JP2001061852A - プラズマ状ガス発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマ状ガス発生装置のハンドピースを軽
量で操作し易いものにすること。 【解決手段】 ガスを導く絶縁性パイプ２２と該パイプ
２２のガス出口においてガスに電圧を印加してガスをプ
ラズマ化する電極とを備えたプラズマ状ガス発生装置に
おいて、前記電圧を前記電極へ導くパイプ状導電部材２
３を前記パイプ２２の内壁２２ａに接するように配設
し、該パイプ状導電部材２３の内部２３ａをガスの通路
２４としたことを特徴とするプラズマ状ガス発生装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマ状ガス発生
装置に関し、特に軽量で操作が容易なハンドピースに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来からガスに高電圧を印加してプラズ
マ状ガスを形成し、このプラズマ状ガスを利用した外科
手術装置が使用されている。図１３は従来のプラズマ放
電型外科手術装置のハンドピースのケーブルの断面構造
を示している。図１３において、プラズマ放電型外科手
術用装置のハンドピースのケーブル９０は筒状のもので
ある。絶縁性管９１の内部に線状導電路９２が配設され
ている。絶縁性被膜９３が線状導電路９２を被うように
配設されている。該管９１の外側にスイッチライン９４
が配置されている。このスイッチライン９４は図示しな
いスイッチ（ケーブル９０に付設されている。）と図示
しない装置本体とを接続するものである。該スイッチの
オン・オフにより該外科手術装置を動作させ、またその
動作を停止させることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の従来例
においては、ガス用絶縁性管９１の内部に線状導電路９
２及びその絶縁皮膜９３を通しているので、他の外科手
術用装置（電気メス、レーザー等）と比べて，前記管９
１の外径９１ａが大きくなるとともに、ケーブル９０の
重量が重くなるので、ケーブル９０の操作が容易でなく
なる。このため、ケーブル９０を操作する術者の負担が
大きくなるという問題点があった。本発明はこのような
点に鑑みてなされたものであり、その課題は、プラズマ
状ガス発生装置の軽量で操作し易いハンドピースを提供
することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本願の第１の発明の構成は、請求項１記載の通りで
ある。

【０００５】上記第１の発明の構成により、ガスを導く
絶縁性パイプと該パイプのガス出口においてガスに電圧
を印加してガスをプラズマ化する電極とを備えたプラズ
マ状ガス発生装置において、前記パイプの内壁に接する
ように配設されたパイプ状導電部材が前記電圧を前記電
極へ導き、該パイプ状導電部材の内部がガスの通路とな
るので、前記パイプと前記パイプ状導電部材とを一体に
形成している。このため、前記絶縁性パイプの外径を小
さくし、該パイプ部分の重量を軽くすることができる。

【０００６】更に、第２の発明の構成は、請求項２記載
の通りである。

【０００７】上記第２の発明の構成により、上記第１の
発明の構成による作用とともに、装置本体が前記電圧を
供給する電圧供給源及び前記ガスを供給するガス供給源
を備え、該装置本体の接続部が前記電圧供給源に接続さ
れた導電部材及び該導電部材を覆うとともに前記ガス供
給源から供給されたガスの通路となるパイプ状絶縁性カ
バーを備え、前記絶縁性パイプの前記電極と反対側端に
接続部が形成され、該絶縁性パイプの接続部が前記電圧
を前記電極へ導くパイプ状導電部材に連通した筒状カバ
ー部材を備え、該筒状カバー部材の内側に前記パイプ状
絶縁性カバーを挿通させた状態で前記筒状カバー部材と
前記パイプ状絶縁性カバーとを固定する固定部が設けら
れ、前記固定部により該筒状カバー部材の内側に前記パ
イプ状絶縁性カバーを挿通させた状態で前記筒状カバー
部材と前記パイプ状絶縁性カバーとを固定した状態にて
前記パイプ状導電部材が前記装置本体の前記導電部材に
接続可能であるので、前記本体の接続部及び前記絶縁性
パイプの接続部により容易に前記絶縁性パイプ及びパイ
プ状導電部材を前記本体に着脱自在に接続することがで
きる。

【０００８】更に、第３の発明の構成は、請求項３記載
の通りである。

【０００９】上記第３の発明の構成により、上記第１の
発明の構成による作用とともに、前記電圧を前記電極へ
導くパイプ状導電部材の前記電極と反対側端の外面にリ
ング状溝が形成され、装置本体が前記電圧を供給する電
圧供給源及び前記ガスを供給するガス供給源を備え、該
装置本体の接続部が前記電圧供給源に接続されるととも
に前記ガス供給源から供給されたガスの通路となる本体
側パイプ状導電部材を備え、該本体側パイプ状導電部材
の内面に突起部が形成され、前記電圧を前記電極へ導く
パイプ状導電部材の前記電極と反対側端が前記本体側パ
イプ状導電部材内に挿入された状態にて、該突起部が前
記リング状溝に係合可能であるので、前記本体の接続部
及び前記絶縁性パイプの接続部により容易に前記絶縁性
パイプ及びパイプ状導電部材を前記本体に着脱自在に接
続することができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明における実施の形態
を図面に基づいて説明する。図１は本願発明の実施の形
態の概略を示している。図１に示すプラズマ状ガス発生
装置は、ガスに高電圧を印加して、このガスをプラズマ
化し、このプラズマ化したガスをターゲット（患部、加
工部分）に誘導するための誘導機構としてのハンドピー
スを有している。

【００１１】図１において、プラズマ状ガス発生装置１
の主要部は、本体１０、対極板１８及びハンドピース２
０である。本体１０は、ガス供給源１１、プラズマ用高
電圧供給源１２、接続部１３（図２参照）、端子１６を
備えている。ガス供給源１１は、プラズマを発生させる
ガス（例えばアルゴンガス、ヘリウムガス、その他混合
ガス等）を供給する手段であり、ガスボンベ１９に接続
されている。ガスボンベ１９は該ガスを収容している。

【００１２】ハンドピース２０は、ケーブル部２１、接
続部２６、ハンド部３１及びノズル部４１を備えてい
る。接続部２６はケーブル部２１の一端に接続され、ケ
ーブル部２１の他端はハンド部３１の一端に接続されて
いる。ハンド部３１の他端はノズル部４１の基部分に接
続されている。

【００１３】押しボタンスイッチ３２がハンド部３１に
付設されている。スイッチライン２５は端子１６に接続
され、押しボタンスイッチ３２が該スイッチライン２５
をオン・オフするように接続されている。スイッチライ
ン２５は、ハンド部３１と一体型又は分離型である。必
要に応じて、一体型又は分離型を使いわけることができ
る。押しボタンスイッチ３２は自動復帰型スイチである
ので、手で押しボタンスイッチ３２の押しボタンを押し
たときのみ押しボタンスイッチ３２はオンとなり、手を
該押しボタンから離すと押しボタンスイッチ３２はオフ
となる。押しボタンスイチ３２がオンとなると、プラズ
マ状ガス発生装置１は動作状態になり、ノズル部４１の
先端開口部４６からプラズマ化したガスが放出される。
押しボタンスイッチ３２がオフのときは、プラズマ状ガ
ス発生装置１は不動作状態になる。

【００１４】導電性対極板１８はコード１７により高電
圧供給源１２の一方の出力端子に接続されている。患者
５０が対極板１８の上に横たわっている。５１は患者５
０の患部であり、５２は患者５０の頭部であり、５３は
患者５０の足である。

【００１５】図２は、接続部１３及び接続部２６の断面
構造を示し、図５はケーブル部２１の断面構造を示して
いる。図２及び図５において、接続部１３はハンドピー
ス２０のケーブル部２１の接続部２６を本体１０に接続
する部分である。接続部１３は、絶縁性筒状カバー１３
ａ、筒状導電部材１３ｃ、１３ｅを備えている。筒状カ
バー１３ａの外面には雄ねじ１３ｂが形成され、筒状導
電部材１３ｃと筒状導電部材１３ｅは接続されるように
連結され、筒状導電部材１３ｃの先端にリング状導電性
突起部１３ｄが形成されている。筒状導電部材１３ｅは
高電圧供給源１２の他方の出力端子に接続されている。

【００１６】ケーブル部２１はガスを導く絶縁性パイプ
２２と該パイプ２２のガス出口（開口部４６）において
ガスに電圧を印加してガスをプラズマ化する電極４３
（図７参照）とを備えたプラズマ状ガス発生装置１にお
いて、前記電圧を前記電極４３へ導くパイプ状導電部材
２３を前記パイプ２２の内壁面２２ａに接するように前
記パイプ２２と一体に配設し、該パイプ状導電部材２３
の内部２３ａをガスの通路２４としている。図５の絶縁
性パイプ２２は、例えば塩化ビニル管であり、プラズマ
状ガス発生装置１の最大使用電圧に十分耐えられる絶縁
体（絶縁チューブ）とすることができる。十分に絶縁が
可能であれば、軽量化のため絶縁塗料、収縮チューブな
どを絶縁性パイプ２２として使用することができる。

【００１７】パイプ状導電部材２３の材質は、導電性材
料であり、特に外科手術用には生体適合性のある材料が
良く、特に、軽量化を重視するために、ステンレス、ア
ルミニウムなどの素材が望ましい。このため、ケーブル
部２１の外径即ち、絶縁性パイプ２２の外径２２ｂを従
来例（図１３の管の外径９１ａ）よりも小さくしてスリ
ムにし、更に、ケーブル部２１の重量を従来例（図１３
のケーブル９０）の重量より軽くすることができる。ま
た、ハンドピース２０が自由に曲がることを可能にする
場合には、ケーブル部２１又はノズル部４１において、
ジャバラ機構や軟性材料等を使用する。

【００１８】接続部２６はケーブル部２１の端に接続さ
れている。接続部２６は絶縁性カバー部２６ａ及びパイ
プ状導電部材２３（ケーブル部２１のパイプ状導電部材
２３を延長したもの）を備えている。雌ねじ２６ｂがカ
バー部２６ａの内面に形成されている。リング状補強部
材２６ｃ、２６ｄがパイプ状導電部材２３とカバー部２
６ａとの結合を強固にするために配設されている。固定
部としての雄ねじ１３ｂと雌ねじ２６ｂが螺合すること
により、接続部１３と接続部２６とが接続される。この
とき、雄ねじ１３ｂと雌ねじ２６ｂによりカバー部２６
ａとカバー部１３ａとの間の気密が保たれ、カバー部１
３ａ、２６ａ内のガスが外へ漏れることを防ぐことがで
きる。また、このときパイプ状導電部材２３の外面がリ
ング状導電性突起部材１３ｄに面接触するように接続さ
れる。

【００１９】図３は、図２の第１変形例を示している。
本体１０の接続部１４は筒状カバー部１４ａを備えてい
る。雄ねじ１４ｂがカバー部１４ａの外面に形成されて
いる。Ｕ字形導電部材１４ｃはカバー部１４ａの基部に
固定されている。コード１４ｄが導電部材１４ｃを高電
圧供給源１５の他方の出力端子に接続している。ガス通
路１４ｅがカバー部１４ａの基部分を貫通するように形
成されている。ガス管１４ｆがガス通路１４ｅをガス供
給源１１に接続している。支え部材１４ｈ、１４ｉがカ
バー部１４ａの内面１４ｇに付設されている。

【００２０】接続部２７はケーブル部２１の端に接続さ
れている。接続部２７は絶縁性カバー部２７ａ及び端子
２７ｂを備えている。端子２７ｂはパイプ状導電部材２
３（ケーブル部２１のパイプ状導電部材２３を延長した
もの）の端に固定されている。また、通気孔２７ｃ、２
７ｄがカバー部２７ａの内部とパイプ状導電部材２３の
内部２３ａとを連通するように形成されている。雌ねじ
２７ｅがカバー部２７ａの内面に形成されている。筒状
補強部材２７ｆ及びリング状補強部材２７ｇがパイプ状
導電部材２３とカバー部２７ａとの結合を強固にするた
めに配設されている。

【００２１】固定部としての雄ねじ１４ｂと雌ねじ２７
ｅが螺合することにより、接続部１４と接続部２７とが
接続される。このとき、雄ねじ１４ｂと雌ねじ２７ｅに
よりカバー部２７ａとカバー部１４ａとの間の気密が保
たれ、カバー部１４ａ、２７ａ内のガスが外へ漏れるこ
とを防ぐことができる。また、端子２７ｂが導電部材１
４ｃに挟まれるように導電部材１４ｃに接続され、カバ
ー部１４ａ、２７ａを介してパイプ状導電部材２３とガ
ス管１４ｆとが接続される。更に、支え部材１４ｈ、１
４ｉが筒状補強部材２７ｆの外面を支える。図３のよう
にすることにより、本体１０において従来の線接触型導
電ラインの機構をそのまま採用することもできる。

【００２２】図４は図２の第２変形例を示している。図
４において、本体１０の接続部１５は筒状カバー部１５
ａを備えている。パイプ状導電部材１５ｂはカバー部１
５ａの内面に接するように固定されている。パイプ状導
電部材１５ｂは高電圧供給源１２の他方の出力端子に接
続されるとともに、ガス供給源１１に接続され、ガス供
給源１１から供給されたガスの通路を形成している。導
電性突起部１５ｃ、１５ｄがパイプ状導電部材１５ｂの
先端に接続するように配設されている。また、該突起部
１５ｃはばね部材１５ｅによりパイプ状導電部材１５ｂ
の中心方向に付勢され、該突起部１５ｄはばね部材１５
ｆによりパイプ状導電部材１５ｂの中心方向に付勢され
ている。更に、筒状カバー部１５ａの先端内面にリング
状パッキン１５ｇが固定されている。

【００２３】接続部２８はパイプ状導電部材２３を延長
したものであり、リング状溝２８ａがパイプ状導電部材
２３の接続部２８部分に形成されている。接続部２８を
パイプ状導電部材１５ｂ内に挿入すると、突起部１５
ｃ、１５ｄがばね部材１５ｅ、１５ｆに付勢されて溝２
８ａに係合する。このとき、パッキン１５ｇが筒状カバ
ー部１５ａと接続部２８との間の気密を保つので、筒状
カバー部１５ａ及び接続部２８内のガスが外に漏れるこ
とを防ぐことができる。このため、ワンタッチで接続部
２８を接続部１５に着脱することがきる。

【００２４】図６は、図１に示すハンド部３１の断面構
造を示している。図６において、パイプ状導電部材２３
（ケーブル部２１のパイプ状導電部材２３を延長したも
の）を覆うように筒状絶縁性外皮３１ａが形成されてい
る。

【００２５】図７は、ノズル部４１及びハンド部３１の
断面構造を示している。図７において、パイプ状導電部
材２３（ケーブル部２１のパイプ状導電部材２３を延長
したもの）を覆うように筒状絶縁性外皮４２が形成され
ている。電極４３がパイプ状導電部材２３の先端に固定
されている。通気孔４４、４５がパイプ状導電部材２３
を貫通するように形成されている。このため、パイプ状
導電部材２３内を通過してきたガスが通気孔４４、４５
を通過して電極４３まで到達する。なお、図７に示すハ
ンド部３１の筒状絶縁性外皮３１ａの形状は、図６に示
すものと異なっている。筒状絶縁性外皮３１ａの形状を
使用用途に応じて選択することができる。図８は図７の
一部分を拡大して示している。図８において、ガスは電
極４３と対電極１８との間の電圧によりプラズマ化さ
れ、開口部４６から矢印４７方向に放出される。

【００２６】図９は図８と比較される従来例のノズル部
４８（特開平９−２９９３７９号公報に開示されてい
る。）を示している。ノズル部４８は絶縁性パイプ４８
ａ及び該パイプ４８ａの先端に固定された筒状電極４８
ｂ（上記電極４３に相当する。）を備えている。

【００２７】図１０は、ノズル部がケーブル部に着脱で
きるタイプのハンドピースの断面構造を示している。図
１０において、ハンドピース６０は、ケーブル部６１、
接続部６２及びノズル部６３を備えている。なお、ハン
ド部（ハンド部３１に相当する。）の図示は省略されて
いる。ケーブル部６１は絶縁性パイプ６１ａ及び該パイ
プ６１ａの内面に接するように配設されたパイプ状導電
部材６１ｂを備えている。更に、補強用パイプ状カバー
６１ｃが絶縁性パイプ６１ａの基部分を覆うように配設
されている。

【００２８】接続部６２では、絶縁性本体６２ａの外面
に雄ねじ６２ｂが形成され、接続用電極６２ｃ及び通気
孔６２ｄが形成されている。電極６２ｃはパイプ状導電
部材６１ｂに接続されている。雄ねじ６２ｂは本体１０
の図示しないねじ孔にねじ込み可能である。雄ねじ６２
ｂが本体１０の図示しないねじ孔にねじ込まれた状態
で、電極６２ｃは本体１０の高電圧供給源１２の他方の
出力端子に接続され、通気孔６２ｄはガス供給源１１と
パイプ状導電部材６１ｂを接続する。ノズル部６３は、
ケーブル部６１に着脱自在である。ノズル部６３は、絶
縁性パイプ６３ａ、導電性基部６３ｂ、電極６３ｃ及び
通気孔６３ｄを備えている。絶縁性パイプ６３ａ及び電
極６３ｃは、導電性基部６３ｂに固定されている。通気
孔６３ｄはパイプ状導電部材６１ａ内部と絶縁性パイプ
６３ａ内部とを連通するように形成されている。

【００２９】このため、ノズル部６３は、ディスポーザ
タイプ（使い捨て用）とすることにより、種々の形状の
ノズル部６３（例えば後述する図１０及び図１１に示す
もの）の交換のみでプラズマの患者の表面への誘導か
ら、患者の側面又は裏面への誘導に切り替えることがで
きる。

【００３０】図１１は、ノズル部の先端が湾曲している
場合を示している。図１１において、ノズル部７１の先
端は湾曲している。このため、ノズル部７１の先端開口
部７２はノズル部７１が湾曲していない場合と逆向きに
なっている。なお、７３は電極である。

【００３１】図１２は、ノズル部の先端開口部が横向き
の場合である。図１２において、ノズル部８１の開口部
８２はノズル部８１の長手方向に対して直角の方法を向
いている。なお、８３は電極である。

【００３２】図１３に示すように、従来のハンドピース
のケーブル９０内に導電路９２を設けていたために、ハ
ンドピースの接続部において装置本体（本体１０に相当
する。）側の高電圧ラインとハンドピースの導電路９２
が線接触の機構となる。そのため、その接触点を安定さ
せるため、導電路９２の位置を固定し、ねじ込み式で前
記装置本体に接続する必要があった。

【００３３】これに対し、図２のように、パイプ状導電
部材２３は、本体１０側の高電圧ライン用リング状導電
性突起部１３ｄと面接触が行える。更に図４のように、
ワンタッチ式の接続が可能となる。また、本体１０側の
接続機構においても、ガスラインの中心軸に高電圧ライ
ンを設け、ハンドピース側の導電路９２と接続できるよ
うな複雑な機構を有する必要がなくなる。

【００３４】また、図８及び図９に示すノズル部の機構
を用いることにより、図７に示すように外科手術で使用
されているようなメスなどの細いハンド部３１の構造が
可能となる。このため、従来のハンドピースに比べて、
持ち易く操作性の優れたハンド部の機構ができる。

【００３５】なお、上記実施の形態において、図８及び
図９に示すように従来のノズル形状をそのまま採用する
ことができる。また、図８においては、従来は、導電ラ
インと電極との接続機構と中心軸で安定した電極とする
ために接続部の機構が複雑となり、ハンド部を大きくす
る必要があった。これに対し、図８の機構により外径が
１ｍｍの電極４３を使用する場合でも、外径３ｍｍのハ
ンドピース２０が可能となる。この結果、ノズル（４１
等）径を細くすることにより、該ノズルを外科手術にお
ける腹腔鏡や内視鏡手術といった装置へ応用することも
可能になった。

【００３６】

【発明の効果】本願の第１の発明によれば、プラズマ状
ガス発生装置のハンドピースにおいて、絶縁性パイプの
内壁に接するようにパイプ状導電部材を形成し、該パイ
プ状導電部材の内部をプラズマ発生用ガスの通路として
いる。このため、絶縁性パイプの外径即ちハンドピース
のケーブル部の外径を小さくし、第１の発明に係わるハ
ンドピースの重量を軽くすることができる。このため、
ハンドピースの軽量化及びスリム化を行い、ハンドピー
スの操作者の負担を軽減し、ハンドピースの操作性を向
上させることができる。このため、第１の発明に係わる
プラズマ状ガス発生装置を人体の外科手術に使用するこ
とが容易になる。

【００３７】更に、第２の発明によれば、上記第１の発
明の効果とともに、プラズマ状ガス発生装置本体の接続
部及び前記絶縁性パイプの接続部により容易に前記絶縁
性パイプ及びパイプ状導電部材を前記本体に着脱自在に
接続することができる。

【００３８】更に、第３の発明によれば、上記第１の発
明の効果とともに、プラズマ状ガス発生装置本体の接続
部及び前記絶縁性パイプの接続部により容易に前記絶縁
性パイプ及びパイプ状導電部材を前記本体にワンタッチ
で着脱自在に接続することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願発明の実施の形態の概略を模式的に示す説
明図である。

【図２】図１に示す実施の形態のケーブル部接続状態を
示す断面図である。

【図３】図２の第１変形例を示す断面図である。

【図４】図２の第２変形例を示す断面図である。

【図５】図１に示す実施の形態のケーブル部を示す断面
図である。

【図６】図１に示す実施の形態のハンド部を示す断面図
である。

【図７】図１に示す実施の形態のハンド部及びノズル部
を示す断面図である。

【図８】図７に示すノズル部を拡大して示す断面図であ
る。

【図９】図７に示すノズル部と比較する従来例のノズル
部を示す断面図である。

【図１０】上記実施の形態に係わるハンドピース全体の
変形例を示す断面図である。

【図１１】上記実施の形態のノズル部の第１変形例を示
す断面図である。

【図１２】上記実施の形態のノズル部の第２変形例を示
す断面図である。

【図１３】従来のプラズマ外科手術用ハンドピースのケ
ーブル部を示す断面図である。

【符号の説明】

１ プラズマ状ガス発生装置 １０ 本体 １１ ガス供給源 １２ プラズマ用高電圧供給源 １３、１４、１５ 接続部 １３ａ、１４ａ 筒状カバー １３ｂ、１４ｂ 雄ねじ １３ｃ 筒状導電部材 １４ｃ 導電部材 １５ｂ パイプ状導電部材 １５ｃ、１５ｄ 突起部 ２０ ハンドピース ２１ ケーブル部 ２２ 絶縁性パイプ ２３ パイプ状導電部材 ２４ ガス通路 ２６、２７、２８ 接続部 ２８ａ リング状溝 ４３ 電極 ４６ ノズル部の先端開口部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 古館 貴雄 愛知県尾西市北今字定納28番地 株式会社 メックス内 (72)発明者 三石 節也 愛知県尾西市北今字定納28番地 株式会社 メックス内 (72)発明者 内田 昌義 愛知県尾西市北今字定納28番地 株式会社 メックス内 Ｆターム(参考） 4C060 FF01 FF21 MM21 MM22 MM24

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガスを導く絶縁性パイプと該パイプのガ
   ス出口においてガスに電圧を印加してガスをプラズマ化
   する電極とを備えたプラズマ状ガス発生装置において、 前記電圧を前記電極へ導くパイプ状導電部材を前記パイ
   プの内壁に接するように配設し、該パイプ状導電部材の
   内部をガスの通路としたことを特徴とするプラズマ状ガ
   ス発生装置。
2. 【請求項２】 装置本体が前記電圧を供給する電圧供給
   源及び前記ガスを供給するガス供給源を備え、 該装置本体の接続部が前記電圧供給源に接続された導電
   部材及び該導電部材を覆うとともに前記ガス供給源から
   供給されたガスの通路となるパイプ状絶縁性カバーを備
   え、 前記絶縁性パイプの前記電極と反対側端に接続部が形成
   され、該絶縁性パイプの接続部が前記電圧を前記電極へ
   導くパイプ状導電部材に連通した筒状カバー部材を備
   え、 該筒状カバー部材の内側に前記パイプ状絶縁性カバーを
   挿通させた状態で前記筒状カバー部材と前記パイプ状絶
   縁性カバーとを固定する固定部が設けられ、 前記固定部により該筒状カバー部材の内側に前記パイプ
   状絶縁性カバーを挿通させた状態で前記筒状カバー部材
   と前記パイプ状絶縁性カバーとを固定した状態にて前記
   パイプ状導電部材が前記装置本体の前記導電部材に接続
   可能であることを特徴とする請求項１記載のプラズマ状
   ガス発生装置。
3. 【請求項３】 前記電圧を前記電極へ導くパイプ状導電
   部材の前記電極と反対側端の外面にリング状溝が形成さ
   れ、 装置本体が前記電圧を供給する電圧供給源及び前記ガス
   を供給するガス供給源を備え、該装置本体の接続部が前
   記電圧供給源に接続されるとともに前記ガス供給源から
   供給されたガスの通路となる本体側パイプ状導電部材を
   備え、該本体側パイプ状導電部材の内面に突起部が形成
   され、 前記電圧を前記電極へ導くパイプ状導電部材の前記電極
   と反対側端が前記本体側パイプ状導電部材内に挿入され
   た状態にて、該突起部が前記リング状溝に係合可能であ
   ることを特徴とする請求項１記載のプラズマ状ガス発生
   装置。