JP2001022423A - 搬送ロボットの動作速度・加速度最適化方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送物体の位置あわせ機構を持つ装置におけ
る搬送ロボットの動作速度や加速度を最適化するに際
し、装置が搬送ロボットの最適な動作速度・加速度を自
動的に決定できるようにする。 【解決手段】 装置内に設置されている搬送物体の位置
あわせ機構を利用することで位置あわせを行った搬送物
体を、実際に搬送する場所まで、調べたい速度・加速度
で運んだ後、十分遅い速度・低い加速度で位置あわせ機
構に戻し、位置あわせ機構の位置検出機構を利用してず
れを調べる。さらに調べたい速度・加速度を変化させな
がら、その測定を繰り返すことで、ずれが発生しない直
前の速度・加速度を最適値として決定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバ内な
どにおいて使用される搬送ロボットの動作速度・加速度
最適化方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程においては、反応処理
室の高真空度を維持しつつ、ウェハの搬送の速度を上げ
るために、ウェハを反応室まで搬送するためのロボット
を真空チャンバ内で動作させることが多い。ウェハの搬
送では、搬送中にウェハがずれないことが要求される。
この点に関し、大気中でのウェハの搬送であれば、大気
圧を利用してロボットアームにウェハを吸着して搬送す
ることで、ウェハのずれなく搬送することができる。し
かし、真空中ではこの方法は使えず、静電吸着などの方
法もコストやアームの小型化のために難しい。

【０００３】そこで、真空中の搬送では、ウェハをアー
ムに載せただけで搬送することが多くなる。この場合
に、搬送のときにウェハをずれないようにするために
は、アームの速度や加速度を低く設定しておく必要があ
る。しかしながら、あまり遅くすると搬送にかかる時間
が長くなり、プロセス処理全体の時間が長くなってタク
トが下がることになるため、滑らずにしかもなるべく速
く動かすことが必要になる。

【０００４】従来、アームの速度・加速度を決定するた
めには、事前に摩擦係数や慣性などから計算で求め、そ
れに対して安全率をかける方法を採るか、人間が目で見
ながら滑らない速度・加速度を試行錯誤で求める方法を
採っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述のよう
に計算で速度・加速度を決定すると、実際のアームの表
面やウェハの裏面の状況とは異なった値を使ってしまう
ことがあるため、安全率を大き目に採る必要があり、最
適な値とは差が大きくなる傾向にある。また、人間が試
行錯誤で行う場合は、最適な値に近づけようとすればす
るほど、人間がその作業にかかる時間が多くなり、効率
的ではなく、また、人間の目で見ているため精度的にも
あまり信頼できない。

【０００６】さらに、ウェハの裏面の状況は、装置に投
入されるウェハのロットによって異なってくることも多
く、途中でずれが発生するようになった場合でも補正す
ることができない。そこで、本発明は、装置が搬送ロボ
ットの最適な動作速度・加速度を自動的に決定し、さら
に、搬送中の複数の搬送物体の状況の変化に対しても追
随して速度・加速度を補正できるようにすることを目的
とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の速度・加速度最適化方法は、装置内に設置
されている搬送物体の位置あわせ機構を利用することで
行うもので、位置あわせを行った搬送物体を、実際に搬
送する場所まで、調べたい速度・加速度で運んだ後、十
分遅い速度・低い加速度で位置あわせ機構に戻し、位置
あわせ機構の位置検出機構を利用してずれを調べ、さら
に調べたい速度・加速度を変化させながら、その測定を
繰り返すことで、ずれが発生しない直前の速度・加速度
を最適値として決定するものである。

【０００８】このようにすると、装置が搬送ロボットの
最適な動作速度・加速度を自動的に決定できることにな
る。また、実際の搬送作業の前に最適化した値を、搬送
の最中にずれをチェックすることによって補正すること
が可能となる。

【０００９】

【発明の実施の形態】請求項１に記載の本発明は、搬送
物体の位置あわせ機構を持つ装置における搬送ロボット
の動作速度や加速度を最適化するに際し、前記位置合わ
せ機構において搬送ロボットに対し位置あわせを行った
搬送物体を、実際に搬送する場所まで、調べたい速度・
加速度で運んだ後、十分遅い速度・低い加速度で位置あ
わせ機構に戻し、位置あわせ機構の位置検出機構を利用
してずれ量が許容値を越えているかどうかを調べ、さら
に調べたい速度・加速度を変化させて同様にずれ量が許
容値を越えているかどうかを調べることで、ずれ量が許
容値を越える直前の速度・加速度を最適値として決定す
るものである。

【００１０】このようにすると、ずれ量が許容範囲を越
える直前の大きさの速度・加速度を最適値とすることが
でき、これによって最短の時間で効率よく搬送を行うこ
とができる。請求項２に記載の本発明は、搬送物体の位
置あわせ機構を持つ装置における搬送ロボットの動作速
度や加速度を最適化するに際し、前記位置合わせ機構に
おいて搬送ロボットに対し位置あわせを行った搬送物体
を、実際に搬送する場所まで、調べたい速度・加速度で
運んだ後、十分遅い速度・低い加速度で位置あわせ機構
に戻し、位置あわせ機構の位置検出機構を利用してずれ
量が許容値を越えているかどうかを調べ、ずれ量が許容
値を越えていない場合には位置あわせ機構から搬送する
ときの搬送速度・加速度を一定の幅で上昇させながら同
様にずれ量が許容値を越えているかどうかを調べ、ずれ
量が許容値を越えた場合には、前記搬送速度・加速度を
前記上昇時の幅よりも小さな幅で減少させながら、同様
にして、ずれ量が許容値を下回っているがどうを調べ、
このずれ量が許容値を下回ったときの速度・加速度を最
適値として決定するものである。

【００１１】このようにすると、ずれ量が許容値を越え
たときに、速度・加速度を上昇時の幅よりも小さな幅で
減少させながら、同様にして、ずれ量が許容値を下回っ
ているがどうを調べ、このずれ量が許容値を下回ったと
きの速度・加速度を最適値として決定するため、ずれ量
を許容値を下回った状態でこの許容値の臨界値にできる
だけ近づけることができ、したがって速度・加速度の最
適値としてよりいっそう精度の高い値を決定することが
できる。

【００１２】請求項３に記載の本発明は、ずれ量が許容
値を下回ったなら、そのときの幅よりも小さな幅で再び
搬送速度・加速度を上昇させながらずれ量が許容値を越
えているかどうかを調べ、ずれ量が許容値を越えた場合
には、搬送速度・加速度をさらに小さな幅で減少させな
がら、同様にずれ量が許容値を下回っているかどうかを
調べ、このずれ量が許容値を下回ったなら、再びそのと
きの幅よりも小さな幅を設定して搬送速度・加速度を上
昇させるというように調べることを繰り返し、所定回数
の繰り返しを実行した時点、あるいは速度・加速度の増
減の幅が設定値以下になった時点で、そのときの速度・
加速度を最適値として決定するものである。

【００１３】このようにすると、速度・加速度の増減の
幅を徐々に減少させながらずれ量を許容値と比較するた
め、さらに精度よく速度・加速度の最適値を決定するこ
とができる。請求項４に記載の本発明は、ある速度・加
速度で複数回の搬送を行って複数のずれ量を求め、これ
ら複数のずれ量のうちの最大ずれ量が許容値を越えてい
るかどうかを調べるものである。

【００１４】このようにすると、複数のずれ量のすべて
を許容値と比較するのではなく、その最大値のみを許容
値と比較して許容値を越えているかどうか調べるため、
比較の回数が少なく、したがって効率よく最適値を求め
ることができる。請求項５に記載の本発明は、ある速度
・加速度で複数回の搬送を行って複数のずれ量を求め、
これら複数のずれ量のうちの最大ずれ量が許容値を下回
っているかどうかを調べるものである。

【００１５】このようにすると、複数のずれ量のすべて
を許容値と比較するのではなく、その最大値のみを許容
値と比較して許容値を下回っているかどうか調べるた
め、比較の回数が少なく、したがって効率よく最適値を
求めることができる。請求項６に記載の本発明は、複数
の搬送物体の搬送の最中にずれ量が許容値を越えている
かどうかを調べ、許容値を越えた場合には、搬送前に最
適化した速度・加速度を下げる方向に補正するものであ
る。

【００１６】このようにすると、最適化した速度・加速
度の値を、搬送の最中に搬送物体のずれをチェックする
ことにより補正できるため、搬送物体のロットの変化な
どによって搬送工程中に搬送物体にずれが発生すること
を確実に防止できる。請求項７に記載の本発明は、複数
の搬送物体に対しサンプリングを行って、ずれ量が許容
値を越えているかどうかを調べるものである。

【００１７】このようにすると、複数の搬送物体のすべ
てについてずれ量が許容値を越えているかどうかを調べ
るのではないため、比較の回数が少なく、したがって効
率よく搬送物体のずれをチェックして補正することがで
きる。請求項８記載の本発明は、搬送物体の位置あわせ
機構を持つ装置が半導体製造装置であり、搬送物体がウ
ェハであるようにしたものである。

【００１８】このようにすると、半導体製造装置におい
て、人間の手間をかけずに、ウェハがずれることのない
搬送速度・加速度を精度よく求めることができ、さら
に、自動処理中の変化に対応することも可能となる。以
下、本発明の第１の実施の形態における搬送ロボットの
速度・加速度最適化方法を、図１、図４を用いて説明す
る。

【００１９】図４は、たとえば半導体製造装置における
真空チャンバ２内に設けられた搬送ロボット１を例示す
るものであり、この搬送ロボット１は、装置外部からの
ウェハ投入口であるロードロック３と、ウェハ位置あわ
せ機構４と、プロセス処理室５との間で、搬送物体とし
てのウェハを搬送するために用いられる。すなわち、ロ
ボット１は、搬送しようとするウェハの存在する方向に
向き、アームを伸ばしてそのウェハを取り上げ、アーム
を縮めた後、搬送先の方向に回転し、再度アームを伸ば
して搬送先にウェハを置き、最後にアームを縮めて搬送
を終了する。

【００２０】この一連の動作の中で、ロボット１は、上
述のようにウェハをアームに載せただけの状態で搬送す
る。この場合に、ウェハを取り上げた後にアームを縮め
るときと、搬送先のチャンバの方向に回転するときと、
ウェハを置くためにアームを伸ばすときとにおいて、ロ
ボット１の動作の速度と加速度を正しく決めないと、ウ
ェハがずれてしまって搬送の精度が悪くなり、また、ず
れが原因した摩擦によるダストの増加につながる。

【００２１】次に、搬送ロボット１の速度・加速度を最
適化する方法について、図１を参照しながら説明する。
ステップＳ１で処理が開始されたなら、まず、ステップ
Ｓ２において、摩擦係数などの設計値から計算で求めた
速度・加速度を初期値とする。そして、ステップＳ３に
おいて、位置あわせ機構４で位置あわせの終わったウェ
ハをこの初期値を用いて所定の搬送位置まで搬送する。
ステップＳ４において、戻るときは、ずれが相殺されて
はいけないので、十分低い速度・加速度で位置あわせ機
構４まで戻す。

【００２２】次に、ステップＳ５で、位置あわせ機構４
において、位置あわせのための計測機構を利用してずれ
を計測し、搬送によるずれ量を求める。ステップＳ６で
は、この搬送によるずれ量を求める作業（ステップＳ３
〜Ｓ５）を指定回数まで何度か繰り返し、ずれ量の最大
値を採る。そして、ステップＳ７において、その最大値
があらかじめ決められた許容範囲を越えていなければ、
ステップＳ８において速度・加速度を増加させ、そのう
えでステップＳ３に戻って再度ずれ量の最大値を求め
る。

【００２３】この作業を速度・加速度を増加させながら
繰り返していき、ステップＳ７で許容範囲を越えたとこ
ろで止め、ステップＳ９においてその直前の値を最適値
とする。ステップＳ１０で処理を終える。このようにす
ると、ずれ量の最大値が許容範囲を越える直前の大きさ
の速度・加速度を最適値とすることができ、これによっ
てプロセス処理を最短の時間で効率良く実行することが
できる。ステップＳ６における繰り返し回数は１回以上
の適宜の数とすることができる。またステップＳ７にお
いては、ステップＳ６における何回かの繰り返しのうち
のずれ量の最大値を所定の許容範囲と比較しているが、
最大値に限らず、平均値やその他の適当な値を比較の対
象とすることもできる。

【００２４】次に、本発明の第２の実施の形態における
搬送ロボットの速度・加速度最適化方法を、図２、図４
を用いて説明する。図２において、ステップＳ２１で処
理が開始されたなら、ステップＳ２２において、初期速
度ｖと、初期加速度ａと、速度の増加幅ｄｖの初期値
と、加速度の増加幅ｄａの初期値とを設定する。そし
て、ステップＳ２３でこれらの速度ｖと加速度ａとによ
る搬送を行い、ステップＳ２４で低速・低加速度で位置
あわせ機構４に戻し、ステップＳ２５でずれ量を求め、
ステップＳ２６で指定回数の繰り返しを行って、ステッ
プＳ２７でずれ量の最大値が許容範囲を越えているか否
かを判定する。ステップＳ２７において許容範囲を越え
ていない場合は、ステップＳ２８において速度ｖと加速
度ａとを増加させる。すなわちｖ←ｖ＋ｄｖ、ａ←ａ＋
ｄａとする。そしてステップＳ２３に戻って、同様の動
作を繰り返す。ここまでの動作は、上述の図１の実施の
形態１の場合と同様である。

【００２５】ステップＳ２７において、ずれ量の最大値
が許容範囲を越えている場合は、ステップＳ２９におい
て、速度の増加幅ｄｖと加速度の増加幅ｄａとをそれま
でよりも小さい幅に変化させる。すなわち、ｄｖ←ｄｖ
÷ｘ、ｄａ←ｄａ÷ｙとする。そして、ステップＳ３０
において、これらの小さくなった幅を速度の減少幅ｄｖ
および加速度の減少幅ｄａとして、そのときの速度ｖと
加速度ａとを減少させる。すなわち、ｖ←ｖ−ｄｖ、ａ
←ａ−ｄａとする。

【００２６】そのうえで、ステップＳ３１で、位置あわ
せの終わったウェハを速度ｖ、加速度ａによって所定の
搬送位置まで搬送し、ステップＳ３２で低速・低加速度
で位置あわせ機構４に戻し、ステップＳ３３で搬送によ
るずれ量を求め、ステップＳ３４で所定回数まで作業を
繰り返し、ステップＳ３５でずれ量の最大値が許容範囲
を下回っているか否かを判定する。

【００２７】このとき、許容範囲を下回っていない場合
には、ステップ３０に戻り、速度ｖと加速度ａとを上述
の小さくなった幅ｄｖ、ｄａで再度減少させたうえで、
同様の動作を繰り返す。反対に、ステップＳ３５におい
て、ずれ量の最大値が許容範囲を下回った場合すなわち
許容範囲に入った場合には、ステップＳ３６を経たうえ
で、ステップＳ３７において、ステップＳ２９と同様
に、速度の減少幅ｄｖと加速度の減少幅ｄａとをそれま
でよりも小さい幅に変化させる。すなわち、ｄｖ←ｄｖ
÷ｘ、ｄａ←ｄａ÷ｙとする。なお、このときのｘ、ｙ
は、ステップＳ２９の場合と同じ値あるいは異なった値
とすることができる。

【００２８】そして、これらのいちだんと小さくなった
幅を速度の増加幅ｄｖおよび加速度の増加幅ｄａとした
うえで、そのときの速度ｖと加速度ａとを用いて、ステ
ップＳ２３〜Ｓ２８の動作を繰り返す。さらに同様にス
テップＳ２９を経てステップＳ３０〜Ｓ３５を繰り返
す。最後に、ステップＳ３６において以上の動作を所定
の回数まで何度か繰り返し、最大ずれ量を、許容範囲を
下回った状態でこの許容範囲の境界値にできるだけ近づ
ける。そしてステップＳ３８においてそのときの速度
ｖ、加速度ａを最適値として決定し、ステップＳ３９で
作業を終える。

【００２９】このようにすると、ステップＳ２７におい
て最大ずれ量が許容範囲を越えたときに、ステップＳ２
９において速度ｖと加速度ａとの増減の幅ｄｖ、ｄａを
それまでよりも小さくし、またステップＳ３５において
最大ずれ量が許容範囲を下回ったときにも、同様にステ
ップＳ３７において幅ｄｖ、ｄａをそれまでよりも小さ
くし、このような操作を繰り返すため、上述のように最
大ずれ量を許容範囲を下回った状態でこの許容範囲の境
界値にできるだけ近づけることができ、したがって速度
ｖと加速度ａの最適値としてよりいっそう精度の高い値
を決定することができる。

【００３０】なお、上記において、ステップＳ３６とＳ
３７との処理を省略して、ステップＳ２７で一度だけ最
大ずれ量が許容範囲を越えた後にステップＳ３５で最大
ずれ量が許容範囲を一度だけ下回った時点で、ステップ
Ｓ３８によりそのときの速度ｖ、加速度ａを最適値とし
て決定することもできる。このようにすると、ステップ
Ｓ３７の処理を含むループを回る作業を行う場合に比べ
て、得られた値の精度はある程度低下するものの、迅速
に最適値を求めることができる。なお、その場合でも、
図１の実施の形態１に比べるとステップＳ２９〜Ｓ３５
の処理を行う分だけ精度が向上する。

【００３１】ステップＳ３６では、所定の処理回数にも
とづいて最適値を求めるようにしているが、この最適値
を求めるために他の基準を採用することもできる。たと
えば、ステップＳ２９、Ｓ３７において小さくした増減
の幅ｄｖ、ｄａが所定値を下回った時点で、そのときの
速度ｖ、加速度ａを最適値とすることができる。あるい
は、ステップＳ３５において最大ずれ量が許容範囲を下
回る度合いがある程度以下になった時点や、ステップＳ
２７において最大ずれ量が許容範囲を越える度合いがあ
る程度以下になった時点を基準とすることもできる。

【００３２】次に、本発明の第３の実施の形態における
搬送ロボットの速度・加速度最適化方法を、図３、図４
を用いて説明する。この第３の実施の形態では、最適化
した速度ｖ、加速度ａの値を、自動処理の最中にウェハ
のずれをチェックすることにより補正する。図３におい
てステップＳ４１で処理が開始されたなら、ステップＳ
４２において、上述の図１に示した最適化処理または図
２に示した最適化処理によって、搬送ロボット１の速度
ｖと加速度ａとの最適化を行う。そして、ステップＳ４
３にて自動プロセス処理を開始し、多数のウェハを搬送
ロボット１によって処理室５に搬送し、処理を行う。

【００３３】すなわち、ステップＳ４４では搬送ロボッ
ト１のアーム６に載せたウェハを位置あわせ機構４にお
いて位置あわせし、その位置あわせ状態でステップＳ４
５において処理室５へ搬送し、ステップＳ４６において
処理を行う。上述の速度ｖ、加速度ａの補正は、複数枚
のウェハごとに行う。このため、ステップＳ４７におい
て、処理中のウェハがチェックのために供すべきものが
否かを判定する。チェックのために供すべきものでない
場合は、処理が終わるとステップＳ４８によりウェハを
排出し、ステップ４４に戻って次のウェハの処理を開始
する。

【００３４】ステップＳ４７において、処理の終わった
ウェハがチェックのために供すべきものである場合に
は、ステップＳ４９によって、そのウェハを低速・低加
速度で位置あわせ機構４に戻す。そしてステップＳ５０
で搬送によるずれ量を測定し、ステップＳ５１でそのず
れが許容範囲を越えているか否かを判定する。許容範囲
を越えていない場合は、良好な状態であって速度ｖ、加
速度ａの補正は必要ないため、なにもせずにステップＳ
４４に戻る。

【００３５】ステップＳ５１において、搬送によるずれ
が許容範囲を越えていた場合は、ステップＳ５２で警報
を発生してオペレータの注意を促す。かつ、これと共
に、あるいはこれに代えて、ステップＳ５３で所定幅で
速度ｖ、加速度ａを下げ、ステップ４４に戻ってその後
の搬送を行うようにする。このようにすると、最適化し
た速度ｖ、加速度ａの値を、自動処理の最中にウェハの
ずれをチェックすることにより補正できるため、ウェハ
のロットの変化などによって自動処理中にウェハのずれ
が発生することを確実に防止できる。

【００３６】なお、ステップＳ４７〜Ｓ５１では実際に
プロセス処理を行ったウェハによって再度調査を行うこ
とにより、タクトが落ちる場合もあるが、ロボット１が
ダブルアームの形式を使っている場合や、プロセス処理
室が複数個ある場合などは、ロットの切れめなど、装置
に入ってくるウェハの切れ目の最後から２枚目のウェハ
を利用することで、タクトに影響なく調査することもで
きる。

【００３７】以上のような方法により、人間の手間をか
けずに、ウェハがずれることのない搬送速度・加速度を
精度よく求めることができる。さらに、自動処理中の変
化にも対応することが可能となる。

【００３８】

【発明の効果】上記本発明の搬送ロボットの速度・加速
度最適化方法によると、実際の搬送物体を使い、実際の
搬送を行うことによって、ずれの生じない最大の速度・
加速度を求めることができるため、人間の手間をかけず
に、搬送物体がずれることのない最大の搬送速度・加速
度を精度よく求めることができる。さらに、搬送中にも
タクトに影響なく搬送物体のずれのチェックを行うこと
で、搬送物体のロットの変化による影響などにも対応す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の搬送ロボットの動
作速度・加速度最適化方法を説明するためのフロー図で
ある。

【図２】本発明の第２の実施の形態の搬送ロボットの動
作速度・加速度最適化方法を説明するためのフロー図で
ある。

【図３】本発明の第３の実施の形態の搬送ロボットの動
作速度・加速度最適化方法を説明するためのフロー図で
ある。

【図４】本発明の実施の形態にもとづく、真空搬送ロボ
ットと位置あわせ機構と処理室とを備えた半導体製造装
置の概略構成を示す平面図である。

【符号の説明】

１ 真空搬送ロボット ４ 位置あわせ機構 ５ プロセス処理室

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡崎 浩司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 楠元 寛史 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F059 AA01 AA14 AA16 BA04 DA02 DE06 FC02 FC15 5F031 FA01 FA12 GA44 JA38 JA50 MA27 NA05 PA02 5H269 AB17 AB33 BB03 BB05 BB08 EE01 FF05 NN02 PP02 5H303 AA06 AA10 BB03 BB08 BB14 BB18 CC02 CC05 EE03 EE09 FF08 JJ01 JJ04 KK08 KK15 KK16 KK18 KK22 KK31 LL03

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送物体の位置あわせ機構を持つ装置に
   おける搬送ロボットの動作速度や加速度を最適化する方
   法であって、前記位置合わせ機構において搬送ロボット
   に対し位置あわせを行った搬送物体を、実際に搬送する
   場所まで、調べたい速度・加速度で運んだ後、十分遅い
   速度・低い加速度で位置あわせ機構に戻し、位置あわせ
   機構の位置検出機構を利用してずれ量が許容値を越えて
   いるかどうかを調べ、さらに調べたい速度・加速度を変
   化させて同様にずれ量が許容値を越えているかどうかを
   調べることで、ずれ量が許容値を越える直前の速度・加
   速度を最適値として決定することを特徴とする搬送ロボ
   ットの動作速度・加速度最適化方法。
2. 【請求項２】 搬送物体の位置あわせ機構を持つ装置に
   おける搬送ロボットの動作速度や加速度を最適化する方
   法であって、前記位置合わせ機構において搬送ロボット
   に対し位置あわせを行った搬送物体を、実際に搬送する
   場所まで、調べたい速度・加速度で運んだ後、十分遅い
   速度・低い加速度で位置あわせ機構に戻し、位置あわせ
   機構の位置検出機構を利用してずれ量が許容値を越えて
   いるかどうかを調べ、ずれ量が許容値を越えていない場
   合には位置あわせ機構から搬送するときの搬送速度・加
   速度を一定の幅で上昇させながら同様にずれ量が許容値
   を越えているかどうかを調べ、ずれ量が許容値を越えた
   場合には、前記搬送速度・加速度を前記上昇時の幅より
   も小さな幅で減少させながら、同様にして、ずれ量が許
   容値を下回っているがどうを調べ、このずれ量が許容値
   を下回ったときの速度・加速度を最適値として決定する
   ことを特徴とする搬送ロボットの動作速度・加速度最適
   化方法。
3. 【請求項３】 ずれ量が許容値を下回ったなら、そのと
   きの幅よりも小さな幅で再び搬送速度・加速度を上昇さ
   せながらずれ量が許容値を越えているかどうかを調べ、
   ずれ量が許容値を越えた場合には、搬送速度・加速度を
   さらに小さな幅で減少させながら、同様にずれ量が許容
   値を下回っているかどうかを調べ、このずれ量が許容値
   を下回ったなら、再びそのときの幅よりも小さな幅を設
   定して搬送速度・加速度を上昇させるというように調べ
   ることを繰り返し、所定回数の繰り返しを実行した時
   点、あるいは速度・加速度の増減の幅が設定値以下にな
   った時点で、そのときの速度・加速度を最適値として決
   定することを特徴とする請求項２記載の搬送ロボットの
   動作速度・加速度最適化方法。
4. 【請求項４】 ある速度・加速度で複数回の搬送を行っ
   て複数のずれ量を求め、これら複数のずれ量のうちの最
   大ずれ量が許容値を越えているかどうかを調べることを
   特徴とする請求項１から３までのいずれか１項記載の搬
   送ロボットの動作速度・加速度最適化方法。
5. 【請求項５】 ある速度・加速度で複数回の搬送を行っ
   て複数のずれ量を求め、これら複数のずれ量のうちの最
   大ずれ量が許容値を下回っているかどうかを調べること
   を特徴とする請求項２から４までのいずれか１項記載の
   搬送ロボットの動作速度・加速度最適化方法。
6. 【請求項６】 複数の搬送物体の搬送の最中にずれ量が
   許容値を越えているかどうかを調べ、許容値を越えた場
   合には、搬送前に最適化した速度・加速度を下げる方向
   に補正することを特徴とする請求項１から５までのいず
   れか１項記載の搬送ロボットの動作速度・加速度最適化
   方法。
7. 【請求項７】 複数の搬送物体に対しサンプリングを行
   って、ずれ量が許容値を越えているかどうかを調べるこ
   とを特徴とする請求項６記載の搬送ロボットの動作速度
   ・加速度最適化方法。
8. 【請求項８】 搬送物体の位置あわせ機構を持つ装置が
   半導体製造装置であり、搬送物体がウェハであることを
   特徴とする請求項１から７までのいずれか１項記載の搬
   送ロボットの動作速度・加速度最適化方法。