JP2000339027A - 搬送システム - Google Patents
搬送システムInfo
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- JP2000339027A JP2000339027A JP11144983A JP14498399A JP2000339027A JP 2000339027 A JP2000339027 A JP 2000339027A JP 11144983 A JP11144983 A JP 11144983A JP 14498399 A JP14498399 A JP 14498399A JP 2000339027 A JP2000339027 A JP 2000339027A
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 実車の無駄な周回を防止することにより、キ
ャリアの搬送時間を短縮することができる搬送システム
を提供すること。 【解決手段】 搬送命令を受けた実車１ａが搬送先ステ
ーション６の状況により入庫できない場合に、この実車
１ａを、その走行状態に応じて搬送先ステーション６の
分岐点３のすぐ上流側で一時停止させ、入庫の待機をさ
せるようにする。
ャリアの搬送時間を短縮することができる搬送システム
を提供すること。 【解決手段】 搬送命令を受けた実車１ａが搬送先ステ
ーション６の状況により入庫できない場合に、この実車
１ａを、その走行状態に応じて搬送先ステーション６の
分岐点３のすぐ上流側で一時停止させ、入庫の待機をさ
せるようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、搬送システムに関
し、特に、半導体又は液晶製造工場内の製造ライン等
で、複数の搬送台車を用いて自動搬送される搬送システ
ムにおいて、搬送命令を受けた実車が搬送先ステーショ
ンの状況により入庫できない場合に、該実車を搬送先ス
テーション付近の上流側で待機させ、実車の無駄な周回
を防止する搬送システムに関するものである。
し、特に、半導体又は液晶製造工場内の製造ライン等
で、複数の搬送台車を用いて自動搬送される搬送システ
ムにおいて、搬送命令を受けた実車が搬送先ステーショ
ンの状況により入庫できない場合に、該実車を搬送先ス
テーション付近の上流側で待機させ、実車の無駄な周回
を防止する搬送システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体生産ラインでは、製品リ
ードタイムの低減や製造のコスト低減のために、搬送シ
ステムに対して、単位時間当りの搬送量を増大させる要
請や搬送時間を短縮させる要請が高まっている。
ードタイムの低減や製造のコスト低減のために、搬送シ
ステムに対して、単位時間当りの搬送量を増大させる要
請や搬送時間を短縮させる要請が高まっている。
【０００３】このような、高搬送量、短搬送時間といっ
た高い搬送能力を必要とする搬送システムでは、例え
ば、図３に示すように、閉ループ状の軌道本線２に対し
て分岐点３と合流点４を有する複数の支線５を設け、支
線５側にそれぞれステーション６を配置した搬送軌道レ
イアウトの構成が採用されている。
た高い搬送能力を必要とする搬送システムでは、例え
ば、図３に示すように、閉ループ状の軌道本線２に対し
て分岐点３と合流点４を有する複数の支線５を設け、支
線５側にそれぞれステーション６を配置した搬送軌道レ
イアウトの構成が採用されている。
【０００４】この場合、キャリア（被搬送物）の搬送命
令（キャリア＃及び搬送先＃）は、図４に示すように、
各ステーション６別に生成される。ステーション６で
は、空車１ｂ（キャリアの積載状態にない搬送台車。本
明細書において同じ。）に対して、キャリアの積み作業
を行うとともに、搬送命令を搬送台車１が有する搬送台
車走行コントローラ７に搬送先を指示する。実車１ａ
（キャリアの積載状態にある搬送台車。本明細書におい
て同じ。）はこの搬送命令に従い、目的である搬送先ス
テーション６に向って走行する。
令（キャリア＃及び搬送先＃）は、図４に示すように、
各ステーション６別に生成される。ステーション６で
は、空車１ｂ（キャリアの積載状態にない搬送台車。本
明細書において同じ。）に対して、キャリアの積み作業
を行うとともに、搬送命令を搬送台車１が有する搬送台
車走行コントローラ７に搬送先を指示する。実車１ａ
（キャリアの積載状態にある搬送台車。本明細書におい
て同じ。）はこの搬送命令に従い、目的である搬送先ス
テーション６に向って走行する。
【０００５】実車１ａが搬送先以外のステーション６に
属する分岐点３に来たときは、そのまま通過する、いわ
ゆる本線走行を行い、搬送先ステーション６に属する分
岐点３に来たときは、支線５側への入線を行い、当該ス
テーション３にて停止して積載キャリアの卸し作業を行
う。
属する分岐点３に来たときは、そのまま通過する、いわ
ゆる本線走行を行い、搬送先ステーション６に属する分
岐点３に来たときは、支線５側への入線を行い、当該ス
テーション３にて停止して積載キャリアの卸し作業を行
う。
【０００６】空車１ｂについても同様に、ステーション
６からの迎車命令の場合のみ、支線５側への入線を行
い、それ以外は本線走行を行う。
６からの迎車命令の場合のみ、支線５側への入線を行
い、それ以外は本線走行を行う。
【０００７】なお、搬送台車１を分岐又は合流させる方
法としては、搬送台車側にステアリング機構を設けた
り、搬送軌道側にポイント機構を設けたりする方法が採
用されている。
法としては、搬送台車側にステアリング機構を設けた
り、搬送軌道側にポイント機構を設けたりする方法が採
用されている。
【０００８】一方、ステーションコントローラ１１で
は、ステーション６での作業の指示、状態把握を行い、
支線５への入線が可能かどうかを管理しており、作業中
であるなどの支線５への入線が不可状態の場合に、搬送
台車運行コントローラ１２を介して実車１ａに入線禁止
を指示し、分岐点３を通過させて本線２側を周回走行さ
せる。
は、ステーション６での作業の指示、状態把握を行い、
支線５への入線が可能かどうかを管理しており、作業中
であるなどの支線５への入線が不可状態の場合に、搬送
台車運行コントローラ１２を介して実車１ａに入線禁止
を指示し、分岐点３を通過させて本線２側を周回走行さ
せる。
【０００９】このように、分岐合流が可能な自動搬送シ
ステムにおいては、軌道本線２には搬送台車１の走行作
業を、支線５にはステーション６での積卸作業を各々割
当てることにより、当該搬送台車１と後続の搬送台車１
とを干渉させることなく、自動搬送システムの高能力化
を図るようにしている。
ステムにおいては、軌道本線２には搬送台車１の走行作
業を、支線５にはステーション６での積卸作業を各々割
当てることにより、当該搬送台車１と後続の搬送台車１
とを干渉させることなく、自動搬送システムの高能力化
を図るようにしている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の搬送
台車の制御方法では、図５に示すように、搬送台車はス
テーション側の指示、すなわち入線可能か否かに従って
分岐処理が行われる。
台車の制御方法では、図５に示すように、搬送台車はス
テーション側の指示、すなわち入線可能か否かに従って
分岐処理が行われる。
【００１１】しかし、搬送先ステーションの支線に入線
できず周回してきた実車が、再度搬送先ステーションの
支線に入線できないタイミングが確率的に発生する。そ
して、搬送命令の状況や走行状況によっては、再々度搬
送先ステーションの支線に入線できないタイミングが発
生する場合もある。このような場合には、実車の周回に
要した時間が、キャリアの搬送時間に積算されてしま
う。
できず周回してきた実車が、再度搬送先ステーションの
支線に入線できないタイミングが確率的に発生する。そ
して、搬送命令の状況や走行状況によっては、再々度搬
送先ステーションの支線に入線できないタイミングが発
生する場合もある。このような場合には、実車の周回に
要した時間が、キャリアの搬送時間に積算されてしま
う。
【００１２】キャリア側からみると、早く搬送される場
合と遅く搬送される場合が発生し、全体のキャリア搬送
時間分布がなだらかな状態になる。すなわち、従来の分
岐合流が可能な自動搬送システムにおいては、極端に搬
送時間の長いキャリアが確率的に発生してしまうことと
なる。
合と遅く搬送される場合が発生し、全体のキャリア搬送
時間分布がなだらかな状態になる。すなわち、従来の分
岐合流が可能な自動搬送システムにおいては、極端に搬
送時間の長いキャリアが確率的に発生してしまうことと
なる。
【００１３】本発明は、上記従来の問題点に鑑み、実車
の無駄な周回を防止することにより、キャリアの搬送時
間を短縮することができる搬送システムを提供すること
を目的とする。
の無駄な周回を防止することにより、キャリアの搬送時
間を短縮することができる搬送システムを提供すること
を目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の搬送システムは、複数の搬送台車が走行す
る閉ループ状の軌道本線に、分岐点と合流点を有する複
数の支線を設け、該支線にそれぞれステーションを配置
した搬送システムにおいて、搬送命令を受けた実車が搬
送先ステーションの状況により入庫できない場合に、該
実車を搬送先ステーション近傍の上流側で一時停止さ
せ、入庫の待機をさせることを特徴とする。
め、本発明の搬送システムは、複数の搬送台車が走行す
る閉ループ状の軌道本線に、分岐点と合流点を有する複
数の支線を設け、該支線にそれぞれステーションを配置
した搬送システムにおいて、搬送命令を受けた実車が搬
送先ステーションの状況により入庫できない場合に、該
実車を搬送先ステーション近傍の上流側で一時停止さ
せ、入庫の待機をさせることを特徴とする。
【００１５】本発明の搬送システムにおいては、搬送先
ステーションに入庫できない場合に、実車を一時停止さ
せて待機させることから、実車の無駄な周回を防止し、
搬送時間の極端に長いキャリアの発生を防止することが
でき、搬送時間分布を均一的に近づけることが可能とな
る。これにより、自動搬送システム全体での搬送時間を
短縮することができ、また、製造リードタイムを短縮す
ることが可能となる。
ステーションに入庫できない場合に、実車を一時停止さ
せて待機させることから、実車の無駄な周回を防止し、
搬送時間の極端に長いキャリアの発生を防止することが
でき、搬送時間分布を均一的に近づけることが可能とな
る。これにより、自動搬送システム全体での搬送時間を
短縮することができ、また、製造リードタイムを短縮す
ることが可能となる。
【００１６】この場合、一時停止させる実車は、その走
行距離や走行時間等の走行状態に応じて選択することが
可能であり、これにより、より効率的な搬送制御を行う
ことが可能である。
行距離や走行時間等の走行状態に応じて選択することが
可能であり、これにより、より効率的な搬送制御を行う
ことが可能である。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送システムの実
施の形態を図面に基づいて説明する。
施の形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】本発明の搬送システムは、例えば、図３に
示すように、複数の搬送台車１が同一方向に走行する閉
ループ状の軌道本線２に、分岐点３と合流点４を有する
複数の支線５を設け、この支線５にそれぞれステーショ
ン６を配置した従来と同様の基本構成を有している。
示すように、複数の搬送台車１が同一方向に走行する閉
ループ状の軌道本線２に、分岐点３と合流点４を有する
複数の支線５を設け、この支線５にそれぞれステーショ
ン６を配置した従来と同様の基本構成を有している。
【００１９】そして、本実施例では、図１〜図２に示す
ように、搬送命令を受けた実車１ａが搬送先ステーショ
ン６の状況により入庫できない場合に、この実車１ａ
を、その走行状態に応じて搬送先ステーション６の分岐
点３のすぐ上流側で一時停止させ、入庫の待機をさせる
ようにしている。
ように、搬送命令を受けた実車１ａが搬送先ステーショ
ン６の状況により入庫できない場合に、この実車１ａ
を、その走行状態に応じて搬送先ステーション６の分岐
点３のすぐ上流側で一時停止させ、入庫の待機をさせる
ようにしている。
【００２０】搬送台車１は、自車が搭載する搬送台車走
行コントローラ７によって、搬送命令のほか、キャリア
を積載してからの走行時間や走行距離などの走行状態を
収集し管理することが可能である。この搬送台車走行コ
ントローラ７は、従来の入線可能か否かの従属的実行の
他、禁止の場合において周回するか、あるいはその場に
て一時停止するかの判断を実行する。この判断により、
実車１ａが再度周回してきた場合には一時停止を行うな
ど、搬送時間の極端に長いキャリアを発生させないよう
にすることが可能である。すなわち、実車１ａの走行状
態を考慮して搬送先ステーション６への分岐処理を実行
することにより、実車１ａの無駄な周回を防止して、搬
送時間の極端に長いキャリアの発生を防止し、効率的な
搬送制御を行うことが可能である。
行コントローラ７によって、搬送命令のほか、キャリア
を積載してからの走行時間や走行距離などの走行状態を
収集し管理することが可能である。この搬送台車走行コ
ントローラ７は、従来の入線可能か否かの従属的実行の
他、禁止の場合において周回するか、あるいはその場に
て一時停止するかの判断を実行する。この判断により、
実車１ａが再度周回してきた場合には一時停止を行うな
ど、搬送時間の極端に長いキャリアを発生させないよう
にすることが可能である。すなわち、実車１ａの走行状
態を考慮して搬送先ステーション６への分岐処理を実行
することにより、実車１ａの無駄な周回を防止して、搬
送時間の極端に長いキャリアの発生を防止し、効率的な
搬送制御を行うことが可能である。
【００２１】以下、このシステムを具体的に説明する。
図１に示すように、実車１は搬送先ステーション６に向
って走行しており、この実車１の搬送台車走行コントロ
ーラ７は、走行中に自車の走行状態を収集及び管理して
いる。走行状態とは、例えば、キャリア（図示せず）を
積載してからどのくらいの距離を走行したか、どのくら
いの時間を要したかなどである。なお、従来では、実車
１が搬送先ステーション６に近づいたときに、搬送台車
走行コントローラ７は入線許可を判断するだけであり、
入線が禁止の場合は単純に周回を指示するだけであっ
た。
図１に示すように、実車１は搬送先ステーション６に向
って走行しており、この実車１の搬送台車走行コントロ
ーラ７は、走行中に自車の走行状態を収集及び管理して
いる。走行状態とは、例えば、キャリア（図示せず）を
積載してからどのくらいの距離を走行したか、どのくら
いの時間を要したかなどである。なお、従来では、実車
１が搬送先ステーション６に近づいたときに、搬送台車
走行コントローラ７は入線許可を判断するだけであり、
入線が禁止の場合は単純に周回を指示するだけであっ
た。
【００２２】本実施例では、搬送先ステーション６の状
況によって支線５への入線が禁止されている場合は、搬
送台車走行コントローラ７が、ある設定ルールに基づき
周回か一時停止かの判断をすることにより、効率的な搬
送制御を行うことが可能である。ここでいう設定ルール
とは、例えば、実車が既に周回してきた場合や、設定し
た搬送時間に迫っている場合などは一時停止を行うとい
うものである。
況によって支線５への入線が禁止されている場合は、搬
送台車走行コントローラ７が、ある設定ルールに基づき
周回か一時停止かの判断をすることにより、効率的な搬
送制御を行うことが可能である。ここでいう設定ルール
とは、例えば、実車が既に周回してきた場合や、設定し
た搬送時間に迫っている場合などは一時停止を行うとい
うものである。
【００２３】これらのルールは、シミュレーションに基
づいて効果的に設定する手法が取られる。また、実際の
搬送システムの搬送実績に基づいて設定することも可能
である。
づいて効果的に設定する手法が取られる。また、実際の
搬送システムの搬送実績に基づいて設定することも可能
である。
【００２４】これら走行状態の収集や分岐処理の制御
は、自動搬送システムをコントロールする搬送コントロ
ーラ８や上位システム１０（図４参照）でも管理は可能
であるが、搬送台車１自体にて行う方が、搬送コントロ
ーラ８やネットワーク９の負荷からみた場合に有利であ
る。
は、自動搬送システムをコントロールする搬送コントロ
ーラ８や上位システム１０（図４参照）でも管理は可能
であるが、搬送台車１自体にて行う方が、搬送コントロ
ーラ８やネットワーク９の負荷からみた場合に有利であ
る。
【００２５】以上、本発明の搬送システムの実施例につ
いて説明したが、実車１ａの本線での一時停止は、後続
の搬送台車が来るまでに概ねステーション６が入庫し得
る状況となるため、搬送台車同士が干渉することはな
い。しかし、実車１ａの一時停止位置を搬送先ステーシ
ョン６と分岐点３の間の支線５上として、長時間待機す
る場合でも、他の搬送台車の周回を妨げないようにする
ことも可能である。
いて説明したが、実車１ａの本線での一時停止は、後続
の搬送台車が来るまでに概ねステーション６が入庫し得
る状況となるため、搬送台車同士が干渉することはな
い。しかし、実車１ａの一時停止位置を搬送先ステーシ
ョン６と分岐点３の間の支線５上として、長時間待機す
る場合でも、他の搬送台車の周回を妨げないようにする
ことも可能である。
【００２６】
【発明の効果】本発明の搬送システムによれば、搬送先
ステーションに入庫できない場合に、実車を一時停止さ
せて待機させることから、従来の入庫のタイミングのず
れによる実車の無駄な周回を防止し、搬送時間の極端に
長いキャリアの発生を防止することが可能であり、これ
により自動搬送システム全体での搬送時間を短縮するこ
とができ、また製造リードタイムを短縮することが可能
となる。また、この搬送システムは、複雑で高度な搬送
コントローラや上位システムを必要とすることなく、搬
送台車自体の走行コントローラの制御だけで具現化が可
能であり、複雑な搬送台車制御を構築することなく搬送
時間の短縮と製造リードタイムの短縮が可能となる。
ステーションに入庫できない場合に、実車を一時停止さ
せて待機させることから、従来の入庫のタイミングのず
れによる実車の無駄な周回を防止し、搬送時間の極端に
長いキャリアの発生を防止することが可能であり、これ
により自動搬送システム全体での搬送時間を短縮するこ
とができ、また製造リードタイムを短縮することが可能
となる。また、この搬送システムは、複雑で高度な搬送
コントローラや上位システムを必要とすることなく、搬
送台車自体の走行コントローラの制御だけで具現化が可
能であり、複雑な搬送台車制御を構築することなく搬送
時間の短縮と製造リードタイムの短縮が可能となる。
【００２７】そして、一時停止させる実車は、その走行
距離や走行時間等の走行状態に応じて選択することが可
能であり、これにより、より効率的な搬送制御を行うこ
とが可能である。
距離や走行時間等の走行状態に応じて選択することが可
能であり、これにより、より効率的な搬送制御を行うこ
とが可能である。
【図１】本発明の搬送システムにおいて、搬送台車の入
庫時の状態を示す平面図である。
庫時の状態を示す平面図である。
【図２】同搬送台車の制御方法を示すフローチャートで
ある。
ある。
【図３】搬送システムを示す全体図である。
【図４】従来の搬送台車の入庫時の状態を示す平面図で
ある。
ある。
【図５】従来の搬送台車の制御方法を示すフローチャー
トである。
トである。
１ 搬送台車 １ａ 実車 １ｂ 空車 ２ 軌道本線 ３ 分岐点 ４ 合流点 ５ 支線 ６ ステーション ７ 搬送台車走行コントローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川越 敏昌 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 岡田 巧 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 5H301 AA02 AA09 BB05 CC03 CC06 DD05 DD15 EE02 EE18 FF01 GG11 KK02 KK08 KK12 KK13 KK14
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の搬送台車が走行する閉ループ状の
軌道本線に、分岐点と合流点を有する複数の支線を設
け、該支線にそれぞれステーションを配置した搬送シス
テムにおいて、搬送命令を受けた実車が搬送先ステーシ
ョンの状況により入庫できない場合に、該実車を搬送先
ステーション近傍の上流側で一時停止させ、入庫の待機
をさせることを特徴とする搬送システム。 - 【請求項２】 実車をその走行距離や走行時間等の走行
状態に応じて一時停止させることを特徴とする請求項１
記載の搬送システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144983A JP2000339027A (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11144983A JP2000339027A (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 搬送システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000339027A true JP2000339027A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=15374762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11144983A Pending JP2000339027A (ja) | 1999-05-25 | 1999-05-25 | 搬送システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000339027A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108352349A (zh) * | 2015-12-09 | 2018-07-31 | 村田机械株式会社 | 输送系统和输送方法 |
| WO2019176352A1 (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 村田機械株式会社 | 走行車コントローラ及び走行車システム |
-
1999
- 1999-05-25 JP JP11144983A patent/JP2000339027A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108352349A (zh) * | 2015-12-09 | 2018-07-31 | 村田机械株式会社 | 输送系统和输送方法 |
| US10571927B2 (en) | 2015-12-09 | 2020-02-25 | Murata Machinery, Ltd. | Transport system and transport method |
| CN108352349B (zh) * | 2015-12-09 | 2022-07-22 | 村田机械株式会社 | 输送系统和输送方法 |
| WO2019176352A1 (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 村田機械株式会社 | 走行車コントローラ及び走行車システム |
| JPWO2019176352A1 (ja) * | 2018-03-15 | 2020-12-03 | 村田機械株式会社 | 走行車コントローラ及び走行車システム |
| TWI801519B (zh) * | 2018-03-15 | 2023-05-11 | 日商村田機械股份有限公司 | 行走車控制器及行走車系統 |
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