JP2001054866A - 放電成形ユニット及び切削装置 - Google Patents
放電成形ユニット及び切削装置Info
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 切削装置に組み込む場合にも切削装置の大幅
な改造が不要で大型化せず、かつ、放電による高精度な
砥石の成形を可能にする放電成形ユニットを提供する。 【解決手段】 砥粒と該砥粒を固定する導電性の固定部
材とによって形成された円形砥石を成形する放電成形ユ
ニットであって、円形砥石との間で放電を行う放電端子
２４と、放電端子２４を支持する支持部２２とから構成
されており、放電端子２４は、円形砥石の両側部の成形
に用いる、端面の端子面積が０．１〜１．０ｍｍ2の第
一の側部成形端子２５と第二の側部成形端子２６とから
少なくとも構成される放電成形ユニットを提供する。
な改造が不要で大型化せず、かつ、放電による高精度な
砥石の成形を可能にする放電成形ユニットを提供する。 【解決手段】 砥粒と該砥粒を固定する導電性の固定部
材とによって形成された円形砥石を成形する放電成形ユ
ニットであって、円形砥石との間で放電を行う放電端子
２４と、放電端子２４を支持する支持部２２とから構成
されており、放電端子２４は、円形砥石の両側部の成形
に用いる、端面の端子面積が０．１〜１．０ｍｍ2の第
一の側部成形端子２５と第二の側部成形端子２６とから
少なくとも構成される放電成形ユニットを提供する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導電性を有する砥
石を放電により加工して適宜の形状に成形する放電成形
ユニット及びこの放電成形ユニットを搭載した切削装置
に関する。
石を放電により加工して適宜の形状に成形する放電成形
ユニット及びこの放電成形ユニットを搭載した切削装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】放電により砥石を加工して成形する装置
としては、例えば、特開平４−２０１０７３号公報に開
示された機上放電ツルーイング／ドレッシング装置が知
られている。
としては、例えば、特開平４−２０１０７３号公報に開
示された機上放電ツルーイング／ドレッシング装置が知
られている。
【０００３】この装置によれば、砥石を取り外すことな
く、機上において放電ツルーイング／ドレッシングを行
うことができるが、砥石の形状が複数種類存在する場合
には、成形しようとする砥石の最終形状に対応した形状
の電極を個別に用意しなければならないため不経済であ
り、装置が大型化する要因にもなる。また、電極の取り
替えなどの煩雑な作業が必要となって生産性が低下する
という問題もある。そこで、例えば第２６０１７５０号
特許公報に開示された方法のように、一つの電極を用い
て種々の形状の砥石を成形する方法も提案されている。
く、機上において放電ツルーイング／ドレッシングを行
うことができるが、砥石の形状が複数種類存在する場合
には、成形しようとする砥石の最終形状に対応した形状
の電極を個別に用意しなければならないため不経済であ
り、装置が大型化する要因にもなる。また、電極の取り
替えなどの煩雑な作業が必要となって生産性が低下する
という問題もある。そこで、例えば第２６０１７５０号
特許公報に開示された方法のように、一つの電極を用い
て種々の形状の砥石を成形する方法も提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この場
合は砥石の形状に対応して電極の傾きや位置を調整する
必要があるため、複雑な機構が必要となる。従って、こ
のような機能を有する装置を切削装置に組み込もうとす
ると、切削装置を大幅に改造しなければならない。ま
た、切削装置が大型化するという問題もある。
合は砥石の形状に対応して電極の傾きや位置を調整する
必要があるため、複雑な機構が必要となる。従って、こ
のような機能を有する装置を切削装置に組み込もうとす
ると、切削装置を大幅に改造しなければならない。ま
た、切削装置が大型化するという問題もある。
【０００５】更に、電極と砥石の間においては、必ずし
も常に一定方向に放電現象が起こるわけではないため、
砥石を高精度に成形できないという問題もある。
も常に一定方向に放電現象が起こるわけではないため、
砥石を高精度に成形できないという問題もある。
【０００６】このように、放電により砥石を加工して成
形する装置においては、切削装置に組み込む場合にも切
削装置の大幅な改造が不要で大型化せず、かつ、高精度
に成形することができるようにすることに課題を有して
いる。
形する装置においては、切削装置に組み込む場合にも切
削装置の大幅な改造が不要で大型化せず、かつ、高精度
に成形することができるようにすることに課題を有して
いる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、砥粒と該砥粒を固定する
導電性の固定部材とによって形成された円形砥石を成形
する放電成形ユニットであって、円形砥石との間で放電
を行う放電端子と、該放電端子を支持する支持部とから
構成されており、放電端子は、円形砥石の両側部の成形
に用いる端面の端子面積が０．１〜１．０ｍｍ2の第一
の側部成形端子と第二の側部成形端子とから少なくとも
構成される放電成形ユニットを提供する。
の具体的手段として本発明は、砥粒と該砥粒を固定する
導電性の固定部材とによって形成された円形砥石を成形
する放電成形ユニットであって、円形砥石との間で放電
を行う放電端子と、該放電端子を支持する支持部とから
構成されており、放電端子は、円形砥石の両側部の成形
に用いる端面の端子面積が０．１〜１．０ｍｍ2の第一
の側部成形端子と第二の側部成形端子とから少なくとも
構成される放電成形ユニットを提供する。
【０００８】そして、この放電成形ユニットは、放電端
子には、円形砥石の外周部を成形する外周部成形端子が
更に含まれること、外周部成形端子の幅は０．１〜２．
０ｍｍであること、放電端子には、刃部の形成に用いる
刃部形成端子が含まれること、円形砥石を構成する砥粒
の粒径は１０μｍ以下であり、導電性の固定部材はメタ
ルボンドまたは電着成形に用いるメッキ材であること、
刃部形成端子を用いてマルチブレードを成形するように
したことを付加的要件とする。
子には、円形砥石の外周部を成形する外周部成形端子が
更に含まれること、外周部成形端子の幅は０．１〜２．
０ｍｍであること、放電端子には、刃部の形成に用いる
刃部形成端子が含まれること、円形砥石を構成する砥粒
の粒径は１０μｍ以下であり、導電性の固定部材はメタ
ルボンドまたは電着成形に用いるメッキ材であること、
刃部形成端子を用いてマルチブレードを成形するように
したことを付加的要件とする。
【０００９】また本発明は、円形砥石と、該円形砥石が
装着される回転軸を備えたスピンドルユニットと円形砥
石に切削水を供給する切削水供給ノズルとから構成され
る切削手段と、被加工物を保持するチャックテーブルと
から少なくとも構成され、チャックテーブルに隣接する
位置に、上記の放電成形ユニットが搭載された切削装置
を提供する。
装着される回転軸を備えたスピンドルユニットと円形砥
石に切削水を供給する切削水供給ノズルとから構成され
る切削手段と、被加工物を保持するチャックテーブルと
から少なくとも構成され、チャックテーブルに隣接する
位置に、上記の放電成形ユニットが搭載された切削装置
を提供する。
【００１０】そして、この切削装置は、切削手段がＹ軸
方向及びＺ軸方向に移動可能であり、チャックテーブル
はＸ軸方向に移動可能な移動テーブルに配設されてお
り、放電成形ユニットは、移動テーブルのチャックテー
ブルに隣接する位置に配設されること、円形砥石がチャ
ックテーブルの金属部に接触した際に両者が導通するこ
とにより、回転軸と円形砥石とチャックテーブルの金属
部と低電圧源とが直列に接続される回路を形成し、更に
該導通を検出する導通検出手段を接続し、導通検出手段
における導通の検出結果に基づき円形砥石の動作原点を
決定するようにしたセットアップ手段を備え、セットア
ップ手段を構成する回路によって円形砥石の切削時の動
作原点と放電端子の放電時の動作原点とが検出されるこ
と、放電成形ユニットの放電端子には、円形砥石と放電
端子との間で放電させるための高電圧源が連結されてお
り、セットアップ手段を構成する回路には電源切り替え
手段が接続され、放電端子と円形砥石との間で放電させ
る際は、電源切り替え手段を低電圧源側から高電圧源側
に切り替えること、放電成形ユニットの放電端子と円形
砥石との間で放電させる際は、放電する位置に純水が供
給されることを付加的要件とする。
方向及びＺ軸方向に移動可能であり、チャックテーブル
はＸ軸方向に移動可能な移動テーブルに配設されてお
り、放電成形ユニットは、移動テーブルのチャックテー
ブルに隣接する位置に配設されること、円形砥石がチャ
ックテーブルの金属部に接触した際に両者が導通するこ
とにより、回転軸と円形砥石とチャックテーブルの金属
部と低電圧源とが直列に接続される回路を形成し、更に
該導通を検出する導通検出手段を接続し、導通検出手段
における導通の検出結果に基づき円形砥石の動作原点を
決定するようにしたセットアップ手段を備え、セットア
ップ手段を構成する回路によって円形砥石の切削時の動
作原点と放電端子の放電時の動作原点とが検出されるこ
と、放電成形ユニットの放電端子には、円形砥石と放電
端子との間で放電させるための高電圧源が連結されてお
り、セットアップ手段を構成する回路には電源切り替え
手段が接続され、放電端子と円形砥石との間で放電させ
る際は、電源切り替え手段を低電圧源側から高電圧源側
に切り替えること、放電成形ユニットの放電端子と円形
砥石との間で放電させる際は、放電する位置に純水が供
給されることを付加的要件とする。
【００１１】このように構成される放電成形ユニットに
よれば、構造が簡単でかつ小型であるため、切削装置に
組み込む場合にも切削装置の大幅な改造を必要としな
い。
よれば、構造が簡単でかつ小型であるため、切削装置に
組み込む場合にも切削装置の大幅な改造を必要としな
い。
【００１２】また、第一の側部成形端子及び第二の側部
成形端子の端面の端子面積が小さいため、放電の方向性
の精度が高くなり、細かな砥粒からなる円形砥石も高精
度に成形することができる。
成形端子の端面の端子面積が小さいため、放電の方向性
の精度が高くなり、細かな砥粒からなる円形砥石も高精
度に成形することができる。
【００１３】更に、マルチブレードも形成することがで
きるため、切削装置に搭載した場合には、種々の切削が
可能となって切削装置の機能を向上させることができ
る。
きるため、切削装置に搭載した場合には、種々の切削が
可能となって切削装置の機能を向上させることができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態として、図１
に示す切削装置１０に搭載される放電成形ユニット２０
について説明する。
に示す切削装置１０に搭載される放電成形ユニット２０
について説明する。
【００１５】切削装置１０において、例えば半導体ウェ
ーハＷを切削する際は、半導体ウェーハＷはチャックテ
ーブル１１に吸引保持される。このチャックテーブル１
１は、Ｘ軸方向に移動可能な移動テーブル１２に固定さ
れており、移動テーブル１２の移動に伴ってＸ軸方向に
移動する。
ーハＷを切削する際は、半導体ウェーハＷはチャックテ
ーブル１１に吸引保持される。このチャックテーブル１
１は、Ｘ軸方向に移動可能な移動テーブル１２に固定さ
れており、移動テーブル１２の移動に伴ってＸ軸方向に
移動する。
【００１６】半導体ウェーハＷがチャックテーブル１１
に保持されると、移動テーブル１２がＸ軸方向に移動す
ることにより半導体ウェーハＷがアライメント手段１３
の直下に位置付けられ、ここで切削すべき領域が検出さ
れる。そして更に移動テーブル１２が同方向に移動する
ことにより、切削手段１４の作用を受けて半導体ウェー
ハＷが切削される。
に保持されると、移動テーブル１２がＸ軸方向に移動す
ることにより半導体ウェーハＷがアライメント手段１３
の直下に位置付けられ、ここで切削すべき領域が検出さ
れる。そして更に移動テーブル１２が同方向に移動する
ことにより、切削手段１４の作用を受けて半導体ウェー
ハＷが切削される。
【００１７】切削手段１４は、図２に示すように、スピ
ンドルハウジング１５によって回転可能に支持された回
転軸１６に円形砥石１７が装着されたスピンドルユニッ
ト１８と、円形砥石１７を両側から挟むように配設され
た切削水供給ノズル１９（片方は図示せず）とから構成
されており、全体としてＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可
能となっている。
ンドルハウジング１５によって回転可能に支持された回
転軸１６に円形砥石１７が装着されたスピンドルユニッ
ト１８と、円形砥石１７を両側から挟むように配設され
た切削水供給ノズル１９（片方は図示せず）とから構成
されており、全体としてＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可
能となっている。
【００１８】半導体ウェーハＷの切削は、移動テーブル
１２がＸ軸方向に往復移動し、切削手段１４が下降して
切削水供給ノズル１９から切削水を供給すると共に、円
形砥石１７が半導体ウェーハＷに切り込むことにより行
われる。
１２がＸ軸方向に往復移動し、切削手段１４が下降して
切削水供給ノズル１９から切削水を供給すると共に、円
形砥石１７が半導体ウェーハＷに切り込むことにより行
われる。
【００１９】このようにして切削を行うと、円形砥石１
７の刃先の形状が摩耗により変形する場合があり、変形
が生じたままの状態で切削を続行すると、切削により形
成されたペレットの品質が低下するという問題がある。
そこで、移動テーブル１２上のチャックテーブル１１に
隣接する位置に放電成形ユニット２０を搭載し、この放
電成形ユニット２０を用いて適宜円形砥石１７の刃先を
成形するようにする。
７の刃先の形状が摩耗により変形する場合があり、変形
が生じたままの状態で切削を続行すると、切削により形
成されたペレットの品質が低下するという問題がある。
そこで、移動テーブル１２上のチャックテーブル１１に
隣接する位置に放電成形ユニット２０を搭載し、この放
電成形ユニット２０を用いて適宜円形砥石１７の刃先を
成形するようにする。
【００２０】放電成形ユニット２０は、図２及び図３に
示すように、ネジ２１によって移動テーブル１２に固定
された支持部２２と、支持部２２にネジ２３によって固
定された超硬合金で形成されることが好ましい放電端子
２４とから構成され、移動テーブル１２に取り付けるこ
とができるほど小型でかつ安価であり、切削装置の改造
も不要で、取付を簡単に行うことができる。
示すように、ネジ２１によって移動テーブル１２に固定
された支持部２２と、支持部２２にネジ２３によって固
定された超硬合金で形成されることが好ましい放電端子
２４とから構成され、移動テーブル１２に取り付けるこ
とができるほど小型でかつ安価であり、切削装置の改造
も不要で、取付を簡単に行うことができる。
【００２１】放電端子２４は、図３に示す如く少なくと
も第一の側部成形端子２５と第二の側部成形端子２６と
からなり、本実施の形態においては、更に外周部成形端
子２７と刃部成形端子２８とを備えている。
も第一の側部成形端子２５と第二の側部成形端子２６と
からなり、本実施の形態においては、更に外周部成形端
子２７と刃部成形端子２８とを備えている。
【００２２】第一の側部成形端子２５及び第二の側部成
形端子２６は、円形砥石１７の両側面の放電成形に用い
る端子であり、その第一の端面２５ａと第二の端面２６
ａとは、Ｙ軸方向において互いが離れる方向を向いてお
り、第一の端面２５ａ及び第二の端面２６ａの端子面積
は、例えば０．１〜１．０ｍｍ2と非常に小さくなって
いる。
形端子２６は、円形砥石１７の両側面の放電成形に用い
る端子であり、その第一の端面２５ａと第二の端面２６
ａとは、Ｙ軸方向において互いが離れる方向を向いてお
り、第一の端面２５ａ及び第二の端面２６ａの端子面積
は、例えば０．１〜１．０ｍｍ2と非常に小さくなって
いる。
【００２３】また、外周部成形端子２７は、先端が比較
的面積の広い平面状に形成され、円形砥石１７の外周部
の放電成形の際に用いる端子であり、その幅は０．１〜
２．０ｍｍである。一方、刃部成形端子２８は、先端が
０．１〜１．０ｍｍ角と比較的面積の狭い平面状に形成
され、マルチブレードの刃部を形成する際に用いる端子
である。
的面積の広い平面状に形成され、円形砥石１７の外周部
の放電成形の際に用いる端子であり、その幅は０．１〜
２．０ｍｍである。一方、刃部成形端子２８は、先端が
０．１〜１．０ｍｍ角と比較的面積の狭い平面状に形成
され、マルチブレードの刃部を形成する際に用いる端子
である。
【００２４】放電成形ユニット２０を用いて円形砥石を
成形するときは、円形砥石１７を回転させたままの状態
で切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させ、円
形砥石１７の刃先をいずれかの端子に近づけ、その端子
と円形砥石との間で放電させる。
成形するときは、円形砥石１７を回転させたままの状態
で切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させ、円
形砥石１７の刃先をいずれかの端子に近づけ、その端子
と円形砥石との間で放電させる。
【００２５】ここで、図４に示すように、回転軸１６と
回転軸１６に装着された円形砥石１７とは電気的に導通
しており、回転軸１６は導通検出手段３０に接続されて
いる。この導通検出手段３０は、電源切り替え手段３１
を介して高電圧源３２または低電圧源３３の陽極に接続
されていると共に、切削手段１４のＹ軸方向、Ｚ軸方向
の移動を制御する制御手段３４に接続されている。
回転軸１６に装着された円形砥石１７とは電気的に導通
しており、回転軸１６は導通検出手段３０に接続されて
いる。この導通検出手段３０は、電源切り替え手段３１
を介して高電圧源３２または低電圧源３３の陽極に接続
されていると共に、切削手段１４のＹ軸方向、Ｚ軸方向
の移動を制御する制御手段３４に接続されている。
【００２６】また、高電圧源３２の陰極は放電成形ユニ
ット２０の放電端子２４に接続されており、更に、低電
圧源３３の陰極は金属部１１ａに接続されている。
ット２０の放電端子２４に接続されており、更に、低電
圧源３３の陰極は金属部１１ａに接続されている。
【００２７】即ち、電源切り替え手段３１が高電圧源３
２側に接続されていて、かつ、円形砥石１７と放電端子
２４との間で放電が行われているときは、円形砥石１７
と回転軸１６と導通検出手段３０と高電圧源３２と放電
端子２４と金属部１１ａとが直列に接続された回路を構
成し、電源切り替え手段３１が低電圧源３３側に接続さ
れていて、かつ、円形砥石１７と金属部１１ａとが接触
しているときは、円形砥石１７と回転軸１６と導通検出
手段３０と低電圧源３３と金属部１１ａとが直列に接続
された回路を構成する。そして、後者の場合は、円形砥
石１７と回転軸１６と導通検出手段３０と低電圧源３３
と金属部１１ａとで、切削時の切削手段の動作原点を定
めるセットアップ手段を構成する。なお、例えば、高電
圧源３２の電圧は放電を行うのに充分な電圧である１４
０Ｖ、低電圧源３３の電圧は２４Ｖとする。
２側に接続されていて、かつ、円形砥石１７と放電端子
２４との間で放電が行われているときは、円形砥石１７
と回転軸１６と導通検出手段３０と高電圧源３２と放電
端子２４と金属部１１ａとが直列に接続された回路を構
成し、電源切り替え手段３１が低電圧源３３側に接続さ
れていて、かつ、円形砥石１７と金属部１１ａとが接触
しているときは、円形砥石１７と回転軸１６と導通検出
手段３０と低電圧源３３と金属部１１ａとが直列に接続
された回路を構成する。そして、後者の場合は、円形砥
石１７と回転軸１６と導通検出手段３０と低電圧源３３
と金属部１１ａとで、切削時の切削手段の動作原点を定
めるセットアップ手段を構成する。なお、例えば、高電
圧源３２の電圧は放電を行うのに充分な電圧である１４
０Ｖ、低電圧源３３の電圧は２４Ｖとする。
【００２８】このように構成される回路においては、電
源切り替え手段３１を高電圧源３２側に接続すること
で、放電端子２４に備えた各端子と円形砥石１７との間
に放電が生じる。このとき、導通検出手段３０において
導通を検出したときの切削手段１４の位置を放電成型時
の動作原点とすることができる。なお、放電の際には放
電する位置に純水を供給する。
源切り替え手段３１を高電圧源３２側に接続すること
で、放電端子２４に備えた各端子と円形砥石１７との間
に放電が生じる。このとき、導通検出手段３０において
導通を検出したときの切削手段１４の位置を放電成型時
の動作原点とすることができる。なお、放電の際には放
電する位置に純水を供給する。
【００２９】一方、電源切り替え手段３１を低電圧源３
３側に接続した場合は、円形砥石１７を下降させて、図
２に示したように金属部１１ａに接触したときに導通検
出手段３０によって導通が検出され、このときの円形砥
石１７の位置を切削時の動作原点とすることができる
（セットアップ）。
３側に接続した場合は、円形砥石１７を下降させて、図
２に示したように金属部１１ａに接触したときに導通検
出手段３０によって導通が検出され、このときの円形砥
石１７の位置を切削時の動作原点とすることができる
（セットアップ）。
【００３０】例えば、図５に示す円形砥石１７ａは、砥
粒が導電性の固定部材によって固定された砥石部４０を
備えており、砥石部４０の刃先は、切削の目的に応じて
種々の形状に加工されているが、摩耗により形状が変形
した場合は、成形しようとする形状に合わせてそれぞれ
の成形端子と砥石部４０との間で放電させて加工を行
う。ここで、砥粒を固定する固定部材としては、メタル
ボンドを用いたり、また電着による場合はニッケル等の
メッキ材を用いたりするので、導電性を確保することが
できる。なお、成形前の円形砥石１７ａにおいては、図
６において便宜的な形状を用いて示すように、外周面を
外周部４１、両側の面をそれぞれ左側部４２、右側部４
３とする。
粒が導電性の固定部材によって固定された砥石部４０を
備えており、砥石部４０の刃先は、切削の目的に応じて
種々の形状に加工されているが、摩耗により形状が変形
した場合は、成形しようとする形状に合わせてそれぞれ
の成形端子と砥石部４０との間で放電させて加工を行
う。ここで、砥粒を固定する固定部材としては、メタル
ボンドを用いたり、また電着による場合はニッケル等の
メッキ材を用いたりするので、導電性を確保することが
できる。なお、成形前の円形砥石１７ａにおいては、図
６において便宜的な形状を用いて示すように、外周面を
外周部４１、両側の面をそれぞれ左側部４２、右側部４
３とする。
【００３１】例えば、図５に示した円形砥石１７ａを図
７（Ａ）のような形状に成形する場合は、まず、切削手
段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させ、図８（Ａ）
に示すように、円形砥石１７ａの右側部４３を第一の側
部成形端子２５の第一の端面２５ａに対峙させる。そし
て、図４に示した導通検出手段３０が導通を検出したと
きの切削手段１４の位置を動作原点として制御手段３４
に記憶させる。
７（Ａ）のような形状に成形する場合は、まず、切削手
段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させ、図８（Ａ）
に示すように、円形砥石１７ａの右側部４３を第一の側
部成形端子２５の第一の端面２５ａに対峙させる。そし
て、図４に示した導通検出手段３０が導通を検出したと
きの切削手段１４の位置を動作原点として制御手段３４
に記憶させる。
【００３２】動作原点が制御手段３４に記憶されると、
その動作原点を基準として、制御手段３４の制御の下
で、先端部を残して右側部４３が一様に削られるように
切削手段１４を上下動させ、放電により右側部４３を成
形していく。放電時は、第一の端面の端子面積が０．１
〜１．０ｍｍ2と小さいため、従来より放電現象の方向
性の精度が高くなる。従って、細かな砥粒からなる円形
砥石も高精度に成形することができる。
その動作原点を基準として、制御手段３４の制御の下
で、先端部を残して右側部４３が一様に削られるように
切削手段１４を上下動させ、放電により右側部４３を成
形していく。放電時は、第一の端面の端子面積が０．１
〜１．０ｍｍ2と小さいため、従来より放電現象の方向
性の精度が高くなる。従って、細かな砥粒からなる円形
砥石も高精度に成形することができる。
【００３３】こうして右側部４３が所望の形状に成形さ
れると、次に、図８（Ｂ）に示すように、円形砥石１７
ａの左側部４２を第二の側部成形端子２６の第二の端面
２６ａに対峙させる。そして、上記と同様に、導通検出
手段３０が導通を検出したときの切削手段１４の位置を
動作原点として制御手段３４に記憶させ、その動作原点
を基準として、先端部を残して左側部４２が一様に削ら
れるように切削手段１４を上下動させる。
れると、次に、図８（Ｂ）に示すように、円形砥石１７
ａの左側部４２を第二の側部成形端子２６の第二の端面
２６ａに対峙させる。そして、上記と同様に、導通検出
手段３０が導通を検出したときの切削手段１４の位置を
動作原点として制御手段３４に記憶させ、その動作原点
を基準として、先端部を残して左側部４２が一様に削ら
れるように切削手段１４を上下動させる。
【００３４】また、外周部４１が平坦になっていないと
きは、図８（Ｃ）に示すように、外周部４１を外周部成
形端子２７の上方に近づけて放電が発生したときの位置
を動作原点として制御手段３４に記憶させ、その動作原
点において円形砥石１７ａを固定し、また必要であれば
切削手段１４をＹ軸方向に移動させて外周部４１を成形
する。このようにして、図７（Ａ）に示したような形状
の円形砥石１７ｂが成形される。
きは、図８（Ｃ）に示すように、外周部４１を外周部成
形端子２７の上方に近づけて放電が発生したときの位置
を動作原点として制御手段３４に記憶させ、その動作原
点において円形砥石１７ａを固定し、また必要であれば
切削手段１４をＹ軸方向に移動させて外周部４１を成形
する。このようにして、図７（Ａ）に示したような形状
の円形砥石１７ｂが成形される。
【００３５】次に、図７（Ｂ）に示す先端がＶ字型の円
形砥石１７ｃを成形する場合について説明する。まず、
上記と同様にして第一の側部成形端子２５との放電にお
ける動作原点を決定して制御手段３４に記憶させてか
ら、その動作原点を基準として、円形砥石１７ａが目的
とする形状であるＶ字型の片方のテーパ面と同角度に移
動するように、切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に
同時に駆動する。このような動作によって、右側部がテ
ーパ状に成形される。
形砥石１７ｃを成形する場合について説明する。まず、
上記と同様にして第一の側部成形端子２５との放電にお
ける動作原点を決定して制御手段３４に記憶させてか
ら、その動作原点を基準として、円形砥石１７ａが目的
とする形状であるＶ字型の片方のテーパ面と同角度に移
動するように、切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に
同時に駆動する。このような動作によって、右側部がテ
ーパ状に成形される。
【００３６】更に、左側部４２と第二の側部成形端子２
６との放電における原点を決定して制御手段３４に記憶
させてから、その動作原点を基準として、上記のように
して左側部４２が成形された円形砥石１７ａが目的とす
る形状であるＶ字型のもう片方のテーパ面と同角度に移
動するように、切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に
同時に駆動する。このような動作により、左側部４２が
テーパ状に成形される。そして、図７（Ｂ）のような先
端がＶ字型に成形された円形砥石１７ｃとなる。
６との放電における原点を決定して制御手段３４に記憶
させてから、その動作原点を基準として、上記のように
して左側部４２が成形された円形砥石１７ａが目的とす
る形状であるＶ字型のもう片方のテーパ面と同角度に移
動するように、切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に
同時に駆動する。このような動作により、左側部４２が
テーパ状に成形される。そして、図７（Ｂ）のような先
端がＶ字型に成形された円形砥石１７ｃとなる。
【００３７】次に、図７（Ｃ）に示す片側がテーパ状に
成形された円形砥石１７ｄを成形する場合について説明
する。この場合は、第二の側部成形端子２６との放電に
おける動作原点を決定して制御手段３４に記憶させてか
ら、その動作原点を基準として、円形砥石１７ａが目的
とする形状のテーパ面と同角度に移動するように、切削
手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に同時に駆動する。こ
のように移動させることにより、片側が図７（Ｃ）のよ
うにテーパ状に成形された円形砥石１７ｄとなる。
成形された円形砥石１７ｄを成形する場合について説明
する。この場合は、第二の側部成形端子２６との放電に
おける動作原点を決定して制御手段３４に記憶させてか
ら、その動作原点を基準として、円形砥石１７ａが目的
とする形状のテーパ面と同角度に移動するように、切削
手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に同時に駆動する。こ
のように移動させることにより、片側が図７（Ｃ）のよ
うにテーパ状に成形された円形砥石１７ｄとなる。
【００３８】図９に示すような刃先が２カ所突出したマ
ルチブレード４５を成形する際は、上記の場合に使用し
た第一の側部成形端子２５、第二の側部成形端子２６、
外周部成形端子２７に加えて、刃部成形端子２８を使用
する。
ルチブレード４５を成形する際は、上記の場合に使用し
た第一の側部成形端子２５、第二の側部成形端子２６、
外周部成形端子２７に加えて、刃部成形端子２８を使用
する。
【００３９】例えば、図１０（Ａ）のマルチブレード４
５ａにおいて、刃部４６を２点鎖線で示す位置から実線
で示す位置まで削り込み、刃先４７、４８を形成すると
きは、刃部成形端子２８に刃部４６を近づけ、動作原点
を制御手段３４に記憶させた後、その動作原点を基準と
して切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させて
刃部４６を所望の形状にする。
５ａにおいて、刃部４６を２点鎖線で示す位置から実線
で示す位置まで削り込み、刃先４７、４８を形成すると
きは、刃部成形端子２８に刃部４６を近づけ、動作原点
を制御手段３４に記憶させた後、その動作原点を基準と
して切削手段１４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させて
刃部４６を所望の形状にする。
【００４０】また、刃先４７、４８を成形する場合に
は、図５に示した円形砥石１７ａの刃先を成形する場合
と同様に、第一の側部成形端子２５、第二の側部成形端
子２６、外周部成形端子２７用いて放電させながらＹ軸
方向及びＺ軸方向に移動させることにより、例えば図１
０（Ｂ）、図１０（Ｃ）に示すような刃先に成形するこ
とができる。
は、図５に示した円形砥石１７ａの刃先を成形する場合
と同様に、第一の側部成形端子２５、第二の側部成形端
子２６、外周部成形端子２７用いて放電させながらＹ軸
方向及びＺ軸方向に移動させることにより、例えば図１
０（Ｂ）、図１０（Ｃ）に示すような刃先に成形するこ
とができる。
【００４１】放電成形ユニットは、図１１のように構成
されていてもよい。この図１１に示す放電成形ユニット
５０においては、超硬合金で形成されることが好ましい
第一の側部成形端子５１と第二の側部成形端子５２とが
端面同士が対峙するように配設されており、この場合は
左側部と右側部とを同時にかつ左右対称に正確に成形す
ることができる。
されていてもよい。この図１１に示す放電成形ユニット
５０においては、超硬合金で形成されることが好ましい
第一の側部成形端子５１と第二の側部成形端子５２とが
端面同士が対峙するように配設されており、この場合は
左側部と右側部とを同時にかつ左右対称に正確に成形す
ることができる。
【００４２】以上のようにして移動テーブル１２のチャ
ックテーブル１１に隣接する位置に搭載した放電成形ユ
ニットを用いて円形ブレード１７を成形できるため、切
削の途中でもすぐに成形を開始することができ、成形終
了後は切削作業を迅速に再開することができる。
ックテーブル１１に隣接する位置に搭載した放電成形ユ
ニットを用いて円形ブレード１７を成形できるため、切
削の途中でもすぐに成形を開始することができ、成形終
了後は切削作業を迅速に再開することができる。
【００４３】なお、本実施の形態においては、放電成形
ユニットを切削装置に搭載した場合について説明した
が、放電加工機自体に組み込むこともできることはもち
ろんである。
ユニットを切削装置に搭載した場合について説明した
が、放電加工機自体に組み込むこともできることはもち
ろんである。
【００４４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る放電
成形ユニットによれば、構造が簡単でかつ小型であるた
め、切削装置に組み込む場合にも切削装置の大幅な改造
を必要とせず、簡単に取り付けることができる。
成形ユニットによれば、構造が簡単でかつ小型であるた
め、切削装置に組み込む場合にも切削装置の大幅な改造
を必要とせず、簡単に取り付けることができる。
【００４５】また、第一の側部成形端子及び第二の側部
成形端子の端面の端子面積が小さいため、放電の方向性
の精度が高くなる。従って、この放電成形ユニットを組
み込むことにより高精度な加工が可能な放電加工機を提
供することができ、また、この放電成形ユニットを切削
装置に搭載した場合には、高精度な放電加工により細か
な砥粒からなる円形砥石も高精度に成形することができ
るため、被切削物の品質が向上する。
成形端子の端面の端子面積が小さいため、放電の方向性
の精度が高くなる。従って、この放電成形ユニットを組
み込むことにより高精度な加工が可能な放電加工機を提
供することができ、また、この放電成形ユニットを切削
装置に搭載した場合には、高精度な放電加工により細か
な砥粒からなる円形砥石も高精度に成形することができ
るため、被切削物の品質が向上する。
【００４６】更に、マルチブレードも形成することがで
きるため、切削装置に搭載した場合には、種々の切削が
可能となって切削装置の機能を向上させることができ、
切削装置を汎用的に使用することができるようになる。
きるため、切削装置に搭載した場合には、種々の切削が
可能となって切削装置の機能を向上させることができ、
切削装置を汎用的に使用することができるようになる。
【図１】本発明に係る切削装置の実施の形態を示す斜視
図である。
図である。
【図２】同切削装置における切削手段及び移動テーブル
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図３】本発明に係る放電成形ユニットの実施の形態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図４】本発明に係る切削装置に備えたセットアップ手
段と放電成形ユニットとの接続状態を示す説明図であ
る。
段と放電成形ユニットとの接続状態を示す説明図であ
る。
【図５】成形の対象となる円形砥石の一例を示す斜視図
である。
である。
【図６】同円形砥石の刃先を拡大して示す正面図であ
る。
る。
【図７】同円形砥石の成形後の刃先の形状を拡大して示
す正面図である。
す正面図である。
【図８】同円形砥石の刃先を成形する様子を工程別に示
す説明図である。
す説明図である。
【図９】成形の対象となるマルチブレードを示す斜視図
である。
である。
【図１０】成形後のマルチブレードの刃先の形状を拡大
して示す正面図である。
して示す正面図である。
【図１１】本発明に係る放電成形ユニットの設計変更例
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
１０…切削装置 １１…チャックテーブル １１ａ…金属部 １２…移動テーブル １３…アライメント手段 １４…切削手段 １５…スピンドルハウジング １６…回転軸 １７…円形砥石 １８…スピンドルユニット １９…切削水供給ノズル ２０…放電成形ユニット ２１…ネジ ２２…支持部 ２３…ネジ ２４…放電端子 ２５…第一の側部成形端子 ２５ａ…第一の端面 ２６…第二の側部成形端子 ２６ａ…第二の端面 ２７…外周部成形端子 ２８…刃部成形端子 ３０…導通検出手段 ３１…電源切り替え手段 ３２…高電圧源 ３３…低電圧源 ３４…制御手段 ４０…砥石部 ４１…外周部 ４２…左側部 ４３…右側部 ４５…マルチブレード ４６…刃部 ５０…放電成形ユニット ５１…第一の側部成形端子 ５２…第二の側部成形端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２４Ｄ 3/06 Ｂ２４Ｄ 3/06 Ｚ 3/34 3/34 Ａ // Ｈ０１Ｌ 21/304 ６３１ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６３１
Claims (11)
- 【請求項１】 砥粒と該砥粒を固定する導電性の固定部
材とによって形成された円形砥石を成形する放電成形ユ
ニットであって、 該円形砥石との間で放電を行う放電端子と、該放電端子
を支持する支持部とから構成されており、 該放電端子は、該円形砥石の両側部の成形に用いる、端
面の端子面積が０．１〜１．０ｍｍ2の第一の側部成形
端子と第二の側部成形端子とから少なくとも構成される
放電成形ユニット。 - 【請求項２】 放電端子には、円形砥石の外周部を成形
する外周部成形端子が更に含まれる請求項１に記載の放
電成形ユニット。 - 【請求項３】 外周部成形端子の幅は０．１〜２．０ｍ
ｍである請求項２に記載の放電成形ユニット。 - 【請求項４】 放電端子には、刃部の形成に用いる刃部
形成端子が含まれる請求項１乃至３に記載の放電成形ユ
ニット。 - 【請求項５】 円形砥石を構成する砥粒の粒径は１０μ
ｍ以下であり、導電性の固定部材はメタルボンドまたは
電着成形に用いるメッキ材である請求項１乃至４に記載
の放電成形ユニット。 - 【請求項６】 刃部形成端子を用いてマルチブレードを
成形するようにした請求項４または５に記載の放電成形
ユニット。 - 【請求項７】 円形砥石と、 該円形砥石が装着される回転軸を備えたスピンドルユニ
ットと該円形砥石に切削水を供給する切削水供給ノズル
とから構成される切削手段と、 被加工物を保持するチャックテーブルとから少なくとも
構成され、 該チャックテーブルに隣接する位置に、請求項１乃至６
に記載の放電成形ユニットが搭載された切削装置。 - 【請求項８】 切削手段はＹ軸方向及びＺ軸方向に移動
可能であり、該チャックテーブルはＸ軸方向に移動可能
な移動テーブルに配設されており、 放電成形ユニットは、該移動テーブルの該チャックテー
ブルに隣接する位置に配設される請求項７に記載の切削
装置。 - 【請求項９】 円形砥石がチャックテーブルの金属部に
接触した際に両者が導通することにより、回転軸と該円
形砥石と該チャックテーブルの金属部と低電圧源とが直
列に接続される回路を形成し、更に該導通を検出する導
通検出手段を接続し、該導通検出手段における導通の検
出結果に基づき該円形砥石の動作原点を決定するように
したセットアップ手段を備え、 該セットアップ手段を構成する回路によって該円形砥石
の切削時の動作原点と放電端子の放電時の動作原点とが
検出される請求項７または８に記載の切削装置。 - 【請求項１０】 放電成形ユニットの放電端子には、円
形砥石と該放電端子との間で放電させるための高電圧源
が連結されており、セットアップ手段を構成する回路に
は電源切り替え手段が接続され、該放電端子と該円形砥
石との間で放電させる際は、該電源切り替え手段を低電
圧源側から該高電圧源側に切り替える請求項９に記載の
切削装置。 - 【請求項１１】 放電成形ユニットの放電端子と円形砥
石との間で放電させる際は、放電する位置に純水が供給
される請求項７乃至１０に記載の切削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23244699A JP4421021B2 (ja) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | 放電成形ユニット及び切削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23244699A JP4421021B2 (ja) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | 放電成形ユニット及び切削装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001054866A true JP2001054866A (ja) | 2001-02-27 |
| JP4421021B2 JP4421021B2 (ja) | 2010-02-24 |
Family
ID=16939416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23244699A Expired - Lifetime JP4421021B2 (ja) | 1999-08-19 | 1999-08-19 | 放電成形ユニット及び切削装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4421021B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002261049A (ja) * | 2001-02-28 | 2002-09-13 | Mitsumi Electric Co Ltd | ダイシング装置及びダイシング方法 |
| JP2010245167A (ja) * | 2009-04-02 | 2010-10-28 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
| US8047036B2 (en) | 2005-06-03 | 2011-11-01 | Magna International Inc. | Device and method for explosion forming |
| US8252210B2 (en) | 2006-08-11 | 2012-08-28 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and device for explosion forming |
| US8250892B2 (en) | 2006-12-01 | 2012-08-28 | Cosma Engineering Europe Ag | Closure device for explosion forming |
| US8322175B2 (en) | 2006-12-20 | 2012-12-04 | Cosma Engineering Europe Ag | Workpiece and method for explosion forming |
| US8650921B2 (en) | 2006-08-11 | 2014-02-18 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and device for explosion forming |
| US8713982B2 (en) | 2008-01-31 | 2014-05-06 | Magna International Inc. | Device for explosive forming |
| US8875553B2 (en) | 2007-02-14 | 2014-11-04 | Cosma Engineering Europe Ag | Method and mould arrangement for explosion forming |
| US8939743B2 (en) | 2007-08-02 | 2015-01-27 | Cosma Engineering Europe Ag | Device for supplying a fluid for explosion forming |
| US9393606B2 (en) | 2007-05-22 | 2016-07-19 | Cosma Engineering Europe Ag | Ignition device for explosive forming |
| JP2016209959A (ja) * | 2015-05-08 | 2016-12-15 | 株式会社ディスコ | 角度付き切削ブレードの製造方法 |
| CN106903387A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-06-30 | 苏州三光科技股份有限公司 | 一种电极丝端部处理装置 |
-
1999
- 1999-08-19 JP JP23244699A patent/JP4421021B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| US8939743B2 (en) | 2007-08-02 | 2015-01-27 | Cosma Engineering Europe Ag | Device for supplying a fluid for explosion forming |
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| CN106903387A (zh) * | 2017-05-05 | 2017-06-30 | 苏州三光科技股份有限公司 | 一种电极丝端部处理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4421021B2 (ja) | 2010-02-24 |
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