clogged, and the molding must be performed again. At least one of the lower surface plate 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 described above.
One can avoid for a long time without having to reverse and reset the speed. This not only increases the time interval between the grinding operations of the grinding wheel but also increases the productivity of the lapping machine by greatly reducing the loss time for the reverse rotation, as well as the labor cost. Go down.

【0026】以下に、図4のタイムチャートを参照し
て、本発明の方法と装置の作動について説明する。ま
ず、時間Aですべてのサーボモータ7、11、15及び
24の回転を開始する。メインコントローラ31の回転
制御信号により上定盤5、下定盤3、サンギヤ9及びイ
ンターナルギヤ12の回転は同調が取られて増加し、時
間Bで図示のように所定の前段の回転速度に達し、所定
の時間Cに達するまで持続する。ここで、時間Aから時
間C間でのステップをステップ1と名付ける。
The operation of the method and apparatus of the present invention will be described below with reference to the time chart of FIG. First, at time A, the rotations of all the servo motors 7, 11, 15, and 24 are started. The rotations of the upper stool 5, the lower stool 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 are synchronized and increased by the rotation control signal of the main controller 31, and reach a predetermined preceding stage rotation speed at time B as shown in the figure. , Until a predetermined time C is reached. Here, a step between time A and time C is referred to as step 1.

【0027】次に、時間Cから時間Dまでの間にメイン
コントローラ31の回転制御信号により、下定盤3、サ
ンギヤ9及びインターナルギヤ12の回転を増加させ、
時間Dで本番の回転数に達し、これが時間Eまで持続さ
れ、本番のラップ加工が行われる。ここで、時間Cから
時間Eまでのステップをステップ2と名付ける。
Next, during the period from time C to time D, the rotation of the lower platen 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 is increased by the rotation control signal of the main controller 31,
At time D, the actual number of revolutions is reached, which is maintained until time E, and the actual lapping is performed. Here, the step from time C to time E is named step 2.

【0028】時間Eでサンギヤ9と上定盤5がメインコ
ントローラ31によって逆転される共に下定盤3及びイ
ンターナルギヤ12の回転が減少するが方向は同じであ
る。時間Eから時間Fまで上定盤5、下定盤3、サンギ
ヤ9及びインターナルギヤ12の回転が同調を取られて
変化し図示の所定値に達する。ここで、上定盤5、下定
盤3、サンギヤ9及びインターナルギヤ12の回転数は
図示の通りになり、時間Gまで維持される。時間Fから
時間Gまでの間にワークホルダ17は所定回転速度で逆
回転し、砥石面が傾斜して磨耗したり、これに目詰まり
が生じるのを長期間阻止できる。時間Gから上定盤5、
下定盤3、サンギヤ9及びインターナルギヤ12の回転
は漸次減少され、時間Hで停止する。ここで、時間Eか
ら時間Hまでのステップをステップ3と名付ける。
At time E, the sun gear 9 and the upper stool 5 are reversed by the main controller 31 and the rotations of the lower stool 3 and the internal gear 12 decrease, but in the same direction. From time E to time F, the rotations of the upper stool 5, the lower stool 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 are synchronized and change to reach a predetermined value as shown. Here, the rotation speeds of the upper stool 5, the lower stool 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 are as illustrated, and are maintained until time G. From time F to time G, the work holder 17 rotates reversely at a predetermined rotation speed, and it is possible to prevent the grindstone surface from being worn due to inclination and clogging thereof for a long time. From time G to upper platen 5,
The rotations of the lower platen 3, the sun gear 9, and the internal gear 12 gradually decrease, and stop at time H. Here, a step from time E to time H is referred to as step 3.

【0029】以上の各ステップにおける上下盤、サンギ
ヤ、インターナルギヤの回転数、ワークホルダの自転及
び公転、加工時間の例は次の通りである。ステップ 1 上定盤の回転数 −18 回転/分 下定盤の回転数 20 回転/分 サンギヤの回転数 −12 回転/分 インターナルギヤの回転数 12 回転/分 ワークホルダの公転 6 回転/分 ワークホルダの自転 18 回転/分 加工時間 150 秒ステップ 2 上定盤の回転数 −23 回転/分 下定盤の回転数 25 回転/分 サンギヤの回転数 −18 回転/分 インターナルギヤの回転数 18 回転/分 ワークホルダの公転 9 回転/分 ワークホルダの自転 27 回転/分 加工時間 100 秒ステップ 3 上定盤の回転数 −20 回転/分 下定盤の回転数 20 回転/分 サンギヤの回転数 10 回転/分 インターナルギヤの回転数 −18 回転/分 ワークホルダの公転 −11 回転/分 ワークホルダの自転 −21 回転/分 加工時間 150 秒 この例によると、ワークホルダの自転及び公転は、サン
ギヤ9とインターナルギヤ12の逆転によって、逆転さ
れることが分かる。
Examples of the rotation speeds of the upper and lower plates, the sun gear, the internal gear, the rotation and revolution of the work holder, and the processing time in each of the above steps are as follows. Step 1 Number of rotations of upper platen -18 rotations / minute Number of rotations of lower platen 20 rotations / minute Number of rotations of sun gear -12 rotations / minute Number of rotations of internal gear 12 rotations / minute Revolution of work holder 6 rotations / minute Workpiece Rotation of the holder 18 rotations / minute Processing time 150 seconds Step 2 Upper surface plate rotation speed -23 rotations / minute Lower platen rotation speed 25 rotations / minute Sun gear rotation speed -18 rotations / minute Internal gear rotation speed 18 rotations / Rotation of the work holder 9 rotations / minute rotation of the work holder 27 rotations / minute machining time 100 seconds step 3 rotation speed of the upper surface plate -20 rotations / minute rotation speed of the lower surface plate 20 rotations / minute rotation speed of the sun gear 10 rotations / Min Internal gear rotation speed -18 rotation / min Work holder revolution -11 rotation / min Work holder rotation -21 rotation / min Machining time 150 seconds This example According to the above, it is understood that the rotation and the revolution of the work holder are reversed by the reverse rotation of the sun gear 9 and the internal gear 12.

【0030】図3の例では、1バッチに工程は、前段加
工のステップ1、本加工のステップ2と逆転加工のステ
ップ3の3ステップになっているが、これに限らず、ラ
ップ加工条件に応じて、正転ステップ数を増減したり、
逆転ステップ数を増加させたりすることができる。
In the example shown in FIG. 3, the process in one batch includes three steps, ie, step 1 of the pre-process, step 2 of the main process, and step 3 of the reverse process. However, the present invention is not limited to this. Depending on the number of forward rotation steps,
It is possible to increase the number of reversal steps.

【0031】更に、ワークホルダの逆回転を行うこと
は、インターナルギヤを機台に固定して回転させず、上
下定盤及びサンギヤを互いから独立して回転させる形式
の双頭ラップ盤では、上下定盤及びサンギヤの内の少な
くとも1つを所定方向へ逆転させることによって達成す
ることができる。
Further, the reverse rotation of the work holder is performed by using a double-headed lapping machine in which the upper and lower platens and the sun gear are rotated independently of each other without fixing the internal gear to the machine base and rotating. This can be achieved by reversing at least one of the surface plate and the sun gear in a predetermined direction.

【0032】また、下定盤、サンギヤ及びインターナル
ギヤを他から独立に回転し、上定盤を下定盤、サンギヤ
及びインターナルギヤの回転によって定められる公転に
合わせて回転し、定盤下面に回転自在に設けられた押し
板でワークを加圧する形式の片面ラップ盤では、下定
盤、サンギヤ及びインターナルギヤの内の少なくとも1
つを所定回転で逆転させればよい。
Further, the lower platen, the sun gear and the internal gear rotate independently of each other, and the upper platen rotates in accordance with the revolution determined by the rotation of the lower platen, the sun gear and the internal gear, and rotates on the lower surface of the platen. In a single-sided lapping machine in which a work is pressed by a freely provided pressing plate, at least one of a lower surface plate, a sun gear and an internal gear is selected.
One may be reversed by a predetermined rotation.

【0033】さらに、インターナルギヤを機台に固定し
て回転させず、下定盤及びサンギヤ他から独立に回転
し、上定盤を下定盤、サンギヤの回転によって定められ
る公転に合わせて回転し、定盤下面に回転自在に設けら
れた押し板でワークを加圧する形式の片面ラップ盤で
は、下定盤及びサンギヤの内の少なくとも1つを所定回
転で逆転させることによって、ワークホルダを逆転させ
ることができる。
Further, the internal gear is fixed to the machine base and does not rotate, but rotates independently of the lower platen and the sun gear, and the upper platen rotates in accordance with the revolution determined by the rotation of the lower platen and the sun gear. In a single-sided lapping machine in which a work is pressed by a push plate rotatably provided on the lower surface of the surface plate, the work holder can be reversed by reversing at least one of the lower surface plate and the sun gear at a predetermined rotation. it can.

【0034】定盤に設けるラップ材は、砥石のみならず
研磨布などでも良く、これらを総称してラップ部材と称
することにする。
The lapping material provided on the surface plate may be not only a grindstone but also a polishing cloth or the like, and these are collectively referred to as a lapping member.

【0035】[0035]

【発明の効果】本発明においては、上下定盤、サンギヤ
及びインターナルギヤの内の他から独立して回転するも
のの少なくとも1つを逆転させてワークホルダの自転及
び公転を逆転させるものであるから、ラップ部材の偏っ
た磨耗や目詰まりを長期に渡って防止できるという効果
がある。また、これによって再成形までの期間を長くす
ることができるという効果もある。さらに、これらの効
果に加えて、正逆転がタイムロス無しに行われることに
よりラップ盤の生産性を向上させるという効果もある。
更に、上記に切換が人手無しに自動的に行われることか
ら人件費を低減できるという効果もある。
In the present invention, at least one of the upper and lower platens, the sun gear and the internal gear, which rotates independently from the others, is reversed to reverse the rotation and revolution of the work holder. There is an effect that uneven wear and clogging of the wrap member can be prevented for a long period of time. This also has the effect that the period until reshaping can be lengthened. Further, in addition to these effects, there is also an effect that the productivity of the lapping machine is improved by performing the normal / reverse rotation without time loss.
Further, since the switching is automatically performed without any manual operation, there is an effect that labor costs can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転制御
装置の1実施形態の概略説明図である。
FIG. 1 is a schematic explanatory view of one embodiment of a rotation control device for a multi-spindle lapping machine according to the present invention.

【図2】図1のラップ盤の、上定盤を外した時の平面図
である。
FIG. 2 is a plan view of the lapping machine of FIG. 1 when an upper surface plate is removed.

【図3】本発明に基づく複数回転軸ラップ盤用回転制御
法の実施形態の1例のタイムチャートである。
FIG. 3 is a time chart of an example of an embodiment of a rotation control method for a multi-spindle lapping machine according to the present invention.

【図4】従来の実施例のタイムチャートである。FIG. 4 is a time chart of a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 双頭ラップ盤 2 砥石 3 下定盤 4 砥石 5 上定盤 6 下定盤主軸 7 サーボモータ 9 サンギヤ 10 サンギヤ主軸 11 サーボモータ 12 インターナルギヤ 13 ラップ盤機台 14 外歯 15 サーボモータ 17 ワークホルダ 18 外歯歯車部 19 ワーク 20 ワーク挿入孔 21 上定盤主軸 24 サーボモータ 29 ピストン−シリンダ・アセンブリー 30 制御部 31 メインコントローラ 32−35 サーボアンプ 36−39 回転数検出器 40 精密圧力方向制御弁 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Double-headed lapping machine 2 Whetstone 3 Lower surface plate 4 Whetstone 5 Upper surface plate 6 Lower surface plate main shaft 7 Servo motor 9 Sun gear 10 Sun gear main shaft 11 Servo motor 12 Internal gear 13 Lap machine stand 14 External teeth 15 Servo motor 17 Work holder 18 Outside Tooth gear portion 19 Work 20 Work insertion hole 21 Upper surface plate main spindle 24 Servo motor 29 Piston-cylinder assembly 30 Control unit 31 Main controller 32-35 Servo amplifier 36-39 Rotation speed detector 40 Precision pressure direction control valve

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ
部材を有する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲
繞するインターナルギヤとを設け、該サンギヤと該イン
ターナルギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに
噛合するワークホルダを円周方向に配設し、該上及び下
定盤、サンギヤ並びにインターナルギヤがそれらの軸を
中心にして他とは独立に回転する第1の場合では該上及
び該下定盤、該サンギヤ並びに該インターナルギヤを回
転する第1回転手段、第2回転手段、第3回転手段及び
第4回転手段を、前記上及び下定盤、サンギヤ並びにイ
ンターナルギヤがそれらの軸を中心にして回転し該下定
盤、サンギヤ及びインターナルギヤが他とは独立に回転
する第2の場合では該下定盤、サンギヤ及びインターナ
ルギヤを回転する第2回転手段、第3回転手段及び第4
回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず、前記上
定盤、下定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他
とは独立に回転する第3の場合では前記上定盤、下定盤
及びサンギヤを回転する第1回転手段、第2回転手段及
び第3回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず、
前記下定盤及びサンギヤがそれらの軸を中心にして他と
は独立に回転する第4の場合は、前記下定盤及びサンギ
ヤを回転する第2回転手段及び第3回転手段を備えた複
数回転軸ラップ盤の複数回転軸の回転制御方法であっ
て、 前記第1乃至第4の場合において、他とは独立に回転さ
れる回転手段の内の少なくとも1つを逆の方向へ回転さ
せる逆転工程を含む複数回転軸ラップ盤用回転制御方
法。
1. A sun gear and an internal gear that coaxially surrounds the sun gear between an upper surface plate that can be arranged coaxially and a lower surface plate that has a wrap member on the upper surface, wherein the sun gear and the internal gear A work holder that meshes with both gears with an external gear formed on the outer periphery between them is arranged in the circumferential direction, and the upper and lower platens, the sun gear, and the internal gear are independent of each other about their axes. In the first case, the first and second rotating means, the third rotating means, and the fourth rotating means for rotating the upper and lower stool, the sun gear, and the internal gear are moved to the upper and lower stool. In the second case where the platen, sun gear and internal gear rotate about their axes and the lower platen, sun gear and internal gear rotate independently of the others, the lower platen, sun gear and internal gear rotate. First 2 rotation means, 3rd rotation means and 4th rotation means
In the third case, in which the internal gear does not rotate and the upper platen, lower platen and sun gear rotate independently of the other around the axis, the upper platen, lower platen and The first rotating means, the second rotating means, and the third rotating means for rotating the sun gear, the internal gear does not rotate,
In a fourth case in which the lower platen and the sun gear rotate independently of each other about their axes, a plurality of rotary shaft wraps provided with second rotating means and third rotating means for rotating the lower platen and the sun gear A method for controlling the rotation of a plurality of rotating shafts of a board, the method including a reversing step of rotating at least one of rotating means independently rotated in the opposite direction in the first to fourth cases. Rotation control method for multiple rotating shaft lapping machine.
【請求項2】 前記逆転工程は、前記複数回転軸ラップ
盤のラップ加工開始から所定の時間経過後に行われる請
求項1に記載の複数回転軸ラップ盤用回転制御方法。
2. The method according to claim 1, wherein the reversing step is performed after a lapse of a predetermined time from the start of lapping of the plurality of rotary lapping machines.
【請求項3】 共軸に配置し得る上定盤と上面にラップ
部材を有する下定盤との間にサンギヤとこれを共軸に囲
繞するインターナルギヤとを設け、該サンギヤと該イン
ターナルギヤとの間に外周に形成した外歯車で両ギヤに
噛合するワークホルダを円周方向に配設して成り、該上
及び下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの
軸を中心にして他とは独立に回転する第1の場合には該
上及び下定盤、サンギヤ並びにインターナルギヤを所定
回転方向に所定回転速度で回転する第1回転手段、第2
回転手段、第3回転手段及び第4回転手段を、前記上及
び下定盤、サンギヤ及びインターナルギヤの内、前記下
定盤、サンギヤ及びインターナルギヤがそれらの軸を中
心にして他から独立に回転する第2の場合には該下定
盤、サンギヤ及びインターナルギヤを所定回転方向に所
定回転速度で回転する第2回転手段、第3回転手段及び
第4回転手段を、前記インターナルギヤが回転せず前記
上定盤、下定盤及びサンギヤがこれらの軸を中心にして
他とは独立して回転する第3の場合には該上定盤、下定
盤及びサンギヤを所定方向に所定回転速度で回転する第
1回転手段、第2回転手段及び第3回転手段を、前記イ
ンターナルギヤが回転せず前記下定盤及びサンギヤが相
互に独立に回転する第4の場合には該下定盤及びサンギ
ヤを所定方向に所定速度で回転する第2回転手段及び第
3回転手段を具備する複数回転軸ラップ盤用回転制御装
置であって、 前記第1の場合は、前記第1乃至第4回転手段それぞれ
に接続されて対応回転手段に所定の回転方向と回転速度
を与える第1操作手段、第2操作手段、第3操作手段及
び第4操作手段と、前記第2の場合は、前記第2乃至第
4回転手段それぞれに接続される第2操作手段、第3操
作手段及び第4操作手段と、前記第3の場合は、前記第
1乃至第3回転手段に接続される第1操作手段、第2操
作手段及び第3操作手段と、前記第4の場合は前記第2
及び第3回転手段に接続される第2操作手段及び第3操
作手段と、 前記第1乃至第4操作手段に接続され対応の回転手段の
回転方向及び回転速度に対応する操作信号を対応の操作
手段に送り、前記第1の場合は前記第1乃至第4回転手
段の内の少なくとも1つを、前記第2の場合は前記第2
乃至第4回転手段の内の少なくとも1つを、前記第3の
場合は前記第1乃至第3回転手段の内の少なくとも1つ
を、前記第4の場合は前記第2及び第3回転手段の内の
少なくとも1つを逆転させる逆転信号を対応の操作手段
に送る制御手段とから成る制御部を具備する複数回転軸
ラップ盤用制御装置。
3. A sun gear and an internal gear that coaxially surrounds the sun gear between an upper surface plate that can be coaxially disposed and a lower surface plate that has a wrap member on the upper surface, wherein the sun gear and the internal gear A work holder meshing with both gears is provided in the circumferential direction with an external gear formed on the outer periphery between the upper and lower platens, the sun gear, and the internal gear. A first rotating means for rotating the upper and lower platens, the sun gear and the internal gear at a predetermined rotation speed in a predetermined rotation direction in a first case of independently rotating;
The rotating means, the third rotating means and the fourth rotating means rotate the upper and lower stool, the sun gear and the internal gear, the lower stool, the sun gear and the internal gear independently of each other about their axes. In the second case, the lower gear, the sun gear, and the internal gear are rotated in a predetermined rotation direction at a predetermined rotation speed by a second rotation means, a third rotation means, and a fourth rotation means. In the third case, the upper platen, the lower platen and the sun gear rotate independently of the others about these axes, and the upper platen, the lower platen and the sun gear rotate in a predetermined direction at a predetermined rotational speed. In the fourth case in which the lower surface plate and the sun gear rotate independently of each other without rotating the internal gear, the lower surface plate and the sun gear Predetermined in direction A rotation control device for a multi-spindle lapping machine, comprising a second rotation means and a third rotation means rotating at an angle, wherein the first case is connected to and corresponds to each of the first to fourth rotation means. A first operating means, a second operating means, a third operating means, and a fourth operating means for giving a predetermined rotating direction and a rotating speed to the rotating means; and in the second case, the second to fourth rotating means. The second operating means, the third operating means, and the fourth operating means connected to each other, and in the third case, the first operating means, the second operating means, and the third operating means connected to the first to third rotating means. Operating means, and in the fourth case, the second
And a second operating means and a third operating means connected to the third rotating means, and an operating signal corresponding to the rotation direction and the rotating speed of the corresponding rotating means connected to the first to fourth operating means and corresponding operation. Means, at least one of the first to fourth rotating means in the first case, and the second means in the second case.
At least one of the first to third rotating means in the third case, and at least one of the second and third rotating means in the fourth case. And a control unit for sending a reversal signal for reversing at least one of them to a corresponding operation unit.
【請求項4】 前記逆転信号は、逆転方向と所定の回転
速度に対応する信号である請求項3に記載の複数回転軸
ラップ盤制御装置。
4. The lapping machine control device according to claim 3, wherein the reverse rotation signal is a signal corresponding to a reverse rotation direction and a predetermined rotation speed.
【請求項5】 前記制御手段は前記逆転信号を前記複数
軸ラップ盤がラッピング加工を開始してから所定の時間
後に対応の操作手段へ送る請求項3又は4に記載の複数
軸ラップ盤用回転制御装置。
5. The rotation for a multi-axis lapping machine according to claim 3, wherein the control means sends the reverse rotation signal to a corresponding operation means a predetermined time after the multi-axis lapping machine starts lapping. Control device.
【請求項6】 前記第1乃至第4回転手段はサーボモー
タから成り、前記第1乃至4操作手段は操作信号に応じ
た動力を発生するサーボアンプから成り、前記第1乃至
第4検知手段は対応のサーボモータ回転数を検出する回
転数検出器から成る請求項3乃至5のいずれかの1に記
載の複数軸ラップ盤用回転制御装置。
6. The first to fourth rotating means comprise a servomotor, the first to fourth operating means comprise a servo amplifier for generating power according to an operation signal, and the first to fourth detecting means comprise: The rotation control device for a multi-axis lapping machine according to any one of claims 3 to 5, further comprising a rotation speed detector for detecting a corresponding servo motor rotation speed.
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