JP2000320893A - 有機溶剤加熱装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 組立時及び運用時に損傷防止のための過剰な
注意を払わずに取り扱えると共に、有機溶剤漏れ発生時
の安全対策上の大がかりな設備を不要にする。 【解決手段】 ステンレス製のケース１２内に石英ガラ
ス製の内管１１を内蔵した構造を有する。ケース１２の
内部では、埋込溝１２４内において、内管１１とケース
１２との間に衝撃吸収材１２５が介挿され、貫通口１２
３側では、内管１１及びＯリング固定金具１３１との３
者間にＯリング１２６が介挿される。Ｏリング１２６
は、ステンレス製のケース１２と石英ガラス製の内管１
１間のシール部材として機能する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ランプヒータが挿
通された透光性部材を筐体内に配設し、前記筐体と前記
透光性部材間の空間を環流する有機溶剤を前記ランプヒ
ータからの光照射により加熱する有機溶剤加熱装置に関
し、特に、耐衝撃性を高めるための筐体及び透光性部材
の構造の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体の製造工程において、フォトリソ
グラフィーによるレジストパターンの形成は、レジスト
塗布、露光、現像の３つのステップで実行される。そし
て、これらのステップを実行して形成されたレジストパ
ターンをマスクとして、半導体基板をエッチングし、該
エッチングの終了後、有機溶剤を用いてレジストパター
ンを剥離する。

【０００３】有機溶剤を用いてレジストパターンを剥離
する場合には、通常、該隔離に使用する有機溶剤の温度
を８０度近くまで上昇させる。

【０００４】有機溶剤を上記温度に調整する有機溶剤加
熱装置として、従来、ハロゲンランプ等のランプヒータ
を挿通したガラス製の内管を、同じガラス製の筐体（外
管）内部に配設し、内管と外管との間の空間を流路とし
て有機溶剤を環流させつつランプヒータからの光照射に
より有機溶剤を加熱するものがあった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来装置では、共
にガラス製の内管と外管を溶接により固着して一体化構
造としており、有機溶剤のシール性には優れていた。

【０００６】反面、上記構造は衝撃に弱く、わずかの衝
撃で外管、内管とも簡単に破損してしまい、運用不能若
しくは有機溶剤漏れに至ることも少なくなかった。

【０００７】特に、従来装置では、外管に突設された有
機溶剤の入口と出口もガラス製であったため、当該部分
が破損し易く、有機溶剤漏れに至る可能性が高かった。

【０００８】有機溶剤は、高温であること、引火性が強
いこと等から、装置外に漏れ出した場合に大変危険であ
るため、上記構造を有する従来装置では、組立時及び運
用時にできるだけ衝撃や負荷を加えないように細心の注
意を払う必要があり、扱い難いという問題点があった。

【０００９】また、有機溶剤が漏れた場合には、火災に
至る可能性もあり、このような場合の安全対策として自
動消火設備等の大がかりな設備が必要となり、設備コス
トが高騰するという問題点もあった。

【００１０】本発明は上述の問題点を解消し、耐衝撃性
を高め、組立時及び運用時に損傷防止のための過剰な注
意を払わずに取り扱いができると共に、有機溶剤漏れ発
生時の安全対策としての消火設備等の大がかりな設備を
不要にして設備コストを低減できる有機溶剤加熱装置を
提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、ランプヒータが挿通された透光
性部材を有機溶剤の入口及び出口を有する筐体内に配設
し、前記入口より流入され前記筐体と前記透光性部材間
の空間を通って前記出口より流出される前記有機溶剤を
前記ランプヒータからの光照射により加熱する有機溶剤
加熱装置において、前記筐体を金属により形成するとと
もに、前記透光性部材をガラスにより形成し、前記透光
性部材を前記筐体内に完全に内蔵したことを特徴とす
る。

【００１２】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
において、前記筐体と前記透光性部材間に衝撃吸収材を
介在せしめたことを特徴とする。

【００１３】また、請求項３の発明は、請求項１の発明
において、前記筐体を形成する金属は、ステンレスであ
ることを特徴とする。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て添付図面を参照して詳細に説明する。

【００１５】図１は、本発明の一実施の形態に係わる有
機溶剤加熱装置の概念断面構成を示す図である。この装
置は、例えば、半導体処理プロセスにおいてレジストパ
ターンの剥離に用いるイソプロピルアルコール等の有機
溶剤を加熱するものであり、ケース１２内に内管１１を
内蔵した構造を有する。

【００１６】内管１１は、例えば、石英ガラス製の円筒
形中空部材によって成り、一端が溶接により塞がれ、他
端が開口されている。内管１１の内部には、上記開口端
から上記塞口端側へと、ハロゲンランプ等のランプヒー
タ１０が挿通されている。

【００１７】一方、ケース１２は、例えばＳＵＳ３１６
やＳＵＳ３１６Ｌ等のステンレス製のものである。この
ケース１２は、上記ステンレス製の各部材を溶接により
固着して構成され、有機溶剤に対するシール性を持つ構
造となっている。

【００１８】ケース１２の所要位置には、有機溶剤を流
入するための溶剤入口１２１と、有機溶剤を流出するた
めの溶剤出口１２２がそれぞれ設けられる。これら溶剤
入口１２１，溶剤出口１２２も例えばケース１２と同じ
ステンレス製のものであり、上述した如くの溶接により
ケース１２本体に突出して設けられる。

【００１９】また、ケース１２の一側壁には内管１１を
貫通可能な貫通口１２３が形成され、更にこの側壁と対
向する内壁の上記貫通口１２３と対向する位置には埋込
溝１２４が形成される。

【００２０】貫通口１２３は、ケース１２の内部寄りの
側が上記内管１１よりわずかに大きい径を持ち、ケース
１２の外部よりの側が当該ケース１２外部に向けて次第
に径が大きくなるような形状（すり鉢形状）に成型され
ている。また、埋込溝１２４は上記内管１１を遊嵌し得
る径と深さを持つように成型されている。

【００２１】上記内管１１は、上記塞口端がケース１２
内部の埋込溝１２４に遊嵌され、かつ上記開口端がケー
ス１２の貫通口１２３から突出するように当該ケース１
２に内蔵される。

【００２２】上記埋込溝１２４内では、内管１１の塞口
端との間に衝撃吸収材１２５が介挿される。衝撃吸収剤
１２５としては、例えばテフロン製のキャップ型部材が
用いられる。

【００２３】一方、貫通口１２３側では、上述したすり
鉢形状成型部分と内管１１の外周面との間にＯリング１
２６が介挿される。Ｏリング１２６は、例えば衝撃吸収
材１２５と同様のテフロン素材で形成される。

【００２４】ケース１２の貫通口１２３が形成された側
壁の外部には、Ｏリング固定金具１３１が取り付けられ
る。Ｏリング固定金具１３１は、貫通口１２３よりケー
ス外部に突出された内管１１を貫通可能な貫通口を有す
る。

【００２５】このＯリング固定金具１３１に設けられる
貫通口は、ケース１２の貫通口１２３のすり鉢形状成型
部分の最大口径より小さな口径で構成される。これによ
り、Ｏリング１２６は、Ｏリング固定金具１３１と、貫
通口１２３のすり鉢形状成型部分と、内管１１の周面と
の間に固定されて、ステンレス製のケース１２と石英ガ
ラス製の内管１１間のシール部材として機能する。

【００２６】また、このＯリング固定金具１３１は、自
らに形成された上記貫通口に内管１１の突設部分を受け
入れることで該内管１１に挿通されたランプヒータ１０
の長手方向を除く方向への動きを規制する作用も果た
す。

【００２７】ケース１２の貫通口１２３が形成された側
壁の外部には、上記Ｏリング固定金具１３１及び内管１
１の開口端の一部を覆うようにランプ移動防止金具１３
２が更に取り付けられる。ランプ移動防止金具１３２
は、ランプヒータ１０の長手方向の動きを規制するもの
である。

【００２８】上記Ｏリング固定金具１３１及びランプ移
動防止金具１３２により、内管１１は、長手方向を含む
全方向への動きが規制された状態でケース１２に内蔵さ
れることになる。

【００２９】なお、図１においては、ケース１２内部の
埋込溝１２４と内管１１間にのみ衝撃吸収材１２５を介
挿した構成を例示したが、これに限らず、例えば、内管
１１と貫通口１２３間等、ステンレス製のケース１２と
石英ガラス製の内管１１との間隔が狭く、衝撃が加わっ
た時、接触する虞がある部分には、同様に衝撃吸収材を
介挿させても良い。

【００３０】更に、ケース１２の貫通口１２３が形成さ
れた側壁の外部には、上記Ｏリング固定金具１３１及び
ランプ移動防止金具１３２を覆うようにボックス１３が
取り付けられる。

【００３１】ボックス１３は、窒素（Ｎ２）を注入する
注入孔（図示せず）を持つとともに、熱収縮チューブ１
３３を介して後述するコントローラ２５に連結されてい
る。内管１１の開口端より導出されるランプヒータ１０
の電源コードは、上記ボックス１３から上記熱収縮チュ
ーブ１３３を通ってコントローラ２５の電源端子へと配
線されている。

【００３２】ボックス１３と熱収縮チューブ１３３とは
１つの密閉された空間を形成している。ボックス１３の
上記注入孔からは、常時、窒素（Ｎ２）を注入され、上
記密閉空間が酸素（Ｏ２）が無い状態に保たれる。

【００３３】更に、ケース１２の外部には、有機溶剤２
０を収容する処理槽２１、有機溶剤２０を溶剤入口１２
１，ケース１２内部，溶剤出口１２２，フィルタ２３と
いう経路で処理槽２１まで環流させるポンプ２２、溶剤
出口１２２と処理槽２１の間に介挿されるフィルタ２
３、処理槽２１内の有機溶剤２０の温度を検出する温度
センサ２４、該温度センサ２４の検出温度と目標温度と
の偏差に基づきランプヒータ１０に対する給電制御を行
うコントローラ２５が設けられる。

【００３４】この有機溶剤加熱装置において、処理槽２
１は、ケース１２の内部で加熱されたイソプロピルアル
コール等の有機溶剤２０を収容し、これを洗浄剤として
半導体ウェハの洗浄を行う。

【００３５】ポンプ２２は、処理槽２１に収容された有
機溶剤２０を引き上げて溶剤入口１２１よりケース１２
の内部に流入させ、該ケース１２と内管１１間のスペー
スを流路として有機溶剤２０を環流させる。この環流過
程で、内部の有機溶剤２０は、溶剤出口１２２から流出
され、フィルタ２３を経て処理槽２１に戻される。

【００３６】フィルタ２３は、有機溶剤２０が循環して
いる間に、該有機溶剤２０に含まれた汚染物を取り除
き、処理槽２１にクリーンな有機溶剤２０を供給する。

【００３７】コントローラ２５は、処理槽２１内に設け
られる温度センサ２４の検出温度に基づきランプヒータ
１０の給電レベル（近赤外線照射量）を調節し、上記有
機溶剤２０を目標温度（例えば、８０℃）に維持する。

【００３８】このように、本発明の有機溶剤加熱装置
は、ステンレス製のケース１２内に石英ガラス製の内管
１１を完全に内蔵した構造を有している。かかる構造に
よれば、溶剤入口１２１及び溶剤出口１２２を含むケー
ス１２全体が金属製（ステンレス製）であるため、外部
からの衝撃あるいは負荷に対して当該ケース１２自体が
損傷を受ける可能性は極めて低くなる。

【００３９】更に、ケース１２と内管１１の間に衝撃吸
収材１２５やＯリング１２６を介挿したことで、ケース
１２の外部からの衝撃等により石英ガラス製の内管１１
が損傷を受ける危険性も低減できる。

【００４０】これにより、ケース１２も内管１１も衝撃
により損傷を受け難い構造とすることができ、ケース及
び内管ともガラス製であった従来装置に比べて耐衝撃性
に優れ、組立時や運用時に、装置に衝撃や負荷を加えな
いように過剰に注意する必要がなく、取り扱いが容易に
なる。

【００４１】また、ケース１２及び内管１１の双方が損
傷し難い本発明の構造によれば、有機溶剤漏れの危険性
も当然低くなる。しかも、本発明では、ボックス１３内
を常時酸素（Ｏ２）欠乏状態に維持する〔窒素（Ｎ２）
で満たす〕ことで、万が一、ケース１２からボックス１
３へと有機溶剤２０が漏れ出した場合でも火災が発生し
難い構造を採用している。これによって、本発明では、
有機溶剤漏れ発生時の安全対策のための消火設備も大が
かりなものを用意しなくて済むようになる。

【００４２】（実施例）次に、本発明の好適な実施例に
ついて述べる。図２は、本発明の一実施例に係わる有機
溶剤加熱装置の外観構造を示す斜視図である。

【００４３】本実施例の装置は、本体ケース３０、本体
ケース３０を覆うパンチング板４０、本体ケース３０の
外壁面に設けられるボックス５０、パンチング板４０の
外壁面に設けられ、熱収縮チューブ６０を介してボック
ス５０に連結される端子台ボックス７０を主構成要素と
して備える。

【００４４】本体ケース３０は図１におけるケース１２
にあたるものであり、ステンレス製の板材を溶接した筐
体により構成される。但し、図１における装置はケース
１２内に１つの内管１１のみを内蔵したものであった
が、本実施例の装置は、本体ケース３０内に２組の内管
３１ａ、３１ｂを内蔵するものである。

【００４５】内管３１ａ、３１ｂは、例えば図５に示す
ように、石英ガラス製の円筒形中空部材の一端（塞口
端）を溶接により塞いで成るものであり、開口されてい
る他端（開口端）より、両端がセラミック部材で保持さ
れるハロゲンランプ等のランプヒータ３１１ａ、３１１
ｂがそれぞれ挿通されている。挿通がなされた状態で、
内管３１ａ、３１ｂの開口端からは、セラミック部材を
通してランプヒータ３１１ａ、３１１ｂの電源コード３
１２が導出される。

【００４６】また、本体ケース３０には、有機溶剤を流
入させる溶剤入口３０１と有機溶剤を流出する溶剤出口
３０２が設けられる。これら溶剤入口３０１及び溶剤出
口３０２も、例えば、ステンレス製部材を本体ケース３
０に溶接により取り付けたものであり、パンチング板４
０を貫通して外部へと突出している。

【００４７】本体ケース３０はパンチング板４０により
覆われている。本実施例の装置において、パンチング板
４０は、その上面から所定長のビス４０１を本体ケース
３０に当接するまで螺進させることで、本体ケース３０
から浮いた状態に取り付けられている。パンチング板４
０もステンレス製のものであり、例えば、指が入らない
程度の孔径を有するパンチング孔４０２が全面に形成さ
れている。

【００４８】上記構造からも分かるように、パンチング
板４０は、本体ケース３０の放熱板としての機能と、有
機溶剤の加熱制御により高温を呈する本体ケース３０に
ユーザが直接手が触れることを阻止する機能とを兼ね備
えたものである。

【００４９】本体ケース３０に内管３１ａ及び３１ｂを
内蔵する構造について図３及び図４を参照して説明す
る。図３は、図２においてボックス５０が取り付けられ
ていない時の本体ケース３０の内管３１ａ，３１ｂ取付
面の正面図であり、図４は図３におけるＡ−Ａ線による
断面構成を示す図である。

【００５０】図４からも分かるように、本体ケース３０
の一側壁には、上記内管３１ａ，３１ｂをそれぞれ貫通
可能な貫通口３０４ａ，３０４ｂが設けられる。また、
本体ケース３０の上記貫通口３０４ａ，３０４ｂが形成
される側壁と対向する内壁には、該貫通口３０４ａ及び
３０４ｂとそれぞれ対向する位置に埋込溝３０５ａ及び
３０５ｂが形成される。

【００５１】貫通口３０４ａ，３０４ｂは、本体ケース
３０の内部寄りの側が上記内管３１ａ，３１ｂよりわず
かに大きい径を持ち、本体ケース３０の外部寄りの側が
当該本体ケース３０外部に向けて次第に径が大きくなる
ような形状（すり鉢形状）に成型されている。また、埋
込溝３０５ａ，３０５ｂは上記内管３１ａ，３１ｂを遊
嵌し得る径と深さに成型されている。

【００５２】内管３１ａは、塞口端が本体ケース３０内
部の埋込溝３０５ａに遊嵌され、かつ上記開口端が本体
ケース３０の貫通口３０４ａから突出するように本体ケ
ース３０に内蔵される。

【００５３】埋込溝３０５ａ内では、内管３１ａの塞口
端との間のスペースに衝撃吸収材３０６ａが介挿され
る。貫通口３０４ａ側では、上記すり鉢形状成型部分と
内管３１ａの外周面との間のスペースにＯリング３０７
ａが介挿される。

【００５４】同様に、内管３１ｂは、上記塞口端が本体
ケース３０内部の埋込溝３０５ｂに遊嵌され、かつ上記
開口端が本体ケース３０の貫通口３０４ｂから突出する
ように本体ケース３０に内蔵される。

【００５５】埋込溝３０５ｂ内では、内管３１ｂの塞口
端との間のスペースに衝撃吸収材３０６ｂが介挿され
る。貫通口３０４ｂ側では、上記すり鉢形状成型部分と
内管３１ｂの外周面との間のスペースにＯリング３０７
ｂが介挿される。

【００５６】なお、上記構成において、衝撃吸収材３０
６ａ，３０６ｂ、及びＯリング３０７ａ，３０７ｂは、
それぞれ例えばテフロン製のものを用いることができ
る。

【００５７】更に、貫通口３０４ａ，３０４ｂの外側で
は、図３及び図４に示す如く、当該貫通口３０４ａ，３
０４ｂより突出された内管３１ａ，３１ｂが、本体ケー
ス３０の外壁面に取り付けられたＯリング固定金具５１
に設けられた各貫通口により受け止められ、更に、該Ｏ
リング固定金具５１の上からランプ移動防止金具５２に
より止められている。

【００５８】これらＯリング固定金具５１及びランプ移
動防止金具５２により、上記内管３１ａ，３１ｂは、長
手方向を含む全方向への動きが規制された状態で本体ケ
ース３０に内蔵される。

【００５９】なお、Ｏリング固定金具５１に設けられる
各貫通口は、それぞれ本体ケース３０の貫通口３０４
ａ，３０４ｂのすり鉢形状成型部分の最大口径より小さ
な口径で構成される。これにより、Ｏリング３０７ａ
は、該Ｏリング固定金具５１と、上記貫通口３０４ａの
すり鉢形状成型部分と、内管３１ａの周面との間に固定
され、かつＯリング３０７ｂは、該Ｏリング固定金具５
１と、上記貫通口３０４ｂのすり鉢形状成型部分と、内
管３１ｂの周面との間に固定される。かかる構成によ
り、Ｏリング３０７ａ，３０７ｂは、それぞれ、ステン
レス製の本体ケース３０と石英ガラス製の内管３１ａ，
３１ｂ間のシール部材としての機能を果たす。

【００６０】このように、本実施例の装置は、図１にお
ける装置でケース１２に内管１１を内蔵する場合と同様
の構造によって、２組の内管３１ａ，３１ｂを本体ケー
ス３０に内蔵するものである。

【００６１】すなわち、本実施例の装置も、ステンレス
製の本体ケース３０の内部に石英ガラス製の内管３１
ａ，３１ｂを内蔵し、かつ本体ケース３０と内管３１
ａ，３１ｂ間には衝撃吸収材３０６ａ，３０６ｂ及びＯ
リング３０７ａ，３０７ｂを介挿せしめた構造を有する
ものである。

【００６２】かかる構造によれば、外側を覆う本体ケー
ス３０全体がステンレス製であるため、外部からの衝撃
に対して本体ケース３０そのものが損傷するといった危
険性は非常に低く、また、本体ケース３０の内部には衝
撃吸収材３０６ａ，３０６ｂを介して内管３１ａ，３１
ｂが内蔵されているため、これら内管３１ａ，３１ｂの
損傷の危険性も低下させることができる。

【００６３】再び図２に戻り本実施例の装置の構成につ
いて述べる。本実施例の装置において、ボックス５０
は、上記態様で内管３１ａ，３１ｂを固定するＯリング
固定金具５１，ランプ移動防止金具５２を覆うように本
体ケース３０の一外壁面に取り付けられる。

【００６４】ボックス５０と端子台ボックス７０とは熱
収縮チューブ６０により連結される。ボックス５０内
で、上記内管３１ａ及び３１ｂの開口端より導出される
ランプヒータ３１１ａ及び３１１ｂの電源コード３１２
は、該熱収縮チューブ６０内を通って端子台ボックス７
０へと配線される。端子台ボックス７０内では、上記電
源コード３１２が図示しないコントローラ２５の電源端
子に接続される。

【００６５】ボックス５０、熱収縮チューブ６０、端子
台ボックス７０間は１つの密閉された空間を成してい
る。ボックス５０及び端子台ボックス７０には、それぞ
れ注入孔５０１及び７０１が設けられ、図示しない供給
源より窒素（Ｎ２）が常時注入されている。これによ
り、ボックス５０及び端子台ボックス７０の内部は、常
に、酸素（Ｏ２）欠乏状態に維持される。

【００６６】また、ボックス５０には、漏液センサ５３
が配設されている。この漏液センサ５３は本体ケース３
０より漏れ出した有機溶剤の存在を検出するものであ
り、該漏液センサ５３の検出出力は上記コントローラ２
５に入力される。コントローラ２５は、上記漏液センサ
５３から入力される検出出力に基づきランプヒータ３１
１ａ，３１１ｂに対する給電を停止するように制御す
る。

【００６７】この漏液センサ５３の検出出力に基づくラ
ンプヒータ３１１ａ，３１１ｂへの給電停止制御と、ボ
ックス５０及び端子台ボックス７０内への窒素（Ｎ２）
注入機構との併用によって、万が一、有機溶剤が漏れ出
した場合の火災発生の危険性を大幅に低減できる。

【００６８】この他、本実施例の装置には、バイメタル
スイッチ８１及びＫ熱電対８２が設けられる。バイメタ
ルスイッチ８１は、パンチング板４０を貫通して本体ケ
ース３０に当接されている。このバイメタルスイッチ８
１の検出出力はコントローラ２５に入力される。コント
ローラ２５は、この検知出力に基づき本体ケース３０内
に有機溶剤が収容されていない状態での本装置の過昇温
を認識し、ランプヒータ３１１ａ，３１１ｂへの給電を
停止する制御を行う。

【００６９】Ｋ熱電対８２は、本体ケース３０の溶剤出
口３０２に当接して設けられ、その検知出力はコントロ
ーラ２５に入力される。コントローラ２５は、この検出
出力に基づき、例えば、ポンプ２２が故障して本体ケー
ス３０内で有機溶剤が滞留したままの状態での過昇温と
なっている状態を認識し、ランプヒータ３１１ａ，３１
１ｂへの給電を停止する制御を行う。

【００７０】なお、本発明は上記実施例に限られるもの
でない。例えば、上記実施例ではステンレス製の本体ケ
ース３０に対して溶剤出口３０１と溶剤出口３０２を上
下に整列させて配したが、例えば、図６（ａ）に示す如
く、上下の配置位置をずらすようにしても良い。

【００７１】また、上記実施例ではステンレス製の本体
３０ケースを断面が縦長となるように設置し、石英ガラ
ス製の２本の内管３１ａ，３１ｂを上下に配した構成と
しているが、図６（ｂ）に示す如く、本体ケース３０を
断面が横長となるように設置し、２本の内管３１ａ，３
１ｂを左右に配した構成として良く、更に、この場合に
おける溶剤出口３０１、溶剤出口３０２の配置位置も図
６（ｃ）に示す態様としても良い。

【００７２】この他、本体ケース３０と内管３１ａ，３
１ｂ間に介挿する衝撃吸収材についても３０６ａ，３０
６ｂ等以外の形状も選択でき、シール部材についも上述
したＯリング以外のものを利用することもできる。

【００７３】また、ステンレス製のケース（１２，３
０）に関しては、その内部壁面に例えば電界研磨を施
し、小さな傷を無くすようにすれば、有機溶剤の耐腐食
性向上に極めて有用なものとなる。

【００７４】また、ケース（１２，３０）は上述したス
テンレス以外の金属により形成しても良く、有機溶剤も
上述したイソプロピルアルコール以外のものも扱い得る
ものである。

【００７５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
金属製の筐体内にガラス製の内管を内蔵した構造とした
ため、外部からの衝撃等に対しても外側の金属製の筐体
そのものが損傷する危険性は極めて低く、組立時や運用
時に、装置に対して衝撃や負荷を加えないようにとの過
剰な注意を払う必要がなくなる。

【００７６】更に、上記構成において、金属製の筐体と
ガラス製の内管との間に衝撃吸収材を介挿した場合に
は、上記衝撃等に対する内管の損傷の危険性も低下させ
ることができ、上述したような注意を更に緩和でき、装
置が扱い易くなる。

【００７７】また、筐体及び内管双方とも損傷し難い上
記構造によれば、有機溶剤漏れの危険性も当然低くで
き、有機溶剤漏れ発生時の安全対策のための大がかりな
設備が不要となり、その分設備コストも低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係わる有機溶剤加熱装
置の概念断面構成を示す図。

【図２】本発明の好適な実施例に係わる有機溶剤加熱装
置の外観構造を示す斜視図。

【図３】図２における本体ケースの内管取付面の正面
図。

【図４】図３におけるＡ−Ａ線による断面構成図。

【図５】内管及び該内管に挿通されたランプヒータの構
成を示す分解斜視図。

【図６】ケース及び該ケースに設けられる溶剤出口／入
口の各種態様を示す図。

【符号の説明】

１０ ランプヒータ １１ 内管 １２ ケース １２１ 溶剤入口 １２２ 溶剤出口 １２３ 貫通口 １２４ 埋込溝 １２５ 衝撃吸収材 １２６ Ｏリング １３ ボックス １３１ Ｏリング固定金具 １３２ ランプ移動防止金具 １３３ 熱収縮チューブ ２０ 有機溶剤 ２１ 処理槽 ２２ ポンプ ２３ フィルタ ２４ 温度センサ ２５ コントローラ ３０ 本体ケース ３１ａ，３１ｂ 内管 ３０１ 溶剤入口 ３０２ 溶剤出口 ３０４ａ，３０４ｂ 貫通口 ３０５ａ，３０５ｂ 埋込溝 ３０６ａ，３０６ｂ 衝撃吸収材 ３０７ａ，３０７ｂ Ｏリング ３１１ａ，３１１ｂ ランプヒータ ３１２ 電源コード ４０ パンチング板 ４０１ ビス ４０２ パンチング孔 ５０ ボックス ５１ Ｏリング固定金具 ５２ ランプ移動防止金具 ５３ 漏液センサ ５０１，７０１ 注入孔 ６０ 熱収縮チューブ ７０ 端子台ボックス ８１ バイメタルスイッチ ８２ Ｋ熱電対

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ランプヒータが挿通された透光性部材を
   有機溶剤の入口及び出口を有する筐体内に配設し、前記
   入口より流入され前記筐体と前記透光性部材間の空間を
   通って前記出口より流出される前記有機溶剤を前記ラン
   プヒータからの光照射により加熱する有機溶剤加熱装置
   において、 前記筐体を金属により形成するとともに、前記透光性部
   材をガラスにより形成し、前記透光性部材を前記筐体内
   に完全に内蔵したことを特徴とする有機溶剤加熱装置。
2. 【請求項２】 前記筐体と前記透光性部材間に衝撃吸収
   材を介在せしめたことを特徴とする請求項１記載の有機
   溶剤加熱装置。
3. 【請求項３】 前記筐体を形成する金属は、ステンレス
   であることを特徴とする請求項１記載の有機溶剤加熱装
   置。