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JP2000326486A - Ic card surface treating apparatus - Google Patents

Ic card surface treating apparatus

Info

Publication number
JP2000326486A
JP2000326486A JP11136107A JP13610799A JP2000326486A JP 2000326486 A JP2000326486 A JP 2000326486A JP 11136107 A JP11136107 A JP 11136107A JP 13610799 A JP13610799 A JP 13610799A JP 2000326486 A JP2000326486 A JP 2000326486A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
card
surface treatment
printing
cleaning
cleaning agent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11136107A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Jun Furuhashi
潤 古橋
Hiroshi Araki
洋 荒木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Chemical Corp
Original Assignee
Toshiba Chemical Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Chemical Corp filed Critical Toshiba Chemical Corp
Priority to JP11136107A priority Critical patent/JP2000326486A/en
Publication of JP2000326486A publication Critical patent/JP2000326486A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To treat a printing surface of an IC card so as not to generate cutting unevenness or a cutting pattern in a rotating direction of a roll. SOLUTION: The IC card surface treating apparatus comprises a conveyor 2 for placing an IC card 1 to continuously convey the card 1, a blasting mechanism 3 for blasting abrasives 7 to a surface of the conveyed card 1 to polish a satin-like surface, a liquid cleaning agent injecting mechanism 4 for cleaning the polished card 1 with a liquid cleaning agent 9, and a gas injecting mechanism 5 for drying the cleaned card 1 with warm air 11.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、身分証、キャッシ
ュカード、プリペイドカード等に用いられるICカード
に関し、特にICカードの表面に写真、絵柄、文字等の
印刷を印刷するための印刷面の改質、又は印刷された面
の印刷を除去する表面処理装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an IC card used for an identification card, a cash card, a prepaid card, etc., and more particularly to a modification of a printing surface for printing a photograph, a picture, a character, etc. on the surface of the IC card. The present invention relates to a surface treatment apparatus for removing a print of a quality or a printed surface.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICカードには接触式あるいは非接触式
のものがあり、これらのICカードはセキュリティが高
く、記憶容量が大きいために、従来から身分証や、キャ
ッシュカード、プリペイドカード等に多く用いられてい
る。
2. Description of the Related Art There are contact type or non-contact type IC cards, and these IC cards have high security and large storage capacity, and thus have been widely used for identification cards, cash cards, prepaid cards and the like. Used.

【0003】このICカードには、ICチップや、端
子、アンテナコイル等の高価な部品が内蔵さているため
に製造コストが高く、不良品が生じると大きな損失にな
る。この不良品発生の原因としては、ICカードの表面
に写真、絵柄、文字等の印刷をする際に、印刷面の表面
状態や、表面汚れによるインクの定着力不足や、ムラ、
又は印刷時の位置合わせ、色合せのミス、版の汚れ等が
挙げられる。このような不良が発生した場合は従来、表
面に研磨層を有するロールを印刷面に押し当てて回転さ
せ、印刷面を削り落とすことにより再度使用する方法が
採られていた。
[0003] This IC card incorporates expensive components such as IC chips, terminals, and antenna coils, so that the manufacturing cost is high, and if a defective product occurs, a large loss occurs. The causes of this defective product include, when printing photographs, pictures, characters, etc. on the surface of the IC card, the surface condition of the printing surface, insufficient ink fixing power due to surface contamination, unevenness, and the like.
Or, misalignment of printing, misalignment of colors, stain on a plate, and the like can be mentioned. Conventionally, when such a defect occurs, a method in which a roll having a polishing layer on its surface is pressed against a printing surface and rotated to scrape off the printing surface and reuse the roll is used.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のICカードにおいては、印刷不良が生じた場合に、
印刷面をロールにて削り落とす方法を採っていることに
より、削った面に削りムラやロール回転方向の削り模様
が発生するため、その面に再度印刷すると削り模様が生
じてしまうとともに、削り落とした分だけ厚さが減るこ
とにより接触圧が変化するという問題がある。
However, in the above-mentioned conventional IC card, when a printing failure occurs,
By adopting the method of shaving off the printing surface with a roll, shaving unevenness and shaving pattern in the direction of roll rotation occur on the shaved surface, so when printing again on that surface, the shaving pattern occurs and the shaving There is a problem that the contact pressure changes due to the reduced thickness.

【0005】本発明は前記問題点に鑑みてなされたもの
であり、ICカード表面に削りムラやロール回転方向の
削り模様が発生しない表面処理が可能なICカード表面
処理装置の提供を目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to provide an IC card surface treatment apparatus capable of performing a surface treatment without shaving unevenness or a shaving pattern in the roll rotation direction on the IC card surface. .

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明における請求項1の発明は、ICカード表面
処理装置が、ICカードを連続的に移動させる搬送手段
と、搬送されたICカードの表面を研磨する表面処理手
段と、表面処理したICカードの清浄化手段と、清浄化
したICカードの乾燥手段とを備えたことを特徴とする
ものである。
In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 of the present invention is directed to an IC card surface treatment apparatus, comprising: transport means for continuously moving an IC card; Surface polishing means, a means for cleaning a surface-treated IC card, and a means for drying the cleaned IC card.

【0007】請求項1によれば、表面処理手段にてIC
カードの表面を研磨することによりその表面を梨地化し
たり、印刷不良面を除去したりすることが可能になる。
また表面処理後のICカードは搬送手段により連続的に
搬送されて洗浄及び乾燥が行われる。
According to the first aspect, the surface treatment means uses an IC.
By polishing the surface of the card, it becomes possible to make the surface matte or to remove the poorly printed surface.
Further, the IC card after the surface treatment is continuously transported by the transporting means to be washed and dried.

【0008】請求項2の発明は、前記搬送手段がベルト
コンベヤから成ることを特徴とするものである。
According to a second aspect of the present invention, the conveying means comprises a belt conveyor.

【0009】請求項2によれば、搬送手段がベルトコン
ベヤから成ることによりICカードをベルトの上面に載
置して連続的に移動させつつ表面処理を行うことが可能
となる。
According to the second aspect of the present invention, since the conveying means is constituted by a belt conveyor, the surface treatment can be performed while the IC card is placed on the upper surface of the belt and continuously moved.

【0010】請求項3の発明は、前記表面処理手段がI
Cカードの表面を研磨する研磨材のブラスト機構から成
ることを特徴とするものである。
[0010] In a third aspect of the present invention, the surface treatment means comprises an I
It is characterized by comprising an abrasive blast mechanism for polishing the surface of the C card.

【0011】請求項3によれば、研磨材のブラスト機構
は研磨材の粒子を加工物の表面に対して高速にて衝突さ
せるものであり、表面処理時におるICカードの搬送方
向、表面形状、厚さ等に関係なく、表面を均一に削除す
ることができる。また、研磨材の材質及びその粒子の大
きさ、形状、又は衝突速度を適切に選択することによ
り、処理時間を操作することができるとともに、加工面
を印刷に適した梨地面にすることが可能となる。これに
よりICカード作成後、あるいは印刷処理後においても
表面処理が可能となり、印刷面に削り模様がつかなくな
る。従って、従来行っていたプレス加工による表面の梨
地(マット)処理が不要になる。
According to the third aspect of the present invention, the abrasive blasting mechanism causes the abrasive particles to collide with the surface of the workpiece at a high speed. The surface can be uniformly removed regardless of the thickness and the like. In addition, by appropriately selecting the material of the abrasive and the size, shape, or collision speed of the particles, the processing time can be controlled, and the processing surface can be made into a matte surface suitable for printing. Becomes As a result, the surface treatment can be performed even after the IC card is created or after the printing process, so that the printed surface has no shaved pattern. Therefore, the matte treatment of the surface by the conventional press working is not required.

【0012】請求項4の発明は、前記洗浄化手段が液体
洗浄剤にてICカードの表面を洗浄する液体洗浄剤の噴
射機構から成ることを特徴とするものである。
The invention according to a fourth aspect is characterized in that the cleaning means comprises a liquid cleaning agent spraying mechanism for cleaning the surface of the IC card with a liquid cleaning agent.

【0013】請求項4によれば、表面処理によりICカ
ード表面に付着した研磨材や研磨屑を洗浄化手段により
噴射されるる液体洗浄剤にて洗浄することが可能とな
る。
According to the fourth aspect, it is possible to clean the abrasive and the polishing debris attached to the surface of the IC card by the surface treatment with the liquid cleaning agent sprayed by the cleaning means.

【0014】請求項5の発明は、前記乾燥手段が気体に
よりICカードの表面を乾燥する気体噴射機構から成る
ことを特徴とするものである。
The invention according to claim 5 is characterized in that the drying means comprises a gas injection mechanism for drying the surface of the IC card with gas.

【0015】請求項5によれば、洗浄化により表面に付
着した液体が気体噴射機構から噴射される気体にて吹き
飛ばされることによりICカードを乾燥せせることが可
能となる。
According to the fifth aspect, the liquid adhering to the surface due to the cleaning is blown off by the gas ejected from the gas ejecting mechanism, so that the IC card can be dried.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0017】図1は本発明の実施の形態を示すICカー
ド表面処理装置の概念図である。
FIG. 1 is a conceptual diagram of an IC card surface treatment apparatus showing an embodiment of the present invention.

【0018】本発明に係るICカード表面処理装置は、
ICカード1を載置して連続的に搬送する搬送手段であ
るベルトコンベヤ2と、ベルトコンベヤ2で移動されて
くるICカード1上面に対向して工程順に連続的に設け
られた表面処理手段である研磨材のブラスト機構3、及
びブラスト機構3で表面処理されたICカード1の清浄
化手段である液体洗浄剤噴射機構4、及び噴射機構4で
清浄化されたICカード1の乾燥手段である気体噴射機
構5とで構成されている。
An IC card surface treatment apparatus according to the present invention comprises:
A belt conveyor 2 which is a conveying means for mounting and continuously conveying the IC card 1, and a surface treatment means continuously provided in the process order facing the upper surface of the IC card 1 moved by the belt conveyor 2. A blasting mechanism 3 for a certain abrasive, a liquid cleaning agent ejecting mechanism 4 as a means for cleaning the IC card 1 surface-treated by the blasting mechanism 3, and a drying means for the IC card 1 cleaned by the ejecting mechanism 4. And a gas injection mechanism 5.

【0019】搬送手段は、ICカード1を載置して連続
的に搬送することができるもので、例えば一般にベルト
コンベヤ2が使用される。
The transport means can place the IC card 1 and continuously transport it. For example, a belt conveyor 2 is generally used.

【0020】また、ブラスト機構3は、研磨材の粒子を
ベルトコンベア上に載置され移行されているICカード
1の表面に対し、噴射部6から高速噴射7にて衝突させ
て、ICカード1の表面を印刷に適した梨地状に処理す
る。ブラスト機構3では、研磨材の材質及びその粒子の
大きさ、形状を、印刷の状況に適合して適切に選択して
使用することができる。
The blast mechanism 3 causes the abrasive particles to collide with the surface of the transferred IC card 1 on the belt conveyor from the ejection unit 6 at a high-speed ejection 7 so that the IC card 1 The surface of the paper is processed into a satin finish suitable for printing. In the blasting mechanism 3, the material of the abrasive and the size and shape of the particles can be appropriately selected and used in accordance with the printing situation.

【0021】ブラスト機構3には、研磨材に気体を媒介
させるドライブラスト方式と、研磨材に気体と液体との
2相を媒介させるウエットブラスト方式とがある。いず
れの方式を採用して表面処理してもよい。ウエットブラ
スト方式の場合は、液体を用いることから、研磨により
ICカード1表面に生じる加工熱や静電気が液体により
除去されるとともに、液体が研磨材とICカード1表面
との間の緩衝剤となって研磨材がICカード1表面に埋
め込まれることが防止される。したがって、ウエットブ
ラスト方式を採用することが好ましい。
The blast mechanism 3 includes a drive blast method in which a gas is passed through the abrasive, and a wet blast method in which a gas and a liquid are passed through the abrasive in two phases. The surface treatment may be performed by using any method. In the case of the wet blast method, since a liquid is used, processing heat and static electricity generated on the surface of the IC card 1 by polishing are removed by the liquid, and the liquid becomes a buffer between the abrasive and the surface of the IC card 1. As a result, the abrasive is prevented from being embedded in the surface of the IC card 1. Therefore, it is preferable to employ a wet blast method.

【0022】また、洗浄化手段4は、液体洗浄剤にてI
Cカード1の表面を洗浄する液体洗浄剤の噴射部8から
成る。ブラスト機構3での表面処理によりICカード1
表面に付着した研磨材や研磨屑を洗浄化手段の噴射部8
から噴射される液体洗浄剤9の作用で洗浄を行う。
Further, the cleaning means 4 is provided with a liquid cleaning agent.
It comprises a liquid cleaning agent spraying section 8 for cleaning the surface of the C card 1. IC card 1 by surface treatment with blast mechanism 3
Injection unit 8 of cleaning means for removing abrasives and polishing debris attached to the surface
Cleaning is performed by the action of the liquid cleaning agent 9 ejected from the nozzle.

【0023】乾燥手段5は、気体によりICカード1の
表面を乾燥する気体噴射部10から成る。洗浄化により
表面に付着した液体が気体噴射部10から噴射される気
体にて吹き飛ばされ、ICカード1を乾燥せせる。
The drying means 5 comprises a gas injection unit 10 for drying the surface of the IC card 1 with gas. The liquid adhering to the surface due to the cleaning is blown off by the gas ejected from the gas ejecting unit 10 to dry the IC card 1.

【0024】次にこの構成のICカード表面処理装置に
よるICカード1の表面の処理について説明する。
Next, the processing of the surface of the IC card 1 by the IC card surface processing apparatus having the above configuration will be described.

【0025】初めに、ICチップ、端子、アンテナコイ
ル等の高価な部品が内蔵された身分証、キャッシュカー
ド、プリペイドカード等のICカード1は図示しない製
造装置にて製造される。
First, an IC card 1 such as an identification card, a cash card, a prepaid card, or the like in which expensive components such as an IC chip, a terminal, and an antenna coil are built is manufactured by a manufacturing device (not shown).

【0026】このICカード1は、図1に示すように、
走行するベルトコンベヤ2の上面に処理面を上向きにし
て載置され、装置の搬入口Aから搬出口Bに向かって連
続的に搬送される。
This IC card 1 is, as shown in FIG.
It is placed on the upper surface of the traveling belt conveyor 2 with the processing surface facing upward, and is continuously conveyed from the carry-in port A to the carry-out port B of the apparatus.

【0027】搬送口Aから表面処理装置内に、ベルトコ
ンベア2で搬入されたICカード1は、最初の工程とし
て表面処理手段であるブラスト機構3内に設けられた噴
射部6から、液体及び気体とともに研磨材が高速噴射7
される。高速噴射7によって、研磨材を所定時間高速噴
射して表面が所定の梨地状に処理される。この場合の処
理時間は、研磨材7の形状や大きさによって設定され
る。
The IC card 1 carried by the belt conveyor 2 from the transfer port A into the surface treatment device is supplied as a liquid and gas from the jetting unit 6 provided in the blast mechanism 3 which is a surface treatment means as a first step. Abrasive is sprayed at high speed together with 7
Is done. By the high-speed jetting 7, the abrasive is jetted at a high speed for a predetermined time, and the surface is processed into a predetermined matte finish. The processing time in this case is set according to the shape and size of the abrasive 7.

【0028】表面処理されたICカード1はベルトコン
ベヤ2により、自動的に清浄化手段である液体洗浄剤の
噴射機構4内に搬送され、噴射機構4内に設けられた噴
射部8から噴射される液体洗浄剤、例えば温水9等によ
りICカード1の表面に付着した研磨材や研磨屑が除去
される。
The surface-treated IC card 1 is automatically conveyed by a belt conveyor 2 into a liquid cleaning agent jetting mechanism 4 which is a cleaning means, and jetted from an jetting section 8 provided in the jetting mechanism 4. Abrasives and swarf adhering to the surface of the IC card 1 are removed by a liquid detergent such as hot water 9 or the like.

【0029】表面が洗浄されたICカード1は、ベルト
コンベヤ2により乾燥手段である気体噴射機構5内に搬
送される。気体噴射機構5内に設けられた噴射部10か
ら噴射される気体、例えば温風11にて乾燥された後、
搬送されて排出口Bから排出され、表面処理が完了す
る。
The IC card 1 whose surface has been cleaned is conveyed by a belt conveyor 2 into a gas injection mechanism 5 as drying means. After being dried by a gas injected from an injection unit 10 provided in the gas injection mechanism 5, for example, hot air 11,
The sheet is conveyed and discharged from the discharge port B, and the surface treatment is completed.

【0030】このように一連の工程を減ることによっ
て、印刷前の表面を、写真、絵柄、文字等を印刷するイ
ンクが定着するに適した梨地状に処理すること可能とな
る。そして、印刷不良が生じた場合の印刷面も同様にし
て削除し、梨地状に再処理することが可能となる。
By thus reducing the series of steps, it is possible to treat the surface before printing into a satin finish suitable for fixing the ink for printing photographs, pictures, characters, and the like. Then, it is possible to similarly delete the printing surface when a printing failure occurs, and to reprocess the printing surface in a satin state.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明によれば、ICカードの搬送方
向、表面形状、厚さ等には関係なく表面を均一に削除し
て印刷に適した粗さの梨地(マット)面に処理すること
ができる。この表面処理はICカードの印刷前の面に対
する梨地処理は勿論のこと、印刷不良が生じた場合の印
刷後の面に対しても、印刷面を除去して同様に梨地処理
を施すことが可能となる。
According to the present invention, the surface is uniformly deleted regardless of the transport direction, the surface shape, the thickness, etc. of the IC card and the matte surface having a roughness suitable for printing is processed. Can be. This surface treatment can be applied not only to the matte finish on the surface of the IC card before printing, but also to the matte finish on the post-printed surface in the case of printing failure by removing the printed surface in the same way. Becomes

【0032】また研磨剤の大きさ、形状及び衝突速度等
を適切に選択することにより処理時間や処理面の粗さを
操作することができ、処理時間を予め設定することが可
能となる。これにより従来行っていたプレス加工による
表面のマット処理が不要になり、加工面に削り模様がつ
かなくなる。
By appropriately selecting the size, shape, collision speed, and the like of the abrasive, the processing time and the roughness of the processed surface can be manipulated, and the processing time can be set in advance. This eliminates the need for the conventional matting of the surface by press working, so that the machined surface has no shaving pattern.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態を示すICカード表面処理
装置の概念図。
FIG. 1 is a conceptual diagram of an IC card surface treatment apparatus showing an embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1……ICカード 2……ベルトコンベヤ 3……ブラスト機構 4……液体洗浄剤噴射機構 5……気体噴射機構 A……搬入口 B……搬出口 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... IC card 2 ... Belt conveyor 3 ... Blast mechanism 4 ... Liquid cleaning agent injection mechanism 5 ... Gas injection mechanism A ... Carrying in B ... Carrying out

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ICカードを連続的に移動させる搬送手
段と、搬送されたICカードの表面を研磨する表面処理
手段と、表面処理したICカードの清浄化手段と、清浄
化したICカードの乾燥手段とを備えたことを特徴とす
るICカード表面処理装置。
1. A transporting means for continuously moving an IC card, a surface treating means for polishing a surface of the transported IC card, a cleaning means for a surface-treated IC card, and a drying of the cleaned IC card. Means for treating an IC card surface.
【請求項2】 前記搬送手段が、ベルトコンベヤから成
ることを特徴とする請求項1記載のICカード表面処理
装置。
2. The IC card surface treatment device according to claim 1, wherein said conveying means comprises a belt conveyor.
【請求項3】 前記表面処理手段が、ICカードの表面
を研磨する研磨材のブラスト機構から成ることを特徴と
する請求項1記載のICカード表面処理装置。
3. The IC card surface treatment apparatus according to claim 1, wherein said surface treatment means comprises an abrasive blast mechanism for polishing the surface of the IC card.
【請求項4】 前記洗浄化手段が液体洗浄剤にて前記I
Cカードの表面を洗浄する液体洗浄剤の噴射機構から成
ることを特徴とする請求項1記載のICカード表面処理
装置。
4. The cleaning means according to claim 1, wherein said cleaning means comprises a liquid cleaning agent.
2. The IC card surface treatment device according to claim 1, further comprising a liquid cleaning agent spraying mechanism for cleaning the surface of the C card.
【請求項5】 前記乾燥手段が、気体を噴射して前記I
Cカードの表面を乾燥する気体噴射機構から成ることを
特徴とする請求項1記載のICカード表面処理装置。
5. The drying means injects a gas to produce the I
2. The IC card surface treatment apparatus according to claim 1, further comprising a gas injection mechanism for drying a surface of the C card.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011031544A (en) * 2009-08-04 2011-02-17 Toppan Printing Co Ltd Method for manufacturing reprocessed card

Cited By (1)

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