JP2000174163A - Mounting substrate and manufacture of semiconductor device - Google Patents
Mounting substrate and manufacture of semiconductor deviceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップを実
装する実装基板及び実装基板に半導体チップを実装して
形成される半導体装置の製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mounting board for mounting a semiconductor chip and a method for manufacturing a semiconductor device formed by mounting a semiconductor chip on the mounting board.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、半導体素子であるベアチップの実
装は、図3に示すようにして行われる。すなわち、回路
基板12上に形成されたパターン13で囲まれたチップ
搭載部に接着用樹脂14を供給し、そのパターン13に
位置合わせした状態でチップ11を実装する。2. Description of the Related Art Conventionally, a bare chip as a semiconductor element is mounted as shown in FIG. That is, the bonding resin 14 is supplied to the chip mounting portion surrounded by the pattern 13 formed on the circuit board 12, and the chip 11 is mounted while being aligned with the pattern 13.
【0003】この場合のパターン13は、図4に示すよ
うに、回路基板12のチップ搭載部15内にバンプ形成
部16が僅かに延出した形状を有する。また、これらの
パターン13の先端は、チップ搭載部15で揃うように
形成されている。In this case, as shown in FIG. 4, the pattern 13 has a shape in which the bump forming portion 16 slightly extends in the chip mounting portion 15 of the circuit board 12. The tips of these patterns 13 are formed so as to be aligned at the chip mounting portion 15.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記のようなパターン
13を有する回路基板12上にチップを実装する場合、
チップを接着するための接着用樹脂をチップ搭載部15
の中央に供給する。そして、接着用樹脂上にチップを搭
載すると、樹脂はチップの中心から放射状に均一に広が
る。When a chip is mounted on the circuit board 12 having the pattern 13 as described above,
Adhesive resin for adhering the chip is applied to the chip mounting portion 15.
Supply to the center of When the chip is mounted on the bonding resin, the resin spreads radially and uniformly from the center of the chip.
【0005】この場合、接着用樹脂14は、図5に示す
ように、円形に広がるので、矩形のチップ11の四隅部
分に接着用樹脂14が行き渡らず、樹脂充填が不十分と
なる。このため、チップ11の角部において回路基板と
の間の接着強度が低下し、それによりチップ実装の信頼
性が低下するという問題がある。In this case, since the bonding resin 14 spreads in a circular shape as shown in FIG. 5, the bonding resin 14 does not spread to the four corners of the rectangular chip 11, and the resin filling becomes insufficient. For this reason, there is a problem in that the adhesive strength between the corner portion of the chip 11 and the circuit board is reduced, thereby lowering the reliability of chip mounting.
【0006】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、半導体チップを基板に確実に実装することができ
る信頼性の高い実装基板及び半導体装置の製造方法を提
供することを目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a highly reliable mounting board and a method of manufacturing a semiconductor device which can reliably mount a semiconductor chip on a board.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る実装基板は、半導体チップを実装する
ための基板と、該基板上に形成され、該半導体チップと
電気的に接続するための配線パターンと、を具備し、前
記配線パターンは、前記半導体チップの実装領域の内側
に向って延出する延出部分を有することを特徴とする。In order to solve the above-mentioned problems, a mounting substrate according to the present invention is provided with a substrate for mounting a semiconductor chip, and formed on the substrate and electrically connected to the semiconductor chip. The wiring pattern has an extension portion extending toward the inside of the mounting area of the semiconductor chip.
【0008】上記実装基板では、配線パターンが延出部
分を有するので、半導体チップの実装領域に供給された
接着用樹脂を矩形形状の半導体チップの実装領域の角部
に流動させるようにすることができる。これにより、半
導体チップの実装領域の角部に接着用樹脂を十分に行き
渡らせることができ、実装基板に対する半導体チップの
接着強度を十分に保つことができる。その結果、半導体
チップの実装の信頼性を向上させることができる。In the above mounting board, since the wiring pattern has an extended portion, the adhesive resin supplied to the mounting area of the semiconductor chip is allowed to flow to the corner of the mounting area of the rectangular semiconductor chip. it can. Thereby, the adhesive resin can sufficiently spread to the corners of the mounting region of the semiconductor chip, and the adhesive strength of the semiconductor chip to the mounting substrate can be sufficiently maintained. As a result, the reliability of mounting the semiconductor chip can be improved.
【0009】本発明の実装基板においては、前記配線パ
ターンは、前記半導体チップの実装領域における角部以
外の領域に前記延出部分を有することが好ましい。ま
た、本発明の実装基板においては、前記延出部分は、前
記半導体チップの実装領域の内側に向って先端が細くな
る形状を有することが好ましい。これらにより、半導体
チップの実装領域に供給された接着用樹脂を矩形形状の
半導体チップの実装領域の角部により効率良く流動させ
るようにすることができる。In the mounting board according to the present invention, it is preferable that the wiring pattern has the extending portion in a region other than a corner in a mounting region of the semiconductor chip. Further, in the mounting board of the present invention, it is preferable that the extending portion has a shape in which a tip becomes narrower toward an inside of a mounting region of the semiconductor chip. Thus, the adhesive resin supplied to the mounting region of the semiconductor chip can be made to flow more efficiently to the corners of the mounting region of the rectangular semiconductor chip.
【0010】本発明の実装基板においては、前記延出部
分以外の配線パターンが、先端に広い部分を有すること
が好ましい。これにより、半導体チップの実装領域の角
部以外の領域、すなわち辺部への接着用樹脂の流動性を
抑制することができる。In the mounting board of the present invention, it is preferable that the wiring pattern other than the extending portion has a wide portion at the tip. This makes it possible to suppress the flowability of the adhesive resin to regions other than the corners of the mounting region of the semiconductor chip, that is, to the sides.
【0011】これらにより、半導体チップの実装領域に
接着用樹脂を均一に供給することができる。その結果、
配線パターン上の導電部材のピッチが狭くなった時に起
こる接着用樹脂の流動性の低下の問題を解消し、半導体
チップの実装の信頼性を向上させることができる。Thus, the adhesive resin can be uniformly supplied to the mounting area of the semiconductor chip. as a result,
The problem of a decrease in the fluidity of the adhesive resin that occurs when the pitch of the conductive members on the wiring pattern is reduced can be solved, and the reliability of mounting the semiconductor chip can be improved.
【0012】本発明に係る半導体装置の製造方法は、配
線パターンを有する回路基板上に半導体チップを実装し
て形成される半導体装置の製造方法であって、前記半導
体チップの実装領域の内側に向って延出する延出部分を
有する配線パターンを回路基板上に形成する工程と、前
記実装領域上に接着用樹脂を供給する工程と、前記半導
体チップを該接着用樹脂によって前記配線パターン上に
実装する工程と、を具備することを特徴とする。A method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention is a method of manufacturing a semiconductor device formed by mounting a semiconductor chip on a circuit board having a wiring pattern, wherein the method is directed toward an inside of a mounting area of the semiconductor chip. Forming a wiring pattern having an extended portion on the circuit board, supplying an adhesive resin onto the mounting area, and mounting the semiconductor chip on the wiring pattern by the adhesive resin. And a step of performing
【0013】上記半導体装置の製造方法では、回路基板
に対する半導体チップの接着強度を十分に保つことがで
き、半導体チップの実装の信頼性を向上させることがで
きる半導体装置を効率良く得ることができる。According to the above-described method of manufacturing a semiconductor device, it is possible to efficiently obtain a semiconductor device capable of sufficiently maintaining the bonding strength of the semiconductor chip to the circuit board and improving the reliability of mounting the semiconductor chip.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて添付図面を参照して詳細に説明する。図1は、本発
明の一実施の形態に係る半導体装置の構造を示す平面図
である。この図は、回路基板(実装基板)上に形成され
たパターン1を示している。このパターン1は、半導体
チップの搭載部2の内部に、その先端が延出するように
形成されている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a plan view showing a structure of a semiconductor device according to one embodiment of the present invention. This figure shows a pattern 1 formed on a circuit board (mounting board). The pattern 1 is formed inside the mounting portion 2 of the semiconductor chip so that its tip extends.
【0015】このパターン1は、先端がチップ搭載部2
の内側に延出する延長パターン4と、先端に広い部分
(幅方向に突出する部分)を有する膨大パターン5とを
有する。これらのパターン1,4,5上であってチップ
搭載部2の内側にはバンプ形成部3が存在する。また、
これらの延長パターン4及び膨大パターン5は、交互に
配置されるように形成されている。また、延長パターン
4の先端は、チップ搭載部2の中心に向って細く延びる
ようになっており、チップ搭載部2の辺部の中央に行く
にしたがって長く延出するようになっている。The pattern 1 has a tip mounted on the chip mounting portion 2.
And an extended pattern 4 having a wide portion (a portion projecting in the width direction) at the tip. On these patterns 1, 4 and 5 and inside the chip mounting section 2, there is a bump forming section 3. Also,
These extension patterns 4 and huge patterns 5 are formed so as to be alternately arranged. Further, the tip of the extension pattern 4 is narrowly extended toward the center of the chip mounting portion 2, and extends longer toward the center of the side portion of the chip mounting portion 2.
【0016】上記のようにパターン1を形成することに
より、チップ搭載部2の辺部6にパターンが密に形成さ
れ、チップ搭載部2の角部7にパターンが疎に形成され
た状態となる。このようなパターン構成においては、延
長パターン4の配置により、角部7方向への接着用樹脂
の流動性を良くし、膨大パターン5の配置により、辺部
6方向への接着用樹脂の流動性を抑制する。By forming the pattern 1 as described above, the pattern is densely formed on the side portion 6 of the chip mounting portion 2 and the pattern is sparsely formed on the corner portion 7 of the chip mounting portion 2. . In such a pattern configuration, the arrangement of the extension patterns 4 improves the flowability of the adhesive resin in the direction of the corners 7, and the arrangement of the enormous patterns 5 allows the flow of the adhesive resin in the direction of the sides 6. Suppress.
【0017】これらにより、チップ搭載部2に接着用樹
脂を均一に供給することができる。その結果、パターン
上のバンプのピッチが狭くなった時に起こる接着用樹脂
の流動性の低下の問題を解消し、チップの実装の信頼性
を向上させることができる。Thus, the adhesive resin can be uniformly supplied to the chip mounting section 2. As a result, it is possible to solve the problem of a decrease in the fluidity of the adhesive resin, which occurs when the pitch of the bumps on the pattern is reduced, and to improve the reliability of chip mounting.
【0018】次に、本発明の半導体装置の製造方法につ
いて説明する。まず、回路基板上にCuなどをメッキで
被着して金属層を形成し、フォトリソグラフィー及びエ
ッチングによりパターン1,4,5を形成する。これら
パターン1,4,5のチップ搭載部2内におけるチップ
電極に対応する位置にはバンプ形成部3を有する。Next, a method of manufacturing a semiconductor device according to the present invention will be described. First, a metal layer is formed by plating Cu or the like on a circuit board by plating, and patterns 1, 4, and 5 are formed by photolithography and etching. A bump forming section 3 is provided at a position corresponding to the chip electrode in the chip mounting section 2 of these patterns 1, 4, and 5.
【0019】次いで、図2に示すように、回路基板9の
チップ搭載部2に接着用樹脂10を供給する。次いで、
回路基板9のパターン1,4,5とチップ8のバンプと
の間の位置合わせを行なって、ボンディングツールを用
いて回路基板9上にチップ8を実装する。Next, as shown in FIG. 2, an adhesive resin 10 is supplied to the chip mounting portion 2 of the circuit board 9. Then
The positions of the patterns 1, 4, 5 on the circuit board 9 and the bumps of the chip 8 are aligned, and the chip 8 is mounted on the circuit board 9 using a bonding tool.
【0020】このとき、接着用樹脂10は、図2(a)
〜図2(c)に示すように広がる。この場合、延長パタ
ーン4の配置により、角部7方向への接着用樹脂の流動
性を良くし、膨大パターン5の配置により、辺部6方向
への接着用樹脂の流動性を抑制するので、接着用樹脂1
0がチップ搭載部2全面に均一に供給される。その後、
接着用樹脂を硬化させて、チップ8の実装を完了する。
このようにして本実施の形態に係る半導体装置を得るこ
とができる。At this time, the bonding resin 10 is as shown in FIG.
~ Spread as shown in FIG. In this case, the flow of the adhesive resin in the direction of the corners 7 is improved by the arrangement of the extension patterns 4, and the flow of the adhesive resin in the direction of the sides 6 is suppressed by the arrangement of the enormous patterns 5. Adhesive resin 1
0 is uniformly supplied to the entire surface of the chip mounting section 2. afterwards,
The bonding resin is cured, and the mounting of the chip 8 is completed.
Thus, the semiconductor device according to the present embodiment can be obtained.
【0021】なお、本発明は上記実施の形態に限定され
ず、種々変更して実施することが可能である。The present invention is not limited to the above embodiment, but can be implemented with various modifications.
【0022】[0022]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、半
導体チップを実装するための基板と、該基板上に形成さ
れ、該半導体チップと電気的に接続するための配線パタ
ーンと、を具備し、前記配線パターンは、前記半導体チ
ップの実装領域の内側に向って延出する延出部分を有す
る。したがって、半導体チップを基板に確実に実装する
ことができる信頼性の高い実装基板及び半導体装置の製
造方法を提供することができる。As described above, according to the present invention, there are provided a substrate for mounting a semiconductor chip, and a wiring pattern formed on the substrate and electrically connected to the semiconductor chip. The wiring pattern has an extended portion extending toward the inside of the mounting area of the semiconductor chip. Therefore, it is possible to provide a highly reliable mounting board and a method for manufacturing a semiconductor device, which can reliably mount the semiconductor chip on the board.
【図1】本発明の一実施の形態に係る半導体装置の構造
を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a structure of a semiconductor device according to one embodiment of the present invention.
【図2】図2(a)〜(c)は、半導体チップの実装時
の接着用樹脂の広がりを説明するための図である。FIGS. 2A to 2C are diagrams for explaining the spread of an adhesive resin when mounting a semiconductor chip.
【図3】従来の半導体装置を製造する状態を示す斜視図
である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a conventional semiconductor device is manufactured.
【図4】従来の半導体装置の構造を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing the structure of a conventional semiconductor device.
【図5】従来の方法において、半導体チップの実装時の
接着用樹脂の広がりを説明するための図である。FIG. 5 is a diagram for explaining the spread of an adhesive resin when mounting a semiconductor chip in a conventional method.
1…パターン、2…チップ搭載部、3…バンプ形成部、
4…延長パターン、5…膨大パターン、6…辺部、7…
角部、8…チップ、9…回路基板、10…接着用樹脂。1 ... pattern, 2 ... chip mounting part, 3 ... bump formation part,
4 ... extension pattern, 5 ... huge pattern, 6 ... side, 7 ...
Corners, 8: Chip, 9: Circuit board, 10: Adhesive resin.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐々木 大 埼玉県坂戸市塚越1300番地 ソニーボンソ ン株式会社内 (72)発明者 鶴見 正美 愛知県一宮市高田池尻6番地 ソニー一宮 株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Dai Sasaki, Inventor 1300 Tsukakoshi, Sakado-shi, Saitama Sony Bonson Co., Ltd.
Claims (5)
るための配線パターンと、 を具備し、 前記配線パターンは、前記半導体チップの実装領域の内
側に向って延出する延出部分を有することを特徴とする
実装基板。1. A substrate for mounting a semiconductor chip, and a wiring pattern formed on the substrate and electrically connected to the semiconductor chip, wherein the wiring pattern is formed on the semiconductor chip. A mounting board having an extending portion extending toward the inside of a mounting area.
の実装領域における角部以外の領域に前記延出部分を有
することを特徴とする請求項1記載の実装基板。2. The mounting board according to claim 1, wherein the wiring pattern has the extension portion in a region other than a corner in a mounting region of the semiconductor chip.
装領域の内側に向って先端が細くなる形状を有すること
を特徴とする請求項1記載の実装基板。3. The mounting substrate according to claim 1, wherein the extending portion has a shape whose tip becomes narrower toward the inside of the mounting region of the semiconductor chip.
端が広い部分を有することを特徴とする請求項1記載の
実装基板。4. The mounting board according to claim 1, wherein the wiring pattern other than the extending portion has a wide end.
体チップを実装して形成される半導体装置の製造方法で
あって、 前記半導体チップの実装領域の内側に向って延出する延
出部分を有する配線パターンを回路基板上に形成する工
程と、 前記実装領域上に接着用樹脂を供給する工程と、 前記半導体チップを該接着用樹脂によって前記配線パタ
ーン上に実装する工程と、 を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。5. A method of manufacturing a semiconductor device formed by mounting a semiconductor chip on a circuit board having a wiring pattern, the method comprising a step of extending toward an inside of a mounting area of the semiconductor chip. Forming a wiring pattern on a circuit board, supplying an adhesive resin onto the mounting area, and mounting the semiconductor chip on the wiring pattern using the adhesive resin. A method for manufacturing a semiconductor device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10347589A JP2000174163A (en) | 1998-12-07 | 1998-12-07 | Mounting substrate and manufacture of semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10347589A JP2000174163A (en) | 1998-12-07 | 1998-12-07 | Mounting substrate and manufacture of semiconductor device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000174163A true JP2000174163A (en) | 2000-06-23 |
Family
ID=18391248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10347589A Pending JP2000174163A (en) | 1998-12-07 | 1998-12-07 | Mounting substrate and manufacture of semiconductor device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000174163A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008311554A (en) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Alps Electric Co Ltd | Semiconductor module and method of manufacturing the same |
-
1998
- 1998-12-07 JP JP10347589A patent/JP2000174163A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008311554A (en) * | 2007-06-18 | 2008-12-25 | Alps Electric Co Ltd | Semiconductor module and method of manufacturing the same |
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