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JP2000268770A - イオンガイド - Google Patents

イオンガイド

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Publication number
JP2000268770A
JP2000268770A JP11071731A JP7173199A JP2000268770A JP 2000268770 A JP2000268770 A JP 2000268770A JP 11071731 A JP11071731 A JP 11071731A JP 7173199 A JP7173199 A JP 7173199A JP 2000268770 A JP2000268770 A JP 2000268770A
Authority
JP
Japan
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ion guide
bent
rod
cut
pole
Prior art date
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Granted
Application number
JP11071731A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3542918B2 (ja
Inventor
Tatsuji Kobayashi
小林達次
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
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Publication date
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  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】イオンガイドの各ロッドの湾曲精度を気にする
必要がなく、しかも、各ロッド間のギャップを所定の値
に保って組み立てることのできるイオンガイドを提供す
る。 【解決手段】4本以上の偶数本の折れ曲がった形状を有
するロッドをイオン通路の周囲に配置することにより、
屈曲したイオン通路を形成したイオンガイドであって、
各ロッドの折れ曲がり部は、ロッドに設けられた切れ込
み部分で折り曲げられて成る。また、前記各ロッドは、
各ロッドの直線部分において、ホルダーによって一体的
に固定されている。また、前記ホルダーは、絶縁物で作
られている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、イオンガイドに関
し、特に、質量分析に不要な中性粒子が質量分析系に入
るのを防止することのできるイオンガイドに関する。
【0002】
【従来の技術】大気圧下で発生したイオンをイオンガイ
ドを用いて高真空領域に導入する方法は、質量分析法の
一技術として広く知られている。図1は、従来のイオン
ガイドの構成を示したものである。図中1は、2つのオ
リフィス2及び3によって囲まれた差動排気室であり、
ロータリーポンプ(RP)4によって数Torr程度に真空
引きされている。
【0003】また、5は拡散ポンプ(DP)6によって
10-2Torr程度の低真空に真空引きされた第1中間室、
7はDP8によって10-5Torr程度の中真空に真空引き
された第2中間室、9はDP10によって10-7Torr程
度の高真空に真空引きされた分析部である。湾曲した4
本のロッドから成るQポールイオンガイド11は、オリ
フィス3の近傍から分析部9の入口付近にかけて橋渡し
するように設置されていて、Qポールイオンガイド11
の対向するロッドには、A−A断面図に示すように、高
周波電源12からの高周波電圧が同位相で印加されてい
る。
【0004】尚、ここで図1に示したQポールイオンガ
イドは、図を簡単にする目的で、Qポールイオンガイド
を構成している4本のロッドの内、上下方向に重なった
2本を省略し、横方向に並んだ2本のみで代表させて描
いてある。
【0005】オリフィス2から差動排気室1に導入され
たイオンは、オリフィス3を介してQポールイオンガイ
ド11の入口部に到達し、高周波電圧によってイオンガ
イド内に発生する電磁界によって振動を与えられなが
ら、第1中間室5及び第2中間室7を経由して分析部9
の入口部まで、湾曲したQポールイオンガイド11内を
イオン輸送される。
【0006】このとき、質量分析にとって不要な中性粒
子は、イオンガイド内に発生する高周波電磁界の変動に
対して全く応答しないため、イオンと共に輸送される途
中で、湾曲したイオンガイドの外部に向けて排除され、
分析部9の入口部まで到達することはできない。こうし
て、Qポールイオンガイド11を図のようになだらかに
湾曲させることにより、中性粒子が分析部9に入るのを
防止し、分析部9の汚染を少なくする構成になってい
る。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成において、Qポールイオンガイド11は、通常4本
のロッドの組み合わせであり、各ロッドの湾曲精度を同
一に保つことがむつかしいという問題があった。また、
各ロッド間のギャップを一定に保ってQポールイオンガ
イド11を組み立てる場合、組み立て方法がむつかし
く、各ロッド間のギャップ精度を維持することができな
いという問題があった。
【0008】本発明の目的は、上述した点に鑑み、イオ
ンガイドの各ロッドの湾曲精度を気にする必要がなく、
しかも、各ロッド間のギャップを所定の値に保って組み
立てることのできるイオンガイドを提供することにあ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかるイオンガイドは、4本以上の偶数本
の折れ曲がった形状を有するロッドをイオン通路の周囲
に配置することにより、屈曲したイオン通路を形成した
イオンガイドであって、各ロッドの折れ曲がり部は、ロ
ッドに設けられた切れ込み部分で折り曲げられて成るこ
とを特徴としている。
【0010】また、前記各ロッドは、各ロッドの直線部
分において、ホルダーによって一体的に固定されている
ことを特徴としている。
【0011】また、前記ホルダーは、絶縁物で作られて
いることを特徴としている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図2は、本発明にかかるQポー
ルイオンガイドの一実施例を表わしたものである。図中
(a)は、Qポールイオンガイドを構成するロッドの原
形態、(b)は、該ロッドを用いてQポールイオンガイ
ドを組み上げたときの全体構成、(c)は、Qポールイ
オンガイドのホルダー付近の断面図を示す。
【0013】このうち、図2(b)は、図を簡単にする
目的で、Qポールイオンガイドを構成する4本のロッド
の内、上下に重なっている2本を省略すると共に、残り
の2本のロッドを含む平面で切った断面図として描いて
ある。
【0014】図2(a)及び(b)から明らかなよう
に、本実施例では、ロッドをなだらかに湾曲させるので
はなく、折れ線状に屈曲させることによって、電荷を持
たない中性粒子をイオンガイドの内部から外部へと排除
させる。イオンガイドを屈曲させる方法は、図2(a)
にあるように、まずQポールを構成する各ロッド13に
1か所だけ深い切れ込み14を入れて、その部分を用い
て折り曲げるようにする。A−A断面図は、この切れ込
み部14のロッドの断面を示したものである。
【0015】切れ込み部14で折り曲げられた4本のロ
ッド13は、図2(b)にあるように、切れ込み部14
をイオンガイドの外側に向けて、絶縁物、例えば碍子で
できた4個のホルダー15を用いてネジ止めされ、一体
的に固定される。固定の際に、折り曲げ部分をある程度
自由に動かすことができるので、極めて容易に折れ線状
のQポールの形を組み立てることができる。
【0016】この場合、ロッド13の切れ込み部14は
イオンガイドの外側に向けられているが、これはイオン
ガイドのイオン通路側に高周波電場の歪みを与えないた
めの配慮である。ただし、仮にロッド13の切れ込み部
14をイオンガイドの内側に向けて組み立てたとして
も、イオンガイド内の高周波電場に生じる歪みは小さ
く、実際上の悪影響は少ない。
【0017】また、図2(c)は、ホルダー15の部分
で切ったQポールイオンガイドのB−B断面図を示して
いる。図から明らかなように、4本のロッド13は等間
隔を保ちながら対向配置され、円環状のホルダー15の
内側に彫られた凹部16に嵌め込まれて、止めネジ17
によりネジ止め固定されて組み立てられている。この組
み立て精度には再現性があるため、Qポールイオンガイ
ドを洗浄するために分解する場合でも、必ず元通りに組
み立て直すことができ、イオンガイドとしての所定の性
能を容易に出すことができる。
【0018】尚、本実施例では、Qポール(4本)のイ
オンガイドを対象としているが、本発明は必ずしもQポ
ールに限定されるものではなく、ヘクサポール(6本)
やオクタポール(8本)のイオンガイドにも応用するこ
とが可能である。
【0019】また、本実施例では、ロッドの1か所に切
れ込みを入れて折れ線状に屈曲させたイオンガイドを示
したが、ロッドの切れ込みはただ1か所に限定されるも
のではなく、図3に示すごとく、ロッドの2か所に切れ
込みを入れて、2か所を屈曲させたタイプのものであっ
ても良く、あるいは、図示しないが3か所以上を屈曲さ
せたタイプのものであっても良い。
【0020】また、本実施例では、ロッド1セットにつ
き、絶縁物製のホルダー4個を用いて固定するように条
件を設定したが、図4のように、ホルダーの幅を大きく
して、使用するホルダーの個数を少なくすることも可能
である。
【0021】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明のイオンガイ
ドによれば、イオンガイドのロッドの折り曲げ位置に相
当する部分に切れ込みを入れて、この部分のみをある程
度の精度で折り曲げると共に、この折り曲げたロッドを
複数本集めて、絶縁物製のホルダーで一体的に固定する
ようにしたので、ロッド間のギャップが精度良く組み上
がり、イオンガイドとしての品質を容易に維持すること
ができる。
【0022】また、イオンガイドを洗浄するためにロッ
ドを分解する場合でも、ロッドの組み立て精度に再現性
があるため、必ず元通りに組み立て直すことができ、イ
オンガイドとしての所定の性能を容易に出すことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のイオンガイドを示す図である。
【図2】本発明にかかるイオンガイドの一実施例を示す
図である。
【図3】本発明にかかるイオンガイドの一実施例を示す
図である。
【図4】本発明にかかるイオンガイドの一実施例を示す
図である。
【符号の説明】
1・・・差動排気室、2・・・オリフィス、3・・・オリフィ
ス、4・・・ロータリーポンプ、5・・・第1中間室、6・・・
拡散ポンプ、7・・・第2中間室、8・・・拡散ポンプ、9・・
・分析部、10・・・拡散ポンプ、11・・・Qポールイオン
ガイド、12・・・高周波電源、13・・・ロッド、14・・・
切れ込み、15・・・ホルダー、16・・・凹部、17・・・止
めネジ。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】4本以上の偶数本の折れ曲がった形状を有
    するロッドをイオン通路の周囲に配置することにより、
    屈曲したイオン通路を形成したイオンガイドであって、
    各ロッドの折れ曲がり部は、ロッドに設けられた切れ込
    み部分で折り曲げられて成ることを特徴とするイオンガ
    イド。
  2. 【請求項2】前記各ロッドは、各ロッドの直線部分にお
    いて、ホルダーによって一体的に固定されていることを
    特徴とする請求項1記載のイオンガイド。
  3. 【請求項3】前記ホルダーは、絶縁物で作られているこ
    とを特徴とする請求項2記載のイオンガイド。
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