[go: up one dir, main page]
More Web Proxy on the site http://driver.im/

JP2000333437A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

Info

Publication number
JP2000333437A
JP2000333437A JP11136819A JP13681999A JP2000333437A JP 2000333437 A JP2000333437 A JP 2000333437A JP 11136819 A JP11136819 A JP 11136819A JP 13681999 A JP13681999 A JP 13681999A JP 2000333437 A JP2000333437 A JP 2000333437A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
armature
coil
linear motor
pitch
coil layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP11136819A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3550678B2 (ja
Inventor
Toru Shikayama
透 鹿山
Tadahiro Miyamoto
恭祐 宮本
Nobuyuki Irie
信幸 入江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yaskawa Electric Corp
Original Assignee
Yaskawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yaskawa Electric Corp filed Critical Yaskawa Electric Corp
Priority to JP13681999A priority Critical patent/JP3550678B2/ja
Priority to PCT/JP2000/004001 priority patent/WO2001099261A1/ja
Priority claimed from PCT/JP2000/004001 external-priority patent/WO2001099261A1/ja
Publication of JP2000333437A publication Critical patent/JP2000333437A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3550678B2 publication Critical patent/JP3550678B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Insulation, Fastening Of Motor, Generator Windings (AREA)
  • Linear Motors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 電機子コイル間の絶縁が良好で、組立て易
く、かつ推力リプルが非常に小さいリニアモータを提供
する。 【解決手段】 複数の界磁極からなる2次側部を取り付
けた2次側部支持体と、2次側部に空隙を介して対向す
るとともに、複数個の集中巻した電機子コイル6を有す
る電機子部4を取り付けた電機子部支持体とを有し、2
次側部と電機子部4とが、互いに向かい合って進行方向
に平行に配置されているリニアモータにおいて、2次側
部の界磁極を、Pmピッチごとに隣と異極になるように
可動部の進行方向に配置するとともに、複数個の電機子
コイル6を、Pcピッチごとに可動部の進行方向に並べ
て配置し、コイルピッチPcを、Pc=5/3×Pm
とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、推力リプルや可動
子のヨーイング、ピッチングの小さいことが要求される
一定速送り用や、高速位置決め用のリニアモータに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】従来のリニアモータには、集中巻の電機
子コイルを重ねずに配置したものがあるが、これらはコ
ギング力が発生しないために、速度リプルの小さいこと
が要求される用途に適している。また、集中巻にしたコ
イルを重ねずに配置する簡単な構造であるため絶縁が容
易であり、200Vといった電圧の用途にも適用が可能
となっている。従来のリニアモータを図9ないし図11
に示す。図9は、リニアモータの可動子の進行方向から
見た正断面図、図10は図9におけるA−A線に沿う平
断面図、図11は電機子部を示す側面図である。図9な
いし図11において、リニアモータ1は、可動部2と固
定部3とから構成されている。可動部2は、いわゆるコ
アレスタイプの電機子部4と、前記電機子部4を取り付
けた電機子部支持体5とからなっている。前記電機子部
4は、複数個、例えば6個の集中巻にした電機子コイル
6を進行方向に一列に配置し、樹脂7でモールドして構
成している。また、前記電機子コイル6は、3相3コイ
ル4極を基本構成としており、電機子コイル6のコイル
ピッチPcは、4/3×Pmとなっている。6個の電機
子コイル6は紙面上において左からU、W、V相の順に
並べられている。前記集中巻の電機子コイル6の形状
は、図11に示すように、2次側部8a、8bと対向し
た主に推力を発生する2つのコイル辺6が平行した形状
となっている。そして、これらの6個の電機子コイル6
を進行方向に一列に配置している。また、固定部3は、
永久磁石からなるいわゆる界磁極としての2次側部8
a、8bと、前記2次側部8a、8bを取り付けたいわ
ゆるバックヨークとしての2次側部支持体9a、9bと
を有している。前記2次側部8a、8bを構成する永久
磁石は、隣接する永久磁石と異極になるようにPmピッ
チごとに配置され、また、対向する永久磁石どうしが異
極になるように並べて配置されている。なお、前記2次
側部8a、8bと前記電機子部4は、互いに向かい合っ
て進行方向に平行に配置され、2つの2次側部支持体9
a、9bは、支持部材10によって連結して支持されて
いる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術では次のような問題があった。 (1) 異相の電機子コイルが隣接するため、200Vとい
った高電圧で使用する場合、絶縁不良を起こす恐れがあ
る。 (2) 絶縁性を上げるためには、電機子コイル間に絶縁物
を挿入する必要があり、組立に手間がかかって、製造コ
ストが高くなる。 (3) 集中巻の電機子コイルを用いているため、推力リプ
ルが発生する。 本発明は、このような問題を解消するためになされたも
ので、電機子コイル間の絶縁が良好で、組立て易く、か
つ推力リプルが非常に小さいリニアモータを提供するこ
とを目的とするものである。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、本発明は、複数の界磁極からなる2次側部を取り付
けた2次側部支持体と、前記2次側部に空隙を介して対
向するとともに、複数個の集中巻した電機子コイルを有
する電機子部を取り付けた電機子部支持体とを有し、前
記2次側部と前記電機子部とが、互いに向かい合って進
行方向に平行に配置されているリニアモータにおいて、
前記2次側部の界磁極を、Pmピッチごとに隣と異極に
なるように可動部の進行方向に配置するとともに、前記
複数個の電機子コイルを、Pcピッチごとに可動部の進
行方向に並べて配置し、前記コイルピッチPcを、Pc
=5/3×Pm としたものである。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。なお、本発明におけるリニアモータの基
本構造は、電機子部を除き、従来技術におけるリニアモ
ータの構造と略同じであり、図9ないし図11と同一も
しくは相当する部材は、同一符号を付し説明を省略す
る。 [第1の実施例]図1は本発明の第1の実施例における
電機子コイルの配置を示す電機子部の側面図である。図
1に示すように、電機子部4は、進行方向に一列に配備
した集中巻の電機子コイル6を樹脂7でモールドして構
成している。前記電機子コイル6は、3相で6コイルか
ら構成されており、2次側部の界磁極のピッチをPmと
した場合、集中巻の電機子コイル6のコイルピッチPc
を Pc=5/3×Pm として、ピッチごとに可動部の進行方向に並べて配置し
ている。これらの6個の電機子コイル6の並べ方は、紙
面において左から、順方向巻のU相コイル、逆方向巻の
V相コイル、順方向巻のW相コイル、逆方向巻のU相コ
イル、順方向巻のV相コイル、逆方向巻のW相コイルの
順としている。なお、前記コイルピッチPcを電気角で
表すと、5/3×180=300度となる。1個の電機
子コイル6について、コイル幅Wc/磁石ピッチPmに
対する巻線係数と所定の推力発生時の損失の関係を図2
に示す。図2において、A1、A2は、コイル幅Wcに
対する空心幅(コイル中央部の空間の幅)の割合が0.
6の電機子コイル6を用いたもの、B1、B2は、コイ
ル幅Wcに対する空心幅の割合が0.4の電機子コイル
6を用いたもの、また、C1、C2は、コイル幅Wcに
対する空心幅の割合が0.2の電機子コイル6を用いた
ものを示している。本発明では、コイルピッチPcを5
/3×Pmとしているので、Wc/Pmは5/3以下で
考える必要がある。巻線係数はWc/Pmが4/3近辺
で最大となっている。コイル幅Wcを拡げることによっ
て巻数を増やすことができるので、損失はWc/Pmが
4/3よりも大きなところで最小にすることができる。
しかし、Wc/Pmが5/3に近づくにつれ、コイル間
が狭くなるため、電機子コイル6間の絶縁が問題とな
る。本発明では、界磁極ピッチPmの大きさと絶縁必要
間隔によって、コイル幅Wcを決めることができる。例
えば、界磁極ピッチPmを18mmとし、損失を小さく
できるWc/Pmを4/3とした場合、 コイルピッチ Pc=5/3×18mm=30mm コイル幅 Wc=4/3×18mm=24mm コイル間隔 Wg=Pc−Wc=30mm−24mm=6mm となる。つまり、電機子コイル6と電機子コイル6との
間隔は6mmも開くことになる。従来技術の場合は、こ
のコイル間隔が非常に狭くなるために、高電圧仕様のと
き絶縁を確保できない問題があったが、本発明の場合
は、6mmも電機子コイル6間が開くことになるので、
そこに何ら絶縁物を挿入せずとも、絶縁を確実に確保す
ることができる。
【0006】[第2の実施例]次に第2の実施例につい
て説明する。図3は可動部の進行方向から見たリニアモ
ータの正断面図、図4は電機子部のコイル配置を示す図
である。第2の実施例の固定部3は、第1の実施例と同
じ構造である。第1の実施例と違う点は、電機子部4の
構造である。電機子部4は、集中巻の電機子コイル6を
進行方向に一列に配備したコイル層を2層にし、コイル
層間に非磁性材の絶縁物11を挿入し、全体を樹脂7で
モールドして構成している。紙面左側の第1のコイル層
6a、紙面右側の第2のコイル層6bは、それぞれ界磁
極のピッチをPmとした場合、集中巻の電機子コイル6
のコイルピッチPcを Pc=5/3×Pm として、ピッチごとに可動部の進行方向に並べて配置し
ている。さらに、第1のコイル層と第2のコイル層は、
5/6×Pmのずれ量Sで、可動部の進行方向にずれて
配置されている。これを電気角で表すと5/6×180
=150度となる。したがって、電機子部4の第1のコ
イル層6aは、紙面において左から順方向巻のU相コイ
ル、逆方向巻のV相コイル、順方向巻のW相コイルの順
に並び、第2のコイル層は、逆方向巻のU相コイル、順
方向巻のV相コイル、逆方向巻のW相コイルの順に並ん
で配置される。このように構成されたものは、前記第1
の実施例と同様の効果がある。また、電機子部4を側面
から見ると(2次側部側からみると)、異相のコイル同
士が重なる所が現れる。つまり、電機子部4において、
電機子部4と2次側部8a、8b間のエアギャップの厚
み方向に相帯が分布されるため、永久磁石などの界磁極
の磁化のバラツキや位置ずれなどにより発生する推力リ
プルを低減することができる。
【0007】[第3の実施例]次に第3の実施例を図5
に基づいて説明する。この第3の実施例は、第2の実施
例において、その電機子部4の電機子コイル6の配置方
法を変えたものである。第1のコイル層、第2のコイル
層の各コイル配置は同じであるが、第1のコイル層と第
2のコイル層を2/3×Pm(電気角120度)だけず
らして配置している。第1のコイル層は、紙面において
左から順方向巻のU相コイル、逆方向巻のV相コイル、
順方向巻のW相コイルの順に並び、第2のコイル層は、
左から順方向巻のV相コイル、逆方向巻のW相コイル、
順方向巻のU相コイルの順に並んで配置される。第3の
実施例も、第2の実施例と同様の効果を得ることができ
るが、第3の実施例は、第1のコイル層6aと第2のコ
イル層6bのずれを電気角で120度に小さくしている
ので、電機子部4の長さを小さくできるメリットがあ
る。
【0008】[第4の実施例]次に第4の実施例を、図
6に基づいて説明する。この第4の実施例は、第2、3
の実施例において、その電機子部4のコイル配置方法を
変えたものである。第1のコイル層6a、第2のコイル
層6bの各コイル配置は同じであるが、第1のコイル層
6aと第2のコイル層6bを1/3×Pm(電気角60
度)だけずらして配置している。第1のコイル層6a
は、左から順方向巻のU相コイル、逆方向巻のV相コイ
ル、順方向巻のW相コイルの順に並び、第2のコイル層
6bは、左から逆方向巻のW相コイル、順方向巻のU相
コイル、逆方向巻のV相コイルの順に並んで配置され
る。この第4の実施例も、前述の第2、第3の実施例と
同様の効果を得ることができるが、第4の実施例は、第
1のコイル層6aと第2のコイル層6bのずれを電気角
で60度に小さくしているので、電機子部4の長さをさ
らに小さくできるメリットがある。
【0009】[第5の実施例]次に第5の実施例を、図
7および図8に基づいて説明する。第5の実施例は、前
述の第1の実施例ないし第4の実施例において、その電
機子部4のコイル幅とコイルピッチを変えたものであ
る。まず、すべてのコイルのコイル幅Wcを、 Wc=4/3×Pm としている。このような大きさのコイル幅Wcは、大き
な推力を発生させることができる。そして、耐高電圧仕
様でない用途には、図7に示すように、コイルピッチP
cを Pc=4/3×Pm として構成し、耐高電圧仕様には、図8に示すように、
コイルピッチPcを Pc=5/3×Pm として構成する。コイルピッチPcは、5/3×Pmと
するよりも、4/3×Pmとした方が電機子部の長さを
小さくすることができるため、用途に応じてコイルピッ
チPcを変えて構成する。これにより、リニアモータを
低コストで製造することができる。
【0010】[第6の実施例]前記第2の実施例から第
5の実施例においては、第1のコイル層6aと第2のコ
イル層6bの間に絶縁物11を挿入しているが、前記絶
縁物11を、前記第1のコイル層6aと第2のコイル層
6bの結線をパターン化したプリント基板で構成しても
よい。この場合は、電機子コイル6間の結線処理を簡単
化することができる。
【0011】なお、本発明は上記各実施例の構成に限る
ことはなく、次のような構成にしてもよい。 (a) 電機子部と2次側部は、いずれが固定子あるいは可
動子でも構わない。 (b) 永久磁石形のリニアモータだけでなく、電磁石形の
リニアモータでもよく、また、インダクション形のリニ
アモータや、リラクタンス形のリニアモータなど電機子
を有するものであればどのようなリニアモータでもよ
い。 (c) 電機子部はコアレスタイプでなく、コアを有するタ
イプのものでもよい。
【0012】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような効果がある。 (1) 集中巻にした電機子コイルを、所定の間隔を離して
配置しているので、200Vの高電圧仕様においても、
十分な絶縁ができる。 (2) 電機子コイル間に絶縁物を挿入する必要がなく、組
立てが簡単であり、製造コストを低減することができ
る。 (3) 電機子部の左右両面に電機子コイルをずらして配置
しているので、相帯を分布させることができ、永久磁石
などの界磁極の磁化のバラツキや位置ずれによる推力リ
プルを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示すコイル配置図であ
る。
【図2】1個の電機子コイルにおける、コイル幅Wc/
磁石ピッチPmに対する巻線係数と損失の関係を示すグ
ラフである。
【図3】本発明の第2の実施例におけるリニアモータの
正断面図である。
【図4】本発明の第2の実施例を示すコイル配置図であ
る。
【図5】本発明の第3の実施例を示すコイル配置図であ
る。
【図6】本発明の第4の実施例を示すコイル配置図であ
る。
【図7】本発明の第5の実施例を示すコイル配置図であ
る。
【図8】本発明の第5の実施例を示すコイル配置図であ
る。
【図9】従来技術におけるリニアモータを示す正断面図
である。
【図10】図8におけるA−A線に沿う平断面図であ
る。
【図11】従来技術におけるコイル配置図である。
【符号の説明】
1 リニアモータ、 2 可動部、 3 固定部、 4 電機子部、 5 電機子部支持体、 6 電機子コイル、 7 樹脂、 8a、8b 2次側部、 9a、9b 2次側部支持体、 10 支持部材、 11 絶縁物
フロントページの続き Fターム(参考) 5H604 AA08 BB11 CC01 CC02 CC04 CC20 PB02 PE06 QB04 5H641 BB06 BB18 BB19 GG02 GG03 GG05 GG07 GG11 GG12 HH02 HH03

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の界磁極からなる2次側部を取り付
    けた2次側部支持体と、 前記2次側部に空隙を介して対向するとともに、複数個
    の集中巻した電機子コイルを有する電機子部を取り付け
    た電機子部支持体とを有し、 前記2次側部と前記電機子部とが、互いに向かい合って
    進行方向に平行に配置されているリニアモータにおい
    て、 前記2次側部の界磁極を、Pmピッチごとに隣と異極に
    なるように可動部の進行方向に配置するとともに、 前記複数個の電機子コイルを、Pcピッチごとに可動部
    の進行方向に並べて配置し、 前記コイルピッチPcを、 Pc=5/3×Pm としたことを特徴とするリニアモータ。
  2. 【請求項2】 前記電機子部の電機子コイルを、第1コ
    イル層と第2コイル層の2層で構成したことを特徴とす
    る請求項1に記載のリニアモータ。
  3. 【請求項3】 nを整数としたとき、前記第1コイル層
    と第2コイル層を、 n/6×Pm だけずらして配置したことを特徴とする請求項2に記載
    のリニアモータ。
  4. 【請求項4】 前記電機子コイルの幅Wcを、 Wc=4/3×Pm としたことを特徴とする請求項1から3のいずれかの項
    に記載のリニアモータ。
  5. 【請求項5】 前記第1コイル層と第2コイル層の間
    に、非磁性材の絶縁物を挿入したことを特徴とする請求
    項2から4のいずれかの項に記載のリニアモータ。
  6. 【請求項6】 前記絶縁物を、第1コイル層と第2コイ
    ル層の結線をパターン化したプリント基板で構成したこ
    とを特徴とする請求項5に記載のリニアモータ。
JP13681999A 1999-05-18 1999-05-18 リニアモータ Expired - Fee Related JP3550678B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13681999A JP3550678B2 (ja) 1999-05-18 1999-05-18 リニアモータ
PCT/JP2000/004001 WO2001099261A1 (fr) 1999-05-18 2000-06-19 Moteur lineaire

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13681999A JP3550678B2 (ja) 1999-05-18 1999-05-18 リニアモータ
PCT/JP2000/004001 WO2001099261A1 (fr) 1999-05-18 2000-06-19 Moteur lineaire

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000333437A true JP2000333437A (ja) 2000-11-30
JP3550678B2 JP3550678B2 (ja) 2004-08-04

Family

ID=26344909

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13681999A Expired - Fee Related JP3550678B2 (ja) 1999-05-18 1999-05-18 リニアモータ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3550678B2 (ja)

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003032939A (ja) * 2001-07-11 2003-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電動機
JP2003209964A (ja) * 2001-12-14 2003-07-25 Gisulfo Baccini リニアモータおよび前記リニアモータの製作方法
JP2003230265A (ja) * 2001-12-14 2003-08-15 Gisulfo Baccini リニアモータおよび前記リニアモータの製作方法
JP2006262656A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Mitsubishi Electric Corp 電動機
JP2006523800A (ja) * 2003-04-14 2006-10-19 スウェディッシュ シーベイスト エナジー アクチボラグ 電磁的減衰手段を備えた波力発電アセンブリ
JP2010213546A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
CN102651599A (zh) * 2011-02-23 2012-08-29 株式会社安川电机 线性马达
WO2012176236A1 (ja) * 2011-06-22 2012-12-27 三菱電機株式会社 リニアモータ
CN104995417A (zh) * 2012-09-12 2015-10-21 詹尼西斯集团有限公司 并联运动机构及其轴承与致动器
CN105071574A (zh) * 2015-08-17 2015-11-18 成都茂源科技有限公司 一种高速多相电励磁同步直线电机
JP2016512946A (ja) * 2013-03-19 2016-05-09 ジャン ソクホJANG, Sukho 分割コイル体を有するコイル板と分割磁石を有する往復動型磁石板を用いた発電兼用電動装置
JP2019508001A (ja) * 2016-02-12 2019-03-22 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 電磁モータ及びステージ装置
US11303175B2 (en) 2016-02-12 2022-04-12 Asml Netherlands B.V. Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method

Cited By (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003032939A (ja) * 2001-07-11 2003-01-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電動機
JP2003209964A (ja) * 2001-12-14 2003-07-25 Gisulfo Baccini リニアモータおよび前記リニアモータの製作方法
JP2003230265A (ja) * 2001-12-14 2003-08-15 Gisulfo Baccini リニアモータおよび前記リニアモータの製作方法
JP4512874B2 (ja) * 2001-12-14 2010-07-28 アフコ・コマンディタール・フエンノートシャップ リニアモータおよび前記リニアモータの製作方法
JP2006523800A (ja) * 2003-04-14 2006-10-19 スウェディッシュ シーベイスト エナジー アクチボラグ 電磁的減衰手段を備えた波力発電アセンブリ
JP2006262656A (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Mitsubishi Electric Corp 電動機
JP2010213546A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
CN102651599A (zh) * 2011-02-23 2012-08-29 株式会社安川电机 线性马达
CN103650306A (zh) * 2011-06-22 2014-03-19 三菱电机株式会社 线性电动机
JP5372298B2 (ja) * 2011-06-22 2013-12-18 三菱電機株式会社 リニアモータ
WO2012176236A1 (ja) * 2011-06-22 2012-12-27 三菱電機株式会社 リニアモータ
KR101370230B1 (ko) 2011-06-22 2014-03-25 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 리니어 모터
CN103650306B (zh) * 2011-06-22 2015-09-30 三菱电机株式会社 线性电动机
CN104995417A (zh) * 2012-09-12 2015-10-21 詹尼西斯集团有限公司 并联运动机构及其轴承与致动器
JP2015531461A (ja) * 2012-09-12 2015-11-02 ジェネシス グループ インコーポレイテッド 平行運動機構及び平行運動機構のベアリング及びアクチュエータ
JP2016512946A (ja) * 2013-03-19 2016-05-09 ジャン ソクホJANG, Sukho 分割コイル体を有するコイル板と分割磁石を有する往復動型磁石板を用いた発電兼用電動装置
CN105071574A (zh) * 2015-08-17 2015-11-18 成都茂源科技有限公司 一种高速多相电励磁同步直线电机
CN105071574B (zh) * 2015-08-17 2017-07-11 成都茂源科技有限公司 一种高速多相电励磁同步直线电机
JP2019508001A (ja) * 2016-02-12 2019-03-22 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 電磁モータ及びステージ装置
US11303175B2 (en) 2016-02-12 2022-04-12 Asml Netherlands B.V. Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method
US11837931B2 (en) 2016-02-12 2023-12-05 Asml Netherlands B.V. Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method

Also Published As

Publication number Publication date
JP3550678B2 (ja) 2004-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3745884B2 (ja) モータ構造及びその製造方法
JP3344645B2 (ja) 永久磁石を用いたモータ
US6160327A (en) Winding for linear motors without slots
WO2014174572A1 (ja) 永久磁石型モータ
JP3550678B2 (ja) リニアモータ
JP2004357368A (ja) 永久磁石を利用したモータ
TW200838096A (en) Gap winding motor
US6800968B1 (en) Linear motor
JPH11262236A (ja) リニアモータ
JP6723349B2 (ja) 永久磁石型モータ
JP2002209371A (ja) リニアモータ
JP3941314B2 (ja) コアレスリニアモータ
JPH023393B2 (ja)
JP2001119919A (ja) リニアモータ
JPH11178310A (ja) リニアモータ
JP4433523B2 (ja) コアレスリニアモータ
JP2785406B2 (ja) リニアサーボモータ
JP3817967B2 (ja) リニアモータ
JP2002101636A (ja) リニアモータ
JPH11308850A (ja) リニアモータ
JP3824060B2 (ja) リニアモータ
KR100492303B1 (ko) 리니어 모터
JPH10174420A (ja) 平滑巻線形リニアモータ
JP2002034230A (ja) リニアモータの電機子
JP2002034229A (ja) コアレスリニアモータ

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20031211

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20031226

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040329

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040411

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090514

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100514

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110514

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees