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JP2000173859A - Manufacture of and device of laminated chip part - Google Patents

Manufacture of and device of laminated chip part

Info

Publication number
JP2000173859A
JP2000173859A JP10368555A JP36855598A JP2000173859A JP 2000173859 A JP2000173859 A JP 2000173859A JP 10368555 A JP10368555 A JP 10368555A JP 36855598 A JP36855598 A JP 36855598A JP 2000173859 A JP2000173859 A JP 2000173859A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printing
card
sheet
green sheet
internal electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10368555A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Yoshida
政幸 吉田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Priority to JP10368555A priority Critical patent/JP2000173859A/en
Publication of JP2000173859A publication Critical patent/JP2000173859A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To eliminate defects attendant on screen printing, to shorten a manufacturing lead time, and to cope quickly with a prodcution of a small amount of parts of various types, by a method wherein inner electrodes are formed on green sheets made like cards of uniform shape through a heat transfer method. SOLUTION: A through-hole boring machine 30 which bores a through-hole in a card-like green sheet 1, an electrode printing mechanism 35 as an electrode thermal printing means which prints inner electrodes on the card-like green sheet through a heat transfer method, and a thermocompression mechanism 50 which heats, presses, and laminates the green sheets 1 where a through-hole has been bored and inner electrodes have been printed, are provided. By this setup, various through-holes and inner electrode patterns are successively provided to the card-like green sheets by boring and printing corresponding to the order of lamination.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、積層チップコンデ
ンサ、積層チップインダクタ、積層複合部品等の積層型
チップ部品の製造方法及び装置に関する。
The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a multilayer chip component such as a multilayer chip capacitor, a multilayer chip inductor, and a multilayer composite component.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、積層チップコンデンサ、積層チッ
プインダクタ、積層複合部品等の積層型チップ部品の製
造方法は、図6及び図7に示す工程を有するものであ
り、この手順に従って積層型チップ部品を製造してい
た。
2. Description of the Related Art Conventionally, a method for manufacturing a multilayer chip component such as a multilayer chip capacitor, a multilayer chip inductor, a multilayer composite component, etc. has the steps shown in FIGS. Had been manufactured.

【0003】まず初めに、図6のシート成形工程にて粉
末材料(磁性材、誘電材、低誘電率絶縁材等の焼成用材
料)をバインダ、溶剤、界面活性剤等を混合して塗料化
し、シート成形機70を使って、PETフィルム等のベ
ースフィルムに数μmから数10μmの厚みに塗布、乾
燥してロール71を作製する。この場合、PETフィル
ムの原単として、数百m以上を使用し、かつロール・ツ
ー・ロール(roll−to−roll)の搬送形態で製造するこ
とが通常である。
First, in a sheet forming step shown in FIG. 6, a powder material (a material for firing such as a magnetic material, a dielectric material and a low dielectric constant insulating material) is mixed with a binder, a solvent, a surfactant and the like to form a paint. Using a sheet forming machine 70, a roll 71 is produced by applying a thickness of several μm to several tens μm on a base film such as a PET film and drying. In this case, it is usual that the PET film is manufactured in a roll-to-roll transport form using several hundred meters or more as a unitary material.

【0004】次に、図6のスルーホール加工工程にて、
PETフィルム等のベースフィルムにシート成形(キャ
スティング)されたグリーンシート72(前記粉末材料
等を含む未焼成シート)を、ロール71から繰り出し、
内部接続用のスルーホール等が必要な場合は、スルーホ
ール成形機(パンチングマシーン)73にて金型、レー
ザ、サンドブラスト等による孔あけ加工を行って、また
ロール状に巻き取り、スルーホール形成後のロール74
を作製する。
Next, in a through-hole processing step shown in FIG.
A green sheet 72 (an unsintered sheet containing the powder material or the like) sheet-formed (cast) on a base film such as a PET film is fed out from a roll 71,
If a through-hole for internal connection is required, use a through-hole forming machine (punching machine) 73 to make a hole with a die, laser, sand blast, etc. Roll 74
Is prepared.

【0005】さらに、図6のスクリーン印刷機75、乾
燥炉76を用いた電極印刷工程にて内部電極を印刷形成
する。すなわち、スルーホール加工されたグリーンシー
トを、ロール74から繰り出し、内部電極材料をスクリ
ーン印刷法で、印刷後、乾燥しロール状に巻き取って内
部電極印刷後のロール77を作製する。
Further, internal electrodes are formed by printing in an electrode printing step using a screen printing machine 75 and a drying furnace 76 shown in FIG. That is, the green sheet subjected to the through-hole processing is fed out from the roll 74, and the internal electrode material is printed by a screen printing method, dried and wound up in a roll shape to produce the roll 77 after the internal electrode printing.

【0006】最後に、図7のシート剥離工程にて内部電
極が印刷されたグリーンシート(内部電極厚み分の段差
がある)を、ロール77から繰り出してベースフィルム
から剥離し、シート切断工程にて所定長さに切断後、切
断シート78をXYθテーブル、カメラを用いて位置合
わせを行ってから、シート積層工程にて逐次熱圧着等に
より積層、プレスして、積層体(多数個取り)を作製す
る。
Finally, the green sheet (with a step corresponding to the thickness of the internal electrode) on which the internal electrodes have been printed in the sheet peeling step of FIG. 7 is drawn out from a roll 77 and peeled off from the base film. After cutting to a predetermined length, the cut sheet 78 is aligned using an XYθ table and a camera, and then laminated and pressed by successive thermocompression bonding or the like in a sheet laminating step to produce a laminated body (multiple pieces). I do.

【0007】図6及び図7の従来製法において、例えば
ABCDの4種のパターンが必要な場合、スルーホール
成形機73にてAパターンパンチング品、Bパターンパ
ンチング品、Cパターンパンチング品、Dパターンパン
チング品の4種のロール74を作製する必要がある。ま
た、電極印刷工程ではAパターンパンチング品に対して
A電極印刷、乾燥、Bパターンパンチング品に対してB
電極印刷、乾燥、Cパターンパンチング品に対してC電
極印刷、乾燥、Dパターンパンチング品に対してD電極
印刷、乾燥の各処理が必要で、スクリーン印刷用マスク
交換等の段取りが必要である。さらに、図7のシート切
断後、シート積層工程にてA電極印刷シート、B電極印
刷シート、C電極印刷シート、D電極印刷シートを順次
選択して積層する必要がある。
In the conventional manufacturing method shown in FIGS. 6 and 7, for example, when four kinds of patterns of ABCD are required, an A pattern punched product, a B pattern punched product, a C pattern punched product, and a D pattern punched by a through hole forming machine 73. It is necessary to make four rolls 74 of the product. In the electrode printing process, A electrode printing and drying are performed on the A pattern punched product, and B electrode printing is performed on the B pattern punched product.
Each process of electrode printing, drying, C electrode printing and drying for C pattern punched products, and D electrode printing and drying for D pattern punched products are required, and setup such as mask exchange for screen printing is required. Furthermore, after cutting the sheet of FIG. 7, it is necessary to sequentially select and laminate the A electrode printing sheet, the B electrode printing sheet, the C electrode printing sheet, and the D electrode printing sheet in the sheet laminating step.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の問題点
を以下に列挙する。
The problems of the above prior art are listed below.

【0009】(1) グリーンシート積層体を製造するリ
ードタイムが長い。シート成形、スルーホール成形、内
部電極印刷、シート積層まで、ロール・ツー・ロールの
ロット生産になるため、受注から積層体を作製するまで
の製造リードタイムが長い。
(1) The lead time for manufacturing a green sheet laminate is long. Roll-to-roll lot production, from sheet molding, through-hole molding, internal electrode printing, and sheet lamination, requires a long production lead time from receiving an order to producing a laminate.

【0010】(2) 品種、量に自由に対応しにくい。ス
クリーン印刷用マスクの製作に時間がかかるので品種対
応が限定され、ロール・ツー・ロール方式のロット生産
になるため、ある一定の受注量が無いと製造することが
難く、コスト高になる等の問題点が発生する。
(2) It is difficult to freely deal with varieties and quantities. It takes a long time to manufacture masks for screen printing, which limits the variety of products.Because of roll-to-roll lot production, it is difficult to manufacture without a certain order quantity, which increases costs. Problems arise.

【0011】(3) 設備コストが高くなる。シート成形
機、スルーホール成形機、内部電極印刷機、シート積層
機、プレス機等工程設備毎に、ロールの繰り出し、巻き
取り機構が必要になる。かつ、スルーホール成形機、内
部電極印刷機、シート積層機等には、画像位置決め機構
等も必要になるため、各設備に重複した機構が盛り込ま
れることになる。
(3) Equipment costs increase. A roll feeding and winding mechanism is required for each process equipment such as a sheet forming machine, a through-hole forming machine, an internal electrode printing machine, a sheet laminating machine, and a press machine. In addition, the through-hole forming machine, the internal electrode printing machine, the sheet laminating machine, and the like also require an image positioning mechanism and the like, so that each facility includes a redundant mechanism.

【0012】積層型チップ部品のなかでも、特にバンド
パスフィルタ(BPF)、電圧制御発振器(VCO)等
の高周波多層チップ部品は、各社仕様が異なり、非常に
多い品種構成になっている。
Among the multilayer chip components, high-frequency multilayer chip components such as a band-pass filter (BPF) and a voltage-controlled oscillator (VCO) have different product specifications and have a very large variety of components.

【0013】品種の多い製品をスクリーン印刷技術を使
って製造する時の問題点を挙げる。
[0013] Problems when manufacturing a variety of products using screen printing technology will be described.

【0014】(4) スクリーン製作のリードタイムが長
い。仕様決めから製造に掛かれるまでの時間が長い(1
〜2週間)ため、仕様変更への対応が困難。
(4) The lead time of screen production is long. Long time from specification to manufacturing
2 weeks), it is difficult to respond to specification changes.

【0015】(5) 段取り時間が長い。印刷ペーストの
供給、回収、スクリーンマスク交換、スクリーンマスク
洗浄等が必要である。
(5) The setup time is long. Supply and recovery of the printing paste, replacement of the screen mask, cleaning of the screen mask, and the like are required.

【0016】(6) 管理ポイントが多い。スクリーン伸
び、スクリーン寿命、スキージ研磨、印刷ギャップ、ス
キージスピード、スクレッパ形状、印圧管理、ペースト
粘度、降伏値等について、熟練者に頼っている傾向が強
い。通常、スクリーン印刷技術は、あるギャップを設け
て印刷するため、スクリーンマスク寸法と印刷転写され
た寸法には違いがある(版伸び)。製品歩留まりを向上
するには、これを管理するのが必要不可欠となる。
(6) There are many management points. There is a strong tendency to rely on skilled workers for screen elongation, screen life, squeegee polishing, printing gap, squeegee speed, scraper shape, printing pressure control, paste viscosity, yield value, and the like. Usually, the screen printing technique prints with a certain gap, so there is a difference between the screen mask dimension and the print-transferred dimension (plate extension). Managing this is essential to improving product yield.

【0017】(7) 多品種生産には、不向き。同じパタ
ーン、同じインクを連続的に印刷する大量生産には適し
ているが、品種が多くなるとスクリーンマスク交換等に
手間取り、印刷機自体の稼働率を落とし生産効率が悪く
なる。
(7) Not suitable for multi-product production. It is suitable for mass production in which the same pattern and the same ink are continuously printed. However, if the number of types increases, it takes time to exchange screen masks and the like, and the operation rate of the printing machine itself is reduced, resulting in poor production efficiency.

【0018】(8) 設置スペースが大きくなる。スクリ
ーンマスク管理、スクリーンマスク原画管理、マスクス
トッカの肥大化等を招く。
(8) The installation space is increased. This causes screen mask management, screen mask original image management, and enlargement of mask stockers.

【0019】(9) 製品の特性バラツキが大きくなる。
製品特性面からは、内部電極が印刷されたグリーンシー
トは、元来、電極厚み分の段差を持っているため、多層
に重ねて行くほど段差分の影響で積層ずれや積層後のプ
レス変形につながり、製品特性バラツキが大きくなる。
(9) Variations in the characteristics of the product increase.
From the viewpoint of product characteristics, the green sheet on which the internal electrode is printed originally has a step corresponding to the electrode thickness. This leads to large variations in product characteristics.

【0020】本発明は、上記の点に鑑み、カード状に形
状を揃えたグリーンシートに対して内部電極を熱転写で
形成することで、グリーンシートのロール・ツー・ロー
ル方式処理に伴う欠点、及びスクリーン印刷に伴う欠点
を除去して、製造リードタイムが短く、多品種少量生産
に迅速に対応可能な積層型チップ部品の製造方法及び装
置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above points, and has the drawbacks associated with the roll-to-roll processing of a green sheet by forming internal electrodes by thermal transfer on a green sheet having a card-like shape. It is an object of the present invention to provide a method and an apparatus for manufacturing a multilayer chip component which eliminates the drawbacks associated with screen printing, has a short manufacturing lead time, and can quickly respond to high-mix low-volume production.

【0021】本発明のその他の目的や新規な特徴は後述
の実施の形態において明らかにする。
Other objects and novel features of the present invention will be clarified in embodiments described later.

【0022】[0022]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の積層型チップ部品の製造方法は、カード状
グリーンシートにスルーホール加工及び内部電極の熱転
写による印刷を行った後、積層することを特徴としてい
る。
In order to achieve the above object, a method of manufacturing a laminated chip component according to the present invention is to provide a method for manufacturing a laminated green chip by performing through-hole processing on a card-like green sheet and printing by thermal transfer of internal electrodes. It is characterized by doing.

【0023】前記積層型チップ部品の製造方法におい
て、複数種のスルーホール及び内部電極パターンがある
場合に、積層順序に合わせて、異なるスルーホール及び
内部電極パターンのスルーホール加工及び内部電極印刷
を順次実行するとよい。
In the method of manufacturing a multilayer chip component, when there are a plurality of types of through-holes and internal electrode patterns, through-hole processing of different through-holes and internal electrode patterns and internal electrode printing are sequentially performed in accordance with the lamination order. It is good to execute.

【0024】本発明の積層型チップ部品の製造装置は、
カード状グリーンシートにスルーホール加工を施すスル
ーホール加工手段と、カード状グリーンシートに内部電
極を熱転写により印刷する電極用熱転写印刷手段と、ス
ルーホール加工及び内部電極印刷を施したカード状グリ
ーンシートを加熱、加圧して積層する積層手段とを備え
たことを特徴としている。
An apparatus for manufacturing a laminated chip component according to the present invention comprises:
Through-hole processing means for performing through-hole processing on the card-shaped green sheet, thermal transfer printing means for electrodes for printing internal electrodes on the card-shaped green sheet by thermal transfer, and card-shaped green sheet subjected to through-hole processing and internal electrode printing And a laminating means for laminating by heating and pressing.

【0025】前記積層型チップ部品の製造装置におい
て、前記スルーホール加工手段及び前記熱転写印刷手段
は、前記積層手段における積層順序に合わせて、異なる
スルーホール及び内部電極パターンのスルーホール加工
及び内部電極印刷を順次実行する構成であるとよい。
In the apparatus for manufacturing a laminated chip component, the through-hole processing means and the thermal transfer printing means may perform through-hole processing and internal electrode printing of different through-holes and internal electrode patterns in accordance with the laminating order in the laminating means. Are sequentially executed.

【0026】前記積層型チップ部品の製造装置におい
て、カード状グリーンシートに平坦化材料を熱転写によ
り印刷する平坦化材料用熱転写印刷手段をさらに備える
構成でもよい。
In the above-mentioned apparatus for manufacturing a laminated chip component, a flattening material thermal transfer printing means for printing a flattening material on a card-like green sheet by thermal transfer may be further provided.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る積層型チップ
部品の製造方法及び装置の実施の形態を図面に従って説
明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a method and an apparatus for manufacturing a multilayer chip component according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0028】図1及び図2で本発明の第1の実施の形態
を説明する。図1はカード状グリーンシート(磁性材、
誘電材、低誘電率絶縁材等の焼成用粉末材料等を含む未
焼成シート)に対するスルーホール加工工程、電極印刷
工程、シート積層工程を示し、図2はカード状グリーン
シートを作製するためのシート成形工程、シート切断工
程を示す。
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. Figure 1 shows a card-like green sheet (magnetic material,
FIG. 2 shows a through-hole processing step, an electrode printing step, and a sheet laminating step for an unfired sheet including a powder material for firing such as a dielectric material and a low dielectric constant insulating material. FIG. 2 shows a sheet for producing a card-like green sheet. The molding step and the sheet cutting step are shown.

【0029】図2のシート成形工程では、粉末材料(磁
性材、誘電材、低誘電率材等)をバインダ、溶剤、界面
活性剤等を混合して塗料化し、シート成形機70を使っ
て、PETフィルム等のベースフィルムに数μmから数
10μmの厚みに塗布、乾燥してロール71を作製する
(ここまでは従来技術と同じ)。次に、シート切断工程
では、シート切断機80にてPETフィルム等のベース
フィルムにシート成形(キャスティング)されたグリー
ンシート72を、ロール71から繰り出し一定寸法のカ
ード状に切断し、カード状グリーンシート1を作製す
る。このとき、同時に位置合わせの基準になるガイド孔
1aやカセットに保管するときのストック用孔1bを例
えば四隅に形成しておく。なお、在庫点はカード状グリ
ーンシート1の状態であり、従来のロール・ツー・ロー
ル方式とは異なり、カード方式となる。
In the sheet forming step shown in FIG. 2, a powder material (a magnetic material, a dielectric material, a low dielectric material, etc.) is mixed with a binder, a solvent, a surfactant and the like to form a coating material. A roll 71 is manufactured by applying the film to a thickness of several μm to several tens μm on a base film such as a PET film and drying the same (up to here is the same as the prior art). Next, in a sheet cutting step, a green sheet 72 formed (cast) into a base film such as a PET film by a sheet cutting machine 80 is fed out from a roll 71 and cut into a card having a certain size. Prepare No. 1. At this time, a guide hole 1a serving as a reference for alignment and a stock hole 1b for storage in a cassette are formed at, for example, four corners. Note that the stock point is the state of the card-like green sheet 1, which is a card system unlike the conventional roll-to-roll system.

【0030】また、カード状グリーンシート1にパター
ニングする内部電極材等も予め必要とされるある厚みで
PETフィルム等のベースフィルムに同様にシート成形
(キャスティング)し、ロール状に巻き取っておく。こ
のようにして作製する内部電極転写用シートは、電極印
刷工程にて熱転写ヘッド(サーマルヘッド)を使って、
パターン転写するため、シート化する際は、バインダと
してホットメルト効果(加熱されると溶融する性質)の
ある有機化合物を選定し、内部電極材と混合して塗料化
し、所定の厚みにシート成形を行っておく。
Also, the internal electrode material and the like to be patterned on the card-like green sheet 1 are similarly formed into a base film such as a PET film in a required thickness in a similar manner (casting) and wound up in a roll shape. The internal electrode transfer sheet produced in this manner is prepared by using a thermal transfer head (thermal head) in the electrode printing process.
When forming a sheet for pattern transfer, an organic compound with a hot melt effect (the property of melting when heated) is selected as a binder, mixed with an internal electrode material to form a paint, and formed into a sheet with a predetermined thickness. I will go.

【0031】一方、図1のカセット10は位置合わせピ
ン11を有していて、図2のシート切断工程で作製され
たカード状グリーンシート1を重ねてセットするもので
ある。この時、図1のカード状グリーンシート1の四隅
のストック用孔1bがカセット側の位置合わせピン11
に嵌合することで各カード状グリーンシート1は一定姿
勢となっている。なお、後述するシート積層工程の都合
上、各カード状グリーンシート1はベースフィルムが下
となるようにカセット10に設けられる。
On the other hand, the cassette 10 of FIG. 1 has alignment pins 11, and sets the card-like green sheets 1 produced in the sheet cutting step of FIG. At this time, the stock holes 1b at the four corners of the card-like green sheet 1 in FIG.
, Each card-like green sheet 1 is in a fixed posture. In addition, for convenience of the sheet laminating step described later, each card-like green sheet 1 is provided in the cassette 10 so that the base film is on the lower side.

【0032】固定テーブル15、固定テーブル20、X
Yθテーブル25は例えば一直線上に配列されており、
固定テーブル15,20にはそれぞれカード状グリーン
シート1側のガイド孔1aに嵌合するパイロットピン1
6,21がそれぞれ設けられている。
Fixed table 15, fixed table 20, X
Table 25 is arranged, for example, on a straight line,
Pilot pins 1 fitted in guide holes 1a on the card-like green sheet 1 side are respectively provided on the fixed tables 15 and 20.
6 and 21 are provided respectively.

【0033】固定テーブル15上にセットされたカード
状グリーンシート1に対してスルーホール加工を行うた
めに、YAGレーザ、パンチング用金型等を具備したス
ルーホール成形機(パンチングマシーン)30が固定テ
ーブル15の上面(グリーンシート載置面)に対向配置
されている。これらの固定テーブル15及びスルーホー
ル成形機30がスルーホール加工工程を実行するスルー
ホール加工手段を構成している。
In order to perform through-hole processing on the card-like green sheet 1 set on the fixed table 15, a through-hole forming machine (punching machine) 30 equipped with a YAG laser, a punching die and the like is provided with a fixed table. 15 is disposed opposite to the upper surface (green sheet mounting surface). The fixed table 15 and the through-hole forming machine 30 constitute through-hole processing means for executing a through-hole processing step.

【0034】固定テーブル20の上方には、固定テーブ
ル20上面(グリーンシート載置面)に対向して電極印
刷機構35が配置されている。この電極印刷機構35は
熱転写印刷リボンとしての前記内部電極転写用シート3
6と熱転写ヘッド(サーマルヘッド)37とを有し、内
部電極転写用シート36はローラー38を経てローラー
39にて巻き取られるようになっている。これらの固定
テーブル20及び電極印刷機構35が電極印刷工程を実
行する電極用熱転写印刷手段を構成している。
An electrode printing mechanism 35 is disposed above the fixed table 20 so as to face the upper surface of the fixed table 20 (the green sheet mounting surface). The electrode printing mechanism 35 is provided with the internal electrode transfer sheet 3 as a thermal transfer printing ribbon.
6 and a thermal transfer head (thermal head) 37, and the internal electrode transfer sheet 36 is wound by a roller 39 via a roller 38. The fixed table 20 and the electrode printing mechanism 35 constitute an electrode thermal transfer printing unit that performs an electrode printing process.

【0035】前記XYθテーブル25の上方には画像位
置決め用カメラ40が設けられており、電極印刷機構3
5にてカード状グリーンシート1上に印刷された内部電
極パターンP1と同時に印刷された位置合わせマークを
撮像し、XYθテーブル25で位置合わせマークが所定
の基準位置となるようにXYθテーブル25でカード状
グリーンシート1のX方向、Y方向並びにθ方向(回転
方向)の位置を補正するようになっている。位置補正
後、XYθテーブル25はカード状グリーンシート1の
姿勢を保ったまま金型45の下方位置に移動可能であ
る。金型45はカード状グリーンシート1に対してスナ
ップ用の切れ目(V溝、ミシン目等)を入れるためのも
のである。
Above the XYθ table 25, an image positioning camera 40 is provided.
5, an alignment mark printed simultaneously with the internal electrode pattern P1 printed on the card-like green sheet 1 is imaged, and the XYθ table 25 uses the XYθ table 25 so that the alignment mark is at a predetermined reference position. The positions of the green sheet 1 in the X direction, the Y direction, and the θ direction (rotation direction) are corrected. After the position correction, the XYθ table 25 can be moved to a position below the mold 45 while maintaining the attitude of the card-like green sheet 1. The mold 45 is for making cuts (V-grooves, perforations, etc.) for snapping the card-like green sheet 1.

【0036】熱圧着機構50は、載置されたカード状グ
リーンシート1を加熱するヒーターHを内蔵したプレス
下型51と真空吸着機能と冷却機能を有するプレス上型
52とを有しており、シート積層工程を実行する積層手
段を構成している。
The thermocompression bonding mechanism 50 has a lower press die 51 having a built-in heater H for heating the placed card-like green sheet 1 and an upper press die 52 having a vacuum suction function and a cooling function. This constitutes laminating means for executing the sheet laminating step.

【0037】カード状グリーンシート1を所要の複数枚
積層後の仮スタック品を保管するために収納箱55が設
けられている。
A storage box 55 is provided for storing a temporary stack after a required number of card-like green sheets 1 are stacked.

【0038】この第1の実施の形態の全体的な動作説明
を以下に述べる。
The overall operation of the first embodiment will be described below.

【0039】図2のシート成形工程、シート切断工程を
経て得られたカード状グリーンシート1を積層順序にカ
セット10にセットしておく。そして、カセット10上
のカード状グリーンシート1が所定の供給位置となるよ
うにカセット10を装置に設置する。次に1枚毎にカー
ド状グリーンシート1をガイド孔1a基準で、スルーホ
ール加工位置である固定テーブル15上に移動させ(パ
イロットピン16にガイド孔1aを嵌合させた状態と
し)、スルーホール成形機30により必要な孔加工を行
う。
The card-like green sheets 1 obtained through the sheet forming step and the sheet cutting step shown in FIG. 2 are set in the cassette 10 in the stacking order. Then, the cassette 10 is set in the apparatus so that the card-like green sheet 1 on the cassette 10 is at a predetermined supply position. Next, the card-like green sheet 1 is moved on a fixed table 15 which is a through-hole processing position on the basis of the guide hole 1a (in a state where the guide hole 1a is fitted to the pilot pin 16) with respect to the guide hole 1a. The necessary hole processing is performed by the molding machine 30.

【0040】次に、またガイド孔基準で、孔加工後のカ
ード状グリーンシート1を内部電極を熱転写により印刷
する位置である固定テーブル20上に移動させ(パイロ
ットピン21にガイド孔1aを嵌合させた状態とし)、
内部電極転写用シート36をカード状グリーンシート1
上に押し当てるように予め入力しておいた内部電極パタ
ーンP1で熱転写ヘッド37を走らせ(ラインプリン
ト)、必要なパターニングを行う。
Next, based on the guide holes, the card-shaped green sheet 1 after the hole processing is moved onto the fixed table 20 where the internal electrodes are printed by thermal transfer (the guide holes 1a are fitted to the pilot pins 21). State),
The internal electrode transfer sheet 36 is replaced with the card-like green sheet 1
The thermal transfer head 37 is run (line printed) with the internal electrode pattern P1 input in advance so as to be pressed upward, and necessary patterning is performed.

【0041】それから、内部電極印刷済みのカード状グ
リーンシート1を積層するのであるが、その前段階でX
Yθテーブル25と画像位置決めカメラ40によりXY
θテーブル25に載置されたカード状グリーンシート1
を正確に予め決められた一定姿勢に揃えるための位置補
正を行う。つまり、内部電極がパターニングされた際
に、同時にパターニングされた位置合わせマークを画像
位置決めカメラ40で撮像して画像位置決めし、XYθ
テーブル25でカード状グリーンシート1を一定姿勢に
位置補正する。
Then, the card-like green sheet 1 on which the internal electrodes are printed is laminated.
XY by Yθ table 25 and image positioning camera 40
Card-like green sheet 1 placed on θ table 25
Is corrected so as to accurately adjust the position to a predetermined constant posture. That is, when the internal electrodes are patterned, the alignment marks patterned at the same time are imaged by the image positioning camera 40 to perform image positioning.
The position of the card-like green sheet 1 is corrected on the table 25 to a fixed posture.

【0042】画像位置決め後、XYθテーブル25はカ
ード状グリーンシート1の姿勢を保って金型45の下方
に移動し、金型45の下降動作により不必要なシート部
分を除去するために切れ目を入れ、積層熱圧着機構50
で積層熱圧着する際に、グリーンシートのベースフィル
ム剥離と同時に不必要な部分も剥離する。つまり、位置
決めされたカード状グリーンシート1は、ベースフィル
ムが下となるようにプレス下型51上の積層位置に載置
され、1枚毎にプレス上型52が降りてきて最初の1枚
目は上型52で真空吸着し、2枚目以降は既に上型52
にベースフィルム剥離状態で真空吸着されているカード
状グリーンシートの下面に下型51に供給された新たな
カード状グリーンシート1を積層熱圧着し、その後上型
52が上昇する際に、ベースフィルムと不必要なシート
部分が剥離される。この様にして順次積層されて上型5
2で保持されたカード状グリーンシートは、所要枚数積
層された積層体(仮スタック品)となったときに、真空
吸着解除され、次工程へ送るための収納箱55に入れら
れる。
After the image is positioned, the XYθ table 25 is moved below the mold 45 while maintaining the attitude of the card-like green sheet 1, and cut by cutting the mold 45 to remove unnecessary sheet portions. , Laminated thermocompression bonding mechanism 50
When laminate thermocompression bonding is performed, unnecessary portions are peeled off simultaneously with the peeling of the base film of the green sheet. That is, the positioned card-like green sheet 1 is placed at the laminating position on the press lower die 51 so that the base film faces down, and the press upper die 52 descends for each sheet, and Is vacuum-sucked by the upper mold 52, and the second and subsequent sheets are already
A new card-like green sheet 1 supplied to the lower mold 51 is laminated and thermocompression-bonded to the lower surface of the card-like green sheet vacuum-adsorbed in a state where the base film is peeled off. The unnecessary sheet portion is peeled off. In this way, the upper mold 5
When a required number of card-like green sheets held in 2 are formed into a laminated body (temporary stack product), the vacuum suction is released and the green sheets are placed in a storage box 55 for sending to the next step.

【0043】なお、積層体が層毎に異なるスルーホール
及び内部電極パターンのカード状グリーンシートを積層
するものである場合、積層順序に合わせて、異なるスル
ーホール及び内部電極パターンのスルーホール加工及び
内部電極印刷をカード状グリーンシートに対してスルー
ホール成形機30、電極印刷機構35で順次実行すれば
よく、レーザ加工によるスルーホール形成、熱転写によ
る内部電極印刷によれば、各層毎に異なる孔、電極パタ
ーンとすることは容易である。従って、内部電極印刷後
のカード状グリーンシートの積層前の並び替え等は不要
である。
When the laminated body is formed by laminating card-like green sheets having different through holes and internal electrode patterns for each layer, processing of the through holes of different through holes and internal electrode patterns and internal processing are performed in accordance with the lamination order. The electrode printing may be sequentially performed on the card-like green sheet by the through-hole forming machine 30 and the electrode printing mechanism 35. According to the formation of the through-hole by laser processing and the internal electrode printing by thermal transfer, different holes and electrodes are formed for each layer. It is easy to make a pattern. Therefore, it is not necessary to rearrange the card-like green sheets before the lamination after printing the internal electrodes.

【0044】この第1の実施の形態によれば、次の通り
の効果を得ることができる。
According to the first embodiment, the following effects can be obtained.

【0045】(1) グリーンシート積層体(仮スタック
品)を製造するまでのリードタイムが短くなる。スルー
ホール成形、内部電極プリント、シート積層、プレスま
で、カード状で連続生産が可能になるため、受注からシ
ート積層体を作製するまでの製造リードタイムが短くな
る。スクリーン印刷を用いないので段取りが容易で、乾
燥工程も不要にできる。
(1) The lead time until the production of the green sheet laminate (temporary stack product) is shortened. Since continuous production in the form of a card is possible, from through-hole molding, internal electrode printing, sheet lamination, and pressing, the production lead time from receiving an order to manufacturing a sheet laminate is reduced. Since screen printing is not used, setup is easy and a drying step can be omitted.

【0046】(2) 多種少量生産に自由に対応可能にな
る。熱転写ヘッド37を使って自由に内部電極をプリン
トするため、パターンの違うものを必要な数だけ、連続
的に生産が可能になる。
(2) It is possible to freely cope with various kinds of small-quantity production. Since the internal electrodes are freely printed using the thermal transfer head 37, it is possible to continuously produce a required number of different patterns.

【0047】(3) 設備コスト低減、設備設置スペース
縮小が可能になる。スルーホール成形、内部電極プリン
ト、シート積層、プレスまでをカード状で連続的に生産
が可能になるため、ロールの巻き取り繰り出し機構が不
用になる。また、XYθテーブル25及び画像位置決め
カメラ40からなる画像位置決め機構は、シート積層直
前にのみ設けるためトータルの設備コストは、低減さ
れ、設備設置スペースは、縮小される。
(3) Equipment cost and equipment installation space can be reduced. Since the process from through-hole molding, internal electrode printing, sheet lamination, and pressing can be continuously performed in a card form, a roll winding and feeding mechanism is not required. Further, since the image positioning mechanism including the XYθ table 25 and the image positioning camera 40 is provided only immediately before lamination of the sheets, the total equipment cost is reduced, and the installation space for the equipment is reduced.

【0048】(4) 内部電極のスクリーン印刷が不要と
なるため、スクリーン製作や印刷ペースト供給などが不
用になり、マスク製作リードタイム削減、段取り時間低
減等が可能になる。
(4) Since screen printing of the internal electrodes is not required, screen production and printing paste supply are not required, so that the mask production lead time and setup time can be reduced.

【0049】図3は本発明の第2の実施の形態を示す。
この場合、固定テーブル20とXYθテーブル25との
間に固定テーブル22が例えば一直線上に配列されてお
り、固定テーブル22にはカード状グリーンシート1側
のガイド孔に嵌合するパイロットピン23が設けられて
いる。固定テーブル22の上方には、固定テーブル22
上面(グリーンシート載置面)に対向して平坦化用反転
材料印刷機構60が配置されている。この平坦化用反転
材料印刷機構60は熱転写印刷リボンとしての反転材料
転写用シート61と熱転写ヘッド(サーマルヘッド)6
2とを有し、反転材料転写用シート61はローラー63
を経てローラー64にて巻き取られるようになってい
る。これらの固定テーブル22及び平坦化用反転材料印
刷機構60が反転材料印刷工程を実行する平坦化材料用
熱転写印刷手段を構成している。なお、反転材料転写用
シート61は内部電極転写用シート36と同様にシート
成形工程にて作製しておく。すなわち、平坦化用反転材
料の粉末(グリーンシートと同様の材質が好ましい)に
バインダ、溶剤、界面活性剤等を混合して塗料化し、P
ETフィルム等のベースフィルムに所要厚みに塗布し、
乾燥して反転材料転写用シートのロールを作製してお
く。但し、平坦化用材料印刷工程にて熱転写ヘッドを使
って、パターン転写するため、シート化する際は、バイ
ンダとしてホットメルト効果(加熱されると溶融する性
質)のある有機化合物を選定する。
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention.
In this case, the fixed table 22 is arranged, for example, on a straight line between the fixed table 20 and the XYθ table 25, and the fixed table 22 is provided with pilot pins 23 that fit into the guide holes on the card-like green sheet 1 side. Have been. Above the fixed table 22, the fixed table 22
A flattening reversal material printing mechanism 60 is arranged to face the upper surface (green sheet mounting surface). The flattening reversal material printing mechanism 60 includes a reversal material transfer sheet 61 as a thermal transfer printing ribbon and a thermal transfer head (thermal head) 6.
And the sheet 61 for reversal material transfer is a roller 63
Through the roller 64. The fixed table 22 and the flattening reversal material printing mechanism 60 constitute a flattening material thermal transfer printing unit that executes a reversal material printing process. The reversing material transfer sheet 61 is prepared in a sheet forming process in the same manner as the internal electrode transfer sheet 36. That is, a binder, a solvent, a surfactant and the like are mixed with a powder of a flattening reversal material (preferably the same material as the green sheet) to form a paint,
Apply to required thickness on base film such as ET film,
After drying, a roll of a reversal material transfer sheet is prepared. However, an organic compound having a hot-melt effect (a property of melting when heated) is selected as a binder when a sheet is formed in order to transfer a pattern using a thermal transfer head in the printing process of the material for flattening.

【0050】なお、その他の構成は前述の第1の実施の
形態と同様であり、同一又は相当部分に同一符号を付し
て説明を省略する。
The other configuration is the same as that of the first embodiment, and the same or corresponding parts are denoted by the same reference characters and description thereof will be omitted.

【0051】この第2の実施の形態の場合、電極印刷機
構35で内部電極パターニング後、固定テーブル22上
に移載されたカード状グリーンシート1に対してそのガ
イド孔基準で(パイロットピン23にガイド孔を嵌合さ
せた状態として)、反転材料転写用シート61をカード
状グリーンシート1上に押し当てるように予め入力して
おいた内部電極の反転パターンで熱転写ヘッド62を走
らせ(ラインプリント)、必要なパターニングを行って
カード状グリーンシート1の段差を解消するように、内
部電極の反転パターンを反転材料にて形成する。その他
の動作は前述の第1の実施の形態と同じである。
In the case of the second embodiment, after the internal electrode patterning by the electrode printing mechanism 35, the card-like green sheet 1 transferred onto the fixed table 22 is positioned on the basis of its guide hole (with respect to the pilot pin 23). With the guide holes fitted), the thermal transfer head 62 is run with the reverse pattern of the internal electrodes previously input so that the reverse material transfer sheet 61 is pressed onto the card-like green sheet 1 (line printing). Then, an inversion pattern of the internal electrode is formed of an inversion material so that necessary patterning is performed to eliminate a step of the card-like green sheet 1. Other operations are the same as those in the first embodiment.

【0052】この第2の実施の形態によれば、第1の実
施の形態の効果に加えて、グリーンシート上に内部電極
を形成したことに伴う段差を反転材料の熱転写により解
消でき、シート積層ずれと積層後のプレス変形を少なく
することが可能となり、ひいては製品特性バラツキを低
減することができる。
According to the second embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the step caused by the formation of the internal electrode on the green sheet can be eliminated by the thermal transfer of the reversal material. It is possible to reduce misalignment and press deformation after lamination, thereby reducing product characteristic variations.

【0053】図4は本発明の第3の実施の形態を示す。
この場合、図1のシート成形、シート切断工程の後に金
型によりカード状グリーンシートに対して切れ目(V
溝、ミシン目等)を入れたスナップ入りのカード状グリ
ーンシート1’を用いてカセット10上に供給してい
る。このため、XYθテーブル25及び画像位置決めカ
メラ40からなる画像位置決め機構の後段に切れ目形成
のための金型を配置することを省略でき、XYθテーブ
ル25での位置補正後、熱圧着機構50によるシート積
層工程を実行できる。
FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention.
In this case, after the sheet forming and sheet cutting steps shown in FIG.
The card is supplied onto the cassette 10 using a card-like green sheet 1 'containing a snap provided with grooves, perforations, etc.). For this reason, it is possible to omit disposing a die for forming a cut after the image positioning mechanism including the XYθ table 25 and the image positioning camera 40, and after correcting the position in the XYθ table 25, stack the sheets by the thermocompression bonding mechanism 50. The process can be performed.

【0054】なお、その他の構成、作用効果は前述の第
1の実施の形態と同様であり、同一又は相当部分に同一
符号を付して説明を省略する。
The other structure, operation and effect are the same as those of the first embodiment, and the same or corresponding portions are denoted by the same reference characters and description thereof will be omitted.

【0055】図5は本発明の第4の実施の形態を示す。
この場合、第3の実施の形態の構成に加えて、固定テー
ブル22及び平坦化用反転材料印刷機構60を有する反
転材料印刷工程を実行するための平坦化材料用熱転写印
刷手段が電極用熱転写印刷手段の後段に配置されてい
る。従って、第2の実施の形態(図3)で述べたよう
に、グリーンシート上に内部電極を形成したことに伴う
段差を反転材料の熱転写により解消でき、シート積層ず
れと積層後のプレス変形を少なくすることが可能とな
り、ひいては製品特性バラツキを低減することができ
る。
FIG. 5 shows a fourth embodiment of the present invention.
In this case, in addition to the configuration of the third embodiment, the flattening material thermal transfer printing means for performing the inverting material printing step having the fixed table 22 and the flattening inverting material printing mechanism 60 is used for electrode thermal transfer printing. It is located after the means. Therefore, as described in the second embodiment (FIG. 3), the step due to the formation of the internal electrode on the green sheet can be eliminated by the thermal transfer of the inversion material, and the sheet stacking deviation and the press deformation after the stacking can be reduced. Thus, it is possible to reduce the number of products, thereby reducing the variation in product characteristics.

【0056】なお、その他の構成、作用効果は前述の第
3の実施の形態と同様であり、同一又は相当部分に同一
符号を付して説明を省略する。
The other structure, operation and effect are the same as those of the third embodiment, and the same or corresponding parts are denoted by the same reference characters and description thereof will be omitted.

【0057】各実施の形態で使用するグリーンシート
(磁性材、誘電材、絶縁材等)は、内部電極材料と同時
焼成可能な材料であれば良い。
The green sheet (magnetic material, dielectric material, insulating material, etc.) used in each embodiment may be any material that can be fired simultaneously with the internal electrode material.

【0058】以上本発明の実施の形態について説明して
きたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記
載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当
業者には自明であろう。
Although the embodiments of the present invention have been described above, it is obvious to those skilled in the art that the present invention is not limited to the embodiments and various modifications and changes can be made within the scope of the claims. There will be.

【0059】[0059]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カード状グリーンシートにスルーホール加工及び内部電
極の熱転写による印刷を行って積層する構成であり、ス
ルーホール成形、内部電極プリント、シート積層、プレ
スまで、カード状で連続生産が可能になるため、受注か
らシート積層体を作製するまでの製造リードタイムが短
くなり、内部電極を熱転写で印刷するため、スクリーン
印刷が不要で、パターンの違うものを必要な数だけ、連
続的に生産可能で多種少量生産に自由に対応可能にな
り、各種設備コストの低減、設備設置スペースの縮小が
可能である。
As described above, according to the present invention,
This is a configuration in which card-shaped green sheets are laminated by performing through-hole processing and printing by thermal transfer of internal electrodes. Continuous production in card form is possible, from through-hole molding, internal electrode printing, sheet lamination, and pressing. The production lead time from production to production of sheet laminates is shortened, and the internal electrodes are printed by thermal transfer, eliminating the need for screen printing. , It is possible to reduce various equipment costs and equipment installation space.

【0060】また、複数種のスルーホール及び内部電極
パターンがある場合に、積層順序に合わせて、異なるス
ルーホール及び内部電極パターンのスルーホール加工及
び内部電極印刷を順次実行可能であり、印刷後のカード
状グリーンシートを積層順に並び替える工程を省略可能
である。
When there are a plurality of types of through-holes and internal electrode patterns, it is possible to sequentially perform through-hole processing of different through-holes and internal electrode patterns and internal electrode printing in accordance with the lamination order. The step of rearranging the card-like green sheets in the stacking order can be omitted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る積層型チップ部品の製造方法及び
装置の第1の実施の形態であって、カード状グリーンシ
ートに対する処理を説明する構成図である。
FIG. 1 is a first embodiment of a method and an apparatus for manufacturing a multilayer chip component according to the present invention, and is a configuration diagram illustrating a process for a card-like green sheet.

【図2】第1の実施の形態であって、カード状グリーン
シートを作製する工程を説明する斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view illustrating a process of producing a card-like green sheet according to the first embodiment.

【図3】本発明の第2の実施の形態を示す構成図であ
る。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第3の実施の形態を示す構成図であ
る。
FIG. 4 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施の形態を示す構成図であ
る。
FIG. 5 is a configuration diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図6】従来のロール・ツー・ロール方式によるシート
成型品(ロール)乃至電極のスクリーン印刷までの工程
を説明する斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view for explaining steps from sheet molding (roll) to screen printing of electrodes by a conventional roll-to-roll method.

【図7】従来のロール・ツー・ロール方式によるシート
剥離乃至シート積層までの工程を説明する斜視図であ
る。
FIG. 7 is a perspective view illustrating steps from sheet separation to sheet lamination by a conventional roll-to-roll method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,1’ カード状グリーンシート 1a ガイド孔 10 カセット 11 位置合わせピン 15,20,22 固定テーブル 16,21,23 パイロットピン 25 XYθテーブル 30 スルーホール成形機 35 電極印刷機構 36 内部電極転写用シート 37,62 熱転写ヘッド 40 画像位置決めカメラ 45 金型 50 熱圧着機構 51 プレス下型 52 プレス上型 55 収納箱 60 平坦化用反転材料印刷機構 61 反転材料転写用シート P1 内部電極パターン 1, 1 'Card-shaped green sheet 1a Guide hole 10 Cassette 11 Positioning pin 15, 20, 22 Fixed table 16, 21, 23 Pilot pin 25 XYθ table 30 Through hole forming machine 35 Electrode printing mechanism 36 Internal electrode transfer sheet 37 , 62 Thermal transfer head 40 Image positioning camera 45 Mold 50 Thermocompression bonding mechanism 51 Press lower mold 52 Press upper mold 55 Storage box 60 Inverting material printing mechanism for flattening 61 Inverting material transfer sheet P1 Internal electrode pattern

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カード状グリーンシートにスルーホール
加工及び内部電極の熱転写による印刷を行った後、積層
することを特徴とする積層型チップ部品の製造方法。
1. A method for manufacturing a laminated chip component, comprising: performing through-hole processing on a card-shaped green sheet and printing by thermal transfer of an internal electrode;
【請求項2】 複数種のスルーホール及び内部電極パタ
ーンがある場合に、積層順序に合わせて、異なるスルー
ホール及び内部電極パターンのスルーホール加工及び内
部電極印刷を順次実行する請求項1記載の積層型チップ
部品の製造方法。
2. The lamination according to claim 1, wherein when there are a plurality of types of through-holes and internal electrode patterns, through-hole processing of different through-holes and internal electrode patterns and internal electrode printing are sequentially executed in accordance with the lamination order. Manufacturing method of die chip parts.
【請求項3】 カード状グリーンシートにスルーホール
加工を施すスルーホール加工手段と、カード状グリーン
シートに内部電極を熱転写により印刷する電極用熱転写
印刷手段と、スルーホール加工及び内部電極印刷を施し
たカード状グリーンシートを加熱、加圧して積層する積
層手段とを備えたことを特徴とする積層型チップ部品の
製造装置。
3. A through-hole processing means for performing through-hole processing on the card-like green sheet, an electrode thermal transfer printing means for printing internal electrodes on the card-like green sheet by thermal transfer, and a through-hole processing and internal electrode printing. And a laminating means for laminating the card-like green sheet by heating and pressurizing the green sheet.
【請求項4】 前記スルーホール加工手段及び前記熱転
写印刷手段は、前記積層手段における積層順序に合わせ
て、異なるスルーホール及び内部電極パターンのスルー
ホール加工及び内部電極印刷を順次実行するものである
請求項3記載の積層型チップ部品の製造装置。
4. The through-hole processing means and the thermal transfer printing means sequentially execute through-hole processing of different through-holes and internal electrode patterns and internal electrode printing in accordance with the lamination order in the laminating means. Item 4. An apparatus for producing a multilayer chip component according to item 3.
【請求項5】 カード状グリーンシートに平坦化材料を
熱転写により印刷する平坦化材料用熱転写印刷手段をさ
らに備える請求項3又は4記載の積層型チップ部品の製
造装置。
5. The apparatus for manufacturing a multilayer chip component according to claim 3, further comprising a thermal transfer printing means for a flattening material for printing the flattening material on the card-like green sheet by thermal transfer.
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