JP2000283709A - 移動体の位置検出装置と光干渉計 - Google Patents
移動体の位置検出装置と光干渉計Info
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- G01B9/02021—Interferometers characterised by the beam path configuration with multiple interactions between the target object and light beams, e.g. beam reflections occurring from different locations contacting different faces of object, e.g. opposite faces
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 光干渉計に備える位置検出装置として、移動
体の移動距離を合理的に確保しながら、移動体を収容す
る筐体の小型化が図れるようにする。 【解決手段】 往復移動する移動体３６，３７の移動方
向の一側面側に設けられ、移動体３６，３７の移動方向
と沿う方向及び交差方向に各々位置を異ならせた複数の
被検出部１１，１２と、この複数の被検出部に各々対応
させて配置した複数の検出器２１，２２と、を備える。
そして、基準光と測定光を、ビームスプリッタにより反
射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光
路において、反射光及び透過光を複数の反射器により互
いに反射させた後、再びビームスプリッタで合波してか
ら受光器に受光させる光干渉計であって、一対のドグ１
１，１２と一対の光電式検出器２１，２２とによって、
移動反射器３６，３７の位置を検出する。
体の移動距離を合理的に確保しながら、移動体を収容す
る筐体の小型化が図れるようにする。 【解決手段】 往復移動する移動体３６，３７の移動方
向の一側面側に設けられ、移動体３６，３７の移動方向
と沿う方向及び交差方向に各々位置を異ならせた複数の
被検出部１１，１２と、この複数の被検出部に各々対応
させて配置した複数の検出器２１，２２と、を備える。
そして、基準光と測定光を、ビームスプリッタにより反
射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々の光
路において、反射光及び透過光を複数の反射器により互
いに反射させた後、再びビームスプリッタで合波してか
ら受光器に受光させる光干渉計であって、一対のドグ１
１，１２と一対の光電式検出器２１，２２とによって、
移動反射器３６，３７の位置を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、移動体の位置検出
装置、例えば、光計測技術分野で使用する光干渉計に用
いるに好適する位置検出装置と、その位置検出装置を適
用する光干渉計に関するものである。
装置、例えば、光計測技術分野で使用する光干渉計に用
いるに好適する位置検出装置と、その位置検出装置を適
用する光干渉計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】マイケルソン干渉計に代表される光干渉
計は、入射光をビームスプリッタによって透過光と反射
光による直交する２光路に分割し、それぞれの光路に直
角に置いたミラーによる反射光を再びビームスプリッタ
で合波する。このとき、一方のミラーを設置したステー
ジを等速で直線的に動かすことで、２つのミラーからの
反射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見られ
る。この干渉縞の強度変化を受光器で電気信号として取
り出す。なお、移動ミラーは直線的に長い距離を移動す
ることにより、光の波長測定を向上できる。
計は、入射光をビームスプリッタによって透過光と反射
光による直交する２光路に分割し、それぞれの光路に直
角に置いたミラーによる反射光を再びビームスプリッタ
で合波する。このとき、一方のミラーを設置したステー
ジを等速で直線的に動かすことで、２つのミラーからの
反射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見られ
る。この干渉縞の強度変化を受光器で電気信号として取
り出す。なお、移動ミラーは直線的に長い距離を移動す
ることにより、光の波長測定を向上できる。
【０００３】ところで、移動ミラーの移動限界、即ち、
ステージの移動限界の位置検出のために従来は、筐体内
において、ステージの移動方向の一側方に沿って一対の
リミットスイッチを配置し、ステージに設けた１個のド
グにより、一対のリミットスイッチで各々の方向の限界
位置の検出を行うようになっていた。
ステージの移動限界の位置検出のために従来は、筐体内
において、ステージの移動方向の一側方に沿って一対の
リミットスイッチを配置し、ステージに設けた１個のド
グにより、一対のリミットスイッチで各々の方向の限界
位置の検出を行うようになっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の位置検
出装置では、１個のドグと両端のリミットスイッチとの
関係から、ステージの中立位置を基準とする両方向への
各々の移動量としては、十分な移動距離を確保すること
ができなかった。
出装置では、１個のドグと両端のリミットスイッチとの
関係から、ステージの中立位置を基準とする両方向への
各々の移動量としては、十分な移動距離を確保すること
ができなかった。
【０００５】即ち、ステージに設けた共通１個のドグの
位置を、一対のリミットスイッチで各々検出するため、
ステージの両方向への移動量は、中立位置におけるステ
ージのドグからリミットスイッチまでの距離に過ぎず、
従って、移動ミラーの移動距離を確保しつつ筐体の小型
化を図ることは不可能であった。
位置を、一対のリミットスイッチで各々検出するため、
ステージの両方向への移動量は、中立位置におけるステ
ージのドグからリミットスイッチまでの距離に過ぎず、
従って、移動ミラーの移動距離を確保しつつ筐体の小型
化を図ることは不可能であった。
【０００６】本発明の目的は、移動体の移動距離を合理
的に確保しながら、移動体を収容する筐体の小型化が図
れるようにした位置検出装置を提供することにある。ま
た、本発明は、このような位置検出装置を備えた光干渉
計を提供することも目的としている。
的に確保しながら、移動体を収容する筐体の小型化が図
れるようにした位置検出装置を提供することにある。ま
た、本発明は、このような位置検出装置を備えた光干渉
計を提供することも目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決すべく
請求項１記載の発明は、往復移動する移動体の往復方向
の位置を各々検出する位置検出装置であって、移動体の
移動方向の一側面側に設けられ、移動体の移動方向と沿
う方向及び交差方向に各々位置を異ならせた複数の被検
出部と、この複数の被検出部に各々対応させて配置した
複数の検出器と、を備えた構成、を特徴としている。
請求項１記載の発明は、往復移動する移動体の往復方向
の位置を各々検出する位置検出装置であって、移動体の
移動方向の一側面側に設けられ、移動体の移動方向と沿
う方向及び交差方向に各々位置を異ならせた複数の被検
出部と、この複数の被検出部に各々対応させて配置した
複数の検出器と、を備えた構成、を特徴としている。
【０００８】ここで、移動体としては、光干渉計の直線
的に動く移動ミラーが挙げられるが、移動ミラーに限ら
ず、また、曲線的に動くものでも良い。被検出部として
は、突出形態のドグが挙げられるが、これに限らず任意
である。検出器としては、光電式検出器が挙げられる
が、磁気式検出器、電子式検出器または機械式検出器で
あっても良い。
的に動く移動ミラーが挙げられるが、移動ミラーに限ら
ず、また、曲線的に動くものでも良い。被検出部として
は、突出形態のドグが挙げられるが、これに限らず任意
である。検出器としては、光電式検出器が挙げられる
が、磁気式検出器、電子式検出器または機械式検出器で
あっても良い。
【０００９】以上のように、請求項１記載の発明によれ
ば、往復移動する移動体の移動方向の一側面側に設けら
れ、移動体の移動方向と沿う方向及び交差方向に各々位
置を異ならせた複数の被検出部と、この複数の被検出部
に各々対応させて配置した複数の検出器と、を備えた位
置検出装置なので、移動体の一側面側に移動方向と沿う
方向及び交差方向に各々位置を異ならせて設けた複数の
被検出部を、各々の検出器によりそれぞれ検出すること
により、移動体の移動量として、例えば、中立位置にお
ける移動体の各々の被検出部からそれぞれの検出器まで
の長い距離が得られる。従って、移動体の移動距離を合
理的に確保しながらも、移動体の移動方向の一側面側に
複数の被検出部及び検出器が位置することから、移動体
を収容する筐体を小型化できる。
ば、往復移動する移動体の移動方向の一側面側に設けら
れ、移動体の移動方向と沿う方向及び交差方向に各々位
置を異ならせた複数の被検出部と、この複数の被検出部
に各々対応させて配置した複数の検出器と、を備えた位
置検出装置なので、移動体の一側面側に移動方向と沿う
方向及び交差方向に各々位置を異ならせて設けた複数の
被検出部を、各々の検出器によりそれぞれ検出すること
により、移動体の移動量として、例えば、中立位置にお
ける移動体の各々の被検出部からそれぞれの検出器まで
の長い距離が得られる。従って、移動体の移動距離を合
理的に確保しながらも、移動体の移動方向の一側面側に
複数の被検出部及び検出器が位置することから、移動体
を収容する筐体を小型化できる。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の移
動体の位置検出装置であって、被検出部は移動体から突
出する一対のドグであって、検出器は一対の光電式検出
器である構成、を特徴としている。
動体の位置検出装置であって、被検出部は移動体から突
出する一対のドグであって、検出器は一対の光電式検出
器である構成、を特徴としている。
【００１１】このように、請求項２記載の発明によれ
ば、請求項１記載の被検出部が移動体から突出する一対
のドグで、請求項１記載の検出器が一対の光電式検出器
による位置検出装置なので、非接触型の光電感知方式に
より、移動体の往復方向の移動量を検出できる。
ば、請求項１記載の被検出部が移動体から突出する一対
のドグで、請求項１記載の検出器が一対の光電式検出器
による位置検出装置なので、非接触型の光電感知方式に
より、移動体の往復方向の移動量を検出できる。
【００１２】そして、請求項３記載の発明は、基準光と
測定光を複数の光学部品により互いに干渉させる光干渉
計であって、複数の光学部品を筐体に固定の固定光学部
品と筐体に対し可動の移動光学部品とに分けて、移動光
学部品用として、請求項１または２記載の移動体の位置
検出装置を備えた構成、を特徴としている。例えば、光
学部品としては、ビームスプリッタ及び反射器が挙げら
れる。
測定光を複数の光学部品により互いに干渉させる光干渉
計であって、複数の光学部品を筐体に固定の固定光学部
品と筐体に対し可動の移動光学部品とに分けて、移動光
学部品用として、請求項１または２記載の移動体の位置
検出装置を備えた構成、を特徴としている。例えば、光
学部品としては、ビームスプリッタ及び反射器が挙げら
れる。
【００１３】このように、請求項３記載の発明によれ
ば、先ず、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に移動光
学部品を配置した光干渉計なので、基準光軸とほぼ平行
な光軸上に沿って移動光学部品を長い距離移動して、光
の波長測定の精度向上が可能となり、筐体の十分な小型
化が可能となる。そして、請求項１または２記載の移動
体の位置検出装置により、移動光学部品の位置検出を行
うので、移動光学部品の移動距離を合理的に確保しなが
ら筐体を小型化できる。
ば、先ず、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に移動光
学部品を配置した光干渉計なので、基準光軸とほぼ平行
な光軸上に沿って移動光学部品を長い距離移動して、光
の波長測定の精度向上が可能となり、筐体の十分な小型
化が可能となる。そして、請求項１または２記載の移動
体の位置検出装置により、移動光学部品の位置検出を行
うので、移動光学部品の移動距離を合理的に確保しなが
ら筐体を小型化できる。
【００１４】また、請求項４記載の発明は、基準光と測
定光を、ビームスプリッタにより反射光と透過光による
直交する２光路に分岐し、各々の光路において、反射光
及び透過光を複数の反射器により互いに反射させた後、
再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光させ
る光干渉計であって、複数の反射器を筐体に固定の固定
反射器と筐体に対し可動の移動反射器とに分けて、移動
反射器用として、請求項１または２記載の移動体の位置
検出装置を備えた構成、を特徴としている。例えば、反
射器としては、ミラーが代表的であるが、ミラーの代わ
りに、例えば、コーナーキューブ、リフレクタなども使
用できる。受光器は、干渉縞の強度変化を電気信号とし
て取り出すものである。
定光を、ビームスプリッタにより反射光と透過光による
直交する２光路に分岐し、各々の光路において、反射光
及び透過光を複数の反射器により互いに反射させた後、
再びビームスプリッタで合波してから受光器に受光させ
る光干渉計であって、複数の反射器を筐体に固定の固定
反射器と筐体に対し可動の移動反射器とに分けて、移動
反射器用として、請求項１または２記載の移動体の位置
検出装置を備えた構成、を特徴としている。例えば、反
射器としては、ミラーが代表的であるが、ミラーの代わ
りに、例えば、コーナーキューブ、リフレクタなども使
用できる。受光器は、干渉縞の強度変化を電気信号とし
て取り出すものである。
【００１５】このように、請求項４記載の発明によれ
ば、先ず、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に移動反
射器を配置した光干渉計なので、基準光軸とほぼ平行な
光軸上に沿って移動反射器を長い距離移動して、光の波
長測定の精度向上が可能となり、筐体の十分な小型化が
可能となる。そして、請求項１または２記載の移動体の
位置検出装置により、移動反射器の位置検出を行うの
で、移動反射器の移動距離を合理的に確保しながら筐体
を小型化できる。
ば、先ず、基準光の光軸とほぼ平行する光軸上に移動反
射器を配置した光干渉計なので、基準光軸とほぼ平行な
光軸上に沿って移動反射器を長い距離移動して、光の波
長測定の精度向上が可能となり、筐体の十分な小型化が
可能となる。そして、請求項１または２記載の移動体の
位置検出装置により、移動反射器の位置検出を行うの
で、移動反射器の移動距離を合理的に確保しながら筐体
を小型化できる。
【００１６】請求項５記載の発明は、請求項４記載の光
干渉計であって、反射光と透過光を互いに他方の固定反
射器に向けて反射する一対の固定反射器を備え、この一
対の固定反射器の間に、各々の固定反射器に光を全反射
する一対の移動反射器が配設されている構成、を特徴と
している。
干渉計であって、反射光と透過光を互いに他方の固定反
射器に向けて反射する一対の固定反射器を備え、この一
対の固定反射器の間に、各々の固定反射器に光を全反射
する一対の移動反射器が配設されている構成、を特徴と
している。
【００１７】このように、請求項５記載の発明によれ
ば、先ず、反射光と透過光を互いに他方の固定反射器に
向けて反射する一対の固定反射器の間に、請求項４記載
の移動反射器として、各々の固定反射器に光を全反射す
る一対の移動反射器が配設されている光干渉計なので、
基準光軸とほぼ平行な光軸上において、一対の固定反射
器の間で一対の移動反射器を移動させて各々全反射させ
ることにより、各々の光路長に発生する差のできる範囲
を大きく取れる。
ば、先ず、反射光と透過光を互いに他方の固定反射器に
向けて反射する一対の固定反射器の間に、請求項４記載
の移動反射器として、各々の固定反射器に光を全反射す
る一対の移動反射器が配設されている光干渉計なので、
基準光軸とほぼ平行な光軸上において、一対の固定反射
器の間で一対の移動反射器を移動させて各々全反射させ
ることにより、各々の光路長に発生する差のできる範囲
を大きく取れる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る移動体の位
置検出装置と光干渉計の実施の形態例を図１から図６に
基づいて説明する。先ず、図１は本発明を適用した一例
としての小型光干渉計の概略構成例を示した平面図で、
図中、Ｌ１は基準光軸、Ｌ２は可動光軸、３１は基準光
源、３２は第１ミラー、３３はビームスプリッタ、３４
は第２ミラー、３５は第３ミラー、３６，３７は移動ミ
ラー（コーナーキューブ）、３８は受光器、４０は筐
体、５１はリニアガイド、５２はミラーベースである。
この小型光干渉計は、Ｈｅ−Ｎｅレーザを基準光源３１
に用いたものである。
置検出装置と光干渉計の実施の形態例を図１から図６に
基づいて説明する。先ず、図１は本発明を適用した一例
としての小型光干渉計の概略構成例を示した平面図で、
図中、Ｌ１は基準光軸、Ｌ２は可動光軸、３１は基準光
源、３２は第１ミラー、３３はビームスプリッタ、３４
は第２ミラー、３５は第３ミラー、３６，３７は移動ミ
ラー（コーナーキューブ）、３８は受光器、４０は筐
体、５１はリニアガイド、５２はミラーベースである。
この小型光干渉計は、Ｈｅ−Ｎｅレーザを基準光源３１
に用いたものである。
【００１９】基準光源３１から出射された基準光（Ｈｅ
−Ｎｅレーザ光）は、図示のように、筐体４０の内部に
おいて、基準光軸Ｌ１を通り、第１ミラー３２により反
射されてからビームスプリッタ３３に入射する。また、
ビームスプリッタ３３には、筐体４０の外部から測定光
が入射し、この測定光と基準光は、上段と下段とに異な
る光路を通ってビームスプリッタ３３に入射する。この
ビームスプリッタ３３によって、入射光が透過光と反射
光による直交する２光路に分割され、透過光は第２ミラ
ー３４により第３ミラー３５に向けて反射され、また、
反射光は第３ミラー３５により第２ミラー３４に向けて
反射する。第２ミラー３４で反射された光は、一方のコ
ーナーキューブによる移動ミラー３６により全反射さ
れ、また、第３ミラー３５で反射された光は、他方のコ
ーナーキューブによる移動ミラー３７で全反射される。
ここで、移動ミラー３６，３７は、第２ミラー３４と第
３ミラー３５間の光軸上において、リニアガイド５１上
を光軸に沿って移動自在に組み付けられている。
−Ｎｅレーザ光）は、図示のように、筐体４０の内部に
おいて、基準光軸Ｌ１を通り、第１ミラー３２により反
射されてからビームスプリッタ３３に入射する。また、
ビームスプリッタ３３には、筐体４０の外部から測定光
が入射し、この測定光と基準光は、上段と下段とに異な
る光路を通ってビームスプリッタ３３に入射する。この
ビームスプリッタ３３によって、入射光が透過光と反射
光による直交する２光路に分割され、透過光は第２ミラ
ー３４により第３ミラー３５に向けて反射され、また、
反射光は第３ミラー３５により第２ミラー３４に向けて
反射する。第２ミラー３４で反射された光は、一方のコ
ーナーキューブによる移動ミラー３６により全反射さ
れ、また、第３ミラー３５で反射された光は、他方のコ
ーナーキューブによる移動ミラー３７で全反射される。
ここで、移動ミラー３６，３７は、第２ミラー３４と第
３ミラー３５間の光軸上において、リニアガイド５１上
を光軸に沿って移動自在に組み付けられている。
【００２０】そして、一方の移動ミラー３６で全反射さ
れた光は、第２ミラー３４により反射されてビームスプ
リッタ３３に再び入射し、また、他方の移動ミラー３７
で全反射された光は、第３ミラー３５により反射されて
ビームスプリッタ３３に再び入射する。こうして基準光
と測定光がビームスプリッタ３３で合波され、このと
き、ともにコーナーキューブによる一対の移動ミラー３
６，３７をリニアガイド５１上を光軸に沿って等速で移
動させることで、２つの移動ミラー３６，３７からの反
射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見られ
る。この干渉縞の強度変化を受光器３８により電気信号
として取り出す。なお、２つの移動ミラー３６，３７に
よる反射光の光軸を、ここでは可動光軸Ｌ２とする。
れた光は、第２ミラー３４により反射されてビームスプ
リッタ３３に再び入射し、また、他方の移動ミラー３７
で全反射された光は、第３ミラー３５により反射されて
ビームスプリッタ３３に再び入射する。こうして基準光
と測定光がビームスプリッタ３３で合波され、このと
き、ともにコーナーキューブによる一対の移動ミラー３
６，３７をリニアガイド５１上を光軸に沿って等速で移
動させることで、２つの移動ミラー３６，３７からの反
射光の光路長に差ができ、干渉縞の強度変化が見られ
る。この干渉縞の強度変化を受光器３８により電気信号
として取り出す。なお、２つの移動ミラー３６，３７に
よる反射光の光軸を、ここでは可動光軸Ｌ２とする。
【００２１】また、後述するように、２つの移動ミラー
３６，３７を外した光学系とした場合は、以下のような
光路となる。即ち、図２に示すように、ビームスプリッ
タ３３で分割された透過光は、第２ミラー３４により第
３ミラー３５に向けて反射され、さらに、第３ミラー３
５により反射されてビームスプリッタ３３に再び入射す
る。また、ビームスプリッタ３３で分割された反射光
は、第３ミラー３５により第２ミラー３４に向けて反射
され、さらに、第２ミラー３４により反射されてビーム
スプリッタ３３に再び入射する。こうして基準光と測定
光がビームスプリッタ３３で合波された結果、干渉が生
じ、その干渉が受光器３８で電気信号として取り出され
る。
３６，３７を外した光学系とした場合は、以下のような
光路となる。即ち、図２に示すように、ビームスプリッ
タ３３で分割された透過光は、第２ミラー３４により第
３ミラー３５に向けて反射され、さらに、第３ミラー３
５により反射されてビームスプリッタ３３に再び入射す
る。また、ビームスプリッタ３３で分割された反射光
は、第３ミラー３５により第２ミラー３４に向けて反射
され、さらに、第２ミラー３４により反射されてビーム
スプリッタ３３に再び入射する。こうして基準光と測定
光がビームスプリッタ３３で合波された結果、干渉が生
じ、その干渉が受光器３８で電気信号として取り出され
る。
【００２２】以上の小型光干渉計において、筐体４０に
は、図２に示したように、内部に複数（図示例では３
個）のボス４１，４１，４１を起設して、このボス４
１，４１，４１に一直線上の第１基準面４２，４２，４
２を形成するとともに、外形部に一直線上の第２基準面
４３を形成している。このような第１基準面４２，４
２，４２と第２基準面４３は、互いに平行であり、ま
た、第１基準面４２，４２，４２が第２基準面４３に向
かった状態にして、高精度な平坦面加工により得る。
は、図２に示したように、内部に複数（図示例では３
個）のボス４１，４１，４１を起設して、このボス４
１，４１，４１に一直線上の第１基準面４２，４２，４
２を形成するとともに、外形部に一直線上の第２基準面
４３を形成している。このような第１基準面４２，４
２，４２と第２基準面４３は、互いに平行であり、ま
た、第１基準面４２，４２，４２が第２基準面４３に向
かった状態にして、高精度な平坦面加工により得る。
【００２３】ところで、図３は移動ミラー３６，３７及
びその駆動系をブロック５０と一緒に取り外した状態を
示した平面図で、図中、５３は基準面、６１はモータ
（ステッピングモータ）、６２は駆動プーリ（タイミン
グプーリ）、６３，６４は従動プーリ（タイミングプー
リ）、６５はベルト（タイミングベルト）、６６，６７
はテンションプーリである。即ち、ブロック５０上に
は、図示のように、リニアガイド５１が一体的または一
体に設けられるとともに、中央のモータ６１及び駆動プ
ーリ６２と左右の従動プーリ６３，６４及びテンション
プーリ６６，６７が備えられている。そして、モータ６
１の出力軸に設けた駆動プーリ６２と、リニアガイド５
１の両側に設けた従動プーリ６３，６４とにベルト６５
が掛けられている。このベルト６５は、２つの移動ミラ
ー３６，３７を備えたミラーベース５２に固定されてい
る。
びその駆動系をブロック５０と一緒に取り外した状態を
示した平面図で、図中、５３は基準面、６１はモータ
（ステッピングモータ）、６２は駆動プーリ（タイミン
グプーリ）、６３，６４は従動プーリ（タイミングプー
リ）、６５はベルト（タイミングベルト）、６６，６７
はテンションプーリである。即ち、ブロック５０上に
は、図示のように、リニアガイド５１が一体的または一
体に設けられるとともに、中央のモータ６１及び駆動プ
ーリ６２と左右の従動プーリ６３，６４及びテンション
プーリ６６，６７が備えられている。そして、モータ６
１の出力軸に設けた駆動プーリ６２と、リニアガイド５
１の両側に設けた従動プーリ６３，６４とにベルト６５
が掛けられている。このベルト６５は、２つの移動ミラ
ー３６，３７を備えたミラーベース５２に固定されてい
る。
【００２４】さらに、駆動プーリ６２の両側において、
ベルト６５を適度の緊張状態とするためのテンションプ
ーリ６６，６７が配置されている。そして、ブロック５
０のモータ６１を備えた側の端面は、筐体４０の第１基
準面４２，４２，４２と合致する基準面５３となってい
る。この基準面５３を高精度な平坦面加工により得る。
また、ブロック５０には、リニアガイド５１（可動光軸
Ｌ２）を基準面５３と平行に設けてある。なお、ブロッ
ク５０は、その基準面５３を第１基準面４２，４２，４
２に合致させた状態で筐体４０上にネジ止め固定され
る。
ベルト６５を適度の緊張状態とするためのテンションプ
ーリ６６，６７が配置されている。そして、ブロック５
０のモータ６１を備えた側の端面は、筐体４０の第１基
準面４２，４２，４２と合致する基準面５３となってい
る。この基準面５３を高精度な平坦面加工により得る。
また、ブロック５０には、リニアガイド５１（可動光軸
Ｌ２）を基準面５３と平行に設けてある。なお、ブロッ
ク５０は、その基準面５３を第１基準面４２，４２，４
２に合致させた状態で筐体４０上にネジ止め固定され
る。
【００２５】次に、以上のような構成による小型光干渉
計の使い方を説明する。先ず、筐体４０にブロック５０
を取り付けていない状態では、コーナーキューブによる
２つの移動ミラー３６，３７が可動光軸Ｌ２上に無いた
め、図２に示したように、基準光を基準光軸貫通穴４４
から筐体４０の外部へ遠方に飛ばして、基準光源３１か
ら出射直後の基準光軸Ｌ１と筐体４０の第１及び第２の
両基準面４２，４３との平行精度を、より高度に調整す
ることができる。また、筐体４０の第２基準面４３を基
準として、第２ミラー３４と第３ミラー３５とにより作
られる光軸（可動光軸Ｌ２参照）を平行に調整しておけ
ば、予め筐体４０の外部で調整されたブロック５０上の
移動ミラー３６，３７の可動光軸Ｌ２を合わせるだけ
で、前述したように、基準光と測定光の干渉を生じさせ
ることができる。
計の使い方を説明する。先ず、筐体４０にブロック５０
を取り付けていない状態では、コーナーキューブによる
２つの移動ミラー３６，３７が可動光軸Ｌ２上に無いた
め、図２に示したように、基準光を基準光軸貫通穴４４
から筐体４０の外部へ遠方に飛ばして、基準光源３１か
ら出射直後の基準光軸Ｌ１と筐体４０の第１及び第２の
両基準面４２，４３との平行精度を、より高度に調整す
ることができる。また、筐体４０の第２基準面４３を基
準として、第２ミラー３４と第３ミラー３５とにより作
られる光軸（可動光軸Ｌ２参照）を平行に調整しておけ
ば、予め筐体４０の外部で調整されたブロック５０上の
移動ミラー３６，３７の可動光軸Ｌ２を合わせるだけ
で、前述したように、基準光と測定光の干渉を生じさせ
ることができる。
【００２６】そして、移動ミラー３６，３７について
は、筐体４０からブロック５０ごと外すことで、機械的
調整及び光学的調整することができ、具体的には、ブロ
ック５０の基準面５３を基準として、コリメータ及びレ
ーザにより、コーナーキューブによる移動ミラー３６，
３７を調整することができる。また、筐体４０からブロ
ック５０を外せるため、消耗部品であるリニアガイド５
１、ミラーベース５２、モータ６１、プーリ６２，６
３，６４及びベルト６５等を容易に交換することができ
る。
は、筐体４０からブロック５０ごと外すことで、機械的
調整及び光学的調整することができ、具体的には、ブロ
ック５０の基準面５３を基準として、コリメータ及びレ
ーザにより、コーナーキューブによる移動ミラー３６，
３７を調整することができる。また、筐体４０からブロ
ック５０を外せるため、消耗部品であるリニアガイド５
１、ミラーベース５２、モータ６１、プーリ６２，６
３，６４及びベルト６５等を容易に交換することができ
る。
【００２７】以上の通り、筐体４０からブロック５０と
して移動光学部品を外して、固定光学部品と移動光学部
品の機械的調整及び光学的調整が別個に行えるものとな
り、即ち、筐体４０からブロック５０ごと移動ミラー３
６，３７（移動反射器）及びその駆動系（モータ６１、
プーリ６２，６３，６４及びベルト６５等）を外して、
ビームスプリッタ３３及び固定反射器（ミラー３２，３
４，３５）と移動ミラー３６，３７の機械的調整及び光
学的調整が別個に行える。従って、移動ミラー３６，３
７のメンテナンス性が向上し、しかも、筐体４０からブ
ロック５０として移動ミラー３６，３７を外して、筐体
４０内のビームスプリッタ３３及びミラー３２，３４，
３５の光学的調整により、光干渉比率の精度をアップで
きて、十分に小型化した筐体４０とすることができる。
して移動光学部品を外して、固定光学部品と移動光学部
品の機械的調整及び光学的調整が別個に行えるものとな
り、即ち、筐体４０からブロック５０ごと移動ミラー３
６，３７（移動反射器）及びその駆動系（モータ６１、
プーリ６２，６３，６４及びベルト６５等）を外して、
ビームスプリッタ３３及び固定反射器（ミラー３２，３
４，３５）と移動ミラー３６，３７の機械的調整及び光
学的調整が別個に行える。従って、移動ミラー３６，３
７のメンテナンス性が向上し、しかも、筐体４０からブ
ロック５０として移動ミラー３６，３７を外して、筐体
４０内のビームスプリッタ３３及びミラー３２，３４，
３５の光学的調整により、光干渉比率の精度をアップで
きて、十分に小型化した筐体４０とすることができる。
【００２８】そして、基準光軸Ｌ１と平行な可動光軸Ｌ
２上に沿って移動ミラー３６，３７を長い距離移動でき
て、光の波長測定の精度をアップでき、この面からも十
分に小型化した筐体４０とすることができる。さらに、
基準光軸Ｌ１と平行な可動光軸Ｌ２上において、一対の
固定ミラー３４，３５の間で一対の移動ミラー３６，３
７を移動させて各々全反射させているため、各々の光路
長に発生する差のできる範囲を大きく取れるものとなっ
ている。
２上に沿って移動ミラー３６，３７を長い距離移動でき
て、光の波長測定の精度をアップでき、この面からも十
分に小型化した筐体４０とすることができる。さらに、
基準光軸Ｌ１と平行な可動光軸Ｌ２上において、一対の
固定ミラー３４，３５の間で一対の移動ミラー３６，３
７を移動させて各々全反射させているため、各々の光路
長に発生する差のできる範囲を大きく取れるものとなっ
ている。
【００２９】以上において、詳細には、図４に示したよ
うに、可動光軸ｌ２と、ビームスプリッタ３３及び第２
ミラー３４間の光軸Ｌ３と、ビームスプリッタ３３及び
第３ミラー３５間の光軸Ｌ４と、により形成されるトラ
イアングルの中のほぼ中央に、移動ミラー３６，３７の
駆動部材であるベルト６５の駆動源としてのモータ６１
及びその出力軸６１ａが位置している。そして、このモ
ータ６１及びその出力軸６１ａは、第２ミラー３４と第
３ミラー３５との間の中点位置にある。従って、モータ
６１の駆動により、その出力軸６１ａから駆動プーリ６
２及びベルト６５を介して一対の移動ミラー３６，３７
を、左右両方向の何れにおいても、立ち上がり速度を同
程度にして移動することができる。しかも、モータ６１
が左右の従動プーリ６３，６４に近付いた配置となって
いるので、ベルト６５による移動ミラー３６，３７の左
右両方向の立ち上がり速度を極力早くして、測定時間の
短縮が図られている。
うに、可動光軸ｌ２と、ビームスプリッタ３３及び第２
ミラー３４間の光軸Ｌ３と、ビームスプリッタ３３及び
第３ミラー３５間の光軸Ｌ４と、により形成されるトラ
イアングルの中のほぼ中央に、移動ミラー３６，３７の
駆動部材であるベルト６５の駆動源としてのモータ６１
及びその出力軸６１ａが位置している。そして、このモ
ータ６１及びその出力軸６１ａは、第２ミラー３４と第
３ミラー３５との間の中点位置にある。従って、モータ
６１の駆動により、その出力軸６１ａから駆動プーリ６
２及びベルト６５を介して一対の移動ミラー３６，３７
を、左右両方向の何れにおいても、立ち上がり速度を同
程度にして移動することができる。しかも、モータ６１
が左右の従動プーリ６３，６４に近付いた配置となって
いるので、ベルト６５による移動ミラー３６，３７の左
右両方向の立ち上がり速度を極力早くして、測定時間の
短縮が図られている。
【００３０】さらに、筐体４０の内部において、図５に
示したように、精度上の理由からリニアガイド５１を底
部に配置する一方、モータ６１上に出力軸６１ａを向け
て、駆動プーリ６２と従動プーリ６３，６４及びベルト
６５を上部に配置している。これにより、リニアガイド
５１とベルト６５との間に空間を確保して、基準光と測
定光の光路を確保した合理的な配置となっている。従っ
て、この面からも十分に小型化した筐体４０とすること
ができる。なお、リニアガイド５１と駆動プーリ６２、
従動プーリ６３，６４及びベルト６５との配置関係は上
下逆にしても良い。
示したように、精度上の理由からリニアガイド５１を底
部に配置する一方、モータ６１上に出力軸６１ａを向け
て、駆動プーリ６２と従動プーリ６３，６４及びベルト
６５を上部に配置している。これにより、リニアガイド
５１とベルト６５との間に空間を確保して、基準光と測
定光の光路を確保した合理的な配置となっている。従っ
て、この面からも十分に小型化した筐体４０とすること
ができる。なお、リニアガイド５１と駆動プーリ６２、
従動プーリ６３，６４及びベルト６５との配置関係は上
下逆にしても良い。
【００３１】そして、一対の移動ミラー３６，３７の移
動限界の位置検出装置として、図４及び図５に示したよ
うに、移動ミラー３６，３７側の一対の被検出部（ド
グ）１１，１２と、ブロック５０側の一対の検出器（イ
ンタラプタ）２１，２２とが設けられている。即ち、図
４に示すように、背中合わせで一体化された一つの移動
ミラー３６，３７のビームスプリッタ３３側の側面の外
側端にドグ１１，１２が突出して一体に設けられてい
る。そして、図５に示すように、右側の移動ミラー３６
に設けたドグ１１がリニアガイド５１側に位置して、左
側の移動ミラー３７に設けたドグ１２がベルト６５側に
位置している。また、右側の移動ミラー３６のドグ１１
に対応するインタラプタ２１は左側のテンションプーリ
６６の近くに配置されて、左側の移動ミラー３７のドグ
１２に対応するインタラプタ２２は右側のテンションプ
ーリ６７の近くに配置されている。このような左右のイ
ンタラプタ２１，２２は、ブロック５０に取り付けられ
ている。
動限界の位置検出装置として、図４及び図５に示したよ
うに、移動ミラー３６，３７側の一対の被検出部（ド
グ）１１，１２と、ブロック５０側の一対の検出器（イ
ンタラプタ）２１，２２とが設けられている。即ち、図
４に示すように、背中合わせで一体化された一つの移動
ミラー３６，３７のビームスプリッタ３３側の側面の外
側端にドグ１１，１２が突出して一体に設けられてい
る。そして、図５に示すように、右側の移動ミラー３６
に設けたドグ１１がリニアガイド５１側に位置して、左
側の移動ミラー３７に設けたドグ１２がベルト６５側に
位置している。また、右側の移動ミラー３６のドグ１１
に対応するインタラプタ２１は左側のテンションプーリ
６６の近くに配置されて、左側の移動ミラー３７のドグ
１２に対応するインタラプタ２２は右側のテンションプ
ーリ６７の近くに配置されている。このような左右のイ
ンタラプタ２１，２２は、ブロック５０に取り付けられ
ている。
【００３２】以上のような配置によるドグ１１，１２及
びインタラプタ２１，２２からなる位置検出装置とした
ので、図６に示すように、移動ミラー３６，３７の左右
方向への移動距離を十分に取ることできる。即ち、左側
への移動の場合は、図６（ａ）に示したように、モータ
６１の駆動によるベルト６５の走行により、リニアガイ
ド５１に沿って移動ミラー３６，３７が左側へ移動して
行き、右側の移動ミラー３６のドグ１１が左側のインタ
ラプタ２１により検出された時点で、移動が停止され
る。これが左側への移動限界位置である。また、右側へ
の移動の場合には、図６（ｂ）に示したように、リニア
ガイド５１に沿って移動ミラー３６，３７が右側へ移動
して行き、左側の移動ミラー３７のドグ１２が右側のイ
ンタラプタ２２により検出された時点で、移動が停止さ
れる。これが右側への移動限界位置である。
びインタラプタ２１，２２からなる位置検出装置とした
ので、図６に示すように、移動ミラー３６，３７の左右
方向への移動距離を十分に取ることできる。即ち、左側
への移動の場合は、図６（ａ）に示したように、モータ
６１の駆動によるベルト６５の走行により、リニアガイ
ド５１に沿って移動ミラー３６，３７が左側へ移動して
行き、右側の移動ミラー３６のドグ１１が左側のインタ
ラプタ２１により検出された時点で、移動が停止され
る。これが左側への移動限界位置である。また、右側へ
の移動の場合には、図６（ｂ）に示したように、リニア
ガイド５１に沿って移動ミラー３６，３７が右側へ移動
して行き、左側の移動ミラー３７のドグ１２が右側のイ
ンタラプタ２２により検出された時点で、移動が停止さ
れる。これが右側への移動限界位置である。
【００３３】このように、移動ミラー３６，３７のビー
ムスプリッタ３３側の側面の外側端において、リニアガ
イド５１と直交方向に位置を異ならせてドグ１１，１２
を設け、対応するインタラプタ２１，２２を左右異なる
側に配置したことによって、一対の固定ミラー３４，３
５間の距離の約半分を移動ミラー３６，３７が右側と左
側とに各々移動することができる。つまり、移動ミラー
３６，３７の移動距離を合理的に確保でき、従って、波
長計測時間を長くとれて、波長測定精度を向上すること
ができる。また、ドグ１１，１２及びインタラプタ２
１，２２からなる位置検出装置を、移動ミラー３６，３
７のビームスプリッタ３３側の一側面に配置しており、
かつ、駆動プーリ６２及び従動プーリ６３，６４により
形成される三角形内に配置したので、ブロック５０のコ
ンパクト化、筐体４０の小型化も併せて達成することが
できる。ここで、以上のドグ１１，１２の配置例の他、
移動ミラー３６，３７の一側面に、少なくとも移動方向
と沿う方向及び交差方向へともに各々位置を異ならせて
ドグ１１，１２を設けるようにしても良い。
ムスプリッタ３３側の側面の外側端において、リニアガ
イド５１と直交方向に位置を異ならせてドグ１１，１２
を設け、対応するインタラプタ２１，２２を左右異なる
側に配置したことによって、一対の固定ミラー３４，３
５間の距離の約半分を移動ミラー３６，３７が右側と左
側とに各々移動することができる。つまり、移動ミラー
３６，３７の移動距離を合理的に確保でき、従って、波
長計測時間を長くとれて、波長測定精度を向上すること
ができる。また、ドグ１１，１２及びインタラプタ２
１，２２からなる位置検出装置を、移動ミラー３６，３
７のビームスプリッタ３３側の一側面に配置しており、
かつ、駆動プーリ６２及び従動プーリ６３，６４により
形成される三角形内に配置したので、ブロック５０のコ
ンパクト化、筐体４０の小型化も併せて達成することが
できる。ここで、以上のドグ１１，１２の配置例の他、
移動ミラー３６，３７の一側面に、少なくとも移動方向
と沿う方向及び交差方向へともに各々位置を異ならせて
ドグ１１，１２を設けるようにしても良い。
【００３４】なお、以上の実施の形態例においては、Ｈ
ｅ−Ｎｅレーザ光を基準光としたが、基準光は、これに
限定されるものではなく、他のレーザ光であっても良
い。また、実施の形態例では、光干渉計に適用した位置
検出装置としたが、位置検出装置は、他の機器にも広く
適用されるものである。そして、実施の形態例では、直
線的に移動する移動体の位置検出を行ったが、直線に限
らず、曲線的に移動する移動体の位置検出を行うことも
可能である。また、実施の形態例では、光電式検出器と
したが、他に、磁気式検出器、電子式検出器または機械
式検出器であっても良い。さらに、移動体の対象は任意
であり、その他、被検出部及び検出器を３組以上として
も良く、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能
であることは勿論である。
ｅ−Ｎｅレーザ光を基準光としたが、基準光は、これに
限定されるものではなく、他のレーザ光であっても良
い。また、実施の形態例では、光干渉計に適用した位置
検出装置としたが、位置検出装置は、他の機器にも広く
適用されるものである。そして、実施の形態例では、直
線的に移動する移動体の位置検出を行ったが、直線に限
らず、曲線的に移動する移動体の位置検出を行うことも
可能である。また、実施の形態例では、光電式検出器と
したが、他に、磁気式検出器、電子式検出器または機械
式検出器であっても良い。さらに、移動体の対象は任意
であり、その他、被検出部及び検出器を３組以上として
も良く、具体的な細部構造等についても適宜に変更可能
であることは勿論である。
【００３５】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明に係
る移動体の位置検出装置によれば、移動体の一側面側に
移動方向と沿う方向及び交差方向に各々位置を異ならせ
て設けた複数の被検出部を、各々の検出器によりそれぞ
れ検出することによって、移動体の移動量として、例え
ば、中立位置における移動体の各々の被検出部からそれ
ぞれの検出器までの長い距離が得られるため、移動体の
移動距離を合理的に確保することができるとともに、移
動体の移動方向の一側面側に複数の被検出部及び検出器
が位置するため、移動体を収容する筐体の小型化を達成
することができる。
る移動体の位置検出装置によれば、移動体の一側面側に
移動方向と沿う方向及び交差方向に各々位置を異ならせ
て設けた複数の被検出部を、各々の検出器によりそれぞ
れ検出することによって、移動体の移動量として、例え
ば、中立位置における移動体の各々の被検出部からそれ
ぞれの検出器までの長い距離が得られるため、移動体の
移動距離を合理的に確保することができるとともに、移
動体の移動方向の一側面側に複数の被検出部及び検出器
が位置するため、移動体を収容する筐体の小型化を達成
することができる。
【００３６】請求項２記載の発明に係る移動体の位置検
出装置によれば、ドグと光電式検出器による非接触型の
光電感知方式で移動体の往復方向の移動量を検出するこ
とができて、請求項１記載の発明の効果を得ることがで
きる。
出装置によれば、ドグと光電式検出器による非接触型の
光電感知方式で移動体の往復方向の移動量を検出するこ
とができて、請求項１記載の発明の効果を得ることがで
きる。
【００３７】そして、請求項３記載の発明に係る光干渉
計によれば、基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動
光学部品を長い距離移動させることが可能なため、光の
波長測定の精度向上を可能として、筐体の十分な小型化
を可能とすることができ、しかも、請求項１または２記
載の発明に係る移動体の位置検出装置によって、移動光
学部品の位置検出を行うため、移動光学部品の移動距離
を合理的に確保することができるとともに、筐体の小型
化を達成することができる。
計によれば、基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動
光学部品を長い距離移動させることが可能なため、光の
波長測定の精度向上を可能として、筐体の十分な小型化
を可能とすることができ、しかも、請求項１または２記
載の発明に係る移動体の位置検出装置によって、移動光
学部品の位置検出を行うため、移動光学部品の移動距離
を合理的に確保することができるとともに、筐体の小型
化を達成することができる。
【００３８】また、請求項４記載の発明に係る光干渉計
によれば、基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動反
射器を長い距離移動させることが可能なため、光の波長
測定の精度向上を可能として、筐体の十分な小型化を可
能とすることができ、しかも、請求項１または２記載の
発明に係る移動体の位置検出装置によって、移動反射器
の位置検出を行うため、移動反射器の移動距離を合理的
に確保することができるとともに、筐体の小型化を達成
することができる。
によれば、基準光軸とほぼ平行な光軸上に沿って移動反
射器を長い距離移動させることが可能なため、光の波長
測定の精度向上を可能として、筐体の十分な小型化を可
能とすることができ、しかも、請求項１または２記載の
発明に係る移動体の位置検出装置によって、移動反射器
の位置検出を行うため、移動反射器の移動距離を合理的
に確保することができるとともに、筐体の小型化を達成
することができる。
【００３９】請求項５記載の発明に係る光干渉計によれ
ば、請求項４記載の発明により得られる効果に加え、基
準光軸とほぼ平行な光軸上において、一対の固定反射器
の間で一対の移動反射器を移動させて各々全反射させる
ため、各々の光路長に発生する差のできる範囲を大きく
取ることができるといった利点が得られる。
ば、請求項４記載の発明により得られる効果に加え、基
準光軸とほぼ平行な光軸上において、一対の固定反射器
の間で一対の移動反射器を移動させて各々全反射させる
ため、各々の光路長に発生する差のできる範囲を大きく
取ることができるといった利点が得られる。
【図１】本発明を適用した一例としての小型光干渉計の
概略構成例を示した平面図である。
概略構成例を示した平面図である。
【図２】図１の小型光干渉計において、筐体内の固定光
学部品を示した平面図である。
学部品を示した平面図である。
【図３】図１の小型光干渉計において、移動光学部品及
びその駆動系をブロックと一緒に取り外した状態を示し
た平面図である。
びその駆動系をブロックと一緒に取り外した状態を示し
た平面図である。
【図４】図３の移動反射器及びその駆動系とともに、そ
の両側の固定反射器と図１及び図２のビームスプリッタ
の関係を示した概略平面図である。
の両側の固定反射器と図１及び図２のビームスプリッタ
の関係を示した概略平面図である。
【図５】図４の矢印Ａ方向から見た側面図である。
【図６】図５の移動反射器の移動限界での位置検出装置
による位置検出状態を示すもので、図５と同様の側面図
であり、（ａ）は左側に移動した場合を示した図、
（ｂ）は右側に移動した場合を示した図である。
による位置検出状態を示すもので、図５と同様の側面図
であり、（ａ）は左側に移動した場合を示した図、
（ｂ）は右側に移動した場合を示した図である。
Ｌ１ 基準光軸 Ｌ２ 可動光軸 １１，１２ 被検出部（ドグ） ２１，２２ 検出器（インタラプタ） ３１ 基準光源 ３２，３４，３５ 固定反射器 ３３ ビームスプリッタ ３６，３７ 移動反射器 ３８ 受光器 ４０ 筐体 ４２ 第１基準面 ４３ 第２基準面 ４４ 基準光軸貫通穴 ５０ ブロック ５１ リニアガイド ５２ ミラーベース ５３ 基準面 ６１ モータ（駆動源） ６２ 駆動プーリ ６３，６４ 従動プーリ ６５ ベルト（駆動部材） ６６，６７ テンションプーリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市川 昭夫 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 佐野 栄一 東京都板橋区富士見町13番６号 株式会社 ケイエヌテー内 Ｆターム(参考） 2F064 AA03 BB05 CC10 EE01 FF02 GG12 GG16 GG22 HH06 2G020 BA20 CA12 CB05 CB23 CC22 CC47 CD16 CD22
Claims (5)
- 【請求項１】往復移動する移動体の往復方向の位置を各
々検出する位置検出装置であって、 移動体の移動方向の一側面側に設けられ、移動体の移動
方向と沿う方向及び交差方向に各々位置を異ならせた複
数の被検出部と、 この複数の被検出部に各々対応させて配置した複数の検
出器と、 を備えたこと、を特徴とする移動体の位置検出装置。 - 【請求項２】被検出部は移動体から突出する一対のドグ
であって、 検出器は一対の光電式検出器であること、を特徴とする
請求項１記載の移動体の位置検出装置。 - 【請求項３】基準光と測定光を複数の光学部品により互
いに干渉させる光干渉計であって、 複数の光学部品を筐体に固定の固定光学部品と筐体に対
し可動の移動光学部品とに分けて、 移動光学部品用として、請求項１または２記載の移動体
の位置検出装置を備えたこと、を特徴とする光干渉計。 - 【請求項４】基準光と測定光を、ビームスプリッタによ
り反射光と透過光による直交する２光路に分岐し、各々
の光路において、反射光及び透過光を複数の反射器によ
り互いに反射させた後、再びビームスプリッタで合波し
てから受光器に受光させる光干渉計であって、 複数の反射器を筐体に固定の固定反射器と筐体に対し可
動の移動反射器とに分けて、 移動反射器用として、請求項１または２記載の移動体の
位置検出装置を備えたこと、を特徴とする光干渉計。 - 【請求項５】反射光と透過光を互いに他方の固定反射器
に向けて反射する一対の固定反射器を備え、 この一対の固定反射器の間に、各々の固定反射器に光を
全反射する一対の移動反射器が配設されていること、を
特徴とする請求項４記載の光干渉計。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP11086737A JP2000283709A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 移動体の位置検出装置と光干渉計 |
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| US09/535,527 US6693714B1 (en) | 1999-03-29 | 2000-03-27 | Position sensor for movable body and optical interferometer |
| DE10015243A DE10015243A1 (de) | 1999-03-29 | 2000-03-28 | Positionssensor für beweglichen Körper sowie optische Interferometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11086737A JP2000283709A (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 移動体の位置検出装置と光干渉計 |
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|---|---|
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